KR102190980B1 - Apparatus And Method for Fastening Seamless Sleeve on Pattern Forming Roll - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판이나 필름 등에 패턴을 전사하기 위한 이음매 없는 슬리브를 압축공기를 이용하여 팽창시켜 마스터롤에 용이하게 장착하고 분리할 수 있는 패턴 성형 롤의 이음매 없는 슬리브 체결 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 패턴 성형 롤의 이음매 없는 슬리브 체결 장치는, 전단부에서 후단부로 연장된 중공부가 형성되어 있는 원통체로 이루어지고, 상기 중공부에서부터 외면으로 관통되는 복수의 배기공이 배열되어 있는 마스터롤; 상기 마스터롤의 전단부를 폐쇄하도록 설치되며, 압축공기가 주입되는 주입구와 상기 주입구와 연통되어 압축공기를 외부와 마스터롤의 내부로 배출하는 복수의 배기공이 형성되어 있는 전방 커버부재; 상기 마스터롤의 후단부를 폐쇄하도록 설치되는 후방 커버부재; 마스터롤의 전방부 외측에 설치되고, 상기 슬리브의 전단부와 연접하면서 슬리브를 마스터롤에 대해 전후방향으로 상대 이동 가능하게 지지하는 슬리브 지지부재; 및, 상기 슬리브 지지부재에 설치되며, 상기 전방 커버부재의 주입구를 통해 슬리브를 팽창시키기 위한 압축공기를 주입하는 공기주입유닛;을 포함한다. The present invention relates to an apparatus and method for fastening a seamless sleeve for a pattern forming roll that can be easily mounted and separated on a master roll by expanding a seamless sleeve for transferring a pattern to a substrate or film using compressed air. The seamless sleeve fastening device of the pattern forming roll according to the present invention comprises: a master roll made of a cylindrical body having a hollow portion extending from a front end to a rear end thereof, and a plurality of exhaust holes passing through the hollow portion to the outer surface thereof; A front cover member installed to close the front end of the master roll and having an injection port through which compressed air is injected and a plurality of exhaust holes communicating with the injection port to discharge compressed air to the outside and the inside of the master roll; A rear cover member installed to close the rear end of the master roll; A sleeve support member installed outside the front portion of the master roll and supporting the sleeve in a relative movement in the front and rear direction with respect to the master roll while being connected to the front end portion of the sleeve; And an air injection unit installed on the sleeve support member and injecting compressed air for expanding the sleeve through an injection port of the front cover member.
Description
본 발명은 패턴이 형성된 이음매 없는 슬리브를 롤(roll)에 체결하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 롤투롤 임프린트 리소그래피(Roll-to-Roll Imprint lithography) 장비와 같이 기판이나 필름 등에 패턴을 전사하는 마스터롤에 이음매 없는 원통형의 슬리브를 체결하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus and method for fastening a seamless sleeve on which a pattern is formed to a roll, and more particularly, to a pattern on a substrate or film, such as a roll-to-roll imprint lithography equipment. It relates to an apparatus and method for fastening a seamless cylindrical sleeve to a master roll to be transferred.
종래의 나노 임프린트 리소그래피 기술은 평판형 임프린트 금형을 기판에 접촉시켜 나노/마이크로 스케일의 패턴을 전사하는 방식이었으나, 공정 속도 및 수율 향상을 위해 원통형 금형을 적용한 롤투롤 나노 임프린트 리소그래피 기술이 개발되었다.Conventional nano-imprint lithography technology was a method of transferring nano/micro-scale patterns by contacting a plate-type imprint mold with a substrate, but roll-to-roll nano-imprint lithography technology using a cylindrical mold was developed to improve process speed and yield.
롤투롤 나노 임프린트 리소그래피 기술은 마스터롤에 금형을 감아서 공정을 수행하기 때문에 이음매가 발생한다. 이러한 이음매는 패턴의 연속성을 저하시키므로 마스터롤에 직접적으로 패턴을 새기는 연구가 진행되고 있으나, 이러한 방법 또한 패턴을 교체하기 위해서는 마스터롤을 교체해야 하는 한계가 있다. 이에 이음매가 없는 교체형 슬리브를 제작하고 이를 마스터롤에 장착함으로써 공정의 연속성을 통한 생산성을 향상시키는 연구가 이루어지고 있다.In the roll-to-roll nano-imprint lithography technology, the process is performed by winding a mold on a master roll, resulting in a seam. Since such a seam degrades the continuity of the pattern, studies are being conducted to directly engrave the pattern on the master roll, but this method also has a limitation in that the master roll must be replaced in order to replace the pattern. Accordingly, research is being made to improve productivity through continuity of the process by manufacturing a seamless replacement sleeve and mounting it on a master roll.
이음매 없는 슬리브를 마스터롤에 체결하는 방법으로 마스터롤보다 지름이 큰 슬리브를 수축시켜 마스터롤에 장착하거나, 마스터롤을 팽창시켜 슬리브를 장착하는 방법, 마스터롤보다 지름이 작은 슬리브를 원주 방향으로 팽창시켜 마스터롤에 장착하는 방법 등이 있다.This is a method of fastening a seamless sleeve to the master roll. A sleeve with a diameter larger than the master roll is contracted and mounted on the master roll, or a sleeve with a diameter smaller than the master roll is expanded in the circumferential direction. There is a method of installing it on the master roll.
그러나 이음매 없는 슬리브를 마스터롤에 체결하는 기존의 방법들은 슬리브를 마스터롤에 장착한 후 슬리브의 교체를 위해 슬리브를 마스터롤에서 분리하기가 매우 어려운 문제가 있다. However, conventional methods of fastening a seamless sleeve to the master roll have a problem that it is very difficult to separate the sleeve from the master roll for replacement of the sleeve after mounting the sleeve to the master roll.
본 발명의 목적은 기판이나 필름 등에 패턴을 전사하기 위한 이음매 없는 슬리브를 압축공기를 이용하여 팽창시켜 마스터롤에 용이하게 장착하고 분리할 수 있는 패턴 성형 롤의 이음매 없는 슬리브 체결 장치 및 방법을 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide a seamless sleeve fastening device and method of a pattern forming roll that can be easily mounted and separated on a master roll by expanding a seamless sleeve for transferring a pattern to a substrate or film using compressed air. will be.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 패턴 성형 롤의 이음매 없는 슬리브 체결 장치는, 전단부에서 후단부로 연장된 중공부가 형성되어 있는 원통체로 이루어지고, 상기 중공부에서부터 외면으로 관통되는 복수의 배기공이 배열되어 있는 마스터롤; 상기 마스터롤의 전단부를 폐쇄하도록 설치되며, 압축공기가 주입되는 주입구와 상기 주입구와 연통되어 압축공기를 외부와 마스터롤의 내부로 배출하는 복수의 배기공이 형성되어 있는 전방 커버부재; 상기 마스터롤의 후단부를 폐쇄하도록 설치되는 후방 커버부재; 마스터롤의 전방부 외측에 설치되고, 상기 슬리브의 전단부와 연접하면서 슬리브를 마스터롤에 대해 전후방향으로 상대 이동 가능하게 지지하는 슬리브 지지부재; 및, 상기 슬리브 지지부재에 설치되며, 상기 전방 커버부재의 주입구를 통해 슬리브를 팽창시키기 위한 압축공기를 주입하는 공기주입유닛;을 포함한다. The seamless sleeve fastening device of the pattern forming roll according to the present invention for achieving the above object is made of a cylindrical body in which a hollow part extending from the front end to the rear end is formed, and a plurality of exhaust air passing through the hollow part to the outer surface Master roll in which balls are arranged; A front cover member installed to close the front end of the master roll and having an injection port through which compressed air is injected and a plurality of exhaust holes communicating with the injection port to discharge compressed air to the outside and the inside of the master roll; A rear cover member installed to close the rear end of the master roll; A sleeve support member installed outside the front portion of the master roll and supporting the sleeve in a relative movement in the front and rear direction with respect to the master roll while being connected to the front end portion of the sleeve; And an air injection unit installed on the sleeve support member and injecting compressed air for expanding the sleeve through an injection port of the front cover member.
본 발명의 슬리브 체결 장치는, 상기 마스터롤의 중공부 내에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 배기공을 전방에서부터 후방으로 순차적으로 개방하거나, 후방에서부터 전방으로 순차적으로 폐쇄하는 제어블록과; 상기 후방 커버부재를 관통하여 상기 제어블록과 연결되도록 설치되어 상기 제어블록을 전후방향으로 이동시키는 블록이동부재;를 더 포함할 수 있다. The sleeve fastening device of the present invention includes a control block installed to be movable in a front-rear direction in a hollow portion of the master roll to sequentially open the exhaust hole from front to rear or to sequentially close from rear to front; It may further include a block moving member installed to be connected to the control block through the rear cover member to move the control block in the front and rear direction.
상기 블록이동부재는, 상기 후방 커버부재에 관통되게 형성되며 내주면에 나사산이 형성되어 있는 암나사홀을 관통하도록 설치되며 외면에 상기 암나사홀의 나사산에 나선 결합되는 나사산이 형성되어 있는 스크류샤프트(screw shaft)일 수 있다. The block moving member is formed to penetrate the rear cover member and is installed to pass through a female screw hole having a thread formed on an inner circumferential surface, and a screw shaft having a screw thread spirally coupled to the thread of the female screw hole on the outer surface. Can be
상기 공기주입유닛은, 상기 슬리브 지지부재를 관통하도록 설치되며 후단부를 통해 압축공기를 배출하는 주입부재와, 상기 주입부재의 외면에 접었다 펼 수 있게 설치되어 펼쳐졌을 때 슬리브의 내주면을 지지하는 복수의 접이식 서포트바아와, 상기 접이식 서포트바아를 주입부재의 외면에 대해 접거나 펼치는 작동부재를 포함할 수 있다. The air injection unit includes an injection member installed to pass through the sleeve support member and discharges compressed air through a rear end, and a plurality of injection members installed to be folded and unfolded on the outer surface of the injection member to support the inner circumferential surface of the sleeve when unfolded. It may include a folding support bar, and an operation member that folds or unfolds the folding support bar with respect to the outer surface of the injection member.
상기 작동부재는, 상기 주입부재의 외면에 전후방향으로 이동 가능하게 설치된 제1슬라이드블록과, 상기 제1슬라이드블록의 후방에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되며 상기 접이식 서포트바아의 일단부가 힌지축을 매개로 회전 가능하게 연결되는 제2슬라이드블록과, 상기 제1슬라이드블록과 제2슬라이드블록 사이에 설치되어 제1슬라이드블록에 대해 제2슬라이드블록에 탄성력을 부여하는 탄성체와, 후단부가 상기 제2슬라이드블록의 후방에서 제1링크축을 매개로 주입부재의 외면에 회전 가능하게 연결되고 전단부가 제2링크축을 매개로 접이식 서포트바아에 회전 가능하게 연결되는 링크바아와, 상기 제1슬라이드블록이 전방에서 후방으로 이동했을 때 제1슬라이드블록의 위치를 고정하는 위치고정수단을 포함할 수 있다. The actuating member includes a first slide block installed to be movable forward and backward on an outer surface of the injection member, and a first slide block installed to be movable forward and backward behind the first slide block, and one end of the folding support bar mediates a hinge axis. A second slide block rotatably connected to a second slide block, an elastic body installed between the first slide block and the second slide block to impart an elastic force to the second slide block with respect to the first slide block, and the second slide at a rear end thereof At the rear of the block, a link bar rotatably connected to the outer surface of the injection member via a first link shaft and a front end portion rotatably connected to a folding support bar via a second link shaft, and the first slide block from the front to the rear. It may include a position fixing means for fixing the position of the first slide block when moved to.
또한 상기 주입부재는, 전후방향으로 연장되는 중공관 형태로 되어 상기 슬리브 지지부재의 중심부에 설치되는 노즐홀더와, 상기 노즐홀더의 중공 부분 내측에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되며 전단부가 외부의 압축공기 공급원과 연결되고 후단부가 노즐홀더의 후단부를 통해 돌출되어 전방 커버부재의 주입구 내측으로 삽입되면서 압축공기를 분사하는 노즐튜브와, 상기 노즐홀더에 대해 상기 노즐튜브를 탄력적으로 지탱하는 노즐스프링을 포함할 수 있다. In addition, the injection member is a nozzle holder installed in the center of the sleeve support member in the form of a hollow tube extending in the front-rear direction, and the nozzle holder is installed to be movable in the front-rear direction inside the hollow part of the nozzle holder, and the front end is compressed outside A nozzle tube connected to an air supply source, and a nozzle tube for injecting compressed air while the rear end protrudes through the rear end of the nozzle holder and is inserted into the inlet of the front cover member, and a nozzle spring elastically supporting the nozzle tube with respect to the nozzle holder. can do.
상기 전방 커버부재는 외주면이 전방에서 후방으로 갈수록 직경이 증가하는 테이퍼진 형태를 가지며, 중심부에는 상기 주입구가 형성되고, 내부에는 상기 주입구에서부터 반경방향으로 연장되어 외주면을 통해 외부와 연통되는 복수의 측방 배기공과, 상기 주입구에서부터 후방으로 연장되어 마스터롤의 중공부와 연통되는 후방 배기공이 형성된 구조를 가질 수 있다.The front cover member has a tapered shape whose diameter increases as the outer circumferential surface goes from the front to the rear, the injection hole is formed in the center, and a plurality of lateral sides extending radially from the injection hole and communicating with the outside through the outer circumferential surface It may have a structure in which an exhaust hole and a rear exhaust hole extending rearward from the injection port and communicating with the hollow portion of the master roll are formed.
상기 슬리브 지지부재의 후방면에는 전방에서 후방으로 갈수록 직경이 작아지는 원추형태로 되어 슬리브의 전단부 내측으로 삽입되는 슬리브 가이드가 형성될 수 있다. A sleeve guide may be formed on a rear surface of the sleeve support member in a conical shape that decreases in diameter from the front to the rear and is inserted into the front end of the sleeve.
본 발명에 따른 슬리브 체결 장치를 이용한 슬리브 체결 방법은, Sleeve fastening method using the sleeve fastening device according to the present invention,
(S1) 슬리브 지지부재에 슬리브의 전단부를 밀착시켜 지지하는 단계;(S1) supporting the front end of the sleeve by contacting the sleeve support member;
(S2) 상기 슬리브 지지부재를 마스터롤 쪽으로 이동시켜 슬리브의 후단부가 전방 커버부재의 외주면에 밀착시키는 단계;(S2) moving the sleeve support member toward the master roll so that the rear end of the sleeve is in close contact with the outer peripheral surface of the front cover member;
(S3) 상기 공기주입유닛을 통해 전방 커버부재의 주입구로 압축공기를 공급하는 단계;(S3) supplying compressed air to an injection port of the front cover member through the air injection unit;
(S4) 상기 전방 커버부재의 배기공과 마스터롤의 배기공을 통해 공기를 배출시켜 슬리브를 팽창시키면서 슬리브 지지부재를 후방으로 이동시켜 슬리브를 마스터롤의 외측에 정렬하는 단계; (S4) discharging air through the exhaust hole of the front cover member and the exhaust hole of the master roll to expand the sleeve while moving the sleeve support member to the rear to align the sleeve to the outside of the master roll;
(S5) 상기 슬리브의 전단부가 마스터롤의 전단부와 일치되게 정렬되면, 상기 공기주입유닛을 통한 압축공기의 공급을 중단하여 슬리브를 수축시키는 단계; 및,(S5) when the front end of the sleeve is aligned with the front end of the master roll, stopping the supply of compressed air through the air injection unit to contract the sleeve; And,
(S6) 상기 슬리브 지지부재와 공기주입유닛을 전방으로 이동시켜 공기주입유닛을 전방 커버부재에서 분리하는 단계;(S6) separating the air injection unit from the front cover member by moving the sleeve support member and the air injection unit forward;
를 포함할 수 있다. It may include.
상기 (S4) 단계에서는 상기 슬리브를 후방으로 이동시킬 때 상기 마스터롤의 중공부 내부에서 제어블록을 전방에서 후방으로 이동시키면서 배기공을 전방에서 후방으로 순차적으로 개방하여 슬리브의 내측 공간으로 압축공기를 분사한다. In the step (S4), when moving the sleeve to the rear, the control block is moved from the front to the rear inside the hollow part of the master roll, and the exhaust holes are sequentially opened from the front to the rear to blow compressed air into the inner space of the sleeve. Spray.
상기 (S6) 단계 이후에 슬리브를 마스터롤에서 분리하고자 할 경우, If you want to separate the sleeve from the master roll after step (S6),
(S7) 상기 슬리브 지지부재와 공기주입유닛을 전방으로 이동시켜 공기주입유닛을 전방 커버부재의 주입구에 밀착시키는 단계;(S7) moving the sleeve support member and the air injection unit forward so that the air injection unit is in close contact with the inlet of the front cover member;
(S8) 상기 공기주입유닛을 통해 마스터롤 내부로 압축공기를 주입하는 단계;(S8) injecting compressed air into the master roll through the air injection unit;
(S9) 상기 마스터롤의 배기공을 통해 압축공기를 배출하여 슬리브를 팽창시키면서 전방으로 이동시켜 슬리브의 전단부를 슬리브 지지부재에 밀착시키는 단계;(S9) discharging compressed air through the exhaust hole of the master roll and moving the sleeve forward while expanding the sleeve to intimately contact the front end of the sleeve with the sleeve support member;
(S10) 슬리브의 후단부가 마스터롤의 전단부 외측으로 완전히 이탈할 때까지 상기 슬리브 지지부재를 전방으로 이동시켜 슬리브를 전방으로 이동시키는 단계;(S10) moving the sleeve forward by moving the sleeve support member forward until the rear end of the sleeve is completely separated from the front end of the master roll;
를 수행할 수 있다.You can do it.
상기 (S9) 및 (S10) 단계에서 상기 슬리브를 후방으로 이동시킬 때, 상기 마스터롤의 중공부 내부에서 제어블록을 후방에서 전방으로 이동시키면서 배기공을 후방에서 전방으로 순차적으로 폐쇄하여 슬리브의 내측 공간으로 압축공기를 분사할 수 있다. When moving the sleeve to the rear in steps (S9) and (S10), the exhaust hole is sequentially closed from the rear to the front while moving the control block from the rear to the front inside the hollow part of the master roll to the inside of the sleeve. Compressed air can be injected into the space.
본 발명에 따르면, 슬리브 내측으로 압축공기를 공급하여 슬리브를 팽창시킴으로써 마스터롤에 마찰없이 쉽게 체결하거나 마스터롤에서 쉽게 분리할 수 있다. According to the present invention, by supplying compressed air to the inside of the sleeve to expand the sleeve, it can be easily fastened to the master roll without friction or can be easily separated from the master roll.
또한 슬리브 내측으로 압축공기를 공급하여 팽창시키는 과정에서 슬리브의 이동 거리에 맞추어 슬리브 내측으로 압축공기를 공급할 수 있으므로 슬리브의 체결 작업에 요구되는 에너지 소비량을 절감할 수 있으며, 원활하고 효율적인 체결 및 분리 작업을 수행할 수 있다. In addition, in the process of supplying compressed air to the inside of the sleeve and expanding it, it is possible to supply compressed air to the inside of the sleeve according to the moving distance of the sleeve, thus reducing the energy consumption required for the fastening of the sleeve, and smooth and efficient fastening and disassembling work. Can be done.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬리브 체결 장치의 내부를 투영하여 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 슬리브 체결 장치에 슬리브가 체결되는 상태를 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 슬리브 체결 장치의 주요 구성을 나타낸 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 슬리브 체결 장치의 공기주입유닛의 일 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 도 4에 도시된 공기주입유닛의 노즐튜브의 작동례를 나타낸 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 도 4에 도시된 공기주입유닛의 작동부재의 작동례를 나타낸 단면도이다.
도 7a 및 도 7b는 작동부재를 구성하는 위치고정수단을 나타낸 도면이다.
도 8a 내지 도 8f는 도 1에 도시된 슬리브 체결 장치를 이용하여 슬리브를 마스터롤에 체결하는 방법의 예를 순차적으로 나타낸 도면이다.
도 9a 내지 도 9f는 도 1에 도시된 슬리브 체결 장치를 이용하여 마스터롤에 체결된 슬리브를 마스터롤에서 분리하는 방법의 예를 순차적으로 나타낸 도면이다.1 is a perspective view showing an interior of a sleeve fastening device according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view illustrating a state in which a sleeve is fastened to the sleeve fastening device shown in FIG. 1.
3 is a cross-sectional view showing the main configuration of the sleeve fastening device shown in FIG.
4 is a cross-sectional view illustrating an embodiment of an air injection unit of the sleeve fastening device shown in FIG. 1.
5A and 5B are cross-sectional views illustrating an operation example of the nozzle tube of the air injection unit shown in FIG. 4.
6A and 6B are cross-sectional views showing an operation example of an operation member of the air injection unit shown in FIG. 4.
7A and 7B are views showing position fixing means constituting the operation member.
8A to 8F are views sequentially showing an example of a method of fastening a sleeve to a master roll using the sleeve fastening device shown in FIG. 1.
9A to 9F are views sequentially showing an example of a method of separating the sleeve fastened to the master roll from the master roll using the sleeve fastening device shown in FIG. 1.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 개시된 발명의 바람직한 일 예에 불과할 뿐이며, 본 출원의 출원시점에 있어서 본 명세서의 실시예와 도면을 대체할 수 있는 다양한 변형 예들이 있을 수 있다.The embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are only preferred examples of the disclosed invention, and there may be various modifications that may replace the embodiments and drawings of the present specification at the time of filing of the present application.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 패턴 성형 롤의 이음매 없는 슬리브 체결 장치 및 방법을 후술된 실시예들에 따라 구체적으로 설명하도록 한다. 도면에서 동일한 부호는 동일한 구성 요소를 나타낸다. Hereinafter, an apparatus and a method for fastening a seamless sleeve of a pattern forming roll will be described in detail with reference to the accompanying drawings according to embodiments described below. In the drawings, the same reference numerals denote the same components.
본 발명의 슬리브 체결 장치는 패턴이 형성되어 있는 이음매 없는 원통형의 슬리브를 원통형의 마스터롤의 외면에 압축공기를 이용하여 체결할 수 있도록 한 것으로, 후술하는 슬리브 체결 장치의 실시예가 적용되는 패턴 성형 롤은 롤투롤 임프린트 리소그래피(Roll-to-Roll Imprint lithography) 장비의 임프린팅 롤을 대상으로 한 것이만, 본 발명은 이외에도 롤을 이용하여 기판이나 필름 등에 패턴을 성형하는 다양한 장치의 패턴 성형 롤에 유용하게 적용할 수 있을 것이다. The sleeve fastening device of the present invention allows a seamless cylindrical sleeve with a pattern formed thereon to be fastened to the outer surface of a cylindrical master roll using compressed air, and a pattern forming roll to which an embodiment of the sleeve fastening device described later is applied. Silver is intended for imprinting rolls of Roll-to-Roll Imprint lithography equipment, but the present invention is useful for pattern forming rolls of various devices that form patterns on substrates or films using rolls. You will be able to apply it.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬리브 체결 장치는, 원통형의 마스터롤(10)과, 상기 마스터롤(10)의 전단부(도면 상 왼쪽)를 폐쇄하도록 설치되는 전방 커버부재(20), 상기 마스터롤(10)의 후단부(도면 상 오른쪽)를 폐쇄하도록 설치되는 후방 커버부재(30), 마스터롤(10)의 전방부 외측에서 슬리브(S)를 지지하는 슬리브 지지부재(40), 및 상기 슬리브 지지부재(40)에 설치되어 상기 전방 커버부재(20)를 통해 슬리브(S)를 팽창시키기 위한 압축공기를 주입하는 공기주입유닛을 포함한다. 이해를 돕기 위해 이하에서 도면 상 왼쪽을 장치의 전방부로, 도면 상 오른쪽을 장치의 후방부로 하여 설명한다. 1 to 4, the sleeve fastening device according to an embodiment of the present invention is installed to close the
상기 마스터롤(10)의 외면에 체결되는 슬리브(S)는 이음매가 없이 일체형으로 된(seamless) 슬리브로서 슬리브(S)의 외면에는 대상 물체(기판 또는 필름 등)에 나노 패턴을 전사하기 위한 나노 패턴이 형성되어 있다. 상기 슬리브(S)의 내경은 상기 마스터롤(10)의 외경과 거의 일치하여 마스터롤(10)의 외면에 밀착되면서 장착된다. The sleeve (S) fastened to the outer surface of the
상기 마스터롤(10)은 패턴 성형 롤(이 실시예에서 임프린팅 롤)의 본체를 이루는 것으로, 도면에 도시되지 않은 모터와 같은 구동장치에 연결되어 지면(地面)에 대해 수평한 축을 중심으로 회전한다. 상기 마스터롤(10)은 전단부에서 후단부로 연장된 중공부(11)가 형성되어 있는 원통체로 이루어지고, 상기 중공부(11)에서부터 외면으로 관통되는 복수의 배기공(12)이 길이방향(전후방향) 및 원주방향을 따라 배열되어 있다. 상기 마스터롤(10)에 형성되어 있는 배기공(12)은 원주방향을 따라 일정한 간격으로 배열되어 있는 복수의 배기공(12)을 하나의 배기공 그룹이라 정의할 때 복수의 배기공 그룹이 마스터롤(10)의 길이방향을 따라 일정한 서로 엇갈리게 배열될 수 있다. 이는 배기공(12)을 통해 압축공기가 분사되어 슬리브(S)가 팽창할 때 슬리브(S)에 내면으로 균일하게 압축공기가 공급되어 슬리브(S)가 균일하게 팽창할 수 있도록 하는데 유리하기 때문이다. The
상기 전방 커버부재(20)는 마스터롤(10)의 전단부에 결합되며, 외주면이 전방에서 후방으로 갈수록 직경이 증가하는 테이퍼진 원반 형태를 가지며, 후방면 중심부에는 마스터롤(10)의 중공부(11)의 전단부로 삽입되면서 마스터롤(10)의 전단부를 폐쇄하는 원통형의 폐쇄부(22)가 돌출되게 형성되어 있다. 상기 전방 커버부재(20)의 중심부에는 공기를 주입하기 위한 주입구(21)가 전방면을 통해 외부로 관통되게 형성되어 있다. 그리고, 전방 커버부재(20)의 내부에는 상기 주입구(21)에서부터 반경방향으로 연장되어 외주면을 통해 외부와 연통되는 복수의 측방 배기공(23)과, 상기 주입구(21)에서부터 후방으로 연장되어 마스터롤(10)의 중공부와 연통되는 후방 배기공(24)이 형성되어 있다. The
상기 후방 커버부재(30)는 마스터롤(10)과 일치하는 직경을 갖는 원반 형태로 되어 마스터롤(10)의 후단부에 결합되면서 마스터롤(10)의 중공부(11)의 후단부를 폐쇄한다. 후방 커버부재(30)의 중심부에는 전단부에서부터 후단부로 관통하며 내주면에는 나사산이 형성되어 있는 암나사홀(32)이 형성되어 있다. The
상기 전방 커버부재(20) 및 후방 커버부재(30)는 마스터롤(10)과 개별체로 만들어진 후 마스터롤(10)의 전단부와 후단부 각각에 결합될 수도 있지만, 이와 다르게 마스터롤(10)에 일체형으로 제작될 수도 있다.The
상기 슬리브 지지부재(40)는 마스터롤(10)의 전방부 외측에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되어, 슬리브(S)의 전단부를 지지하여 공기의 누출을 방지하면서 슬리브(S)를 마스터롤(10)에 대해 전후방향으로 상대 이동시킨다. 상기 슬리브 지지부재(40)의 후방면에는 전방에서 후방으로 갈수록 직경이 작아지는 원추형태로 되어 슬리브의 전단부 내측으로 삽입되는 슬리브 가이드(41)가 형성되며, 슬리브 가이드(41)의 외측에 '<' 형태로 홈이 형성된다. 이와 같이 상기 슬리브 가이드(41)의 외주면이 경사지게 형성되며, 슬리브 가이드(41)의 외측에 '<' 형태로 홈이 형성되므로 슬리브(S) 내측에 압축공기가 주입될 때 슬리브(S)가 변형되지 않고 균일하게 팽창하면서 슬리브 지지부재(40)에 의해 안정적으로 지지될 수 있게 된다. The
상기 슬리브 지지부재(40)의 중심부에는 상기 공기주입유닛의 주입부재(51)가 상대 이동이 가능하게 통과하는 마운트홀(42)이 전후방향으로 관통되게 형성된다. In the center of the
상기 공기주입유닛은 상기 슬리브 지지부재(40)의 중심부에 설치되어, 상기 전방 커버부재(20)의 주입구(21)를 통해 슬리브(S)를 팽창시키기 위한 압축공기를 주입함과 더불어, 슬리브(S)의 후방부 내주면을 지지할 수 있도록 구성된다. The air injection unit is installed in the center of the
이 실시예에서 상기 공기주입유닛은 슬리브 지지부재(40) 중심의 마운트홀(42)을 관통하도록 설치되는 주입부재(51)와, 상기 주입부재(51)의 외면에 접었다 펼 수 있게 설치되어 펼쳐졌을 때 슬리브(S)의 내주면을 지지하는 복수의 접이식 서포트바아(60)와, 상기 접이식 서포트바아(60)를 주입부재(51)의 외면에 대해 접거나 펼치는 작동부재를 포함한다.In this embodiment, the air injection unit has an
상기 주입부재(51)는 전후방향으로 연장되는 중공관 형태로 되어 상기 슬리브 지지부재(40) 중심부의 마운트홀(42)에 대해 슬라이딩 가능하게 설치되는 노즐홀더(52)와, 상기 노즐홀더(52)의 중공 부분 내측에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되며 전단부가 외부의 압축공기 공급원과 연결되고 후단부가 노즐홀더(52)의 후단부를 통해 돌출되어 전방 커버부재(20)의 주입구(21) 내측으로 삽입되면서 압축공기를 분사하는 노즐튜브(53)와, 상기 노즐홀더(52)에 대해 상기 노즐튜브(53)에 전방으로 탄성력을 가하면서 노즐튜브(53)를 탄력적으로 지탱하는 노즐스프링(53)을 포함한다.The
상기 노즐튜브(53)는 노즐홀더(52)에 대해 길이방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되며, 내부에 압축공기가 유동하는 유로가 형성되어 있다. 상기 노즐튜브(53)의 후단부는 원추형으로 되어, 도 5a에 도시된 것과 같이 노즐튜브(53)가 전방 커버부재(20)의 주입구(21) 내측으로 삽입된 초기 상태에서는 노즐튜브(53) 끝단의 출구 부분이 측방 배기공(23) 및 후방 배기공(24)과 연통되지만, 도 5b에 도시한 것과 같이 노즐튜브(53)가 노즐홀더(52)에 대해 후방으로 이동하게 되면, 노즐튜브(53) 끝단의 외주면이 주입구(21)의 내측면과 밀착되면서 노즐튜브(53) 끝단의 출구 부분이 오직 후방 배기공(24)과 연통된다. The
상기 접이식 서포트바아(60)는 상기 주입부재(51)의 노즐홀더(52)의 외면에 회전 가능하게 설치되어, 상기 작동부재에 의해 펼쳐졌다 접혀졌다하면서 슬리브(S)의 내주면을 지지하게 된다. 상기 접이식 서포트바아(60)는 노즐홀더(52)의 원주방향을 따라 복수개가 배열된다. The
도 6a 및 도 6b, 도 7a 및 도 7b를 참조하면, 상기 작동부재는, 상기 주입부재(51)의 노즐홀더(52)의 외면에 전후방향으로 이동 가능하게 설치된 제1슬라이드블록(55)과, 상기 제1슬라이드블록(55)의 후방에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되며 상기 접이식 서포트바아(60)의 일단부가 힌지축(56a)을 매개로 회전 가능하게 연결되는 제2슬라이드블록(56)과, 상기 제1슬라이드블록(55)과 제2슬라이드블록(56) 사이에 설치되어 제1슬라이드블록(55)에 대해 제2슬라이드블록(56)에 탄성력을 부여하는 탄성체(57)와, 후단부가 상기 제2슬라이드블록(56)의 후방에서 제1링크축(58a)을 매개로 노즐홀더(52)의 외면에 회전 가능하게 연결되고 전단부가 제2링크축(58b)을 매개로 접이식 서포트바아(60)에 상대 이동 가능하게 연결되는 링크바아(58)와, 상기 제1슬라이드블록(55)이 전방에서 후방으로 이동했을 때 제1슬라이드블록(55)의 위치를 고정하는 위치고정수단을 포함한다. 6A and 6B, and 7A and 7B, the operation member includes a
따라서, 상기 제1슬라이드블록(55)을 전방에서 후방으로 이동시키면, 탄성체(57)가 압축되면서 제2슬라이드블록(56)에 힘이 전달되어 제2슬라이드블록(56)이 후방으로 이동하게 되고, 상기 링크바아(58)에 의해 접이식 서포트바아(60)가 힌지축(56a)을 중심으로 회전하여 펼쳐지게 된다. 이 때 상기 접이식 서포트바아(60)의 끝단부는 슬리브(S)의 후방부의 내주면에 연접하면서 슬리브(S)의 후방부를 지지한다. Therefore, when the
상기 제1슬라이드블록(55)이 후방으로 일정 거리만큼 이동하여 접이식 서포트바아(60)를 펼쳤을 때 위치고정수단은 제1슬라이드블록(55)이 전방으로 이동하지 않게 그 위치에서 고정하는 작용을 한다. When the
이 실시예에서 상기 위치고정수단은 도 7a 및 도 7b에 도시된 것과 같이, 제1슬라이드블록(55)의 전방부 외주면에 돌출되게 형성된 가이드돌기(59)와, 상기 노즐홀더(52)의 전방부에 전방에서 후방으로 연장되다가 90°로 절곡되면서 원주방향으로 연장된 후 다시 90°로 절곡되면서 후방에서 전방으로 일정 거리 연장되게 형성된 가이드홈(59a)을 포함한다. 따라서 제1슬라이드블록(55)을 전방에서 후방으로 이동시키면 가이드돌기(59)가 가이드홈(59a)을 따라 후방으로 이동하다가 가이드홈(59a)의 후단에 걸리면 더 이상 이동하지 않게 된다. 이 때 제1슬라이드블록(55)을 회전시키면 가이드돌기(59)가 다시 가이드홈(59a)을 따라 원주방향으로 이동하다가 가이드홈(59a)의 끝단부에 걸리게 되고, 이어서 상기 탄성체(57)의 탄성력에 의해 제1슬라이드블록(55)이 전방으로 이동하면서 가이드돌기(59)가 가이드홈(59a)의 말단부에 걸려서 위치가 고정된다. In this embodiment, the position fixing means includes a
한편, 상기 공기주입유닛의 주입부재(51)를 통해 마스터롤(10) 내측으로 압축공기가 주입될 때 슬리브(S)의 이동 거리에 따라 마스터롤(10)의 배기공(12)을 전방에서부터 후방으로 순차적으로 개방하거나, 후방에서부터 전방으로 순차적으로 폐쇄하도록 마스터롤(10)의 중공부(11) 내에 제어블록(70)이 길이방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되고, 상기 후방 커버부재(30)에 상기 제어블록(70)의 이동을 제어하는 블록이동부재(72)가 설치된다. On the other hand, when compressed air is injected into the
상기 제어블록(70)은 마스터롤(10)의 중공부(11)의 직경과 대체로 일치하는 직경을 갖는 원반형의 블록으로서, 상기 블록이동부재(72)에 의해 중공부(11) 내에서 전후방향으로 이동하게 된다. The
상기 블록이동부재(72)는 상기 후방 커버부재(30)의 중심부에 형성되어 있는 암나사홀(32)을 관통하도록 설치되며 외면에 상기 암나사홀의 나사산에 나선 결합되는 나사산이 형성되어 있는 스크류샤프트(screw shaft)로 이루어져, 전단부가 상기 제어블록(70)의 후단부에 분리 가능하게 결합된다. 상기 블록이동부재(72)의 후단부에는 핸들(72)이 마련되어 있다. The
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 슬리브 체결 장치를 이용하여 슬리브(S)를 마스터롤(10)에 체결하고 분리하는 방법에 대해 상세히 설명한다.A method of fastening and separating the sleeve S to the
먼저 도 8a 내지 도 8f를 참조하여 슬리브(S)를 마스터롤(10)의 외면에 체결하는 방법에 대해 설명한다.First, a method of fastening the sleeve S to the outer surface of the
도 8a에 도시한 것과 같이 슬리브 지지부재(40)의 슬리브 가이드(41)의 외측 홈 부분에 슬리브(S)의 전단부를 밀착시켜 지지한다. 그리고 주입부재(51) 외측의 접이식 서포트바아(60)를 펼쳐서 접이식 서포트바아(60)의 끝단부를 슬리브(S)의 내주면에 연접시켜 슬리브(S)를 지지한다. As shown in FIG. 8A, the front end of the sleeve S is in close contact with the outer groove portion of the
이어서 도 8b에 도시한 것과 같이 상기 슬리브 지지부재(40)를 마스터롤(10) 쪽으로 이동시켜 슬리브(S)의 후단부를 전방 커버부재(20)의 외주면에 밀착시킨다. Subsequently, as shown in FIG. 8B, the
그런 다음 공기주입유닛의 노즐튜브(53)를 통해 전방 커버부재(20)의 주입구(21)로 압축공기를 공급하면, 도 8c에 도시한 것과 같이 전방 커버부재(20)의 측방 배기공(23)을 통해 압축공기가 배출되면서 슬리브(S) 내측에 압축공기가 채워지고 슬리브(S)가 팽창하게 된다. 이 때 공기주입유닛의 작동부재를 작동시켜 접이식 서포트바아(60)를 접는다. Then, when compressed air is supplied to the
상기 슬리브(S)가 팽창되면 도 8d에 도시한 것과 같이 슬리브 지지부재(40)를 후방으로 서서히 이동시켜 슬리브(S)의 내측에 마스터롤(10)이 전방에서부터 서서히 삽입되도록 한다. 이 때 슬리브(S)는 압축공기에 의해 팽창되어 있는 상태이므로 슬리브(S)와 마스터롤(10) 간에 마찰력이 거의 발생하지 않게 된다. When the sleeve S is expanded, the
이와 같이 슬리브 지지부재(40)를 후방으로 이동시키면서 슬리브(S)를 후방으로 이동시킬 때, 블록이동부재(72)를 회전시켜 제어블록(70)을 후방으로 점차적으로 이동시킨다. 상기 제어블록(70)이 마스터롤(10)의 중공부(11) 내에서 후방으로 이동함에 따라 마스터롤(10)의 배기공(12)은 전방에서부터 순차적으로 개방되어 노즐튜브(53)를 통해 주입구(21) 내측으로 공급되는 압축공기가 낭비되지 않고 슬리브(S) 내측으로 원활하게 공급될 수 있게 된다. 만약 제어블록(70)이 없다면 마스터롤(10) 내부로 공급되는 압축공기가 슬리브(S)가 끼워지지 않은 후방부의 배기공(12)을 통해서도 배출되므로 압축공기가 낭비되고 슬리브(S) 팽창이 원활하게 이루어지지 않게 되는 결과를 초래하지만, 본 발명에 따르면 상기 제어블록(70)이 슬리브(S)의 이동 거리에 맞추어 후방으로 이동하면서 마스터롤(10)의 배기공(12)을 전방에서부터 순차적으로 개방하므로 공기주입유닛의 노즐튜브(53)를 통해 제공되는 압축공기의 대부분을 슬리브(S) 내측으로 공급할 수 있게 된다. In this way, when moving the sleeve S to the rear while moving the
도 8e에 도시한 것과 같이 전방 커버부재(20)의 측방 배기공(23)과 마스터롤(10)의 배기공(12)을 통해 공기를 배출시켜 슬리브(S)를 팽창시키면서 슬리브 지지부재(40)를 후방으로 이동시키고, 슬리브(S)가 마스터롤(10)의 외측에 완전히 정렬되면, 블록이동부재(72)를 후방 커버부재(30)에서 분리하고, 상기 공기주입유닛을 통한 압축공기의 공급을 중단하면 슬리브(S)가 수축되면서 마스터롤(10)의 외면에 완전히 밀착된다. As shown in Figure 8e, the
그리고, 도 8f에 도시한 것처럼 상기 슬리브 지지부재(40)와 공기주입유닛을 전방으로 이동시켜 공기주입유닛을 전방 커버부재(20)에서 분리하면 슬리브(S)의 체결이 종료된다. Further, as shown in FIG. 8F, when the
다음으로, 도 9a 내지 도 9f를 참조하여 상기 마스터롤(10)에 장착된 슬리브(S)를 마스터롤(10)에서 분리하는 방법에 대해 설명한다. Next, a method of separating the sleeve S mounted on the
도 9a 및 도 9b에 도시한 것과 같이, 슬리브 지지부재(40)와 공기주입유닛을 전방으로 이동시켜 공기주입유닛의 노즐튜브(53) 후단부를 전방 커버부재(20)의 주입구(21)에 밀착시킨다. 이 때 노즐튜브(53)를 노즐홀더(52)의 후방으로 일정 거리 이동시켜 노즐튜브(53)의 출구 부분을 전방 커버부재(20)의 후방 배기공(24)에만 연통되게 한다. 그리고 블록이동부재(72)를 후방 커버부재(30)의 암나사홀(32)에 결합시키고 제어블록(70)의 후방면에 밀착시킨다. 9A and 9B, by moving the
이어서 공기주입유닛의 노즐튜브(53)를 통해 공기를 주입하면, 압축공기는 후방 배기공(24)만을 통해서 마스터롤(10)의 중공부(11) 내부로 주입된 다음, 배기공(12)을 통해 외부로 배출되면서 마스터롤(10) 외면에 장착된 슬리브(S)를 팽창시킨다. Subsequently, when air is injected through the
이와 같이 슬리브(S)가 팽창하면, 도 9c에 도시한 것과 같이 작업자 또는 별도의 로봇이 팽창된 슬리브(S)를 파지하여 전방으로 이동시켜 슬리브(S)의 전단부를 슬리브 지지부재(40)에 밀착시킨다. When the sleeve (S) is expanded in this way, as shown in FIG. 9C, an operator or a separate robot grasps the expanded sleeve (S) and moves it forward, so that the front end of the sleeve (S) is attached to the sleeve support member (40). Make it close.
그리고 슬리브(S)의 후단부가 마스터롤(10)의 전단부 외측으로 완전히 이탈할 때까지 상기 슬리브 지지부재(40)를 전방으로 이동시키면서 슬리브(S)를 전방으로 이동시킨다. Then, the sleeve S is moved forward while moving the
상기 슬리브(S)를 팽창시켜 전방으로 이동시킬 때, 블록이동부재(72)를 조이는 방향으로 돌리면 블록이동부재(72)가 후방 커버부재(30)에 대해 전진하면서 제어블록(70)이 마스터롤(10)의 중공부(11) 내측에서 서서히 전진하여 배기공(12)을 후방에서부터 순차적으로 폐쇄하게 된다. When the sleeve (S) is expanded and moved forward, when the block moving member (72) is rotated in a tightening direction, the block moving member (72) moves forward with respect to the rear cover member (30), and the control block (70) is moved to the master roll. It gradually advances from the inside of the
도 9d에 도시한 것과 같이 슬리브(S)의 후단부가 마스터롤(10)의 전단부에서 이탈하여 전방 커버부재(20)의 외주면에 도달하게 되면, 노즐튜브(53)를 전방으로 이동시켜 노즐튜브(53)의 출구 부분이 측방 배기공(23)과 연통되게 하면, 전방 커버부재(20)의 외면을 통해 압축공기가 공급되어 슬리브(S)의 팽창 상태가 그대로 유지될 수 있다. As shown in Fig. 9d, when the rear end of the sleeve S is separated from the front end of the
이 때, 도 9e에 도시한 것과 같이 공기주입유닛의 작동부재의 제1슬라이드블록(55)을 후진시키면 접이식 서포트바아(60)가 펼쳐지면서 접이식 서포트바아(60)의 끝단부가 슬리브(S)의 내주면에 연접하면서 지지된다. 따라서 이 상태에서 공기주입유닛을 통한 압축공기의 공급을 중단하면 슬리브(S)가 수축되고, 도 9f에 도시한 것과 같이 수축된 슬리브(S)는 슬리브 지지부재(40) 및 접이식 서포트바아(60)에 의해 지지된 상태로 전방 커버부재(20)의 전방으로 이동하여 완전히 분리된다. At this time, as shown in Fig. 9e, when the
전술한 것과 같이 본 발명에 따르면, 슬리브(S) 내측으로 압축공기를 공급하여 슬리브(S)를 팽창시켜 마스터롤(10)에 마찰없이 쉽게 체결하거나 마스터롤(10)에서 쉽게 분리할 수 있다. As described above, according to the present invention, compressed air is supplied to the inside of the sleeve (S) to expand the sleeve (S) so that it can be easily fastened to the
또한 슬리브(S) 내측으로 압축공기를 공급하여 팽창시키는 과정에서 슬리브(S)의 이동 거리에 맞추어 슬리브(S) 내측으로 압축공기를 공급할 수 있으므로 슬리브(S)의 체결 작업에 요구되는 에너지 소비량을 절감할 수 있으며, 원활하고 효율적인 체결 및 분리 작업을 수행할 수 있다. In addition, in the process of supplying compressed air to the inside of the sleeve (S) and expanding it, compressed air can be supplied to the inside of the sleeve (S) according to the moving distance of the sleeve (S), so the energy consumption required for the fastening of the sleeve (S) can be reduced. You can save, and you can perform smooth and efficient fastening and separation work.
이상에서 본 발명은 실시예를 참조하여 상세히 설명되었으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기에서 설명된 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 부가 및 변형이 가능할 것임은 당연하며, 이와 같은 변형된 실시 형태들 역시 아래에 첨부한 특허청구범위에 의하여 정하여지는 본 발명의 보호 범위에 속하는 것으로 이해되어야 할 것이다.In the above, the present invention has been described in detail with reference to the embodiments, but those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to make various substitutions, additions, and modifications within the scope not departing from the technical idea described above. It is natural, and it should be understood that such modified embodiments also belong to the protection scope of the present invention defined by the appended claims below.
S : 슬리브(sleeve) 10 : 마스터롤
11 : 중공부 12 : 배기공
20 : 전방 커버부재 21 : 주입구
22 : 폐쇄부 23 : 측방 배기공
24 : 후방 배기공 30 : 후방 커버부재
32 : 암나사홀 40 : 슬리브 지지부재
41 : 슬리브 가이드 51 : 주입부재
52 : 노즐홀더 53 : 노즐튜브
54 : 노즐스프링 55 : 제1슬라이드블록
56 : 제2슬라이드블록 57 : 탄성체
58 : 링크바아 59 : 가이드돌기
59a : 가이드홈 60 : 접이식 서포트바아
70 : 제어블록 71 : 블록이동부재
72 : 핸들S: sleeve 10: master roll
11: hollow part 12: exhaust hole
20: front cover member 21: injection port
22: closed portion 23: side exhaust hole
24: rear exhaust hole 30: rear cover member
32: female thread hole 40: sleeve support member
41: sleeve guide 51: injection member
52: nozzle holder 53: nozzle tube
54: nozzle spring 55: first slide block
56: second slide block 57: elastic body
58: link bar 59: guide protrusion
59a: guide groove 60: foldable support bar
70: control block 71: block moving member
72: handle
Claims (12)
상기 마스터롤의 전단부를 폐쇄하도록 설치되며, 압축공기가 주입되는 주입구와 상기 주입구와 연통되어 압축공기를 외부와 마스터롤의 내부로 배출하는 복수의 배기공이 형성되어 있는 전방 커버부재;
상기 마스터롤의 후단부를 폐쇄하도록 설치되는 후방 커버부재;
마스터롤의 전방부 외측에 설치되고, 슬리브의 전단부와 연접하면서 슬리브를 마스터롤에 대해 전후방향으로 상대 이동 가능하게 지지하는 슬리브 지지부재;
상기 슬리브 지지부재에 설치되며, 상기 전방 커버부재의 주입구를 통해 슬리브를 팽창시키기 위한 압축공기를 주입하는 공기주입유닛;
상기 마스터롤의 중공부 내에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 배기공을 전방에서부터 후방으로 순차적으로 개방하거나, 후방에서부터 전방으로 순차적으로 폐쇄하는 제어블록; 및,
상기 후방 커버부재를 관통하여 상기 제어블록과 연결되도록 설치되어 상기 제어블록을 전후방향으로 이동시키는 블록이동부재;
를 포함하는 패턴 성형 롤의 이음매 없는 슬리브 체결 장치.A master roll made of a cylindrical body in which a hollow portion extending from the front end to the rear end is formed, and a plurality of exhaust holes penetrating from the hollow portion to the outer surface are arranged;
A front cover member installed to close the front end of the master roll and having an injection port through which compressed air is injected and a plurality of exhaust holes communicating with the injection port to discharge compressed air to the outside and the inside of the master roll;
A rear cover member installed to close the rear end of the master roll;
A sleeve support member installed outside the front portion of the master roll and supporting the sleeve in a relative movement in the front and rear direction with respect to the master roll while being connected to the front end portion of the sleeve;
An air injection unit installed on the sleeve support member and injecting compressed air for expanding the sleeve through an injection port of the front cover member;
A control block installed in the hollow portion of the master roll to be movable in a front-rear direction to sequentially open the exhaust hole from front to rear or to sequentially close from rear to front; And,
A block moving member that penetrates the rear cover member and is installed to be connected to the control block to move the control block in a forward and backward direction;
Seamless sleeve fastening device of a pattern forming roll comprising a.
(S1) 슬리브 지지부재에 슬리브의 전단부를 밀착시켜 지지하는 단계;
(S2) 상기 슬리브 지지부재를 마스터롤 쪽으로 이동시켜 슬리브의 후단부가 전방 커버부재의 외주면에 밀착시키는 단계;
(S3) 상기 공기주입유닛을 통해 전방 커버부재의 주입구로 압축공기를 공급하는 단계;
(S4) 상기 전방 커버부재의 배기공과 마스터롤의 배기공을 통해 공기를 배출시켜 슬리브를 팽창시키면서 슬리브 지지부재를 후방으로 이동시켜 슬리브를 마스터롤의 외측에 정렬하는 단계;
(S5) 상기 슬리브의 전단부가 마스터롤의 전단부와 일치되게 정렬되면, 상기 공기주입유닛을 통한 압축공기의 공급을 중단하여 슬리브를 수축시키는 단계; 및,
(S6) 상기 슬리브 지지부재와 공기주입유닛을 전방으로 이동시켜 공기주입유닛을 전방 커버부재에서 분리하는 단계;
를 포함하고,
상기 (S4) 단계에서는 상기 슬리브를 후방으로 이동시킬 때 상기 마스터롤의 중공부 내부에서 제어블록을 전방에서 후방으로 이동시키면서 배기공을 전방에서 후방으로 순차적으로 개방하여 슬리브의 내측 공간으로 압축공기를 분사하는 패턴 성형 롤의 이음매 없는 슬리브 체결 방법.As a sleeve fastening method using the sleeve fastening device according to any one of claims 1 and 3 to 8,
(S1) supporting the front end of the sleeve in close contact with the sleeve support member;
(S2) moving the sleeve support member toward the master roll so that the rear end of the sleeve is in close contact with the outer peripheral surface of the front cover member;
(S3) supplying compressed air to an injection port of the front cover member through the air injection unit;
(S4) discharging air through the exhaust hole of the front cover member and the exhaust hole of the master roll to expand the sleeve while moving the sleeve support member to the rear to align the sleeve to the outside of the master roll;
(S5) when the front end of the sleeve is aligned with the front end of the master roll, stopping the supply of compressed air through the air injection unit to contract the sleeve; And,
(S6) separating the air injection unit from the front cover member by moving the sleeve support member and the air injection unit forward;
Including,
In the step (S4), when moving the sleeve to the rear, the control block is moved from the front to the rear inside the hollow part of the master roll, and the exhaust holes are sequentially opened from the front to the rear to blow compressed air into the inner space of the sleeve A method of fastening seamless sleeves for spraying pattern forming rolls.
(S7) 상기 슬리브 지지부재와 공기주입유닛을 전방으로 이동시켜 공기주입유닛을 전방 커버부재의 주입구에 밀착시키는 단계;
(S8) 상기 공기주입유닛을 통해 마스터롤 내부로 압축공기를 주입하는 단계;
(S9) 상기 마스터롤의 배기공을 통해 압축공기를 배출하여 슬리브를 팽창시키면서 전방으로 이동시켜 슬리브의 전단부를 슬리브 지지부재에 밀착시키는 단계;
(S10) 슬리브의 후단부가 마스터롤의 전단부 외측으로 완전히 이탈할 때까지 상기 슬리브 지지부재를 전방으로 이동시켜 슬리브를 전방으로 이동시키는 단계;
를 수행하는 패턴 성형 롤의 이음매 없는 슬리브 체결 방법.The method of claim 9, wherein when the sleeve is to be separated from the master roll after step (S6),
(S7) moving the sleeve support member and the air injection unit forward so that the air injection unit is in close contact with the inlet of the front cover member;
(S8) injecting compressed air into the master roll through the air injection unit;
(S9) discharging compressed air through the exhaust hole of the master roll and moving the sleeve forward while expanding the sleeve to intimately contact the front end of the sleeve with the sleeve support member;
(S10) moving the sleeve forward by moving the sleeve support member forward until the rear end of the sleeve is completely separated from the front end of the master roll;
A seamless sleeve fastening method of a pattern forming roll to perform.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190028282A KR102190980B1 (en) | 2019-03-12 | 2019-03-12 | Apparatus And Method for Fastening Seamless Sleeve on Pattern Forming Roll |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20200109426A KR20200109426A (en) | 2020-09-23 |
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---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102190980B1 (en) |
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2019
- 2019-03-12 KR KR1020190028282A patent/KR102190980B1/en active IP Right Grant
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