KR102213085B1 - 검사용 콘택터 - Google Patents

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KR102213085B1
KR102213085B1 KR1020200029242A KR20200029242A KR102213085B1 KR 102213085 B1 KR102213085 B1 KR 102213085B1 KR 1020200029242 A KR1020200029242 A KR 1020200029242A KR 20200029242 A KR20200029242 A KR 20200029242A KR 102213085 B1 KR102213085 B1 KR 102213085B1
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김종원
유은지
김형준
조성훈
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주식회사 아이에스시
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Abstract

본 발명은 검사용 콘택터에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 대상물과 검사장치의 사이에 배치되며 피검사 대상물의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 콘택터에 있어서, 상하방향으로 연장되는 코일 스프링; 상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링에서 상측으로 돌출되어 있어 피검사 대상물의 단자와 접촉되고 하측은 상기 코일 스프링의 내부에 위치하는 단자접촉부; 상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치하고 하측은 상기 코일 스프링에서 하측으로 돌출되어 검사장치의 패드에 접촉될 수 있는 패드접촉부; 및 상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 단자접촉부에 결합되고, 하측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 패드 접촉부에 접촉된 상태를 유지하면서 슬라이드 이동가능하되, 상기 패드접촉부에 대하여 분리불가능하게 연결된 중간접촉부;를 포함하는 검사용 콘택터에 대한 것이다.

Description

검사용 콘택터{Contactor for electrical test}
본 발명은 피검사 대상물과 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 대상물에 대한 전기적 검사를 수행하게 하는 검사용 콘택터에 대한 것이다.
반도체 디바이스는 완성된 후, 정상적인 동작의 유무 또는 신뢰성을 확인하기 위해 전기적인 검사를 진행한다. 이러한 전기적인 검사에서는 피검사 대상물인 반도체 디바이스를 검사장치에 직접 접촉시키는 것이 아니라 그 사이에 검사용 콘택터를 사이에 두고 전기적 접속을 실시한다.
구체적으로 검사용 콘택터를 검사장치의 상측에 장착한 후에, 반도체 디바이스를 검사용 콘택터의 상측에서 가압하여 누름으로서 전기적 접속을 가능하게 하고 검사장치에서 소정의 전기적 신호를 인가하면서 소정의 전기적 검사를 수행하게 되는 것이다.
이러한 검사용 콘택터는 스프링을 마련하고 있어서 반도체 디바이스가 접촉되는 과정에서 발생되는 충격을 흡수함은 물론 다수의 단자들이 검사용 콘택터에 확실하게 접촉될 수 있게 한다.
이러한 검사용 콘택터의 일예로서는 대한민국 등록특허 제10-0584225호에 개시된 "전기장치용 콘택터"가 알려져 있다.
상기 종래기술에 따른 콘택터는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상부 접촉 핀(110), 하부 접촉 핀(130), 그리고 상기 상부 접촉 핀과 하부 접촉 핀 사이에 삽입되는 스프링(190)을 포함한다.
상기 상부 접촉 핀(110)은 접촉부(111)와, 두개의 고정 돌기(112, 113)와, 몸체(118)로 구성된다. 상기 몸체(118)는 단부에 경사면(122)과 걸림 돌기(121)가 형성된 서로 대칭하는 두개의 탄성 부(119)를 가지고, 상기 두 탄성부의 내측에는 두 접촉 핀들에 상호 유동 공간을 제공하는 도피 홈(120)이 형성되어 있으며, 타 접촉 핀(130)의 걸림 돌기를 수용 걸림 및 유동하도록 하고, 상기 타 접촉 핀(130)의 걸림 돌기 및 측면 접촉부와 전기적으로 안정적으로 접촉하도록 형성된 유동 홈(116)으로 구성된다.
이러한 콘택터는, 다음과 같은 도 4에 도시된 바와 같이 결합된다. 구체적으로 일 측 접촉 핀의 두 걸림 돌기는 타 측 접촉 핀의 유동 홈의 일단에 형성된 걸림 턱(117)에 걸려서 상호 결합 후에는 상호 이탈을 방지하고 있다. 즉 접촉 핀의 두 걸림 돌기는 타 측 접촉 핀의 유동 홈의 일단에 형성된 걸림 턱(117)에 걸려서 상호 결합 후에는 상호 이탈을 방지하고 있다.
이러한 종래기술에 따른 콘택터는 다음과 같은 단점을 가진다.
종래의 콘택터는 상부 접촉 핀(110)의 하단이 절개되어 있어서 반복작동시 두개의 탄성 부(119) 사이의 폭이 벌어지면서 걸림 돌기(121)이 하부 접촉 핀(130)의 걸림 턱에 걸리지 못하고 빠져나와버리는 되어 내구성면에서 문제가 있다.
또한 반복작동과정에서 걸림 돌기(121)이 하부 접촉 핀(130)의 걸림 턱에 반복접촉되면서 마모가 되면 하부 접촉 핀(130)의 걸림 턱에 걸리지 못하고 빠져나와버리게 되는 경우가 있게 된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 반복적인 검사과정에서도 내구성이 저하되지 않는 검사용 콘택터를 제공하는 것을 기술적 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 콘택터는, 피검사 대상물과 검사장치의 사이에 배치되며 피검사 대상물의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 콘택터에 있어서,
상하방향으로 연장되는 코일 스프링;
상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링에서 상측으로 돌출되어 있어 피검사 대상물의 단자와 접촉되고 하측은 상기 코일 스프링의 내부에 위치하는 단자접촉부;
상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치하고 하측은 상기 코일 스프링에서 하측으로 돌출되어 검사장치의 패드에 접촉될 수 있는 패드접촉부; 및
상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 단자접촉부에 결합되고,
하측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 패드 접촉부에 접촉된 상태를 유지하면서 슬라이드 이동가능하되, 상기 패드접촉부에 대하여 분리불가능하게 연결된 중간접촉부;를 포함한다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 중간접촉부는 걸림수단에 의하여 걸림결합될 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 중간접촉부는, 상하방향으로 연장되고 수평방향으로 서로 이격된 한 쌍의 중간판부를 포함하되,
상기 중간판부의 하부는 서로 연결되어 접속부를 형성하고, 상기 중간판부의 상부는 서로 이격되어 개방홈를 형성하고, 상기 단자접촉부는 상기 개방홈를 통해서 분리될 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 중간판부의 사이에 상기 단자접촉부가 끼워져 삽입되고, 상기 코일 스프링이 상기 한 쌍의 중간판부의 외부에 위치하여 상기 단자접촉부가 중간판부로부터 분리되지 않게 할 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 걸림수단은,
상기 단자접촉부에서 상기 중간판부와 마주보는 외면에 배치된 걸림턱과, 상기 중간판부에 마련되며 상기 걸림턱에 걸어맞추어지는 걸림부를 포함하되,
한 쌍의 중간판부는 상기 걸림턱이 걸림부로부터 분리될 수 있게 서로 간의 간격이 이격된 제1위치와, 제1위치보다 중간판부의 간격이 좁아지며 상기 걸림턱이 걸림부로부터 이탈되지 않게 결합하는 제2위치 사이를 이동가능하며,
상기 중간판부는 상기 코일 스프링 내부에서 상기 제2위치를 유지할 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 중간판부의 상부에는 코일 스프링의 상단을 지지하기 위하여 중간판부의 상부 외측면에서 돌출된 상부 스프링 걸림턱이 마련될 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 상부 스프링 걸림턱의 하측에는 코일 스프링이 고정될 수 있도록 중간판부의 측면에서 돌출된 스프링 고정부가 마련될 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 중간판부의 단부에는 끝단에서 하방향으로 갈수록 서로 간의 이격거리가 감소되는 가이드면이 마련되어 있어서, 상기 단자접촉부가 용이하게 삽입될 수 있게 할 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 단자접촉부의 하단에는 개방홈에 쉽게 삽입될 수 있도록 테이퍼부가 마련될 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 단자접촉부는,
상기 중간판부의 사이에 삽입되는 삽입체와, 상기 삽입체의 상단에 배치되며 삽입체보다 큰 외경을 가지는 대경체와, 상기 대경체에서 상측으로 연장되고 상단이 피검사체의 단자와 접촉되는 탐침부를 포함할 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 삽입체는,
상기 중간판부와 대면하는 한 쌍의 제1측면과, 상기 제1측면 사이에 위치하며 스프링 코일과 대면하는 제2측면을 가질 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 제2측면은 코일 스프링과 대응되는 곡면형상을 가질 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 패드접촉부에는,
상기 접속부가 내부에 삽입되어 슬라이드 가능하게 중간접촉부의 이동방향을 가이드하는 가이드홈이 길이방향을 따라서 길게 연장형성될 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 가이드홈은 둘레가 막힌 구멍형상을 가질 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 상기 검사용 콘택터는, 피검사 대상물과 검사장치의 사이에 배치되며 피검사 대상물의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 콘택터에 있어서,
상하방향으로 연장되는 코일 스프링;
상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링에서 돌출되어 있어 피검사 대상물의 단자와 접촉되고 하측은 상기 코일 스프링의 내부에 위치하는 단자접촉부;
상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치하고 하측은 상기 검사장치의 패드에 접촉될 수 있으며 가이드홈이 길이방향을 따라 마련되어 있는 패드접촉부; 및
상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 단자접촉부에 결합되고, 하측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 가이드홈에 삽입되어 슬라이드 이동가능한 중간접촉부;를 포함한다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 중간접촉부는 상측이 개구된 "U"형상을 가질 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 단자접촉부는,
상기 중간접촉부의 개구된 상측을 통해서 삽입되는 삽입체와, 상기 삽입체의 상단에 배치되며 삽입체보다 큰 외경을 가지는 대경체와, 상기 대경체에서 상측으로 연장되고 상단이 피검사 대상물의 단자와 접촉되는 탐침부를 포함할 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 삽입체에는, 중간접촉부를 향하여 돌출된 걸림턱이 형성되고,
상기 중간접촉부에는 상기 걸림턱에 걸어맞추어지는 걸림부가 형성되어, 상기 걸림턱이 걸림부에 걸어맞추어짐으로서 상기 중간접촉부가 단자접촉부에 결합될 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 걸림턱의 하단은 상기 걸림부에 쉽게 결합되도록 테이퍼질 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 걸림턱에 걸림부가 결합될 때, 상기 중간접촉부의 상단은 상기 대경체의 하단에 접촉될 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 중간접촉부는, 상기 가이드홈 내에 삽입되어 슬라이드 이동하는 접속부와, 상기 접촉부의 양측에서 상방향으로 연장되며 중간판부를 포함하되,
상기 한 쌍의 중간판부의 상하방향 길이는 서로 달라서 어느 하나의 중간판부는 상기 대경체의 하단에 접촉되고 다른 중간판부는 상기 대경체의 하단에서 이격될 수 있다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 코일 스프링에서, 상부에서의 피치가 P1이고, 중앙부에서의 피치를 P2라고 하였을 때, P1 < P2 일 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 콘택터는, 피검사 대상물과 검사장치의 사이에 배치되며 피검사 대상물의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 콘택터에 있어서,
상하방향으로 연장되는 코일 스프링;
상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링에서 돌출되어 있어 피검사 대상물의 단자와 접촉되고 하측은 상기 코일 스프링의 내부에 위치하는 단자접촉부;
상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치하고 하측은 상기 검사장치의 패드에 접촉될 수 있으며 가이드홈이 길이방향을 따라 마련되어 있는 패드접촉부; 및
상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 단자접촉부에 결합되고, 하측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 가이드홈에 삽입되어 슬라이드 이동가능한 중간접촉부;를 포함하되,
상기 가이드홈의 상부는 막혀 있으며, 상기 가이드홈의 하부는 절개되어 있어서 패드접촉부의 하단은 복수의 점접으로 검사장치의 패드에 접촉된다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 콘택터는, 피검사 대상물과 검사장치의 사이에 배치되며 피검사 대상물의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 콘택터에 있어서,
축심을 따라서 상하방향으로 연장되는 코일 스프링;
상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링에서 돌출되어 있어 피검사 대상물의 단자와 접촉되고 하측은 상기 코일 스프링의 내부에 위치하는 단자접촉부;
상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치하고 하측은 상기 검사장치의 패드에 접촉될 수 있으며 가이드홈이 길이방향을 따라 마련되어 있는 패드접촉부; 및
상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 단자접촉부에 결합되고, 하측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 가이드홈에 삽입되어 슬라이드 이동가능한 중간접촉부;를 포함하되,
상기 패드접촉부는, 하부는 축심을 기준으로 비대칭적인 형상을 가지고 있어서 피검사 대상물의 가압에 의하여 선단을 중심으로 회전력이 발생된다.
상기 검사용 콘택터에서,
상기 패드접촉부에서 검사장치의 패드와 접촉되는 하단은, 축심에서 벗어난 위치에 놓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 중간접촉부와 패드접촉부는 검사과정에서 서로 분리불가능하게 연결되어 있어서 반복적인 작동시에도 내구성이 저하되는 일이 없다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 단자접촉부와 중간접촉부는 검사과정에서 코일 스프링에 의하여 결합된 상태가 유지되므로 반복적인 작동시에도 내구성이 저하되는 일이 없게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 코일 스프링만 압축하거나 분리해내면 단자접촉를 중간접촉부에서 제거할 수 있으므로 빈번한 검사후에 단자접촉부의 오염, 마모, 손상, 훼손 등이 발생하는 경우 단자접촉부만을 교체할 수 있어서 비용이 절약될 수 있게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 중간접촉부를 구성하는 중간판부의 길이를 서로 다르게 함으로서 검사과정에서 편심에 의한 회전력이 발생하여 단자접촉부와 중간접촉부의 접촉저항이 감소될 수 있게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 패드접촉부의 가이드 홈에 하부를 절개함으로서 복수의 접점을 가지면서 검사장치의 패드에 접촉할 수 있어서 전기적 접속능력이 향상될 수 있게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 패드접촉부의 하단부는 축심에서 벗어난 위치에서 검사장치의 패드와 접촉되도록 구성되어 있어서 패드접촉부와 중간접촉부 간의 접촉력이 증가되어 접촉저항이 감소될 수 있게 된다.
도 1은 종래의 검사용 콘택터의 결합사시도.
도 2는 도 1의 검사용 콘택터의 분리사시도.
도 3은 도 1의 검사용 콘택터에서 상부 접촉 핀을 나타내는 정면도.
도 4는 도 1의 검사용 콘택터에서 상부 접촉 핀과 하부 접촉핀이 서로 결합된 모습을 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 콘택터의 사시도.
도 6은 도 5에 도시된 검사용 콘택터의 분리사시도.
도 7은 도 5에 도시된 단자접촉부와 중간접촉부의 결합도면.
도 8은 도 5에 도시된 중간접촉부와 패드접촉부의 결합모습을 나타내는 평면도.
도 9는 도 8의 측면도.
도 10은 도 5의 검사용 콘택터의 정면도.
도 11은 도 5의 검사용 콘택터를 조립하는 일예를 나타내는 도면.
도 12 및 도 13는 도 5의 검사용 콘택터를 이용하여 전기적 검사를 실시하는 모습을 나타내는 도면.
도 14은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 콘택터의 분리도면.
도 15는 도 14에 도시된 단자접촉부를 아래에서 위를 향하여 바라본 모습을 나타내는 도면.
도 16는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 콘택터의 도면.
도 17은 도 16의 콘택터의 작동모습을 나타내는 도면.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 콘택터를 나타내는 도면.
도 19은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 콘택터를 나타내는 도면.
도 20는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 콘택터를 나타내는 도면.
본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.
본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.
본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.
본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.
본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.
본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.
본 개시에서 사용되는 "상방"의 방향지시어는 검사용 콘택터가 검사 장치에 대해 위치하는 방향에 근거하고, "하방"의 방향지시어는 상방의 반대 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "상하 방향"의 방향지시어는 상방 및 하방을 포함한다.
본 개시에서 사용되는 "축심" 방향은 단자접촉부, 패드접촉부, 중간접촉부를 조립하였을 때 그 조립체의 중심선을 지나는 방향을 의미한다.
본 개시에서 사용되는 "분리불가능"의 용어는 패드접촉부(130)과 중간접촉부(140)을 파손하지 않고는 상기 패드접촉부(130)로부터 중간접촉부(140)가 서로 멀어지는 방향, 예를 들어 중간접촉부의 접속부가 패드접촉부의 가이드홈에 삽입된 상태에서 중간접촉부와 패드접촉부를 서로 반대방향(ex, 중간접촉부는 상측으로, 패드접촉부는 하측으로 이동)으로 이동시 중간접촉부의 접속부가 패드접촉부의 가이드홈에서 분리되지 않는 것을 의미한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 실시예들을 설명한다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.
이하에 설명되는 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예들을, 피검사 대상물인 반도체 디바이스의 검사에 사용되는 검사용 콘택터와, 이러한 검사용 콘택터를 구성하는 단자접촉부, 중간접촉부 및 패드접촉부에 관련된다. 실시예들에 따른 검사용 콘택터는, 반도체 디바이스의 제조 공정 중 후공정에서, 반도체 디바이스를 최종적으로 검사하기 위해 사용될 수 있다. 그러나, 실시예들에 따른 검사용 콘택터가 적용되는 검사의 예가 전술한 예에 한정되지는 않는다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 콘택터는 도 5 내지 도 12을 참조로 하는 제1실시형태와, 도 13 및 도 14을 참조로 하는 제2실시형태와, 도 15 및 도 16을 참조로 하는 제3실시형태와, 도 17을 참조로 하는 제4실시형태와, 도 18을 참조로 하는 제5실시형태와, 도 19를 참조로 하는 제6실시형태로 구성되며, 각 실시형태에 따른 검사용 콘택터에 대하여 순서대로 설명하겠다.
먼저, 제1실시형태에 따른 검사용 콘택터(100)는, 피검사 대상물(160)과 검사장치(170)의 사이에 배치되며 피검사 대상물(160)의 단자(161)와 검사장치(170)의 패드(171)를 서로 전기적으로 접속시키는 것이다.
이러한 검사용 콘택터(100)는, 코일 스프링(110), 단자접촉부(120), 패드접촉부(130) 및 중간접촉부(140)를 포함하여 구성된다.
상기 코일 스프링(110)은, 소선이 코일 형태로 감긴 것으로서 예를 들면 탄소강 또는 스테인리스강으로 형성되어 있게 된다. 이러한 코일 스프링(110)은, 상하방향으로 연장되는 것으로서, 단자접촉부(120), 패드접촉부(130), 중간접촉부(140)를 조립하였을 때 압축되고, 그 스프링력으로 단자접촉부(120), 패드접촉부(130), 중간접촉부(140)를 축심방향으로 가세할 수 있는 길이 치수를 가지게 된다.
상기 코일 스프링(110) 내부에는 단자접촉부(120)의 하부와, 패드접촉부(130)의 상부와, 상기 단자접촉부(120)의 하부와 패드접촉부(130)의 상부에 연결되는 중간접촉부(140)가 위치하게 된다.
상기 단자접촉부(120)는, 상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링(110)에서 상측으로 돌출되어 있어 피검사 대상물(160)의 단자(161)와 접촉되고 하측은 상기 코일 스프링(110)의 내부에 위치하는 것이다.
이러한 단자접촉부(120)는 전체적으로 봉재를 가공하여 제작된 것으로서, 상단이 피검사체와 접촉되는 탐침부(121)와, 상기 탐침부(121)의 하측에 배치되며 탐침부(121)보다 큰 외경을 가지는 대경체(122)와, 상기 대경체(122)의 하부에 배치되는 삽입체(123)를 포함하여 구성된다.
상기 탐침부(121)는, 상단이 뾰족한 산형을 가지고 있어서 피검사 대상물(160)의 단자(161)와 접촉성능을 좋게 한다.
상기 대경체(122)는, 상기 탐침부(121)의 하측에 배치되는 것으로서 상기 탐침부(121)와 삽입체(123)보다 큰 외경을 가지는 기둥형상을 가지고 있게 된다. 또한 상기 대경체(122)의 외경은 하우징(150)의 상부관통공(1511)보다 크게 형성되어서 상기 대경체(122)가 상기 상부관통공(1511) 주변부에 걸려서 외부로 빠지지 않게 한다.
또한, 상기 대경체(122)의 하면은 중간접촉부(140)의 중간판부(141) 상단에 접촉되어 단자접촉부(120)가 하강시 상기 중간접촉부(140)를 하측으로 가압하게 되는 것이다.
상기 삽입체(123)는, 상기 대경체(122)의 하면 중앙에서 하측으로 연장되는 것으로서 한 쌍의 중간판부(141) 사이에 삽입된다.
이러한 삽입체(123)에서 상단과 하단 사이의 중앙부분에는 외측으로 돌출된 걸림턱(1231)이 형성되어 있게 된다. 구체적으로 걸림턱(1231)은 중간판부(141)와 마주보는 삽입체(123)의 외측면에서 돌출되어 형성되어 있게 되며 중간판부(141)를 향하여 돌출되어 있게 된다.
상기 걸림턱(1231)의 상단은 축심과 직각인 방향으로 연장되어 있으며, 이에 따라서 단자접촉부의 이탈이 확실하게 방지된다. 즉, 걸림턱(1231)이 걸림부(1412)에 걸어맞추어진 후에는 걸림턱(1231)의 상면과 걸림부(1412)의 하면이 축심에 대하여 직각으로 면접촉하고 있어서 중간판부(141)를 벌리지 않고는 삽입체(123)가 중간판부(141)에서 빠지지 않게 된다.
다만 이에 한정되는 것은 아니며, 걸림턱(1231)의 상단이 테이퍼진 형태로 돌출된 것도 가능하며, 이 경우 분해조립시 단자접촉부의 분리가 용이하다는 장점이 있다.
한편, 상기 걸림턱(1231)은 위와 같은 형상으로 이루어지는 것에 한정되는 것이 아니라 걸림턱(1231)이 내측으로 들어간 홈일 수 있으며, 걸림부(1412)가 상기 홈 형태의 걸림턱(1231) 내부에 삽입되는 돌출형상을 가지는 것이 가능하며, 기타 다양한 결합구조가 가능하다.
또한 걸림턱(1231)의 상단과 걸림부(1412)가 각각 경사진 테이퍼 형상을 가지게 할 수 있는데, 이 경우 단자접촉부(120)을 용이하게 교체할 수 있다.
상기 삽입체(123)의 하단에는 한 쌍의 중간판부(141) 사이에 형성된 이격공간인 개방홈(1411)에 용이하게 삽입될 수 있도록 테이퍼부(1232)가 마련되어 있다. 이러한 테이퍼부(1232)는 하측으로 갈수록 내측으로 경사지도록 형성되어 있어서 중간판부(141)의 사이의 개방홈(1411)가 협소해도 개방홈(1411)를 통하여 쉽게 삽입될 수 있게 된다.
상기 패드접촉부(130)는, 상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링(110) 내부에 위치하고 하측은 상기 코일 스프링(110)에서 하측으로 돌출되어 검사장치(170)의 패드(171)에 접촉될 수 있는 것이다.
상기 패드접촉부(130)는, 상하방향으로 길게 연장되고 폭이 좁은 판의 형상을 가지고 있으며, 패드접촉부(130)의 내부에는 길이방향을 따라서 연장된 가이드홈(131)이 마련되어 있게 된다. 상기 가이드홈(131)은 중간접촉부(140)의 접속부(142)가 내부에 삽입되어 슬라이드 이동하는 것으로서 막힌 구멍형상을 가지게 된다. 가이드홈(131)의 폭은 그 내부에 삽입되는 중간접촉부(140)의 두께보다 다소 큰 것이 좋다. 가이드홈(131)의 상하방향 길이는 피검사 대상물(160)에 의하여 중간접촉부(140)가 하강하였을 때 상기 중간접촉부(140)의 최대하강길이보다 다소 긴 것이 좋다. 즉, 피검사 대상물(160)에 의하여 중간접촉부(140)의 최대 상하스트로크 길이보다 가이드홈(131)의 상하방향 길이가 다소 긴 것이 좋다.
상기 패드접촉부(130)의 하부에는 상하방향과 수직인 외측방향으로 돌출된 하부 스프링 걸림턱(132)이 형성되어 있으며 상기 하부 스프링 걸림턱(132)은 코일 스프링(110)의 내경보다 크게 돌출되어 있어서 코일 스프링(110)의 하단이 상기 하부 스프링 걸림턱(132)에 걸려 빠지지 않게 한다.
상기 패드접촉부(130)의 하단은 검사장치(170)의 패드(171)와 접촉되는 부분으로서 상기 패드접촉부(130)의 하단이 검사장치(170)의 패드(171)에 접촉되어 전기적 신호가 패드(171)를 통하여 전달된다.
상기 중간접촉부(140)는, 상측은 상기 코일 스프링(110) 내부에 위치된 상태에서 상기 단자접촉부(120)에 결합되는 고정부이며, 하측은 상기 코일 스프링(110) 내부에 위치된 상태에서 상기 패드접촉부(130)에 접촉된 상태를 유지하면서 슬라이드 이동가능한 작동부로서, 상기 패드접촉부(130)에 대하여 분리불가능하게 연결된 것이다. 이러한 중간접촉부(140)는 전체적으로 상측이 개구된 "U" 자 형상을 가지고 있게 된다.
이러한 중간접촉부(140)는, 상하방향으로 연장되고 수평방향으로 서로 이격된 한 쌍의 중간판부(141)와, 상기 중간판부(141)의 하부를 연결하는 접속부(142)를 포함하여 구성된다.
한 쌍의 중간판부(141)는 하단이 접속부(142)에 의하여 연결된 상태에서 탄성적으로 서로 멀어지는 방향과 근접하는 방향으로 이동가능하게 구성되며 상기 한 쌍의 중간판부(141)가 벌어지면 서로 근접한 방향으로 이동하도록 바이어스 되도록 구성되어 있게 된다. 이러한 각각의 중간판부(141)는 얇은 사각막대형상을 가지고 있다.
한 쌍의 중간판부(141)의 상부는 상측으로 개방되어 개방홈(1411)를 형성하고 단자접촉부(120)는 개방홈(1411)를 통하여 삽입되거나 분리될 수 있도록 구성된다.
각각의 중간판부(141)의 상하방향 길이는 동일하며 검사용 콘택터(100)가 조립되었을 때 중간판부(141)의 상단이 대경체(122)의 하면에 접촉되도록 구성된다. 피검사 대상물(160)이 단자접촉부(120)를 가압하면 상기 단자접촉부(120)는 하강하게 되며, 이에 따라서 대경체(122)에 접촉된 중간판부(141)도 단자접촉부(120)와 함께 하강하게 된다.
한편, 중간판부(141)의 상부 내측면에는 내측으로 들어간 걸림부(1412)가 마련된다. 이때, 걸림부(1412)는 걸림턱(1231)과 함께 중간접촉부(140)가 단자접촉부(120)에 걸림결합될 수 있게 하는 것이다. 단자접촉부(120)의 삽입체(123)가 중간판부(141)의 개방홈(1411)를 통해서 삽입되어 걸림턱(1231)이 걸림부(1412)에 접촉하는 과정에서 한 쌍의 중간판부(141)를 벌어지면서 삽입체(123)가 중간판부(141) 사이에 삽입되는 것을 허용하고, 걸림턱(1231)이 걸림부(1412)를 통과한 후에는 상기 중간판부(141)가 탄성력에 의하여 복원되면서 걸림턱(1231)이 걸림부(1412)에 걸려서 삽입체(123)가 중간판부(141)의 개방홈(1411)를 통해서 빠져나가는 것이 방지된다.
상기 걸림부(1412)의 하측에는 걸림부(1412)를 통과한 걸림턱(1231)이 수용될 수 있는 수용부(1413)가 마련된다. 이러한 수용부(1413)은 걸림부(1412)와 연결되어 있으며 상기 걸림턱(1231)보다 다소 큰 크기를 공간을 가지도록 구성된다. 상기 수용부(1413)의 좌우방향 폭은 상기 걸림턱(1231)의 돌출높이와 동등하고, 상기 수용부(1413)의 상하방향 길이는 걸림턱(1231)의 길이보다 다소 긴 것이 좋은데, 그 이유는 중간접촉부(140)가 축심에서 벗어난 방향으로 다소 경사지게 이동하는 경우에도 수용부(1413)에 다소 여유공간이 있어서 중간판부(141)가 크게 벌어지지 않도록 하기 위함이다.
한편, 단자접촉부(120)와 중간접촉부(140)를 조립한 후에, 이 조립체를 코일 스프링(110) 내에 삽입하면, 코일 스프링(110)은 한 쌍의 중간판부(141)가 벌어지지 않도록 압박함으로서 걸림턱(1231)은 수용부(1413) 내에 수용된 상태에서 걸림부(1412)와 걸어맞추어진 상태를 유지하게 하고, 이에 따라서 단자접촉부(120)가 중간조립체에서 분리되는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 단자접촉부(120)를 중간접촉부(140)로부터 분리하기 위해서는 코일 스프링(110)을 충분하게 압축하여 중간판부(141)이 벌어질 수 있게 한 후에, 한 쌍의 중간판부(141)를 벌려서 걸림부(1412)에서 걸림턱(1231)이 이탈가능하게 가능하게 한다.
구체적으로 한 쌍의 중간판부(141)는 상기 걸림턱(1231)이 걸림부(1412)로부터 분리될 수 있게 서로 간의 간격이 이격된 제1위치(도 11(f)에 도시된 위치)와, 제1위치보다 중간판부(141)의 간격이 좁아지며 상기 걸림턱(1231)이 걸림부(1412)로부터 이탈되지 않게 결합하는 제2위치(도 11(g)에 도시된 위치) 사이를 이동가능하며, 상기 중간판부(141)는 상기 코일 스프링(110) 내부에서 상기 제2위치를 유지할 수 있게 된다.
상기 중간판부(141)의 상부 내측면으로서, 걸림부(1412)의 상부에는 하방향으로 갈수록 서로 간의 이격거리가 감소되는 경사진 가이드면(1412a)이 형성되어 있어서 단자접촉부(120)가 개방홈(1411)를 통하여 삽입되는 것을 용이하게 한다. 즉, 가이드면(1412a)에 접촉된 단자접촉부(120)는 경사진 가이드면(1412a)을 따라서 미끄러지면서 개방홈(1411)의 중앙을 향하여 이동하게 되고 이에 따라서 걸림턱(1231)이 걸림부(1412)에 쉽게 걸어맞추어질 수 있게 하는 것이다.
또한, 중간판부(141)의 상부 외측면에는 상부 스프링 걸림턱(1414)이 형성되어 있게 된다. 상부 스프링 걸림턱(1414)은 코일 스프링(110)의 내경보다 크게 돌출되어 있어서 코일 스프링(110)의 상단이 상기 코일 스프링(110) 걸림턱(1231)에 걸려서 빠지지 않게 된다.
또한, 상기 상부 스프링 걸림턱(1414)의 하측에는 코일 스프링(110)이 고정될 수 있도록 중간판부(141)의 측면에서 돌출된 스프링 고정부(1415)가 형성되어 있게 된다. 스프링 고정부(1415)는 코일 스프링(110)의 내경보다 약간 크거나 작게 또는 동일크기로 돌출되어 있어서 코일 스프링(110)의 상부가 고정되어 빠지지 않도록 하고 견고하게 고정될 수 있게 한다.
상기 코일 스프링(110)은, 중간접촉부(140)의 상부 스프링 걸림턱(1414)과, 패드(171) 접촉부의 하부 스프링 걸림턱(132)의 사이에서 위치하며, 코일 스프링(110)의 상부가 스프링 고정부(1415)에 고정되어 고정된 상태에서 압축과 신장이 가능하게 되는 것이다.
상기 접속부(142)는, 한 쌍의 중간판부(141) 하단을 서로 연결하는 것으로서 접속부(142)는 상기 패드접촉부(130)의 가이드홈(131) 내에 삽입되어 상기 가이드홈(131)에 안내되어 상하방향으로 슬라이드 이동가능하게 구성된다. 구체적으로 단자접촉부(120)가 피검사 대상물(160)에 의하여 가압되었을 때에는 단자접촉부(120)에 결합된 중간접촉부(140)가 하강하게 되는데, 이때 중간접촉부(140)의 접속부(142)는 가이드홈(131)에 의하여 안내되면서 하강하게 되는 것이다. 상기 접속부(142)의 두께는 가이드홈(131)의 폭과 대응되는 치수를 가지고 있으며 가이드홈(131) 내에서 쉽게 이동할 수 있도록 접속부(142)의 두께가 가이드홈(131)의 폭보다는 다소 작은 것이 좋다.
상기 접속부(142)의 상면은 가이드홈(131)의 상단과 접촉되도록 구성되어 있어서 중간접속부(142)가 과도하게 상승되는 것을 방지하도록 구성되어 있게 된다.
가이드홈(131)은 일방향으로 개방되고 그 일방향과 직각인 둘레가 막힌 구멍형상을 가지고 있어서 접속부(142)가 상기 가이드홈(131)에 삽입된 후에는 상기 접속부(142)가 가이드홈(131)에서 이탈되지 않고 안정적으로 슬라이드 이동할 수 있게 되는 것이다. 특히 빈번한 검사과정에서 접속부(142)가 가이드홈(131)을 따라서 슬라이드 이동하여도 상기 접속부(142)가 가이드홈(131)에서 이탈되는 일이 없어서 안정적으로 전기적 검사를 수행할 수 있게 되는 것이다.
도 12에서, 도면번호 151, 152는 상부하우징(151)과, 하부하우징(152)을 나타낸다.
상부 하우징(150)은, 하우징(150)의 상부를 구성하는 것으로서 피검사 대상물(160)의 단자와 대응되는 위치마다 상부관통공(1511)이 형성되어 있게 되며, 상기 상부관통공(1511)에 단자접촉부(120)의 탐침부(121)가 삽입되어 상부하우징(151)으로부터 돌출된다.
하부 하우징(150)은, 상기 상부하우징(151)의 하측으로 소정간격 이격되어 배치되어 있는 것으로서, 검사장치(170)의 패드(171)와 대응되는 위치마다 하부관통공(1521)이 형성되어 있게 된다. 상기 하부관통공(1521)에 패드접촉부(130)의 하부가 삽입되어 하부하우징(152)을 통하여 하방으로 돌출되어 있게 된다. 이때 하부하우징(152)에서 돌출된 패드접촉부(130)는 검사장치(170)의 패드(171)에 접촉되어 있게 된다.
이러한 본 발명의 제1실시형태에 따른 검사용 콘택터(100)는 도 11과 같이 조립될 수 있다.
먼저, 중간접촉부(140)의 접속부(142)를 패드접촉부(130)의 가이드홈(131) 내에 삽입하여 중간접촉부(140)과 패드접촉부(130)을 결합한 후에(도 11(a)), 중간판부(141)의 상단을 오므려서 코일 스프링(110)이 상부 스프링 걸림턱(1414)을 통과할 수 있게 충분한 공간을 확보한다.(도 11(b)) 이후에 중간접촉부(140)의 상측으로부터 코일 스프링(110)을 삽입한다. 코일 스프링(110)을 충분하게 삽입한 후에는 코일 스프링(110)이 상부 스프링 걸림턱(1414)과 하부 스프링 걸림턱(132) 사이에 위치되게 한다.(도 11(c)) 이후에, 코일 스프링(110)의 상단을 눌러서 코일 스프링(110)이 충분하게 압축되게 한 다음(도 11(d)), 단자접촉부(120)를 중간판부(141)의 사이에 마련된 개방홈(1411)의 직상방 위치에 놓은 후에(도 11(e)), 단자접촉부(120)를 중간판부(141)의 사이에 삽입되도록 한다.(도 11(f)) 단자접촉부(120)의 걸림턱(1231)이 중간접촉부(140)의 걸림부(1412)에 걸리도록 충분하게 삽입한다.(도 11(g)) 걸림턱(1231)과 걸림부(1412)가 서로 맞물린 후에는 코일 스프링(110)을 원래 상태로 복원시켜서 코일 스프링(110)의 상단이 상부 스프링 걸림턱(1414)에 접촉되어 지지되도록 함(도 11(h))으로서 조립을 완료한다.
한편, 위 도 11에 도시된 조립방법은 검사용 콘택터 조립체를 조립하는 일예일 뿐, 위 조립방법에 한정되는 것은 아니며 다양한 방식으로 조립되는 것도 가능하다.
이후에, 도 12에 도시된 바와 같이, 단자접촉부(120)의 상단을 상부하우징(151)의 상부관통공(1511)에 삽입되도록 하고, 패드접촉부(130)의 하단을 하부하우징(152)의 하부관통공(1521)에 삽입되도록 하여 하우징(150) 내에 조립체를 설치시킨다.
이후에, 패드접촉부(130)의 하단이 검사장치(170)의 패드(171)에 접촉되도록 검사용 콘택터(100)를 검사장치(170)에 적층배치한다.
그 다음, 단자접촉부(120)의 탐침부(121)와 대응되는 위치에 피검사 대상물(160)의 단자(161)가 위치하도록 피검사 대상물(160)을 검사용 콘택터(100)의 상측에 놓는다.
상기 피검사 대상물(160)을 하측으로 이동하면서 상기 피검사 대상물(160)의 단자(161)를 단자접촉부(120)의 탐침부(121) 상단에 접촉시킨 후에, 피검사 대상물(160)을 하측으로 가압하면, 도 13에 도시된 바와 같이 단자접촉부(120), 중간접촉부(140)가 하강하게 된다.
구체적으로, 피검사 대상물(160)의 단자(161)가 단자접촉부(120)를 가압하게 되면, 단자접촉부(120)의 대경체(122)에 접촉되어 있는 중간접촉부(140)도 함께 하강하게 된다. 이때 중간접촉부(140)의 접속부(142)는 패드접촉부(130)의 가이드홈(131)을 따라서 가이드홈(131)의 내벽면과 접촉하면서 하측으로 슬라이드 이동하게 된다.
또한 중간접촉부(140)의 하강과 동시에 상부 스프링 걸림턱(1414)에 의하여 코일 스프링(110)은 압축되고 이에 따라서 코일 스프링(110)은 하부 스프링 걸림턱(132)을 가압하게 되고 이에 따라서 패드접촉부(130)는 그 하단이 검사장치(170)의 패드(171)와 확실하게 접촉된다.
이후에 소정의 검사장치(170)에서 소정의 전기적 신호가 인가되면 상기 전기적 신호는 패드접촉부(130), 중간접촉부(140), 단자접촉부(120)를 거쳐서 피검사 대상물(160)의 단자로 흐르게 되면서 소정의 전기적 검사가 수행된다.
전기적 검사가 완료되면, 피검사 대상물(160)을 상승시킨 후에 필요한 위치로 반송하게 된다. 피검사 대상물(160)이 검사용 콘택터(100)에서 벗어나면 상기 코일 스프링(110)에 가해지는 가압력이 해제되면서 코일 스프링(110)이 원래 상태로 복원된다. 이 과정에서 코일 스프링(110)은 상부 스프링 걸림턱(1414)을 밀어올리게 되고 이에 따라서 중간접촉부(140)는 전체적으로 상승하게 된다. 이에 따라서 중간접촉부(140)의 접속부(142)는 패드접촉부(130)의 가이드홈(131)에 안내되면서 상승하게 되는 것이다. 중간접촉부(140)가 상승하게 됨에 따라서 중간접촉부(140)의 상단은 대경체(122)를 밀어올리고 이에 따라서 단자접촉부(120)도 상승하게 된다. 대경체(122)의 상단이 하우징(150)의 상부관통공(1511) 주변부에 접촉하게 되면 단자접촉부(120)의 상승이 멈추게 된다.
이러한 본 발명의 검사용 콘택터(100)는 다음과 같은 장점을 가진다.
피검사 대상물(160)의 가압에 의하여 단자접촉부(120)의 접속부(142)가 패드(171) 접촉부의 가이드홈(131) 내에서 분리불가능하게 슬라이드 이동하도록 구성되어 있기 때문에, 빈번한 접속과정에서도 중간접촉부(140)가 패드접촉부(130)에서 이탈되는 것이 방지되어 내구성이 우수하게 된다.
코일 스프링(110)은 중간접촉부(140)의 중간판부(141)를 내측으로 가압하거나 중간판부(141)가 벌어지는 것을 방지하고 있어서 중간판부(141)에 걸려있는 단자접촉부(120)는 검사과정에서 중간접촉부(140)에서 분리되는 것이 없게 된다. 또한 빈번한 검사후에 단자접촉부(120)에는 이물질이 과도하게 쌓이게 되거나 단자접촉부(120)의 표면이 과도한 마모가 발생하는 경우에는 코일 스프링(110)만을 충분하게 압축하거나 중간접속부(140)에서 빼내게 되면 중간판부(141)을 벌린 후에 단자접촉부(120)를 간편하게 중간접촉부(140)에서 분리하여 교체할 수 있게 되어 비용이 절감되는 장점이 있다.
패드접촉부(130)의 가이드홈(131)은 막힌 구멍형상을 가지고 있어서 빈번한 검사과정에서 패드접촉부(130)가 기계적으로 변형되거나 벌어지는 일이 없게 되어 내구성면에서 우수하게 된다.
단자접촉부(120)를 제외한 나머지 중간접촉부(140)와 패드접촉부(130)는 슬라이드 운동(마찰)만 발생하여 매우 견고한 구조로 되어 있기 때문에 도금 두께를 높일 경우에는 단자접촉부(120)만 교체하여 오랜기간 사용할 수 있게 되는 장점이 있다.
본 발명의 제2실시형태에 의한 검사용 콘택터에 대하여 설명하면 다음과 같다.
제2실시형태에 의한 검사용 콘택터(200)는 단자접촉부(220)를 제외한 부분은 제1실시형태와 동일하므로 단자접촉부 이외의 부분에 대한 설명은 생략한다. 도 14 및 도 15를 참조하여 제2실시형태에 의한 검사용 콘택터(200)를 설명하면, 단자접촉부(220)에서 삽입체(223)는 상기 중간판부(241)와 대면하는 한 쌍의 제1측면(2231)과, 상기 제1측면(2231) 사이에 위치하며 스프링 코일과 대면하는 제2측면(2232)을 가지고 있는데, 이때 제2측면(2232)은 직사각형 단면을 가질 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 스프링 코일과 접촉면적을 넓히기 위하여 곡면형상이 될 수 있다. 구체적으로는 제2측면이 곡면형상을 가지는 경우에는 코일 스프링(210)과 접촉되는 면적이 최대한 넓어져서 단자접촉부(220)가 검사과정에서 기울어지는 것을 방지하게 된다. 즉, 삽입체(223)의 제2측면(2232)이 코일 스프링(210)에 넓은 면적으로 접촉되면서 코일 스프링(210)에 지지되어 있으므로 단자접촉부(220)가 최대한 축심방향으로 상하이동가능하게 되어 최대한 안정적으로 동작이 이루어질 수 있다.
또한 삽입체(223)에서 제2측면(2232)과 연결되는 하측부분도 내측으로 경사진 챔퍼(2232a)를 가지고 있어서 단자접촉부(220)가 중간접촉부(240)에 쉽게 결합되도록 한다. 구체적으로 도 15에 도시된 바와 같이 삽입체(223)의 하측부분은 제1측면(2231)과 연결되는 부분과 제2측면(2232)과 연결되는 부분이 모두 내측을 하향경사지는 챔퍼로 구성되어 있어서 단자접촉부(240)가 중간접촉부(240)에 쉽게 삽입되어 결합되도록 한다.
본 발명의 제3실시형태에 의한 검사용 콘택터에 대하여 설명하면 다음과 같다.
제3실시형태에 의한 검사용 콘택터는, 중간접촉부의 구성에 있어서 제1실시형태에 의한 검사용 콘택터와 다르다. 구체적으로 도 16에 도시된 바와 같이, 제3실시형태에 의한 검사용 콘택터(300)에서, 한 쌍의 중간판부(341)는 접속부(342)에서 연장된 상하방향의 길이가 서로 다르다. 어느 하나의 중간판부(341)의 길이(L1)은 다른 중간판부(341)의 길이(L2)보다 길게 연장되어 있어서 길이가 긴쪽의 중간판부(341)는 그 상단이 대경체(322)의 하단에 접촉되어 있게 되고, 길이가 짧은 중간판부(341)는 대경체(322)에서 소정의 거리(S1)만큼 이격되어 있게 된다.
이와 같이 중간판부(341)의 길이를 서로 다르게 하면 도 17에 도시된 바와 같이, 피검사 대상물(160)의 단자(161)가 단자접촉부(32)를 가압하여 대경체(322)가 하강하게 되면, 길이가 긴쪽의 중간판부(341)만이 먼저 가압되면서 편심이 발생하고 이에 따라서 회전력이 발생하면서 중간판부(341)의 휘어짐 또는 회전이 유도된다. 이러한 회전력에 의하여 단자접촉부와 중간접촉부 간의 접촉력이 증가되고 이에 따라서 단자접촉부와 중간접촉부 사이에 접촉저항이 감소된다. 즉, 회전력에 의하여 단자접촉부와 중간접촉부 사이의 접촉면적이 감소됨으로서 접촉저항이 감소되게 된다.
이후에 길이가 짧은 쪽의 중간판부(341)에 대경체(322)가 접촉되면 전체적으로 중간접촉부(340)가 하강하면서 스프링력에 의하여 패드접촉부(330)을 검사장치(170)의 패드(171)에 밀착접촉되도록 한다.
본 발명의 제4실시형태에 의한 검사용 콘택터에 대하여 설명하면 다음과 같다.
제4실시형태에 의한 검사용 콘택터는, 패드접촉부(430)의 구성에 있어서 제1실시형태와 다르다. 구체적으로 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 가이드홈(431)의 상부는 막혀 있으며, 상기 가이드홈(431)의 하부는 절개되어 절개홈(433)이 형성되어 있어서 패드접촉부(430)의 하단은 복수의 점접으로 검사장치의 패드에 접촉될 수 있다.
이와 같이 가이드홈(431)의 상부는 막혀있기 때문에, 빈번한 검사과정에서 중간접촉부(440)가 패드접촉부(430)에서 분리되는 것을 방지할 수 있음은 물론, 패드접촉부(430)가 복수의 접점을 가지면서 검사장치의 패드와 접촉될 수 있으므로 보다 전기적 접속능력면에서 우수한 장점을 가진다.
본 발명의 제5실시형태에 의한 검사용 콘택터에 대하여 설명하면 다음과 같다.
제5실시형태에 의한 검사용 콘택터는, 도 19에 도시된 바와 같이, 패드접촉부의 구성에 있어서 제1실시형태와 다르다. 구체적으로 검사용 콘택터에서, 패드접촉부(530)의 하부는 축심(C)을 기준으로 비대칭적인 형상을 가지고 있어서 피검사 대상물의 가압에 의하여 하단(530a)을 중심으로 회전력이 발생될 수 있다.
구체적으로, 상기 패드접촉부에서 검사장치의 패드와 접촉되는 하단(530a)은, 축심에서 벗어난 위치에 놓이게 되면 비대칭적인 삼각형의 형상을 가지고 있어서 피검사 대상물이 하강하면서 가압력이 작용하는 경우 검사장치의 패드와 접촉되는 패드접촉부(530)의 하단을 중심으로 편심되도록 하고 패드접촉부(530)에 회전력이 발생하는 것을 유도하여 패드접촉부(530)와 중간접촉부(540) 간의 접촉력이 증가됨은 물론 접촉면적이 감소되면서 접촉저항을 감소시킬 수 있게 되는 것이다.
본 발명의 제6실시형태에 의한 검사용 콘택터에 대하여 설명하면 다음과 같다.
제6실시형태에 의한 검사용 콘택터는 코일 스프링의 형상에 있어서 제1실시형태와 다르다. 구체적으로 도 20에 도시된 바와 같이, 코일 스프링(610)에서 피치가 길이방향으로 서로 상이하다. 구체적으로 코일 스프링(610)에서, 상부(611)와 하부(613)에서의 피치(인접한 소선들간의 이격거리)가 P1이고, 중앙부(612)에서의 피치를 P2라고 하였을 때, P1 < P2 이다. 이와 같이 코일 스프링(610)의 상부(611) 또는 하부(613)에서의 피치를 조밀하게 하는 이유는 코일 스프링(610)이 최대한 벌어지지 않게 함으로서 걸림턱(6231)과 걸림부(6412)에 의하여 결합되어 있는 단자접촉부(620)와 중간접촉부(640)의 분리를 최대한 방지하기 위함이다. 즉, 반복된 검사과정에서 코일 스프링(610)이 중간판부(641)를 내측으로 가압하는 가압력을 증대시키거나 중간판부(641)가 벌어지는 힘에 저항하게 함으로서, 한 쌍의 중간판부(641)가 서로 멀어지는 방향으로 이동하여 벌어지는 것을 방지하고 이에 따라서 단자접촉부(620)와 중간접촉부(640)의 분리를 확실하게 방지할 수 있다.
조밀하거나 밀착되어 권선된 코일 스프링(610)의 상부는 중간판부(641)의 스프링 고정부(6415)에 끼워짐으로서 보다 확실하게 고정결합될 수 있게 한다.
한편 코일 스프링(610)의 중앙부(612)는 압축과 인장이 확실하게 될 수 있도록 하기 위하여 충분하게 넓은 피치를 가지도록 하는 것이 좋다.
이상 일부 실시예들과 첨부된 도면에 도시하는 예에 의해 본 개시의 기술적 사상이 설명되었지만, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이해할 수 있는 본 개시의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 치환, 변형 및 변경은 첨부된 청구범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.
100...검사용 콘택터 110...코일 스프링
120...단자 접촉부 121...탐침부
122...대경체 123...삽입체
1231...걸림턱 1232...테이퍼부
130...패드접촉부 131...가이드홈
132...하부 스프링 걸림턱 140...중간접촉부
141...중간판부 1411...개방홈
1412...걸림부 1413...수용부
1414...상부 스프링 걸림턱 1415...스프링 고정부
142...접속부 150...하우징
151...상부하우징 1511...상부관통공
152...하부하우징 1521...하부관통공
160...검사 대상물 161...단자
170...검사장치 171...패드

Claims (25)

  1. 피검사 대상물과 검사장치의 사이에 배치되며 피검사 대상물의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 콘택터에 있어서,
    상하방향으로 연장되는 코일 스프링;
    상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링에서 상측으로 돌출되어 있어 피검사 대상물의 단자와 접촉되고 하측은 상기 코일 스프링의 내부에 위치하는 단자접촉부;
    상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치하고 하측은 상기 코일 스프링에서 하측으로 돌출되어 검사장치의 패드에 접촉될 수 있는 패드접촉부; 및
    상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 단자접촉부에 결합되고,
    하측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 패드 접촉부에 접촉된 상태를 유지하면서 슬라이드 이동가능하되, 상기 패드접촉부에 대하여 분리불가능하게 연결된 중간접촉부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 중간접촉부는 걸림수단에 의하여 걸림결합되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 중간접촉부는, 상하방향으로 연장되고 수평방향으로 서로 이격된 한 쌍의 중간판부를 포함하되,
    상기 중간판부의 하부는 서로 연결되어 접속부를 형성하고, 상기 중간판부의 상부는 서로 이격되어 개방홈를 형성하고, 상기 단자접촉부는 상기 개방홈를 통해서 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 중간판부의 사이에 상기 단자접촉부가 끼워져 삽입되고, 상기 코일 스프링이 상기 한 쌍의 중간판부의 외부에 위치하여 상기 단자접촉부가 중간판부로부터 분리되지 않게 하는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 걸림수단은,
    상기 단자접촉부에서 상기 중간판부와 마주보는 외면에 배치된 걸림턱과, 상기 중간판부에 마련되며 상기 걸림턱에 걸어맞추어지는 걸림부를 포함하되,
    한 쌍의 중간판부는 상기 걸림턱이 걸림부로부터 분리될 수 있게 서로 간의 간격이 이격된 제1위치와, 제1위치보다 중간판부의 간격이 좁아지며 상기 걸림턱이 걸림부로부터 이탈되지 않게 결합하는 제2위치 사이를 이동가능하며,
    상기 중간판부는 상기 코일 스프링 내부에서 상기 제2위치를 유지하는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 중간판부의 상부에는 코일 스프링의 상단을 지지하기 위하여 중간판부의 상부 외측면에서 돌출된 상부 스프링 걸림턱이 마련되는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 상부 스프링 걸림턱의 하측에는 코일 스프링이 고정될 수 있도록 중간판부의 측면에서 돌출된 스프링 고정부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 중간판부의 단부에는 끝단에서 하방향으로 갈수록 서로 간의 이격거리가 감소되는 가이드면이 마련되어 있어서, 상기 단자접촉부가 용이하게 삽입될 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 단자접촉부의 하단에는 개방홈에 쉽게 삽입될 수 있도록 테이퍼부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  10. 제4항에 있어서,
    상기 단자접촉부는,
    상기 중간판부의 사이에 삽입되는 삽입체와, 상기 삽입체의 상단에 배치되며 삽입체보다 큰 외경을 가지는 대경체와, 상기 대경체에서 상측으로 연장되고 상단이 피검사체의 단자와 접촉되는 탐침부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 삽입체는,
    상기 중간판부와 대면하는 한 쌍의 제1측면과, 상기 제1측면 사이에 위치하며 스프링 코일과 대면하는 제2측면을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제2측면은 코일 스프링과 대응되는 곡면형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  13. 제4항에 있어서,
    상기 패드접촉부에는,
    상기 접속부가 내부에 삽입되어 슬라이드 가능하게 중간접촉부의 이동방향을 가이드하는 가이드홈이 길이방향을 따라서 길게 연장형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 가이드홈은 둘레가 막힌 구멍형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  15. 피검사 대상물과 검사장치의 사이에 배치되며 피검사 대상물의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 콘택터에 있어서,
    상하방향으로 연장되는 코일 스프링;
    상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링에서 돌출되어 있어 피검사 대상물의 단자와 접촉되고 하측은 상기 코일 스프링의 내부에 위치하는 단자접촉부;
    상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치하고 하측은 상기 검사장치의 패드에 접촉될 수 있으며 가이드홈이 길이방향을 따라 마련되어 있는 패드접촉부; 및
    상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 단자접촉부에 결합되고, 하측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 가이드홈에 삽입되어 슬라이드 이동가능한 중간접촉부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 중간접촉부는 상측이 개구된 "U"형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 단자접촉부는,
    상기 중간접촉부의 개구된 상측을 통해서 삽입되는 삽입체와, 상기 삽입체의 상단에 배치되며 삽입체보다 큰 외경을 가지는 대경체와, 상기 대경체에서 상측으로 연장되고 상단이 피검사 대상물의 단자와 접촉되는 탐침부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 삽입체에는, 중간접촉부를 향하여 돌출된 걸림턱이 형성되고,
    상기 중간접촉부에는 상기 걸림턱에 걸어맞추어지는 걸림부가 형성되어, 상기 걸림턱이 걸림부에 걸어맞추어짐으로서 상기 중간접촉부가 단자접촉부에 결합되는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 걸림턱의 하단은 상기 걸림부에 쉽게 결합되도록 테이퍼진 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 걸림턱에 걸림부가 결합될 때, 상기 중간접촉부의 상단은 상기 대경체의 하단에 접촉되는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  21. 제18항에 있어서,
    상기 중간접촉부는, 상기 가이드홈 내에 삽입되어 슬라이드 이동하는 접속부와, 상기 접촉부의 양측에서 상방향으로 연장되며 중간판부를 포함하되,
    상기 한 쌍의 중간판부의 상하방향 길이는 서로 달라서 어느 하나의 중간판부는 상기 대경체의 하단에 접촉되고 다른 중간판부는 상기 대경체의 하단에서 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  22. 제15항에 있어서,
    상기 코일 스프링에서, 상부에서의 피치가 P1이고, 중앙부에서의 피치를 P2라고 하였을 때, P1 < P2 인 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  23. 피검사 대상물과 검사장치의 사이에 배치되며 피검사 대상물의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 콘택터에 있어서,
    상하방향으로 연장되는 코일 스프링;
    상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링에서 돌출되어 있어 피검사 대상물의 단자와 접촉되고 하측은 상기 코일 스프링의 내부에 위치하는 단자접촉부;
    상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치하고 하측은 상기 검사장치의 패드에 접촉될 수 있으며 가이드홈이 길이방향을 따라 마련되어 있는 패드접촉부; 및
    상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 단자접촉부에 결합되고, 하측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 가이드홈에 삽입되어 슬라이드 이동가능한 중간접촉부;를 포함하되,
    상기 가이드홈의 상부는 막혀 있으며, 상기 가이드홈의 하부는 절개되어 있어서 패드접촉부의 하단은 복수의 점접으로 검사장치의 패드에 접촉되는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  24. 피검사 대상물과 검사장치의 사이에 배치되며 피검사 대상물의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 콘택터에 있어서,
    축심을 따라서 상하방향으로 연장되는 코일 스프링;
    상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링에서 돌출되어 있어 피검사 대상물의 단자와 접촉되고 하측은 상기 코일 스프링의 내부에 위치하는 단자접촉부;
    상하방향으로 연장되며 상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치하고 하측은 상기 검사장치의 패드에 접촉될 수 있으며 가이드홈이 길이방향을 따라 마련되어 있는 패드접촉부; 및
    상측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 단자접촉부에 결합되고, 하측은 상기 코일 스프링 내부에 위치된 상태에서 상기 가이드홈에 삽입되어 슬라이드 이동가능한 중간접촉부;를 포함하되,
    상기 패드접촉부는, 하부는 축심을 기준으로 비대칭적인 형상을 가지고 있어서 피검사 대상물의 가압에 의하여 선단을 중심으로 회전력이 발생되는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 패드접촉부에서 검사장치의 패드와 접촉되는 하단은, 축심에서 벗어난 위치에 놓이는 것을 특징으로 하는 검사용 콘택터.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120015527A (ko) * 2010-08-12 2012-02-22 (주)마이크로티에스 반도체 검사장비용 프로브핀
KR101348205B1 (ko) * 2013-01-08 2014-01-10 주식회사 아이에스시 탐침장치
KR101718856B1 (ko) * 2015-09-25 2017-03-24 주식회사 오킨스전자 반도체 테스트용 포고핀
KR20180067229A (ko) * 2016-12-12 2018-06-20 주식회사 오킨스전자 다 접점 에지 접촉으로 접촉 특성이 개선되는 fosp 핀, 및 이를 포함하는 테스트 소켓
KR20180119675A (ko) * 2016-04-15 2018-11-02 오므론 가부시키가이샤 프로브 핀 및 이것을 사용한 전자 디바이스

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120015527A (ko) * 2010-08-12 2012-02-22 (주)마이크로티에스 반도체 검사장비용 프로브핀
KR101348205B1 (ko) * 2013-01-08 2014-01-10 주식회사 아이에스시 탐침장치
KR101718856B1 (ko) * 2015-09-25 2017-03-24 주식회사 오킨스전자 반도체 테스트용 포고핀
KR20180119675A (ko) * 2016-04-15 2018-11-02 오므론 가부시키가이샤 프로브 핀 및 이것을 사용한 전자 디바이스
KR20180067229A (ko) * 2016-12-12 2018-06-20 주식회사 오킨스전자 다 접점 에지 접촉으로 접촉 특성이 개선되는 fosp 핀, 및 이를 포함하는 테스트 소켓

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