KR102141194B1 - Apparatus for preventing interference of sensors - Google Patents

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Abstract

센서 간섭 방지 장치는, 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 제1 레일과 상기 제1 레일과 합류하는 제2 레일 사이에 배치되며, 상기 제1 레일을 따라 이동하는 제1 비히클에서 다른 비히클과의 거리를 감지하는 거리 센서와 상기 제2 레일을 따라 이동하는 제2 비히클의 거리 센서가 서로 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 거리 센서들의 높이와 대응하는 높이에 배치되는 차단판과, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일의 합류 지점과 인접하는 상기 차단판의 단부에 이동 가능하도록 구비되며, 상기 차단판의 길이를 연장시키기 위한 연장판 및 상기 차단판의 길이를 연장하도록 상기 연장판을 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.The sensor interference prevention device is disposed between a first rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously disposed, and a second rail joining the first rail, and moves along the first rail. Blocking arranged at a height corresponding to the height of the distance sensors to prevent the distance sensor detecting the distance from the first vehicle to another vehicle and the distance sensor of the second vehicle moving along the second rail to interfere with each other A plate, provided to be movable at an end portion of the blocking plate adjacent to a confluence point of the first rail and the second rail, and extending the length of the blocking plate and extending the length of the blocking plate It may include a driving unit for moving the extension plate.

Description

센서 간섭 방지 장치{Apparatus for preventing interference of sensors}Apparatus for preventing interference of sensors}

본 발명은 센서 간섭 방지 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 천장 이송 장치의 레일 합류 지점에서 비히클에 구비된 센서들이 서로 간섭하는 것을 방지하기 위한 센서 간섭 방지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a sensor interference prevention device, and more particularly, to a sensor interference prevention device for preventing sensors provided in a vehicle from interfering with each other at a rail confluence point of a ceiling transfer device.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor process devices for manufacturing a semiconductor device are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus while being accommodated in a cassette, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the cassette.

상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport)와 같은 천장 이송 장치에 의해 이송된다. 상기 천장 이송 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. The cassette is transported by a ceiling transport device such as OHT (Overhead Hoist Transport). The ceiling transport apparatus includes a vehicle that runs along the traveling rail while holding the traveling rail and the cassette provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously disposed.

상기 비히클의 전면에는 전방에 위치한 다른 비히클과의 거리를 감지하기 위한 거리 센서와 전방에 위치한 장애물을 감지하기 위한 장애물 감지 센서가 구비된다. 상기 레일에서 두 레일이 합류하는 합류 지점에서 두 개의 비히클이 서로 인접할 수 있다. A front surface of the vehicle is provided with a distance sensor for detecting a distance from another vehicle located in front and an obstacle detection sensor for detecting an obstacle located in front. Two vehicles may be adjacent to each other at a confluence point where the two rails join at the rail.

이때, 상기 두 비히클에 구비되는 상기 거리 센서들 또는 상기 장애물 감지 센서들이 서로 간섭될 수 있다. 구체적으로, 하나의 거리 센서 또는 장애물 감지 센서에서 조사된 광이 다른 하나의 거리 센서 또는 장애물 감지 센서에 수광되는 경우, 상기 다른 하나의 거리 센서 또는 장애물 감지 센서에 에러가 발생한다. 상기 센서들의 에러로 인해 상기 비히클의 주행이 중단될 수 있다. At this time, the distance sensors or the obstacle detection sensors provided in the two vehicles may interfere with each other. Specifically, when light irradiated from one distance sensor or obstacle detection sensor is received by another distance sensor or obstacle detection sensor, an error occurs in the other distance sensor or obstacle detection sensor. The vehicle may be stopped due to errors in the sensors.

본 발명은 레일의 합류 지점에서 인접하는 두 비히클에 구비되는 거리 센서들 또는 장애물 감지 센서들이 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있는 센서 간섭 방지 장치를 제공한다. The present invention provides a sensor interference prevention apparatus capable of preventing distance sensors or obstacle detection sensors provided in two adjacent vehicles at a confluence point of a rail from interfering with each other.

본 발명에 따른 센서 간섭 방지 장치는, 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 제1 레일과 상기 제1 레일과 합류하는 제2 레일 사이에 배치되며, 상기 제1 레일을 따라 이동하는 제1 비히클에서 다른 비히클과의 거리를 감지하는 거리 센서와 상기 제2 레일을 따라 이동하는 제2 비히클의 거리 센서가 서로 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 거리 센서들의 높이와 대응하는 높이에 배치되는 차단판과, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일의 합류 지점과 인접하는 상기 차단판의 단부에 이동 가능하도록 구비되며, 상기 차단판의 길이를 연장시키기 위한 연장판 및 상기 차단판의 길이를 연장하도록 상기 연장판을 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다. The apparatus for preventing sensor interference according to the present invention is disposed between a first rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously disposed, and a second rail joining the first rail, wherein the first rail The height corresponding to the height of the distance sensors to prevent the distance sensor detecting the distance from the first vehicle moving along the other vehicle and the distance sensor of the second vehicle moving along the second rail from interfering with each other It is provided to be movable at the end of the blocking plate disposed adjacent to the confluence point of the first rail and the second rail, the extension plate for extending the length of the blocking plate and the blocking plate It may include a driving unit for moving the extension plate to extend the length.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 구동부는 상기 연장판을 상기 제1 비히클 또는 상기 제2 비히클의 진행 경로까지 연장할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the driving unit may extend the extension plate to a traveling path of the first vehicle or the second vehicle.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 구동부는 상기 연장판을 수평 이동시키거나, 상하 이동시키거나 회전 이동시킬 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the driving unit may move the extension plate horizontally, vertically, or rotationally.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서 간섭 방지 장치는, 상기 차단판에 구비되며, 상기 제1 비히클 및 상기 제2 비히클의 접근을 감지하는 비히클 감지 센서를 더 포함하고, 상기 감지 센서의 감지 결과에 따라 상기 구동부가 상기 연장판을 이동시킬 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the sensor interference prevention device is provided on the blocking plate, further comprising a vehicle detection sensor for detecting the approach of the first vehicle and the second vehicle, the sensor According to the detection result, the driving unit may move the extension plate.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 감지 센서는 상기 제1 비히클의 거리 센서 및 상기 제2 비히클의 거리 센서로부터 조사된 광을 입력받거나, 상기 제1 비히클 및 상기 제2 비히클의 접근 신호를 상기 통선 통신을 통해 전달받을 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the sensing sensor receives the light irradiated from the distance sensor of the first vehicle and the distance sensor of the second vehicle, or receives an approach signal of the first vehicle and the second vehicle. It can be delivered through the communication.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서 간섭 방지 장치는, 상기 제1 비히클에서 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서와 상기 제2 비히클의 장애물 감지 센서 사이의 간섭을 추가로 방지하기 위해 상기 장애물 감지 센서들의 높이와 대응하는 높이에 배치되는 제2 차단판, 제2 연장판 및 제2 구동부를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the sensor interference prevention device is to prevent further interference between the obstacle detection sensor for detecting an obstacle ahead of the first vehicle and the obstacle detection sensor of the second vehicle. A second blocking plate, a second extension plate, and a second driving portion disposed at a height corresponding to the height of the obstacle detection sensors may be further included.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 비히클에서 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서와 상기 제2 비히클의 장애물 감지 센서 사이의 간섭을 추가로 방지하기 위해 상기 차단판 및 상기 연장판은 상기 거리 센서들 및 상기 장애물 감지 센서들을 커버하도록 상하 폭을 가질 수 있다. According to one embodiment of the invention, the blocking plate and the extension plate to further prevent interference between the obstacle detection sensor for detecting an obstacle ahead of the first vehicle and the obstacle detection sensor of the second vehicle The distance sensors and the obstacle detection sensors may have vertical widths.

본 발명에 따른 센서 간섭 방지 장치는 합류 지점에 위치하는 두 레일 사이에 차단판을 구비하여 인접하는 두 비히클 사이를 차단한다. 따라서, 상기 두 비히클들에 구비된 상기 거리 센서들 또는 상기 장애물 감지 센서들이 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있다. The sensor interference prevention device according to the present invention is provided with a blocking plate between two rails located at the confluence point to block between two adjacent vehicles. Therefore, it is possible to prevent the distance sensors or the obstacle detection sensors provided in the two vehicles from interfering with each other.

또한, 상기 센서 간섭 방지 장치는 상기 연장판이 상기 레일의 합류 지점과 인접하는 상기 차단판의 단부에 이동 가능하도록 구비되어 상기 차단판의 길이를 선택적으로 연장할 수 있다. 상기 비히클의 종류가 변경되어 상기 차단판으로 상기 두 비히클들에 구비된 상기 거리 센서들 또는 상기 장애물 감지 센서들이 서로 간섭되는 것을 방지하지 못하는 경우, 상기 연장판으로 상기 차단판의 길이를 연장할 수 있다. 따라서, 상기 비히클의 종류가 변경되더라도 상기 연장판으로 상기 두 비히클들에 구비된 상기 거리 센서들 또는 상기 장애물 감지 센서들이 서로 간섭되는 것을 추가로 방지할 수 있다.In addition, the sensor interference prevention device is provided so that the extension plate is movable at the end of the blocking plate adjacent to the confluence point of the rail, so that the length of the blocking plate can be selectively extended. When the type of the vehicle is changed to prevent the distance sensors or the obstacle detection sensors provided in the two vehicles with the blocking plate from interfering with each other, the length of the blocking plate may be extended with the extension plate. have. Therefore, even if the type of the vehicle is changed, it is possible to further prevent the distance sensors or the obstacle detection sensors provided in the two vehicles with the extension plate from interfering with each other.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 간섭 방지 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 A-A'선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 센서 간섭 방지 장치에서 연장판의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 센서 간섭 방지 장치에서 연장판의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 센서 간섭 방지 장치의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 센서 간섭 방지 장치의 또 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다. 1 is a schematic plan view for explaining an apparatus for preventing sensor interference according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line A-A' shown in FIG. 1.
3 is a plan view for explaining the operation of the extension plate in the sensor interference prevention device shown in FIG.
4 is a side view for explaining the operation of the extension plate in the sensor interference prevention device shown in FIG.
5 is a cross-sectional view for describing another example of the sensor interference prevention apparatus illustrated in FIG. 1.
6 is a cross-sectional view for describing another example of the sensor interference prevention apparatus illustrated in FIG. 1.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention can be applied to various changes and may have various forms, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosure form, and it should be understood that all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention are included. In describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than actual in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from other components. For example, the first component may be referred to as a second component without departing from the scope of the present invention, and similarly, the second component may be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprises" or "have" are intended to indicate the presence of features, numbers, steps, actions, elements, parts or combinations thereof described in the specification, one or more other features. It should be understood that the existence or addition possibilities of fields or numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person skilled in the art to which the present invention pertains. Terms, such as those defined in a commonly used dictionary, should be interpreted as having meanings consistent with meanings in the context of related technologies, and should not be interpreted as ideal or excessively formal meanings unless explicitly defined in the present application. Does not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 간섭 방지 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 A-A'선을 기준으로 절단한 단면도이다. 1 is a schematic plan view for explaining an apparatus for preventing sensor interference according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line A-A' shown in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 주행 레일(10)은 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비된다. 1 and 2, the driving rail 10 is provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged.

상기 주행 레일(10)은 제1 레일(12) 및 상기 제1 레일(12)과 합류하는 제2 레일(14)을 포함할 수 있다. The driving rail 10 may include a first rail 12 and a second rail 14 joining the first rail 12.

가이드 레일(20)은 상기 제1 레일(12)과 상기 제2 레일(14)이 합류하는 합류 지점에 구비되며, 상기 주행 레일(10) 사이의 상방에 위치한다. 상기 가이드 레일(20)은 상기 제1 레일(12) 상에 위치하는 제1 가이드 레일(22) 및 상기 제2 레일(14) 상에 위치하는 제2 가이드 레일(24)을 포함할 수 있다. The guide rail 20 is provided at a confluence point where the first rail 12 and the second rail 14 join, and is located above the traveling rail 10. The guide rail 20 may include a first guide rail 22 positioned on the first rail 12 and a second guide rail 24 positioned on the second rail 14.

제1 비히클(30)은 다수의 대상물들이 적재된 카세트(미도시)를 파지할 수 있다. 따라서, 상기 제1 비히클(30)은 상기 제1 레일(12)을 따라 주행하면서 상기 카세트를 상기 반도체 공정 장치들로 이송한다. 상기 대상물의 예로는 레티클, 웨이퍼, 인쇄회로기판 등을 들 수 있다. 상기 대상물의 종류에 따라 상기 제1 비히클(30)의 종류 및 크기가 달라질 수 있다. The first vehicle 30 can hold a cassette (not shown) loaded with a plurality of objects. Accordingly, the first vehicle 30 travels along the first rail 12 to transfer the cassette to the semiconductor processing devices. Examples of the object include reticles, wafers, printed circuit boards, and the like. The type and size of the first vehicle 30 may vary according to the type of the object.

상기 제1 비히클(30)은 제1 주행 휠(32) 및 제1 가이드 휠(34)을 포함한다.The first vehicle 30 includes a first driving wheel 32 and a first guide wheel 34.

상기 제1 주행 휠(32)은 상기 제1 비히클(30)의 상면 양측면에 구비되며, 상기 제1 레일(12)과 접촉하여 회전한다. 따라서, 상기 제1 비히클(30)은 상기 제1 주행 휠(32)이 회전함에 따라 상기 제1 레일(12)을 따라 주행할 수 있다. The first driving wheel 32 is provided on both sides of the upper surface of the first vehicle 30, and rotates in contact with the first rail 12. Accordingly, the first vehicle 30 may travel along the first rail 12 as the first driving wheel 32 rotates.

상기 제1 가이드 휠(34)은 상기 제1 비히클(30)의 상면에 구비되며, 상기 가이드 레일(20)과 접촉하여 회전한다. 상기 제1 가이드 휠(34)은 한 쌍이 구비될 수 있으며, 상기 가이드 레일(20)에서 제1 가이드 레일(22)과 제2 가이드 레일(24) 중 어느 하나와 선택적으로 접촉할 수 있다. The first guide wheel 34 is provided on the upper surface of the first vehicle 30 and rotates in contact with the guide rail 20. The first guide wheel 34 may be provided with a pair, and may selectively contact any one of the first guide rail 22 and the second guide rail 24 in the guide rail 20.

상기 제1 비히클(30)에는 제1 거리 센서(36) 및 제1 전방 장애물 감지 센서(38)가 구비될 수 있다. 상기 제1 거리 센서(36)와 상기 제1 전방 장애물 감지 센서(38)는 상기 제1 비히클(30)의 전면 부위에 장착될 수 있다. 상기 제1 거리 센서(36)는 전방에 위치된 다른 제1 비히클(30)과의 거리를 측정하기 위해 사용될 수 있다. 상기 제1 전방 장애물 감지 센서(38)는 상기 제1 비히클(30)의 주행 중 전방에 장애물이 있는지 여부를 판단하기 위해 사용될 수 있다.A first distance sensor 36 and a first front obstacle detection sensor 38 may be provided in the first vehicle 30. The first distance sensor 36 and the first front obstacle detection sensor 38 may be mounted on a front portion of the first vehicle 30. The first distance sensor 36 may be used to measure a distance from another first vehicle 30 located in the front. The first front obstacle detection sensor 38 may be used to determine whether there is an obstacle in the front while driving the first vehicle 30.

상기 제1 거리 센서(36) 및 상기 제1 전방 장애물 감지 센서(38)는 서로 다른 높이에 위치할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 거리 센서(36)는 상기 제1 비히클(30)의 전면 상측에 위치하고, 상기 제1 전방 장애물 감지 센서(38)는 상기 제1 비히클(30)의 전면 하측에 위치할 수 있다. 다른 예로, 상기 제1 거리 센서(36)는 상기 제1 비히클(30)의 전면 하측에 위치하고, 상기 제1 전방 장애물 감지 센서(38)는 상기 제1 비히클(30)의 전면 상측에 위치할 수 있다. The first distance sensor 36 and the first front obstacle detection sensor 38 may be located at different heights. For example, the first distance sensor 36 is located on the front upper side of the first vehicle 30, and the first front obstacle detection sensor 38 is located on the front lower side of the first vehicle 30. Can. As another example, the first distance sensor 36 is located at the lower front side of the first vehicle 30, and the first front obstacle detection sensor 38 is located at the upper front side of the first vehicle 30. have.

이와 달리 상기 제1 거리 센서(36) 및 상기 제1 전방 장애물 감지 센서(38)는 동일한 높이에 위치할 수 있다.Alternatively, the first distance sensor 36 and the first front obstacle detection sensor 38 may be located at the same height.

제2 비히클(40)은 상기 제2 레일(14)을 따라 주행하면서 상기 카세트를 상기 반도체 공정 장치들로 이송한다. 상기 제2 비히클(40)은 제2 주행 휠(42), 제2 가이드 휠(44), 제2 거리 센서(46) 및 제2 전방 장애물 감지 센서를 포함한다. The second vehicle 40 travels along the second rail 14 to transfer the cassette to the semiconductor processing devices. The second vehicle 40 includes a second driving wheel 42, a second guide wheel 44, a second distance sensor 46 and a second front obstacle detection sensor.

상기 제2 주행 휠(42), 상기 제2 가이드 휠(44), 상기 제2 거리 센서(46) 및 상기 제2 전방 장애물 감지 센서에 대한 설명은 상기 제1 주행 휠(32), 상기 제1 가이드 휠(34), 상기 제1 거리 센서(36) 및 상기 제1 전방 장애물 감지 센서(38)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다. Descriptions of the second driving wheel 42, the second guide wheel 44, the second distance sensor 46, and the second front obstacle detection sensor may include the first driving wheel 32 and the first It is substantially the same as the description of the guide wheel 34, the first distance sensor 36 and the first front obstacle detection sensor 38.

상기 센서 간섭 방지 장치(100)는 차단판(110), 연장판(120), 구동부(130) 및 비히클 감지 센서(140)를 포함할 수 있다.The sensor interference prevention device 100 may include a blocking plate 110, an extension plate 120, a driving unit 130, and a vehicle detection sensor 140.

상기 차단판(110)은 상기 합류 지점에서 상기 제1 레일(12)과 상기 제2 레일(14) 사이에 구비된다. 상기 차단판(110)은 상기 제1 레일(12) 또는 상기 제2 레일(14)을 따라 연장하며, 수직하도록 세워질 수 있다. 상기 차단판(110)은 상기 제1 거리 센서(36)와 상기 제2 거리 센서(46)의 높이와 대응하는 높이에 배치될 수 있다. The blocking plate 110 is provided between the first rail 12 and the second rail 14 at the confluence point. The blocking plate 110 extends along the first rail 12 or the second rail 14 and may be erected to be vertical. The blocking plate 110 may be disposed at a height corresponding to the heights of the first distance sensor 36 and the second distance sensor 46.

상기 차단판(110)은 상기 제1 거리 센서(36)와 상기 제2 거리 센서(46)에서 조사된 광을 차단할 수 있는 재질이면 어느 것이나 사용될 수 있다. 또한, 상기 차단판(110)은 상기 천장에 고정되거나, 별도의 구조물에 고정될 수 있다. The blocking plate 110 may be any material that can block light irradiated from the first distance sensor 36 and the second distance sensor 46. In addition, the blocking plate 110 may be fixed to the ceiling or to a separate structure.

상기 합류 지점에서 상기 제1 비히클(30)과 상기 제2 비히클(40)이 서로 인접할 때 상기 차단판(110)은 상기 제1 비히클(30)과 상기 제2 비히클(40) 사이를 차단하여 상기 제1 거리 센서(36)와 상기 제2 거리 센서(46)가 서로 간섭하는 것을 방지한다. When the first vehicle 30 and the second vehicle 40 are adjacent to each other at the confluence point, the blocking plate 110 blocks between the first vehicle 30 and the second vehicle 40, The first distance sensor 36 and the second distance sensor 46 are prevented from interfering with each other.

구체적으로, 상기 차단판(110)은 상기 제1 거리 센서(36)와 상기 제2 거리 센서(46) 중 어느 하나에서 조사된 광이 나머지 하나에서 수광되는 것을 방지한다. 따라서, 상기 제1 거리 센서(36)와 상기 제2 거리 센서(46)의 에러를 방지할 수 있다. Specifically, the blocking plate 110 prevents light irradiated from any one of the first distance sensor 36 and the second distance sensor 46 from being received by the other. Therefore, errors of the first distance sensor 36 and the second distance sensor 46 can be prevented.

상기 연장판(120)은 상기 합류 지점과 인접하는 상기 차단판(110)의 단부에 이동 가능하도록 구비되며, 상기 연장판(120)은 상기 합류 지점을 향해 상기 차단판(110)의 길이를 연장시킬 수 있다. 이때, 상기 연장판(120)은 상기 제1 비히클(30) 또는 상기 제2 비히클(40)의 이동 경로까지 이동할 수 있다. The extension plate 120 is provided to be movable at an end of the blocking plate 110 adjacent to the confluence point, and the extension plate 120 extends the length of the blocking plate 110 toward the confluence point. I can do it. At this time, the extension plate 120 may move to a movement path of the first vehicle 30 or the second vehicle 40.

상기 제1 비히클(30)과 상기 제2 비히클(40)의 종류가 변경되는 경우, 상기 제1 비히클(30)과 상기 제2 비히클(40)의 크기가 달라질 수 있다. 상기 제1 비히클(30)과 상기 제2 비히클(40)의 크기가 변경되는 경우, 상기 차단판(110)으로 상기 제1 비히클(30)과 상기 제2 비히클(40) 사이를 완전히 차단하지 못할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 거리 센서(36)와 상기 제2 거리 센서(46)가 서로 간섭할 수 있다. When the types of the first vehicle 30 and the second vehicle 40 are changed, sizes of the first vehicle 30 and the second vehicle 40 may be different. When the sizes of the first vehicle 30 and the second vehicle 40 are changed, the blocking plate 110 may not completely block between the first vehicle 30 and the second vehicle 40. Can. In this case, the first distance sensor 36 and the second distance sensor 46 may interfere with each other.

상기 제1 비히클(30)과 상기 제2 비히클(40)의 크기가 변경되어 상기 차단판(110)으로 상기 차단판(110)으로 상기 제1 비히클(30)과 상기 제2 비히클(40) 사이를 완전히 차단하지 못하는 경우, 상기 연장판(120)을 이동시켜 상기 차단판(110)의 길이를 연장함으로써 상기 제1 비히클(30)과 상기 제2 비히클(40) 사이를 차단할 수 있다. 따라서, 상기 제1 거리 센서(36)와 상기 제2 거리 센서(46)가 서로 간섭하는 것을 추가적으로 방지할 수 있다. The size of the first vehicle 30 and the second vehicle 40 is changed, so that the blocking plate 110 is used as the blocking plate 110 between the first vehicle 30 and the second vehicle 40. If it is not completely blocked, the extension plate 120 may be moved to extend the length of the blocking plate 110 to block between the first vehicle 30 and the second vehicle 40. Therefore, it is possible to further prevent the first distance sensor 36 and the second distance sensor 46 from interfering with each other.

상기 구동부(130)는 상기 연장판(120)과 연결되며, 상기 연장판(120)이 상기 차단판(110)의 길이는 연장하도록 상기 연장판(120)을 수평 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 연장판(120)은 수직으로 세워진 상기 차단판(110)의 측면에 배치된 상태에서 상기 구동부(130)의 구동에 따라 상기 제1 비히클(30) 또는 상기 제2 비히클(40)의 이동 경로까지 이동할 수 있다. The driving unit 130 is connected to the extension plate 120, and the extension plate 120 may horizontally move the extension plate 120 so that the length of the blocking plate 110 extends. For example, the first vehicle 30 or the second vehicle 40 according to the driving of the driving unit 130 in the state that the extension plate 120 is disposed on the side of the blocking plate 110 that is vertically erected. ).

상기 연장판(120)이 필요하지 않는 경우, 상기 연장판(120)이 상기 제1 비히클(30) 또는 상기 제2 비히클(40)의 이동을 방해하지 않도록 상기 구동부(130)의 구동에 따라 상기 연장판(120)은 수직으로 세워진 상기 차단판(110)의 측면에 위치할 수 있다. When the extension plate 120 is not required, the extension plate 120 is driven according to the driving of the driving unit 130 so as not to interfere with the movement of the first vehicle 30 or the second vehicle 40. The extension plate 120 may be positioned on the side of the blocking plate 110 that is vertically erected.

상기 구동부(130)는 회전 모터와, 회전 모터의 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 볼 스크류를 포함하여 구성되거나, 리니어 모터나 실린더를 포함하여 구성될 수 있다. The driving unit 130 may include a rotary motor and a ball screw for converting the rotary motion of the rotary motor into linear motion, or may include a linear motor or a cylinder.

상기 비히클 감지 센서(140)는 상기 차단판(110)에 구비되거나, 상기 제1 레일(12) 및 상기 제2 레일(14)에 각각 배치될 수 있다. 상기 비히클 감지 센서(140)는 상기 제1 비히클(130) 및 상기 제2 비히클(40)의 접근을 감지한다. 또한, 상기 비히클 감지 센서(140)는 상기 제1 비히클(130) 및 상기 제2 비히클(40)의 크기를 감지할 수도 있다. The vehicle detection sensor 140 may be provided on the blocking plate 110 or disposed on the first rail 12 and the second rail 14, respectively. The vehicle detection sensor 140 detects the approach of the first vehicle 130 and the second vehicle 40. In addition, the vehicle detection sensor 140 may detect the sizes of the first vehicle 130 and the second vehicle 40.

예를 들면, 상기 비히클 감지 센서(140)는 상기 제1 거리 센서(36) 및 상기 제2 거리 센서(46)에서 조사된 광을 입력받아 상기 비히클 감지 센서(140)는 상기 제1 비히클(130) 및 상기 제2 비히클(40)의 접근을 감지할 수 있다. For example, the vehicle detection sensor 140 receives the light irradiated from the first distance sensor 36 and the second distance sensor 46, and the vehicle detection sensor 140 receives the first vehicle 130 ) And the approach of the second vehicle 40 may be detected.

다른 예로, 상기 비히클 감지 센서(140)는 상기 제1 비히클(30) 및 상기 제2 비히클(40)을 향해 광을 조사하고 상기 제1 비히클(30) 및 상기 제2 비히클(40)로부터 반사되는 반사광을 수광하여 상기 비히클 감지 센서(140)는 상기 제1 비히클(130) 및 상기 제2 비히클(40)의 접근을 감지할 수 있다.As another example, the vehicle detection sensor 140 irradiates light toward the first vehicle 30 and the second vehicle 40 and is reflected from the first vehicle 30 and the second vehicle 40 By receiving reflected light, the vehicle detection sensor 140 may detect the approach of the first vehicle 130 and the second vehicle 40.

상기 비히클 감지 센서(140)의 예로는 근접 센서 또는 광 센서를 포함할 수 있다. Examples of the vehicle detection sensor 140 may include a proximity sensor or an optical sensor.

한편, 다른 예로, 상기 비히클 감지 센서(140)는 무선 통신을 통해 상기 제1 비히클(130) 및 상기 제2 비히클(40)의 접근 신호를 전달받거나, 상기 제1 비히클(130) 및 상기 제2 비히클(40)의 크기에 대한 정보를 전달받을 수도 있다. On the other hand, as another example, the vehicle detection sensor 140 receives the access signals of the first vehicle 130 and the second vehicle 40 through wireless communication, or the first vehicle 130 and the second Information about the size of the vehicle 40 may be received.

또한, 상기 구동부(130)는 상기 비히클 감지 센서(140)의 감지 결과에 따라 상기 연장판(120)을 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 비히클 감지 센서(140)에서 감지된 상기 제1 비히클(130) 및 상기 제2 비히클(40)의 위치와 크기에 따라 상기 연장판(120)이 필요한 경우에만 상기 구동부(130)가 상기 차단판(110)을 연장하도록 상기 연장판(120)을 이동시킬 수 있다. In addition, the driving unit 130 may move the extension plate 120 according to the detection result of the vehicle detection sensor 140. That is, the driving unit 130 is only required when the extension plate 120 is required according to the position and size of the first vehicle 130 and the second vehicle 40 detected by the vehicle detection sensor 140. The extension plate 120 may be moved to extend the blocking plate 110.

자세히 도시되지는 않았지만, 상기 비히클 감지 센서(140)의 감지 결과에 따라 상기 구동부(130)를 제어하는 것은 별도의 구동부에 의해 이루어질 수 있다. Although not shown in detail, controlling the driving unit 130 according to the detection result of the vehicle detection sensor 140 may be performed by a separate driving unit.

도 3은 도 1에 도시된 센서 간섭 방지 장치에서 연장판의 동작을 설명하기 위한 평면도이다. 3 is a plan view for explaining the operation of the extension plate in the sensor interference prevention device shown in FIG.

도 3을 참조하면, 상기 연장판(120)은 상기 차단판(110)의 상기 단부에 힌지 결합될 수 있다. 상기 구동부(130)는 상기 차단판(110)의 상기 단부에 구비된 힌지 축을 중심으로 상기 연장판(120)을 회전시킬 수 있다. 상기 구동부(130)의 구동에 따라 상기 연장판(120)이 회전하면서 상기 제1 비히클(30) 또는 상기 제2 비히클(40)의 이동 경로까지 이동할 수 있다. Referring to FIG. 3, the extension plate 120 may be hinged to the end of the blocking plate 110. The driving unit 130 may rotate the extension plate 120 around a hinge axis provided at the end of the blocking plate 110. As the extension plate 120 rotates according to the driving of the driving unit 130, the movement path of the first vehicle 30 or the second vehicle 40 may be moved.

상기 연장판(120)이 필요하지 않는 경우, 상기 연장판(120)이 상기 제1 비히클(30) 또는 상기 제2 비히클(40)의 이동을 방해하지 않도록 상기 구동부(130)의 구동에 따라 상기 연장판(120)은 수직으로 세워진 상기 차단판(110)의 측면에 위치할 수 있다. When the extension plate 120 is not required, the extension plate 120 is driven according to the driving of the driving unit 130 so as not to interfere with the movement of the first vehicle 30 or the second vehicle 40. The extension plate 120 may be positioned on the side of the blocking plate 110 that is vertically erected.

상기 구동부(130)의 예로는 회전 모터가 사용될 수 있다. A rotating motor may be used as an example of the driving unit 130.

도 4는 도 1에 도시된 센서 간섭 방지 장치에서 연장판의 동작을 설명하기 위한 측면도이다. 4 is a side view for explaining the operation of the extension plate in the sensor interference prevention device shown in FIG.

도 4를 참조하면, 상기 연장판(120)은 상기 제1 비히클(30) 또는 상기 제2 비히클(40)의 이동을 방해하지 않도록 상기 차단판(110)의 상기 단부 하방에 위치할 수 있다. Referring to FIG. 4, the extension plate 120 may be positioned below the end of the blocking plate 110 so as not to interfere with the movement of the first vehicle 30 or the second vehicle 40.

상기 구동부(130)는 상기 연장판(120)과 연결되며, 상기 연장판(120)이 상기 차단판(110)의 길이는 연장하도록 상기 연장판(120)을 수직 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 연장판(120)은 상기 차단판(110)의 상기 단부 하방에 위치한 상태에서 상기 구동부(130)의 구동에 따라 상기 제1 비히클(30) 또는 상기 제2 비히클(40)의 이동 경로까지 상승할 수 있다. The driving unit 130 is connected to the extension plate 120, and the extension plate 120 may vertically move the extension plate 120 so that the length of the blocking plate 110 extends. For example, the extension plate 120 of the first vehicle 30 or the second vehicle 40 according to the driving of the driving unit 130 in the state located below the end of the blocking plate 110 You can ascend to the path of travel.

상기 연장판(120)이 필요하지 않는 경우, 상기 연장판(120)이 상기 제1 비히클(30) 또는 상기 제2 비히클(40)의 이동을 방해하지 않도록 상기 구동부(130)의 구동에 따라 상기 연장판(120)은 상기 차단판(110)의 상기 단부 하방으로 하강할 수 있다. When the extension plate 120 is not required, the extension plate 120 is driven according to the driving of the driving unit 130 so as not to interfere with the movement of the first vehicle 30 or the second vehicle 40. The extension plate 120 may descend below the end of the blocking plate 110.

상기 구동부(130)는 회전 모터와, 회전 모터의 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 볼 스크류를 포함하여 구성되거나, 리니어 모터나 실린더를 포함하여 구성될 수 있다. The driving unit 130 may include a rotary motor and a ball screw for converting the rotary motion of the rotary motor into linear motion, or may include a linear motor or a cylinder.

도 5는 도 1에 도시된 센서 간섭 방지 장치의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다. 5 is a cross-sectional view for describing another example of the sensor interference prevention apparatus illustrated in FIG. 1.

도 5를 참조하면, 상기 센서 간섭 방지 장치(100)는 제2 차단판(112), 제2 연장판(122) 및 제2 구동부(132)를 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 5, the sensor interference prevention apparatus 100 may further include a second blocking plate 112, a second extension plate 122, and a second driving unit 132.

상기 제1 장애물 감지 센서(38)와 상기 제2 장애물 감지 센서 거리 센서의 높이와 대응하는 높이에 배치되어 상기 제1 장애물 감지 센서(38)와 상기 제2 장애물 감지 센서 사이의 간섭을 방지한다는 점을 제외하면, 상기 제2 차단판(112), 상기 제2 연장판(122) 및 상기 제2 구동부(132)에 대한 설명은 상기 제1 차단판(110), 상기 제1 연장판(120) 및 상기 제1 구동부(130)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다. It is disposed at a height corresponding to the height of the first obstacle detection sensor 38 and the second obstacle detection sensor distance sensor to prevent interference between the first obstacle detection sensor 38 and the second obstacle detection sensor Except, the description of the second blocking plate 112, the second extension plate 122 and the second driving unit 132 is the first blocking plate 110, the first extension plate 120 And the description of the first driving unit 130.

한편, 도시되지는 않았지만, 제2 비히클 감지 센서가 추가로 구비할 수도 있지만, 상기 제1 비히클 감지 센서(140)의 감지 결과를 이용하여 상기 제2 구동부(132)가 상기 제2 연장판(122)을 이동시킬 수도 있다. On the other hand, although not shown, a second vehicle detection sensor may be additionally provided, but the second driving unit 132 may use the second extension plate 122 using the detection result of the first vehicle detection sensor 140. ).

도 6은 도 1에 도시된 센서 간섭 방지 장치의 또 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다. 6 is a cross-sectional view for describing another example of the sensor interference prevention apparatus illustrated in FIG. 1.

도 6을 참조하면, 상기 센서 간섭 방지 장치(100)에서 상기 차단판(110) 및 상기 연장판(120)은 상기 제1 비히클(30)에서 상기 제1 거리 센서(36) 및 상기 제1 장애물 감지 센서(38) 또는 상기 제2 비히클(40)에서 상기 제2 거리 센서(46) 및 상기 제2 장애물 감지 센서를 커버하도록 상하 폭을 갖는다. Referring to FIG. 6, the blocking plate 110 and the extending plate 120 in the sensor interference prevention apparatus 100 include the first distance sensor 36 and the first obstacle in the first vehicle 30. It has an upper and lower width to cover the second distance sensor 46 and the second obstacle detection sensor in the detection sensor 38 or the second vehicle 40.

구체적으로, 상기 차단판(110) 및 상기 연장판(120) 각각의 상하 폭은 상기 제1 비히클(30)에서 상기 제1 거리 센서(36)와 상기 제1 장애물 감지 센서(38) 사이의 거리 또는 상기 제2 비히클(40)에서 상기 제2 거리 센서(46)와 상기 제2 장애물 감지 센서 사이의 거리보다 약간 클 수 있다.Specifically, the vertical width of each of the blocking plate 110 and the extension plate 120 is the distance between the first distance sensor 36 and the first obstacle detection sensor 38 in the first vehicle 30. Alternatively, the distance between the second distance sensor 46 and the second obstacle detection sensor in the second vehicle 40 may be slightly greater.

따라서, 상기 차단판(110) 및 상기 연장판(120)은 상기 제1 거리 센서(36)와 상기 제2 거리 센서(46) 사이의 간섭과 상기 제1 장애물 감지 센서(38)와 상기 제2 장애물 감지 센서 사이의 간섭을 동시에 방지할 수 있다.Therefore, the blocking plate 110 and the extension plate 120 are the interference between the first distance sensor 36 and the second distance sensor 46 and the first obstacle detection sensor 38 and the second Interference between the obstacle detection sensors can be prevented at the same time.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 센서 간섭 방지 장치는 합류 지점에서 두 비히클들에 구비된 상기 거리 센서들 또는 상기 장애물 감지 센서들이 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 상기 센서들의 에러로 인해 상기 비히클의 주행이 중단되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 비히클의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. As described above, the sensor interference prevention apparatus according to the present invention can prevent the distance sensors or the obstacle detection sensors provided in two vehicles at the confluence point from interfering with each other. Since it is possible to prevent the vehicle from being stopped due to errors in the sensors, it is possible to improve the transport efficiency of the vehicle.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art may variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will understand that you can.

100 : 센서 간섭 방지 장치 110 : 차단판
120 : 연장판 130 : 구동부
140 : 비히클 감지 센서 10 : 주행 레일
20 : 가이드 레일 30 : 제1 비히클
40 : 제2 비히클100: sensor interference prevention device 110: blocking plate
120: extension plate 130: drive unit
140: vehicle detection sensor 10: driving rail
20: guide rail 30: first vehicle
40: second vehicle

Claims (7)

반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 제1 레일과 상기 제1 레일과 합류하는 제2 레일 사이에 배치되며, 상기 제1 레일을 따라 이동하는 제1 비히클에서 다른 비히클과의 거리를 감지하는 거리 센서와 상기 제2 레일을 따라 이동하는 제2 비히클의 거리 센서가 서로 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 거리 센서들의 높이와 대응하는 높이에 배치되는 차단판;
상기 제1 레일과 상기 제2 레일의 합류 지점과 인접하는 상기 차단판의 단부에 이동 가능하도록 구비되며, 상기 차단판의 길이를 연장시키기 위한 연장판; 및
상기 차단판의 길이를 연장하도록 상기 연장판을 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 간섭 방지 장치. A semiconductor device is disposed between a first rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line continuously disposed and a second rail joining the first rail, and another vehicle in a first vehicle moving along the first rail. A blocking plate disposed at a height corresponding to the height of the distance sensors to prevent a distance sensor sensing a distance from the distance and a distance sensor of a second vehicle moving along the second rail from interfering with each other;
An extension plate provided to be movable at an end of the blocking plate adjacent to a confluence point of the first rail and the second rail, and extending the length of the blocking plate; And
And a driving unit that moves the extension plate to extend the length of the blocking plate. 제1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 연장판을 상기 제1 비히클 또는 상기 제2 비히클의 진행 경로까지 연장하는 것을 특징으로 하는 센서 간섭 방지 장치. The apparatus of claim 1, wherein the driving unit extends the extension plate to a traveling path of the first vehicle or the second vehicle. 제1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 연장판을 수평 이동시키거나, 상하 이동시키거나 회전 이동시키는 것을 특징으로 하는 센서 간섭 방지 장치. According to claim 1, The driving unit sensor interference prevention device characterized in that the horizontal movement, the vertical movement or rotational movement of the extension plate. 제1항에 있어서, 상기 차단판에 구비되며, 상기 제1 비히클 및 상기 제2 비히클의 접근을 감지하는 비히클 감지 센서를 더 포함하고,
상기 비히클 감지 센서의 감지 결과에 따라 상기 구동부가 상기 연장판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 센서 간섭 방지 장치. According to claim 1, It is provided on the blocking plate, further comprising a vehicle detection sensor for detecting the approach of the first vehicle and the second vehicle,
Device for preventing sensor interference, characterized in that the driving unit moves the extension plate according to the detection result of the vehicle detection sensor. 제4항에 있어서, 상기 비히클 감지 센서는 상기 제1 비히클의 거리 센서 및 상기 제2 비히클의 거리 센서로부터 조사된 광을 입력받거나, 상기 제1 비히클 및 상기 제2 비히클의 접근 신호를 무선 통신을 통해 전달받는 것을 특징으로 하는 센서 간섭 방지 장치.The method of claim 4, wherein the vehicle detection sensor receives the light emitted from the distance sensor of the first vehicle and the distance sensor of the second vehicle, or wirelessly communicates an access signal of the first vehicle and the second vehicle. Sensor interference prevention device, characterized in that received through. 제1항에 있어서, 상기 제1 비히클에서 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서와 상기 제2 비히클의 장애물 감지 센서 사이의 간섭을 추가로 방지하기 위해 상기 장애물 감지 센서들의 높이와 대응하는 높이에 배치되는 제2 차단판, 제2 연장판 및 제2 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 간섭 방지 장치.The method according to claim 1, wherein the first vehicle is arranged at a height corresponding to the height of the obstacle detection sensors to further prevent interference between the obstacle detection sensor detecting an obstacle ahead and the obstacle detection sensor of the second vehicle. The second blocking plate, the second extension plate and the sensor interference prevention device further comprises a second driving unit. 제1항에 있어서, 상기 제1 비히클에서 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서와 상기 제2 비히클의 장애물 감지 센서 사이의 간섭을 추가로 방지하기 위해 상기 차단판 및 상기 연장판은 상기 거리 센서들 및 상기 장애물 감지 센서들을 커버하도록 상하 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 센서 간섭 방지 장치.According to claim 1, In order to further prevent interference between the obstacle detection sensor for detecting an obstacle ahead of the first vehicle and the obstacle detection sensor of the second vehicle, the blocking plate and the extension plate are the distance sensors And a vertical width to cover the obstacle detection sensors.
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