KR102203640B1 - Three-Dimensional Nanostructure Metal Catalyst for Carbon Dioxide Reduction and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매는 정렬된 금속 나노선이 적층된 구조로, 적층된 촉매 두께에 의해 국소 pH를 높게 조절하여 CO 선택성을 높일 수 있다.
또한, 금속 나노선의 작은 입자 크기 덕분에 높은 CO 선택성을 갖는 고차 결정면을 촉매 활성부위에 포함하여 CO 선택성을 현저하게 증가시키고, 수소 발생 반응을 억제시킴으로써 이산화탄소 환원 반응속도를 높일 수 있다.
3차원 나노 구조 금속 촉매를 이루는 금속 나노선 사이의 공간은 촉매 층 내부에서 반응물 및 생성물의 이동을 원활하게 하여 이산화탄소 환원 반응 속도를 높인다.
또한, 본 발명의 3차원 나노 구조를 가지는 촉매는 나노 구조의 제어를 통해 높은 안정성을 가질 수 있고 이산화탄소 환원을 위한 촉매 전극에 활용될 수 있다.
The present invention relates to a three-dimensional nano-structured metal catalyst for carbon dioxide reduction and a method for producing the same.
The three-dimensional nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction of the present invention has a structure in which aligned metal nanowires are stacked, and can increase CO selectivity by adjusting a local pH high by the thickness of the stacked catalyst.
In addition, due to the small particle size of the metal nanowires, a high-order crystal plane having high CO selectivity is included in the catalytically active site to remarkably increase the CO selectivity and suppress the hydrogen generation reaction to increase the carbon dioxide reduction reaction rate.
The space between the metal nanowires forming the 3D nanostructured metal catalyst facilitates the movement of reactants and products within the catalyst layer, thereby increasing the carbon dioxide reduction reaction rate.
In addition, the catalyst having a three-dimensional nanostructure of the present invention can have high stability through control of the nanostructure and can be used as a catalyst electrode for carbon dioxide reduction.

Description

이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매 및 이의 제조방법{Three-Dimensional Nanostructure Metal Catalyst for Carbon Dioxide Reduction and manufacturing method thereof}Three-Dimensional Nanostructure Metal Catalyst for Carbon Dioxide Reduction and Manufacturing Method thereof

본 발명은 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a three-dimensional nano-structured metal catalyst for carbon dioxide reduction and a method for producing the same.

지난 2016년 파리협약에서 CO2를 포함한 온실가스를 감소시키는데 대한 전 세계적인 합의가 채택된 후에 대기 중의 CO2 농도를 감소시키기 위한 노력이 세계적으로 가속화되고 있다. 따라서 다양한 방법 중 CO2를 부가가치가 있는 화학 공급원이나 연료로 전환시키는 금속 촉매를 사용한 전기화학적 CO2 환원 반응(CO2 reduction reaction, CO2RR)이 상당히 주목받고 있다. After a global agreement on reducing greenhouse gas emissions, including CO 2 from the last Paris Convention in 2016 adopted a commitment to reduce the CO 2 concentration in the atmosphere is accelerating worldwide. Therefore, various methods of electrochemical CO 2 reduction using a metal catalyst to convert CO 2 as a chemical source or a fuel with a value (CO 2 reduction reaction, CO 2 RR) are receiving significant attention.

그러나 수성 환경에서의 전기화학적 CO2RR은 일반적으로 불량한 에너지 효율 및 탄소 생성물의 선택성과 같은 몇 가지 제약에 직면해있다. 일반적으로 화학적으로 안정한 CO2 분자로부터 CO2RR을 개시하여 중간체를 형성하는 데는 높은 과전위가 필요하며 이것은 낮은 에너지 효율로 이어진다. 또한 수소 생성 반응과 CO2RR 사이의 유사한 산화환원전위 때문에 수소가 생성물로 함께 생성되고 CO2 환원 생성물의 선택성을 감소시킨다. However, electrochemical CO 2 RR in an aqueous environment generally faces some limitations, such as poor energy efficiency and selectivity of carbon products. In general, high overpotentials are required to initiate CO 2 RR from chemically stable CO 2 molecules to form intermediates, leading to low energy efficiency. Also, because of the similar redox potential between the hydrogen generation reaction and the CO 2 RR, hydrogen is produced together as a product and decreases the selectivity of the CO 2 reduction product.

따라서 CO2RR에 필요한 과전위를 감소시키고 수성 용액에서 탄소계 생성물 선택성을 증가시키기 위한 많은 연구로 Au, Ag, Sn 및 Cu를 포함하는 다양한 금속을 촉매로 활용하여 수소 생성 반응을 억제하고 CO2RR 활성을 높이는 연구가 이루어지고 있다. Therefore, there are many studies to reduce the overpotential required for CO 2 RR and increase the selectivity of carbon-based products in aqueous solutions. Various metals including Au, Ag, Sn, and Cu are used as catalysts to suppress the hydrogen generation reaction and CO 2 Research to increase RR activity is being conducted.

비특허문헌 1. Hori, Y.; Wakebe, H.; Tsukamoto, T.; Koga, O. Electrochim. Acta 1994, 39 (11-12), 1833-1839.Non-Patent Document 1. Hori, Y.; Wakebe, H.; Tsukamoto, T.; Koga, O. Electrochim. Acta 1994, 39 (11-12), 1833-1839. 비특허문헌 2. Chen, Y.; Li, C. W.; Kanan, M. W., J. Am. Chem. Soc. 2012, 134 (49), 19969-72Non-Patent Document 2. Chen, Y.; Li, C. W.; Kanan, M. W., J. Am. Chem. Soc. 2012, 134 (49), 19969-72 비특허문헌 3. Feng, X.; Jiang, K.; Fan, S.; Kanan, M. W., J. Am. Chem. Soc. 2015, 137 (14), 4606-9.Non-Patent Document 3. Feng, X.; Jiang, K.; Fan, S.; Kanan, M. W., J. Am. Chem. Soc. 2015, 137 (14), 4606-9.

본 발명의 목적은 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조방법을 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a 3D nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction.

본 발명의 다른 목적은 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a three-dimensional nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면은 (A) 포토리소그래피 공정 처리하여 패턴이 형성된 마스터몰드를 제작하고 상기 마스터몰드의 상면에 하이드록실-말단 고분자층을 형성하는 단계; (B) 상기 하이드록실-말단 고분자층이 형성된 마스터몰드의 상면에 아크릴 수지층을 형성하는 단계; (C) 상기 아크릴 수지층과 상기 마스터몰드와 분리하여 상기 아크릴 수지층의 일면에 상기 마스터몰드와 동일한 패턴으로 다수의 음각을 형성하는 단계; (D) 상기 아크릴 수지층에 형성된 다수의 음각 사이에 위치한 직선 기둥을 따라 금속 나노선을 증착시키는 단계; (E) 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후 상기 아크릴 수지를 제거하여 정렬된 금속 나노선을 제조하는 단계; (F) 상기 정렬된 금속 나노선을 금속 호일에 여러 번 적층하여 금속 나노 구조체를 제조하는 단계; (G) 상기 금속 나노 구조체의 상면에 상기 아크릴 수지층을 형성한 후 상기 금속 호일을 제거하는 금속 에천트 수용액을 처리하여 상기 금속 호일을 제거하는 단계; 및 (H) 상기 금속 나노 구조체의 아크릴 수지층을 제거하여 금속 나노 촉매를 수득하는 단계를 포함하는 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조방법에 관한 것이다.One aspect of the present invention for achieving the above object is (A) a photolithography process to prepare a patterned master mold and forming a hydroxyl-terminated polymer layer on the upper surface of the master mold; (B) forming an acrylic resin layer on the upper surface of the master mold on which the hydroxyl-terminated polymer layer is formed; (C) forming a plurality of intaglios in the same pattern as the master mold on one surface of the acrylic resin layer by separating the acrylic resin layer from the master mold; (D) depositing a metal nanowire along a straight pillar positioned between a plurality of intaglios formed on the acrylic resin layer; (E) attaching the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer to a substrate and then removing the acrylic resin to prepare aligned metal nanowires; (F) manufacturing a metal nanostructure by laminating the aligned metal nanowires on a metal foil several times; (G) forming the acrylic resin layer on the upper surface of the metal nanostructure and then removing the metal foil by treating an aqueous metal etchant solution for removing the metal foil; And (H) removing the acrylic resin layer of the metal nanostructure to obtain a metal nanocatalyst. It relates to a method for producing a 3D nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction.

본 발명의 다른 측면은 상기 제조방법에 따라 제조된 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매에 관한 것이다.Another aspect of the present invention relates to a 3D nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction prepared according to the above manufacturing method.

본 발명의 또 다른 측면은 다수의 금속 나노선이 각각 소정의 간격을 두고 평행하게 이격된 정렬된 금속 나노선; 상기 정렬된 금속 나노선이 인접하는 다른 정렬된 금속 나노선과 소정의 각도를 이루도록 2 내지 50층 적층된 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매에 관한 것이다.In another aspect of the present invention, a plurality of metal nanowires are aligned metal nanowires spaced in parallel with each other at a predetermined interval; It relates to a 3D nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction in which 2 to 50 layers are stacked so that the aligned metal nanowires form a predetermined angle with other aligned metal nanowires adjacent to each other.

본 발명의 또 다른 측면은 상기 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매를 포함하는 이산화탄소 환원을 위한 전극에 관한 것이다.Another aspect of the present invention relates to an electrode for carbon dioxide reduction including the three-dimensional nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction.

본 발명의 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매는 정렬된 금속 나노선이 적층된 구조로, 적층된 촉매 두께에 의해 국소 pH를 높게 조절하여 CO 선택성을 높일 수 있다.The three-dimensional nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction of the present invention has a structure in which aligned metal nanowires are stacked, and can increase CO selectivity by adjusting a local pH high by the thickness of the stacked catalyst.

또한, 금속 나노선의 작은 입자 크기 덕분에 높은 CO 선택성을 갖는 고차 결정면을 촉매 활성부위에 포함하여 CO 선택성을 현저하게 증가시키고, 수소 발생 반응을 억제시킴으로써 이산화탄소 환원 반응속도를 높일 수 있다.In addition, due to the small particle size of the metal nanowires, a high-order crystal plane having high CO selectivity is included in the catalytically active site to remarkably increase the CO selectivity and suppress the hydrogen generation reaction, thereby increasing the carbon dioxide reduction reaction rate.

3차원 나노 구조 금속 촉매를 이루는 금속 나노선 사이의 공간은 촉매 층 내부에서 반응물 및 생성물의 이동을 원활하게 하여 이산화탄소 환원 반응 속도를 높인다.The space between the metal nanowires forming the 3D nanostructured metal catalyst facilitates the movement of reactants and products within the catalyst layer, thereby increasing the carbon dioxide reduction reaction rate.

또한, 본 발명의 3차원 나노 구조를 가지는 촉매는 나노 구조의 제어를 통해 높은 안정성을 가질 수 있고 이산화탄소 환원을 위한 촉매 전극에 활용될 수 있다.In addition, the catalyst having a three-dimensional nanostructure of the present invention can have high stability through control of the nanostructure and can be used as a catalyst electrode for carbon dioxide reduction.

도 1a는 정렬된 Au 나노선을 제작하는 과정을 나타낸 개략도이다.
도 1b는 순수 Au 박막의 투과전자현미경(Transmission Electron Microscope, TEM) 이미지이고, 우측 상단의 삽도는 제한 시야 전자 회절(Selected Area Electron Diffraction, SAED) 패턴을 나타낸 이미지이다.
도 1c는 Au 나노선의 TEM 이미지이고, 우측 상단의 삽도는 SAED 패턴을 나타낸 이미지이다.
도 1d는 Au 나노선 및 순수 Au 박막의 X선 회절(X-ray Diffraction, XRD) 패턴이다.
도 1e는 Au 나노선 및 순수 Au 박막의 전자 역산란 회절(Electron Backscattering Diffraction, EBSD)을 통한 IPF(Inverse Pole Figure) 맵을 관찰하여 나타낸 것이다.
도 2a는 정렬된 Au 나노선으로부터 3차원 나노 구조 Au 촉매를 제조하는 과정을 나타낸 개략도이다.
도 2b는 본 발명의 실시예 1의 상면 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지이다.
도 2c는 본 발명의 실시예 2의 상면 SEM 이미지이다.
도 2d는 본 발명의 실시예 3의 상면 SEM 이미지이다.
도 2e는 본 발명의 실시예 1의 단면 SEM 이미지이다.
도 2f는 본 발명의 실시예 2의 단면 SEM 이미지이다.
도 2g는 본 발명의 실시예 3의 단면 SEM 이미지이다.
도 3은 실시예 1 내지 3 및 비교예로부터 제조된 촉매를 포함하는 전극의 CO 선택성을 측정한 그래프이다.
도 4a는 본 발명의 실시예 1 내지 3 및 비교예로부터 제조된 촉매를 포함하는 전극의 총 전류밀도(jtot = jCO + jH2)를 나타낸 그래프이다.
도 4b는 본 발명의 실시예 1 내지 3 및 비교예로부터 제조된 촉매를 포함하는 전극의 CO 발생 전류밀도(jCO)를 나타낸 그래프이다.
도 4c는 본 발명의 실시예 1 내지 3 및 비교예로부터 제조된 촉매를 포함하는 전극의 HER의 수소 발생 전류 밀도(jH2)를 나타낸 그래프이다.
도 4d는 본 발명의 실시예 1 내지 3 및 비교예의 jCO에 기초하여 Tafel slope를 측정한 그래프이다.
도 5는 본 발명의 실시예 1 내지 3 및 비교예의 CO2 환원에 대한 촉매 안정성을 측정한 그래프이다.
도 6a는 본 발명의 실시예 2로부터 제조된 촉매가 가스 확산층 전극 상면에 적용된 SEM 이미지이다.
도 6b는 본 발명의 실시예 2로부터 제조된 촉매가 도입된 가스 확산층 전극의 CO2RR 활성을 나타낸 그래프이다.
도 6c는 본 발명의 실시예 2로부터 제조된 촉매가 도입된 가스 확산층 전극의 인가된 전위에 따른 부분 전류 밀도 거동을 나타낸 그래프이다.
1A is a schematic diagram showing a process of manufacturing aligned Au nanowires.
FIG. 1B is a transmission electron microscope (TEM) image of a pure Au thin film, and the inset at the upper right is an image showing a Selected Area Electron Diffraction (SAED) pattern.
1C is a TEM image of Au nanowires, and an inset at the upper right is an image showing a SAED pattern.
1D is an X-ray diffraction (XRD) pattern of Au nanowires and pure Au thin films.
Figure 1e shows by observing an IPF (Inverse Pole Figure) map through electron backscattering diffraction (EBSD) of Au nanowires and pure Au thin film.
2A is a schematic diagram showing a process of preparing a three-dimensional nanostructured Au catalyst from aligned Au nanowires.
2B is an image of a scanning electron microscope (SEM) according to Example 1 of the present invention.
2C is a top SEM image of Example 2 of the present invention.
2D is a top SEM image of Example 3 of the present invention.
2E is a cross-sectional SEM image of Example 1 of the present invention.
2F is a cross-sectional SEM image of Example 2 of the present invention.
2G is a cross-sectional SEM image of Example 3 of the present invention.
3 is a graph measuring CO selectivity of electrodes including catalysts prepared from Examples 1 to 3 and Comparative Examples.
Figure 4a is a graph showing the total current density (j tot = j CO + j H2 ) of the electrode including the catalyst prepared from Examples 1 to 3 and Comparative Examples of the present invention.
Figure 4b is a graph showing the CO generation current density (j CO ) of the electrode including the catalyst prepared from Examples 1 to 3 and Comparative Examples of the present invention.
4C is a graph showing the hydrogen generation current density (j H2 ) of HER of an electrode including a catalyst prepared from Examples 1 to 3 and Comparative Examples of the present invention.
Figure 4d is a graph measuring the Tafel slope based on j CO of Examples 1 to 3 and Comparative Examples of the present invention.
5 is a graph measuring the catalyst stability for CO 2 reduction of Examples 1 to 3 and Comparative Examples of the present invention.
6A is an SEM image in which the catalyst prepared in Example 2 of the present invention is applied to an upper surface of a gas diffusion layer electrode.
6B is a graph showing the CO 2 RR activity of the gas diffusion layer electrode into which the catalyst prepared in Example 2 of the present invention is introduced.
6C is a graph showing the partial current density behavior according to the applied potential of the gas diffusion layer electrode into which the catalyst prepared in Example 2 of the present invention is introduced.

이하에서, 본 발명의 여러 측면 및 다양한 구현예에 대해 더욱 구체적으로 설명한다.Hereinafter, various aspects and various embodiments of the present invention will be described in more detail.

본 발명의 일 측면은 (A) 포토리소그래피 공정 처리하여 패턴이 형성된 마스터몰드를 제작하고 상기 마스터몰드의 상면에 하이드록실-말단 고분자층을 형성하는 단계; (B) 상기 하이드록실-말단 고분자층이 형성된 마스터몰드의 상면에 아크릴 수지층을 형성하는 단계; (C) 상기 아크릴 수지층과 상기 마스터몰드와 분리하여 상기 아크릴 수지층의 일면에 상기 마스터몰드와 동일한 패턴으로 다수의 음각을 형성하는 단계; (D) 상기 아크릴 수지층에 형성된 다수의 음각 사이에 위치한 직선 기둥을 따라 금속 나노선을 증착시키는 단계; (E) 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후 상기 아크릴 수지를 제거하여 정렬된 금속 나노선을 제조하는 단계; (F) 상기 정렬된 금속 나노선을 금속 호일에 여러 번 적층하여 금속 나노 구조체를 제조하는 단계; (G) 상기 금속 나노 구조체의 상면에 상기 아크릴 수지층을 형성한 후 상기 금속 호일을 제거하는 금속 에천트 수용액을 처리하여 상기 금속 호일을 제거하는 단계; 및 (H) 상기 금속 나노 구조체의 아크릴 수지층을 제거하여 금속 나노 촉매를 수득하는 단계를 포함하는 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조방법을 제공한다.An aspect of the present invention is (A) forming a patterned master mold by processing a photolithography process, and forming a hydroxyl-terminated polymer layer on the upper surface of the master mold; (B) forming an acrylic resin layer on the upper surface of the master mold on which the hydroxyl-terminated polymer layer is formed; (C) forming a plurality of intaglios in the same pattern as the master mold on one surface of the acrylic resin layer by separating the acrylic resin layer from the master mold; (D) depositing a metal nanowire along a straight pillar positioned between a plurality of intaglios formed on the acrylic resin layer; (E) attaching the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer to a substrate and then removing the acrylic resin to prepare aligned metal nanowires; (F) manufacturing a metal nanostructure by laminating the aligned metal nanowires on a metal foil several times; (G) forming the acrylic resin layer on the upper surface of the metal nanostructure and then removing the metal foil by treating an aqueous metal etchant solution for removing the metal foil; And (H) removing the acrylic resin layer of the metal nanostructure to obtain a metal nanocatalyst. It provides a method for producing a 3D nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction.

먼저, 상기 (A) 단계에서는 포토리소그래피 공정 처리 후 반응성 이온 식각 공정을 거쳐 마스터몰드를 제작하고, 상기 마스터몰드의 상면을 하이드록실-말단 고분자로 스핀코팅한다.First, in step (A), a master mold is manufactured through a photolithography process followed by a reactive ion etching process, and an upper surface of the master mold is spin-coated with a hydroxyl-terminated polymer.

상기 하이드록실-말단 고분자는 표면에너지를 낮추어 아크릴 수지 코팅 후 (C) 단계에서 아크릴 수지를 기판으로부터 분리 시 상기 아크릴 수지가 패턴으로부터 완벽하게 분리되기 위하여 사용된다. The hydroxyl-terminated polymer is used in order to completely separate the acrylic resin from the pattern when the acrylic resin is separated from the substrate in step (C) after coating the acrylic resin by lowering the surface energy.

본 발명의 일 구현예에 따르면, 상기 하이드록실-말단 고분자는 하이드록실-말단 PDMS(polydimethylsiloxane) 또는 하이드록실-말단 PS(polystyrene)일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the hydroxyl-terminated polymer may be a hydroxyl-terminated polydimethylsiloxane (PDMS) or a hydroxyl-terminated polystyrene (PS).

상기 하이드록실-말단 고분자는 바람직하게 하이드록실-말단 PDMS 브러쉬를 들 수 있으며, 유기용매에 0.5 내지 5 중량%, 바람직하게는 1 내지 2 중량%로 함유될 수 있다. 상기 범위 미만인 경우에는 상기 아크릴 수지가 상기 트렌치 기판으로부터 완벽하게 분리될 수 없으며, 상기 범위를 초과하는 경우 트렌치 기판과 반응하지 않은 고분자가 완벽하게 제거되지 않을 수 있다.The hydroxyl-terminated polymer is preferably a hydroxyl-terminated PDMS brush, and may be contained in an organic solvent in an amount of 0.5 to 5% by weight, preferably 1 to 2% by weight. If it is less than the above range, the acrylic resin cannot be completely separated from the trench substrate, and if it exceeds the above range, the polymer that has not reacted with the trench substrate may not be completely removed.

본 발명의 다른 구현예에 따르면, 상기 (A) 단계에서, 상기 하이드록실-말단 고분자로 코팅된 마스터몰드를 어닐링하는 단계;를 추가로 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, in the step (A), annealing the master mold coated with the hydroxyl-terminated polymer; may further include.

상기 어닐링은 2시간동안 200 ℃에서 이루어질 수 있으며, 어닐링 후 미부착 고분자를 헵탄으로 세척할 수 있다.The annealing may be performed at 200° C. for 2 hours, and the unattached polymer may be washed with heptane after annealing.

상기 마스터몰드는 20 내지 200 ㎚의 너비를 가진 패턴이 형성된 기판으로서, 상기 패턴은 배향성을 조절하기 위하여 한쪽 방향으로 형성된 것이 바람직하다.The master mold is a substrate on which a pattern having a width of 20 to 200 nm is formed, and the pattern is preferably formed in one direction to control orientation.

다음으로, 상기 (B) 단계에서는 상기 하이드록실-말단 고분자로 코팅된 마스터몰드의 상면에 아크릴 수지층을 형성한다.Next, in step (B), an acrylic resin layer is formed on the upper surface of the master mold coated with the hydroxyl-terminated polymer.

본 발명의 다른 구현예에 따르면, 상기 아크릴 수지는 PMMA(polymethylmethacrylate), 메틸아크릴레이트, 에틸아크릴레이트, n-부틸아크릴레이트 및 t-부틸아크릴레이트로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있으며, 상기 기판 배열의 완벽한 복제를 위해서는 PMMA를 사용하는 것이 바람직하다.According to another embodiment of the present invention, the acrylic resin may be at least one selected from the group consisting of polymethylmethacrylate (PMMA), methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl acrylate and t-butyl acrylate, and the substrate It is preferable to use PMMA for complete replication of the array.

본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 아크릴 수지층의 형성은 아세톤, 톨루엔 및 헵탄으로 이루어진 용매에 상기 아크릴 수지가 1 내지 10 중량%로 함유되는 용액을 코팅하여 수행될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the formation of the acrylic resin layer may be performed by coating a solution containing 1 to 10% by weight of the acrylic resin in a solvent consisting of acetone, toluene and heptane.

상기 아크릴 수지는 아세톤, 톨루엔 및 헵탄이 각각 3 내지 5 : 3 내지 5 : 1 내지 4의 부피비로 이루어진 용매에 1 내지 10 중량%, 바람직하게는 3 내지 5 중량%로 함유된다. 상기 아크릴 수지의 함량이 상기 범위 미만의 경우 (C) 단계에서 상기 마스터몰드의 형상대로 모양을 형상하기 어려울 수 있으며, 상기 범위를 초과하는 경우 (E) 단계에서 상기 아크릴 수지의 제거가 어려울 수 있다.The acrylic resin is contained in 1 to 10% by weight, preferably 3 to 5% by weight of acetone, toluene, and heptane in a volume ratio of 3 to 5: 3 to 5: 1 to 4, respectively. If the content of the acrylic resin is less than the above range, it may be difficult to shape the shape as the shape of the master mold in step (C), and if it exceeds the above range, it may be difficult to remove the acrylic resin in step (E). .

다음으로, 상기 (C) 단계에서는 상기 아크릴 수지층을 상기 마스터몰드와 분리하여 상기 아크릴 수지층의 일면에 상기 마스터몰드와 동일한 형상으로 다수의 음각을 형성한다.Next, in step (C), the acrylic resin layer is separated from the master mold to form a plurality of intaglios in the same shape as the master mold on one surface of the acrylic resin layer.

본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 (C) 단계에서 상기 분리는 폴리이미드 테이프를 상기 아크릴 수지층에 접착시킨 후 잡아당겨 상기 마스터몰드로부터 상기 아크릴 수지층을 분리하는 것일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the separation in step (C) may be separating the acrylic resin layer from the master mold by attaching and pulling a polyimide tape to the acrylic resin layer.

상기 아크릴 수지층의 상면에 폴리이미드 테이프를 부착한 후 테이프를 떼어내듯이 잡아당기면 폴리이미드 테이프 측에 아크릴 수지층이 옮겨져 분리된다. 분리된 아크릴 수지층에는 상기 트렌치 기판과 동일한 형상으로 음각이 형성된다.After attaching the polyimide tape to the upper surface of the acrylic resin layer and pulling the tape away, the acrylic resin layer is transferred to and separated from the polyimide tape side. In the separated acrylic resin layer, an intaglio is formed in the same shape as the trench substrate.

다음으로, 상기 (D) 단계에서는 상기 아크릴 수지층에 형성된 다수의 음각 사이에 위치한 직선 기둥을 따라 금속 나노선을 증착시킨다.Next, in the step (D), metal nanowires are deposited along a straight column located between a plurality of intaglios formed on the acrylic resin layer.

상기 아크릴 수지층의 음각 패턴이 형성된 면을 금속이 증착되는 방향에 대해 80 내지 90° 경사가 되도록 위치시킨 후 e-빔 증발기를 이용하여 다수의 음각 사이에 위치한 직선기둥을 따라 금속을 증착시킨다. 이렇게 직선기둥을 따라 증착된 금속을 나노선이라고 한다.The surface on which the intaglio pattern is formed of the acrylic resin layer is positioned so as to be inclined by 80 to 90° with respect to the direction in which the metal is deposited, and then the metal is deposited along a straight column located between a plurality of intaglios using an e-beam evaporator. The metal deposited along the straight column is called a nanowire.

상기 금속이 증착되는 속도는 0.5 내지 2.0 Å/s이며, 바람직한 증착 속도는 상기 금속의 종류에 따라 달라질 수 있다.The deposition rate of the metal is 0.5 to 2.0 Å/s, and the preferred deposition rate may vary depending on the type of metal.

상기 금속 나노선은 증착 두께가 일반 금속 박막을 제조하는 경우보다 얇기 때문에 금속 입자의 크기를 3분의 1가량 줄일 수 있으며, 작은 입자 크기에 의해 촉매 활성면에 고차의 결정면을 포함할 수 있게 되어 수소 생성반응을 억제하고 이산화탄소 환원반응에서 CO 선택도를 높일 수 있다.Since the metal nanowire has a deposition thickness that is thinner than that of manufacturing a general metal thin film, the size of the metal particles can be reduced by about a third, and the small particle size allows the catalytically active surface to contain a higher-order crystal plane. It can suppress hydrogen generation reaction and increase CO selectivity in carbon dioxide reduction reaction.

본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 금속은 Au, Ag, Sn 및 Cu로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the metal may be at least one selected from the group consisting of Au, Ag, Sn and Cu.

다음으로, 상기 (E) 단계에서는 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후 상기 아크릴 수지층을 제거하여 정렬된 패턴을 가지는 금속 나노선을 제조한다. Next, in step (E), a metal nanowire having an aligned pattern is prepared by attaching the metal nanowire deposited on the acrylic resin layer to a substrate and then removing the acrylic resin layer.

본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 (E) 단계에서 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후, 상기 아크릴 수지층을 유기용매 증기에 노출시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, after attaching the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer to the substrate in step (E), it further comprises the step of exposing the acrylic resin layer to an organic solvent vapor. I can.

구체적으로, 폴리이미드 테이프와 아크릴 수지의 접착력을 약화시키기 위하여 45 내지 90 ℃에서 10분 이상 유지한 유기용매 증기를 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선에 20초 내지 40초 동안 쐬어준다. 증기를 쐰 직후에 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착하고 상기 폴리이미드 테이프를 제거하면 기판에 나노 금속선 및 아크릴 수지층만 전사하게 된다. 그 후 아크릴 수지층을 제거하면 정렬된 패턴을 가지는 금속 나노선만 수득할 수 있다.Specifically, in order to weaken the adhesion between the polyimide tape and the acrylic resin, an organic solvent vapor maintained at 45 to 90° C. for 10 minutes or longer is applied to the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer for 20 to 40 seconds. Immediately after steaming, when the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer are attached to the substrate and the polyimide tape is removed, only the nano metal wires and the acrylic resin layer are transferred to the substrate. Thereafter, when the acrylic resin layer is removed, only metal nanowires having an aligned pattern can be obtained.

상기 기판은 금속 나노선과 쉽게 분리되지 않는 기판이라면 특별히 한정되지 않으며, 상기 금속 나노선을 제조 시 사용되는 유기용매는 특별히 한정되는 것은 아니나, 바람직하게는 헵테인, 아세톤, 톨루엔을 들 수 있다.The substrate is not particularly limited as long as it is a substrate that is not easily separated from the metal nanowire, and the organic solvent used in manufacturing the metal nanowire is not particularly limited, but preferably, heptane, acetone, and toluene may be mentioned.

다음으로, 상기 (F) 단계에서는 상기 정렬된 금속 나노선을 금속 호일에 여러 번 적층하여 금속 나노 구조체를 제조한다.Next, in step (F), the aligned metal nanowires are stacked on a metal foil several times to prepare a metal nanostructure.

본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 적층은 상기 정렬된 금속 나노선이 직전에 적층된 상기 정렬된 금속 나노선과 70 내지 90°의 각도를 이루도록 적층될 수 있으며, 바람직하게는 80 내지 90°의 각도를 이루도록 적층될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the stacking may be stacked so that the aligned metal nanowires form an angle of 70 to 90° with the aligned metal nanowires stacked immediately before, and preferably 80 to 90° It can be stacked to achieve an angle of.

상기 범위의 각도를 유지하는 것이 금속 나노선 사이에 충분한 공간을 확보할 수 있으며, 확보된 공간에 전해질이 채워져 촉매의 이용효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라 촉매층 내부 반응물 및 생성물의 이동이 원활하게 이루어지도록 할 수 있다. 또한 확보된 공간에 의해 전극 표면의 국소 pH가 증가되어 수소발생반응을 억제하고 CO 선택성을 높일 수 있게 된다.Maintaining the angle in the above range can secure a sufficient space between the metal nanowires, and the secured space is filled with an electrolyte to increase the utilization efficiency of the catalyst, as well as to facilitate the movement of reactants and products inside the catalyst layer. can do. In addition, the local pH of the electrode surface is increased by the secured space, so that hydrogen generation reactions can be suppressed and CO selectivity can be improved.

본 발명의 다른 구현예에 따르면, 상기 금속 호일은 구리 호일, 황동 호일, 백동 호일 및 알루미늄 호일로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있으며, 쉽게 제거될 수 있는 금속이라면 특별히 한정되지 않는다.According to another embodiment of the present invention, the metal foil may be at least one selected from the group consisting of copper foil, brass foil, white copper foil and aluminum foil, and any metal that can be easily removed is not particularly limited.

상기 3차원 금속 나노 구조체를 제조한 후 금속 나노선 제조 과정에서 제거되지 못한 고분자를 제거하기 위해 반응성 이온 식각을 이용하여 O2 plasma 처리 및 Ar/O2 plasma 처리를 할 수 있다.After the 3D metal nanostructure is manufactured, O 2 plasma treatment and Ar/O 2 plasma treatment may be performed using reactive ion etching in order to remove polymers that have not been removed during the metal nanowire manufacturing process.

다음으로, 상기 (G) 단계에서는 상기 금속 나노 구조체의 상면에 아크릴 수지층을 형성한 후, 상기 금속 호일을 제거하는 금속 에천트 수용액에 금속 호일만 침지되도록 구비하여 금속 호일을 제거한다. Next, in step (G), after forming an acrylic resin layer on the upper surface of the metal nanostructure, the metal foil is removed by providing only the metal foil to be immersed in the metal etchant aqueous solution to remove the metal foil.

상기 아크릴 수지는 금속 호일을 제거 시 외부 환경으로부터 3차원 금속 나노 구조체를 보호하기 위한 것이다. 상기 아크릴 수지층의 형성은 상기 (B) 단계와 동일한 조건으로 사용할 수 있다.The acrylic resin is for protecting the 3D metal nanostructure from the external environment when the metal foil is removed. The formation of the acrylic resin layer may be used under the same conditions as in step (B).

금속 오일의 제거가 완료되면 상기 금속 에천트 수용액으로부터 아크릴 수지로 코팅된 3차원 금속 나노 구조체를 분리한다. 이때 상기 아크릴 수지로 코팅된 3차원 금속 나노 구조체를 용이하게 분리하기 위하여 기판을 사용할 수 있다.When the removal of the metal oil is completed, the 3D metal nanostructure coated with the acrylic resin is separated from the metal etchant aqueous solution. In this case, a substrate may be used to easily separate the 3D metal nanostructure coated with the acrylic resin.

상기 기판의 종류는 금속 에천트 수용액에 안정한 기판이라면 특별히 안정되지 않지만, 바람직하게는 RDE, 멤브레인 및 기체 확산층으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 들 수 있다.The type of the substrate is not particularly stable as long as it is a substrate that is stable in an aqueous metal etchant solution, but preferably, at least one selected from the group consisting of RDE, a membrane, and a gas diffusion layer may be mentioned.

본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 금속 에천트는 암모늄 퍼설페이트, 페릭 클로라이드 및 큐브릭 클로라이드로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the metal etchant may be at least one selected from the group consisting of ammonium persulfate, ferric chloride, and kubrick chloride.

상기 금속 에천트는 상기 금속 호일을 제거할 수 있는 것이라면 특별히 한정되지 않으며 사용하는 금속 호일에 따라 적절히 선택하여 사용할 수 있다. The metal etchant is not particularly limited as long as it can remove the metal foil, and may be appropriately selected and used according to the metal foil used.

다음으로, 상기 (H) 단계에서는 상기 분리된 금속 나노 구조체의 아크릴 수지층을 제거하여 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매를 수득한다.Next, in step (H), the acrylic resin layer of the separated metal nanostructure is removed to obtain a 3D nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction.

특히, 하기 실시예 또는 비교예 등에서 명시적으로 기재하지는 않았지만, 다양한 종류의 하이드록실-말단 고분자, 아크릴 수지, 아크릴 수지가 포함되는 용매의 조성비, 아크릴 수지의 중량%, 금속, 분리의 방식, 정렬된 금속선의 적층 각도, 금속 호일 및 금속 에천트의 종류에 대하여, 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매를 제조하였고, 제조된 촉매의 이산화탄소 환원 반응에서 CO 선택도 및 안정성을 측정하였으며, 그 형태를 주사전자현미경을 통하여 확인하였다.In particular, although not explicitly described in the following Examples or Comparative Examples, etc., various types of hydroxyl-terminated polymers, acrylic resins, composition ratios of solvents containing acrylic resins, weight% of acrylic resins, metals, methods of separation, alignment With respect to the stacking angle of the metal wire, the type of metal foil and metal etchant, a three-dimensional nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction was prepared, and the CO selectivity and stability in the carbon dioxide reduction reaction of the prepared catalyst were measured. Was confirmed through a scanning electron microscope.

그 결과, 다른 조건에서와는 달리, 아래 조건이 모두 만족하였을 때 정렬된 금속 나노선의 대형화에 매우 적합하여 이를 이용한 촉매의 대형화 및 그 적층수를 현저하게 늘리는데 성공함과 동시에 촉매의 이산화탄소 환원 반응에서 CO 선택도와 촉매의 안정성이 유지되는 것을 확인하였다.As a result, unlike other conditions, when the following conditions are all satisfied, it is very suitable for the enlargement of the aligned metal nanowires, success in increasing the size of the catalyst and remarkably increasing the number of stacked catalysts using the same, and selecting CO in the carbon dioxide reduction reaction of the catalyst It was confirmed that the stability of the catalyst and the catalyst was maintained.

(ⅰ) 하이드록실-말단 고분자는 하이드록실-말단 PDMS, (ⅱ) 아크릴 수지는 PMMA, (ⅲ) 아크릴 수지층의 형성은 아세톤, 톨루엔 및 헵탄의 부피비가 4 : 4 : 2 내지 4.5 : 4.5 : 1로 이루어진 용매에 상기 아크릴 수지가 3 내지 5 중량%로 함유되는 용액을 코팅, (ⅳ) (C) 단계에서 상기 분리는 폴리이미드 테이프를 상기 아크릴 수지층에 접착시킨 후 잡아당겨 상기 트렌치 기판으로부터 상기 아크릴 수지층을 분리, (ⅴ) 금속은 Au, (ⅵ) (E) 단계에서 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후, 상기 아크릴 수지층을 유기용매 증기에 노출시키는 단계를 추가로 포함, (ⅶ) 상기 적층은 상기 정렬된 금속 나노선이 직전에 적층된 상기 정렬된 금속 나노선과 80 내지 90°의 각도를 이루도록 적층, (ⅷ) 금속 호일은 구리호일, (ⅸ) 금속 에천트는 암모늄 퍼설페이트.(I) The hydroxyl-terminated polymer is hydroxyl-terminated PDMS, (ii) the acrylic resin is PMMA, (iii) the acrylic resin layer is formed in a volume ratio of acetone, toluene and heptane in a volume ratio of 4:4:2 to 4.5:4.5: Coating a solution containing 3 to 5% by weight of the acrylic resin in a solvent consisting of 1, (iv) in step (C), the separation is performed by attaching a polyimide tape to the acrylic resin layer and then pulling it from the trench substrate. Separating the acrylic resin layer, (v) metal is Au, (vi) attaching the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer in step (E) to the substrate, and then exposing the acrylic resin layer to organic solvent vapor Further comprising a step, (vii) the lamination is lamination such that the aligned metal nanowires form an angle of 80 to 90° with the aligned metal nanowires stacked immediately before, (viii) the metal foil is a copper foil, (ix ) Metal etchant is ammonium persulfate.

다만, 상기 조건 중 어느 하나라도 충족되지 않는 경우에는 정렬된 금속 나노선을 대형화하는 과정에서 크기를 키운 아크릴 수지의 음각 형성, 향후 아크릴 수지의 제거, 금속 나노선의 증착 등이 원활히 이루어지지 못하는 문제점을 확인하였고, 대형화된 금속 나노선을 제조하지 못하게 됨으로써 이를 이용한 촉매 제조 과정에서 촉매의 대형화 및 정렬된 금속 나노선의 적층수를 늘리는데 한계가 있음을 확인하였다. 또한 상기 조건이 모두 충족되지 않는 경우에는 촉매의 대형화 및 적층수를 늘리는데 성공하더라도 촉매의 이산화탄소 환원 반응에서 CO 선택도 및 촉매 안정성이 하락하는 것을 확인할 수 있었다.However, if any of the above conditions are not satisfied, problems such as formation of intaglios of the acrylic resin, the removal of the acrylic resin in the future, and the deposition of the metal nanowires are not performed smoothly in the process of increasing the size of the aligned metal nanowires. It was confirmed that there is a limitation in increasing the size of the catalyst and increasing the number of stacked metal nanowires in the process of manufacturing a catalyst using the same, as it was not possible to manufacture an enlarged metal nanowire. In addition, when all of the above conditions were not satisfied, it was confirmed that CO selectivity and catalyst stability were decreased in the carbon dioxide reduction reaction of the catalyst even if the catalyst was successfully enlarged and the number of stacked layers was increased.

이와 같은 방법에 따라 제조된 3차원 나노 구조를 가지는 촉매는 정렬된 금속 나노선이 적층된 구조로 전극 표면의 국소 pH를 조절하여 이산화탄소 환원 반응에서 CO 선택도를 높일 수 있고, 금속 나노선의 작은 입자 크기 덕분에 높은 CO 선택성을 갖는 고차원 결정면을 촉매 활성 부위에 포함하여 CO 선택성을 현저하게 증가시키며, 수소 발생 반응을 억제시킨다. The catalyst having a three-dimensional nanostructure prepared according to this method is a structure in which aligned metal nanowires are stacked and can increase CO selectivity in the carbon dioxide reduction reaction by adjusting the local pH of the electrode surface, and small particles of metal nanowires Due to its size, a high-dimensional crystal plane having high CO selectivity is included in the catalytically active site to remarkably increase the CO selectivity and suppress the hydrogen evolution reaction.

또한 금속 나노선 사이의 공간이 촉매 층 내부에서 반응물 및 생성물의 이동을 원활하게 하여 이산화탄소 환원 반응 속도를 높이고, 촉매의 이용 효율을 증가시켜 이산화탄소 환원에서 높은 효율을 가진다.In addition, the space between the metal nanowires facilitates the movement of reactants and products within the catalyst layer, thereby increasing the carbon dioxide reduction reaction rate, and increasing the utilization efficiency of the catalyst, thereby having high efficiency in carbon dioxide reduction.

본 발명의 다른 측면은 다수의 금속 나노선이 각각 소정의 간격을 두고 평행하게 이격된 정렬된 금속 나노선; 상기 정렬된 금속 나노선이 인접하는 다른 정렬된 금속 나노선과 소정의 각도를 이루도록 2 내지 50층 적층된 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매를 제공한다.Another aspect of the present invention is a plurality of metal nanowires are aligned metal nanowires spaced in parallel with each other at a predetermined interval; It provides a 3D nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction in which 2 to 50 layers are stacked so that the aligned metal nanowires form a predetermined angle with other aligned metal nanowires adjacent to each other.

일 구현예에 따르면, 상기 금속은 Au, Ag, Sn 및 Cu로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있다.According to one embodiment, the metal may be at least one selected from the group consisting of Au, Ag, Sn, and Cu.

다른 구현예에 따르면, 상기 소정의 간격은 10 내지 5000 nm일 수 있고, 상기 소정의 각도는 70 내지 90°일 수 있으며, 바람직하게는 500 내지 2000 ㎚의 간격과 80 내지 90°의 각도, 더욱 바람직하게는 1000 내지 1500 ㎚의 간격과 85 내지 90°의 각도를 가질 수 있다.According to another embodiment, the predetermined interval may be 10 to 5000 nm, the predetermined angle may be 70 to 90°, preferably 500 to 2000 nm and an angle of 80 to 90°, further Preferably, it may have a spacing of 1000 to 1500 nm and an angle of 85 to 90°.

상기 제조방법에서 기재한 바와 같이, 상기 소정의 간격과 소정의 각도에 의하여 형성되는 촉매 내부의 공간은 국소 pH를 조절하여 CO 선택성을 높일 수 있고, 촉매 이용효율을 개선하며, 촉매 내부에서 반응물 및 생성물의 이동을 원활하도록 한다. 상기 범위의 간격과 각도를 벗어나는 경우, 촉매 내부의 국소 pH를 조절하는 효과가 발현되기 어렵고, 반응물과 생성물의 이동에 어려움이 있을 수 있어 바람직하지 못하다.As described in the above manufacturing method, the space inside the catalyst formed by the predetermined interval and the predetermined angle can increase the CO selectivity by adjusting the local pH, improve the catalyst utilization efficiency, and the reactants and It makes the product move smoothly. If the distance and angle are out of the above range, the effect of controlling the local pH inside the catalyst may be difficult to develop, and there may be difficulties in the movement of reactants and products, which is not preferable.

본 발명의 또 다른 측면은 상기 3차원 나노 구조 금속 촉매를 포함하는 이산화탄소 환원을 위한 전극을 제공한다.Another aspect of the present invention provides an electrode for carbon dioxide reduction including the 3D nanostructured metal catalyst.

상기 전극은 가스 확산층인 탄소 페이퍼를 사용할 수 있다.Carbon paper as a gas diffusion layer may be used as the electrode.

이하에서는 본 발명에 따른 제조예 및 실시예를 첨부된 도면과 함께 구체적으로 설명한다.Hereinafter, manufacturing examples and examples according to the present invention will be described in detail together with the accompanying drawings.

실시예 1. 정렬된 Au 나노선(monolayer)Example 1. Aligned Au nanowires (monolayer)

KrF 포토리소크래피 공정 후 반응성 이온 식각 과정을 거쳐 200 ㎚의 너비와 1.2 ㎛의 높이를 갖는 마스터몰드를 제작하였다. Polymer Source Inc.에서 구입한 하이드록실-말단 PDMS 용액(1.5 wt%)을 상기 마스터몰드 상면에 스핀코팅하고 2시간 동안 200 ℃에서 어닐링하였다. 그 후 마스터몰드에 붙지 않은 잔여 PDMS 고분자를 헵탄으로 세척하여 제거하였다. 상기 마스터몰드 위에 PMMA(4 wt%, 부피비 톨루엔 : 아세톤 : 헵탄 = 4.5 : 4.5 : 1, Sigma-Aldrich Inc.) 용액을 스핀코팅하였다. 상기 PMMA 상면에 접착력을 지닌 폴리이미드 테이프(3M Inc.)를 부착한 후 마스터몰드로부터 PMMA를 떼어내어 상기 마스터몰드의 패턴과 동일한 형상이 역상 구조로 복제된 PMMA 모형을 제조하였다.A master mold having a width of 200 ㎚ and a height of 1.2 µm was fabricated through a reactive ion etching process after the KrF photolithography process. A hydroxyl-terminated PDMS solution (1.5 wt%) purchased from Polymer Source Inc. was spin-coated on the upper surface of the master mold and annealed at 200° C. for 2 hours. Thereafter, the remaining PDMS polymer that did not adhere to the master mold was washed with heptane and removed. PMMA (4 wt%, volume ratio toluene: acetone: heptane = 4.5: 4.5: 1, Sigma-Aldrich Inc.) solution was spin-coated on the master mold. After attaching a polyimide tape (3M Inc.) having adhesive strength to the upper surface of the PMMA, the PMMA was removed from the master mold to prepare a PMMA model in which the same shape as the pattern of the master mold was duplicated in an inverted structure.

e-beam evaporator를 사용한 사선 증착(증착 각도 = 85°)을 통해 PMMA 모형의 패턴을 따라 Au 나노선을 PMMA 상에 증착시켰다. 폴리 이미드 테이프와 PMMA간의 접착력을 약화시키기 위해 55 ℃에서 20 내지 30초 동안 유기용매 증기(부피비 아세톤 : 헵탄 = 1:1)에 노출한 다음, PMMA에 증착된 Au 나노선을 기판에 부착하고, PMMA 모형을 톨루엔으로 세척하여 제거하여 정렬된 Au 나노선을 수득하였다.Au nanowires were deposited on the PMMA according to the pattern of the PMMA model through oblique deposition (deposition angle = 85°) using an e-beam evaporator. To weaken the adhesion between the polyimide tape and PMMA, after exposure to organic solvent vapor (volume ratio acetone: heptane = 1:1) at 55° C. for 20 to 30 seconds, Au nanowires deposited on PMMA were attached to the substrate. , The PMMA model was washed with toluene and removed to obtain aligned Au nanowires.

도 1a는 정렬된 Au 나노선을 제작하는 과정을 나타낸 개략도이다.1A is a schematic diagram showing a process of manufacturing aligned Au nanowires.

실시예 2. 3차원 나노 구조를 가진 Au 촉매(5 layers)Example 2. Au catalyst with 3D nanostructure (5 layers)

상기 실시예 1의 방식으로 수득된 정렬된 Au 나노선을 구리호일에 직전에 적층된 정렬된 Au 나노선과 90°의 각도를 이루도록 5번 적층하여 3차원 나노 구조를 가진 Au 나노 구조체를 제작하였다. 이후, 전기화학적 측정을 위한 장치로 Au 나노 구조체를 옮기기 위해 PMMA를 Au 나노 구조체 위에 스핀코팅한 후 구리 에천트인 암모늄 퍼설페이트(0.1 M) 용액에 띄워 구리 호일 부분만 선택적으로 제거하였다. ICP-RIE를 사용한 O2 플라즈마 처리를 통해 표면의 소수성이 저하된 탄소 페이퍼에 PMMA로 코팅된 Au 나노 구조체를 분리하고 DI water로 충분히 잔여 에천트를 씻어내었다. 마지막으로 PMMA를 톨루엔으로 제거하여 최종적으로 3차원 나노 구조를 가진 Au 촉매를 수득하였다. The ordered Au nanowires obtained in the manner of Example 1 were stacked five times to form an angle of 90° with the aligned Au nanowires stacked just before on a copper foil to prepare an Au nanostructure having a three-dimensional nanostructure. Thereafter, PMMA was spin-coated on the Au nanostructures to transfer the Au nanostructures to a device for electrochemical measurement, and then floated in a solution of ammonium persulfate (0.1 M) as a copper etchant to selectively remove only the copper foil part. Through O2 plasma treatment using ICP-RIE, the Au nanostructure coated with PMMA was separated on the carbon paper with reduced surface hydrophobicity, and the remaining etchant was sufficiently washed off with DI water. Finally, PMMA was removed with toluene to finally obtain an Au catalyst having a three-dimensional nanostructure.

도 2a는 정렬된 Au 나노선으로부터 3차원 나노 구조 Au 촉매를 제조하는 과정을 나타낸 개략도이다.2A is a schematic diagram showing a process of preparing a three-dimensional nanostructured Au catalyst from aligned Au nanowires.

실시예 3. 3차원 나노 구조를 가진 Au 촉매(10 layers)Example 3. Au catalyst having 3D nanostructure (10 layers)

정렬된 Au 나노선을 10번 적층한 것을 제외하고는 상기 실시예 1 및 2와 동일한 방법으로 3차원 나노 구조를 가진 Au 촉매를 수득하였다.An Au catalyst having a three-dimensional nanostructure was obtained in the same manner as in Examples 1 and 2, except that the aligned Au nanowires were stacked 10 times.

비교예. 순수 Au 박막(bare Au)Comparative example. Pure Au thin film (bare Au)

Si 기판에서 표준 입사각으로 E-beam 증착에 의해 순수(bare) Au 박막을 제조하였다.A bare Au thin film was prepared by E-beam evaporation at a standard angle of incidence on a Si substrate.

시험예 1. TEM, XRD, EBSD, SEM 분석Test Example 1. TEM, XRD, EBSD, SEM analysis

분석 방법Analysis method

표면 형태를 15 kV에서 작동하는 Field Emission Scanning Electron Microscope(FE-SEM: Hitachi S-4800, JEOL 7600F)로 측정했다. 노출된 결정면은 20 kV 가속 전압하에 SEM(Quanta 3D FEG)에서 Hikari 검출기를 사용하여 전자 역산란 회절(EBSD)을 통하여 관찰하였다. 기계적 연마를 통해 상면 TEM 샘플을 제조하고 200 kV에서 작동되는 TEM(JEOL JEM-ARM200F 현미경)으로 분석했다. 입자 크기 및 결정면은 다목적 박막 X선 회절기(RIGAKU)를 사용하여 분석했다.The surface morphology was measured with a Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM: Hitachi S-4800, JEOL 7600F) operating at 15 kV. The exposed crystal plane was observed through electron inverse scattering diffraction (EBSD) using a Hikari detector in SEM (Quanta 3D FEG) under 20 kV acceleration voltage. Top surface TEM samples were prepared by mechanical polishing and analyzed by TEM (JEOL JEM-ARM200F microscope) operated at 200 kV. The particle size and crystal plane were analyzed using a multipurpose thin film X-ray diffractometer (RIGAKU).

TEM 분석TEM analysis

도 1b는 비교예 순수 Au 박막의 투과전자현미경(Transmission Electron Microscope, TEM) 이미지이고, 우측 상단의 삽도는 제한 시야 전자 회절(Selected Area Electron Diffraction, SAED) 패턴을 나타낸 이미지이다.1B is a transmission electron microscope (TEM) image of a pure Au thin film of a comparative example, and the inset at the upper right is an image showing a selected area electron diffraction (SAED) pattern.

도 1c는 실시예 Au 나노선의 TEM 이미지이고, 우측 상단의 삽도는 SAED 패턴을 나타낸 이미지이다.1C is a TEM image of an Example Au nanowire, and the inset at the upper right is an image showing a SAED pattern.

상기 TEM 이미지로부터 비교예의 Au 입자 크기는 실시예의 3배 이상임을 확인할 수 있었다. 이는 입자 크기가 증착 두께가 증가함에 따라 증가하기 때문인데, 비교예의 Au 박막을 제조하기 위한 증착 두께는 100 ㎚이고, 실시예의 Au 나노선을 제조하기 위한 증착 두께(~30 ㎚)보다 더 두껍다.From the TEM image, it was confirmed that the Au particle size of the Comparative Example was 3 times or more of the Example. This is because the particle size increases as the deposition thickness increases, and the deposition thickness for manufacturing the Au thin film of the comparative example is 100 nm, and is thicker than the deposition thickness (~30 nm) for manufacturing the Au nanowires of the Example.

XRD 분석XRD analysis

도 1d는 Au 나노선 및 순수 Au 박막의 X선 회절(X-ray Diffraction, XRD) 패턴이다.1D is an X-ray diffraction (XRD) pattern of Au nanowires and pure Au thin films.

도 1d에서 확인할 수 있듯이, 비교예의 경우, Au (111) 및 (222) 면에 상응하는 2개의 피크만이 관측되었으나, 실시예의 경우 Au (111), (200), (220), (311) 및 (222) 면과 같은 다양한 피크가 관찰되었다. As can be seen in Fig. 1d, in the case of the comparative example, only two peaks corresponding to the Au (111) and (222) planes were observed, but in the case of the example, Au (111), (200), (220), (311) And various peaks such as the (222) plane were observed.

EBSD 분석EBSD analysis

도 1e는 실시예의 Au 나노선 및 비교예의 순수 Au 박막의 전자 역산란 회절(Electron Backscattering Diffraction, EBSD)을 통한 IPF(Inverse Pole Figure) 맵을 관찰하여 나타낸 것이다.Figure 1e shows the observation of an IPF (Inverse Pole Figure) map through electron backscattering diffraction (EBSD) of the Au nanowire of the Example and the pure Au thin film of the Comparative Example.

상기 EBSD 결과로부터 비교예의 노출된 결정면은 XRD 분석에 의해 확인된 바와 같이, (111) 면이라는 것이 확인된 반면, 실시예의 경우 비교예에 비해 더욱 작은 입자 크기와 함께 Au (111) 면이 아닌 더욱 고차 결정면을 포함한 다는 것을 확인할 수 있었다.From the EBSD results, it was confirmed that the exposed crystal plane of the comparative example was a (111) plane, as confirmed by XRD analysis, whereas in the case of the example, it was more than the Au (111) plane with a smaller particle size compared to the comparative example. It could be confirmed that the higher-order crystal plane was included.

SEM 분석SEM analysis

도 2b 및 2e는 실시예 1의 상면 및 단면 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지이고, 도 2c 및 2f는 실시예 2의 상면 및 단면 SEM 이미지이며, 도 2d 및 2g는 실시예 3의 상면 및 단면 SEM 이미지이다.2B and 2E are top and cross-sectional scanning electron microscope (SEM) images of Example 1, and FIGS. 2C and 2F are top and cross-sectional SEM images of Example 2, and FIGS. 2D and 2G are of Example 3 Top and cross-section SEM images.

도 2에 도시된 바와 같이, Au 나노 촉매는 Au 나노 선으로만 이루어져 있으며, 나노선 사이의 공간이 확보되는 것을 확인하였다. 본 발명의 촉매는 적층수를 조절하여 원하는 두께의 촉매로 제조될 수 있다.As shown in FIG. 2, it was confirmed that the Au nano-catalyst was made of only Au nanowires, and a space between the nanowires was secured. The catalyst of the present invention can be prepared with a catalyst having a desired thickness by controlling the number of layers.

시험예 2. CO 선택성 측정Test Example 2. CO Selectivity Measurement

전기화학적 CO2 환원 실험을 상온 및 대기압 조건 하에 기밀 단일 구획 반응기에서 수행했다. 40 ㎖ 헤드스페이스 부피와 20 ㎖ 전해질을 가진 기밀 단일 구획 반응기의 경우, 기준 전극, 상대 전극으로 각각 Ag/AgCl, 흑연 막대를 사용했으며, 작동전극으로 실시예 1 내지 3 및 비교예 Au 전극을 사용했다. 전해질은 pH 6.8의 CO2 포화된 0.2 M KHCO3 용액을 사용했다.Electrochemical CO 2 reduction experiments were conducted in a hermetic single compartment reactor under room temperature and atmospheric pressure conditions. In the case of an airtight single compartment reactor having a 40 ml headspace volume and 20 ml electrolyte, Ag/AgCl and graphite rods were used as the reference electrode and the counter electrode, respectively, and Examples 1 to 3 and Comparative Example Au electrodes were used as operating electrodes. did. As an electrolyte, a CO2 saturated 0.2 M KHCO 3 solution of pH 6.8 was used.

실시예 1 내지 3 및 비교예의 촉매를 포함하는 Au 전극을 사용하여 -0.29 내지 -0.89 V의 전위 범위에서 각 전극의 이산화탄소 환원 반응(CO2 Reduction Reaction, CO2RR) 특성을 관찰하였으며, 그 결과를 도 3에 그래프로 도시하였다.The carbon dioxide reduction reaction (CO 2 Reduction Reaction, CO 2 RR) characteristics of each electrode were observed in the potential range of -0.29 to -0.89 V using the Au electrode including the catalyst of Examples 1 to 3 and Comparative Examples, and the result Is shown graphically in FIG. 3.

도 3에 도시된 대로, 실시예 1 내지 3은 비교예에 비하여 모든 전위 범위에서 더욱 높은 CO 선택성을 나타내었다. 특히 -0.29 내지 -0.49 V의 저 과전위 영역에서의 CO 선택성이 비교예의 전극이 10 %에서 22 %로 증가한 반면, 실시예의 경우 5 %에서 95 %로 현저하게 증가하는 것을 확인하였다. 또한 실시예의 Au 나노선 적층수가 증가함에 따라 CO 선택성이 증가한다는 것을 확인하였다. 예를 들어 -0.39 V에서 실시예 1, 2 및 3의 CO 선택성은 각각 41 %, 43 % 및 61 %이다. -0.59 V 내지 -0.89 V의 고 과전위 영역에서의 실시예의 CO 선택성은 점차 감소하기 시작하며, 실시예 3의 경우 최고 값과 비교하여 9 % 감소된 CO 선택성을 나타내고, 실시예 1 및 2의 경우 모두 27 % 감소된 CO 선택성을 나타내었다.As shown in Figure 3, Examples 1 to 3 showed higher CO selectivity in all potential ranges compared to the comparative example. In particular, it was confirmed that the CO selectivity in the low overpotential region of -0.29 to -0.49 V increased significantly from 10% to 22% in the electrode of the comparative example, while from 5% to 95% in the example. In addition, it was confirmed that the CO selectivity increases as the number of Au nanowire stacks of the examples increases. For example, at -0.39 V, the CO selectivity of Examples 1, 2 and 3 are 41%, 43% and 61%, respectively. In the high overpotential region of -0.59 V to -0.89 V, the CO selectivity of the examples began to gradually decrease, and in the case of Example 3, the CO selectivity was reduced by 9% compared to the highest value, and that of Examples 1 and 2 All cases showed 27% reduced CO selectivity.

시험예 3. 전류밀도 측정Test Example 3. Current density measurement

도 4a는 실시예 1 내지 3 및 비교예의 총 전류 밀도(jtot = jCO + jH2)를 나타낸 그래프이다. 모든 실시예는 비교예에 비해 모든 인가 전위에서 더 높은 총 전류밀도를 보였으며, 이는 고유한 촉매의 활성이 증가했음을 의미한다.4A is a graph showing the total current density (j tot = j CO + j H2 ) of Examples 1 to 3 and Comparative Examples. All examples showed higher total current density at all applied potentials compared to the comparative examples, which means that the activity of the unique catalyst was increased.

도 4b는 CO2RR의 CO 발생 전류밀도(jCO)를 나타낸 그래프이고, 도 4c는 HER의 수소 발생 전류 밀도(jH2)를 나타낸 그래프이다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 실시예의 전극은 비교예에 비해 더 높은 jCO를 나타내었다. 한편, 도 4c에 도시된 바와 같이, -0.59 V 내지 -0.89 V의 고 전위 영역에서 성공적으로 jH2를 억제한 것을 확인할 수 있는데, 이는 특징적인 3차원 구조에 의해 촉매 표면의 활성 영역 근처에서 국소 pH가 증가되어 높은 CO 선택성을 보이기 때문이다.4B is a graph showing the CO generation current density (j CO ) of CO 2 RR, and FIG. 4C is a graph showing the hydrogen generation current density (j H2 ) of HER. As shown in Fig. 4b, the electrode of the example exhibited a higher j CO compared to the comparative example. On the other hand, as shown in Figure 4c, it can be confirmed that j H2 was successfully suppressed in the high potential region of -0.59 V to -0.89 V, which is localized near the active region of the catalyst surface due to the characteristic three-dimensional structure. This is because the pH is increased to show high CO selectivity.

도 4d는 실시예 1 내지 3 및 비교예의 jCO에 기초하여 Tafel slope를 측정한 그래프이다. 실시예 1, 2 및 3의 Tafel slope은 각각 91, 85 및 85 mV/dec이고, 비교예의 Tafel slope는 126 mV/dec를 보였다. 실시예의 경우 이론값인 120 mV/dec와 차이를 보였는데, 실시예의 작은 Au 입자 크기 및 노출된 고차 결정면으로 인하여 저 전위영역에서 역시 높은 jCO 및 CO 선택성을 보임을 확인하였다.4D is a graph measuring Tafel slope based on j CO of Examples 1 to 3 and Comparative Examples. The Tafel slopes of Examples 1, 2 and 3 were 91, 85 and 85 mV/dec, respectively, and the Tafel slope of the comparative example was 126 mV/dec. In the case of the example, the difference was shown from the theoretical value of 120 mV/dec. It was confirmed that the small Au particle size of the example and the exposed high-order crystal plane also showed high j CO and CO selectivity in the low potential region.

시험예 4. 촉매 안정성 평가Test Example 4. Evaluation of catalyst stability

CO2 환원에 대한 촉매 안정성 평가를 위해 -0.89 V vs. RHE 및 CO2 포화 0.2 M KHCO3 수용액 조건에서 시간에 따른 CO 선택도를 측정하였다. 도 5는 실시예 1 내지 3 및 비교예의 CO2 환원에 대한 촉매 안정성을 측정한 그래프이다. 비교예의 경우 30분 후에 CO2RR 활성을 잃지만, 실시예의 경우 90분까지 CO2RR 활성을 유지함을 확인할 수 있다. 또한 실시예의 경우 적층수가 증가함에 따라 더 긴 시간이 흐른 뒤에도 높은 CO2RR 활성을 유지하는 것을 확인하였다.To evaluate the catalyst stability against CO 2 reduction, -0.89 V vs. CO selectivity with time was measured in the conditions of RHE and CO 2 saturated 0.2 M KHCO 3 aqueous solution. 5 is a graph measuring catalyst stability for CO 2 reduction in Examples 1 to 3 and Comparative Examples. In the case of the comparative example, the CO 2 RR activity is lost after 30 minutes, but in the case of the example, it can be seen that the CO 2 RR activity is maintained until 90 minutes. In addition, in the case of the example, it was confirmed that the high CO 2 RR activity was maintained even after a longer time elapsed as the number of stacks increased.

시험예 5. 가스 확산층 전극에 적용Test Example 5. Application to gas diffusion layer electrode

실시예 2의 촉매를 나노 다공질 층을 가진 탄소 페이퍼 가스 확산층 전극 상에 적용하였다. 도 6a는 실시예 2로부터 제조된 촉매가 가스 확산층 전극 상면에 적용된 SEM 이미지이다. 실시예로부터 제조된 촉매가 성공적으로 가스 확산층 전극에 적용됨을 확인할 수 있으며, CO2RR 후에도 촉매의 모양이 유지됨을 확인하였다.The catalyst of Example 2 was applied on a carbon paper gas diffusion layer electrode having a nanoporous layer. 6A is a SEM image of the catalyst prepared in Example 2 applied to the upper surface of the gas diffusion layer electrode. It can be seen that the catalyst prepared from the examples was successfully applied to the gas diffusion layer electrode, and it was confirmed that the shape of the catalyst was maintained even after CO2RR.

또한, 실시예 2의 촉매가 도입된 탄소 페이퍼를 사용하여 가스 유동 반응기에서 CO2RR을 측정했다. pH 13.65의 1 M KOH를 전해질로 사용했고, CO2를 20 sccm으로 음극 영역에서 주입하였다. 생성물 기체는 Tedlar 가스 샘플링 백에 수집하였다. 기준 전극 및 상대 전극은 Ag/AgCl 및 Pt 호일을 사용했다. 도 6b는 실시예 2로부터 제조된 촉매가 도입된 가스 확산층 전극의 CO2RR 활성을 나타낸 그래프이다. 탄소 페이퍼에 도입된 실시예 2의 촉매의 경우 상기 도 3과 비교하여 CO 선택성이 전체적으로 증가함을 확인하였다. In addition, CO 2 RR was measured in a gas flow reactor using the carbon paper into which the catalyst of Example 2 was introduced. 1 M KOH with a pH of 13.65 was used as an electrolyte, and CO 2 was injected in the cathode region at 20 sccm. Product gas was collected in a Tedlar gas sampling bag. As the reference electrode and the counter electrode, Ag/AgCl and Pt foil were used. 6B is a graph showing the CO 2 RR activity of the gas diffusion layer electrode into which the catalyst prepared in Example 2 was introduced. In the case of the catalyst of Example 2 introduced on carbon paper, it was confirmed that the CO selectivity was overall increased compared to FIG. 3.

도 6c는 실시예 2로부터 제조된 촉매가 도입된 가스 확산층 전극의 인가된 전위에 따른 부분 전류 밀도 거동을 나타낸 그래프이다. 전류 밀도의 측면에서는 -0.11 V에서 jCO가 -2.07 mA/㎠이고, 점진적으로 증가하여 활성 부위 포화 때문에 약 -23 mA/㎠에서 포화되었음을 확인하였다. 이는 단일 반응기에 비해 현저히 높은 값에 해당한다. 한편, jH2는 최대 -0.39 V까지 억제되는 것을 확인하였다. 6C is a graph showing the partial current density behavior according to the applied potential of the gas diffusion layer electrode into which the catalyst prepared in Example 2 was introduced. In terms of current density, it was confirmed that j CO was -2.07 mA/cm 2 at -0.11 V, and gradually increased to about -23 mA/cm 2 due to active site saturation. This corresponds to a significantly higher value compared to a single reactor. On the other hand, it was confirmed that j H2 was suppressed up to -0.39 V.

전술한 실시예 및 비교예는 본 발명을 설명하기 위한 예시로서, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양하게 변형하여 본 발명을 실시하는 것이 가능할 것이므로, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.The above-described Examples and Comparative Examples are examples for explaining the present invention, and the present invention is not limited thereto. Since those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to implement the present invention by various modifications therefrom, the technical protection scope of the present invention should be determined by the appended claims.

Claims (17)

(A) 포토리소그래피 공정 처리하여 패턴이 형성된 마스터몰드를 제작하고 상기 마스터몰드의 상면에 하이드록실-말단 고분자층을 형성하는 단계;
(B) 상기 하이드록실-말단 고분자층이 형성된 마스터몰드의 상면에 아크릴 수지층을 형성하는 단계;
(C) 상기 아크릴 수지층과 상기 마스터몰드와 분리하여 상기 아크릴 수지층의 일면에 상기 마스터몰드와 동일한 패턴으로 다수의 음각을 형성하는 단계;
(D) 상기 아크릴 수지층에 형성된 다수의 음각 사이에 위치한 직선 기둥을 따라 금속 나노선을 증착시키는 단계;
(E) 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후 상기 아크릴 수지를 제거하여 정렬된 금속 나노선을 제조하는 단계;
(F) 상기 정렬된 금속 나노선을 금속 호일에 여러 번 적층하여 금속 나노 구조체를 제조하는 단계;
(G) 상기 금속 나노 구조체의 상면에 상기 아크릴 수지층을 형성한 후 상기 금속 호일을 제거하는 금속 에천트 수용액을 처리하여 상기 금속 호일을 제거하는 단계; 및
(H) 상기 금속 나노 구조체의 아크릴 수지층을 제거하여 금속 나노 촉매를 수득하는 단계를 포함하고,
상기 하이드록실-말단 고분자는 하이드록실-말단 PDMS이고,
상기 아크릴 수지는 PMMA이고,
상기 아크릴 수지층의 형성은 아세톤, 톨루엔 및 헵탄의 부피비가 4 : 4 : 2 내지 4.5 : 4.5 : 1로 이루어진 용매에 상기 아크릴 수지가 3 내지 5 중량%로 함유되는 용액을 코팅하여 수행되고,
상기 (C) 단계에서 상기 분리는 폴리이미드 테이프를 상기 아크릴 수지층에 접착시킨 후 잡아당겨 상기 마스터몰드로부터 상기 아크릴 수지층을 분리하는 것이고,
상기 금속 나노선 및 금속 나노 구조체의 금속은 각각 Au이고,
상기 (E) 단계에서 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후, 상기 아크릴 수지층을 유기용매 증기에 노출시키는 단계를 추가로 포함하고,
상기 적층은 상기 정렬된 금속 나노선이 직전에 적층된 상기 정렬된 금속 나노선과 80 내지 90°의 각도를 이루도록 적층되고,
상기 금속 호일은 구리호일이고,
상기 금속 에천트는 암모늄 퍼설페이트인 이산화탄소 환원을 위한 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조방법.
(A) processing a photolithography process to prepare a patterned master mold, and forming a hydroxyl-terminated polymer layer on the upper surface of the master mold;
(B) forming an acrylic resin layer on the upper surface of the master mold on which the hydroxyl-terminated polymer layer is formed;
(C) forming a plurality of intaglios in the same pattern as the master mold on one surface of the acrylic resin layer by separating the acrylic resin layer from the master mold;
(D) depositing a metal nanowire along a straight pillar positioned between a plurality of intaglios formed on the acrylic resin layer;
(E) attaching the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer to a substrate and then removing the acrylic resin to prepare aligned metal nanowires;
(F) manufacturing a metal nanostructure by laminating the aligned metal nanowires on a metal foil several times;
(G) forming the acrylic resin layer on the upper surface of the metal nanostructure and then removing the metal foil by treating an aqueous metal etchant solution for removing the metal foil; And
(H) comprising the step of removing the acrylic resin layer of the metal nano structure to obtain a metal nano catalyst,
The hydroxyl-terminated polymer is a hydroxyl-terminated PDMS,
The acrylic resin is PMMA,
The formation of the acrylic resin layer is performed by coating a solution containing 3 to 5% by weight of the acrylic resin in a solvent having a volume ratio of acetone, toluene and heptane of 4:4:2 to 4.5:4.5:1,
In the step (C), the separation is to separate the acrylic resin layer from the master mold by attaching and pulling a polyimide tape to the acrylic resin layer,
Each metal of the metal nanowire and the metal nanostructure is Au,
After attaching the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer to the substrate in step (E), further comprising exposing the acrylic resin layer to an organic solvent vapor,
The stacking is stacked so that the aligned metal nanowires form an angle of 80 to 90° with the aligned metal nanowires stacked immediately before,
The metal foil is a copper foil,
The metal etchant is ammonium persulfate, a method of manufacturing a 3D nanostructured metal catalyst for carbon dioxide reduction.
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