KR102154286B1

KR102154286B1 - Laser imaging apparatus

Info

Publication number: KR102154286B1
Application number: KR1020190037318A
Authority: KR
Inventors: 신동혁; 위창현; 김기환; 정덕
Original assignee: 애니모션텍 주식회사
Priority date: 2019-03-29
Filing date: 2019-03-29
Publication date: 2020-09-09

Abstract

The present invention relates to a laser imaging device, and more specifically, to a laser imaging device having improved working precision by correcting an imaging path of a laser beam. The laser imaging device comprises: a laser output part; a polygon mirror; a light guide part; a stage; an imaging part; a beam profiler; and a control module.

Description

Laser imaging device {LASER IMAGING APPARATUS}

본 발명은 레이저 이미징 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레이저 빔의 결상 경로를 보정하여 작업 정밀도가 향상된 레이저 이미징 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a laser imaging apparatus, and more particularly, to a laser imaging apparatus with improved working precision by correcting an imaging path of a laser beam.

현재 레이저 다이렉트 이미징 기술과 관련된 다양한 기술이 제공되고 있다. 일 예로, 레이저 다이렉트 패터닝 기술에 관한 것으로, 레이저를 출력하는 레이저 광원과, 출력된 레이저를 주사(scanning)하는 수단으로서 등속 회전하며 레이저를 반사시키는 폴리곤 미러와, 폴리곤 미러로부터 반사되는 레이저를 스테이지에 결상시키는 에프세타 렌즈를 포함하여 구성되는 레이저 다이렉트 이미징 기술이 있다.Currently, various technologies related to laser direct imaging technology are provided. As an example, it relates to a laser direct patterning technology, wherein a laser light source that outputs a laser, a polygon mirror that rotates at a constant speed and reflects the laser as a means of scanning the output laser, and a laser reflected from the polygon mirror are placed on a stage. There is a laser direct imaging technology that includes an ftheta lens for imaging.

종래 기술에 따른 레이저 다이렉트 이미징 장치는 폴리곤 스캐너의 회전에 따라 레이저를 횡방향으로 스캐닝하는 동시에, 기 정의된 패턴 이미지에 대응되도록 레이저의 출력을 제어하고, 하나의 라인에 대한 스캐닝 과정에 완료되면 스테이지를 이동시키는 과정을 반복함으로 써, 원하는 패턴 이미지를 기판 상에 형성시킬 수 있다. The laser direct imaging device according to the prior art scans the laser in the transverse direction according to the rotation of the polygon scanner, and at the same time controls the laser output to correspond to a predefined pattern image, and when the scanning process for one line is completed, the stage By repeating the process of moving, a desired pattern image can be formed on the substrate.

그러나, 종래 기술에 의한 레이저 다이렉트 이미징 장치에 의하면, 1) 폴리곤 스캐너의 모든 미러 면이 균일한 각도와 평면으로 가공되기 어려우며, 2) 폴리곤 스캐너가 회전하면서 발생하는 진동에 의해서 빔의 스캔 궤적의 왜곡이 발생할 수 있으며, 3) 폴리곤 스캐너의 모든 미러 면의 스캔 시작점과 끝점이 모두 정확히 일치하기 어려운 문제가 있다. 도 1 의 (a), (b), (c) 는 상기 1), 2), 3) 과 같은 문제가 발생했을 경우의 레이저 빔의 스캔 궤적의 예를 나타낸 것이다. However, according to the conventional laser direct imaging device, 1) all mirror surfaces of the polygon scanner are difficult to be processed at a uniform angle and plane, and 2) distortion of the scan trajectory of the beam due to vibrations generated while the polygon scanner rotates. 3) There is a problem that it is difficult to exactly match the scan start and end points of all mirror surfaces of the polygon scanner. (A), (b), and (c) of FIG. 1 show examples of the scan trajectory of a laser beam when the same problems as 1), 2), and 3) occur.

따라서, 레이저 다이렉트 이미징 과정에서, 적절한 보정을 행함으로서, 빔의 스캔 궤적을 의도한 바(예컨대 직선)에 따라서 유지시키며, 패턴 이미지의 품질 정밀도를 보다 향상시킬 수 있는 기술의 개발이 필요한 실정이다.Therefore, in the laser direct imaging process, by performing appropriate correction, there is a need to develop a technology capable of maintaining the scan trajectory of the beam according to an intended (for example, straight line) and further improving the quality precision of the pattern image.

공개특허 제2018-0075781호Publication Patent No. 2018-0075781

본 발명의 과제는, 레이저 빔의 결상 경로를 보정하여 작업 정밀도가 향상된 레이저 이미징 장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a laser imaging apparatus with improved work precision by correcting an imaging path of a laser beam.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 이미징 장치는, 레이저 빔을 출력하는 레이저 출력부; 외측면에 복수의 반사면이 형성되고, 회전축을 중심으로 회전하며 상기 레이저 빔을 반사시키는 폴리곤 미러; 상기 레이저 출력부와 상기 폴리곤 미러 사이에 위치하며, 상기 레이저 출력부에서 출력된 레이저 빔이 상기 폴리곤 미러의 적어도 일 위치에 입사하도록 광 경로를 형성하는 광 유도부; 대상물이 안착되는 스테이지; 상기 폴리곤 미러에서 반사된 레이저 빔을 상기 스테이지 상에 결상시키는 결상부; 상기 결상부에 의해서 상기 스테이지 상에 결상된 레이저 빔의 위치를 모니터링하는 빔 프로파일러; 및 상기 빔 프로파일러에 의해서 모니터링된 레이저 빔의 위치에 따라서 상기 광 유도부의 작동을 제어하는 제어 모듈;을 포함한다.A laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention includes a laser output unit for outputting a laser beam; A polygon mirror having a plurality of reflective surfaces formed on an outer surface thereof, rotating about a rotation axis, and reflecting the laser beam; A light guide unit positioned between the laser output unit and the polygon mirror and forming an optical path so that the laser beam output from the laser output unit is incident on at least one position of the polygon mirror; A stage on which an object is seated; An imaging unit for imaging the laser beam reflected by the polygon mirror on the stage; A beam profiler for monitoring a position of a laser beam formed on the stage by the imaging unit; And a control module for controlling the operation of the light guide unit according to the position of the laser beam monitored by the beam profiler.

일 실시예에 의하면, 상기 빔 프로파일러는, 상기 레이저 빔의 결상 경로와 평행하게 연장되는 사이드 라인, 및 상기 사이드 라인에 연결되어 상기 사이드 라인을 따라서 상기 레이저 빔의 결상 경로와 평행한 방향으로 위치 이동하는 빔 모니터링 장치를 포함한다.According to an embodiment, the beam profiler includes a side line extending parallel to the imaging path of the laser beam, and a side line connected to the side line and positioned in a direction parallel to the imaging path of the laser beam along the side line. It includes a moving beam monitoring device.

일 실시예에 의하면, 상기 폴리곤 미러, 광유도부, 결상부, 및 상기 빔 프로파일러가 일체로 결합되는 결합 바디;를 더 포함한다.According to an embodiment, the polygon mirror, the light guide portion, the imaging portion, and a coupling body in which the beam profiler is integrally coupled; further includes.

일 실시예에 의하면, 상기 제어 모듈은, 상기 빔 프로파일러에서 모니터링된 레이저 빔의 결상 경로 데이터를 수집하며, 상기 결상 경로 데이터를 이용하여 상기 광 유도부의 작동을 제어하는 보정 데이터를 생성한다.According to an embodiment, the control module collects imaging path data of the laser beam monitored by the beam profiler, and generates correction data for controlling the operation of the light guide unit by using the imaging path data.

일 실시예에 의하면, 상기 빔 프로파일러는, 상기 폴리곤 미러의 각 면에 해당하는 레이저 빔의 결상 경로 데이터를 포착하며, 상기 제어 모듈은, 상기 빔 프로파일러에서 포착된 상기 폴리곤 미러의 각각의 면에 해당하는 레이저 빔의 결상 경로 데이터를 수집하며, 상기 폴리곤 미러의 각각의 면에 해당하는 결상 경로 데이터를 이용하여 상기 광 유도부의 작동을 제어하는 보정 데이터를 생성하는 제어 프로그램을 갖는다.According to an embodiment, the beam profiler captures imaging path data of a laser beam corresponding to each surface of the polygon mirror, and the control module includes each surface of the polygon mirror captured by the beam profiler. It has a control program that collects image-forming path data of a laser beam corresponding to, and generates correction data for controlling the operation of the light guide unit by using image-forming path data corresponding to each surface of the polygon mirror.

일 실시예에 의하면, 상기 광 유도부는, 상기 폴리곤 미러에 입사하는 광의 위치를 제어하는 적어도 하나의 갈바노 미러를 포함하며, 상기 제어 모듈은, 상기 제어 프로그램에 의해서 생성된 상기 보정 데이터를 이용하여 상기 갈바노 미러의 작동을 제어하여, 상기 스테이지 상에 결상되는 레이저 빔의 결상 위치를 보정한다.According to an embodiment, the light induction unit includes at least one galvano mirror for controlling a position of light incident on the polygon mirror, and the control module uses the correction data generated by the control program. By controlling the operation of the galvano mirror, the imaging position of the laser beam to be imaged on the stage is corrected.

일 실시예에 의하면, 상기 레이저 출력부와 상기 광 유도부 사이에 위치하여, 상기 레이저 출력부에서 출력되는 레이저 광을 복수의 광으로 분할하는 광 분할부;를 더 포함한다.According to an exemplary embodiment, a light splitting unit positioned between the laser output unit and the light guide unit to divide the laser light output from the laser output unit into a plurality of lights;

본 발명에 의한 레이저 이미징 장치는, 스테이지 상의 레이저 빔의 결상 경로를 포착하는 빔 프로파일러, 및 상기 빔 프로파일러에 의해서 포착된 레이저 빔의 결상 경로를 이용하여 광 유도부의 작동을 보정하는 제어 모듈을 포함한다. 따라서, 스테이지 상의 대상물에 대한 레이저 빔의 결상 위치 및 경로가 적절히 보정될 수 있다. 따라서, 작업 정밀도가 향상될 수 있다.The laser imaging apparatus according to the present invention includes a beam profiler for capturing an imaging path of a laser beam on a stage, and a control module for correcting an operation of a light guide unit using an imaging path of the laser beam captured by the beam profiler. Include. Accordingly, the imaging position and path of the laser beam with respect to the object on the stage can be appropriately corrected. Therefore, the working precision can be improved.

도 1 의 (a) 내지 (c) 는 종래 기술에 의한 레이저 이미징 장치에서, 레이저 빔의 스캔 궤적에 오류가 발생한 예를 나타낸 것이다.
도 2 는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 구조를 개념적으로 나타낸 구조도이다.
도 3 은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 구조도이다.
도 4 는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 빔 프로파일러의 구조를 나타낸 도면이다.
도 5 는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 레이저 출력부, 광 분할부, 광 유도부, 및 폴리곤 미러의 구조의 일 예를 나타낸 구조도이다.
도 6 은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 빔 프로파일러가 결합된 결합 바디의 구조를 나타낸 도면이다.
도 7 은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 레이저 빔의 결상 경로의 보정을 나타낸 도면이다.1A to 1C show examples in which an error occurs in a scan trajectory of a laser beam in a conventional laser imaging apparatus.
2 is a structural diagram conceptually showing the structure of a laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a structural diagram schematically showing the structure of a laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram showing the structure of a beam profiler of a laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a structural diagram showing an example of structures of a laser output unit, a light splitting unit, a light guide unit, and a polygon mirror of a laser imaging device according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing a structure of a combined body to which a beam profiler of a laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention is coupled.
7 is a diagram illustrating correction of an imaging path of a laser beam of a laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다. Hereinafter, a preferred embodiment according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2 는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 구조를 개념적으로 나타낸 구조도이며, 도 3 은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 구조도이고, 도 4 는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 빔 프로파일러(600)의 구조를 나타낸 도면이며, 도 5 는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 레이저 출력부(100), 광 분할부(800), 광 유도부(200), 및 폴리곤 미러(300)의 구조의 일 예를 나타낸 구조도이며, 도 6 은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 빔 프로파일러(600)가 결합된 결합 바디(900)의 구조를 나타낸 도면이다.2 is a structural diagram conceptually showing the structure of a laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a structural diagram schematically showing the structure of a laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. A diagram showing the structure of a beam profiler 600 of a laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a laser output unit 100 and a light splitting unit of the laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention. 800), a light guide unit 200, and a structure diagram showing an example of the structure of the polygon mirror 300, Fig. 6 is a combination of the beam profiler 600 of the laser imaging device according to an embodiment of the present invention It is a diagram showing the structure of the body 900.

도 2 를 참조하면, 본 발명에 따른 레이저 이미징 장치는, 레이저 출력부(100), 광 유도부(200), 폴리곤 미러(300), 스테이지(400), 결상부(500), 빔 프로파일러(600), 및 제어 모듈(700);을 포함한다.Referring to FIG. 2, the laser imaging apparatus according to the present invention includes a laser output unit 100, a light guide unit 200, a polygon mirror 300, a stage 400, an imaging unit 500, and a beam profiler 600. ), and a control module 700;

레이저 출력부(100)는 레이저 빔을 생성하여 출력한다. 여기에서, 레이저 출력부(100)는 레이저를 발산하는 레이저 빔원과, 레이저 빔원의 출력을 제어하거나 또는 최적화하기 위한 드라이버 등의 부가 장치를 포함할 수 있다. 한편, 레이저 빔원은 레이저 다이오드에 해당할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 레이저 다이렉트 이미징 기술에서 활용되는 다양한 공지의 레이저 빔원이 적용될 수 있다. The laser output unit 100 generates and outputs a laser beam. Here, the laser output unit 100 may include a laser beam source that emits a laser, and an additional device such as a driver for controlling or optimizing the output of the laser beam source. Meanwhile, the laser beam source may correspond to a laser diode, but is not limited thereto, and various known laser beam sources used in laser direct imaging technology may be applied.

광 유도부(200)는 레이저 출력부(100)와 폴리곤 미러(300) 사이에 위치하며, 레이저 출력부(100)에서 출사되는 레이저 빔을 폴리곤 미러(300)로 입사시킨다. 한편, 후술하는 바와 같이, 광 분할부(800)가 광 유도부(200)의 전단에 더 위치할 수 있으며, 이 경우에는 광 유도부(200)는 광 분할부(800)에서 출사되는 복수의 레이저 빔 각각이 폴리곤 미러(300)의 상이한 위치에 입사하도록 광 경로를 형성할 수 있다. The light guide unit 200 is positioned between the laser output unit 100 and the polygon mirror 300, and causes a laser beam emitted from the laser output unit 100 to enter the polygon mirror 300. On the other hand, as described later, the light splitting unit 800 may be further located at the front end of the light guide unit 200, in this case, the light guide unit 200 is a plurality of laser beams emitted from the light splitting unit 800 An optical path may be formed so that each of them is incident on a different position of the polygon mirror 300.

일 실시예에서, 광 유도부(200)는 폴리곤 미러(300)에 입사되는 광의 위치가 회전축 방향을 기준으로 이동되도록 제어하는, 적어도 하나의 갈바노 미러(Galvano Mirror)를 포함할 수 있다. In one embodiment, the light guide unit 200 may include at least one galvano mirror that controls a position of light incident on the polygon mirror 300 to be moved based on a rotation axis direction.

예컨대, 광 유도부(200)는 소정의 반사 미러(미도시)와 갈바노 미러(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서, 갈바노 미러(미도시)는 폴리곤 미러(300)에 입사되는 광의 위치가 회전축 방향(수직 방향)을 기준으로 이동되도록 제어할 수 있다. 이때, 갈바노 미러(미도시)의 회전축은 폴리곤 미러(300)의 회전축과 수직 방향으로 설정되고, 갈바노 미러(미도시)가 회전축을 중심으로 회전됨에 따라 폴리곤 미러(300)에 입사되는 광의 위치가 변화될 수 있다. 이에 따라, 복수의 스캐닝 라인 중 갈바노 미러(미도시)에서 반사되는 광에 의한 스캐닝 라인은 수직 방향으로 이동될 수 있다. For example, the light guide unit 200 may include a predetermined reflective mirror (not shown) and a galvano mirror (not shown). Here, the galvano mirror (not shown) may control a position of light incident on the polygon mirror 300 to be moved based on the rotation axis direction (vertical direction). At this time, the rotation axis of the galvano mirror (not shown) is set in a direction perpendicular to the rotation axis of the polygon mirror 300, and as the galvano mirror (not shown) is rotated around the rotation axis, the light incident on the polygon mirror 300 The location can be changed. Accordingly, among the plurality of scanning lines, a scanning line by light reflected from a galvano mirror (not shown) may be moved in a vertical direction.

일반적으로 다이렉트 레이저 이미징을 수행하는 과정에서, 대상물의 재료, 레이저 빔의 출력 강도 등의 여러 요인으로 인하여 대상물에 형성되는 선폭의 굵기가 상이하게 형성될 수 있다. 본 실시예에 따르면, 광 유도부(200)에 갈바노 미러(미도시)를 구비시켜 폴리곤 미러(300)에 입사되는 레이저 빔의 위치를 변경할 수 있다. 따라서, 보다 정교한 레이저 이미징 작업을 수행할 수 있다. 아울러, 멀티 라인 이미징 과정에서는 스캐닝 라인 간의 피치를 제어할 수 있어, 정교한 작업을 수행할 수 있다.In general, in the process of performing direct laser imaging, the thickness of the line width formed on the object may be different due to various factors such as the material of the object and the output intensity of the laser beam. According to the present embodiment, the position of the laser beam incident on the polygon mirror 300 may be changed by providing a galvano mirror (not shown) in the light guide unit 200. Therefore, a more sophisticated laser imaging operation can be performed. In addition, in the multi-line imaging process, the pitch between scanning lines can be controlled, so that a sophisticated operation can be performed.

폴리곤 미러(300)는 외측면에 복수의 미러 면이 형성된 장치로, 화살표 R 과 같이 회전축을 중심으로 회전하며 광 유도부(200)에서 유도된 레이저 빔을 반사시킨다. 일 실시예에서, 폴리곤 미러(300)의 외측에는 폴리곤 미러(300)의 회전 속도 또는 회전 방향을 제어하기 위한 회전 제어 장치와 폴리곤 미러(300)의 수평 및/또는 수직 방향의 위치 변경을 위한 위치 제어 장치가 구성될 수 있다.The polygon mirror 300 is a device in which a plurality of mirror surfaces are formed on an outer surface, and rotates about a rotation axis as shown by an arrow R and reflects a laser beam guided by the light guide unit 200. In one embodiment, a rotation control device for controlling the rotation speed or direction of rotation of the polygon mirror 300 and a position for changing the position of the polygon mirror 300 in the horizontal and/or vertical directions outside the polygon mirror 300 A control device can be configured.

스테이지(400)는 대상물이 안착되며, 폴리곤 미러(300)로부터 반사되어 후술하는 결상부(500)를 지난 광이 결상될 수 있는 소정의 수단이다. 일 예에 의하면, 스테이지(400)는 소정의 평판 형태로 구성되어 대상물이 고정적으로 안착되기 쉬운 구조를 가질 수 있다. 여기서, 스테이지(400) 상에 안착될 수 있는 대상물은 일 예로 소정의 기판일 수 있다.The stage 400 is a predetermined means through which the object is seated and the light reflected from the polygon mirror 300 and passed through the imaging unit 500 to be described later can be imaged. According to an example, the stage 400 may have a structure in which an object can be fixedly seated by being configured in a predetermined flat plate shape. Here, an object that can be mounted on the stage 400 may be a predetermined substrate, for example.

스테이지(400)는 이동 가능한 구성을 가질 수 있다. 예컨대, 스테이지(400)는 레이저 빔의 결상 경로와 대체로 직교하는 방향(L)으로 이동 가능한 구성을 가질 수 있다. 단, 이에 한정하는 것은 아니며 임의의 방향으로 이동하는 것도 가능하다.The stage 400 may have a movable configuration. For example, the stage 400 may have a configuration capable of moving in a direction L that is substantially orthogonal to the imaging path of the laser beam. However, it is not limited thereto, and it is possible to move in any direction.

결상부(500)는 폴리곤 미러(300)로부터 반사되어 입사되는 광을 스테이지(400)의 일 위치 상에 결상시킨다. 여기에서, 결상부(500)는 폴리곤 미러(300)의 회전에 따라 입사되는 광의 각도가 변화하며 입사되더라도 스캐닝되는 광의 초점이 스테이지(400)에 형성되도록 기능하며, 폴리곤 미러(300)의 회전 각속도와 스테이지(400) 상의 스캐닝 거리가 선형 관계를 형성하도록 기능할 수 있다. 예를 들어, 결상부(500)는 에프-세타 렌즈(f-theta lens)(510)를 포함하여 구성될 수 있다. 아울러, 도시되지는 아니하였으나, 상기 에프-세타 렌즈(510)에서 출력되는 광을 일정 각도로 반사시켜서 스테이지 상에 결상시키는 반사 미러(520)를 더 구비할 수도 있다.The imaging unit 500 forms an image of light reflected from the polygon mirror 300 and incident on a position of the stage 400. Here, the imaging unit 500 functions so that the angle of the incident light changes according to the rotation of the polygon mirror 300 and the focus of the scanned light is formed on the stage 400 even when incident, and the rotational angular speed of the polygon mirror 300 And the scanning distance on the stage 400 may function to form a linear relationship. For example, the imaging unit 500 may be configured to include an f-theta lens 510. In addition, although not shown, a reflection mirror 520 may be further provided to reflect light output from the F-theta lens 510 at a predetermined angle to form an image on the stage.

빔 프로파일러(600)는 스테이지(400) 상에 결상되는 레이저 빔의 결상 위치를 모니터링한다. The beam profiler 600 monitors an imaging position of a laser beam to be imaged on the stage 400.

일 실시예에서, 빔 프로파일러(600)는 스테이지(400)의 일 위치 상에 위치하고 도 2 의 화살표 M 과 같이 위치 가변할 수 있으며, 스테이지(400) 상에 결상되는 레이저 빔의 결상 위치를 모니터링할 수 있다. 빔 프로파일러(600)는 소정의 광학 센서를 포함하여, 스테이지(400) 상에 결상된 레이저 빔의 위치를 정확하게 포착할 수 있다.In one embodiment, the beam profiler 600 may be positioned on a position of the stage 400 and may be variable in position as shown by the arrow M in FIG. 2, and the image forming position of the laser beam formed on the stage 400 is monitored. can do. The beam profiler 600 may include a predetermined optical sensor to accurately capture the position of the laser beam imaged on the stage 400.

빔 프로파일러(600)는 제어 모듈(700)과 연결되어, 상기 수집된 스테이지(400) 상의 레이저 빔의 결상 위치 데이터 및 레이저 빔의 결상 경로 데이터를 제어 모듈(700)로 전달할 수 있다.The beam profiler 600 may be connected to the control module 700 to transmit image-forming position data of the laser beam on the collected stage 400 and image-forming path data of the laser beam to the control module 700.

한편, 도 2 및 도 3 에서는, 빔 프로파일러(600)가 스테이지(400) 상의 레이저 빔의 결상 위치의 수평 방향 외측에 위치한 것으로 도시되었으나, 이에 반드시 한정하는 것은 아니다. 예컨대, 결상부(500)와 스테이지(600) 사이에 빔 프로파일러가 위치하여, 결상부(500)를 통과한 레이저 빔이 빔 프로파일러(600)를 통과한 후, 스테이지(600)에 결상되는 것도 가능하다. 즉, 빔 프로파일러(600)는, 스테이지(400) 상의 빔의 결상 위치, 및 결상 경로를 포착할 수 있는 구성이면 무엇이든 가능하다.Meanwhile, in FIGS. 2 and 3, the beam profiler 600 is shown to be located outside the image-forming position of the laser beam on the stage 400 in the horizontal direction, but is not limited thereto. For example, a beam profiler is positioned between the imaging unit 500 and the stage 600, so that the laser beam that has passed through the imaging unit 500 passes through the beam profiler 600, and then is imaged on the stage 600. It is also possible. That is, the beam profiler 600 can be any configuration capable of capturing the imaging position and the imaging path of the beam on the stage 400.

도 4 는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 빔 프로파일러(600)의 구조를 나타낸 도면이다.4 is a diagram showing the structure of a beam profiler 600 of a laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention.

예를 들어, 빔 프로파일러(600)는 스테이지(400) 상의 일 위치에 위치하며 레이저 빔의 결상 경로와 평행하게 연장되는 소정의 사이드 라인(610), 및 레이저 빔을 포착하는 광학 센서가 탑재된 빔 모니터링 장치(620)를 구비할 수 있다. 아울러, 빔 모니터링 장치(620)는 상기 사이드 라인(610)에 연결되어 상기 사이드 라인(610)을 따라서 위치 이동할 수 있다. 즉, 빔 모니터링 장치(620)는 스테이지(400) 상의 레이저 빔의 결상 경로와 대체로 평행한 방향으로 위치 이동할 수 있다. 따라서, 레이저 빔의 결상 경로를 포착할 수 있다.For example, the beam profiler 600 is located at a position on the stage 400 and is equipped with a predetermined side line 610 extending parallel to the imaging path of the laser beam, and an optical sensor that captures the laser beam. A beam monitoring device 620 may be provided. In addition, the beam monitoring device 620 may be connected to the side line 610 to move its position along the side line 610. That is, the beam monitoring device 620 may be positioned in a direction substantially parallel to the imaging path of the laser beam on the stage 400. Therefore, the imaging path of the laser beam can be captured.

상기 사이드 라인(610)은 후술하는 결합 바디(900)에 연결되어, 광 유도부(200), 폴리곤 미러(300), 및 결상부(500)와 일체로 결합될 수도 있으며, 이에 한정하지 않는다. 다른 예로는, 스테이지(400)에 사이드 라인(610)이 연결되어, 스테이지(400)와 빔 프로파일러(600)가 일체로 이동하거나, 또는 빔 프로파일러(600)가 스테이지(400) 상에서 변위하는 것도 가능하다.The side line 610 may be connected to the coupling body 900 to be described later, and may be integrally combined with the light guide part 200, the polygon mirror 300, and the imaging part 500, but is not limited thereto. As another example, the side line 610 is connected to the stage 400 so that the stage 400 and the beam profiler 600 move integrally, or the beam profiler 600 is displaced on the stage 400. It is also possible.

제어 모듈(700)은 빔 프로파일러(600)에 의하여 검출된 레이저 빔의 결상 경로 데이터를 기초로 하여 광 유도부(200)의 작동을 제어한다.The control module 700 controls the operation of the light guide unit 200 based on the imaging path data of the laser beam detected by the beam profiler 600.

예컨대, 제어 모듈(700)은, 상기 레이저 빔의 결상 경로 데이터를 이용하여, 광 유도부(200)의 작동을 제어하는 보정 데이터를 생성하는 제어 프로그램을 가질 수 있다.For example, the control module 700 may have a control program that generates correction data for controlling the operation of the light guide unit 200 by using the image-forming path data of the laser beam.

여기에서, 상기 설명한 스테이지(400) 상의 레이저 빔의 결상 위치 포착 및 레이저 빔의 결상 경로 수집 과정, 및 보정 데이터의 생성 과정은, 스테이지(400) 상의 대상물에 대한 레이저 다이렉트 이미징 작업 과정에서, 또는 레이저 다이렉트 이미징 과정을 수행하기 이전 단계(즉, 준비 단계)에서 수행될 수 있다. Here, the above-described process of capturing the imaging position of the laser beam on the stage 400 and collecting the imaging path of the laser beam, and the process of generating correction data are performed in the process of laser direct imaging of the object on the stage 400, or the laser It may be performed in a step (ie, a preparation step) before performing the direct imaging process.

예컨대, 대상물에 대한 레이저 다이렉트 이미징 작업 과정이 이루어지기 전에, 상기 보정 데이터가 생성되며, 상기 보정 데이터가 제어 모듈(700)에 저장될 수 있다. 이어서, 실제 대상물에 대한 레이저 다이렉트 이미징 작업 과정에서 제어 모듈(700)은 상기 보정 데이터를 이용하여 상기 광 유도부(200)의 작동을 제어함으로서, 대상물에 대한 레이저 빔의 결상 경로를 일정하게 유지할 수 있다. 예컨대, 대상물에 대한 레이저 빔의 결상 경로가 일 직선 경로를 갖도록 상기 광 유도부(200)의 작동이 제어될 수 있다.For example, before a laser direct imaging process is performed on an object, the correction data may be generated, and the correction data may be stored in the control module 700. Subsequently, in the process of laser direct imaging for an actual object, the control module 700 controls the operation of the light guide unit 200 using the correction data, thereby maintaining a constant imaging path of the laser beam to the object. . For example, the operation of the light guide unit 200 may be controlled so that an imaging path of a laser beam to an object has a linear path.

아울러, 상기 설명한 바와 같이, 빔 프로파일러(600)는, 상기 폴리곤 미러(300)의 각 미러 면에 해당하는 레이저 빔의 결상 경로 데이터를 포착하며, 상기 제어 모듈(700)은, 상기 빔 프로파일러(600)에서 포착된 상기 폴리곤 미러(300)의 각각의 면에 해당하는 레이저 빔의 결상 경로 데이터를 수집할 수 있다. 아울러, 상기 제어 모듈(700)의 제어 프로그램은, 상기 폴리곤 미러(300)의 각각의 면에 해당하는 결상 경로 데이터를 이용하여 상기 광 유도부(200)의 작동을 제어하는 보정 데이터를 생성할 수 있다. In addition, as described above, the beam profiler 600 captures the imaging path data of the laser beam corresponding to each mirror surface of the polygon mirror 300, and the control module 700, the beam profiler It is possible to collect image-forming path data of a laser beam corresponding to each surface of the polygon mirror 300 captured at 600. In addition, the control program of the control module 700 may generate correction data for controlling the operation of the light guide unit 200 by using image-forming path data corresponding to each surface of the polygon mirror 300. .

즉, 제어 모듈(700)은, 폴리곤 미러(300)의 각각의 미러 면에 해당하는 레이저 빔의 결상 경로 데이터를 토대로 하여, 폴리곤 미러(300)의 각각의 미러 면에 대해서 광 유도부(200)의 작동을 제어하는 보정 데이터를 생성할 수 있다. That is, the control module 700 is based on the imaging path data of the laser beam corresponding to each mirror surface of the polygon mirror 300, the light guide unit 200 for each mirror surface of the polygon mirror 300. Correction data can be generated to control the operation.

이에 따라서, 폴리곤 미러(300)의 각각의 미러 면에 대응하여 광 유도부(200)의 작동이 적절히 보정될 수 있다. 즉, 폴리곤 미러(300)의 각각의 미러 면의 레이저 빔의 결상 경로가 모두 일정하게 유지될 수 있다.Accordingly, the operation of the light guide unit 200 may be appropriately corrected corresponding to each mirror surface of the polygon mirror 300. That is, all of the imaging paths of the laser beams on each mirror surface of the polygon mirror 300 may be kept constant.

도 5 는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 레이저 출력부(100), 광 분할부(800), 광 유도부(200), 및 폴리곤 미러(300)의 구조의 일 예를 나타낸 구조도이다. 5 is a structural diagram showing an example of the structure of the laser output unit 100, the light splitting unit 800, the light guide unit 200, and the polygon mirror 300 of the laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention. .

본 발명의 일 실시예에 의하면, 광 분할부(800)가 더 구비될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, a light splitting part 800 may be further provided.

광 분할부(800)는 레이저 출력부(100)에서 출력되는 레이저 빔을 복수의 광으로 분할한다. 한편, 도 5 에서는 광 분할부(800)가 레이저 출력부(100)에서 출력되는 레이저 빔을 입사 방향과 평행한 방향으로 분할하는 것으로 도식하였으나, 이는 광 분할부(800)의 기능을 보다 명확하게 하기 위한 것으로, 레이저 빔의 분할 방향과 무관하게 레이저 빔을 적어도 2개 이상의 광으로 분할하는 기능의 장치라면 본 발명에 따른 광 분할부(800)에 해당하는 것으로 해석되어야 할 것이다. The light splitting unit 800 divides the laser beam output from the laser output unit 100 into a plurality of lights. Meanwhile, in FIG. 5, it is illustrated that the light splitting unit 800 divides the laser beam output from the laser output unit 100 in a direction parallel to the incident direction, but this makes the function of the light splitting unit 800 more clear. For this purpose, any device having a function of dividing a laser beam into at least two or more lights irrespective of the splitting direction of the laser beam should be interpreted as corresponding to the light splitting unit 800 according to the present invention.

일 실시예에서, 광 분할부(800)는 입사되는 레이저 빔의 일부는 투과시키고 나머지 일부는 일정 각도로 반사시키는 빔 스플리터를 포함할 수 있다. 예를 들어, 광 분할부(800)는 레이저 출력부(100)에서 출력되는 레이저 빔의 일부는 투과시키고 나머지 일부는 직각 방향으로 반사시키는 빔 스플리터로 구현될 수 있다.In an embodiment, the light splitter 800 may include a beam splitter that transmits a part of the incident laser beam and reflects the other part at a predetermined angle. For example, the light splitting unit 800 may be implemented as a beam splitter that transmits a part of the laser beam output from the laser output unit 100 and reflects the remaining part in a right angle direction.

이때, 광 유도부(200)는 예컨대, 갈바노 미러(210)를 포함하되, 제1 갈바노 미러(210A)와 제2 갈바노 미러(210B)를 포함하여, 상기 광 분할부(800)에서 분할된 레이저 빔을 각각 폴리곤 미러(300)의 일 위치로 유도할 수 있다. 또한, 각각의 레이저 빔은 스테이지(400)의 각각 상이한 위치에 결상될 수 있다. 따라서, 멀티 라인 이미징이 수행될 수 있다.At this time, the light guide unit 200 includes, for example, a galvano mirror 210, and includes a first galvano mirror 210A and a second galvano mirror 210B, and is divided by the light splitting unit 800 Each of the resulting laser beams may be guided to a position of the polygon mirror 300. In addition, each laser beam may be imaged at different positions on the stage 400. Thus, multi-line imaging can be performed.

일 실시예에서, 광 유도부(200)는 광 분할부(800)에서 출사되는 복수의 레이저 빔 각각이 폴리곤 미러(300)의 회전축 방향(도 1에서 수직 방향)을 기준으로 폴리곤 미러(300)의 상이한 위치에 입사하도록 빔 경로를 형성할 수 있다. 본 실시예에 따르면, 복수의 라인이 겹쳐지지 않게 스테이지(400) 상에 스캐닝할 수 있어 하나의 패턴 이미지를 보다 신속하게 작업할 수 있다. In one embodiment, the light guide unit 200 includes a plurality of laser beams emitted from the light splitting unit 800 based on the rotation axis direction of the polygon mirror 300 (vertical direction in FIG. 1). Beam paths can be formed to be incident at different locations. According to the present embodiment, since a plurality of lines can be scanned on the stage 400 so as not to overlap, one pattern image can be worked more quickly.

다른 일 실시예에서, 광 유도부(200)는 광 분할부(800)에서 출사되는 복수의 레이저 빔 각각이 폴리곤 미러(300)의 회전축과 수직한 방향(도 1에서 수평 방향)을 기준으로 폴리곤 미러(300)의 상이한 위치에 입사하도록 빔 경로를 형성할 수 있다. 본 실시예에 따르면, 레이저 이미징 장치는 복수의 라인을 겹쳐지게 스테이지(400) 상에 스캐닝하되 미세한 시간 간격을 두고 스캐닝할 수 있다. 즉, 분할되는 레이저 빔의 개수에 상응하는 횟수만큼의 중복 스캐닝이 가능하고, 필요에 따라 복수의 레이저 빔 각각에 대한 제어 신호를 독립적으로 제어하여 각 레이저 빔의 출력 크기 및 출력 시간을 상이하게 조절할 수 있으며, 이를 통해 보다 정교한 이미징 작업을 수행할 수 있다. In another embodiment, the light guide unit 200 includes a polygon mirror in which each of the plurality of laser beams emitted from the light splitting unit 800 is perpendicular to the rotation axis of the polygon mirror 300 (horizontal direction in FIG. 1). A beam path may be formed so as to be incident at different positions of 300. According to the present embodiment, the laser imaging apparatus may scan a plurality of lines on the stage 400 so as to overlap, but scan at minute intervals. In other words, it is possible to perform overlapping scanning as many times as the number of divided laser beams, and if necessary, control signals for each of the plurality of laser beams can be independently controlled to adjust the output size and output time of each laser beam differently. And, through this, more sophisticated imaging tasks can be performed.

도 6 은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 빔 프로파일러(600)가 결합된 결합 바디(900)의 구조를 나타낸 도면이다.6 is a view showing the structure of the combined body 900 to which the beam profiler 600 of the laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention is coupled.

본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치는 결합 바디(900)를 더 포함할 수 있다. 결합 바디(900)는 광 유도부(200), 광 결상부(500), 폴리곤 미러(300), 및 빔 프로파일러(600)가 일체로 결합될 수 있는 소정의 구조물로 구성되며, 스테이지(400) 상에 위치할 수 있다. 이때, 빔 프로파일러(600)는 폴리곤 미러(300) 및 결상부(500) 아래에 위치하며, 빔 프로파일러(600)의 사이드 라인(610)은 폴리곤 미러(300)의 회전에 의해서 발생하는 레이저 빔의 결상 위치의 경로와 나란하게 연장되어, 상기 사이드 라인(610)을 따라서 빔 모니터링 장치(620)가 이동할 수 있다. The laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a coupling body 900. The coupling body 900 is composed of a predetermined structure in which the light guide unit 200, the light imaging unit 500, the polygon mirror 300, and the beam profiler 600 can be integrally coupled, and the stage 400 It can be located on the top. At this time, the beam profiler 600 is located under the polygon mirror 300 and the imaging unit 500, and the side line 610 of the beam profiler 600 is a laser generated by the rotation of the polygon mirror 300 The beam monitoring apparatus 620 may move along the side line 610 by extending parallel to the path of the beam forming position.

결합 바디(900)는 스테이지(400) 상에 위치하여 스테이지(400)에 대해서 상대 이동할 수 있다. 이때, 결합 바디(900)가 이동하거나, 또는 스테이지(400)가 이동할 수 있고, 결합 바디(900)와 스테이지(400)가 동시에 이동하는 것도 가능하다.The coupling body 900 may be positioned on the stage 400 to move relative to the stage 400. At this time, the coupling body 900 may move or the stage 400 may move, and the coupling body 900 and the stage 400 may move simultaneously.

도 7 은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 이미징 장치의 레이저 빔의 결상 경로의 보정을 나타낸 도면이다.7 is a diagram illustrating correction of an imaging path of a laser beam of a laser imaging apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명에 의한 레이저 이미징 장치의 동작 및 그에 의한 레이저 빔의 결상 경로의 보정에 대해서 설명한다.Hereinafter, the operation of the laser imaging apparatus according to the present invention and correction of the imaging path of the laser beam will be described.

앞서 설명한 바와 같이, 스테이지(400) 상의 레이저 빔의 결상 위치 포착 및 레이저 빔의 결상 경로 수집 과정, 및 보정 데이터의 생성 과정은, 스테이지(400) 상의 대상물에 대한 레이저 다이렉트 이미징 작업 과정에서, 또는 레이저 다이렉트 이미징 과정을 수행하기 이전 단계(즉, 준비 단계)에서 수행될 수 있다. As described above, the process of capturing the imaging position of the laser beam on the stage 400 and the process of collecting the imaging path of the laser beam, and the process of generating correction data are performed in the process of laser direct imaging of the object on the stage 400, or It may be performed in a step (ie, a preparation step) before performing the direct imaging process.

예컨대, 대상물에 대한 레이저 다이렉트 이미징 작업 과정이 이루어지기 전에, 상기 보정 데이터를 생성하여 제어 모듈(700)에 저장할 수 있다. For example, before a laser direct imaging process is performed on an object, the correction data may be generated and stored in the control module 700.

예컨대, 보정 데이터 생성 과정에서, 최초 의도된 레이저 빔의 결상 경로는 (A) 이나, 스테이지(400) 상의 실제 레이저 빔의 결상 경로가 도 7 의 (A1) 로 표시된 바와 같이 포착되었다고 가정한다. 이러한 레이저 빔의 경로 왜곡은 폴리곤 미러(300)의 진동 등에 의해 발생할 수 있다. 이때, 제어 모듈(700)은 상기 포착된 레이저 빔의 결상 경로 (A1)를 이용하여 보정 데이터를 생성한다. 예컨대, 보정 데이터는 상기 레이저 빔의 결상 경로가 도면의 B 로 표시된 바와 같이 일 직선이 될 수 있도록 상기 광 유도부(200)의 작동을 제어하는 데이터일 수 있다. For example, in the process of generating correction data, it is assumed that the imaging path of the initially intended laser beam is (A), but the imaging path of the actual laser beam on the stage 400 is captured as indicated by (A1) of FIG. 7. The path distortion of the laser beam may be caused by vibration of the polygon mirror 300 or the like. At this time, the control module 700 generates correction data using the imaging path A1 of the captured laser beam. For example, the correction data may be data for controlling the operation of the light guide unit 200 so that the imaging path of the laser beam becomes a straight line as indicated by B in the drawing.

이어서, 실제 대상물에 대한 레이저 다이렉트 이미징 작업 과정에서, 상기 제어 모듈(700)은 상기 보정 데이터를 이용하여 상기 광 유도부(200)의 작동을 제어할 수 있다. 예컨대, 레이저 빔의 결상 경로를 따라서, 레이저 빔의 결상 경로가 도 7 의 화살표 F1, F2, F3 과 같이 보정되도록 광 유도부(200)의 작동을 보정할 수 있다. 이때, 상기 보정 데이터는 광 유도부(200) 내의 갈바노 미러(220)의 동작을 보정하여 제어함으로서, 상기 스테이지(400) 상의 레이저 빔의 결상 경로를 일 직선이 되도록 하는 데이터일 수 있다.Subsequently, in the process of laser direct imaging for an actual object, the control module 700 may control the operation of the light guide unit 200 using the correction data. For example, along the imaging path of the laser beam, the operation of the light guide unit 200 may be corrected so that the imaging path of the laser beam is corrected as shown by arrows F1, F2, and F3 of FIG. 7. In this case, the correction data may be data that corrects and controls the operation of the galvano mirror 220 in the light induction unit 200 so that the imaging path of the laser beam on the stage 400 becomes a straight line.

따라서, 실제 대상물에 대한 레이저 다이렉트 이미징 작업 과정에서는, 상기 광 유도부(200)의 작동이 적절하게 보정되는 형태로 작동함으로서, 대상물에 대한 레이저 빔의 결상 경로가 의도한 바에 따라서 생성될 수 있다. 예컨대, 대상물에 대한 레이저 빔의 결상 경로가 (B) 와 같이 일 직선 경로를 갖도록 상기 광 유도부(200)의 작동이 제어될 수 있다.Accordingly, in the process of laser direct imaging for an actual object, the operation of the light guide unit 200 is operated in a form in which the operation of the light guide unit 200 is properly corrected, so that an imaging path of the laser beam to the object can be generated according to the intended purpose. For example, the operation of the light guide unit 200 may be controlled so that the imaging path of the laser beam to the object has a linear path as shown in (B).

아울러, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 보정 데이터의 생성은 폴리곤 미러(300)의 각 미러 면에 대해서 생성될 수 있으며, 따라서 폴리곤 미러(300)의 각 미러 면에 의한 스테이지(400) 상의 레이저 빔의 결상 경로가 모두 의도된 바와 같이 보정될 수 있다. In addition, as described above, the generation of the correction data may be generated for each mirror surface of the polygon mirror 300, and thus, the image formation of the laser beam on the stage 400 by each mirror surface of the polygon mirror 300 All paths can be corrected as intended.

본 발명에 의한 레이저 이미징 장치는, 스테이지(400) 상의 레이저 빔의 결상 경로를 포착하는 빔 프로파일러(600), 및 상기 빔 프로파일러(600)에 의해서 포착된 레이저 빔의 결상 경로를 이용하여 광 유도부(200)의 작동을 보정하는 제어 모듈(700)을 포함한다. 따라서, 본 발명에 의한 레이저 이미징 장치는, 스테이지(400) 상의 대상물에 대한 레이저 빔의 결상 위치 및 경로를 적절히 보정하여 의도하는 바에 따른 결상 경로가 생성되도록 할 수 있다. 따라서, 작업 정밀도가 향상될 수 있다.The laser imaging apparatus according to the present invention uses a beam profiler 600 that captures an imaging path of a laser beam on a stage 400, and an imaging path of a laser beam captured by the beam profiler 600. It includes a control module 700 for correcting the operation of the induction unit 200. Accordingly, the laser imaging apparatus according to the present invention can appropriately correct the imaging position and path of the laser beam with respect to the object on the stage 400 to generate an imaging path according to an intended purpose. Therefore, the working precision can be improved.

이상에서는 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.In the above, preferred embodiments have been illustrated and described, but the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and common knowledge in the technical field to which the present invention pertains without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, various modifications may be made by the operator, and these modifications should not be understood individually from the technical spirit or prospect of the present invention.

100: 레이저 출력부
200: 광 유도부
210: 갈바노 미러
300: 폴리곤 미러
400: 스테이지
500: 결상부
600: 빔 프로파일러
610: 사이드 라인
620: 빔 모니터링 장치
700: 제어 모듈
800: 광 분할부
900: 결합 바디100: laser output unit
200: light guide unit
210: galvano mirror
300: polygon mirror
400: stage
500: imaging part
600: beam profiler
610: side line
620: beam monitoring device
700: control module
800: optical division
900: combined body

Claims

A laser output unit for outputting a laser beam;
A polygon mirror having a plurality of reflective surfaces formed on an outer surface thereof, rotating about a rotation axis, and reflecting the laser beam;
A light guide unit positioned between the laser output unit and the polygon mirror and forming an optical path so that the laser beam output from the laser output unit is incident on at least one position of the polygon mirror;
A stage on which an object is seated;
An imaging unit for imaging the laser beam reflected by the polygon mirror on the stage;
A beam profiler for monitoring a position of a laser beam formed on the stage by the imaging unit; And
Includes; a control module for controlling the operation of the light guide unit according to the position of the laser beam monitored by the beam profiler,
The beam profiler,
A side line extending parallel to the imaging path of the laser beam, and
And a beam monitoring device connected to the side line and moving along the side line in a direction parallel to an imaging path of the laser beam.

delete

The method of claim 1,
The laser imaging apparatus further comprises a coupling body to which the polygon mirror, the light guide part, the imaging part, and the beam profiler are integrally coupled.

The method of claim 1,
The control module,
Collecting imaging path data of the laser beam monitored by the beam profiler,
A laser imaging apparatus having a control program for generating correction data for controlling the operation of the light guide unit by using the imaging path data.

The method of claim 4,
The beam profiler,
Capture the imaging path data of the laser beam corresponding to each side of the polygon mirror,
The control module,
Collect imaging path data of a laser beam corresponding to each surface of the polygon mirror captured by the beam profiler,
A laser imaging apparatus having a control program for generating correction data for controlling the operation of the light guide unit by using image-forming path data corresponding to each surface of the polygon mirror.

The method of claim 4,
The light guide unit,
At least one galvano mirror for controlling a position of light incident on the polygon mirror,
The control module,
A laser imaging device for correcting an imaging position of a laser beam to be imaged on the stage by controlling the operation of the galvano mirror using the correction data generated by the control program.

The method of claim 1,
A laser imaging apparatus further comprising: a light splitting unit positioned between the laser output unit and the light guide unit to divide the laser light output from the laser output unit into a plurality of lights.