KR102172789B1 - Multiple frequency module and Ultrasonic cleaning device with multiple frequency module - Google Patents

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Abstract

본 발명은 세정대상물에 도포된 세정액을 사이에 두고 세정대상물과 이격 배치되는 진동전달 플레이트와, 진동전달 플레이트로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부를 포함하며, 초음파 모듈을 통해 진동전달 플레이트로 전달된 초음파가 세정대상물로 경사지게 방출되어, 초음파가 진동플레이트 하면의 일정 영역에서 연속적으로 무한 반사되며 세정대상물의 넓은 영역을 보다 긴 시간동안 세정하는 다주파 생성 모듈과 이를 이용한 세정장치에 관한 것이다.The present invention includes a vibration transmission plate that is spaced apart from the cleaning object with a cleaning liquid applied to the cleaning object therebetween, and an ultrasonic generator comprising a plurality of ultrasonic modules that generate ultrasonic waves of different frequencies with the vibration transmission plate. The ultrasonic wave transmitted to the vibration transmission plate through the module is obliquely emitted to the object to be cleaned, and the ultrasonic wave is continuously infinitely reflected in a certain area under the vibration plate, and a multi-frequency generating module that cleans a wide area of the object to be cleaned for a longer time. It relates to a cleaning device used.

Description

다주파 생성모듈, 다주파 생성모듈을 이용한 초음파 세정장치{Multiple frequency module and Ultrasonic cleaning device with multiple frequency module}Multi-frequency generation module, ultrasonic cleaning device using a multi-frequency generation module {Multiple frequency module and Ultrasonic cleaning device with multiple frequency module}

본 발명은 다주파 생성모듈과, 다주파 생성모듈을 이용한 초음파 세정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 다른 주파수를 가지는 복수개의 초음파를 생성하는 다주파 생성모듈과 이를 이용한 초음파 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ultrasonic cleaning apparatus using a multi-frequency generation module and a multi-frequency generation module, and more particularly, to a multi-frequency generation module generating a plurality of ultrasonic waves having different frequencies, and an ultrasonic cleaning apparatus using the same. .

종래의 세정장치는 세정액을 기판을 향하여 고압으로 직접 방출하여 기판을 세정하는 방식을 사용하였다.The conventional cleaning apparatus used a method of cleaning the substrate by directly discharging the cleaning liquid toward the substrate at high pressure.

도 1에는 이러한 고압제트 방식의 세정기술을 이용한 세정장치가 도시되어 있다.FIG. 1 shows a cleaning apparatus using such a high-pressure jet cleaning technology.

도 1을 참조하면, 종래의 세정장치는 기판(11)을 향하여 고압으로 세정액을 방출하여 기판(11)을 세정하는 노즐부(12)와, 세정된 기판(11) 위에 있는 세정액을 제거하기 위해 린스액를 방출하는 린스부(13)와, 린스액이 도포된 기판(11)으로 뜨거운 공기 또는 압축공기를 방출하여 기판(11)의 표면에 위치된 린스액 및 잔여 세정액을 제거하는 건조부(14)를 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 1, a conventional cleaning apparatus discharges a cleaning liquid at a high pressure toward the substrate 11 to remove the nozzle unit 12 for cleaning the substrate 11 and the cleaning liquid on the cleaned substrate 11 A rinsing unit 13 for discharging the rinsing liquid, and a drying unit 14 for discharging hot air or compressed air to the substrate 11 to which the rinsing liquid has been applied to remove the rinsing liquid and residual cleaning liquid located on the surface of the substrate 11 ), including.

즉, 상기 노즐부(12)에서 직접 기판(11)으로 고압의 세정액을 방출하여 기판(11) 상의 오염물질을 제거한 후, 상기 린스부(13) 및 상기 건조부(14)에서 기판(11) 상에 위치된 린스액 및 잔여 세정액을 제거하였던 것이다.That is, after removing the contaminants on the substrate 11 by discharging the high-pressure cleaning solution directly from the nozzle unit 12 to the substrate 11, the substrate 11 is removed from the rinse unit 13 and the drying unit 14. The rinse liquid and the residual cleaning liquid placed on the top were removed.

그러나, 이러한 세정장치는 고압으로 세정액을 방출시켜, 충격력으로 패턴이 형성된 기판(11)의 표면에 위치된 오염물질을 제거하는 방식으로, 오염물질 크기에 대응하여 노즐을 통해 방출되는 세정액 입자의 크기를 조절할 수 없어, 기판(11)의 표면에 다양한 입자 크기를 가지는 오염물질이 위치된 상태인 경우 세정 효과가 떨어지는 문제점을 가지고 있다.However, such a cleaning device discharges the cleaning liquid at high pressure to remove contaminants located on the surface of the patterned substrate 11 by impact force, and the size of the cleaning liquid particles discharged through the nozzle corresponding to the size of the contaminants Since it cannot be adjusted, there is a problem in that the cleaning effect is deteriorated when contaminants having various particle sizes are located on the surface of the substrate 11.

따라서, 이러한 문제점을 해결할 수 있는 새로운 초음파 세정장치의 필요성이 대두되고 있다.Therefore, there is a need for a new ultrasonic cleaning device capable of solving this problem.

특허문헌 1) 등록특허공보 제10-1827296호(명칭: 대면적 초음파 세정장치, 공고일: 2018.02.09.)Patent Document 1) Registered Patent Publication No. 10-1827296 (Name: Large-area ultrasonic cleaning device, Announcement date: 2018.02.09.) 특허문헌 2) 등록특허공보 제10-1599214호(명칭: 대면적 초음파 정밀 세정장치, 공고일: 2016.03.15)Patent Document 2) Registered Patent Publication No. 10-1599214 (Name: large-area ultrasonic precision cleaning device, announcement date: 2016.03.15)

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 다양한 입자 크기를 가지는 오염물질을 보다 효율적으로 세정할 수 있는 다주파 생성 모듈과, 이를 이용한 초음파 세정장치를 제공하는 것이다.The present invention has been devised to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a multi-frequency generation module capable of cleaning contaminants having various particle sizes more efficiently, and an ultrasonic cleaning device using the same. will be.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명인 다주파 생성 모듈은, 세정대상물(1)에 도포된 세정액(2)을 사이에 두고 상기 세정대상물(1)과 이격 배치되는 진동전달 플레이트(100); 및 상기 진동전달 플레이트(100)로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부(200);를 포함하며, 상기 초음파 생성부(200)는 상기 세정대상물(1)의 이동 방향으로 복수개의 상기 초음파 모듈이 초음파 주파수에 대응하여 오름차순 또는 내림차순으로 배치되는 것을 특징으로 한다.The multi-frequency generation module of the present invention for achieving the above object includes: a vibration transmission plate 100 disposed spaced apart from the cleaning object 1 with the cleaning liquid 2 applied to the cleaning object 1 interposed therebetween; And an ultrasonic generator 200 comprising a plurality of ultrasonic modules generating ultrasonic waves of different frequencies through the vibration transmission plate 100, wherein the ultrasonic generator 200 includes In the moving direction, a plurality of the ultrasonic modules are arranged in an ascending or descending order corresponding to an ultrasonic frequency.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명인 다주파 생성 모듈은, 세정대상물(1)에 도포된 세정액(2)을 사이에 두고 상기 세정대상물(1)과 이격 배치되는 진동전달 플레이트(100); 및 상기 진동전달 플레이트(100)로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부(200);를 포함하며, 복수개의 상기 초음파 모듈 중 어느 하나 이상의 초음파 모듈을 통해 상기 진동전달 플레이트(100)로 전달된 초음파는 상기 세정대상물(1)의 표면에 경사지게 입사되는 것을 특징으로 한다.The multi-frequency generation module of the present invention for achieving the above object includes: a vibration transmission plate 100 disposed spaced apart from the cleaning object 1 with the cleaning liquid 2 applied to the cleaning object 1 interposed therebetween; And an ultrasonic generator 200 in which a plurality of ultrasonic modules for generating ultrasonic waves of different frequencies are collected by the vibration transmission plate 100, and the vibration is performed through one or more ultrasonic modules among the plurality of ultrasonic modules. The ultrasonic waves transmitted to the transfer plate 100 are obliquely incident on the surface of the cleaning object 1.

또한, 상기 진동전달 플레이트(100)는 각각의 상기 초음파 모듈이 결합되는 복수개의 결합부(110)를 포함하며, 복수개의 상기 결합부(110) 중 어느 하나 이상의 상기 결합부(110)는 상기 초음파 모듈로부터 진동을 전달받는 진동 전달면(102)이 상기 세정대상물(1)의 표면과 일정 경사를 가지는 것을 특징으로 한다.In addition, the vibration transmission plate 100 includes a plurality of coupling portions 110 to which each of the ultrasonic modules is coupled, and at least one of the coupling portions 110 of the plurality of coupling portions 110 is the ultrasonic wave The vibration transmission surface 102 receiving the vibration from the module is characterized in that it has a certain slope with the surface of the cleaning object (1).

또한, 상기 진동전달 플레이트(100)는 복수개의 상기 초음파 모듈이 결합되는 진동 전달홈(111)이 상기 세정대상물(1)의 표면과 경사지게 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the vibration transmission plate 100 is characterized in that the vibration transmission groove 111 to which the plurality of ultrasonic modules are coupled is disposed to be inclined with the surface of the cleaning object 1.

또한, 상기 진동전달 플레이트(100)는 상기 세정액(2)과 접하는 하측에 위치되며 하면이 상기 세정대상물(1)의 표면과 수평지게 배치되는 수평결합부(120)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the vibration transmission plate 100 is located on the lower side in contact with the cleaning solution (2), characterized in that it further comprises a horizontal coupling portion 120 disposed horizontally with the surface of the cleaning object (1) a lower surface. .

또한, 상기 진동전달 플레이트(100)는 복수개의 상기 초음파 모듈과 세정액 사이에 위치되어 각각의 초음파 모듈에서 상기 진동전달 플레이트(100)로 전달되는 초음파 간의 간섭을 제한하는 간섭 방지부(130)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the vibration transmission plate 100 further includes an interference prevention unit 130 positioned between the plurality of ultrasonic modules and a cleaning solution to limit interference between ultrasonic waves transmitted from each ultrasonic module to the vibration transmission plate 100. It characterized in that it includes.

또한, 상기 간섭 방지부(130)는 복수개의 상기 초음파 모듈 사이에 형성된 홈인 것을 특징으로 한다.In addition, the interference preventing unit 130 is characterized in that the groove formed between the plurality of ultrasonic modules.

또한, 상기 진동전달 플레이트는 각각의 상기 초음파 모듈이 개별적으로 지지되는 복수개의 지지부가 모여 이루어지는 지지모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the vibration transmission plate is characterized in that it further comprises a support module in which a plurality of support portions to which each of the ultrasonic modules is individually supported are gathered.

또한, 각각의 상기 지지부는 결합된 각각의 상기 초음파 모듈의 각도를 조절 가능한 것을 특징으로 한다.In addition, each of the support portions is characterized in that the angle of each of the coupled ultrasonic modules can be adjusted.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명인 초음파 세정장치는, 운반되는 세정대상물(1)에 세정액(2)을 도포하는 세정액 도포부(300); 상기 세정대상물(1)에 도포된 상기 세정액(2)을 사이에 두고 상기 세정대상물(1)과 이격 배치되는 진동전달 플레이트(100)와, 상기 진동전달 플레이트(100)로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부(200)를 포함하여 이루어지는 다주파 생성 모듈; 상기 세정대상물(1)의 표면에 린스액를 방출하는 린스부(400); 및 상기 세정대상물(1)의 표면에 기체를 방출하여 세정대상물(1)의 표면에 위치된 린스액 및 잔여 세정액을 제거하는 건조부(500);를 포함하며, 상기 다주파 생성 모듈은 상기 세정대상물(1)을 향하여 비스듬한 각도로 초음파를 방출하는 것을 특징으로 한다.
또한, 세정대상물에 도포된 세정액을 사이에 두고 상기 세정대상물과 이격 배치되는 진동전달 플레이트; 및 상기 진동전달 플레이트로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부;를 포함하며, 상기 초음파 생성부는 상기 세정대상물의 이동 방향으로 복수개의 상기 초음파 모듈이 초음파 주파수에 따라 오름차순 또는 내림차순으로 이격 배치되어, 각각의 초음파 모듈에서 방출되는 서로 다른 주파수의 초음파가 세정대상물에 순차적으로 인가되는 것을 특징으로 한다.
또한, 운반되는 세정대상물에 세정액을 도포하는 세정액 도포부; 세정대상물에 도포된 세정액을 사이에 두고 상기 세정대상물과 이격 배치되는 진동전달 플레이트; 상기 진동전달 플레이트로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부;를 포함하며, 상기 초음파 생성부가 상기 세정대상물의 이동 방향으로 복수개의 상기 초음파 모듈이 초음파 주파수에 따라 오름차순 또는 내림차순으로 이격 배치되어, 각각의 초음파 모듈에서 방출되는 서로 다른 주파수의 초음파가 세정대상물에 순차적으로 인가되는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈; 상기 세정대상물의 표면에 린스액를 방출하는 린스부; 및 상기 세정대상물의 표면에 기체를 방출하여 세정대상물의 표면에 위치된 린스액 및 잔여 세정수를 제거하는 건조부;를 포함하며, 상기 다주파 생성 모듈은 상기 세정대상물을 향하여 비스듬한 각도로 초음파를 방출하는 것을 특징으로 한다.
An ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention for achieving the above object includes: a cleaning liquid application unit 300 for applying a cleaning liquid 2 to a cleaning object 1 to be transported; A vibration transmission plate 100 spaced apart from the cleaning object 1 with the cleaning liquid 2 applied to the cleaning object 1 interposed therebetween, and the vibration transmission plate 100 transmits ultrasonic waves of different frequencies. A multi-frequency generating module comprising an ultrasonic generator 200 in which a plurality of generating ultrasonic modules are collected; A rinse unit 400 for discharging a rinse liquid on the surface of the object to be cleaned (1); And a drying unit 500 for discharging gas on the surface of the object to be cleaned 1 to remove the rinse liquid and residual cleaning liquid located on the surface of the object to be cleaned (1), wherein the multi-frequency generation module It is characterized in that it emits ultrasonic waves at an oblique angle toward the object (1).
In addition, a vibration transmission plate spaced apart from the cleaning object with a cleaning liquid applied to the cleaning object therebetween; And an ultrasonic generator comprising a plurality of ultrasonic modules generating ultrasonic waves of different frequencies by the vibration transmission plate, wherein the ultrasonic generator comprises a plurality of ultrasonic modules in the moving direction of the cleaning object according to the ultrasonic frequency. It is spaced apart from each other in ascending or descending order, and ultrasonic waves of different frequencies emitted from each ultrasonic module are sequentially applied to the object to be cleaned.
In addition, a cleaning liquid application unit for applying the cleaning liquid to the object to be transported; A vibration transmission plate spaced apart from the object to be cleaned with a cleaning solution applied to the object to be cleaned interposed therebetween; A plurality of ultrasonic modules that generate ultrasonic waves of different frequencies through the vibration transmission plate, and the ultrasonic generator comprises a plurality of ultrasonic modules in ascending order according to the ultrasonic frequency in the moving direction of the cleaning object. Or a multi-frequency generation module, which is spaced apart from each other in descending order, characterized in that the ultrasonic waves of different frequencies emitted from each ultrasonic module are sequentially applied to the object to be cleaned; A rinse part for discharging a rinse liquid on the surface of the object to be cleaned; And a drying unit that releases gas on the surface of the object to be cleaned to remove the rinse liquid and residual washing water located on the surface of the object to be cleaned, wherein the multi-frequency generating module generates ultrasonic waves at an oblique angle toward the object to be cleaned. It is characterized by emitting.

본 발명인 다주파 생성 모듈은, 서로 다른 주파수를 가지는 복수개의 초음파 진동을 세정대상물의 표면에 위치된 세정액에 전달 가능하므로, 서로 다른 입자 크기를 가지는 오염물질을 보다 효율적으로 세정 가능한 장점이 있다.The multi-frequency generation module of the present invention can transmit a plurality of ultrasonic vibrations having different frequencies to a cleaning liquid positioned on the surface of an object to be cleaned, so that contaminants having different particle sizes can be cleaned more efficiently.

상세히 설명하면, 세정대상물의 표면에 위치된 오염물질의 입자 크기에 따라 세정에 적합한 초음파의 주파수가 다르므로, 세정대상물의 표면에 서로 다른 주파수를 가지는 복수개의 초음파를 인가하여, 다양한 크기를 가지는 입자 상의 오염물질을 보다 효율적으로 세정 가능하게 한 것이다.In detail, since the frequency of ultrasonic waves suitable for cleaning is different according to the size of the contaminants located on the surface of the object to be cleaned, a plurality of ultrasonic waves having different frequencies are applied to the surface of the object to be cleaned, and particles having various sizes The contaminants of the phase can be cleaned more efficiently.

또한, 세정대상물의 표면에 초음파가 경사지게 입사되므로 진동전달 플레이트와 세정대상물 사이에서 초음파가 무한 반사되며 진행되므로, 초음파의 세정영역이 획기적으로 확대되어, 초음파의 세정 시간이 늘어남으로써 세정 효율이 극대화 되는 장점이 있다.In addition, since ultrasonic waves are incident on the surface of the object to be cleaned obliquely, the ultrasonic waves are infinitely reflected between the vibration transmission plate and the object to be cleaned, so the cleaning area of the ultrasonic waves is remarkably expanded and the cleaning time of the ultrasonic waves increases, thereby maximizing the cleaning efficiency. There is an advantage.

아울러, 서로 다른 주파수를 가지는 각각의 초음파 진동을 서로 격리시켜, 서로 다른 주파수를 가지는 초음파가 서로 간섭하는 것을 방지 가능한 장점이 있다.In addition, by isolating each of the ultrasonic vibrations having different frequencies from each other, there is an advantage of preventing the ultrasonic waves having different frequencies from interfering with each other.

도 1은 종래의 고압제트방식 세정장치를 나타낸 개념도.
도 2은 본 발명에 따른 초음파 세정장치를 나타낸 개념도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 다주파 생성모듈을 나타낸 개념도.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 다주파 생성모듈을 나타낸 개념도.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 다주파 생성모듈의 분리 형태를 나타낸 개념도.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 다주파 생성모듈을 나타낸 개념도.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 다주파 생성모듈을 나타낸 개념도.
도 8은 본 발명의 제5 실시예에 따른 다주파 생성모듈을 나타낸 개념도.
도 9는 본 발명의 제6 실시예에 따른 다주파 생성모듈을 나타낸 개념도.
도 10은 본 발명의 제7 실시예에 따른 다주파 생성모듈을 나타낸 개념도.
도 11은 본 발명의 제8 실시예에 따른 다주파 생성모듈을 나타낸 개념도.1 is a conceptual diagram showing a conventional high-pressure jet cleaning apparatus.
2 is a conceptual diagram showing an ultrasonic cleaning device according to the present invention.
3 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module according to the first embodiment of the present invention.
4 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module according to a second embodiment of the present invention.
5 is a conceptual diagram showing a separation form of a multi-frequency generation module according to a second embodiment of the present invention.
6 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module according to a third embodiment of the present invention.
7 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module according to a fourth embodiment of the present invention.
8 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module according to a fifth embodiment of the present invention.
9 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module according to a sixth embodiment of the present invention.
10 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module according to a seventh embodiment of the present invention.
11 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module according to an eighth embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예들에 대한 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.Advantages and features of the embodiments of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described later in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in a variety of different forms, and only these embodiments make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to completely inform the scope of the invention to those who have, and the invention is only defined by the scope of the claims. The same reference numerals refer to the same elements throughout the specification.

본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명의 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In describing the embodiments of the present invention, if it is determined that a detailed description of a known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted. In addition, terms to be described later are terms defined in consideration of functions in an embodiment of the present invention, which may vary according to the intention or custom of users or operators. Therefore, the definition should be made based on the contents throughout this specification.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 다주파 생성 모듈(M)과, 이를 이용한 초음파 세정장치(1000)에 관하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a multi-frequency generation module M according to the present invention and an ultrasonic cleaning apparatus 1000 using the same will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 초음파 세정장치(1000)를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing an ultrasonic cleaning apparatus 1000 according to the present invention.

도 2를 참조하면, 초음파 세정장치(1000)는 운반되는 세정대상물(1)에 세정액(2)을 도포하는 세정액 도포부(300)와, 세정액(2)에 서로 다른 주파수를 가지는 복수개의 초음파를 인가하는 다주파 생성 모듈(M)과, 상기 세정대상물(1)의 표면에 린스액를 방출하는 린스부(400)와, 상기 세정대상물(1)의 표면에 기체를 방출하여 세정대상물(1)의 표면에 위치된 린스액 및 잔여 세정액을 제거하는 건조부(500)를 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 2, the ultrasonic cleaning apparatus 1000 includes a cleaning liquid applying unit 300 that applies a cleaning liquid 2 to a cleaning object 1 to be transported, and a plurality of ultrasonic waves having different frequencies to the cleaning liquid 2. A multi-frequency generating module (M) to be applied, a rinsing unit 400 for discharging a rinsing liquid to the surface of the object to be cleaned (1), and a gas to be discharged to the surface of the object to be cleaned (1) It comprises a drying unit 500 for removing the rinse liquid and residual cleaning liquid located on the surface.

상세히 설명하면, 상기 세정액 도포부(300)에서 상기 세정대상물(1)의 표면에 세정액(2)을 도포한 후, 상기 다주파 생성 모듈(M)에서 세정대상물(1)의 표면에 위치된 세정액(2)에 초음파를 인가하여, 세정대상물(1)의 표면에 위치된 파티클과 같은 오염물질을 떼어내고, 상기 린스부(400)에서 잔여 세정액 상에 린스액을 방출하여 오염물이 포함된 세정액을 제거한 후, 상기 건조부(500)에서 세정대상물(1)의 표면에 압축공기 또는 뜨거운 공기 등을 인가하여 세정대상물(1) 표면에 위치된 잔여 세정액, 파티클, 린스액을 제거하여 주는 것이다. 그리고 도면 상에는 상기 세정액 도포부(300)와 상기 다주파 생성 모듈(M)과 상기 린스부(400) 및 상기 건조부(500)가 세정대상물(1)의 두께방향 일측에 위치되어, 이동하는 세정대상물(1)의 일면만을 세정하는 것으로 나타나 있지만, 이는 일 실시예에 불과하며 필요에 따라 세정대상물(1)의 두까방향 일측과 타측에 서로 대칭 구비되어, 이송되는 세정대상물(1)의 양면을 동시 세정 가능함은 물론이다.In detail, after applying the cleaning liquid 2 to the surface of the cleaning object 1 in the cleaning liquid application unit 300, the cleaning liquid located on the surface of the cleaning object 1 in the multi-frequency generation module M (2) by applying ultrasonic waves to remove contaminants such as particles located on the surface of the object to be cleaned (1), and discharging the rinse liquid onto the remaining cleaning liquid from the rinse unit 400 to remove the cleaning liquid containing the contaminants. After removal, the drying unit 500 applies compressed air or hot air to the surface of the object to be cleaned 1 to remove residual cleaning liquid, particles, and rinse liquid located on the surface of the object to be cleaned (1). And on the drawing, the cleaning liquid application unit 300, the multi-frequency generation module (M), the rinsing unit 400, and the drying unit 500 are located on one side in the thickness direction of the object to be cleaned (1), and moving cleaning It is shown that only one surface of the object 1 is cleaned, but this is only an example, and if necessary, it is provided symmetrically on one side and the other side in the heading direction of the object to be cleaned 1, so that both sides of the object to be transported 1 Of course, simultaneous cleaning is possible.

이하에서는, 도면을 참조하여 상기 초음파 세정장치(1000)에 사용되는 다주파 생성 모듈(M)의 다양한 실시예를 설명하도록 한다.Hereinafter, various embodiments of the multi-frequency generation module M used in the ultrasonic cleaning apparatus 1000 will be described with reference to the drawings.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)을 나타낸 개념도이다.3 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module (M) according to the first embodiment of the present invention.

도 3을 참조하여 설명하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)은 세정대상물(1)에 도포된 세정액(2)을 사이에 두고 상기 세정대상물(1)과 이격 배치되는 진동전달 플레이트(100)와, 상기 진동전달 플레이트(100)로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부(200)를 포함하며, 복수개의 상기 초음파 모듈이 초음파 주파수에 따라 세정대상물(1)의 이동 방향으로 오름차순 또는 내림차순 배치될 수 있다.Referring to Figure 3, the multi-frequency generation module (M) according to the first embodiment of the present invention is spaced apart from the cleaning object (1) with the cleaning liquid (2) applied to the cleaning object (1) therebetween. The vibration transmission plate 100 and the vibration transmission plate 100 includes an ultrasonic generator 200 formed by a plurality of ultrasonic modules generating ultrasonic waves of different frequencies, wherein the plurality of ultrasonic modules Depending on the movement direction of the object to be cleaned 1 may be arranged in ascending or descending order.

상세히 설명하면, 세정대상물(1)은 표면에 다양한 크기를 가지는 오염물질이 부착되며, 이러한 오염물질은 그 크기에 따라 효과적으로 오염물질을 제거할 수 있는 초음파의 주파수가 달라진다.In detail, contaminants having various sizes are attached to the surface of the object to be cleaned 1, and the frequency of ultrasonic waves capable of effectively removing contaminants varies according to the size of the contaminants.

즉, 입자가 큰 오염물질의 경우는 주파수가 낮은 초음파를 인가할 경우 효과적으로 세정대상물(1)의 표면에서 떼어낼 수 있고, 입자가 작은 오염물질의 경우는 주파수가 높은 초음파를 인가할 경우 효과적으로 오염물질을 세정대상물(1)의 표면에서 떼어낼 수 있는 것이다.In other words, contaminants with large particles can be effectively removed from the surface of the object to be cleaned (1) by applying low-frequency ultrasound, and contaminants with small particles are effectively contaminated by applying high-frequency ultrasound waves. The substance can be removed from the surface of the object to be cleaned (1).

따라서, 본 발명에서는 도 3에 도시된 바와 같이 서로 다른 주파수를 가지는 초음파 모듈을 세정대상물(1)의 이동방향으로 순차 배치하여, 보다 효과적으로 세정대상물(1)을 세정할 수 있게 한 것이다.Accordingly, in the present invention, as shown in FIG. 3, ultrasonic modules having different frequencies are sequentially arranged in the moving direction of the object to be cleaned 1, so that the object to be cleaned 1 can be cleaned more effectively.

그리고, 상기 초음파 생성부(200)는 도 3에 도시된 바와 같이 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어질 수 있고, 초음파 생성부(200)를 형성하는 복수개의 초음파 모듈은 개별적인 주파수를 가질 수 있으며, 서로 다른 주파수를 가지는 초음파 모듈은 세정 대상에 대응하여 다양하게 배치될 수 있다.In addition, the ultrasonic generator 200 may include a plurality of ultrasonic modules as shown in FIG. 3, and a plurality of ultrasonic modules forming the ultrasonic generator 200 may have individual frequencies, and may have different frequencies. The ultrasonic module having a frequency may be variously disposed corresponding to the cleaning object.

상세히 설명하면, 세정대상물(1)에 부착된 오염물질에 대응하여 초음파 생성부(200)를 구성하는 초음파 모듈이 생성하는 초음파의 주파수와, 초음파 모듈의 배치구조를 가변하여 보다 효율적으로 세정대상물(1)에 부착되어 있는 오염물질을 제거 가능하게 한 것이다.In detail, in response to contaminants attached to the cleaning object 1, the frequency of the ultrasonic waves generated by the ultrasonic modules constituting the ultrasonic generator 200 and the arrangement structure of the ultrasonic modules are changed to be more efficient. It is possible to remove contaminants attached to 1).

이때, 상기 초음파 생성부(200)를 구성하는 초음파 모듈은 도 3에 도시된 바와 같이 서로 다른 주파수를 가지는 초음파를 발생시키는 제1 초음파 모듈(210)과, 제2 초음파 모듈(220)과, 제3 초음파 모듈(230) 등을 포함할 수 있다. In this case, the ultrasonic module constituting the ultrasonic generator 200 includes a first ultrasonic module 210, a second ultrasonic module 220, and a first ultrasonic module for generating ultrasonic waves having different frequencies, as shown in FIG. 3 may include an ultrasonic module 230 and the like.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)을 나타낸 개념도이다.4 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module (M) according to a second embodiment of the present invention.

도 4를 참조하여 설명하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)은 세정대상물(1)에 도포된 세정액(2)을 사이에 두고 상기 세정대상물(1)과 이격 배치되는 진동전달 플레이트(100)와, 상기 진동전달 플레이트(100)로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부(200)를 포함하며, 복수개의 상기 초음파 모듈 중 어느 하나 이상의 초음파 모듈을 통해 상기 진동전달 플레이트(100)로 전달된 초음파는 상기 세정대상물(1)의 표면에 경사지게 입사될 수 있다.Referring to Figure 4, the multi-frequency generation module (M) according to the second embodiment of the present invention is disposed spaced apart from the cleaning object (1) with the cleaning liquid (2) applied to the cleaning object (1) therebetween. A vibration transmission plate 100 and a plurality of ultrasonic modules that generate ultrasonic waves of different frequencies through the vibration transmission plate 100 are assembled, and any one of the plurality of ultrasonic modules The ultrasonic waves transmitted to the vibration transmission plate 100 through the ultrasonic module described above may be obliquely incident on the surface of the cleaning object 1.

상세히 설명하면, 상기 초음파 생성부(200)는 위에서 설명한 바와 같이 서로 다른 주파수를 가지는 초음파를 생성하는 제1 초음파 모듈(210), 제2 초음파 모듈(220), 제3 초음파 모듈(230)을 포함하여 이루어질 수 있다.In detail, the ultrasonic generator 200 includes a first ultrasonic module 210, a second ultrasonic module 220, and a third ultrasonic module 230 for generating ultrasonic waves having different frequencies as described above. It can be done by doing.

이때, 도 4에 도시된 제2 초음파 모듈(220)과 같이 초음파를 세정대상물(1)을 향해 수직으로 인가할 경우 세정액(2)을 통해 세정대상물(1)로 인가되는 초음파의 영역이 좁고, 인가 시간이 짧아 대면적 기판과 같이 면적이 넓은 세정대상물(1)을 빠르게 이동시켜 세정하는데 적합하지 못하고, 세정대상물(1)에 입사 후 반사되는 정지반사파가 제2 초음파 모듈(220)에서 방출되어 세정대상물(1)로 입사되는 입사파와 만나 간섭 현상이 발생될 수 있는 문제점이 있으므로, 본 발명에서는 제1 초음파 모듈(210) 및 제3 초음파 모듈(230)과 같이 초음파 모듈이 세정대상물(1)의 표면에 초음파를 경사지게 방출하여, 세정대상물(1)에 입사된 초음파가 세정대상물(1)의 상면과 진동전달 플레이트(100)의 하면에 지속적으로 반사되며 진행반사파를 형성하게 함으로써, 초음파 모듈에서 조사되는 초음파가 보다 긴 시간동안 유지되며 넓은 영역을 세정 가능하게 한 것이다.At this time, as in the second ultrasonic module 220 shown in FIG. 4, when the ultrasonic waves are applied vertically toward the cleaning object 1, the area of the ultrasonic waves applied to the cleaning object 1 through the cleaning liquid 2 is narrow, Since the application time is short, it is not suitable for cleaning by moving a large area to be cleaned quickly, such as a large-area substrate, and a stationary reflected wave that is reflected after entering the cleaning target 1 is emitted from the second ultrasonic module 220 Since there is a problem in that interference may occur by encountering an incident wave incident on the object to be cleaned (1), in the present invention, the ultrasonic module, like the first ultrasonic module (210) and the third ultrasonic module (230), is the object to be cleaned (1). The ultrasonic wave is emitted obliquely on the surface of the object to be cleaned, and the ultrasonic wave incident on the object to be cleaned 1 is continuously reflected on the upper surface of the object to be cleaned 1 and the lower surface of the vibration transmission plate 100 to form a traveling reflection wave. The irradiated ultrasonic waves are maintained for a longer period of time and a large area can be cleaned.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)을 구성하는 진동전달 플레이트(100)에서 초음파 생성부(200)가 분리된 형태를 나타낸 분해도이다.5 is an exploded view showing a form in which the ultrasonic generator 200 is separated from the vibration transmission plate 100 constituting the multi-frequency generating module M according to the second embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면 본 발명의 제2 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)은, 상기 진동전달 플레이트(100) 상면에 각각의 상기 초음파 모듈이 결합되는 복수개의 결합부(110)가 형성될 수 있고, 상기 결합부(110)는 상기 제1 초음파 모듈(210)이 결합되는 제1 결합부(110A)와, 상기 제2 초음파 모듈(220)이 결합되는 제2 결합부(110B)와, 상기 제3 초음파 모듈(230)이 결합되는 제3 결합부(110C)를 포함할 수 있으며, 복수개의 상기 결합부 중 어느 하나 이상의 결합부는 초음파 모듈로부터 진동을 전달받는 진동 전달홈(111)이 상기 세정대상물(1)의 표면과 일정 경사를 가질 수 있다.Referring to FIG. 5, in the multi-frequency generation module M according to the second embodiment of the present invention, a plurality of coupling portions 110 to which each of the ultrasonic modules is coupled to the vibration transmission plate 100 are formed. The coupling part 110 includes a first coupling part 110A to which the first ultrasonic module 210 is coupled, a second coupling part 110B to which the second ultrasonic module 220 is coupled, A third coupling portion 110C to which the third ultrasonic module 230 is coupled may be included, and at least one coupling portion of the plurality of coupling portions may include a vibration transmission groove 111 receiving vibration from the ultrasonic module. It may have a certain slope with the surface of the object to be cleaned (1).

상세히 설명하면, 상기 결합부(110)가 상기 진동전달 플레이트(100)에 형성되어 각각의 상기 초음파 모듈이 끼워지는 홈일 경우, 진동전달 플레이트(100)의 하면과 접하는 상기 결합부(110)의 하면이 세정대상물(1)의 표면과 일정 경사를 가지게 하여, 진동전달 플레이트(100)를 통해 세정대상물(1)로 입사되는 초음파가 세정대상물(1)의 표면과 경사를 가지게 한 것이다.In detail, when the coupling portion 110 is a groove formed in the vibration transmission plate 100 to insert each of the ultrasonic modules, the bottom surface of the coupling portion 110 in contact with the bottom surface of the vibration transmission plate 100 By making the surface of the object to be cleaned 1 have a certain inclination, the ultrasonic wave incident on the object to be cleaned 1 through the vibration transmission plate 100 has a slope with the surface of the object to be cleaned (1).

이때, 결합부(110)의 진동 전달홈(111)이 수평면과 형성하는 경사 각도는 0도 내지 7도인 것을 권장한다.At this time, it is recommended that the inclination angle formed by the vibration transmission groove 111 of the coupling part 110 with the horizontal plane is 0 degrees to 7 degrees.

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)을 나타낸 개념도이다.6 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module (M) according to a third embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면 제3 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)은 각각의 상기 초음파 모듈이 결합되는 상기 진동전달 플레이트(100)에 경사부(112)가 형성되어, 초음파 모듈에서 생성된 후 상기 진동전달 플레이트(100)를 통해 세정대상물(1)로 인가되는 초음파가 경사지게 방출되어 진행반사파를 형성할 수 있다.Referring to FIG. 6, in the multi-frequency generation module M according to the third embodiment, an inclined portion 112 is formed on the vibration transmission plate 100 to which each of the ultrasonic modules is coupled, and is generated by the ultrasonic module. Ultrasound applied to the cleaning object 1 through the vibration transmission plate 100 may be obliquely emitted to form a traveling reflection wave.

상세히 설명하면, 진동전달 플레이트(100)를 통해 세정대상물(1)로 인가되는 초음파가 진동전달 플레이트(100)의 하면과, 세정대상물(1)의 상면에서 반사되며 진행반사파를 형성하기 위해서는, 진동전달 플레이트(100)를 통해 세정대상물(1)로 인가되는 초음파가 세정대상물(1)의 표면과 경사지게 방출되어야 하므로, 본 발명에서는 도 6에 도시된 바와 같이 초음파 모듈이 결합되는 진동전달 플레이트(100)에 초음파 모듈이 경사지게 결합되는 상기 경사부(112)를 형성한 것이다.In detail, the ultrasonic waves applied to the cleaning object 1 through the vibration transmission plate 100 are reflected from the lower surface of the vibration transmission plate 100 and the upper surface of the cleaning object 1, and in order to form a traveling reflection wave, vibration Since the ultrasonic waves applied to the cleaning object 1 through the transmission plate 100 must be emitted obliquely to the surface of the cleaning object 1, in the present invention, the vibration transmission plate 100 to which the ultrasonic module is coupled as shown in FIG. ) To form the inclined portion 112 to which the ultrasonic module is obliquely coupled.

이때, 상기 경사부(112)는 세정대상물(1)의 표면과 약 0도 초과 내지 7도 이하의 각도를 가지는 것을 권장하며, 도면상에는 경사부(112)가 진동전달 플레이트(100)의 상면과 하면에 모두 형성되는 것을 도시하였지만, 이는 일 실시예일 뿐이며 필요에 따라 초음파 모듈이 결합되는 진동전달 플레이트(100)의 상면 또는 하면에만 경사부(112)가 형성될 수 있음은 물론이다. 다시한번 설명하면 진동전달 플레이트(100)의 상면에 경사부(112)가 형성 시 경사부(112)에 결합되는 초음파 모듈이 세정대상물(1)의 표면과 경사지게 배치되어 생성하는 초음파가 경사지게 방출되어 진행 반사파를 형성하고, 진동전달 플레이트(100)의 하면에 경사부(112)가 형성시 세정대상물(1)에 반사된 초음파가 경사부(112)에 부딪힌 후 경사지게 세정대상물(1)의 표면으로 재입사 하여 진행 반사파를 형성할 수 있는 것이다.At this time, it is recommended that the inclined part 112 has an angle of greater than about 0 degrees to less than 7 degrees with the surface of the object to be cleaned 1, and in the drawing, the inclined part 112 is Although it is shown that all are formed on the lower surface, this is only an example, and it is a matter of course that the inclined portion 112 may be formed only on the upper surface or the lower surface of the vibration transmission plate 100 to which the ultrasonic module is coupled, if necessary. In other words, when the inclined portion 112 is formed on the upper surface of the vibration transmission plate 100, the ultrasonic module coupled to the inclined portion 112 is disposed in an inclined manner with the surface of the object to be cleaned, so that the generated ultrasonic wave is obliquely emitted. When the propagation reflected wave is formed and the inclined portion 112 is formed on the lower surface of the vibration transmission plate 100, the ultrasonic waves reflected on the cleaning object 1 collide with the inclined portion 112 and then obliquely go to the surface of the cleaning object 1 It is possible to re-enter to form a traveling reflected wave.

도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)을 나타낸 개념도이다.7 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module (M) according to the fourth embodiment of the present invention.

도 7을 참조하여 설명하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)은 상기 진동전달 플레이트(100)의 상측 진동 전달면(102)이 상기 세정대상물(1)의 표면과 일정 경사를 가지게 배치되고, 진동전달 플레이트(100)의 하면에 세정대상물(1)의 표면과 수평지게 배치되는 수평결합부(120)가 형성될 수 있다.Referring to FIG. 7, in the multi-frequency generation module M according to the fourth embodiment of the present invention, the upper vibration transmission surface 102 of the vibration transmission plate 100 and the surface of the cleaning object 1 A horizontal coupling portion 120 disposed to have a certain inclination and disposed horizontally with the surface of the cleaning object 1 may be formed on the lower surface of the vibration transmission plate 100.

상세히 설명하면, 상기 초음파 생성부(200)가 결합되는 상기 진동전달 플레이트(100)를 경사지게 형성하여, 초음파 생성부(200)를 구성하는 복수개의 초음파 모듈에서 전달되는 초음파가 세정대상물(1)의 표면과 일정 경사를 가지게 하되, 진동전달 플레이트(100)를 경사지게 기울인 형태로 배치할 경우 진동전달 플레이트(100)의 하면이 세정액(2)과 완전히 접하지 못하는 부위가 발생할 수 있으므로, 도 7에 도시된 바와 같이 진동전달 플레이트(100)의 하면에 세정대상물(1)의 표면과 수평 상태로 배치되는 수평결합부(120)를 형성하여, 진동전달 플레이트(100)로 전달된 초음파가 공기층을 거치지 않고 세정액(2)으로 직접 전달될 수 있게 한 것이다.In detail, by forming the vibration transmission plate 100 to which the ultrasonic generator 200 is coupled to be inclined, the ultrasonic waves transmitted from the plurality of ultrasonic modules constituting the ultrasonic generator 200 are transmitted to the object to be cleaned (1). It has a certain inclination with the surface, but when the vibration transmission plate 100 is arranged in an obliquely inclined shape, a portion may occur where the lower surface of the vibration transmission plate 100 does not completely contact the cleaning solution 2, as shown in FIG. As described above, by forming a horizontal coupling portion 120 arranged in a horizontal state with the surface of the cleaning object 1 on the lower surface of the vibration transmission plate 100, the ultrasonic waves transmitted to the vibration transmission plate 100 do not pass through the air layer. It is possible to be delivered directly to the cleaning liquid (2).

이때, 상기 수평결합부(120)의 각도는 진동전달 플레이트(100)의 하면과 세정액(2)의 상측 표면이 형성하는 각도이며, 이러한 수평결합부(120)의 각도는 0도 초과 내지 7 도 이하인 것을 권장한다.At this time, the angle of the horizontal coupling portion 120 is an angle formed between the lower surface of the vibration transmission plate 100 and the upper surface of the cleaning solution 2, and the angle of the horizontal coupling portion 120 is greater than 0 degrees to 7 degrees. The following is recommended.

그리고, 수평결합부(120)는 상기 진동전달 플레이트(100)의 하면에 배치되어 상기 세정액(2)의 표면과 진동전달 플레이트(100) 사이에 공기층이 형성되는 것을 방지하면 충분하므로 다양한 재질이 될 수 있으나, 보다 효과적으로 초음파를 전달하기 위하여 세정액과 같거나 비슷한 음향임피던스(Z=ρc, ρ:밀도, c:음속)를 가지는 재질로 이루어지는 것을 권장한다.In addition, the horizontal coupling portion 120 is disposed on the lower surface of the vibration transmission plate 100 to prevent the formation of an air layer between the surface of the cleaning solution 2 and the vibration transmission plate 100, so that various materials can be used. However, in order to transmit ultrasonic waves more effectively, it is recommended to be made of a material having an acoustic impedance (Z = ρc, ρ: density, c: sound velocity) similar to or similar to the cleaning solution.

도 8은 본 발명의 제5 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)을 나타낸 개념도이다.8 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module (M) according to the fifth embodiment of the present invention.

도 8을 참조하여 설명하면, 본 발명의 제5 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)은 복수개의 상기 초음파 모듈 사이에 위치되어 각각의 초음파 모듈에서 상기 진동전달 플레이트(100)로 전달되는 초음파 간의 간섭을 제한하는 간섭 방지부(130)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8, the multi-frequency generating module M according to the fifth embodiment of the present invention is positioned between a plurality of the ultrasonic modules and is transmitted from each ultrasonic module to the vibration transmission plate 100. It may further include an interference prevention unit 130 for limiting interference between.

상세히 설명하면, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 진동전달 플레이트(100) 상에 제1 초음파 모듈(210), 제2 초음파 모듈(220), 제3 초음파 모듈(230)을 위치시킬 경우, 각각의 초음파 모듈에서 진동전달 플레이트(100)로 전달되는 초음파가 서로 간섭하여, 세정액(2)을 통해 세정대상물(1)로 인가되는 초음파가 지정된 이동경로 또는 주파수를 가지지 못할 수 있으므로, 본 발명에서는 각각의 초음파 모듈 사이에 초음파의 전달을 제한하는 상기 간섭 방지부(130)를 형성하여, 이러한 문제점을 해결 한 것이다.In detail, when placing the first ultrasonic module 210, the second ultrasonic module 220, and the third ultrasonic module 230 on the vibration transmission plate 100, as shown in FIG. Since the ultrasonic waves transmitted from the ultrasonic module to the vibration transmission plate 100 interfere with each other, the ultrasonic waves applied to the cleaning object 1 through the cleaning liquid 2 may not have a designated movement path or frequency. This problem is solved by forming the interference preventing unit 130 to limit the transmission of ultrasonic waves between ultrasonic modules.

이때, 상기 간섭 방지부(130)는 도면에 도시된 바와 같이 복수개의 상기 초음파 모듈들 사이에 형성된 홈일 수 있으나, 이 외에도 진동전달 플레이트(100)와 음향임피던스가 크게 다른 이종 매질일 수 있다.In this case, the interference preventing unit 130 may be a groove formed between the plurality of ultrasonic modules as shown in the drawing, but in addition to this, the vibration transmission plate 100 and the acoustic impedance may be a heterogeneous medium significantly different from each other.

도 9는 본 발명의 제6 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)을 나타낸 개념도이다.9 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module (M) according to the sixth embodiment of the present invention.

도 9를 참조하여 설명하면, 본 발명의 제6 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)은 상기 진동전달 플레이트(100)의 하측에 세정대상물(1)의 표면과 마주보며 배치되는 수평결합부(120)를 더 포함하고, 상기 수평결합부(120)는 세정액(2)과 같거나 비슷한 음향임피던스를 가지는 매질일 수 있다.Referring to Figure 9, the multi-frequency generation module (M) according to the sixth embodiment of the present invention is a horizontal coupling portion disposed on the lower side of the vibration transmission plate 100 facing the surface of the object to be cleaned (1) 120 may be further included, and the horizontal coupling portion 120 may be a medium having an acoustic impedance equal to or similar to that of the cleaning solution 2.

상세히 설명하면, 상기 초음파 생성부(200)를 구성하는 상기 초음파 모듈이 발생시키는 초음파가 상기 진동전달 플레이트(100)를 통하여 상기 세정대상물(1)의 표면에 위치하는 세정액(2)으로 전달되지 않을 시, 초음파가 진동전달 플레이트(100) 상에서 증폭된 후 초음파 생성부(200)로 반사되어 초음파 생성부(200)를 파손시키는 문제가 발생할 수 있다.In detail, the ultrasonic waves generated by the ultrasonic module constituting the ultrasonic generator 200 may not be transmitted to the cleaning liquid 2 located on the surface of the cleaning object 1 through the vibration transmission plate 100. In this case, after the ultrasonic waves are amplified on the vibration transmission plate 100, they are reflected to the ultrasonic generator 200 to damage the ultrasonic generator 200.

따라서, 본 발명에서는 상기 진동전달 플레이트(100)의 하측에 결합되는 상기 수평결합부(120)를 상기 세정액(2)과 같거나 비슷한 음향임피던스를 가지는 재질로 하여, 진동전달 플레이트(100)의 하면이 세정액(2)과 직접 접하지 않는 상황일 경우, 초음파 생성부(200)에서 발생시킨 초음파가 초음파 수평결합부(120)로 전달되어 초음파 모듈을 파손하지 않게 한 것이다.Therefore, in the present invention, the horizontal coupling part 120 coupled to the lower side of the vibration transmission plate 100 is made of a material having an acoustic impedance equal to or similar to that of the cleaning solution 2, and the lower surface of the vibration transmission plate 100 In a situation where the cleaning solution 2 is not directly contacted, the ultrasonic waves generated by the ultrasonic generator 200 are transmitted to the horizontal ultrasonic coupling part 120 so as not to damage the ultrasonic module.

그리고, 일 실시예로 상기 수평결합부(120)는 내부에 유체가 구비되는 구비공간(121)이 형성되는 수평결합 몸체(122)와, 상기 구비공간(121) 상에 구비되는 유체 상의 매질(123)을 포함할 수 있음은 물론이다.And, in an embodiment, the horizontal coupling part 120 includes a horizontal coupling body 122 in which a space 121 in which a fluid is provided is formed, and a fluid medium provided on the provision space 121 ( 123) of course.

도 10은 본 발명의 제7 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)을 나타낸 개념도이다.10 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module (M) according to the seventh embodiment of the present invention.

도 10을 참조하여 설명하면, 상기 진동전달 플레이트(100)는 각각의 상기 초음파 모듈(210, 220, 230)을 개별적으로 지지하는 복수개의 지지부(141)가 모여 이루어지는 지지모듈(140)을 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 10, the vibration transmission plate 100 further includes a support module 140 in which a plurality of support parts 141 individually supporting each of the ultrasonic modules 210, 220, 230 are gathered. can do.

상세히 설명하면, 각각의 상기 초음파 모듈은 서로 다른 주파수를 가지며, 세정 대상에 대응하여 초음파 모듈의 위치를 바꿔 장치의 효과를 더욱 증대할 수 있으므로, 본 발명에서는 각각의 상기 지지부(141)에 각각의 상기 초음파 모듈이 조립식으로 결합되게 하여, 사용자가 편리하게 초음파 모듈의 배치를 가변 가능하게 한 것이다.In detail, each of the ultrasonic modules has a different frequency, and the position of the ultrasonic module can be changed in response to a cleaning target to further increase the effect of the device. Therefore, in the present invention, each of the support parts 141 By allowing the ultrasonic module to be assembled in a prefabricated manner, the user can conveniently change the arrangement of the ultrasonic module.

이때, 상기 지지부(141)는 각각의 상기 초음파 모듈의 가장자리를 압박 고정하는 구조일 수 있으며, 필요에 따라 사용자가 지지부를 움직여 초음파 모듈의 경사를 조절할 수도 있다.In this case, the support part 141 may be a structure for pressing and fixing the edge of each of the ultrasonic modules, and if necessary, the user may adjust the inclination of the ultrasonic module by moving the support part.

도 11은 는 본 발명의 제8 실시예에 따른 다주파 생성모듈(M)을 나타낸 개념도이다.11 is a conceptual diagram showing a multi-frequency generation module (M) according to the eighth embodiment of the present invention.

도 11을 참조하여 설명하면, 상기 지지모듈(140)이 상기 초음파 모듈(210, 220, 230)을 압박 고정할 경우에도, 상기 진동전달 플레이트(100)에 상기 경사부(112)가 형성되어, 초음파 모듈(210, 220, 230)이 발생시키는 초음파가 진동전달 플레이트(100)로 전달된 후, 세정대상물(1)로 인가되는 초음파의 방향을 조절할 수 있다.Referring to FIG. 11, even when the support module 140 presses and fixes the ultrasonic modules 210, 220, 230, the inclined portion 112 is formed on the vibration transmission plate 100, After the ultrasonic waves generated by the ultrasonic modules 210, 220, and 230 are transmitted to the vibration transmission plate 100, the direction of the ultrasonic waves applied to the cleaning object 1 may be adjusted.

상세히 설명하면, 위에서 설명한 바와 같이 초음파를 세정대상물(1)의 표면과 수직방향으로 조사 시 초음파가 지정된 일정 지역에서만 반사를 반복하며 정지반사파를 형성하고, 정지반사파의 경우 세정 가능한 영역이 매우 좁아 연속식 세정이 어려운 문제점이 있었으므로, 본 발명에서는 세정대상물(1)로 초음파가 경사지게 인가되어 넓게 퍼져나가는 진행반사파를 형성하게 함으로써, 기존의 초음파 세정장치가 세정 영역이 좁아 세정효율이 떨어짐으로써 연속식 세정에 사용하지 못하고 배치(batch) 식에서만 사용되었던 문제를 해결 한 것이다.In detail, as described above, when the ultrasonic waves are irradiated in a direction perpendicular to the surface of the object to be cleaned (1), the reflection is repeated only in a certain area where the ultrasonic waves are designated to form a stationary reflection wave. Since there was a problem in that cleaning was difficult, in the present invention, the ultrasonic wave was applied inclined to the object to be cleaned 1 to form a traveling reflected wave that spreads widely, so that the conventional ultrasonic cleaning device has a narrow cleaning area and thus reduces cleaning efficiency. This solved the problem that it was not used for cleaning and was only used in the batch method.

아울러, 도 3 내지 도 11을 참조하여 설명하면 본 발명에서 각각의 상기 초음파 모듈(210), 220, 230)은 초음파를 생성하는 진동자와, 진동자가 결합되며 진동자에서 전달되는 초음파를 집속하여 음압을 4배 이상 증폭하는 혼(Wedge-shaped horn)을 더 포함할 수 있으며, 혼을 이용하여 증폭된 초음파가 경사진 상태로 세정대상물(1)의 표면에 입사되어 진행반사파를 형성하기 때문에, 기존의 정지반사파를 이용한 세정방법과 비교하여 세정 영역이 5~10배 획기적으로 확대 가능하므로, 이러한 음압 증폭과 세정영역 확대 효과에 의해서 세정 속도 또한 5~10배 증가되어, 연속식 세정을 보다 용이하게 가능한 장점이 있다.In addition, referring to FIGS. 3 to 11, each of the ultrasonic modules 210, 220, and 230 in the present invention reduces sound pressure by focusing ultrasonic waves that are combined with a vibrator that generates ultrasonic waves and a vibrator. It may further include a wedge-shaped horn that amplifies more than 4 times, and since the ultrasonic amplified using the horn is incident on the surface of the object to be cleaned 1 in an inclined state to form a traveling reflection wave, the conventional Compared to the cleaning method using a stationary reflection wave, the cleaning area can be dramatically expanded by 5-10 times, so the cleaning speed is also increased by 5-10 times by this sound pressure amplification and cleaning area expansion effect, making continuous cleaning easier. There is an advantage.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and the scope of application thereof is diverse, as well as anyone with ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, various modifications are possible.

1 : 세정대상물 2 : 세정액
100 : 진동전달 플레이트 102 : 진동 전달면
110 : 결합부 111 : 진동 전달홈
112 : 경사부
120 : 수평결합부 130 : 간섭 방지부
200 : 초음파 생성부
300 : 세정액 도포부
400 : 린스부
500 : 건조부1: object to be cleaned 2: cleaning liquid
100: vibration transmission plate 102: vibration transmission surface
110: coupling part 111: vibration transmission groove
112: slope
120: horizontal coupling unit 130: interference prevention unit
200: ultrasonic generator
300: cleaning liquid application part
400: conditioner
500: drying part

Claims (11)

세정대상물에 도포된 세정액을 사이에 두고 상기 세정대상물과 이격 배치되는 진동전달 플레이트; 및
상기 진동전달 플레이트로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부;를 포함하며,
상기 초음파 생성부는 상기 세정대상물의 이동 방향으로 복수개의 상기 초음파 모듈이 초음파 주파수에 따라 오름차순 또는 내림차순으로 이격 배치되어, 각각의 초음파 모듈에서 방출되는 서로 다른 주파수의 초음파가 세정대상물에 순차적으로 인가되는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈.
A vibration transmission plate spaced apart from the object to be cleaned with a cleaning solution applied to the object to be cleaned interposed therebetween; And
Including; an ultrasonic wave generator formed by a plurality of ultrasonic modules that generate ultrasonic waves of different frequencies by the vibration transmission plate,
The ultrasonic generator is configured that the plurality of ultrasonic modules are spaced apart from each other in an ascending or descending order according to the ultrasonic frequency in the moving direction of the cleaning object, so that ultrasonic waves of different frequencies emitted from each ultrasonic module are sequentially applied to the cleaning object. Characterized in, multi-frequency generation module.
 제 1항에 있어서,
복수개의 상기 초음파 모듈 중 어느 하나 이상의 초음파 모듈을 통해 상기 진동전달 플레이트로 전달된 초음파는 상기 세정대상물의 표면에 경사지게 입사되는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈.
The method of claim 1,
The ultrasonic wave transmitted to the vibration transmission plate through one or more of the plurality of ultrasonic modules is obliquely incident on the surface of the object to be cleaned.
 제 2항에 있어서,
상기 진동전달 플레이트는 각각의 상기 초음파 모듈이 결합되는 복수개의 결합부를 포함하며, 복수개의 상기 결합부 중 어느 하나 이상의 상기 결합부는 상기 초음파 모듈로부터 진동을 전달받는 경사부, 진동 전달면, 진동 전달홈 중 어느 하나가 세정대상물의 표면과 일정 경사를 가지는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈.
The method of claim 2,
The vibration transmission plate includes a plurality of coupling portions to which each of the ultrasonic modules is coupled, and at least one of the coupling portions of the plurality of coupling portions is an inclined portion receiving vibration from the ultrasonic module, a vibration transmission surface, and a vibration transmission groove. Any one of the multi-frequency generation module, characterized in that it has a certain slope with the surface of the object to be cleaned.
 제 2항에 있어서,
상기 진동전달 플레이트는 상기 세정액과 접하는 하측에 위치되며 하면이 상기 세정대상물의 표면과 수평지게 배치되는 수평결합부를 더 포함하고, 복수개의 상기 초음파 모듈이 결합되는 진동 전달면이 상기 세정대상물의 표면과 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈.
The method of claim 2,
The vibration transmission plate further includes a horizontal coupling portion positioned at a lower side in contact with the cleaning liquid and having a lower surface disposed horizontally with the surface of the cleaning object, and a vibration transmission surface to which the plurality of ultrasonic modules are coupled to the surface of the cleaning object A multi-frequency generation module, characterized in that it is arranged obliquely.
 제 4항에 있어서,
상기 수평결합부는 내부에 유체가 구비되는 구비공간이 형성되는 수평결합 몸체와, 상기 구비공간 상에 구비되는 유체 상의 매질을 포함하는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈.
The method of claim 4,
The horizontal coupling unit, characterized in that it comprises a horizontal coupling body in which a space provided with a fluid is formed therein, and a fluid medium provided on the provided space.
 제 1항 내지 제 5항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 진동전달 플레이트는 복수개의 상기 초음파 모듈 사이에 위치되어 각각의 초음파 모듈에서 상기 진동전달 플레이트로 전달되는 초음파 간의 간섭을 제한하는 간섭 방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈.
The method according to any one of claims 1 to 5,
The vibration transmission plate further comprises an interference prevention unit positioned between the plurality of ultrasonic modules to limit interference between ultrasonic waves transmitted from each ultrasonic module to the vibration transmission plate.
 제 6항에 있어서,
상기 간섭 방지부는 복수개의 상기 초음파 모듈 사이에 형성된 홈인 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈.
The method of claim 6,
The interference preventing unit, characterized in that the groove formed between the plurality of ultrasonic modules, multi-frequency generating module.
 제 1항에 있어서,
상기 진동전달 플레이트는 각각의 상기 초음파 모듈이 개별적으로 지지되는 복수개의 지지부가 모여 이루어지는 지지모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈.
The method of claim 1,
The vibration transmission plate further comprises a support module comprising a plurality of support units individually supported by each of the ultrasonic modules.
 제 8항에 있어서,
각각의 상기 지지부는 결합된 각각의 상기 초음파 모듈의 각도를 조절 가능한 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈.
The method of claim 8,
Each of the support portions, characterized in that the angle of each of the coupled ultrasonic modules can be adjusted, multi-frequency generation module.
 운반되는 세정대상물에 세정액을 도포하는 세정액 도포부;
세정대상물에 도포된 세정액을 사이에 두고 상기 세정대상물과 이격 배치되는 진동전달 플레이트; 상기 진동전달 플레이트로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부;를 포함하며, 상기 초음파 생성부가 상기 세정대상물의 이동 방향으로 복수개의 상기 초음파 모듈이 초음파 주파수에 따라 오름차순 또는 내림차순으로 이격 배치되어, 각각의 초음파 모듈에서 방출되는 서로 다른 주파수의 초음파가 세정대상물에 순차적으로 인가되는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈;
상기 세정대상물의 표면에 린스액를 방출하는 린스부; 및
상기 세정대상물의 표면에 기체를 방출하여 세정대상물의 표면에 위치된 린스액 및 잔여 세정수를 제거하는 건조부;를 포함하며,
상기 다주파 생성 모듈은 상기 세정대상물을 향하여 비스듬한 각도로 초음파를 방출하는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈을 이용한 초음파 세정장치.
A cleaning liquid application unit for applying a cleaning liquid to the transported object;
A vibration transmission plate spaced apart from the object to be cleaned with a cleaning solution applied to the object to be cleaned interposed therebetween; A plurality of ultrasonic modules that generate ultrasonic waves of different frequencies through the vibration transmission plate, and the ultrasonic generator comprises a plurality of ultrasonic modules in ascending order according to the ultrasonic frequency in the moving direction of the cleaning object. Or a multi-frequency generating module, which is spaced apart in descending order, and characterized in that the ultrasonic waves of different frequencies emitted from each ultrasonic module are sequentially applied to the object to be cleaned;
A rinse unit for discharging a rinse liquid on the surface of the object to be cleaned; And
Includes; a drying unit that releases gas on the surface of the object to be cleaned to remove the rinse liquid and residual washing water located on the surface of the object to be cleaned,
The multi-frequency generating module, characterized in that for emitting ultrasonic waves at an oblique angle toward the object to be cleaned, ultrasonic cleaning apparatus using a multi-frequency generating module.
 제 10항에 있어서,
상기 세정액 도포부와, 상기 다주파 생성 모듈과, 상기 린스부와, 상기 건조부는 한 쌍이 상기 세정대상물을 사이에 두고 서로 대향 배치되는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈을 이용한 초음파 세정장치.
The method of claim 10,
An ultrasonic cleaning apparatus using a multi-frequency generating module, characterized in that a pair of the cleaning liquid applying unit, the multi-frequency generating module, the rinsing unit, and the drying unit are disposed to face each other with the object to be cleaned between them.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007229585A (en) * 2006-02-28 2007-09-13 Honda Electronic Co Ltd Ultrasonic vibrator

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100416822B1 (en) * 2001-07-12 2004-02-05 신경구 Synthetic fiber yarn by using the white clay and its manufacturing process
KR20030062144A (en) * 2002-01-16 2003-07-23 삼성전자주식회사 Apparatus for rinsing of semiconductor wafer
JP2010153541A (en) * 2008-12-25 2010-07-08 Siltronic Ag Ultrasonic cleaning device, and ultrasonic cleaning method
KR101186610B1 (en) * 2010-10-19 2012-09-27 주식회사 세미라인 Contactless cleaning apparatus for panel
KR101336996B1 (en) * 2012-02-29 2013-12-04 주식회사 듀라소닉 Ultrasonic washing apparatus for large area panel
KR101599214B1 (en) 2014-07-28 2016-03-15 한국기계연구원 Ultrasonic cleaning apparatus for large area
KR101827296B1 (en) 2016-09-22 2018-02-09 한국기계연구원 Ultrasonic cleaning apparatus for large area

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007229585A (en) * 2006-02-28 2007-09-13 Honda Electronic Co Ltd Ultrasonic vibrator

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