KR102145442B1 - 고출력 레이저 빔용 댐퍼 - Google Patents

고출력 레이저 빔용 댐퍼 Download PDF

Info

Publication number
KR102145442B1
KR102145442B1 KR1020190152413A KR20190152413A KR102145442B1 KR 102145442 B1 KR102145442 B1 KR 102145442B1 KR 1020190152413 A KR1020190152413 A KR 1020190152413A KR 20190152413 A KR20190152413 A KR 20190152413A KR 102145442 B1 KR102145442 B1 KR 102145442B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cooling
cooling water
laser beam
block member
damper
Prior art date
Application number
KR1020190152413A
Other languages
English (en)
Inventor
이영민
김태우
유준상
정민완
이강인
김상인
이용수
김동환
조준용
Original Assignee
주식회사 한화
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 한화 filed Critical 주식회사 한화
Priority to KR1020190152413A priority Critical patent/KR102145442B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102145442B1 publication Critical patent/KR102145442B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/0407—Liquid cooling, e.g. by water
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F41—WEAPONS
    • F41A—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS COMMON TO BOTH SMALLARMS AND ORDNANCE, e.g. CANNONS; MOUNTINGS FOR SMALLARMS OR ORDNANCE
    • F41A33/00—Adaptations for training; Gun simulators
    • F41A33/02—Light- or radiation-emitting guns ; Light- or radiation-sensitive guns; Cartridges carrying light emitting sources, e.g. laser
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F41—WEAPONS
    • F41G—WEAPON SIGHTS; AIMING
    • F41G3/00—Aiming or laying means
    • F41G3/22—Aiming or laying means for vehicle-borne armament, e.g. on aircraft
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024—Arrangements for thermal management
    • H01S5/02407—Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling
    • H01S5/02423—Liquid cooling, e.g. a liquid cools a mount of the laser

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

본 발명은 고출력 레이저 빔용 댐퍼에 관한 것으로 내부에 냉각수가 흐르는 냉각 유로가 위치된 냉각 블록부재, 상기 냉각 블록부재의 일면에 장착되며 레이저 빔을 흡수하는 빔 흡수 패널부재를 포함하여 다양한 빔의 형태나 넓은 면적의 빔 형태를 차단하는 효과적인 구조를 가져 넓은 면적에 레이저 빔을 조사시켜 효과적으로 흡수 처리할 수 있고, 냉각 유로를 포함하여 고출력 레이저 빔을 흡수하면서 발생되는 열을 효과적으로 냉각시킬 수 있어 레이저 빔을 흡수하면서 발생되는 열에 의한 변형 및 손상이 방지되고 내구성이 크게 향상된다.

Description

고출력 레이저 빔용 댐퍼{DAMPER FOR HIGH POWER LASER BEAM}
본 발명은 고출력 레이저 빔용 댐퍼에 관한 것으로 고출력 레이저 빔의 출력 빔 성능 향상을 구현하기 위한 레이저 시스템의 냉각 구조에 관한 발명이다.
무인기, 드론등 원거리에서 위협적인 이동 타겟을 요격하기 위해 고출력 광섬유 레이저를 이용한 레이저 무기체계 개발이 진행되고 있다.
고출력 레이저 시스템에 있어서 레이저 빔 경로를 제외한 방향으로 광학 부품에 의한 반사 또는 투과되는 빔의 영향으로 시스템을 구성하고 있는 하우징의 벽면이 가열되어 레이저 빔 품질이 나빠지는 영향이 있다. .
즉, 고출력 레이저 시스템에 있어서 레이저 빔의 출력을 일시적으로 차단시켜 주는 경우가 빈번하게 발생된다.
레이저 빔을 차단시키는 레이저 빔용 댐퍼는 통상적으로 원형 빔 형태로 크기가 제한되어 있어 다양한 레이저 시스템에 적용하기가 불가하고, 이러한 형태는 고출력 레이저의 경우 발열 문제로 변형 및 손상이 쉽게 발생되는 문제점이 있었다.
또한, 한국등록실용신안 제0206494호 "레이저 빔 덤프"에서 덤프를 원뿔형 으로 형성하여 저출력 레이저 빔은 물론 고출력 레이저 빔에 포함되어 있는 불필요한 레이저 빔을 흡수 할 수 있도록 한 것이 제안된 바 있다.
한국등록실용신안 제0206494호 "레이저 빔 덤프"는 불필요한 레이저 광선의 에너지를 원뿔형의 반사관을 통과 시키면서 흡수하여 열로 변환 함과 동시에 공기중에서 냉각시키는 것으로 공냉을 통한 냉각으로 고출력 레이저에 적용 시 발열에 의한 변형 및 손상에 대한 문제점을 해결하지 못하는 문제점이 있다.
0001)한국등록실용신안 제0206494호 "레이저 빔 덤프"(2000.10.02.등록)
본 발명의 목적은 다양한 빔의 형태나 넓은 면적의 빔 형태를 차단하는 효과적인 구조를 가지는 고출력 레이저 빔용 댐퍼를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 냉각 유로를 포함하여 고출력 레이저 빔을 흡수하면서 발생되는 열을 효과적으로 냉각시킬 수 있는 고출력 레이저 빔용 댐퍼를 제공하는 데 있다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 고출력 레이저 빔용 댐퍼의 일 실시예는 내부에 냉각수가 흐르는 냉각 유로가 위치된 냉각 블록부재, 상기 냉각 블록부재의 일면에 장착되며 레이저 빔을 흡수하는 빔 흡수 패널부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 냉각 유로는 냉각 블록부재 내에 지그재그 형태로 형성될 수 있다.
본 발명에서 상기 냉각 블록부재는 알루미늄 재질과 구리 재질 중 어느 한 재질로 제조되고, 상기 빔 흡수 패널부재는 알루미늄 재질과 구리 재질 중 다른 한 재질로 제조될 수 있다.
본 발명에서 알루미늄 재질과 구리 재질 중 어느 한 재질로 제조된 상기 냉각 블록부재와 알루미늄 재질과 구리 재질 중 다른 한 재질로 제조된 상기 빔 흡수 패널부재는 서로 면접촉되어 가압된 상태에서 고압의 전압이 인가되면서 접합되는 이종 접합 방식으로 접합될 수 있다.
본 발명에서 상기 빔 흡수 패널부재의 표면은 레이저 빔이 입사될 때 반사를 억제하고 빔을 흡수시키기 위한 표면 처리될 수 있다.
본 발명에서 상기 냉각 유로는 상기 냉각 블록부재의 전면과 후면 중 어느 한 측에 개방된 형태로 형성되고, 상기 냉각 블록부재의 전면 또는 후면에 장착되는 상기 빔 흡수 패널부재에 의해 밀폐되는 구조를 가질 수 있다.
본 발명에서 상기 빔 흡수 패널부재는 상기 냉각 블록부재의 전면에 위치되는 제1빔 흡수 패널 및 상기 냉각 블록부재의 후면에 위치되는 제2빔 흡수 패널을 포함할 수 있다.
본 발명에서 상기 냉각 유로는 상기 냉각 블록부재의 전면에 위치되어 전면 측으로 개방된 형상을 가지고 전면에 장착되는 상기 제1빔 흡수 패널에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 구조를 가지거나 상기 냉각 블록부재의 후면에 위치되어 후면 측으로 개방된 형상을 가지고 후면에 장착되는 상기 제2빔 흡수 패널에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 구조를 가질 수 있다.
본 발명에서 상기 냉각 유로는 상기 냉각 블록부재의 전면에 위치되어 전면 측으로 개방된 형상을 가지고 전면에 장착되는 상기 제1빔 흡수 패널에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 구조를 가지는 제1유로와 냉각 블록부재의 후면에 위치되어 후면 측으로 개방된 형상을 가지고 후면에 장착되는 상기 제2빔 흡수 패널에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 제2유로를 포함하고, 상기 제1유로와 상기 제2유로는 상기 냉각 블록부재의 두께 방향으로 위치되는 연결유로를 통해 연결될 nt 있다.
본 발명에 따른 고출력 레이저 빔용 댐퍼의 일 실시예는 상기 냉각 유로 내 냉각수를 순환시키는 냉각수 순환 공급부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에서 상기 냉각수 순환 공급부는 냉각수를 저장하는 냉각수 저장탱크부, 상기 냉각수 저장 탱크부 내 냉각수를 상기 냉각 유로 내로 공급하는 냉각수 공급 라인부, 상기 냉각 유로 내에 위치된 냉각수를 상기 냉각수 저장탱크부로 회수하는 냉각수 회수 라인부, 상기 냉각수 공급 라인부 또는 상기 냉각수 회수 라인부에 위치되는 순환 펌프, 상기 냉각수 공급 라인부 또는 상기 냉각수 회수 라인부에 위치되어 유로를 개폐하는 냉각수 순환 제어밸브부를 포함할수 있다.
본 발명에서 상기 냉각수 순환 공급부는 상기 냉각수 공급 라인부 또는 상기 냉각수 저장 탱크부에 위치되어 냉각수의 온도를 감지하는 온도 센서부, 상기 냉각수 공급 라인부 또는 상기 냉각수 저장 탱크부에 위치되어 냉각수를 냉각시키는 냉각수 냉각부 및 상기 온도 센서부로부터 감지된 냉각수의 온도 정보를 전달받아 상기 냉각수 냉각부의 작동을 제어하는 냉각수 순환 제어부를 포함할 수 있다.
본 발명은 다양한 빔의 형태나 넓은 면적의 빔 형태를 차단하는 효과적인 구조를 가져 넓은 면적에 레이저 빔을 조사시켜 효과적으로 흡수 처리할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 냉각 유로를 포함하여 고출력 레이저 빔을 흡수하면서 발생되는 열을 효과적으로 냉각시킬 수 있어 레이저 빔을 흡수하면서 발생되는 열에 의한 변형 및 손상이 방지되고 내구성이 크게 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 고출력 레이저 빔용 댐퍼의 일 실시예를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 고출력 레이저 빔용 댐퍼의 일 실시예를 도시한 분해 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 고출력 레이저 빔용 댐퍼의 다른 실시예를 도시한 사시도.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 고출력 레이저 빔용 댐퍼의 일 실시예를 도시한 분해 사시도.
본 발명을 더욱 상세히 설명한다.
본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 상세한 설명에 앞서, 이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니된다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 고출력 레이저 빔용 댐퍼의 일 실시예를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 고출력 레이저 빔용 댐퍼의 일 실시예를 도시한 분해 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면 내부에 냉각수가 흐르는 냉각 유로(110)가 위치된 냉각 블록부재(100), 냉각 블록부재(100)의 일면에 장착되며 레이저 빔을 흡수하는 빔 흡수 패널부재(200)를 포함한다.
냉각 블록부재(100)의 일측에는 냉각 유로(110) 내로 냉각수를 유입시키는 냉각수 유입부(101) 및 냉각 유로(110) 내의 냉각수를 배출시키는 냉각수 배출부(102)가 위치된다.
냉각 블록부재(100)는 가로 방향으로 긴 직사각형 블록인 것을 일 예로 하고, 빔 흡수 패널부재(200)는 냉각 블록부재(100)의 전면에 장착되는 것을 일 예로 하고, 장착되는 냉각부재의 전면 형상과 동일한 형상으로 형성되어 냉각 블록부재(100)의 전면에 면접촉되어 장착되는 것을 일 예로 한다.
냉각 유로(110)는 냉각 블록부재(100) 내에 지그재그 형태로 형성되어 냉각 블록부재(100)의 전체 면적을 고르게 냉각시킬 수 있도록 한다.
냉각 블록부재(100)는 열전도율이 높은 알루미늄 재질 또는 구리 재질로 제조되고, 빔 흡수 패널부재(200)는 열전도율이 높은 구리 재질 또는 알루미늄 재질인 것을 일 예로 한다.
즉, 냉각 블록부재(100)는 알루미늄 재질과 구리 재질 중 어느 한 재질로 제조되고, 빔 흡수 패널부재(200)는 알루미늄 재질과 구리 재질 중 다른 한 재질로 제조된다.
알루미늄 재질과 구리 재질 중 어느 한 재질로 제조된 냉각 블록부재(100)와 알루미늄 재질과 구리 재질 중 다른 한 재질로 제조된 빔 흡수 패널부재(200)는 서로 면접촉되어 가압된 상태에서 고압의 전압이 인가되면서 접합되는 이종 접합 방식으로 접합된다.
냉각 블록부재(100)와 빔 흡수 패널부재(200)는 서로 면접촉되어 가압된 상태에서 고압의 전압이 인가되면서 접합되는 이종 접합 방식으로 접합된다.
냉각 블록부재(100)와 빔 흡수 패널부재(200)는 서로 면접촉한 상태에서 고압의 전압이 인가되면서 접합되는 이종 접합 방식으로 접합됨으로써 사이에 별도의 접합재 없이 열전도율이 높은 구리와 알루미늄의 직접적인 면접촉으로 접합됨으로써 열전도율이 크게 향상된다.
또한, 빔 흡수 패널부재(200)의 표면은 레이저 빔이 입사될 때 반사를 억제하고 빔을 흡수시키기 위한 표면 처리된다.
레이저 빔이 입사되는 빔 흡수 패널부재(200)의 표면은 레이저빔을 흡수하기 위한 표면처리로서 밴드갭이 작은 물질을 해당 표면에 코팅하는 방법으로 처리될 수 있다.
그리고, 레이저 빔이 입사되는 빔 흡수 패널부재(200)의 표면 처리는 내구성을 고려할 때, 네오디뮴(Neodymium)이나 세륨(Cerium) 등과 같이 UV를 흡수하더라도 손상되지 않는 재료를 코팅하는 것을 일 예로 한다.
레이저 빔이 입사되는 빔 흡수 패널부재(200)의 표면 처리는 진공 증착법, 이온 어시스트 증착법(IAD), 이온 빔 스퍼터링법(IBS) 등을 이용하여 네오디뮴(Neodymium)이나 세륨(Cerium) 등과 같이 UV를 흡수하더라도 손상되지 않는 재료를 코팅하는 것을 일 예로 한다.
레이저 빔이 입사되는 빔 흡수 패널부재(200)의 표면 처리는 알루미늄 등과 같은 금속성 소재의 표면에 산화 피막을 형성할 수도 있다.
레이저 빔이 입사되는 빔 흡수 패널부재(200)의 표면 처리는 아노다이징(anodizing) 등과 같은 표면처리를 빔 흡수 패널부재(200)의 표면에 산화 피막을 형성할 수도 있음을 밝혀둔다.
한편, 본 발명에 따른 고출력 레이저 빔용 댐퍼는 냉각 유로(110) 내 냉각수를 순환시키는 냉각수 순환 공급부(300)를 더 포함한다.
냉각수 순환 공급부(300)는 냉각수를 저장하는 냉각수 저장탱크부(310), 냉각수 저장 탱크부 내 냉각수를 냉각 유로(110) 내로 공급하는 냉각수 공급 라인부(320), 냉각 유로(110) 내에 위치된 냉각수를 냉각수 저장탱크부(310)로 회수하는 냉각수 회수 라인부(330), 냉각수 공급 라인부(320) 또는 냉각수 회수 라인부(330)에 위치되는 순환 펌프(340), 냉각수 공급 라인부(320) 또는 냉각수 회수 라인부(330)에 위치되어 유로를 개폐하는 냉각수 순환 제어밸브부(350)를 포함한다.
또한, 냉각수 순환 공급부(300)는 냉각수 공급 라인부(320) 또는 냉각수 저장 탱크부에 위치되어 냉각수의 온도를 감지하는 온도 센서부(360), 냉각수 공급 라인부(320) 또는 냉각수 저장 탱크부에 위치되어 냉각수를 냉각시키는 냉각수 냉각부(370), 온도 센서부(360)로부터 감지된 냉각수의 온도 정보를 전달받아 냉각수 냉각부(370)의 작동을 제어하는 냉각수 순환 제어부(380)를 포함할 수 있다.
냉각수 순환 공급부(300)는 냉각 유로(110) 내의 냉각수를 순환시켜 냉각 효율을 향상시킬 수 있다.
냉각수 순환 제어부(380)는 순환 펌프(340)와 냉각수 순환 제어밸브부(350)의 작동을 제어하여 냉각수의 순환량을 제어할 수 있다.
또한, 냉각수 순환 공급부(300)는 온도 센서부(360)로 냉각 유로(110) 내로 공급되는 냉각수의 온도를 감지하고, 냉각수 순환 제어부(380)로 냉각수 냉각부(370)의 작동을 제어함으로써 냉각 유로(110) 내로 공급되는 냉각수의 온도를 균일하게 유지할 수 있어 냉각 효율을 일정하게 유지할 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 고출력 레이저 빔용 댐퍼의 다른 실시예를 도시한 사시도이고, 도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 고출력 레이저 빔용 댐퍼의 일 실시예를 도시한 분해 사시도이다.
도 3 내지 도 5를 참고하면 빔 흡수 패널부재(200)는 냉각 블록부재(100)의 전면과 후면에 각각 장착되어 냉각 블록부재(100)의 양쪽면을 이용하여 레이저 빔을 흡수하도록 할 수도 있다.
즉, 빔 흡수 패널부재(200)는 냉각 블록부재(100)의 전면에 위치되는 제1빔 흡수 패널(210), 냉각 블록부재(100)의 후면에 위치되는 제2빔 흡수 패널(220)을 포함할 수 있다.
또한, 냉각 블록부재(100)는 전면과 후면 중 적어도 어느 한 측에 냉각 유로(110)가 개방된 형태로 제조될 수 있다.
냉각 유로(110)는 냉각 블록부재(100)의 전면에 위치되어 전면 측으로 개방된 형상을 가지고 전면에 장착되는 제1빔 흡수 패널(210)에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 구조를 가지거나 냉각 블록부재(100)의 후면에 위치되어 후면 측으로 개방된 형상을 가지고 후면에 장착되는 제2빔 흡수 패널(220)에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 구조를 가질 수 있다.
냉각 유로(110)는 냉각 블록부재(100)의 전면 또는 냉각 블록부재(100)의 후면으로 개방된 형태로 형성되고 내부에 위치된 냉각수가 전면 또는 후면을 커버하는 빔 흡수 패널부재(200)에 접촉되어 냉각될 수 있는 구조를 가져 냉각 효과가 증가된다.
특히, 직접적으로 레이저 빔이 입사되는 빔 흡수 패널부재(200)가 개방형 유로인 냉각 유로(110)를 흐르는 냉각수에 의해 직접 냉각되어 냉각 효율이 크게 향상된다.
또한, 냉각 유로(110)는 냉각 블록부재(100)의 전면에 위치되어 전면 측으로 개방된 형상을 가지고 전면에 장착되는 제1빔 흡수 패널(210)에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 구조를 가지는 제1유로(111)와 냉각 블록부재(100)의 후면에 위치되어 후면 측으로 개방된 형상을 가지고 후면에 장착되는 제2빔 흡수 패널(220)에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 제2유로(112)를 포함하고, 제1유로(111)와 제2유로(112)는 냉각 블록부재(100)의 두께 방향으로 위치되는 연결유로를 통해 연결된 이중 유로 구조를 가질 수 있다.
냉각 유로(110)는 냉각 블록부재(100)의 전면에 위치되고 전면 측으로 개방되어 내부의 냉각수가 직접적으로 제1빔 흡수 패널(210)에 접촉되도록 하는 제1유로(111)와 냉각 블록부재(100)의 후면에 위치되고 후면 측으로 개방되어 내부의 냉각수가 직접적으로 제2빔 흡수 패널(220)에 접촉되도록 하는 제2유로(112)를 포함한다.
레이저 빔이 직접적으로 입사되는 제1빔 흡수 패널(210)과 제2빔 흡수 패널(220)은 각각 개방형 구조를 가지는 제1유로(111)와 제2유로(112)에 의해 냉각수와 직접적으로 접촉되어 냉각 효과가 직접적으로 이루어짐으로써 레이점 빔이 입사되면서 발생되는 열을 빠르게 냉각시키고, 냉각 효율이 극대화될 수 있다.
본 발명은 다양한 빔의 형태나 넓은 면적의 빔 형태를 차단하는 효과적인 구조를 가져 넓은 면적에 레이저 빔을 조사시켜 효과적으로 흡수 처리할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 냉각 유로(110)를 포함하여 고출력 레이저 빔을 흡수하면서 발생되는 열을 효과적으로 냉각시킬 수 있어 레이저 빔을 흡수하면서 발생되는 열에 의한 변형 및 손상이 방지되고 내구성이 크게 향상되는 효과가 있다.
본 발명은 상기한 실시 예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지에 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있으며 이는 본 발명의 구성에 포함됨을 밝혀둔다.
100 : 냉각 블록부재
101 : 냉각수 유입부
102 : 냉각수 배출부
110 : 냉각 유로
111 : 제1유로
112 : 제2유로
200 : 빔 흡수 패널부재
210 : 제1빔 흡수 패널
220 : 제2빔 흡수 패널
300 : 냉각수 순환 공급부
310 : 냉각수 저장탱크부
320 : 냉각수 공급 라인부
330 : 냉각수 회수 라인부
340 : 순환 펌프
350 : 냉각수 순환 제어밸브부
360 : 온도 센서부
370 : 냉각수 냉각부
380 : 냉각수 순환 제어부

Claims (12)

  1. 내부에 냉각수가 흐르는 냉각 유로가 위치된 냉각 블록부재; 및
    상기 냉각 블록부재의 일면에 장착되며 레이저 빔을 흡수하는 빔 흡수 패널부재를 포함하며,
    상기 빔 흡수 패널부재는,
    상기 냉각 블록부재의 전면에 위치되는 제1빔 흡수 패널; 및
    상기 냉각 블록부재의 후면에 위치되는 제2빔 흡수 패널을 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 빔용 댐퍼.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 냉각 유로는 냉각 블록부재 내에 지그재그 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 빔용 댐퍼.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 냉각 블록부재는 알루미늄 재질과 구리 재질 중 어느 한 재질로 제조되고, 상기 빔 흡수 패널부재는 알루미늄 재질과 구리 재질 중 다른 한 재질로 제조되는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 빔용 댐퍼.
  4. 청구항 1에 있어서,
    알루미늄 재질과 구리 재질 중 어느 한 재질로 제조된 상기 냉각 블록부재와 알루미늄 재질과 구리 재질 중 다른 한 재질로 제조된 상기 빔 흡수 패널부재는 서로 면접촉되어 가압된 상태에서 고압의 전압이 인가되면서 접합되는 이종 접합 방식으로 접합되는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 빔용 댐퍼.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 빔 흡수 패널부재의 표면은 레이저 빔이 입사될 때 반사를 억제하고 빔을 흡수시키기 위한 표면 처리된 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 빔용 댐퍼.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 냉각 유로는 상기 냉각 블록부재의 전면과 후면 중 어느 한 측에 개방된 형태로 형성되고, 상기 냉각 블록부재의 전면 또는 후면에 장착되는 상기 빔 흡수 패널부재에 의해 밀폐되는 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 빔용 댐퍼.
  7. 삭제
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 냉각 유로는,
    상기 냉각 블록부재의 전면에 위치되어 전면 측으로 개방된 형상을 가지고 전면에 장착되는 상기 제1빔 흡수 패널에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 구조를 가지거나 상기 냉각 블록부재의 후면에 위치되어 후면 측으로 개방된 형상을 가지고 후면에 장착되는 상기 제2빔 흡수 패널에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 빔용 댐퍼.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 냉각 유로는,
    상기 냉각 블록부재의 전면에 위치되어 전면 측으로 개방된 형상을 가지고 전면에 장착되는 상기 제1빔 흡수 패널에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 구조를 가지는 제1유로와 냉각 블록부재의 후면에 위치되어 후면 측으로 개방된 형상을 가지고 후면에 장착되는 상기 제2빔 흡수 패널에 의해 개방된 부분이 밀폐되는 제2유로를 포함하고, 상기 제1유로와 상기 제2유로는 상기 냉각 블록부재의 두께 방향으로 위치되는 연결유로를 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 빔용 댐퍼.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 냉각 유로 내 냉각수를 순환시키는 냉각수 순환 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 빔용 댐퍼.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 냉각수 순환 공급부는,
    냉각수를 저장하는 냉각수 저장탱크부;
    상기 냉각수 저장 탱크부 내 냉각수를 상기 냉각 유로 내로 공급하는 냉각수 공급 라인부;
    상기 냉각 유로 내에 위치된 냉각수를 상기 냉각수 저장탱크부로 회수하는 냉각수 회수 라인부;
    상기 냉각수 공급 라인부 또는 상기 냉각수 회수 라인부에 위치되는 순환 펌프;
    상기 냉각수 공급 라인부 또는 상기 냉각수 회수 라인부에 위치되어 유로를 개폐하는 냉각수 순환 제어밸브부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 빔용 댐퍼.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 냉각수 순환 공급부는,
    상기 냉각수 공급 라인부 또는 상기 냉각수 저장 탱크부에 위치되어 냉각수의 온도를 감지하는 온도 센서부;
    상기 냉각수 공급 라인부 또는 상기 냉각수 저장 탱크부에 위치되어 냉각수를 냉각시키는 냉각수 냉각부; 및
    상기 온도 센서부로부터 감지된 냉각수의 온도 정보를 전달받아 상기 냉각수 냉각부의 작동을 제어하는 냉각수 순환 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 빔용 댐퍼.
KR1020190152413A 2019-11-25 2019-11-25 고출력 레이저 빔용 댐퍼 KR102145442B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190152413A KR102145442B1 (ko) 2019-11-25 2019-11-25 고출력 레이저 빔용 댐퍼

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190152413A KR102145442B1 (ko) 2019-11-25 2019-11-25 고출력 레이저 빔용 댐퍼

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102145442B1 true KR102145442B1 (ko) 2020-08-18

Family

ID=72265617

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190152413A KR102145442B1 (ko) 2019-11-25 2019-11-25 고출력 레이저 빔용 댐퍼

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102145442B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1056226A (ja) * 1996-08-09 1998-02-24 Amada Eng Center:Kk レーザ光用シャッタのレーザ光吸収装置
KR100206494B1 (ko) 1995-12-30 1999-07-01 이구택 타르슬러지의 표면 점착성 제거방법
KR20180031975A (ko) * 2016-09-21 2018-03-29 한국원자력연구원 레이저 빔 덤퍼

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100206494B1 (ko) 1995-12-30 1999-07-01 이구택 타르슬러지의 표면 점착성 제거방법
JPH1056226A (ja) * 1996-08-09 1998-02-24 Amada Eng Center:Kk レーザ光用シャッタのレーザ光吸収装置
KR20180031975A (ko) * 2016-09-21 2018-03-29 한국원자력연구원 레이저 빔 덤퍼

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6124600A (en) Ultraviolet irradiation device of the optical path division type
CN209516297U (zh) 一种高效的激光器专用散热装置
CN209792894U (zh) 一种具有冷却散热功能的激光切割头
KR102518184B1 (ko) 차량용 고전압배터리의 냉난방시스템
CN109865945B (zh) 一种具有冷却散热功能的激光切割头
KR102145442B1 (ko) 고출력 레이저 빔용 댐퍼
JPH0768163A (ja) 紫外線照射装置
CN104269725A (zh) 一种双碟片串接的泵浦光多程传输系统及碟片固体激光器
CN106602391B (zh) 一种具备波前畸变自校正能力的板条激光模块
US4337756A (en) Panel for collecting solar energy with reduced losses
CN208644381U (zh) 一种气体冷却式激光切割枪头
CN103545716A (zh) 一种防光反馈的高功率半导体激光加工光源系统
CN1972038A (zh) 固体薄片激光器的冷却结构
CN211638696U (zh) 一种激光发生器冷却装置
WO2023039960A1 (zh) 带冷却的泵浦源系统
CN115084982A (zh) 一种面向高峰值功率激光的板条激光放大增益模块
JP2003080390A (ja) 高強度レーザビーム用光吸収装置
CN103532016B (zh) 一种具有防光反馈作用的高功率半导体激光加工光源系统
JP2956759B2 (ja) レーザビームダンパ
CN117791295B (zh) 半导体激光器
CN102545033B (zh) 一种大功率双波长半导体矩形激光发生装置
CN114243439B (zh) 一种可降低边缘波前畸变的板条激光增益介质ase抑制装置
JPH06252484A (ja) レーザビーム吸収器
CN220825596U (zh) 一种高功率激光切割头镜片冷却装置
CN217984045U (zh) 双波段激光光束功率吸收装置

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant