KR102206162B1 - Suction damping apparatus - Google Patents

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KR102206162B1 KR1020200024940A KR20200024940A KR102206162B1 KR 102206162 B1 KR102206162 B1 KR 102206162B1 KR 1020200024940 A KR1020200024940 A KR 1020200024940A KR 20200024940 A KR20200024940 A KR 20200024940A KR 102206162 B1 KR102206162 B1 KR 102206162B1
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시게루 하야시모토
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시케이디 가부시키가이샤
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Abstract

흡착 완충장치는 하우징, 구동축, 종동축, 가동축, 자석, 및 실링부재를 구비한다. 자석의 서로 대향하는 면이 상이한 자극으로 착자됨으로써, 자석이 비접촉이고, 그리고 축 방향의 자극의 겹쳐짐을 오프셋시키고, 복귀하고자 하는 축 방향의 흡인력을 가동축에 작용시키면서 축 방향으로 이동 가능하다. 종동축의 가동축에 인접하는 선단부와 실링부재의 종동축에 대향하는 단부가 맞닿을 수 있다. 종동축의 선단부 및 실링부재의 종동축에 대향하는 기단부의 적어도 어느 하나에, 실링부재의 종동축에 대향하는 측의 외주와 내주를 연통하는 연통통로가 설치된다.The adsorption shock absorber includes a housing, a drive shaft, a driven shaft, a movable shaft, a magnet, and a sealing member. By magnetizing the magnets with different magnetic poles, the magnets are non-contact, and the overlapping of the magnetic poles in the axial direction is offset, and the axial attraction force to be returned is applied to the movable shaft and can be moved in the axial direction. A tip portion adjacent to the movable shaft of the driven shaft and an end portion opposite to the driven shaft of the sealing member may abut. A communication passage communicating the outer periphery and the inner periphery of a side opposite to the driven shaft of the sealing member is provided at at least one of the leading end of the driven shaft and the base end of the sealing member facing the driven shaft.

Description

흡착 완충장치{SUCTION DAMPING APPARATUS}Adsorption buffer {SUCTION DAMPING APPARATUS}

본 발명은 전자부품 등의 이송 대상물을 흡착하는 흡착 완충장치에 관한 것이다.The present invention relates to an adsorption buffer for adsorbing an object to be transported such as an electronic component.

일반적으로, 전자부품 등의 이송 대상물을 흡착하는 흡착 완충장치는, 액추에이터에 부착되어 있다. 흡착 완충장치는 이송 대상물을 흡착하는 흡착부를 가진다. 그리고, 이송 대상물을 흡착부에 의해 흡착할 때는, 액추에이터를 구동시켜 흡착 완충장치를 이송 대상물을 향해 이동시키고, 흡착부가 이송 대상물에 압착된다. 이 때, 이송 대상물에 대해 작용하는 압착력이 과도하게 크면, 이송 대상물에 과잉압력을 작용시킬 우려가 있다. 그러나, 이송 대상물에 대해서 작용하는 압착력이 너무 작으면, 흡착부에 의해 이송 대상물을 흡착할 수 없다는 우려가 있다.In general, an adsorption shock absorber for adsorbing an object to be transported, such as an electronic component, is attached to an actuator. The adsorption buffer device has an adsorption unit for adsorbing a transport object. Then, when the object to be transported is adsorbed by the suction unit, the actuator is driven to move the adsorption buffer device toward the object to be transported, and the suction unit is pressed against the object to be transported. At this time, if the pressing force acting on the object to be transported is excessively large, there is a concern that excessive pressure may be applied to the object to be transported. However, if the pressing force acting on the object to be transported is too small, there is a concern that the object to be transported cannot be absorbed by the adsorption unit.

여기서, 흡착부를 이송 대상물에 압착하였을 때, 흡착부에 작용하는 압착 반력(押付反力)을 흡수함으로써, 이송 대상물에 대해서 압착력이 과잉으로 작용해 버리는 것을 억제하고, 또한, 이송 대상물에 작용하는 압착력을 일정하게 하는 것이, 예를 들면, 특개 2018－85457호 공보에 개시되어 있다.Here, when the adsorption part is pressed against the object to be transported, by absorbing the compressive reaction force acting on the adsorption part, it is possible to suppress excessive compression force against the object to be transported, and further, the compressive force acting on the object to be transported. It is disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-85457, for example.

특개 2018－85457호 공보의 흡착 완충장치는, 가동축과 종동축이 일체적으로 축 방향으로 이동 가능하며, 가동축과 종동축이 일체적으로 회전 가능하도록 구성된다. 가동축은 하우징으로부터 돌출하는 선단부에서 이송 대상물을 흡착하는 흡착부를 가짐과 동시에, 흡착부와 연통하도록 축 방향으로 관통하는 축로(軸路)를 가진다. 종동축과 가동축이 연결됨으로써 축로의 종동축과 연결되는 단부가 닫힌다(閉塞). 그리고, 흡착 완충장치에서, 이송 대상물에 흡착부를 압착함과 동시에, 축로에 진공압을 공급함으로써, 흡착부에 이송 대상물이 흡착된다.The adsorption shock absorber of Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-85457 is configured so that the movable shaft and the driven shaft can move in the axial direction, and the movable shaft and the driven shaft can rotate integrally. The movable shaft has an adsorbing portion for adsorbing the object to be conveyed at a tip portion protruding from the housing, and also has a shaft path passing in the axial direction so as to communicate with the adsorbing portion. As the driven shaft and the movable shaft are connected, the end connected to the driven shaft of the shaft is closed (閉塞). Then, in the adsorption buffer device, the transport object is adsorbed to the adsorption unit by compressing the adsorption unit to the transport object and supplying a vacuum pressure to the shaft path.

또한, 상기 흡착 완충장치는 하우징의 내주면과 가동축의 외주면 사이를 실링하기 위한 환 형상의 2개의 실링부재를 구비한다. 흡착부가 이송 대상물에 압착된 상태에서 축로에 진공압이 공급되었을 때, 축로가 진공상태가 되도록 각 실링부재에 의해 기밀성이 유지된다. 이러한 실링부재 중 1개의 실링부재는, 가동축의 종동축에 인접하는 외주면에 배설(配設)되고, 진공압과 대기압의 차압에 의해 축 방향을 따라 하우징이 없는 둘레면(周面)에 설치된 단차면에 눌린다. 이 실링부재는 종동축이 축 방향을 따라 가동축 측으로 이동했을 때, 종동축의 가동축 측의 단부가 맞닿는(當接) 완충부재로서도 기능하고 있다.Further, the adsorption shock absorber includes two annular sealing members for sealing between the inner peripheral surface of the housing and the outer peripheral surface of the movable shaft. When vacuum pressure is supplied to the shaft path while the adsorption portion is pressed against the object to be conveyed, airtightness is maintained by each sealing member so that the shaft path becomes in a vacuum state. One of these sealing members is provided on the outer circumferential surface adjacent to the driven shaft of the movable shaft, and is installed on the circumferential surface without the housing along the axial direction due to the differential pressure between the vacuum pressure and the atmospheric pressure. Pressed on the car side. This sealing member also functions as a buffer member to which the end of the driven shaft on the movable shaft side abuts when the driven shaft moves toward the movable shaft along the axial direction.

그러나, 상기 흡착 완충장치에서, 종동축의 가동축에 연결되는 단부가 실링부재의 종동축과 대향하는 단부에 맞닿아 있는 상태에서 축로가 진공상태일 때, 종동축의 가동축에 연결되는 단부가 실링부재의 종동축과 대향하는 단부에 흡착되어 버리는 경우가 있다. 이와 같이 흡착되는 원인으로는, 가동축을 축 방향으로 이동 가능하도록 하는 관계 상, 가동축의 종동축에 인접하는 외주면과 실링부재의 내주면 사이에 근소한 틈을 설치하지 않으면 안되고, 그 틈을 통해 종동축과 실링부재 사이에 진공압이 공급되기 때문이다. 그리고, 흡착부를 이송 대상물에 압착하였을 때, 압착 반력을 완충하기 위해서는 종동축을 축 방향을 따라 이동시킬 필요가 있으나, 종동축의 가동축에 연결되는 단부를 실링부재의 종동축과 대향하는 단부로부터 분리하기 위한 힘을 여분으로 가해야만 하고, 이송 대상물에 작용하는 압착력이 커져 버릴 우려가 있다.However, in the adsorption buffer, when the shaft path is in a vacuum state while the end connected to the movable shaft of the driven shaft is in contact with the end opposite to the driven shaft of the sealing member, the end connected to the movable shaft of the driven shaft is In some cases, it is adsorbed to the end of the sealing member facing the driven shaft. As a cause of such adsorption, a small gap must be provided between the outer circumferential surface adjacent to the driven shaft of the movable shaft and the inner circumferential surface of the sealing member, since the movable shaft can be moved in the axial direction. This is because vacuum pressure is supplied between the sealing members. In addition, when the adsorption unit is compressed to the object to be transported, it is necessary to move the driven shaft along the axial direction to buffer the compression reaction force, but the end connected to the movable shaft of the driven shaft is moved from the end facing the driven shaft of the sealing member. It is necessary to apply extra force for separation, and there is a fear that the pressing force acting on the object to be transported will increase.

본 발명의 목적은 이송 대상물에 적절한 압착력을 작용시킴으로써 이송 대상물을 안정적으로 흡착시킬 수 있는 흡착 완충장치를 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide an adsorption buffer capable of stably adsorbing an object to be transported by applying an appropriate compression force to the object to be transported.

상기 목적을 달성하는 흡착 완충장치는, 하우징과, 상기 하우징 내에 수용되고, 회전 가능하도록 지지되는 구동축과, 상기 하우징 내에 수용되고, 상기 구동축의 지름 방향 외측 또는 지름 방향 내측에서 상기 구동축에 대해서 축 방향으로 이동 가능한 종동축과, 상기 종동축과 연결되고, 상기 종동축과 일체적으로 상기 축 방향으로 이동 가능한 가동축으로서, 상기 종동축에 연결된 기단부와, 상기 기단부와 반대측에 위치하고, 그리고, 상기 하우징으로부터 돌출하는 선단부와, 상기 선단부에서 이송 대상물을 흡착하는 흡착부 및 상기 흡착부와 연통하도록 상기 축 방향으로 연장하는 축로를 가지는 가동축과, 상기 구동축과 상기 종동축에서 상기 축 방향에 직교하는 방향으로 서로 대향하는 면에 착자(着磁)된 자석과, 상기 가동축에 인접하는 외주면과 맞닿고, 상기 외주면과 상기 하우징 사이를 실링하는 환 형상의 실링부재를 구비한다. 상기 가동축의 상기 축로에 진공압이 공급됨으로써 상기 흡착부에 이송 대상물이 흡착된다. 상기 종동축 및 상기 가동축은, 상기 축 방향으로의 이동 및 상기 축 방향으로 연장하는 중심축선을 중심으로 하는 회전이 허용되도록 구성된다. 상기 자석의 서로 대향하는 면이 상이한 자극(磁極)으로 착자됨으로써, 상기 자석이 비접촉이고, 그리고 축 방향의 자극의 겹쳐짐을 오프셋시키고, 복귀하고자 하는 축 방향의 흡인력을 상기 가동축에 작용시키면서 상기 축 방향으로 이동 가능하다. 상기 종동축의 상기 가동축에 인접하는 선단부와 상기 실링부재의 상기 종동축과 대향하는 기단부가 맞닿을 수 있다. 상기 종동축의 상기 선단부 및 상기 실링부재의 상기 기단부 중 적어도 어느 하나에, 상기 실링부재의 상기 종동축과 대향하는 측의 외주와 내주를 연통하는 연통통로가 설치된다.An adsorption shock absorber for achieving the above object includes a housing, a drive shaft accommodated in the housing and supported so as to be rotatable, and accommodated in the housing, in an axial direction with respect to the drive shaft in a radial direction outside or inside a radial direction of the drive shaft. And a driven shaft that is movable to and is connected to the driven shaft, and is a movable shaft that is integrally movable in the axial direction with the driven shaft, the base end connected to the driven shaft, and located on the opposite side of the base end, and the housing A movable shaft having a distal end protruding from the distal end, an adsorbing part for adsorbing the object to be transported from the distal end, and an axis extending in the axial direction so as to communicate with the adsorbing part, and a direction perpendicular to the axial direction in the drive shaft and the driven shaft And a magnet magnetized on a surface opposite to each other, and an annular sealing member that abuts against an outer circumferential surface adjacent to the movable shaft, and seals between the outer circumferential surface and the housing. By supplying vacuum pressure to the shaft of the movable shaft, the object to be transported is adsorbed to the adsorption unit. The driven shaft and the movable shaft are configured to allow movement in the axial direction and rotation about a central axis extending in the axial direction. The magnets are magnetized with different magnetic poles, so that the magnet is non-contact, and the overlap of magnetic poles in the axial direction is offset, and a suction force in the axial direction to be returned is applied to the movable shaft. Can be moved in any direction. A front end of the driven shaft adjacent to the movable shaft may abut a base end of the sealing member facing the driven shaft. At least one of the leading end of the driven shaft and the base end of the sealing member is provided with a communication passage communicating the outer periphery and the inner periphery of the sealing member opposite to the driven shaft.

상기 흡착 완충장치에서, 상기 연통통로는 상기 종동축의 상기 선단부에 설치되는 것이 바람직하다.In the adsorption buffer, the communication passage is preferably provided at the tip of the driven shaft.

상기 흡착 완충장치에서, 상기 구동축 및 상기 종동축의 하나에는, 상기 축 방향에 직교하는 방향으로 연장하는 돌출부가 설치되고, 상기 구동축 및 상기 종동축의 다른 하나에는, 상기 축 방향으로 연장하는 가이드홈이 설치되고, 상기 돌출부가 상기 축 방향에 직교하는 방향에 대해서 상기 가이드홈에 맞닿음과 동시에, 상기 돌출부가 상기 가이드홈을 따라 상기 축 방향으로 가이드 되는 것이 바람직하다.In the adsorption shock absorber, a protrusion extending in a direction orthogonal to the axial direction is provided on one of the drive shaft and the driven shaft, and a guide groove extending in the axial direction is provided on the other of the drive shaft and the driven shaft. It is preferable that the protrusion is installed, and the protrusion abuts the guide groove in a direction perpendicular to the axial direction, and the protrusion is guided along the guide groove in the axial direction.

상기 흡착 완충장치에서, 상기 돌출부는 볼베어링인 것이 바람직하다.In the adsorption buffer, it is preferable that the protrusion is a ball bearing.

상기 흡착 완충장치에서, 상기 종동축은, 상기 구동축이 내측에 삽입됨과 동시에 상기 구동축에 대해서 축 방향으로 이동 가능한 통 형상의 축이며, 상기 자석은 상기 구동축의 외주면에 설치되는 통 형상의 구동축 자석과, 상기 종동축의 내주면에 설치됨과 동시에 상기 구동축 자석에 대해서 상기 축 방향에 직교하는 방향으로 대향하도록 배치되는 통 형상의 종동축 자석을 포함하는 것이 바람직하다.In the adsorption shock absorber, the driven shaft is a cylindrical shaft that is movable in an axial direction with respect to the drive shaft while the drive shaft is inserted inside, and the magnet is a cylindrical drive shaft magnet installed on an outer peripheral surface of the drive shaft. It is preferable to include a cylindrical driven shaft magnet installed on the inner circumferential surface of the driven shaft and disposed to face the drive shaft magnet in a direction orthogonal to the axial direction.

상기 흡착 완충장치에서, 상기 자석은, 상기 구동축의 외주면에 설치되는 통 형상의 구동축 자석과, 상기 종동축의 내주면에 설치됨과 동시에 상기 구동축 자석에 대해서 상기 축 방향에 직교하는 방향으로 대향하도록 배치되는 통 형상의 종동축 자석을 포함하고, 상기 구동축 자석 및 상기 종동축 자석은, 둘레 방향으로 복수의 자극으로서 분할되도록, N과 S극이 교대로 착자되고, 상기 구동축 자석의 외주면과 상기 종동축 자석의 내주면의 서로 대향하는 면이 상이한 자극으로 착자됨으로써, 상기 구동축과 상기 종동축이 비접촉이고, 그리고 회전 방향으로는 일체적으로 회전 가능하게 되고, 상기 구동축 자석 및 상기 종동축 자석이 비접촉이고, 그리고 축 방향의 자극의 겹쳐짐을 오프셋시키고, 복귀하고자 하는 축 방향의 흡인력을 상기 가동축에 작용시키면서 축 방향으로 이동 가능한 것이 바람직하다.In the adsorption shock absorber, the magnet is disposed to face the drive shaft magnet in a direction orthogonal to the axial direction while being installed on the cylindrical drive shaft magnet installed on the outer circumferential surface of the drive shaft and the inner circumferential surface of the driven shaft. Including a cylindrical driven shaft magnet, the drive shaft magnet and the driven shaft magnet, N and S poles are alternately magnetized so as to be divided into a plurality of magnetic poles in a circumferential direction, and the outer peripheral surface of the drive shaft magnet and the driven shaft magnet The driving shaft and the driven shaft are non-contact, and integrally rotatable in the rotational direction by magnetizing the opposite sides of the inner circumferential surface of the magnetic poles with different magnetic poles, and the drive shaft magnet and the driven shaft magnet are non-contact, and It is preferable that the overlapping of the magnetic poles in the axial direction is offset, and it is possible to move in the axial direction while acting on the movable shaft with a suction force in the axial direction to be returned.

상기 흡착 완충장치에서, 상기 하우징은 상기 실링부재를 지지하는 단차면을 가지며, 상기 실링부재는 상기 실링부재의 상기 기단부와 반대측에 선단부를 가지며, 상기 실링부재의 상기 선단부가 상기 단차면과 맞닿고, 상기 실링부재의 상기 기단부가 상기 종동축의 상기 선단부와 맞닿는 것이 바람직하다.In the adsorption shock absorber, the housing has a stepped surface for supporting the sealing member, the sealing member has a front end opposite to the base end of the sealing member, and the tip of the sealing member abuts the stepped surface. It is preferable that the base end portion of the sealing member abuts the front end portion of the driven shaft.

이 발명에 따르면, 이송 대상물에 적절한 압착력을 작용시킴으로써 이송 대상물을 안정적으로 흡착시킬 수 있다.According to this invention, the object to be transported can be stably adsorbed by applying an appropriate pressing force to the object to be transported.

도 1은, 실시형태에서의 흡착 완충장치를 나타내는 단면도이다.
도 2의 (a)는, 구동축 자석과 종동축 자석과의 관계를 나타내는 단면도이다.
도 2의 (b)는, 구동축의 회전각도와 종동축에 가하는 토크와의 관계를 나타내는 단면도이다.
도 3의 (a)는, 흡착 완충장치의 일부분을 확대한 단면도이다.
도 3의 (b)는, 종동축의 저면도이다.
도 4는, 실시형태에서의 흡착 완충장치를 나타내는 단면도이다.
도 5의 (a)는, 흡착 완충장치의 일부분을 확대한 측면도이다.
도 5의 (b)는, 흡착 완충장치의 일부분을 확대한 측면도이다.1 is a cross-sectional view showing an adsorption buffer according to an embodiment.
2A is a cross-sectional view showing a relationship between a drive shaft magnet and a driven shaft magnet.
2B is a cross-sectional view showing the relationship between the rotation angle of the drive shaft and the torque applied to the driven shaft.
3A is an enlarged cross-sectional view of a part of the adsorption buffer.
3B is a bottom view of the driven shaft.
4 is a cross-sectional view showing an adsorption buffer according to the embodiment.
Fig. 5(a) is an enlarged side view of a part of the adsorption buffer.
Fig. 5B is an enlarged side view of a part of the adsorption buffer.

이하, 흡착 완충장치를 구체화 한 일 실시형태를 도 1 내지 도 3에 따라 설명한다. 본 실시형태의 흡착 완충장치는, 전자부품 등의 이송 대상물을 흡착한다. 이 때, 도 1에서 하측을 흡착 완충장치의 선단측으로 정의하고, 상측을 흡착 완충장치의 기단측으로 정의한다.Hereinafter, an embodiment in which the adsorption buffer is embodied will be described with reference to FIGS. 1 to 3. The adsorption buffer device of this embodiment adsorbs an object to be transferred such as an electronic component. At this time, in Fig. 1, the lower side is defined as the front end side of the adsorption buffer and the upper side is defined as the base end side of the adsorption buffer.

도 1에 나타내는 바와 같이, 흡착 완충장치(10)의 하우징(11)은 모터 하우징(12)과, 모터 하우징(12)에 연결되는 통 형상의 본체 하우징(13)을 가진다. 모터 하우징(12) 내에는, 회전축(14a)을 가지는 모터의 회전자(14)가 내장되어 있다. 본체 하우징(13)은 본체 하우징(13)의 축 방향이 회전축(14a)의 축 방향과 일치하도록 모터 하우징(12)에 연결되어 있다.As shown in FIG. 1, the housing 11 of the adsorption shock absorber 10 includes a motor housing 12 and a cylindrical body housing 13 connected to the motor housing 12. In the motor housing 12, a rotor 14 of a motor having a rotating shaft 14a is incorporated. The main body housing 13 is connected to the motor housing 12 so that the axial direction of the main body housing 13 coincides with the axial direction of the rotation shaft 14a.

회전축(14a)은, 모터 하우징(12)에 대해서 베어링(12a)을 통해 회전 가능하도록 지지된다. 회전축(14a)의 양단은, 모터 하우징(12)을 관통하여 모터 하우징(12)의 외부로 돌출하고 있다. 회전축(14a)에서의 본체 하우징(13)에 수용되는 단부는, 모터 하우징(12)을 관통하여 본체 하우징(13)의 내부로 돌출하고 있다.The rotation shaft 14a is supported so as to be rotatable with respect to the motor housing 12 through a bearing 12a. Both ends of the rotating shaft 14a penetrate the motor housing 12 and protrude to the outside of the motor housing 12. An end portion of the rotation shaft 14a accommodated in the main body housing 13 passes through the motor housing 12 and protrudes into the main body housing 13.

흡착 완충장치(10)는 회전축(14a)에 연결됨과 동시에 회전축(14a)과 일체적으로 회전하는 구동축(15)을 구비한다. 구동축(15)의 축 방향은, 회전축(14a)의 축 방향과 일치한다. 구동축(15)은 회전축(14a)에 연결되는 원통 형상의 대경부(15a)와, 대경부(15a)에 연속함과 동시에 대경부(15a)보다 외경이 작은 원주형상의 소경부(15b)를 가진다. 소경부(15b)는, 대경부(15a)에서 회전축(14a)과는 반대측을 향하여 연장된다.The adsorption shock absorber 10 includes a drive shaft 15 that is connected to the rotation shaft 14a and rotates integrally with the rotation shaft 14a. The axial direction of the drive shaft 15 coincides with the axial direction of the rotation shaft 14a. The drive shaft 15 includes a cylindrical large-diameter portion 15a connected to the rotating shaft 14a and a cylindrical small-diameter portion 15b that is continuous to the large-diameter portion 15a and has an outer diameter smaller than that of the large-diameter portion 15a. Have. The small-diameter portion 15b extends from the large-diameter portion 15a toward a side opposite to the rotation shaft 14a.

대경부(15a)의 내측에는 회전축(14a)에서의 본체 하우징(13)에 수용되는 단부가 삽입되어 있다. 회전축(14a)에서의 대경부(15a)의 내측에 삽입되어 있는 부위의 외주면에는 평탄면(14b)이 형성된다. 또한, 회전축(14a)의 지름 방향에서, 대경부(15a)에서의 평탄면(14b)과 대향하는 부분에는, 암나사공(15h)이 형성된다. 암나사공(15h)에는 나사(14c)가 나합된다. 나사(14c)의 선단은 회전축(14a)의 평탄면(14b)에 맞닿는다. 이로 인해, 회전축(14a)과 구동축(15)이 나사(14c)를 통해 연결되어 있다.An end portion accommodated in the main body housing 13 on the rotation shaft 14a is inserted inside the large diameter portion 15a. A flat surface 14b is formed on the outer circumferential surface of the portion of the rotating shaft 14a inserted inside the large-diameter portion 15a. Further, a female screw hole 15h is formed in a portion of the large-diameter portion 15a facing the flat surface 14b in the radial direction of the rotation shaft 14a. A screw 14c is threaded into the female threaded hole 15h. The tip of the screw 14c abuts against the flat surface 14b of the rotating shaft 14a. For this reason, the rotation shaft 14a and the drive shaft 15 are connected through the screw 14c.

흡착 완충장치(10)는 구동축(15)이 내측에 삽입되는 바닥이 있는 원통형상의 종동축(16)을 구비한다. 종동축(16)의 축 방향은 구동축(15)의 축 방향과 일치한다. 종동축(16)은 구동축(15)에 대해서 축 방향으로 이동 가능하다. 구동축(15) 및 종동축(16)은, 본체 하우징(13)의 내부에서의 모터 하우징(12)에 인접하여 형성된 수용실(13a) 내에 수용되어 있다. 구동축(15)의 외주면과 종동축(16)의 내주면 사이에는 클리어런스가 있다.The adsorption shock absorber 10 has a bottomed cylindrical driven shaft 16 into which the drive shaft 15 is inserted. The axial direction of the driven shaft 16 coincides with the axial direction of the drive shaft 15. The driven shaft 16 is movable in the axial direction with respect to the drive shaft 15. The drive shaft 15 and the driven shaft 16 are accommodated in an accommodation chamber 13a formed adjacent to the motor housing 12 in the main body housing 13. There is a clearance between the outer circumferential surface of the drive shaft 15 and the inner circumferential surface of the driven shaft 16.

흡착 완충장치(10)는 종동축(16)에 연결되어 종동축(16)과 일체적으로 축 방향으로 이동 가능한 가동축(17)을 구비한다. 가동축(17)은 종동축(16)에 연결된 기단부와, 상기 기단부와 반대측에 위치하는 선단부를 가진다. 가동축(17)의 축 방향은 종동축(16)의 축 방향과 일치한다. 종동축(16)의 저부(16e)에는 나사 삽통공(16h)이 형성된다. 가동축(17)에서의 종동축(16)에 연락된 기단부에는 암나사공(17h)이 형성된다. 그리고, 나사 삽통공(16h)에 삽통된 체결나사(18)가 암나사공(17h)에 나합됨으로써, 가동축(17)이 종동축(16)의 저부(16e)에 체결나사(18)를 통해 연결되어 있다.The adsorption shock absorber 10 includes a movable shaft 17 connected to the driven shaft 16 and integrally movable in the axial direction with the driven shaft 16. The movable shaft 17 has a base end connected to the driven shaft 16 and a tip end positioned on the opposite side to the base end. The axial direction of the movable shaft 17 coincides with the axial direction of the driven shaft 16. A screw insertion hole 16h is formed in the bottom 16e of the driven shaft 16. A female screw hole 17h is formed at the base end of the movable shaft 17 in contact with the driven shaft 16. Then, the fastening screw 18 inserted into the screw insertion hole 16h is threaded into the female threaded hole 17h, so that the movable shaft 17 is connected to the bottom portion 16e of the driven shaft 16 through the fastening screw 18. It is connected.

본체 하우징(13)에는 가동축(17)이 삽통되는 삽통공(13h)이 형성된다. 가동축(17)에서의 기단부와는 반대측의 선단부는, 삽통공(13h)을 통해 본체 하우징(13)의 외부에 돌출한다. 가동축(17)은 삽통공(13h)으로부터 출몰 가능하도록 되어 있다. 가동축(17)은 흡인구(17a)와, 흡인구(17a)와 삽통공(13h)의 내부를 연통하는 축내 통로(17b)를 가지는 중공(中空) 형상이다. 흡인구(17a)는 가동축(17)의 선단부인 돌출단부의 선단면(17e)에 개구한다.The body housing 13 is formed with an insertion hole 13h through which the movable shaft 17 is inserted. The distal end of the movable shaft 17 on the side opposite to the base end protrudes to the outside of the main body housing 13 through the insertion hole 13h. The movable shaft 17 is capable of protruding and protruding from the insertion hole 13h. The movable shaft 17 has a hollow shape having a suction port 17a, and an intra-axial passage 17b communicating the inside of the suction port 17a and the insertion hole 13h. The suction port 17a opens in the distal end face 17e of the protruding end that is the distal end of the movable shaft 17.

축내 통로(17b)는 가동축(17)의 축 방향으로 연장하는 축로(軸路)(171b)와, 가동축(17)의 지름 방향으로 연장하는 경로(徑路)(172b)를 가진다. 축로(171b)에서의 종동축(16)과는 반대측 개구는 상술한 흡인구(17a)에 상당한다. 또한, 축로(171b)에서의 종동축(16)에 인접하는 부분은 암나사공(17h)에 연속하고 있고, 체결나사(18)와 종동축(16)에 의해 축로(171b)에서의 종동축(16)에 인접하는 단부가 닫힌다(閉塞). 이와 같이, 종동축(16)과 가동축(17)이 체결나사(18)에 의해 연결됨으로써, 가동축(17)과 연결되는 종동축(16) 및 체결나사(18)에 의해 가동축(17)의 기단부가 닫힌다. 즉, 종동축(16) 및 체결나사(18)에 의해, 가동축(17)의 축로(171b)에서의 종동축(16)과 인접하는 개구가 닫힌다. 경로(172b)는 축로(171b)에서의 종동축(16)에 가까운 부분과 삽통공(13h)의 내부를 연통하고 있다.The intra-axial passage 17b has a shaft path 171b extending in the axial direction of the movable shaft 17 and a path 172b extending in the radial direction of the movable shaft 17. The opening in the shaft path 171b on the opposite side to the driven shaft 16 corresponds to the suction port 17a described above. In addition, the portion adjacent to the driven shaft 16 in the shaft path 171b is continuous with the female threaded hole 17h, and the driven shaft in the shaft path 171b by the fastening screw 18 and the driven shaft 16 The end adjacent to 16) is closed (閉塞). In this way, the driven shaft 16 and the movable shaft 17 are connected by the fastening screw 18, so that the driven shaft 16 connected to the movable shaft 17 and the movable shaft 17 by the fastening screw 18 The proximal end of) is closed. That is, the opening adjacent to the driven shaft 16 in the shaft path 171b of the movable shaft 17 is closed by the driven shaft 16 and the fastening screw 18. The path 172b communicates with a portion of the shaft path 171b close to the driven shaft 16 and the interior of the insertion hole 13h.

구동축(15)의 소경부(15b)의 외주면에는 원통 형상의 구동축 자석(20)이 설치된다. 종동축(16)의 내주면에는, 원통 형상의 종동축 자석(21)이 설치된다. 종동축 자석(21)은 구동축 자석(20)에 대해서 축 방향에 직교하는 방향으로 대향하도록 배치되어 있다. 구동축 자석(20)에서의 축 방향의 길이와 종동축 자석(21)에서의 축 방향의 길이는 동일하게 되어 있다. 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면 사이에는 클리어런스가 있다. 구동축 자석(20)은 선단면 및 기단면을 가진다. 구동축 자석(20)의 선단면은, 구동축 자석(20)의 기단면보다 가동축(17)에 가까운 위치에 위치한다. 종동축 자석(21)은 선단면 및 기단면을 가진다. 종동축 자석(21)의 선단면은 종동축 자석(21)의 기단면보다 가동축(17)에 가까운 위치에 위치한다.A cylindrical drive shaft magnet 20 is installed on the outer circumferential surface of the small diameter portion 15b of the drive shaft 15. On the inner circumferential surface of the driven shaft 16, a driven shaft magnet 21 having a cylindrical shape is provided. The driven shaft magnet 21 is disposed to face the drive shaft magnet 20 in a direction orthogonal to the axial direction. The length of the drive shaft magnet 20 in the axial direction and the length of the driven shaft magnet 21 in the axial direction are the same. There is a clearance between the outer circumferential surface of the drive shaft magnet 20 and the inner circumferential surface of the driven shaft magnet 21. The drive shaft magnet 20 has a front end surface and a base end surface. The front end surface of the drive shaft magnet 20 is positioned closer to the movable shaft 17 than the base end face of the drive shaft magnet 20. The driven shaft magnet 21 has a front end surface and a base end surface. The leading end surface of the driven shaft magnet 21 is positioned closer to the movable shaft 17 than the base end surface of the driven shaft magnet 21.

도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 구동축 자석(20)은 둘레 방향으로 복수(본 실시형태에서는 4개)의 자극으로서 분할되도록, N극(20a)과 S극(20b)이 교대로 착자(着磁)하여 구성된다. 종동축 자석(21)은 둘레 방향으로 복수(본 실시형태에서는 4)로 분할되고, N극(21a)과 S극(21b)이 교대로 착자되도록 구성된다. 구동축 자석(20)의 각 N극(20a)의 외주면은 종동축 자석(21)의 각 S극(21b)의 내주면에 대향한다. 구동축 자석(20)의 각 S극(20b)의 외주면은, 종동축 자석(21)의 각 N극(21a)의 내주면에 대향한다. 이와 같이, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면의 서로 대향하는 면이 상이한 자극으로 착자됨으로써, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면의 서로 대향하는 면에서 상이한 자극 서로가 자력에 의해 서로 마주보고, 서로 끌어당긴 비접촉 상태에서, 구동축(15)과 종동축(16)이 일체적으로 회전 가능하게 된다. 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면 사이에는 클리어런스가 설치되고, 구동축(15)과 종동축(16)의 축의 편심이 있어도, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면이 접촉하지 않은 구성이 된다.As shown in Fig. 2A, the drive shaft magnet 20 is alternately magnetized so that the drive shaft magnet 20 is divided into a plurality of magnetic poles (four in this embodiment) in the circumferential direction. It is composed of (着磁). The driven shaft magnet 21 is divided into a plurality (4 in this embodiment) in the circumferential direction, and is configured so that the N poles 21a and S poles 21b are alternately magnetized. The outer circumferential surface of each N pole 20a of the drive shaft magnet 20 faces the inner circumferential surface of each S pole 21b of the driven shaft magnet 21. The outer circumferential surface of each S pole 20b of the drive shaft magnet 20 faces the inner circumferential surface of each N pole 21a of the driven shaft magnet 21. In this way, the outer peripheral surface of the drive shaft magnet 20 and the inner peripheral surface of the driven shaft magnet 21 are magnetized with different magnetic poles, so that the outer peripheral surface of the drive shaft magnet 20 and the inner peripheral surface of the driven shaft magnet 21 face each other. In a non-contact state in which the different magnetic poles face each other by magnetic force and pull each other, the drive shaft 15 and the driven shaft 16 are integrally rotatable. A clearance is provided between the outer circumferential surface of the drive shaft magnet 20 and the inner circumferential surface of the driven shaft magnet 21, and even if there is eccentricity of the shaft of the drive shaft 15 and the driven shaft 16, the outer circumferential surface of the drive shaft magnet 20 and the driven shaft magnet The inner circumferential surface of (21) does not contact.

도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 구동축(15)의 회전각도가 소정 각도(본 실시형태에서는 90도)가 될 때까지, 구동축(15)의 회전각도와 비례하여, 종동축(16)에 가하는 토크가 커진다. 한편, 구동축(15)의 회전각도가 소정 각도(본 실시형태에서는 90도)를 초과하면, 종동축(16)에 가하는 토크가 역 방향이 됨과 동시에, 구동축(15)의 회전각도와 비례하여, 그 토크가 작아진다.As shown in Fig. 2B, the driven shaft 16 is proportional to the rotation angle of the drive shaft 15 until the rotation angle of the drive shaft 15 reaches a predetermined angle (90 degrees in this embodiment). The torque applied to it increases. On the other hand, when the rotation angle of the drive shaft 15 exceeds a predetermined angle (90 degrees in this embodiment), the torque applied to the driven shaft 16 becomes in the reverse direction and is proportional to the rotation angle of the drive shaft 15, The torque becomes smaller.

도 3의 (a)에 나타내는 바와 같이, 삽통공(13h)은 수용실(13a)에 연속하는 원공(円孔) 형상의 수용공(131h)과, 수용공(131h)에서의 수용실(13a)과는 반대측에 연속함과 동시에, 수용공(131h)의 공의 지름보다 작은 소경공(小經孔)(132h)을 가진다. 그리고, 수용공(131h)과 소경공(132h) 사이에는, 가동축(17)의 지름 방향으로 연장하는 환 형상의 단차면(135h)이 형성된다. 또한, 삽통공(13h)은 소경공(132h)에서의 수용공(131h)과는 반대측에 연속함과 동시에, 소경공(132h)보다 공의 지름이 큰 직경의 베어링 수용공(133h)과, 베어링 수용공(133h)에서의 소경공(132h)과는 반대측에 연속함과 동시에 베어링 수용공(133h)보다 공의 지름이 큰 직경의 원공 형상의 수용공(134h)을 가진다. 그리고, 수용공(134h)과 베어링 수용공(133h) 사이에는, 가동축(17)의 지름 방향으로 연장하는 환 형상의 단차면(136h)이 형성된다.As shown in Fig. 3(a), the insertion hole 13h is a receiving hole 131h in the shape of a hole continuous to the receiving chamber 13a, and the receiving chamber 13a in the receiving hole 131h. It has a small diameter hole (132h) smaller than the diameter of the hole (小經孔), while continuing on the opposite side of the hole (131h). Then, an annular stepped surface 135h extending in the radial direction of the movable shaft 17 is formed between the receiving hole 131h and the small-diameter hole 132h. In addition, the insertion hole 13h is continuous on the opposite side to the receiving hole 131h in the small hole 132h, and at the same time, the bearing receiving hole 133h having a larger diameter than the small hole 132h, The bearing receiving hole 133h has a hole-shaped receiving hole 134h having a larger diameter than the bearing receiving hole 133h while continuing on the opposite side to the small-diameter hole 132h. Then, an annular stepped surface 136h extending in the radial direction of the movable shaft 17 is formed between the receiving hole 134h and the bearing receiving hole 133h.

가동축(17)의 외주면과 베어링 수용공(133h)의 내주면 사이에는 베어링(30)이 설치되어 있다. 베어링(30)은 가동축(17)의 외주면과 베어링 수용공(133h)의 내주면 사이에 배치되는 원통 형상의 베어링 외관(31)과, 베어링 외관(31)의 내주면과 가동축(17)의 외주면 사이에 배치됨과 동시에 베어링 외관(31)의 내주면과 가동축(17)의 외주면에 접촉하는 복수의 볼(32)과, 복수의 볼(32)을 유지하는 원통 형상의 유지부재(33)를 가진다. 유지부재(33)는 베어링 외관(31)의 내주면과 가동축(17)의 외주면 사이에 배치되어 있다. 유지부재(33)의 축 방향의 길이는 베어링 외관(31)의 축 방향의 길이보다 짧다. 유지부재(33)는 복수의 볼(32)을 전동 가능하도록 유지하고 있다.A bearing 30 is provided between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the bearing receiving hole 133h. The bearing 30 includes a cylindrical bearing outer surface 31 disposed between the outer circumferential surface of the movable shaft 17 and the inner circumferential surface of the bearing receiving hole 133h, the inner peripheral surface of the bearing outer surface 31 and the outer peripheral surface of the movable shaft 17 It has a plurality of balls 32 disposed between the inner circumferential surface of the bearing outer surface 31 and the outer circumferential surface of the movable shaft 17 and a cylindrical holding member 33 for holding the plurality of balls 32. . The holding member 33 is disposed between the inner peripheral surface of the bearing outer surface 31 and the outer peripheral surface of the movable shaft 17. The length of the holding member 33 in the axial direction is shorter than the length of the bearing outer surface 31 in the axial direction. The holding member 33 holds the plurality of balls 32 so as to be capable of being rolled.

복수의 볼(32)이 베어링 외관(31)의 내주면과 가동축(17)의 외주면에 접촉하고 있으므로, 가동축(17)은 삽통공(13h)의 내부에서, 가동축(17)의 지름 방향으로 여압(予壓)이 작용한 상태에서 위치 결정된다. 또한, 복수의 볼(32)이 전동 가능하도록 유지부재(33)에 유지되므로, 가동축(17)은 삽통공(13h)의 내부에서 가동축(17)의 축 방향으로의 이동, 및 회전이 가능하다. 따라서, 베어링(30)은 가동축(17)을 본체 하우징(13)에 대해서 가동축(17)의 축 방향에 직교하는 방향에 지지한 상태에서, 가동축(17)에서의 가동축(17)의 축 방향으로의 이동, 및 가동축(17)의 회전을 허용한다.Since the plurality of balls 32 are in contact with the inner circumferential surface of the bearing outer surface 31 and the outer circumferential surface of the movable shaft 17, the movable shaft 17 is inside the insertion hole 13h, in the radial direction of the movable shaft 17 It is positioned in a state where pressurization (予壓) is applied. In addition, since the plurality of balls 32 are held in the holding member 33 so as to be capable of being rolled, the movable shaft 17 can move and rotate in the axial direction of the movable shaft 17 within the insertion hole 13h. It is possible. Therefore, the bearing 30 supports the movable shaft 17 in a direction orthogonal to the axial direction of the movable shaft 17 with respect to the main body housing 13, and the movable shaft 17 in the movable shaft 17 It allows movement in the axial direction of, and rotation of the movable shaft 17.

본체 하우징(13)은 삽통공(13h)의 내부에 연통함과 동시에, 흡인구(17a), 축내 통로(17b), 및 삽통공(13h)의 내부의 공기를 빼는 진공 흡인용 포트(13b)를 가진다. 진공 흡인용 포트(13b)는 소경공(132h) 및 베어링 수용공(133h)에 연통된다. 진공 흡인용 포트(13b)는, 베어링 외관(31)에서의 소경공(132h)에 인접하는 개구를 통해 베어링 외관(31)의 내측에 연통된다. 베어링 외관(31)의 내측은 복수의 볼(32)에 의해 이격되는 가동축(17)과 베어링 외관(31) 사이의 배출공간(31k)이다. 또한, 배출공간(31k)은 경로(172b)에 연통되어 있다. 진공 흡인용 포트(13b)에는 절환(切換) 밸브(13c)를 통해 이젝터 등의 진공 발생기(13d)가 접속되어 있다. 따라서, 배출공간(31k)은 진공 흡인용 포트(13b)를 통해 절환 밸브(13c)에 접속된다. 또한, 배출공간(31k)은 진공 흡인용 포트(13b) 및 절환 밸브(13c)를 통해 진공 발생기(13d)에 접속된다. 배출공간(31k)(진공 흡인용 포트(13b))에는, 절환 밸브(13c)의 전환에 의해 대기압과 진공압이 전환 가능하도록 공급된다.The main body housing 13 communicates with the interior of the insertion hole 13h, and at the same time, a vacuum suction port 13b for releasing the air inside the suction port 17a, the shaft passage 17b, and the insertion hole 13h Have. The vacuum suction port 13b communicates with the small-diameter hole 132h and the bearing receiving hole 133h. The vacuum suction port 13b communicates with the inner side of the bearing outer surface 31 through an opening adjacent to the small-diameter hole 132h in the bearing outer surface 31. The inside of the bearing outer surface 31 is a discharge space 31k between the movable shaft 17 and the bearing outer surface 31 separated by a plurality of balls 32. Further, the discharge space 31k is in communication with the path 172b. A vacuum generator 13d such as an ejector is connected to the vacuum suction port 13b via a switching valve 13c. Accordingly, the discharge space 31k is connected to the switching valve 13c through the vacuum suction port 13b. Further, the discharge space 31k is connected to the vacuum generator 13d through the vacuum suction port 13b and the switching valve 13c. It is supplied to the discharge space 31k (the vacuum suction port 13b) so that atmospheric pressure and vacuum pressure can be switched by switching of the switching valve 13c.

수용공(134h) 내에는 수지제의 제1 실링부재(41)가 수용되어 있다. 따라서, 수용공(134h)은 제1 실링부재(41)를 수용하는 제1 수용부이다. 제1 실링부재(41)는 가동축(17)의 외주면과 삽통공(13h)의 내주면 사이에서의 진공 흡인용 포트(13b) 및 베어링(30)보다 흡인구(17a)에 가까운 위치에 설치된다. 즉, 제1 실링부재(41)는 베어링(30)과 흡인구(17a) 사이에 설치된다. 제1 실링부재(41)는 원판 형상이다. 가동축(17)은 가동축(17)의 외주면이 제1 실링부재(41)의 내주면에 슬라이딩 접촉(摺接)한 상태에서, 제1 실링부재(41)의 내측에 삽입되고, 가동축(17)의 외주면과 제1 실링부재(41)의 내주면 사이가 실링된다. 따라서, 제1 실링부재(41)의 내주면은 가동축(17)의 외주면과의 틈 실링을 구성하는 제1 내주면(41a)이다.A resin-made first sealing member 41 is accommodated in the receiving hole 134h. Accordingly, the receiving hole 134h is a first receiving portion accommodating the first sealing member 41. The first sealing member 41 is installed at a position closer to the suction port 17a than the vacuum suction port 13b and the bearing 30 between the outer circumferential surface of the movable shaft 17 and the inner circumferential surface of the insertion hole 13h. . That is, the first sealing member 41 is installed between the bearing 30 and the suction port 17a. The first sealing member 41 has a disk shape. The movable shaft 17 is inserted into the first sealing member 41 in a state in which the outer circumferential surface of the movable shaft 17 is in sliding contact with the inner circumferential surface of the first sealing member 41, and is inserted into the movable shaft ( Between the outer peripheral surface of 17) and the inner peripheral surface of the first sealing member 41 is sealed. Accordingly, the inner circumferential surface of the first sealing member 41 is the first inner circumferential surface 41a constituting a gap sealing with the outer circumferential surface of the movable shaft 17.

또한, 제1 실링부재(41)는 진공 흡인용 포트(13b)에 진공압이 공급될 때는, 진공압과 대기압과의 압력차에 의한 힘이 제1 실링부재(41)의 축 방향으로 작용하고, 단차면(136h)에 맞닿는다. 이로 인해, 단차면(136h)과 제1 실링부재(41) 사이가 실링된다. 따라서, 제1 실링부재(41)에서의 단차면(136h)에 맞닿은 단면은, 제1 내주면(41a)에 직교하는 제1 단면(41b)이고, 대기압과 진공압과의 압력차를 작용시킴으로써 제1 단면(41b)에서의 실링력이 작용한다. 제1 실링부재(41)의 축 방향의 두께는 수용공(134h)의 깊이보다 얇게 설정되고, 압력차가 생기지 않는 상태에서는 두께 방향의 힘은 발생하지 않는다.In addition, when the vacuum pressure is supplied to the vacuum suction port 13b of the first sealing member 41, the force due to the pressure difference between the vacuum pressure and the atmospheric pressure acts in the axial direction of the first sealing member 41 , Abuts against the stepped surface 136h. For this reason, between the stepped surface 136h and the first sealing member 41 is sealed. Therefore, the cross-section of the first sealing member 41 in contact with the stepped surface 136h is the first end surface 41b orthogonal to the first inner circumferential surface 41a, and the pressure difference between the atmospheric pressure and the vacuum pressure is applied. The sealing force at the end face 41b acts. The thickness in the axial direction of the first sealing member 41 is set to be thinner than the depth of the receiving hole 134h, and a force in the thickness direction is not generated in a state where a pressure difference does not occur.

제1 실링부재(41)의 외경은 수용공(134h)의 내경보다 작아지며, 제1 실링부재(41)의 외주면과 수용공(134h)의 내주면 사이에는 클리어런스가 있다. 따라서, 지름 방향에도 틈이 설치되므로, 제1 실링부재(41)는 구속되지 않고 가동축(17)으로의 슬라이딩 저항을 작게 억제할 수 있고, 동시에, 가동축(17)과 제1 실링부재(41)의 축 어긋남의 영향을 배제한다. 따라서, 제1 실링부재(41)의 외형 및 두께 방향의 치수는 수용공(134h)에 의해 구속되지 않는 형상 또는 치수이다.The outer diameter of the first sealing member 41 is smaller than the inner diameter of the receiving hole 134h, and there is a clearance between the outer circumferential surface of the first sealing member 41 and the inner circumferential surface of the receiving hole 134h. Therefore, since a gap is also provided in the radial direction, the first sealing member 41 is not restricted and the sliding resistance to the movable shaft 17 can be suppressed to be small, and at the same time, the movable shaft 17 and the first sealing member ( 41) to exclude the effect of axial shift. Accordingly, the first sealing member 41 has a shape or dimension that is not constrained by the receiving hole 134h.

본체 하우징(13)에서의 모터 하우징(12)과는 반대측 단면에는, 제1 실링부재(41)에서의 수용공(134h)으로부터 빠짐을 저지하는 빠짐 방지용 캡(39)이 부착되어 있다. 캡(39)은 본체 하우징(13)의 외형과 동일한 형상이고, 중앙에 관통공(39h)을 가진다. 가동축(17)은 캡(39)의 관통공(39h)을 통과한다.On the end face of the main body housing 13 on the opposite side to the motor housing 12, a cap 39 for preventing dropping is attached to prevent the first sealing member 41 from being pulled out of the receiving hole 134h. The cap 39 has the same shape as the outer shape of the main body housing 13 and has a through hole 39h in the center. The movable shaft 17 passes through the through hole 39h of the cap 39.

수용공(131h)에는 수지제의 제2 실링부재(42)가 수용되어 있다. 따라서, 수용공(131h)은 제2 실링부재(42)를 수용하는 제2 수용부이다. 제2 실링부재(42)는 가동축(17)의 외주면과 삽통공(13h)의 내주면 사이에서의 진공 흡인용 포트(13b)보다 수용실(13a)에 가까운 위치에 설치된다. 즉, 제2 실링부재(42)는 진공 흡인용 포트(13b)와 수용실(13a) 사이에 설치된다. 제2 실링부재(42)는 원판 형상이다. 가동축(17)은 가동축(17)의 외주면이 제2 실링부재(42)의 내주면에 슬라이딩 접촉한 상태에서, 제2 실링부재(42)의 내측에 삽입되고, 가동축(17)의 외주면과 제2 실링부재(42)의 내주면 사이가 실링된다. 따라서, 제2 실링부재(42)의 내주면은 가동축(17)의 외주면과의 틈 실링을 구성하는 제2 내주면(42a)이다. 여기서, 본 실시형태에서, 종동축(16) 및 가동축(17)을 축 방향으로 이동 가능하도록 하는 관계 상, 가동축(17)의 종동축(16)에 인접하는 외주면과 제2 실링부재(42)의 내주면 사이에 매우 근소하지만 틈이 설치된다. 제2 실링부재(42)는, 종동축(16)에 대향하는 기단부와 상기 기단부와 반대측에 위치하는 선단부를 가진다.A resin-made second sealing member 42 is accommodated in the receiving hole 131h. Accordingly, the receiving hole 131h is a second receiving portion accommodating the second sealing member 42. The second sealing member 42 is installed at a position closer to the accommodation chamber 13a than the vacuum suction port 13b between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the insertion hole 13h. That is, the second sealing member 42 is installed between the vacuum suction port 13b and the accommodation chamber 13a. The second sealing member 42 has a disk shape. The movable shaft 17 is inserted into the inside of the second sealing member 42 while the outer circumferential surface of the movable shaft 17 is in sliding contact with the inner circumferential surface of the second sealing member 42, and the outer circumferential surface of the movable shaft 17 And the inner peripheral surface of the second sealing member 42 is sealed. Accordingly, the inner circumferential surface of the second sealing member 42 is a second inner circumferential surface 42a constituting a gap sealing with the outer circumferential surface of the movable shaft 17. Here, in the present embodiment, the outer peripheral surface adjacent to the driven shaft 16 of the movable shaft 17 and the second sealing member (in terms of allowing the driven shaft 16 and the movable shaft 17 to move in the axial direction) ( There is a very small gap between the inner peripheral surfaces of 42). The second sealing member 42 has a base end facing the driven shaft 16 and a tip end positioned on a side opposite to the base end.

또한, 제2 실링부재(42)는 진공 흡인용 포트(13b)에 진공압이 공급될 때는, 진공압과 대기압의 압력차에 의한 힘이 제2 실링부재(42)의 축 방향으로 작용하고, 단차면(135h)에 맞닿는다. 이에 따라, 단차면(135h)과 제2 실링부재(42) 사이가 실링된다. 따라서, 제2 실링부재(42)에서의 단차면(135h)에 맞닿는 단면(선단부)은 제2 내주면(42a)에 수직한 제2 단면(42b)이고, 대기압과 진공압의 압력차를 작용시킴으로써 제2 단면(42b)에서의 실링 힘이 작용한다.In addition, when the vacuum pressure is supplied to the vacuum suction port 13b of the second sealing member 42, a force due to the pressure difference between the vacuum pressure and the atmospheric pressure acts in the axial direction of the second sealing member 42, It abuts against the stepped surface 135h. Accordingly, between the stepped surface 135h and the second sealing member 42 is sealed. Therefore, the cross-section (tip) of the second sealing member 42 abuts the stepped surface 135h is the second end surface 42b perpendicular to the second inner circumferential surface 42a, and by acting on a pressure difference between atmospheric pressure and vacuum pressure The sealing force acts on the second end surface 42b.

제2 실링부재(42)의 외경은 수용공(131h)의 내경보다 작아지고, 제2 실링부재(42)의 외주면과 수용공(131h)의 내주면 사이에는 클리어런스가 있다. 따라서, 지름 방향에도 틈이 설치되어 있으므로, 제2 실링부재(42)는 구속되지 않고 가동축(17)으로의 슬라이딩 저항을 작게 억제함과 동시에, 가동축(17)과 제2 실링부재(42)의 축 어긋남의 영향을 배제한다. 따라서, 제2 실링부재(42)의 외형 및 두께 방향의 치수는 수용공(131h)에 의해 구속되지 않는 형상 또는 치수이다.The outer diameter of the second sealing member 42 is smaller than the inner diameter of the receiving hole 131h, and there is a clearance between the outer circumferential surface of the second sealing member 42 and the inner circumferential surface of the receiving hole 131h. Therefore, since a gap is also provided in the radial direction, the second sealing member 42 is not restricted and the sliding resistance to the movable shaft 17 is suppressed to be small, and the movable shaft 17 and the second sealing member 42 ) To exclude the influence of the axis deviation. Accordingly, the dimensions of the second sealing member 42 in the outer shape and thickness direction are shapes or dimensions that are not constrained by the receiving hole 131h.

도 1에 나타내는 바와 같이, 종동축(16)에서의 가동축(17)과 인접하는 단면은 제2 실링부재(42)에 맞닿을 수 있게 되어 있다. 따라서, 제2 실링부재(42)에서의 제2 단면(42b)과는 반대측의 단면은, 종동축(16)에서의 가동축(17)에 인접하는 선단면이 맞닿을 수 있는 당접면(當接面)(42c)이 되고, 종동축(16)의 선단면의 완충부재로서도 기능한다. 종동축(16)의 선단면이 제2 실링부재(42)의 당접면(42c)에 맞닿은 상태에서, 종동축 자석(21)의 선단면은 구동축 자석(20)의 선단면보다 가동축(17)으로부터 이간한다.As shown in FIG. 1, a cross section of the driven shaft 16 adjacent to the movable shaft 17 is able to abut the second sealing member 42. Therefore, the end face of the second sealing member 42 on the opposite side to the second end face 42b is an abutting surface on which the end face of the driven shaft 16 adjacent to the movable shaft 17 can abut. It becomes a face (42c), and also functions as a buffer member of the tip end surface of the driven shaft (16). In a state in which the leading end surface of the driven shaft 16 is in contact with the abutting surface 42c of the second sealing member 42, the leading end surface of the driven shaft magnet 21 is the movable shaft 17 than the leading end surface of the driving shaft magnet 20. Separate from

종동축(16)의 선단면이 제2 실링부재(42)의 당접면(42c)에 맞닿은 상태는, 가동축(17)이 삽통공(13h)으로부터 가장 돌출한 상태이다. 또한, 종동축(16)의 기단면이 모터 하우징(12)에 맞닿은 상태는, 가동축(17)이 삽통공(13h)으로부터 가장 몰입한 상태이다. 가동축(17)이 삽통공(13h)에서부터 가장 몰입한 상태여도, 가동축(17)의 선단부는 삽통공(13h)을 통해 본체 하우징(13)의 외부로 돌출하고 있다.The state in which the leading end surface of the driven shaft 16 abuts against the abutting surface 42c of the second sealing member 42 is a state in which the movable shaft 17 protrudes most from the insertion hole 13h. In addition, the state in which the base end surface of the driven shaft 16 abuts the motor housing 12 is a state in which the movable shaft 17 is most immersed from the insertion hole 13h. Even in the state where the movable shaft 17 is most immersed from the insertion hole 13h, the tip of the movable shaft 17 protrudes to the outside of the main body housing 13 through the insertion hole 13h.

종동축(16)의 축 방향으로의 이동 가능한 범위에서, 종동축 자석(21)은 구동축 자석(20)보다 모터 하우징(12)에 접근 가능하도록 배치된다. 종동축 자석(21)과 구동축 자석(20)의 단부가 일치하는 방향으로 축 방향의 흡인력이 작용한다. 즉, 가동축(17)이 돌출하는 방향으로 흡인력이 작용하고, 종동축(16)의 저부(16e)가 제2 실링부재(42)의 단면에 흡인력이 압착력으로서 작용한다. 흡인력인 이 압착력은, 종동축(16)의 가동범위에서는 위치와 관계없이 일정하게 되도록, 종동축 자석(21)과 구동축 자석(20)을 축 방향으로 오프셋시켜 구성하고 있다. 구동축 자석(20) 및 종동축 자석(21)은 비접촉이고, 그리고 축 방향의 자극의 겹쳐짐을 오프셋시키고, 복귀하고자 하는 축 방향의 흡인력을 가동축(17)에 작용시키면서 축 방향으로 이동 가능하다.In the movable range of the driven shaft 16 in the axial direction, the driven shaft magnet 21 is disposed to be accessible to the motor housing 12 rather than the drive shaft magnet 20. A suction force in the axial direction acts in a direction in which the end portions of the driven shaft magnet 21 and the drive shaft magnet 20 coincide. That is, the suction force acts in the direction in which the movable shaft 17 protrudes, and the suction force acts as a compressive force on the end face of the second sealing member 42 by the bottom portion 16e of the driven shaft 16. This compressive force, which is a suction force, is configured by offsetting the driven shaft magnet 21 and the drive shaft magnet 20 in the axial direction so as to be constant regardless of the position in the movable range of the driven shaft 16. The drive shaft magnet 20 and the driven shaft magnet 21 are non-contact and are movable in the axial direction while offsetting the overlap of magnetic poles in the axial direction and applying a suction force in the axial direction to be returned to the movable shaft 17.

도시하지 않은 액추에이터가 구동하고, 액추에이터의 구동에 의해 흡착 완충장치(10)가 재치면(W1)에 재치되는 이송 대상물(W)을 향해 이동한다. 그러면, 가동축(17)의 선단면(17e)이 이송 대상물(W)에 축 방향으로부터 압착된다. 이 경우, 가동축(17)에는 이송 대상물(W)로부터의 압착 반력이 작용하지만, 상기 흡인력에 의한 압착력을 초과할 때 까지는, 가동축(17)은 이동하지 않는다. 또한, 압착동작을 수행해 가면, 상기 압착 반력이 흡인력에 의한 압착력이 일치하여 밸런스 상태가 되고, 이송 대상물(W)에는 일정한 압착력이 가해진 상태에서, 가동축(17)이 모터 하우징(12)을 향해 이동 가능하게 된다. 상기 압착력은 일정한 흡인력에 의한 것이므로, 이송 대상물(W)의 높이 방향의 치수변화가 있더라도, 일정한 압착력이 작용하는 완충기능으로서 작용한다. 또한, 이송처에서, 이송 대상물(W)을 재치면(W1)에, 예를 들면 압입 등의 작업이 필요한 경우도 마찬가지로, 일정한 압착력이 작용하는 완충기능으로서 작용한다.An actuator (not shown) is driven, and by driving of the actuator, the adsorption shock absorber 10 moves toward the transfer object W to be mounted on the mounting surface W1. Then, the front end surface 17e of the movable shaft 17 is pressed against the object W from the axial direction. In this case, a compression reaction force from the object W acts on the movable shaft 17, but the movable shaft 17 does not move until the compression force by the suction force is exceeded. In addition, when the compression operation is performed, the compression reaction force matches the compression force due to the suction force and becomes a balanced state, and the movable shaft 17 faces the motor housing 12 in a state in which a certain compression force is applied to the object to be transferred (W). It becomes possible to move. Since the pressing force is due to a constant suction force, even if there is a dimensional change in the height direction of the object to be transported W, it acts as a buffer function in which a constant pressing force acts. In the case where, at the transfer destination, a work such as, for example, press-fitting is required on the surface W1 on which the transfer object W is placed, it acts as a buffer function in which a constant compression force acts.

또한, 절환 밸브(13c)가 구동하고, 진공 흡인용 포트(13b)가 진공 발생기(13d)와 접속되며, 흡인구(17a)와 이송 대상물(W) 사이의 공기가 흡인구(17a)에서 흡인되어, 흡인구(17a)에서 흡인된 공기가 축내 통로(17b) 및 배출공간(31k)을 흘러 진공 흡인용 포트(13b)로부터 흡출(吸出)된다. 이로 인해, 이송 대상물(W)에 압착된 가동축(17)의 선단면(17e)과 이송 대상물(W) 사이가 진공상태가 되고, 이송 대상물(W)이 가동축(17)의 선단면(17e)에 흡착된다. 따라서, 흡인구(17a)는 가동축(17)의 선단면(17e)에 이송 대상물(W)을 흡착하기 위해서 공기를 흡인한다. 그리고, 가동축(17)의 선단면(17e)은 이송 대상물(W)을 흡착하는 흡착부로서 기능한다.In addition, the switching valve 13c is driven, the vacuum suction port 13b is connected to the vacuum generator 13d, and the air between the suction port 17a and the object W is sucked from the suction port 17a. Thus, the air sucked in through the suction port 17a flows through the shaft passage 17b and the discharge space 31k and is sucked out from the vacuum suction port 13b. Due to this, a vacuum between the front end surface 17e of the movable shaft 17 pressed against the transfer object W and the transfer object W is in a vacuum state, and the transfer object W is the front end surface of the movable shaft 17 ( 17e). Accordingly, the suction port 17a sucks air in order to adsorb the object W to be transferred to the tip end surface 17e of the movable shaft 17. And, the front end surface 17e of the movable shaft 17 functions as an adsorption part for adsorbing the object W to be conveyed.

이어서, 이송 대상물(W)이 가동축(17)의 선단면(17e)에 흡착된 상태에서, 액추에이터가(Z) 축 방향으로 구동하고, 액추에이터의 구동에 의해 흡착 완충장치(10)가 재치면(W1)과는 반대측, 즉, 재치면(W1)으로부터 이격되는 방향으로 이동한다. 그러면, 구동축 자석(20)과 종동축 자석(21) 사이에 작용하는 흡인력에 의해 종동축(16)의 선단면이 제2 실링부재(42)의 당접면(42c)에 맞닿을 때까지, 이송 대상물(W)을 흡인력에 의한 일정한 힘으로 재치면(W1)에 압착한 상태에서, 가동축(17) 및 종동축(16)이 일체적으로 이동한다. 그리고, 종동축(16)의 선단면이 제2 실링부재(42)의 당접면(42c)에 맞닿은 상태가 되고, 이송 대상물(W)은 가동축(17)의 선단면(17e)에 흡착된 상태에서 재치면(W1)으로부터 이격된다. 이 후, 이송 대상물(W)을 목적으로 하는 이송위치로 이송한다.Subsequently, in a state in which the object to be transported W is adsorbed on the front end surface 17e of the movable shaft 17, the actuator is driven in the (Z) axis direction, and the adsorption buffer 10 is mounted by the drive of the actuator. It moves in a direction away from the side opposite to (W1), that is, from the mounting surface W1. Then, by the suction force acting between the drive shaft magnet 20 and the driven shaft magnet 21, the transfer until the tip end surface of the driven shaft 16 contacts the contact surface 42c of the second sealing member 42. In a state in which the object W is pressed against the mounting surface W1 with a constant force by the suction force, the movable shaft 17 and the driven shaft 16 move integrally. In addition, the leading end surface of the driven shaft 16 is brought into contact with the contact surface 42c of the second sealing member 42, and the transport object W is adsorbed to the tip end surface 17e of the movable shaft 17. It is separated from the mounting surface W1 in the state. After that, the transfer object W is transferred to the intended transfer position.

이 때, 이송 대상물(W)에서의 가동축(17)의 중심축선을 회전중심으로 한 회전 방향의 방향을 조정하는 것이 이루어진다. 구체적으로는, 흡착 완충장치(10)에서, 회전자(14)가 구동하고, 회전축(14a)이 회전하고, 회전축(14a)의 회전에 따라 구동축(15)이 회전축(14a)과 일체적으로 회전한다. 여기서, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면의 서로 대향하는 면이 상이한 자극으로 착자된다. 이 때문에, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면의 서로 대향하는 면에서 상이한 자극의 서로가 서로 마주본 상태에서, 구동축(15)과 종동축(16)이 일체적으로 회전한다. 이로 인해, 가동축(17)도 종동축(16)과 일체적으로 회전하고, 이송 대상물(W)에서의 가동축(17)의 중심축선을 회전중심으로 한 회전 방향의 방향이 조정된다.At this time, it is made to adjust the direction of the rotational direction in which the central axis of the movable shaft 17 in the transfer object W is the rotational center. Specifically, in the adsorption buffer 10, the rotor 14 is driven, the rotation shaft 14a rotates, and the drive shaft 15 is integrated with the rotation shaft 14a according to the rotation of the rotation shaft 14a. Rotate. Here, the outer peripheral surface of the drive shaft magnet 20 and the inner peripheral surface of the driven shaft magnet 21 facing each other are magnetized with different magnetic poles. For this reason, in a state in which the different magnetic poles face each other on the outer peripheral surface of the drive shaft magnet 20 and the inner peripheral surface of the driven shaft magnet 21 facing each other, the drive shaft 15 and the driven shaft 16 are integrally Rotate. For this reason, the movable shaft 17 also rotates integrally with the driven shaft 16, and the direction of the rotation direction in which the central axis of the movable shaft 17 in the transport object W is the rotation center is adjusted.

그런데, 도 3의 (b)에 나타내는 바와 같이, 종동축(16)의 선단면에서, 나사 삽통공(16h)과 동일한 축 상에, 나사 삽통공(16h)보다 내경이 큰 원통 형상의 가동축 수용부(16a)가 설치된다. 가동축 수용부(16a)의 내측에는 가동축(17)의 기단부가 수용된다. 이 가동축 수용부(16a)가 가동축(17)과 연결되는 연결부로서 기능한다.By the way, as shown in FIG.3(b), in the front end surface of the driven shaft 16, on the same axis as the screw insertion hole 16h, a cylindrical movable shaft having a larger inner diameter than the screw insertion hole 16h A receiving portion 16a is provided. The base end of the movable shaft 17 is accommodated inside the movable shaft receiving portion 16a. This movable shaft accommodating portion 16a functions as a connecting portion connected to the movable shaft 17.

여기서, 가동축 수용부(16a)의 내측은, 가동축(17)의 암나사공(17h)을 통해 축로(171b)와 연통된다. 체결나사(18)는 나사 삽통공(16h) 및 가동축 수용부(16a)에 삽통된 상태에서 암나사공(17h)에 나합된다. 체결나사(18)에 의해 축로(171b)에서의 종동축(16)에 인접하는 단부가 닫히게 되어 있다. 특히, 본 실시형태에서는, 체결나사(18)의 풀림을 방지하기 위해, 나사 삽통공(16h) 및 암나사공(17h)에 접착제가 충진된 상태에서 체결나사(18)가 암나사공(17h)에 나합된다. 이 때문에, 종동축(16)과 가동축(17)이 별도의 개체여도, 종동축(16)과 가동축(17) 사이에는 암나사공(17h) 및 가동축 수용부(16a)로 이루어지는 틈이 생기지 않는다.Here, the inside of the movable shaft accommodating part 16a communicates with the shaft path 171b through the female screw hole 17h of the movable shaft 17. The fastening screw 18 is threaded into the female screw hole 17h while being inserted into the screw insertion hole 16h and the movable shaft receiving portion 16a. The end of the shaft path 171b adjacent to the driven shaft 16 is closed by the fastening screw 18. In particular, in this embodiment, in order to prevent loosening of the fastening screw 18, the fastening screw 18 is inserted into the female screw hole 17h while the adhesive is filled in the screw insertion hole 16h and the female screw hole 17h. I add up. Therefore, even if the driven shaft 16 and the movable shaft 17 are separate entities, there is a gap between the driven shaft 16 and the movable shaft 17 made of the female threaded hole 17h and the movable shaft receiving portion 16a. Does not occur.

가동축 수용부(16a)에서의 가동축(17)과 대향하는 단면에는, C자 형상의 당접면(16b)이 설치된다. 당접면(16b)은 제2 실링부재(42)에서의 제2 단면(42b)과는 반대측의 단면과 맞닿을 수 있도록 되어 있다. 이 당접면(16b)이 당접부에 상당한다.A C-shaped abutting surface 16b is provided in a cross section of the movable shaft receiving portion 16a facing the movable shaft 17. The contact surface 16b is designed to be able to contact the end surface of the second sealing member 42 opposite to the second end surface 42b. This contact surface 16b corresponds to the contact portion.

종동축(16)에는 당접면(16b)의 지름 방향으로 연장하고, 또한, 가동축 수용부(16a)의 내주와 외주를 연통하는 연통통로(16c)가 설치된다. 가동축 수용부(16a)의 외주측이 대기압이 되고, 연통통로(16c)가 설치됨으로써, 가동축 수용부(16a)의 내주측도 대기압이 된다. 본 실시형태에서, 가동축 수용부(16a)의 깊이가 0.5mm, 연통통로(16c)의 폭이 약 2mm이지만, 가동축 수용부(16a)의 내주측에 원활히 대기압이 공급되는 정도라면, 가동축 수용부(16a)의 깊이 및 연통통로(16c)의 폭은 이에 제한되지 않는다.The driven shaft 16 is provided with a communication passage 16c extending in the radial direction of the contact surface 16b and communicating the inner and outer circumferences of the movable shaft receiving portion 16a. The outer circumferential side of the movable shaft receiving portion 16a becomes atmospheric pressure, and the communication passage 16c is provided, so that the inner circumferential side of the movable shaft receiving portion 16a also becomes atmospheric pressure. In the present embodiment, the depth of the movable shaft receiving portion 16a is 0.5 mm, and the width of the communication passage 16c is about 2 mm, but if atmospheric pressure is smoothly supplied to the inner circumferential side of the movable shaft receiving portion 16a, movable The depth of the shaft receiving portion 16a and the width of the communication passage 16c are not limited thereto.

이어서, 본 실시형태의 작용에 대해서 설명한다.Next, the operation of the present embodiment will be described.

진공 발생기(13d)가 구동하면, 배출공간(31k)의 공기가 진공 흡인용 포트(13b)에서 흡출되고, 가동축(17)의 선단면(17e)이 이송 대상물(W)에 압착되면, 이송 대상물(W)에 압착된 가동축(17)의 선단면(17e)과 이송 대상물(W) 사이가 진공상태가 되고, 이송 대상물(W)이 가동축(17)의 선단면(17e)에 흡착된다. 가동축(17)의 종동축(16)에 인접하는 외주면과 제2 실링부재(42)의 내주면 사이의 근소한 틈을 통해 종동축(16)과 제2 실링부재(42) 사이에 진공압이 도는 우려가 있었으나, 종동축(16)의 선단부에 연통통로(16c)가 형성되어 있으므로, 종동축(16)과 제2 실링부재(42) 사이에 대기압이 공급된다. 이와 같이, 진공 흡인용 포트(13b)에 진공압이 공급되는 상태에서, 가동축(17)의 선단면(17e)이 이송 대상물(W)에 압착되더라도, 종동축(16)의 저부(16e)가 제2 실링부재(42)의 당접면(42c)에 흡착하는 것을 억제할 수 있어 종동축(16)의 저부(16e)가 제2 실링부재(42)의 당접면(42c)으로부터 이격된다.When the vacuum generator 13d is driven, the air in the exhaust space 31k is sucked out from the vacuum suction port 13b, and when the tip surface 17e of the movable shaft 17 is pressed against the object W to be transported, it is transferred. The distance between the front end surface 17e of the movable shaft 17 pressed against the object W and the object to be transported (W) is in a vacuum state, and the object to be transported (W) is adsorbed to the front end surface (17e) of the movable shaft 17 do. Vacuum pressure between the driven shaft 16 and the second sealing member 42 through a slight gap between the outer peripheral surface adjacent to the driven shaft 16 of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the second sealing member 42 Although there was a concern, since the communication passage 16c is formed at the tip end of the driven shaft 16, atmospheric pressure is supplied between the driven shaft 16 and the second sealing member 42. In this way, in a state in which vacuum pressure is supplied to the vacuum suction port 13b, even if the tip end surface 17e of the movable shaft 17 is pressed against the transfer object W, the bottom portion 16e of the driven shaft 16 Adsorption to the contact surface 42c of the second sealing member 42 can be suppressed, so that the bottom portion 16e of the driven shaft 16 is spaced apart from the contact surface 42c of the second sealing member 42.

상기 실시형태에서는 이하의 효과를 얻을 수 있다.In the above embodiment, the following effects can be obtained.

(1) 종동축(16)의 가동축(17)에 인접하는 선단부에, 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 대향하는 측의 외주와 내주를 연통하는 연통통로(16c)를 설치함으로써, 종동축(16)의 선단부와 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 대향하는 단부 사이에 대기압을 공급할 수 있다. 이 때문에, 종동축(16)의 선단부가 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 대향하는 단부에 맞닿은 상태에서 축로(171b)가 진공상태일 때라도, 종동축(16)의 선단부에 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 인접하는 단부가 흡착하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 종동축(16)의 선단부를 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 인접하는 단부에서 떼어 내기 위한 힘을 고려할 필요가 없고, 이송 대상물(W)에 적절한 압착력을 작용시킴으로써 이송 대상물(W)을 안정적으로 흡착시킬 수 있다. 또한, 흡인구(17a)와 연통함과 동시에 축 방향으로 관통하는 축로(171b)는, 흡인구(17a)와 연통하는 통로로서 형성하기 쉽다.(1) At the tip of the driven shaft 16 adjacent to the movable shaft 17, a communication passage 16c communicating the outer periphery and the inner periphery of the second sealing member 42 opposite to the driven shaft 16 is provided. By installing, atmospheric pressure can be supplied between the leading end of the driven shaft 16 and the end opposite to the driven shaft 16 of the second sealing member 42. Therefore, even when the shaft path 171b is in a vacuum state while the tip end of the driven shaft 16 is in contact with the end opposite to the driven shaft 16 of the second sealing member 42, the tip of the driven shaft 16 Adsorption of the end of the second sealing member 42 adjacent to the driven shaft 16 can be suppressed. Therefore, there is no need to consider the force to remove the tip of the driven shaft 16 from the end adjacent to the driven shaft 16 of the second sealing member 42, and transfer by applying an appropriate compression force to the object to be transferred (W). The object W can be stably adsorbed. In addition, the shaft path 171b which communicates with the suction port 17a and penetrates in the axial direction is easy to form as a passage that communicates with the suction port 17a.

(2) 제2 실링부재(42)는 단차면(135h)에 지지되고, 진공압과 대기압의 차압에 의해 가동축(17)을 향해 패인 단차면(135h)에 눌린다. 이 때문에, 제2 실링부재(42)는, 가동축(17)의 축 방향을 따라 종동축(16)을 향해 이동 가능한 상태에서 설치되고, 연통통로(16c)를 설치하는 것에 대한 유용성이 높아진다.(2) The second sealing member 42 is supported by the stepped surface 135h, and pressed against the stepped surface 135h which is recessed toward the movable shaft 17 by a pressure difference between vacuum pressure and atmospheric pressure. For this reason, the 2nd sealing member 42 is installed in a state which can move toward the driven shaft 16 along the axial direction of the movable shaft 17, and the usefulness in providing the communication passage 16c increases.

(3) 제2 실링부재(42)는 수지제이며, 제2 실링부재(42)의 가공면 정밀도(精度)가 높을수록, 제2 실링부재(42)의 제2 단면(42b)에서의 실링 힘이 작용하기 쉬운 반면, 종동축(16)의 선단부에 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 대향하는 단부가 흡착하기 쉬워진다. 이 때문에, 제2 실링부재(42)의 가공면 정밀도가 높을수록, 연통통로(16c)를 설치하는 것에 대한 유용성이 높아진다.(3) The second sealing member 42 is made of resin, and the higher the precision of the processing surface of the second sealing member 42 is, the more the sealing at the second end surface 42b of the second sealing member 42 is. While the force is liable to act, an end portion of the second sealing member 42 facing the driven shaft 16 is easily adsorbed to the tip end of the driven shaft 16. For this reason, the higher the precision of the processing surface of the second sealing member 42 is, the more useful it is to provide the communication passage 16c.

(4) 종동축(16)과 제2 실링부재(42)와의 흡착을 억제하기 위해서 연통통로(16c)가 종동축(16)에 설치된다. 이 때문에, 제2 실링부재(42)에 연통통로가 형성되는 경우와 같이, 제2 실링부재(42)의 표리를 반전시켜 조립하여도, 연통통로를 원인으로 제2 실링부재(42)와 단차면(135h) 사이의 실링이 기능하지 않는 등의 사상(事象)을 방지할 수 있다.(4) In order to suppress adsorption between the driven shaft 16 and the second sealing member 42, a communication passage 16c is provided on the driven shaft 16. For this reason, as in the case where a communication path is formed in the second sealing member 42, even if the front and back sides of the second sealing member 42 are inverted and assembled, the second sealing member 42 and the second sealing member 42 are separated from each other due to the communication path. It is possible to prevent an event such as that the sealing between the vehicle surfaces 135h does not function.

이어서, 본 발명을 구체화한 제2 실시형태에 대해서 설명한다. 제2 실시형태에서는, 예를 들면, 구동축(15)의 회전에 따라 종동축(16)을 원활히 회전시키도록 구성한다. 이하의 설명에서는, 이미 설명한 실시형태와 동일구성 및 동일 제어내용에 대해서 동일부호를 부여하는 등, 그 중복되는 설명을 생략 또는 간략한다.Next, a second embodiment in which the present invention is embodied will be described. In the second embodiment, for example, the driven shaft 16 is configured to rotate smoothly in accordance with the rotation of the drive shaft 15. In the following description, overlapping descriptions such as denoting the same reference numerals for the same configuration and control contents as those of the previously described embodiment are omitted or simplified.

도 4및 도 5에 나타내는 바와 같이, 흡착 완충장치(100)에서 구동축(15)은 돌출부로서의 볼베어링(15c)을 가지며, 볼베어링(15c)은 구동축(15)의 대경부(15a)의 외주면에서 지름 방향으로 돌출하는 샤프트에 의해 지지된다. 본 실시형태에서는 볼베어링(15c)과 캠 팔로어가 이용된다. 또한, 샤프트의 기단부는 회전축(14a)에 맞닿고, 회전축(14a)과 구동축(15)이 연결된다.4 and 5, in the adsorption buffer 100, the drive shaft 15 has a ball bearing 15c as a protrusion, and the ball bearing 15c has a diameter on the outer circumferential surface of the large diameter portion 15a of the drive shaft 15 It is supported by a shaft protruding in the direction. In this embodiment, a ball bearing 15c and a cam follower are used. In addition, the base end portion of the shaft abuts against the rotation shaft 14a, and the rotation shaft 14a and the drive shaft 15 are connected.

종동축(16)은 종동축(16)의 축 방향으로 연장되도록 설치된 가이드홈(16d)을 가진다. 종동축(16)의 축 방향으로의 가이드홈(16d)의 치수는 가동축(17) 및 종동축(16)의 스트로크보다 길지만, 동일해도 좋다. 볼베어링(15c)의 외주면에는 종동축(16)의 가이드홈(16d)의 내측면이 대향하고, 볼베어링(15c)은 가이드홈(16d)을 관통한 상태로 설치된다. 볼베어링(15c)의 외주면이 가이드홈(16d)의 내측면에 맞닿음으로써, 종동축(16)은 구동축(15)의 회전에 따라 연동한다. 종동축(16)은 가이드홈(16d)이 연장하는 방향을 따라 구동축(15)에 대해서 축 방향으로 이동 가능하게 된다.The driven shaft 16 has a guide groove 16d installed so as to extend in the axial direction of the driven shaft 16. The dimension of the guide groove 16d in the axial direction of the driven shaft 16 is longer than the strokes of the movable shaft 17 and the driven shaft 16, but may be the same. The inner surface of the guide groove (16d) of the driven shaft (16) faces the outer peripheral surface of the ball bearing (15c), and the ball bearing (15c) is installed in a state passing through the guide groove (16d). As the outer circumferential surface of the ball bearing 15c abuts on the inner surface of the guide groove 16d, the driven shaft 16 interlocks with the rotation of the drive shaft 15. The driven shaft 16 is movable in the axial direction with respect to the drive shaft 15 along the direction in which the guide groove 16d extends.

도 5의 (a)에 나타내는 바와 같이, 볼베어링(15c)의 외주면이 가이드홈(16d)의 내측면에 맞닿는다. 이 때문에, 구동축(15)과 종동축(16)이 축 방향으로 연장하는 중심축선을 중심으로 일체적으로 회전한다.As shown in Fig. 5A, the outer peripheral surface of the ball bearing 15c abuts against the inner surface of the guide groove 16d. For this reason, the drive shaft 15 and the driven shaft 16 integrally rotate around a central axis extending in the axial direction.

또한, 도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 가동축(17)의 선단면(17e)이 이송 대상물(W)에 축 방향에서 압착되고, 가동축(17)이 모터 하우징(12)을 향해 이동하면, 볼베어링(15c)이 가이드홈(16d)을 따르도록, 종동축(16) 및 가동축(17)이 구동축(15)에 대해서 축 방향으로 이동 가능하게 된다.In addition, as shown in FIG. 5B, the tip surface 17e of the movable shaft 17 is pressed against the object W in the axial direction, and the movable shaft 17 faces the motor housing 12. When moving, the driven shaft 16 and the movable shaft 17 can be moved in the axial direction with respect to the drive shaft 15 so that the ball bearing 15c follows the guide groove 16d.

이어서, 본 실시형태의 작용에 대해서 설명한다.Next, the operation of the present embodiment will be described.

가동축(17)의 흡인구(17a)을 이송 대상물(W)에 압착되기 전으로, 축로(171b)에 진공압이 공급되지 않은 상태에서, 미리 정한 회전패턴에 따라 회전축(14a)이 축 방향으로 연장하는 중심축선을 중심으로 회전되고, 회전축(14a)과 일체적으로 구동축(15)이 축 방향으로 연장하는 중심축선을 중심으로 회전한다. 본 실시형태에서, 미리 정한 회전패턴으로는 소정 각도(본 실시형태에서는 90도)보다 작은 미리 정한 각도(예를 들면, 플러스 마이너스 30도)의 범위에서 복수회에 걸쳐 회전하는 패턴이지만, 이에 한정되지 않는다.Before the suction port 17a of the movable shaft 17 is pressed against the object W to be transported, in the state in which vacuum pressure is not supplied to the shaft path 171b, the rotation shaft 14a is in the axial direction according to a predetermined rotation pattern. It is rotated about a central axis extending in the direction, and the drive shaft 15 integrally with the rotation shaft 14a rotates about a central axis extending in the axial direction. In this embodiment, the predetermined rotation pattern is a pattern that rotates a plurality of times in a range of a predetermined angle (eg, plus or minus 30 degrees) smaller than a predetermined angle (90 degrees in this embodiment). It doesn't work.

구동축(15)이 축 방향으로 연장하는 중심축선을 중심으로 회전함으로써, 구동축(15)의 둘레 방향에 대해서 볼베어링(15c)의 외주면의 일부가 종동축(16)의 가이드홈(16d)의 내측면과 맞닿고, 구동축(15)과 일체적으로 종동축(16) 및 가동축(17)이 축 방향으로 연장하는 중심축선을 중심으로 회전한다. 이와 같이, 종동축(16)의 선단부에 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 대향하는 단부가 흡착하는 경우라도, 종동축(16)이 축 방향으로 연장하는 중심축선을 중심으로 회전함으로써, 종동축(16)에서 제2 실링부재(42)를 떼어놓을 수 있다. 따라서, 종동축(16)의 선단부에 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 대향하는 단부가 흡착하는 것을 억제할 수 있다.As the drive shaft 15 rotates around a central axis extending in the axial direction, a part of the outer circumferential surface of the ball bearing 15c with respect to the circumferential direction of the drive shaft 15 becomes the inner surface of the guide groove 16d of the driven shaft 16 In contact with and integrally with the drive shaft 15, the driven shaft 16 and the movable shaft 17 rotate around a central axis extending in the axial direction. In this way, even when the end opposite to the driven shaft 16 of the second sealing member 42 is adsorbed to the tip of the driven shaft 16, the driven shaft 16 extends in the axial direction. By rotating, the second sealing member 42 can be separated from the driven shaft 16. Accordingly, it is possible to suppress the end portion of the second sealing member 42 facing the driven shaft 16 from adsorbing to the tip end of the driven shaft 16.

그리고, 가동축(17)의 선단면(17e)이 이송 대상물(W)에 압착되면, 가동축(17) 및 종동축(16)에 축 방향의 구동축(15)으로 향하는 힘이 가해져, 구동축(15)의 볼베어링(15c)이 종동축(16)의 가이드홈(16d)을 따르도록, 구동축(15)에 대해서 가동축(17) 및 종동축(16)이 축 방향의 구동축(15)을 향해 이동한다.And, when the front end surface 17e of the movable shaft 17 is pressed against the object W to be conveyed, a force directed toward the drive shaft 15 in the axial direction is applied to the movable shaft 17 and the driven shaft 16, and the drive shaft ( The movable shaft 17 and the driven shaft 16 face the drive shaft 15 in the axial direction with respect to the drive shaft 15 so that the ball bearing 15c of 15) follows the guide groove 16d of the driven shaft 16. Move.

상기 실시형태에서는 이하의 효과를 얻을 수 있다.In the above embodiment, the following effects can be obtained.

(5) 구동축(15)에는, 구동축(15)의 축 방향에 직교하는 방향으로 연장하는 볼베어링(15c)이 설치되고, 구동축(15)의 외주측의 종동축(16)에는 종동축(16)의 축 방향으로 연장하는 가이드홈(16d)이 설치되고, 볼베어링(15c)이 가이드홈(16d)에 맞닿음과 동시에, 볼베어링(15c)이 가이드홈(16d)을 따라 축 방향으로 가이드된다. 이 때문에, 볼베어링(15c)과 가이드홈(16d)에 의해 구동축(15)의 회전을 종동축의 회전에 직접 전달할 수 있어, 종동축(16)을 원활히 회전시킬 수 있다.(5) The drive shaft 15 is provided with a ball bearing 15c extending in a direction orthogonal to the axial direction of the drive shaft 15, and a driven shaft 16 on the driven shaft 16 on the outer circumferential side of the drive shaft 15 A guide groove (16d) extending in the axial direction of is installed, and the ball bearing (15c) is in contact with the guide groove (16d) and at the same time, the ball bearing (15c) is guided in the axial direction along the guide groove (16d). For this reason, the rotation of the drive shaft 15 can be directly transmitted to the rotation of the driven shaft by the ball bearing 15c and the guide groove 16d, and the driven shaft 16 can be smoothly rotated.

(6) 또한, 이와 더불어, 구동축(15)이 작은 각도로 회전하는 경우라도, 도 2의 (b)에 나타내는 각도에 비례하는 토크와 비교하여, 종동축(16)에 큰 토크를 전달할 수 있고, 구동축(15)의 회전에 의해 종동축(16)의 선단부에 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 대향하는 단부가 흡착하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 종동축(16)의 선단부를 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 대향하는 단부로부터 떼어놓기 위한 힘을 고려할 필요가 없고, 이송 대상물(W)에 적절한 압착력을 작용시킴으로써 이송 대상물(W)을 안정적으로 흡착시킬 수 있다.(6) In addition, in addition to this, even when the drive shaft 15 rotates at a small angle, a large torque can be transmitted to the driven shaft 16 compared to the torque proportional to the angle shown in Fig. 2(b). , It is possible to suppress adsorption of the end of the second sealing member 42 facing the driven shaft 16 on the tip of the driven shaft 16 by the rotation of the drive shaft 15. Therefore, it is not necessary to consider the force to separate the tip of the driven shaft 16 from the end opposite to the driven shaft 16 of the second sealing member 42, and transfer by applying an appropriate compression force to the object to be transferred (W). The object W can be stably adsorbed.

(7) 또한, 소정 각도를 초과하여 구동축(15)이 회전된 경우라도, 볼베어링(15c)과 가이드홈(16d)의 맞닿음에 의해 구동축(15)과 종동축(16)의 각도가 변화하지 않고(어긋나지 않고), 구동축(15)과 종동축(16)의 각도를 재조정할 필요가 없으며, 이송 대상물(W)을 정확하게 회전시킬 수 있다.(7) In addition, even when the drive shaft 15 is rotated beyond a predetermined angle, the angle of the drive shaft 15 and the driven shaft 16 does not change due to the contact between the ball bearing 15c and the guide groove 16d. Without (without shifting), there is no need to readjust the angles of the drive shaft 15 and the driven shaft 16, and the transfer object W can be accurately rotated.

(8) 또한, 볼베어링(15c)을 이용함으로써 원활히 종동축(16)을 축 방향으로 이동시킬 수 있다.(8) Further, by using the ball bearing 15c, the driven shaft 16 can be smoothly moved in the axial direction.

이 때, 상기 실시형태는 이하와 같이 변경해도 좋다.At this time, the above embodiment may be changed as follows.

· 제2 실시형태에서, 예를 들면, 구동축 자석 및 종동축 자석을 둘레 방향으로 복수의 자극으로서 분할하지 않고, 구동축 자석 및 종동축 자석의 하나를 N극, 구동축 자석 및 종동축 자석의 다른 하나를 S극으로 해도 좋다. 이로 인해, 구동축 자석 및 종동축 자석의 서로 대향하는 면이 상이한 자극으로 착자됨으로써, 구동축 자석 및 종동축 자석이 비접촉이고, 그리고 축 방향의 자극의 겹쳐짐을 오프셋시키고, 복귀하고자 하는 축 방향의 흡인력을 가동축에 작용시키면서 축 방향으로 이동 가능하다.In the second embodiment, for example, without dividing the drive shaft magnet and the driven shaft magnet as a plurality of magnetic poles in the circumferential direction, one of the drive shaft magnet and the driven shaft magnet is the N pole, the other of the drive shaft magnet and the driven shaft magnet May be S pole. As a result, the opposite sides of the drive shaft magnet and the driven shaft magnet are magnetized with different magnetic poles, so that the drive shaft magnet and the driven shaft magnet are not in contact, and the overlap of the magnetic poles in the axial direction is offset, and the attraction force in the axial direction to be restored is reduced. It can be moved in the axial direction while acting on the movable shaft.

· 제2 실시형태에서, 예를 들면, 볼베어링(15c) 대신 돌기부가 설치되어도 좋다.In the second embodiment, for example, a protrusion may be provided instead of the ball bearing 15c.

· 제2 실시형태에서, 예를 들면, 구동축(15)에 가이드홈이 설치되고, 종동축(16)에 볼베어링이 설치되어도 좋다. 즉, 구동축(15)과 종동축(16)의 일방에 볼베어링이 설치되고, 구동축(15)과 종동축(16)의 타방에 가이드홈이 설치되어도 좋다.In the second embodiment, for example, a guide groove may be provided in the drive shaft 15 and a ball bearing may be provided in the driven shaft 16. That is, a ball bearing may be installed on one of the drive shaft 15 and the driven shaft 16, and a guide groove may be provided on the other side of the drive shaft 15 and the driven shaft 16.

· 상기 실시형태에서, 예를 들면, 종동축이 내측으로 삽입됨과 동시에 종동축에 대해서 축 방향으로 이동 가능한 통 형상의 구동축을 구비해도 좋다. 즉, 구동축과 종동축에 대해서, 각각의 외주면과 내주면이 대면하도록 설치되면, 어떠한 축이 내측에 삽입되어도 좋다. 다시 말해, 종동축은 구동축의 지름 방향 외측 또는 지름 방향 내측에 설치되면 좋다.In the above embodiment, for example, a cylindrical drive shaft may be provided which can be moved in the axial direction with respect to the driven shaft while the driven shaft is inserted inward. That is, with respect to the drive shaft and the driven shaft, if each of the outer and inner peripheral surfaces are provided so as to face each other, any shaft may be inserted inside. In other words, the driven shaft may be installed radially outside or radially inside the drive shaft.

· 상기 실시형태에서, 예를 들면, 가동축 수용부(16a)를 관통함으로써, 가동축 수용부(16a)의 내주측과 외주측이 연통하는 연통공이 연통통로로서 형성되어도 좋다.In the above embodiment, for example, by passing through the movable shaft accommodating portion 16a, a communication hole through which the inner circumferential side and the outer circumferential side of the movable shaft accommodating portion 16a communicate may be formed as a communication passage.

· 상기 실시형태에서, 예를 들면, 제2 실링부재(42)에 외주와 내주를 연통하는 연통통로가 설치되어도 좋다. 이 경우, 종동축(16)의 가동축 수용부(16a)에 연통통로(16c)가 설치되어도 좋고, 설치되지 않아도 좋다. 즉, 종동축(16) 및 제2 실링부재(42)가 적어도 어느 하나에서, 종동축(16)의 선단부와 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 대향하는 단부가 맞닿는 당접부에, 제2 실링부재(42)의 종동축(16)에 대향하는 외주와 내주를 연통하는 연통통로가 설치되면 좋다.In the above embodiment, for example, a communication path for communicating the outer periphery and the inner periphery may be provided in the second sealing member 42. In this case, the communication passage 16c may or may not be provided in the movable shaft accommodating portion 16a of the driven shaft 16. That is, in at least one of the driven shaft 16 and the second sealing member 42, a contact portion in which the tip of the driven shaft 16 and the end opposite to the driven shaft 16 of the second sealing member 42 abut Thus, a communication passage for communicating the outer periphery and the inner periphery facing the driven shaft 16 of the second sealing member 42 may be provided.

· 상기 실시형태에서, 예를 들면, 종동축(16)에 가동축 수용부(16a)가 형성되지 않아도 좋고, 이 경우, 종동축(16)의 단면에 연통통로가 설치되어도 좋고, 제2 실링부재(42)에 연통통로가 설치되어도 좋다.In the above embodiment, for example, the movable shaft receiving portion 16a may not be formed on the driven shaft 16, and in this case, a communication path may be provided on the end face of the driven shaft 16, and the second sealing A communication passage may be provided in the member 42.

· 상기 실시형태에서, 예를 들면, 체결나사(18)를 이용하지 않고, 종동축(16)과 가동축(17)을 연결시키고, 가동축(17)의 축로(171b)에서의 종동축(16)에 인접하는 단부를 닫는 구성이라도 좋다. 구체적인 일례를 들면, 종동축(16)에 나사 삽통공(16h)이 형성되지 않고, 가동축 수용부(16a)가 바닥이 있는 원통 형상이어도 좋다. 이 경우, 가동축 수용부(16a)를 형성하는 내주면과 가동축(17)의 선단부의 외주면에 나사산이 형성되고, 이들 나사산을 나합시킴으로써, 종동축(16)과 가동축(17)을 연결시키고, 가동축(17)의 축로(171b)에서의 종동축(16)에 인접하는 단부를 닫아도 좋다.In the above embodiment, for example, without using the fastening screw 18, the driven shaft 16 and the movable shaft 17 are connected, and the driven shaft in the shaft path 171b of the movable shaft 17 ( It may be configured to close the end adjacent to 16). As a specific example, the screw insertion hole 16h may not be formed in the driven shaft 16, and the movable shaft accommodating part 16a may be a bottomed cylindrical shape. In this case, threads are formed on the inner circumferential surface forming the movable shaft receiving portion 16a and the outer circumferential surface of the tip end of the movable shaft 17, and by joining these threads together, the driven shaft 16 and the movable shaft 17 are connected. The end of the movable shaft 17 adjacent to the driven shaft 16 in the shaft path 171b may be closed.

· 상기 실시형태에서, 종동축(16)의 선단면이 제2 실링부재(42)에 맞닿은 상태에서, 종동축 자석(21)의 선단면과 구동축 자석(20)의 선단면이, 가동축(17)의 축 방향에서 동일한 위치여도 좋다.In the above embodiment, with the leading end surface of the driven shaft 16 in contact with the second sealing member 42, the leading end surface of the driven shaft magnet 21 and the leading end surface of the driving shaft magnet 20 are formed by the movable shaft ( It may be the same position in the axial direction of 17).

· 상기 실시형태에서, 제1 실링부재(41) 및 제2 실링부재(42)는 고무제 또는 금속제여도 좋다.In the above embodiment, the first sealing member 41 and the second sealing member 42 may be made of rubber or metal.

· 상기 실시형태에서, 모터가 하우징(11)에 내장되지 않아도 좋고, 하우징(11) 외부에 설치된 모터의 모터축의 회전을, 동력전달기구를 통해 회전축(14a)으로 전달하는 구성이라도 좋다.In the above embodiment, the motor may not be embedded in the housing 11, and may be configured to transmit the rotation of the motor shaft of the motor provided outside the housing 11 to the rotation shaft 14a through a power transmission mechanism.

Claims (7)

하우징과,
상기 하우징 내에 수용되고, 회전 가능하도록 지지되는 구동축과,
상기 하우징 내에 수용되고, 상기 구동축의 지름 방향 외측 또는 지름 방향 내측에서 상기 구동축에 대해서 축 방향으로 이동 가능한 종동축과,
상기 종동축과 연결되고, 상기 종동축과 일체적으로 상기 축 방향으로 이동 가능한 가동축으로서, 상기 종동축에 연결된 기단부와, 상기 기단부와 반대측에 위치하고, 상기 하우징으로부터 돌출하는 선단부와, 상기 선단부에서 이송 대상물을 흡착하는 흡착부와, 상기 흡착부와 연통하도록 상기 축 방향으로 연장하는 축로를 가지는 가동축과,
상기 구동축과 상기 종동축에서 상기 축 방향에 직교하는 방향에서 서로 대향하는 면에 착자된 자석과,
상기 가동축의 상기 종동축에 인접하는 외주면과 맞닿고, 상기 외주면과 상기 하우징 사이를 실링하는 환 형상의 실링부재를 구비하고,
상기 가동축의 상기 축로에 진공압이 공급됨으로써 상기 흡착부에 이송 대상물이 흡착되고,
상기 종동축 및 상기 가동축은, 상기 축 방향으로의 이동 및 상기 축 방향으로 연장하는 중심축선을 중심으로 하는 회전이 허용되도록 구성되고,
상기 자석의 서로 대향하는 면이 상이한 자극으로 착자됨으로써, 상기 자석이 비접촉이고, 그리고 축 방향의 자극의 겹쳐짐을 오프셋시키고, 복귀하고자 하는 축 방향의 흡인력을 상기 가동축에 작용시키면서 상기 축 방향으로 이동 가능하며,
상기 종동축의 상기 가동축에 인접하는 선단부와 상기 실링부재의 상기 종동축에 대향하는 기단부가 맞닿음 가능하고,
상기 종동축의 상기 선단부 및 상기 실링부재의 상기 기단부의 적어도 어느 하나에, 상기 실링부재의 상기 종동축에 대향하는 측의 외주와 내주를 연통하는 연통통로가 설치되는, 흡착 완충장치.
With the housing,
A drive shaft accommodated in the housing and supported so as to be rotatable,
A driven shaft accommodated in the housing and movable in an axial direction with respect to the drive shaft in a radial direction outside or inside a radial direction of the drive shaft,
A movable shaft connected to the driven shaft and movable in the axial direction integrally with the driven shaft, a base end connected to the driven shaft, a distal end protruding from the housing and located opposite the base end, and at the distal end A movable shaft having an adsorption part for adsorbing an object to be transported, and a shaft path extending in the axial direction to communicate with the adsorption part,
A magnet magnetized on a surface opposite to each other in a direction perpendicular to the axial direction in the drive shaft and the driven shaft,
And a ring-shaped sealing member abutting an outer peripheral surface of the movable shaft adjacent to the driven shaft and sealing between the outer peripheral surface and the housing,
By supplying vacuum pressure to the shaft of the movable shaft, the object to be transferred is adsorbed to the adsorption unit
The driven shaft and the movable shaft are configured to allow movement in the axial direction and rotation about a central axis extending in the axial direction,
As the opposite sides of the magnet are magnetized with different magnetic poles, the magnet is non-contact and the overlap of magnetic poles in the axial direction is offset, and a suction force in the axial direction to be returned is applied to the movable shaft and moves in the axial direction. Is possible,
A front end portion of the driven shaft adjacent to the movable shaft and a base end portion of the sealing member opposite to the driven shaft may abut,
At least one of the leading end of the driven shaft and the base end of the sealing member is provided with a communication passage for communicating an outer periphery and an inner periphery of the sealing member opposite to the driven shaft.
 제1항에 있어서,
상기 연통통로는 상기 종동축의 상기 선단부에 설치되는 흡착 완충장치.
The method of claim 1,
The communication passage is an adsorption shock absorber installed at the tip of the driven shaft.
 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 구동축 및 상기 종동축의 일방에는, 상기 축 방향에 직교하는 방향으로 연장하는 돌출부가 설치되고,
상기 구동축 및 상기 종동축의 타방에는, 상기 축 방향으로 연장하는 가이드홈이 설치되고,
상기 돌출부가 상기 축 방향에 직교하는 방향에 대해서 상기 가이드홈에 맞닿음과 동시에 상기 돌출부가 상기 가이드홈을 따라 상기 축 방향으로 가이드 되는, 흡착 완충장치.
The method according to claim 1 or 2,
One of the drive shaft and the driven shaft is provided with a protrusion extending in a direction orthogonal to the axial direction,
On the other side of the drive shaft and the driven shaft, a guide groove extending in the axial direction is installed,
The adsorption shock absorber, wherein the protrusion abuts the guide groove with respect to a direction perpendicular to the axial direction, and the protrusion is guided along the guide groove in the axial direction.
 제3항에 있어서,
상기 돌출부는 볼베어링인, 흡착 완충장치.
The method of claim 3,
The protrusion is a ball bearing, adsorption buffer.
 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 종동축은, 상기 구동축이 내측에 삽입됨과 동시에 상기 구동축에 대해서 축 방향으로 이동 가능한 통 형상의 축이며,
상기 자석은, 상기 구동축의 외주면에 설치되는 통 형상의 구동축 자석과, 상기 종동축의 내주면에 설치됨과 동시에 상기 구동축 자석에 대해서 상기 축 방향에 직교하는 방향으로 대향하도록 배치되는 통 형상의 종동축 자석을 포함하는, 흡착 완충장치.
The method according to claim 1 or 2,
The driven shaft is a cylindrical shaft capable of moving in an axial direction with respect to the drive shaft while the drive shaft is inserted inside,
The magnet includes a cylindrical drive shaft magnet installed on an outer circumferential surface of the drive shaft, and a cylindrical driven shaft magnet installed on an inner circumferential surface of the driven shaft and disposed to face the drive shaft magnet in a direction orthogonal to the axial direction. Containing, adsorption buffer.
 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 자석은, 상기 구동축의 외주면에 설치되는 통 형상의 구동축 자석과, 상기 종동축의 내주면에 설치됨과 동시에 상기 구동축 자석에 대해서 상기 축 방향에 직교하는 방향으로 대향하도록 배치되는 통 형상의 종동축 자석을 포함하고,
상기 구동축 자석 및 상기 종동축 자석은, 둘레 방향으로 복수의 자극으로서 분할되도록, N극과 S극이 교대로 착자되고, 상기 구동축 자석의 외주면과 상기 종동축 자석의 내주면의 서로 대향하는 면이 상이한 자극으로 착자됨으로써, 상기 구동축과 상기 종동축이 비접촉이고, 그리고 회전 방향에는 일체적으로 회전 가능하게 되고, 상기 구동축 자석 및 상기 종동축 자석이 비접촉이고, 그리고 축 방향의 자극의 겹쳐짐을 오프셋시키고, 복귀하고자 하는 축 방향의 흡인력을 상기 가동축에 작용시키면서 축 방향으로 이동 가능한, 흡착 완충장치.
The method according to claim 1 or 2,
The magnet includes a cylindrical drive shaft magnet installed on an outer circumferential surface of the drive shaft, and a cylindrical driven shaft magnet installed on an inner circumferential surface of the driven shaft and disposed to face the drive shaft magnet in a direction orthogonal to the axial direction. Including,
The drive shaft magnet and the driven shaft magnet are alternately magnetized so as to be divided into a plurality of magnetic poles in the circumferential direction, and the outer peripheral surface of the drive shaft magnet and the inner peripheral surface of the driven shaft magnet are different from each other. By being magnetized with magnetic poles, the drive shaft and the driven shaft are non-contact, and integrally rotatable in the rotation direction, the drive shaft magnet and the driven shaft magnet are non-contact, and the overlap of magnetic poles in the axial direction is offset, An adsorption shock absorber capable of moving in an axial direction while acting on the movable shaft with a suction force in the axial direction to be returned.
 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 하우징은 상기 실링부재를 지지하는 단차면을 가지고,
상기 실링부재는, 상기 실링부재의 상기 기단부와 반대측에 선단부를 가지고,
상기 실링부재의 상기 선단부가 상기 단차면과 맞닿고,
상기 실링부재의 상기 기단부가 상기 종동축의 상기 선단부와 맞닿음 가능한, 흡착 완충장치.The method according to claim 1 or 2,
The housing has a stepped surface for supporting the sealing member,
The sealing member has a front end on a side opposite to the base end of the sealing member,
The front end of the sealing member abuts the stepped surface,
An adsorption shock absorber capable of abutting the base end of the sealing member with the distal end of the driven shaft.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113878609B (en) * 2021-10-12 2023-07-14 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） Suction cup, suction assembly and end effector
CN116040313B (en) * 2023-03-30 2023-06-13 中南大学 Adjustable suction speed double-variable cavity adaptive pneumatic adsorption device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008542037A (en) 2005-05-26 2008-11-27 エルピーイー ソシエタ ペル アチオニ Wafer handling vacuum system
JP2018085457A (en) 2016-11-24 2018-05-31 Ckd株式会社 Adsorption buffer

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1985002783A1 (en) * 1983-12-20 1985-07-04 Membrex, Inc. Filtration method and apparatus
JPH1013092A (en) * 1996-06-26 1998-01-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Part mounting head
JP4235078B2 (en) * 2003-10-16 2009-03-04 シーケーディ株式会社 Shock absorber
DE202008010424U1 (en) * 2008-07-30 2009-12-24 J. Schmalz Gmbh Air-operated surface suction gripper
CN201813298U (en) * 2010-04-21 2011-04-27 胡俊兵 Novel electromagnetic driver and device using same
JP6067214B2 (en) * 2011-07-29 2017-01-25 富士機械製造株式会社 Suction nozzle
JP6025162B2 (en) * 2011-12-27 2016-11-16 ハンファテクウィン株式会社Ｈａｎｗｈａ Ｔｅｃｈｗｉｎ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． Suction head of surface mounter
WO2014132292A1 (en) * 2013-02-28 2014-09-04 ヤマハ発動機株式会社 Suction nozzle and surface mounting device
KR102072171B1 (en) * 2014-01-16 2020-01-31 아틀라스 콥코 아이에이에스 유케이 리미티드 Method of riveting
NL2013584B1 (en) * 2014-10-07 2017-01-27 Assembléon B V Component placement device as well as method for incorporating a component and placing a component on a substrate.

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008542037A (en) 2005-05-26 2008-11-27 エルピーイー ソシエタ ペル アチオニ Wafer handling vacuum system
JP2018085457A (en) 2016-11-24 2018-05-31 Ckd株式会社 Adsorption buffer

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