KR102192273B1 - 유도 가열에 사용하기 위한 보호 시스템 - Google Patents

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에쪼 초에스트베르겐
테오도루스 프란시쿠스 요체프 말만
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타타 스틸 네덜란드 테크날러지 베.뷔.
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Abstract

본 발명은 유도 가열 부재용 보호 시스템에 관한 것으로, 상기 유도 가열 부재는 유도 코일 및 상기 유도 코일을 파워 공급원에 연결하는 연결 요소를 포함하며, 상기 보호시스템은 폴리이미드 절연 재료, 실리콘 고무 절연 재료, PTFE 절연 재료 및 PVC 절연 재료로 이루어지는 절연 재료의 그룹에서 선택된 절연 재료, 및 선택적으로 단열 수단을 포함한다.

Description

유도 가열에 사용하기 위한 보호 시스템{PROTECTIVE SYSTEM FOR USE IN INDUCTION HEATING}
본 발명은 물질(substance), 예컨대 금속의 유도 가열에 사용되어 전기 스파크와 아크를 방지하고, 플라즈마 공격과 방사열(irradiative heat)에 의한 마모를 방지하기 위한, 부재용 보호 시스템에 관한 것이다.
물질의 유도 가열, 더욱 구체적으로는 금속의 가열, 예컨대 물리 기상 증착(PVD) 공정에서의 하나 이상의 금속 또는 금속 합금의 가열 및 용융은, 상이한 전위를 갖는 장비 부재들(equipment components) 사이에서 바람직하지 않은 스파크 및 아크를 일으킬 수 있다. 스파크 및 아크 발생은 유도 가열에 사용된 전압 및 전류, 공정 부품의 기하학적 구조, 공정의 가스 압력 및 조성, 및 휘발성 시스템 부재들에 관련된 가스 부분 압력 및 조성에 따라 달라진다. 스파크 발생시, 전기의 파열 방전(disruptive discharge)은 이것이 전위차가 큰 두 위치 사이에서 발생한다는 것을 의미한다. 경로의 이온화가 선행된 후 스파크가 발생한다. 아크 발생시, 발광하는 전기 가스 방전은 전기 밀도가 높고 전위 경도(potential gradient)가 낮다는 것을 의미한다. 큰 전류를 유지하는데 필요한 이온화는 위치들 사이의 장비 부재들의 일부 재료가 증발함으로써 주로 제공된다. PVD에서는, 스파크 및 아크가 모두 발생하게 되면 장비에 손상이 생길 수 있어 공정이 중단될 것이며, 따라서 생산성에도 불리하게 될 것이다.
장비 부재에 손상을 일으킬 수 있는 다른 인자는 플라즈마의 발생이다. 플라즈마는 전위차가 존재하여 전기장이 생성되는 지점들 사이에서 발생할 수 있다. 전기장이 강하고, 가스의 도전성 및 가스의 이온화에 대한 민감도가 높아질수록, 플라즈마의 형성이 용이해진다. 가스의 도전성 및 이의 이온화에 대한 민감도는, 가스 조성, 가스의 압력, 및 전위차가 존재하는 지점들 사이의 거리에 따라 달라진다. 플라즈마는 스파크 또는 아크를 방지하기 위해 적용된 보호 코팅을 마모시킬 수 있어, 스파크 또는 아크의 발생 위험성을 높인다.
최종적으로, 유도 가열에 의해 실현된 온도, 예를 들어 도가니 내의 용융된 금속의 온도는 방사(irradiation)에 의한 손상의 원인이 된다. 상기 손상은 예를 들어 스파크 또는 아크를 방지하기 위해 적용되는 보호 코팅에 대한 손상일 수 있다.
유도 코일의 스파크 발생 위험을 최소화하기 위한 하나의 방법은, 대기 조건 하에서 진공 챔버 외부에 도가니 및 유도 코일을 위치시키는 것이다. 이러한 상황에서, 스파크는 전위차가 수 킬로볼트(kV) 수준으로 극히 큰 경우에서 발생할 것이다(F. Paschen, 'Ueber die zum Funkenubergang in Luft, Wasserstoff und Kohlensaure bei verschiedenen Drucken erforderliche Potentialdifferenz, Annalen der Physik 273 (5): 69-75'를 참고하라). 그러나, 도가니와 함께 유도 코일을 진공 챔버 외부에 위치시키게 되면, 도가니 구획과 진공 챔버의 나머지 부분과의 큰 온도 차이에 대처할 수 있는 진공 실링의 요구가 도입됨으로써 공정이 상당히 복잡해진다. 생성된 셋업은 개선된 코일 시스템에서보다 더욱 자본-집약적일 것이다.
본 발명의 목적은 스파크를 방지하기 위해 물질의 유도 가열에 사용된 부재용 보호 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 아크를 방지하기 위해 물질의 유도 가열에 사용된 부재용 보호 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 플라즈마의 형성을 방지하거나 최소화하기 위해 물질의 유도 가열에 사용되는 부재용 보호 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 방사열에 의해 야기되는 손상을 방지하기 위해 물질의 유도 가열에 사용되는 부재용 보호 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 용이하게 적용될 수 있는 물질의 유도 가열에 사용된 부재용 보호 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 물질의 유도 가열에 사용된 부재용, 저가의 보호 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 제 1 측면에 의하면, 본 발명의 하나 이상의 목적은 유도 가열 부재의 보호를 위한 보호 시스템을 제공함으로써 실현되며, 상기 유도 가열 부재는 유도 코일 및 상기 유도 코일을 파워 공급원에 연결하는 연결 요소를 포함하고, 상기 보호 시스템은 상기 부재에 적용된 절연 재료를 포함하며, 상기 절연 재료는 폴리이미드 절연 재료, 실리콘 고무 절연 재료, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 절연 재료 및 폴리비닐 클로라이드(PVC) 절연 재료로 이루어지는 절연 재료의 그룹에서 선택된다.
본 발명은 하기와 같이 도면에 도시된 예시에 의해 추가로 설명될 것이다:
도 1은 AC 파워 공급원으로부터 제공된 유도 코일에 의해 유도되는 필드 (fields)를 개략적으로 도시하였고,
도 2는 다양한 가스 환경에서, 코팅되지 않은 유도 코일 및 코팅된 유도 코일에 대한 파괴 전압을 나타낸 다이아그램을 도시하였고,
도 3a, 3b, 3c는 유도 코일 주위의, 자유 전하 운반자에 대한 포획 시스템을 개략적으로 나타내었다.
일련의 시험에서, 스파크가 발생하는 파괴 전압(breakdown voltage)은 PVD에 사용된 챔버 내의 압력, 유도 가열 시스템의 셋업, 가열 부재의 형상, 크기 및 재료의 유형, 그리고 전기장의 유형(AC/DC)에 따라 달라진다고 결정되었다. 또한, 아연의 기판에 대한 물리 기상 증착 시험에서, 증발 공정 동안 진공 챔버 내에서의 낮은 압력 상승 때문에, 스파크가 발생하는 파괴 전압이 챔버 내에서 증가한다는 것도 결정되었다. 그럼에도 불구하고, 금속 증기 또는 금속들의 증기를 연속적으로 충분히 공급하기 위해서는, 어떠한 보호 수단 없이도 스파크 및 아크가 용이하게 발생할 수 있는 수준으로 파워를 유지할 필요가 있다.
스파크는 파워 공급원으로부터 다량의 에너지를 끌어올 수 있어서, 심지어 파워 공급원의 과부하 시스템이 차단되고(tripped) 파워 공급원이 모두 꺼지게 된다. 스파크 발생의 위험성은 가열된 부재 표면으로부터의 열전자 방출에 의해 강화되어, 이 지점에서 가스의 도전성이 증가한다.
본 발명의 제 1 측면에 의하면, 본 발명의 하나 이상의 목적은 유도 가열 부재의 보호를 위한 보호 시스템을 제공함으로써 실현되며, 상기 유도 가열 부재는 유도 코일 및 상기 유도 코일을 파워 공급원에 연결하는 연결 요소를 포함하고, 상기 보호 시스템은 상기 부재에 적용된 절연 재료를 포함하며, 상기 절연 재료는 폴리이미드 절연 재료, 실리콘 고무 절연 재료, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 절연 재료 및 폴리비닐 클로라이드(PVC) 절연 재료로 이루어지는 절연 재료의 그룹에서 선택된다.
이들 절연 재료들 중에서, 폴리이미드 절연 재료가 가장 높은 온도에서 견딜 수 있다. 폴리이미드 절연 재료라는 용어는, 폴리이미드를 포함하거나, 또는 폴리이미드로 이루어진 절연 재료를 가리킨다. 이는 상기 언급된 다른 절연 재료에서도, 이들 각각의 절연 재료가 특정 재료로 부분적 또는 전체적으로 이루어진다는 점에서 동일하게 적용된다.
진공 챔버를 이용한 유도 가열 시스템, 예컨대 PVD 시스템과 함께 사용되도록 고려되는 시스템에서, 유도 가열 부재는 진공 챔버의 내부 또는 외부에 위치할 수 있다. 유도 가열 부재가 진공 챔버의 내부에 있는 경우에는, 관통 연결 수단 (feedthrough means)이 제공되어, 진공 챔버 내부의 유도 가열 부재를 진공 챔버 벽을 통해 파워 공급원에 연결시킨다. 이들 관통 연결 수단은 연결 요소의 일부이다.
상기 절연 재료들 중 하나를 부재의 표면에 절연 재료로서 사용함으로써, 스파크 및 아크 발생이 크게 방지된다.
시험에서, 폴리이미드 절연 재료를 사용함으로써 매우 양호한 결과가 수득되었다. 폴리이미드 절연의 특성은 하기와 같이 제공된다:
- 스파크/아크를 방지하는 낮은 전기도전성,
- 상부 절연층과 비교하여, 높은 열도전성,
- 유도 가열 부재와의 양호한 열 접촉(thermal contact),
- 절연 재료의 균열 또는 피로(fatigue)를 방지하는 유연성, 및
- 높은 파괴 전압 또는 절연 강도(dielectric strength).
본 발명의 추가적 측면에서, 폴리이미드는 열 경화성 폴리이미드이다. 폴리이미드 절연은 절연 테이프로 적용될 수 있으나, 바람직하게는 폴리이미드는 열경화성 코팅으로 적용된다. 이러한 방식으로, 어떠한 자유 공간도 남기지 않고 유도 가열 부재에 밀착되는 폴리이미드 절연 코팅이 얻어지며, 이는 유도 가열 부재와의 양호한 열 접촉을 갖는다.
폴리이미드 절연 코팅으로 코팅된 코일은, 0.001 Pa - 2kPa의 기압 범위에서 최대 6kA의 전류, 및 8mm의 커넥터 간격을 갖는 1000V RMS의 적용된 AC 전위차를 견딜 수 있는 것으로 입증되었다. 이는 코일 표면에 절연 재료가 없을 때 달성될 수 있는 전위차의 2배 이상이다.
절연 재료가 PVD 공정에서 사용된 금속 또는 금속들의 용융 또는 증발로부터 발생한 방사열에 노출되기 때문에, 절연 재료가 마모되어 결국은 균열이 생길 수 있다. 또한 큰 전위차 때문에, 유도 코일의 방위각 전기장(azimuthal electrical field)에 의해 유발되는 유도 결합 플라즈마(ICP), 또는 유도 코일의 축 전기장에 의해 유발되는 용량 결합 플라즈마(CCP) 중 어느 하나일 수 있는 플라즈마가 발생될 것이다. 또한 플라즈마 및 더욱 구체적으로는 ICP도 결국은 절연 재료를 열화시켜, 스파크/아크가 다시 발생하게 된다.
방사열 및 플라즈마 공격에 의한 마모를 방지하기 위해, 유도 가열 부재에 대해 단열재가 제공된다. 바람직하게는, 적어도 상기 부재와, 유도 가열에 의해 가열될 물체의 사이에 단열재가 제공된다. 그러나, 단열재는 바람직하게는 상기 절연 재료를 둘러싸는 제 2 층으로 적용된다.
본 발명의 추가적 측면에 의하면, 단열재는 내열성 재료(heat resistant material) 및 상기 내열성 재료용 캐리어(carrier)를 포함한다. 상기 내열성 재료용 캐리어는 적어도 고온에서 견딜 수 있는 한, 그리 중요한 부분은 아니다. 비록 유도 코일이 냉각 액체가 순환하는 중공 튜브(hollow tube)로 이루어져 있기는 하지만, 그 외부의 온도는 상기 냉각 액체의 온도보다 훨씬 높게 상승할 수 있다. 상기 캐리어는 미네랄 울(mineral wool)을 포함할 수 있는데, 이는 글래스 울(glass wool)이나 스톤 울(stone wool)일 수 있다.
본 발명의 추가적 측면에 의하면, 내열성 재료는 상기 캐리어에 적용된 세라믹 재료이다. 상기 세라믹 재료는 예를 들어 산화마그네슘-계 세라믹 재료이다. 상기 산화마그네슘-계 세라믹 재료는 하기의 특성을 포함한다:
- 고온 적응 능력(high temperature capability), 및
- 낮은 전기도전성(low electrical conductivity).
산화마그네슘-계 세라믹 재료는 바람직하게는 페이스트로서 캐리어 재료에 적용되어, 용이한 적용이 가능하도록 한다.
심지어 절연 재료의 제 1 층 및 단열재를 제공하는 제 2 층을 갖는 층상의 보호 시스템에서도, 고전압이 사용되는 경우 여전히 유도 결합 플라즈마가 생성될 수 있는 것으로 보인다.
본 발명의 또 다른 추가적 측면에 의하면, 자유 전하 운반자에 대한 포획 시스템(trapping system)이 유도 가열 부재를 위해 제공된다. 상기 포획 시스템은 유도 코일의 권수(turn) 또는 권수들의 적어도 일부를 따르는 도전성 요소를 포함하는 시스템일 수 있다.
본 발명의 추가적 측면에서, 자유 전하 운반자 포획 시스템은 유도 코일의 방사상 방향으로 위치하며, 유도 코일의 축에 평행한 하나 이상의 도전성 부재를 포함한다. 상기 부재, 예를 들어 평판 플레이트에 의해, 유도 코일에 적용된 전압 및 전류는 유도 결합 플라즈마가 다시 발생하기 전에 상당히 증가될 수 있다고 판명되었다.
자유 전하 운반자 포획 시스템을 접지시킴으로써, 포획 시스템의 효과는 더욱 개선된다.
이 운반자 포획 시스템에 대한 대안으로, 유도 코일을 직접 둘러싸는(directly around) 자유 공간을 물리적으로 차지하는 비-도전성 부재가 사용될 수 있고, 따라서 코일의 외주를 따라서 움직이는 임의의 자유 전자 운반자들을 포획하여 플라즈마의 점화를 방지한다.
본 발명의 추가적 측면에서, 유도 가열 부재는 O.OOlPa - 2.5kPa 범위의 감소된 압력을 갖는 챔버 내에서 사용되며, 이때 최대 IkV의 전압 및 최대 20kHz의 주파수에서 최대 6kA의 전류가 유도 코일에 공급된다.
상술한 보호 시스템은 AC 뿐만 아니라 DC에서도 작동하는 유도 코일 시스템에서 효과적으로 사용될 수 있다.
도면의 상세한 설명
본 발명은 도면에 나타난 실시예에 의해 추가로 설명될 것이다.
도 1에서, 유도 코일(1)의 축 횡단면은 좌측에 도시되어 있으며, 유도 코일의 방사상 횡단면은 우측에 도시되어 있다. 이 실시예에서, 유도 코일(1)은 코일(1)의 마지막 권수(turn)와 첫번째 권수의 사이에 약 600V의 전위차를 갖는, 제한된 수의 권수(2)를 갖는다.
유도 코일을 통과하는 전류에 의해 유도되는 자기장(magnetic B-field)의 필드 라인(3)은, 도면에 개략적으로 나타나 있다. 또한, 축 전기장(Ez) 및 방위각 전기장(Eθ)도 각각의 필드 라인(4 및 5)으로 나타나 있다. 용량 결합 플라즈마(CCP)는 축 전기장(Ez)과 관련되며, 유도 결합 플라즈마(ICP)는 방위각 전기장(Eθ)과 관련된다. 우측에서, 유도 코일 내의 전류의 방향(6)은 점선 및 화살표로 나타나있다.
유도 코일(1) 및 이의 연결부품은 양호한 도전성 때문에 구리로 제조되었다. 구리는 중공 튜브의 형태로서, 코일 내부를 통과하도록 펌핑된 냉각액에 의해 코일을 적절하게 냉각하도록 허용한다.
도 2는 다양한 가스 환경에서의 코팅되지 않은 유도 코일 및 코팅된 유도 코일의 최소 파괴 전압을 나타낸 다이어그램으로써, 수직축은 전압에 대해, 수평축을 따라서는 상이한 코일 및 가스 환경에 대해 플로팅하였다. 최소 값은 ~10 mbar 내지 10-4 mbar의 기압 범위에서 결정되었다. 통상적인 PVD 공정은 이 영역 어딘가에서 발생할 수 있다.
코팅되지 않은 유도 코일(이 경우에는, 무피복 구리 유도 코일)에서, 스파크 무발생 영역(spark-free regime)은 아르곤 가스 환경에서 사용되는 코일에서는 200V 미만부터 공기에 대해서는 약 400V까지 변화한다. 이들 스파크 무발생 영역 위쪽에는 스파크가 발생가능한 작은 영역이 있고, 상기 작은 영역 위쪽에서는 스파크가 반드시 발생할 것이다. 이 플롯에서 볼 때, 파괴 전압은 Zn PVD 공정 동안 진공 챔버 내에서 발생할 때 Zn 대기에서 비교적 높다고 할 수 있다.
코팅된 코일(절연 재료층이 제공되었으나 단열재가 없는 코일)에 대해서는, 동일한 가스 환경에서의 파괴 전압이 무피복의 구리 유도 코일과 비교하여 훨씬 높았다.
다양한 절연 재료 또는 상기 절연 재료들의 조합의 사용을 조사하였고, 실리콘-고무와 PVC-계 테이프 또는 세라믹 커버와의 조합에서 양호한 결과가 생기는 것으로 보였다. 그러나, 파괴 전압 및 시간에 대해서는 폴리이미드 테이프의 사용시 최고의 성능을 보였다. 유도 코일을 균일하게(seamlessly) 감싸는 코팅으로 적용된 폴리이미드의 사용에 의하여, 동일하거나 심지어 더 나은 결과가 얻어진다. 65㎛의 두께를 갖는 폴리이미드 절연 코팅에서, 파괴 전압이 6kV 수준(order)인 것이 확립되었다.
유도 가열된 물체(object)에서는 열이 방사되므로, 바람직하게는 단열재가 코팅 위에 제공된다. 단열재는 내열성 재료 및 상기 내열성 재료용 캐리어를 포함한다. 이러한 단열재는 또한 플라즈마 공격에 대한 보호도, 어느 정도까지는 제공한다.
단열을 위하여, 폴리이미드 층은 MgO-페이스트로 함침시킨 글래스 울로 이루어진 추가의 층으로 덮인다. Zn PVD 시험 동안, 이 보호 시스템은 550-600V RMS 범위의 AC 전압에서 수 시간 동안 작동하여, 적어도 10 Pa까지의 진공 압력 하에서 750-770℃의 도가니 온도를 성공적으로 견딜 수 있다. 코일은 손상의 징후를 보이지 않았다.
도 3a, 3b은 보호 시스템이 제공된 유도 코일의 사시도 및 평면도를 각각 도시하며, 여기에서 유도 코일(1)에는 절연 재료, 그리고 플라즈마 공격을 더욱 억제할 수 있도록 자유 전하 운반자들에 대한 포획 시스템이 제공된다. 코일의 절연은 폴리이미드 코팅, 그리고 상기 폴리이미드 코팅 위에 적용된 단열재를 포함한다. 포획 시스템은 2개의 접지된 금속 플레이트들(7), 또는 도 3b에 도시한 바와 같이 유도 코일 주위에 분포하며 코일의 중심축에 평행인 3개의 접지된 금속 플레이트들(7)을 포함한다.
시험(trial)은 약 18 kHz에서 속이 빈 도가니에 의해 코일에서 실시되었고, 이 때 유도 전압은 단계적으로 높인다. 플레이트(7) 없이 질소 가스를 사용한 경우, 파괴가 740V RMS에서 발생하였고, 코일 전류는 2150A였다. 하나의 접지된 플레이트(7)를 상기 셋업에 부가하면, 유도 결합 플라즈마(ICP)가 발생하기 전에, 이 전압은 최대 820V RMS까지, 코일 전류는 2450A까지 상승할 수 있다. 제 3의 접지된 플레이트를 부가한 후, 상기 셋업은 890V RMS 초과의 전압 수준, 및 2580A 초과의 코일 전류에서도 ICP-무발생 상태를 유지시킨다.
도 3c에서, 자유 전하 운반자 포획 시스템은 유도 코일(1)의 원주 주위에 위치한, 콘크리트, BN, Al203와 같은 재료, 또는 다른 절연 재료로 제조된 다수의 비-도전성 요소(8)를 포함한다. 코일에 인접하여 위치한 이들 요소(8)에 의하여, 상기 코일 주위의 필드 내의 자유 전하 운반자의 움직임, 및 이로 인한 플라즈마의 지속도 방지된다.

Claims (15)

  1. 유도 가열 부재용 보호 시스템으로서,
    상기 유도 가열 부재는 유도 코일 및 상기 유도 코일을 파워 공급원에 연결하는 연결 요소를 포함하며,
    상기 유도 코일 및 상기 연결 요소는 PVD용 진공 챔버 내에서 유도 가열을 위한 것이고,
    상기 보호 시스템은 상기 유도 가열 부재에 적용된 절연 재료를 포함하며,
    상기 절연 재료는 폴리이미드 절연 재료이고,
    상기 폴리이미드 절연 재료는 열경화성 코팅으로서 적용되며,
    단열재가 상기 절연 재료를 제 2 층으로 둘러싸고 상기 유도 가열 부재를 위해 제공되는, 유도 가열 부재용 보호 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 단열재는 내열성 재료 및 상기 내열성 재료용 캐리어를 포함하는, 유도 가열 부재용 보호 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 내열성 재료용 캐리어는 미네랄 울을 포함하는, 유도 가열 부재용 보호 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 미네랄 울은 글래스 울인, 유도 가열 부재용 보호 시스템.
  5. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 내열성 재료는 세라믹 재료인, 유도 가열 부재용 보호 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 세라믹 재료는 산화마그네슘-계 세라믹 재료인, 유도 가열 부재용 보호 시스템.
  7. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    자유 전하 운반자들에 대한 포획 시스템은 유도 가열에 사용된 부재를 위해 제공되고,
    상기 포획 시스템은 상기 유도 코일의 방사상 방향에 위치하며 상기 유도 코일의 축과 평행한 하나 이상의 도전성 요소들을 포함하는, 유도 가열 부재용 보호 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 포획 시스템은 상기 유도 코일의 방사상 방향에 위치하며 상기 유도 코일의 축과 평행한 하나 이상의 도전성 요소들을 포함하는, 유도 가열 부재용 보호 시스템.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 포획 시스템은 유도 코일의 원주를 따라서 위치하는 비-도전성 요소들을 포함하는, 유도 가열 부재용 보호 시스템.
  10. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 유도 가열 부재는 O.OOlPa - 2.5kPa 범위의 감소된 압력을 갖는 챔버 내에서 사용되며, 최대 lkV의 전압 및 최대 20kHz의 주파수에서 최대 6kA의 전류가 상기 유도 코일에 공급되는, 유도 가열 부재용 보호 시스템.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
KR1020157022069A 2013-02-27 2014-02-27 유도 가열에 사용하기 위한 보호 시스템 KR102192273B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

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