KR102202469B1 - Apparatus for examining appearance - Google Patents

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Abstract

본 발명은 검사 대상물의 외관을 검사할 수 있는 외관 검사 장치에 관한 것으로, 검사 대상물의 3개 면에 대한 각각의 반사광을 통해 이미지를 획득하는 디텍터와, 상기 검사 대상물과 상기 디텍터 사이에 배치되며, 상기 반사광의 경로를 변경하는 복수의 반사미러 및 상기 검사 대상물과 상기 디텍터 사이에 배치되며, 상기 반사미러에 의해 경로가 변경된 반사광을 상기 디텍터로 반사하는 프리즘을 포함한다. The present invention relates to a visual inspection apparatus capable of inspecting the appearance of an object to be inspected, and a detector for acquiring an image through each reflected light on three surfaces of an object to be inspected, and is disposed between the object and the detector, And a plurality of reflective mirrors for changing a path of the reflected light, and a prism disposed between the object to be inspected and the detector, and reflecting the reflected light whose path is changed by the reflective mirror to the detector.

Description

외관 검사 장치{APPARATUS FOR EXAMINING APPEARANCE}Appearance inspection device {APPARATUS FOR EXAMINING APPEARANCE}

본 발명은 검사 대상물의 외관을 검사할 수 있는 외관 검사 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a visual inspection apparatus capable of inspecting the appearance of an object to be inspected.

최근에 전자제품의 집적화와 소형화가 급속히 진행되면서 전자제품에 사용되는 전자부품의 크기가 대략 0.1㎝ 이하인 소형의 전자부품들이 제작되고 있다. Recently, as the integration and miniaturization of electronic products progresses rapidly, small electronic parts having a size of about 0.1 cm or less used in electronic products are being manufactured.

이와 같이 전자부품들은 생산 후 출하 전에 반드시 정밀한 검사를 거치게 되고, 이들 전자부품들은 내부적인 요소 뿐만 아니라 그 외형에 있어 조금의 결함이라도 발생하면 성능에 치명적인 영향을 끼치게 된다.In this way, electronic parts must undergo a precise inspection after production and before shipment, and these electronic parts have a fatal effect on performance if any defect occurs in appearance as well as internal factors.

특히, 이러한 소형의 전자부품들은 현미경과 같은 고배율의 확대경이 아니면 그 외관의 육안 검사는 거의 불가능하다.In particular, it is almost impossible to visually inspect the appearance of these small electronic components unless they are magnifying glass with high magnification such as a microscope.

이에 따라, 소형의 전자부품을 검사하기 위한 종래의 검사 방법은 작업장에 여러 명의 작업자가 현미경과 같은 외관 검사 장비를 이용하여 개별 전자부품을 일일이 수작업으로 검수하고 있으나, 이는 하나의 전자부품을 검사하는데 장시간의 시간이 소요되고 작업자의 육안 판별에 의지함에 따라 그 정확성에도 한계가 있기 때문에 작업 효율이 현저히 떨어지는 문제점이 지적되고 있다.Accordingly, in the conventional inspection method for inspecting small electronic parts, several workers in the workplace manually inspect individual electronic parts by using visual inspection equipment such as a microscope, but this is to inspect one electronic part. A problem has been pointed out that the work efficiency is significantly lowered because it takes a long time and there is a limit to its accuracy as the worker relies on the visual identification.

따라서, 최근에는 이러한 전자부품들의 외형적 결함은 CCD 카메라 등을 이용한 비전 검사에 의해 이루어지고 있으며, 전자부품을 촬영한 이미지를 토대로 전자부품의 전자부품의 표면에 대한 마킹이나 스크래치 등의 결함을 검사하고 있다.Therefore, in recent years, external defects of such electronic components are made by vision inspection using a CCD camera, etc., and defects such as marking or scratches on the surface of electronic components of electronic components are inspected based on images taken of electronic components. Are doing.

하지만 검사하고자 하는 전자부품의 형상과 불량유형이 다양해지고 있는 추세로 점차로 전자부품의 더 많은 면을 봐야하는 추세이며, 이에 전자부품의 각 면을 검사하기 위한 CCD 카메라 등의 장비도 필연적으로 많아지게 되어 설비의 크기가 커지고 복잡해지며 비용도 증가하게 된다.
However, as the shape and defect types of electronic parts to be inspected are becoming more diverse, there is a trend to look at more and more sides of electronic parts, and thus, there are inevitably more equipment such as CCD cameras to inspect each side of electronic parts. As a result, the size of the facility becomes larger, more complex, and the cost increases.

한국공개특허공보 10-2003-0024615Korean Patent Publication 10-2003-0024615

본 발명의 목적은, 검사 대상물의 3면을 동시에 검사할 수 있는 외관 검사 장치를 제공하는 것이다.
An object of the present invention is to provide a visual inspection apparatus capable of simultaneously inspecting three surfaces of an object to be inspected.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 검사 대상물의 3면에서 반사된 반사광을 하나의 디텍터로 촬영할 수 있는 외관 검사 장치를 제공하는 것이다.
The present invention for achieving the above object is to provide a visual inspection apparatus capable of photographing the reflected light reflected from the three surfaces of the inspection object with one detector.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 장치는 검사 대상물의 3면에서 반사된 각각의 반사광을 하나의 디텍터로 동시에 촬영함으로써, 검사 대상물의 3면을 동시에 검사할 수 있다.
As described above, the appearance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention can simultaneously inspect the three surfaces of the inspection object by simultaneously photographing each of the reflected light reflected from the three surfaces of the inspection object with one detector.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 장치를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 3a는 도 1의 프리즘을 나타낸 사시도.
도 3b는 도 1의 프리즘의 상면을 나타낸 평면도.
도 3c는 도 1의 프리즘의 측면을 나타낸 측면도.
도 4는 도 1의 디텍터를 통해 획득된 이미지를 나타낸 도면. 1 is a perspective view schematically showing an appearance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view schematically showing an appearance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 3a is a perspective view showing the prism of Figure 1;
3B is a plan view showing the upper surface of the prism of FIG. 1.
Figure 3c is a side view showing a side of the prism of Figure 1;
4 is a diagram illustrating an image acquired through the detector of FIG. 1.

본 발명에 따른 외관 검사 장치의 상기 목적에 대한 기술적 구성을 비롯한 작용효과에 관한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예가 도시된 도면을 참조한 아래의 상세한 설명에 의해서 명확하게 이해될 것이다.Matters concerning the operational effects, including the technical configuration for the above object, of the visual inspection apparatus according to the present invention will be clearly understood by the following detailed description with reference to the drawings in which a preferred embodiment of the present invention is shown.

또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 부가적으로, 도면의 구성요소는 반드시 축척에 따라 그려진 것은 아니다. 예컨대, 본 발명의 실시예의 이해를 돕기 위해 도면의 일부 구성요소의 크기는 다른 구성요소에 비해 과장될 수 있다. 아울러 서로 다른 도면의 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 나타내고, 유사한 참조부호는 반드시 그렇지는 않지만 유사한 구성요소를 나타낼 수 있다.In addition, in describing the present invention, when it is determined that a detailed description of related known technologies may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. Additionally, elements in the drawings are not necessarily drawn to scale. For example, the sizes of some elements in the drawings may be exaggerated compared to other elements in order to help understand the embodiments of the present invention. In addition, the same reference numerals in different drawings indicate the same elements, and similar reference numerals may not necessarily indicate similar elements.

본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다.
In the present specification, terms such as first and second are used to distinguish one component from other components, and the component is not limited by the terms.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이며, 도 3a는 도 1의 프리즘을 나타낸 사시도이고, 도 3b는 도 1의 프리즘의 상면을 나타낸 평면도이며, 도 3c는 도 1의 프리즘의 측면을 나타낸 측면도이고, 도 4는 도 1의 디텍터를 통해 획득된 이미지를 나타낸 도면이다. 1 is a perspective view schematically showing an appearance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view schematically showing an appearance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3A is a perspective view showing a prism of FIG. And FIG. 3B is a plan view showing the top surface of the prism of FIG. 1, FIG. 3C is a side view showing a side view of the prism of FIG. 1, and FIG. 4 is a view showing an image acquired through the detector of FIG. 1.

본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 장치는 검사 대상물(E)의 3면을 하나의 디텍터(110)로 동시에 검사할 수 있다. The appearance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention may simultaneously inspect three surfaces of the inspection object E with one detector 110.

이러한 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 장치는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 디텍터(110), 반사미러(120) 및 프리즘(130)을 포함한다. The appearance inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, includes a detector 110, a reflective mirror 120, and a prism 130.

본 실시예에서 검사 대상물(E)은 6개의 면으로 구성된 직육면체 형태를 가지며, 인접한 두 개 측면 사이의 변이 디텍터(110)를 향하도록 비스듬하게 위치될 수 있다. 이때, 검사 대상물(E)의 두 개 측면 사이의 변과 디텍터(110)는 서로 대향되게 배치되며, 동일한 축 상에 배치될 수 있다. In this embodiment, the inspection object E has a rectangular parallelepiped shape composed of six faces, and may be positioned obliquely so that a side between two adjacent sides faces the detector 110. In this case, the side between the two sides of the object E and the detector 110 are disposed to face each other, and may be disposed on the same axis.

상기 디텍터(110)는 검사 대상물(E)의 3개 면에 대한 각각의 반사광을 통해 이미지를 획득할 수 있다. 특히 디텍터(110)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 검사 대상물(E)의 상면과 검사 대상물(E)의 두 개 측면이 하나의 이미지로 획득될 수 있다. The detector 110 may acquire an image through each of the reflected light on the three surfaces of the inspection object E. In particular, as shown in FIG. 4, the detector 110 may acquire an upper surface of the inspection object E and two sides of the inspection object E as one image.

이때, 본 실시예에서 디텍터(110)는 CCD 카메라일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 검사 대상물(E)의 3개 면에 대한 각각의 반사광을 통해 이미지를 획득할 수 있는 구성이라면 어떠한 구성도 채택될 수 있다. At this time, in this embodiment, the detector 110 may be a CCD camera. However, the present invention is not limited thereto, and any configuration may be adopted as long as it is a configuration capable of acquiring an image through each of the reflected light on three surfaces of the inspection object E.

특히, 상기 디텍터(110)는 검사 대상물(E)의 상면에 대한 이미지와 검사 대상물(E)의 인접한 두 개 측면에 대한 이미지를 동시에 획득함으로써, 검사 대상물(E)의 3면을 동시에 검사할 수 있다. In particular, the detector 110 simultaneously acquires an image of the upper surface of the inspection object E and an image of two adjacent sides of the inspection object E, thereby simultaneously inspecting the three surfaces of the inspection object E. have.

한편 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 장치는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 검사 대상물(E)에 광을 조사하는 조명부(140)를 더 포함할 수 있다. Meanwhile, the appearance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a lighting unit 140 that irradiates light to the inspection object E, as shown in FIGS. 1 and 2.

상기 조명부(140)는 검사 대상물(E)의 상면 및 두 개 측면에 광을 조사하도록 형성될 수 있다. The lighting unit 140 may be formed to irradiate light to the upper surface and two side surfaces of the inspection object E.

이러한 상기 조명부(140)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 복수개로 구성될 수 있다. 이때, 조명부(140)는 검사 대상물(E)의 상면에 광을 조사하는 제1조명부(141)와 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 일측면에 광을 조사하는 제2조명부(142) 및 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 타측면에 광을 조사하는 제3조명부(143)로 구성될 수 있다. As shown in FIGS. 1 and 2, the lighting unit 140 may be configured in plural. In this case, the illumination unit 140 includes a first illumination unit 141 that irradiates light to the upper surface of the object to be inspected (E) and a second illumination unit 142 that irradiates light to one of the two sides of the object to be inspected (E), and It may be composed of a third illumination unit 143 for irradiating light to the other side of the two sides of the inspection object (E).

본 실시예에서 상기 조명부(140)는, 다수의 LED가 배열된 판넬 형태로 형성될 수 있다. In this embodiment, the lighting unit 140 may be formed in a panel shape in which a plurality of LEDs are arranged.

보다 구체적으로 제1조명부(141)는 검사 대상물(E)의 상부에 검사 대상물의 상면과 대향되도록 배치되어 검사 대상물(E)의 상면에 광을 조사할 수 있게 된다. 또한, 제2조명부(142)은 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 일측면에 소정 간격 이격되어 대향되도록 배치될 수 있으며, 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 일측면에 광을 조사할 수 있다. 아울러, 제3조명부(143)는 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 타측면에 소정 간격 이격되어 대향되도록 배치될 수 있으며, 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 타측면에 광을 조사할 수 있다. More specifically, the first lighting unit 141 is disposed on the upper surface of the object E to face the upper surface of the object to be inspected so as to irradiate light onto the upper surface of the object E. In addition, the second lighting unit 142 may be disposed to face one of the two sides of the object E at a predetermined distance apart from each other, and to irradiate light on one of the two sides of the object E. I can. In addition, the third lighting unit 143 may be disposed to face the other side of the two sides of the test object E at a predetermined distance apart from each other, and the other side of the two sides of the test target E may be irradiated with light. I can.

또한, 판넬 형태로 형성된 조명부(140)의 경우, 중심 영역에는 관통공(144)이 형성될 수 있다. 이때, 관통공(144)은 조명부(140)로부터 검사 대상물(E)로 조사된 광 중 검사 대상물(E)에 반사된 반사광이 통과될 수 있다. In addition, in the case of the lighting unit 140 formed in a panel shape, a through hole 144 may be formed in the central region. In this case, the through hole 144 may pass the reflected light reflected to the inspection object E among the light irradiated from the illumination unit 140 to the inspection object E.

다만, 본 실시예에서는 조명부(140)를 판넬 형태로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 검사 대상물(E)의 상면 및 두 개 측면에 광을 조사할 수 있는 구성이라면 어떠한 구성도 채택될 수 있다. 예컨대, 검사 대상물(E)의 상면 및 두 개 측면에 각각 광을 조사하는 3 개의 광원으로 구성될 수도 있다. However, in the present embodiment, the lighting unit 140 has been described in the form of a panel, but is not limited thereto, and any configuration may be adopted as long as it is a configuration capable of irradiating light on the top and two sides of the inspection object E. . For example, it may be composed of three light sources each irradiating light to the upper surface and two sides of the inspection object (E).

또한, 본 실시에에서는 조명부(140)가 검사 대상물(E)의 상면 및 두 개 측면에 각각 배치되는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 검사 대상물(E)의 상면 및 두 개 측면에 광을 조사할 수 있는 구성이라면 어떠한 구성도 채택될 수 있다. In addition, in the present embodiment, it has been described that the lighting unit 140 is disposed on the top and two sides of the inspection object E, but is not limited thereto, and light is emitted to the top and two sides of the inspection object E. Any configuration can be adopted as long as it can be investigated.

예컨대, 검사 대상물(E)의 꼭지점 중 하나의 꼭지점에 소정 간격 이격되도록 조명부(140)가 배치될 수 있다. 이 경우, 검사 대상물(E)의 상면 및 두 개 측면 모두에 광을 조사할 수 있다. 또한, 검사 대상물(E)의 상면과 검사 대상물(E)의 두 개 측면 사이의 변에 각각 소정 간격 이격되도록 조명부(140)가 배치될 수 있다. 이 경우, 검사 대상물(E)의 상면 및 두 개 측면 모두에 광을 조사할 수 있다. For example, the lighting unit 140 may be disposed to be spaced apart from one of the vertices of the object E by a predetermined interval. In this case, light can be irradiated to both the upper surface and both sides of the inspection object E. In addition, the lighting unit 140 may be disposed on a side between the upper surface of the inspection object E and the two sides of the inspection object E so as to be spaced apart by a predetermined distance. In this case, light can be irradiated to both the upper surface and both sides of the inspection object E.

한편, 검사 대상물(E)에 반사된 반사광 중 검사 대상물(E)의 상면에 반사된 반사광은 검사 대상물(E)의 상면과 수직하는 방향으로 반사될 수 있다. 또한, 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 일측면에서 반사된 반사광은 검사 대상물(E)의 일측면과 수직하는 방향으로 반사되고, 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 타측면에서 반사된 반사광은 검사 대상물(E)의 타측면과 수직하는 방향으로 반사될 수 있다. Meanwhile, among the reflected light reflected on the inspection object E, the reflected light reflected on the upper surface of the inspection object E may be reflected in a direction perpendicular to the upper surface of the inspection object E. In addition, the reflected light reflected from one of the two sides of the inspection object E is reflected in a direction perpendicular to the one side of the inspection object E, and reflected from the other of the two sides of the inspection object E. The reflected light may be reflected in a direction perpendicular to the other side of the object E.

이에 따라, 각각의 반사광은 검사 대상물(E)의 각각의 면과 수직하는 방향으로 반사됨으로써, 디텍터(110)에서 각각의 면을 검사할 시 원근감 없이 온전한 정방향의 이미지가 획득될 수 있다. Accordingly, each reflected light is reflected in a direction perpendicular to each surface of the inspection object E, so that when each surface is inspected by the detector 110, an image in a complete forward direction can be obtained without a sense of perspective.

상기 반사미러(120)는 검사 대상물(E)과 디텍터(110) 사이에 배치되며, 반사광의 경로를 변경하는 것으로, 복수개가 구비될 수 있다. The reflective mirror 120 is disposed between the inspection object E and the detector 110, and changes a path of reflected light, and a plurality of the reflective mirrors 120 may be provided.

여기서, 상기 반사미러(120)는 검사 대상물(E)의 상면 및 두 개 측면에서 반사된 각각의 반사광의 경로를 변경할 수 있다. Here, the reflective mirror 120 may change the path of each of the reflected light reflected from the top and two sides of the object E.

특히, 상기 반사미러(120)는 검사 대상물(E)의 상면에 대한 반사광의 경로를 변경하여 프리즘(130)으로 반사하는 제1, 2반사미러(121, 122) 및 검사 대상물(E)의 두 개 측면에 대한 반사광의 경로를 변경하여 프리즘(130)으로 반사하는 제3, 4반사미러(123, 124)를 포함할 수 있다. In particular, the reflection mirror 120 changes the path of the reflected light to the upper surface of the inspection object E and reflects the first and second reflection mirrors 121 and 122 and the inspection object E. The third and fourth reflective mirrors 123 and 124 may be included to change the path of the reflected light to each side and reflect it to the prism 130.

여기서, 상기 제1반사미러(121)는 검사 대상물(E)의 직 상부에 기울어진 상태로 배치되어 제2반사미러(122)로 검사 대상물(E)의 상면에 대한 반사광을 반사시킬 수 있다. 이때, 상기 제2반사미러(122)는 프리즘(130)의 직 상부에 기울어진 상태로 배치되어 제1반사미러(121)로부터 반사된 검사 대상물(E)의 상면에 대한 반사광을 프리즘(130)으로 반사시킬 수 있다. Here, the first reflective mirror 121 is disposed in an inclined state directly above the inspection object E, and reflects light reflected on the upper surface of the inspection object E with the second reflective mirror 122. At this time, the second reflective mirror 122 is disposed in an inclined state directly above the prism 130 so that the reflected light on the upper surface of the inspection object E reflected from the first reflective mirror 121 is transmitted to the prism 130. Can be reflected.

또한, 상기 제3반사미러(123)는 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 일측면에 대해 수직하는 방향으로 소정간격 이격되어 배치될 수 있다. 이때, 제3반사미러(123)는 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 일측면에 대한 반사광을 프리즘(130)으로 반사시킬 수 있다. In addition, the third reflective mirror 123 may be disposed at predetermined intervals in a direction perpendicular to one of the two side surfaces of the object E. In this case, the third reflective mirror 123 may reflect the reflected light on one of the two sides of the object E to the prism 130.

아울러, 상기 제4반사미러(124)는 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 타측면에 대해 수직하는 방향으로 소정간격 이격되어 배치될 수 있다. 이때, 제4반사미러(124)는 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 타측면에 대한 반사광을 프리즘(130)으로 반사시킬 수 있다. In addition, the fourth reflective mirror 124 may be disposed at predetermined intervals in a direction perpendicular to the other side of the two side surfaces of the object E. In this case, the fourth reflective mirror 124 may reflect the reflected light on the other side of the two sides of the object E to the prism 130.

이때, 상기 제3반사미러(123)와 제4반사미러(124)는 서로 대칭되게 배치되어 검사 대상물(E)의 두 개 측면에 대한 반사광을 동시에 프리즘(130)으로 반사시킬 수 있다. In this case, the third and fourth reflective mirrors 123 and 124 are arranged to be symmetrical to each other so that the reflected light from the two sides of the object E may be simultaneously reflected by the prism 130.

다만, 본 실시예에서는 상술한 바와 같이, 반사미러(120)의 갯수 및 위치를 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니며, 반사미러(120)의 갯수 및 위치는 설계자의 설계에 따라 변경 가능하다.However, in this embodiment, as described above, the number and location of the reflective mirrors 120 have been described, but the number and location of the reflective mirrors 120 are not limited thereto, and the number and location of the reflective mirrors 120 may be changed according to the design of the designer.

상기 프리즘(130)은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 반사미러(120)에 의해 경로가 변경된 반사광을 디텍터(110)로 반사하는 것으로, 검사 대상물(E)과 디텍터(110) 사이에 배치될 수 있다. The prism 130 reflects the reflected light whose path is changed by the reflective mirror 120 to the detector 110, as shown in FIGS. 1 and 2, and between the object E and the detector 110 Can be placed on

여기서 상기 프리즘(130)은, 도 3a 내지 도 3c에 도시된 바와 같이, 반사미러(120)에 의해 경로가 변경된 반사광을 디텍터(110)로 반사하는 3개의 반사면(131, 132, 133)이 형성될 수 있다. Here, the prism 130 has three reflective surfaces 131, 132, and 133 that reflect the reflected light whose path is changed by the reflective mirror 120 to the detector 110, as shown in FIGS. 3A to 3C. Can be formed.

이때, 프리즘(130)은 검사 대상물(E)의 상면에 대한 반사광을 디텍터(110)로 반사하는 제1반사면(131)과, 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 일측면에 대한 반사광을 디텍터(110)로 반사하는 제2반사면(132) 및 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 타측면에 대한 반사광을 디텍터(110)로 반사하는 제3반사면(133)이 형성될 수 있다. At this time, the prism 130 reflects the first reflection surface 131 that reflects the light reflected on the upper surface of the inspection object E to the detector 110 and the reflected light on one of the two sides of the inspection object E. A second reflective surface 132 that is reflected by the detector 110 and a third reflective surface 133 that reflects the reflected light on the other side of the two sides of the inspection object E to the detector 110 may be formed. .

여기서, 제1반사면(131)은 프리즘(130)의 상부에 기울어진 형태로 형성되어 제2반사미러(122)에서 반사된 반사광을 디텍터(110)로 반사할 수 있게 된다. 이러한 제1반사면(131)은 프리즘(130)의 높이가 디텍터(110) 방향으로 갈수록 낮아지는 형태로 형성됨에 따라 프리즘(130)의 상면에 형성될 수 있다. 이렇게 형성된 제1반사면(131)은, 도 3b에 도시된 바와 같이, 45도의 기울기를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. Here, the first reflective surface 131 is formed in an inclined shape above the prism 130 so that the reflected light reflected from the second reflective mirror 122 can be reflected to the detector 110. The first reflective surface 131 may be formed on the upper surface of the prism 130 as the height of the prism 130 decreases toward the detector 110. The first reflective surface 131 formed in this way is preferably formed to have an inclination of 45 degrees, as shown in FIG. 3B.

또한, 제2반사면(132) 및 제3반사면(133)은 프리즘(130)의 양측부에 기울어진 형태로 형성되어 제3반사미러(123) 및 제4반사미러(124)에서 반사된 각각의 반사광을 디텍터(110)로 반사할 수 있다. 이러한 제2반사면(132) 및 제3반사면(133)은, 프리즘(130)의 넓이가 디텍터(110) 방향으로 갈수록 좁아지는 형태로 형성됨에 따라 프리즘(130)의 양측면에 형성될 수 있다. 이렇게 형성된 제2반사면(132) 및 제3반사면(133)은 40.1도의 기울기를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the second reflective surface 132 and the third reflective surface 133 are formed in an inclined shape on both sides of the prism 130 and are reflected from the third and fourth reflective mirrors 123 and 124. Each reflected light may be reflected by the detector 110. The second and third reflective surfaces 132 and 133 may be formed on both sides of the prism 130 as the width of the prism 130 becomes narrower toward the detector 110. . The second reflective surface 132 and the third reflective surface 133 formed in this way are preferably formed to have an inclination of 40.1 degrees.

즉, 상기 프리즘(130)은 기울어진 형태로 형성된 제1반사면(131)이 검사 대상물(E)의 상면에 대한 반사광을 디텍터(110)로 반사시키고, 제2반사면(132)이 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 일측면에 대한 반사광을 디텍터(110)로 반사시키며, 제3반사면(133)이 검사 대상물(E)의 두 개 측면 중 타측면에 대한 반사광을 디텍터(110)로 반사시킬 수 있다. That is, in the prism 130, the first reflective surface 131 formed in an inclined shape reflects the reflected light on the upper surface of the object E to the detector 110, and the second reflective surface 132 is The reflected light on one of the two sides of (E) is reflected to the detector 110, and the third reflective surface 133 is used to detect the reflected light on the other of the two sides of the object (E). Can be reflected by

이때, 상기 프리즘(130)은 제1반사면(131), 제2반사면(132) 및 제3반사면(133)에서 반사되는 각각의 반사광을 디텍터(110)의 이미지 수신 영역 내로 반사시킬 수 있다. At this time, the prism 130 may reflect each of the reflected light reflected from the first reflective surface 131, the second reflective surface 132, and the third reflective surface 133 into the image receiving area of the detector 110. have.

결국, 본 실시예에 따른 외관 검사 장치는 프리즘(130)을 통해 검사 대상물(E)의 3면에서 반사된 각각의 반사광을 동시에 디텍터(110)로 반사함에 따라, 디텍터(110)는 검사 대상물(E)의 3면을 동시에 촬영할 수 있으므로, 검사 대상물(E)의 3면을 동시에 검사할 수 있게 된다. As a result, the appearance inspection apparatus according to the present embodiment simultaneously reflects each of the reflected light reflected from the three surfaces of the inspection object E through the prism 130 to the detector 110, so that the detector 110 is a test object ( Since three sides of E) can be photographed at the same time, it is possible to simultaneously inspect three sides of the object E.

한편, 본 실시예에 따른 외관 검사 장치는 텔리센트릭 렌즈(150)를 더 포함할 수 있다. Meanwhile, the appearance inspection apparatus according to the present embodiment may further include a telecentric lens 150.

여기서, 상기 텔리센트릭 렌즈(150)는 프리즘(130)과 디텍터(110) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 텔리센트릭 렌즈(150)는 프리즘(130)에서 반사된 제1반사광 및 제2반사광을 디텍터(110)로 전달할 수 있다. Here, the telecentric lens 150 may be disposed between the prism 130 and the detector 110. In addition, the telecentric lens 150 may transmit the first reflected light and the second reflected light reflected from the prism 130 to the detector 110.

한편, 본 실시예에 따른 외관 검사 장치는 검사 대상물(E)로부터 상기 디텍터(110)까지 검사 대상물(E)의 3개 면에 대한 각각의 반사광의 경로 길이가 서로 동일한 것이 바람직하다. On the other hand, in the visual inspection apparatus according to the present embodiment, it is preferable that the path lengths of the reflected light on the three surfaces of the inspection object E from the inspection object E to the detector 110 are the same.

특히, 본 실시예에 따른 외관 검사 장치는 검사 대상물(E)로부터 텔리센트릭 렌즈(150)까지 검사 대상물(E)의 3개 면에 대한 각각의 반사광의 경로 길이가 서로 동일할 수 있다. In particular, in the visual inspection apparatus according to the present exemplary embodiment, path lengths of each reflected light on three surfaces of the inspection object E from the inspection object E to the telecentric lens 150 may be the same.

구체적으로, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 검사 대상물(E)의 상면에서 제1반사미러(121)까지의 길이와, 제1반사미러(121)에서 제2반사미러(122)까지의 길이와, 제2반사미러(122)에서 프리즘(130)의 제1반사면(131)까지의 길이 및 프리즘(130)의 제1반사면(131)에서 텔리센트릭 렌즈(150)까지 길이의 합은 검사 대상물(E)의 측면에서 제3반사미러(123)(또는 제4반사미러(124))까지의 길이와, 제3반사미러(123)(또는 제4반사미러(124))에서 프리즘(130)의 제2반사면(132)(또는 제3반사면(133))까지의 길이 및 프리즘(130)의 제2반사면(132)(또는 제3반사면(133))에서 텔리센트릭 렌즈(150)까지 길이의 합과 서로 동일한 것이 바람직하다. Specifically, as shown in FIGS. 1 and 2, the length from the upper surface of the inspection object E to the first reflective mirror 121 and from the first reflective mirror 121 to the second reflective mirror 122 And the length from the second reflective mirror 122 to the first reflective surface 131 of the prism 130 and the length from the first reflective surface 131 of the prism 130 to the telecentric lens 150 The sum of the lengths from the side of the object E to the third reflecting mirror 123 (or the fourth reflecting mirror 124) and the third reflecting mirror 123 (or the fourth reflecting mirror 124) The length of the prism 130 to the second reflective surface 132 (or the third reflective surface 133) and the second reflective surface 132 (or the third reflective surface 133) of the prism 130 It is preferable that the lengths up to the telecentric lens 150 are equal to each other.

예컨대, 텔리센트릭 렌즈(150)의 작동 거리(WD : Working Distance)가 65mm라고 가정할 경우, 검사 대상물(E)의 상면으로부터 제1반사미러(121), 제2반사미러(122) 프리즘(130)의 제1반사면(131) 및 텔리센트릭 렌즈(150)으로 순차적으로 반사되는 제1반사광의 경로 길이는 65mm이다. 이때, 검사 대상물(E)의 측면으로부터 제3반사미러(123), 프리즘(130)의 제2반사면(132) 및 텔리센트릭 렌즈(150)으로 순차적으로 반사되는 제2반사광의 경로 길이 또한 65mm이다. For example, assuming that the working distance (WD) of the telecentric lens 150 is 65 mm, the first reflecting mirror 121 and the second reflecting mirror 122 from the upper surface of the inspection object E are prism ( The path length of the first reflected light sequentially reflected by the first reflection surface 131 of 130 and the telecentric lens 150 is 65 mm. At this time, the path length of the second reflected light sequentially reflected from the side of the object E to the third reflective mirror 123, the second reflective surface 132 of the prism 130, and the telecentric lens 150 65mm.

이는 제1반사광의 경로와 제2반사광의 경로가 동일하지 않을 경우, 디텍터(110)에 검사 대상물(E)의 상면에 대한 이미지와 검사 대상물(E)의 두 개 측면에 대한 이미지 중 하나의 이미지만 먼저 획득될 수 있다. 즉, 검사 대상물(E)의 상면에 대한 이미지와 검사 대상물(E)의 두 개 측면에 대한 이미지가 동시에 획득되지 않을 수 있다. This means that when the path of the first reflected light and the path of the second reflected light are not the same, the detector 110 displays one of an image of the upper surface of the inspection object E and an image of the two sides of the inspection object E. Can only be obtained first. That is, an image of an upper surface of the inspection object E and an image of two sides of the inspection object E may not be obtained at the same time.

따라서, 본 실시예에 따른 외관 검사 장치는 검사 대상물(E)로부터 텔리센트릭 렌즈(150)까지 검사 대상물(E)의 3개 면에 대한 각각의 반사광의 경로 길이가 서로 동일함에 따라, 검사 대상물(E)의 3개 면에 대한 각각의 반사광이 텔리센트릭 렌즈(150)에 동시에 도달할 수 있다. Therefore, in the appearance inspection apparatus according to the present embodiment, since the path lengths of each reflected light on the three surfaces of the inspection object E from the inspection object E to the telecentric lens 150 are the same, the inspection object Each of the reflected light for the three sides of (E) may reach the telecentric lens 150 at the same time.

결국, 본 실시예에 따른 외관 검사 장치는 디텍터(110)가 검사 대상물(E)의 3면을 동시에 촬영할 수 있으므로, 검사 대상물(E)의 3면을 동시에 검사할 수 있게 된다. As a result, in the appearance inspection apparatus according to the present embodiment, since the detector 110 can simultaneously photograph three surfaces of the inspection object E, it is possible to simultaneously inspect the three surfaces of the inspection object E.

한편 본 실시예에 따른 외관 검사 장치는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 프리즘(130)의 제1반사면(131)에서 반사된 반사광과 중심 광축 사이의 거리, 프리즘(130)의 제2반사면(132)에서 반사된 반사광과 중심 광축 사이의 거리 및 프리즘(130)의 제3반사면(133)에서 반사된 반사광과 중심 광축 사이의 거리가 동일한 것이 바람직하다. On the other hand, the appearance inspection apparatus according to the present embodiment, as shown in Figs. 1 and 2, the distance between the reflected light reflected from the first reflective surface 131 of the prism 130 and the central optical axis, the prism 130 It is preferable that the distance between the reflected light reflected from the second reflective surface 132 and the central optical axis and the distance between the reflected light reflected from the third reflective surface 133 of the prism 130 and the central optical axis are the same.

이는 프리즘(130)의 제1반사면(131), 제2반사면(132), 제3반사면(133)에서 반사된 각각의 반사광과 중심 광축 사이의 간격이 동일하지 않는 경우, 반사광이 디텍터(110)의 이미지 수신 영역을 벗어날 수 있으며, 디텍터(110)에 검사 대상물(E)에 대한 이미지가 획득되지 않을 수 있다. This means that when the distance between the respective reflected light reflected from the first reflective surface 131, the second reflective surface 132, and the third reflective surface 133 of the prism 130 and the central optical axis is not the same, the reflected light is a detector. The image reception area of 110 may be deviated, and an image of the inspection object E may not be acquired by the detector 110.

이에 따라 본 실시예에 따른 외관 검사 장치는, 프리즘(130)의 제1반사면(131), 제2반사면(132), 제3반사면(133)에서 반사된 각각의 반사광과 중심 광축 사이의 간격이 동일함으로써, 검사 대상물(E)의 3면을 검사할 수 있게 된다.
Accordingly, the appearance inspection apparatus according to the present embodiment is provided between the respective reflected light reflected from the first reflective surface 131, the second reflective surface 132, and the third reflective surface 133 of the prism 130 and the central optical axis. When the intervals of are the same, it is possible to inspect the three sides of the inspection object E.

본 명세서에서 본 발명의 원리들의 '일 실시예' 등과 이런 표현의 다양한 변형들의 지칭은 이 실시예와 관련되어 특정 특징, 구조, 특성 등이 본 발명의 원리의 적어도 하나의 실시예에 포함된다는 것을 의미한다. 따라서, 표현 '일 실시예에서'와, 본 명세서 전체를 통해 개시된 임의의 다른 변형례들은 반드시 모두 동일한 실시예를 지칭하는 것은 아니다. In this specification, references to'one embodiment' of the principles of the present invention, etc., and various modifications of such expressions are related to this embodiment, and that specific features, structures, characteristics, etc. are included in at least one embodiment of the principles of the present invention. it means. Accordingly, the expression'in one embodiment' and any other modified examples disclosed throughout this specification are not necessarily all referring to the same embodiment.

또한 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 아울러 본 명세서에서 사용되는 '포함한다' 또는 '포함하는'으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작, 소자 및 장치의 존재 또는 추가를 의미한다.In addition, the singular form in the present specification includes the plural form unless specifically stated in the phrase. In addition, components, steps, actions, and elements referred to as'comprising' or'comprising' as used herein mean the presence or addition of one or more other elements, steps, actions, elements and devices.

이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 명세서를 통해 개시된 모든 실시예들과 조건부 예시들은, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 당업자가 독자가 본 발명의 원리와 개념을 이해하도록 돕기 위한 의도로 기술된 것으로, 당업자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며,그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
So far, the present invention has been looked at around its preferred embodiments. All embodiments and conditional examples disclosed through the present specification are described with the intention of helping those skilled in the art with ordinary knowledge in the technical field of the present invention to understand the principles and concepts of the present invention. It will be understood that the disclosed embodiments may be implemented in a modified form without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the disclosed embodiments should be considered from an illustrative viewpoint rather than a limiting viewpoint. The scope of the present invention is shown in the claims rather than the above description, and all differences within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the present invention.

110 : 디텍터 121 : 제1반사미러
122 : 제2반사미러 123 : 제3반사미러
124 : 제4반사미러 130 : 프리즘
131 : 제1반사면 132 : 제2반사면
133 : 제3반사면 140 : 조명부
141 : 제1조명부 142 : 제2조명부
143 : 제3조명부 150 : 텔리센트릭 렌즈110: detector 121: first reflective mirror
122: second reflective mirror 123: third reflective mirror
124: fourth reflective mirror 130: prism
131: first reflective surface 132: second reflective surface
133: third reflective surface 140: lighting unit
141: first illumination unit 142: second illumination unit
143: third illumination unit 150: telecentric lens

Claims (12)

검사 대상물의 3개 면에 대한 각각의 반사광을 통해 이미지를 획득하는 디텍터;
상기 검사 대상물과 상기 디텍터 사이에 배치되며, 상기 반사광의 경로를 변경하는 복수의 반사미러;
상기 검사 대상물과 상기 디텍터 사이에 배치되며, 상기 반사미러에 의해 경로가 변경된 반사광을 상기 디텍터로 반사하는 프리즘; 및
상기 검사 대상물에 광을 조사하는 조명부를 포함하며,
상기 조명부는 상기 검사 대상물에서 반사된 반사광이 통과하는 3개의 관통공을 포함하며,
상기 3개의 관통공에서 상기 반사광이 통과하는 방향은 서로 수직인 외관 검사 장치.
A detector for acquiring an image through each reflected light on three surfaces of the inspection object;
A plurality of reflective mirrors disposed between the inspection object and the detector and changing a path of the reflected light;
A prism disposed between the inspection object and the detector and reflecting the reflected light whose path is changed by the reflective mirror to the detector; And
It includes a lighting unit for irradiating light to the inspection object,
The lighting unit includes three through holes through which the reflected light reflected from the inspection object passes,
Appearance inspection apparatus in which directions through which the reflected light passes through the three through holes are perpendicular to each other.
 제1항에 있어서,
상기 디텍터는
상기 검사 대상물의 상면에 대한 이미지와 상기 검사 대상물의 두 개 측면에 대한 이미지를 동시에 획득하는 외관 검사 장치.
The method of claim 1,
The detector is
Appearance inspection apparatus for simultaneously acquiring an image of an upper surface of the inspection object and an image of two sides of the inspection object.
 제1항에 있어서,
상기 검사 대상물로부터 상기 디텍터까지 상기 검사 대상물의 3개 면에 대한 각각의 반사광의 경로 길이가 서로 동일한 외관 검사 장치.
The method of claim 1,
Appearance inspection apparatus having the same path lengths of each reflected light on three surfaces of the inspection object from the inspection object to the detector.
 제1항에 있어서,
상기 프리즘과 상기 디텍터 사이에 배치되는 텔리센트릭 렌즈를 더 포함하는 외관 검사 장치.
The method of claim 1,
Appearance inspection apparatus further comprising a telecentric lens disposed between the prism and the detector.
 제4항에 있어서,
상기 검사 대상물로부터 상기 텔리센트릭 렌즈까지 상기 검사 대상물의 3개 면에 대한 각각의 반사광의 경로 길이가 서로 동일한 외관 검사 장치.
The method of claim 4,
Appearance inspection apparatus having the same path lengths of reflected light on three surfaces of the inspection object from the inspection object to the telecentric lens.
 제1항에 있어서,
상기 반사미러는
상기 검사 대상물의 상면에 대한 반사광의 경로를 변경하여 상기 프리즘으로 반사하는 제1, 2반사미러; 및
상기 검사 대상물의 두 개 측면에 대한 반사광의 경로를 변경하여 상기 프리즘으로 반사하는 제3, 4반사미러;
를 포함하는 외관 검사 장치.
The method of claim 1,
The reflective mirror is
First and second reflecting mirrors for changing a path of reflected light to the upper surface of the inspection object and reflecting it to the prism; And
Third and fourth reflecting mirrors for changing paths of reflected light to two sides of the object to be inspected and reflecting them to the prism;
Appearance inspection device comprising a.
 제1항에 있어서,
상기 프리즘은
상기 반사미러에 의해 경로가 변경된 반사광을 상기 디텍터로 반사하는 3개의 반사면이 형성되는 외관 검사 장치.
The method of claim 1,
The prism is
Appearance inspection apparatus in which three reflective surfaces are formed to reflect the reflected light whose path is changed by the reflective mirror to the detector.
 제7항에 있어서,
상기 프리즘은
상기 검사 대상물의 상면에 대한 반사광을 상기 디텍터로 반사하는 제1반사면;
상기 검사 대상물의 두 개 측면 중 일측면에 대한 반사광을 상기 디텍터로 반사하는 제2반사면; 및
상기 검사 대상물의 두 개 측면 중 타측면에 대한 반사광을 상기 디텍터로 반사하는 제3반사면이 형성되는 외관 검사 장치.
The method of claim 7,
The prism is
A first reflective surface that reflects the reflected light on the upper surface of the inspection object to the detector;
A second reflective surface reflecting the reflected light on one of the two side surfaces of the inspection object to the detector; And
Appearance inspection apparatus having a third reflective surface that reflects the light reflected on the other side of the two side surfaces of the inspection object to the detector.
 제8항에 있어서,
상기 제1반사면의 기울기는 45도를 가지고, 상기 제2반사면과 상기 제3반사면의 기울기는 40.1도를 갖는 외관 검사 장치.
The method of claim 8,
Appearance inspection apparatus having an inclination of 45 degrees of the first reflective surface and 40.1 degrees of inclination of the second and third reflecting surfaces.
 제8항에 있어서,
상기 프리즘은
상기 제1반사면, 상기 제2반사면 및 상기 제3반사면에서 반사되는 각각의 반사광을 상기 디텍터의 이미지 수신 영역 내로 반사하는 외관 검사 장치.
The method of claim 8,
The prism is
Appearance inspection apparatus for reflecting each of the reflected light reflected from the first reflective surface, the second reflective surface, and the third reflective surface into an image receiving area of the detector.
 제8항에 있어서,
상기 제1반사면에서 반사된 반사광과 중심 광축 사이의 거리, 상기 제2반사면에서 반사된 반사광과 상기 중심 광축 사이의 거리 및 상기 제3반사면에서 반사된 반사광과 상기 중심 광축 사이의 거리가 동일한 외관 검사 장치.
The method of claim 8,
The distance between the reflected light reflected from the first reflective surface and the central optical axis, the distance between the reflected light reflected from the second reflective surface and the central optical axis, and the distance between the reflected light reflected from the third reflective surface and the central optical axis are The same visual inspection device.
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