KR102185110B1 - 오존수 분해장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 오존수 분해 시스템은 하우징; 상기 하우징내에 배치되어 오존수가 유입되어 분해되는, 다수의 분해 탱크부가 다단계로 직렬로 직접 연결되어 일체형으로 구성되는 분해 탱크; 상기 분해 탱크의 상기 다수의 분해 탱크부에 대응하여, 상기 하우징내에 배열되는 다수의 오존수 분해부; 상기 다수의 분해 탱크부와 상기 다수의 오존수 분해부사이에 설치된 다수의 램프 윈도우; 및 상기 분해 탱크에 대응하여 상기 하우징내에 배열되어, 상기 분해 탱크로부터 배출되는 분해된 오존수를 저장하는 버퍼 탱크를 구비한다.
Description
본 발명은 오존수 분해 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다수의 오존수 분해탱크를 일체형으로 구성하여 오존수 분해능을 향상시킴과 동시에 장치 구성을 단순화할 수 있는 오존수 분해 장치 및 이를 구비한 오존수 분해 시스템에 관한 것이다.
근래에 디스플레이 산업 및 반도체 산업에서의 기술이 비약적으로 발전함에 따라 초정밀 세정 기술에 대한 수요도 따라서 증가하고 있다. 디스플레이 소자와 반도체 소자는 증착 공정, 식각 공정 등 다수의 공정을 통해 제조되는데, 이러한 소자는 미세 공정을 통해 형성되므로, 각 공정 단계마다 파티클을 제거하기 위한 기판 세정 공정을 수행할 필요가 있다.
일반적으로, 식각 공정 등에 사용되는 유기물질인 포토 레지스트 잔여물을 제거하는 데 오존수를 사용한다. 세정 공정후 남아있는 폐오존수에는 불소(fluoride) 계열의 물질이 섞여 있어 문제가 된다. 종래에는 이러한 오존수를 오존수 분해 장치를 이용하여 분해하였다.
종래의 분해 장치는 오존수를 분해하기 위해 UV를 사용하는데, UV는 파장이 짧아서 분해 탱크의 재질에 제한이 있으며, 또한 수은등을 이용하여 UV를 조사하는 경우 수은등의 사용에 따른 환경적인 오염 등의 문제점이 있었다.
본 발명은 다수의 오존수 분해탱크를 일체형으로 구성하여 오존수 분해능을 향상시킴과 동시에 장치 구성을 단순화할 수 있는 오존수 분해 장치 및 이를 구비한 오존수 분해 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명은 다양한 파장의 광을 방출할 수 있는 LED 램프를 이용하여 오존수를 분해함으로써, 다양한 재질의 분해 탱크를 사용할 수 있는 오존수 분해 장치 및 이를 구비한 오존수 분해 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명은 오존수 분해를 위해 LED 램프를 사용하므로, 환경 오염을 초래하지 않고 오존수를 분해할 수 있는 오존수 분해 장치 및 이를 구비한 오존수 분해 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명은 저가의 고성능 오존수 분해 장치 및 이를 구비한 오존수 분해 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다
본 발명은 오존수가 분해되는 분해 탱크 또는 오존수가 저장되는 저장 탱크에 히터를 설치하여 오존수 분해를 신속하게 처리하여 분해능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 분해 시간을 단축시킬 수 있는 오존수 분해 장치 및 이를 구비한 오존수 분해 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 오존수 분해 장치는 오존수가 유입되어 분해되는 분해 탱크; 상기 분해 탱크에 배열되어, 상기 분해 탱크내의 오존수 분해를 위한 광을 방출하는 오존수 분해부; 및 상기 분해 탱크와 상기 오존수 분해부사이에 설치되어, 상기 오존수 분해부로부터 방출된 광을 상기 분해 탱크내의 오존수로 투과시켜 주는 램프 윈도우를 구비하되, 상기 분해 탱크는 다수의 분해 탱크부가 다단계로 직렬로 직접 연결되어 일체형으로 구성되고, 상기 오존수 분해부와 상기 램프 윈도우는 각각의 분해 탱크부에 대응하여 배열될 수 있다.
본 발명의 오존수 분해 시스템은 하우징; 상기 하우징내에 배치되어 오존수가 유입되어 분해되는, 다수의 분해 탱크부가 다단계로 직렬로 직접 연결되어 일체형으로 구성되는 분해 탱크; 상기 분해 탱크의 상기 다수의 분해 탱크부에 대응하여, 상기 하우징내에 배열되는 다수의 오존수 분해부; 상기 다수의 분해 탱크부와 상기 다수의 오존수 분해부사이에 설치된 다수의 램프 윈도우; 및 상기 분해 탱크에 대응하여 상기 하우징내에 배열되어, 상기 분해 탱크로부터 배출되는 분해된 오존수를 저장하는 버퍼 탱크를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 다수의 오존수 분해탱크를 일체형으로 구성하여 오존수를 다단계로 분해하여 줌으로써 분해능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 장치 구성을 단순화할 수 있다.
또한, 오존수를 분해하기 위한 광으로 종래의 수은등 대신에 다양한 파장을 방출할 수 있는 LED 램프를 사용함으로써, 오존수 분해 탱크의 재질을 자유로이 선택할 수 있어 저가의 분해탱크를 구성할 수 있을 뿐만 아니라 환경 오염 문제를 해결할 수 있다.
게다가, 분해 탱크나 버퍼 탱크 등에 오존수 분해를 촉진시켜 주기 위한 히터를 설치하여 오존수를 신속하게 처리하여 줄 수 있으며, 이에 따라 생산성을 향상시켜 줄 수 있다. 이와 같이 저가의 고성능 오존 분해 장치 및 분해 시스템을 반도체 제조공정 및 디스플레이 제조 공정 등에 적용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 오존수 공급관에 히터가 설치된 오존수 분해 장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 분해 탱크에 히터가 설치된 오존수 분해 장치를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 시스템의 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 오존수 공급관에 히터가 설치된 오존수 분해 장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 분해 탱크에 히터가 설치된 오존수 분해 장치를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 시스템의 구성을 도시한 도면이다.
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 장치의 구성을 도시한 도면이다. 도 1의 단면도를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 장치(100)는 오존수가 오존수 유입구(117)를 통해 유입되고 그의 내부에서 유입된 오존수가 분해되어 오존수 배출구(119)를 통해 배출할 수 있는 분해 탱크(110)를 포함할 수 있다. 상기 분해 탱크(110)는 다수의 분해 탱크부(111, 115)로 이루어져, 다단계의 직렬 형태로 직접적으로 연결될 수 있다. 본 발명의 실시예에서는, 상기 분해 탱크(110)에 2개의 분해 탱크부(111, 115)가 배열되는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것이 아니라 반도체 세정 장치의 구성에 따라 2개 이상 배열될 수 있다.
상기 다수의 분해 탱크부(111, 115)중 첫단의 분해 탱크부(111)에는 유입구(117)를 통해 오존수가 유입되고, 첫단의 분해 탱크부(111)의 배출구와 다음 단의 분해 탱크부의 오존수 유입구는 직접적으로 연통되어 첫단의 분해 탱크부(111)에서 배출되는 오존수가 다음 단의 분해 탱크부로 직접 유입될 수 있다. 상기 다수의 분해 탱크부(111, 115)중 마지막 단의 분해 탱크부(115)의 유입구와 전단의 분해 탱크부의 오존수 배출구는 직접적으로 연통되어 전단의 분해 탱크부에서 배출되는 오존수가 마지막 단의 분해 탱크부(115)로 직접 유입될 수 있다. 마지막 단의 분해 탱크부(115)는 오존수를 최종적으로 분해하여 오존수 배출구(119)를 통해 배출할 수 있다. 이러한 방식을 통해, 전단의 오존수 배입구와 다음 단의 오존수 유입구가 직접적으로 연통되는 다수의 분해 탱크부(111, 115)를 구비하는 상기 분해 탱크(100)는 연속적으로 단계적으로 오존수를 분해할 수 있다.
상기 분해 탱크부(111, 115) 각각은 내측으로 길게 형성된 홈을 구비하여, 단면 구조가, 예를 들어 "ㄷ" 자 형태를 가질 수 있다. 상기 분해 탱크(110)의 분해 탱크부(111, 115)는 예를 들어, 수지로 이루어질 수 있으나, 이에 반드시 한정되는 것은 아니다. 한편, 상기 분해 탱크부(111, 115) 각각에는 다수의 격벽(113)이 형성될 수 있다. 상기 격벽(113)의 배치에 따라, 상기 분해 탱크부(111, 115)내의 오존수가 원할하게 흐를 수 있게 해 줄 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 장치(100)는 상기 분해 탱크부(111, 115)의 홈 각각에 배치되는 상기 분해 탱크부(111, 115)의 오존수 분해를 위한 광을 방출하기 위한 오존수 분해부(120)를 더 포함할 수 있다. 상기 오존수 분해부(120)는 LED(light emitting diode) 램프를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 장치(100)는 상기 분해 탱크부(111, 115)의 상기 홈 부분에 상기 오존수 분해부(120)의 상기 LED 램프에 대응하여 배치되는 램프 윈도우(130)를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 램프 윈도우(130)는 상기 오존수 분해부(120)의 상기 LED 램프를 둘러싸도록 상기 홈에 배치될 수 있다. 상기 램프 윈도우(130)는 상기 오존수 분해부(120)의 상기 LED 램프로부터 방출되는 광을 통과시켜, 상기 분해 탱크부(111, 115)내의 오존수로 투과시켜 줄 수 있다. 따라서, 상기 램프 윈도우(130)는 상기 오존수 분해부(120)로 부터 방출되는 광을 투과시켜 줄 수 있는 물질로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 램프 윈도우(130)는 상기 오존수 분해부(120)로부터 방출되는 광의 파장(예를 들어, 200 내지 350 nm)에 따라 다양한 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 램프 윈도우(130)는 석영(Quartz)로 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 장치(100)는 상기 분해 탱크(110)가 다단의 분해 탱크부(111, 115)로 이루어지고, 각각의 분해 탱크부(111, 115)의 홈에 각각 오존수 분해부(120)가 배치되므로, 오존수 분해 면적을 증가시켜 줄 수 있으므로, 오존수 분해능을 향상시켜 줄 수 있을 뿐만 아니라 오존수 분해에 소요되는 시간을 단축시켜 줄 수 있다. 또한, 다수의 분해 탱크부(111, 115)가 일체형으로 형성되어 분해능을 향상시켜 줄 수 있으므로, 장치 구성을 단순화할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 장치(100)는 상기 분해 탱크(110)의 오존수가 유입되는 오존수 유입구(117)에 연결되어 오존수를 상기 분해 탱크(110)로 공급하기 위한 공급관(140) 및 오존수가 배출되는 오존수 배출구(119)에 연결되어 상기 분해 탱크(110)로부터 분해된 오존수를 도 4의 오존수 분해 시스템의 버퍼 탱크(200)로 배출하기 위한 배출관(150)을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 장치(100)는 오존수의 분해를 촉진시켜 주기 위한 히터(160, 170)를 더 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 히터(160)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 오존수 공급관(140)의 외관에 설치될 수 있다. 상기 히터(160)는 상기 오존수 공급관(140)의 외관에 코일 형태로 감겨질 수도 있다. 한편, 상기 히터(160)는 상기 오존수 공급관(140)의 외관 전체 또는 일부에 판 또는 바 형태로 코팅되거나 부착될 수 있다.
다른 예로, 상기 히터(170)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 분해 탱크(110)의 외관에 부착 또는 설치될 수 있다. 상기 히터(170)는 상기 분해 탱크(110)의 외관 전체 또는 일부에 판상형태 또는 바 형태로 코팅 또는 부착될 수 있다. 한편, 상기 히터(170)는 상기 분해 탱크(110)의 외관에 코일 형태로 설치될 수도 있다. 또한, 상기 히터(170)는 상기 분해 탱크(110)의 내부, 즉 상기 다수의 분해 탱크부(111, 115)에 설치될 수도 있다.
도 2 및 도 3에는 상기 히터(160, 170)가 공급관(140) 및 분해 탱크(110)의 외관에 판상 또는 코일 형태로 설치되는 것을 도시하였으나, 이에 반드시 한정되는 것이 아니라 상기 히터(160, 170)는 오존수의 분해를 촉진시킬 수 있는 위치에 다양한 형태로 설치될 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 시스템(300)의 구성을 도시한 도면이다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 오존수 분해 시스템(300)은 하우징(310) 및 상기 하우징(310)내에 배치되는 분해 탱크(100)와 버퍼 탱크(200)를 구비할 수 있다. 상기 오존수 분해 장치(100)는 도 1에 도시된 오존수 분해 장치(100)와 동일한 구성을 가질 수 있다. 상기 오존수 분해 장치(100)는 다수의 분해 탱크부(111, 115)가 일체형으로 구성되어 유입되는 오존수가 분해되는 분해 탱크(110), 상기 분해 탱크내의 오존수를 분해하기 위한 LED램프로 구성된 오존수 분해부(120) 및 상기 분해 탱크(110)와 상기 오존수 분해부(120)사이에 설치되어, 상기 오존수 분해부(120)의 LED 램프로부터 방출된 광을 상기 분해 탱크내의 오존수로 투과시켜 주기 위한 램프 윈도우(130)를 구비할 수 있다.
상기 분해 탱크(110)의 오존수 유입구(117)에는 상기 분해 탱크(110)로의 오존수 공급을 위한 오존수 공급관(140)이 배열되고, 오존수 배출구(119)에는 상기 분해 탱크(110)내의 오존수 배출을 위한 배출관(150)이 배열될 수 있다. 또한, 오존수 분해 장치(100)에는 도 2와 3에서 설명한 바와 같이 오존수 분해를 촉진시켜 주기 위한 히터(160, 170)가 더 배열될 수 있다.
도면에는 도시되지 않았으나, 오존수 배출관(150)에도 히터가 더 설치되어, 상기 분해 탱크(110)로부터 배출되는 액체내에 미분해된 오존수를 더 분해시켜 줄 수도 있다. 또한, 오존수 공급관(140)에는 상기 분해 탱크(110)로의 오존수 공급을 체크하기 위한 체크 밸브가 더 배열될 수 있다.
상기 버퍼 탱크(200)는 상기 오존수 분해 장치(l00)로부터 배출관(150)을 통해 배출되는 액체를 보관하기 위한 것으로서, 상기 버퍼 탱크(200)내의 액체(270)속에 포함된 미분해된 오존수가 상기 버퍼 탱크(200)내에서 추가로 분해될 수 있다.
상기 버퍼 탱크(200)에는 상기 버퍼 탱크(200)의 상태를 감지하기 위한 다수의 센서, 예를 들어 버퍼 탱크(200)내 액체의 오버 플로우 감지하는 센서(211), 배수 상태를 체크하기 위한 센서(213), 안전 상태를 체크하기 위한 센서(215) 등이 배치될 수 있다.
또한, 상기 오존수 분해 시스템(300)은 상기 버퍼 탱크(200)내의 액체(270)를 배출시켜 주기 위한 배수 펌프(220) 및 배수관(230)을 더 포함할 수 있다. 상기 분해 탱크(110)로부터 공급되어 버퍼 탱크(200)내에 저장되어 있던 액체(270)는 일정 시간이 경과하거나, 또는 상기 버퍼 탱크(200)내의 저장된 액체의 오버 플로우를 감지하는 상기 센서(211)의 감지 결과에 따라 상기 배수 펌프(220)에 의해 상기 배수관(230)을 통해 외부로 배출시켜 줄 수 있다.
또한, 상기 오존수 분해 시스템(300)은 상기 버퍼 탱크(200)내의 오존수 분해에 따라 발생된 개스를 배기시켜 주기 위한 배기관(240)을 더 포함할 수 있다. 상기 배기관(240)에는 배기관(240)을 통해 배출되는 기체중 오존의 분해를 촉진시켜 주기 위한 히터(260)가 더 배치될 수 있다. 상기 히터(260)는 도 2 및 도 3에 도시된 히터(160, 170)과 마찬가지로, 상기 배기관(230)을 감싸도록 코일 형태로 배치되거나 또는 판상이나 바 형태로 배치될 수도 있다.
또한, 상기 버퍼 탱크(200)내에도 버퍼 탱크(200)내의 미분해된 오존수를 추가로 분해시켜 주기 위한 히터(250)가 더 배치될 수 있다. 상기 히터(250)도 도 2 및 도 3에 도시된 히터(160, 170)과 마찬가지로, 상기 버퍼 탱크(200)내에 코일 형태 또는 판상이나 바 형태로 배치될 수 있다. 상기 히터(250)는 버퍼 탱크(200)의 외관에 판상 또는 코일 형태로 설치될 수도 있다.
또한, 상기 오존수 분해 시스템(300)은 시스템을 제어하기 위한 콘트롤러(320)를 더 포함할 수 있다. 상기 콘트롤러(320)는 상기 분해 탱크(110)내로 유입되는 오존수의 공급을 콘트롤하거나, 상기 센서(211, 213, 215)의 감지 결과에 따라 시스템을 콘트롤하는 등의 제어 동작을 수행할 수 있다. 예를 들어, 상기 콘트롤러(320)는 상기 센서의 감지 결과에 따라서 상기 버퍼 탱크(200)내에 저장된 분해된 오존수가 상기 배수관(240)을 통해 배출되거나 또는 일정 시간마다 상기 버퍼 탱크(200)내에 저장된 분해된 오존수가 상기 배수관(240)을 통해 배출되도록 제어할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 상기 오존수 분해 시스템(300)은 분해 탱크(100)가 다단의 분해 탱크부(111, 115)가 일체형으로 형성되어 장치 구성을 단순화하고 오존수 분해능을 향상시키고 오존수 분해에 소요되는 시간을 단축시켜 줄 수 있다.
예를 들어, 세정 장치가 12개의 챔버로 구성되고, 상기 분해 탱크가 3개의 챔버로 부터 공급되는 오존수를 분해할 수 있는 용량을 갖는다고 가정하면, 종래의 경우, 3개의 챔버당 하나의 분해 탱크를 배치되고, 각 분해 탱크마다 버퍼 탱크가 배열되어 오존수 분해 시스템은 4개의 분해 탱크와 4개의 버퍼 탱크를 구비하여야 한다. 반면에, 본 발명의 실시예에서와 같이 분해 탱크(110)가 다단의 분해 탱크부(111, 115)가 일체형으로 구성되는 경우, 오존수 분해 시스템(300)은 2개의 분해 탱크(110)와 2개의 버퍼 탱크(200)를 구비하여 한다. 따라서, 종래에 비하여 장치 구성을 단순화할 수 있다,
또한, 다단의 분해 탱크부(111, 115)로 구성된 분해 탱크(110)를 통해 오존수가 단계적으로 연속적으로 분해될 뿐만 아니라 분해 탱크나 버퍼 탱크에 설치된 히터에 의해 오존수 분해 속도를 증가시킬 수 있으므로, 오존수의 분해능을 향상시킬 수 있으며 오존수 분해에 필요한 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 상기 오존수 분해 시스템(300)은 오존수 분해를 위한 광원으로서 LED 램프를 사용하므로, 환경적인 문제를 해결할 수 있을 뿐만 아니라 LED 램프의 사용에 따라 램프 윈도우를 구성하는 물질에 제약이 없으므로, 저가의 분해 장치를 구성할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 오존수 분해 장치 300: 오존수 분해 시스템
110: 분해 탱크 120: 오존수 분해부
130: 램프 윈도우 140: 공급관
150: 배출관 160, 170, 240, 250: 히터
200: 버퍼 탱크 220: 배수 펌프
230: 배수관 240: 배기관
211, 213, 215: 센서 310: 하우징
320: 콘트롤러
110: 분해 탱크 120: 오존수 분해부
130: 램프 윈도우 140: 공급관
150: 배출관 160, 170, 240, 250: 히터
200: 버퍼 탱크 220: 배수 펌프
230: 배수관 240: 배기관
211, 213, 215: 센서 310: 하우징
320: 콘트롤러
Claims (15)
- 오존수가 유입되는 오존수 유입구와 상기 오존수가 배출되는 오존수 배출구;
상기 오존수 유입구와 상기 오존수 배출구사이에 연결되고, 각각 유입구와 배출구를 구비하여 상기 오존수를 분해하는 복수의 분해 탱크부를 포함하는 분해 탱크;
상기 복수의 분해 탱크부 각각에 대응하여 배열되되, 상기 각 분해 탱크부의 홈 내부로 연장되어, 상기 분해 탱크부내의 상기 오존수 분해를 위한 광을 방출하는 오존수 분해부;
상기 복수의 분해 탱크부 각각에 대응하여 배열되되, 상기 각 분해 탱크부와 상기 오존수 분해부사이에 설치되어, 상기 오존수 분해부로부터 방출된 광을 상기 분해 탱크부내의 상기 오존수로 투과시켜 주는 램프 윈도우; 및
상기 복수의 분해 탱크부 각각으로부터 상기 오존수 분해부를 향해 연장되는, 상기 각 분해 탱크부에 배치되는 적어도 하나의 격벽을 구비하고,
상기 복수의 분해 탱크부는 상기 오존수의 흐름이 단절되지 않도록 상기 오존수 유입구와 상기 오존수 배출구 사이에 직렬로 연속적으로 배치되고,
상기 격벽은 상기 오존수 분해부와 소정 거리 이격되며,
상기 오존수 유입구를 통해 상기 분해 탱크로 유입된 상기 오존수는 상기 복수의 분해 탱크부중 첫단의 분해 탱크부의 상기 유입구로 유입되고, 상기 분해 탱크에서 분해된 오존수는 상기 복수의 분해 탱크부중 마지막 단의 분해 탱크부의 상기 배출구로부터 상기 오존수 배출구를 통해 배출되며, 전단의 분해 탱크부의 상기 배출구가 다음 단의 분해 탱크부의 상기 유입구에 직접 연통되어 오존수가 첫단의 분해 탱크부로부터 마지막 단의 분해 탱크부로 연속적으로 이동하여 단계적으로 분해되는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 장치. - 제1항에 있어서, 상기 오존수 분해부는 LED 램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 램프 윈도우는 상기 오존수 분해부의 상기 LED 램프로부터 방출되는 소정 파장의 광을 투과시킬 수 있는 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 장치.
- 제3항에 있어서, 상기 램프 윈도우는 석영으로 구성되는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 오존수 유입구에 연결되어 상기 오존수를 상기 분해 탱크로 공급하는 공급관; 및
상기 오존수 배출구에 연결되어 상기 분해된 오존수를 배출시켜 주기 위한 배출관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 장치. - 제5항에 있어서, 상기 공급관 및 상기 배출관중 적어도 하나에 배치되어 상기 오존수의 분해를 촉진하는 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 장치.
- 제1항에 있어서,상기 분해 탱크의 외관 또는 상기 분해 탱크의 복수의 분해 탱크부중 적어도 하나에 설치되어 상기 오존수의 분해를 촉진하는 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 장치.
- 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 히터는 판상 형태 또는 코일 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 장치.
- 삭제
- 하우징;
상기 하우징 내에 배치되며, 오존수 유입구로 부터 오존수를 제공받아 분해하여 배출하는 오존수 분해 장치; 및
상기 하우징내에 배치되며, 상기 오존수 분해 장치로 부터 배출된 상기 오존수를 저장 및 추가 분해하는 버퍼 탱크를 포함하며,
상기 오존수 분해 장치는,
오존수가 유입되는 오존수 유입구와 상기 오존수가 배출되는 오존수 배출구;
상기 오존수 유입구와 상기 오존수 배출구사이에 연속적으로 연결되고, 각각 유입구와 배출구를 구비하여 상기 오존수를 분해하는 복수의 분해 탱크부를 포함하되, 하나의 상기 버퍼 탱크에 대하여 상기 복수의 분해 탱크부가 배열되는 분해 탱크;
상기 복수의 분해 탱크부 각각에 대응하여 상기 복수의 분해 탱크부의 홈내에 설치되고, 상기 분해 탱크부 내부로 광을 방출하는 복수의 오존수 분해부;
상기 복수의 분해 탱크부와 상기 복수의 오존수 분해부 사이에 개재되며 상기 오존수 분해부로 부터 방출되는 광을 상기 분해 탱크부내의 오존수로 투과시키는 복수의 램프 윈도우; 및
상기 복수의 분해 탱크부 각각으로 부터 상기 오존수 분해부를 향해 연장되는, 상기 각 분해 탱크부에 배치되는 적어도 하나의 격벽을 포함하고,
상기 격벽의 길이는 상기 분해 탱크부로 부터 상기 오존수 분해부까지의 거리보다는 짧으며,
상기 오존수 유입구를 통해 상기 분해 탱크로 유입된 상기 오존수는 상기 복수의 분해 탱크부중 첫단의 분해 탱크부의 상기 유입구로 유입되고, 상기 분해 탱크에서 분해된 오존수는 상기 복수의 분해 탱크부중 마지막 단의 분해 탱크부의 상기 배출구로부터 상기 오존수 배출구를 통해 상기 버퍼 탱크로 배출되며, 전단의 분해 탱크부의 상기 배출구가 다음 단의 분해 탱크부의 상기 유입구에 직접 연통되어 오존수가 첫단의 분해 탱크부로부터 마지막 단의 분해 탱크부로 연속적으로 이동하여 단계적으로 분해되는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 시스템. - 제10항에 있어서,
상기 버퍼 탱크에 연결되어 상기 버퍼 탱크내의 개스를 배기시켜 주는 배기관; 및
상기 버퍼 탱크에 저장되어 있던 분해된 오존수를 배수시켜 주기 위한 배수관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 시스템. - 제11항에 있어서, 상기 배기관에 설치되어 상기 오존수의 분해를 촉진하는 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 시스템.
- 제10항에 있어서, 상기 버퍼 탱크의 외관 및 내부중 적어도 일부분에 배치되는 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 시스템.
- 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 히터는 판상 또는 코일 형태로 설치되는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 시스템.
- 제11항에 있어서,
상기 버퍼 탱크에 배치되어, 상기 버퍼 탱크의 오버 플로우 감지하는 센서; 및
상기 센서의 감지 결과에 따라서 상기 버퍼 탱크내에 저장된 분해된 오존수가 상기 배수관을 통해 배출되거나 또는 일정 시간마다 상기 버퍼 탱크내에 저장된 분해된 오존수가 상기 배수관을 통해 배출되도록 제어하는 콘트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 분해 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190060591A KR102185110B1 (ko) | 2019-05-23 | 2019-05-23 | 오존수 분해장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190060591A KR102185110B1 (ko) | 2019-05-23 | 2019-05-23 | 오존수 분해장치 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102185110B1 true KR102185110B1 (ko) | 2020-12-01 |
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ID=73790716
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020190060591A KR102185110B1 (ko) | 2019-05-23 | 2019-05-23 | 오존수 분해장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102185110B1 (ko) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007007574A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Toflo Corporation Kk | 溶存オゾン分解装置 |
| KR101445748B1 (ko) * | 2014-07-04 | 2014-10-07 | 주식회사 프로솔 | 오존을 이용한 하수 또는 폐수 처리 시스템 |
| KR20170072699A (ko) * | 2015-12-17 | 2017-06-27 | 세메스 주식회사 | 오존 분해 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 |
-
2019
- 2019-05-23 KR KR1020190060591A patent/KR102185110B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
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| JP2007007574A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Toflo Corporation Kk | 溶存オゾン分解装置 |
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