KR102161257B1 - Method of surface treatment for copper materials and their surface treatment liquids - Google Patents

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    • H05K3/382Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal
    • H05K3/383Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal by microetching

Abstract

본 발명은 구리 및 그 합금 소재에서 선택되는 금속 표면과 수지층의 접착 향상을 위한 금속 표면의 에칭에 의한 조도형성 방법으로서, 상기 조도형성은 (a)염화구리, (b)유기산, (c)무기산, (d) 알카리금속할라이드, (e) 벤조트리아졸 및 포름산알카리금속에서 선택되는 어느 하나 이상의 성분 및 (f) 잔량의 물을 포함하는 에칭액으로 처리하여 형성하는 에칭단계를 포함하는 구리계 금속 표면의 조도형성 방법을 제공하는 것이다.The present invention is a method for forming a roughness by etching a metal surface to improve adhesion between a metal surface selected from copper and its alloy material and a resin layer, wherein the roughness formation is (a) copper chloride, (b) organic acid, (c) Inorganic acid, (d) alkali metal halide, (e) any one or more components selected from benzotriazole and alkali metal formate, and (f) a copper-based metal comprising an etching step formed by treatment with an etching solution containing a residual amount of water It is to provide a method of forming surface roughness.

Description

구리 및 그 합금의 표면조도용 에칭공정 및 에칭조성물{Method of surface treatment for copper materials and their surface treatment liquids}[Method of surface treatment for copper materials and their surface treatment liquids]

본 발명은 인쇄회로기판 제조 공정에 있어서 수지층과의 밀착성을 증진시키기 위한 구리층 표면의 화학적인 표면처리 방법 및 그 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a method for chemical surface treatment of a surface of a copper layer and a composition thereof for enhancing adhesion with a resin layer in a printed circuit board manufacturing process.

인쇄회로기판 제조 과정에 있어서 회로 형성을 위한 드라이필름 또는 외층의 솔더레지스트와의 밀착력을 높이기 위해서, 주로 황산, 과수 타입의 에칭 공정을 통해 처리되고 있다. 이러한 황산, 과수 기반의 약품들을 통한 표면 처리방법은 표면의 거칠기가 낮아서 대상 물질과의 밀착력을 극대화 하여 높은 신뢰성의 기판을 생산할 수가 없다.In the process of manufacturing a printed circuit board, in order to increase adhesion to the dry film for forming a circuit or the solder resist of the outer layer, it is mainly processed through an etching process of sulfuric acid and fruit trees. Such a method of surface treatment using sulfuric acid and fruit water-based chemicals has a low surface roughness, so it is impossible to produce a highly reliable substrate by maximizing adhesion to the target material.

황산, 과수 타입의 에칭약품 들은 과산화수소 안정제를 추가로 투입하여 안정적인 에칭율을 관리를 하고 있으며, 부산물인 구리 농도의 양을 일정한 범위에 유지시키면서 연속 생산을 위해서 약품 보충과 배출을 하고 있다Sulfuric acid and fruit water type etching chemicals manage stable etching rate by adding hydrogen peroxide stabilizer, and supplement and discharge chemicals for continuous production while maintaining the amount of copper as a by-product within a certain range.

하지만, 황산, 과산화수소 기반의 에칭은 전처리 공정이 없어 기판의 오염물을 완전히 제거 할 수가 없어서, 기판의 오염 상태에 따라서 기판의 얼룩을 유발한다. 또한, 처리 후에 순수한 Cu상태의 표면 상태가 되어 쉽게 CuO 또는 Cu2O 상태로 산화가 진행된다. 따라서 에칭 이후 다음 공정으로 연속적으로 이루어 져야 함으로 에칭 공정의 독립성이 낮다.However, since sulfuric acid and hydrogen peroxide-based etching does not have a pretreatment process, contaminants on the substrate cannot be completely removed, causing stains on the substrate depending on the contamination state of the substrate. In addition, after the treatment, the surface becomes a pure Cu state, and oxidation proceeds easily to a CuO or Cu 2 O state. Therefore, the independence of the etching process is low because the etching must be performed continuously with the next process.

종래의 황산, 과산화수소 기반의 에칭제는 처리후 표면의 거칠기가 Ra값 기준으로 0.2~0.3um 정도를 지닌다. 그리고 처리후 순수한 구리 표면 상태를 유지하여 구리 이온의 이동에 의해 수지층과의 밀착력을 극대화 하기 어렵다. 반면 본 발명을 통해 표면의 거칠기를 Ra 0.4um이상으로 높여 물리적 결합력을 높이는 것과 아울러, 표면에 유기막 층 형성을 통해서 구리 이온의 이동에 따른 밀착력 저하를 막아서, 수지와의 밀착력을 극대화 하는데 목적이 있다. Conventional sulfuric acid and hydrogen peroxide-based etching agents have a roughness of about 0.2 to 0.3 μm based on the Ra value after treatment. In addition, it is difficult to maximize the adhesion with the resin layer by the movement of copper ions by maintaining the pure copper surface state after treatment. On the other hand, the purpose of the present invention is to increase the physical bonding strength by raising the roughness of the surface to Ra 0.4um or more, and to prevent the decrease in adhesion due to the movement of copper ions through the formation of an organic layer on the surface, thereby maximizing adhesion with the resin. have.

회로 기판은 점차 얇고 미세화 된 회로 제품을 위해 수지층은 낮은 열적 신축 팽창율, 낮은 유전율을 맞추기 위한 물성 개선으로 인해, 구리층과의 밀착성 및 열충격 내구성이 떨어지고 있다. 이를 보완하기 위해서 구리층의 조도 향상 및 표면 처리 개선을 요구하고 있다.Circuit boards are gradually thinner and smaller, and the resin layer has a low thermal expansion/contraction expansion ratio and improved physical properties to meet a low dielectric constant, resulting in poor adhesion to the copper layer and thermal shock durability. In order to compensate for this, it is required to improve the roughness and surface treatment of the copper layer.

또한 각종 전자제품에서 구리재료와 수지의 접합부분이 많이 존재하고, 이들은 열이 가해진 상태에서의 이들 수지를 금속소재 상에 성형할 때 부품 전체를 100-400℃ 고온에 노출할 필요가 있다. 따라서 구리재료와 수지의 접착성이 떨어지면, 구리재료와 수지의 계면에서의 박리가 일어나고 구리재료가 부풀어오름 등을 발생하여 내부의 내식성을 손상시키거나, 경우에 따라서는 수지에 크랙이 생기거나 함으로써 배선 패턴이 파괴된다는 결과를 야기할 수 있다.In addition, there are many joint parts of copper materials and resins in various electronic products, and when these resins are molded onto metal materials in a state where heat is applied, the entire part needs to be exposed to high temperatures of 100-400°C. Therefore, if the adhesion between the copper material and the resin is poor, peeling occurs at the interface between the copper material and the resin, and the copper material swells, thereby impairing the internal corrosion resistance, or in some cases, cracks in the resin. It can lead to the result that the wiring pattern is destroyed.

일반적으로, 금속재료와 수지의 접착성을 향상시키는 데에는, 블라스트 등에 의해 기계적으로 금속기재 표면을 조면화하여, 이른바 앵커를 형성시키는 수법이 예전부터 사용되고 있다.In general, in order to improve the adhesion between a metallic material and a resin, a technique of mechanically roughening the surface of a metallic substrate by blasting or the like to form an anchor has been used for a long time.

일본국 특허공개 제2000-183235호 공보Japanese Patent Publication No. 2000-183235

본 발명의 목적은 종래의 황산, 과산화수소 기반의 에칭액 조성에서 구연되는 문제점을 해결하고, 더욱 높게 요구되는 밀착력을 구연하기 위한 것으로, 금속물질인 구리와 드라이필름 또는 절연 수지층 또는 외층의 솔더레지스트와의 결합력을 증진시키는 공법과 각 공정별 조성물을 제공하는데 목적이 있다. An object of the present invention is to solve the problems cited in the conventional sulfuric acid and hydrogen peroxide-based etching solution composition, and to demonstrate a higher required adhesion, a metal material of copper and a dry film or an insulating resin layer or an outer layer of solder resist and The purpose is to provide a composition for each process and a method of improving the bonding strength of.

기존에는 1단계 또는 2단계의 에칭 공정을 사용한 장점은 있으나, 유기물 기판 오염에 대한 제거 능력 부족과 처리 후 쉽게 산화가 되는 문제가 있다. 이 때문에 본 발명에서는 좀 더 완성도 높은 표면 처리 공정을 제공하여 인쇄 회로 기판 품질을 향상 시키고자 한다.Conventionally, there is an advantage of using the 1st or 2nd step of the etching process, but there is a problem in that it is easily oxidized after treatment and lack of ability to remove organic matter substrate contamination. For this reason, in the present invention, it is intended to improve the quality of the printed circuit board by providing a more complete surface treatment process.

특히 에칭 공정이후 구리 표면의 조도형성을 통한 표면적을 증가시켜서, 높은 사양의 제품에서 요구되는 밀착력을 높이는데 목적이 있다. In particular, the purpose is to increase the adhesion required for products with high specifications by increasing the surface area through roughness formation of the copper surface after the etching process.

본 발명은 수지와의 접착성, 특히 고온 하에서의 접착성이 우수하고, 또한 6가 크롬 등 환경오염의 원인이 되는 물질을 사용하지 않아, 표면을 거의 조화하지 않는 구리재료용 표면처리액, 그것을 사용한 표면처리방법, 구리재료 및 적층부재를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has excellent adhesion to resin, particularly at high temperatures, and does not use substances that cause environmental pollution such as hexavalent chromium. It is an object of the present invention to provide a surface treatment method, a copper material, and a lamination member.

본 발명에 따른 구리계 금속 표면의 조도형성 방법은 구리 및 그 합금 소재에서 선택되는 금속 표면과 수지층의 접착 향상을 위한 금속 표면의 에칭에 의한 조도형성 방법으로서, 상기 조도형성은 (a) 염화구리, (b) 유기산, (c) 무기산, (d) 알카리금속할라이드, (e) 벤조트리아졸 및 포름산알카리금속에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 성분 및 (f) 잔량의 물을 포함하는 에칭액으로 처리하여 형성하는 에칭단계를 포함한다.The method for forming roughness on a copper-based metal surface according to the present invention is a method for forming roughness by etching a metal surface to improve adhesion between a metal surface selected from copper and its alloy material and a resin layer, wherein the roughness formation is (a) chlorinated Copper, (b) organic acid, (c) inorganic acid, (d) alkali metal halide, (e) any one or more components selected from benzotriazole and alkali metal formate, and (f) the remaining amount of water. It includes an etching step formed by processing.

본 발명의 일 예에 따른 상기 에칭단계 전에 프리에칭단계를 더 포함하며, 상기 프리에칭단계는 유기과산화물과 무기산 및 잔량의 물을 포함하는 프리에칭액과 접촉하는 것일 수 있다.A pre-etching step may be further included before the etching step according to an exemplary embodiment of the present invention, and the pre-etching step may be in contact with a pre-etching solution including an organic peroxide, an inorganic acid, and a residual amount of water.

본 발명의 일 예에 따른 상기 방법은 에칭단계 후에 후에칭단계를 더 포함하며, 상기 후에칭단계는 알카리금속염을 포함하는 후처리에칭액과 접촉시켜 형성하는 것일 수 있다.The method according to an exemplary embodiment of the present invention further includes a post-etching step after the etching step, and the post-etching step may be formed by contacting a post-treatment etching solution containing an alkali metal salt.

본 발명의 일 예에 따른 상기 방법은 에칭단계 후에 후에칭단계를 더 포함하며, 상기 후에칭단계는 염소계염을 포함하는 후처리에칭액과 접촉시켜 형성하는 것일 수 있다.The method according to an embodiment of the present invention may further include a post-etching step after the etching step, and the post-etching step may be formed by contacting a post-treatment etching solution containing a chlorine-based salt.

본 발명의 일 예에 따른 상기 프리에칭액은 염산, 폴리에틸렌이민, 에틸렌디아민에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 화합물을 더 포함하는 것일 수 있다.The pre-etching solution according to an embodiment of the present invention may further include any one or two or more compounds selected from hydrochloric acid, polyethyleneimine, and ethylenediamine.

본 발명의 일 예에 따른 상기 방법은 후에칭처리액은 글리콜산 및 모노알칸올아민에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 성분을 더 포함하는 것일 수 있다.In the method according to an example of the present invention, the post-etching treatment liquid may further include any one or two or more components selected from glycolic acid and monoalkanolamine.

본 발명의 에칭액 및 후에칭액으로 처리된 구리재료의 표면은 조밀하며 표면적이 더욱 증가된 조밀한 조도를 가지는 표면이 제조되어 수지층과 접착 시 접착력이 더욱 증가되는 효과를 가진다.The surface of the copper material treated with the etching solution and the post-measurement solution of the present invention is dense, and a surface having a dense roughness with an increased surface area is produced, so that adhesion strength is further increased when adhering to the resin layer.

특허 구리에칭면의 조도의 조밀도가 증가하고, 표면적이 매우 상승하여 수지층과 접착 시 접착면이 더욱 증가되어 접착강도가 현저히 상승하는 장점을 가진다.Patented copper etched surface has the advantage of increasing the roughness density and the surface area very high, so that the adhesive surface is further increased when bonding with the resin layer, and the bonding strength is remarkably increased.

또한 에칭율이 동일시간에서 향상되고, 거칠기도 증가되며, 조도의 밀도도 증가되고 접착력이 현저히 증가되는 효과를 가진다. 특히 고온하에서의 접착성이 우수한 효과를 가진다.In addition, the etching rate is improved at the same time, the roughness is increased, the density of the roughness is also increased, and the adhesion is remarkably increased. In particular, it has an excellent effect of adhesion under high temperature.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 실시예 2의 에칭조성물로 에칭한 구리판의 에칭면을 주사전자현미경의 관찰한 사진이다.
도 2는 본 발명의 일 비교실시예에 따른 일반 황산, 과산화수소로 이루어진 비교예 2의 에칭조성물로 에칭한 구리판의 에칭면을 주사전자현미경의 관찰한 사진이다.
FIG. 1 is a photograph of an etching surface of a copper plate etched with the etching composition of Example 2 according to an exemplary embodiment of the present invention observed by a scanning electron microscope.
FIG. 2 is a photograph of an etching surface of a copper plate etched with the etching composition of Comparative Example 2 made of general sulfuric acid and hydrogen peroxide according to a comparative example of the present invention, as observed with a scanning electron microscope.

이하 실시예를 통해 본 발명에 따른 구리 및 그 합금의 표면조도용 에칭공정 및 에칭조성물에 대하여 더욱 상세히 설명한다. 다만 하기 실시예는 본 발명을 상세히 설명하기 위한 참조일 뿐 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니며, 여러 형태로 구현 될 수 있다.Hereinafter, the etching process and etching composition for surface roughness of copper and its alloy according to the present invention will be described in more detail through examples. However, the following examples are only a reference for describing the present invention in detail, and the present invention is not limited thereto, and may be implemented in various forms.

또한 달리 정의되지 않는 한, 모든 기술적 용어 및 과학적 용어는 본 발명이 속하는 당업자 중 하나에 의해 일반적으로 이해되는 의미와 동일한 의미를 갖는다. 본원에서 설명에 사용되는 용어는 단지 특정 실시예를 효과적으로 기술하기 위함이고, 본 발명을 제한하는 것으로 의도되지 않는다.In addition, unless otherwise defined, all technical and scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. The terms used in the description herein are merely for effectively describing specific embodiments, and are not intended to limit the invention.

본 발명을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The present invention will be described in detail as follows.

본 발명자들은 상기 목적을 달성하기 위해 예의 검토한 결과, (a) 염화구리, (b) 유기산, (c) 무기산, (d) 알카리금속할라이드, (e) 벤조트리아졸 및 포름산알카리금속에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 성분 및 (f) 잔량의 물을 포함하는 에칭조성물을 구리재료용 표면처리액을 사용함으로써, 구리재료와 수지의 접착성이 우수하며, 고온에서의 접착성이 더욱 증가되는 것을 발견하여 본 발명을 완성하였다. The inventors of the present invention intensively studied to achieve the above object, as a result of (a) copper chloride, (b) organic acid, (c) inorganic acid, (d) alkali metal halide, (e) benzotriazole and alkali metal formate selected from By using a surface treatment solution for copper materials with an etching composition containing any one or more components and (f) the remaining amount of water, the adhesion between the copper material and the resin is excellent, and the adhesion at high temperatures is further increased. Found and completed the present invention.

본 발명의 일 양태로서 As an aspect of the present invention

(a) 염화구리 0.1 내지 5중량%, (b) 유기산 0.1 내지 3중량%, (c) 무기산 0.01 내지 1중량% (d) 알카리금속할라이드 0.01 내지 2 중량%, (e) 벤조트리아졸 및 포름산알카리금속에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 성분 0.001 내지 0.2중량% 및 (f) 잔량의 물을 포함하는 에칭액으로 구리의 표면을 처리하는 경우, 수지와의 고온 접착성이 더욱 우수한 효과를 가진다.(a) 0.1 to 5% by weight of copper chloride, (b) 0.1 to 3% by weight of organic acid, (c) 0.01 to 1% by weight of inorganic acid (d) 0.01 to 2% by weight of alkali metal halide, (e) benzotriazole and formic acid When the surface of copper is treated with an etching solution containing 0.001 to 0.2% by weight of any one or two or more components selected from alkali metals and (f) the remaining amount of water, the high-temperature adhesion to the resin is more excellent.

또한 본 발명에서는 구리를 상기 에칭액으로 처리하기 전에 프리에칭단계를 더 거치는 것이 표면의 에칭에 의한 조도를 증가시킬 수 있어서 더욱 좋다. In addition, in the present invention, it is more preferable to further undergo a pre-etching step before treating copper with the etching solution because it is possible to increase the roughness due to etching of the surface.

본 발명의 처리액에 의한 표면처리로 조도를 증가시키는 대상은 구리재료라면 특별히 한정하지 않는다.The object for increasing the roughness by surface treatment with the treatment liquid of the present invention is not particularly limited as long as it is a copper material.

예를 들면 순동이나 구리합금을 예로들 수 있으며, 순동은 예를 들면 무산소 구리 등을 들 수 있으며, 구리합금으로는 구리를 50 중량% 이상 함유하는 것이라면 특별히 한정하지 않는다, 예를 들면, 아연을 함유하는 황동이나 기타 Zn, P, Al, Fe 및 Ni 등에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 금속을 함유하는 합금을 예로 들 수 있다. For example, pure copper or a copper alloy may be exemplified, and pure copper may include, for example, oxygen-free copper, and the copper alloy is not particularly limited as long as it contains 50% by weight or more of copper. For example, zinc Examples thereof include brass or other alloys containing one or two or more metals selected from Zn, P, Al, Fe, and Ni.

구리재료는 형상, 구조 등에 특별히 한정되지 않는다. 형상은, 예를 들면 판, 시트, 필름, 봉상 등을 들 수 있다.The copper material is not particularly limited in shape or structure. As for the shape, a plate, a sheet, a film, a rod shape, etc. are mentioned, for example.

본 발명에서 프리에칭단계는 유기과산화물과 무기산을 포함하는 프리에칭액으로 처리하는 것이 좋다. In the present invention, the pre-etching step is preferably treated with a pre-etching solution containing an organic peroxide and an inorganic acid.

본 발명의 프리에칭액의 조성의 일 예를 들면, 좋게는 황산 1 내지 30중량%, 과산화수소 0.1 내지 10중량% 및 잔량의 물성분을 포함하는 프리에칭액을 사용하는 것이 좋다. As an example of the composition of the pre-etching liquid of the present invention, it is preferable to use a pre-etching liquid containing 1 to 30% by weight of sulfuric acid, 0.1 to 10% by weight of hydrogen peroxide, and the balance of water.

본 발명에서 상기 프리에칭액은 또한 염산, 폴리에틸렌이민, 에틸렌디아민에서 선택되는 1종이상의 화합물을 0.01 내지 1중량% 더 포함하면, 프리에칭액에 의한 구리계 금속의 표면의 프리에칭액에 의한 에칭과 본 에칭액에 의한 에칭이 결합되어 더욱 우수한 표면 조도가 발생하고, 수지들과 접착성이 더욱 증가된다. 본 발명에서 특별히 제한하지 않지만 좋게는. 프리에칭 시 에칭율은 0.1㎛ 이하로 제한하는 것이 더욱 좋다. In the present invention, if the pre-etching solution further contains 0.01 to 1% by weight of one or more compounds selected from hydrochloric acid, polyethyleneimine, and ethylenediamine, etching by pre-etching solution on the surface of copper-based metal by pre-etching solution and the main etching solution Etching by is combined to generate more excellent surface roughness, and the adhesion to resins is further increased. It is not particularly limited in the present invention, but preferably. It is better to limit the etching rate to 0.1 μm or less during pre-etching.

본 발명에서 상기 에칭액에 의한 구리계 금속의 표면을 에칭한 후, 후에칭액에 의한 추가적 에칭을 수행하는 것이 표면의 조도를 유지하고 수지층과의 접착성을 더욱 개선할 수 있어서 선호된다.In the present invention, after etching the surface of the copper-based metal with the etching solution, performing additional etching with a later etching solution is preferred because the surface roughness can be maintained and the adhesion with the resin layer can be further improved.

본 발명에서 후에칭의 처리를 위한 후에칭액은 1종이상의 염화나트륨 및 염화암모늄염 등에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 염소계염을 포함하는 후에칭액을 이용하여 처리한다. 상기 후에칭액을 이용하여 처리하는 경우, 상기 에칭액에 의한 에칭표면에 존재하는 에칭액의 성분이나 그로부터 생성되는 불순물들은 용해 제거하는 장점을 가져 구리금속 에칭면에서 탈리되는 성분들이 없도록 하는 장점이 있다.In the present invention, the post-tempering solution for post-ching treatment is treated using a post-tempering liquid containing one or two or more chlorine-based salts selected from at least one sodium chloride and ammonium chloride salt. When the treatment is performed using the after-treatment liquid, components of the etchant present on the etching surface by the etchant and impurities generated therefrom are dissolved and removed, and thus there is an advantage in that there are no components desorbed from the copper metal etching surface.

본 발명에서 상기 후처리액에서 염소계염의 함량은 1 내지 20중량%를 포함하는 수용액으로 하는 경우 본 발명에서 달성하고자 하는 효과를 달성할 수 있다.In the present invention, when the content of the chlorine-based salt in the post-treatment solution is an aqueous solution containing 1 to 20% by weight, the effect to be achieved in the present invention can be achieved.

또한 상기 후처리액에 전체 후에칭액에 대하여 글리콜산 및 모노알칸올아민에서 선택되는 어느 하나 이상의 성분을 더 포함하는 경우, 접착력이나 에칭율에서 장점 보다는 표면의 이물의 제거가 완벽히 이루어져 향후 수지층과 접합되었을 때, 수지층의 표면으로 돌기가 형성되지 않는 우수한 장점을 가진다. 후처리액에서 상기 성분을 추가할 경우 그 함량은 특별히 제한하지 않지만, 예를 들면 글리콜산 0.001 내지 1중량% 및 모노알칸올아민 0.01 내지 1중량%를 더 첨가하는 것이 에칭된 표면의 이물질을 용해하여 제거하는 효과가 더욱 증가되므로, 표면에 이물이 잔존하는 현상을 완전히 제거할 수 있어서 더욱 좋다.In addition, when the post-treatment solution further includes any one or more components selected from glycolic acid and monoalkanolamine with respect to the entire post-treatment solution, the foreign matter on the surface is completely removed rather than the advantage in adhesion or etching rate. When bonded, it has an excellent advantage that projections are not formed on the surface of the resin layer. When the above components are added in the post-treatment solution, the content is not particularly limited, but for example, adding 0.001 to 1% by weight of glycolic acid and 0.01 to 1% by weight of monoalkanolamine dissolves foreign substances on the etched surface. As the removal effect is further increased, the phenomenon that foreign matters remain on the surface can be completely removed, which is even better.

본 발명에서는 상기 에칭액 또는 후에칭액을 처리한 후, 방청처리하는 것도 본 발명의 하나의 양태로 포함한다.In the present invention, after treating the etching solution or the later etching solution, the rust prevention treatment is also included as an aspect of the present invention.

본 발명에서 방청처리는 톨일트리아졸(Toyltriazole)을 0.1 내지 5중량% 포함하고 잔량이 물인 방청조성물일 수 있다. 또한 방청조성물은 알카리수산화물과 모노에탄올아민을 더 포함할 수 있다. 알카리 수산화물로는 소듐수산화물, 칼륨수산화물 및 리튬수산화물 등을 예로들 수 있으며, 그 함량은 알카리수산화물은 0.01 내지 2중량%, 모노에탄올아민 0.01 내지 2중량%,를 사용하는 것이 방청효과를 더욱 증진시킬 수 있어서 좋고 또한 수지층과 접착성을 더욱 증대시킬 수 있어서 좋다.In the present invention, the rust prevention treatment may be a rust prevention composition containing 0.1 to 5% by weight of toyltriazole and the balance being water. In addition, the anti-rust composition may further include an alkali hydroxide and monoethanolamine. Examples of the alkali hydroxide include sodium hydroxide, potassium hydroxide, and lithium hydroxide, and the content of the alkali hydroxide is 0.01 to 2% by weight, monoethanolamine 0.01 to 2% by weight, which further enhances the rust prevention effect. It is good to be able to be able to, and to further increase the adhesiveness to the resin layer.

다음 본 발명의 에칭 및 처리시간에 대하여 살핀다.Next, look at the etching and processing time of the present invention.

본 발명은 구리 표면에 본 발명의 에칭액과 접촉시켜 에칭한 후, 수세함으로써 본 발명을 완성할 수 있다.The present invention can complete the present invention by washing with water after etching the copper surface by contacting the etching solution of the present invention.

또한 본 발명은 프리에칭액에 침지하고, 수세하고, 에칭액에 침지하고, 수세함으로서 본 발명을 완성할 수 있다.Further, the present invention can complete the present invention by immersing in a pre-etching solution, washing with water, immersing in an etching solution, and washing with water.

또한 본 발명은 에칭액에 접촉하고 수세하고 후에칭액에 접촉하고 수세함으로써 본 발명을 완성할 수 있다.Further, the present invention can complete the present invention by contacting the etching solution and washing with water, and then contacting the etching solution and washing with water.

또한 본 발명은 프리에칭액으로 처리하고, 수세하고, 에칭액으로 처리하고 수세하고, 후처리액으로 접촉하고 수세함으로써 본 발명을 완성할 수 있다.In addition, the present invention can complete the present invention by treating with a pre-etching liquid, washing with water, treating with an etching liquid, washing with water, contacting with a post-treatment liquid, and washing with water.

또한 본 발명은 상기 제조공정의 마지막 단계에서 방청액 처리를 하고 수세하고 건조함으로서 본 발명을 완성할 수 있다.In addition, the present invention can complete the present invention by treating the rust preventive solution at the last stage of the manufacturing process, washing with water, and drying.

또한 본 발명은 상기의 각단계 수세후 건조단계를 더 둘 수도 있다.In addition, the present invention may further include a drying step after washing with water in each step.

본 발명 처리액의 사용조건은 특별히 한정되지 않는데 예를 들면, 에칭액의 경우, 처리온도는 10 내지 60℃, 좋게는 20 내지 30℃의 상온에서 처리하며, 시간은 비제한적으로 예를 들면 10초 내지 10분, 좋게는 30초 내지 3분의 범위에서 침지하여 표면을 에칭한다.The conditions of use of the treatment solution of the present invention are not particularly limited. For example, in the case of the etching solution, the treatment temperature is 10 to 60°C, preferably at room temperature of 20 to 30°C, and the time is, but not limited to, 10 seconds. The surface is etched by immersion in the range of from 10 minutes to 10 minutes, preferably from 30 seconds to 3 minutes.

프리에칭액의 처리는 상기 에칭액과 동일한 범주의 온도에서 10초 내지 1분 처리하여 표면을 미세하게 에칭하는 것이 좋은데, 이러한 처리를 통하여 본 에칭액에 의한 에칭의 속도를 빠르게 하고, 또한 에칭의 깊이와 밀도를 현저히 상승하므로 더욱 좋다. 이는 오염물 제거에 목적을 두고 있기 때문이다.The pre-etching solution is preferably treated for 10 seconds to 1 minute at a temperature in the same range as the etching solution to finely etch the surface.Through this treatment, the etching rate by this etching solution is accelerated, and the depth and density of the etching. It is even better because it rises significantly. This is because the purpose is to remove contaminants.

본 발명의 후에칭은 또한 상기 에칭액과 동일한 범주의 온도에서 10초 내지 1분 처리하여 표면의 탈리되지 않고 남아 있는 금속성분들을 에칭하여 표면을 정리하는 역할을 하는 것이며, 표면의 구조가 더욱 치밀해지고 고온 노출 시에 표면의 뭉그러짐이 없어 좋다. 또한 상기 에칭액의 잔존물을 제거하는 역할을 하게 된다, 따라서 본 후에칭을 처리하는 것에 의해 탈리되는 입자들을 없게하고 표면을 정리하여 주므로, 더욱 접착력 향상시키는 효과를 가진다.The post-etching of the present invention also serves to clean up the surface by etching the remaining metal components without being desorbed by treating the surface for 10 seconds to 1 minute at a temperature in the same range as the etching solution, and the structure of the surface becomes more dense. It is good that there is no surface crushing when exposed to high temperature. In addition, it plays a role of removing the residuals of the etching solution. Therefore, by performing this post-ching treatment, particles that are desorbed are eliminated and the surface is arranged, so that the adhesion is further improved.

방청처리는 특별히 제한하지 않지만 10~60℃에서 10초 내지 1분간 처리함으로써 공기 중의 산소에 의한 녹방지를 할 수 있어서 장기 사용 시 보관에 따른 표면의 화학적 성질의 변화를 억제하는 효과를 가진다. The rust prevention treatment is not particularly limited, but it is possible to prevent rust caused by oxygen in the air by treating it at 10 to 60°C for 10 seconds to 1 minute, so it has the effect of suppressing changes in the chemical properties of the surface due to storage during long-term use.

본 발명에 의해 에칭율은 0.5㎛/min, 거칠기는 0.21(Ra)이상 좋게는 0.4(Ra)이고, 밀착력은 0.3 kgf/㎝, 좋게는 0.5, 더욱 좋게는 0.6kgf/㎝이상의 접착력의 상승을 얻을 수 있다. 상기 물성은 하기 방법으로 측정하여 얻었다.According to the present invention, the etching rate is 0.5 μm/min, the roughness is 0.21 (Ra) or more, preferably 0.4 (Ra), and the adhesion is 0.3 kgf/cm, preferably 0.5, and more preferably 0.6 kgf/cm or more. Can be obtained. The physical properties were measured and obtained by the following method.

본 발명의 애칭액 및 후애칭액으로 처리된 구리재료의 표면은 조밀하며 표면적이 더욱 증가된 조밀한 조도를 가지는 표면이 제조되어 수지층과 접착 시 접착력이 더욱 증가되는 효과를 가진다.The surface of the copper material treated with the nicking liquid and the post nicking liquid of the present invention is dense, and a surface having a dense roughness with an increased surface area is produced, so that adhesion is further increased when adhering to the resin layer.

특허 구리에칭면의 조도의 조밀도가 증가하고, 표면적이 매우 상승하여 수지층과 접착 시 접착면이 더욱 증가되어 접착강도가 현저히 상승하는 장점을 가진다.Patented copper etched surface has the advantage of increasing the roughness density and the surface area very high, so that the adhesive surface is further increased when bonding with the resin layer, and the bonding strength is remarkably increased.

또한 애칭율이 동일시간에서 향상되고, 거칠기도 증가되며, 조도의 밀도도 증가되고 접착력이 현저히 증가되는 효과를 가진다. 특히 고온하에서의 접착성이 우수한 효과를 가진다.Also, the nicking rate is improved at the same time, the roughness is increased, the roughness density is also increased, and the adhesion is remarkably increased. In particular, it has an excellent effect of adhesion under high temperature.

본 발명의 처리방법은, 구리재료를, 전술한 본 발명의 처리액을 접촉시키는 처리공정을 구비한다. 본 발명의 처리액에 접촉시키는 방법은 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 딥핑, 스프레이, 플로우 등의 다양한 공지의 처리방법을 사용할 수 있으며 이에 한정하지 않는다. The treatment method of the present invention includes a treatment step of bringing a copper material into contact with the treatment liquid of the present invention described above. The method of contacting the treatment liquid of the present invention is not particularly limited, and various known treatment methods such as dipping, spraying, and flow may be used, but are not limited thereto.

또한, 딥핑하는 경우, 처리액 조(槽) 내의 교반의 유무를 특별히 한정하지 않으며, 플로우코팅의 경우 충분히 젖을 수 있다면 플러우량을 특별히 한정하지 않고, 스프레이처리에 있어서 스프레이 압, 스프레이 노즐의 종류 등은 특별히 한정되지 않는다.In addition, in the case of dipping, the presence or absence of agitation in the treatment liquid bath is not particularly limited, and in the case of flow coating, the amount of flush is not particularly limited as long as it is sufficiently wet, and the spray pressure in the spray treatment, the type of spray nozzle, etc. Is not particularly limited.

이하에 실시예를 나타내어 본 발명을 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니며 실시예 및 비교예에서 얻어지는 물성은 하기 방법으로 측정하였다.The present invention will be described in detail by showing examples below. However, the present invention is not limited to these, and the physical properties obtained in Examples and Comparative Examples were measured by the following method.

에칭율의 측정Measurement of etch rate

본 발명에서 에칭율은 CCL(Copper clad laminate, EM-285)을 사용하여 본 발명에 의해 처리한 다음 무게 변화를 통해 두께로 환산하였다.In the present invention, the etching rate was processed by the present invention using CCL (Copper clad laminate, EM-285), and then converted into thickness through weight change.

접착강도의 측정Measurement of adhesive strength

또한 본 발명에서 접착강도에 대한 측정은 1 ounce 두께의 동박(Copper foil, 일진소재)을 본 발명 수단으로 처리를 한 다음, 프리프레그 (DS-7402, hi-Tg) 수지와 적층하여 프레스를 통해 190℃에서 2시간 동안 30kg 압력으로 유지하여 열경화로 성형하였다. 적층 성형 이후에 동박층을 1cm 폭으로 90˚ 각도로 벗겨 내면서 밀착력(Peel strength)을 측정하였으며, 측정 장비는 UTM(Universal testing machine)을 사용하였다.In addition, the measurement of the adhesive strength in the present invention is a copper foil (Copper foil, Iljin Material) of 1 ounce thickness is treated by the means of the present invention, and then laminated with a prepreg (DS-7402, hi-Tg) resin and then pressed. It was molded by thermosetting by holding at a pressure of 30 kg at 190° C. for 2 hours. After lamination molding, the copper foil layer was peeled off at an angle of 90° in a width of 1 cm, and the peel strength was measured, and a UTM (Universal Testing Machine) was used as a measuring equipment.

거칠기(Ra) 측정Roughness (Ra) measurement

실시예에서 거칠기 측정은 촉침식 표면 거칠기 측정기 (Taylor & Hobson사)를 사용하였고 표면 조도는 Ra (Center line average, Roughness average) 중심선 평균값을 평가 지표로 사용하였다.In the examples, a stylus type surface roughness meter (Taylor & Hobson) was used for roughness measurement, and a center line average (Ra (Center line average, Roughness average)) was used as an evaluation index for surface roughness.

[실시예][Example]

하기 표 1의 조성물을 이용한 프리에칭액, 에칭액, 후에칭액 및 방청액처리를 실시한 후 상기에 기재된 물성측정방법에 의해 물성을 측정하였다.After performing the pre-etching solution, etching solution, post-etching solution, and rust prevention solution treatment using the composition of Table 1 below, the physical properties were measured by the physical property measurement method described above.

소재는 CCL(Copper clad laminate, EM-285)과, 36 ㎛ 두께의 동박(일진소재)을 사용하였다. 각 처리액의 조성은 표 1과 같으며, 각 처리액의 처리조건은 프리에칭액은 25℃, 30초간 침지, 에칭액은 25℃, 1분간 침지, 후에칭액은 25℃, 30초간 침지, 방청액은 25℃, 30초간 침지하였다. As the material, CCL (Copper clad laminate, EM-285) and 36 μm-thick copper foil (Iljin Material) were used. The composition of each treatment solution is shown in Table 1, and the treatment conditions of each treatment solution are 25°C for pre-etching solution, immersion for 30 seconds, 25°C for etching solution, immersion for 1 minute, 25°C for post-etching solution, immersion for 30 seconds, and rust prevention solution. Was immersed at 25°C for 30 seconds.

상기에서 실시예 들에 의해 얻어진 피막 부착 구리의 특성은 표 1에 수록하였다.The properties of the coated copper obtained by the examples above are listed in Table 1.

하기 표 1의 실시예 1 내지 8에서 알 수 있듯이 본 발명의 프리에칭, 에칭, 후에칭 및 방청처리를 모두 수행하는 경우, 에칭율에서 0.4㎛/min이상, 거칠기가 0.4㎛이상 및 밀착력에서 0.6 kgf/cm이상의 우수한 특성을 가지는 것임을 알 수 있다.As can be seen from Examples 1 to 8 of Table 1 below, in the case of performing all of the pre-etching, etching, post-etching and rust prevention treatment of the present invention, the etching rate was 0.4 µm/min or more, the roughness was 0.4 µm or more, and the adhesion was 0.6 It can be seen that it has excellent properties of more than kgf/cm.

또한 실시예 9에서 알 수 있듯이, 본 발명에서 프리에칭을 하지 않은 경우에 다소 낮은 에칭율과 거칠기 및 밀착력을 가지는 것을 알 수 있으나, 이 또한 본 발명이 일 양태에 속하는 것이다.In addition, as can be seen from Example 9, it can be seen that the present invention has a rather low etching rate, roughness, and adhesion when pre-etching is not performed, but this also belongs to an aspect of the present invention.

또한 프리에칭을 하더라고 아민성분을 추가하지 않은 경우에 전체적으로 에칭율과, 거칠기 및 밀착력이 다소 열세로 나타나고 있지만, 종래기술에 비하여 현저하기 증가함을 알 수 있다.In addition, it can be seen that the overall etching rate, roughness, and adhesion are somewhat inferior to the case where the amine component is not added even after pre-etching, but it can be seen that it is significantly increased compared to the prior art.

또한 도 1에는 본 발명의 실시예 2의 구리판의 에칭면을 나타내고 있는데, 매우 조밀하고 밀도가 높은 조도를 나타내고 있어서 본 발명의 수지와의 밀착력 등이 우수한 특성을 나타내고 있다.In addition, Fig. 1 shows the etched surface of the copper plate of Example 2 of the present invention, showing very dense and high-density roughness, showing excellent properties such as adhesion to the resin of the present invention.

[비교예][Comparative Example]

비교예로서, 종래의 황산(10중량%) 및 과산화수소(3중량%)를 이용하여 에칭을 25℃에서 1분간 실시하고, 이어서 후에칭을 하지 않은 경우(비교예 1)로 황산(비교예 2) 및 염산(비교예 3)으로 한 경우, 비교예 1에서 에칭율은 1.02㎛/ min 거칠기(Ra)는 0.21㎛로 매우 낮고, 또한 밀착력에서도 0.18 kgf/㎝로 매우 낮은 값을 나타내고 있으며, 비교예 2에서는 에칭율 1.05㎛/min, 거칠기 0.23㎛ 및 밀착력 0.21 kgf/㎝로 거의 같은 범주로 열세적 효과를 나타내고 있으며, 또한 비교예 3에서도 1.05㎛/min, 0.23㎛ 및 밀착력이 0.25 kgf/㎝매우 열악한 효과를 나타내고 있어서 본 발명의 우수함으로 나타내고 있다.As a comparative example, when etching was performed at 25° C. for 1 minute using conventional sulfuric acid (10% by weight) and hydrogen peroxide (3% by weight), followed by no post-etching (Comparative Example 1), sulfuric acid (Comparative Example 2) ) And hydrochloric acid (Comparative Example 3), the etching rate in Comparative Example 1 was 1.02 μm/min, the roughness (Ra) was very low as 0.21 μm, and the adhesion was very low as 0.18 kgf/cm. In Example 2, the etching rate was 1.05 µm/min, roughness 0.23 µm, and adhesion 0.21 kgf/cm, showing a heat-cleaning effect in almost the same category, and also in Comparative Example 3, 1.05 µm/min, 0.23 µm and adhesion were 0.25 kgf/cm It shows a very poor effect, and thus is shown as the excellence of the present invention.

비교예 2에 대하여 도 2에서는 에칭된 구리판의 표면의 구조를 나타내는데, 조도의 밀도가 낮고 또한 크게 형성되어 있으며, 표면에 미세 입자들이 붙어 있는 등 표면 상태가 불량이고 또한 표면적이 열세임을 잘 나타내고 있다.With respect to Comparative Example 2, FIG. 2 shows the structure of the surface of the etched copper plate, which shows that the density of the roughness is low and is formed large, and the surface condition is poor and the surface area is poor, such as fine particles attached to the surface. .

하기 표 1에서 사용된 용어의 물질은 하기와 같다.The substances of the terms used in Table 1 are as follows.

- PI : 폴리에틸렌 이민(Polyethylene imine)-PI: Polyethylene imine

- EDA : 에틸렌 디아민(Ethylene diamine)-EDA: Ethylene diamine

- BTA : 벤조트리아졸(Benzotriazole)-BTA: Benzotriazole

- MEA : 모노에탄올아민(Monoethanolamine)-MEA: Monoethanolamine

- TA : 톨일트리아졸(Tolytriazole)-TA: Tolytriazole

Figure 112018113068563-pat00001
Figure 112018113068563-pat00001

이상에서 설명된 본 발명은 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.The present invention described above is merely exemplary, and those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs will appreciate that various modifications and other equivalent embodiments are possible. Therefore, it will be appreciated that the present invention is not limited to the form mentioned in the detailed description above. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention is limited to the described embodiments and should not be defined, and all things that are equivalent or equivalent to the claims as well as the claims to be described later fall within the scope of the spirit of the present invention. .

Claims (6)

구리 및 그 합금 소재에서 선택되는 금속 표면과 수지층의 접착 향상을 위한 금속 표면의 에칭에 의한 조도형성 방법으로서,
(S1)프리에칭 단계; (S2)조도형성 단계;
(S3)후에칭 단계; 및 (S4)방청 단계를 포함하며,
상기 프리에칭은 유기과산화물과 무기산 및 잔량의 물을 포함하는 프리에칭액과 접촉하는 것을 포함하며;
상기 조도형성은 (a)염화구리, (b)유기산, (c)무기산, (d) 알카리금속할라이드, (e) 벤조트리아졸 및 포름산알카리금속에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 성분 및 (f) 잔량의 물을 포함하는 에칭액으로 처리하여 형성하는 에칭단계를 포함하며;
상기 후에칭은 알카리금속염을 포함하는 후처리에칭액과 접촉시켜 형성하는 것인 구리계 금속 표면의 조도형성 방법.
As a method of forming roughness by etching a metal surface to improve adhesion between a metal surface selected from copper and its alloy material and a resin layer,
(S1) pre-etching step; (S2) roughness forming step;
(S3) post-etching step; And (S4) a rust prevention step,
The pre-etching includes contacting a pre-etching solution containing an organic peroxide, an inorganic acid, and a residual amount of water;
The roughness formation is any one or two or more components selected from (a) copper chloride, (b) organic acid, (c) inorganic acid, (d) alkali metal halide, (e) benzotriazole and alkali metal formate, and (f) And an etching step of forming by treating with an etching solution containing a residual amount of water;
The post-etching is a method for forming a surface roughness of a copper-based metal by contacting a post-treatment etching solution containing an alkali metal salt.
삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 방법은 에칭단계 후에 후에칭단계를 더 포함하며, 상기 후에칭단계는 염소계염을 포함하는 후처리에칭액과 접촉시켜 형성하는 것인 구리계 금속 표면의 조도형성 방법.
The method of claim 1,
The method further includes a post-etching step after the etching step, wherein the post-etching step is formed by contacting a post-treatment etching solution containing a chlorine-based salt to form a surface roughness of a copper-based metal.
제 1항에 있어서,
상기 프리에칭액은 염산, 폴리에틸렌이민, 에틸렌디아민에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 화합물을 더 포함하는 것인 구리계 금속 표면의 조도형성 방법.
The method of claim 1,
The pre-etching solution further comprises any one or two or more compounds selected from hydrochloric acid, polyethyleneimine, and ethylenediamine.
제 4항에 있어서,
상기 방법은 후에칭처리액은 글리콜산 및 모노알칸올아민에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 성분을 더 포함하는 것인 구리계 금속 표면의 조도형성 방법.
The method of claim 4,
The method is a method for forming a roughness of a copper-based metal surface, wherein the post-etching treatment liquid further comprises any one or two or more components selected from glycolic acid and monoalkanolamine.
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