KR102162761B1 - Method for manufacturing ordered metal nanowire and method for manufacturing three-dimensional nano-structured metal catalyst for water electrolysis using the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 정렬된 금속 나노선의 제조방법 및 이를 이용한 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 3차원 나노 구조 촉매는 정렬된 금속 나노선으로 이루어져 상기 금속 나노선 사이의 공간에 전해질이 채워질 수 있어, 촉매를 이루는 재료의 사용량 대비 전기화학적으로 활성도가 있는 표면적을 넓힐 수 있다. 이러한 정렬된 금속 나노선 사이의 공간은 산소 생성 반응의 생성물과 반응물의 이동의 통로로 이용되어 산소 생성 반응속도를 높일 수 있다.
또한, 본 발명의 3차원 나노 구조를 가지는 촉매는 나노 구조의 제어를 통해 높은 안정성을 가질 수 있고 수전해조의 전기화학 반응용 촉매 전극에 활용될 수 있다.The present invention relates to a method of manufacturing an aligned metal nanowire and a method of manufacturing a 3D nanostructured metal catalyst for water electrolysis using the same.
The 3D nanostructured catalyst of the present invention is composed of aligned metal nanowires, and an electrolyte may be filled in the space between the metal nanowires, thereby increasing a surface area with electrochemical activity compared to the amount of material constituting the catalyst. The space between the aligned metal nanowires is used as a passage for movement of the product of the oxygen generation reaction and the reactant, thereby increasing the rate of oxygen generation reaction.
In addition, the catalyst having a three-dimensional nanostructure of the present invention can have high stability through the control of the nanostructure and can be used as a catalyst electrode for electrochemical reaction of a water electrolyzer.
Description
본 발명은 정렬된 금속 나노선의 제조방법 및 이를 이용한 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing an aligned metal nanowire and a method of manufacturing a 3D nanostructured metal catalyst for water electrolysis using the same.
수전해조의 상용화를 위한 주된 관심사 중 하나는 이리듐의 사용량 대비 촉매 효율을 높여 산소발생반응을 빠르게 하는 것이다.One of the main concerns for commercialization of a water electrolyzer is to speed up the oxygen generation reaction by increasing the catalyst efficiency relative to the amount of iridium used.
현재 이리듐의 활용 면적을 넓히기 위해 상용되는 나노입자 형태의 Ir Black이나 Ir/C(카본블랙이 이리듐의 활용 효율을 높이기 위한 지지체로 이용됨)는 이리듐이 전기 화학적 산화 반응으로 인해 전해질에 녹아버리거나 전기화학 반응 중에 뭉쳐버려서 이리듐의 활용 면적이 줄어든다. Ir/C의 경우, 지지체의 전기화학적 산화에 의해 이리듐의 활용 면적이 줄어들기도 한다. 이러한 산화/부식 현상은 셀 성능의 내구성 저하를 가져오는 주된 원인으로 문제되고 있다.Currently, Ir Black or Ir/C (carbon black is used as a support to increase the utilization efficiency of iridium) in the form of nanoparticles that are commonly used to increase the utilization area of iridium is dissolved in the electrolyte due to the electrochemical oxidation reaction or electrochemical It aggregates during the reaction, reducing the area of iridium utilization. In the case of Ir/C, the utilization area of iridium may be reduced due to electrochemical oxidation of the support. This oxidation/corrosion phenomenon has been a problem as a main cause of deterioration in durability of cell performance.
또한, 나노입자가 뭉쳐 있는 형태의 촉매 층 내부에서는 산소 발생반응의 반응물 및 생성물이 촉매 표면에서 전극 표면까지 이동하는 경로가 길고, 구부러진 정도가 커서 원활하게 이동하지 못한다. 시간당 반응 양을 제한하여 셀 성능을 저하시키는 원인이 된다. 또한 나노입자가 뭉쳐져 있는 부분의 안쪽은 촉매 작용을 하는 곳으로 이용되지 못하여 이리듐의 활용 면적을 감소시킨다.In addition, within the catalyst layer in which the nanoparticles are agglomerated, the path for the reactants and products of the oxygen generation reaction from the catalyst surface to the electrode surface is long, and the degree of bending is large, so that they cannot move smoothly. It limits the amount of reaction per hour and causes the cell performance to deteriorate. In addition, the inside of the area where the nanoparticles are agglomerated cannot be used as a catalytic area, reducing the area of iridium utilization.
최근에 이러한 나노입자 형태의 Ir 촉매의 문제점을 해결하고자 다양한 나노 구조를 가진 촉매에 대한 연구들이 보고되었다. 일본의 규슈대에서는 카본블랙보다 훨씬 높은 산화 전위를 가진 탄소 나노 튜브를 지지체로 이용하고 이 위에 폴리벤지이미다졸을 코팅하여 이리듐 나노 입자가 고르게 분포된 촉매를 제작하였다. 이러한 촉매는 내구성 측면에서 훨씬 우수한 결과를 보였지만, 탄소 나노 튜브가 정렬되지 않은 채 엉켜 있어 촉매 층 내부의 물질이동을 크게 향상시키지 못했다는 문제가 있다.Recently, studies on catalysts having various nanostructures have been reported to solve the problem of such nanoparticle-type Ir catalyst. In Japan's Kyushu University, carbon nanotubes with a much higher oxidation potential than carbon black were used as a support, and polybenzimidazole was coated thereon to produce a catalyst in which iridium nanoparticles were evenly distributed. These catalysts showed much better results in terms of durability, but there is a problem in that the carbon nanotubes are entangled without being aligned, so that the material movement inside the catalyst layer cannot be greatly improved.
또한, 부산대에서는 Ir-Os 합금에서 Os를 탈성분 부식을 통해 다공성 구조를 가진 이리듐 박막을 제작하였다. Ir-Os 합금에서 Os를 탈성분 부식을 통해 형성한 다공성 박막 내의 이리듐이 상호 연결되어, 촉매의 전기적 전도성이 높고, 촉매 활성을 향상하는데 도움을 주었다는 결과를 보였지만, 촉매를 만든 탈성분 부식 방식은 촉매의 제작과정 중 Os만 녹아나가는 것이 아니라 Ir의 손실 또한 있다는 한계점이 있다.In addition, at Pusan National University, an iridium thin film having a porous structure was fabricated through deconstituent corrosion of Os from an Ir-Os alloy. In the Ir-Os alloy, the iridium in the porous thin film formed through deconstituent corrosion of Os was interconnected, showing the result that the electrical conductivity of the catalyst was high and helped to improve the catalytic activity. There is a limitation in that not only Os melts but also Ir loss during the manufacturing process of the catalyst.
따라서, 수전해조의 성능향상을 위해 상호 연결되고 정렬된 나노 구조로 인해 촉매 층 내부에서 반응물 및 생성물의 이동이 극대화된 산소 발생 반응촉매에 대하여 요구되고 있다. Therefore, there is a need for an oxygen generating reaction catalyst in which the movement of reactants and products is maximized within the catalyst layer due to the interconnected and aligned nanostructures to improve the performance of the water electrolyzer.
본 발명의 목적은 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조방법을 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a method for preparing a three-dimensional nanostructured metal catalyst for water electrolysis.
본 발명의 다른 목적은 상기 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매를 이루는 정렬된 금속 나노선의 제조방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing an aligned metal nanowire forming the three-dimensional nanostructured metal catalyst for water electrolysis.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면은 본 발명의 일 측면은 (A) 요철이 형성된 트렌치 기판의 상면에 하이드록시가 치환된 고분자층을 형성하는 단계; (B) 상기 하이드록시가 치환된 고분자층이 형성된 상기 트렌치 기판의 상면에 아크릴 수지층을 형성하는 단계; (C) 상기 아크릴 수지층을 상기 트렌치 기판과 분리하여 상기 아크릴 수지층의 일면에 상기 트렌치 기판과 동일한 형상으로 다수의 음각을 형성하는 단계; (D) 상기 아크릴 수지층에 형성된 다수의 음각 사이에 위치한 직선 기둥을 따라 금속 나노선을 증착시키는 단계; 및 (E) 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후 상기 아크릴 수지층을 제거하여 정렬된 금속 나노선을 제조하는 단계;를 포함하는 정렬된 금속 나노선의 제조방법에 관한 것이다.One aspect of the present invention for achieving the object as described above is one aspect of the present invention (A) forming a hydroxy-substituted polymer layer on the upper surface of the uneven trench substrate; (B) forming an acrylic resin layer on the upper surface of the trench substrate on which the hydroxy-substituted polymer layer is formed; (C) separating the acrylic resin layer from the trench substrate to form a plurality of intaglios on one surface of the acrylic resin layer in the same shape as the trench substrate; (D) depositing a metal nanowire along a straight pillar positioned between a plurality of intaglios formed on the acrylic resin layer; And (E) attaching the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer to a substrate, and then removing the acrylic resin layer to prepare aligned metal nanowires; it relates to a method of manufacturing an aligned metal nanowire comprising .
본 발명의 다른 측면은 (가) 상기 제조방법에 따라 제조된 정렬된 금속 나노선을 금속 호일에 여러 번 적층하여 금속 나노 구조체를 제조하는 단계; (나) 상기 금속 나노 구조체를 건식식각하여 표면처리하는 단계; (다) 상기 금속 나노 구조체의 상면에 아크릴 수지층을 형성한 후 상기 금속 호일을 제거하는 금속 에천트 수용액에 금속 호일만 침지되도록 구비하는 단계; (라) 상기 금속 에천트 수용액으로부터 상기 금속 나노 구조체를 분리하는 단계; 및 (마) 상기 분리된 금속 나노 구조체의 아크릴 수지층을 제거하여 금속 나노 촉매를 수득하는 단계;를 포함하는 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조방법에 관한 것이다.Another aspect of the present invention includes the steps of (A) laminating the aligned metal nanowires manufactured according to the above manufacturing method on a metal foil several times to prepare a metal nanostructure; (B) surface treatment of the metal nanostructure by dry etching; (C) forming an acrylic resin layer on the upper surface of the metal nanostructure and providing the metal foil so that only the metal foil is immersed in an aqueous metal etchant solution for removing the metal foil; (D) separating the metal nanostructure from the metal etchant aqueous solution; And (E) removing the acrylic resin layer of the separated metal nano-structure to obtain a metal nano-catalyst; relates to a method for producing a three-dimensional nano-structured metal catalyst for water electrolysis comprising a.
본 발명의 또 다른 측면은 상기 제조방법에 따라 제조된 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매에 관한 것이다.Another aspect of the present invention relates to a 3D nanostructured metal catalyst for water electrolysis prepared according to the above manufacturing method.
본 발명의 3차원 나노 구조 촉매는 정렬된 금속 나노선으로 이루어져 상기 금속 나노선 사이의 공간에 전해질이 채워질 수 있어, 촉매를 이루는 재료의 사용량 대비 전기화학적으로 활성도가 있는 표면적을 넓힐 수 있다. 이러한 정렬된 금속 나노선 사이의 공간은 산소 생성 반응의 생성물과 반응물의 이동의 통로로 이용되어 산소 생성 반응속도를 높일 수 있다.The 3D nanostructured catalyst of the present invention is composed of aligned metal nanowires, and an electrolyte may be filled in the space between the metal nanowires, thereby increasing a surface area with electrochemical activity compared to the amount of material constituting the catalyst. The space between the aligned metal nanowires can be used as a passage for movement of the product of the oxygen generation reaction and the reactant, thereby increasing the rate of the oxygen generation reaction.
또한, 본 발명의 3차원 나노 구조를 가지는 촉매는 나노 구조의 제어를 통해 높은 안정성을 가질 수 있고 수전해조의 전기화학 반응용 촉매 전극에 활용될 수 있다.In addition, the catalyst having a three-dimensional nanostructure of the present invention can have high stability through the control of the nanostructure and can be used as a catalyst electrode for electrochemical reaction of a water electrolyzer.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따라 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매를 제조하는 과정을 나열한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 촉매를 촬영한 SEM 이미지이다.
도 3a는 본 발명의 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 3차원 나노 구조 촉매 및 비교예 1 및 2의 Ir Black과 Ir/C 촉매의 OER특성 분석을 나타낸 그래프이다.
도 3b는 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 Ir 촉매 및 비교예 1의 Ir Black과 비교예 2의 Ir/C 촉매의 전기화학적으로 활성도 있는 표면적을 비교하기 위한 그래프이다.
도 3c에서는 본 발명의 실시예 1에 따라 제조된 3차원 나노구조를 가지는 Ir 촉매의 CV커브를 1.0 V에서 1.4 V까지의 범위에서 측정한 그래프이다.
도 3d는 상기된 OER 특성 분석과 전기화학적 활성도가 있는 표면적을 비교하기 위한 CV를 측정하기 전에 실시한 CV커브 그래프이다.
도 4a는 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 촉매와 비교예 1의 Ir Black 촉매 및 비교예 2의 Ir/C촉매의 열화 특성을 측정하기 위해 계단형식으로 전압을 가하는 실험을 반쪽전지반응 실험(half cell test) 설정에서 진행한 결과를 나타낸 그래프이다.
도 4b는 안정성 실험 전후에 전기화학적으로 활성도 있는 표면적을 계산하기 위한 CV를 측정한 결과를 나타낸 그래프이다.
도 5a는 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 Ir 나노선을 쌓아 만든 3차원 나노구조를 가진 촉매의 성능을 수전해조에서 평가해 보기 위해 준비한 수전해조의 구조를 나타낸 모식도이다.
도 5b는 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 3차원 나노 구조를 가진 촉매를 포함하는 상기 수전해조에서 물 분해 성능을 평가한 결과를 나타낸 그래프이다.1 is a diagram illustrating a process of manufacturing a 3D nanostructured metal catalyst for water electrolysis according to an embodiment of the present invention.
2 is a SEM image of the catalyst prepared according to Examples 1 to 3 of the present invention.
3A is a graph showing the OER characteristics analysis of the three-dimensional nanostructure catalyst prepared according to Examples 1 to 3 of the present invention and the Ir Black and Ir/C catalysts of Comparative Examples 1 and 2;
3B is a graph for comparing the electrochemically active surface areas of the Ir catalyst prepared according to Examples 1 to 3 and the Ir Black of Comparative Example 1 and the Ir/C catalyst of Comparative Example 2. FIG.
3C is a graph of a CV curve of an Ir catalyst having a three-dimensional nanostructure prepared according to Example 1 of the present invention in a range from 1.0 V to 1.4 V.
3D is a CV curve graph performed before measuring CV for comparing the above-described OER characteristic analysis and surface area with electrochemical activity.
4A is a half-cell reaction experiment in which voltage is applied in a stepwise fashion to measure the degradation characteristics of the catalyst prepared according to Examples 1 to 3, the Ir Black catalyst of Comparative Example 1, and the Ir/C catalyst of Comparative Example 2 ( half cell test).
4B is a graph showing the results of measuring CV for calculating the electrochemically active surface area before and after stability experiments.
5A is a schematic diagram showing the structure of a water electrolyzer prepared to evaluate the performance of a catalyst having a three-dimensional nanostructure made by stacking Ir nanowires prepared according to Examples 1 to 3 in a water electrolyzer.
5B is a graph showing the results of evaluating water decomposition performance in the water electrolyzer including catalysts having a three-dimensional nanostructure prepared according to Examples 1 to 3.
이하에서, 본 발명의 여러 측면 및 다양한 구현예에 대해 더욱 구체적으로 설명한다.Hereinafter, various aspects and various embodiments of the present invention will be described in more detail.
본 발명의 일 측면은 (A) 요철이 형성된 트렌치 기판을 하이드록시가 치환된 고분자층을 형성하는 단계; (B) 상기 하이드록시가 치환된 고분자층이 형성된 상기 트렌치 기판의 상면에 아크릴 수지층을 형성하는 단계; (C) 상기 아크릴 수지층을 상기 트렌치 기판과 분리하여 상기 아크릴 수지층의 일면에 상기 트렌치 기판과 동일한 형상으로 다수의 음각을 형성하는 단계; (D) 상기 아크릴 수지층에 형성된 다수의 음각 사이에 위치한 직선 기둥을 따라 금속 나노선을 증착시키는 단계; 및 (E) 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후 상기 아크릴 수지층을 제거하여 정렬된 금속 나노선을 제조하는 단계;를 포함하는 정렬된 금속 나노선의 제조방법을 제공한다.One aspect of the present invention is (A) forming a hydroxy-substituted polymer layer on the trench substrate having irregularities; (B) forming an acrylic resin layer on the upper surface of the trench substrate on which the hydroxy-substituted polymer layer is formed; (C) separating the acrylic resin layer from the trench substrate to form a plurality of intaglios on one surface of the acrylic resin layer in the same shape as the trench substrate; (D) depositing a metal nanowire along a straight pillar positioned between a plurality of intaglios formed on the acrylic resin layer; And (E) attaching the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer to a substrate, and then removing the acrylic resin layer to prepare aligned metal nanowires. .
상기 (A) 단계에서는 상기 트렌치 기판의 상면을 하이드록시가 치환된 고분자로 스핀코팅 후 100 내지 160 ℃의 오븐에서 1 내지 3시간 동안 처리한다.In step (A), the upper surface of the trench substrate is spin-coated with a hydroxy-substituted polymer and then treated in an oven at 100 to 160° C. for 1 to 3 hours.
상기 하이드록시가 치환된 고분자는 표면에너지를 낮추어 아크릴 수지 코팅 후 (C) 단계에서 아크릴 수지를 기판으로부터 분리 시 상기 아크릴 수지가 패턴으로부터 완벽하게 분리되기 위하여 사용된다. The hydroxy-substituted polymer is used in order to completely separate the acrylic resin from the pattern when the acrylic resin is separated from the substrate in step (C) after coating the acrylic resin by lowering the surface energy.
상기 트렌치 기판은 20 내지 200 ㎚의 너비를 가진 요철이 형성된 기판으로서, 상기 요철은 패턴의 배향성을 조절하기 위하여 한쪽 방향으로 형성된 것이 바람직하다.The trench substrate is a substrate on which irregularities having a width of 20 to 200 nm are formed, and the irregularities are preferably formed in one direction in order to adjust the orientation of the pattern.
본 발명의 일 구현예에 따르면, 상기 하이드록시가 치환된 고분자는 하이드록시가 치환된 PDMS(polydimethylsiloxane) 또는 하이드록시가 치환된 PS(polystyrene)일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the hydroxy-substituted polymer may be hydroxy-substituted PDMS (polydimethylsiloxane) or hydroxy-substituted PS (polystyrene).
상기 하이드록시가 치환된 고분자는 바람직하게 하이드록시가 치환된 PDMS 브러쉬를 들 수 있으며, 유기용매에 0.5 내지 5 중량%, 바람직하게는 1 내지 2 중량%로 함유될 수 있다. 상기 범위 미만인 경우에는 상기 아크릴 수지가 상기 트렌치 기판으로부터 완벽하게 분리될 수 없으며, 상기 범위를 초과하는 경우 트렌치 기판과 반응하지 않은 고분자가 완벽하게 제거되지 않을 수 있다.The hydroxy-substituted polymer is preferably a hydroxy-substituted PDMS brush, and may be contained in an organic solvent in an amount of 0.5 to 5% by weight, preferably 1 to 2% by weight. If it is less than the above range, the acrylic resin cannot be completely separated from the trench substrate, and if it exceeds the above range, the polymer that has not reacted with the trench substrate may not be completely removed.
다음으로, 상기 (B) 단계에서는 상기 하이드록시가 치환된 고분자층이 형성된 트렌치 기판의 상면에 아크릴 수지층을 형성한다.Next, in step (B), an acrylic resin layer is formed on the upper surface of the trench substrate on which the hydroxy-substituted polymer layer is formed.
본 발명의 다른 구현예에 따르면, 상기 아크릴 수지는 PMMA(polymethylmethacrylate), 메틸아크릴레이트, 에틸아크릴레이트, n-부틸아크릴레이트 및 t-부틸아크릴레이트로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있으며, 상기 기판 배열의 완벽한 복제를 위해서는 PMMA를 사용하는 것이 바람직하다.According to another embodiment of the present invention, the acrylic resin may be at least one selected from the group consisting of polymethylmethacrylate (PMMA), methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl acrylate and t-butyl acrylate, and the substrate It is preferable to use PMMA for complete replication of the array.
본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 아크릴 수지층의 형성은 아세톤, 톨루엔 및 헵탄으로 이루어진 용매에 상기 아크릴 수지가1 내지 10 중량%로 함유되는 용액을 코팅하여 수행될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the formation of the acrylic resin layer may be performed by coating a solution containing 1 to 10% by weight of the acrylic resin in a solvent consisting of acetone, toluene and heptane.
상기 아크릴 수지는 아세톤, 톨루엔 및 헵탄이 각각 3 내지 5 : 3 내지 5 : 1 내지 4의 중량비로 이루어진 용매에 1 내지 10 중량%, 바람직하게는 1 내지 3 중량%로 함유된다. 상기 아크릴 수지의 함량이 상기 범위 미만의 경우 (C) 단계에서 상기 기판의 형상대로 모양을 형상하기 어려울 수 있으며, 상기 범위를 초과하는 경우 (E) 단계에서 상기 아크릴 수지의 제거가 어려울 수 있다.The acrylic resin is contained in 1 to 10% by weight, preferably 1 to 3% by weight in a solvent consisting of acetone, toluene and heptane in a weight ratio of 3 to 5: 3 to 5: 1 to 4, respectively. When the content of the acrylic resin is less than the above range, it may be difficult to shape the substrate according to the shape of the substrate in step (C), and when it exceeds the above range, it may be difficult to remove the acrylic resin in step (E).
다음으로, 상기 (C) 단계에서는 상기 아크릴 수지층을 상기 트렌치 기판과 분리하여 상기 아크릴 수지층의 일면에 상기 트렌치 기판과 동일한 형상으로 다수의 음각을 형성한다.Next, in step (C), the acrylic resin layer is separated from the trench substrate, and a plurality of intaglios are formed on one surface of the acrylic resin layer in the same shape as the trench substrate.
본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 (C) 단계에서 상기 분리는 폴리이미드 테이프를 상기 아크릴 수지층에 접착시킨 후 잡아당겨 상기 트렌치 기판으로부터 상기 아크릴 수지층을 분리하는 것일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the separation in step (C) may be separating the acrylic resin layer from the trench substrate by attaching a polyimide tape to the acrylic resin layer and then pulling it.
상기 아크릴 수지의 상면에 폴리이미드 테이프를 부착한 후 테이프를 떼어내듯이 잡아당기면 폴리이미드 테이프 측에 아크릴 수지층이 옮겨져 분리된다. 분리된 아크릴 수지층은 상기 트렌치 기판과 동일한 형상으로 음각이 형성된다.After attaching the polyimide tape to the upper surface of the acrylic resin and pulling the tape as if removing it, the acrylic resin layer is transferred to and separated from the polyimide tape side. The separated acrylic resin layer is intaglio formed in the same shape as the trench substrate.
다음으로, 상기 (D) 단계에서는 상기 아크릴 수지층에 형성된 다수의 음각 사이에 위치한 직선 기둥을 따라 금속 나노선을 증착시킨다.Next, in the step (D), metal nanowires are deposited along a straight column located between a plurality of intaglios formed on the acrylic resin layer.
본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 증착은 상기 증착은 상기 아크릴 수지층과 금속의 증착 방향이 일정 각도를 가지도록 상기 아크릴 수지층을 기울여서 증착하는 것일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the deposition may be performed by tilting the acrylic resin layer so that the deposition direction of the acrylic resin layer and the metal have a predetermined angle.
구체적으로, 상기 아크릴 수지의 음각 패턴이 형성된 면을 금속이 증착되는 방향에 대해 80 내지 90° 경사가 되도록 위치시킨 후 다수의 음각 사이에 위치한 직선기둥을 따라 금속을 증착시킨다. 이렇게 직선기둥을 따라 증착된 금속을 나노선이라고 한다.Specifically, the surface of the acrylic resin on which the intaglio pattern is formed is positioned so as to be inclined by 80 to 90° with respect to the direction in which the metal is deposited, and then the metal is deposited along a straight column located between a plurality of intaglios. The metal deposited along the straight column is called a nanowire.
상기 금속이 증착되는 속도는 0.5 내지 2.0 Å/s이며, 바람직한 증착 속도는 상기 금속의 종류에 따라 달라질 수 있다.The deposition rate of the metal is 0.5 to 2.0 Å/s, and the preferred deposition rate may vary depending on the type of metal.
본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 금속은 이리듐, 루테늄, 망간, 철, 코발트 및 니켈로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the metal may be at least one selected from the group consisting of iridium, ruthenium, manganese, iron, cobalt, and nickel.
마지막으로, 상기 (E) 단계에서는 상기 아크릴 수지에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후 상기 아크릴 수지를 제거하여 정렬된 패턴을 가지는 금속 나노선을 제조한다. Finally, in step (E), the metal nanowires having an aligned pattern are prepared by attaching the metal nanowires deposited on the acrylic resin to the substrate and then removing the acrylic resin.
구체적으로, 폴리이미드 테이프와 아크릴 수지의 접착력을 약화시키기 위하여 45 내지 90 ℃에서 10분 이상 유지한 유기용매 증기를 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선에 20초 내지 40초 동안 쐬어준다. 증기를 쐰 직후에 상기 아크릴 수지에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착하고 상기 폴리이미드 테이프를 제거하면 기판에 나노 금속선 및 아크릴 수지만 전사하게 된다. 그 후 아크릴 수지를 제거하면 정렬된 패턴을 가지는 금속 나노선만 수득할 수 있다.Specifically, in order to weaken the adhesion between the polyimide tape and the acrylic resin, an organic solvent vapor maintained at 45 to 90° C. for 10 minutes or longer is applied to the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer for 20 to 40 seconds. Immediately after steaming, when the metal nanowire deposited on the acrylic resin is attached to the substrate and the polyimide tape is removed, only the nano metal wire and the acrylic resin are transferred to the substrate. Thereafter, when the acrylic resin is removed, only metal nanowires having an aligned pattern can be obtained.
상기 기판은 금속 나노선과 쉽게 분리되지 않는 기판이라면 특별히 한정되지 않으며, 상기 금속 나노선을 제조 시 사용되는 유기용매는 특별히 한정되는 것은 아니나, 바람직하게는 헵테인, 아세톤, 톨루엔을 들 수 있다.The substrate is not particularly limited as long as it is a substrate that is not easily separated from the metal nanowire, and the organic solvent used in manufacturing the metal nanowire is not particularly limited, but preferably, heptane, acetone, and toluene may be mentioned.
특히, 하기 실시예 또는 비교예 등에서 명시적으로 기재하지는 않았지만, 다양한 종류의 하이드록시가 치환된 고분자, 아크릴 수지, 아크릴 수지가 포함되는 용매의 조성비, 아크릴 수지의 중량%, 금속, 분리의 방식에 대하여, 정렬된 금속 나노선을 제조하였고, 향후 이를 이용하여 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매를 제조하였으며, 그 형태를 주사전자현미경을 통하여 확인하였다.In particular, although not explicitly described in the following Examples or Comparative Examples, etc., various types of hydroxy substituted polymers, acrylic resins, composition ratios of solvents containing acrylic resins, weight% of acrylic resins, metals, and methods of separation On the other hand, aligned metal nanowires were prepared, and in the future, a three-dimensional nanostructured metal catalyst for water electrolysis was prepared using this, and its shape was confirmed through a scanning electron microscope.
그 결과, 아래 조건이 모두 만족하였을 때 정렬된 금속 나노선의 대형화에 매우 적합하며 향후 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조 과정에서 촉매의 대형화 및 적층수를 늘리는데 최적화됨을 확인하였다.As a result, it was confirmed that when all of the following conditions were satisfied, it was very suitable for the enlargement of the aligned metal nanowires, and optimized to increase the size of the catalyst and increase the number of stacks in the manufacturing process of the 3D nanostructured metal catalyst in the future.
(ⅰ) 하이드록시가 치환된 고분자는 하이드록시가 치환된 PDMS, (ⅱ) 아크릴 수지는 PMMA, (ⅲ) 아크릴 수지는 아세톤, 톨루엔 및 헵탄의 중량비가 4 : 4 : 2 내지 4.5 : 4.5 : 1로 이루어진 용매에 상기 아크릴 수지가 1 내지 3 중량%로 함유, (ⅳ) (C) 단계에서 상기 분리는 폴리이미드 테이프를 상기 아크릴 수지에 접착시킨 후 잡아당겨 상기 트렌치 기판으로부터 상기 아크릴 수지를 분리, (ⅴ) 증착은 상기 아크릴 수지층과 금속의 증착 방향이 80 내지 90 °의 각도를 가지도록 상기 아크릴 수지층을 기울여서 증착, (ⅵ) 금속은 이리듐, (ⅶ) (E) 단계에서 상기 아크릴 수지에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후, 상기 폴리이미드 테이프에 유기용매 증기를 쐬어주는 단계를 추가로 포함, (ⅷ) 상기 유기용매는 아세톤 및 헵탄을 1.2 : 1 내지 1 : 1.2의 부피비로 혼합한 용액.(I) Hydroxy-substituted polymer is hydroxy-substituted PDMS, (ii) acrylic resin is PMMA, (iii) acrylic resin has a weight ratio of acetone, toluene and heptane of 4:4:2 to 4.5:4.5:1 1 to 3% by weight of the acrylic resin is contained in a solvent consisting of, (iv) in step (C), the separation is performed by attaching a polyimide tape to the acrylic resin and pulling to separate the acrylic resin from the trench substrate, (V) Evaporation is performed by tilting the acrylic resin layer so that the deposition direction of the acrylic resin layer and the metal has an angle of 80 to 90 °, (vi) the metal is iridium, and (v) the acrylic resin in step (E) After attaching the metal nanowires deposited on the substrate, the polyimide tape further comprises a step of introducing an organic solvent vapor. (viii) The organic solvent contains acetone and heptane in a volume ratio of 1.2:1 to 1:1.2 Mixed solution.
다만, 상기 조건 중 어느 하나라도 충족되지 않는 경우에는 정렬된 금속 나노선을 대형화하는 과정에서 크기를 키운 아크릴 수지의 음각 형성, 향후 아크릴 수지의 제거, 금속 나노선의 증착 등이 원활히 이루어지지 못하는 문제점을 확인하였고, 대형화된 금속 나노선을 제조하지 못하게 됨으로써 이를 이용한 촉매 제조 과정에서 촉매의 대형화 및 정렬된 금속 나노선의 적층수를 늘리는데 한계가 있음을 확인하였다. However, if any of the above conditions are not satisfied, problems such as formation of intaglios of the acrylic resin, the removal of the acrylic resin in the future, and the deposition of the metal nanowires are not performed smoothly in the process of increasing the size of the aligned metal nanowires. It was confirmed that there is a limitation in increasing the size of the catalyst and increasing the number of stacked metal nanowires in the process of manufacturing a catalyst using the same, as it was not possible to manufacture an enlarged metal nanowire.
본 발명의 다른 측면은 상기 제조방법에 따라 제조된 정렬된 금속 나노선을 제공한다.Another aspect of the present invention provides an aligned metal nanowire manufactured according to the above manufacturing method.
본 발명의 또 다른 측면은 (가) 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 제조방법에 따라 제조된 정렬된 금속 나노선을 금속 호일에 여러 번 적층하여 금속 나노 구조체를 제조하는 단계; (나) 상기 금속 나노 구조체를 건식식각하여 표면처리하는 단계; (다) 상기 금속 나노 구조체의 상면에 아크릴 수지를 코팅한 후 상기 금속 호일을 제거하는 금속 에천트 수용액에 금속 호일만 침지되도록 구비하는 단계;(라) 상기 금속 에천트 수용액으로부터 상기 금속 나노 구조체를 분리하는 단계; 및 (마) 상기 분리된 금속 나노 구조체의 아크릴 수지 코팅을 제거하여 금속 나노 촉매를 수득하는 단계;를 포함하는 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조방법을 제공한다.Another aspect of the present invention is (a) manufacturing a metal nanostructure by laminating the aligned metal nanowires manufactured according to the manufacturing method of any one of claims 1 to 8 on a metal foil several times; (B) surface treatment of the metal nanostructure by dry etching; (C) coating an acrylic resin on the upper surface of the metal nanostructure, and then providing only a metal foil to be immersed in a metal etchant solution for removing the metal foil; (D) the metal nanostructure from the metal etchant solution. Separating; And (E) removing the acrylic resin coating of the separated metal nanostructure to obtain a metal nanocatalyst; it provides a method for producing a three-dimensional nanostructured metal catalyst for water electrolysis comprising.
먼저, 상기 (가) 단계에서는 앞에서 제조된 금속 나노선을 금속 호일에 여러 번 전사하여 3차원 금속 나노 구조체를 제조한다.First, in step (a), a three-dimensional metal nanostructure is manufactured by transferring the previously prepared metal nanowire to a metal foil several times.
본 발명의 일 구현예에 따르면, 상기 적층은 상기 정렬된 금속 나노선이 직전에 적층된 상기 정렬된 금속 나노선과 70 내지 90°의 각도를 이루도록 적층될 수 있으며, 바람직하게는 80 내지 90°의 각도를 이루도록 적층될 수 있다. 상기 범위의 각도를 유지하는 것이 금속 나노선 사이에 충분한 공간을 확보하여 확보된 공간에 전해질이 채워져 촉매의 이용효율을 높일 수 있을 뿐 아니라, 촉매 층 내부에서 반응물 및 생성물의 이동이 원활하게 이루어지도록 할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the stacking may be stacked so that the aligned metal nanowires form an angle of 70 to 90° with the aligned metal nanowires stacked immediately before, and preferably 80 to 90°. It can be stacked to achieve an angle. Maintaining the angle within the above range ensures sufficient space between the metal nanowires, so that the space is filled with the electrolyte to increase the utilization efficiency of the catalyst, as well as to facilitate the movement of reactants and products within the catalyst layer. can do.
다음으로, 상기 (나) 단계에서는 상기 금속 나노 구조체를 건식식각하여 표면처리한다.Next, in step (b), the metal nanostructure is subjected to surface treatment by dry etching.
상기 3차원 금속 나노 구조체를 제조한 후 금속 나노선 제조 과정에서 제거되지 못한 고분자를 제거하기 위해 반응성 이온 식각(Reactive Ion Etching)을 이용하여 O2 plasma 처리 및 Ar/O2 plasma 처리를 할 수 있다.After manufacturing the 3D metal nanostructure, O 2 plasma treatment and Ar/O 2 plasma treatment may be performed using reactive ion etching to remove polymers that were not removed during the manufacturing process of metal nanowires. .
본 발명의 다른 구현예에 따르면, 상기 금속 호일은 구리 호일, 황동 호일, 백동 호일 및 알루미늄 호일로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있으며, 쉽게 제거될 수 있는 금속이라면 특별히 한정되지 않는다.According to another embodiment of the present invention, the metal foil may be at least one selected from the group consisting of copper foil, brass foil, white copper foil and aluminum foil, and any metal that can be easily removed is not particularly limited.
다음으로, 상기 (다) 단계에서는 상기 금속 나노 구조체의 상면에 아크릴 수지층을 형성한 후 상기 금속 호일을 제거하는 금속 에천트 수용액에 금속 호일만 침지되도록 구비하여 금속 호일을 제거한다.Next, in step (c), an acrylic resin layer is formed on the upper surface of the metal nanostructure, and then the metal foil is removed by providing only the metal foil to be immersed in the metal etchant solution to remove the metal foil.
상기 아크릴 수지층은 금속 호일을 제거 시 외부 환경으로부터 3차원 금속 나노 구조체를 보호하기 위한 것이다.The acrylic resin layer is for protecting the 3D metal nanostructure from the external environment when the metal foil is removed.
본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 금속 에천트는 암모늄 퍼설페이트, 페릭 클로라이드 및 큐브릭 클로라이드로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the metal etchant may be at least one selected from the group consisting of ammonium persulfate, ferric chloride, and kubrick chloride.
상기 금속 에천트는 상기 금속 호일을 제거할 수 있는 것이라면 특별히 한정되지 않으며 사용하는 금속 호일에 따라 적절히 선택하여 사용할 수 있다. The metal etchant is not particularly limited as long as it can remove the metal foil, and may be appropriately selected and used according to the metal foil used.
다음으로 상기 (라) 단계에서는 상기 금속 호일이 제거되면, 상기 금속 에천트 수용액으로부터 아크릴 수지층이 형성된 3차원 금속 나노 구조체를 분리한다.Next, in step (D), when the metal foil is removed, the 3D metal nanostructure on which the acrylic resin layer is formed is separated from the metal etchant aqueous solution.
이때 상기 아크릴 수지층이 형성된 3차원 금속 나노 구조체를 용이하게 분리하기 위하여 기판을 사용할 수 있다.In this case, a substrate may be used to easily separate the 3D metal nanostructure on which the acrylic resin layer is formed.
상기 기판의 종류는 금속 에천트 수용액에 안정한 기판이라면 특별히 안정되지 않지만, 바람직하게는 RDE, 멤브레인 및 기체 확산층으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 들 수 있다.The type of the substrate is not particularly stable as long as it is a substrate that is stable in an aqueous metal etchant solution, but preferably, at least one selected from the group consisting of RDE, a membrane, and a gas diffusion layer may be mentioned.
본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 아크릴 수지는 PMMA(polymethylmethacrylate), 메틸아크릴레이트, 에틸아크릴레이트, n-부틸아크릴레이트 및 t-부틸아크릴레이트로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the acrylic resin may be at least one selected from the group consisting of polymethylmethacrylate (PMMA), methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl acrylate, and t-butyl acrylate.
다음으로, 상기 (마) 단계에서는 상기 분리된 금속 나노 구조체의 아크릴 수지층을 제거하여 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매를 수득한다.Next, in step (e), the acrylic resin layer of the separated metal nanostructure is removed to obtain a 3D nanostructured metal catalyst for water electrolysis.
또한, 하기 실시예 또는 비교예 등에서 명시적으로 기재하지는 않았지만, 정렬된 금속 나노선의 제조방법, 정렬된 금속선의 적층 각도, 금속 호일 및 금속 에천트의 종류, 아크릴 수지의 종류를 다양하게 변경하여 촉매를 제조하였으며 제조된 촉매의 산소 발생 반응 활성 및 안정성을 측정하였으며, 주사전자현미경을 통하여 촉매의 형태를 확인하였다.In addition, although not explicitly described in the following examples or comparative examples, etc., the catalyst is made by variously changing the method of manufacturing the aligned metal nanowires, the stacking angle of the aligned metal wires, the type of metal foil and metal etchant, and the type of acrylic resin. Was prepared, and the oxygen generation reaction activity and stability of the prepared catalyst were measured, and the shape of the catalyst was confirmed through a scanning electron microscope.
그 결과, 다른 조건에서와는 달리, 아래 조건이 모두 만족하였을 때 촉매의 대형화 및 적층수를 현저하게 늘리는데 성공함과 동시에 촉매의 산소 발생 반응 활성이 우수하고, 촉매의 안정성이 유지되는 것을 확인하였다.As a result, it was confirmed that, unlike in other conditions, when all of the following conditions were satisfied, the catalyst was successfully enlarged and the number of stacked layers was significantly increased, and the catalyst had excellent oxygen-generating reaction activity and the stability of the catalyst was maintained.
(ⅰ) 상기 정렬된 금속 나노선은 상기 제조방법에 따라 제조된 정렬된 금속 나노선, (ⅱ) 상기 적층은 상기 정렬된 금속 나노선이 직전에 적층된 상기 정렬된 금속 나노선과 80 내지 90°의 각도를 이루도록 적층, (ⅲ) 금속 호일은 구리호일, (ⅳ) 건식식각은 반응성 이온 식각(Reactive Ion Etching), (ⅴ) 금속 에천트는 암모늄 퍼설페이트, (ⅵ) 아크릴 수지는 PMMA.(I) the aligned metal nanowires are aligned metal nanowires prepared according to the manufacturing method, (ii) the stacking is 80 to 90° with the aligned metal nanowires stacked immediately before the aligned metal nanowires Laminated to achieve an angle of (iii) metal foil is copper foil, (iv) dry etching is reactive ion etching, (v) metal etchant is ammonium persulfate, and (vi) acrylic resin is PMMA.
다만, 상기 조건 중 어느 하나라도 충족되지 않는 경우에는 상기한 바와 같이 정렬된 금속 나노선을 대형화하는데 어려움이 있었을 뿐만 아니라, 촉매의 대형화 및 적층수를 늘리는데 한계가 있음을 확인하였다. 또한 상기 조건이 모두 충족되지 않는 경우에는 촉매의 대형화 및 적층수를 늘리는데 성공하더라도 촉매의 산소 발생 반응 활성 및 안정성이 하락하는 것을 확인할 수 있었다. However, when any of the above conditions was not satisfied, it was confirmed that there was a difficulty in increasing the size of the aligned metal nanowires as described above, and there was a limitation in increasing the size of the catalyst and increasing the number of stacks. In addition, when all of the above conditions were not satisfied, it was confirmed that even if the catalyst was successfully enlarged and the number of stacked layers was increased, the oxygen generation reaction activity and stability of the catalyst were decreased.
이와 같은 방법에 따라 제조된 3차원 나노 구조를 가지는 촉매는 금속 나노선 사이의 공간에 전해질이 채워져 금속의 사용량 대비 촉매의 효율을 현저하게 증가시키고, 서로 이어진 금속 나노선 사이의 공간은 촉매 층 내부에서 반응물 및 생성물의 이동을 원활하게 함으로써 수전해조에서 산소발생반응 속도를 향상시켜 수전해에서 높은 효율을 가진다.The catalyst having a three-dimensional nanostructure manufactured according to this method significantly increases the efficiency of the catalyst compared to the amount of metal used by filling the space between the metal nanowires, and the space between the connected metal nanowires is inside the catalyst layer. By facilitating the movement of reactants and products in the water electrolyzer, the rate of oxygen generation reaction in the water electrolyzer is improved, thereby having high efficiency in water electrolysis.
본 발명의 또 다른 측면은 상기 제조방법에 따라 제조된 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매를 제공한다.Another aspect of the present invention provides a 3D nanostructured metal catalyst for water electrolysis prepared according to the above manufacturing method.
이하에서는 본 발명에 따른 제조예 및 실시예를 첨부된 도면과 함께 구체적으로 설명한다.Hereinafter, manufacturing examples and examples according to the present invention will be described in detail together with the accompanying drawings.
실시예 1. 3차원 나노 구조를 가진 Ir 촉매(P1000)Example 1. Ir catalyst with three-dimensional nanostructure (P1000)
정렬된 Ir 나노선의 제조Preparation of ordered Ir nanowires
일정한 너비를 가진 직선 기둥이 1 ㎛ 간격으로 나열되어 있는 요철을 가진 트렌치 기판의 상면을 하이드록시 처리된 PDMS 브러쉬로 스핀코팅하고 150 ℃에서 2시간 동안 진공오븐으로 열처리를 진행하여 화학적 표면 처리를 수행하였다. 열처리 후 기판에 반응하지 않은 잔여 PDMS 고분자를 헵테인 용매로 제거한 다음 이 위에 PMMA(100 ㎏/mol, 2 wt%, 용액의 용매비 아세톤 : 톨루엔 : 헵테인 = 4.5 : 4.5 : 1)용액을 스핀코팅하였다. 상기 PMMA 상면에 접착력을 지닌 폴리이미드 테이프를 부착한 후 떼어내면 상기 패턴과 동일한 형상이 역상 구조로 PMMA에 형성되었다.Chemical surface treatment is performed by spin-coating the top surface of a trench substrate with irregularities in which straight columns with a constant width are arranged at 1 µm intervals with a hydroxy-treated PDMS brush and heat treatment in a vacuum oven at 150°C for 2 hours. I did. After heat treatment, the remaining PDMS polymer that has not reacted to the substrate is removed with a heptane solvent, and then PMMA (100 kg/mol, 2 wt%, solvent ratio of the solution) acetone: toluene: heptane = 4.5: 4.5: 1) Coated. When the polyimide tape having adhesive strength was attached to the upper surface of the PMMA and then peeled off, the same shape as the pattern was formed on the PMMA in an inverted structure.
상기 PMMA를 Ir 증착 방향에 대해 적정 경사(80 내지 90°)를 두고 증착하면 (증착속도 = 1.8 Å/s) PMMA 박막의 요철(역상 구조 사이에 형성된 직선 형태의 기둥)을 따라 Ir 나노선으로 형성되며 증착되었다. 그 후 폴리이미드 테이프와 PMMA간의 접착력을 약화시키키 위해 55 ℃에서 10분 이상 유지한 헵테인과 아세톤이 섞인 용액의 증기를 쐬어주고, PMMA에 증착된 Ir 나노선을 기판에 부착하고 PMMA를 톨루엔으로 워싱하여 Ir 나노선만 기판위에 남은 채로 수득하였다.When the PMMA is deposited with an appropriate inclination (80 to 90°) with respect to the Ir deposition direction (deposition rate = 1.8 Å/s), it is formed by Ir nanowires along the irregularities of the PMMA thin film (linear columns formed between reversed-phase structures). Formed and deposited. After that, to weaken the adhesion between the polyimide tape and PMMA, a vapor of a solution of heptane and acetone maintained at 55°C for more than 10 minutes is supplied, and the Ir nanowires deposited on PMMA are attached to the substrate, and PMMA is added to toluene. Washed to obtain only Ir nanowires remaining on the substrate.
3차원 나노구조를 가진 Ir 촉매의 제조Preparation of Ir catalyst with 3D nanostructure
위의 방식으로 수득된 Ir 나노선을 구리호일에 여러 번 전사하여 3차원 나노구조를 가진 Ir 촉매를 제작한 후 Ir 나노선 제작공정에서 완벽히 제거되지 않은 고분자를 제거하기 위해 RIE에서 Ar/O2 플라즈마(100 w/ 45 w 90 sec)처리를 진행하였다.After transferring the Ir nanowires obtained in the above method to copper foil several times to prepare an Ir catalyst having a three-dimensional nanostructure, Ar/O 2 in RIE to remove polymers that were not completely removed in the Ir nanowire production process. Plasma (100 w / 45 w 90 sec) treatment was performed.
이후, 전기화학적 측정을 위한 장치로 3차원 나노 구조를 옮기기 위해, PMMA(앞서 사용한 PMMA와 동일 조건)를 Ir 나노 구조체 위에 스핀코팅한 후 구리 에천트인 암모늄 퍼설페이트(0.1 M) 용액에 띄워 구리호일 부분만 선택적으로 제거한 다음 멤브레인 기판으로 PMMA로 코팅된 3차원 Ir 나노 구조체를 분리하고 DI water로 충분히 잔여 에천트를 씻어내었다. 마지막으로 PMMA를 톨루엔으로 제거하여 최종적으로 3차원 나노 구조를 가진 Ir 촉매를 수득하였다.Afterwards, in order to transfer the 3D nanostructure to the device for electrochemical measurement, PMMA (same conditions as the previously used PMMA) was spin-coated on the Ir nanostructure, and then floated in a solution of ammonium persulfate (0.1 M), a copper etchant. After selectively removing only a part, the 3D Ir nanostructure coated with PMMA was separated as a membrane substrate, and the remaining etchant was sufficiently washed off with DI water. Finally, PMMA was removed with toluene to finally obtain an Ir catalyst having a three-dimensional nanostructure.
반쪽 전지 실험(half cell test)을 위해서는 적층수를 4층으로 하였고, 실재 수전해조 device에서의 실험을 위해서는 적층수를 10층으로 하였다. 이러한 적층수에 따른 iridium의 담지량(loading amount)은 ICPMS로 확인하였고, 표 1에 기재하였다.For the half cell test, the number of stacks was set to 4 layers, and for the experiment in an actual water electrolyzer device, the number of stacks was set to 10 layers. The loading amount of iridium according to the number of stacks was confirmed by ICPMS, and is shown in Table 1.
실시예 2. 3차원 나노 구조를 가진 Ir 촉매(P400)Example 2. Ir catalyst with three-dimensional nanostructure (P400)
직선 기둥이 400 ㎚ 간격으로 나열되어 있는 요철을 가진 트렌치 기판을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 3차원 나노 구조를 가진 Ir 촉매를 제조하였다.An Ir catalyst having a three-dimensional nanostructure was prepared in the same manner as in Example 1, except that a trench substrate having irregularities in which linear columns are arranged at intervals of 400 nm was used.
실시예 3. 3차원 나노 구조를 가진 Ir 촉매(P200)Example 3. Ir catalyst with 3D nanostructure (P200)
직선 기둥이 200 ㎚ 간격으로 나열되어 있는 요철을 가진 트렌치 기판을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 3차원 나노 구조를 가진 Ir 촉매를 제조하였다. An Ir catalyst having a three-dimensional nanostructure was prepared in the same manner as in Example 1, except that a trench substrate having irregularities in which linear columns are arranged at intervals of 200 nm was used.
비교예 1. Ir BlackComparative Example 1. Ir Black
2 내지 5 ㎚의 지름을 가지는 나노입자 형태의 Ir Black을 Premetek사에서 구입하여 사용하였다.Ir Black in the form of nanoparticles having a diameter of 2 to 5 nm was purchased from Premetek and used.
비교예 2. Ir/CComparative Example 2. Ir/C
Carbon Black Sphere위에 Ir 나노 입자가 얹혀 있는 파우더 형태의 Ir/C를 Premetek사에서 구입하여 사용하였다.Ir/C in powder form with Ir nanoparticles on the carbon black sphere was purchased and used from Premetek.
시험예 1. 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope; SEM) 측정Test Example 1. Scanning Electron Microscope (SEM) measurement
도 2는 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 정렬된 나노선을 여러 층으로 적층한 Ir 촉매를 위에서 바라보는 방향으로 촬영한 SEM 사진이다.FIG. 2 is an SEM photograph taken from above of an Ir catalyst in which the aligned nanowires prepared according to Examples 1 to 3 are stacked in multiple layers.
상기 SEM으로 촬영된 Ir 나노 구조 촉매는 정렬된 Ir 나노선을 한 층씩 전사할 때 방향을 90°씩 회전해가며 10층으로 적층한 촉매이다.The Ir nanostructured catalyst photographed by the SEM is a catalyst stacked in 10 layers while rotating the direction by 90° when the aligned Ir nanowires are transferred layer by layer.
도 2에 도시된 바와 같이, Ir 나노 촉매는 Ir 나노 선으로만 이루어져 있으며, 나노와이어 사이의 공간이 확보되는 것을 확인하였다. 본 발명의 촉매는 적층수를 조절하여 원하는 두께의 촉매로 제조될 수 있다.As shown in FIG. 2, it was confirmed that the Ir nano-catalyst consists only of Ir nanowires, and a space between the nanowires is secured. The catalyst of the present invention can be prepared with a catalyst having a desired thickness by controlling the number of layers.
시험예 2. Ir 촉매의 CV, OER 및 안정성 측정Test Example 2. CV, OER and stability measurement of Ir catalyst
Ir 촉매의 CV 및 OER 측정 방법Ir catalyst CV and OER measurement method
Ir 나노 촉매의 전기화학적 특성을 평가하기 위해 순환전위법(Cyclic Voltammetry, CV)과 산소 발생 반응(Oxygen Evolution reaction, OER) 곡선을 측정하였다. Cyclic Voltammetry (CV) and oxygen evolution reaction (OER) curves were measured to evaluate the electrochemical properties of the Ir nano catalyst.
상기 실험을 진행하기 위해 전위 가변기(Potentiostat) 장비를 사용하였으며 전해질 용액으로는 0.05 M 농도의 H2SO4 200 mL 직접 제조하여 적용하였다. 기준이 되는 기준전극(Reference electrode)은 Ag/AgCl 전극이며, 상대전극(Counter electrode)은 Pt wire를 사용하였고, 이에 대응하여 실시예 1에 따라 제조된 3차원 나노 구조를 가진 Ir 나노 촉매를 0.196 cm2 면적의 유리상 탄소 위에 적층하여 RDE전극(Rotating disk electrode)을 전기화학 특성을 확인하기 위한 반쪽전지반응 실험(half cell test)의 작용전극(Working electrode)으로 제작하여 이용하였다.To proceed with the experiment, a potential variable (Potentiostat) equipment was used, and as an electrolyte solution, 200 mL of H 2 SO 4 having a concentration of 0.05 M was directly prepared and applied. The reference electrode used as the reference electrode was an Ag/AgCl electrode, and a Pt wire was used as the counter electrode, and in response to this, an Ir nano catalyst having a three-dimensional nano structure prepared according to Example 1 was 0.196. The RDE electrode (Rotating disk electrode) was stacked on a cm 2 area of glassy carbon and used as a working electrode for a half cell test to confirm the electrochemical properties.
Cyclic Voltammetry(CV) 실험을 진행하기 위해 반쪽전지반응 실험(half cell test)을 상기된 내용과 같이 준비하였으며, 준비된 실험 장치에 Ar을 400 ml/min 유량으로 작용전극(WE)의 전압이 안정되도록 30분 동안 가스퍼징을 진행한다. 퍼징된 실험 장치에 0.05 V에서 1.4 V까지 100 mV/s의 속도로 순환전압을 가하여 CV 실험을 총 100회 진행하여 표면에 다공성 다결정체의 iridium oxide film을 형성한다. 또한, 동일한 실험 장치에 1.0 V에서 1.4 V까지 20 mV/s의 속도로 순환 전압을 가하여 CV실험을 진행하여 전기화학적으로 활성도 있는 표면적을 비교하였다. 여기서 순환전압의 속도를 다르게 하여 해당 실험이 전기화학적으로 활성도 있는 표면적을 비교하기에 타당한지 확인하였다.To proceed with the Cyclic Voltammetry (CV) experiment, a half cell test was prepared as described above, and Ar was added to the prepared experimental device to stabilize the voltage of the working electrode (WE) at a flow rate of 400 ml/min. Gas purging is performed for 30 minutes. A total of 100 CV experiments were conducted by applying a circulating voltage from 0.05 V to 1.4 V to the purged experimental device at a rate of 100 mV/s to form a porous polycrystalline iridium oxide film on the surface. In addition, a CV experiment was conducted by applying a circulating voltage from 1.0 V to 1.4 V at a rate of 20 mV/s to the same experimental apparatus to compare the electrochemically active surface area. Here, by varying the speed of the circulating voltage, it was confirmed whether the experiment is reasonable to compare the electrochemically active surface area.
OER 측정은 상기된 CV실험과 동일하게 작용전극(WE)의 전압이 안정화된 이후 실험을 진행하였으며, 1.2 V에서 1.7 V 까지 5 mV/s의 속도로 OER을 측정하였다.The OER measurement was performed after the voltage of the working electrode WE was stabilized in the same manner as in the CV experiment described above, and the OER was measured from 1.2 V to 1.7 V at a rate of 5 mV/s.
CV 및 OER 측정CV and OER measurement
도 3a는 본 발명의 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 3차원 나노 구조 촉매 및 비교예 1 및 2의 Ir Black과 Ir/C 촉매의 OER특성 분석을 나타낸 그래프이다.3A is a graph showing the OER characteristics analysis of the three-dimensional nanostructure catalyst prepared according to Examples 1 to 3 of the present invention and the Ir Black and Ir/C catalysts of Comparative Examples 1 and 2;
실시예 1 내지 3의 촉매의 OER 촉매 특성이 비교예 1의 Ir Black과 유사한 I-V curve를 보임을 확인하였다. I-V curve에서 1.55 V에 해당하는 전류밀도 값을 Ir의 loading 양으로 나누어주면 단위 질량당 촉매 활성을 알 수 있다. 상기 표 1에 기재된 촉매별 Ir loading 양을 살펴보면, 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 촉매의 경우 비교예 1의 Ir Black에 비해 Ir loading 양이 현저히 적음을 알 수 있다. 따라서 실시예에 따라 제조된 Ir 촉매는 비교예 1의 Ir Black 대비 Ir의 단위 질량당 촉매 활성이 뛰어남을 확인할 수 있다.It was confirmed that the OER catalyst characteristics of the catalysts of Examples 1 to 3 showed an I-V curve similar to that of the Ir Black of Comparative Example 1. If the current density value corresponding to 1.55 V in the I-V curve is divided by the loading amount of Ir, the catalytic activity per unit mass can be found. Looking at the Ir loading amount of each catalyst shown in Table 1, it can be seen that the amount of Ir loading of the catalysts prepared according to Examples 1 to 3 was significantly less than that of Ir Black of Comparative Example 1. Therefore, it can be seen that the Ir catalyst prepared according to the Example has excellent catalytic activity per unit mass of Ir compared to Ir Black of Comparative Example 1.
또한, 비교예 2의 Ir/C 촉매의 경우 Ir loading 양은 실시예 1 내지 3과 비슷하다는 것을 상기 표 1에서 알 수 있지만, I-V 커브에서 실시예에 비해 낮은 전류 밀도를 보임을 확인할 수 있었다. 이 역시, 실시예에 따라 제조된 Ir 촉매는 비교예 2의 Ir/C 촉매 대비 Ir 단위 질량당 촉매 활성이 뛰어남을 확인할 수 있다.In addition, in the case of the Ir/C catalyst of Comparative Example 2, it can be seen from Table 1 that the amount of Ir loading is similar to those of Examples 1 to 3, but it was confirmed that the I-V curve showed a lower current density than the Example. Again, it can be seen that the Ir catalyst prepared according to the Example has excellent catalytic activity per unit mass of Ir compared to the Ir/C catalyst of Comparative Example 2.
도 3b는 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 Ir 촉매 및 비교예 1의 Ir Black과 비교예 2의 Ir/C 촉매의 전기화학적으로 활성도 있는 표면적을 비교하기 위한 그래프이다.3B is a graph for comparing the electrochemically active surface areas of the Ir catalyst prepared according to Examples 1 to 3 and the Ir Black of Comparative Example 1 and the Ir/C catalyst of Comparative Example 2. FIG.
도 3c에서는 본 발명의 실시예 1에 따라 제조된 3차원 나노구조를 가지는 Ir 촉매의 CV커브를 1.0 V에서 1.4 V까지의 범위에서 측정한 것이며, 여기서 CV커브의 평평한 부분의 전류밀도가 scan rate와 선형 관계를 가지며 증가한다, 이러한 경우, 이 범위에서의 전류 밀도는 kinetic polarization에 의한 것이 아니고, 촉매와 전해질이 만나는 계면에 존재하는 전기 이중층(electric double layer)에 의해 발생하는 것이다. 그에 따라, 상기 범위에서의 CV커브를 적분하면 촉매의 전기화학적 활성도가 있는 표면적을 비교할 수 있는 값을 얻을 수 있다.In FIG. 3C, the CV curve of the Ir catalyst having a three-dimensional nanostructure prepared according to Example 1 of the present invention was measured in the range from 1.0 V to 1.4 V, where the current density of the flat portion of the CV curve is the scan rate. It has a linear relationship with and increases. In this case, the current density in this range is not due to kinetic polarization, but by an electric double layer present at the interface where the catalyst and electrolyte meet. Accordingly, by integrating the CV curve in the above range, a value capable of comparing the surface area with electrochemical activity of the catalyst can be obtained.
도 3d는 상기된 OER 특성 분석과 전기화학적 활성도가 있는 표면적을 비교하기 위한 CV를 측정하기 전에 실시한 CV커브이다. 이는 촉매의 표면에 다공성 다결정질의 hydrated iridium oxide film을 형성하기 위한 과정이다. 이러한 과정은 iridium 촉매의 OER 활성을 높여주고, 안정성을 높여준다고 알려져 있다. 전압 값이 가장 낮은 쪽에 생기는 peak은 촉매의 표면에서 금속인 부분에 수소의 흡착과 탈착이 일어나며 생기는 전류 값에 해당하는 것으로, 이러한 peak이 없어진 것을 통해 촉매의 표면에서 금속인 부분이 사라지고 모두 산화막으로 바뀌었음을 확인할 수 있다.3D is a CV curve performed before measuring CV for comparing the above-described OER characteristic analysis and surface area having electrochemical activity. This is a process for forming a porous polycrystalline hydrated iridium oxide film on the surface of the catalyst. This process is known to increase the OER activity and stability of the iridium catalyst. The peak at the lowest voltage value corresponds to the current value generated by the adsorption and desorption of hydrogen on the metal part on the surface of the catalyst, and through the disappearance of this peak, the metal part disappears from the surface of the catalyst, and all of it becomes an oxide film. You can see that it has changed.
시험예 3. 촉매의 안정성 평가Test Example 3. Stability evaluation of catalyst
안정성을 살펴보기 위해 전압을 계단 형식으로 가하는 실험을 상기된 반쪽전지반응 실험(half cell test) 설정에서 진행하였다. 1.0 V와 1.6 V에서 10초씩 유지하는 것을 반복하는 방식을 통해 전압을 계단 형식으로 가해주었다. 이러한 설정을 500회 반복하였으며, OER반응이 일어나는 1.6 V에서의 전류 밀도 변화를 반복 횟수에 따라 관찰하고 실험 전후에 전기화학적으로 활성도 있는 표면적을 계산하기 위한 CV를 측정하였다.In order to examine the stability, an experiment in which a voltage was applied in a stepwise manner was performed in the setting of the half cell test described above. The voltage was applied in a stepped manner by repeatedly maintaining at 1.0 V and 1.6 V for 10 seconds. This setting was repeated 500 times, and the change in current density at 1.6 V in which the OER reaction occurred was observed according to the number of repetitions, and the CV for calculating the electrochemically active surface area before and after the experiment was measured.
도 4a는 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 촉매와 비교예 1의 Ir Black 촉매 및 비교예 2의 Ir/C촉매의 열화 특성을 측정하기 위해 계단형식으로 전압을 가하는 실험을 상기된 반쪽전지반응 실험(half cell test) 설정에서 진행한 결과를 나타낸다.4A is an experiment in which voltage is applied in a stepwise fashion to measure the deterioration characteristics of the catalyst prepared according to Examples 1 to 3, the Ir Black catalyst of Comparative Example 1, and the Ir/C catalyst of Comparative Example 2, as described above. Shows the results of the experiment (half cell test) setting.
1.0 V와 1.6 V에서 10초씩 유지하는 것을 반복하는 방식을 통해 전압을 계단 형식으로 가해주는 설정을 500회 반복하며, OER반응이 일어나는 1.6 V에서의 전류 밀도 변화를 반복 횟수에 따라 관찰한 결과, 도 4a에 도시된 바와 같이, 실시예 1 내지 3의 3차원 나노 구조를 가진 촉매의 성능 감소가 더 적음을 확인하였다.The setting of applying the voltage in a stepwise manner is repeated 500 times by holding at 1.0 V and 1.6 V for 10 seconds each, and the change in the current density at 1.6 V where the OER reaction occurs is observed according to the number of repetitions. As shown in FIG. 4A, it was confirmed that the reduction in performance of the catalysts having the 3D nanostructures of Examples 1 to 3 was less.
도 4b는 안정성 실험 전후에 전기화학적으로 활성도 있는 표면적을 계산하기 위한 CV를 측정한 결과이다. 실시예 2의 Ir 촉매의 경우에 비교예 1의 Ir Black에 비해 전기화학적 활성이 있는 표면적의 감소폭이 적은 것으로 보아, 우수한 내구성의 원인임을 확인하였다.4B is a result of measuring CV for calculating the electrochemically active surface area before and after stability experiments. In the case of the Ir catalyst of Example 2, compared to the Ir Black of Comparative Example 1, the reduction in the electrochemically active surface area was small, and it was confirmed that it is the cause of excellent durability.
시험예 4. Ir 촉매를 적용한 수전해조의 성능 평가 Test Example 4. Performance evaluation of a water electrolyzer applying an Ir catalyst
도 5a는 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 Ir 나노선을 쌓아 만든 3차원 나노구조를 가진 촉매의 성능을 수전해조에서 평가해 보기 위해 준비한 수전해조의 구조를 나타낸 모식도이다. 5A is a schematic diagram showing the structure of a water electrolyzer prepared to evaluate the performance of a catalyst having a three-dimensional nanostructure made by stacking Ir nanowires prepared according to Examples 1 to 3 in a water electrolyzer.
도 5b는 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 3차원 나노 구조를 가진 촉매를 포함하는 상기 수전해조에서 물 분해 성능을 평가한 결과이다.5B is a result of evaluating water decomposition performance in the water electrolyzer including catalysts having a three-dimensional nanostructure prepared according to Examples 1 to 3.
도 5b에 도시된 바와 같이, 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 3차원 나노 구조를 가진 촉매는 수전해조의 성능을 상당히 높였음을 높은 전류 값을 통해 확인할 수 있었다. As shown in FIG. 5B, it was confirmed through a high current value that the catalysts having a three-dimensional nanostructure prepared according to Examples 1 to 3 significantly improved the performance of the electrolyzer.
상기 물 분해 성능을 평가한 결과에서 측정한 전류밀도의 값을 상기 표 1의 Ir 담지량으로 나눠 촉매가 포함하는 Ir의 단위 질량 당 활성을 나타내는 질량활성(Mass activity, A/g)을 구할 수 있다. 실시예 1(P1000), 실시예 2(P400) 및 실시예 3(P200)은 1.6 V 조건에서 각각 26000 A/g, 42000 A/g 및 21000 A/g의 질량활성을 보였다. 이는 1000 A/g 미만의 질량활성을 보이는 기존의 상용 촉매와 비교할 때 40배 이상 증가한 값에 해당하며, 촉매의 3차원 나노 구조가 실제 수전해조에서 촉매의 질량활성을 현저하게 증가시킴을 확인할 수 있는 결과이다.By dividing the value of the current density measured from the result of evaluating the water decomposition performance by the amount of Ir supported in Table 1, the mass activity (A/g) indicating the activity per unit mass of Ir contained in the catalyst can be obtained. . Example 1 (P1000), Example 2 (P400), and Example 3 (P200) showed mass activities of 26000 A/g, 42000 A/g and 21000 A/g, respectively, at 1.6 V conditions. This corresponds to a value that is increased by more than 40 times compared to the conventional commercial catalyst showing a mass activity of less than 1000 A/g. Is the result.
전술한 실시예 및 비교예는 본 발명을 설명하기 위한 예시로서, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양하게 변형하여 본 발명을 실시하는 것이 가능할 것이므로, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.The above-described Examples and Comparative Examples are examples for explaining the present invention, and the present invention is not limited thereto. Since those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to implement the present invention by various modifications therefrom, the technical protection scope of the present invention should be determined by the appended claims.
Claims (16)
(B) 상기 하이드록시가 치환된 고분자층이 형성된 상기 트렌치 기판의 상면에 아크릴 수지층을 형성하는 단계;
(C) 상기 아크릴 수지층을 상기 트렌치 기판과 분리하여 상기 아크릴 수지층의 일면에 상기 트렌치 기판과 동일한 형상으로 다수의 음각을 형성하는 단계;
(D) 상기 아크릴 수지층에 형성된 다수의 음각 사이에 위치한 직선 기둥을 따라 금속 나노선을 증착시키는 단계; 및
(E) 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후 상기 아크릴 수지층을 제거하여 정렬된 금속 나노선을 제조하는 단계;를 포함하고,
상기 하이드록시가 치환된 고분자는 하이드록시가 치환된 PDMS이고,
상기 아크릴 수지는 PMMA이고,
상기 아크릴 수지층의 형성은 아세톤, 톨루엔 및 헵탄의 중량비가 4 : 4 : 2 내지 4.5 : 4.5 : 1로 이루어진 용매에 상기 아크릴 수지가 1 내지 3 중량%로 함유되는 용액을 코팅하여 수행되고,
상기 (C) 단계에서 상기 분리는 폴리이미드 테이프를 상기 아크릴 수지층에 접착시킨 후 잡아당겨 상기 트렌치 기판으로부터 상기 아크릴 수지층을 분리하는 것이고,
상기 증착은 상기 아크릴 수지층과 금속의 증착 방향이 80 내지 90 °의 각도를 가지도록 상기 아크릴 수지층을 기울여서 증착하는 것이고,
상기 금속은 이리듐이고,
상기 (E) 단계에서 상기 아크릴 수지층에 증착된 금속 나노선을 기판에 부착한 후, 상기 아크릴 수지층을 유기용매 증기에 노출시키는 단계를 추가로 포함하고,
상기 유기용매는 아세톤 및 헵탄을 1.2 : 1 내지 1 : 1.2의 부피비로 혼합한 용액인 정렬된 금속 나노선의 제조방법.(A) forming a hydroxy-substituted polymer layer on the upper surface of the trench substrate on which the irregularities are formed;
(B) forming an acrylic resin layer on the upper surface of the trench substrate on which the hydroxy-substituted polymer layer is formed;
(C) separating the acrylic resin layer from the trench substrate to form a plurality of intaglios on one surface of the acrylic resin layer in the same shape as the trench substrate;
(D) depositing a metal nanowire along a straight pillar positioned between a plurality of intaglios formed on the acrylic resin layer; And
(E) attaching the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer to a substrate and then removing the acrylic resin layer to prepare aligned metal nanowires; Including,
The hydroxy-substituted polymer is hydroxy-substituted PDMS,
The acrylic resin is PMMA,
The formation of the acrylic resin layer is performed by coating a solution containing 1 to 3% by weight of the acrylic resin in a solvent having a weight ratio of acetone, toluene and heptane of 4:4:2 to 4.5:4.5:1,
In the step (C), the separation is to separate the acrylic resin layer from the trench substrate by attaching and pulling a polyimide tape to the acrylic resin layer,
The deposition is deposited by tilting the acrylic resin layer so that the deposition direction of the acrylic resin layer and the metal has an angle of 80 to 90 °,
The metal is iridium,
After attaching the metal nanowires deposited on the acrylic resin layer to the substrate in step (E), further comprising exposing the acrylic resin layer to an organic solvent vapor,
The organic solvent is a solution obtained by mixing acetone and heptane in a volume ratio of 1.2:1 to 1:1.2.
(나) 상기 금속 나노 구조체를 건식식각하여 표면처리하는 단계;
(다) 상기 금속 나노 구조체의 상면에 아크릴 수지층을 형성한 후 상기 금속 호일을 제거하는 금속 에천트 수용액에 금속 호일만 침지되도록 구비하는 단계;
(라) 상기 금속 에천트 수용액으로부터 상기 금속 나노 구조체를 분리하는 단계; 및
(마) 상기 분리된 금속 나노 구조체의 아크릴 수지층을 제거하여 금속 나노 촉매를 수득하는 단계;를 포함하는 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조방법. (A) preparing a metal nanostructure by laminating the aligned metal nanowires manufactured according to the manufacturing method of claim 1 on a metal foil several times;
(B) surface treatment of the metal nanostructure by dry etching;
(C) forming an acrylic resin layer on the upper surface of the metal nanostructure and providing the metal foil so that only the metal foil is immersed in an aqueous metal etchant solution for removing the metal foil;
(D) separating the metal nanostructure from the metal etchant aqueous solution; And
(E) removing the acrylic resin layer of the separated metal nano-structure to obtain a metal nano-catalyst; Method for producing a three-dimensional nano-structured metal catalyst for water electrolysis comprising a.
상기 정렬된 금속 나노선은 제8항의 제조방법에 따라 제조된 정렬된 금속 나노선이고,
상기 적층은 상기 정렬된 금속 나노선이 직전에 적층된 상기 정렬된 금속 나노선과 80 내지 90°의 각도를 이루도록 적층되고,
상기 금속 호일은 구리호일이고,
상기 건식식각은 반응성 이온 식각(Reactive Ion Etching)이고,
상기 금속 에천트는 암모늄 퍼설페이트이고,
상기 아크릴 수지는 PMMA인 수전해용 3차원 나노 구조 금속 촉매의 제조방법.The method of claim 10,
The aligned metal nanowires are aligned metal nanowires manufactured according to the manufacturing method of claim 8,
The stacking is stacked so that the aligned metal nanowires form an angle of 80 to 90° with the aligned metal nanowires stacked immediately before,
The metal foil is a copper foil,
The dry etching is Reactive Ion Etching,
The metal etchant is ammonium persulfate,
The acrylic resin is PMMA, a method of manufacturing a 3D nanostructured metal catalyst for water electrolysis.
A three-dimensional nanostructured metal catalyst for water electrolysis prepared according to the manufacturing method of any one of claims 10 to 15.
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