KR102198396B1 - 스트레쳐블 디스플레이 및 그의 제조방법 - Google Patents

스트레쳐블 디스플레이 및 그의 제조방법 Download PDF

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KR102198396B1
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홍문표
김상일
김정현
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고려대학교 세종산학협력단
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Abstract

공정용 캐리어 기판 상에 스트레쳐블 기판을 형성하는 단계, 상기 스트레쳐블 기판 상에, 발광층과 상기 발광층을 제어하는 구동소자층으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부를 형성하는 단계, 상기 적어도 하나 이상의 픽셀부 상에, 그래핀층을 형성하는 단계, 저 신축성 영역 및 고 신축성 영역으로 구분된 신축성 필름을 면 방향으로 연신시킨 상태에서, 상기 연신된 신축성 필름 상에, 그래핀층을 형성하는 단계, 및 상기 그래핀층이 상기 픽셀부에 대향하도록 접착층을 통하여 부착하되, 상기 저 신축성 영역의 적어도 일부가 상기 픽셀부의 적어도 일부를 덮도록 부착하는 단계를 포함하는, 스트레쳐블 디스플레이 제조방법에 제공된다.

Description

스트레쳐블 디스플레이 및 그의 제조방법{Stretchable display and manufacturing method thereof}
본 발명은 스트레쳐블 디스플레이 및 그의 제조방법에 관련된 것으로, 구체적으로, 수분 또는 산소와 같은 외부환경으로부터 구동소자층 및 발광층을 보호하며, 외력에 의해 스트레칭될 뿐만 아니라 폴딩(folding)되고 상기 외력이 제거된 후에는 복원되는 스트레쳐블 디스플레이 및 그의 제조방법에 관련된 것이다.
전통적인 디스플레이는 단순히 전기신호를 시각적인 형태로 출력하는 장치를 의미하였다. 그러나, 최근 디스플레이는 단순히 정보를 표시하는 장치로서만 발전하는 것이 아니라, 플렉서블 특성까지 보유하는 형태로 발전하고 있다.
휘어지는 디스플레이는, 소정 휘어지고 구부러질 수 있는 벤더블 단계(bendable stage), 두루마리처럼 말 수 있는 롤러블 단계(rollable stage), 마치 종이처럼 접을 수 있는 단계(Foldable stage)로 진화하고 있다. 그러나 더욱 최근의 디스플레이는 1축 또는 2축으로 늘렸다 줄였다 하면서 크기를 바꿀 수 있는 스트레쳐블 단계(stretchable stage)로 진화를 계속하고 있다.
특히, 스트레쳐블 디스플레이는 웨어러블 디바이스와 같이 신축성을 요구하는 시장 특성에 부합한다는 점에서 주목을 끌고 있다.
그러나, 스트레쳐블 디스플레이를 제조하기 위해서는, 다양한 기술적 과제가 해결되어야 한다. 종래의 스트레쳐블 디스플레이 제조방법에 따르면, 신축성이 우수한 기판을 준비하고, 준비한 기판 상에 발광층 및 구동소자를 형성하였다. 그러나, 신축성이 우수한 기판이 발광층 증착 공정과 구동소자 증착 공정 시에 안정적인 기판으로서 역할을 할 수 있을지에 대한 신뢰성이 확보되지 않고 있다.
즉, 디스플레이 양산 공정에 적용되기 위해서는 신축성 외에 여러 가지 다른 요건들을 만족하여야 하지만, 아직까지 적절한 신축성 기판이 개발되지 못하고 있다.
이에 본 발명자들은 간단하면서도 종래의 플렉서블 디스플레이 공정과의 호환성이 우수한 스트레쳐블 디스플레이 및 그 제조방법을 발명하게 되었다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 수분 또는 산소와 같은 외부환경으로부터 구동소자층 및 발광층을 보호하는 스트레쳐블 디스플레이 제조방법을 제공하는 데 있다. .
본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는, 외력에 의해 스트레칭될 뿐만 아니라 폴딩되고 상기 외력이 제거된 후에는 복원되는 스트레쳐블 디스플레이 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 플렉서블 디스플레이 공정과의 호환성이 우수한 스트레쳐블 디스플레이 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는 제조 공정이 간단한 스트레쳐블 디스플레이 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는 스트레쳐블 환경내에서 고 신뢰성을 제공하는 스트레쳐블 디스플레이 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는 경제성이 우수한 스트레쳐블 디스플레이 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 높은 신축성을 가지면서도 화질의 저하는 최소화하는 스트레쳐블 디스플레이 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다.
상술된 기술적 과제들을 해결하기 위해, 본 발명은 스트레쳐블 디스플레이 제조방법을 제공한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 스트레쳐블 디스플레이 제조방법은, 공정용 캐리어 기판 상에 스트레쳐블 기판을 형성하는 단계, 상기 스트레쳐블 기판 상에, 발광층과 상기 발광층을 제어하는 구동소자층으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부를 형성하는 단계, 저 신축성 영역 및 고 신축성 영역으로 구분된 신축성 필름을 면 방향으로 연신시킨 상태에서, 상기 연신된 신축성 필름 상에, 그래핀층을 형성하는 단계, 및 상기 그래핀층이 상기 픽셀부에 대향하도록 접착층을 통하여 부착하되, 상기 저 신축성 영역의 적어도 일부가 상기 픽셀부의 적어도 일부를 덮도록 부착하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 그래핀층을 형성하는 단계는, 상기 그래핀층을 친수화시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 부착하는 단계 이전에, 상기 고 신축성 영역보다 신축성이 높은 유기물 접착층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다
일 실시 예에 따르면, 상기 유기물 접착층을 형성하는 단계 이전에, 상기 픽셀부에 그래핀층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 유기물 접착층은, 수분 또는 산소를 흡수하는 게터(getter)를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 부착하는 단계는, 상기 고 신축성 영역이 상기 발광층의 적어도 일부를 덮도록 상기 신축성 필름을 부착할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 공정용 캐리어 기판을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 공정용 캐리어 기판을 제거한 이후에, 상기 스트레쳐블 기판이 노출된 면에, 저 신축성 영역 및 고 신축성 영역으로 구분된 다른 신축성 필름을 부착하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 스트레쳐블 기판의 두께 방향으로 상기 스트레쳐블 기판 중 상기 고 신축성 영역에 대응하는 적어도 일부의 영역에 홀을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 일 변형 예에 따르면, 상기 스트레쳐블 디스플레이 제조방법은, 공정용 캐리어 기판 상에 스트레쳐블 기판을 형성하는 단계, 상기 스트레쳐블 기판 상에, 발광층과 상기 발광층을 제어하는 구동소자층으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부를 형성하는 단계, 상기 발광층의 적어도 일부를 덮도록 상기 픽셀부 상에 그래핀층을 형성하는 단계, 및 저 신축성 영역 및 고 신축성 영역으로 구분된 신축성 필름을 면 방향으로 연신시킨 상태에서, 상기 픽셀부에 대향하도록 접착층을 통하여 상기 그래핀층 상에 부착하되, 상기 저 신축성 영역의 적어도 일부가 상기 픽셀부의 적어도 일부를 덮도록 부착하는 단계를 포함할 수 있다.
일 변형 예에 따르면, 상기 공정용 캐리어 기판을 제거하는 단계, 및 상기 스트레쳐블 기판의 노출된 면에 저 신축성 영역 및 고 신축성 영역으로 구분된 다른 신축성 필름을 부착하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상술된 기술적 과제들을 해결하기 위해, 본 발명은 스트레쳐블 디스플레이를 제공한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 스트레쳐블 디스플레이는 스트레쳐블 기판, 상기 스트레쳐블 기판의 일 면에 형성된, 발광층과 상기 발광층을 제어하는 구동소자층으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부, 상기 적어도 하나 이상의 픽셀부 일 면에 형성된 유기물 접착층, 상기 유기물 접착층의 일 면 또는 양 면 중 적어도 하나의 면에 형성된 그래핀층, 및 상기 그래핀층의 일 면 및 상기 스트레쳐블 기판의 타 면 중 적어도 하나의 면 상에 마련되되, 상기 픽셀부의 적어도 일부를 덮는 저 신축성 영역과, 면 방향으로 스트레쳐블 주름을 가지는 고 신축성 영역으로 구분된 신축성 필름을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 그래핀층은, 단일 층 또는 복수 층으로 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 그래핀층은 상기 면 방향으로 스트레쳐블 주름을 가질 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 유기물 접착층은, 수분 또는 산소를 흡수하는 게터를 포함하고, 상기 고 신축성 영역보다 신축성이 높을 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 발광층은, 제1 전극, 상기 제1 전극의 일 면에 형성된, 정공 주입층, 상기 정공 주입층의 일 면에 형성된, 정공 수송층, 상기 정공 수송층의 일 면에 형성된, 유기층, 상기 발광층의 일 면에 형성된, 전자 수송층, 상기 전자 수송층의 일 면에 형성된, 전자 주입층, 및 상기 전자 주입층의 일 면에 형성된, 제2 전극을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 유기물 접착층의 일 면은, 상기 발광층의 제1 및 제2 전극 중 어느 하나의 전극과 직접 접촉할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 그래핀층의 일 면은, 상기 발광층의 제1 및 제2 전극 중 어느 하나의 전극과 직접 접촉할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 수분 또는 산소와 같은 외부환경으로부터 구동소자층 및 발광층을 보호할 수 있다. .
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 스트레쳐블 디스플레이의 기판으로, 종래 플렉서블 디스플레이의 기판을 활용할 수 있으므로 우수한 양산성을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 스트레쳐블 환경 에서 구동소자층 및 발광층에 가해질 수 있는 외력을 최소화할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 기판에 홀이 형성됨으로써, 스트레쳐블 경로를 제공할 수 있다.
본 발명의 효과는 상술된 것에 제한되지 않는다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S110을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S120을 설명하기 위한 도면이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S130을 설명하기 위한 도면이다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S140을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S150을 설명하기 위한 도면이다.
도 11은는 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S160을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S170을 설명하기 위한 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S180을 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 본 발명의 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이를 설명하기 위한 도면이다.
도 15는 본 발명의 제1 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이를 설명하기 위한 도면이다.
도 16는 본 발명의 제2 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 게재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시 예 들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 명세서에 기재된 "…부", "…기", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이 제조방법이 설명된다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이 제조방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S110을 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S120을 설명하기 위한 도면이고, 도 5 및 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S130을 설명하기 위한 도면이고, 도 7 내지 도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S140을 설명하기 위한 도면이고, 도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S150을 설명하기 위한 도면이고, 도 11은 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S160을 설명하기 위한 도면이고, 도 12는 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S170을 설명하기 위한 도면이고, 도 13은 본 발명의 실시 예에 따른 단계 S180을 설명하기 위한 도면이고, 도 14는 본 발명의 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이를 설명하기 위한 도면이다.도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이 제조방법은, 공정용 캐리어 기판 상에 스트레쳐블 기판을 형성하는 단계(S110) 상기 스트레쳐블 기판 상에, 적어도 하나 이상의 픽셀부를 형성하는 단계(S120), 상기 스트레쳐블 기판에 홀을 형성하는 단계(S130), 신축성 필름 상에, 그래핀층을 형성하는 단계(S140), 유기물 접착층을 형성하는 단계(S150), 상기 유기물 접착층 상에 상기 그래핀층을 부착하는 단계(S160), 상기 공정용 캐리어 기판을 제거하는 단계(S170), 및 상기 스트레쳐블 기판이 노출된 면에, 다른 신축성 필름을 부착하는 단계(S180)를 포함할 수 있다. 이하, 각 단계에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
단계 S110
단계 S110에서, 도 3에 도시된 바와 같이, 공정용 캐리어 기판(110) 상에 스트레쳐블 기판(120)을 형성할 수 있다.
일 실시 예에 따르면 스트레쳐블 기판(120)은 굽힘 방향의 유연성뿐 아니라, 당겨지는 방향의 유연성까지 갖춘 기판을 의미할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 공정용 캐리어 기판(110)은, 상기 스트레쳐블 기판(120)을 지지하는 기능을 수행할 수 있다.
이를 위해, 상기 공정용 캐리어 기판(110)은, 상기 스트레쳐블 기판(120)에 대하여 소정의 지지력을 제공할 수 있는 소재로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 유리, 플라스틱, 금속판, 및 실리콘 웨이퍼 중 적어도 어느 하나의 물질로 이루어질 수 있다. 상술된 스트레쳐블 기판(120)의 소재는 일례일 뿐, 열거한 물질들에 한정되는 것은 아니다.
일 실시 예에 따르면, 상기 스트레쳐블 기판(120)은, 그 일 면에 각 종 소자를 형성할 수 있다.
이를 위해, 상기 스트레쳐블 기판(120)은, 플렉서블 디스플레이 제조공정에서 사용되는 물질들, 예를 들어 PI(polyimide), PET(Polyethylen terephthalate), 및 PEN(Polyethylennaphthalate) 중에서 적어도 어느 하나의 물질로 이루어질 수 있다. 또는, 상기 스트레쳐블 기판(120)은 신축성이 낮은 고내열성 고분자층으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 스트레쳐블 기판(120)은, 감광성 고분자, 예를 들어 감광성 PI로 이루어질 수 있다. 이와는 달리, 상기 스트레쳐블 기판(120)은 비감광성 고분자로 이루어질 수도 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 스트레쳐블 기판(120)의 소재에 따라, 상기 스트레쳐블 기판(120)의 두께 방향으로 홀을 형성하는 공정에 있어서 차이가 발생할 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 스트레쳐블 기판(120)은, 후술할 신축성 필름(220)보다 신축성이 낮은 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 스트레쳐블 기판(120)의 신축성이라 함은, 면 방향으로 당기는 힘에 대하여 변형되는 정도를 의미할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 스트레쳐블 기판(120)의 두께는 10 μm 이하일 수 있으며, 예를 들어 5 μm 이하일 수 있다.
상기 스트레쳐블 기판(120)은, 상기 공정용 캐리어 기판(110) 상에 다양한 방법으로 형성되되, 후속 공정에서 상기 공정용 캐리어 기판(110)과 분리가 용이하도록 상기 공정용 캐리어 기판(110) 상에 형성될 수 있다.
구체적으로, 상기 스트레쳐블 기판(120)은, 상기 공정용 캐리어 기판(110)을 상기 스트레쳐블 기판(120)으로부터 리프트 오프(lift off) 시키도록 상기 공정용 캐리어 기판(110) 상에 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 스트레쳐블 기판(120)은, 양면 접착제를 이용하여 상기 공정용 캐리어 기판(110) 상에 접착 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 양면 접착제는 온도에 따라 접착력이 가변하는 접착제일 수 있다. 예를 들어, 접착제는 영하 30 ℃ 이하에서 접착력을 잃어버리는 특성을 가진 물질로 이루어질 수 있다.
다른 예를 들어, 상기 스트레쳐블 기판(120)은, 레이저에 의해 상기 공정용 캐리어 기판(110)과 분리되도록 상기 공정용 캐리어 기판(110) 상에 형성될 수 있다.
단계 S120
단계 S120에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 스트레쳐블 기판(120) 상에, 적어도 하나 이상의 픽셀부(130)를 형성할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 픽셀부(130)는, 발광층(134)과 상기 발광층(134)을 제어하는 구동소자층(132)로 이루어질 수 있다..
먼저, 상기 스트레쳐블 기판(120) 상에 구동소자층(132)가 형성될 수 있다. 상기 구동소자층(132)는, 픽셀별 상기 발광층(134)을 제어할 수 있는 트랜지스터 및 커패시터 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 단위 픽셀 당 2 개의 트랜지스터 및 1 개의 커패시터가 제공될 수 있다. 다만, 이는 설명의 편의를 위한 것일 뿐, 더 많은 수의 트랜지스터 및 커패시터가 마련될 수 있음은 물론이다.
트랜지스터는 다양한 종류의 채널층을 기반으로 이루어질 수 있다. 상기 채널층은 고 이동도를 제공할 수 있다. 예를 들어, 트랜지스터는 산화물을 채널층으로 활용하는 산화물 트랜지스터, 저온 폴리 실리콘을 채널층으로 활용하는 저온 폴리 실리콘 트랜지스터, 유기물을 채널층으로 활용하는 유기 트랜지스터 및 단결정 실리콘을 채널층으로 활용하는 단결정 트랜지스터 중 적어도 어느 하나의 트랜지스터로 이루어질 수 있다. 이하에서는, 설명의 편의를 위해 저온 폴리 실리콘 트랜지스터를 상정하기로 한다.
트랜지스터는 게이트 전극, 소스 전극, 및 드레인 전극 등의 금속 전극을 포함하여 이루어질 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 구동소자층(132)는 배선에 의하여 연결될 수 있다. 상기 배선은, 예를 들어 게이트 라인 배선, 데이터 라인 배선 등을 포함할 수 있다. 이때, 게이트 라인 배선은, 게이트 전극에 연결될 수 있고, 데이터 라인 배선은 소스 전극에 연결될 수 있다.
상기 배선은, 전도성이 우수하고 신축성을 가지는 물질, 예를 들어 비정질 금속으로 이루어질 수 있다. 특히, 상기 배선은, 비정질 금속합금으로 이루어질 수 있다.
비정질 금속합금은, 예를 들어 FeZr, CoNi, LaAlCu, AlSc, ZrTiCuNiBe, AuSi, CuZr, CuPd, CuCo, CuPdCoP, PdAgSi, PdAgSiP, PdAgSiGe, PtCuAgPBSi, CuZrTi, CuZrTiNi, 및 CuZrTiAlBe 중 적어도 어느 하나의 물질로 이루어질 수 있다.
다른 예를 들어, 상기 배선은, 저 저항 물질이면서 구부러질 수 있는 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 배선은, 알루미늄, 은, 구리 중 적어도 어느 하나의 물질로 이루어질 수 있다. 이때 배선은, 비정질 금속 합금 배선 상에 저 저항 물질 배선이 형성된 이중층 구조로 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 배선은 최대 10 % 연신 시에, 저항이 1.5 배 이내로 유지되는 특성을 가질 수 있다.
한편, 단계 S120에서, 상기 스트레쳐블 기판(120) 상에 상기 발광층(134)이 형성될 수 있다.
상기 발광층(134)은, 양극, 정공 주입층, 정공 수송층, 유기층, 전자 수송층, 전자 주입층, 및 음극 중 적어도 어느 한 층을 포함하여 이루어질 수 있다.
구체적으로, 상기 발광층(134)은, 상기 양극, 상기 정공 주입층, 상기 정공 수송층, 상기 유기층, 상기 전자 수송층, 상기 전자 주입층, 및 상기 음극의 차례로 적층될 수 있다. 이 경우, 상기 발광층(140)의 양극이 먼저 형성될 수 있다. 상기 양극은, 상기 트랜지스터의 드레인 전극과 전기적으로 연결될 수 있다.
이때, 상기 양극은 픽셀별로 제공될 수 있다. 또한, 상기 양극 상에는 픽셀을 구분하는 유기 뱅크(organic bank)가 형성될 수 있다. 상기 발광층(134)은 상기 유기 뱅크 형성 이후에 형성될 수 있다.
상기 발광층(134)은, 다양한 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 발광층(134)은, 쉐도우 마스크(shadow mask)를 이용한 기상 증착법으로 형성될 수 있다. 이와는 달리, 상기 발광층(134) 중 적어도 어느 한 층은 상기 구동소자층(132) 상에 전사(transfer)될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 발광층(134)도 신축성을 가질 수 있다. 이 경우, 상기 발광층(134)이 10 % 연신된 상태에서 화질 특성 변화가 25 % 이하로 유지될 수 있다.
단계 S130
단계 S130에서, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 스트레쳐블 기판(120)에, 홀(122, 124)을 형성할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 홀(122, 124)은, 상기 스트레쳐블 기판(120)의 두께 방향으로 상기 스트레쳐블 기판(120)의 일부 영역에 형성될 수 있다.
구체적으로, 상기 홀(122, 124)은, 상기 스트레쳐블 기판(120) 중 상기 픽셀부가 제공되지 않은 두께 방향의 영역에 형성될 수 있다. 즉, 상기 홀(122, 124)은, 상기 스트레쳐블 기판(120)의 영역 중 후속되는 공정에서 제공되는 신축성 필름(200)의 고 신축성 영역(220)과 마주보는 적어도 일부 영역에 형성될 수 있는 것이다.
상술된 단계 S110에서, 상기 스트레쳐블 기판(120)이 비감광성 물질로 이루어진 경우, 단계 S130에서 상기 홀(122, 124)은, 포토리소그래피 공정 및 후속하는 식각 공정, 예를 들어 건식 식각 공정을 통하여 상기 스트레쳐블 기판(120)에 두께 방향으로 형성될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 홀(122, 124)이 상기 스트레쳐블 기판(120)에 형성되는 것에 의해, 상기 스트레쳐블 기판(120)의 스트레쳐블 특성이 낮은 경우에도, 신장 및 수축 등 상태 변화에 따라 우수한 스트레쳐블 특성이 부여될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 홀(122, 124)은 다양한 형상 및 크기로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 홀(122)은 1 개의 픽셀부(130) 단위로, 상기 1 개의 픽셀부(130) 하부에 형성될 수 있다. 이때, 상기 홀(122)은, 상기 1 개의 픽셀부(130) 단위당 1 개로 형성될 수 있다.
다른 예를 들어, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 홀(124)은 인접하는 2 개의 픽셀부(130) 단위로, 상기 2 개의 픽셀부(130) 하부에 형성될 수 있다. 이때, 상기 홀(124)은, 상기 2 개의 픽셀부(130) 단위당 1 개로 형성될 수 있다.
상술된 단계 S110에서, 상기 스트레쳐블 기판(120)이 감광성 폴리이미드로 이루어진 경우, 단계 S130에서 상기 홀(122, 124)은, 포토 공정을 통하여 상기 스트레쳐블 기판(020)의 두께 방향으로 형성될 수 있다.
즉, 상기 홀(122, 124)은, 상기 스트레쳐블 기판(120)이 감광성 폴리이미드로 이루어진 경우, 상술된 단계 S120의 픽셀부(130)가 형성되기 전에, 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 홀(122, 124)은, 상기 스트레쳐블 기판(120)을 상기 공정용 캐리어 기판(110) 상에 형성한 후(단계 S110 이후) 및 상기 픽셀부(130)를 형성하기 전(단계 S120 이전)에, 상기 스트레쳐블 기판(120)에 형성될 수 있다.
이에 따라, 상기 스트레쳐블 기판(120)이 감광성 폴리이미드인 경우에도, 상기 픽셀부(130) 형성 공정 즉, 단계 S120에 의하여 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이 경우에도, 상기 스트레쳐블 기판(120)에 형성되는 홀(122, 124)은 도 5 및 도 6을 참조하여 설명하는 위치 및 형상을 가질 수 있다.
이로써, 단계 S130에 의해 본 발명의 스트레쳐블 디스플레이의 스트레쳐블 특성이 향상될 수 있는 것이다.
단계 S140
단계 S140에서, 도 7에 도시된 바와 같이, 신축성 필름(200) 상에, 그래핀층(150)을 형성할 수 있다. 구체적으로, 저 신축성 영역(210) 및 고 신축성 영역(220)으로 구분된 신축성 필름(200)을 면 방향으로 연신시킨 상태에서, 상기 연신된 신축성 필름(200) 상에, 상기 그래핀층(150)을 형성할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 신축성 필름(200)을 면 방향으로 연신시킨 상태에서 상기 그래핀층(150)을 형성하는 것에 의해, 상기 면 방향으로 당기는 힘을 릴리즈(release)하는 경우, 상기 신측성 필름(200)의 고 신축성 영역(220) 및 상기 고 신축성 영역(220)에 대응하는 그래핀층(150)을 중심으로 스트레쳐블 주름이 생길 수 있다. 이에 따라, 스트레쳐블 특성이 부여될 수 있는 것이다.
일 실시 예에 따르면, 상기 신축성 필름(200)은, 도 8에 도시된 바와 같이, 저 신축성 영역(210)과 고 신축성 영역(220)으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 고 신축성 영역(220)은, 평면 상에서 상기 저 신축성 영역(210)을 둘러쌈으로써, 상기 저 신축성 영역(210)은 아일랜드 형상을 가질 수 있다.
상기 저신축성 영역(210)과 상기 고 신축성 영역(220)의 크기 및 형상은 당업자의 설계에 따라 가변될 수 있다.
상기 저 신축성 영역(210)은, 상기 고 신축성 영역(220) 대비 신축성이 낮은 영역으로 정의될 수 있다. 예를 들어, 상기 신축성 필름(200)의 저 신축성 영역(210)과 고 신축성 영역(220)의 모듈러스 차이는 10 배 이상일 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 신축성 필름(200)의 저 신축성 영역(210)과 고 신축성 영역(220)의 모듈러스 차이는 50 배 이상일 수 있다.
이로써, 상기 신축성 필름(200)을 면 방향으로 당기는 경우, 고 신축성 영역(220)이 도 8(a)의 d1에서 도 8(b)의 d2로 신장될 수 있다.
상기 신축성 필름(200)은 다양한 방법으로 제조될 수 있다. 예를 들어, 상기 신축성 필름(200)을 제조하기 위한 소스 용액을, 유리 또는 금속판 위에 캐스팅하고 건조시켜 필름을 형성시킨 후에, 국부적으로 UV 경화를 시키거나 다른 물질을 첨가한 후 경화시키는 방식으로 상기 저 신축성 영역(210)을 형성할 수 있다. 이 경우, 유리 또는 금속판 위에 캐스팅 된 필름이 완전 건조가 되기 전에 UV 경화나 다른 물질을 첨가하는 공정이 적용될 수도 있으며, 다른 물질을 첨가하는 공정은 한국특허 10-2017-0087162를 참조할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 그래핀층(150)은, 단일 층 또는 복수 층으로 형성될 수 있다. 상기 그래핀층(150)은, 탄소 원자로 이루어진 육방정계 구조물일 수 있다. 이에 따라, 상기 그래핀층(150)은, 화학적으로 매우 안정하며, 전도대와 가전자대가 오직 한 점에서 겹치는 세미 메탈(semi metal)의 특성을 가질 수 있다.
또한, 상기 그래핀층(150)이 단일 층으로 형성되는 경우, 투과율이 97.9 %에 달하는 고 투명도를 가질 수 있다.
이에 따라, 상기 그래핀층(150)은, 상기 픽셀부(130)의 발광층(134)에서 방사하는 빛을 투과시킬 수 있다.
또한, 상기 그래핀층(150)은, 다른 물질들보다 높은 탄성 복원력을 가질 수 있다. 상기 다른 물질들의 예로써, Si의 경우 0.7 % 이내, ITO의 경우 0.58~1.15 %, Au의 경우 0.46 %, poly-ZnO의 경우 0.03 %, 폴리이미드의 경우 4 % 수준의 탄성 복원력이을 가진다.
한편, 상기 그래핀층(150)의 탄성 복원력은 15 % 이상으로, 상술된 다른 물질들보다 높은 수준이다.
이에 따라, 상기 그래핀층(150)은, 스트레쳐블 또는 폴딩 환경에서 용이하게 스트레칭 또는 폴딩(folding)될 뿐만 아니라, 상기 환경이 제거된 후에는, 용이하게 복원될 수 있다.
즉, 상기 그래핀층(150)은, 본 발명의 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이가 휘어지거나 나아가 접히는 경우에도 상기 스트레쳐블 디스플레이를 복원할 수 있는 것이다.
일 실시 예에 따르면, 상기 신축성 필름(200) 상에, 상기 그래핀층(150)을 형성하기 전에, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 그래핀층(150)을 친수화시킬 수 있다.
이에 따라, 상기 그래핀층(150) 상에, 상기 신축성 필름(200)이 제공되는 경우, 상기 그래핀층(150)과 상기 신축성 필름(200)이 용이하게 부착될 수 있다.
상기 그래핀층(150)을 친수화시키기 위해, 상기 그래핀층(150)의 일 면을 개질할 수 있다. 여기에서, 상기 개질되는 그래핀층(150)의 일 면은, 상기 신축성 필름(200)이 제공될 면을 의미할 수 있다.
상기 그래핀층(150)의 표면 개질은 물리적 또는 화학적 방법으로 수행될 수 있다.
이후, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 표면 개질된 그래핀층(150)의 일 면에 결합력 제공체(W)가 제공될 수 있다. 예를 들어, 상기 결합력 제공체(W)는, 증류수 또는 초순수와 같은 정제된 물일 수 있다.
상기 표면 개질된 그래핀층(150)의 일 면에 상기 결합력 제공체(W)가 제공된 후에, 상기 신축성 필름(200)이 제공되수 있다. 이에 따라, 상기 결합력 제공체(W)의 휘발에 의해 상기 표면 개질된 그랜핀층(150) 상에, 상기 신축성 필름(200)이 용이하게 부착될 수 있는 것이다.
한편, 상술된 바와는 달리, 상기 개질되는 그래핀층(150)의 면은, 상기 유기물 접착층(140)에 부착되는 상기 그래핀층(150)의 면일 수 있다.
이에 따라, 상기 유기물 접착층(140)과 상기 표면 개질된 그래핀층(150)이 용이하게 부착될 수 있음은 물론이다.
단계 S150
단계 S150에서, 도 10에 도시된 바와 같이, 유기물 접착층(140)을 형성할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 유기물 접착층(140)은, 그 일 면이 상기 발광층(134)의 어느 전극 예를 들어, 음극과 직접 접촉하도록 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 유기물 접착층(140)은, 후속 공정에서 형성되는 그래핀층(150)과 상기 음극 사이의 빈 공간을 채울 수 있다,
일 실시 예에 따르면, 상기 유기물 접착층(140)은, 후속 공정의 신축성 필름(200)의 고 신축성 영역보다 신축성이 높을 수 있다.
이에 따라, 상기 유기물 접착층(140)은, 스트레쳐블 환경에서도 상기 발광층(134)의 음극과 직접 접촉하여, 상기 픽셀부(130)를 안정적으로 보호할 수 있다.
구체적으로, 상기 유기물 접착층(140)은, 본 발명의 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이가 휘어지거나 접히는 경우에도 상기 발광층(134)의 음극과 직접 접촉하여, 상기 픽셀부(130)의 손상을 방지할 수 있다.
이에 따라, 상기 유기물 접착층(140)은, 상기 스트레쳐블 디스플레이가 휘어지거나 접히는 경우에도 상기 발광층(134)의 손상을 최소화시키거나, 스트레스를 완화시킬 수 있는 것이다.
이를 위해, 상기 유기물 접착층(140)은, 상기 픽셀부(130)의 손상을 방지하는 물질, 구체적으로 탄성 계수가 작은 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 유기물 접착층(140)은, 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리메틸펜텐(polymethylpentene), 폴리부텐-1(polybutene-1), 폴리이소부틸렌(polyisobutylene), 에틸렌프로필렌 고무(ethylene-propylene rubber), 및 에틸렌프로필렌(ethylenepropylene)을 포함하는 올레핀 군 중에서 적어도 어느 하나로 이루어질 수 있다.
또는, 상기 유기물 접착층(140)은, 에폭시 군과 올레핀 군의 혼합물질로 이루어질 수도 있다. 상술된 유기물 접착층(140)의 물질은 일례일 뿐, 열거한 물질들에 한정되는 것은 아니다.
일 실시 예에 따르면, 상기 유기물 접착층(140)은, 수분 또는 산소를 흡수하는 게터(getter)를 포함할 수 있다.
이에 따라, 상기 유기물 접착층(140)은, 수분 또는 산소 환경에 취약한 상기 픽섹부(130)를 수분 또는 산소로부터 보호할 수 있는 것이다.
이를 위해, 상기 게터는, 상기 픽셀부(130)로 수분 또는 산소가 유입되는 것을 방지하기 위해, 상기 수분 또는 산소를 흡수하거나 이와 반응하여 화합물을 형성하는 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 게터는, 활성탄, 바륨, 마그네슘, 지르코늄, 및 붉은 인 중에서 적어도 어느 하나의 물질로 이루어질 수 있다.
또는, 상기 게터는, P2O5, Li2O, Na2O, BaO, CaO, MgO, Li2SO4, Na2SO4, CaSO4, MgSO4, CoSO4, Ga2(SO4)3, Ti(SO4)2, NiSO4, CaCl2, MgCl2, SrCl2, YCl3, CuCl2, CsF, TaF5, NbF5, LiBr, CaBr2, CeBr3, SeBr4, VBr3, MgBr2, BaI2, MgI2, Ba(ClO4)2, 및 Mg(ClO4)2 중에서 적어도 어느 하나로 이루어질 수 있다.
상기 게터를 이루는 물질은, 수분 또는 산소를 흡수하거나 이와 반응하여 화합물을 만들 수 있다면 상술된 실시 예들에 한정되지 않는다.
이때 상기 게터를 포함하는 유기물 접착층(140)은, 상술된 바와 같이 탄성 계수가 낮을 뿐만 아니라, 열 또는 광에 의해 경화되는 경화성 수지일 수 있다. 예를 들어, 상기 유기물 접착층(140)은, 에폭시기를 포함하는 에폭시 계열의 수지 중에서 적어도 어느 하나로 이루어질 수 있다.
또는, 상기 유기물 접착층(140)은, 수분 유입을 방지하는 소수성 물질로 이루어질 수 있다.
이에 따라, 상기 유기물 접착층(140)은, 상기 픽셀부(130)로의 수분 유입을 차단하되, 상기 게터를 통해 상기 수분을 흡수함으로써, 상기 픽셀부(130)로의 수분 유입을 재차 차단할 수 있는 것이다.
단계 S160
단계 S160에서, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 그래핀층(150)을 부착할 수 있다. 구체적으로, 상기 그래핀층(150)은, 상기 유기물 접착층(140)의 일 면에 부착될 수 있다.
즉, 단계 S140에서 준비된, 상기 표면 개질된 그래핀층 즉, 친수화된 그래핀층(150)과 부착된 상기 신축성 필름(200)이, 도 11에 도시된 바와 같이, 연신된 상태에서, 상기 유기물 접착층(140) 상에 제공될 수 있는 것이다.
구체적으로, 상기 신축성 필름(200)은, 상기 고 신축성 영역(220)이 연신된 상태에서, 상기 저 신축성 영역(210)의 적어도 일부가 상기 픽셀부(130)의 적어도 일부를 덮도록 부착될 수 있다.
이때, 상기 신축성 필름(200)은 면 방향으로 당겨진 상태에서, 예를 들어 적어도 20 % 양 축으로 연신된 상태에서 부착될 수 있다. 구체적으로 예를 들어, 상기 신축성 필름(200)은, 상기 고 신축성 영역(220)이 67% 연신된 상태에서 부착될 수 있고, 상기 고 신축성 영역(220)이 29% 연신된 상태에서 부착될 수도 있다.
상기 부착 공정에 있어서, 상기 신축성 필름(200)의 저 신축성 영역(210)과 고 신축성 영역(220)이 스트레쳐블 디스플레이의 어느 영역에 부착될 지가 고려될 수 있다.
예를 들어, 상기 신축성 필름(200)의 저 신축성 영역(210)은 상기 구동소자층(132)의 적어도 일부를 덮도록 부착되고, 상기 신축성 필름(200)의 고 신축성 영역(220)은 상기 발광층(134)의 적어도 일부를 덮도록 부착될 수 있다. 이 경우, 상기 고 신축성 영역(220)이 넓게 형성되므로 향상된 스트레쳐블 특성을 부여할 수 있다.
이와는 달리, 상기 신축성 필름(200)의 저 신축성 영역(210)은 상기 픽셀부(130)의 적어도 일부를 덮도록 부착되고, 상기 고 신축성 영역(220)은 배선의 적어도 일부를 덮도록 부착될 수 있다. 이 경우, 상기 저 신축성 영역(210)이 넓게 형성되므로, 상기 픽셀부(130)가 스트레쳐블 환경에서도 안정적으로 보호될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상술된 바와 같이, 각각의 상황을 고려하여 상기 신축성 필름(200)의 저 신축성 영역(210)과 고 신축성 영역(220)이 각각 소정 형상과 크기를 가지도록 미리 준비될 수 있음은 물론이다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 신축성 필름(200)이 연신된 상태에서 부착되기 때문에, 후속 공정을 마무리한 후에, 상기 신축성 필름(200)을 면 방향으로 당기는 힘을 릴리즈(release)하면, 상기 고 신축성 영역(220)을 중심으로 스트레쳐블 주름이 생길 수 있다. 이에 따라, 스트레쳐블 특성이 부여될 수 있는 것이다.
또한, 단계 S140에서 상술된 바와 같이, 상기 신축성 필름(200)을 면 방향으로 연신시킨 상태에서, 상기 연신된 신축성 필름(200) 상에, 상기 그래핀층(150)이 형성되는 것에 의해, 상기 그래핀층(150)은 상기 면 방향으로 스트레쳐블 주름을 가질 수 있다.
상기 저 신축성 영역(210)이 상기 구동소자층(132)의 적어도 일부를 덮고 있기 때문에 상기 릴리즈 시에, 상기 구동소자층(132)에 가해지는 외력을 최소화할 수 있다. 즉, 상기 저 신축성 영역(210)에는 상기 릴리즈에 따른 주름 발생이 최소화되기 때문에 상기 구동소자층(132)에 가해지는 외력이 최소화되는 것이다.
이와는 달리, 상기 구동소자층(132)의 적어도 일부를 상기 고 신축성 영역(220)이 덮는 경우, 상기 릴리즈 시에 상기 고 신축성 영역(220)에 주름이 발생하게 되고, 발생된 주름에 의하여 상기 구동소자층(132)에 손상이 가해지는 문제가 발생할 수 있다.
또한, 상기 고 신축성 영역(220)이, 상기 신축성이 낮은 구동소자층(132) 외의 다른 구성을 덮고 있기 때문에, 상기 릴리즈 시에 고 신축성 영역(220)에 발생하는 주름을 따라, 상기 다른 구성, 예를 들어 배선 및/또는 상기 발광층(134)에도 안정적으로 주름이 발생할 수 있다. 이에 따라, 고 스트레쳐블 특성이 부여될 수 있다.
단계 S170
단계 S170에서, 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 공정용 캐리어 기판(110)을 제거할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 공정용 캐리어 기판(110)의 제거는 다양한 방식으로 수행될 수 있다. 예를 들어, 라인 빔 형태의 레이저를 조사하여 상기 공정용 캐리어 기판(110)을 상기 신축성 필름(200)으로부터 분리할 수 있다.
다른 예를 들어, 상기 공정용 캐리어 기판(110)과 상기 신축성 필름(200)이 영하 30 ℃ 이하에서 접착력을 상실하는 양면 테이프로 접착된 경우, 저온 환경을 제공하여 상기 공정용 캐리어 기판(110)을 상기 신축성 필름(200)으로부터 분리할 수 있다.
단계 S180
단계 S180에서, 다른 신축성 필름(230)을 부착할 수 있다. 구체적으로, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 스트레쳐블 기판(120)이 노출된 면에, 저 신축성 영역(210) 및 고 신축성 영역(220)으로 구분된 다른 신축성 필름(230)이 부착될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 단계 S180을 수행하기 전에, 상기 스트레쳐블 기판(120)이 노출된 면에 공기 및 수분의 침투를 차단하는 배리어 필름이 부착될 수 있음은 물론이다.
상기 스트레쳐블 기판(120)의 노출면에 부착되는 신축성 필름(230)도 저 신축성 영역(210) 및 고 신축성 영역(220)으로 구획될 수 있으며, 이들 영역은 이미 부착된 신축성 필름(200)의 저 신축성 영역(210) 및 고 신축성 영역(220)과 대응할 수 있다.
이때, 상기 다른 신축성 필름(230)도 앞서 설명한 바와 같이 연신된 상태에서 상기 스트레쳐블 기판(120)의 노출면에 부착될 수 있다. 구체적으로, 상기 다른 신축성 필름(230)은, 연신된 상태에서 상기 스트레쳐블 기판(120)의 노출면에 양면 접착제를 통하여 부착될 수 있다.
즉, 일 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이의 양 면에, 상기 신축성 필름(200, 230)이 부착될 수 있는 것이다.
상기 신축성 필름(200, 230)을 부착한 후 릴리즈 공정이 수행될 수 있다.
상기 릴리즈 공정이라 함은, 제조공정 중에 상기 신축성 필름(200, 230)을 면 방향으로 당기는 힘을 풀어주는 공정을 의미할 수 있다.
이에 따라, 상기 연신된 고 신축성 영역(220)이 다시 수축하면서, 상기 고 신축성 영역(220)에 면 방향으로 스트레칭 주름이 발생할 수 있다. 상기 고 신축성 영역(220)에 발생한 주름에 의하여, 상기 고 신축성 영역(220)과 중첩되는 배선 및/또는 발광층(134)에도 스트레칭 주름이 형성될 수 있다.
또한, 단계 S140을 통해 상술된 바와 같이, 상기 그래핀층(150)은, 상기 연신된 신축성 필름(200) 상에 형성되는 바, 상기 신축성 영역(220)이 수축함과 동시에 상기 고 신축성 영역(220)에 대응하는 그래핀층(150)도 수축할 수 있다.
이에 따라, 상기 고 신축성 영역(220)에 대응하는 그래핀층(150)에도 상기 면 방향으로 스트레칭 주름이 발생할 수 있음은 물론이다.
일 실시 예에 따르면, 상기 릴리즈 공정 시 연신된 고 신축성 영역(220)이 다시 수축하면서 스트레칭 주름이 잘 발생할 수 있도록 하기 위하여, 상기 신축성 필름(200, 230)의 수축력이 상기 스트레쳐블 기판(120)의 수축력보다 크게 할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이에 면 방향으로 당기는 힘이 가해지는 경우, 상기 고 신축성 영역(220) 및 상기 그래핀층(150)이 늘어나면서 스트레쳐블 특성이 구현될 수 있다.
또한, 단계 S140을 통해 상술된 그래핀층(150)에 의해 폴더블 특성이 구현될 수도 있다.
뿐만 아니라, 단계 S150을 통해 상술된 유기물 접착층(140)이 늘어나면서 스트레쳐블 특성이 구현될 수 있다.
상기 스트레쳐블 디스플레이를 면 방향을 당기는 힘을 제거한 후에는, 상기 고 신축성 영역(220), 상기 유기물 접착층(140), 및 상기 그래핀층(150)에 의해, 상기 스트레쳐블 디스플레이가 용이하게 복원될 수 있다.
이로써, 도 1 내지 도 13을 참조하여 설명한 본 발명의 일 실시 예에 따른 제조방법에 따라 스트레쳐블 디스플레이가 제공될 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 일 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이는 도 14에 도시된 바와 같이, 스트레쳐블 기판(120), 상기 스트레쳐블 기판(120)의 일 면에 형성된 발광층(134)과 상기 발광층(134)을 제어하는 구동소자층(132)으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부(130), 상기 적어도 하나 이상의 픽셀부(130) 일 면에 형성된 유기물 접착층(140), 상기 유기물 접착층(140)의 일 면에 형성된 그래핀층(150), 및 상기 그래핀층(150)의 일 면 및 상기 스트레쳐블 기판(120)의 타 면 중 적어도 하나의 면 상에 마련되되, 상기 픽셀부(130)의 적어도 일부를 덮는 저 신축성 영역(210)과, 면 방향으로 스트레쳐블 주름을 가지는 고 신축성 영역(220)으로 구분된 신축성 필름(200. 230)을 포함할 수 있다.
이 때, 상기 그래핀층(150)은, 단일 층 또는 복수 층으로 형성될 수 있다.
상기 그래핀층(150)은 상기 신축성 필름(200)과 마찬가지로 상기 면 방향으로 스트레쳐블 주름을 가질 수 있다.
또한, 상기 유기물 접착층(140)은, 수분 또는 산소를 흡수하는 게터를 포함하고, 상기 고 신축성 영역(220)보다 신축성이 높을 수 있다.
또한, 상기 유기물 접착층(140)은, 그 일 면이 상기 발광층(134)의 제1 및 제2 전극 중 어느 하나의 전극과 직접 접촉할 수 있다.
이하, 본 발명의 변형 예가 설명된다.
도 15는 본 발명의 제1 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이를 설명하기 위한 도면이고, 도 16은 본 발명의 제2 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이를 설명하기 위한 도면이다.
도 15를 참조하면, 상기 제1 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이는, 스트레쳐블 기판(120), 상기 스트레쳐블 기판(120)의 일 면에 형성된 발광층(134)과 상기 발광층(134)을 제어하는 구동소자층(132)으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부(130), 상기 적어도 하나 이상의 픽셀부(130) 일 면에 형성된 그래핀층(150), 상기 그래핀층(150)의 일 면에 형성된 유기물 접착층(140), 및 상기 유기물 접착층(140)의 일 면 및 상기 스트레쳐블 기판(120)의 타 면 중 적어도 하나의 면 상에 마련되되, 상기 픽셀부(130)의 적어도 일부를 덮는 저 신축성 영역(210)과, 면 방향으로 스트레쳐블 주름을 가지는 고 신축성 영역(220)으로 구분된 신축성 필름(200, 230)을 포함할 수 있다.
이를 위해, 상기 제1 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이 제조방법은, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명된 일 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이 제조방법을 변형하여 이용할 수 있다.
구체적으로, 상기 제1 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이 제조방법은, 도 1을 참조하여 상술된 단계 S130 이후에, 상기 적어도 하나 이상의 픽셀부(130) 일 면 상에 그래핀층(150)을 형성하는 단계(S140a), 상기 그래핀층(150) 상에 유기물 접착층(140)을 형성하는 단계(S150a), 및 상기 유기물 접착층(140) 상에 상기 신축성 필름(200)을 부착하는 단계(S160a)를 포함할 수 있다.
제1 변형 예에 따르면, 단계 S160a 이후에, 도 2를 참조하여 상술된 단계 S170 및 S180이 동일하게 수행될 수 있다.
이에 따라, 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 제1 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이가 제조될 수 있는 것이다.
제1 변형 예의 단계 S150a에서, 단계 S140을 통해 상술된 바와 같이, 상기 그래핀층(150)을 친수화하는 방법이 적용될 수 있음은 물론이다.
이에 따라, 상기 그래핀층(150) 상에 상기 유기물 접착층이 용이하게 형성될 수 있다.
또한, 상기 그래핀층(150)의 일 면은 상기 픽셀부(130)의 발광층(134)의 어느 전극 예를 들어, 음극과 직접 접촉하도록 형성될 수 있다.
이에 따라, 스트레쳐블 또는 폴딩 환경에서 스트레칭 또는 폴딩 특성을 부여할 뿐만 아니라, 상기 발광층(134)에서 방사하는 빛을 투과시킬 수 있다.
또한, 단계 S160a에서, 단계 S160을 통해 상술된 바와 같이, 상기 신축성 필름(200)은, 상기 고 신축성 영역(220)이 연신된 상태에서, 상기 저 신축성 영역(210)의 적어도 일부가 상기 픽셀부(130)의 적어도 일부를 덮도록 부착될 수 있음은 물론이다.
이에 따라, 향상된 스트레쳐블 특성을 부여할 수 있다.
한편, 도 16을 참조하면, 상기 제2 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이는, 스트레쳐블 기판(120), 상기 스트레쳐블 기판(120)의 일 면에 형성된 발광층(134)과 상기 발광층(134)을 제어하는 구동소자층(132)으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부(130), 상기 적어도 하나 이상의 픽셀부(130) 일 면에 형성된 제1 그래핀층(150a), 상기 그래핀층(150)의 일 면에 형성된 유기물 접착층(140), 상기 유기물 접착층(140)의 일 면에 형성된 제2 그래핀층(150b), 및 제2 그래핀층(150b)의 일 면 및 상기 스트레쳐블 기판(120)의 타 면 중 적어도 하나의 면 상에 마련되되, 상기 픽셀부(130)의 적어도 일부를 덮는 저 신축성 영역(210)과, 면 방향으로 스트레쳐블 주름을 가지는 고 신축성 영역(220)으로 구분된 신축성 필름(200, 230)을 포함할 수 있다.
이를 위해, 상기 제2 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이 제조방법은, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명된 일 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이 제조방법과, 도 15를 참조하여 설명된 제1 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이 제조방법을 변형하여 이용할 수 있다.
구체적으로, 상기 제2 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이 제조방법은, 도 15를 참조하여 상술된 단계 S150a 즉, 제1 그래핀층(150a) 상에 유기물 접착층(140)을 형성하는 단계 이후에, 상기 유기물 접착층(140) 상에 제2 그래핀층(150b)을 부착하는 단계(S160b)를 포함할 수 있다.
상기 제1 그래핀층(150a)은, 변형 예 1에서 상술된 바와 같이, 일 면이 상기 픽셀부(130)의 발광층(134)의 어느 전극과 직접 접촉하도록 형성될 수 있다.
이에 따라, 스트레쳐블 또는 폴딩 환경에서 스트레칭 또는 폴딩 특성을 부여할 뿐만 아니라, 상기 발광층(134)에서 방사하는 빛을 투과시킬 수 있다.
단계 S160b는, 도 11을 참조하여 설명된 단계 S160과 동일할 수 있다. 즉, 단계 S140에서 준비된, 친수화된 그래핀층(150b)과 부착된 상기 신축성 필름(200)이, 도 11에 도시된 바와 같이, 연신된 상태에서, 상기 유기물 접착층(140) 상에 제공될 수 있는 것이다.
이에 따라, 향상된 스트레쳐블 특성을 부여할 수 있다.
또한, 제2 변형 예에 따르면, 단계 S160b 이후에, 도 2를 참조하여 상술된 단계 S170 및 S180이 동일하게 수행될 수 있다.
이에 따라, 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 제2 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이가 제조될 수 있는 것이다.
상술된 도 15의 제1 및 도 16의 제2 변형 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이는, 도 14의 일 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이와 각 층을 형성하는 순서에 차이가 있을 뿐, 각 층을 제조하는 방법이 완전히 달라지는 것은 아님을 이해하여야 할 것이다.
즉, 도 1 내지 도 13을 참조하여 설명함에 있어서, 각 단계가 순차적으로 수행되는 것을 상정하여 설명하였으나, 이와 달리 제1 및 제2 변형 예를 들어 설명된 바와 같이 각 단계의 순서가 필요성에 따라 변경될 수 있음은 물론이다. 나아가, 각 단계 중 일부의 단계가 생략될 수 있음은 물론이다.
또한, 앞서 본 발명의 일 실시 예를 설명함에 있어서, 상기 신축성 필름(200, 230)이 상기 스트레쳐블 기판(120)의 상면 및 하면 상 모두에 형성되는 것을 상정하여 설명하였으나, 상기 신축성 필름(200 또는 230)은 스트레쳐블 기판(120)의 상면 및 하면 중 적어도 일 면 상에 형성될 수 있다.
한편, 일 실시 예에 따르면, 단계 S180 이후에 후속 공정 예를 들어, 단위 패널 크기로 자르는 공정 및 모듈 공정이 진행될 수 있다. 이 때, 단위 패널 크기로 자르는 공정은, 상기 공정용 캐리어 기판(110) 제거 단계(단계 S180) 바로 이전에 수행될 수도 있다.
또한, 일 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이의 외곽부에, 상기 신축성 필름(200. 230)의 일부를 제거하고 구동회로 소자가 형성될 수 있다. 상기 구동회로 소자는 구동소자에 각 종 신호를 인가할 수 있다. 상기 구동회로 소자는 반도체 칩 또는 필름의 형태를 가질 수 있다. 이 때 신축성이 낮은 반도체 칩은 상기 저 신축성 영역(210)과 중첩되도록 형성될 수 있고, 신축성이 우수한 필름은 상기 고 신축성 영역(220)과 중첩되도록 형성될 수 있다.
이상, 본 발명의 일 실시 예들을 설명함에 있어서 한정하지는 않았으나, 본 발명의 일 실시 예들은 상부 발광 스트레쳐블 디스플레이 또는 하부 발광스트레쳐블 디스플레이에 적용될 수 있다.
상술한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 공정용 캐리어 기판 상에 스트레쳐블 기판 형성(단계 S110), 스트레쳐블 기판 상에 픽셀부를 형성하는 공정(단계 S120)까지는, 기존의 플렉서블 디스플레이 공정에 대응될 수 있다. 따라서 기존의 양산 공정을 본 발명의 스트레쳐블 디스플레이 제조공정에도 활용할 수 있으므로 우수한 양산 호환성이 제공될 수 있다. 즉 기존의 생산 설비를 활용할 수 있다는 점에서 양산화에 기여할 수 있다.
나아가, 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 신축성 필름(200, 230)을 부착하되, 상기 고 신축성 영역(220)을 연신한 상태에서 상기 저 신축성 영역(210)이 신축성이 상기 낮은 구동소자층(132), 즉 TFT에 대응되도록 부착되기 때문에 소자의 응력 안정성 및 스트레쳐블 특성이 향상될 수 있다.
즉, 상기 저 신축성 영역(220)이 상기 구동소자층(132)에 대응되도록 부착되기 때문에, 스트레쳐블 환경 하에서도 상기 구동소자층(132)에 가해지는 외부 응력이 최소화될 수 있다. 이는 스트레쳐블 환경 하에서 상기 저 신축성 영역(210)에는 연신 및 수축이 거의 발생하지 않으므로, 상기 저 신축성 영역(210)이 구동소자로 가해지는 응력을 차단하는 기능을 하기 때문이다.
또한, 상기 신축성 필름(200, 230)의 고 신축성 영역(220)의 수축력은 상기 스트레쳐블 기판(120)의 수축력보다 크기 때문에, 스트레쳐블 환경 하에서, 상기 고 신축성 영역(220)에 수축 주름이 생기는 경우, 자연적으로 상기 스트레쳐블 기판(120)에도 수축 주름이 발생하게 된다. 즉, 상기 신축성 필름(200)의 고 신축성 영역(220)이 제공하는 스트레쳐블 특성에 의하여 통상적으로 폴리이미드로 이루어진 스트레쳐블 기판의 낮은 스트레쳐블 특성이 보완될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에서는 배선 소재로 우수한 스트레쳐블 특성을 가지는 비정질 합금이 사용된다는 점, 상기 스트레쳐블 기판(120)의 일부 영역에 홀(122, 124)이 마련된다는 점 등의 구조적 특징에 의하여 보다 우수한 스트레쳐블 특성이 제공될 수 있다.
이에 따라 본 발명의 일 실시 예에 따른 스트레쳐블 디스플레이는, 평면 내의 어느 방향으로 최대 20 % 이내로 연신을 하더라도 표시 특성 변화율 25 % 이내를 유지할 수 있다.
일 실시 예에 따른, 스트레쳐블 디스플레이 및 그 제조방법은 특정 디스플레이 방식에 제약되지 아니할 수 있다. 예를 들어, 일 실시 예에 따른, 스트레쳐블 디스플레이 및 그 제조방법은 저분자 발광물질 및 고분자 발광물질 어느 하나의 발광물질에 기반한 디스플레이 방식에 적용될 수 있다.
또한, 일 실시 예에 따른, 스트레쳐블 디스플레이 및 그 제조방법은 트랜지스터를 통하여 픽셀 별 표시를 제어하는 액티브(active) 방식 외에, 패시브(passive) 방식에도 적용될 수 있음은 물론이다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
110: 공정용 캐리어 기판
120: 스트레쳐블 기판
122, 124: 홀
130: 픽셀부
132: 구동소자층
134: 발광층
140: 유기물 접착층
150: 그래핀층
150a: 제1 그래핀층
150b: 제2 그래핀층
200, 230: 신축성 필름
210: 저 신축성 영역
220: 고 신축성 영역

Claims (18)

  1. 공정용 캐리어 기판 상에 스트레쳐블 기판을 형성하는 단계;
    상기 스트레쳐블 기판 상에, 발광층과 상기 발광층을 제어하는 구동소자층으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부를 형성하는 단계;
    저 신축성 영역 및 고 신축성 영역으로 구분된 신축성 필름을 면 방향으로 연신시킨 상태에서, 상기 연신된 신축성 필름 상에, 그래핀층을 형성하는 단계; 및
    상기 그래핀층이 상기 픽셀부에 대향하도록 접착층을 통하여 부착하되, 상기 저 신축성 영역의 적어도 일부가 상기 픽셀부의 적어도 일부를 덮도록 부착하는 단계;를 포함하되,
    상기 부착하는 단계 이전에,
    상기 고 신축성 영역보다 신축성이 높은 유기물 접착층을 형성하는 단계를 더 포함하는 스트레쳐블 디스플레이 제조방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 그래핀층을 형성하는 단계는,
    상기 그래핀층을 친수화시키는 단계를 더 포함하는, 스트레쳐블 디스플레이 제조방법.
  3. 삭제
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 유기물 접착층을 형성하는 단계 이전에,
    상기 픽셀부에 그래핀층을 형성하는 단계를 더 포함하는, 스트레쳐블 디스플레이 제조방법.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 유기물 접착층은,
    수분 또는 산소를 흡수하는 게터(getter)를 포함하는 스트레쳐블 디스플레이 제조방법.
  6. 공정용 캐리어 기판 상에 스트레쳐블 기판을 형성하는 단계;
    상기 스트레쳐블 기판 상에, 발광층과 상기 발광층을 제어하는 구동소자층으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부를 형성하는 단계;
    저 신축성 영역 및 고 신축성 영역으로 구분된 신축성 필름을 면 방향으로 연신시킨 상태에서, 상기 연신된 신축성 필름 상에, 그래핀층을 형성하는 단계; 및
    상기 그래핀층이 상기 픽셀부에 대향하도록 접착층을 통하여 부착하되, 상기 저 신축성 영역의 적어도 일부가 상기 픽셀부의 적어도 일부를 덮도록 부착하는 단계;를 포함하되,
    상기 부착하는 단계는,
    상기 고 신축성 영역이 상기 발광층의 적어도 일부를 덮도록 상기 신축성 필름을 부착하는, 스트레쳐블 디스플레이 제조방법.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 공정용 캐리어 기판을 제거하는 단계를 더 포함하는, 스트레쳐블 디스플레이 제조방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 공정용 캐리어 기판을 제거한 이후에,
    상기 스트레쳐블 기판이 노출된 면에, 저 신축성 영역 및 고 신축성 영역으로 구분된 다른 신축성 필름을 부착하는 단계를 더 포함하는, 스트레쳐블 디스플레이 제조방법.
  9. 공정용 캐리어 기판 상에 스트레쳐블 기판을 형성하는 단계;
    상기 스트레쳐블 기판 상에, 발광층과 상기 발광층을 제어하는 구동소자층으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부를 형성하는 단계;
    저 신축성 영역 및 고 신축성 영역으로 구분된 신축성 필름을 면 방향으로 연신시킨 상태에서, 상기 연신된 신축성 필름 상에, 그래핀층을 형성하는 단계; 및
    상기 그래핀층이 상기 픽셀부에 대향하도록 접착층을 통하여 부착하되, 상기 저 신축성 영역의 적어도 일부가 상기 픽셀부의 적어도 일부를 덮도록 부착하는 단계;를 포함하되,
    상기 스트레쳐블 기판의 두께 방향으로 상기 스트레쳐블 기판 중 상기 고 신축성 영역에 대응하는 적어도 일부의 영역에 홀을 형성하는 단계를 더 포함하는, 스트레쳐블 디스플레이 제조방법.
  10. 공정용 캐리어 기판 상에 스트레쳐블 기판을 형성하는 단계;
    상기 스트레쳐블 기판 상에, 발광층과 상기 발광층을 제어하는 구동소자층으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부를 형성하는 단계;
    상기 발광층의 적어도 일부를 덮도록 상기 픽셀부 상에 그래핀층을 형성하는 단계; 및
    저 신축성 영역 및 고 신축성 영역으로 구분된 신축성 필름을 면 방향으로 연신시킨 상태에서, 상기 픽셀부에 대향하도록 접착층을 통하여 상기 그래핀층 상에 부착하되, 상기 저 신축성 영역의 적어도 일부가 상기 픽셀부의 적어도 일부를 덮도록 부착하는 단계;를 포함하되,
    상기 공정용 캐리어 기판을 제거하는 단계; 및
    상기 스트레쳐블 기판의 노출된 면에 저 신축성 영역 및 고 신축성 영역으로 구분된 다른 신축성 필름을 부착하는 단계;를 더 포함하는, 스트레쳐블 디스플레이 제조방법.
  11. 삭제
  12. 스트레쳐블 기판;
    상기 스트레쳐블 기판의 일 면에 형성된, 발광층과 상기 발광층을 제어하는 구동소자층으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부;
    상기 적어도 하나 이상의 픽셀부 일 면에 형성된 유기물 접착층;
    상기 유기물 접착층의 일 면 또는 양 면 중 적어도 하나의 면에 형성된 그래핀층; 및
    상기 그래핀층의 일 면 및 상기 스트레쳐블 기판의 타 면 중 적어도 하나의 면 상에 마련되되, 상기 픽셀부의 적어도 일부를 덮는 저 신축성 영역과, 면 방향으로 스트레쳐블 주름을 가지는 고 신축성 영역으로 구분된 신축성 필름;을 포함하되,
    상기 유기물 접착층은,
    수분 또는 산소를 흡수하는 게터를 포함하고,
    상기 고 신축성 영역보다 신축성이 높은, 스트레쳐블 디스플레이.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 그래핀층은, 단일 층 또는 복수 층으로 형성되는, 스트레쳐블 디스플레이.
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 그래핀층은 상기 면 방향으로 스트레쳐블 주름을 가지는, 스트레쳐블 디스플레이.
  15. 삭제
  16. 스트레쳐블 기판;
    상기 스트레쳐블 기판의 일 면에 형성된, 발광층과 상기 발광층을 제어하는 구동소자층으로 이루어진 적어도 하나 이상의 픽셀부;
    상기 적어도 하나 이상의 픽셀부 일 면에 형성된 유기물 접착층;
    상기 유기물 접착층의 일 면 또는 양 면 중 적어도 하나의 면에 형성된 그래핀층; 및
    상기 그래핀층의 일 면 및 상기 스트레쳐블 기판의 타 면 중 적어도 하나의 면 상에 마련되되, 상기 픽셀부의 적어도 일부를 덮는 저 신축성 영역과, 면 방향으로 스트레쳐블 주름을 가지는 고 신축성 영역으로 구분된 신축성 필름;을 포함하되,
    상기 발광층은,
    제1 전극;
    상기 제1 전극의 일 면에 형성된, 정공 주입층;
    상기 정공 주입층의 일 면에 형성된, 정공 수송층;
    상기 정공 수송층의 일 면에 형성된, 유기층;
    상기 발광층의 일 면에 형성된, 전자 수송층;
    상기 전자 수송층의 일 면에 형성된, 전자 주입층; 및
    상기 전자 주입층의 일 면에 형성된, 제2 전극;을 포함하며,
    상기 유기물 접착층의 일 면은,
    상기 발광층의 제1 및 제2 전극 중 어느 하나의 전극과 직접 접촉하는, 스트레쳐블 디스플레이.
  17. 삭제
  18. 제16 항에 있어서,
    상기 그래핀층의 일 면은,
    상기 발광층의 제1 및 제2 전극 중 어느 하나의 전극과 직접 접촉하는, 스트레쳐블 디스플레이.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20160069346A (ko) * 2014-12-08 2016-06-16 서울대학교산학협력단 신축성 전자소자 및 에너지 저장을 위한 무기 액틴-미오신 결합
KR20180136652A (ko) * 2017-06-15 2018-12-26 고려대학교 세종산학협력단 신축성 기판 구조체 및 그 제조방법, 신축성 디스플레이 및 그 제조방법 그리고 신축성 디스플레이 사용방법

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