KR102179640B1 - Handler apparatus - Google Patents

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KR102179640B1
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김석진
박문철
이선영
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(주) 티피씨 메카트로닉스
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러 장치는, 에어가 충진되는 탱크와, 진공압이 제공될 때 흡착물이 흡착되는 노즐과, 진공압이 공급되는 진공라인과, 탱크로 충진에어가 공급되는 에어공급라인이 구비된 본체부; 에어공급라인과 탱크에 연결되어, 충진에어가 공급되면 개방되어, 에어공급라인에서 탱크로의 충진에어의 유동을 허용하는 공압구동밸브; 공압구동밸브에 설치되어, 공압구동밸브를 개폐하는 온오프밸브; 노즐, 탱크와 진공라인에 연결되어, 진공흡착시 진공라인과 노즐을 연결하여 진공라인에서 노즐로의 진공압의 유동을 허용하여, 진공파괴시 탱크와 노즐을 연결하여 탱크에서 노즐로의 충진에어의 유동을 허용하는 작동밸브; 작동밸브와 노즐을 연결하는 노즐라인과, 외부와 연통되는 대기라인 사이에 설치되어, 진공파괴시 충진에어가 미는 힘에 의해 대기라인을 개방하여, 대기라인을 통해 노즐라인을 유동하는 충진에어의 일부를 외부로 배출하여, 노즐로 토출되는 충진에어의 파괴압력을 감소시키는 에어체적조절밸브; 및 온오프밸브와 작동밸브의 작동을 제어하는 컨트롤부를 포함하는 것이 바람직하다.A handler apparatus according to an embodiment of the present invention includes a tank filled with air, a nozzle for adsorbing adsorbed material when a vacuum pressure is provided, a vacuum line for supplying vacuum pressure, and an air supplying filled air to the tank. A main body provided with a supply line; A pneumatic driven valve connected to the air supply line and the tank, opened when the filled air is supplied, and allowing the flow of the filled air from the air supply line to the tank; On-off valve installed on the pneumatic drive valve to open and close the pneumatic drive valve; It is connected to the nozzle, tank and vacuum line, and allows the flow of vacuum pressure from the vacuum line to the nozzle by connecting the vacuum line and the nozzle when vacuum adsorption, and filling air from the tank to the nozzle by connecting the tank and the nozzle when vacuum is destroyed. An actuation valve that allows the flow of; It is installed between the nozzle line connecting the operation valve and the nozzle and the standby line communicating with the outside, and opens the standby line by the force pushed by the filling air when the vacuum breaks, and the filling air flows through the standby line. An air volume control valve which discharges a part to the outside and reduces the breaking pressure of the filled air discharged to the nozzle; And it is preferable to include a control unit for controlling the operation of the on-off valve and the operation valve.

Description

핸들러 장치{HANDLER APPARATUS}Handler device {HANDLER APPARATUS}

본 발명은 핸들러 장치에 관한 것이며, 상세하게는 진공흡착시 충진에어의 탱크로의 충진속도를 향상시켜 진공파괴 가능한 충진에어량을 기설정된 시간 내에 확보할 수 있고, 진공파괴시 충진에어의 체적변화를 통해 노즐로 토출되는 파괴압력을 조절하여, 흡착물의 크기 및 무게에 영향을 받지 않고, 흡착물을 안정적으로 블로잉할 수 있는 핸들러 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a handler device, and in detail, by improving the filling speed of the filled air into the tank during vacuum adsorption, the amount of filled air capable of vacuum breaking can be secured within a predetermined time, and the volume change of the filled air when vacuum is destroyed. It relates to a handler device capable of stably blowing the adsorbed material without being affected by the size and weight of the adsorbed material by controlling the breaking pressure discharged to the nozzle through the nozzle.

일반적으로 제조가 완료된 반도체 흡착물의 불량상태를 검사하는 테스트 공정을 진행하게 되며, 이렇게 테스트 공정을 수행하기 위한 테스트 장치에는 반도체 흡착물을 이송하여 공급시켜 주는 장치인 핸들러를 구비하고 있다. 이러한 핸들러는 테스트할 흡착물(예를 들어, 반도체칩)을 테스터 장치의 테스팅 부분으로 이송시키고, 테스트가 완료된 흡착물을 테스터로부터 꺼내는 역할을 한다.In general, a test process for inspecting a defective state of a semiconductor adsorbent that has been manufactured is carried out, and a test apparatus for performing the test process includes a handler, which is a device that transports and supplies the semiconductor adsorbent. This handler transfers the adsorbent to be tested (eg, a semiconductor chip) to the testing part of the tester device, and takes out the adsorbent after the test from the tester.

종래의 핸들러는 이송되는 흡착물의 크기와 무게에 따라서 작업자가 흡착물을 블로잉하기 위한 압축공기압력을 조절해야하는 번거로움이 있었다. 아울러, 크기가 작은 흡착물 경우, 압축공기압력에 의해 비산 또는 기존위치와 변동현상이 발생하여 생산성 저하가 발생할 가능성이 높다. In the conventional handler, there is an inconvenience in that the operator must adjust the compressed air pressure for blowing the adsorbed material according to the size and weight of the adsorbed material to be transferred. In addition, in the case of small-sized adsorbents, there is a high possibility that productivity decreases due to scattering or fluctuations with the existing location due to compressed air pressure.

종래의 핸들러는 정압방식으로 흡착물을 블로잉하기 때문에, 크기가 작은 흡착물의 경우, 흡착물의 비산을 방지하는 동시에 흡착물을 정확한 위치에 블로잉하기 위해서는 저압으로 흡착물을 블로잉하고 있다. 다만, 저압으로 흡착물을 블로잉하는 경우에, 흡착물을 테스트하는 시간이 길어지게 됨에 따라 생산성 저하가 발생한다. Since the conventional handler blows the adsorbed material in a positive pressure method, in the case of the adsorbed material having a small size, the adsorbed material is blown at a low pressure in order to prevent scattering of the adsorbed material and at the same time blow the adsorbed material at an accurate position. However, in the case of blowing the adsorbate at a low pressure, productivity decreases as the time for testing the adsorbed material increases.

한국등록특허 제KR0560730B1에는 반도체 소자 테스트용 핸들러가 개시되어 있다.Korean Patent No. KR0560730B1 discloses a semiconductor device test handler.

본 발명은 종래의 정압파괴방식과 달리, 진공파괴시 충진에어의 체적변화를 통해 노즐로 토출되는 파괴압력을 조절할 수 있어, 흡착물의 크기 및 무게에 영향을 받지 않고 흡착물을 안정적으로 블로잉할 수 있는 핸들러 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. Unlike the conventional static pressure destruction method, the present invention can control the breaking pressure discharged to the nozzle through a change in the volume of the filled air during vacuum breakage, so that the adsorbed material can be stably blown without being affected by the size and weight of the adsorbed material. The purpose of this is to provide a handler device.

본 발명은 공압에 의해 구동되는 공압구동밸브와, 컨트롤부의 제어에 따라 공압구동밸브의 개폐를 조절하는 온오프밸브를 통해, 에어공급라인에서 충진탱크로의 충진에어의 충진속도를 향상시켜, 진공파괴 가능한 충진에어량을 기설정된 시간 내에 확보할 수 있는 핸들러 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention improves the filling speed of the filling air from the air supply line to the filling tank through a pneumatic-driven valve driven by pneumatic and an on-off valve that controls the opening and closing of the pneumatic-driven valve according to the control of the control unit. An object of the present invention is to provide a handler apparatus capable of securing an amount of destructible filled air within a predetermined time.

본 발명은 에어체적조절밸브에 내장된 탄성스프링의 복원력과 진공압이 빨아들이는 힘이 동일한 방향으로 설계되어, 반복적인 사용시에도 에어체적조절밸브를 통한 노즐라인으로의 대기의 유입이 차단되어, 진공흡착시 진공효율을 일정하게 유지할 수 있는 핸들러 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. In the present invention, the restoring force of the elastic spring built in the air volume control valve and the force to suck in the vacuum pressure are designed in the same direction, so that the inflow of air to the nozzle line through the air volume control valve is blocked even during repeated use, An object of the present invention is to provide a handler device capable of maintaining a constant vacuum efficiency during vacuum adsorption.

또한, 본 발명은 진공흡착시 에어체적조절밸브의 실링부재가 노즐라인과 연결된 연결라인 주변에 흡착되면서 연결라인을 폐쇄하여, 연결라인 주변에 이물질이 존재하더라도, 진공흡착시 진공효율을 일정하게 유지할 수 있는 핸들러 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, the present invention closes the connection line while the sealing member of the air volume control valve is adsorbed around the connection line connected to the nozzle line during vacuum adsorption, so that even if foreign substances exist around the connection line, the vacuum efficiency is kept constant during vacuum absorption. It aims to provide a handler device that can be used.

본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러 장치는, 에어가 충진되는 탱크와, 진공압이 제공될 때 흡착물이 흡착되는 노즐과, 진공압이 공급되는 진공라인과, 탱크로 충진에어가 공급되는 에어공급라인이 구비된 본체부; 에어공급라인과 탱크에 연결되어, 충진에어가 공급되면 개방되어, 에어공급라인에서 탱크로의 충진에어의 유동을 허용하는 공압구동밸브; 공압구동밸브에 설치되어, 공압구동밸브를 개폐하는 온오프밸브; 노즐, 탱크와 진공라인에 연결되어, 진공흡착시 진공라인과 노즐을 연결하여 진공라인에서 노즐로의 진공압의 유동을 허용하여, 진공파괴시 탱크와 노즐을 연결하여 탱크에서 노즐로의 충진에어의 유동을 허용하는 작동밸브; 작동밸브와 노즐을 연결하는 노즐라인과, 외부와 연통되는 대기라인 사이에 설치되어, 진공파괴시 충진에어가 미는 힘에 의해 대기라인을 개방하여, 대기라인을 통해 노즐라인을 유동하는 충진에어의 일부를 외부로 배출하여, 노즐로 토출되는 충진에어의 파괴압력을 감소시키는 에어체적조절밸브; 및 온오프밸브와 작동밸브의 작동을 제어하는 컨트롤부를 포함하는 것이 바람직하다.A handler apparatus according to an embodiment of the present invention includes a tank filled with air, a nozzle for adsorbing adsorbed material when a vacuum pressure is provided, a vacuum line for supplying vacuum pressure, and an air supplying filled air to the tank. A main body provided with a supply line; A pneumatically driven valve connected to the air supply line and the tank, opened when the filled air is supplied, and allowing the flow of the filled air from the air supply line to the tank; An on-off valve installed on the pneumatic drive valve to open and close the pneumatic drive valve; It is connected to the nozzle, tank and vacuum line, and allows the flow of vacuum pressure from the vacuum line to the nozzle by connecting the vacuum line and the nozzle when vacuum adsorption. An actuation valve that allows the flow of; It is installed between the nozzle line connecting the operation valve and the nozzle and the standby line communicating with the outside, and opens the standby line by the force pushed by the filling air when the vacuum breaks, and the filling air flows through the standby line. An air volume control valve which discharges a part to the outside and reduces the breaking pressure of the filled air discharged to the nozzle; And it is preferable to include a control unit for controlling the operation of the on-off valve and the operation valve.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 공압구동밸브는, 온오프밸브의 온(ON)작동시 에어공급라인에서 충진에어를 공급받아 구동되면서 에어공급라인과 탱크를 연결하여, 충진에어의 탱크로의 유동을 허용하는 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, the pneumatically driven valve is driven by receiving charged air from the air supply line when the on-off valve is turned on, and connecting the air supply line and the tank, It is desirable to allow flow.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 에어체적조절밸브는, 대기라인과 연통되게 본체부에 마련된 밸브삽입공간에 양방향으로 이동가능하게 설치되되, 노즐라인에서 분기된 연결라인을 개폐하는 제1이동체와, 대기라인을 개폐하는 제2이동체와, 제1이동체와 제2이동체를 탄성연결하는 탄성스프링을 포함하여, 진공파괴시 충진에어가 미는 힘의 세기에 따라 제2이동체에 의한 대기라인의 개폐정도가 조절되어, 충진에어가 노즐라인에서 대기라인으로 토출되는 양이 조절되고, 충진에어가 미는 힘이 해제되면 탄성스프링의 복원력에 의해 제1이동체가 연결라인을 향해 이동되면서 연결라인을 폐쇄하는 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, the air volume control valve is installed to be movable in both directions in the valve insertion space provided in the main body to communicate with the standby line, and a first moving body for opening and closing the connection line branched from the nozzle line , Including a second moving body that opens and closes the standby line, and an elastic spring that elastically connects the first moving body and the second moving body, the degree of opening and closing of the standby line by the second moving body according to the strength of the force pushed by the filled air when the vacuum is destroyed. Is adjusted, the amount of the filled air discharged from the nozzle line to the standby line is controlled, and when the force pushed by the filled air is released, the first moving body moves toward the connection line by the restoring force of the elastic spring, closing the connection line. desirable.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 에어체적조절밸브는 제1이동체가 연결라인과 접하는 면에 탄성재질을 가지고, 연결라인의 단면적보다 큰 면적을 가진 실링부재가 더 설치되어, 진공흡착시, 진공압이 빨라들이는 힘에 의해 실링부재가 연결라인의 주변에 흡착되면서, 연결라인을 통해 노즐라인으로 외부공기의 유입을 차단하는 것이 바람직하다. In one embodiment of the present invention, the air volume control valve has an elastic material on the surface of the first moving body in contact with the connection line, and a sealing member having an area larger than the cross-sectional area of the connection line is further installed, It is preferable to block the inflow of external air to the nozzle line through the connection line while the sealing member is adsorbed around the connection line by the force of the pneumatic pressure.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 연결라인은, 충진에어가 제1이동체에 대해 수직한 방향으로 유입되게 노즐라인과 밸브삽입공간을 수직하게 연결하는 제1연결라인과, 작동밸브와 결합되는 노즐라인의 시작점에서 분기되어 제1연결라인에 연결된 제2연결라인을 포함하고, 제1연결라인은 충진에어가 제1이동체의 전면적에 걸쳐 고르게 가압하게, 노즐라인에서 밸브삽입공간으로 갈수록 직경이 커지는 깔때기 형상을 가지는 것이 바람직하다. In an embodiment of the present invention, the connection line includes a first connection line vertically connecting the nozzle line and the valve insertion space so that the filling air flows in a direction perpendicular to the first moving body, and a nozzle coupled to the operation valve. It includes a second connection line branching from the starting point of the line and connected to the first connection line, and the first connection line allows the filling air to pressurize evenly over the entire area of the first moving body, and the diameter increases from the nozzle line to the valve insertion space. It is desirable to have a funnel shape.

본 발명은 에어공급라인에 연결된 공압구동밸브와 온오프밸브를 통해, 충진에어의 탱크로의 충진속도를 향상시켜, 진공파괴 가능한 충진에어량을 기설정된 시간 내에 확보하여, 진공파괴시 노즐에 걸린 진공압을 설정 시간 내에 안정적으로 파괴할 수 있다. The present invention improves the filling speed of the filled air into the tank through the pneumatically driven valve and the on-off valve connected to the air supply line, thereby securing the amount of filled air capable of vacuum breaking within a predetermined time, It can stably destroy the pneumatic pressure within the set time.

본 발명은 충진에어의 체적변화를 통해 노즐로 토출되는 파괴압력을 조절하여, 흡착물의 크기 및 무게에 영향을 받지 않고 흡착물을 안정적으로 블로잉할 수 있다. 이로 인해, 본 발명은 진공파괴시 흡착물의 비산을 방지하여, 흡착물을 테스트하는 효율을 향상시킬 수 있다. In the present invention, by controlling the breaking pressure discharged to the nozzle through the change in the volume of the filled air, the adsorbed material can be stably blown without being affected by the size and weight of the adsorbed material. For this reason, the present invention prevents scattering of the adsorbed material during vacuum breakage, thereby improving the efficiency of testing the adsorbed material.

본 발명은 에어체적조절밸브에 내장된 탄성스프링의 복원력과 진공압이 빨아들이는 힘이 동일한 방향으로 설계되어, 반복적인 사용시에도 에어체적조절밸브를 통한 노즐라인의로의 대기의 유입이 차단되어, 진공흡착시 진공효율을 일정하게 유지할 수 있다. In the present invention, the restoring force of the elastic spring built in the air volume control valve and the force to suck in the vacuum pressure are designed in the same direction, so that the inflow of air into the nozzle line through the air volume control valve is blocked even during repeated use. , When vacuum adsorption, vacuum efficiency can be kept constant.

또한, 본 발명은 에어체적조절밸브와 밸브삽입공간의 구조적 특징으로 인해, 진공파괴시 대기라인을 통해 대기와 함께 이물질이 밸브삽입공간으로 유입되어, 노즐라인과 연결된 연결라인 주변에 이물질이 존재하더라도, 진공흡착시 에어체적조절밸브의 실링부재가 연결라인 주변에 흡착되면서 연결라인을 폐쇄하여, 진공흡착시 진공효율을 일정하게 유지할 수 있다. In addition, according to the present invention, due to the structural features of the air volume control valve and the valve insertion space, foreign matters flow into the valve insertion space together with the atmosphere through the standby line when the vacuum is destroyed, so that even if foreign matters exist around the connection line connected to the nozzle line. , When vacuum adsorption, the sealing member of the air volume control valve is adsorbed around the connection line and closes the connection line, thereby maintaining a constant vacuum efficiency during vacuum adsorption.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러 장치의 구성도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3는 핸들러 장치의 단면도이다.
도 4 내지 도 7은 진공흡착시의 핸들러 장치의 작동상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 8 내지 도 10은 진공파괴시 핸들러 장치의 작동상태를 설명하기 위한 도면이다.1 schematically shows the configuration of a handler apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic perspective view of a handler device according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a handler device.
4 to 7 are views for explaining an operating state of the handler device during vacuum adsorption.
8 to 10 are views for explaining an operating state of a handler device in case of vacuum breakage.

이하에서는 첨부도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 핸들러 장치에 대해 설명하기로 한다. Hereinafter, a handler apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러 장치(100)는, 본체부(110), 온오프밸브(120), 공압구동밸브(130), 작동밸브(140), 에어체적조절밸브(150), 진공센서(160)와 노즐(170)을 포함한다. The handler device 100 according to an embodiment of the present invention includes a body part 110, an on-off valve 120, a pneumatic drive valve 130, an operation valve 140, an air volume control valve 150, and a vacuum It includes a sensor 160 and a nozzle 170.

본 발명은 노즐(170)로 진공압(Pv)을 제공하여 흡착물(10)을 진공흡착하고, 진공압(Pv)이 걸린 노즐(170)로 충진에어를 분사하여 노즐(170)에서 흡착물(10)을 블로잉하는 방식으로, 거치대(1)에 놓인 흡착물(10)을 운반하는 장치이다. The present invention provides vacuum pressure (Pv) to the nozzle 170 to vacuum-adsorb the adsorbed material 10, and sprays the filled air to the nozzle 170 to which the vacuum pressure (Pv) is applied to It is a device that transports the adsorbent 10 placed on the cradle 1 in a manner of blowing 10.

도 1 내지 3을 참조하여, 핸들러 장치(100)의 구성요소 및 구조에 대해 설명하기로 한다. The components and structures of the handler apparatus 100 will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

도 1에 도시된 바와 같이, 복수 개의 핸들러 장치(100)는 진공수단(30)과 에어공급수단(20)에 병렬연결된다. 복수의 핸들러 장치(100)는 진공흡착시 진공수단(30)에서 진공압(Pv)을 공급받고, 에어공급수단(20)에서 충진에어를 공급받아, 동시에 복수의 흡착물(10)을 노즐(170)에 흡착한다. 진공흡착시, 진공압(Pv)은 노즐(170)로 공급되고, 충진에어는 탱크(111)로 공급된다. As shown in FIG. 1, a plurality of handler devices 100 are connected in parallel to the vacuum means 30 and the air supply means 20. The plurality of handler devices 100 receive a vacuum pressure (Pv) from the vacuum means 30 during vacuum adsorption, receive the filled air from the air supply means 20, and simultaneously spray the plurality of adsorbents 10 with a nozzle ( 170). During vacuum adsorption, the vacuum pressure Pv is supplied to the nozzle 170 and the filled air is supplied to the tank 111.

핸들러 장치(100)는 본체부(110), 온오프밸브(120), 공압구동밸브(130), 작동밸브(140), 에어체적조절밸브(150), 진공센서(160) 및 노즐(170)을 포함한다. The handler device 100 includes a main body 110, an on-off valve 120, a pneumatic drive valve 130, an operation valve 140, an air volume control valve 150, a vacuum sensor 160, and a nozzle 170. Includes.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본체부(110)에는 탱크(111), 에어공급라인(113), 진공라인(115), 에어토출라인(114), 노즐라인(117), 대기라인(119), 밸브삽입공간(112)이 마련된다. 그리고, 본체부(110)에는 공압구동밸브(130), 작동밸브(140), 진공센서(160)와 노즐(170)이 결합된다. 2 and 3, the main body 110 includes a tank 111, an air supply line 113, a vacuum line 115, an air discharge line 114, a nozzle line 117, and a standby line. (119), a valve insertion space 112 is provided. In addition, a pneumatic drive valve 130, an operation valve 140, a vacuum sensor 160 and a nozzle 170 are coupled to the main body 110.

탱크(111)는 충진에어가 충진되는 공간이다. 탱크(111)는 에어공급라인(113)에 의해 에어공급수단(20)에 연결된다. 그리고, 탱크(111)는 에어토출라인(114)에 의해 작동밸브(140)에 연결된다. The tank 111 is a space to be filled with filled air. The tank 111 is connected to the air supply means 20 by an air supply line 113. And, the tank 111 is connected to the operation valve 140 by the air discharge line 114.

에어공급라인(113)은 충진에어가 유동하는 통로이다. 에어토출라인(114)은 탱크(111)에서 토출된 충진에어가 유동하는 통로인다.The air supply line 113 is a passage through which the filled air flows. The air discharge line 114 is a passage through which the filled air discharged from the tank 111 flows.

에어공급라인(113)에는 온오프밸브(120)와 공압구동밸브(130)가 연결된다. 그리고, 에어공급라인(113)에는 제1진공필터(181)가 설치된다. 제1진공필터(181)는 에어공급라인(113)을 유동하는 이물질을 필터링한다. An on-off valve 120 and a pneumatic drive valve 130 are connected to the air supply line 113. In addition, a first vacuum filter 181 is installed in the air supply line 113. The first vacuum filter 181 filters foreign substances flowing through the air supply line 113.

온오프밸브(120)는 공압구동밸브(130)에 설치되어, 공압구동밸브(130)를 개폐한다. 온오프밸브(120)는 컨트롤부(미도시)에 의해 작동이 제어된다. The on-off valve 120 is installed in the pneumatic drive valve 130 to open and close the pneumatic drive valve 130. The operation of the on-off valve 120 is controlled by a control unit (not shown).

온오프밸브(120)는 컨트롤부(미도시)의 제어에 따라, 전류가 인가되면 온(on)되고, 전류가 인가되지 않으면 오프(off)작동된다. 온오프밸브(120)로는 전류인가시 구동되는 솔레노이드밸브가 사용될 수 있다. According to the control of the control unit (not shown), the on-off valve 120 is turned on when current is applied, and is turned off when no current is applied. As the on-off valve 120, a solenoid valve driven when current is applied may be used.

온오프밸브(120)는 진공흡착시 온(ON)되면서 공압구동밸브(130)를 개방하여, 에어공급라인(113)에서 공압구동밸브(130)로, 충진에어의 유동을 허용한다. 온오프밸브(120)는 진공파괴시 오프(OFF)되면서 공압구동밸브(130)를 폐쇄하여, 에어공급라인(113)에서 공압구동밸브(130)로, 충진에어의 유동을 차단한다. The on-off valve 120 is turned on during vacuum adsorption and opens the pneumatically actuated valve 130 to allow the flow of filled air from the air supply line 113 to the pneumatically actuated valve 130. The on-off valve 120 is turned off when the vacuum breaks down and closes the pneumatically driven valve 130 to block the flow of the filled air from the air supply line 113 to the pneumatically driven valve 130.

공압구동밸브(130)는 충진에어의 공급시, 공압을 구동원으로 하여 작동되는 밸브이다. 공압구동밸브(130)에는 온오프밸브(120)가 결합된다. 공압구동밸브(130)는 온오프밸브(120)의 온(ON)작동시 에어공급라인(113)에서 충진에어를 공급받아 구동되면서 에어공급라인(113)과 탱크(111)를 연결하여, 충진에어의 탱크(111)로의 유동을 허용한다. 공압구동밸브(130)로는 공압에 의해 구동되는 오퍼레이트 밸브가 사용될 수 있다. The pneumatic drive valve 130 is a valve that is operated using pneumatic pressure as a driving source when filling air is supplied. On-off valve 120 is coupled to the pneumatic drive valve 130. The pneumatic drive valve 130 is driven by receiving filling air from the air supply line 113 when the on-off valve 120 is operated, connecting the air supply line 113 and the tank 111, and filling Allows the flow of air into the tank 111. As the pneumatic drive valve 130, an operated valve driven by pneumatic pressure may be used.

도 5에 도시된 바와 같이, 공압구동밸브(130)는 본체부(110)의 에어공급라인(113)에 연결되게, 본체부(110)에 결합된다. 공압구동밸브(130)에는 밸브구동체(133), 밸브구동체(133)로 충진에어가 공급되는 통로인 유입구(131)와, 밸브구동체(133)에서 토출된 충진에어가 유동하는 배출구(132)가 마련된다. As shown in FIG. 5, the pneumatic drive valve 130 is coupled to the main body 110 so as to be connected to the air supply line 113 of the main body 110. The pneumatically driven valve 130 includes a valve actuator 133, an inlet port 131, which is a passage through which filled air is supplied to the valve actuator 133, and an outlet through which the filled air discharged from the valve actuator 133 flows. 132) is provided.

공압구동밸브(130)는 유입구(131)가 제1에어공급라인(113a)에 연결되고, 배출구(132)가 제2에어공급라인(113b)에 연결되게, 본체부(110)에 결합된다. The pneumatic drive valve 130 is coupled to the main body 110 such that the inlet 131 is connected to the first air supply line 113a and the outlet 132 is connected to the second air supply line 113b.

본 발명의 공압구동밸브(130)는 온오프밸브(120)의 온 작동시 바로 개방되면서 에어공급라인(113)에서 충진에어를 공급받아 구동한다. The pneumatic drive valve 130 of the present invention is opened immediately when the on-off valve 120 is turned on, and is driven by receiving charged air from the air supply line 113.

도 5 및 도 6을 참조하여, 본 발명과 실험예를 비교하면, 본 발명의 공압구동밸브(130)는 배출구(132)의 직경이 3mm 내지 3.5mm로, 실험예의 솔레노이드밸브(90)의 관로(91)의 직경(0.65mm)보다 직경이 6배 이상 크기 때문에, 실험예와 비교하여 진공흡착시 탱크(111)로의 충진에어의 충진속도를 향상시킬 수 있다. 5 and 6, when comparing the present invention and the experimental example, the pneumatic drive valve 130 of the present invention has a diameter of the outlet 132 of 3mm to 3.5mm, and the pipe of the solenoid valve 90 of the experimental example Since the diameter of (91) is 6 times larger than the diameter (0.65mm), compared to the experimental example, the filling speed of the filled air into the tank 111 during vacuum adsorption can be improved.

작동밸브(140)는 에어토출라인(114), 진공라인(115)과 노즐라인(117)에 연결되게, 본체부(110)에 결합된다. 여기서, 진공라인(115)은 진공압(Pv)이 유동하는 통로이다. 진공라인(115)은 진공수단(30)과 작동밸브(140)를 연결한다. 노즐라인(117)은 작동밸브(140)와 노즐(170)을 연결한다. 노즐라인(117)은 진공흡착시 진공압(Pv)이 유동하고, 진공파괴시 충진에어가 유동하는 통로이다. The operation valve 140 is coupled to the main body 110 so as to be connected to the air discharge line 114, the vacuum line 115 and the nozzle line 117. Here, the vacuum line 115 is a passage through which the vacuum pressure Pv flows. The vacuum line 115 connects the vacuum means 30 and the operation valve 140. The nozzle line 117 connects the operation valve 140 and the nozzle 170. The nozzle line 117 is a passage through which the vacuum pressure (Pv) flows during vacuum adsorption and the filled air flows when the vacuum is destroyed.

작동밸브(140)는 진공흡착시 진공라인(115)과 노즐(170)을 연결하여 진공압(Pv)의 노즐(170)로의 유동을 허용하게 작동된다. 작동밸브(140)는 진공파괴시 탱크(111)와 노즐라인(117)을 연결하여 충진에어의 노즐(170)로의 유동을 허용하게 작동된다. The operation valve 140 is operated to allow the flow of the vacuum pressure Pv to the nozzle 170 by connecting the vacuum line 115 and the nozzle 170 during vacuum adsorption. The operation valve 140 is operated to allow the flow of the filled air to the nozzle 170 by connecting the tank 111 and the nozzle line 117 when the vacuum is destroyed.

노즐(170)은 노즐라인(117)과 연결되게, 본체부(110)에 결합된다. 노즐라인(117)에는 에어체적조절밸브(150), 진공센서(160) 및 제2진공필터(182)가 설치된다. 여기서, 제2진공필터(182)는 진공흡착시 노즐(170)을 통해 유입되는 이물질을 필터링한다. 진공센서(160)는 진공흡착시 노즐라인(117)에 걸린 진공압(Pv)을 센싱한다. The nozzle 170 is coupled to the main body 110 to be connected to the nozzle line 117. The nozzle line 117 is provided with an air volume control valve 150, a vacuum sensor 160, and a second vacuum filter 182. Here, the second vacuum filter 182 filters foreign substances introduced through the nozzle 170 during vacuum adsorption. The vacuum sensor 160 senses the vacuum pressure Pv applied to the nozzle line 117 when vacuum is adsorbed.

도 3 및 도 10을 참조하면, 에어체적조절밸브(150)는 노즐라인(117)에서 분기된 연결라인(118)에 결합된다. 에어체적조절밸브(150)는 본체부(110)에 마련된 밸브삽입공간(112)에 설치된다. 밸브삽입공간(112)은 대기라인(119)과 연결라인(118)에 연결된다. 3 and 10, the air volume control valve 150 is coupled to the connection line 118 branched from the nozzle line 117. The air volume control valve 150 is installed in the valve insertion space 112 provided in the main body 110. The valve insertion space 112 is connected to the standby line 119 and the connection line 118.

연결라인(118)은 제1연결라인(118a)과 제2연결라인(118b)으로 구분된다. 제1연결라인(118a)은 충진에어가 제1이동체(151)에 대해 수직한 방향으로 유입되게 노즐라인(117)과 밸브삽입공간(112)을 수직하게 연결하는 통로이다. 제1연결라인(118a)은 충진에어가 제1이동체(151)의 전면적에 걸쳐 고르게 가압하게, 노즐라인(117)에서 밸브삽입공간(112)으로 갈수록 직경이 커지는 깔때기 형상을 가진다. 그리고, 제2연결라인(118b)은 작동밸브(140)와 결합되는 노즐라인(117)의 시작점에서 분기되어 제1연결라인(118a)에 연결된 통로이다. The connection line 118 is divided into a first connection line 118a and a second connection line 118b. The first connection line 118a is a passage vertically connecting the nozzle line 117 and the valve insertion space 112 so that the filling air flows in a direction perpendicular to the first moving body 151. The first connection line 118a has a funnel shape whose diameter increases from the nozzle line 117 to the valve insertion space 112 so that the filled air is evenly pressed over the entire area of the first moving body 151. In addition, the second connection line 118b is a passage branched from the starting point of the nozzle line 117 coupled to the operation valve 140 and connected to the first connection line 118a.

에어체적조절밸브(150)는 노즐라인(117)과 대기라인(119)을 개폐하는 밸브이다. 에어체적조절밸브(150)는 진공파괴시 충진에어가 미는 힘에 의해 대기라인(119)을 개방하여, 대기라인(119)을 통해 노즐라인(117)을 유동하는 충진에어의 일부를 외부로 배출하여, 노즐(170)로 토출되는 충진에어의 파괴압력을 감소시키는 밸브이다. The air volume control valve 150 is a valve that opens and closes the nozzle line 117 and the standby line 119. The air volume control valve 150 opens the standby line 119 by the force pushed by the filled air when the vacuum is destroyed, and discharges a part of the filled air flowing through the nozzle line 117 through the standby line 119 to the outside. Thus, it is a valve that reduces the breaking pressure of the filled air discharged to the nozzle 170.

에어체적조절밸브(150)는, 대기라인(119)과 연통되게 본체부(110)에 마련된 밸브삽입공간(112)에 양방향으로 이동가능하게 설치된다. The air volume control valve 150 is installed to be movable in both directions in the valve insertion space 112 provided in the main body 110 so as to communicate with the standby line 119.

에어체적조절밸브(150)는 제1이동체(151), 제2이동체(152), 탄성스프링(153)과 실링부재(154)로 구성성된다. 에어체적조절밸브(150)는 제1이동체(151)가 연결라인(118)을 개폐하고, 제2이동체(152)가 대기라인(119)을 개폐하게, 밸브삽입공간(112)에 설치된다. The air volume control valve 150 is composed of a first moving body 151, a second moving body 152, an elastic spring 153, and a sealing member 154. The air volume control valve 150 is installed in the valve insertion space 112 so that the first moving body 151 opens and closes the connection line 118 and the second moving body 152 opens and closes the standby line 119.

제1이동체(151)에는 실링부재(154)가 설치된다. 실링부재(154)는 제1이동체(151)가 연결라인(118)와 접하는 면에 설치된다. 실링부재(154)는 탄성재질을 가진다. 예컨대, 실링부재(154)는 고무로 제작될 수 있다. 실링부재(154)는 연결라인(118)의 단면적보다 큰 면적을 가진다. A sealing member 154 is installed on the first moving body 151. The sealing member 154 is installed on the surface of the first moving body 151 in contact with the connection line 118. The sealing member 154 has an elastic material. For example, the sealing member 154 may be made of rubber. The sealing member 154 has an area larger than the cross-sectional area of the connection line 118.

제2이동체(152)는 탄성스프링(153)에 의해 제1이동체(151)에 연결된다. 본 실시예에서, 제2이동체(152)는 스토퍼 역할을 한다. 에어체적조절밸브(150)는 충진에어가 밀어내는 힘이 강하더라도, 제2이동체(152)에 의해 이동거리가 제한되어, 대기라인(119)을 완전히 개방할 정도로만 이동된다. 제2이동체(152)는 진공센서(160)에 걸려 밸브삽입공간(112)의 바깥방향으로의 이동이 제한된다.The second moving body 152 is connected to the first moving body 151 by an elastic spring 153. In this embodiment, the second moving body 152 serves as a stopper. The air volume control valve 150 is moved only enough to completely open the standby line 119, since the moving distance is limited by the second moving body 152, even if the force pushed by the filled air is strong. The second moving body 152 is caught by the vacuum sensor 160 and restricts the movement of the valve insertion space 112 in the outward direction.

이하에서는 도 4 내지 도 7을 참조하여, 진공흡착시의 핸들러 장치(100)의 작동상태를 설명하기로 한다. 도 4 및 도 5는 진공흡착시 핸들러 장치(100)에서의 진공압(Pv)의 흐름과 충진에어의 흐름을 설명하기 위한 도면이다. 도 6은 본발명과 비교하기 위한 실험예를 설명하기 위한 도면이다. 도 7은 본 발명과 실험예의 성능비교표이다. Hereinafter, an operating state of the handler device 100 during vacuum adsorption will be described with reference to FIGS. 4 to 7. 4 and 5 are views for explaining the flow of vacuum pressure Pv and the flow of filled air in the handler apparatus 100 during vacuum adsorption. 6 is a view for explaining an experimental example for comparison with the present invention. 7 is a performance comparison table between the present invention and an experimental example.

도 4 및 도 5를 참조하면, 진공흡착시, 작동밸브(140), 온오프밸브(120)와 공압구동밸브(130)가 작동된다. 4 and 5, when vacuum is adsorbed, the operation valve 140, the on-off valve 120, and the pneumatically driven valve 130 are operated.

진공흡착시, 작동밸브(140)는 진공라인(115)과 노즐라인(117)을 연결한다. 이때, 작동밸브(140)는 에어토출라인(114)과 노즐라인(117) 간의 연결을 차단하게 작동된다. 진공압(Pv)은 진공라인(115)과 작동밸브(140)를 경유하여 노즐라인(117)으로 공급되어, 노즐(170)에 진공압(Pv)을 건다. During vacuum adsorption, the operation valve 140 connects the vacuum line 115 and the nozzle line 117. At this time, the operation valve 140 is operated to cut off the connection between the air discharge line 114 and the nozzle line 117. The vacuum pressure Pv is supplied to the nozzle line 117 via the vacuum line 115 and the operation valve 140 to apply a vacuum pressure Pv to the nozzle 170.

진공압(Pv)은 진공라인(115)과 작동밸브(140)를 경유하여 노즐라인(117)으로 공급되어, 노즐(170)에 진공압(Pv)을 건다. 노즐(170)에 진공압(Pv)이 걸리면 노즐(170)과 마주보게 위치된 흡착물(10)이 진공압(Pv)에 의해 노즐(170)을 향해 빨려오면서 노즐(170)에 흡착된다. The vacuum pressure Pv is supplied to the nozzle line 117 via the vacuum line 115 and the operation valve 140 to apply a vacuum pressure Pv to the nozzle 170. When a vacuum pressure (Pv) is applied to the nozzle 170, the adsorbent 10 positioned facing the nozzle 170 is sucked toward the nozzle 170 by the vacuum pressure Pv and is adsorbed by the nozzle 170.

진공흡착시, 온오프밸브(120)는 온(on)되면서 공압구동밸브(130)를 개방한다. 충진에어는 공압구동밸브(130)를 경유하여 탱크(111)로 충진된다. 본 발명은 공압구동밸브(130)로 오퍼레이트 밸브가 사용된 것이다. During vacuum adsorption, the on-off valve 120 is turned on to open the pneumatically driven valve 130. Filling air is filled into the tank 111 via the pneumatic drive valve 130. In the present invention, the operated valve is used as the pneumatic drive valve 130.

이하에서는 본 발명과 실험예를 비교하여 핸들러 장치(100)의 성능에 대해 설명하기로 한다. 도 6은 실험예에 대한 도면이고, 도 7은 본 발명과 실험예의 성능비교표이다. Hereinafter, the performance of the handler apparatus 100 will be described by comparing the present invention with an experimental example. 6 is a diagram for an experimental example, and FIG. 7 is a performance comparison table between the present invention and the experimental example.

실험예는 에어공급라인(113)과 탱크(111) 간의 연결 또는 연결해제하는 밸브로 솔레노이드밸브(90)가 사용된 것이다. 실험예의 솔레노이드밸브 외에 다른 구성은 본 발명과 동일한 것으로 가정한다. In the experimental example, a solenoid valve 90 is used as a valve for connecting or disconnecting the air supply line 113 and the tank 111. Other configurations other than the solenoid valve of the experimental example are assumed to be the same as the present invention.

도 6의 확대도에 도시된 바와 같이, 솔레노이드밸브는 밸브 내부 노즐(170) 부분의 관로(91)가 직경 0.65mm로 작아, 핸들러 장치(100)에 기설정되어 있는 시간(약 150ms) 이내에 탱크 전체를 충진하기 어렵다. 이에 따라, 실험예는 충진에어량의 부족으로 인해 노즐(170)에 걸린 진공압(Pv)을 파괴하는데 시간이 지연되거나, 진공압(Pv)을 파괴하지 못하여 진공상태가 유지될 가능성이 존재한다. As shown in the enlarged view of FIG. 6, the solenoid valve has a small diameter of 0.65 mm in the pipe line 91 of the nozzle 170 inside the valve, and the tank within a preset time (about 150 ms) in the handler device 100 It is difficult to fill the whole. Accordingly, in the experimental example, there is a possibility that the time is delayed in destroying the vacuum pressure Pv applied to the nozzle 170 due to insufficient amount of air to be filled, or the vacuum state is maintained because the vacuum pressure Pv cannot be destroyed.

도 7을 참조하여, 본 발명과 실험예의 성능을 비교하면 다음과 같다. 본 발명과 실험예의 테스트 조건은 동일하다고 가정한다. 테스트 조건은, 진공흡착시 진공압(Pv)은 -65kPa이다. Referring to FIG. 7, the performance of the present invention and the experimental example is compared as follows. It is assumed that the test conditions of the present invention and the experimental example are the same. The test condition is that the vacuum pressure (Pv) during vacuum adsorption is -65 kPa.

공급압(P1)이 0.25MPa이고, 탱크(111) 충진시간이 100ms일때, 실험예의 진공파괴시간은 평균 100.4ms인데 반해, 본 발명은 79.3ms로 측정된다. 즉, 본 발명은 노즐(170)에 걸린 진공압(Pv)을 파괴하는 진공파괴시간이 실험예보다 대략 21ms 단축함을 알 수 있다. When the supply pressure (P 1 ) is 0.25 MPa and the filling time of the tank 111 is 100 ms, the vacuum breakdown time of the experimental example is an average of 100.4 ms, whereas the present invention is measured as 79.3 ms. That is, in the present invention, it can be seen that the vacuum destruction time for destroying the vacuum pressure Pv applied to the nozzle 170 is approximately 21 ms shorter than that of the experimental example.

또한, 본 발명은 공급압에 관계없이 탱크(111) 충진시간이 100ms에서 운전가능하다. 반면, 실험예는 공급압이 0.2MPa에서는 최대 120ms로 탱크(111)에 충진되며, 100ms로는 충진불가능하다. 그리고, 본 발명은 0.12MPa에도 운전이 가능한 반면, 실험예는 0.2MPa 이하에서는 운전 불가능하다. In addition, in the present invention, the tank 111 filling time is 100 ms regardless of the supply pressure. On the other hand, in the experimental example, when the supply pressure is 0.2 MPa, the tank 111 is filled at a maximum of 120 ms, and filling is not possible at 100 ms. In addition, while the present invention can be operated at 0.12 MPa, the experimental example cannot be operated at 0.2 MPa or less.

도 7에 도시된 성능비교표는 실험조건에 따라 수치가 가변될 수 있으나, 도 7에 도시된 성능비교표로부터, 본 발명은 실험예와 비교하여 충진에어의 충진속도가 빠른 뿐만 아니라, 낮은 공급압에서 운전이 가능함을 알 수 있다. The performance comparison table shown in FIG. 7 may vary in numerical values according to the experimental conditions, but from the performance comparison table shown in FIG. 7, the present invention is not only faster at the filling speed of the filled air, but also at a low supply pressure compared to the experimental example. You can see that you can drive.

이하에서는 도 8 내지 도 10을 참조하여, 진공파괴시 핸들러 장치(100)의 작동상태를 설명하기 위한 도면이다.Hereinafter, with reference to FIGS. 8 to 10, a view for explaining an operating state of the handler apparatus 100 when a vacuum is destroyed.

진공파괴시, 핸들러 장치(100)는 작동밸브(140) 및 에어체적조절밸브(150)가 다음과 같이 작동된다. 진공파괴시, 온오프밸브(120)는 컨트롤부(미도시)에 의해 오프(off)로 제어된다. Upon breaking the vacuum, the handler device 100 operates as follows: the operation valve 140 and the air volume control valve 150. Upon breaking the vacuum, the on-off valve 120 is controlled to be off by a control unit (not shown).

진공파괴시, 작동밸브(140)는 진공라인(115)과의 연결이 차단된다. 진공파괴시, 작동밸브(140)는 에어토출라인(114)과 노즐라인(117)을 연결한다. 탱크(111)에서 토출된 충진에어(P2)는 작동밸브(140)를 경유하여, 노즐라인(117)을 통해 노즐(170)로 분사된다. When the vacuum breaks, the operation valve 140 is disconnected from the vacuum line 115. Upon vacuum breakdown, the operation valve 140 connects the air discharge line 114 and the nozzle line 117. Filled air (P 2 ) discharged from the tank 111 is sprayed to the nozzle 170 through the nozzle line 117 via the operation valve 140.

노즐라인(117)을 유동하는 충진에어(P2)의 일부는 에어체적조절밸브(150)를 통해 대기로 배출된다. Part of the filling air (P 2 ) flowing through the nozzle line 117 is discharged to the atmosphere through the air volume control valve 150.

본 발명은 탱크(111)에 충진된 충진에어(P2)만을 이용하여 노즐(170)에 걸린 진공압(Pv)을 파쇄하는데, 노즐(170)에 흡착된 흡착물(10)에 따라, 에어체적조절밸브(150)를 통해 충진에어의 파괴압력이 미세하게 자동으로 조절된다. The present invention crushes the vacuum pressure (Pv) applied to the nozzle 170 by using only the filled air (P 2 ) filled in the tank 111, according to the adsorbed material 10 adsorbed on the nozzle 170, air Through the volume control valve 150, the breaking pressure of the filled air is finely automatically adjusted.

에어체적조절밸브(150)는 진공파괴시 노즐라인(117)을 유동하는 충진에어가 밀어내는 힘에 의해 개방된다. 이때, 에어체적조절밸브(150)의 개방정도는 충진에어가 밀어내는 힘의 세기에 따라 자동으로 조절된다. The air volume control valve 150 is opened by a force pushed by the filled air flowing through the nozzle line 117 when the vacuum is destroyed. At this time, the degree of opening of the air volume control valve 150 is automatically adjusted according to the strength of the force pushed by the filled air.

에어체적조절밸브(150)의 개방시, 충진에어의 일부가 노즐라인(117)에서 대기라인(119)을 경유하여 대기로 배출되면서 노즐로 분사되는 파괴압력(P2)을 저감시킬 수 있다. When the air volume control valve 150 is opened, a part of the filled air is discharged from the nozzle line 117 to the atmosphere via the standby line 119, thereby reducing the breakdown pressure P 2 injected to the nozzle.

P1V1=P2V2 ...........................................식 (1)P 1 V 1 =P 2 V 2 ......................................... ..Expression (1)

식 (1)에서, P1은 진공흡착시 탱크(111) 내의 충진에어의 압력이고, V1은 탱크(111)의 체적이다. 그리고, V2는 진공파괴시 탱크(111)에서 토출되면서 팽창된 체적로서 탱크(111)의 체적과 노즐라인(117)의 체적의 합이다. P2는 진공파괴시 노즐(170)을 통해 토출되는 충진에어의 파괴압력이다. In Equation (1), P 1 is the pressure of the filled air in the tank 111 during vacuum adsorption, and V 1 is the volume of the tank 111. In addition, V 2 is the sum of the volume of the tank 111 and the volume of the nozzle line 117 as the volume expanded while being discharged from the tank 111 during vacuum breakdown. P 2 is the breaking pressure of the filled air discharged through the nozzle 170 during vacuum breakage.

에어체적조절밸브(150)는 진공흡착시, 진공압(Pv)이 빨아들이는 힘에 의해 실링부재(154)가 연결라인(118)의 주변에 흡착되면서, 연결라인(118)을 통해 노즐라인(117)으로 외부공기의 유입을 차단한다. When the air volume control valve 150 is vacuum-adsorbed, the sealing member 154 is adsorbed to the periphery of the connection line 118 by the force that the vacuum pressure (Pv) sucks, and the nozzle line through the connection line 118 Block the inflow of external air with (117).

이에, 본 발명은 진공파괴시 대기라인(119)을 통해 유입된 이물질이 연결라인(118)의 주변에 존재하더라도, 진공흡착시 이물질에 영향을 받지 않고 연결라인(118)을 폐쇄하여, 반복 사용시에도 노즐라인(117)의 진공효율을 일정하게 유지할 수 있다. Thus, the present invention closes the connection line 118 without being affected by foreign substances during vacuum adsorption, even if foreign substances introduced through the standby line 119 exist around the connection line 118 when the vacuum is destroyed. Even, the vacuum efficiency of the nozzle line 117 can be kept constant.

에어체적조절밸브(150)는 진공파괴시 충진에어가 미는 힘의 세기에 따라, 제2이동체(152)의 이동거리가 조절되면서, 제2이동체(152)에 의한 대기라인(119)의 개폐정도가 조절되어, 충진에어가 노즐라인(117)에서 대기라인(119)으로 토출되는 양이 조절된다. The air volume control valve 150 is the degree of opening and closing of the standby line 119 by the second moving body 152 while the moving distance of the second moving body 152 is adjusted according to the strength of the force pushed by the filled air when the vacuum is destroyed. Is adjusted, the amount of the filled air discharged from the nozzle line 117 to the standby line 119 is adjusted.

또한, 에어체적조절밸브(150)는 충진에어가 미는 힘이 해제되면 탄성스프링(153)의 복원력에 의해 제1이동체(151)가 연결라인(118)을 향해 이동되면서 연결라인(118)을 폐쇄한다. In addition, the air volume control valve 150 closes the connection line 118 as the first moving body 151 moves toward the connection line 118 by the restoring force of the elastic spring 153 when the force pushed by the filled air is released. do.

본 발명은 핸들러 장치(100)의 노즐(170)이 중력방향을 향하게 설치되어, 에어체적조절밸브(150)가 자중의 힘에 영향을 받는 위치에 놓이더라도, 진공흡착시 에어체적조절밸브(150)를 빨아들이는 힘에 탄성스프링(153)의 복원력이 더해져, 핸들러 장치(100)의 설치위치에 관계없이, 노즐라인(117)의 진공효율을 일정하게 유지할 수 있다. In the present invention, even if the nozzle 170 of the handler device 100 is installed in the direction of gravity, and the air volume control valve 150 is placed in a position affected by the force of its own weight, the air volume control valve 150 when vacuum is adsorbed. ) The restoring force of the elastic spring 153 is added to the suction force, so that the vacuum efficiency of the nozzle line 117 can be kept constant, regardless of the installation position of the handler device 100.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다. The present invention described above is not limited by the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible within the scope of the technical spirit of the present invention. It will be obvious to those who have the knowledge of.

100: 핸들러 장치
110: 본체부 111: 탱크
112: 밸브삽입공간 113: 에어공급라인
114: 에어토출라인 115: 진공라인
117: 노즐라인 118: 연결라인
119: 대기라인 120: 온오프밸브
130: 공압구동밸브 140: 작동밸브
150: 에어체적조절밸브 151: 제1이동체
152: 제2이동체 153: 탄성스프링
154: 실링부재 160: 진공센서
170: 노즐 181: 제1진공필터
182: 제2진공필터100: handler device
110: main body 111: tank
112: valve insertion space 113: air supply line
114: air discharge line 115: vacuum line
117: nozzle line 118: connection line
119: standby line 120: on-off valve
130: pneumatic driven valve 140: operating valve
150: air volume control valve 151: first moving body
152: second moving body 153: elastic spring
154: sealing member 160: vacuum sensor
170: nozzle 181: first vacuum filter
182: second vacuum filter

Claims (5)

에어가 충진되는 탱크와, 진공압이 제공될 때 흡착물이 흡착되는 노즐과, 상기 진공압이 공급되는 진공라인과, 상기 탱크로 상기 충진에어가 공급되는 에어공급라인이 구비된 본체부;
상기 에어공급라인과 상기 탱크에 연결되어, 상기 충진에어가 공급되면 개방되어, 상기 에어공급라인에서 상기 탱크로의 상기 충진에어의 유동을 허용하는 공압구동밸브;
상기 공압구동밸브에 설치되어, 상기 공압구동밸브를 개폐하는 온오프밸브;
상기 노즐, 상기 탱크와 상기 진공라인에 연결되어, 상기 진공흡착시 상기 진공라인과 상기 노즐을 연결하여 상기 진공라인에서 상기 노즐로의 상기 진공압의 유동을 허용하여, 진공파괴시 상기 탱크와 상기 노즐을 연결하여 상기 탱크에서 상기 노즐로의 상기 충진에어의 유동을 허용하는 작동밸브;
상기 작동밸브와 상기 노즐을 연결하는 노즐라인과, 외부와 연통되는 대기라인 사이에 설치되어, 상기 진공파괴시 상기 충진에어가 미는 힘에 의해 상기 대기라인을 개방하여, 상기 대기라인을 통해 상기 노즐라인을 유동하는 상기 충진에어의 일부를 상기 외부로 배출하여, 상기 노즐로 토출되는 상기 충진에어의 파괴압력을 감소시키는 에어체적조절밸브; 및
상기 온오프밸브와 상기 작동밸브의 작동을 제어하는 컨트롤부를 포함하며;
상기 공압구동밸브의 상기 탱크 측으로의 배출구의 직경은 3mm 내지 3.5mm로 마련되되, 상기 온오프 밸브의 관로의 직경보다 크게 마련되어, 상기 진공흡착시 상기 탱크로의 충진에어의 충진속도를 향상시키는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치. A main body including a tank filled with air, a nozzle through which an adsorbed material is adsorbed when a vacuum pressure is applied, a vacuum line through which the vacuum pressure is supplied, and an air supply line through which the filled air is supplied to the tank;
A pneumatic drive valve connected to the air supply line and the tank, opened when the filled air is supplied, and allowing the flow of the filled air from the air supply line to the tank;
An on-off valve installed on the pneumatic drive valve to open and close the pneumatic drive valve;
The nozzle, the tank and the vacuum line are connected to allow the flow of the vacuum pressure from the vacuum line to the nozzle by connecting the vacuum line and the nozzle when the vacuum is adsorbed. An operation valve connecting a nozzle to allow the flow of the filling air from the tank to the nozzle;
It is installed between a nozzle line connecting the operation valve and the nozzle, and an atmosphere line in communication with the outside, and opens the atmosphere line by a force pushed by the filling air when the vacuum is destroyed, and the nozzle through the standby line An air volume control valve for discharging a part of the filling air flowing in a line to the outside, thereby reducing a breakdown pressure of the filling air discharged to the nozzle; And
And a control unit for controlling the operation of the on-off valve and the operation valve;
The diameter of the outlet to the tank side of the pneumatically driven valve is provided with a diameter of 3mm to 3.5mm, and is provided larger than the diameter of the pipe line of the on-off valve, thereby improving the filling speed of the filled air into the tank during the vacuum adsorption. Handler device characterized in that. 제 1 항에 있어서,
상기 공압구동밸브는, 상기 온오프밸브의 온(ON)작동시 상기 에어공급라인에서 상기 충진에어를 공급받아 구동되면서 상기 에어공급라인과 상기 탱크를 연결하여, 상기 충진에어의 상기 탱크로의 유동을 허용하는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치. The method of claim 1,
The pneumatic drive valve is driven by receiving the filling air from the air supply line when the on-off valve is turned on, and connecting the air supply line and the tank, so that the filling air flows to the tank. Handler device, characterized in that to allow. 제 1 항에 있어서,
상기 에어체적조절밸브는,
상기 대기라인과 연통되게 상기 본체부에 마련된 밸브삽입공간에 양방향으로 이동가능하게 설치되되,
상기 노즐라인에서 분기된 연결라인을 개폐하는 제1이동체와, 상기 대기라인을 개폐하는 제2이동체와, 상기 제1이동체와 상기 제2이동체를 탄성연결하는 탄성스프링을 포함하여,
상기 진공파괴시 상기 충진에어가 미는 힘의 세기에 따라 상기 제2이동체에 의한 상기 대기라인의 개폐정도가 조절되어, 상기 충진에어가 상기 노즐라인에서 상기 대기라인으로 토출되는 양이 조절되고,
상기 충진에어가 미는 힘이 해제되면 상기 탄성스프링의 복원력에 의해 상기 제1이동체가 상기 연결라인을 향해 이동되면서 상기 연결라인을 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치. The method of claim 1,
The air volume control valve,
It is installed to be movable in both directions in the valve insertion space provided in the main body to communicate with the standby line,
Including a first moving body for opening and closing the connection line branched from the nozzle line, a second moving body for opening and closing the standby line, and an elastic spring elastically connecting the first moving body and the second moving body,
The degree of opening and closing of the standby line by the second moving body is adjusted according to the strength of the force pushed by the filling air when the vacuum is destroyed, so that the amount of the filling air discharged from the nozzle line to the standby line is adjusted,
When the pushing force of the filling air is released, the first moving body is moved toward the connection line by the restoring force of the elastic spring to close the connection line. 제 3 항에 있어서,
상기 에어체적조절밸브는 상기 제1이동체가 상기 연결라인과 접하는 면에 탄성재질을 가지고, 상기 연결라인의 단면적보다 큰 면적을 가진 실링부재가 더 설치되어,
상기 진공흡착시, 상기 진공압이 빨라들이는 힘에 의해 상기 실링부재가 상기 연결라인의 주변에 흡착되면서, 상기 연결라인을 통해 상기 노즐라인으로 상기 외부공기의 유입을 차단하는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치. The method of claim 3,
The air volume control valve is further provided with a sealing member having an elastic material on a surface of the first moving body in contact with the connection line and having an area larger than the cross-sectional area of the connection line,
When the vacuum is adsorbed, the sealing member is adsorbed to the periphery of the connection line by a force of accelerating the vacuum pressure, and a handler, characterized in that it blocks the inflow of the external air to the nozzle line through the connection line. Device. 제 3 항에 있어서,
상기 연결라인은,
상기 충진에어가 상기 제1이동체에 대해 수직한 방향으로 유입되게 상기 노즐라인과 상기 밸브삽입공간을 수직하게 연결하는 제1연결라인과,
상기 작동밸브와 결합되는 상기 노즐라인의 시작점에서 분기되어 상기 제1연결라인에 연결된 제2연결라인을 포함하고,
상기 제1연결라인은 상기 충진에어가 상기 제1이동체의 전면적에 걸쳐 고르게 가압하게, 상기 노즐라인에서 상기 밸브삽입공간으로 갈수록 직경이 커지는 깔때기 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치.
The method of claim 3,
The connection line,
A first connection line vertically connecting the nozzle line and the valve insertion space so that the filling air flows in a direction perpendicular to the first moving body,
A second connection line branched from a starting point of the nozzle line coupled to the operation valve and connected to the first connection line,
The first connection line has a funnel shape that increases in diameter from the nozzle line to the valve insertion space so that the filling air is evenly pressed over the entire area of the first moving body.
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