KR102214366B1 - Silver alloy copper wire - Google Patents

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헤라우스 매터리얼즈 싱가포르 피티이 엘티디
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    • C22F1/08Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of copper or alloys based thereon

Abstract

와이어 코어를 포함한 은 합금 구리 와이어가 제공되고, 상기 와이어 코어 자체는 (a) 0.3 내지 0.7 중량% 양의 은, (b) 99.25 내지 99.7 중량% 범위의 양의 구리, 및 (c) 0 내지 500 중량ppm의 추가 성분으로 구성되며, 상기 중량% 및 중량ppm의 모든 양은 코어의 총 중량에 기초를 둔다.A silver alloy copper wire comprising a wire core is provided, the wire core itself comprising (a) silver in an amount of 0.3 to 0.7% by weight, (b) copper in an amount in the range of 99.25 to 99.7% by weight, and (c) 0 to 500 Consisting of additional components in ppm by weight, all amounts in ppm by weight and ppm by weight are based on the total weight of the core.

Description

은 합금 구리 와이어Silver alloy copper wire

본 발명은 특정 중량비로 구리와 은을 포함한 코어를 포함한 8 내지 80㎛ 두께의 은 합금 구리 와이어에 관한 것이다. 본 발명은 또한 그러한 와이어를 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a silver alloy copper wire having a thickness of 8 to 80 μm comprising a core containing copper and silver in a specific weight ratio. The invention also relates to a method of making such a wire.

전자 및 마이크로전자 어플리케이션에서 본딩 와이어의 사용은 잘 알려진 최신 기술이다. 비록 초창기에는 본딩 와이어가 금으로 제조되었지만, 요즘에는 구리, 구리 합금, 은 및 은 합금과 같은 덜 비싼 재료가 사용된다.The use of bonding wires in electronic and microelectronic applications is a well-known state of the art. Although bonding wires were initially made of gold, nowadays less expensive materials such as copper, copper alloys, silver and silver alloys are used.

와이어 형상과 관련해서, 원형 단면을 가진 본딩 와이어와 다소간의 직사각 단면을 가진 본딩 리본이 가장 일반적이다. 상기 2가지 유형의 와이어 형상은 특수 어플리케이션에 유용하게 하는 각각의 장점을 갖는다.Regarding the wire shape, bonding wires with circular cross-sections and bonding ribbons with more or less rectangular cross-sections are the most common. These two types of wire shapes each have their own advantages that make them useful for special applications.

본 발명의 목적은 와이어 본딩 어플리케이션에 사용하기에 적합한 은 합금 구리 와이어를 제공하는 것이고, 상기 은 합금 구리 와이어는 특히 내식성 및 본딩 성능이 개선되지만, 예를 들면 우수한 신뢰도 성능, 초미세 피치 필요조건을 충족하는 개선된 접합 볼 모양, 개선된 제2 본드 윈도우, 개선된 루핑(looping) 성능, 연장된 플로어(floor) 수명 등을 포함한 와이어 본딩 어플리케이션에 적절한 전반적으로 균형잡힌 속성 스펙트럼을 또한 나타낸다.It is an object of the present invention to provide a silver alloy copper wire suitable for use in wire bonding applications, which silver alloy copper wire in particular has improved corrosion resistance and bonding performance, but for example excellent reliability performance, ultra fine pitch requirements. It also exhibits an overall balanced attribute spectrum suitable for wire bonding applications including improved bonding ball shape to meet, improved second bond window, improved looping performance, extended floor life, and the like.

상기 목적의 해법에 대한 기여는 카테고리 형성 청구항의 주제에 의해 제공된다. 카테고리 형성 청구항의 종속 청구항은 본 발명의 양호한 실시형태를 나타내고, 그 주제는 전술한 목적을 해결하는 기여를 또한 구성한다.The contribution to the solution of this object is provided by the subject of the category-forming claim. The dependent claims of the categorical claims represent preferred embodiments of the present invention, the subject of which also constitutes a contribution to solve the above object.

제1 양태에서, 본 발명은 와이어 코어(이하에서는 간단히 "코어"라고도 부름)를 포함하거나 코어만으로 구성된 은 합금 구리 와이어와 관련되고, 상기 와이어 코어 자체는 하기의 성분으로 구성된다:In a first aspect, the present invention relates to a silver alloy copper wire comprising a wire core (hereinafter referred to simply as “core”) or consisting only of a core, the wire core itself consisting of the following components:

(a) 0.3 내지 0.7 중량%(weight-%, 중량에 의한 %), 바람직하게는 0.5 중량%의 양의 은,(a) 0.3 to 0.7% by weight (weight-%,% by weight), preferably silver in an amount of 0.5% by weight,

(b)99.25 내지 99.7 중량%, 바람직하게는 99.45 내지 99.5 중량%, 더 바람직하게는 99.49 내지 99.5 중량% 범위의 양의 구리, 및(b) copper in an amount ranging from 99.25 to 99.7% by weight, preferably 99.45 to 99.5% by weight, more preferably 99.49 to 99.5% by weight, and

(c) 0 내지 500 중량ppm(weight-ppm, 중량에 의한 ppm), 바람직하게는 0 내지 100 중량ppm의 추가 성분(은 및 구리 외의 성분).(c) 0 to 500 ppm by weight (weight-ppm, ppm by weight), preferably 0 to 100 ppm by weight of additional components (components other than silver and copper).

여기에서 중량% 및 중량ppm의 모든 양은 코어의 총 중량에 기초를 둔다.All amounts of weight percent and ppm weight here are based on the total weight of the core.

아래의 표는 은 합금 구리 와이어 코어 조성의 각종 실시형태를 보인 것이다.The table below shows various embodiments of the silver alloy copper wire core composition.

구리( 중량%)Copper (% by weight) 은( 중량%)Silver (% by weight) 추가 성분( 중량ppm)Additional ingredients (ppm by weight) 총 중량비( 중량%)Total weight ratio (% by weight) 99.25~99.799.25~99.7 0.3~0.70.3~0.7 0~5000~500 100.00100.00 99.29~99.799.29~99.7 0.3~0.70.3~0.7 0~1000~100 100.00100.00 99.45~99.599.45~99.5 0.50.5 0~5000~500 100.00100.00 99.49~99.599.49~99.5 0.50.5 0~1000~100 100.00100.00

은 합금 구리 와이어는 바람직하게 마이크로전자에서 접합을 위한 본딩 와이어이다. 은 합금 구리 와이어는 바람직하게 일편(one-piece) 물체이다. 여러 가지 형상이 공지되어 있고 본 발명의 은 합금 구리 와이어에 유용한 것으로 나타난다. 본 발명에 있어서, 용어 "본딩 와이어"는 모든 형상의 단면 및 모든 유용한 와이어 직경을 포함하지만, 원형 단면 및 얇은 직경을 갖는 본딩 와이어가 바람직하다. 평균 단면은 예를 들면 50 내지 5024㎛2 또는 바람직하게 110 내지 2400㎛2의 범위 내이고; 따라서 바람직한 원형 단면의 경우에 평균 직경은 예를 들면 8 내지 80㎛ 또는 바람직하게 12 내지 55㎛의 범위 내이다.The silver alloy copper wire is preferably a bonding wire for bonding in microelectronics. The silver alloy copper wire is preferably a one-piece object. Several shapes are known and appear to be useful for the silver alloy copper wire of the present invention. In the present invention, the term "bonding wire" includes all shaped cross sections and all useful wire diameters, but bonding wires having circular cross sections and thin diameters are preferred. The average cross section is, for example, in the range of 50 to 5024 μm 2 or preferably 110 to 2400 μm 2 ; Therefore, in the case of a preferred circular cross section, the average diameter is, for example, in the range of 8 to 80 μm or preferably 12 to 55 μm.

평균 직경 또는 간단히 말해서 와이어 또는 와이어 코어의 직경은 "사이징법"(sizing method)에 의해 획득될 수 있다. 이 방법에 따르면 규정된 길이의 은 합금 구리 와이어의 물리적 중량이 결정된다. 이 중량에 기초해서, 와이어 또는 와이어 코어의 직경은 와이어 물질의 농도를 이용하여 계산된다. 직경은 특정 와이어의 5개의 컷에 대한 5개의 측정치의 산술 평균으로서 계산된다.The average diameter, or simply the diameter of the wire or wire core, can be obtained by the "sizing method". According to this method, the physical weight of a silver alloy copper wire of a specified length is determined. Based on this weight, the diameter of the wire or wire core is calculated using the concentration of the wire material. The diameter is calculated as the arithmetic mean of 5 measurements for 5 cuts of a particular wire.

전술한 바와 같이, 와이어 코어는 (a) 은 및 (b) 구리를 전술한 비율로 포함한다. 그러나 본 발명의 은 합금 구리 와이어의 코어는 (c) 0 내지 500 중량ppm, 바람직하게는 0 내지 100 중량ppm의 총량으로 추가의 성분을 포함할 수 있다. 이러한 맥락에서, 가끔 "필연적 불순물"이라고도 부르는 상기 추가의 성분은 사용하는 원료에 존재하는 불순물로부터 또는 와이어 제조 공정으로부터 발원하는 소량의 화학 원소 및/또는 화합물이다. 즉, 상기 (c) 유형의 추가 성분의 존재는 예를 들면 은 및/또는 구리에 존재하는 불순물로부터 발원할 수 있다. 그러한 추가 성분의 예로는 Au, P, Ni, Pd, Fe, Si, Mn, Cr, Ce, Mg, La, Al, B, Zr, Ti, S 등이 있다. 상기 추가 성분(c)의 0 내지 500 중량ppm 또는 심지어 0 내지 100 중량ppm의 낮은 총량은 와이어 속성의 양호한 재현성을 보장한다. 코어에 존재하는 추가 성분(c)은 일반적으로 별도로 추가되지 않는다.As described above, the wire core contains (a) silver and (b) copper in the aforementioned ratio. However, the core of the silver alloy copper wire of the present invention may include additional components in a total amount of (c) 0 to 500 ppm by weight, preferably 0 to 100 ppm by weight. In this context, these additional components, sometimes referred to as “necessary impurities”, are small amounts of chemical elements and/or compounds originating from impurities present in the raw materials used or from the wire manufacturing process. That is, the presence of an additional component of the type (c) may originate from impurities present in silver and/or copper, for example. Examples of such additional components are Au, P, Ni, Pd, Fe, Si, Mn, Cr, Ce, Mg, La, Al, B, Zr, Ti, S, and the like. A low total amount of 0 to 500 ppm by weight or even 0 to 100 ppm by weight of the additional component (c) ensures good reproducibility of the wire properties. The additional component (c) present in the core is generally not added separately.

일 실시형태에서, 본 발명의 은 합금 구리 와이어의 코어는 다음과 같은 각각의 추가 성분(c)을 15 중량ppm 미만으로 포함한다: Au, P, Ni, Pd, Fe, Si, Mn, Cr, Ce, Mg, La, Al, B, Zr, Ti, S.In one embodiment, the core of the silver alloy copper wire of the present invention comprises less than 15 ppm by weight of each additional component (c) as follows: Au, P, Ni, Pd, Fe, Si, Mn, Cr, Ce, Mg, La, Al, B, Zr, Ti, S.

이러한 맥락에서 은 합금 구리 와이어의 코어는 균질의 벌크 물질 영역으로서 정의된다. 임의의 벌크 물질은 항상 어느 정도 다른 속성을 나타내는 표면 영역을 갖기 때문에, 와이어의 코어의 속성은 균질인 벌크 물질 영역의 속성으로서 이해된다. 벌크 물질 영역의 표면은 형태, 조성물(예를 들면, 염소 및/또는 산소 성분) 및 다른 특징에 있어서 다를 수 있다. 상기 표면은 와이어 코어의 외측면일 수 있고; 그러한 실시형태에서 본 발명의 은 합금 구리 와이어는 와이어 코어로 구성된다. 대안적 실시형태에서, 상기 표면은 와이어 코어와 와이어 코어에 겹쳐진 코팅층 간의 계면 영역일 수 있다.In this context the core of the silver alloy copper wire is defined as a homogeneous bulk material area. Since any bulk material always has a surface area that exhibits some different properties, the nature of the core of the wire is understood as a property of a homogeneous bulk material area. The surface of the bulk material region may differ in shape, composition (eg, chlorine and/or oxygen component) and other characteristics. The surface may be the outer surface of the wire core; In such an embodiment, the silver alloy copper wire of the present invention is composed of a wire core. In an alternative embodiment, the surface may be an interface area between the wire core and the coating layer overlaid on the wire core.

본 발명의 맥락에서 용어 "겹침"은 제2 아이템, 예를 들면 코팅층과 관련하여 제1 아이템, 예를 들면 와이어 코어의 상대적 위치를 묘사하기 위해 사용된다. "겹침"은 반드시는 아니지만 중간층과 같은 추가의 아이템이 제1 아이템과 제2 아이템 사이에 배치될 수 있음을 특징으로 한다. 바람직하게, 제2 아이템은 제1 아이템 위에 적어도 부분적으로, 예를 들면 제1 아이템의 전체 표면과 관련하여 각각 적어도 30%, 50%, 70% 또는 90% 겹쳐진다. 가장 바람직하게는 제2 아이템이 제1 아이템 위에 완전히 겹쳐진다.In the context of the present invention the term "overlap" is used to describe the relative position of a first item, for example a wire core, in relation to a second item, for example a coating layer. "Overlapping" is not necessarily characterized in that an additional item, such as an intermediate layer, can be placed between the first item and the second item. Preferably, the second item overlaps the first item at least partially, for example at least 30%, 50%, 70% or 90% respectively with respect to the entire surface of the first item. Most preferably the second item completely overlaps the first item.

본 발명의 맥락에서 용어 "중간층"은 코어와 코어 위에 겹쳐진 코팅층 사이에 있는 은 합금 구리 와이어의 영역을 말한다. 이 영역에는 코어와 코팅층의 물질들의 결합이 존재한다.The term “intermediate layer” in the context of the present invention refers to the region of the silver alloy copper wire between the core and the coating layer overlaid on the core. In this area there is a combination of the materials of the core and the coating layer.

본 발명의 맥락에서 용어 "두께"는 코어의 종축에 수직한 방향으로 층의 크기를 정의하기 위해 사용되며, 상기 층은 코어의 표면 위에 적어도 부분적으로 겹쳐진다.In the context of the present invention the term "thickness" is used to define the size of a layer in a direction perpendicular to the longitudinal axis of the core, which layer at least partially overlaps the surface of the core.

일 실시형태에서, 코어는 표면을 갖고, 코팅층은 코어의 표면 위에 겹쳐진다.In one embodiment, the core has a surface and the coating layer overlies the surface of the core.

일 실시형태에서, 코팅층의 질량은 코어의 총 질량과 관련하여 각각 5 중량% 이하, 바람직하게는 2 중량% 이하이다. 코팅층이 있을 때, 코팅층은 종종 코어의 총 질량과 관련하여 각각 0.1 중량% 이상 또는 0.5 중량% 이상의 최소 질량을 갖는다. 코팅층으로서 소량의 물질을 적용하면 와이어의 코어의 물질에 의해 정의되는 특성들을 보존한다. 반면에, 코팅층은 환경에 대해 불활성으로 되는 것, 내식성, 개선된 접착력 등과 같이 와이어 표면에 특별한 특성들을 제공한다. 예를 들면, 코팅층의 두께는 직경이 18㎛인 와이어에 대하여 20 내지 120nm의 범위 내이다. 직경이 25㎛인 와이어의 경우에 코팅층은 예를 들면 30 내지 150nm 범위의 두께를 가질 수 있다.In one embodiment, the mass of the coating layer is 5% by weight or less, preferably 2% by weight or less, respectively, with respect to the total mass of the core. When there is a coating layer, the coating layer often has a minimum mass of at least 0.1% by weight or at least 0.5% by weight, respectively, with respect to the total mass of the core. The application of a small amount of material as a coating layer preserves the properties defined by the material of the core of the wire. On the other hand, the coating layer provides special properties to the wire surface, such as being inert to the environment, corrosion resistance, improved adhesion, and the like. For example, the thickness of the coating layer is in the range of 20 to 120 nm for a wire having a diameter of 18 μm. In the case of a wire having a diameter of 25 μm, the coating layer may have a thickness in the range of 30 to 150 nm, for example.

일 실시형태에서, 코팅층은 귀금속 원소로 구성될 수 있다. 코팅층은 상기 귀금속 원소들 중의 하나의 원소의 단일층일 수 있다. 다른 실시형태에서, 코팅층은 다수의 중첩되어 인접한 부층(sub-layer)들로 구성된 다층일 수 있고, 이때 각각의 부층은 다른 귀금속 원소로 구성된다. 이러한 귀금속 원소를 코어 위에 증착하는 일반적인 기법은 전기도금 및 무전해도금과 같은 도금, 스퍼터링과 같이 기체상으로부터의 물질의 증착, 이온 도금, 진공 증착 및 물리 기상 증착, 및 용해금속으로부터의 물질의 증착이다.In one embodiment, the coating layer may be composed of a noble metal element. The coating layer may be a single layer of one of the noble metal elements. In other embodiments, the coating layer may be a multilayer composed of a number of overlapping and adjacent sub-layers, with each sub-layer composed of a different precious metal element. Common techniques for depositing these precious metal elements on the core include plating such as electroplating and electroless plating, deposition of materials from gaseous phases such as sputtering, ion plating, vacuum deposition and physical vapor deposition, and deposition of materials from dissolved metals. to be.

일 실시형태에서, 본 발명의 은 합금 구리 와이어 또는 그 코어는 다음과 같은 고유 속성 중의 적어도 하나를 특징으로 한다(후술하는 "테스트 방법 A" 참조):In one embodiment, the silver alloy copper wire or core thereof of the present invention is characterized by at least one of the following intrinsic properties (see “Test Method A” below):

(i) 평균 와이어 입자 크기(평균 입자 크기)는 종방향(와이어 코어의 종방향)으로 측정하였을 때 4.0㎛ 미만, 예를 들면 2 내지 3㎛의 범위 내이다,(i) the average wire particle size (average particle size) is less than 4.0 μm, for example in the range of 2 to 3 μm, as measured in the longitudinal direction (longitudinal direction of the wire core),

(ii) 종방향으로 측정한 평균 입자 크기와 와이어 코어의 직경의 비율은 0.05 내지 0.25, 바람직하게는 0.1 내지 0.20의 범위 내이다,(ii) the ratio of the average particle size measured in the longitudinal direction and the diameter of the wire core is in the range of 0.05 to 0.25, preferably 0.1 to 0.20,

(iii) 종방향으로 측정하였을 때 코어의 평균 입자 크기에 대한 평균 입자 크기의 표준 편차비(RSD)는 0.3 미만, 예를 들면 0.1 내지 0.2의 범위 내이다.(iii) The standard deviation ratio (RSD) of the average particle size to the average particle size of the core as measured in the longitudinal direction is less than 0.3, for example in the range of 0.1 to 0.2.

용어 "고유 속성"은 여기에서 와이어 코어와 관련하여 사용된다. 고유 속성은 와이어 코어가 본질적으로(다른 요소들에 독립적으로) 갖는 속성을 의미한다. 고유 속성에 반대되는 외래 속성은 사용하는 측정 방법 및/또는 측정 조건과 같은 다른 요소들과의 와이어 코어 관계에 의존한다.The term "unique property" is used herein in connection with the wire core. Intrinsic attribute refers to the attribute that the wire core has intrinsically (independent of other elements). Foreign attributes as opposed to intrinsic attributes depend on the wire core relationship with other factors such as the measurement method and/or measurement conditions used.

다른 양태에서, 본 발명은 전술한 임의의 실시형태에서 은 합금 구리 와이어의 제조 공정과 또한 관련이 있다. 제조 공정은 적어도 하기의 단계들을 포함한다:In another aspect, the invention also relates to a process for making silver alloy copper wires in any of the embodiments described above. The manufacturing process includes at least the following steps:

(1) (a) 0.3 내지 0.7 중량%, 바람직하게는 0.5 중량%의 양의 은, (b) 99.25 내지 99.7 중량%, 바람직하게는 99.45 내지 99.5 중량%, 더 바람직하게는 99.49 내지 99.5 중량% 범위의 양의 구리, 및 (c) 0 내지 500 중량ppm, 바람직하게는 0 내지 100 중량ppm의 추가 성분- 여기에서 중량% 및 중량ppm의 모든 양은 전구체 아이템의 총 중량에 기초한 것임 -으로 구성된 전구체 아이템을 마련하는 단계;(1) (a) Silver in an amount of 0.3 to 0.7 wt%, preferably 0.5 wt%, (b) 99.25 to 99.7 wt%, preferably 99.45 to 99.5 wt%, more preferably 99.49 to 99.5 wt% A precursor consisting of copper in amounts in the range, and (c) 0 to 500 ppm by weight, preferably 0 to 100 ppm by weight, of additional components, wherein all amounts in weight percent and ppm by weight are based on the total weight of the precursor item. Preparing an item;

(2) 와이어 코어의 원하는 최종 직경이 획득될 때까지 와이어 전구체를 형성하도록 전구체 아이템을 신장하는 단계; 및(2) stretching the precursor item to form a wire precursor until a desired final diameter of the wire core is obtained; And

(3) 은 합금 구리 와이어를 형성하기 위해, 상기 공정 단계 (2)의 완료 후에 획득된 와이어 전구체를 0.1 내지 3초 범위의 노출 시간 동안 600 내지 680℃ 범위의 오븐 설정 온도에서 최종적으로 스트랜드 어닐링하는 단계.(3) In order to form a silver alloy copper wire, the wire precursor obtained after completion of the process step (2) is finally strand annealed at an oven set temperature in the range of 600 to 680°C for an exposure time in the range of 0.1 to 3 seconds. step.

용어 "스트랜드 어닐링"이 여기에서 사용된다. 스트랜드 어닐링은 높은 재현성으로 와이어의 고속 생산을 가능하게 하는 연속 공정이다. 스트랜드 어닐링은 ls장되는 와이어 전구체 아이템 또는 어닐링되는 와이어 전구체가 어닐링 오븐을 통해 이동하고 어닐링 오븐을 떠난 후에 릴에 감겨지는 동안 어닐링이 동적으로 행하여지는 것을 의미한다.The term "strand annealing" is used herein. Strand annealing is a continuous process that enables high-speed production of wires with high reproducibility. Strand annealing means that annealing is performed dynamically while the wire precursor item to be annealed or the wire precursor to be annealed moves through the annealing oven and is wound on a reel after leaving the annealing oven.

용어 "오븐 설정 온도"가 여기에서 사용된다. 이것은 어닐링 오븐의 온도 제어기에서 고정된 온도를 의미한다. 스트랜드 어닐링은 전형적으로 관형 어닐링 오븐에서 수행된다.The term "oven set temperature" is used herein. This means a fixed temperature in the temperature controller of the annealing oven. Strand annealing is typically carried out in a tubular annealing oven.

본 개시에서는 전구체 아이템, 와이어 전구체 및 은 합금 구리 와이어를 구별한다. 용어 "전구체 아이템"은 와이어 코어의 원하는 최종 직경에 도달하지 않은 와이어 전단계에 대하여 사용되고, 용어 "와이어 전구체"는 원하는 최종 직경에 도달한 와이어 전단계에 대하여 사용된다. 공정 단계 (3)의 완료 후, 즉, 원하는 최종 직경의 와이어 전구체의 최종 스트랜드 어닐링 후에, 발명의 의미에서의 은 합금 구리 와이어가 얻어진다.The present disclosure distinguishes between precursor items, wire precursors and silver alloy copper wires. The term “precursor item” is used for a wire shear that has not reached the desired final diameter of the wire core, and the term “wire precursor” is used for a wire shear that has reached the desired final diameter. After completion of the process step (3), that is, after the final strand annealing of the wire precursor of the desired final diameter, a silver alloy copper wire in the sense of the invention is obtained.

공정 단계 (1)에서 마련된 전구체 아이템은 바람직한 양의 은으로 구리를 합금/도핑함으로써 얻어질 수 있다. 구리 합금 자체는 금속 합금 분야에서 공지된 종래의 공정에 의해, 예를 들면 바람직한 비율로 구리와 은을 함께 용해함으로써 준비될 수 있다. 그렇게 할 때 마스터 합금을 사용할 수 있다. 용해 공정은 예를 들면 유도로(induction furnace)를 이용하여 수행될 수 있고, 진공 또는 불활성 가스 분위기에서 작업하는 것이 유리하다. 사용되는 물질은 예를 들면 99.99 중량% 이상의 순도를 가질 수 있다. 이렇게 생성된 용해금속은 구리 기반 전구체 아이템의 균질편을 형성하도록 냉각될 수 있다. 전형적으로, 이러한 전구체 아이템은 예를 들면 2 내지 25mm의 직경 및 예를 들면 5 내지 100m의 길이를 가진 봉의 형태일 수 있다. 이러한 봉은 상기 구리 합금 용해금속을 실온의 적당한 주형에서 주조하고, 그 다음에 냉각 및 고화함으로써 제조될 수 있다.The precursor item prepared in process step (1) can be obtained by alloying/doping copper with a desired amount of silver. The copper alloy itself can be prepared by conventional processes known in the field of metal alloys, for example by dissolving copper and silver together in a desired ratio. In doing so, you can use the master alloy. The dissolution process can be carried out, for example, using an induction furnace, and it is advantageous to work in a vacuum or inert gas atmosphere. The materials used may have a purity of at least 99.99% by weight, for example. The molten metal thus produced can be cooled to form a homogeneous piece of the copper-based precursor item. Typically, such a precursor item may be in the form of a rod having a diameter of, for example, 2 to 25 mm and a length of, for example, 5 to 100 m. Such rods can be produced by casting the copper alloy molten metal in a suitable mold at room temperature, followed by cooling and solidification.

만일 단일층 또는 다층 형태의 코팅층이 본 발명의 제1 양태의 일부 실시형태와 관련하여 설명한 것처럼 은 합금 구리 와이어의 코어 위에 있으면, 이 코팅층은 아직 신장되지 않은, 최종적으로 신장되지 않은 또는 바람직한 최종 직경까지 완전히 신장되지 않은 와이어 전구체 아이템에 적용되는 것이 바람직하다. 당업자라면 와이어의 실시형태에 대하여 설명한 두께의 코팅층을 얻기 위해, 즉 와이어 전구체를 형성하기 위해 코팅층과 함께 전구체 아이템을 신장한 후에 전구체 아이템에서 이러한 코팅층의 두께를 계산하는 법을 알고 있을 것이다. 위에서 이미 설명한 바와 같이, 구리 합금 표면 위에 실시형태에 따른 물질의 코팅층을 형성하는 여러 가지 기법이 알려져 있다. 양호한 기법은 전기도금 및 무전해도금과 같은 도금, 스퍼터링과 같이 기체상으로부터의 물질의 증착, 이온 도금, 진공 증착 및 물리 기상 증착, 및 용해금속으로부터의 물질의 증착이다.If a single-layer or multi-layered coating layer is on the core of the silver alloy copper wire as described in connection with some embodiments of the first aspect of the present invention, the coating layer is not yet elongated, finally unstretched or the desired final diameter. It is preferred to apply to wire precursor items that are not fully stretched to. Those skilled in the art will know how to calculate the thickness of this coating layer in the precursor item after stretching the precursor item with the coating layer to obtain a coating layer of the thickness described for the embodiment of the wire, ie to form a wire precursor. As already described above, various techniques are known for forming a coating layer of a material according to an embodiment on a surface of a copper alloy. Preferred techniques are plating such as electroplating and electroless plating, deposition of materials from a gaseous phase such as sputtering, ion plating, vacuum deposition and physical vapor deposition, and deposition of materials from molten metals.

발명의 제1 양태의 일부 실시형태에 대하여 설명한 바와 같이 와이어 코어에 단일층 또는 다층으로서 금속 코팅을 겹치기 위해, 전구체 아이템의 원하는 직경에 도달한 때 공정 단계 (2)를 중단하는 것이 유리하다. 그러한 직경은 예를 들면 80 내지 200㎛의 범위 내일 수 있다. 그 다음에 단일층 또는 다층 금속 코팅이 예를 들면 하나 이상의 전기도금 공정 단계에 의해 적용될 수 있다. 그 후 와이어 코어의 원하는 최종 직경이 획득될 때까지 공정 단계 (2)가 계속된다.In order to superimpose the metal coating as a single layer or multiple layers on the wire core as described for some embodiments of the first aspect of the invention, it is advantageous to stop process step (2) when the desired diameter of the precursor item has been reached. Such a diameter may for example be in the range of 80 to 200 μm. A single or multilayer metallic coating can then be applied, for example by one or more electroplating process steps. Then process step (2) continues until the desired final diameter of the wire core is obtained.

공정 단계 (2)에서, 전구체 아이템은 와이어 전구체를 형성하기 위해 와이어 코어의 원하는 최종 직경이 획득될 때까지 신장된다. 와이어 전구체를 형성하기 위해 전구체 아이템을 신장하는 기법은 공지되어 있고 발명의 맥락에서 유용한 것으로 나타난다. 양호한 기법은 롤링, 스웨이징(swaging), 다이 드로잉(die drawing) 등이 있고, 이 중에서 다이 드로잉이 특히 양호하다. 후자의 경우에, 전구체 아이템은 와이어 코어의 원하는 최종 직경에 도달할 때까지 여러 공정 단계로 드로잉된다.In process step (2), the precursor item is stretched until the desired final diameter of the wire core is obtained to form the wire precursor. Techniques for stretching a precursor item to form a wire precursor are known and appear to be useful in the context of the invention. Preferred techniques are rolling, swaging, die drawing, and the like, of which die drawing is particularly good. In the latter case, the precursor item is drawn in several process steps until the desired final diameter of the wire core is reached.

와이어 코어의 원하는 최종 직경은 8 내지 80㎛의 범위 또는 바람직하게 12 내지 55㎛의 범위 내일 수 있다. 이러한 와이어 다이 드로잉 공정은 당업자에게 잘 알려져 있다. 종래의 텅스텐 카바이드 및 다이아몬드 드로잉 다이를 이용할 수 있고, 드로잉을 지원하기 위해 종래의 드로잉 윤활제를 이용할 수 있다.The desired final diameter of the wire core may be in the range of 8 to 80 μm or preferably in the range of 12 to 55 μm. Such wire die drawing processes are well known to those skilled in the art. Conventional tungsten carbide and diamond drawing dies can be used, and conventional drawing lubricants can be used to support drawing.

단계 (2)는 중간 어닐링의 임의의 부단계를 포함하지 않는 것이 바람직하다.It is preferred that step (2) does not include any sub-steps of intermediate annealing.

공정 단계 (3)에서, 공정 단계 (2)의 완료 후에 얻어진 신장된 와이어 전구체는 최종적으로 스트랜드 어닐링된다. 최종의 스트랜드 어닐링은 예를 들면 0.1 내지 3초의 노출 시간 동안 600 내지 680℃의 범위, 또는 양호한 실시형태에서 0.1 내지 1.5초 동안 610 내지 650℃ 범위의 오븐 설정 온도에서 수행된다. 예시적인 실시형태에서, 최종 스트랜드 어닐링은 0.85초의 노출 시간 동안 630℃의 오븐 설정 온도에서 수행될 수 있다.In process step (3), the stretched wire precursor obtained after completion of process step (2) is finally strand annealed. The final strand annealing is for example carried out at an oven set temperature in the range of 600 to 680° C. for an exposure time of 0.1 to 3 seconds, or in a preferred embodiment of 610 to 650° C. for 0.1 to 1.5 seconds. In an exemplary embodiment, the final strand annealing may be performed at an oven set temperature of 630° C. for an exposure time of 0.85 seconds.

최종 스트랜드 어닐링은 전형적으로 소정 길이의 원통관의 형태인 종래의 어닐링 오븐을 통해 소정의 어닐링 속도로 규정된 온도 프로파일로 상기 신장된 와이어 전구체를 풀링(pulling)함으로써 수행되고, 상기 소정의 어닐링 속도는 예를 들면 10 내지 60m/분의 범위에서 선택될 수 있다. 그렇게 함에 있어서, 어닐링 시간/오븐 온도 파라미터가 규정되고 설정될 수 있다.The final strand annealing is performed by pulling the elongated wire precursor with a defined temperature profile at a predetermined annealing rate through a conventional annealing oven, typically in the form of a cylindrical tube of a predetermined length, wherein the predetermined annealing rate is For example, it may be selected in the range of 10 to 60 m/min. In doing so, an annealing time/oven temperature parameter can be defined and set.

양호한 실시형태에서, 최종적으로 스트랜드 어닐링된 은 합금 구리 와이어는, 일 실시형태에서, 하나 이상의 첨가제, 예를 들면 0.01 내지 0.07 체적%(vol.-%)의 첨가제를 함유할 수 있는 물에서 담금질된다. 물에서의 담금질은 상기 최종적으로 스트랜드 어닐링된 은 합금 구리 와이어를 공정 단계 (3)에서 받은 온도로부터 예를 들면 디핑(dipping) 또는 드리핑(dripping)에 의해 실온으로 즉시 또는 신속히, 즉 0.2 내지 0.6초 이내에 냉각시키는 것을 의미한다.In a preferred embodiment, the finally strand annealed silver alloy copper wire is quenched in water, which in one embodiment may contain one or more additives, for example 0.01 to 0.07 vol.-% of additives. . Quenching in water is carried out immediately or rapidly, i.e. 0.2 to 0.6 seconds from the temperature received in the process step (3) of the finally strand annealed silver alloy copper wire to room temperature, for example by dipping or dripping. Means to cool within.

공정 단계 (3)의 최종 스트랜드 어닐링은 불활성 또는 환원 분위기에서 수행될 수 있다. 많은 유형의 불활성 분위기 및 환원 분위기가 업계에 공지되어 있고, 어닐링 오븐을 퍼징(purging)하는 데 사용된다. 공지된 불활성 분위기 중에서 질소 또는 아르곤이 양호하다. 공지된 환원 분위기 중에서 수소가 양호한 예이다. 다른 양호한 환원 분위기는 수소와 질소의 혼합물이다. 수소와 질소의 양호한 혼합물은 90 내지 98 체적%의 질소 및 2 내지 10 체적%의 수소이고, 여기에서 체적%는 총 100 체적%이다. 질소/수소의 양호한 혼합물은 93/7, 95/5 및 97/3 체적%/체적%이고, 각각 혼합물의 총 체적에 기초를 둔다. 만일 은 합금 구리 와이어의 표면의 일부가 공기 중의 산소에 의한 산화에 민감하면 어닐링 시에 환원 분위기를 적용하는 것이 특히 바람직하다. 상기 유형의 불활성 또는 환원 가스로의 퍼징은 10 내지 125 분(min)-1, 더 바람직하게는 15 내지 90 분-1, 가장 바람직하게는 20 내지 50 분-1 범위의 가스 교환율(= 가스 유량[리터/분]:오븐 내부 체적[리터])로 수행되는 것이 바람직하다.The final strand annealing of process step (3) can be carried out in an inert or reducing atmosphere. Many types of inert and reducing atmospheres are known in the art and are used to purging annealing ovens. Nitrogen or argon is preferred in a known inert atmosphere. Hydrogen is a good example in a known reducing atmosphere. Another preferred reducing atmosphere is a mixture of hydrogen and nitrogen. A good mixture of hydrogen and nitrogen is 90 to 98% by volume nitrogen and 2 to 10% by volume hydrogen, where the volume% is a total of 100% by volume. A good mixture of nitrogen/hydrogen is 93/7, 95/5 and 97/3 vol%/vol%, each based on the total volume of the mixture. If a part of the surface of the silver alloy copper wire is sensitive to oxidation by oxygen in the air, it is particularly preferable to apply a reducing atmosphere during annealing. Purging with an inert or reducing gas of this type is a gas exchange rate in the range of 10 to 125 minutes (min) -1 , more preferably 15 to 90 minutes -1 and most preferably 20 to 50 minutes -1 (= gas flow rate [Liter/min]: It is preferably carried out with the oven internal volume [liter]).

전구체 아이템 물질의 조성(완성된 은 합금 구리 와이어의 물질과 같음)과 공정 단계 (3) 중에 우세한 어닐링 파라미터의 독특한 결합은 전술한 고유 속성들 중의 적어도 하나를 나타내는 본 발명의 와이어를 얻는 데 중요한 것으로 믿어진다. 최종 스트랜드 어닐링 단계의 온도/시간 조건은 은 합금 구리 와이어 코어의 고유 속성의 달성 또는 조정을 가능하게 한다. 순수 구리 와이어와 비교할 때 본 발명의 은 합금 구리 와이어의 더 좋은 전체 성능은 그 조성과 최종 스트랜드 어닐링 조건의 결과이고; 2개의 특징은 함께 고유 속성 (i) 내지 (iii)으로서 표현되는 특정 입자 구조를 야기한다. 상기 특정 입자 구조는 양호한 성능 파라미터의 원인이다. 입자 구조는 특히 더 작은 평균 입자 크기 및 더 작은 입자 크기 분포에 의해 순수 구리 와이어의 입자 구조와 다르다.The unique combination of the composition of the precursor item material (same as the material of the finished silver alloy copper wire) and the annealing parameters prevailing during process step (3) is important to obtain a wire of the invention that exhibits at least one of the aforementioned intrinsic properties. I believe. The temperature/time conditions of the final strand annealing step enable the achievement or adjustment of the intrinsic properties of the silver alloy copper wire core. The better overall performance of the silver alloy copper wire of the present invention as compared to pure copper wire is a result of its composition and final strand annealing conditions; The two features together lead to a specific particle structure expressed as intrinsic properties (i) to (iii). This particular particle structure is responsible for good performance parameters. The grain structure differs from that of pure copper wire, especially by a smaller average grain size and a smaller grain size distribution.

공정 단계 (3)의 완료 후에, 본 발명의 은 합금 구리 와이어는 완성된다. 그 속성으로부터 충분히 이익을 취하기 위해, 와이어 본딩 어플리케이션을 위해 즉시, 즉 예를 들면 공정 단계 (3)의 완료 후에 10일의 플로어 시간(floor time) 이내에서 지연 없이 그 속성을 이용하는 것이 유리하다. 대안적으로, 은 합금 구리 와이어의 넓은 와이어 본딩 공정 윈도우 속성을 유지하기 위해서 및 은 합금 구리 와이어를 산화 또는 다른 화학적 공격으로부터 보호하기 위해서, 완성된 와이어는 전형적으로 공정 단계 (3)의 완료 후에 즉시, 즉 예를 들면 공정 단계 (3)의 완료 후 1 내지 5시간 이내에 지연 없이 감겨지거나 진공 밀봉되고, 그 다음에 본딩 와이어로서 추가로 사용하기 위해 저장된다. 진공 밀봉 조건에서의 저장은 6개월을 넘지 않아야 한다. 진공 밀봉을 개봉한 후에 은 합금 구리 와이어는 10일 이내에 와이어 본딩을 위해 사용되어야 한다.After completion of the process step (3), the silver alloy copper wire of the present invention is completed. In order to fully benefit from the property, it is advantageous to use the property immediately for wire bonding applications, i.e. without delay, within a floor time of 10 days after completion of process step (3) for example. Alternatively, in order to maintain the broad wire bonding process window properties of the silver alloy copper wire and to protect the silver alloy copper wire from oxidation or other chemical attack, the finished wire is typically immediately after completion of process step (3). I.e. wound or vacuum sealed without delay, for example within 1 to 5 hours after completion of process step (3), and then stored for further use as a bonding wire. Storage under vacuum sealed conditions should not exceed 6 months. After opening the vacuum seal, the silver alloy copper wire should be used for wire bonding within 10 days.

(1) 내지 (3)의 모든 공정 단계뿐만 아니라 감기 및 진공 밀봉은 클린룸 조건(US FED STD 209E 클린룸 표준, 1k 표준)에서 실행되는 것이 바람직하다.All process steps (1) to (3) as well as winding and vacuum sealing are preferably carried out in clean room conditions (US FED STD 209E clean room standard, 1k standard).

본 발명의 제3 양태는 발명 또는 그 실시형태의 제2 양태에 따른 전술한 공정에 의해 획득될 수 있는 은 합금 구리 와이어이다. 상기 은 합금 구리 와이어는 와이어 본딩 어플리케이션에서 본딩 와이어로서 사용하기에 적합한 것으로 밝혀졌다. 와이어 본딩 기법은 당업자에게 잘 알려져 있다. 와이어 본딩 과정에서, 볼 본드(제1 본드)와 스티치 본드(제2 본드, 웨지 본드)가 형성되는 것이 전형적이다. 본드 형성 중에 스크럽 진폭(전형적으로 ㎛ 단위로 측정됨)의 인가에 의해 지원되거나 초음파 에너지(전형적으로 mA 단위로 측정됨)의 인가에 의해 지원되는 소정의 힘(전형적으로 그램 단위로 측정됨)이 인가된다. 와이어 본딩 공정에서 상기 인가된 힘의 상한과 하한간의 차와 상기 인가된 스크럽 진폭의 상한과 하한간의 차의 수학적 곱 또는 상기 인가된 힘의 상한과 하한간의 차와 상기 인가된 초음파 에너지의 상한과 하한간의 차의 수학적 곱은 와이어 본딩 공정 윈도우를 규정한다: 즉,A third aspect of the present invention is a silver alloy copper wire obtainable by the above-described process according to the second aspect of the invention or its embodiment. It has been found that the silver alloy copper wire is suitable for use as a bonding wire in wire bonding applications. Wire bonding techniques are well known to those skilled in the art. In the wire bonding process, a ball bond (first bond) and a stitch bond (second bond, wedge bond) are typically formed. During bond formation, a certain force (typically measured in grams) supported by the application of the scrub amplitude (typically measured in μm) or supported by the application of ultrasonic energy (typically measured in mA) Is authorized. In a wire bonding process, a mathematical product of the difference between the upper and lower limits of the applied force and the upper and lower limits of the applied scrub amplitude, or the difference between the upper and lower limits of the applied force and the upper and lower limits of the applied ultrasonic energy The mathematical product of the difference between defines the wire bonding process window: i.e.

(인가된 힘의 상한 - 인가된 힘의 하한) ㆍ (인가된 스크럽 진폭의 상한 - 인가된 스크럽 진폭의 하한) = 와이어 본딩 공정 윈도우.(Upper limit of applied force-Lower limit of applied force) ㆍ (Upper limit of applied scrub amplitude-Lower limit of applied scrub amplitude) = Wire bonding process window.

또는or

(인가된 힘의 상한 - 인가된 힘의 하한) ㆍ (인가된 초음파 에너지의 상한 - 인가된 초음파 에너지의 하한) = 와이어 본딩 공정 윈도우.(Upper limit of applied force-Lower limit of applied force) ㆍ (Upper limit of applied ultrasonic energy-Lower limit of applied ultrasonic energy) = Wire bonding process window.

와이어 본딩 공정 윈도우는 사양에 맞는, 즉 몇 가지만 예를 들자면 종래의 풀링 테스트(pulling test), 볼 전단 테스트 및 볼 풀링 테스트와 같은 종래의 테스트를 통과하는 와이어 본드의 형성을 가능하게 하는 힘/스크럽 진폭 조합의 영역 또는 힘/초음파 에너지 조합의 영역을 규정한다.The wire bonding process window is a force/scrub that allows the formation of a wire bond that conforms to specifications, i.e. passes conventional tests such as the conventional pulling test, ball shear test and ball pulling test to name a few. Defines the area of the amplitude combination or the force/ultrasonic energy combination.

다시 말해서, 제1 본드(볼 본드) 공정 윈도우 영역은 본딩시에 사용된 힘의 상한과 하한간의 차와 인가된 스크럽 진폭의 상한과 하한간의 차의 곱 또는 본딩시에 사용된 힘의 상한과 하한간의 차와 인가된 초음파 에너지의 상한과 하한간의 차의 곱이고, 이때 결과적인 본드는 소정의 볼 전단 테스트 사양, 예를 들면 0.0085 그램/㎛2의 볼 전단, 본드 패드에의 비교착성 없음 등을 충족해야 하며, 제2 본드(스티치 본드) 공정 윈도우 영역은 본딩시에 사용된 힘의 상한과 하한간의 차와 인가된 스크럽 진폭의 상한과 하한간의 차의 곱 또는 본딩시에 사용된 힘의 상한과 하한간의 차와 인가된 초음파 에너지의 상한과 하한간의 차의 곱이고, 이때 결과적인 본드는 소정의 풀링 테스트 사양, 예를 들면 2.5 그램의 풀링 힘, 납에의 비교착성 없음 등을 충족해야 한다.In other words, the first bond (ball bond) process window area is the product of the difference between the upper and lower limits of the force used during bonding and the difference between the upper and lower limits of the applied scrub amplitude, or the upper and lower limits of the force used during bonding. It is the product of the difference between the difference between the two and the difference between the upper and lower limits of the applied ultrasonic energy, and the resulting bond is a predetermined ball shear test specification, e.g. 0.0085 g/µm 2 ball shear, no comparative adhesion to the bond pad, etc. The second bond (stitch bond) process window area is the product of the difference between the upper and lower limits of the force used during bonding and the difference between the upper and lower limits of the applied scrub amplitude, or the upper and lower limits of the force used during bonding. It is the product of the difference between the lower limits and the difference between the upper and lower limits of the applied ultrasonic energy, and the resulting bond must meet certain pulling test specifications, e.g. 2.5 grams of pulling force, no non-adherence to lead, etc.

산업적 어플리케이션을 위하여, 와이어 본딩 공정 강건성의 이유 때문에 넓은 와이어 본딩 공정 윈도우(힘(g) 대 스크럽 진폭(㎛) 또는 힘(g) 대 초음파 에너지(mA))을 갖는 것이 바람직하다. 본 발명의 와이어는 상당히 넓은 와이어 본딩 공정 윈도우를 나타낸다.For industrial applications, it is desirable to have a wide wire bonding process window (force (g) versus scrub amplitude (µm) or force (g) versus ultrasonic energy (mA)) for reasons of wire bonding process robustness. The wires of the present invention exhibit a fairly wide wire bonding process window.

아래의 비제한적인 실시예는 본 발명을 예시한다. 이 실시예들은 발명의 예시적인 설명으로 소용되고 어떻게든 본 발명 또는 특허 청구범위의 범위를 제한하는 것으로 의도되지 않는다.The following non-limiting examples illustrate the invention. These examples serve as illustrative descriptions of the invention and are not intended to in any way limit the scope of the invention or the claims.

실시예Example

테스트 방법 A 내지 DTest methods A to D

모든 테스트 및 측정은 T=20℃ 및 상대 습도 RH=50%에서 시행되었다.All tests and measurements were conducted at T=20°C and relative humidity RH=50%.

A. 선형 차단 방법A. Linear blocking method

먼저 와이어를 콜드 마운팅 에폭시 수지를 이용하여 포팅한 다음, 표준 금속조직학(metallographic) 기법에 의해 연마(단면화)하였다. 샘플 표면에서 최소 변형 스트레인으로 샘플을 갈고 연마하기 위해 낮은 힘 및 최적 속도로 다중 예비 반자동 연마기(multi-prep semi-automatic polisher)를 사용하였다. 마지막으로, 연마된 샘플을 입자 경계를 드러내도록 염화제이철을 이용하여 화학적으로 에칭하였다. 입자 크기는 ASTM E112-12 표준에 따라서 배율이 1000인 광학 현미경으로 선형 차단 방법을 이용하여 측정하였다.First, the wire was potted using a cold mounting epoxy resin, and then polished (cross-sectioned) by a standard metallographic technique. A multi-prep semi-automatic polisher was used with low force and optimum speed to grind and polish the sample with minimal strain strain on the sample surface. Finally, the polished sample was chemically etched with ferric chloride to reveal the grain boundaries. The particle size was measured using a linear blocking method with an optical microscope having a magnification of 1000 according to ASTM E112-12 standard.

B. 볼 형상B. Ball shape

EFO(electric flame-off) 토치를 이용하여 FAB(free air ball)를 형성하였다(95/5 체적%/체적%의 질소/수소 가스 분위기에서, EFO 전류: 50mA, EFO 시간: 120㎲). 형성된 FAB를 미리 규정된 높이(203.2㎛의 첨단부)로부터 미리 규정된 속도(6.4 ㎛/초의 접촉 속도)로 본딩 패드까지 낮췄다. 본딩 패드에 접촉한 때, 일련의 규정된 본딩 파라미터(100g의 접착력, 95mA의 초음파 에너지 및 15ms의 접착 시간)를 FAB를 변형하기 위해 적용하고 접착 볼을 형성하였다. 볼을 형성한 후에, 모세관이 규정된 높이(152.4㎛의 꼬임(kink) 높이 및 254㎛의 루프 높이)까지 상승하여 루프를 형성하였다. 루프를 형성한 후에 모세관을 납까지 낮춰서 스티치를 형성하였다. 스티치를 형성한 후 와이어를 절단하여 미리 규정된 꼬리 길이를 만들기 위해(254㎛의 꼬리 길이 연장) 모세관을 상승시키고 와이어 클램프를 닫았다. 각각의 샘플에 대하여 5개의 접착된 와이어를 배율이 1000인 현미경을 이용하여 광학적으로 검사하였다. 평가: + 라운드형(round), 0 수용가능, - 꽃모양(flowery).A free air ball (FAB) was formed using an electric flame-off (EFO) torch (in a nitrogen/hydrogen gas atmosphere of 95/5% by volume/% by volume, EFO current: 50mA, EFO time: 120µs). The formed FAB was lowered from a predefined height (the tip of 203.2 μm) to the bonding pad at a predefined rate (contact speed of 6.4 μm/sec). Upon contacting the bonding pad, a set of defined bonding parameters (100 g of adhesion, 95 mA of ultrasonic energy and 15 ms of adhesion time) were applied to deform the FAB and bond balls were formed. After forming the ball, the capillary was raised to a prescribed height (a kink height of 152.4 μm and a loop height of 254 μm) to form a loop. After forming the loop, the capillary was lowered to lead to form a stitch. After forming the stitch, the wire was cut to make a predefined tail length (extending the tail length of 254 μm), the capillary was raised and the wire clamp was closed. Five bonded wires for each sample were optically examined using a microscope with a magnification of 1000. Rating: + round, 0 acceptable,-flowery.

C. 탈중심 볼(off center ball, OCB)C. Off center ball (OCB)

방법 B에서 설명한 것과 동일 방법을 적용하지만 볼의 라운드니스(roundness)를 검사하는 대신 볼의 중심성을 판단하였다. 각각의 샘플에 대하여 5개의 접착된 와이어를 광학적으로 검사하였다. 평가: + 중심맞음, 0 수용가능하게 탈중심됨, - 탈중심됨.The same method as described in Method B was applied, but instead of examining the roundness of the ball, the centrality of the ball was determined. Five bonded wires were optically inspected for each sample. Assessment: + centered, 0 acceptable decentralized,-decentralized.

D. 내식성:D. Corrosion resistance:

연속 주조 8mm 봉을 10mm 길이로 분리하고 85℃의 소금 용액에 4일 동안 담근 후 탈이온(DI)수를 이용하여 세척하고 그 다음에 아세톤으로 세척하였다. 소금 용액은 DI수에 용해된 20 중량% NaCl을 내포하였다. 봉의 표면 변색을 10 내지 100X 배율의 낮은 파워 스코프(입체경 - SZX16)로 관측하였다. 원래의 구리 담홍색으로부터 다크블랙으로 변한 봉 표면은 심각한 틈새 부식을 나타내었다. 다크블랙 표면에서의 SEM-EDX는 염소, 산소 및 구리의 피크를 나타내었다.The continuous casting 8mm rod was separated into 10mm lengths, immersed in a salt solution at 85°C for 4 days, washed with deionized (DI) water, and then washed with acetone. The salt solution contained 20% by weight NaCl dissolved in DI water. The surface discoloration of the rod was observed with a low power scope (stereoscopic-SZX16) with a magnification of 10 to 100X. The surface of the rod, which changed from the original copper pink to dark black, showed severe crevice corrosion. SEM-EDX on the dark black surface showed peaks of chlorine, oxygen and copper.

평가:evaluation:

-, 원래의 구리 담홍색으로부터 다크블랙 색으로 변한 100% 주조 봉 표면, 심각한 틈새 부식을 표시함-, 100% cast rod surface changed from original copper pink to dark black, indicating severe crevice corrosion

0, 원래의 구리 담홍색으로부터 블랙 색으로 변한 70% 미만의 주조 봉 표면, 틈새 부식을 표시함0, less than 70% of the cast rod surface, which changed from original copper pink to black, indicating crevice corrosion

+, 원래의 구리 담홍색으로부터 블랙 색으로 변한 40% 미만의 주조 봉 표면, 약한 틈새 부식을 표시함+, less than 40% of the cast rod surface, which changed from original copper pink to black, indicating weak crevice corrosion

++, 원래의 구리 담홍색으로부터 다크블랙 색으로 변한 10% 미만의 주조 봉 표면, 틈새 부식이 거의 또는 전혀 없음을 표시함++, less than 10% of the cast rod surface that changed from original copper pink to dark black, indicating little or no crevice corrosion

실시예Example

각각의 경우에 적어도 99.99% 순도("4N")의 구리(Cu) 및 합금 원소(은(Ag) 또는 니켈(Ni) 또는 금(Au) 또는 백금(Pt) 또는 팔라듐(Pd))를 약 1200℃의 진공 오븐 내 도가니에서 용해시켰다. 그 다음에 8mm 봉 형태의 와이어 코어 전구체 아이템을 용해금속으로부터 연속 주조하였다. 그 다음에 와이어 코어 전구체 아이템을 수회의 드로잉 단계에서 드로잉하여 18±0.5㎛의 특정 직경을 가진 와이어 코어 전구체를 형성하였다. 와이어 코어의 단면은 본질적으로 원형이었다.In each case at least 99.99% pure ("4N") of copper (Cu) and alloying elements (silver (Ag) or nickel (Ni) or gold (Au) or platinum (Pt) or palladium (Pd))) of about 1200 It was dissolved in a crucible in a vacuum oven at °C. The wire core precursor item in the form of an 8 mm rod was then continuously cast from molten metal. The wire core precursor item was then drawn in several drawing steps to form a wire core precursor having a specific diameter of 18±0.5 μm. The cross section of the wire core was essentially circular.

18㎛ 와이어 코어 전구체의 최종 스트랜드 어닐링을 630℃의 오븐 설정 온도에서 0.85초의 노출시간 동안 수행하고, 그 다음에 이렇게 하여 얻어진 와이어를 0.05 체적%의 계면활성제를 내포한 물에서 담금질하였다. 스트랜드 어닐링은 95 체적%의 질소 : 5 체적%의 수소 퍼징 가스 혼합물을 이용하여 수행하였다. 마지막으로, 어닐링된 와이어를 깨끗한 양극 처리된(도금된) 알루미늄 스풀에 감고 진공 포장하여 저장하였다.The final strand annealing of the 18 μm wire core precursor was performed at an oven setting temperature of 630° C. for an exposure time of 0.85 seconds, and then the wire thus obtained was quenched in water containing 0.05 vol% of surfactant. Strand annealing was carried out using a mixture of 95% by volume nitrogen: 5% by volume hydrogen purging gas. Finally, the annealed wire was wound on a clean anodized (plated) aluminum spool and stored in vacuum packaging.

대안적인 절차에서, 18㎛ 와이어 코어 전구체의 최종 스트랜드 어닐링을 550℃의 오븐 설정 온도에서 0.85초의 노출시간 동안 수행하였다. 다른 조건들은 모두 동일하게 유지하였다.In an alternative procedure, the final strand annealing of the 18 μm wire core precursor was performed at an oven set temperature of 550° C. for an exposure time of 0.85 seconds. All other conditions were kept the same.

다른 대안적인 절차에서, 18㎛ 와이어 코어 전구체의 최종 스트랜드 어닐링을 700℃의 오븐 설정 온도에서 0.85초의 노출시간 동안 수행하였다. 다른 조건들은 모두 동일하게 유지하였다.In another alternative procedure, the final strand annealing of the 18 μm wire core precursor was performed at an oven set temperature of 700° C. for an exposure time of 0.85 seconds. All other conditions were kept the same.

이러한 절차에 의해, 합금 구리 와이어의 여러 샘플 1 내지 9(본 발명 및 비교예에 따른 것) 및 4N 순도의 참조 구리 와이어(Ref)가 제조되었다.By this procedure, several samples 1 to 9 of alloy copper wires (according to the present invention and comparative examples) and a reference copper wire (Ref) of 4N purity were produced.

표 1은 본 발명에 따른 상이한 와이어 샘플 1 내지 9의 조성을 보여준다.Table 1 shows the composition of different wire samples 1 to 9 according to the invention.

중량% weight% 샘플Sample CuCu AgAg NiNi PdPd AuAu PtPt 4N Cu(Ref)
(어닐링 온도: 630℃)
4N Cu(Ref)
(Annealing temperature: 630℃)
≥99.99≥99.99
1(비교예)
(어닐링 온도: 630℃)
1 (comparative example)
(Annealing temperature: 630℃)
99.999.9 0.10.1
2(본 발명)
(어닐링 온도: 630℃)
2 (the present invention)
(Annealing temperature: 630℃)
99.599.5 0.50.5
3(비교예)
(어닐링 온도: 630℃)
3 (comparative example)
(Annealing temperature: 630℃)
99.099.0 1.01.0
4(비교예)
(어닐링 온도: 630℃)
4 (comparative example)
(Annealing temperature: 630℃)
99.099.0 1.01.0
5(비교예)
(어닐링 온도: 630℃)
5 (comparative example)
(Annealing temperature: 630℃)
99.099.0 1.01.0
6(비교예)
(어닐링 온도: 630℃)
6 (comparative example)
(Annealing temperature: 630℃)
99.099.0 1.01.0
7(비교예)
(어닐링 온도: 630℃)
7 (comparative example)
(Annealing temperature: 630℃)
99.099.0 1.01.0
8(비교예)
(어닐링 온도: 550℃)
8 (comparative example)
(Annealing temperature: 550℃)
99.599.5 0.50.5
9(비교예)
(어닐링 온도: 700℃)
9 (comparative example)
(Annealing temperature: 700℃)
99.599.5 0.50.5

구리 합금 1 내지 9의 화학적 조성Chemical composition of copper alloys 1 to 9

표 2는 Al-0.5 중량%Cu 본드 패드에 접착된 와이어 샘플 1 내지 9를 전술한 테스트 방법에 따라 테스트하여 얻어진 소정의 테스트 결과를 보여준다. 테스트는 모두 18㎛ 와이어로 실행하였다.Table 2 shows predetermined test results obtained by testing wire samples 1 to 9 adhered to an Al-0.5% by weight Cu bond pad according to the above-described test method. All tests were performed with 18 μm wire.

샘플Sample 4N Cu
(Ref)
4N Cu
(Ref)
1One 22 33 44 55 66 77 88 99
평균 와이어 입자크기[㎛](테스트 방법 A에 따른 것)Average wire particle size [㎛] (according to test method A) 44 44 2.52.5 2.52.5 3.23.2 3.53.5 3.53.5 3.53.5 0.80.8 3.53.5 평균 와이어 입자크기 표준편차[㎛](테스트 방법 A에 따른 것)Average wire particle size standard deviation [㎛] (according to test method A) 0.90.9 0.90.9 0.360.36 0.30.3 0.60.6 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.250.25 0.40.4 볼 형상(테스트 방법 B에 따른 것)Ball shape (according to test method B) -- 00 ++ ++ -- -- -- -- ++ 00 탈중심 볼(테스트 방법 C에 따른 것)Decentered ball (according to test method C) 00 ++ ++ -- 00 00 00 00 ++ 00 내식성(테스트 방법 D에 따른 것)Corrosion resistance (according to test method D) 00 ++ ++ ++++ ++ -- -- -- 00 00

와이어 샘플 1-9에 대하여 얻어진 테스트 결과Test results obtained for wire samples 1-9

Claims (14)

와이어 코어를 포함하는 은 합금 구리 와이어로서, 상기 와이어 코어 자체는,
(a) 0.3 내지 0.7 중량%의 양의 은,
(b) 99.25 내지 99.7 중량% 범위의 양의 구리, 및
(c) 필연적 불순물로서 총량으로 0 내지 500 중량ppm의 추가 성분으로 구성되며,
상기 중량% 및 중량ppm의 모든 양은 코어의 총 중량에 기초한 것이며,
상기 와이어 코어는,
(i) 평균 와이어 결정립 크기가 종방향으로 측정하였을 때, 2 내지 4㎛ 미만의 범위 내인 고유 속성과,
(ii) 종방향으로 측정한 평균 결정립 크기와 와이어 코어의 직경의 비율이 0.05 내지 0.25 범위 내인 고유 속성, 그리고
(iii) 종방향으로 측정하였을 때, 코어의 평균 결정립 크기에 대한 평균 결정립 크기의 표준 편차비(RSD)가 0.1 내지 0.3 범위 내인 고유 속성
을 특징으로 하는 것인, 은 합금 구리 와이어.
As a silver alloy copper wire comprising a wire core, the wire core itself,
(a) silver in an amount of 0.3 to 0.7% by weight,
(b) copper in an amount ranging from 99.25 to 99.7% by weight, and
(c) as an inevitable impurity, consisting of 0 to 500 ppm by weight of additional components in total,
All amounts of the above weight percent and weight ppm are based on the total weight of the core,
The wire core,
(i) intrinsic properties within the range of 2 to less than 4 μm when the average wire grain size is measured in the longitudinal direction, and
(ii) intrinsic properties in which the ratio of the average grain size measured in the longitudinal direction to the diameter of the wire core is within the range of 0.05 to 0.25, and
(iii) Intrinsic property in which the standard deviation ratio (RSD) of the average grain size to the average grain size of the core is within the range of 0.1 to 0.3 when measured in the longitudinal direction
That is, silver alloy copper wire.
제1항에 있어서, 평균 단면이 50 내지 5024㎛2 범위인 은 합금 구리 와이어.The silver alloy copper wire according to claim 1, wherein the average cross section is in the range of 50 to 5024 μm 2 . 제1항 또는 제2항에 있어서, 평균 직경이 8 내지 80㎛ 범위인 원형 단면을 갖는 은 합금 구리 와이어.The silver alloy copper wire according to claim 1 or 2, having a circular cross section with an average diameter in the range of 8 to 80 μm. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 은의 양은 0.5 중량%이고, 상기 구리의 양은 99.45 내지 99.5 중량%인 것인 은 합금 구리 와이어.The silver alloy copper wire according to claim 1 or 2, wherein the amount of silver is 0.5% by weight, and the amount of copper is 99.45 to 99.5% by weight. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 추가 성분의 양은 0 내지 100 중량ppm의 범위인 것인 은 합금 구리 와이어.The silver alloy copper wire according to claim 1 or 2, wherein the amount of the additional component is in the range of 0 to 100 ppm by weight. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 와이어 코어는 표면이 있고, 상기 표면은 외측면, 또는 와이어 코어와 이 와이어 코어에 겹쳐진 코팅층 간의 계면 영역인 것인 은 합금 구리 와이어.The silver alloy copper wire according to claim 1 or 2, wherein the wire core has a surface, and the surface is an outer surface or an interface region between the wire core and a coating layer overlaid on the wire core. 제6항에 있어서, 상기 와이어 코어에 겹쳐진 코팅층을 구비하고, 상기 코팅층은 귀금속 원소로 구성된 단일층 또는 복수의 중첩된 인접 부층(sub-layer)으로 구성된 다층이며, 각각의 부층은 다른 귀금속 원소로 구성된 것인 은 합금 구리 와이어.The method of claim 6, wherein the wire core is provided with a coating layer overlapping, wherein the coating layer is a single layer composed of a noble metal element or a multilayer composed of a plurality of overlapping adjacent sub-layers, each sub-layer being made of a different noble metal element. Consisting of a silver alloy copper wire. 삭제delete 제1항의 은 합금 구리 와이어를 제조하는 은 합금 구리 와이어의 제조 방법으로서,
(1) (a) 0.3 내지 0.7 중량% 양의 은, (b) 99.25 내지 99.7 중량% 범위의 양의 구리, 및 (c) 필연적 불순물로서 총량으로 0 내지 500 중량ppm의 추가 성분- 상기 중량% 및 중량ppm의 모든 양은 전구체 아이템의 총 중량에 기초한 것임 -으로 구성된 전구체 아이템을 마련하는 단계;
(2) 와이어 코어의 원하는 최종 직경이 획득될 때까지 와이어 전구체를 형성하도록 상기 전구체 아이템을 신장하는 단계; 및
(3) 은 합금 구리 와이어를 형성하기 위해, 상기 공정 단계 (2)의 완료 후에 획득된 와이어 전구체를 0.1 내지 3초 범위의 노출시간 동안 600 내지 680℃ 범위의 오븐 설정 온도에서 최종적으로 스트랜드 어닐링하는 단계
를 적어도 포함하며,
상기 와이어 코어는,
(i) 평균 와이어 결정립 크기가 종방향으로 측정하였을 때, 2 내지 4㎛ 미만의 범위 내인 고유 속성과,
(ii) 종방향으로 측정한 평균 결정립 크기와 와이어 코어의 직경의 비율이 0.05 내지 0.25 범위 내인 고유 속성, 그리고
(iii) 종방향으로 측정하였을 때, 코어의 평균 결정립 크기에 대한 평균 결정립 크기의 표준 편차비(RSD)가 0.1 내지 0.3 범위 내인 고유 속성
을 특징으로 하는 것인, 은 합금 구리 와이어의 제조 방법.
As a manufacturing method of a silver alloy copper wire for manufacturing the silver alloy copper wire of claim 1,
(1) (a) silver in an amount of 0.3 to 0.7% by weight, (b) copper in an amount in the range of 99.25 to 99.7% by weight, and (c) an additional component of 0 to 500 ppm by weight in total as an inevitable impurity-the% by weight And all amounts in ppm by weight are based on the total weight of the precursor item.
(2) stretching the precursor item to form a wire precursor until a desired final diameter of the wire core is obtained; And
(3) In order to form a silver alloy copper wire, the wire precursor obtained after completion of the process step (2) is finally strand annealed at an oven set temperature in the range of 600 to 680°C for an exposure time in the range of 0.1 to 3 seconds. step
Contains at least,
The wire core,
(i) intrinsic properties within the range of 2 to less than 4 μm when the average wire grain size is measured in the longitudinal direction, and
(ii) intrinsic properties in which the ratio of the average grain size measured in the longitudinal direction to the diameter of the wire core is within the range of 0.05 to 0.25, and
(iii) Intrinsic property in which the standard deviation ratio (RSD) of the average grain size to the average grain size of the core is within the range of 0.1 to 0.3 when measured in the longitudinal direction.
It characterized in that, the method of manufacturing a silver alloy copper wire.
제9항에 있어서, 상기 단계 (2)는 임의의 중간 어닐링 부단계(sub-step)를 포함하지 않는 것인 은 합금 구리 와이어의 제조 방법.10. The method of claim 9, wherein step (2) does not include any intermediate annealing sub-steps. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 최종 스트랜드 어닐링은 0.1 내지 1.5초 범위의 노출시간 동안 610 내지 650℃ 범위의 오븐 설정 온도에서 수행되는 것인 은 합금 구리 와이어의 제조 방법.The method of claim 9 or 10, wherein the final strand annealing is performed at an oven set temperature in the range of 610 to 650°C for an exposure time in the range of 0.1 to 1.5 seconds. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 최종적으로 스트랜드 어닐링된 은 합금 구리 와이어는 하나 이상의 첨가제를 함유할 수 있는 물에서 담금질되는 것인 은 합금 구리 와이어의 제조 방법.The method of claim 9 or 10, wherein the finally strand annealed silver alloy copper wire is quenched in water which may contain one or more additives. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 공정 단계 (3)의 최종 스트랜드 어닐링은 불활성 또는 환원 분위기에서 수행되는 것인 은 합금 구리 와이어의 제조 방법.The method according to claim 9 or 10, wherein the final strand annealing in the process step (3) is performed in an inert or reducing atmosphere. 제9항 또는 제10항의 방법에 의해 획득 가능한 은 합금 구리 와이어.A silver alloy copper wire obtainable by the method of claim 9 or 10.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102474539B1 (en) * 2014-12-05 2022-12-06 후루카와 덴키 고교 가부시키가이샤 Aluminum alloy wire rod, aluminum alloy stranded conductor, covered conductor, and wire harness, and method for manufacturing aluminum alloy wire rod
CN109390309A (en) * 2018-09-28 2019-02-26 汕头市骏码凯撒有限公司 A kind of coated copper alloy wire in surface and its manufacturing method
TWI726836B (en) * 2020-12-31 2021-05-01 大陸商汕頭市駿碼凱撒有限公司 Copper microalloy wire and manufacturing method thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010177056A (en) * 2009-01-29 2010-08-12 Sumitomo Electric Ind Ltd Method for manufacturing cu-ag alloy wire, and cu-ag alloy wire
JP2012172174A (en) 2011-02-18 2012-09-10 Sumitomo Electric Ind Ltd Method for manufacturing high-conductivity and high-strength trolley wire, and high-conductivity and high-strength trolley wire
WO2014178792A1 (en) * 2013-05-03 2014-11-06 Heraeus Materials Singapore Pte., Ltd. Copper bond wire and method of making the same
WO2015034071A1 (en) * 2013-09-06 2015-03-12 古河電気工業株式会社 Copper alloy wire material and method for producing same

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03230415A (en) * 1990-02-01 1991-10-14 Fujikura Ltd Copper alloy wire rod
US5106701A (en) * 1990-02-01 1992-04-21 Fujikura Ltd. Copper alloy wire, and insulated electric wires and multiple core parallel bonded wires made of the same
JPH04341708A (en) * 1990-11-30 1992-11-27 Fujikura Ltd Extra fine multicore parallel bonded wire
JP4886899B2 (en) * 2009-03-17 2012-02-29 新日鉄マテリアルズ株式会社 Bonding wire for semiconductor
RU2546651C2 (en) * 2010-01-29 2015-04-10 МОНОСОЛ, ЭлЭлСи Water-soluble film with improved solubility and improved mechanical properties, as well as packets, produced from it
JP5550369B2 (en) * 2010-02-03 2014-07-16 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 Copper bonding wire for semiconductor and its bonding structure
TW201205695A (en) * 2010-07-16 2012-02-01 Nippon Steel Materials Co Ltd Bonding wire for semiconductor
WO2014007259A1 (en) * 2012-07-02 2014-01-09 古河電気工業株式会社 Copper-alloy wire rod and manufacturing method therefor
TW201614748A (en) * 2013-01-23 2016-04-16 Heraeus Materials Tech Gmbh Coated wire for bonding applications, method for manufacturing the same, and application thereof in an electronic device
JP6155923B2 (en) * 2013-07-16 2017-07-05 住友電気工業株式会社 Method for producing copper-silver alloy wire
SG10201408586XA (en) * 2014-12-22 2016-07-28 Heraeus Materials Singapore Pte Ltd Corrosion and moisture resistant bonding wire
CN104498780B (en) * 2014-12-30 2016-06-15 高邮市鼎天高分子材料有限公司 A kind of high conductivity high strength copper-clad aluminum alloy

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010177056A (en) * 2009-01-29 2010-08-12 Sumitomo Electric Ind Ltd Method for manufacturing cu-ag alloy wire, and cu-ag alloy wire
JP2012172174A (en) 2011-02-18 2012-09-10 Sumitomo Electric Ind Ltd Method for manufacturing high-conductivity and high-strength trolley wire, and high-conductivity and high-strength trolley wire
WO2014178792A1 (en) * 2013-05-03 2014-11-06 Heraeus Materials Singapore Pte., Ltd. Copper bond wire and method of making the same
WO2015034071A1 (en) * 2013-09-06 2015-03-12 古河電気工業株式会社 Copper alloy wire material and method for producing same

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