KR102177313B1 - Photosensitive resin composition, and dry film photoresist, photosensitive element, circuit board, display device using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition, and dry film photoresist, photosensitive element, circuit board, display device using the same Download PDF

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Abstract

The present invention relates to a photosensitive resin composition comprising a monofunctional photopolymerizable compound and a trifunctional or higher-functional photopolymerizable compound, and having excellent adhesion to a board, and to a dry film photoresist, a circuit board, and a display device using the same.

Description

감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 드라이 필름 포토레지스트, 감광성 엘리먼트, 회로기판, 및 디스플레이 장치{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, AND DRY FILM PHOTORESIST, PHOTOSENSITIVE ELEMENT, CIRCUIT BOARD, DISPLAY DEVICE USING THE SAME}Photosensitive resin composition and dry film photoresist using the same, photosensitive element, circuit board, and display device {PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, AND DRY FILM PHOTORESIST, PHOTOSENSITIVE ELEMENT, CIRCUIT BOARD, DISPLAY DEVICE USING THE SAME}

본 발명은 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 드라이 필름 포토레지스트, 회로기판, 및 디스플레이 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a photosensitive resin composition and a dry film photoresist using the same, a circuit board, and a display device.

감광성 수지 조성물은 인쇄회로기판(Printed Circuit Board; PCB)이나 리드 프레임(Lead Frame)에 사용되고 있는 드라이 필름 포토 레지스트(Dry Film Photoresist, DFR), 액상 포토 레지스트(Liquid Photoresist Ink) 등의 형태로 사용되고 있다.The photosensitive resin composition is used in the form of dry film photoresist (DFR), liquid photoresist ink, etc., which are used in printed circuit boards (PCBs) or lead frames. .

현재는 인쇄회로기판(PCB)나 리드 프레임 제조뿐만 아니라, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 립 베리어(Rib barrier)나 기타 디스플레이의 ITO 전극, 버스 어드레스(Bus Address) 전극, 블랙 매트릭스(Black Matrix) 제조 등에도 드라이 필름 포토 레지스트가 널리 사용되고 있다.Currently, not only manufacturing printed circuit boards (PCBs) and lead frames, but also manufacturing rib barriers of plasma display panels (PDPs), ITO electrodes, bus address electrodes, and black matrixes of other displays. Dry film photoresists are also widely used for the like.

이러한, 일반적으로 드라이 필름 포토레지스트는 동장적층판(Copper Clad Laminates) 상에 적층되는 용도로 많이 사용된다. 이와 관련하여 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, PCB)의 제조과정의 일 예로는, PCB의 원판소재인 동장적층판을 라미네이션하기 위해 먼저 전처리 공정을 거친다. 전처리공정은 외층공정에서는 드릴링, 디버링(deburing), 정면 등의 순이며, 내층공정에서는 정면 또는 산세를 거친다. 정면공정에서는 bristle brush 및 jet pumice 공정이 주로 사용되며, 산세는 soft etching 및 5wt% 황산 산세를 거칠 수 있다.In general, dry film photoresists are widely used for lamination on copper clad laminates. In this regard, as an example of a manufacturing process of a printed circuit board (PCB), a pre-treatment process is first performed in order to laminate a copper clad laminate, which is an original material of the PCB. The pretreatment process is in the order of drilling, deburing, and front in the outer layer process, and the front or pickling in the inner layer process. In the frontal process, bristle brush and jet pumice processes are mainly used, and the pickling can be subjected to soft etching and 5wt% sulfuric acid pickling.

전처리 공정을 거친 동장적층판에 회로를 형성시키기 위해서는 일반적으로 동장적층판의 구리층 위에 드라이 필름 포토레지스트(이하, DFR이라 함)을 라미네이션한다. 이 공정에서는 라미네이터를 이용하여 DFR의 보호 필름을 벗겨내면서 DFR의 포토레지스트층을 구리 표면 위에 라미네이션시킨다. 일반적으로 라미네이션 속도 0.5~3.5 m/min, 온도 100~130℃, 로울러 압력 가열롤압력 10~90 psi에서 진행한다.In order to form a circuit on the copper clad laminate that has undergone the pretreatment process, in general, a dry film photoresist (hereinafter referred to as DFR) is laminated on the copper layer of the copper clad laminate. In this process, a photoresist layer of DFR is laminated on the copper surface while peeling off the protective film of DFR using a laminator. Generally, the lamination speed is 0.5~3.5 m/min, the temperature is 100~130℃, and the roller pressure is heated at 10~90psi.

라미네이션 공정을 거친 인쇄회로기판은 기판의 안정화를 위하여 15분 이상 방치한 후 원하는 회로패턴이 형성된 포토마스크를 이용하여 DFR의 포토레지스트에 대해 노광을 진행한다. 이 과정에서 포토마스크에 자외선을 조사하면 자외선이 조사된 포토레지스트는 조사된 부위에서 함유된 광개지제에 의해 중합이 개시된다. 먼저 초기에는 포토레지스트내의 산소가 소모되고, 다음 활성화된 모노머가 중합되어 가교반응이 일어나고 그 후 많은 양의 모노머가 소모되면서 중합반응이 진행된다. 한편 미노광부위는 가교 반응이 진행되지 않은 상태로 존재하게 된다.The printed circuit board that has undergone the lamination process is allowed to stand for 15 minutes or more for stabilization of the substrate, and then exposure to the photoresist of DFR is performed using a photomask having a desired circuit pattern formed thereon. In this process, when the photomask is irradiated with ultraviolet rays, the photoresist irradiated with ultraviolet rays starts polymerization by the photomodifier contained in the irradiated area. First, oxygen in the photoresist is consumed initially, and then the activated monomer is polymerized to cause a crosslinking reaction. After that, a large amount of the monomer is consumed, and the polymerization reaction proceeds. On the other hand, the unexposed portion exists in a state in which the crosslinking reaction has not progressed.

다음 포토레지스트의 미노광 부분을 제거하는 현상공정을 진행하는데, 알카리 현상성 DFR인 경우 현상액으로 0.8~1.2 wt%의 포타슘카보네이트 및 소듐카보네이트 수용액이 사용된다. 이 공정에서 미노광 부분의 포토레지스트는 현상액내에서 결합제 고분자의 카르복시산과 현상액의 비누화 반응에 의해서 씻겨나가고, 경화된 포토레지스트는 구리표면 위에 잔류하게 된다.Next, a developing process is performed to remove the unexposed portion of the photoresist. In the case of alkali developable DFR, 0.8 to 1.2 wt% of potassium carbonate and sodium carbonate aqueous solution are used as a developer. In this process, the unexposed photoresist is washed away by the saponification reaction between the carboxylic acid of the binder polymer and the developer in the developer, and the cured photoresist remains on the copper surface.

다음 내층 및 외층 공정에 따라 다른 공정을 거쳐 회로가 형성된다. 내층공정에서는 부식과 박리공정을 통하여 기판상에 회로가 형성되며 외층공정에서는 도금 및 텐팅공정을 거친 후 에칭과 솔더 박리를 진행하고 소정의 회로를 형성시킨다.Next, a circuit is formed through different processes depending on the inner and outer layer processes. In the inner layer process, a circuit is formed on the substrate through corrosion and peeling processes, and in the outer layer process, after plating and tenting processes, etching and solder peeling are performed, and a predetermined circuit is formed.

최근에는 감광성 수지 조성물에 있어서 초고압 수은등이나 레이저 다이렉트(Laser Direct) 노광에 대한 감도가 높고, 현상 공정에서 현상액에 대한 내성이 증가하여 고밀도의 회로 형성이 가능하며, 기판노광 위치 설정을 위한 UV 마커로 사용하기 위해 발색도가 뛰어나고, 경화막의 박리 시간 단축과 박리 시편이 작아 필터에 막힘이 없으며, 기판과의 접착력이 우수한 드라이 필름 포토레지스트를 제공할 수 있는 감광성 수지 조성물을 필요로 하고 있다.In recent years, photosensitive resin compositions have high sensitivity to ultra-high pressure mercury lamps or laser direct exposure, and resistance to developing solutions in the developing process increases, enabling high-density circuit formation, and as a UV marker for setting substrate exposure positions. For use, there is a need for a photosensitive resin composition capable of providing a dry film photoresist having excellent color development, shortening the peeling time of the cured film, and small peeling specimens, so that the filter is not clogged, and has excellent adhesion to the substrate.

본 발명은 단관능 광중합성 화합물 및 3 관능 이상의 다관능 광중합성 화합물을 포함하여, 우수한 기판 밀착력을 구현할 수 있는 감광성 수지 조성물을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of implementing excellent adhesion to a substrate, including a monofunctional photopolymerizable compound and a trifunctional or more multifunctional photopolymerizable compound.

또한, 본 발명은 상기의 감광성 수지 조성물을 이용한 드라이 필름 포토레지스트, 감광성 엘리먼트, 회로기판, 및 디스플레이 장치를 제공하기 위한 것이다.In addition, the present invention is to provide a dry film photoresist, a photosensitive element, a circuit board, and a display device using the photosensitive resin composition.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 명세서에서는, 알칼리 현상성 바인더 수지, 광중합 개시제, 및 광중합성 화합물을 포함하고,상기 광중합성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 및 하기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함하고, 상기 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물 100 중량부에 대하여 상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 100 중량부 미만으로 포함하는, 감광성 수지 조성물을 제공한다.In order to solve the above problem, in the present specification, an alkali developable binder resin, a photopolymerization initiator, and a photopolymerizable compound are included, and the photopolymerizable compound is a monofunctional (meth)acrylate compound represented by the following Formula 1, and the following Including a polyfunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 2, and containing less than 100 parts by weight of the polyfunctional (meth)acrylate compound based on 100 parts by weight of the monofunctional (meth)acrylate compound, photosensitive Provides a resin composition.

[화학식1][Formula 1]

Figure 112019136264084-pat00001
Figure 112019136264084-pat00001

상기 화학식1 에서, In Formula 1,

R1은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,R 1 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms,

R2는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고,R 2 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms,

R3은 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,R 3 is alkyl having 1 to 10 carbon atoms,

n1은 1 내지 20의 정수이고,n1 is an integer from 1 to 20,

[화학식2][Formula 2]

Figure 112019136264084-pat00002
Figure 112019136264084-pat00002

상기 화학식2 에서, In Chemical Formula 2,

R4은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,R 4 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms,

R5는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고,R 5 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms,

R6은 탄소수 1 내지 20의 중심 그룹을 포함하는 p가 작용기이고,R 6 is a functional group in which p containing a central group having 1 to 20 carbon atoms,

n2은 1 내지 20의 정수이고,n2 is an integer from 1 to 20,

p는 상기 R6에 치환되는 작용기수이고, 3 내지 10의 정수이다. p is the number of functional groups substituted for R 6 , and is an integer of 3 to 10.

본 명세서에서는 또한, 상기 감광성 수지 조성물을 함유한 감광성 수지층을 포함하는 드라이 필름 포토레지스트가 제공된다.In the present specification, a dry film photoresist including a photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition is also provided.

본 명세서에서는 또한, 고분자 기재; 및 상기 고분자 기재 상에 형성된 감광성 수지층을 포함하고, 기판상에 상기 감광성 수지층이 적층된 필름 시료에 대하여 필 테스터를 이용하여 Tape peeling 테스트시, 하기 수학식1로 정의되는 밀착도가 90% 이상인 감광성 엘리먼트가 제공된다. In the present specification, the polymer substrate; And a photosensitive resin layer formed on the polymer substrate, and when a tape peeling test is performed using a peel tester on a film sample in which the photosensitive resin layer is laminated on a substrate, an adhesion degree defined by Equation 1 below is 90% or more. A photosensitive element is provided.

[수학식1][Equation 1]

밀착도(%) = (Tape peeling 테스트 후 기판과 감광성 수지층 표면적 / Tape peeling 테스트 전 기판과 접촉한 감광성 수지층 표면적) * 100.Adhesion (%) = (The surface area of the substrate and the photosensitive resin layer after the tape peeling test / The surface area of the photosensitive resin layer in contact with the substrate before the tape peeling test) * 100.

본 명세서에서는 또한, 상기 드라이 필름 포토레지스트를 포함하는 회로 기판 및 디스플레이 장치가 제공된다.In the present specification, a circuit board and a display device including the dry film photoresist are also provided.

이하 발명의 구체적인 구현예에 따른 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 드라이 필름 포토레지스트, 감광성 엘리먼트, 회로기판, 및 디스플레이 장치에 대하여 보다 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, a photosensitive resin composition according to a specific embodiment of the present invention and a dry film photoresist using the same, a photosensitive element, a circuit board, and a display device will be described in more detail.

본 명세서에서 명시적인 언급이 없는 한, 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다.Unless expressly stated in the specification, terminology is only intended to refer to specific embodiments and is not intended to limit the invention.

본 명세서에서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. The singular forms used in the present specification also include plural forms unless the phrases clearly indicate the opposite.

본 명세서에서 사용되는 '포함'의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.The meaning of'comprising' as used herein specifies a specific characteristic, region, integer, step, action, element and/or component, and other specific characteristic, region, integer, step, action, element, component and/or group It does not exclude the existence or addition of

그리고, 본 명세서에서 '제 1' 및 '제 2'와 같이 서수를 포함하는 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로 사용되며, 상기 서수에 의해 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위 내에서 제 1 구성요소는 제 2 구성요소로도 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소는 제 1 구성요소로 명명될 수 있다. Further, in the present specification, terms including ordinal numbers such as'first' and'second' are used for the purpose of distinguishing one component from other components, and are not limited by the ordinal number. For example, within the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.

본 명세서에서, 치환기의 예시들은 아래에서 설명하나, 이에 한정되는 것은 아니다. In the present specification, examples of the substituent are described below, but are not limited thereto.

본 명세서에서, "치환"이라는 용어는 화합물 내의 수소 원자 대신 다른 작용기가 결합하는 것을 의미하며, 치환되는 위치는 수소 원자가 치환되는 위치 즉, 치환기가 치환 가능한 위치라면 한정되지 않으며, 2 이상 치환되는 경우, 2 이상의 치환기는 서로 동일하거나 상이할 수 있다.In the present specification, the term "substitution" means that other functional groups are bonded in place of a hydrogen atom in the compound, and the position to be substituted is not limited as long as the position at which the hydrogen atom is substituted, that is, a position where the substituent can be substituted, and when two or more are substituted , Two or more substituents may be the same or different from each other.

본 명세서에서 "치환 또는 비치환된" 이라는 용어는 중수소; 할로겐기; 시아노기; 니트로기; 히드록시기; 카르보닐기; 에스테르기; 이미드기; 아미드기; 1차 아미노기; 카르복시기; 술폰산기; 술폰아미드기; 포스핀옥사이드기; 알콕시기; 아릴옥시기; 알킬티옥시기; 아릴티옥시기; 알킬술폭시기; 아릴술폭시기; 실릴기; 붕소기; 알킬기; 시클로알킬기; 알케닐기; 아릴기; 아르알킬기; 아르알케닐기; 알킬아릴기; 알콕시실릴알킬기; 아릴포스핀기; 또는 N, O 및 S 원자 중 1개 이상을 포함하는 헤테로고리기로 이루어진 군에서 선택된 1개 이상의 치환기로 치환 또는 비치환되거나, 상기 예시된 치환기 중 2 이상의 치환기가 연결된 치환 또는 비치환된 것을 의미한다. 예컨대, "2 이상의 치환기가 연결된 치환기"는 바이페닐기일 수 있다. 즉, 바이페닐기는 아릴기일 수도 있고, 2개의 페닐기가 연결된 치환기로 해석될 수도 있다.In the present specification, the term "substituted or unsubstituted" refers to deuterium; Halogen group; Cyano group; Nitro group; Hydroxy group; Carbonyl group; Ester group; Imide group; Amide group; Primary amino group; Carboxyl group; Sulfonic acid group; Sulfonamide group; Phosphine oxide group; Alkoxy group; Aryloxy group; Alkyl thioxy group; Arylthioxy group; Alkyl sulfoxy group; Arylsulfoxy group; Silyl group; Boron group; Alkyl group; Cycloalkyl group; Alkenyl group; Aryl group; Aralkyl group; Aralkenyl group; Alkylaryl group; Alkoxysilylalkyl group; Arylphosphine group; Or it means a substituted or unsubstituted substituted or unsubstituted with one or more substituents selected from the group consisting of a heterocyclic group containing one or more of N, O and S atoms, or linked with two or more substituents among the above-exemplified substituents. . For example, "a substituent to which two or more substituents are connected" may be a biphenyl group. That is, the biphenyl group may be an aryl group or may be interpreted as a substituent to which two phenyl groups are connected.

본 명세서에서,

Figure 112019136264084-pat00003
, 또는
Figure 112019136264084-pat00004
는 다른 치환기에 연결되는 결합을 의미하고, 직접결합은 L 로 표시되는 부분에 별도의 원자가 존재하지 않은 경우를 의미한다. In this specification,
Figure 112019136264084-pat00003
, or
Figure 112019136264084-pat00004
Means a bond connected to another substituent, and a direct bond means a case in which a separate atom does not exist in the portion represented by L.

본 명세서에서, (메트)아크릴은 아크릴 및 메타크릴을 모두 포함하는 의미이다. 예를 들어, (메트)아크릴레이트는 아크릴레이트 및 메타크릴레이트를 모두 포함하는 의미이다.In the present specification, (meth)acrylic is meant to include both acrylic and methacrylic. For example, (meth)acrylate is meant to include both acrylate and methacrylate.

본 명세서에 있어서, 알킬기는 알케인(alkane)으로부터 유래한 1가의 작용기로, 직쇄 또는 분지쇄일 수 있고, 상기 직쇄 알킬기의 탄소수는 특별히 한정되지 않으나 1 내지 20인 것이 바람직하다. 또한, 상기 분지쇄 알킬기의 탄소수는 3 내지 20이다. 알킬기의 구체적인 예로는 메틸, 에틸, 프로필, n-프로필, 이소프로필, 부틸, n-부틸, 이소부틸, tert-부틸, sec-부틸, 1-메틸-부틸, 1-에틸-부틸, 펜틸, n-펜틸, 이소펜틸, 네오펜틸, tert-펜틸, 헥실, n-헥실, 1-메틸펜틸, 2-메틸펜틸, 4-메틸-2-펜틸, 3,3-디메틸부틸, 2-에틸부틸, 헵틸, n-헵틸, 1-메틸헥실, 옥틸, n-옥틸, tert-옥틸, 1-메틸헵틸, 2-에틸헥실, 2-프로필펜틸, n-노닐, 2,2-디메틸헵틸, 1-에틸-프로필, 1,1-디메틸-프로필, 이소헥실, 2-메틸펜틸, 4-메틸헥실, 5-메틸헥실, 2,6-디메틸헵탄-4-일 등이 있으나, 이들에 한정되지 않는다. 상기 알킬기는 치환 또는 비치환될 수 있으며, 치환되는 경우 치환기의 예시는 상술한 바와 같다.In the present specification, the alkyl group is a monovalent functional group derived from alkane and may be linear or branched, and the number of carbon atoms of the linear alkyl group is not particularly limited, but is preferably 1 to 20. Further, the branched chain alkyl group has 3 to 20 carbon atoms. Specific examples of the alkyl group include methyl, ethyl, propyl, n-propyl, isopropyl, butyl, n-butyl, isobutyl, tert-butyl, sec-butyl, 1-methyl-butyl, 1-ethyl-butyl, pentyl, n -Pentyl, isopentyl, neopentyl, tert-pentyl, hexyl, n-hexyl, 1-methylpentyl, 2-methylpentyl, 4-methyl-2-pentyl, 3,3-dimethylbutyl, 2-ethylbutyl, heptyl , n-heptyl, 1-methylhexyl, octyl, n-octyl, tert-octyl, 1-methylheptyl, 2-ethylhexyl, 2-propylpentyl, n-nonyl, 2,2-dimethylheptyl, 1-ethyl- Propyl, 1,1-dimethyl-propyl, isohexyl, 2-methylpentyl, 4-methylhexyl, 5-methylhexyl, 2,6-dimethylheptan-4-yl, and the like, but are not limited thereto. The alkyl group may be substituted or unsubstituted, and when substituted, examples of the substituent are as described above.

본 명세서에 있어서, 아릴기는 아렌(arene)으로부터 유래한 1가의 작용기로, 특별히 한정되지 않으나 탄소수 6 내지 20인 것이 바람직하며, 단환식 아릴기 또는 다환식 아릴기일 수 있다. 상기 아릴기가 단환식 아릴기로는 페닐기, 바이페닐기, 터페닐기 등이 될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 다환식 아릴기로는 나프틸기, 안트라세닐기, 페난트릴기, 파이레닐기, 페릴레닐기, 크라이세닐기, 플루오레닐기 등이 될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 아릴기는 치환 또는 비치환될 수 있으며, 치환되는 경우 치환기의 예시는 상술한 바와 같다.In the present specification, the aryl group is a monovalent functional group derived from arene, is not particularly limited, but preferably has 6 to 20 carbon atoms, and may be a monocyclic aryl group or a polycyclic aryl group. The aryl group may be a phenyl group, a biphenyl group, or a terphenyl group, but the monocyclic aryl group is not limited thereto. The polycyclic aryl group may be a naphthyl group, an anthracenyl group, a phenanthryl group, a pyrenyl group, a perylenyl group, a chrysenyl group, a fluorenyl group, and the like, but is not limited thereto. The aryl group may be substituted or unsubstituted, and when substituted, examples of the substituent group are as described above.

본 명세서에 있어서, 알킬렌기는 알케인(alkane)으로부터 유래한 2가의 작용기로, 이들은 2가의 작용기인 것을 제외하고는 전술한 알킬기의 설명이 적용될 수 있다. 예를 들어, 직쇄형, 또는 분지형으로서, 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 이소부틸렌기, sec-부틸렌기, tert-부틸렌기, 펜틸렌기, 헥실렌기 등이 될 수 있다. 상기 알킬렌기는 치환 또는 비치환될 수 있다.In the present specification, the alkylene group is a divalent functional group derived from alkane, and the description of the above alkyl group may be applied except that these are divalent functional groups. For example, as a linear or branched type, it may be a methylene group, an ethylene group, a propylene group, an isobutylene group, a sec-butylene group, a tert-butylene group, a pentylene group, a hexylene group, and the like. The alkylene group may be substituted or unsubstituted.

본 명세서에 있어서, 다가 작용기는 임의의 화합물에 결합된 복수의 수소 원자가 제거된 형태의 잔기로 예를 들어 2가 작용기, 3가 작용기, 4가 작용기를 들 수 있다. 일 예로, 사이클로부탄에서 유래한 4가의 작용기는 사이클로부탄에 결합된 임의의 수소 원자 4개가 제거된 형태의 잔기를 의미한다. In the present specification, the polyvalent functional group is a residue in which a plurality of hydrogen atoms bonded to an arbitrary compound has been removed, and examples thereof include a divalent functional group, a trivalent functional group, and a tetravalent functional group. For example, a tetravalent functional group derived from cyclobutane refers to a residue in the form of removal of any 4 hydrogen atoms bonded to cyclobutane.

본 명세서에서, 직접결합 또는 단일결합은 해당 위치에 어떠한 원자 또는 원자단도 존재하지 않아, 결합선으로 연결되는 것을 의미한다. 구체적으로, 화학식 중 Ra, 또는 Lb(a 및 b는 각각 1 내지 20의 정수)로 표시되는 부분에 별도의 원자가 존재하지 않은 경우를 의미한다.In the present specification, a direct bond or a single bond means that no atom or group of atoms exists at the corresponding position and is connected by a bonding line. Specifically, it means a case in which no separate atom exists in the portion represented by R a , or L b (a and b are each integer of 1 to 20) in the formula.

본 명세서에서, "(광)경화물" 또는 "(광)경화"되었다 함은, 화학 구조 중에 경화 또는 가교 가능한 불포화기를 갖는 구성 성분이 전부 경화, 가교 또는 중합된 경우뿐만 아니라, 이의 일부가 경화, 가교 또는 중합된 경우까지 포괄할 수 있다.In this specification, “(photo) cured product” or “(photo) cured” means not only when all constituents having a curable or crosslinkable unsaturated group in the chemical structure are cured, crosslinked, or polymerized, but also partially cured. , Crosslinked or polymerized may be covered.

이하, 본 발명을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

1. 감광성 수지 조성물1. Photosensitive resin composition

발명의 일 구현예에 따르면, 알칼리 현상성 바인더 수지, 광중합 개시제, 및 광중합성 화합물을 포함하고, 상기 광중합성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 및 하기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함하고, 상기 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물 100 중량부에 대하여 상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 100 중량부 미만으로 포함하는, 감광성 수지 조성물이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, an alkali developable binder resin, a photopolymerization initiator, and a photopolymerizable compound are included, and the photopolymerizable compound is a monofunctional (meth)acrylate compound represented by the following Formula 1, and the following Formula 2 A photosensitive resin composition comprising the displayed polyfunctional (meth)acrylate compound, and containing less than 100 parts by weight of the polyfunctional (meth)acrylate compound based on 100 parts by weight of the monofunctional (meth)acrylate compound Can be provided.

[화학식1][Formula 1]

Figure 112019136264084-pat00005
Figure 112019136264084-pat00005

상기 화학식1 에서, R1은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R2는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고, R3은 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, n1은 1 내지 20의 정수이고,In Formula 1, R 1 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, R 2 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms, R 3 is alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and n1 is an integer of 1 to 20 ,

[화학식2][Formula 2]

Figure 112019136264084-pat00006
Figure 112019136264084-pat00006

상기 화학식2 에서, R4은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R5는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고, R6은 탄소수 1 내지 20의 중심 그룹을 포함하는 p가 작용기이고, n2은 1 내지 20의 정수이고, p는 상기 R6에 치환되는 작용기수이고, 3 내지 10의 정수이다. In Formula 2, R 4 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, R 5 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms, R 6 is a functional group p including a central group having 1 to 20 carbon atoms, n2 Is an integer of 1 to 20, p is the number of functional groups substituted for R 6 , and is an integer of 3 to 10.

본 발명자들은 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 상기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 및 상기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함하여, 상기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물에 의해 구현되는 기판에 대한 물리적 밀착력 향상 및 상기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물에 의하여 구현되는 우수한 광경화 속도와 경화도가 동시에 구현되어, 우수한 물성(해상도, 세선 밀착력 등)을 확보할 수 있음을 실험을 통해 확인하고 발명을 완성하였다. The present inventors believe that the photosensitive resin composition of the embodiment includes a monofunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 1, and a polyfunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 2, represented by Formula 1 Improved physical adhesion to the substrate implemented by the monofunctional (meth)acrylate compound and excellent photocuring speed and cure achieved by the multifunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 2 above, It was confirmed through an experiment that physical properties (resolution, fine wire adhesion, etc.) could be secured and the invention was completed.

(1)(One) 알칼리 현상성 바인더 수지Alkali developable binder resin

본 발명의 감광성 수지 조성물은 알칼리 현상성 바인더 수지를 포함할 수 있다. The photosensitive resin composition of the present invention may contain an alkali developable binder resin.

구체적으로 상기 알칼리 현상성 바인더 수지는 적어도 2종 이상의 알칼리 현상성 바인더 수지를 포함할 수 있다. 적어도 2종 이상의 알칼리 현상성 바인더 수지란 2종 이상의 알칼리 현상성 바인더 수지의 혼합물을 의미할 수 있다. Specifically, the alkali developable binder resin may include at least two or more alkali developable binder resins. At least two or more alkali developable binder resins may mean a mixture of two or more alkali developable binder resins.

상기 적어도 2종 이상의 알칼리 현상성 바인더 수지는 하기 화학식 3으로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 4로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 5로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 6로 표시되는 반복단위 및 하기 화학식 7로 표시되는 반복단위를 포함한 제1 알칼리 현상성 바인더 수지; 및 하기 화학식 4로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 5로 표시되는 반복단위, 및 하기 화학식 6로 표시되는 반복단위를 포함한 제2 알칼리 현상성 바인더 수지;를 포함할 수 있다. The at least two or more alkali developable binder resins include a repeating unit represented by the following formula 3, a repeating unit represented by the following formula 4, a repeating unit represented by the following formula 5, a repeating unit represented by the following formula 6, and the following formula 7 A first alkali developable binder resin including a repeating unit represented by; And a second alkali developable binder resin including a repeating unit represented by the following Formula 4, a repeating unit represented by the following Formula 5, and a repeating unit represented by the following Formula 6.

[화학식 3][Formula 3]

Figure 112019136264084-pat00007
Figure 112019136264084-pat00007

상기 화학식 3에서, R3"는 수소이고,In Formula 3, R 3 "is hydrogen,

[화학식 4][Formula 4]

Figure 112019136264084-pat00008
Figure 112019136264084-pat00008

상기 화학식 4에서, R3'는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,In Formula 4, R 3 ′ is an alkyl having 1 to 10 carbon atoms,

[화학식 5][Formula 5]

Figure 112019136264084-pat00009
Figure 112019136264084-pat00009

상기 화학식 5에서, R4"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R5"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,In Formula 5, R 4 "is an alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and R 5 "is an alkyl having 1 to 10 carbon atoms,

[화학식 6][Formula 6]

Figure 112019136264084-pat00010
Figure 112019136264084-pat00010

상기 화학식 6에서, Ar은 탄소수 6 내지 20의 아릴이고,In Formula 6, Ar is an aryl having 6 to 20 carbon atoms,

[화학식 7][Formula 7]

Figure 112019136264084-pat00011
Figure 112019136264084-pat00011

상기 화학식 7에서, R4'는 수소이고, R5'는 탄소수 1 내지 10의 알킬이다.In Formula 7, R 4 ′ is hydrogen, and R 5 ′ is alkyl having 1 to 10 carbon atoms.

구체적으로, 상기 제1 알카리 현상성 바인더 수지는 하기 화학식 3으로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 4로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 5로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 6로 표시되는 반복단위 및 하기 화학식 7로 표시되는 반복단위의 랜덤 공중합체를 포함할 수 있다.Specifically, the first alkali developable binder resin is a repeating unit represented by the following formula (3), a repeating unit represented by the following formula (4), a repeating unit represented by the following formula (5), a repeating unit represented by the following formula (6), and the following formula: It may include a random copolymer of repeating units represented by 7.

[화학식 3][Formula 3]

Figure 112019136264084-pat00012
Figure 112019136264084-pat00012

상기 화학식 3에서, R3"는 수소이고,In Formula 3, R 3 "is hydrogen,

[화학식 4][Formula 4]

Figure 112019136264084-pat00013
Figure 112019136264084-pat00013

상기 화학식 4에서, R3'는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,In Formula 4, R 3 ′ is an alkyl having 1 to 10 carbon atoms,

[화학식 5][Formula 5]

Figure 112019136264084-pat00014
Figure 112019136264084-pat00014

상기 화학식 5에서, R4"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R5"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,In Formula 5, R 4 "is an alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and R 5 "is an alkyl having 1 to 10 carbon atoms,

[화학식 6][Formula 6]

Figure 112019136264084-pat00015
Figure 112019136264084-pat00015

상기 화학식 6에서, Ar은 탄소수 6 내지 20의 아릴이고,In Formula 6, Ar is an aryl having 6 to 20 carbon atoms,

[화학식 7][Formula 7]

Figure 112019136264084-pat00016
Figure 112019136264084-pat00016

상기 화학식 7에서, R4'는 수소이고, R5'는 탄소수 1 내지 10의 알킬이다.In Formula 7, R 4 ′ is hydrogen, and R 5 ′ is alkyl having 1 to 10 carbon atoms.

상기 화학식3 내지 7에서, 상기 탄소수 1 내지 10의 알킬의 구체적인 예로는 메틸을 들 수 있다.In Formulas 3 to 7, specific examples of the alkyl having 1 to 10 carbon atoms include methyl.

Ar은 탄소수 6 내지 20의 아릴이고, 상기 탄소수 6 내지 20의 아릴의 구체적인 예로는 페닐을 들 수 있다.Ar is an aryl having 6 to 20 carbon atoms, and a specific example of the aryl having 6 to 20 carbon atoms is phenyl.

상기 화학식4로 표시되는 반복단위는 하기 화학식4-1로 표시되는 단량체로부터 유래된 반복단위일 수 있다.The repeating unit represented by Formula 4 may be a repeating unit derived from a monomer represented by Formula 4-1 below.

[화학식4-1][Formula 4-1]

Figure 112019136264084-pat00017
Figure 112019136264084-pat00017

상기 화학식4-1에서, R3'은 탄소수 1 내지 10의 알킬이다. 상기 화학식4-1에서, R3'에 관한 내용은 상기 화학식4에서 상술한 내용과 같다. 상기 화학식4-1로 표시되는 단량체의 구체적인 예로, 메타크릴산(Methacrylic acid, MAA)을 들 수 있다.In Formula 4-1, R 3 ′ is alkyl having 1 to 10 carbon atoms. In Formula 4-1, R 3 ′ is the same as described above in Formula 4. Specific examples of the monomer represented by Formula 4-1 may include methacrylic acid (MAA).

상기 화학식5로 표시되는 반복단위는 하기 화학식5-1로 표시되는 단량체로부터 유래된 반복단위일 수 있다.The repeating unit represented by Formula 5 may be a repeating unit derived from a monomer represented by Formula 5-1 below.

[화학식5-1][Chemical Formula 5-1]

Figure 112019136264084-pat00018
Figure 112019136264084-pat00018

상기 화학식5-1에서, R4"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R5"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이다. 상기 화학식5-1에서, R4" 및 R5"에 관한 내용은 상기 화학식5에서 상술한 내용과 같다. 상기 화학식5-1로 표시되는 단량체의 구체적인 예로, 메틸메타크릴레이트(Methylmethacrylate, MMA) 를 들 수 있다.In Formula 5-1, R 4 "is alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and R 5 "is alkyl having 1 to 10 carbon atoms. In Formula 5-1, R 4 "and R 5 " are the same as those described in Formula 5. As a specific example of the monomer represented by Formula 5-1, methylmethacrylate (MMA) may be mentioned.

상기 화학식6으로 표시되는 반복단위는 하기 화학식6-1로 표시되는 단량체로부터 유래된 반복단위일 수 있다.The repeating unit represented by Formula 6 may be a repeating unit derived from a monomer represented by Formula 6-1 below.

[화학식6-1][Chemical Formula 6-1]

Figure 112019136264084-pat00019
Figure 112019136264084-pat00019

상기 화학식6-1에서, Ar은 탄소수 6 내지 20의 아릴이다. 상기 화학식6-1에서, Ar에 관한 내용은 상기 화학식6에서 상술한 내용과 같다. 상기 화학식6-1로 표시되는 단량체의 구체적인 예로, 스티렌(Styrene, SM)을 들 수 있다.In Formula 6-1, Ar is an aryl having 6 to 20 carbon atoms. In Formula 6-1, the contents of Ar are the same as those described above in Formula 6. As a specific example of the monomer represented by Formula 6-1, styrene (SM) may be mentioned.

상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지는 중량평균분자량이 30000 g/mol 이상 150000 g/mol 이하이며, 유리전이온도는 20 ℃ 이상 150 ℃ 이하일 수 있다. 이에 따라, 드라이 필름 포토레지스트의 코팅성, 추종성, 그리고 회로형성 후 레지스트 자체의 기계적 강도가 향상될 수 있다. 또한, 상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지는 산가가 140 mgKOH/g 이상 160 mgKOH/g 이하일 수 있다.The first alkaline developable binder resin may have a weight average molecular weight of 30000 g/mol or more and 150000 g/mol or less, and a glass transition temperature of 20° C. or more and 150° C. or less. Accordingly, the coating properties of the dry film photoresist, followability, and the mechanical strength of the resist itself after circuit formation may be improved. In addition, the first alkali developable binder resin may have an acid value of 140 mgKOH/g or more and 160 mgKOH/g or less.

또한, 상기 제2 알칼리 현상성 바인더 수지는 중량평균분자량이 20000 g/mol 이상 130000 g/mol 이하이며, 유리전이온도는 30 ℃ 이상 160 ℃ 이하일 수 있다. 이에 따라, 드라이 필름 포토레지스트의 코팅성, 추종성, 그리고 회로형성 후 레지스트 자체의 기계적 강도가 향상될 수 있다. In addition, the second alkali developable binder resin may have a weight average molecular weight of 20000 g/mol or more and 130000 g/mol or less, and a glass transition temperature of 30° C. or more and 160° C. or less. Accordingly, the coating properties of the dry film photoresist, followability, and the mechanical strength of the resist itself after circuit formation may be improved.

본 명세서에서, 중량 평균 분자량은 GPC법에 의해 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량을 의미한다. 상기 GPC법에 의해 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량을 측정하는 과정에서는, 통상적으로 알려진 분석 장치와 시차 굴절 검출기(Refractive Index Detector) 등의 검출기 및 분석용 컬럼을 사용할 수 있으며, 통상적으로 적용되는 온도 조건, 용매, flow rate를 적용할 수 있다. In the present specification, the weight average molecular weight refers to the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by the GPC method. In the process of measuring the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by the GPC method, a commonly known analysis device, a detector such as a Refractive Index Detector, and a column for analysis can be used, and a commonly applied temperature Conditions, solvents, and flow rates can be applied.

상기 측정 조건의 구체적인 예로, 알칼리 현상성 바인더 수지는 1.0 (w/w)% in THF (고형분 기준 약 0.5 (w/w)%)의 농도가 되도록 테트라히드로푸란에 용해시켜 0.45㎛ Pore Size의 Syringe Filter를 이용하여 여과 후 GPC에 20㎕를 주입하고, GPC의 이동상은 테트라히드로푸란(Tetrahydrofuran, THF)을 사용하고, 1.0mL/분의 유속으로 유입하였으며, 컬럼은 Agilent PLgel 5㎛ Guard (7.5 x 50 mm) 1개와 Agilent PLgel 5㎛ Mixed D (7.5 x 300 mm) 2개를 직렬로 연결하고, 검출기로는 Agilent 1260 Infinity Ⅱ System, RI Detector를 이용하여 40 ℃에서 측정하였다.As a specific example of the measurement conditions, the alkali developable binder resin is dissolved in tetrahydrofuran to a concentration of 1.0 (w/w)% in THF (about 0.5 (w/w)% based on solid content), and a 0.45 μm pore size syringe After filtration using a filter, 20 µl was injected into GPC, and tetrahydrofuran (THF) was used as the mobile phase of the GPC, and flow rate was 1.0 mL/min, and the column was Agilent PLgel 5µm Guard (7.5 x 50 mm) and two Agilent PLgel 5㎛ Mixed D (7.5 x 300 mm) were connected in series, and measured at 40 ℃ using an Agilent 1260 Infinity II System and RI Detector as a detector.

이를, 테트라히드로푸란에 0.1 (w/w)% 농도로 아래와 같이 다양한 분자량을 갖는 폴리스티렌을 용해시킨 폴리스티렌 표준품 시료(STD A, B, C, D)를 0.45㎛ Pore Size의 Syringe Filter로 여과 후 GPC에 주입하여 형성된 검정 곡선을 이용하여 알칼리 현상성 바인더 수지의 중량평균분자량(Mw)의 값을 구하였다. The polystyrene standard sample (STD A, B, C, D) in which polystyrene having various molecular weights is dissolved in tetrahydrofuran at a concentration of 0.1 (w/w)% as follows is filtered through a 0.45 μm pore size syringe filter and then GPC The value of the weight average molecular weight (Mw) of the alkali developable binder resin was calculated using the calibration curve formed by injecting into.

STD A (Mp) : 791,000 / 27,810 / 945STD A (Mp): 791,000 / 27,810 / 945

STD B (Mp) : 282,000 / 10,700 / 580STD B (Mp): 282,000 / 10,700 / 580

STD C (Mp) : 126,000 / 4,430 / 370STD C (Mp): 126,000 / 4,430 / 370

STD D (Mp) : 51,200 / 1,920 / 162STD D (Mp): 51,200 / 1,920 / 162

유리전이온도는 DSC(Differential Scanning Calorimeter)(Perkin-Elmer사, DSC-7)에 reference와 바인더 폴리머를 비교하였다. 온도 설정은 20℃에서 15분 유지한 후, 200 ℃까지 승온속도 1 ℃/min로 승온시켜 측정할 수 있다.The glass transition temperature was compared with a reference and a binder polymer in DSC (Differential Scanning Calorimeter) (Perkin-Elmer, DSC-7). The temperature setting can be measured by maintaining the temperature at 20°C for 15 minutes and then raising the temperature to 200°C at a heating rate of 1°C/min.

상기 알칼리 현상성 바인더 수지의 산가는 상기 알칼리 현상성 바인더 수지를 1g 남짓 샘플링하여 50ml 혼합용제(MeOH 20%, Acetone80%)에 녹이고 1%-페놀프탈레인 지시약을 두 방울 첨가한 다음, 0.1N-KOH로 적정하여 산가를 측정하였다.The acid value of the alkali developable binder resin was dissolved in 50 ml mixed solvent (MeOH 20%, Acetone 80%) by sampling about 1 g of the alkali developable binder resin, and two drops of 1%-phenolphthalein indicator were added, followed by 0.1N-KOH. The acid value was measured by titration.

상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지는 산가가 140 mgKOH/g 이상 160 mgKOH/g 이하일 수 있다. 또한 상기 제2 알칼리 현상성 바인더 수지는 산가가 160 mgKOH/g 이상 200 mgKOH/g 이하일 수 있다.The first alkali developable binder resin may have an acid value of 140 mgKOH/g or more and 160 mgKOH/g or less. In addition, the second alkali developable binder resin may have an acid value of 160 mgKOH/g or more and 200 mgKOH/g or less.

구체적으로, 상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지와 제2 알칼리 현상성 바인더 수지의 유리전이온도 비율이 1:1.5 이상 1:5 이하, 1:1.5 이상 1:3 이하, 1:1.5 이상 1:2 이하, 1:1.5 이상 1:1.8 이하, 1:1.5 이상 1:75 이하, 또는 1:1.6 이상 1:7 이하일 수 있다. Specifically, the glass transition temperature ratio of the first alkali developable binder resin and the second alkaline developable binder resin is 1:1.5 or more and 1:5 or less, 1:1.5 or more and 1:3 or less, 1:1.5 or more and 1:2 Hereinafter, it may be 1:1.5 or more and 1:1.8 or less, 1:1.5 or more and 1:75 or less, or 1:1.6 or more and 1:7 or less.

또한, 상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지와 제2 알칼리 현상성 바인더 수지의 산가 비율이 1:1.01 이상 1:1.5 이하, 1:1.01 이상 1:1.25 이하, 1:1.01 이상 1:1.2 이하, 또는 1:1.01 이상 1:1.1 이하일 수 있다.In addition, the acid value ratio of the first alkali developable binder resin and the second alkaline developable binder resin is 1:1.01 or more and 1:1.5 or less, 1:1.01 or more and 1:1.25 or less, 1:1.01 or more and 1:1.2 or less, or It may be 1:1.01 or more and 1:1.1 or less.

한편 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물에 포함되는 상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지는 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위 1몰에 대하여 상기 화학식 4로 표시되는 반복단위를 1.2 몰 이상 3 몰 이하, 1.2 몰 이상 2 몰 이하, 1.5 몰 이상 2 몰 이하 또는 1.5 몰 이상 1.6 몰 이하 로 포함할 수 있다. On the other hand, the first alkali developable binder resin included in the photosensitive resin composition of the embodiment is 1.2 moles or more and 3 moles or less, and 1.2 moles of the repeating unit represented by Formula 4 with respect to 1 mole of the repeating unit represented by Formula 3 It may contain at least 2 mol, 1.5 mol or more and 2 mol or less, or 1.5 mol or more and 1.6 mol or less.

또한, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물에 포함되는 상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지는 상기 화학식 7로 표시되는 반복단위 1몰에 대하여 상기 화학식 5로 표시되는 반복단위를 2 몰 이상 10 몰 이하, 3 몰 이상 10 몰 이하, 3 몰 이상 5 몰 이하 또는 4 몰 이상 5 몰 이하 로 포함할 수 있다. In addition, the first alkali developable binder resin included in the photosensitive resin composition of the embodiment has 2 moles or more and 10 moles or less of the repeating unit represented by Formula 5 with respect to 1 mole of the repeating unit represented by Formula 7 Mole or more and 10 mol or less, 3 mol or more and 5 mol or less, or 4 mol or more and 5 mol or less.

한편 상기 제2 알카리 현상성 바인더 수지는 하기 화학식 4로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 5로 표시되는 반복단위, 및 하기 화학식 6로 표시되는 반복단위의 랜덤 공중합체를 포함할 수 있다.Meanwhile, the second alkali developable binder resin may include a random copolymer of a repeating unit represented by Formula 4 below, a repeating unit represented by Formula 5 below, and a repeating unit represented by Formula 6 below.

[화학식 4][Formula 4]

Figure 112019136264084-pat00020
Figure 112019136264084-pat00020

상기 화학식 4에서, R3'는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,In Formula 4, R 3 ′ is an alkyl having 1 to 10 carbon atoms,

[화학식 5][Formula 5]

Figure 112019136264084-pat00021
Figure 112019136264084-pat00021

상기 화학식 5에서, R4"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R5"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,In Formula 5, R 4 "is an alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and R 5 "is an alkyl having 1 to 10 carbon atoms,

[화학식 6] [Formula 6]

Figure 112019136264084-pat00022
Figure 112019136264084-pat00022

상기 화학식 6에서, Ar은 탄소수 6 내지 20의 아릴이다. In Formula 6, Ar is an aryl having 6 to 20 carbon atoms.

상기 화학식4로 표시되는 반복단위는 하기 화학식4-1로 표시되는 단량체로부터 유래된 반복단위일 수 있다.The repeating unit represented by Formula 4 may be a repeating unit derived from a monomer represented by Formula 4-1 below.

[화학식4-1][Formula 4-1]

Figure 112019136264084-pat00023
Figure 112019136264084-pat00023

상기 화학식4-1에서, R3'은 탄소수 1 내지 10의 알킬이다. 상기 화학식4-1에서, R3'에 관한 내용은 상기 화학식4에서 상술한 내용과 같다. 상기 화학식4-1로 표시되는 단량체의 구체적인 예로, 메타크릴산(Methacrylic acid, MAA)을 들 수 있다.In Formula 4-1, R 3 ′ is alkyl having 1 to 10 carbon atoms. In Formula 4-1, R 3 ′ is the same as described above in Formula 4. Specific examples of the monomer represented by Formula 4-1 may include methacrylic acid (MAA).

상기 화학식5로 표시되는 반복단위는 하기 화학식5-1로 표시되는 단량체로부터 유래된 반복단위일 수 있다.The repeating unit represented by Formula 5 may be a repeating unit derived from a monomer represented by Formula 5-1 below.

[화학식5-1][Chemical Formula 5-1]

Figure 112019136264084-pat00024
Figure 112019136264084-pat00024

상기 화학식5-1에서, R4"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R5"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이다. 상기 화학식5-1에서, R4" 및 R5"에 관한 내용은 상기 화학식5에서 상술한 내용과 같다. 상기 화학식5-1로 표시되는 단량체의 구체적인 예로, 메틸메타크릴레이트(Methylmethacrylate, MMA) 를 들 수 있다.In Formula 5-1, R 4 "is alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and R 5 "is alkyl having 1 to 10 carbon atoms. In Formula 5-1, R 4 "and R 5 " are the same as those described in Formula 5. As a specific example of the monomer represented by Formula 5-1, methylmethacrylate (MMA) may be mentioned.

상기 화학식6으로 표시되는 반복단위는 하기 화학식6-1로 표시되는 단량체로부터 유래된 반복단위일 수 있다.The repeating unit represented by Formula 6 may be a repeating unit derived from a monomer represented by Formula 6-1 below.

[화학식6-1][Chemical Formula 6-1]

Figure 112019136264084-pat00025
Figure 112019136264084-pat00025

상기 화학식6-1에서, Ar은 탄소수 6 내지 20의 아릴이다. 상기 화학식6-1에서, Ar에 관한 내용은 상기 화학식6에서 상술한 내용과 같다. 상기 화학식6-1로 표시되는 단량체의 구체적인 예로, 스티렌(Styrene, SM)을 들 수 있다.In Formula 6-1, Ar is an aryl having 6 to 20 carbon atoms. In Formula 6-1, the contents of Ar are the same as those described above in Formula 6. As a specific example of the monomer represented by Formula 6-1, styrene (SM) may be mentioned.

구체적으로, 상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지는 상기 화학식 4로 표시되는 반복단위: 상기 화학식 5로 표시되는 반복단위: 상기 화학식 6로 표시되는 반복단위를 1: (2 이상 5이하) : (0.2 이상 0.9 이하), 1: (2 이상 3이하) : (0.5 이상 0.9 이하), 1: (2.5 이상 3이하) : (0.6 이상 0.9 이하) 또는 1: (2.75 이상 3이하) : (0.6 이상 0.75 이하)로 포함할 수 있다. Specifically, the first alkali developable binder resin is the repeating unit represented by Formula 4: The repeating unit represented by Formula 5: The repeating unit represented by Formula 6 is 1: (2 or more and 5 or less): (0.2 0.9 or less), 1: (2 or more and 3 or less): (0.5 or more and 0.9 or less), 1: (2.5 or more and 3 or less): (0.6 or more and 0.9 or less) or 1: (2.75 or more and 3 or less): (0.6 or more 0.75 It can be included as follows).

또한, 상기 제2 알칼리 현상성 바인더 수지는 상기 화학식 4로 표시되는 반복단위: 상기 화학식 5로 표시되는 반복단위: 상기 화학식 6로 표시되는 반복단위를 1: (1.1 이상 2이하): (0.2 이상 0.99 이하), 1: (1.5 이상 2이하): (0.5 이상 0.99이하), 또는 1: (1.5 이상 1.75이하): (0.75 이상 0.99이하) 로 포함할 수 있다.In addition, the second alkali developable binder resin is a repeating unit represented by Formula 4: The repeating unit represented by Formula 5: The repeating unit represented by Formula 6 is 1: (1.1 or more and 2 or less): (0.2 or more 0.99 or less), 1: (1.5 or more and 2 or less): (0.5 or more and 0.99 or less), or 1: (1.5 or more and 1.75 or less): (0.75 or more and 0.99 or less).

한편, 발명의 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지 100 중량부에 대하여 제2 알칼리 현상성 바인더 수지를 500 중량부 이상 1000 중량부 이하, 600 중량부 이상 800 중량부 이하, 700 중량부 이상 800 중량부 이하로 포함할 수 있다. On the other hand, the photosensitive resin composition of one embodiment of the present invention contains 500 parts by weight or more and 1000 parts by weight or less, 600 parts by weight or more and 800 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the first alkali developable binder resin, It may contain 700 parts by weight or more and 800 parts by weight or less.

상기와 같이 제1 알칼리 현상성 바인더 수지 100 중량부에 대하여 제2 알칼리 현상성 바인더 수지를 500 중량부 이상의 과량으로 첨가함에 따라, 감광성 수지에 소수성 기능을 부여하여 현상액에 대한 내성을 증가시켜 회로물성 향상하는 기술적 효과가 구현될 수 있다. As described above, by adding an excess of 500 parts by weight or more of the second alkali developable binder resin to 100 parts by weight of the first alkali developable binder resin, it imparts a hydrophobic function to the photosensitive resin to increase resistance to a developer, thereby increasing the circuit properties. Enhancing technical effects can be implemented.

상기 알칼리 현상성 바인더 수지는, 고형분 기준으로 감광성 수지 조성물 총중량에 대하여, 20 중량% 이상 80 중량% 이하로 포함된다. 상기 알카리 현상성 바인더 수지의 함량이 상기 범위 내에 있는 경우 회로형성 후, 세선 밀착력을 강화시키는 효과를 얻을 수 있다. 상기 중량의 기준인 고형분은, 상기 감광성 수지 조성물에서 용매를 제외한 나머지 성분을 의미한다.The alkali developable binder resin is contained in an amount of 20% by weight or more and 80% by weight or less with respect to the total weight of the photosensitive resin composition based on solid content. When the content of the alkali developable binder resin is within the above range, after forming the circuit, it is possible to obtain an effect of enhancing fine wire adhesion. The solid content, which is the basis of the weight, refers to the remaining components excluding the solvent in the photosensitive resin composition.

본 발명의 알칼리 현상성 바인더 수지의 함량은 감광성 수지 조성 총 중량에 대하여 40 중량% 이상 70중량% 이하일 수 있다. 상기 알칼리 현상성 바인더 수지의 함량이 전체 감광성 수지 조성물에 대하여 40중량% 미만일 경우, 현상단 오염이 발생하여 단락 등의 불량을 초래하는 단점이 있고, 70중량%를 초과할 경우 밀착력과 해상도 등의 회로물성이 불량해 지는 문제가 있다.The content of the alkali developable binder resin of the present invention may be 40% by weight or more and 70% by weight or less based on the total weight of the photosensitive resin composition. When the content of the alkali developable binder resin is less than 40% by weight of the total photosensitive resin composition, contamination of the developing stage may occur, resulting in defects such as short circuits, and when it exceeds 70% by weight, adhesion and resolution There is a problem of poor circuit properties.

(2) 광중합 개시제 (2) photopolymerization initiator

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물에 포함되는 광중합 개시제는 UV 및 기타 radiation에 의해서 광중합성 모노머의 연쇄반응을 개시시키는 물질로서, 드라이 필름 포토레지스트의 경화에 중요한 역할을 한다.The photopolymerization initiator included in the photosensitive resin composition according to the present invention is a material that initiates a chain reaction of a photopolymerizable monomer by UV and other radiation, and plays an important role in curing a dry film photoresist.

상기 광중합 개시제로 사용할 수 있는 화합물로는 2-메틸 안트라퀴논, 2-에틸 안트라퀴논 등의 안트라퀴논 유도체; 벤조인 메틸 에테르, 벤조페논, 페난트렌 퀴논, 4,4'-비스-(디메틸아미노)벤조페논 등의 벤조인 유도체를 들 수 있다.Compounds that can be used as the photopolymerization initiator include anthraquinone derivatives such as 2-methyl anthraquinone and 2-ethyl anthraquinone; Benzoin derivatives, such as benzoin methyl ether, benzophenone, phenanthrene quinone, and 4,4'-bis-(dimethylamino)benzophenone, are mentioned.

이외에도 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4'-5,5'-테트라페닐비스이미다졸, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-[4-모르폴리노페닐] 부탄-1-온, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 1-[4-(2-히드록시메톡시)페닐]-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 2,4-디에틸티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 3,3-디메틸-4-메톡시벤조페논, 벤조페논, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤, 1-(4-이소프로필페닐)2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2하이드록시-2-메틸프로판-1-온, 4-벤조일-4'-메틸디메틸설파이드, 4-디메틸아미노벤조산, 메틸 4-디메틸아미노벤조에이트, 에틸 4-디메틸아미노벤조에이트, 부틸 4-디메틸아미노벤조에이트, 2-에틸헥실 4-디메틸아미노벤조에이트, 2-이소아밀 4-디메틸아미노벤조에이트, 2,2-디에톡시아세토페논, 벤질케톤 디메틸아세탈, 벤질케톤 베타-메톡시 디에틸아세탈, 1-페닐-1,2-프로필디옥심-o,o'-(2-카르보닐)에톡시에테르, 메틸 o-벤조일벤조에이트, 비스[4-디메틸아미노페닐)케톤, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4,4'-디클로로벤조페논, 벤질, 벤조인, 메톡시벤조인, 에톡시벤조인, 이소프로폭시벤조인, n-부톡시벤조인, 이소부톡시벤조인, tert-부톡시벤조인, p-디메틸아미노아세토페논, p-tert-부틸트리클로로아세토페논, p-tert-부틸디클로로아세토페논, 티옥산톤, 2-메틸티옥산톤, 2-이소프로필티옥산톤, 디벤조수베론, a,a-디클로로-4-페녹시아세토페논, 펜틸 4-디메틸아미노벤조에이트 중에서 선택된 화합물을 광중합 개시제로 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, 2,2'-bis(2-chlorophenyl)-4,4'-5,5'-tetraphenylbisimidazole, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2,2-dimethoxy-1,2- Diphenylethan-1-one, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-[4-morph Polynophenyl] butan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 1-[4-(2- Hydroxymethoxy)phenyl]-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 2,4-diethyl thioxanthone, 2-chloro thioxanthone, 2,4-dimethyl thioxanthone, 3, 3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzophenone, 1-chloro-4-propoxyoxanthone, 1-(4-isopropylphenyl)2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1 -(4-Dodecylphenyl)-2hydroxy-2-methylpropan-1-one, 4-benzoyl-4'-methyldimethylsulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4- Dimethylaminobenzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2,2-diethoxyacetophenone, benzyl ketone dimethylacetal, benzyl Ketone beta-methoxy diethylacetal, 1-phenyl-1,2-propyldioxime-o,o'-(2-carbonyl)ethoxyether, methyl o-benzoylbenzoate, bis[4-dimethylaminophenyl ) Ketone, 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, benzyl, benzoin, methoxybenzoin, ethoxybenzoin, isopropoxybenzoin, n-part Toxicbenzoin, isobutoxybenzoin, tert-butoxybenzoin, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylti A compound selected from oxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, a,a-dichloro-4-phenoxyacetophenone, and pentyl 4-dimethylaminobenzoate may be used as a photopolymerization initiator, but is limited thereto. It is not.

상기 광중합 개시제의 함량은 고형분 기준으로, 감광성 수지 조성물 총 중량에 대하여 2 중량% 이상 10 중량% 이하로 포함된다. 상기 광중합 개시제의 함량이 상기 범위 내에 있는 경우 충분한 감도를 얻을 수 있다. 상기 중량의 기준인 고형분은, 상기 감광성 수지 조성물에서 용매를 제외한 나머지 성분을 의미한다.The content of the photopolymerization initiator is contained in an amount of 2% by weight or more and 10% by weight or less based on the total weight of the photosensitive resin composition. When the content of the photopolymerization initiator is within the above range, sufficient sensitivity can be obtained. The solid content, which is the basis of the weight, refers to the remaining components excluding the solvent in the photosensitive resin composition.

상기 광중합 개시제의 함량이 2 중량% 미만일 경우, 광효율이 낮아 노광량이 많이 들어가야 하기 때문에 생산효율성이 극히 저하되는 단점이 있고, 10중량%를 초과할 경우 필름이 부서지기 쉬운(brittle) 단점과 현상액 오염성이 높아져 단락 등의 불량을 초래하는 문제가 있다.When the content of the photopolymerization initiator is less than 2% by weight, the production efficiency is extremely deteriorated because the light efficiency is low and a large exposure amount is required, and when it exceeds 10% by weight, the film is brittle and the developer is contaminated There is a problem that this increases and causes a defect such as a short circuit.

(3) 광중합성 화합물(3) photopolymerizable compound

본 발명의 광중합성 화합물은 UV 노광 후 현상액에 대한 내성을 가져 패턴 형성이 가능하게 한다. The photopolymerizable compound of the present invention has resistance to a developer after UV exposure and enables pattern formation.

본 발명의 광중합성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 및 하기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함할 수 있다.The photopolymerizable compound of the present invention may include a monofunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 1 below, and a polyfunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 2 below.

[화학식1][Formula 1]

Figure 112019136264084-pat00026
Figure 112019136264084-pat00026

상기 화학식1 에서, R1은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R2는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고, R3은 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, n1은 1 내지 20의 정수이고,In Formula 1, R 1 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, R 2 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms, R 3 is alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and n1 is an integer of 1 to 20 ,

[화학식2][Formula 2]

Figure 112019136264084-pat00027
Figure 112019136264084-pat00027

상기 화학식2 에서, R4은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R5는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고, R6은 탄소수 1 내지 20의 중심 그룹을 포함하는 p가 작용기이고, n2은 1 내지 20의 정수이고, p는 상기 R6에 치환되는 작용기수이고, 3 내지 10의 정수이다In Formula 2, R 4 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, R 5 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms, R 6 is a functional group p including a central group having 1 to 20 carbon atoms, n2 Is an integer of 1 to 20, p is the number of functional groups substituted for R 6 , and is an integer of 3 to 10

즉, 본 발명의 일 구현예에 따른 감광성 수지 조성물은 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 및 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물의 혼합물을 포함할 수 있다. That is, the photosensitive resin composition according to an embodiment of the present invention may include a mixture of a monofunctional (meth)acrylate compound and a polyfunctional (meth)acrylate compound.

구체적으로, 상기 화학식 1에서, n1은 1 내지 20의 정수, 1 내지 10의 정수, 또는 5 내지 10의 정수일 수 있다. 상기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물의 예가 크게 한정되지 않으나, 예를 들어 하기 화학식 A로 표시되는 A040(Methoxy propylene glycol [400] acrylate) 일 수 있다. Specifically, in Formula 1, n1 may be an integer of 1 to 20, an integer of 1 to 10, or an integer of 5 to 10. The example of the monofunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 1 is not limited, but may be, for example, Methoxy propylene glycol [400] acrylate (A040) represented by Formula A below.

[화학식 A][Formula A]

Figure 112019136264084-pat00028
Figure 112019136264084-pat00028

상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물이 상기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함함에 따라, 상기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물의 낮은 유리 전이온도로 인하여, 드라이 필름 포토레지스트의 라미네이션 온도에서 상대적으로 큰 유동성을 가져, 표면 조도가 높고 불균일한 기판에 대한 물리적 밀착력이 향상되는 효과를 구현할 수 있다. As the photosensitive resin composition of the embodiment contains the monofunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 1, due to the low glass transition temperature of the monofunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 1, dry It has a relatively large fluidity at the lamination temperature of the film photoresist, and thus the effect of improving physical adhesion to a substrate having high surface roughness and unevenness can be realized.

또한, 상기 화학식 2에서 n2은 1 내지 20의 정수, 1 내지 10의 정수, 또는 1 내지 5의 정수 이고, p는 상기 R6에 치환되는 작용기수를 의미하는 것으로, 3 내지 10의 정수, 3 내지 5의 정수, 또는 3 내지 4의 정수일 수 있다. In addition, in Formula 2, n2 is an integer of 1 to 20, an integer of 1 to 10, or an integer of 1 to 5, and p refers to the number of functional groups substituted for R 6 , and an integer of 3 to 10, 3 It may be an integer of 5, or an integer of 3 to 4.

즉, 상기 화학식 2에서 상기 R6에 치환되는 작용기수를 의미하는 p가 3 내지 10의 정수임에 따라 상기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물이 3 관능 이상의 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물일 수 있다.That is, as p, which means the number of functional groups substituted with R 6 in Formula 2, is an integer of 3 to 10, the polyfunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 2 is a polyfunctional (meth)acryl It may be a rate compound.

구체적으로, 상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물은 하기 화학식 2-1로 표시될 수 있다. Specifically, the polyfunctional (meth)acrylate compound may be represented by the following formula 2-1.

[화학식2-1][Formula 2-1]

Figure 112019136264084-pat00029
Figure 112019136264084-pat00029

상기 화학식2-1에서, R7 내지 R9는 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고, R10 내지 R12는 각각 독립적으로 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, n3 내지 n5는 각각 독립적으로 1 내지 20의 정수이다.In Formula 2-1, R 7 to R 9 are each independently alkylene having 1 to 10 carbon atoms, R 10 to R 12 are each independently hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and n3 to n5 are each It is independently an integer of 1 to 20.

상기 화학식 2-1에서 n3 내지 n5는 1 내지 20의 정수, 1 내지 10의 정수, 또는 1 내지 5의 정수일 수 있다. In Formula 2-1, n3 to n5 may be an integer of 1 to 20, an integer of 1 to 10, or an integer of 1 to 5.

상기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물의 예가 크게 한정되지 않으나, 예를 들어 하기 화학식 B로 표시되는 T063 (Trimethylolpropane [EO]6 triacrylate) 일 수 있다. The example of the polyfunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 2 is not limited, but may be, for example, T063 (Trimethylolpropane [EO] 6 triacrylate) represented by Formula B below.

[화학식 B][Formula B]

Figure 112019136264084-pat00030
Figure 112019136264084-pat00030

상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물이 상기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함함에 따라, 광경화 속도 및 경화도가 향상되어 콘트라스트 확보 및 우수한 세선밀착력을 구현할 수 있다. As the photosensitive resin composition of the embodiment includes the polyfunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 2, the photocuring speed and curing degree are improved, thereby securing contrast and implementing excellent fine wire adhesion.

한편, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 상기 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물 100 중량부에 대하여 상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 100 중량부 미만, 30 중량부 이상 90 중량부 이하, 50 중량부 이상 90 중량부 이하, 50 중량부 이상 80 중량부 이하, 또는 50 중량부 이상 75 중량부 이하로 포함할 수 있다. On the other hand, the photosensitive resin composition of the embodiment is less than 100 parts by weight, 30 parts by weight or more and 90 parts by weight or less, 50 parts by weight of the polyfunctional (meth) acrylate compound based on 100 parts by weight of the monofunctional (meth) acrylate compound. It may be included in an amount of 90 parts by weight or less, 50 parts by weight or more and 80 parts by weight or less, or 50 parts by weight or more and 75 parts by weight or less.

상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 상기 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물에 대하여 상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 소량 포함함에 따라, 상기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물의 기판에 대한 물리적 밀착력 향상 및 상기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물의 콘트라스트 확보 및 세선밀착력 향상이 동시에 구현되어, 우수한 현상성을 나타내는 동시에 기판 밀착력을 향상시켜 우수한 물성(해상도, 세선 밀착력 등)을 확보할 수 있다. As the photosensitive resin composition of the embodiment contains a small amount of the polyfunctional (meth)acrylate compound with respect to the monofunctional (meth)acrylate compound, the substrate of the monofunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 1 Improvement of physical adhesion to the surface, securing the contrast of the multifunctional (meth)acrylate compound represented by Chemical Formula 2, and improvement of fine wire adhesion are realized at the same time, showing excellent developability and improving adhesion to the substrate, resulting in excellent physical properties (resolution, fine wire adhesion Etc.).

상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 상기 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물 100 중량부에 대하여 상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 100 중량부 이상으로 포함되는 경우, 기판 밀착력이 저하되는 기술적 문제점이 발생할 수 있다.When the photosensitive resin composition of one embodiment contains 100 parts by weight or more of the polyfunctional (meth)acrylate compound based on 100 parts by weight of the monofunctional (meth)acrylate compound, a technical problem of lowering adhesion to the substrate occurs. I can.

한편, 상기 광중합성 화합물은 알킬렌글리콜계 디(메트)아크릴레이트 및 우레탄계 디(메트)아크릴레이트를 포함한 이관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 더 포함할 수 있다. Meanwhile, the photopolymerizable compound may further include a difunctional (meth)acrylate compound including an alkylene glycol-based di(meth)acrylate and a urethane-based di(meth)acrylate.

즉, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 광중합성 화합물을 포함하며, 상기 광중합성 화합물은 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 알킬렌글리콜계 디(메트)아크릴레이트 및 우레탄계 디(메트)아크릴레이트를 포함한 이관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함할 수 있다. That is, the photosensitive resin composition of the embodiment includes a photopolymerizable compound, and the photopolymerizable compound is a monofunctional (meth)acrylate compound, a polyfunctional (meth)acrylate compound, an alkylene glycol-based di(meth)acrylate And it may include a difunctional (meth) acrylate compound including a urethane-based di (meth) acrylate.

상기 알킬렌글리콜계 디(메트)아크릴레이트로는 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트(ethylene glycol di(meth)acrylate), 디에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트(diethylene glycol di(meth)acrylate), 테트라에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트(tetraethylene glycol di(meth)acrylate), 프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트(propylene glycol di(meth)acrylate), 폴리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트(polyethylene glycol di(meth)acrylate), 폴리프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트(polypropylene glycol di(meth)acrylate), 부틸렌글리콜 디(메트)아크릴레이트(butylene glycol di(meth)acrylate), 에틸렌글리콜 디글리시딜에테르 디(메트)아크릴레이트(ethylene glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate), 디에틸렌글리콜 디글리시딜에테르 디(메트)아크릴레이트(diethylene glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate), Miwon Specialty Chemical Co., Ltd.제품의 Miramer M244(BPA(EO)3DA, Bisphenol A (EO)3 Diacrylate), Miramer M240(BPA(EO)4DA, Bisphenol A (EO)4 Diacrylate), Miramer M241(Bisphenol A (EO)4 Dimethacrylate),Miwon Specialty Chemical Co., Ltd.제품의 Miramer M2100 (BPA(EO)10DA, Bisphenol A (EO)10 Diacrylate), Miramer M2200 (BPA(EO)20DA, Bisphenol A (EO)20 Diacrylate), Miramer M2101 (Bisphenol A (EO)10 Dimethacrylate) 등을 사용할 수 있다.As the alkylene glycol-based di(meth)acrylate, ethylene glycol di(meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, Tetraethylene glycol di(meth)acrylate, propylene glycol di(meth)acrylate, polyethylene glycol di(meth)acrylate (polyethylene glycol di(meth)acrylate) meth)acrylate), polypropylene glycol di(meth)acrylate, butylene glycol di(meth)acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether Di(meth)acrylate (ethylene glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate), diethylene glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate, Miwon Specialty Chemical Co., Ltd. product Miramer M244 (BPA(EO)3DA, Bisphenol A (EO)3 Diacrylate), Miramer M240 (BPA(EO)4DA, Bisphenol A (EO)4 Diacrylate), Miramer M241 (Bisphenol A (EO)4 Dimethacrylate) ), Miramer M2100 (BPA(EO)10DA, Bisphenol A (EO)10 Diacrylate), Miramer M2200 (BPA(EO)20DA, Bisphenol A (EO)20 Diacrylate), Miramer M2101 manufactured by Miwon Specialty Chemical Co., Ltd. (Bisphenol A (EO)10 Dimethacrylate), etc. I can.

또한, 상기 우레탄계 디(메트)아크릴레이트로는 KUA-1330h 등을 사용할 수 있다. In addition, as the urethane-based di(meth)acrylate, KUA-1330h or the like may be used.

상기 우레탄계 디(메트)아크릴레이트는 기존의 단순한 알킬렌 옥사이드 보다 분자량이 크고 선형의 구조를 가짐으로써 유연성을 부여할 수 있다. 이는 외층용 드라이필름 포토레지스트(DFR)에 필요한 텐팅성을 향상시키는 원인이 되며, 우레탄 아크릴레이트의 구성요소 중의 하나인 폴리올의 소수성은 강산인 도금액에 대한 내성을 향상시켜 도금액을 오염시키지 않는다.The urethane-based di(meth)acrylate can provide flexibility by having a larger molecular weight and a linear structure than a conventional simple alkylene oxide. This is the cause of improving the tenting property required for the dry film photoresist (DFR) for the outer layer, and the hydrophobicity of polyol, which is one of the constituents of urethane acrylate, improves resistance to a plating solution that is a strong acid, so as not to contaminate the plating solution.

상기 우레탄계 디(메트)아크릴레이트은 히드록시기를 가지는 폴리에테르 화합물 또는 히드록시기를 가지는 폴리에스테르 화합물과 디이소시아네이트 화합물을 반응시켜 우레탄 화합물을 수득하고, 상기 수득된 우레탄 화합물과 히드록시기 및 에틸렌성 불포화기를 모두 가지는 화합물을 반응시켜 얻을 수 있다.The urethane-based di(meth)acrylate is obtained by reacting a polyether compound having a hydroxy group or a polyester compound having a hydroxy group with a diisocyanate compound to obtain a urethane compound, and the obtained urethane compound and a compound having both a hydroxy group and an ethylenically unsaturated group are obtained. It can be obtained by reacting.

상기 히드록시기를 가지는 폴리에테르 화합물로는 폴리에테르글리콜로서 폴리테트라메틸렌글리콜, 폴리옥시에틸렌, 폴리옥시프로필렌, 폴리옥시테트라히드로푸란 등의 글리콜이 사용되며, 상기 히드록시기를 가지는 폴리에스테르 화합물로는 아디픽산과 1,4-부타디올 등을 축합시킨 화합물을 사용한다. As the polyether compound having a hydroxy group, a glycol such as polytetramethylene glycol, polyoxyethylene, polyoxypropylene, and polyoxytetrahydrofuran is used as a polyether glycol, and as the polyester compound having a hydroxy group, adipic acid and A compound obtained by condensing 1,4-butadiol or the like is used.

상기 디이소시아네이트 화합물(a-2)로는 알킬렌기 등의 2가 지방족기를 가지는 지방족 디이소시아네이트 화합물, 시클로알킬렌 등의 2가의 지환기를 가지는 지환식 디이소시아네이트 화합물, 방향족 디이소이사네이트 화합물 및 이들의 이소시아누레이트화 변성물, 카르보디이미드화 변성물, 뷰렛화 변성물 등을 들 수 있다.As the diisocyanate compound (a-2), an aliphatic diisocyanate compound having a divalent aliphatic group such as an alkylene group, an alicyclic diisocyanate compound having a divalent alicyclic group such as cycloalkylene, an aromatic diisocyanate compound, and their isocyanate A cyanurate modified product, a carbodiimidized modified product, a biuret modified product, etc. are mentioned.

이때, 상기 지방족 디이소시아네이트 화합물로는 헥사메틸렌이소시아네이트, 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트 등을 들 수 있다.At this time, examples of the aliphatic diisocyanate compound include hexamethylene isocyanate and trimethylhexamethylene diisocyanate.

상기 지환식 디이소시아네이트 화합물로는 이소포론디이소시아네이트, 메틸렌비스(시클로헥실)디이소시아네이트, 1,3- 혹은 1,4-비스(이소시아네이트메틸)시클로헥산 등을 들 수 있다.Examples of the alicyclic diisocyanate compound include isophorone diisocyanate, methylenebis(cyclohexyl)diisocyanate, 1,3- or 1,4-bis(isocyanatemethyl)cyclohexane, and the like.

상기 방향족 디이소시아네이트 화합물로는 2,4-톨로엔디이소시아네이트, 2,6-톨로엔디이소시아네이트, 2,4-톨로엔디이소시아네이트 또는 2,6-톨로엔디이소시아네이트의 2량화 중합체, (o, p 또는 m)-크실렌디이소시아네이트,디페닐메탄디이소시아네이트, 1,5-나프탈렌디이소시아네이트 등을 들 수 있다.As the aromatic diisocyanate compound, a dimerization polymer of 2,4-toloene diisocyanate, 2,6-toloene diisocyanate, 2,4-toloene diisocyanate or 2,6-toloene diisocyanate, (o, p or m) -Xylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, 1,5-naphthalene diisocyanate, etc. are mentioned.

이들은 1종을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합시켜 사용된다. 또한, 트리페닐메탄트리이소시아네이트, 트리스(이소시아네이트페닐)티오포스페이트 등의 2 이상의 이소시아네이트기를 가지는 이소시아네이트 화합물이 포함되어 있어도 좋다. 이들 중에서도 광경화물의 유연성과 강인성 높여 기판 밀착력을 향상시키는 관점에서 지환식 디이소시아네이트 화합물이 바람직하다.These are used alone or in combination of two or more. Further, an isocyanate compound having two or more isocyanate groups such as triphenylmethane triisocyanate and tris(isocyanate phenyl)thiophosphate may be contained. Among these, an alicyclic diisocyanate compound is preferable from the viewpoint of enhancing the flexibility and toughness of the photocured product and improving adhesion to the substrate.

상기 히드록시기를 가지는 폴리에테르 화합물 또는 폴리에스테르 화합물과 디이소시아네이트 화합물을 반응시켜 우레탄 화합물이 제조된다. 상기 반응에 있어서 히드록시기를 가지는 폴리에테르 화합물 또는 폴리에스테르 화합물 1몰에 대해서 디이소시아네이트 화합물을 1.01 ~ 2.0몰비로 하는 것이 바람직하고, 1.1 ~ 2.0몰비로 하는 것이 보다 바람직하다. 만일 디이소시아네이트 화합물의 함량이 1.01몰 미만 또는 2.0 몰을 넘으면, 양 말단에 이소시아네이트기를 가지는 우레탄 화합물을 안정적으로 얻을 수 없다.A urethane compound is prepared by reacting the polyether compound or polyester compound having a hydroxy group with a diisocyanate compound. In the above reaction, the diisocyanate compound is preferably 1.01 to 2.0 mole ratio, more preferably 1.1 to 2.0 mole ratio, with respect to 1 mole of the polyether compound or polyester compound having a hydroxy group. If the content of the diisocyanate compound is less than 1.01 mol or more than 2.0 mol, a urethane compound having isocyanate groups at both ends cannot be stably obtained.

또한, 우레탄 화합물을 합성하는 반응에서는 촉매로서 디부틸주석디라우레이트를 투입하는 것이 바람직하다.In addition, in the reaction for synthesizing the urethane compound, it is preferable to add dibutyltin dilaurate as a catalyst.

반응 온도는 60 ~ 120 ℃로 하는 것이 바람직하다. 60 ℃미만이면 반응이 충분히 진행되지 않는 경향이 있고, 120 ℃를 넘으면 급격한 발열에 의해, 반응 조작이 위험할 수 있다.The reaction temperature is preferably 60 to 120°C. If it is less than 60°C, the reaction tends not to proceed sufficiently, and if it exceeds 120°C, the reaction operation may be dangerous due to rapid heat generation.

이와 같이 제조된 우레탄 화합물과 반응시키기 위한 히드록시기 및 에틸렌성 불포화기를 모두 가지는 화합물로는 분자 중에 히드록시기 및 (메타)아크릴로일기를 가지는 화합물을 들 수 있다. 이러한 화합물로는 히드록시(메타)아크릴레이트, 히드록시(메타)아크릴레이트의 카프로락톤 부가물 또는 산화 알킬렌 부가물, 글리세린 등의 다가의 알코올과 (메타)아크릴산과 반응시켜 제조된 에스테르 화합물, 및 글리시딜(메타)아릴레이트아크릴산 부가물을 들 수 있다.Compounds having both a hydroxy group and an ethylenically unsaturated group for reaction with the urethane compound thus prepared include a compound having a hydroxy group and a (meth)acryloyl group in the molecule. Such compounds include hydroxy (meth) acrylate, caprolactone adduct or alkylene oxide adduct of hydroxy (meth) acrylate, ester compound prepared by reacting a polyhydric alcohol such as glycerin with (meth) acrylic acid, And glycidyl (meth) arylate acrylic acid adducts.

상기 히드록시(메타)아크릴레이트로는 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필(메타)아크릴레이트,히드록시부틸(메타)아크릴레이트를 들 수 있다.Examples of the hydroxy (meth) acrylate include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, and hydroxybutyl (meth) acrylate.

상기 히드록시(메타)아크릴레이트의 카프로락톤 부가물로서는 히드록시에틸(메타)아크릴레이트·카프로락톤 부가물, 히드록시프로필(메타)아크릴레이트·카프로락톤 부가물, 히드록시부틸(메타)아크릴레이트·카프로락톤 부가물을 들 수 있고, 산화알킬렌 부가물로서는, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트·산화알킬렌 부가물, 히드록시 프로필(메타)아크릴레이트·산화프로필렌 부가물, 히드록시부틸(메타)아크릴레이트·산화부틸렌 부가물을 들 수 있다.Examples of the caprolactone adduct of the hydroxy(meth)acrylate include hydroxyethyl(meth)acrylate·caprolactone adduct, hydroxypropyl(meth)acrylate·caprolactone adduct, and hydroxybutyl(meth)acrylate. -Caprolactone adducts are mentioned. Examples of the alkylene oxide adducts include hydroxyethyl (meth)acrylate-alkylene oxide adducts, hydroxypropyl (meth)acrylate-propylene oxide adducts, and hydroxybutyl ( Meth)acrylate-butylene oxide adducts are mentioned.

상기 에스테르 화합물로서는, 예를 들면, 글리세린 모노(메타)아크릴레이트, 글리세린디(메타)아크릴레이트, 펜에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 트리메티롤프로판모노(메타)아크릴레이트, 디트리메티롤프로판트리(메타)아크릴레이트, 트리메티롤프로판의 산화에틸렌 부가물의 디(메타)아크릴레이트, 트리메티롤프로판의 산화프로필렌 부가물의 디(메타)아크릴레이트를 들 수 있다. 이들은 1종을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합시켜 사용된다.As the ester compound, for example, glycerin mono (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, penerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, trimethylol propane mono ( Meth)acrylate, ditrimethylolpropane tri(meth)acrylate, di(meth)acrylate of an ethylene oxide adduct of trimethyrolpropane, and di(meth)acrylate of a propylene oxide adduct of trimethyrolpropane. I can. These are used alone or in combination of two or more.

상기 우레탄계 디(메트)아크릴레이트은 상기 우레탄 화합물과 상기 히드록시기 및 에틸렌성 불포화기를 모두 가지는 화합물을 부가 반응시켜 유래된 화합물로서, 우레탄 화합물 1몰에 대해서 히드록시기 및 에틸렌성 불포화기를 모두 가지는 화합물을 2.0 ~ 2.4 몰비로 첨가하고, 60 내지 90 ℃에서 부가 반응시킴으로써 얻을 수 있다.The urethane-based di(meth)acrylate is a compound derived by addition reaction of the urethane compound with a compound having both a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group, and a compound having both a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group per 1 mole of the urethane compound is 2.0 to 2.4 It can be obtained by adding at a molar ratio and performing an addition reaction at 60 to 90°C.

상기 우레탄계 디(메트)아크릴레이트은 중량평균분자량이 1,000 내지 60,000g/mol의 범위 내에 있는 것이 바람직하다. 상기 중량평균분자량이 1,000g/mol 미만일 경우, 유연성과 강인성을 충분히 높이기 어려워져 기판 밀착력을 향상시킬 수 없고, 60,000g/mol를 초과하는 경우에는 현상성이 나빠져서 현상시간이 느려지는 문제점이 발생될 수 있어서, 본 발명에 따른 우레탄계 디(메트)아크릴레이트는 중량평균분자량이 1,000 ~ 60,000g/mol인 것이 바람직하다.The urethane-based di(meth)acrylate preferably has a weight average molecular weight in the range of 1,000 to 60,000 g/mol. When the weight average molecular weight is less than 1,000 g/mol, it is difficult to sufficiently increase the flexibility and toughness, so that adhesion to the substrate cannot be improved, and when it exceeds 60,000 g/mol, the developability deteriorates and the development time is slowed. In this regard, it is preferable that the urethane-based di(meth)acrylate according to the present invention has a weight average molecular weight of 1,000 to 60,000 g/mol.

본 발명에서는 상기 중량평균분자량이 1,000 내지 60,000g/mol인 우레탄계 디(메트)아크릴레이트를 감광성 수지 조성물 중에 1 내지 20중량%로, 바람직하게는 1.5 내지 15중량%로 포함한다. 상기 중량평균분자량이 1,000 내지 60,000g/mol인 우레탄계 디(메트)아크릴레이트의 함량이 1중량% 미만일 경우, 그 효과가 미비하고, 20중량%를 초과하는 경우에는 노광후 현상 공정에서 의 현상시간이 급격히 증가함은 물론 스컴과 슬러지가 다량으로 발생하는 단점이 있다.In the present invention, a urethane-based di(meth)acrylate having a weight average molecular weight of 1,000 to 60,000 g/mol is included in 1 to 20% by weight, preferably 1.5 to 15% by weight in the photosensitive resin composition. When the content of the urethane-based di(meth)acrylate having the weight average molecular weight of 1,000 to 60,000 g/mol is less than 1% by weight, the effect is insufficient, and when it exceeds 20% by weight, the development time in the development process after exposure In addition to the rapid increase, there is a disadvantage that scum and sludge are generated in large quantities.

상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 상기 알킬렌글리콜계 디(메트)아크릴레이트 100 중량부에 대하여 우레탄계 디(메트)아크릴레이트를 1 중량부 이상 50 중량부 이하, 1 중량부 이상 30 중량부 이하, 1 중량부 이상 10 중량부 이하 또는 1 중량부 이상 5 중량부 이하로 포함할 수 있다. The photosensitive resin composition of the embodiment includes 1 part by weight or more and 50 parts by weight or less, 1 part by weight or more and 30 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the alkylene glycol-based di(meth)acrylate, It may contain 1 part by weight or more and 10 parts by weight or less or 1 part by weight or more and 5 parts by weight or less.

상기 알킬렌글리콜계 디(메트)아크릴레이트 100 중량부에 대하여 우레탄계 디(메트)아크릴레이트를 1 중량부 이상 50 중량부 이하로 포함함에 따라, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 회로물성의 저하 또는 박리, 현상시간이 변화하는 기술적 효과가 구현될 수 있다. As the urethane-based di(meth)acrylate is included in an amount of 1 part by weight or more and 50 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the alkylene glycol-based di(meth)acrylate, the photosensitive resin composition of the embodiment has a reduction in circuit properties or The technical effect of changing the peeling and developing time can be realized.

구체적으로, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물 100 중량부에 대하여 상기 이관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 500 중량부 이상 1500 중량부 이하, 500 중량부 이상 1000 중량부 이하, 750 중량부 이상 1000 중량부 이하, 800 중량부 이상 900 중량부 이하로 포함할 수 있다. Specifically, the photosensitive resin composition of the embodiment is 500 parts by weight or more and 1500 parts by weight or less, 500 parts by weight or more and 1000 parts by weight of the difunctional (meth)acrylate compound based on 100 parts by weight of the polyfunctional (meth)acrylate compound. Parts or less, 750 parts by weight or more and 1000 parts by weight or less, and 800 parts by weight or more and 900 parts by weight or less.

또한, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 상기 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물 100 중량부에 대하여 상기 이관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 500 중량부 이상 1000 중량부 이하, 500 중량부 이상 800 중량부 이하, 500 중량부 이상 750 중량부 이하, 500 중량부 이상 700 중량부 이하, 500 중량부 이상 600 중량부 이하로 포함할 수 있다. In addition, the photosensitive resin composition of the embodiment is 500 parts by weight or more and 1000 parts by weight or less, 500 parts by weight or more and 800 parts by weight of the difunctional (meth)acrylate compound based on 100 parts by weight of the monofunctional (meth)acrylate compound. Hereinafter, 500 parts by weight or more and 750 parts by weight or less, 500 parts by weight or more and 700 parts by weight or less, and 500 parts by weight or more and 600 parts by weight or less.

즉, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 상기 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물 100 중량부에 대하여 상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 100 중량부 미만으로 포함하고, 상기 이관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 500 중량부 이상 1500 중량부 이하로 포함할 수 있다. That is, the photosensitive resin composition of the embodiment comprises less than 100 parts by weight of the polyfunctional (meth)acrylate compound based on 100 parts by weight of the monofunctional (meth)acrylate compound, and the difunctional (meth)acrylate The compound may be included in an amount of 500 parts by weight or more and 1500 parts by weight or less.

상술한 바와 같이 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물 및 이관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함하는 동시에, 상기 중량 범위를 만족하도록 포함함에 따라, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 우수한 기판 밀착력이 구현될 뿐만 아니라, 콘트라스트가 확보되고 우수한 세선밀착력이 구현될 수 있다. As described above, a monofunctional (meth)acrylate compound, a polyfunctional (meth)acrylate compound, and a difunctional (meth)acrylate compound are included, and at the same time, as they are included to satisfy the weight range, the photosensitivity of the embodiment In the resin composition, not only excellent adhesion to the substrate may be realized, but also contrast may be secured and excellent fine wire adhesion may be realized.

본 발명에서는 상기 감광성 수지 조성물 전체 중량에 대하여, 상기 단관능 광중합성 화합물을 0.1 중량% 이상 2.5 중량% 이하로 포함할 수 있다.In the present invention, the monofunctional photopolymerizable compound may be included in an amount of 0.1% by weight or more and 2.5% by weight or less based on the total weight of the photosensitive resin composition.

또한, 본 발명에서는 상기 감광성 수지 조성물 전체 중량에 대하여, 상기 다관능 광중합성 화합물을 2.6 중량% 이상 5.0 중량% 이하로 포함할 수 있다.In addition, in the present invention, the polyfunctional photopolymerizable compound may be included in an amount of 2.6% by weight or more and 5.0% by weight or less based on the total weight of the photosensitive resin composition.

즉, 상기 감광성 수지 조성물은 상기 감광성 수지 조성물 전체 중량에 대하여, 상기 단관능 광중합성 화합물을 0.1 중량% 이상 2.5 중량% 이하로 포함하고, 상기 다관능 광중합성 화합물을 2.6 중량% 이상 5.0 중량% 이하로 포함할 수 있다.That is, the photosensitive resin composition contains 0.1% by weight or more and 2.5% by weight or less of the monofunctional photopolymerizable compound, and 2.6% by weight or more and 5.0% by weight or less of the polyfunctional photopolymerizable compound, based on the total weight of the photosensitive resin composition. Can be included as.

상기 감광성 수지 조성물은 상기 감광성 수지 조성물 전체 중량에 대하여, 상기 단관능 광중합성 화합물이 0.1 중량% 미만 또는 상기 다관능 광중합성 화합물을 2.6 중량% 미만일 경우, 상기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 화합물의 첨가에 따른 효과가 미흡하고, 상기 단관능 광중합성 화합물이 2.5 중량% 초과 또는 상기 다관능 광중합성 화합물을 5.0 중량% 초과일 경우, 소수성이 증가하여 노광 후 현상 공정에서의 현상시간이 급격히 증가하는 문제점이 발생될 수 있다.When the photosensitive resin composition is less than 0.1% by weight of the monofunctional photopolymerizable compound or less than 2.6% by weight of the multifunctional photopolymerizable compound, based on the total weight of the photosensitive resin composition, the compound represented by Formulas 1 and 2 When the effect of the addition is insufficient, and the monofunctional photopolymerizable compound is more than 2.5% by weight or the multifunctional photopolymerizable compound is more than 5.0% by weight, the hydrophobicity increases and the development time in the development process after exposure increases rapidly. Problems may arise.

또한, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 추가 광중합성 화합물로 에틸렌글리콜디메타크릴레이트(ethylene glycol dimethacrylate), 디에틸렌글리콜디메타크릴레이트(diethylene glycol dimethacrylate), 테트라에틸렌글리콜디메타크릴레이트(tetraethylene glycol dimethacrylate), 프로필렌글리콜디메타크릴레이트(propylene glycol dimethacrylate), 폴리프로필렌글리콜디메타크릴레이트(polypropylene glycol dimethacrylate), 부틸렌글리콜디메타크릴레이트(butylene glycol dimethacrylate), 네오펜틸글리콜디메타크릴레이트(neopentyl glycol dimethacrylate), 1,6-헥산글리콜디메타크릴레이트(1,6-hexane glycol dimethacrylate), 트리메틸올프로판 트리메타크릴레이트(trimethyolpropane trimethacrylate), 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트(trimethyolpropane triacrylate), 글리세린 디메타크릴레이트(glycerin dimethacrylate), 펜타에리트리톨 디메타크릴레이트(pentaerythritol dimethacrylate), 펜타에리트리톨 트리메타크릴레이트(pentaerythritol trimethacrylate), 디펜타에리트리톨 펜타메타크릴레이트(dipentaerythritol pentamethacrylate), 2,2-비스(4-메타크릴옥시디에톡시페닐)프로판(2,2-bis(4-methacryloxydiethoxyphenyl)propane), 2,2-비스(4-메타크릴옥시폴리에톡시페닐)프로판(2,2-bis(4-methacryloxypolyethoxyphenyl)propane), 2-히드록시-3-메타크릴로일옥시프로필 메타크릴레이트(2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyl methacrylate), 에틸렌글리콜 디글리시딜에테르 디메타크릴레이트(ethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate), 디에틸렌글리콜 디글리시딜에테르 디메타크릴레이트(diethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate), 프탈산 디글리시딜에스테르 디메타크릴레이트(phthalic acid diglycidyl ester dimethacrylate), 글리세린 폴리글리시딜에테르 폴리메타크릴레이트(glycerin polyglycidyl ether polymethacrylate) 및 우레탄기를 함유한 다관능 (메트)아크릴레이트 등을 더 포함할 수 있다. In addition, the photosensitive resin composition of the embodiment is an additional photopolymerizable compound, ethylene glycol dimethacrylate (ethylene glycol dimethacrylate), diethylene glycol dimethacrylate (diethylene glycol dimethacrylate), tetraethylene glycol dimethacrylate (tetraethylene glycol dimethacrylate). dimethacrylate), propylene glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate (neopentyl) glycol dimethacrylate), 1,6-hexane glycol dimethacrylate, trimethyolpropane trimethacrylate, trimethyolpropane triacrylate, glycerin dimethacrylate Acrylate (glycerin dimethacrylate), pentaerythritol dimethacrylate (pentaerythritol dimethacrylate), pentaerythritol trimethacrylate (pentaerythritol trimethacrylate), dipentaerythritol pentamethacrylate (dipentaerythritol pentamethacrylate), 2,2-bis( 4-methacryloxydiethoxyphenyl)propane (2,2-bis(4-methacryloxydiethoxyphenyl)propane), 2,2-bis(4-methacryloxypolyethoxyphenyl)propane (2,2-bis(4- methacryloxypolyethoxyphenyl)propane), 2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyl methacrylate, ethylene glycol diglycidyl ether dimer Methacrylate (ethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate), diethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate, phthalic acid diglycidyl ester dimethacrylate (phthalic acid diglycidyl ester dimethacrylate), glycerin It may further include polyglycidyl ether polymethacrylate (glycerin polyglycidyl ether polymethacrylate) and a polyfunctional (meth) acrylate containing a urethane group.

상기 광중합성 화합물의 함량은 고형분 기준으로 감광성 수지 조성물 총 중량에 대하여, 10 중량% 이상 70중량% 이하로 포함될 수 있다. 상기 광중합성 화합물의 함량이 상기 범위 내에 있는 경우 광감도와 해상도, 밀착성 등을 강화시키는 효과를 얻을 수 있다.The content of the photopolymerizable compound may be included in an amount of 10% by weight or more and 70% by weight or less, based on the total weight of the photosensitive resin composition. When the content of the photopolymerizable compound is within the above range, it is possible to obtain an effect of enhancing photosensitivity, resolution, and adhesion.

(4) 감광성 수지 조성물(4) photosensitive resin composition

상기 감광성 수지 조성물은 고형분 기준으로, 알카리 현상성 바인더 수지 20 중량% 이상 80 중량% 이하, 광중합 개시제 0.1 중량% 이상 10 중량% 이하, 및 광중합성 화합물 10 중량% 이상 70 중량% 이하를 포함할 수 있다. 상기 중량의 기준인 고형분은, 상기 감광성 수지 조성물에서 용매를 제외한 나머지 성분을 의미한다.The photosensitive resin composition may contain 20% by weight or more and 80% by weight or less of an alkali developable binder resin, 0.1% by weight or more and 10% by weight or less of a photopolymerization initiator, and 10% by weight or more and 70% by weight or less of a photopolymerizable compound, based on solid content. have. The solid content, which is the basis of the weight, refers to the remaining components excluding the solvent in the photosensitive resin composition.

상기 감광성 수지 조성물은 용제를 더 포함할 수 있다. 상기 용제로는 일반적으로 메틸에틸케톤(MEK), 메탄올, THF, 톨루엔, 아세톤 중에서 선택된 것을 사용하며 상기 용제로 특별히 한정되는 것은 아니며, 함량 역시, 광중합 개시제, 알카리 현상성 바인더 수지 및 광중합성 화합물의 함량에 따라 조절하여 함유될 수 있다.The photosensitive resin composition may further include a solvent. The solvent is generally selected from methyl ethyl ketone (MEK), methanol, THF, toluene, and acetone, and is not particularly limited as the solvent, and the content is also a photopolymerization initiator, an alkali developable binder resin, and a photopolymerizable compound. It may be contained by adjusting according to the content.

또한, 상기 감광성 수지 조성물은 필요에 따라 기타 첨가제를 더 포함할 수 있는데, 기타 첨가제로는 가소제로서 프탈산 에스테르 형태의 디부틸 프탈레이트, 디헵틸 프탈레이트, 디옥틸 프탈레이트, 디알릴 프탈레이트; 글리콜 에스테르 형태인 트리에틸렌 글리콜 디아세테이트, 테트라에틸렌 글리콜 디아세테이트; 산 아미드 형태인 p-톨루엔 설폰아미드, 벤젠설폰아미드, n-부틸벤젠설폰아미드; 트리페닐 포스페이트 등을 사용할 수 있다.In addition, the photosensitive resin composition may further include other additives as needed. Other additives include dibutyl phthalate, diheptyl phthalate, dioctyl phthalate, diallyl phthalate in the form of phthalic acid esters as plasticizers; Triethylene glycol diacetate, tetraethylene glycol diacetate in the form of glycol esters; P-toluene sulfonamide, benzenesulfonamide, n-butylbenzenesulfonamide in the form of acid amide; Triphenyl phosphate and the like can be used.

본 발명에 있어서 감광성 수지 조성물의 취급성을 향상시키기 위해서 루이코 염료나 착색 물질을 넣을 수도 있다. 상기 루이코 염료로는, 트리스(4-디메틸아미노-2-메틸페닐)메탄, 트리스(4-디메틸아미노-2메틸페닐)메탄, 플루오란 염료 등을 들 수 있다. 그중에서도, 루이코 크리스탈 바이올렛을 사용한 경우, 콘트라스트가 양호하여 바람직하다. 루이코 염료를 함유하는 경우의 함유량은 감광성 수지 조성물 중에 0.1 중량% 이상 10 중량% 이하 일 수 있다. 콘트라스트의 발현이라는 관점에서, 0.1중량% 이상이 바람직하고, 보존 안정성을 유지한다는 관점에서는 10 중량% 이하가 바람직하다.In the present invention, in order to improve the handling properties of the photosensitive resin composition, a Leuco dye or a colored substance may be added. Examples of the Leuico dye include tris(4-dimethylamino-2-methylphenyl)methane, tris(4-dimethylamino-2methylphenyl)methane, and fluorane dyes. Among them, in the case of using Ruiko crystal violet, the contrast is good, which is preferable. In the case of containing the Leuico dye, the content may be 0.1% by weight or more and 10% by weight or less in the photosensitive resin composition. From the viewpoint of expression of contrast, 0.1% by weight or more is preferable, and from the viewpoint of maintaining storage stability, 10% by weight or less is preferable.

착색 물질로는, 예를 들어 톨루엔술폰산1수화물, 푸크신, 프탈로시아닌 그린, 오라민 염기, 파라마젠타, 크리스탈 바이올렛, 메틸 오렌지, 나일 블루 2B, 빅토리아 블루, 말라카이트 그린, 다이아몬드 그린, 베이직 블루 20 등을 들 수 있다. 상기 착색 물질을 함유하는 경우의 첨가량은 감광성 수지 조성물 중에 0.001 중량% 이상 1중량% 이하일 수 있다. 0.001중량% 이상의 함량에서는 취급성 향상이라는 효과가 있고, 1중량% 이하의 함량에서는 보존 안정성을 유지한다는 효과가 있다.As a coloring material, for example, toluenesulfonic acid monohydrate, fuxine, phthalocyanine green, oramine base, paramagenta, crystal violet, methyl orange, Nile blue 2B, Victoria blue, malachite green, diamond green, basic blue 20, etc. Can be lifted. When the colored material is included, the amount added may be 0.001% by weight or more and 1% by weight or less in the photosensitive resin composition. When the content is 0.001% by weight or more, there is an effect of improving the handling properties, and when the content is less than 1% by weight, the storage stability is maintained.

그 외에 기타 첨가제로는 열중합 방지제, 염료, 변색제(discoloring agent), 밀착력 촉진제 등을 더 포함할 수 있다.Other additives may further include a thermal polymerization inhibitor, a dye, a discoloring agent, an adhesion promoter, and the like.

한편, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물은 기판상에 상기 감광성 수지 조성물이 함유된 감광성 수지층이 적층된 필름 시료에 대하여 필 테스터를 이용하여 Tape peeling 테스트시, 하기 수학식1로 정의되는 밀착도가 90% 이상, 90% 이상 100 % 이하, 또는 95% 이상 100 % 이하일 수 있다. 이는 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물이 상술한 광중합성 화합물을 포함함에 따라 구현될 수 있다. Meanwhile, in the photosensitive resin composition of the embodiment, when a tape peeling test is performed using a peel tester on a film sample in which the photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition is laminated on a substrate, an adhesion degree defined by Equation 1 below is 90. % Or more, 90% or more, 100% or less, or 95% or more and 100% or less. This may be implemented as the photosensitive resin composition of the embodiment includes the above-described photopolymerizable compound.

[수학식 1][Equation 1]

밀착도(%) = (Tape peeling 테스트 후 기판과 감광성 수지층 표면적 / Tape peeling 테스트 전 기판과 접촉한 감광성 수지층 표면적) * 100.Adhesion (%) = (The surface area of the substrate and the photosensitive resin layer after the tape peeling test / The surface area of the photosensitive resin layer in contact with the substrate before the tape peeling test) * 100.

구체적으로, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물이 상기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 및 상기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함함에 따라, 상기 수학식1로 정의되는 밀착도가 90% 이상일 수 있다.Specifically, since the photosensitive resin composition of the embodiment includes a monofunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 1, and a polyfunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 2, the Equation 1 The degree of adhesion defined as may be 90% or more.

상기 수학식1로 정의되는 밀착도가 90% 이상임에 따라, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물의 경화물을 포함하는 드라이 필름 포토레지스트의 기판 밀착력이 우수해지는 효과가 구현될 수 있다. As the adhesion defined by Equation 1 is 90% or more, the effect of improving adhesion to the substrate of the dry film photoresist including the cured product of the photosensitive resin composition of the embodiment may be realized.

구체적으로, 상기 기판상에 상기 감광성 수지 조성물이 함유된 감광성 수지층이 적층된 필름 시료에서 상기 기판은, Reverse Treated Foil 일 수 있다.Specifically, in the film sample in which the photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition is laminated on the substrate, the substrate may be a Reverse Treated Foil.

보다 구체적으로, 상기 기판의 표면 조도는 1㎛ 이상 10㎛이하, 3㎛ 이상 7㎛이하, 또는 4㎛ 이상 6㎛이하일 수 있다. More specifically, the surface roughness of the substrate may be 1 μm or more and 10 μm or less, 3 μm or more and 7 μm or less, or 4 μm or more and 6 μm or less.

한편, 상기 수학식 1의 Tape peeling 테스트는 표준 테이프를 상기 기판상에 상기 감광성 수지 조성물이 함유된 감광성 수지층이 적층된 필름 시료에 접착시킨 후, 필 테스트를 이용하여 실시될 수 있다. Meanwhile, the tape peeling test of Equation 1 may be performed using a peel test after attaching a standard tape to a film sample in which a photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition is laminated on the substrate.

상기 수학식1로 정의되는 밀착도가 90% 이상인 것은, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물이 상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물에 대하여 상기 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 과량 포함함에 따라, 상기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물의 낮은 유리 전이온도로 인하여, 드라이 필름 포토레지스트의 라미네이션 온도에서 상대적으로 큰 유동성을 가져, 표면 조도가 높고 불균일한 기판에 대한 물리적 밀착력이 향상되는 효과를 구현할 수 있다.The adhesion degree defined by Equation 1 is 90% or more, as the photosensitive resin composition of the embodiment contains an excess of the monofunctional (meth)acrylate compound with respect to the polyfunctional (meth)acrylate compound, the formula Due to the low glass transition temperature of the monofunctional (meth)acrylate compound represented by 1, it has relatively high fluidity at the lamination temperature of the dry film photoresist, thereby improving physical adhesion to uneven substrates with high surface roughness. Can be implemented.

2. 드라이 필름 포토레지스트2. Dry film photoresist

발명의 다른 구현예에 따르면, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물을 함유한 감광성 수지층을 포함하는 드라이 필름 포토레지스트가 제공될 수 있다. 상기 감광성 수지 조성물에 대한 내용은 상기 일 구현예에서 상술한 내용을 모두 포함한다.According to another embodiment of the present invention, a dry film photoresist including a photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition of the above embodiment may be provided. The content of the photosensitive resin composition includes all of the above-described information in the embodiment.

구체적으로, 상기 감광성 수지층은 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물의 건조물 혹은 경화물을 포함할 수 있다. 상기 건조물이란, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물의 건조공정을 거쳐 얻어지는 물질을 의미한다. 상기 경화물이란, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물의 경화공정을 거쳐 얻어지는 물질을 의미한다.Specifically, the photosensitive resin layer may include a dried product or a cured product of the photosensitive resin composition of the embodiment. The dried product means a material obtained through a drying process of the photosensitive resin composition of the embodiment. The cured product means a material obtained through a curing process of the photosensitive resin composition of the embodiment.

상기 드라이 필름 포토레지스트의 두께가 크게 한정되는 것은 아니나, 예를 들어, 0.01 ㎛ 내지 1 mm 범위 내에서 자유롭게 조절 가능하다. 상기 드라이 필름 포토레지스트의 두께가 특정 수치만큼 증가하거나 감소하는 경우 드라이 필름 포토레지스트에서 측정되는 물성 또한 일정 수치만큼 변화할 수 있다.Although the thickness of the dry film photoresist is not largely limited, for example, it can be freely adjusted within the range of 0.01 μm to 1 mm. When the thickness of the dry film photoresist increases or decreases by a specific value, physical properties measured in the dry film photoresist may also change by a predetermined value.

상기 드라이 필름 포토레지스트는 기재필름 및 보호필름을 더 포함할 수 있다. 상기 기재필름은 드라이 필름 포토레지스트를 제조하는 동안 감광성 수지층의 지지체 역할을 하는 것으로, 점착력을 갖고 있는 감광성 수지층의 노광시 취급이 용이하도록 하는 것이다.The dry film photoresist may further include a base film and a protective film. The base film serves as a support for the photosensitive resin layer during manufacture of the dry film photoresist, and facilitates handling of the photosensitive resin layer having adhesive strength during exposure.

상기 기재필름은 각종 플라스틱 필름이 사용가능하며, 예를 들어, 아크릴계 필름, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 필름, 트리아세틸셀룰로오스(TAC) 필름, 폴리노르보넨(PNB) 필름, 싸이클로올레핀폴리머(COP) 필름, 및 폴리카보네이트(PC) 필름으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 플라스틱 필름을 포함할 수 있다. 상기 기재필름의 두께가 크게 한정되는 것은 아니나, 예를 들어, 0.01 ㎛ 내지 1 mm 범위 내에서 자유롭게 조절 가능하다.Various plastic films can be used for the base film, for example, an acrylic film, a polyethylene terephthalate (PET) film, a triacetyl cellulose (TAC) film, a polynorbornene (PNB) film, a cycloolefin polymer (COP) film. , And may include one or more plastic films selected from the group consisting of a polycarbonate (PC) film. Although the thickness of the base film is not largely limited, for example, it can be freely adjusted within the range of 0.01 μm to 1 mm.

상기 보호필름은 취급시 레지스트의 손상을 방지해 주고, 먼지와 같은 이물질로부터 감광성 수지층을 보호하는 보호 덮게 역할을 하는 것으로서, 감광성 수지층의 기재 필름이 형성되지 않은 이면에 적층된다. 상기 보호필름은 감광성 수지층을 외부로부터 보호하는 역할을 하는 것으로서, 드라이 필름 포토레지스트를 후공정에 적용할 때는 용이하게 이탈되면서, 보관 및 유통할 때에는 이형되지 않도록 적당한 이형성과 점착성을 필요로 한다.The protective film prevents damage to the resist during handling and serves as a protective covering to protect the photosensitive resin layer from foreign substances such as dust, and is laminated on the back surface of the photosensitive resin layer on which the base film is not formed. The protective film serves to protect the photosensitive resin layer from the outside, and requires proper release properties and adhesiveness so as to be easily released when applying a dry film photoresist to a post process, and not to be released when stored and distributed.

상기 보호필름은 각종 플라스틱 필름이 사용가능하며, 예를 들어, 아크릴계 필름, 폴리에틸렌(PE) 필름, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 필름, 트리아세틸셀룰로오스(TAC) 필름, 폴리노르보넨(PNB) 필름, 싸이클로올레핀폴리머(COP) 필름, 및 폴리카보네이트(PC) 필름으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 플라스틱 필름을 포함할 수 있다. 상기 보호필름의 두께가 크게 한정되는 것은 아니나, 예를 들어, 0.01 ㎛ 내지 1 mm 범위 내에서 자유롭게 조절 가능하다.Various plastic films can be used as the protective film, for example, an acrylic film, a polyethylene (PE) film, a polyethylene terephthalate (PET) film, a triacetylcellulose (TAC) film, a polynorbornene (PNB) film, and a cyclo It may include at least one plastic film selected from the group consisting of an olefin polymer (COP) film, and a polycarbonate (PC) film. Although the thickness of the protective film is not largely limited, for example, it can be freely adjusted within the range of 0.01 μm to 1 mm.

상기 드라이 필름 포토레지스트를 제조하는 방법의 예가 크게 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트와 같은 통상의 기재 필름 위에 통상의 코팅 방법을 이용하여 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물을 코팅시킨 다음, 건조시키고, 상기 건조된 감광성 수지층 상면에 폴리에틸렌과 같은 통상의 보호 필름을 이용하여 라미네이션시켜 드라이 필름을 제조할 수 있다. An example of a method of manufacturing the dry film photoresist is not limited, for example, by coating the photosensitive resin composition of the embodiment on a conventional substrate film such as polyethylene terephthalate using a conventional coating method, and then drying And, a dry film may be prepared by laminating the dried photosensitive resin layer on the upper surface using a conventional protective film such as polyethylene.

상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물을 코팅하는 방법은 특별히 제한되지 않으며, 예컨대 코팅 바 등의 방법이 이용될 수 있다.A method of coating the photosensitive resin composition of the embodiment is not particularly limited, and a method such as a coating bar may be used.

상기 코팅된 감광성 수지 조성물을 건조시키는 단계는 열풍오븐, 핫 플레이트, 열풍 순환로, 적외선로 등의 가열 수단에 의해 실시될 수 있고, 50 ℃ 이상 100 ℃ 이하의 온도로 수행할 수 있다.Drying the coated photosensitive resin composition may be performed by a heating means such as a hot air oven, a hot plate, a hot air circulation furnace, or an infrared furnace, and may be performed at a temperature of 50° C. or more and 100° C. or less.

한편, 상기 일 구현예의 드라이 필름 포토레지스트는 기판상에 상기 감광성 수지 조성물이 함유된 감광성 수지층이 적층된 필름 시료에 대하여 필 테스터를 이용하여 Tape peeling 테스트시, 하기 수학식2로 정의되는 밀착도가 90% 이상, 90% 이상 100 % 이하, 또는 95% 이상 100 % 이하일 수 있다. 이는 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물이 상술한 광중합성 화합물을 포함함에 따라 구현될 수 있다.Meanwhile, in the dry film photoresist of the embodiment, when a tape peeling test is performed using a peel tester on a film sample in which a photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition is stacked on a substrate, the adhesion is defined by the following equation (2). It may be 90% or more, 90% or more and 100% or less, or 95% or more and 100% or less. This may be implemented as the photosensitive resin composition of the embodiment includes the above-described photopolymerizable compound.

[수학식2][Equation 2]

밀착도(%) = (Tape peeling 테스트 후 기판과 접촉한 드라이필름 포토레지스트의 감광성 수지층 표면적 / Tape peeling 테스트 전 기판과 접촉한 드라이필름 포토레지스트의 감광성 수지층 표면적) * 100.Adhesion (%) = (The surface area of the photosensitive resin layer of the dry film photoresist in contact with the substrate after the tape peeling test / The surface area of the photosensitive resin layer of the dry film photoresist in contact with the substrate before the tape peeling test) * 100.

상기 밀착도에 대한 내용은 상술한 내용을 모두 포함한다. The content of the adhesion includes all of the above.

상기 수학식2로 정의되는 밀착도가 90% 이상임에 따라, 상기 일 구현예의 드라이 필름 포토레지스트의 기판 밀착력이 우수해지는 효과가 구현될 수 있다. As the adhesion defined by Equation 2 is 90% or more, an effect of improving adhesion to the substrate of the dry film photoresist of the embodiment may be realized.

3. 감광성 엘리먼트3. Photosensitive element

발명의 또 다른 구현예에 따르면, 고분자 기재; 및 상기 고분자 기재 상에 형성된 감광성 수지층을 포함하고, 기판상에 상기 감광성 수지층이 적층된 필름 시료에 대하여 필 테스터를 이용하여 Tape peeling 테스트시, 하기 수학식1로 정의되는 밀착도가 90% 이상인 감광성 엘리먼트가 제공될 수 있다. According to another embodiment of the invention, a polymer substrate; And a photosensitive resin layer formed on the polymer substrate, and when a tape peeling test is performed using a peel tester on a film sample in which the photosensitive resin layer is laminated on a substrate, an adhesion degree defined by Equation 1 below is 90% or more. A photosensitive element may be provided.

[수학식1][Equation 1]

밀착도(%) = (Tape peeling 테스트 후 기판과 감광성 수지층 표면적 / Tape peeling 테스트 전 기판과 접촉한 감광성 수지층 표면적) * 100.Adhesion (%) = (The surface area of the substrate and the photosensitive resin layer after the tape peeling test / The surface area of the photosensitive resin layer in contact with the substrate before the tape peeling test) * 100.

상기 밀착도에 대한 내용은 상술한 내용을 모두 포함한다. The content of the adhesion includes all of the above.

상기 수학식1로 정의되는 밀착도가 90% 이상임에 따라, 기판 밀착력이 우수한 감광성 엘리먼트가 제공될 수 있다. As the adhesion defined by Equation 1 is 90% or more, a photosensitive element having excellent adhesion to the substrate may be provided.

한편, 상기 감광성 수지층은 알칼리 현상성 바인더 수지와 광중합성 화합물을 포함하고, 상기 광중합성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 및 하기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함할 수 있다. On the other hand, the photosensitive resin layer includes an alkali developable binder resin and a photopolymerizable compound, and the photopolymerizable compound is a monofunctional (meth)acrylate compound represented by the following Formula 1, and a polyfunctional ( It may contain a meth)acrylate compound.

[화학식1] [Formula 1]

Figure 112019136264084-pat00031
Figure 112019136264084-pat00031

상기 화학식1 에서, R1은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R2는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고, R3은 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, n1은 1 내지 20의 정수이고,In Formula 1, R 1 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, R 2 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms, R 3 is alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and n1 is an integer of 1 to 20 ,

[화학식2][Formula 2]

Figure 112019136264084-pat00032
Figure 112019136264084-pat00032

상기 화학식2 에서, R4은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R5는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고, R6은 탄소수 1 내지 20의 중심 그룹을 포함하는 p가 작용기이고, n2은 1 내지 20의 정수이고, p는 상기 R6에 치환되는 작용기수이고, 3 내지 10의 정수이다. In Formula 2, R 4 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, R 5 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms, R 6 is a functional group p including a central group having 1 to 20 carbon atoms, n2 Is an integer of 1 to 20, p is the number of functional groups substituted for R 6 , and is an integer of 3 to 10.

상기 감광성 수지 조성물에 대한 내용은 상기 일 구현예와 다른 구현예에서 상술한 내용을 모두 포함한다. The content of the photosensitive resin composition includes all of the above-described information in the embodiment and other embodiments.

즉, 상기 감광성 수지층은 알칼리 현상성 바인더 수지와 광중합성 화합물을 포함하고, 상기 광중합성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 및 하기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함할 수 있다. That is, the photosensitive resin layer includes an alkali developable binder resin and a photopolymerizable compound, and the photopolymerizable compound is a monofunctional (meth)acrylate compound represented by the following Formula 1, and a polyfunctional ( It may contain a meth)acrylate compound.

[화학식1][Formula 1]

Figure 112019136264084-pat00033
Figure 112019136264084-pat00033

상기 화학식1 에서, R1은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R2는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고, R3은 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, n1은 1 내지 20의 정수이고,In Formula 1, R 1 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, R 2 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms, R 3 is alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and n1 is an integer of 1 to 20 ,

[화학식2][Formula 2]

Figure 112019136264084-pat00034
Figure 112019136264084-pat00034

상기 화학식2 에서, R4은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, R5는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고, R6은 탄소수 1 내지 20의 중심 그룹을 포함하는 p가 작용기이고, n2은 1 내지 20의 정수이고, p는 상기 R6에 치환되는 작용기수이고, 3 내지 10의 정수이다.In Formula 2, R 4 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, R 5 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms, R 6 is a functional group p including a central group having 1 to 20 carbon atoms, n2 Is an integer of 1 to 20, p is the number of functional groups substituted for R 6 , and is an integer of 3 to 10.

상기 고분자 기재는 각종 플라스틱 필름이 사용가능하며, 예를 들어, 아크릴계 필름, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 필름, 트리아세틸셀룰로오스(TAC) 필름, 폴리노르보넨(PNB) 필름, 싸이클로올레핀폴리머(COP) 필름, 및 폴리카보네이트(PC) 필름으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 플라스틱 필름을 포함할 수 있다. 상기 고분자 기재의 두께가 크게 한정되는 것은 아니나, 예를 들어, 0.01 ㎛ 내지 1 mm 범위 내에서 자유롭게 조절 가능하다.Various plastic films can be used for the polymer substrate, for example, an acrylic film, a polyethylene terephthalate (PET) film, a triacetylcellulose (TAC) film, a polynorbornene (PNB) film, a cycloolefin polymer (COP) film. , And may include one or more plastic films selected from the group consisting of a polycarbonate (PC) film. Although the thickness of the polymer substrate is not largely limited, for example, it can be freely adjusted within the range of 0.01 μm to 1 mm.

상기 고분자 기재의 구체적인 예로는 미연신 폴리에스테르 필름을 일축연신하고, 그 일면에 바인더 수지와 유기입자를 포함하는 조액을 도포하여 나머지 일축연신하는 인-라인 코팅 방식에 의해 안티블로킹층이 형성된 폴리에스테르 필름을 들 수 있다.A specific example of the polymer substrate is a polyester in which an anti-blocking layer is formed by uniaxially stretching an unstretched polyester film, applying a crude liquid containing a binder resin and organic particles to one side thereof, and uniaxially stretching the remaining uniaxially. A film is mentioned.

상기 고분자 기재는 통상적으로 제조시의 주행성 및 권취특성을 고려하여 첨가되어 온 안티블록킹제를 첨가하지 않는 대신에 인-라인 코팅 방식을 선택하였으며, 투명성을 저해하지 않는 대체 입자를 사용한 유기입자층을 구비한 것이다.The polymer substrate has an in-line coating method instead of adding an anti-blocking agent, which has been added in consideration of the running property and winding characteristics during production, and has an organic particle layer using alternative particles that do not impair transparency. I did it.

여기서 주행성 및 권취특성을 고려하면서 투명성을 저해하지 않는 입자로 사용된 유기입자의 예로는 메틸메타크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, 이소부틸메타크릴레이트, 노말부틸메타크릴레이트, 노말부틸메틸메타크릴레이트, 아크릴산, 메타크릴산의 공중합체 또는 삼원공중합체 등의 아크릴계 입자; 폴리에틸렌, 폴리스티렌, 폴리프로필렌 등의 올레핀계 입자; 아크릴과 올레핀계의 공중합체; 또는 단일중합체의 입자를 형성한 후 그 층위에 다른 종류의 단량체를 코팅한 다층다성분계 입자 등의 유기입자 등을 들 수 있다.Here, examples of organic particles used as particles that do not impair transparency while considering running properties and winding characteristics are methyl methacrylate, ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, normal butyl methacrylate, normal butyl methyl methacrylate , Acrylic particles such as copolymers of acrylic acid and methacrylic acid or terpolymers; Olefin-based particles such as polyethylene, polystyrene, and polypropylene; Acrylic and olefin-based copolymers; Alternatively, organic particles such as multi-layered multi-component particles in which homopolymer particles are formed and then coated with other types of monomers on the layer may be used.

이같은 유기입자는 구체적으로는 구형이면서 바인더수지와의 굴절율의 차이가 있어야 한다. 여기서 '구형'은 타원에 있어 단축(a)과 장축(b)의 비가 0.5< a/b < 2이고, 직사각형에 있어서 대각선(d)과의 관계가 d2≤a2+b2 인것으로 정의된다. 그리고 육면체에 있어서 꼭지점간의 거리가 가장 긴 축(f)과 a, b축이외의 c축과의 관계는 f2≤c2+a2+b2 로 정의한다. 입자의 형상이 구형이어야 주행성 측면에서 바람직하다.Such organic particles should be specifically spherical and have a difference in refractive index with the binder resin. Here,'spherical' is defined as the ratio of the minor axis (a) and the major axis (b) in the ellipse is 0.5<a/b <2, and the relationship with the diagonal (d) in the rectangle is d2≦a2+b2. And the relationship between the axis (f) with the longest distance between vertices in the cube and the c axis other than the a and b axes is defined as f2≤c2+a2+b2. The shape of the particles should be spherical, which is preferable in terms of running performance.

그리고, 유기입자의 바인더 수지와의 굴절율 차이는 0.05이하인 것을 그 특징으로 한다. 굴절율의 차이가 0.05보다 크면 Haze를 증가시킨다. 이것은 산란광이 많음을 의미하며, 이러한 산란광이 많을 경우 사이드월의 스무징효과가 떨어진다. 이것은 유기입자의 크기와 량에도 의존한다. 유기입자는 평균입경이 0.5㎛ 내지 5㎛ 정도인 것이 좋으며, 이보다 작을 경우 주행특성 및 권취특성이 저하되며, 5㎛보다 클 경우 헤이즈를 증가시키며, 탈락문제 발생을 감안하여 바람직하지 못하다. 유기입자의 함량은 바인더 수지와의 총량을 기준으로 1 내지 10중량%인 것이 바람직하다.And, it is characterized in that the difference in refractive index between the organic particles and the binder resin is 0.05 or less. If the difference in refractive index is greater than 0.05, the Haze is increased. This means that there is a lot of scattered light, and when there is a lot of scattered light, the smoothing effect of the sidewall is inferior. It also depends on the size and quantity of the organic particles. It is preferable that the organic particles have an average particle diameter of about 0.5 µm to 5 µm, and if it is smaller than this, the running characteristics and winding characteristics are deteriorated, and when it is larger than 5 µm, the haze increases, and it is not preferable in consideration of the occurrence of a dropping problem. The content of the organic particles is preferably 1 to 10% by weight based on the total amount of the binder resin.

유기입자의 함량이 바인더 수지와의 총량을 기준으로 하여 1중량% 미만이면 안티블로킹 효과가 미흡하여 스크래치에 약하며, 권취특성, 주행특성이 나빠지고, 10중량%를 초과면 헤이즈가 증가하여 투명특성이 나빠지는 문제가 있을 수 있다.If the content of organic particles is less than 1% by weight based on the total amount of the binder resin, the anti-blocking effect is insufficient and it is weak against scratches, winding characteristics and running characteristics deteriorate, and if it exceeds 10% by weight, the haze increases and transparent characteristics There may be a problem with this worsening.

한편, 상기와 같은 유기입자에 더하여 무기계 입자를 첨가할 수도 있는데, 이때는 통상 사용되어온 무기계 안티블록킹제를 첨가하는 것은 바람직하지 않으며, 입자 크기 100nm 이하인 콜로이달 실리카를 첨가하는 것이 바람직하다. 그 함량은 바인더 수지 100중량부에 대해 10중량부 이하로 포함하는 것이 바람직하다. 상기와 같은 입자크기와 함량을 만족할 때, 드라이필름포토레지스트를 이용한 패턴 형성에서 안티블록킹층으로 인해 발생되는 사이드월의 결손이나 분화구와 같은 홈을 발생시키지 않을 수 있다.Meanwhile, inorganic particles may be added in addition to the organic particles as described above. In this case, it is not preferable to add an inorganic anti-blocking agent that has been used, and it is preferable to add colloidal silica having a particle size of 100 nm or less. The content is preferably 10 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the binder resin. When the particle size and content as described above are satisfied, defects in the sidewall or grooves such as craters may not be generated due to the anti-blocking layer in pattern formation using the dry film photoresist.

이같은 유기입자를 미연신의 폴리에스테르 필름 상에 도포하기 위한 접착제의 역할을 하는 바인더 수지로는 유기입자와 상용성이 좋은 것을 사용하면 되는 데, 이러한 수지의 예로는 불포화 폴리에스테르, 메틸메타크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, 이소부틸메타크릴레이트, 노말부틸메타크릴레이트, 노말부틸메틸메타크릴레이트, 아크릴산, 메타크릴산의 공중합체 또는 삼원공중합체 등과 같은 아크릴계 수지; 우레탄계 수지; 에폭시계 수지; 또는 멜라민계 수지 등을 들 수 있으며, 바람직하게는 아크릴계 수지이다.As a binder resin that acts as an adhesive for applying such organic particles onto an unstretched polyester film, one having good compatibility with organic particles can be used. Examples of such resins include unsaturated polyester, methyl methacrylate, Acrylic resins such as ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, normal butyl methacrylate, normal butyl methyl methacrylate, acrylic acid, methacrylic acid copolymer or terpolymer; Urethane resin; Epoxy resin; Or melamine resin etc. are mentioned, Preferably it is an acrylic resin.

바인더 수지와 유기입자로 조액함에 있어서 사용할 수 있는 솔벤트는 바람직하기로는 물이다.The solvent that can be used in the liquid preparation of the binder resin and organic particles is preferably water.

이와 같이 바인더 수지에 유기입자를 포함하는 조액을, PET 펠렛을 용율압출하여 얻어진 미연신 폴리에스테르 필름을 일축으로 연신한 후, 일축으로 연신된 필름상에 도포한다. 도포는 일축연신 필름의 적어도 일면에 행해질 수 있으며, 그 두께는 최종 건조 후 두께를 기준으로 하여 30 ㎚ 내지 200㎚ 정도인 것이 바람직하다. 만일, 유기입자를 포함하는 조액을 일축연신필름 상에 30㎚ 보다 얇게 도포하면 유기입자의 탈락이 쉬워 스크래치에 취약하고, 백분이 발생되는 문제가 있으며, 200㎚ 보다 두껍게 도포하면 조액의 점도 상승으로 인하여 코팅 속도가 빠른 인라인 코팅에서는 코팅방향으로 코팅줄이 발생한다.In this way, a crude liquid containing organic particles in a binder resin is uniaxially stretched and then coated on the uniaxially stretched film after the unstretched polyester film obtained by extruding PET pellets by volume extrusion. Coating may be performed on at least one surface of the uniaxially stretched film, and the thickness is preferably about 30 nm to 200 nm based on the thickness after final drying. If the crude liquid containing organic particles is applied on the uniaxially stretched film to a thickness of less than 30 nm, the organic particles are easily detached and are susceptible to scratches, and there is a problem that white powder is generated. Therefore, in in-line coating with a high coating speed, coating lines are generated in the coating direction.

이와같이 인-라인 코팅방식에 의해, 일반적인 안티블록킹제가 아닌 유기입자를 사용하여 도포하여 얻어진 상기 고분자 기재는, 입자층으로 인해 권취특성 및 주행특성은 유지되면서, 광투과성이 우수한 유기입자로 인해 투명성이 우수한 기재필름이다.In this way, the polymer substrate obtained by coating with organic particles other than a general anti-blocking agent by the in-line coating method maintains winding and running characteristics due to the particle layer, and has excellent transparency due to the organic particles having excellent light transmittance. It is a base film.

감광성 수지층의 적층은 고분자 기재에 있어서 유기입자를 포함하는 층의 반대면에 수행되는 바, 이와같이 유기입자를 포함하는 층의 반대면에 감광성 수지층이 형성됨에 따라서 종전과 같이 안티블록킹제를 포함하는 기재필름이 적층됨에 따라 나타나는 분화구 모양의 흠의 발생이 없다. 실리카 등의 입자는 유기입자에 비하여 그 크기가 클 뿐만 아니라 그 분포가 기재필름 전반에 걸쳐 있기 때문에 감광성 수지층과 인접한 부분에서도 실리카의 영향이 미미하게나마 나타나는 것이다. Lamination of the photosensitive resin layer is performed on the opposite side of the layer containing organic particles in the polymer substrate. As the photosensitive resin layer is formed on the opposite side of the layer containing organic particles, an anti-blocking agent is included as before. There is no occurrence of crater-shaped flaws that appear as the base film is laminated. Particles such as silica are not only larger in size than organic particles, but also have a distribution throughout the base film, so that the effect of silica appears to be insignificant even in a portion adjacent to the photosensitive resin layer.

반면에 본 발명에서 사용된 고분자 기재에 있어서는 그 크기가 0.5㎛ 내지 5㎛인 유기입자이면서, 그 유기입자층이 감광성 수지층과 인접되어 있지 않아서 유기입자의 물리적 영향이 미치지 않는다. 또한, 우수한 광투과성을 갖는 유기입자를 사용함에 따라서 사이드월의 결손도 줄일 수 있으면서, 여타의 회로물성을 저해하지 않게 되는 것이다.On the other hand, in the polymer substrate used in the present invention, the organic particles have a size of 0.5 μm to 5 μm, and the organic particle layer is not adjacent to the photosensitive resin layer, so that the physical effect of the organic particles is not affected. In addition, by using organic particles having excellent light transmittance, defects of sidewalls can be reduced, and other circuit properties are not impaired.

상기 감광성 엘리먼트는 감광성 수지층 상에 형성된 보호필름을 더 포함할 수 있다. 상기 보호필름은 취급시 감광성 수지층의 손상을 방지해 주고, 먼지와 같은 이물질로부터 감광성 수지층을 보호하는 보호 덮게 역할을 하는 것으로서, 감광성 수지층의 고분자 기재가 형성되지 않은 이면에 적층된다. 상기 보호필름은 감광성 수지층을 외부로부터 보호하는 역할을 하는 것으로서, 감광성 엘리먼트를 후공정에 적용할 때는 용이하게 이탈되면서, 보관 및 유통할 때에는 이형되지 않도록 적당한 이형성과 점착성을 필요로 한다.The photosensitive element may further include a protective film formed on the photosensitive resin layer. The protective film prevents damage to the photosensitive resin layer during handling and serves as a protective covering to protect the photosensitive resin layer from foreign substances such as dust, and is laminated on the back surface of the photosensitive resin layer on which the polymer substrate is not formed. The protective film serves to protect the photosensitive resin layer from the outside, and requires proper release properties and adhesion so that the photosensitive element is easily released when applied to a post process, and is not released when stored and distributed.

상기 보호필름은 각종 플라스틱 필름이 사용가능하며, 예를 들어, 아크릴계 필름, 폴리에틸렌(PE) 필름, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 필름, 트리아세틸셀룰로오스(TAC) 필름, 폴리노르보넨(PNB) 필름, 싸이클로올레핀폴리머(COP) 필름, 및 폴리카보네이트(PC) 필름으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 플라스틱 필름을 포함할 수 있다. 상기 보호필름의 두께가 크게 한정되는 것은 아니나, 예를 들어, 0.01 ㎛ 내지 1 mm 범위 내에서 자유롭게 조절 가능하다.Various plastic films can be used as the protective film, for example, an acrylic film, a polyethylene (PE) film, a polyethylene terephthalate (PET) film, a triacetylcellulose (TAC) film, a polynorbornene (PNB) film, and a cyclo It may include at least one plastic film selected from the group consisting of an olefin polymer (COP) film, and a polycarbonate (PC) film. Although the thickness of the protective film is not largely limited, for example, it can be freely adjusted within the range of 0.01 μm to 1 mm.

4. 회로 기판, 디스플레이 장치4. Circuit board, display device

발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 일 구현예의 감광성 수지 조성물을 함유한 감광성 수지층을 포함하는, 회로 기판 또는 디스플레이 장치가 제공될 수 있다. 상기 감광성 수지 조성물에 대한 내용은 상기 일 구현예에서 상술한 내용을 모두 포함한다.According to another embodiment of the present invention, a circuit board or a display device may be provided, including a photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition of the embodiment. The content of the photosensitive resin composition includes all of the above-described information in the embodiment.

상기 회로기판 또는 디스플레이 장치에 관한 구체적인 내용은 특별히 한정되지 않으며, 종래 알려진 다양한 기술 구성이 제한없이 적용 가능하다.Specific details of the circuit board or display device are not particularly limited, and various conventionally known technical configurations can be applied without limitation.

상기 회로 기판 또는 디스플레이 장치에 포함된 감광성 수지층은 개구부가 없는 필름 형태일 수도 있고, 개구부를 갖는 패턴 형태일 수도 있다.The photosensitive resin layer included in the circuit board or display device may be in the form of a film without openings or in a pattern form with openings.

상기 패턴 형태의 감광성 수지층을 형성하는 방법의 예로는, 상기 다른 구현예의 드라이 필름 포토레지스트의 감광성 수지층을 회로 기판 또는 디스플레이 장치 제조용 기판 상에 적층시킨 후, 노광 및 현상을 진행하는 방법을 들 수 있다. 또한, 상기 다른 구현예의 감광성 엘리먼트의 감광성 수지층을 회로 기판 또는 디스플레이 장치 제조용 기판 상에 적층시킨 후, 노광 및 현상을 진행하는 방법을 들 수 있다.Examples of a method of forming the patterned photosensitive resin layer include a method of performing exposure and development after laminating the photosensitive resin layer of the dry film photoresist of the other embodiment on a circuit board or a substrate for manufacturing a display device. I can. In addition, there may be mentioned a method of performing exposure and development after laminating the photosensitive resin layer of the photosensitive element of the other embodiment on a circuit board or a substrate for manufacturing a display device.

상기 다른 구현예의 드라이 필름 포토레지스트 혹은 감광성 엘리먼트가 감광성 수지층 상에 보호필름을 갖는 경우, 감광성 수지층을 회로 기판 또는 디스플레이 장치 제조용 기판 상에 적층공정 이전에 보호필름을 제거하는 공정을 더 거칠 수 있다.When the dry film photoresist or photosensitive element of the other embodiment has a protective film on the photosensitive resin layer, the process of removing the protective film may be further performed prior to laminating the photosensitive resin layer on a circuit board or a substrate for manufacturing a display device. have.

또한 상기 다른 구현예의 드라이 필름 포토레지스트 혹은 감광성 엘리먼트가 감광성 수지층 일면에 적층된 고분자 기재 혹은 기재필름을 갖는 경우, 노광공정 직후 고분자 기재 혹은 기재필름을 제거하는 공정을 더 거칠 수 있다.In addition, when the dry film photoresist or photosensitive element of the other embodiment has a polymer substrate or substrate film laminated on one surface of the photosensitive resin layer, a process of removing the polymer substrate or substrate film immediately after the exposure process may be further performed.

이에 따라, 상기 다른 구현예의 드라이 필름 포토레지스트 혹은 감광성 엘리먼트에 함유된 감광성 수지층이 상기 회로 기판 또는 디스플레이 장치에 포함될 수 있다.Accordingly, the photosensitive resin layer contained in the dry film photoresist or the photosensitive element of the other embodiment may be included in the circuit board or display device.

본 발명에 따르면, 우수한 기판 밀착력을 구현할 수 있는 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 드라이 필름 포토레지스트, 회로기판, 및 디스플레이 장치가 제공될 수 있다.According to the present invention, a photosensitive resin composition capable of implementing excellent adhesion to a substrate, and a dry film photoresist using the same, a circuit board, and a display device may be provided.

도 1은 실시예에서 측정한 Tape peeling 테스트시 기판과 감광성 수지층의 밀착도 광학현미경 이미지를 나타낸 것이다.
도 2은 비교예1에서 측정한 Tape peeling 테스트시 기판과 감광성 수지층의 밀착도 광학현미경 이미지를 나타낸 것이다.
도 3은 비교예2에서 측정한 Tape peeling 테스트시 기판과 감광성 수지층의 밀착도 광학현미경 이미지를 나타낸 것이다.
1 shows an optical microscope image of the adhesion between a substrate and a photosensitive resin layer during a tape peeling test measured in an example.
FIG. 2 shows an optical microscope image of adhesion between a substrate and a photosensitive resin layer during a tape peeling test measured in Comparative Example 1. FIG.
3 shows an optical microscope image of the adhesion between the substrate and the photosensitive resin layer during the tape peeling test measured in Comparative Example 2.

발명을 하기의 실시예에서 보다 상세하게 설명한다. 단, 하기의 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명의 내용이 하기의 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니다.The invention will be described in more detail in the following examples. However, the following examples are merely illustrative of the present invention, and the contents of the present invention are not limited by the following examples.

<제조예: 알칼리 현상성 바인더 수지의 제조><Production Example: Preparation of alkali developable binder resin>

제조예1Manufacturing Example 1

4구 둥근바닥 플라스크에 기계식 교반기(mechanical stirrer)와 환류장치를 장착한 다음, 질소로 플라스크 내부를 퍼지하였다. 상기 질소로 퍼지된 플라스크에 메틸에틸케톤(Methyl Ethyl Ketone, MEK) 80g 및 메탄올(Methanol, MeOH) 7.5g를 투입한 다음, 아조비스이소부티로니트릴(azobisisobutyronitrile, AIBN) 0.45g을 투입하여 완전히 용해시켰다. 여기에 단량체로 아크릴산(Acrylic acid, AA) 8g, 메타크릴산(Methacrylic acid, MAA) 15g, 부틸아크릴레이트(Butyl acrylate, BA) 15g, 메틸메타크릴레이트(Methyl methacrylate, MMA) 52g, 및 스티렌(Styrene, SM) 10g의 단량체 혼합물을 투입하고, 80 ℃까지 승온한 다음 6시간 동안 중합하여 알칼리 현상성 바인더 수지 1를 제조하였다.A mechanical stirrer and a reflux device were attached to a four-necked round bottom flask, and then the inside of the flask was purged with nitrogen. 80 g of methyl ethyl ketone (MEK) and 7.5 g of methanol (MeOH) were added to the flask purged with nitrogen, and then 0.45 g of azobisisobutyronitrile (AIBN) was added to completely dissolve. Made it. Here, acrylic acid (AA) 8 g, methacrylic acid (MAA) 15 g, butyl acrylate (BA) 15 g, methyl methacrylate (MMA) 52 g, and styrene ( Styrene, SM) 10 g of a monomer mixture was added, the temperature was raised to 80° C., and then polymerized for 6 hours to prepare an alkali developable binder resin 1.

상기 알칼리 현상성 바인더 수지 1은, 중량평균분자량 71538 g/mol, 유리전이온도 79 ℃, 고형분함량 51.4 중량%, 산가 156.3 mgKOH/g로 측정되었다. The alkali developable binder resin 1 was measured to have a weight average molecular weight of 71538 g/mol, a glass transition temperature of 79° C., a solid content of 51.4 wt%, and an acid value of 156.3 mgKOH/g.

상기 중량평균분자량 측정 조건의 구체적인 예로, 알칼리 현상성 바인더 수지는 1.0 (w/w)% in THF (고형분 기준 약 0.5 (w/w)%)의 농도가 되도록 테트라히드로푸란에 용해시켜 0.45㎛ Pore Size의 Syringe Filter를 이용하여 여과 후 GPC에 20㎕를 주입하고, GPC의 이동상은 테트라히드로푸란(Tetrahydrofuran, THF)을 사용하고, 1.0mL/분의 유속으로 유입하였으며, 컬럼은 Agilent PLgel 5㎛ Guard (7.5 x 50 mm) 1개와 Agilent PLgel 5㎛ Mixed D (7.5 x 300 mm) 2개를 직렬로 연결하고, 검출기로는 Agilent 1260 Infinity Ⅱ Systen, RI Detector를 이용하여 40 ℃에서 측정하였다.As a specific example of the conditions for measuring the weight average molecular weight, the alkali developable binder resin is dissolved in tetrahydrofuran to a concentration of 1.0 (w/w)% in THF (about 0.5 (w/w)% based on solid content) and 0.45 μm Pore After filtration using a size syringe filter, 20 µl was injected into the GPC, and the mobile phase of the GPC was tetrahydrofuran (THF), and flow rate was 1.0 mL/min, and the column was Agilent PLgel 5µm Guard. One (7.5 x 50 mm) and two Agilent PLgel 5㎛ Mixed D (7.5 x 300 mm) were connected in series, and measured at 40 ℃ using an Agilent 1260 Infinity II Systen, RI Detector as a detector.

산가는 알칼리 현상성 바인더 수지를 1g 남짓 샘플링하여 50ml 혼합용제(MeOH 20%, Acetone80%)에 녹이고 1%-페놀프탈레인 지시약을 두 방울 첨가한 다음, 0.1N-KOH로 적정하여 산가를 측정하였다.As for the acid value, about 1 g of an alkali developable binder resin was sampled, dissolved in a 50 ml mixed solvent (MeOH 20%, Acetone 80%), added two drops of 1%-phenolphthalein indicator, and titrated with 0.1N-KOH to measure the acid value.

고형분함량은 전술된 제조예에서 제조된 알칼리 현상성 바인더 수지의 중량을 기준으로 오븐에서 150 ℃, 120분간 가열한 이후 남은 고형분의 중량 퍼센트 비율을 측정하였다.The solid content was measured by weight percent of the solid content remaining after heating in an oven at 150° C. for 120 minutes based on the weight of the alkali developable binder resin prepared in the above-described Preparation Example.

제조예2Manufacturing Example 2

4구 둥근바닥 플라스크에 기계식 교반기(mechanical stirrer)와 환류장치를 장착한 다음, 질소로 플라스크 내부를 퍼지하였다. 상기 질소로 퍼지된 플라스크에 메틸에틸케톤(Methyl Ethyl Ketone, MEK) 80g 및 메탄올(Methanol, MeOH) 7.5g를 투입한 다음, 아조비스이소부티로니트릴(azobisisobutyronitrile, AIBN) 0.9g을 투입하여 완전히 용해시켰다. 여기에 단량체로 메타크릴산(Methacrylic acid, MAA) 25g, 메틸메타크릴레이트(Methyl methacrylate, MMA) 47.5g, 및 스티렌(Styrene, SM) 27.5g의 단량체 혼합물을 투입하고, 80 ℃까지 승온한 다음 6시간 동안 중합하여 알칼리 현상성 바인더 수지 2(중량평균분자량 39000 g/mol, 유리전이온도 128 ℃, 고형분함량 45.6 중량%, 산가 163.1 mgKOH/g)를 제조하였다.A mechanical stirrer and a reflux device were attached to a four-neck round bottom flask, and then the inside of the flask was purged with nitrogen. 80 g of methyl ethyl ketone (MEK) and 7.5 g of methanol (MeOH) were added to the flask purged with nitrogen, and then 0.9 g of azobisisobutyronitrile (AIBN) was added to completely dissolve. Made it. Here, a monomer mixture of 25 g of methacrylic acid (MAA), 47.5 g of methyl methacrylate (MMA), and 27.5 g of styrene (SM) was added as a monomer, and the temperature was raised to 80 °C. Alkaline developable binder resin 2 (weight average molecular weight 39000 g/mol, glass transition temperature of 128° C., solid content 45.6% by weight, acid value 163.1 mgKOH/g) was prepared by polymerization for 6 hours.

<실시예 및 비교예 : 감광성 수지 조성물 및 드라이 필름 포토레지스트 제조><Examples and Comparative Examples: Preparation of photosensitive resin composition and dry film photoresist>

하기 표1에 기재된 조성에 따라, 광중합 개시제류들을 용제인 메틸에틸케톤(MEK)에 녹인 후, 광중합성 화합물과 알칼리 현상성 바인더 수지를 첨가하여 기계적 교반기를 이용하여 약 1시간 정도 혼합하여 감광성 수지 조성물을 제조하였다. According to the composition shown in Table 1 below, photopolymerization initiators are dissolved in methyl ethyl ketone (MEK) as a solvent, and then a photopolymerizable compound and an alkali developable binder resin are added, and then mixed with a mechanical stirrer for about 1 hour. The composition was prepared.

상기 수득된 감광성 수지 조성물을 29 ㎛의 PET 필름 위에 코팅 바(bar)를 이용하여 코팅시켰다. 코팅된 감광성 수지 조성물층은 열풍오븐을 이용하여 건조시키는데, 이때 건조 온도는 80 ℃이고, 건조 시간은 5분이며, 건조 후 감광성 수지 조성물층 두께는 29㎛이였다. The obtained photosensitive resin composition was coated on a 29 μm PET film using a coating bar. The coated photosensitive resin composition layer was dried using a hot air oven, at which time the drying temperature was 80° C., the drying time was 5 minutes, and the thickness of the photosensitive resin composition layer after drying was 29 μm.

건조가 완료된 감광성 수지 조성물층 위에 보호필름(폴리에틸렌)를 이용하여 라미네이션하여 드라이 필름 포토레지스트를 제조하였다.A dry film photoresist was prepared by laminating on the dried photosensitive resin composition layer using a protective film (polyethylene).

성 분ingredient 상품명
(또는 성분명)
product name
(Or ingredient name)
함량(중량%)Content (% by weight)
실시예1Example 1 비교예1Comparative Example 1 비교예2Comparative Example 2 알칼리 현상성 바인더 수지Alkali developable binder resin 제조예1Manufacturing Example 1 1212 1212 1212 제조예2Manufacturing Example 2 9090 9090 9090 광중합성 화합물Photopolymerizable compound M-2101M-2101 1717 1717 1717 M-280M-280 77 77 77 M-241M-241 33 33 33 T063T063 33 88 -- A040A040 55 -- 88 KUA-1330hKUA-1330h 1One 1One 1One 광중합 개시제Photopolymerization initiator BMPSBMPS 1.251.25 1.251.25 1.251.25 N-Phenyl glycineN-Phenyl glycine 0.10.1 0.10.1 0.10.1 9-PA9-PA 0.50.5 0.50.5 0.50.5 첨가제additive N,N-DiethylbutylamineN,N-Diethylbutylamine 0.70.7 0.70.7 0.70.7 루이코 크리스탈 바이올렛
(일본 Hodogaya Co.)
Ruiko Crystal Violet
(Japan Hodogaya Co.)
0.1480.148 0.1480.148 0.1480.148
다이아몬드 그린 GH(일본 Hodogaya Co.)Diamond Green GH (Japan Hodogaya Co.) 0.0250.025 0.0250.025 0.0250.025 용 제Solvent MEK(Methyl Ethyl Ketone)MEK (Methyl Ethyl Ketone) 1212 1212 1212 메탄올(Methanol, MeOH)Methanol (MeOH) 33 33 33 (1) M2101 : Bisphenol A (EO)10 dimethacrylate (미원스페셜티케미칼)
(2) M280: 폴리에틸렌글리콜 디아크릴레이트 (미원스페셜티케미칼)
(3) M241 : 비스페놀 A (에톡시레이트)4 디메타크릴레이트 (미원스페셜티케미칼)
(4) T063 : Trimethylolpropane [EO]6 triacrylate

Figure 112020052073193-pat00035

(5) A040 : Methoxy propylene glycol [400] acrylate
Figure 112020052073193-pat00036
(n=9)
(6) KUA-1330h : 우레탄계 디(메트)아크릴레이트
(7) BMPS : 트리브로모메틸페닐설폰
(8) BTCA : 5-Benzotriazolecarboxylic Acid
(9) 9-PA : 9-페닐아크리딘(1) M2101: Bisphenol A (EO) 10 dimethacrylate (Miwon Specialty Chemical)
(2) M280: polyethylene glycol diacrylate (Miwon Specialty Chemicals)
(3) M241: Bisphenol A (ethoxylate) 4 dimethacrylate (Miwon Specialty Chemical)
(4) T063: Trimethylolpropane [EO] 6 triacrylate
Figure 112020052073193-pat00035

(5) A040: Methoxy propylene glycol [400] acrylate
Figure 112020052073193-pat00036
(n=9)
(6) KUA-1330h: Urethane-based di(meth)acrylate
(7) BMPS: Tribromomethylphenylsulfone
(8) BTCA: 5-Benzotriazolecarboxylic Acid
(9) 9-PA: 9-phenylacridine

<실험예><Experimental Example>

상기 실시예 및 비교예에서 제조된 드라이 필름 포토레지스트에 대하여, 하기 방법으로 물성을 측정하였으며, 그 결과를 표2에 나타내었다.For the dry film photoresist prepared in Examples and Comparative Examples, physical properties were measured by the following method, and the results are shown in Table 2.

1.One. 세선 밀착력(단위: ㎛)Fine wire adhesion (unit: ㎛)

상기 실시예 및 비교예에서 제조된 드라이 필름 포토레지스트의 보호필름을벗겨내어 드라이 필름 포토레지스트의 감광성 수지층이 소프트에칭 처리된 1.0mm 두께의 RTF(Reverse Treated Foil)의 구리층 표면과 접촉하도록 라미네이터 롤 온도 110 ℃, 롤 압력 4.0kgf/㎠ 그리고 롤 속도 2.0min/m의 조건으로 HAKUTO MACH 610i를 이용하여 라미네이션하여 적층체를 형성하였다. By peeling off the protective film of the dry film photoresist prepared in the above Examples and Comparative Examples, the photosensitive resin layer of the dry film photoresist is in contact with the surface of the copper layer of the 1.0 mm thick Reverse Treated Foil (RTF) soft etched. Roll temperature 110 ℃, roll pressure 4.0kgf/㎠ In addition, a laminate was formed by lamination using a HAKUTO MACH 610i under the condition of a roll speed of 2.0 min/m.

RTF(Reverse Treated Foil)에 라미네이션한 드라이 필름 포토레지스트를 ORC FDi-3(Laser Direct Image 노광기)를 이용하여 19mJ/cm2의 노광량으로 세선밀착력 패턴(10㎛ 부터 58㎛까지 2㎛씩 폭이 증가하고 패턴 간격이 400㎛인 배열)을 자외선 조사한 후 15분 방치하였다. 그 후 드라이 필름 포토레지스트의 지지체인 PET 필름을 벗겨내고 30±1 ℃의 Na2CO3 1.0wt% 수용액으로 스프레이 압력 1.5kgf/㎠에서 분사방식의 현상조건으로 40초간 현상을 실시하였다. Dry film photoresist laminated on RTF (Reverse Treated Foil) is applied by using ORC FDi-3 (Laser Direct Image Exposure Machine) at 19mJ/cm 2 with a fine line adhesion pattern (from 10㎛ to 58㎛ by 2㎛ increments) And the pattern spacing of 400 μm) was irradiated with ultraviolet rays and left for 15 minutes. After that, the PET film, which is a support for the dry film photoresist, was peeled off, and development was performed for 40 seconds in a spray pressure of 1.5 kgf/cm 2 in a spray pressure of 1.5 kgf/cm 2 with a 1.0 wt% aqueous solution of Na 2 CO 3 at 30±1° C.

현상이 완료된 적층체에서, 감광성 수지층의 최소 선폭을 ZEISS AXIOPHOT Microscope으로 측정하여 세선 밀착력으로 평가하였다. 이 값이 작을수록 세선밀착력이 우수하다고 평가할 수 있다. In the developed laminate, the minimum line width of the photosensitive resin layer was measured with a ZEISS AXIOPHOT Microscope and evaluated by fine wire adhesion. It can be evaluated that the smaller this value, the better the fine wire adhesion.

2. 해상도(단위: ㎛)2. Resolution (unit: ㎛)

상기 실시예 및 비교예에서 제조된 드라이 필름 포토레지스트의 보호필름을벗겨내어 드라이 필름 포토레지스트의 감광성 수지층이 소프트에칭 처리된 1.0mm 두께의 RTF(Reverse Treated Foil)의 구리층 표면과 접촉하도록 라미네이터 롤 온도 110 ℃, 롤 압력 4.0kgf/㎠ 그리고 롤 속도 2.0min/m의 조건으로 HAKUTO MACH 610i를 이용하여 라미네이션하여 적층체를 형성하였다.By peeling off the protective film of the dry film photoresist prepared in the above Examples and Comparative Examples, the photosensitive resin layer of the dry film photoresist is in contact with the surface of the copper layer of the 1.0 mm thick Reverse Treated Foil (RTF) soft etched. Roll temperature 110 ℃, roll pressure 4.0kgf/㎠ In addition, a laminate was formed by lamination using a HAKUTO MACH 610i under the condition of a roll speed of 2.0 min/m.

RTF(Reverse Treated Foil)에 라미네이션한 드라이 필름 포토레지스트를 ORC FDi-3(Laser Direct Image 노광기)를 이용하여 19mJ/cm2의 노광량으로 해상도 패턴(10㎛ 부터 58㎛까지 2㎛씩 폭이 증가하고 패턴 간격이 400㎛인 배열)을 자외선 조사한 후 15분 방치하였다. 그 후 드라이 필름 포토레지스트의 지지체인 PET 필름을 벗겨내고 30±1 ℃의 Na2CO3 1.0wt% 수용액으로 스프레이 압력 1.5kgf/㎠에서 분사방식의 현상조건으로 40초간 현상을 실시하였다. The 2㎛ by increasing the width to RTF (Reverse Treated Foil) A dry-film photoresist to an exposure amount of 19mJ / cm 2 using an ORC FDi-3 (Laser Direct Image exposure device) Resolution pattern (from 10㎛ 58㎛ laminated on and The array with a pattern interval of 400 μm) was irradiated with ultraviolet rays and left for 15 minutes. After that, the PET film, which is a support for the dry film photoresist, was peeled off, and development was performed for 40 seconds in a spray pressure of 1.5 kgf/cm 2 in a spray pressure of 1.5 kgf/cm 2 with a 1.0 wt% aqueous solution of Na 2 CO 3 at 30±1° C.

현상이 완료된 적층체에서, 감광성 수지층간 간격의 최소값을 ZEISS AXIOPHOT Microscope으로 측정하여 해상도로 평가하였다. 이 값이 작을수록 해상도 값이 우수하다고 평가할 수 있다. In the developed laminate, the minimum value of the gap between the photosensitive resin layers was measured with a ZEISS AXIOPHOT Microscope and evaluated as a resolution. The smaller this value, the better the resolution value can be evaluated.

3. 박리속도(단위 : 초)3. Peeling speed (unit: second)

상기 실시예 및 비교예에서 제조된 드라이 필름 포토레지스트의 보호필름을벗겨내어 드라이 필름 포토레지스트의 감광성 수지층이 소프트에칭 처리된 1.0mm 두께의 RTF(Reverse Treated Foil)의 구리층 표면과 접촉하도록 라미네이터 롤 온도 110 ℃, 롤 압력 4.0kgf/㎠ 그리고 롤 속도 2.0min/m의 조건으로 HAKUTO MACH 610i를 이용하여 라미네이션하여 적층체를 형성하였다. By peeling off the protective film of the dry film photoresist prepared in the above Examples and Comparative Examples, the photosensitive resin layer of the dry film photoresist is in contact with the surface of the copper layer of the 1.0 mm thick Reverse Treated Foil (RTF) soft etched. Roll temperature 110 ℃, roll pressure 4.0kgf/㎠ In addition, a laminate was formed by lamination using a HAKUTO MACH 610i under the condition of a roll speed of 2.0 min/m.

RTF(Reverse Treated Foil)에 라미네이션한 드라이 필름 포토레지스트를 ORC FDi-3(Laser Direct Image 노광기)를 이용하여 19mJ/cm2의 노광량으로 박리 패턴(50mm x 50mm 정사각형)을 자외선 조사한 후 15분 방치하였다. 그 후 드라이 필름 포토레지스트의 지지체인 PET 필름을 벗겨내고 30±1 ℃의 Na2CO3 1.0wt% 수용액으로 스프레이 압력 1.5kgf/㎠에서 분사방식의 현상조건으로 40초간 현상을 실시하여 광경화막을 제조하였다. The dry film photoresist laminated on RTF (Reverse Treated Foil) was irradiated with ultraviolet rays at an exposure amount of 19mJ/cm 2 using ORC FDi-3 (Laser Direct Image Exposure Machine) and then left for 15 minutes. . After that, peel off the PET film, which is the support of the dry film photoresist, and develop the photocured film with a spray pressure of 1.5kgf/㎠ with a 1.0wt% aqueous solution of Na 2 CO 3 for 40 seconds under the development conditions of the spray method. Was prepared.

이후, 그리고 3% 수산화나트륨 수용액(온도 50 ℃을 사용하여 박리를 하였다. 박리속도의 평가는 광경화막이 동판에서 떨어지는 시간을 측정하였다.Thereafter, peeling was performed using a 3% aqueous sodium hydroxide solution (a temperature of 50° C.). Evaluation of the peel rate was performed by measuring the time the photocured film fell from the copper plate.

4. RTF(Reverse Treated Foil) 밀착력4. RTF (Reverse Treated Foil) adhesion

상기 실시예 및 비교예에서 제조된 드라이 필름 포토레지스트의 보호필름을벗겨내어 드라이 필름 포토레지스트의 감광성 수지층이 소프트에칭 처리된 1.0mm 두께, 약 5㎛의 표면조도를 갖는 Reverse Treated Foil의 Matte side 표면과 접촉하도록 라미네이터 롤 온도 110 ℃, 롤 압력 4.0kgf/㎠ 그리고 롤 속도 2.0min/m의 조건으로 HAKUTO MACH 610i를 이용하여 라미네이션하여 적층체를 형성하였다.Matte side of Reverse Treated Foil having a 1.0mm thickness and a surface roughness of about 5㎛ in which the photosensitive resin layer of the dry film photoresist was soft-etched by peeling off the protective film of the dry film photoresist prepared in the above Examples and Comparative Examples. A laminate was formed by lamination using HAKUTO MACH 610i under conditions of a laminator roll temperature of 110° C., a roll pressure of 4.0 kgf/cm 2, and a roll speed of 2.0 min/m so as to contact the surface.

상기 적층체에서 드라이 필름 포토레지스트의 지지체인 PET 필름을 벗겨낸 후, 표준 테이프(Tape)인 3M #610 Tape 를 감광성 수지층에 접착시키고 3M #610 Tape를 SurTA 필 테스터(ChemiLab사)를 이용하여 Tape peeling 테스트하여 RTF 밀착력을 평가하고, 하기 표2에 기재하였다. After peeling off the PET film, which is a support for the dry film photoresist, from the laminate, 3M #610 Tape, which is a standard tape, is adhered to the photosensitive resin layer, and 3M #610 Tape is applied using a SurTA peel tester (ChemiLab). The tape peeling test was performed to evaluate the RTF adhesion, and are shown in Table 2 below.

상기 RTF 밀착력은 하기 수학식1과 같이 Tape peeling 테스트 전 기판과 접촉한 드라이 필름 포토레지스트의 감광성 수지층 표면적 대비 Tape peeling 테스트 후 기판과 접촉한 드라이 필름 포토레지스트의 감광성 수지층 표면적의 퍼센트 비율을 의미한다.The RTF adhesion refers to the percentage ratio of the surface area of the photosensitive resin layer of the dry film photoresist in contact with the substrate after the tape peeling test to the surface area of the photosensitive resin layer of the dry film photoresist in contact with the substrate before the tape peeling test as shown in Equation 1 below. do.

[수학식1][Equation 1]

밀착도(%) = (Tape peeling 테스트 후 기판과 감광성 수지층 표면적 / Tape peeling 테스트 전 기판과 접촉한 감광성 수지층 표면적) * 100.Adhesion (%) = (The surface area of the substrate and the photosensitive resin layer after the tape peeling test / The surface area of the photosensitive resin layer in contact with the substrate before the tape peeling test) * 100.

구분division 세선밀착력Fine wire adhesion 해상도resolution 박리속도Peeling speed RTF 밀착력RTF adhesion 실시예 1Example 1 2020 1515 3535 100% 밀착(도면1참조)100% adhesion (refer to Fig. 1) 비교예 1Comparative Example 1 1919 1414 3535 50% 밀착(도면2참조)50% adhesion (refer to Fig. 2) 비교예 2Comparative Example 2 2323 1717 3535 100% 밀착(도면3참조)100% adhesion (refer to Fig. 3)

상기 표 2에서 보는 바와 같이 실시예는 우수한 세선 밀착력 및 해상도를 나타내는 동시에, 현저하게 RTF 밀착력을 나타냄을 확인할 수 있었다. As shown in Table 2 above, it was confirmed that the example exhibited excellent fine wire adhesion and resolution, while remarkably exhibiting RTF adhesion.

실시예와 달리, 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함하지 않는 비교예 1의 경우, 본원 실시예와 비교하여, RTF 밀착력이 현저히 열등함을 확인할 수 있었다.Unlike the examples, in the case of Comparative Example 1 that does not contain a monofunctional (meth)acrylate compound, compared to the examples of the present application, it was confirmed that the RTF adhesion was significantly inferior.

또한, 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함하지 않는 비교예 2의 경우, 본원 실시예와 비교하여, 세선 밀착력 및 해상도가 현저히 열등함을 확인할 수 있었다.In addition, in the case of Comparative Example 2 that does not contain the polyfunctional (meth)acrylate compound, it was confirmed that the fine wire adhesion and resolution were remarkably inferior as compared to the present example.

Claims (24)

알칼리 현상성 바인더 수지, 광중합 개시제, 및 광중합성 화합물을 포함하고,
상기 광중합성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 및 하기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함하고,
상기 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물 100 중량부에 대하여 상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 100 중량부 미만으로 포함하는, 감광성 수지 조성물로,
기판상에 상기 감광성 수지 조성물이 함유된 감광성 수지층이 적층된 필름 시료에 대하여 필 테스터를 이용하여 Tape peeling 테스트시,
하기 수학식1로 정의되는 밀착도가 90% 이상인 감광성 수지 조성물:
[화학식1]
Figure 112020052073193-pat00037

상기 화학식1 에서,
R1은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,
R2는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고,
R3은 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,
n1은 1 내지 20의 정수이고,
[화학식2]
Figure 112020052073193-pat00038

상기 화학식2 에서,
R4은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,
R5는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고,
R6은 탄소수 1 내지 20의 중심 그룹을 포함하는 p가 작용기이고,
n2은 1 내지 20의 정수이고,
p는 상기 R6에 치환되는 작용기수이고, 3 내지 10의 정수이고,
[수학식1]
밀착도(%) = (Tape peeling 테스트 후 기판과 감광성 수지층 표면적 / Tape peeling 테스트 전 기판과 접촉한 감광성 수지층 표면적) * 100.
Including an alkali developable binder resin, a photoinitiator, and a photopolymerizable compound,
The photopolymerizable compound includes a monofunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 1 below, and a polyfunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 2 below,
A photosensitive resin composition comprising less than 100 parts by weight of the polyfunctional (meth)acrylate compound based on 100 parts by weight of the monofunctional (meth)acrylate compound,
When performing a tape peeling test using a peel tester on a film sample in which a photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition is laminated on a substrate,
A photosensitive resin composition having an adhesion degree of 90% or more defined by the following Equation 1:
[Formula 1]
Figure 112020052073193-pat00037

In Formula 1,
R 1 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms,
R 2 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms,
R 3 is alkyl having 1 to 10 carbon atoms,
n1 is an integer from 1 to 20,
[Formula 2]
Figure 112020052073193-pat00038

In Chemical Formula 2,
R 4 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms,
R 5 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms,
R 6 is a functional group in which p containing a central group having 1 to 20 carbon atoms,
n2 is an integer from 1 to 20,
p is the number of functional groups substituted for R 6 , and is an integer of 3 to 10,
[Equation 1]
Adhesion (%) = (The surface area of the substrate and the photosensitive resin layer after the tape peeling test / The surface area of the photosensitive resin layer in contact with the substrate before the tape peeling test) * 100.
제1항에 있어서,
상기 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물 100 중량부에 대하여 상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 30 중량부 이상 90 중량부 이하로 포함하는, 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
A photosensitive resin composition comprising 30 parts by weight or more and 90 parts by weight or less of the polyfunctional (meth)acrylate compound based on 100 parts by weight of the monofunctional (meth)acrylate compound.
제1항에 있어서,
상기 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물은 하기 화학식 2-1로 표시되는 화합물을 포함하는, 감광성 수지 조성물:
[화학식2-1]
Figure 112019136264084-pat00039

상기 화학식2-1에서,
R6'은 탄소수 1 내지 10의 3가 작용기이고,
R7 내지 R9는 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고,
R10 내지 R12는 각각 독립적으로 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,
n3 내지 n5는 각각 독립적으로 1 내지 3의 정수이다.
The method of claim 1,
The polyfunctional (meth)acrylate compound comprises a compound represented by the following formula 2-1, photosensitive resin composition:
[Formula 2-1]
Figure 112019136264084-pat00039

In Formula 2-1,
R 6 ′ is a trivalent functional group having 1 to 10 carbon atoms,
R 7 to R 9 are each independently alkylene having 1 to 10 carbon atoms,
R 10 to R 12 are each independently hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms,
n3 to n5 are each independently an integer of 1 to 3.
제1항에 있어서,
상기 광중합성 화합물은 알킬렌글리콜계 디(메트)아크릴레이트 및 우레탄계 디(메트)아크릴레이트를 포함한 이관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 더 포함하는, 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
The photopolymerizable compound further comprises a difunctional (meth)acrylate compound including alkylene glycol-based di (meth) acrylate and urethane-based di (meth) acrylate, photosensitive resin composition.
제4항에 있어서,
상기 알킬렌글리콜계 디(메트)아크릴레이트 100 중량부에 대하여 우레탄계 디(메트)아크릴레이트를 1 중량부 이상 50 중량부 이하로 포함하는, 감광성 수지 조성물.
The method of claim 4,
A photosensitive resin composition containing 1 part by weight or more and 50 parts by weight or less of urethane-based di(meth)acrylate based on 100 parts by weight of the alkylene glycol-based di(meth)acrylate.
제4항에 있어서,
상기 이관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물 100 중량부에 대하여 500 중량부 이상 1500 중량부 이하로 포함하는, 감광성 수지 조성물
The method of claim 4,
A photosensitive resin composition comprising 500 parts by weight or more and 1500 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the polyfunctional (meth) acrylate compound
제4항에 있어서,
상기 이관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물 100 중량부에 대하여 500 중량부 이상 1000 중량부 이하로 포함하는, 감광성 수지 조성물
The method of claim 4,
A photosensitive resin composition comprising 500 parts by weight or more and 1000 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the monofunctional (meth) acrylate compound.
제1항에 있어서,
하기 화학식 3으로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 4로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 5로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 6로 표시되는 반복단위 및 하기 화학식 7로 표시되는 반복단위를 포함한 제1 알칼리 현상성 바인더 수지; 및
하기 화학식 4로 표시되는 반복단위, 하기 화학식 5로 표시되는 반복단위, 및 하기 화학식 6로 표시되는 반복단위를 포함한 제2 알칼리 현상성 바인더 수지;를 포함하는, 감광성 수지 조성물:
[화학식 3]
Figure 112020052073193-pat00050

상기 화학식 3에서,
R3"는 수소이고,
[화학식 4]
Figure 112020052073193-pat00051

상기 화학식 4에서,
R3'는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,
[화학식 5]
Figure 112020052073193-pat00052

상기 화학식 5에서,
R4"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,
R5"는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,
[화학식 6]
Figure 112020052073193-pat00043

상기 화학식 6에서,
Ar은 탄소수 6 내지 20의 아릴이고,
[화학식 7]
Figure 112020052073193-pat00044

상기 화학식 7에서,
R4'는 수소이고,
R5'는 탄소수 1 내지 10의 알킬이다.
The method of claim 1,
The first alkaline phenomenon including a repeating unit represented by the following formula 3, a repeating unit represented by the following formula 4, a repeating unit represented by the following formula 5, a repeating unit represented by the following formula 6, and a repeating unit represented by the following formula 7 Castle binder resin; And
A photosensitive resin composition comprising: a repeating unit represented by Formula 4 below, a repeating unit represented by Formula 5 below, and a second alkaline developable binder resin including a repeating unit represented by Formula 6 below:
[Formula 3]
Figure 112020052073193-pat00050

In Chemical Formula 3,
R 3 "is hydrogen,
[Formula 4]
Figure 112020052073193-pat00051

In Chemical Formula 4,
R 3 ′ is an alkyl having 1 to 10 carbon atoms,
[Formula 5]
Figure 112020052073193-pat00052

In Chemical Formula 5,
R 4 "is alkyl having 1 to 10 carbon atoms,
R 5 "is alkyl having 1 to 10 carbon atoms,
[Formula 6]
Figure 112020052073193-pat00043

In Formula 6,
Ar is an aryl having 6 to 20 carbon atoms,
[Formula 7]
Figure 112020052073193-pat00044

In Chemical Formula 7,
R 4 ′ is hydrogen,
R 5 ′ is alkyl having 1 to 10 carbon atoms.
제8항에 있어서,
상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지 100 중량부에 대하여 제2 알칼리 현상성 바인더 수지를 500 중량부 이상 1000 중량부 이하로 포함하는, 감광성 수지 조성물.
The method of claim 8,
A photosensitive resin composition comprising 500 parts by weight or more and 1000 parts by weight or less of a second alkali developable binder resin based on 100 parts by weight of the first alkali developable binder resin.
제8항에 있어서,
상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지와 제2 알칼리 현상성 바인더 수지의 유리전이온도 비율이 1:1.5 이상 1:5 이하인, 감광성 수지 조성물.
The method of claim 8,
The photosensitive resin composition, wherein a glass transition temperature ratio of the first alkali developable binder resin and the second alkaline developable binder resin is 1:1.5 or more and 1:5 or less.
제8항에 있어서,
상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지와 제2 알칼리 현상성 바인더 수지의 산가 비율이 1:1.01 이상 1:1.5 이하인, 감광성 수지 조성물.
The method of claim 8,
The photosensitive resin composition, wherein an acid value ratio of the first alkali developable binder resin and the second alkaline developable binder resin is 1:1.01 or more and 1:1.5 or less.
제8항에 있어서,
상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지는
상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위 1몰에 대하여 상기 화학식 4로 표시되는 반복단위를 1.2 몰 이상 3 몰 이하로 포함하는, 감광성 수지 조성물.
The method of claim 8,
The first alkali developable binder resin is
A photosensitive resin composition comprising 1.2 moles or more and 3 moles or less of the repeating unit represented by Formula 4 with respect to 1 mole of the repeating unit represented by Formula 3.
제8항에 있어서,
상기 제1 알칼리 현상성 바인더 수지는
상기 화학식 7로 표시되는 반복단위 1몰에 대하여 상기 화학식 5로 표시되는 반복단위를 2 몰 이상 10 몰 이하로 포함하는, 감광성 수지 조성물.
The method of claim 8,
The first alkali developable binder resin is
A photosensitive resin composition comprising 2 moles or more and 10 moles or less of the repeating unit represented by Formula 5 with respect to 1 mole of the repeating unit represented by Formula 7.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물은 고형분 기준으로, 알카리 현상성 바인더 수지 20 중량% 이상 80 중량% 이하, 광중합 개시제 0.1 중량% 이상 10 중량% 이하, 및 광중합성 화합물 10 중량% 이상 70 중량% 이하를 포함하는 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
The photosensitive resin composition is a photosensitive resin comprising 20% by weight or more and 80% by weight or less of an alkali developable binder resin, 0.1% by weight or more and 10% by weight or less of a photopolymerization initiator, and 10% by weight or more and 70% by weight or less of a photopolymerizable compound. Resin composition.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물이 함유된 감광성 수지층의 두께는 1 ㎛ 이상 1000 ㎛ 이하인 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
The photosensitive resin composition having a thickness of the photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition is 1 μm or more and 1000 μm or less.
제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물이 함유된 감광성 수지층의 단면적은 0.10 cm2 이상 5.00 cm2 이하인 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
The photosensitive resin composition having a cross-sectional area of 0.10 cm 2 or more and 5.00 cm 2 or less of the photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition.
제1항의 감광성 수지 조성물을 함유한 감광성 수지층을 포함하는, 드라이 필름 포토레지스트.
A dry film photoresist comprising a photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition of claim 1.
제19항에 있어서,
기판상에 상기 감광성 수지 조성물이 함유된 감광성 수지층이 적층된 필름 시료에 대하여 필 테스터를 이용하여 Tape peeling 테스트시,
하기 수학식2로 정의되는 밀착도가 90% 이상인, 드라이 필름 포토레지스트:
[수학식2]
밀착도(%) = (Tape peeling 테스트 후 기판과 접촉한 드라이필름 포토레지스트의 감광성 수지층 표면적 / Tape peeling 테스트 전 기판과 접촉한 드라이필름 포토레지스트의 감광성 수지층 표면적) * 100.
The method of claim 19,
When performing a tape peeling test using a peel tester on a film sample in which a photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition is laminated on a substrate,
Dry film photoresist having an adhesion degree of 90% or more defined by Equation 2 below:
[Equation 2]
Adhesion (%) = (The surface area of the photosensitive resin layer of the dry film photoresist in contact with the substrate after the tape peeling test / The surface area of the photosensitive resin layer of the dry film photoresist in contact with the substrate before the tape peeling test) * 100.
고분자 기재; 및 상기 고분자 기재 상에 형성된 감광성 수지층을 포함하고,
상기 감광성 수지층은 알칼리 현상성 바인더 수지와 광중합성 화합물을 포함하고, 상기 광중합성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 단관능 (메트)아크릴레이트 화합물, 및 하기 화학식 2로 표시되는 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함하며,
기판상에 상기 감광성 수지층이 적층된 필름 시료에 대하여 필 테스터를 이용하여 Tape peeling 테스트시,
하기 수학식1로 정의되는 밀착도가 90% 이상인 감광성 엘리먼트:
[화학식1]
Figure 112020052073193-pat00045

상기 화학식1 에서,
R1은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,
R2는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고,
R3은 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,
n1은 1 내지 20의 정수이고,
[화학식2]
Figure 112020052073193-pat00046

상기 화학식2 에서,
R4은 수소, 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고,
R5는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌이고,
R6은 탄소수 1 내지 20의 중심 그룹을 포함하는 p가 작용기이고,
n2은 1 내지 20의 정수이고,
p는 상기 R6에 치환되는 작용기수이고, 3 내지 10의 정수이고,
[수학식1]
밀착도(%) = (Tape peeling 테스트 후 기판과 감광성 수지층 표면적 / Tape peeling 테스트 전 기판과 접촉한 감광성 수지층 표면적) * 100.
Polymer substrate; And a photosensitive resin layer formed on the polymer substrate,
The photosensitive resin layer includes an alkali developable binder resin and a photopolymerizable compound, and the photopolymerizable compound is a monofunctional (meth)acrylate compound represented by Formula 1 below, and a polyfunctional (meth) represented by Formula 2 below. It contains an acrylate compound,
When performing a tape peeling test using a peel tester for a film sample in which the photosensitive resin layer is laminated on a substrate,
A photosensitive element having an adhesion degree of 90% or more defined by the following Equation 1:
[Formula 1]
Figure 112020052073193-pat00045

In Formula 1,
R 1 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms,
R 2 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms,
R 3 is alkyl having 1 to 10 carbon atoms,
n1 is an integer from 1 to 20,
[Formula 2]
Figure 112020052073193-pat00046

In Chemical Formula 2,
R 4 is hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms,
R 5 is alkylene having 1 to 10 carbon atoms,
R 6 is a functional group in which p containing a central group having 1 to 20 carbon atoms,
n2 is an integer from 1 to 20,
p is the number of functional groups substituted for R 6 , and is an integer of 3 to 10,
[Equation 1]
Adhesion (%) = (The surface area of the substrate and the photosensitive resin layer after the tape peeling test / The surface area of the photosensitive resin layer in contact with the substrate before the tape peeling test) * 100.
삭제delete 제1항의 감광성 수지 조성물을 함유한 감광성 수지층을 포함하는, 회로 기판.
A circuit board comprising a photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition of claim 1.
제1항의 감광성 수지 조성물을 함유한 감광성 수지층을 포함하는, 디스플레이 장치.
A display device comprising a photosensitive resin layer containing the photosensitive resin composition of claim 1.
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