KR102178701B1 - Flow measurement apparatus - Google Patents

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KR102178701B1
KR102178701B1 KR1020190066754A KR20190066754A KR102178701B1 KR 102178701 B1 KR102178701 B1 KR 102178701B1 KR 1020190066754 A KR1020190066754 A KR 1020190066754A KR 20190066754 A KR20190066754 A KR 20190066754A KR 102178701 B1 KR102178701 B1 KR 102178701B1
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chemical liquid
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KR1020190066754A
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이성필
우형상
장세원
권혜정
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세메스 주식회사
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Abstract

The present disclosure relates to a flow rate measuring device, which is the flow rate measuring device which can be used in a substrate processing device including a spin chuck on which a substrate is mounted and discharging a chemical solution to an upper side or a lower side of the substrate. The flow rate measuring device includes: a storage member which includes an internal space for storing the chemical solution and has one portion connected to a lower portion so that the chemical solution introduced from a lower part can be guided to the internal space; a cover member coupled to the storage member, enabling the chemical solution to be stored in the storage member when the chemical solution is supplied from an upper part, and enabling the chemical solution to be stored in the storage member while preventing the chemical solution from being ejected to the upper part when the chemical solution is supplied from the lower part; a weight measuring unit coupled to the storage member and measuring the weight of the chemical solution stored in the storage member; and a coupling unit coupled to the weight measuring unit and being detachable to and from the spin chuck.

Description

유량 측정 장치{Flow measurement apparatus}Flow measurement apparatus

본 발명은 유량 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판으로 약액을 공급하는 기판 처리 장치에서 사용될 수 있는 유량 측정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flow rate measurement device, and more particularly, to a flow rate measurement device that can be used in a substrate processing apparatus for supplying a chemical solution to a substrate.

반도체 소자가 고밀도, 고집적화, 고성능화됨에 따라 회로 패턴의 미세화가 급속히 진행됨으로써, 기판 표면에 잔류하는 파티클(Particle), 유기 오염물, 금속 오염물 등의 오염 물질은 소자의 특성과 생산 수율에 많은 영향을 미치게 된다. 이에 따라 기판 표면에 부착된 각종 오염 물질을 제거하는 세정 공정이 반도체 제조 공정에서 매우 중요하게 대두되고 있으며, 반도체를 제조하는 각 단위 공정의 전후 단계에서 기판을 세정 처리하는 세정 공정이 실시되고 있다.As semiconductor devices become high-density, high-integration, and high-performance, circuit patterns are rapidly miniaturized, and contaminants such as particles, organic contaminants, and metal contaminants remaining on the surface of the substrate have a great influence on the device characteristics and production yield. do. Accordingly, a cleaning process for removing various contaminants adhering to the surface of a substrate is becoming very important in a semiconductor manufacturing process, and a cleaning process for cleaning a substrate is performed in a step before and after each unit process for manufacturing a semiconductor.

반도체 제조 공정에서 사용되는 세정 방법은 건식 세정(Dry Cleaning)과 습식 세정(Wet Cleaning)으로 분류될 수 있다. 습식 세정은 약액 중에 기판을 침적시켜 화학적 용해 등에 의해서 오염 물질을 제거하는 배스(Bath) 타입의 방식과, 스핀 척 위에 기판을 놓고 기판을 회전시키는 동안 기판의 표면에 약액을 공급하여 오염물질을 제거하는 스핀(Spin) 타입의 방식으로 분류될 수 있다.The cleaning methods used in the semiconductor manufacturing process can be classified into dry cleaning and wet cleaning. Wet cleaning is a bath-type method in which a substrate is immersed in a chemical solution to remove contaminants by chemical dissolution, and contaminants are removed by supplying a chemical solution to the surface of the substrate while rotating the substrate by placing the substrate on the spin chuck. It can be classified as a spin type method.

한편, 스핀 타입의 방식은, 한 장의 기판을 처리할 수 있는 척 부재에 기판을 고정한 후, 기판을 회전시키면서 분사 노즐을 통해 기판에 약액 또는 탈이온수를 공급하여, 원심력에 의해 약액 또는 탈이온수를 기판의 전면으로 퍼지게 함으로써 기판을 세정 처리하며, 기판의 세정 처리 후에는 건조 가스로 기판을 건조한다.On the other hand, in the spin-type method, after fixing the substrate to a chuck member capable of processing a single substrate, while rotating the substrate, a chemical solution or deionized water is supplied to the substrate through a spray nozzle, and the chemical solution or deionized water is supplied by centrifugal force. The substrate is cleaned by spreading it over the entire surface of the substrate, and after the cleaning treatment of the substrate, the substrate is dried with a drying gas.

이처럼 기판에 대해 약액 처리를 하는 기판 처리 장치에서 약액은 회수 장치로 회수하여 재사용하는 것이 일반적이다. 회수 장치는 약액의 종류마다 각각 유입되는 다양한 공간을 포함한다. 이러한 회수 장치도 장시간 사용시 특정 부분에 이물질이 잔류하게 되어 세정이 필요할 수 있다.In such a substrate processing apparatus that treats a substrate with a chemical solution, it is common for the chemical solution to be recovered and reused by a recovery device. The recovery device includes various spaces each flowing into each kind of chemical solution. When used for a long period of time, such a recovery device may require cleaning because foreign matter remains in a specific area.

구체적으로는, 기판 전면에 공급된 약액은 기판 회전에 의한 원심력에 의해 비산되어 회수 장치의 내벽면에 잔류한다. 회수 장치의 내벽면에 잔류되는 약액은 후속 공정에서 기판을 오염시킬 수 있으므로 주기적으로 세정을 실시하여 제거하는 것이 필요하다.Specifically, the chemical liquid supplied to the entire surface of the substrate is scattered by centrifugal force caused by rotation of the substrate and remains on the inner wall surface of the recovery device. Since the chemical liquid remaining on the inner wall surface of the recovery device may contaminate the substrate in a subsequent process, it is necessary to periodically perform cleaning to remove it.

한편, 기판에 공급되는 약액의 유량을 목표치에 근접하여야 한다. 약액이 기판으로 과도하게 공급되면 불필요하게 약액을 많이 사용하게 되어 기판 처리 비용이 증가될 수 있다. 반면, 약액이 기판에 부족하게 공급되면, 기판을 처리할 수 있을 정도로 약액이 충분하지 않게 되어 기판 처리 신뢰성이 낮아질 수 있다.Meanwhile, the flow rate of the chemical liquid supplied to the substrate must be close to the target value. If the chemical liquid is excessively supplied to the substrate, a large amount of the chemical liquid is unnecessarily used, which may increase the cost of processing the substrate. On the other hand, if the chemical liquid is insufficiently supplied to the substrate, the chemical liquid may not be sufficient enough to process the substrate, so that the reliability of processing the substrate may be lowered.

약액의 유량을 측정하기 위하여, 종래에서는 작업자가 눈금이 있는 저장 용기를 사용하여 노즐로부터 공급되는 약액을 저장하고, 눈금을 확인하여 약액의 유량을 측정하였다. 이와 같은 방법은 작업자가 기판 처리 장치에 접근하여 약액에 노출된 상태에서 실시됨으로, 작업자가 화학 약품에 노출될 가능성이 발생될 수 있다. 또한, 작업자가 기판 처리 장치의 챔버 내부로 접근하기 위하여 내화학 복장을 착용했다가 다시 벗어야 함으로써, 작업 준비부터 작업을 완료하기까지 상당한 시간이 소요될 수 있다. 그리고, 작업자가 눈금으로 보고 약액의 유량을 측정함으로써, 작업자에 따라 측정 오차가 발생될 수 있다. 또한, 종래의 약액의 유량 측정 방법은 저장 용기에 약액을 받는 방식이므로, 기판의 하면에 약액을 공급하도록 이루어진 기판 처리 장치에서는 사용하기가 불가능하였다. 그리고, 유량 측정이 완료된 약액은 작업자가 직접 저장 용기로부터 배출시켜야 함으로써, 작업자가 위험에 노출될 가능성이 있었다.In order to measure the flow rate of the chemical solution, in the related art, an operator stores the chemical solution supplied from the nozzle using a storage container with a scale, and measures the flow rate of the chemical solution by checking the scale. Since such a method is performed while the operator approaches the substrate processing apparatus and is exposed to a chemical solution, there is a possibility that the operator may be exposed to the chemical agent. In addition, since an operator has to wear a chemical resistant clothing and then take off again to access the interior of the chamber of the substrate processing apparatus, it may take a considerable amount of time from preparation for work to completion of the work. And, when the operator measures the flow rate of the chemical solution by looking at the scale, a measurement error may occur depending on the operator. In addition, since the conventional method of measuring the flow rate of the chemical liquid is a method of receiving the chemical liquid in a storage container, it cannot be used in a substrate processing apparatus configured to supply the chemical liquid to the lower surface of the substrate. In addition, there is a possibility that the worker may be exposed to danger by directly discharging the chemical liquid from which the flow rate measurement is completed from the storage container.

한국등록특허 제10-0523261호Korean Patent Registration No. 10-0523261

본 발명의 목적은 작업자가 직접 유량을 측정하지 않더라도, 유량을 측정할 수 있는 유량 측정 장치를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a flow measurement device capable of measuring the flow rate even if the operator does not directly measure the flow rate.

본 발명의 일 측면에 따른 유량 측정 장치는 기판이 안착되는 스핀척을 포함하고, 상기 기판의 상면 또는 하면으로 약액을 토출하는 기판 처리 장치에서 사용될 수 있는 유량 측정 장치에 있어서, 약액이 저장되는 내부공간을 포함하고, 하방으로부터 유입되는 약액이 내부공간으로 안내될 수 있도록 일부분이 하부와 연통되는 저장 부재; 상기 저장 부재에 결합된 것으로, 약액이 상방에서 공급되는 경우, 약액이 상기 저장 부재에 저장될 수 있게 하며, 약액이 하방에서 공급되는 경우, 약액이 상방으로 분출되는 것을 방지하면서 상기 저장 부재에 저장될 수 있게 하는 커버 부재; 상기 저장 부재에 결합되고, 상기 저장 부재에 저장되는 약액의 중량을 측정하는 중량 측정 유닛; 및 상기 중량 측정 유닛에 결합되고, 상기 스핀척에 탈착될 수 있는 결합 유닛;을 포함한다.In the flow rate measurement device that can be used in a substrate processing apparatus that includes a spin chuck on which a substrate is mounted and discharges a chemical solution to an upper surface or a lower surface of the substrate, the flow measurement device according to an aspect of the present invention, in which the chemical solution is stored A storage member including a space and partially communicating with the lower portion so that the chemical liquid introduced from the lower side can be guided to the inner space; Combined with the storage member, when the chemical solution is supplied from the upper side, the chemical solution can be stored in the storage member, and when the chemical solution is supplied from the lower side, it is stored in the storage member while preventing the chemical solution from being ejected upward. A cover member that enables it to be made; A weight measuring unit coupled to the storage member and measuring the weight of the chemical liquid stored in the storage member; And a coupling unit coupled to the weighing unit and detachable to the spin chuck.

한편, 상기 저장 부재는, 약액이 저장되는 내부공간을 포함하고 일측이 개구되는 저장부; 및 파이프 형상으로 이루어지고, 상하방향으로 위치되며, 일단이 상기 저장부와 연통되어 하방에서 공급되는 약액이 상기 내부공간으로 유입될 수 있게 하고, 상방에서 공급되는 약액은 상기 저장부로부터 유출되지 않게 하는 구획부;를 포함할 수 있다.On the other hand, the storage member, a storage unit including an inner space in which the chemical solution is stored and one side is opened; And a pipe shape, positioned in the vertical direction, and one end communicates with the storage unit to allow the chemical liquid supplied from the lower side to flow into the internal space, and prevent the chemical liquid supplied from the upper side from flowing out from the storage unit. It may include;

한편, 상기 중량 측정 유닛은 상기 저장 부재의 구획부와 대응되는 부분에 관통된 수용부를 포함하고, 상기 결합 유닛은 파이프 형상으로 이루어지고, 상기 중량 측정 유닛의 수용부에 삽입되며, 상기 구획부와 연결되며, 하방으로부터 공급되는 약액을 상기 구획부까지 안내하는 삽입부를 포함할 수 있다.On the other hand, the weight measuring unit includes a receiving portion penetrating through a portion corresponding to the partition portion of the storage member, the coupling unit is formed in a pipe shape, inserted into the receiving portion of the weighing unit, and the partition portion and It is connected, and may include an insertion portion for guiding the chemical solution supplied from the lower side to the compartment.

한편, 상기 커버 부재는, 상기 저장 부재에 결합되는 베이스부; 상기 구획부로부터 일정 거리 이격되고 상기 구획부와 마주하도록 위치되어 상기 구획부를 통하여 유입되는 약액이 상방으로 분출되는 것을 방지하는 가이드부; 및 약액이 유입 가능하도록 상기 베이스부의 일부분에 관통된 하나 이상의 관통부;를 포함할 수 있다.On the other hand, the cover member, the base portion coupled to the storage member; A guide part spaced apart from the partition part by a predetermined distance and positioned to face the partition part to prevent the chemical liquid introduced through the partition part from being ejected upward; And one or more penetrating portions penetrating through a portion of the base portion so that the chemical solution can be introduced.

한편, 상기 가이드부는 구획부보다 좌우 방향을 기준으로 크기가 크게 이루어질 수 있다.Meanwhile, the guide portion may have a size larger in the left and right direction than the partition portion.

한편, 상기 관통부는 복수개이고, 상기 복수의 관통부는 상기 가이드부를 기준으로 일정 각도마다 위치될 수 있다.Meanwhile, the plurality of through parts may be provided, and the plurality of through parts may be positioned at predetermined angles based on the guide part.

한편, 상기 구획부의 개구된 부분에 선택적으로 결합되고, 상기 저장 부재에 저장되는 약액이 상기 구획부를 통하여 유출되는 것을 방지하는 유출 방지 부재를 더 포함할 수 있다.On the other hand, it may further include a leakage preventing member selectively coupled to the opening portion of the partition portion and preventing the chemical liquid stored in the storage member from flowing out through the partition portion.

한편, 상기 결합 유닛은, 판 형상으로 이루어져서 상기 스핀척에 밀착되는 밀착 부재; 및 상기 스핀척에 설치되어 기판을 지지하는 지지핀에 체결되고, 상기 밀착 부재가 스핀척으로부터 분리되는 것을 방지하는 체결 부재;를 포함할 수 있다.On the other hand, the coupling unit, the contact member formed in a plate shape in close contact with the spin chuck; And a fastening member installed on the spin chuck and fastened to a support pin supporting the substrate, and preventing the contact member from being separated from the spin chuck.

한편, 상기 저장 부재와 상기 커버 부재 사이에 설치되고, 상기 저장 부재와 상기 커버 부재가 서로 일정거리 이격된 상태로 결합되게 하는 이격 부재를 포함할 수 있다.On the other hand, it is installed between the storage member and the cover member, the storage member and the cover member may include a separation member to be coupled to each other in a state spaced apart a predetermined distance.

한편, 상기 중량 측정 유닛에 전기적으로 연결되어 상기 중량 측정 유닛에서 측정된 중량 데이터를 외부로 전송하는 통신 모듈을 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the communication module may further include a communication module electrically connected to the weight measurement unit to transmit weight data measured by the weight measurement unit to the outside.

본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치는 상방 또는 하방에서 공급되는 약액의 유량을 측정할 수 있다. 즉, 유량 측정 장치는 종래에서와 다르게 약액을 작업자가 기판 처리 장치에 접근하여 약액의 유량을 직접 측정하지 않더라도 자동적으로 측정할 수 있다.The flow measurement device according to an embodiment of the present invention may measure the flow rate of the chemical liquid supplied from the upper or lower side. In other words, unlike in the related art, the flow rate measurement device can automatically measure the chemical solution even if the operator approaches the substrate processing apparatus and does not directly measure the flow rate of the chemical solution.

또한, 종래에서는 작업자가 저장 용기의 눈금을 보고 약액의 유량을 측정하여 오차가 발생될 수 있었으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치는 중량 측정 유닛으로 유량을 측정한다. 따라서, 유량 측정 장치는 작업자가 유량 측정기를 사용하여 직접 유량을 측정하는 경우보다 유량을 더욱 신속하고 정확하게 측정할 수 있다. 즉, 유량 측정 장치는 약액 공급 유닛에서 공급되는 약액의 유량을 정확하게 측정하여 기판 처리 장치의 동작 신뢰성이 더욱 향상될 수 있다.In addition, in the related art, an error may occur when the operator measures the flow rate of the chemical solution by looking at the scale of the storage container, but the flow rate measurement device according to an embodiment of the present invention measures the flow rate with a weight measurement unit. Therefore, the flow measurement device can measure the flow rate more quickly and accurately than when the operator directly measures the flow rate using the flow meter. That is, the flow rate measurement device accurately measures the flow rate of the chemical solution supplied from the chemical solution supply unit, so that the operational reliability of the substrate processing apparatus may be further improved.

그리고, 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치를 사용하여 유량을 측정하는 경우, 작업자가 약액에 노출되지 않게 하여 안전 사고가 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있다. 뿐만 아니라, 유량 측정 장치를 사용하여 유량을 측정하면, 작업자가 직접 약액을 측정하는 것과 비교하여 작업 시간을 현저하게 단축할 수 있다.And, when the flow rate is measured using the flow rate measurement device according to an embodiment of the present invention, it is possible to prevent a safety accident from occurring by preventing the worker from being exposed to the chemical solution. In addition, when the flow rate is measured using a flow rate measuring device, the working time can be significantly shortened compared to that of the operator directly measuring the chemical solution.

도 1은 일반적인 기판 처리 장치를 도시한 도면이다.
도 2는 기판의 하면에 약액을 공급하도록 이루어진 기판 처리 장치의 스핀척을 발췌하여 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치를 도시한 사시도이다.
도 4는 유량 측정 장치의 하부를 도시한 도면이다.
도 5는, 도 3의 유량 측정 장치의 분해사시도이다.
도 6은 유량 측정 장치의 하방으로부터 공급되는 약액이 저장 부재에 저장되는 것을 설명하기 위하여 커버 부재가 저장 부재로부터 분리된 상태를 도시한 도면이다.
도 7은 유량 측정 장치의 상방으로부터 공급되는 약액이 저장 부재에 저장되는 것을 설명하기 위하여 커버 부재와 유출 방지 부재가 저장 부재로부터 분리된 상태를 도시한 도면이다.
도 8은, 도 2의 스핀척에 유량 측정 장치가 설치된 상태를 도시한 도면이다.
도 9는, 도 8의 스핀척과 유량 측정 장치에서 Ⅸ-Ⅸ'라인을 따라 취한 단면도이다.1 is a diagram showing a general substrate processing apparatus.
FIG. 2 is a view showing an extract of a spin chuck of a substrate processing apparatus configured to supply a chemical solution to a lower surface of a substrate.
3 is a perspective view showing a flow rate measurement device according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing the lower portion of the flow measurement device.
5 is an exploded perspective view of the flow rate measurement device of FIG. 3.
6 is a view showing a state in which the cover member is separated from the storage member in order to explain that the chemical solution supplied from the lower side of the flow rate measurement device is stored in the storage member.
7 is a view showing a state in which the cover member and the leakage preventing member are separated from the storage member in order to explain that the chemical liquid supplied from the upper side of the flow rate measurement device is stored in the storage member.
8 is a diagram illustrating a state in which a flow rate measuring device is installed in the spin chuck of FIG. 2.
9 is a cross-sectional view taken along the line IX-IX' of the spin chuck and the flow measurement device of FIG. 8.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. The present invention may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the description have been omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration will be described only in a representative embodiment by using the same reference numerals, and in other embodiments, only configurations different from the representative embodiment will be described.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to be "connected" with another part, this includes not only the case of being "directly connected", but also being "indirectly connected" with another member therebetween. In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

본 발명의 일실시예에 따른 유량 측정 장치를 설명하기에 앞서, 유량 측정 장치가 사용될 수 있는 일반적인 기판 처리 장치에 대해 설명하기로 한다.Prior to describing the flow rate measurement apparatus according to an embodiment of the present invention, a general substrate processing apparatus in which the flow rate measurement apparatus can be used will be described.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 스핀척(11), 약액 공급 유닛(13) 및 약액 회수 유닛(15)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the substrate processing apparatus 10 may include a spin chuck 11, a chemical solution supply unit 13, and a chemical solution recovery unit 15.

스핀척(11)은 기판(미도시)을 지지하고, 회전될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(10)는 구동 유닛(12)을 포함할 수 있다. 구동 유닛(12)은 스핀척(11)과 결합될 수 있다. 구동 유닛(12)은 스핀척(11)을 회전시킬 수도 있고, 스핀척(11)을 승강시킬 수도 있다. 스핀척(11)은 위에서 바라볼 때 원형으로 이루어진 상부면을 포함할 수 있다. 기판이 상부면에 안착될 수 있다.The spin chuck 11 supports a substrate (not shown) and may be rotated. The substrate processing apparatus 10 according to an embodiment of the present invention may include a driving unit 12. The driving unit 12 may be coupled to the spin chuck 11. The drive unit 12 may rotate the spin chuck 11 or may lift the spin chuck 11. The spin chuck 11 may include a circular upper surface when viewed from above. The substrate may be seated on the top surface.

한편, 스핀척(11)은 지지핀(17)과 정렬핀(18)을 포함할 수 있다. 지지핀(17)은 상기 후술할 스핀척(11)의 상측에 결합되어 상기 기판을 지지할 수 있다. 지지핀(17)은 복수개일 수 있다.Meanwhile, the spin chuck 11 may include a support pin 17 and an alignment pin 18. The support pin 17 may be coupled to an upper side of the spin chuck 11 to be described later to support the substrate. There may be a plurality of support pins 17.

복수의 지지핀(17)은 스핀척(11)의 상부면의 가장자리에 인접하게 소정 간격으로 이격되게 배치되고 스핀척(11)에서 상부로 돌출될 수 있다. 지지핀(17)들은 서로 간의 조합에 의하여 전체적으로 환형의 링(ring) 형상을 이루도록 위치될 수 있다. 지지핀(17)은 스핀척(11)의 상부면으로부터 기판이 일정거리 이격되도록 기판 하면의 가장자리를 지지할 수 있다.The plurality of support pins 17 may be disposed adjacent to an edge of the upper surface of the spin chuck 11 and spaced apart at predetermined intervals, and may protrude upward from the spin chuck 11. The support pins 17 may be positioned to form an annular ring shape as a whole by a combination thereof. The support pin 17 may support the edge of the lower surface of the substrate so that the substrate is spaced apart from the upper surface of the spin chuck 11 by a predetermined distance.

정렬핀(18)은 상기 지지핀(17) 상에 지지되는 기판을 정렬할 수 있다. 정렬핀(18)은 스핀척(11)에서 상부로 돌출될 수 있다. 정렬핀(18)은 복수개일 수 있으며, 복수개의 정렬핀(18)은 상기 지지핀(17) 보다 스핀척(11)의 중심에서 멀게 위치되어 기판의 측면에 접촉될 수 있다. 정렬핀(18)은 기판이 목표 위치에 위치되도록 기판을 정렬할 수 있다.The alignment pin 18 may align the substrate supported on the support pin 17. The alignment pin 18 may protrude upward from the spin chuck 11. There may be a plurality of alignment pins 18, and the plurality of alignment pins 18 may be located farther from the center of the spin chuck 11 than the support pin 17 to contact a side surface of the substrate. The alignment pins 18 may align the substrate so that the substrate is positioned at the target position.

더욱 상세하게 설명하면, 정렬핀(18)은 스핀척(11)이 회전될 때 기판이 정위치에서 측방향으로 이탈되지 않도록 기판의 측부를 지지할 수 있다. 정렬핀(18)은 스핀척(11)의 반경 방향을 따라 대기 위치와 지지 위치 간에 직선 왕복 이동이 가능할 수 있다.In more detail, when the spin chuck 11 is rotated, the alignment pin 18 may support a side portion of the substrate so that the substrate is not laterally separated from the original position. The alignment pin 18 may be capable of linearly reciprocating movement between the standby position and the support position along the radial direction of the spin chuck 11.

여기서, 대기 위치는 지지 위치에 비해 스핀척(11)의 중심으로부터 멀리 떨어진 위치이다. 기판이 스핀척(11)에 로딩 또는 언로딩시 정렬핀(18)은 대기 위치에 위치되고, 기판에 대해 공정 수행시 정렬핀(18)은 지지 위치에 위치될 수 있다. 지지위치에서 정렬핀(18)은 기판의 측부와 접촉될 수 있다.Here, the standby position is a position farther from the center of the spin chuck 11 compared to the support position. When the substrate is loaded or unloaded on the spin chuck 11, the alignment pins 18 may be positioned at a standby position, and when a process is performed on the substrate, the alignment pins 18 may be positioned at a support position. In the supporting position, the alignment pins 18 may be in contact with the side of the substrate.

이와 같은 정렬핀(18)과 지지핀(17)은 일례로 4개일 수 있고, 6개인 것도 가능할 수 있다. 지지핀(17)과 정렬핀(18)의 개수는 기판 처리 장치(10)의 설계에 따라 다양하게 변경될 수 있으므로, 특정 개수로 한정하지는 않는다.Such alignment pins 18 and support pins 17 may be 4, for example, 6 may be possible. The number of the support pins 17 and the alignment pins 18 may be variously changed according to the design of the substrate processing apparatus 10, and thus the number is not limited to a specific number.

약액 공급 유닛(13)은 상기 스핀척(11)으로 약액을 공급할 수 있다. 약액 공급 유닛(13)은 저장 탱크(미도시)에 저장된 약액을 펌핑할 수 있다.The chemical liquid supply unit 13 may supply the chemical liquid to the spin chuck 11. The chemical liquid supply unit 13 may pump a chemical liquid stored in a storage tank (not shown).

다양한 목적으로 사용되는 약액은 일례로 불산(HF), 황산(H3SO4), 질산(HNO3), 인산(H3PO4), SC-1 용액(수산화암모늄(NH4OH), 과산화수소(H2O2) 및 물(H2O)의 혼합액), 탈이온수(DIW), 이소프로필 알코올(IPA: IsoPropyl Alcohol) 등으로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다.Chemical solutions used for various purposes include, for example, hydrofluoric acid (HF), sulfuric acid (H3SO4), nitric acid (HNO3), phosphoric acid (H3PO4), SC-1 solution (ammonium hydroxide (NH 4 OH), hydrogen peroxide (H 2 O 2 ) and A mixture of water (H 2 O)), deionized water (DIW), isopropyl alcohol (IPA), and the like may be at least one selected from the group consisting of.

약액 회수 유닛(15)은 상기 스핀척(11)의 둘레에 위치되고, 상기 스핀척(11)에서 비산되는 약액을 회수할 수 있다. 약액 회수 유닛(15)의 외부 형상은 일례로 상부의 일부분이 개구된 블럭 형상일 수 있다. 약액 회수 유닛(15)에서 개구된 상부는 기판을 로딩 및 언로딩하기 위한 출입구로 이용될 수 있다.The chemical liquid recovery unit 15 is located around the spin chuck 11 and may recover the chemical liquid scattered from the spin chuck 11. The external shape of the chemical recovery unit 15 may be, for example, a block shape in which a portion of the upper portion is opened. The upper portion opened in the chemical liquid recovery unit 15 may be used as an entrance for loading and unloading a substrate.

약액 회수 유닛(15)은 공정에 사용된 약액들 중 서로 상이한 약액을 분리하여 회수한다. 이를 위한 약액 회수 유닛(15)은 다양한 종류의 약액이 각각 유입되는 복수의 공간을 포함할 수 있다.The chemical liquid recovery unit 15 separates and recovers different chemical liquids among the chemical liquids used in the process. For this purpose, the chemical liquid recovery unit 15 may include a plurality of spaces into which various types of chemical liquids are respectively introduced.

약액 회수 유닛(15)에서 각각의 공간으로 약액이 유입되는 유입구(16)는 상하방향으로 나란하게 위치될 수 있다. 즉, 유입구(16)들 각각은 서로 상이한 높이에 위치될 수 있다. 각각의 공간에 유입된 약액은 미도시된 회수 라인을 통하여 별도의 약액 재생부(미도시)로 제공되어 재사용될 수 있다. 약액 재생부는 사용된 약액의 농도 조절과 온도 조절, 그리고 오염 물질의 필터링 등을 수행하여 재사용이 가능하도록 약액을 재생시키는 장치이다.The inlets 16 through which the chemicals are introduced into each space from the chemicals recovery unit 15 may be positioned side by side in the vertical direction. That is, each of the inlets 16 may be located at different heights. The chemical liquid introduced into each space is provided to a separate chemical liquid regeneration unit (not shown) through a recovery line (not shown) and can be reused. The chemical regeneration unit is a device that regenerates the chemical so that it can be reused by controlling the concentration and temperature of the used chemical and filtering contaminants.

기판 또는 기판 처리 장치(10)를 세정하는 과정에서 약액의 종류에 따라, 스핀척(11)의 높이가 가변될 수 있으며, 약액들 각각은 약액 회수 유닛(15)의 특정 공간에 유입되어 저장될 수 있다. 이러한 약액 회수 유닛(15)과 스핀척(11)에는 기판을 처리하는 과정에서 발생된 파티클 등에 의해 오염 물질이 생성되거나, 잔류하는 약액으로부터 흄(Fume)과 같은 오염 물질이 생성될 수 있다. 이와 같은 오염 물질은 약액에 의해 세정되어, 이후, 공정에서 기판이 오염되는 것이 방지될 수 있다.In the process of cleaning the substrate or the substrate processing apparatus 10, the height of the spin chuck 11 may be varied according to the type of the chemical solution, and each of the chemical solutions flows into a specific space of the chemical solution recovery unit 15 to be stored. I can. In the chemical liquid recovery unit 15 and the spin chuck 11, contaminants such as fume may be generated from particles or the like generated in the process of processing a substrate, or contaminants such as fume may be generated from the remaining chemical liquid. Such contaminants are cleaned by a chemical solution, so that contamination of the substrate in the subsequent process can be prevented.

이와 같은 기판 처리 장치(10)의 동작 과정을 설명하면, 스핀척(11) 또는 약액 회수 유닛(15)에 대한 세정 과정은 기판이 스핀척(11) 상에 안착되지 않은 상태에서 실시될 수 있다. 세정이 개시되면 스핀척(11)으로 약액이 공급된다. 그리고, 약액이 스핀척(11)으로 공급됨과 동시에 스핀척(11)도 기설정된 시간 동안 회전될 수 있다. 이와 다르게 스핀척(11)은 약액이 공급된 이후에 회전되는 것도 가능할 수 있다.Referring to the operation process of the substrate processing apparatus 10 as described above, the cleaning process for the spin chuck 11 or the chemical liquid recovery unit 15 may be performed while the substrate is not seated on the spin chuck 11. . When cleaning is started, a chemical solution is supplied to the spin chuck 11. In addition, while the chemical solution is supplied to the spin chuck 11, the spin chuck 11 may be rotated for a predetermined time. Alternatively, the spin chuck 11 may be rotated after the chemical solution is supplied.

스핀척(11)에 공급된 약액은 약액 회수 유닛(15)으로 비산될 수 있다. 비산된 약액은 오염 물질을 식각 또는 박리시키고 약액 회수 유닛(15)의 특정 공간에 저장될 수 있다.The chemical liquid supplied to the spin chuck 11 may be scattered to the chemical liquid recovery unit 15. The scattered chemical liquid may be stored in a specific space of the chemical liquid recovery unit 15 by etching or peeling the contaminant.

약액에 의한 세정이 실시된 후, 건조 과정이 실시될 수 있다. 건조 과정은 스핀척(11)이 회전되면서 잔류하는 약액이 제거되는 방식으로 이루어질 수 있다. 이때, 건조 효율 향상을 위해 불활성 가스가 추가적으로 공급될 수 있다. 불활성 가스는 질소일 수 있다.After washing with the chemical solution is performed, a drying process may be performed. The drying process may be performed in a manner in which the remaining chemical solution is removed while the spin chuck 11 is rotated. In this case, an inert gas may be additionally supplied to improve drying efficiency. The inert gas may be nitrogen.

도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(20)는 기판의 하면으로 약액을 공급하는 것도 가능할 수 있다. 이를 위한 기판 처리 장치(20)는 약액 공급 유닛(13)에 포함된 노즐(24)이 스핀척(21)에 설치될 수 있다. 기판이 지지핀(17)에 지지된 상태에서, 노즐(24)이 약액을 기판의 하면으로 공급할 수 있다.Referring to FIG. 2, the substrate processing apparatus 20 may also supply a chemical solution to the lower surface of the substrate. In the substrate processing apparatus 20 for this, a nozzle 24 included in the chemical solution supply unit 13 may be installed on the spin chuck 21. While the substrate is supported by the support pin 17, the nozzle 24 may supply the chemical solution to the lower surface of the substrate.

후술할 본 발명의 일실시예에 따른 유량 측정 장치(100, 도 3 참조)가 전술한 기판 처리 장치(10, 20)에만 적용되는 것으로 한정하지는 않으며, 스핀척(21)을 사용하여 기판을 회전시켜서 약액을 기판에 토출하도록 이루어진 것이면 어떤 기판 처리 장치에도 적용이 가능할 수 있다.The flow rate measurement apparatus 100 (refer to FIG. 3) according to an embodiment of the present invention to be described later is not limited to being applied only to the above-described substrate processing apparatuses 10 and 20, and the substrate is rotated using the spin chuck 21 It can be applied to any substrate processing apparatus as long as it is made to discharge the chemical solution onto the substrate.

후술할 본 발명의 일실시예에 따른 유량 측정 장치(100, 도 3 참조)는 노즐(14)에서 토출된 약액의 유량을 측정하는데 사용될 수 있다. 이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 유량 측정 장치(100, 도 3 참조)에 대해 상세하게 설명하기로 한다.The flow rate measurement apparatus 100 (see FIG. 3) according to an embodiment of the present invention to be described later may be used to measure the flow rate of the chemical liquid discharged from the nozzle 14. Hereinafter, a flow rate measuring apparatus 100 (see FIG. 3) according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치(100)는 기판이 안착되는 스핀척(11)을 포함하고, 상기 기판의 상면 또는 하면으로 약액을 토출하는 기판 처리 장치(10)에서 사용될 수 있는 유량 측정 장치(100)이며, 저장 부재(110), 커버 부재(120), 중량 측정 유닛(130) 및 결합 유닛(140)을 포함한다.2 to 5, the flow rate measurement apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a spin chuck 11 on which a substrate is mounted, and a substrate treatment for discharging a chemical solution to an upper or lower surface of the substrate It is a flow measurement device 100 that can be used in the device 10, and includes a storage member 110, a cover member 120, a weighing unit 130, and a coupling unit 140.

저장 부재(110)는 약액이 저장되는 내부공간을 포함할 수 있다. 저장 부재(110)는 하방으로부터 유입되는 약액이 내부공간으로 안내될 수 있도록 일부분이 하부와 연통될 수 있다. 상방에서 공급되는 약액과 하방에서 공급되는 약액 모두가 저장 부재(110)에 저장될 수 있다.The storage member 110 may include an internal space in which a chemical solution is stored. A portion of the storage member 110 may be in communication with the lower portion so that the chemical liquid introduced from the lower side may be guided to the inner space. Both the chemical liquid supplied from the upper side and the chemical liquid supplied from the lower side may be stored in the storage member 110.

여기서 "상방에서 공급되는 약액"이라는 것은 도 1에 도시된 기판 처리 장치(10)에서와 같이 스핀척(11)으로부터 상방에 이격되게 위치된 노즐(14)로부터 약액이 기판의 상방으로부터 하방을 향하여 공급되는 경우인 것으로 정의할 수 있다. 그리고, "하방에서 공급되는 약액"이라는 것은 도 2에 도시된 바와 같이 기판 처리 장치(20)에서 스핀척(21)에 설치된 노즐(24)로부터 약액이 기판의 하방으로부터 상방을 향하여 공급되는 경우인 것으로 정의할 수 있다.Here, the "chemical liquid supplied from the upper side" means that the chemical liquid from the nozzle 14 located above the spin chuck 11 as in the substrate processing apparatus 10 shown in FIG. It can be defined as being supplied. In addition, "the chemical liquid supplied from the bottom" refers to the case where the chemical liquid is supplied from the lower side of the substrate toward the upper side from the nozzle 24 installed on the spin chuck 21 in the substrate processing apparatus 20 as shown in FIG. Can be defined as

상기 저장 부재(110)는 일례로 저장부(111) 및 구획부(112)를 포함할 수 있다.The storage member 110 may include, for example, a storage unit 111 and a partition unit 112.

저장부(111)는 약액이 저장되는 내부공간을 포함하고 일측이 개구될 수 있다. 이러한 저장부(111)의 형상은 유체의 저장이 가능한 저장 용기와 유사한 형상일 수 있다. 예를 들어, 저장부(111)를 중간 부분이 오목한 원반 형상이면, 상측이 개구된 것일 수 있다.The storage unit 111 may include an internal space in which a chemical solution is stored, and one side may be opened. The shape of the storage unit 111 may be similar to a storage container capable of storing fluid. For example, if the middle portion of the storage unit 111 has a concave disk shape, the upper side may be opened.

구획부(112)는 파이프 형상으로 이루어지고, 상하방향으로 위치될 수 있다. 구획부(112)의 일단이 상기 저장부(111)와 연통될 수 있다. 예를 들어, 구획부(112)의 하단이 저장부(111)의 바닥면과 연통될 수 있고, 상단은 후술할 커버 부재(120)를 향할 수 있다.The partition part 112 has a pipe shape and may be positioned in the vertical direction. One end of the partition unit 112 may be in communication with the storage unit 111. For example, the lower end of the partition unit 112 may be in communication with the bottom surface of the storage unit 111, and the upper end may face the cover member 120 to be described later.

구획부(112)는 하방에서 공급되는 약액이 상기 내부공간으로 유입될 수 있게 할 수 있다. 그리고, 구획부(112)는 상방에서 공급되는 약액이 상기 저장부(111)로부터 유출되지 않도록 할 수 있다.The partition unit 112 may allow a chemical solution supplied from the lower side to flow into the inner space. In addition, the partition unit 112 may prevent the chemical liquid supplied from the upper side from flowing out from the storage unit 111.

커버 부재(120)는 상기 저장 부재(110)에 결합될 수 있다. 약액이 상방에서 공급되는 경우, 커버 부재(120)는 약액이 상기 저장 부재(110)에 저장될 수 있게 할 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 약액(F)이 하방에서 공급되는 경우, 커버 부재(120)는 약액이 상방으로 분출되는 것을 방지하면서 상기 저장 부재(110)에 저장될 수 있게 할 수 있다.The cover member 120 may be coupled to the storage member 110. When the chemical liquid is supplied from above, the cover member 120 may allow the chemical liquid to be stored in the storage member 110. As shown in FIG. 6, when the chemical solution F is supplied from the lower side, the cover member 120 may prevent the chemical solution from being ejected upward and may be stored in the storage member 110.

이를 위한, 커버 부재(120)는 일례로, 베이스부(121), 가이드부(122) 및 관통부(123)를 포함할 수 있다.For this, the cover member 120 may include, for example, a base portion 121, a guide portion 122, and a through portion 123.

베이스부(121)는 상기 저장 부재(110)에 결합될 수 있다. 베이스부(121)는 저장 부재(110)와 대응되는 크기 및 형상일 수 있다. 예를 들어, 저장 부재(110)의 평면 형상이 원형인 경우, 베이스부(121)는 원판 형상일 수 있다.The base portion 121 may be coupled to the storage member 110. The base portion 121 may have a size and shape corresponding to the storage member 110. For example, when the plane shape of the storage member 110 is circular, the base portion 121 may have a disk shape.

가이드부(122)는 상기 구획부(112)로부터 일정 거리 이격되고, 상기 구획부(112)와 마주하도록 위치될 수 있다. 더욱 상세하게, 가이드부(122)는 구획부(112)와 상하방향으로 일정 거리 이격될 수 있다. 가이드부(122)는 상기 구획부(112)를 통하여 유입되는 약액이 상방으로 분출되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 가이드부(122)는 약액의 흐름을 제어하여, 약액이 커버 부재(120) 외부로 배출되는 것을 방지할 수 있다.The guide part 122 may be spaced apart from the partition part 112 by a predetermined distance and may be positioned to face the partition part 112. In more detail, the guide portion 122 may be spaced apart from the partition portion 112 by a predetermined distance in the vertical direction. The guide part 122 may prevent the chemical liquid flowing through the partition part 112 from being ejected upward. That is, the guide part 122 may control the flow of the chemical solution to prevent the chemical solution from being discharged to the outside of the cover member 120.

이를 위한 상기 가이드부(122)는 구획부(112)보다 좌우 방향을 기준으로 크기가 크게 이루어질 수 있다. 이러한 가이드부(122)의 형상은 일례로 캡(cap) 형상일 수 있으나, 이에 한정하지는 않으며 약액이 분출되는 것을 방지할 수 있는 형상이면 어느 형상이든 무방할 수 있다.For this purpose, the guide part 122 may be larger in size based on the left and right direction than the partition part 112. The shape of the guide part 122 may be, for example, a cap shape, but is not limited thereto, and any shape may be used as long as it is a shape capable of preventing the chemical solution from being ejected.

가이드부(122)는 베이스부(121)와 일체로 이루어질 수 있다. 즉, 커버 부재(120)의 제조 과정에서 가이드부(122)와 베이스부(121)가 하나의 부재로 제조될 수 있다. 이와 다르게, 가이드부(122)와 베이스부(121)가 각각 제조된 이후 서로 결합되는 것도 가능할 수 있다.The guide part 122 may be formed integrally with the base part 121. That is, in the manufacturing process of the cover member 120, the guide portion 122 and the base portion 121 may be manufactured as one member. Alternatively, after each of the guide portion 122 and the base portion 121 are manufactured, they may be coupled to each other.

관통부(123)는 약액이 유입가능하도록 상기 베이스부(121)의 일부분에 관통된 것일 수 있다. 관통부(123)는 하나 이상일 수 있다. 상기 관통부(123)는 복수개인 경우, 상기 복수의 관통부(123)는 상기 가이드부(122)를 기준으로 일정 각도마다 위치될 수 있다. 예를 들어, 관통부(123)는 4개일 수 있고, 4개의 관통부(123)들 각각이 가이드부(122)를 기준으로 90도마다 위치될 수 있다. 이때, 가이드부(122)는 베이스부(121)의 정중앙에 위치될 수 있다.The through part 123 may be penetrated through a part of the base part 121 so that the chemical liquid can be introduced. There may be one or more through parts 123. When the plurality of through portions 123 are formed, the plurality of through portions 123 may be positioned at predetermined angles with respect to the guide portion 122. For example, the number of through portions 123 may be four, and each of the four through portions 123 may be positioned at 90 degrees with respect to the guide portion 122. In this case, the guide part 122 may be located in the center of the base part 121.

이와 같은 관통부(123)는 베이스부(121)에서 가이드부(122)를 제외한 영역의 대부분을 차지할 수 있다. 이에 따라, 기판 처리 장치(10)의 약액 공급 유닛(13)에 포함된 노즐(14)이 어느 위치에 위치되어 있더라도, 약액이 관통부(123)를 통하여 저장 부재(110)로 안정적으로 공급될 수 있다.The through part 123 may occupy most of the area of the base part 121 except for the guide part 122. Accordingly, no matter where the nozzle 14 included in the chemical solution supply unit 13 of the substrate processing apparatus 10 is positioned, the chemical solution will be stably supplied to the storage member 110 through the penetrating portion 123. I can.

중량 측정 유닛(130)은 상기 저장 부재(110)에 결합되고, 상기 저장 부재(110)에 저장되는 약액의 중량을 측정할 수 있다. 측정된 중량은 중량 측정 유닛(130)에 포함된 미도시된 저장소에 저장될 수 있다.The weight measuring unit 130 may be coupled to the storage member 110 and measure the weight of the chemical liquid stored in the storage member 110. The measured weight may be stored in a storage not shown included in the weighing unit 130.

도면에 도시된 방향을 기준으로 중량 측정 유닛(130)은 저장 부재(110)의 하측에 결합될 수 있다. 중량 측정 유닛(130)은 일례로 전자 저울일 수 있으나, 이에 한정하지는 않으며, 대상물의 중량을 측정할 수 있는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다.Based on the direction shown in the drawing, the weight measurement unit 130 may be coupled to the lower side of the storage member 110. The weight measurement unit 130 may be, for example, an electronic scale, but is not limited thereto, and any one capable of measuring the weight of the object may be used.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치(100)는 중량 측정 유닛(130)에 전원을 공급하는 전원 모듈(180)을 포함할 수 있다. 전원 모듈(180)은 충전하여 재사용이 가능한 충전식 배터리 또는 일회용 배터리일 수 있다.Meanwhile, the flow rate measurement apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may include a power module 180 that supplies power to the weight measurement unit 130. The power module 180 may be a rechargeable battery or a disposable battery that can be charged and reused.

결합 유닛(140)은 상기 중량 측정 유닛(130)에 결합되고, 상기 스핀척(11)에 탈착될 수 있다. 결합 유닛(140)은 저장 부재(110), 커버 부재(120) 및 중량 측정 유닛(130)이 스핀척(11)에 결합되게 하여, 스핀척(11)이 회전되는 과정에서 저장 부재(110), 커버 부재(120) 및 중량 측정 유닛(130)가 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The coupling unit 140 may be coupled to the weighing unit 130 and detached from the spin chuck 11. The coupling unit 140 allows the storage member 110, the cover member 120, and the weight measurement unit 130 to be coupled to the spin chuck 11, so that the storage member 110 is rotated while the spin chuck 11 is rotated. , It is possible to prevent the cover member 120 and the weight measurement unit 130 from being separated.

중량 측정 유닛(130)이 결합 유닛(140)의 특정 위치에 안착될 수 있도록, 결합 유닛(140)은 설치부(144)를 포함할 수 있다. 설치부(144)는 중량 측정 유닛(130)의 측면을 감싸도록 이루어진 것일 수 있다.The coupling unit 140 may include an installation part 144 so that the weight measurement unit 130 may be seated at a specific position of the coupling unit 140. The installation part 144 may be configured to surround the side surface of the weight measurement unit 130.

본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치(100)를 더욱 상세하게 설명하면, 상기 중량 측정 유닛(130)은 수용부(131)를 포함할 수 있다. 수용부(131)는 중량 측정 유닛(130)에서 상기 저장 부재(110)의 구획부(112)와 대응되는 부분에 관통된 것일 수 있다.When describing the flow rate measurement device 100 according to an embodiment of the present invention in more detail, the weight measurement unit 130 may include a receiving portion 131. The accommodating part 131 may be penetrated through a portion corresponding to the partition part 112 of the storage member 110 in the weight measuring unit 130.

상기 결합 유닛(140)은 삽입부(141)를 포함할 수 있다. 삽입부(141)는 파이프 형상으로 이루어지고, 상기 중량 측정 유닛(130)의 수용부(131)에 삽입될 수 있다. 삽입부(141)는 상기 구획부(112)와 연결되며, 하방으로부터 공급되는 약액을 상기 구획부(112)까지 안내할 수 있다.The coupling unit 140 may include an insertion part 141. The insertion part 141 has a pipe shape and may be inserted into the receiving part 131 of the weight measuring unit 130. The insertion part 141 is connected to the partition part 112 and may guide the chemical liquid supplied from the lower side to the partition part 112.

더욱 상세하게, 삽입부(141)의 상측이 구획부(112)의 하측에 연결될 수 있다. 이러한 삽입부(141)와 구획부(112)의 연결 방법은 일례로 나사산에 의한 나사 결합일 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치(100)의 하방에서 공급되는 약액이 삽입부(141)를 지나서 구획부(112)로 바로 전달되어 저장 부재(110)에 저장될 수 있다.In more detail, the upper side of the insertion part 141 may be connected to the lower side of the partition part 112. The method of connecting the insertion part 141 and the partition part 112 may be, for example, screwing by screw thread, but is not limited thereto. The chemical liquid supplied from the lower side of the flow rate measurement device 100 according to an embodiment of the present invention may be directly delivered to the partition unit 112 through the insertion unit 141 and stored in the storage member 110.

한편, 상기 결합 유닛(140)은 일례로, 밀착 부재(142)와 체결 부재(143)를 포함할 수 있다.Meanwhile, the coupling unit 140 may include, for example, a contact member 142 and a fastening member 143.

밀착 부재(142)는 판 형상으로 이루어져서 상기 스핀척(11)에 밀착될 수 있다. 밀착 부재(142)의 가장자리는 일부분이 돌출될 수 있다. 결합 유닛(140)이 스핀척(11)에 설치되는 경우, 지지핀(17)이 밀착 부재(142)의 돌출된 부분을 관통할 수 있다. 이를 위하여 밀착 부재(142)의 돌출된 부분에는 지지핀(17)이 관통될 수 있는 홀(142a)이 있을 수 있다. 홀(142a)의 내경은 지지핀(17)의 외경과 유사한 크기일 수 있다.The contact member 142 may be formed in a plate shape and may be in close contact with the spin chuck 11. A portion of the edge of the contact member 142 may protrude. When the coupling unit 140 is installed on the spin chuck 11, the support pin 17 may penetrate the protruding portion of the contact member 142. To this end, the protruding portion of the contact member 142 may have a hole 142a through which the support pin 17 can pass. The inner diameter of the hole 142a may be similar to the outer diameter of the support pin 17.

체결 부재(143)는 상기 스핀척(11)에 설치되어 기판을 지지하는 지지핀(17)에 체결될 수 있다. 이를 위한 체결 부재(143)는 지지핀(17)을 감싸는 형상일 수 있다. 체결 부재(143)는 상기 밀착 부재(142)가 스핀척(11)으로부터 분리되는 것을 방지할 수 있다.The fastening member 143 may be installed on the spin chuck 11 and fastened to the support pin 17 supporting the substrate. The fastening member 143 for this may have a shape surrounding the support pin 17. The fastening member 143 may prevent the adhesion member 142 from being separated from the spin chuck 11.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치(100)는 통신 모듈(170)을 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the flow measurement apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may further include a communication module 170.

통신 모듈(170)은 상기 중량 측정 유닛(130)에 전기적으로 연결되어 상기 중량 측정 유닛(130)에서 측정된 중량 데이터를 외부로 전송할 수 있다. 통신 모듈(170)은 중량 측정 유닛(130)을 구성하는 회로 기판 상에 탈착 가능한 형태로 구성된 것도 가능할 수 있다. 이에 따라, 새로운 통신 규격으로 동작되는 통신 모듈(170)을 기존의 통신 모듈(170)과 교체하여 사용할 수 있다.The communication module 170 may be electrically connected to the weight measurement unit 130 to transmit weight data measured by the weight measurement unit 130 to the outside. The communication module 170 may be configured in a detachable form on a circuit board constituting the weight measurement unit 130. Accordingly, the communication module 170 operated with the new communication standard can be used by replacing the existing communication module 170.

통신 모듈(170)에서 사용되는 통신 방식은 일례로 와이파이 방식, 지그비 방식, 블루투스 방식, CDMA, 3G, LTE, LTE-A 방식, WAN 및 5G 등의 다양한 무선 통신 방식이 사용될 수 있으며, 특정 방식으로 한정하지는 않는다.The communication method used in the communication module 170 may be various wireless communication methods such as Wi-Fi method, ZigBee method, Bluetooth method, CDMA, 3G, LTE, LTE-A method, WAN and 5G, for example. Not limited.

통신 모듈(170)으로부터 일정 거리 떨어진 장소에 위치된 수신 장치(S)가 통신 모듈(170)에서 송신된 중량 데이터를 수신받을 수 있다. 여기서, 수신 장치(S)는 일례로 휴대 단말기 또는 컴퓨터(서버)일 수 있다. 수신 장치(S)는 중량 데이터를 유량으로 변환하여 저장할 수 있다. 중량 데이터를 유량으로 변환하는 것은 약액의 종류에 따라 다양하게 계산하여 실시할 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The receiving device S located at a place distant from the communication module 170 may receive the weight data transmitted from the communication module 170. Here, the receiving device S may be, for example, a portable terminal or a computer (server). The receiving device (S) may convert the weight data into a flow rate and store it. Converting the weight data into the flow rate can be performed by calculating variously according to the type of chemical solution, and thus a detailed description thereof will be omitted.

작업자는 본 발명의 일실시예에 따른 유량 측정 장치(100)를 여러 개의 기판 처리 장치들에 설치한 다음, 휴대 단말기를 들고 다니면서 복수의 유량 측정 장치(100)에서 송신되는 약액의 중량 데이터를 수신받을 수 있다. 따라서, 본 발명의 일실시예에 따른 유량 측정 장치(100)를 사용하여 약액의 유량을 측정하는 경우, 종래의 약액 측정 방법보다 측정 시간을 현저하게 단축시킬 수 있다.The operator installs the flow measurement device 100 according to an embodiment of the present invention on a plurality of substrate processing apparatuses, and then receives the weight data of the chemical solution transmitted from the plurality of flow measurement apparatuses 100 while carrying a portable terminal. I can receive it. Therefore, when measuring the flow rate of the chemical solution using the flow rate measuring device 100 according to an embodiment of the present invention, it is possible to significantly shorten the measurement time compared to the conventional chemical measurement method.

도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치(100)는 유출 방지 부재(150)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7, the flow rate measurement apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may further include a leakage preventing member 150.

유출 방지 부재(150)는 상기 구획부(112)의 개구된 부분에 선택적으로 결합될 수 있다. 그리고, 유출 방지 부재(150)는 상기 저장 부재(110)에 저장되는 약액(F)이 상기 구획부(112)를 통하여 유출되는 것을 방지할 수 있다. 기판 처리 장치(10)의 약액 공급 유닛(13, 도 1 참조)의 고장으로 인하여 약액(F)이 유량 측정 장치(100)로 과도하게 공급될 수도 있다.The leakage preventing member 150 may be selectively coupled to the open portion of the partition unit 112. In addition, the leakage preventing member 150 may prevent the chemical solution F stored in the storage member 110 from flowing out through the partition unit 112. Due to a failure of the chemical liquid supply unit 13 (refer to FIG. 1) of the substrate processing apparatus 10, the chemical liquid F may be excessively supplied to the flow rate measurement device 100.

이때, 유출 방지 부재(150)는 약액(F)이 저장 부재(110)로부터 넘쳐흘러서 구획부(112)로 유출되는 것을 방지할 수 있다. 이를 위한 유출 방지 부재(150)는 일례로 캡(Cap) 형상일 수 있다. 유출 방지 부재(150)가 구획부(112)에 결합되는 방법은 억지 끼움 또는 나사 결합 등이 사용될 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.In this case, the leakage preventing member 150 may prevent the chemical solution F from overflowing from the storage member 110 and flowing into the partition unit 112. For this purpose, the leakage preventing member 150 may have a cap shape, for example. The method in which the leakage preventing member 150 is coupled to the partition unit 112 may be force-fitting or screwed, but is not limited thereto.

도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치(100)는 이격 부재(160)를 포함할 수 있다.8 and 9, the flow rate measuring apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may include a spacer member 160.

이격 부재(160)는 상기 저장 부재(110)와 상기 커버 부재(120) 사이에 설치되고, 상기 저장 부재(110)와 상기 커버 부재(120)가 서로 일정거리 이격된 상태로 결합되게 할 수 있다. 이격 부재(160)는 저장 부재(110) 및 커버 부재(120) 중 어느 하나와 일체로 이루어진 것도 가능할 수 있다.The spacer member 160 is installed between the storage member 110 and the cover member 120, and the storage member 110 and the cover member 120 may be coupled in a state spaced apart from each other by a predetermined distance. . The spacer member 160 may be formed integrally with any one of the storage member 110 and the cover member 120.

유량 측정 장치(100)가 회전되면, 약액(F)이 상기 저장 부재(110)와 상기 커버 부재(120) 사이로 배출될 수 있다. 이와 같이, 중량이 측정된 약액(F)의 배출을 위하여 저장 부재(110) 또는 커버 부재(120)에 별도의 약액 배출구를 마련하지 않아도 됨으로써, 유량 측정 장치(100)의 구조를 단순화할 수 있다.When the flow measurement device 100 is rotated, the chemical liquid F may be discharged between the storage member 110 and the cover member 120. In this way, it is not necessary to provide a separate chemical liquid outlet in the storage member 110 or the cover member 120 in order to discharge the measured chemical liquid F, thereby simplifying the structure of the flow measurement device 100 .

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치(100)를 사용하는 경우, 종래와 다르게 작업자가 직접 약액(F)을 배출하지 않으므로, 작업자에게 위험한 상황이 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있다.In addition, when using the flow rate measurement device 100 according to an embodiment of the present invention, unlike the prior art, since the worker does not directly discharge the chemical solution (F), it is possible to prevent a dangerous situation for the worker in advance. .

한편, 약액(F)이 유량 측정 장치(100)로부터 배출된 이후, 노즐(24, 도 2 참조)은 저장 부재(110)와 커버 부재(120)의 세정에 사용될 수 있는 별도의 약액을 유량 측정 장치(100)에 공급하고, 유량 측정 장치(100)는 스핀척(11)의 회전에 의하여 세정될 수 있다. 이와 같이 유량 측정 장치(100)의 세정시, 작업자가 직접 세정하지 않고 기판 처리 장치(10) 내에서 자동으로 세정되도록 할 수 있다.Meanwhile, after the chemical solution F is discharged from the flow rate measurement device 100, the nozzle 24 (see FIG. 2) measures the flow rate of a separate chemical solution that can be used for cleaning the storage member 110 and the cover member 120 Supply to the device 100, the flow measurement device 100 can be cleaned by rotation of the spin chuck (11). In this way, when the flow rate measurement device 100 is cleaned, the operator does not directly clean it, but it can be cleaned automatically in the substrate processing apparatus 10.

한편, 도 9에 도시된 바와 같이, 약액(F)이 유량 측정 장치(100)로부터 배출되는 과정에서, 커버 부재(120)는 이격 부재(160)의 일부분을 커버하여 약액(F)이 상기 저장 부재(110)와 상기 커버 부재(120) 사이 이외에 다른 곳으로 배출되는 것을 방지할 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 9, in the process of discharging the chemical liquid (F) from the flow rate measurement device 100, the cover member 120 covers a part of the spacer member 160 so that the chemical solution (F) is stored It is possible to prevent discharge to other places other than between the member 110 and the cover member 120.

앞서 설명한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치(100)는 상방 또는 하방에서 공급되는 약액의 유량을 측정할 수 있다. 즉, 유량 측정 장치(100)는 종래에서와 다르게 약액을 작업자가 기판 처리 장치(10)에 접근하여 약액의 유량을 직접 측정하지 않더라도 자동적으로 측정할 수 있다.As described above, the flow rate measurement device 100 according to an embodiment of the present invention may measure the flow rate of the chemical liquid supplied from the upper or lower side. That is, unlike in the related art, the flow rate measurement device 100 can automatically measure the chemical solution even if the operator approaches the substrate processing apparatus 10 and does not directly measure the flow rate of the chemical solution.

또한, 종래에서는 작업자가 저장 용기의 눈금을 보고 약액의 유량을 측정하여 오차가 발생될 수 있었으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치(100)는 중량 측정 유닛(130)으로 유량을 측정한다. 따라서, 유량 측정 장치(100)는 작업자가 유량 측정기를 사용하여 직접 유량을 측정하는 경우보다 유량을 더욱 신속하고 정확하게 측정할 수 있다. 즉, 유량 측정 장치(100)는 약액 공급 유닛(13)에서 공급되는 약액의 유량을 정확하게 측정하여 기판 처리 장치(10)의 동작 신뢰성이 더욱 향상될 수 있다.In addition, in the related art, an error may occur when the operator measures the flow rate of the chemical solution by looking at the scale of the storage container, but the flow rate measurement device 100 according to an embodiment of the present invention measures the flow rate with the weight measurement unit 130 do. Therefore, the flow measurement device 100 can measure the flow rate more quickly and accurately than when the operator directly measures the flow rate using the flow meter. That is, the flow rate measurement apparatus 100 accurately measures the flow rate of the chemical solution supplied from the chemical solution supply unit 13, so that operation reliability of the substrate processing apparatus 10 may be further improved.

그리고, 본 발명의 일 실시예에 따른 유량 측정 장치(100)를 사용하여 유량을 측정하는 경우, 작업자가 약액에 노출되지 않게 하여 안전 사고가 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있다. 뿐만 아니라, 유량 측정 장치(100)를 사용하여 유량을 측정하면, 작업자가 직접 약액을 측정하는 것과 비교하여 작업 시간을 현저하게 단축할 수 있다.In addition, when the flow rate is measured using the flow rate measurement device 100 according to an embodiment of the present invention, it is possible to prevent a safety accident from occurring by preventing the worker from being exposed to the chemical solution. In addition, when the flow rate is measured using the flow rate measuring device 100, the working time can be significantly shortened compared to that of the operator directly measuring the chemical solution.

이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although various embodiments of the present invention have been described above, the drawings referenced so far and the detailed description of the described invention are merely illustrative of the present invention, which are used only for the purpose of describing the present invention, and are limited in meaning or claims. It is not used to limit the scope of the invention described in the range. Therefore, those of ordinary skill in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

10, 20: 기판 처리 장치
11, 21: 스핀척 12: 구동 유닛
13: 약액 공급 유닛 14, 24: 노즐
15: 약액 회수 유닛 16: 유입구
100: 유량 측정 장치
110: 저장 부재 111: 저장부
112: 구획부 120: 커버 부재
121: 베이스부 122: 가이드부
123: 관통부 130: 중량 측정 유닛
131: 수용부 140: 결합 유닛
141: 삽입부 142: 밀착 부재
143: 체결 부재 150: 유출 방지 부재
160: 이격 부재10, 20: substrate processing apparatus
11, 21: spin chuck 12: drive unit
13: chemical liquid supply unit 14, 24: nozzle
15: chemical liquid recovery unit 16: inlet
100: flow measurement device
110: storage member 111: storage unit
112: partition 120: cover member
121: base portion 122: guide portion
123: through 130: weight measuring unit
131: receiving portion 140: coupling unit
141: insertion part 142: contact member
143: fastening member 150: leakage preventing member
160: separation member

Claims (10)

기판이 안착되는 스핀척을 포함하고, 상기 기판의 상면 또는 하면으로 약액을 토출하는 기판 처리 장치에서 사용될 수 있는 유량 측정 장치에 있어서,
약액이 저장되는 내부공간을 포함하고, 하방으로부터 유입되는 약액이 내부공간으로 안내될 수 있도록 일부분이 하부와 연통되는 저장 부재;
상기 저장 부재에 결합된 것으로, 약액이 상방에서 공급되는 경우, 약액이 상기 저장 부재에 저장될 수 있게 하며, 약액이 하방에서 공급되는 경우, 약액이 상방으로 분출되는 것을 방지하면서 상기 저장 부재에 저장될 수 있게 하는 커버 부재;
상기 저장 부재에 결합되고, 상기 저장 부재에 저장되는 약액의 중량을 측정하는 중량 측정 유닛; 및
상기 중량 측정 유닛에 결합되고, 상기 스핀척에 탈착될 수 있는 결합 유닛;을 포함하고,
상기 저장 부재는,
약액이 저장되는 내부공간을 포함하고 일측이 개구되는 저장부; 및
파이프 형상으로 이루어지고, 상하방향으로 위치되며, 일단이 상기 저장부와 연통되어 하방에서 공급되는 약액이 상기 내부공간으로 유입될 수 있게 하고, 상방에서 공급되는 약액은 상기 저장부로부터 유출되지 않게 하는 구획부;를 포함
상기 중량 측정 유닛은 상기 저장 부재의 구획부와 대응되는 부분에 관통된 수용부를 포함하고,
상기 결합 유닛은 파이프 형상으로 이루어지고, 상기 중량 측정 유닛의 수용부에 삽입되며, 상기 구획부와 연결되며, 하방으로부터 공급되는 약액을 상기 구획부까지 안내하는 삽입부를 포함하는 유량 측정 장치.
In the flow rate measurement device that can be used in a substrate processing apparatus comprising a spin chuck on which a substrate is mounted and discharging a chemical solution to an upper or lower surface of the substrate,
A storage member including an internal space in which a chemical liquid is stored, and a part of which is in communication with a lower portion so that the chemical liquid introduced from the lower side can be guided to the internal space;
Combined with the storage member, when the chemical solution is supplied from the upper side, the chemical solution can be stored in the storage member, and when the chemical solution is supplied from the lower side, it is stored in the storage member while preventing the chemical solution from being ejected upward. A cover member that enables it to be made;
A weight measuring unit coupled to the storage member and measuring the weight of the chemical liquid stored in the storage member; And
A coupling unit coupled to the weighing unit and detachable to the spin chuck; and
The storage member,
A storage unit including an inner space in which a chemical solution is stored and one side is opened; And
It is made in a pipe shape, is located in the vertical direction, and has one end in communication with the storage unit so that the chemical liquid supplied from the lower side can be introduced into the internal space, and the chemical liquid supplied from the upper side does not flow out from the storage unit. Compartment; including
The weight measurement unit includes a receiving portion penetrating through a portion corresponding to the partition portion of the storage member,
The coupling unit is formed in the shape of a pipe, is inserted into the receiving portion of the weighing unit, is connected to the partition portion, flow measurement device including an insertion portion for guiding the chemical solution supplied from the lower side to the partition portion.
 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 커버 부재는,
상기 저장 부재에 결합되는 베이스부;
상기 구획부로부터 일정 거리 이격되고 상기 구획부와 마주하도록 위치되어 상기 구획부를 통하여 유입되는 약액이 상방으로 분출되는 것을 방지하는 가이드부; 및
약액이 유입가능하도록 상기 베이스부의 일부분에 관통된 하나 이상의 관통부;를 포함하는 유량 측정 장치.The method of claim 1,
The cover member,
A base portion coupled to the storage member;
A guide part spaced apart from the partition part by a predetermined distance and positioned to face the partition part to prevent the chemical liquid introduced through the partition part from being ejected upward; And
Flow measurement device comprising a; one or more penetrating through a portion of the base portion to allow the chemical to flow in. 제4항에 있어서,
상기 가이드부는 구획부보다 좌우 방향을 기준으로 크기가 크게 이루어진 유량 측정 장치.The method of claim 4,
A flow measurement device having a size larger in the left and right directions than the guide portion. 제4항에 있어서,
상기 관통부는 복수개이고, 상기 복수의 관통부는 상기 가이드부를 기준으로 일정 각도마다 위치된 유량 측정 장치.The method of claim 4,
The plurality of through portions, and the plurality of through portions are located at a predetermined angle relative to the guide portion. 제1항에 있어서,
상기 구획부의 개구된 부분에 선택적으로 결합되고, 상기 저장 부재에 저장되는 약액이 상기 구획부를 통하여 유출되는 것을 방지하는 유출 방지 부재를 더 포함하는 유량 측정 장치.The method of claim 1,
The flow measurement device further comprises a leakage preventing member selectively coupled to the open portion of the partition and preventing the chemical liquid stored in the storage member from flowing out through the partition. 제1항에 있어서,
상기 결합 유닛은,
판 형상으로 이루어져서 상기 스핀척에 밀착되는 밀착 부재; 및
상기 스핀척에 설치되어 기판을 지지하는 지지핀에 체결되고, 상기 밀착 부재가 스핀척으로부터 분리되는 것을 방지하는 체결 부재;를 포함하는 유량 측정 장치.The method of claim 1,
The coupling unit,
A contact member formed in a plate shape and in close contact with the spin chuck; And
And a fastening member installed on the spin chuck and fastened to a support pin supporting a substrate and preventing the contact member from being separated from the spin chuck. 제1항에 있어서,
상기 저장 부재와 상기 커버 부재 사이에 설치되고, 상기 저장 부재와 상기 커버 부재가 서로 일정거리 이격된 상태로 결합되게 하는 이격 부재를 포함하는 유량 측정 장치.The method of claim 1,
A flow measurement device comprising a spacer member installed between the storage member and the cover member, and configured to couple the storage member and the cover member in a state spaced apart from each other by a predetermined distance. 제1항에 있어서,
상기 중량 측정 유닛에 전기적으로 연결되어 상기 중량 측정 유닛에서 측정된 중량 데이터를 외부로 전송하는 통신 모듈을 더 포함하는 유량 측정 장치.The method of claim 1,
The flow measurement device further comprises a communication module electrically connected to the weight measurement unit to transmit the weight data measured by the weight measurement unit to the outside.
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