KR102224680B1

KR102224680B1 - 배관의 플랜지 연결부용 가스 유출방지 쿨링박스 및 가스 유출 감지시스템

Info

Publication number: KR102224680B1
Application number: KR1020190097346A
Authority: KR
Inventors: 이승룡
Original assignee: (주)제이솔루션
Priority date: 2019-08-09
Filing date: 2019-08-09
Publication date: 2021-03-08
Also published as: KR20210017683A; KR102224680B9

Abstract

본 발명은 배관의 플랜지 연결부용 가스 유출방지 쿨링박스 및 가스 유출 감지시스템에 관한 것으로, 배관의 연결부에서 각종 화학적 성질을 지닌 가스가 유출되지 않도록 안전하게 보호할 수 있도록 한 것이다.
이러한 본 발명은, 중앙부에는 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지가 위치하는 내부 챔버를 구비하고, 상기 내부 챔버의 전측과 후측으로는 상기 플랜지를 중심으로 연결된 배관이 위치하는 배관 안착홀을 구비하며, 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지를 사이에 두고 서로 마주하여 결합됨으로써 제1배관과 제2배관의 연결부에 지지되는 제1반본체와 제2반본체로 이루어진 본체 케이싱; 및 상기 본체 케이싱의 제1반본체에 설치되어 내부 챔버에 외부공기를 공급하는 쿨링팬;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

배관의 플랜지 연결부용 가스 유출방지 쿨링박스 및 가스 유출 감지시스템{GAS LEAK PREVENTION COOLING BOX FOR PIPE FLANGE CONNECTION AND GAS LEAK SENSING SYSTEM}

본 발명은 반도체 혹은 유사 제품의 제조장비에 관한 것으로, 특히 배관의 연결부에서 각종 화학적 성질을 지닌 가스가 유출되지 않도록 안전하게 보호할 수 있도록 한 배관의 플랜지 연결부용 가스 유출방지 쿨링박스 및 가스 유출 감지시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조 공정은 크게 전 공정(Fabrication 공정)과 후 공정(Assembly 공정)으로 이루어지며, 전 공정이라 함은 각종 프로세스 챔버(Chamber)내에서 웨이퍼(Wafer)상에 박막을 증착하고, 증착된 박막을 선택적으로 식각하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정의 패턴을 가공하는 것에 의해 이른바, 반도체 칩(Chip)을 제조하는 공정을 말하고, 후 공정이라 함은 상기 전 공정에서 제조된 칩을 개별적으로 분리한 후, 리드프레임과 결합하여 완제품으로 조립하는 공정을 말한다.

이같은 반도체 제조 공정에서는 배관을 통해 고온 고압의 가스가 이송되는데 여기에는 각종 화학적 성질을 지닌 파우더도 수반된다. 따라서 가스의 이송시 배관들 간의 연결부위에서 유출이 발생하지 않도록 제어하는 것이 중요하다.

이에 따라 양쪽 배관의 플랜지들 사이에 오링이 장착되어 압착되면서 유출을 방지하도록 하고 있다. 하지만 이같은 종래의 배관 연결부재는 센터링의 양 측면과 배관의 플랜지 사이에 작은 틈새가 발생하면서 와류가 형성되고 이로 인해 틈새를 통해 압력차가 발생하면서 가스가 오링까지 도달하여 접촉하였다. 이로 인해 화학적 성질을 갖는 고온의 가스에 의해 오링이 부식 또는 산화, 탄화 되어 손상되면서 결국에는 유출이 발생하게 되는 치명적인 문제가 야기되었다.

한국공개특허공보 제2019-0058968호(2019.05.30)

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 배관의 연결부에서 각종 화학적 성질을 지닌 가스가 유출되지 않도록 안전하게 보호할 수 있도록 한 배관의 플랜지 연결부용 가스 유출방지 쿨링박스 및 가스 유출 감지시스템을 제공하는 데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기술적 사상에 의한 가스 유출방지 쿨링박스는, 반도체 제품을 포함하는 제품군 중 어느 하나의 물품을 제조할 때 사용되거나 사용된 가스의 이송을 위해 서로 연결된 제1배관과 제2배관의 연결부에 설치되어 가스 유출을 방지할 수 있도록 한 가스 유출방지 쿨링박스로서, 중앙부에는 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지가 위치하는 내부 챔버를 구비하고, 상기 내부 챔버의 전측과 후측으로는 상기 플랜지를 중심으로 연결된 배관이 위치하는 배관 안착홀을 구비하며, 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지를 사이에 두고 서로 마주하여 결합됨으로써 제1배관과 제2배관의 연결부에 지지되는 제1반본체와 제2반본체로 이루어진 본체 케이싱; 및 상기 본체 케이싱의 제1반본체에 설치되어 내부 챔버에 외부공기를 공급하는 쿨링팬;을 포함하는 것을 그 기술적 구성상의 특징으로 한다.

여기서, 상기 본체 케이싱의 내부 챔버에는 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지를 상기 내부 챔버에 비해 더 좁은 공간으로 격리하여 수용하는 수용함이 더 형성되어 제1배관과 제2배관의 연결부에서 가스가 유출되더라도 상기 내부 챔버로 유출되지 않도록 차단하되, 상기 수용함은 상기 제1반본체와 제2반본체를 따라 두 개의 반본체로 이분할되어 상기 제1반본체와 제2반본체가 마주하여 결합될 때 상기 수용함의 반본체들도 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지를 중심으로 마주하여 결합되도록 하며, 상기 본체 케이싱의 제1반본체와 제2반본체에는 각각 내부 챔버와 연통되는 공기 유통홀이 형성되어 상기 쿨링팬에 의해 외부공기가 내부 챔버로 공급되어 상기 수용함과 열교환 후 배출되도록 한 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 상기 본체 케이싱은 제1반본체와 제2반본체의 일단부가 서로 힌지결합되어 상기 제1반본체와 제2반본체가 힌지축을 중심으로 회전하여 여닫이되면서 제1배관과 제2배관의 연결부를 바이팅할 수 있도록 한 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 제1배관과 제2배관의 플랜지 둘레부 내측에 형성된 요입홈에 위치하는 센터링과, 상기 센터링의 외주면을 따라 장착되어 플랜지 둘레부들 사이에서 압착되어 가스의 유출을 방지하는 오링으로 이루어진 센터링 모듈; 및 상기 오링을 사이에 두고 압착하고 있는 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지를 외측에서 클램핑하는 클램프;를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 상기 센터링 모듈은 상기 센터링의 외주면 양편 모서리부를 따라 돌출된 형태로 설치되어 상기 플랜지의 요입홈에서 압착되도록 한 한 쌍의 패커링을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 상기 본체 케이싱에는 제1배관과 제2배관의 연결부에서 유출되는 가스를 감지하는 가스 감지센서가 더 설치되는 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 상기 본체 케이싱의 외벽에는 상기 수용함과 연통되어 제1배관과 제2배관의 연결부에서 유출된 가스를 안내하는 포트가 돌출된 형태로 더 설치되며, 상기 포트를 통해 안내되는 가스의 외부 유출을 차단하는 투명캡이 결합되고, 상기 투명캡 내측면에는 가스와 접촉하여 변색되는 가스 감지테이프가 상기 가스 감지센서로서 구비된 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 상기 포트는 본체 케이싱에서 반대편에 위치한 복수의 외벽에 각각 돌출된 형태로 설치되며, 상기 투명캡과 가스 감지테이프는 각각의 포트에 모두 설치된 것을 특징으로 할 수 있다.

한편, 본 발명에 의한 가스 유출 감지 시스템은, 전술된 가스 유출방지 쿨링박스; 상기 가스 감지센서에서 유출된 가스가 감지되면 이를 인지하여 통보하는 제어기; 및 상기 제어기로부터 제어신호를 전달받아 가스 유출을 경보하는 경보기;를 포함하는 것을 그 기술적 구성상의 특징으로 한다.

본 발명에 의한 가스 유출방지 쿨링박스 및 가스 유출 감지시스템은 배관의 연결부를 외부공기를 사용하여 냉각함으로써 고온에서 오링이 쉽게 경화 및 손상되던 문제를 최소화하였으며, 이로부터 각종 화학적 성질을 지닌 가스가 쉽게 유출되지 않도록 안전하게 보호할 수 있다.

또한, 본 발명은 본체 케이싱의 내부 챔버를 개방하여 냉각용 외부공기를 풍부히 공급할 수 있도록 하면서도, 내부 챔버에 비해 작은 크기를 갖는 수용함에 의해 배관의 연결부를 격리시켜 수용하기 때문에 배관의 연결부에서 가스가 유출되더라도 외부로 유출되지 않도록 차단할 수 있고, 배관의 연결부에서 유출된 가스에 대해서는 보다 신속히 감지하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명은 센터링 모듈에 오링과 더불어 센터링이 구비된 구성에 의해 배관의 연결부에서 가스의 유출을 이중으로 안전하게 차단하고, 이에 더해 본체 케이싱 내부에 구비된 수용함에 의해 삼중으로 가스의 유출을 차단할 수 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스의 사시도
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스의 측면도
도 4는 또 3의 A-A에 따른 단면도
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스가 열린 상태의 사시도
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스가 열린 상태에서 연결된 제1배관과 제2배관이 장착된 상태의 사시도
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스에서 센터링 모듈 및 클램프를 설명하기 위한 조립도
도 8은 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스에서 센터링 모듈의 구성을 설명하기 위한 종단면도
도 9는 본 발명의 변형 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스를 설명하기 위한 참조도

첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 의한 가스 유출방지 쿨링박스에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 이해하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.

또한, 제1 및 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

<실시예>

도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스의 측면도이며, 도 4는 또 3의 A-A에 따른 단면도이며, 도 5는 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스가 열린 상태의 사시도이며, 도 6은 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스가 열린 상태에서 연결된 제1배관과 제2배관이 장착된 상태의 사시도이다.

도시된 것처럼 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스는 반도체 제품을 포함하는 제품군 중 어느 하나의 물품을 제조할 때 사용되거나 사용된 가스의 이송을 위해 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부에서 플랜지(f1,f2)를 감싼 형태로 설치되며, 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부에 설치되어 지지되도록 한 본체 케이싱(110), 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부를 냉각하기 위한 쿨링팬 모듈(120), 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부에서 유출되는 가스를 감지하기 위한 센서모듈(130), 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부를 패킹하기 위한 센터링 모듈(150) 및 클램프(160)를 주요 구성요소로 이루어진다.

본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스는 이같은 구성요소들에 의해 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부에서 각종 화학적 성질을 지닌 가스가 유출되지 않도록 안전하게 보호하면서도 만일 가스가 유출되더라도 가스의 유출을 보다 신속하게 감지할 수 있도록 구성된다.

이하, 상기 각 구성요소들을 중심으로 본 발명의 실시예에 의한 가스 유출방지 쿨링박스에 대해 상세히 설명한다.

상기 본체 케이싱(110)은 도시된 것처럼 사각의 박스 형상의 외형을 가지며 중앙부에는 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부 플랜지(f1,f2)가 위치하는 내부 챔버(111)를 구비하고, 상기 내부 챔버(111)의 전측과 후측으로는 상기 플랜지(f1,f2)를 중심으로 연결된 배관이 위치하는 배관 안착홀(112)을 구비한다. 상기 배관 안착홀(112)은 도면에서 볼 수 있는 것처럼 제1반본체(110a)와 제2반본체(110b)에 분할된 반원형의 형태로 형성되며, 제1배관(P1)과 제2배관(P2)에 대응하는 홀을 형성하기 위한 분할된 형태의 어댑터(113)를 설치하는 것이 바람직하다.

여기서 상기 본체 케이싱(110)은 일단부가 힌지결합된 제1반본체(110a)와 제2반본체(110b)가 서로 마주하여 이루어지며 타단부에는 한 쌍의 메미고리 경첩(115)이 설치되어 제1반본체(110a)와 제2반본체(110b)가 닫힌 상태에서 체결될 수 있도록 한다. 이로써 제1반본체(110a)와 제2반본체(110b)가 완전히 분리되지 않고 힌지축(114)을 중심으로 여닫이되면서 결합 및 결합 해제된다. 이같은 구성에 의해 본 발명의 가스 유출방지 쿨링박스를 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부 플랜지(f1,f2)를 바이팅(Biting) 하는 형태로 간단히 설치할 수 있다. 상기 본체 케이싱(110)의 제1반본체(110a)와 제2반본체(110b)에는 각각 내부 챔버(111)와 연통되는 공기 유통홀(111a)이 형성되어 쿨링팬(121)에 의해 외부공기가 내부 챔버(111)로 공급되어 수용함(140)과 열교환 후 배출되도록 한다.

또한 상기 본체 케이싱(110)의 내부 챔버(111)에는 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부 플랜지(f1,f2)를 상기 내부 챔버(111)에 비해 더 좁은 공간으로 격리하여 수용하는 수용공간(140a)을 갖는 수용함(140)이 더 형성된다. 상기 수용함(140)은 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부에서 유출된 가스가 공기 유통홀(111a)에 의해 개방되어 있는 내부 챔버(111)로 유출되지 않도록 해주며 포트(116)를 통해 이동하여 가스 감지센서에 접촉하도록 유도한다. 이처럼 본체 케이싱(110)의 내부 챔버(111)에 수용함(140)이 구비된 구성에 의하면 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부에서 가스가 유출되는 경우 상대적으로 넓은 공간을 갖는 내부 챔버(111)에서 확산되지 않고 훨씬 좁은 공간인 수용함(140)의 수용공간(140a)에서만 제한적으로 확산된다. 이에 따라 동일한 양의 가스가 유출되더라고 상기 가스 감지센서에 더 높은 농도로 접촉하게 되어 신속한 감지가 가능해지는 것이다. 여기서, 상기 포트(116)는 관 형상의 부재로서 본체 케이싱(110)의 외벽에 돌출된 형태로 설치되며 수용함(140)의 수용공간(140a)과 연통된다. 상기 포트(116)에는 가스 감지센서를 포함하는 센서모듈(130)이 설치된다.

상기 수용함(140)은 상기 제1반본체(110a)와 제2반본체(110b)를 따라 두 개의 반본체(141)로 이분할되어 상기 제1반본체(110a)와 제2반본체(110b)가 마주하여 결합될 때 상기 수용함(140)의 반본체(141)들도 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부 플랜지(f1,f2)를 중심으로 마주하여 결합되도록 한다. 상기 수용함(140)의 반본체(141) 한 쌍에는 마주하는 라인에 배관이 안착되는 배관 안착부(141a)가 형성되어 반본체(141) 한 쌍이 서로 마주하였을 때 원형의 홀을 이루도록 하며, 마주하는 라인을 따라 패킹(142)이 설치되어 가스가 수용함(140)외부로 유출되지 않도록 한다.

상기 쿨링팬 모듈(120)은 본체 케이싱(110)의 제1반본체(110a) 외측면에 설치되어 본체 케이싱(110)의 공기 유통홀(111a)을 통해 내부 챔버(111)로 외부공기를 공급하는 역할을 한다. 상기 쿨링팬 모듈(120)은 제1반본체(110a)의 외측면에 결합되며 공기 입출을 위한 개구부(122a)를 갖는 팬 케이싱(122)과 상기 팬 케이싱(122) 내부에 설치된 쿨링팬(121)을 포함하여 이루어진다. 이같은 구성에 따르면 도 4에서 볼 수 있는 것처럼 쿨링팬(121)의 회전을 통해 신선한 외부공기를 공기 유통홀(111a)을 통해 내부 챔버(111)로 공급하면서 내부 챔버(111)에 위치하는 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부를 효과적으로 냉각할 수 있게 된다. 그러면 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부 플랜지(f1,f2) 사이에 설치된 센터링 모듈(150)의 오링(152)과 패커링(153)이 높은 온도로 인해 쉽게 경화되거나 부식되는 문제를 최소화할 수 있게 된다.

상기 센서모듈(130)은 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부에서 유출되는 가스를 감지하여 관리자 혹은 작업자가 가스 유출을 신속히 인지할 수 있도록 도와준다. 이를 위해 센서모듈(130)은 도 3, 도 5 및 도 6에 도시된 것처럼 투명캡(131)과 가스 감지테이프(132)로 이루어진다. 상기 센서모듈(130)의 투명캡(131)은 본체 케이싱(110)의 외벽에 돌출된 형태로 설치된 포트(116)에 결합된다. 상기 가스 감지테이프(132)는 상기 투명캡(131)의 내측면에 접착되며 유출된 가스와 접촉하면 변색되는 성질을 지닌다. 이같은 가스 감지테이프(132)는 시중에서 판매되는 것을 구입하여 사용할 수 있다. 이같은 센서모듈(130)의 구성에 따르면 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부에서 가스가 유출되면 유출된 가스가 연결부 플랜지(f1,f2)를 수용하고 있는 수용함(140)에서 확산됨과 동시에 포트(116)를 통해 투명캡(131) 내부로까지 안내되어 도달하며, 곧바로 가스 감지테이프(132)와 접촉된다. 그러면 가스 감지테이프(132)가 변색되면서 관리자가 육안으로도 쉽게 인지할 수 있게 된다.

이같은 센서모듈(130)의 구성에서 주목할 수 있는 것은 본체 케이싱(110)의 외측으로 돌출된 형태로 포트(116)를 설치하여 본체 케이싱(110) 내부에서 유출된 가스를 안내하도록 하였고, 본체 케이싱(110)의 외측으로 돌출된 포트(116)에 가스 감지테이프(132)가 접착된 상태의 투명캡(131)을 설치하여 본체 케이싱(110)의 외측으로 돌출되어 완전히 반대편이 아니라면 대부분의 방향에서 잘 보이는 지점에 가스 감지테이프(132)가 위치하도록 하였다는 점에 있다.

이같은 센서모듈(130)의 구성과 관련하여 더 바람직한 형태로 도 9에서 볼 수 있는 것처럼 포트(116)와 센서모듈(130)을 본체 케이싱(110)의 반대편 양편에 각각 설치하는 변형된 형태를 통해 관리자 혹은 작업자가 어느 방향에 위치하고 있든지 방향과 관계없이 가스 유출을 육안으로 쉽게 확인할 수 있도록 구성할 수 있다.

이와 같이 본 발명의 가스 유출방지 쿨링박스가 가스 감지센서를 구비하면, 가스 유출방지 쿨링박스와 함께 가스 감지센서에서 유출된 가스가 감지되면 이를 인지하여 통보하는 제어기와, 제어기로부터 제어신호를 전달받아 가스 유출을 경보하는 경보기를 더 추가하여 가스 유출 감지 시스템을 구현할 수 있게 된다.

상기 센터링 모듈(150)은 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부에서 마주하여 결합되는 플랜지(f1,f2) 사이로 가스가 유출되지 않도록 틈새를 패킹하는 역할을 한다. 이를 위해 상기 센터링 모듈(150)은 도 8에 도시된 것처럼 센터링(151)과, 오링(152), 패커링(153)으로 이루어진다. 상기 센터링(151)은 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 플랜지(f1,f2) 둘레부 내측에 형성된 요입홈(f3)에 위치하도록 한 링 형태의 프레임 부재이다. 상기 센터링의 외주면에는 도 8에 도시된 것처럼 오링이 안정적으로 장착될 수 있도록 안착홈(151b)이 형성된다. 상기 오링(152)은 센터링(151)의 외주면을 따라 장착되어 플랜지(f1,f2) 둘레부들 사이에서 압착되어 가스의 유출을 차단한다. 상기 패커링(153)은 한 쌍이 구비되어 센터링(151)의 외주면 양편 모서리부를 따라 돌출된 형태로 설치되어 플랜지(f1,f2)의 요입홈(f3)에서 압착된다. 이같은 센터링 모듈(150)의 구성에서 주목할 점은 종래기술과 달리 한 쌍의 패커링(153)이 추가되어 오링(152)과 함께 이중으로 가스 유출을 차단하도록 하였다는 점에 있다. 더욱이 상기 오링(152)과 패커링(153)은 쿨링팬(121)에 의해 내부 챔버(111)로 공급되는 외부 공기의 도움을 통해 지속적으로 냉각되면서 고온의 영향으로 인한 경화 및 손상 문제가 최소화되어 보다 안정적으로 가스 유출을 차단할 수 있다는 장점이 있다.

상기 클램프(160)는 도 4, 도 6 및 도 7에 도시된 것처럼 오링(152)을 사이에 두고 압착하고 있는 제1배관(P1)과 제2배관(P2)의 연결부 플랜지(f1,f2)를 외측에서 클램핑하여, 오링(152)이 플랜지(f1,f2) 사이에서 압착된 상태를 지속적으로 유지할 수 있도록 해준다. 여기서 상기 클램프(160)의 내주면에는 도 4의 확대부에서 볼 수 있는 것처럼 센터링(150)의 안착홈(151b)에 오링(152)이 안정적으로 위치하도록 반대편에서 지지하는 지지부재(161)가 추가적으로 설치될 수 있다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.

110 : 본체 케이싱 120 : 쿨링팬 모듈
130 : 가스 감지센서 140 : 수용함
150 : 센터링 모듈 160 : 클램프

Claims

반도체 제품을 포함하는 제품군 중 어느 하나의 물품을 제조할 때 사용되거나 사용된 가스의 이송을 위해 서로 연결된 제1배관과 제2배관의 연결부에 설치되어 가스 유출을 방지할 수 있도록 한 가스 유출방지 쿨링박스로서,
중앙부에는 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지가 위치하는 내부 챔버를 구비하고, 상기 내부 챔버의 전측과 후측으로는 상기 플랜지를 중심으로 연결된 배관이 위치하는 배관 안착홀을 구비하며, 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지를 사이에 두고 서로 마주하여 결합됨으로써 제1배관과 제2배관의 연결부에 지지되는 제1반본체와 제2반본체로 이루어진 본체 케이싱;
상기 본체 케이싱의 제1반본체에 설치되어 내부 챔버에 외부공기를 공급하는 쿨링팬;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 유출방지 쿨링박스.
제1항에 있어서,
상기 본체 케이싱의 내부 챔버에는 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지를 상기 내부 챔버에 비해 더 좁은 공간으로 격리하여 수용하는 수용함이 더 형성되어 제1배관과 제2배관의 연결부에서 가스가 유출되더라도 상기 내부 챔버로 유출되지 않도록 차단하되, 상기 수용함은 상기 제1반본체와 제2반본체를 따라 두 개의 반본체로 이분할되어 상기 제1반본체와 제2반본체가 마주하여 결합될 때 상기 수용함의 반본체들도 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지를 중심으로 마주하여 결합되도록 하며,
상기 본체 케이싱의 제1반본체와 제2반본체에는 각각 내부 챔버와 연통되는 공기 유통홀이 형성되어 상기 쿨링팬에 의해 외부공기가 내부 챔버로 공급되어 상기 수용함과 열교환 후 배출되도록 한 것을 특징으로 하는 가스 유출방지 쿨링박스.
제2항에 있어서,
상기 본체 케이싱은 제1반본체와 제2반본체의 일단부가 서로 힌지결합되어 상기 제1반본체와 제2반본체가 힌지축을 중심으로 회전하여 여닫이되면서 제1배관과 제2배관의 연결부를 바이팅할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 가스 유출방지 쿨링박스.
제2항에 있어서,
제1배관과 제2배관의 플랜지 둘레부 내측에 형성된 요입홈에 위치하는 센터링과, 상기 센터링의 외주면을 따라 장착되어 플랜지 둘레부들 사이에서 압착되어 가스의 유출을 방지하는 오링으로 이루어진 센터링 모듈; 및
상기 오링을 사이에 두고 압착하고 있는 제1배관과 제2배관의 연결부 플랜지를 외측에서 클램핑하는 클램프;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 유출방지 쿨링박스.
제4항에 있어서,
상기 센터링 모듈은 상기 센터링의 외주면 양편 모서리부를 따라 돌출된 형태로 설치되어 상기 플랜지의 요입홈에서 압착되도록 한 한 쌍의 패커링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 유출방지 쿨링박스.
제2항에 있어서,
상기 본체 케이싱에는 제1배관과 제2배관의 연결부에서 유출되는 가스를 감지하는 가스 감지센서가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 가스 유출방지 쿨링박스.
제6항에 있어서,
상기 본체 케이싱의 외벽에는 상기 수용함과 연통되어 제1배관과 제2배관의 연결부에서 유출된 가스를 안내하는 포트가 돌출된 형태로 더 설치되며, 상기 포트를 통해 안내되는 가스의 외부 유출을 차단하는 투명캡이 결합되고, 상기 투명캡 내측면에는 가스와 접촉하여 변색되는 가스 감지테이프가 상기 가스 감지센서로서 구비된 것을 특징으로 하는 가스 유출방지 쿨링박스.
제7항에 있어서,
상기 포트는 본체 케이싱에서 반대편에 위치한 복수의 외벽에 각각 돌출된 형태로 설치되며, 상기 투명캡과 가스 감지테이프는 각각의 포트에 모두 설치된 것을 특징으로 하는 가스 유출방지 쿨링박스.
제6항 내지 제8항 중 어느 한 항의 가스 유출방지 쿨링박스;
상기 가스 감지센서에서 유출된 가스가 감지되면 이를 인지하여 통보하는 제어기; 및
상기 제어기로부터 제어신호를 전달받아 가스 유출을 경보하는 경보기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 유출 감지 시스템.