KR102140273B1 - Light emitting device and light emitting device package including the same - Google Patents

Light emitting device and light emitting device package including the same Download PDF

Info

Publication number
KR102140273B1
KR102140273B1 KR1020140002218A KR20140002218A KR102140273B1 KR 102140273 B1 KR102140273 B1 KR 102140273B1 KR 1020140002218 A KR1020140002218 A KR 1020140002218A KR 20140002218 A KR20140002218 A KR 20140002218A KR 102140273 B1 KR102140273 B1 KR 102140273B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light emitting
emitting device
disposed
semiconductor layer
type semiconductor
Prior art date
Application number
KR1020140002218A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20150082806A (en
Inventor
정경안
오정훈
Original Assignee
엘지이노텍 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지이노텍 주식회사 filed Critical 엘지이노텍 주식회사
Priority to KR1020140002218A priority Critical patent/KR102140273B1/en
Publication of KR20150082806A publication Critical patent/KR20150082806A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102140273B1 publication Critical patent/KR102140273B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/62Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/36Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
    • H01L33/38Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1204Optical Diode
    • H01L2924/12041LED

Abstract

실시 예의 발광 소자 패키지는 헤더 및 헤더 위의 캐비티에 배치되는 발광 소자를 포함하고, 발광 소자는 기판과, 기판 아래에 배치되며 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물과, 서브 마운트와, 서브 마운트 위에 전기적으로 이격되어 배치된 제1 및 제2 금속 패드와, 제1 금속 패드와 제1 도전형 반도체층 사이에 배치된 제1 범프 및 제2 금속 패드와 제2 도전형 반도체층 사이에 배치된 제2 범프를 포함하고, 제1 도전형 반도체층은 평면에서 제2 도전형 반도체층이 배치된 활성 영역의 사방을 둘러싸도록 형성되는 제1 영역 및 평면에서 활성 영역에 의해 사방이 둘러싸여진 형상을 갖고 제1 범프가 배치된 적어도 하나의 제2 영역을 포함한다.The light emitting device package of the embodiment includes a header and a light emitting device disposed in a cavity on the header, and the light emitting device includes a substrate and a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer disposed under the substrate A light emitting structure, a sub-mount, first and second metal pads electrically spaced apart from the sub-mount, first bumps and second metal pads disposed between the first metal pad and the first conductive type semiconductor layer, A second bump disposed between the second conductivity-type semiconductor layers, the first conductivity-type semiconductor layer being in a first region and a plane formed to surround all sides of the active region in which the second conductivity-type semiconductor layer is disposed in a plane It includes at least one second region having a shape surrounded by the active region and having a first bump.

Description

발광 소자 및 이를 포함하는 발광 소자 패키지{Light emitting device and light emitting device package including the same}Light emitting device and light emitting device package including the same {Light emitting device and light emitting device package including the same}

실시 예는 발광 소자 및 이를 포함하는 발광 소자 패키지에 관한 것이다.The embodiment relates to a light emitting device and a light emitting device package including the same.

발광 다이오드(LED:Light Emitting Diode)는 화합물 반도체의 특성을 이용하여 전기를 적외선 또는 빛으로 변환시켜서 신호를 주고 받거나, 광원으로 사용되는 반도체 소자의 일종이다.A light emitting diode (LED) is a type of semiconductor device used as a light source or a signal by converting electricity into infrared rays or light using characteristics of a compound semiconductor.

Ⅲ-Ⅴ족 질화물 반도체(group Ⅲ-Ⅴ nitride semiconductor)는 물리적 및 화학적 특성으로 인해 발광 다이오드(LED) 또는 레이저 다이오드(LD:Laser Diode) 등 발광 소자의 핵심 소재로 각광을 받고 있다.Group III-V nitride semiconductors are spotlighted as core materials for light emitting devices such as light emitting diodes (LEDs) or laser diodes (LDs) due to their physical and chemical properties.

이러한 발광 다이오드는 백열등과 형광등 등의 기존 조명기구에 사용되는 수은(Hg)과 같은 환경 유해물질이 포함되어 있지 않아 우수한 친환경성을 가지며, 긴 수명과 저전력 소비특성 등과 같은 장점이 있기 때문에 기존의 광원들을 대체하고 있다.These light emitting diodes do not contain environmentally harmful substances such as mercury (Hg) used in existing lighting fixtures such as incandescent lamps and fluorescent lamps, and thus have excellent eco-friendliness, and have advantages such as long life and low power consumption characteristics. Is replacing them.

도 1은 기존의 발광 소자의 평면도를 나타낸다.1 shows a top view of a conventional light emitting device.

도 1에 도시된 기존의 발광 소자는 n형 반도체층(10), 활성(active) 영역(20), p형 범프(30-1, 30-2, 30-3) 및 n형 범프(40)로 구성된다.The conventional light emitting device shown in FIG. 1 includes n-type semiconductor layer 10, active region 20, p-type bumps 30-1, 30-2, 30-3 and n-type bump 40 It consists of.

기존의 발광 소자는 도 1에 비록 도시되지는 않았지만, 활성 영역(20)에서 p형 반도체층과 발광층을 더 포함한다. 발광층은 n형 반도체층(10) 위에 배치되고, p형 반도체층은 발광층 위에 배치된다. 도 1에 도시된 구조를 갖는 기존의 발광 소자의 발광 효율을 증가시키기 위한 다양한 연구가 진행되고 있다.The conventional light emitting device, although not shown in FIG. 1, further includes a p-type semiconductor layer and a light emitting layer in the active region 20. The light emitting layer is disposed on the n-type semiconductor layer 10, and the p-type semiconductor layer is disposed on the light emitting layer. Various studies have been conducted to increase the luminous efficiency of the conventional light emitting device having the structure shown in FIG. 1.

실시 예는 개선된 발광 효율을 갖는 발광 소자 및 이를 포함하는 발광 소자 패키지를 제공한다.The embodiment provides a light emitting device having improved light emitting efficiency and a light emitting device package including the same.

실시 예의 발광 소자 패키지는, 헤더; 및 상기 헤더 위의 캐비티에 배치되는 발광 소자를 포함하고, 상기 발광 소자는 기판; 상기 기판 아래에 배치되며, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물; 서브 마운트; 상기 서브 마운트 위에 전기적으로 이격되어 배치된 제1 및 제2 금속 패드; 상기 제1 금속 패드와 상기 제1 도전형 반도체층 사이에 배치된 제1 범프; 및 상기 제2 금속 패드와 상기 제2 도전형 반도체층 사이에 배치된 제2 범프를 포함하고, 상기 제1 도전형 반도체층은 평면에서 상기 제2 도전형 반도체층이 배치된 활성 영역의 사방을 둘러싸도록 형성되는 제1 영역; 및 평면에서 상기 활성 영역에 의해 사방이 둘러싸여진 형상을 갖고 상기 제1 범프가 배치된 적어도 하나의 제2 영역을 포함할 수 있다.The light emitting device package of the embodiment includes a header; And a light emitting device disposed in the cavity on the header, wherein the light emitting device includes a substrate; A light emitting structure disposed under the substrate and including a first conductivity type semiconductor layer, an active layer and a second conductivity type semiconductor layer; Sub-mount; First and second metal pads electrically spaced apart from the sub-mount; A first bump disposed between the first metal pad and the first conductivity type semiconductor layer; And a second bump disposed between the second metal pad and the second conductivity-type semiconductor layer, wherein the first conductivity-type semiconductor layer is planar in all directions of the active region in which the second conductivity-type semiconductor layer is disposed. A first region formed to surround; And at least one second region having a shape surrounded in all directions by the active region in a plane and in which the first bumps are disposed.

상기 발광 소자는 상기 제1 도전형 반도체층의 상기 제1 영역과 제2 영역을 서로 전기적으로 연결하는 연결 금속층; 및 상기 제2 도전형 반도체층과 상기 연결 금속층 사이 및 상기 활성층과 상기 연결 금속층 사이에 배치되는 절연층을 더 포함하고, 상기 제1 범프는 상기 연결 금속층과 상기 제1 금속 패드 사이에 배치될 수 있다.The light emitting device may include a connecting metal layer electrically connecting the first region and the second region of the first conductive semiconductor layer to each other; And an insulating layer disposed between the second conductive type semiconductor layer and the connecting metal layer and between the active layer and the connecting metal layer, and the first bump can be disposed between the connecting metal layer and the first metal pad. have.

상기 발광 소자의 에지와 상기 활성 영역 사이의 평면 거리는 19 ㎛ 내지 70 ㎛일 수 있다.The plane distance between the edge of the light emitting device and the active region may be 19 μm to 70 μm.

상기 활성 영역은 길이 방향을 따라 가변된 폭을 갖거나, 일정한 폭을 가질 수 있다.The active region may have a variable width along the length direction or a constant width.

상기 활성 영역은 상기 제2 범프와 연결되는 제3 영역; 및 상기 제3 영역 사이의 제4 영역을 포함하고, 상기 제4 영역의 평면 폭은 상기 제3 영역의 평면 폭보다 작을 수 있다.The active region may include a third region connected to the second bump; And a fourth region between the third regions, and a plane width of the fourth region may be smaller than a plane width of the third region.

상기 제1 범프는 제2 영역에 배치되지 않을 수 있다.The first bump may not be disposed in the second region.

상기 발광 소자는 상기 연결 금속층과 상기 제2 영역의 상기 제1 도전형 반도체층 사이에 배치된 제1 전극; 및 상기 제2 도전형 반도체층과 상기 제2 범프 사이에 배치된 제2 전극을 더 포함할 수 있다.The light emitting device may include a first electrode disposed between the connection metal layer and the first conductivity type semiconductor layer in the second region; And a second electrode disposed between the second conductivity type semiconductor layer and the second bump.

상기 제1 전극은 상기 제1 또는 제2 영역 중 적어도 하나의 영역에 배치될 수 있다. 상기 제1 및 제2 전극 각각은 이중층 구조를 가질 수 있다.The first electrode may be disposed in at least one of the first or second regions. Each of the first and second electrodes may have a double layer structure.

상기 제2 범프는 평면에서 대칭 형상을 갖거나, 상기 활성 영역은 평면에서 대칭 형상을 가질 수 있다.The second bump may have a symmetrical shape in the plane, or the active region may have a symmetrical shape in the plane.

상기 발광 소자 패키지는 상기 헤더 위에 배치되어 상기 캐비티를 형성하는 측벽부; 상기 발광 소자의 상기 제1 및 제2 금속 패드와 전기적으로 각각 연결되는 제1 및 제2 와이어; 상기 제1 및 제2 와이어를 통해 상기 제1 및 제2 금속 패드와 각각 전기적으로 연결되는 제1 및 제2 리드선; 및 상기 캐비티에 채워져 상기 발광 소자를 포위하도록 배치된 몰딩 부재를 더 포함할 수 있다.The light emitting device package is disposed on the header side wall portion forming the cavity; First and second wires electrically connected to the first and second metal pads of the light emitting element, respectively; First and second lead wires electrically connected to the first and second metal pads through the first and second wires, respectively; And a molding member filled in the cavity and disposed to surround the light emitting device.

실시 예에 따른 발광 소자 및 이를 포함하는 발광 소자 패키지는 활성 영역이 발광 소자의 에지에 가깝게 배치되기 때문에 발광 효율을 극대화시키고 대전류용에 적합하며, 발광 소자의 에지를 대향하는 활성 영역이 곡선 평면 형태를 가지므로 우수한 열 방출 효율을 갖는다.The light emitting device and the light emitting device package including the same according to the embodiment maximize the luminous efficiency and are suitable for large currents because the active area is disposed close to the edge of the light emitting device, and the active area facing the edge of the light emitting device is curved flat It has excellent heat dissipation efficiency.

도 1은 기존의 발광 소자의 평면도를 나타낸다.
도 2는 일 실시 예에 의한 발광 소자의 평면도를 나타낸다.
도 3은 도 2에 도시된 I-I'선을 따라 절취한 단면도를 나타낸다.
도 4는 도 2에 도시된 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절취한 단면도를 나타낸다.
도 5는 도 2 내지 도 4에 도시된 발광 소자에서 제1 및 제2 도전형 반도체층 만의 평면도를 나타낸다.
도 6 내지 도 12는 도 2 내지 도 4에 도시된 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들을 나타낸다.
도 13은 다른 실시 예에 의한 발광 소자의 평면도를 나타낸다.
도 14는 도 13에 도시된 발광 소자에서 제1 및 제2 도전형 반도체층만의 평면도를 나타낸다.
도 15a 내지 도 15c는 도 13에 도시된 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 평면도를 나타낸다.
도 16 (a) 내지 (d)는 도 1에 도시된 기존의 발광 소자의 발광 이미지를 나타낸다.
도 17a 및 도 17b는 활성 영역과 발광 소자의 에지 간의 거리가 서로 다른 도 1에 도시된 기존의 발광 소자를 나타낸다.
도 18은 실시 예에 따른 발광 소자 패키지의 단면도이다.
도 19는 실시 예에 따른 발광 소자 패키지를 포함하는 표시 장치를 나타낸다.
도 20은 실시 예에 따른 발광 소자 패키지를 포함하는 헤드 램프를 나타낸다.
도 21은 실시 예에 따른 발광 소자 또는 발광 소자 패키지를 포함하는 조명 장치를 나타낸다.
1 shows a top view of a conventional light emitting device.
2 is a plan view of a light emitting device according to an embodiment.
3 is a cross-sectional view taken along line I-I' shown in FIG. 2.
4 is a cross-sectional view taken along line II-II' shown in FIG. 2.
5 is a plan view of only the first and second conductivity-type semiconductor layers in the light emitting devices illustrated in FIGS. 2 to 4.
6 to 12 are views for explaining a method of manufacturing the light emitting device shown in FIGS. 2 to 4.
13 is a plan view of a light emitting device according to another embodiment.
14 is a plan view of only the first and second conductivity-type semiconductor layers in the light emitting device illustrated in FIG. 13.
15A to 15C are process plan views illustrating a method of manufacturing the light emitting device shown in FIG. 13.
16A to 16D show light emission images of the conventional light emitting device shown in FIG. 1.
17A and 17B show the conventional light emitting device shown in FIG. 1 having different distances between the active region and the edge of the light emitting device.
18 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to an embodiment.
19 illustrates a display device including a light emitting device package according to an embodiment.
20 shows a head lamp including a light emitting device package according to an embodiment.
21 shows a lighting device including a light emitting device or a light emitting device package according to an embodiment.

이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시 예를 들어 설명하고, 발명에 대한 이해를 돕기 위해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되지 않아야 한다. 본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.Hereinafter, examples will be described to specifically describe the present invention, and the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments according to the present invention may be modified in various other forms, and the scope of the present invention should not be interpreted as being limited to the embodiments described below. Embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art.

본 실시 예의 설명에 있어서, 각 구성요소(element)의 "상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두 개의 구성요소(element)가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 구성요소(element)가 상기 두 구성요소(element) 사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다.In the description of this embodiment, when described as being formed on "on (up) or down (down)" (on or under) of each element (element), the top (up) or bottom (bottom) ( on or under includes both two elements directly contacting each other or one or more other elements being formed indirectly between the two elements.

또한 "상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)"로 표현되는 경우 하나의 구성요소(element)를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In addition, when expressed as "up (up)" or "down (down) (on or under)", it may include the meaning of the downward direction as well as the upward direction based on one element.

또한, 이하에서 이용되는 "제1" 및 "제2," "상부" 및 "하부" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서만 이용될 수도 있다.In addition, relational terms, such as “first” and “second,” “upper” and “lower”, as used below, do not necessarily require or imply any physical or logical relationship or order between such entities or elements. Thus, it may be used only to distinguish one entity or element from another entity or element.

이하, 일 실시 예에 의한 발광 소자(100A)를 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, a light emitting device 100A according to an embodiment will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 일 실시 예에 의한 발광 소자(100A)의 평면도를 나타내고, 도 3은 도 2에 도시된 I-I'선을 따라 절취한 단면도를 나타내고, 도 4는 도 2에 도시된 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절취한 단면도를 나타내고, 도 5는 도 2 내지 도 4에 도시된 발광 소자(100A)에서 제1 및 제2 도전형 반도체층(132, 136) 만의 평면도를 나타낸다.2 is a plan view of a light emitting device 100A according to an embodiment, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line I-I' shown in FIG. 2, and FIG. 4 is II-II shown in FIG. 'Shows a cross-sectional view taken along the line, and FIG. 5 shows a plan view of only the first and second conductivity-type semiconductor layers 132 and 136 in the light emitting device 100A illustrated in FIGS. 2 to 4.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 발광 소자(100A)는 기판(110), 버퍼층(112), 발광 구조물(130), 서브 마운트(submount)(140), 제1 및 제2 금속 패드(152, 154), 제1 및 제2 범프(162, 164), 연결 금속층(170), 절연층(또는, 층간 절연막)(180, 182), 제1 전극(192-1, 192-2) 및 제2 전극(194)을 포함한다.2 to 5, the light emitting device 100A includes a substrate 110, a buffer layer 112, a light emitting structure 130, a submount 140, first and second metal pads 152, 154), first and second bumps 162, 164, connecting metal layer 170, insulating layer (or interlayer insulating film) 180, 182, first electrodes 192-1, 192-2, and second It includes an electrode 194.

기판(110) 아래에 발광 구조물(130)이 배치된다.The light emitting structure 130 is disposed under the substrate 110.

기판(110)은 투광성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 사파이어(Al203), GaN, SiC, ZnO, GaP, InP, Ga203, GaAs 또는 Si 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The substrate 110 may include a light-transmissive material. For example, the substrate 110 may include at least one of sapphire (Al 2 0 3 ), GaN, SiC, ZnO, GaP, InP, Ga 2 0 3 , GaAs, or Si.

기판(110)과 발광 구조물(130) 사이에 버퍼층(112)이 더 배치될 수도 있다.A buffer layer 112 may be further disposed between the substrate 110 and the light emitting structure 130.

버퍼층(112)은 기판(110)과 발광 구조물(130) 간의 열 팽창 계수의 차이 및 격자 부정합을 개선하기 위해, 이들(110, 130) 사이에 배치될 수 있다. 버퍼층(112)은 투광성 물질을 포함할 수 있으며, 예를 들어 Al, In, N 및 Ga로 구성되는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있으나, 이에 국한되지 않는다. 또한, 버퍼층(112)은 단층 또는 다층 구조를 가질 수도 있다. 경우에 따라서, 버퍼층(112)은 생략될 수도 있다.The buffer layer 112 may be disposed between the 110 and 130 to improve the difference in thermal expansion coefficient and lattice mismatch between the substrate 110 and the light emitting structure 130. The buffer layer 112 may include a light-transmitting material, and may include, for example, at least one material selected from the group consisting of Al, In, N, and Ga, but is not limited thereto. Further, the buffer layer 112 may have a single-layer or multi-layer structure. In some cases, the buffer layer 112 may be omitted.

발광 구조물(130)은 제1 도전형 반도체층(132), 활성층(134) 및 제2 도전형 반도체층(136)을 포함한다.The light emitting structure 130 includes a first conductivity type semiconductor layer 132, an active layer 134, and a second conductivity type semiconductor layer 136.

제1 도전형 반도체층(132)은 버퍼층(112)과 활성층(134) 사이에 배치되며, 제1 도전형 도펀트가 도핑된 Ⅲ-Ⅴ 족 또는 Ⅱ-Ⅵ 족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(132)이 n형 반도체층인 경우, 제1 도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductivity-type semiconductor layer 132 is disposed between the buffer layer 112 and the active layer 134, and may be formed of a compound semiconductor such as a III-V group or a II-VI group doped with a first conductivity-type dopant. . When the first conductivity-type semiconductor layer 132 is an n-type semiconductor layer, the first conductivity-type dopant is an n-type dopant, and may include, but is not limited to, Si, Ge, Sn, Se, Te.

제1 도전형 반도체층(132)은 투광성 물질을 포함할 수 있으며 예를 들어 AlxInyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(132)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.The first conductive semiconductor layer 132 may include a light-transmitting material, for example, Al x In y Ga (1-xy) N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤ It may include a semiconductor material having a composition formula of 1). The first conductivity-type semiconductor layer 132 may include any one or more of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP.

활성층(134)은 제1 도전형 반도체층(132)과 제2 도전형 반도체층(136) 사이에 배치되며, 제1 도전형 반도체층(132)을 통해서 주입되는 전자(또는, 정공)와 제2 도전형 반도체층(136)을 통해서 주입되는 정공(또는, 전자)이 서로 만나서, 활성층(134)을 이루는 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다. 활성층(134)은 단일 우물 구조, 다중 우물 구조, 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW:Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The active layer 134 is disposed between the first conductivity-type semiconductor layer 132 and the second conductivity-type semiconductor layer 136, and electrons (or holes) injected through the first conductivity-type semiconductor layer 132 are formed. The hole (or electron) injected through the two-conductivity-type semiconductor layer 136 meets each other, and is a layer that emits light having energy determined by an energy band unique to the material constituting the active layer 134. The active layer 134 may have at least one of a single well structure, a multi well structure, a single quantum well structure, a multi quantum well structure (MQW), a quantum-wire structure, or a quantum dot structure. It can be formed as one.

활성층(134)의 우물층/장벽층은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 우물층은 장벽층의 밴드갭 에너지보다 낮은 밴드갭 에너지를 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer/barrier layer of the active layer 134 may be formed of any one or more pair structures of InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP. However, it is not limited thereto. The well layer may be formed of a material having a band gap energy lower than that of the barrier layer.

활성층(134)의 위 또는/및 아래에는 도전형 클래드층(미도시)이 형성될 수 있다. 도전형 클래드층은 활성층(134)의 장벽층의 밴드갭 에너지보다 더 높은 밴드갭 에너지를 갖는 반도체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도전형 클래드층은 GaN, AlGaN, InAlGaN 또는 초격자 구조 등을 포함할 수 있다. 또한, 도전형 클래드층은 n형 또는 p형으로 도핑될 수 있다. 예를 들어, 활성층(134)은 100 ㎚ 내지 400 ㎚ 예를 들어, 100 ㎚ 내지 280 ㎚ 자외선 파장 대역의 광을 방출할 수 있다.A conductive clad layer (not shown) may be formed above or/or below the active layer 134. The conductive clad layer may be formed of a semiconductor having a band gap energy higher than that of the barrier layer of the active layer 134. For example, the conductive clad layer may include GaN, AlGaN, InAlGaN, or superlattice structures. In addition, the conductive clad layer may be doped with n-type or p-type. For example, the active layer 134 may emit light in an ultraviolet wavelength band of 100 nm to 400 nm, for example, 100 nm to 280 nm.

제2 도전형 반도체층(136)은 활성층(134) 아래에 배치되며, 반도체 화합물로 형성될 수 있다. Ⅲ-Ⅴ 족 또는 Ⅱ-Ⅵ 족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 예컨대, 제2 도전형 반도체층(136)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 제2 도전형 반도체층(136)에는 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(136)이 p형 반도체층인 경우, 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.The second conductivity-type semiconductor layer 136 is disposed under the active layer 134 and may be formed of a semiconductor compound. It may be implemented with a compound semiconductor such as group III-V or group II-VI. For example, the second conductive semiconductor layer 136 is a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) It may include. A second conductivity type dopant may be doped into the second conductivity type semiconductor layer 136. When the second conductivity-type semiconductor layer 136 is a p-type semiconductor layer, the second conductivity-type dopant is a p-type dopant, and may include Mg, Zn, Ca, Sr, and Ba.

제1 도전형 반도체층(132)은 n형 반도체층으로, 제2 도전형 반도체층(136)은 p형 반도체층으로 구현할 수 있다. 또는, 제1 도전형 반도체층(132)은 p형 반도체층으로, 제2 도전형 반도체층(136)은 n형 반도체층으로 구현할 수도 있다.The first conductivity type semiconductor layer 132 may be an n-type semiconductor layer, and the second conductivity type semiconductor layer 136 may be implemented as a p-type semiconductor layer. Alternatively, the first conductivity type semiconductor layer 132 may be implemented as a p-type semiconductor layer, and the second conductivity type semiconductor layer 136 may be implemented as an n-type semiconductor layer.

발광 구조물(130)은 n-p 접합 구조, p-n 접합 구조, n-p-n 접합 구조, p-n-p 접합 구조 중 어느 한 구조로 구현할 수 있다.The light emitting structure 130 may be implemented as any one of an n-p junction structure, a p-n junction structure, an n-p-n junction structure, and a p-n-p junction structure.

한편, 제1 전극(192-1, 192-2)은 메사 식각(Mesa etching)에 의해 노출된 제1 도전형 반도체층(132) 아래에 배치된다. 제2 전극(194)은 제2 도전형 반도체층(136) 아래에 배치된다. Meanwhile, the first electrodes 192-1 and 192-2 are disposed under the first conductivity-type semiconductor layer 132 exposed by Mesa etching. The second electrode 194 is disposed under the second conductivity type semiconductor layer 136.

제1 전극(192-1, 192-2) 및 제2 전극(194) 각각은 활성층(134)에서 방출된 광을 흡수하지 않고 반사시키거나 투과시킬 수 있고, 제1 및 제2 도전형 반도체층(132, 136) 아래에 양질로 성장될 수 있는 어느 물질로 형성될 수 있다. 또한, 도 3 및 도 4에 도시된 제1 전극(192-1, 192-2)과 제2 전극(194) 각각은 단일층 구조를 갖지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 제1 전극(192-1, 192-2) 및 제2 전극(194) 각각은 단층 또는 다층 구조를 가질 수도 있다.Each of the first electrodes 192-1, 192-2 and the second electrode 194 may reflect or transmit light emitted from the active layer 134 without absorbing it, and the first and second conductivity type semiconductor layers Under (132, 136) it can be formed of any material that can be grown with good quality. In addition, each of the first electrode 192-1, 192-2 and the second electrode 194 illustrated in FIGS. 3 and 4 has a single layer structure, but embodiments are not limited thereto. That is, each of the first electrodes 192-1 and 192-2 and the second electrode 194 may have a single-layer or multi-layer structure.

제1 전극(192-1, 192-2) 및 제2 전극(194) 각각은 예를 들어, 금속으로 형성될 수 있으며, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 및 이들의 선택적인 조합으로 이루어질 수 있다.Each of the first electrodes 192-1, 192-2 and the second electrode 194 may be formed of, for example, metal, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf, and optional combinations thereof.

제1 전극(192-1, 192-2)은 오믹 접촉하는 물질을 포함하여 오믹 역할을 수행하여 별도의 오믹층(미도시)이 배치될 필요가 없을 수도 있고, 별도의 오믹층이 제1 전극(192-1, 192-2)과 제1 도전형 반도체층(132) 사이에 배치될 수도 있다.The first electrodes 192-1 and 192-2 may include an ohmic-contacting material to perform an ohmic role, so that a separate ohmic layer (not shown) may not need to be disposed, and a separate ohmic layer is the first electrode. It may be disposed between (192-1, 192-2) and the first conductivity type semiconductor layer 132.

특히, 제2 전극(194)은 투명 전도성 산화막(TCO:Tranparent Conductive Oxide)일 수도 있다. 예를 들어, 제2 전극(194)은 전술한 금속 물질과 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 적어도 하나를 포함할 수 있으며, 이러한 재료로 한정하지는 않는다.In particular, the second electrode 194 may be a transparent conductive oxide (TCO). For example, the second electrode 194 includes the aforementioned metal material, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IZAO), indium gallium (IGZO) zinc oxide), indium gallium tin oxide (IGTO), aluminum zinc oxide (AZO), antimony tin oxide (ATO), gallium zinc oxide (GZO), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, and Ni/ IrOx/Au/ITO may be included, and the material is not limited thereto.

또한, 제2 전극(194)은 오믹 특성을 갖는 반사 전극 재료로 형성될 수 있다. 만일, 제2 전극(194)이 오믹 역할을 수행할 경우, 별도의 오믹층(미도시)은 형성되지 않을 수 있다.Further, the second electrode 194 may be formed of a reflective electrode material having ohmic characteristics. If the second electrode 194 serves as an ohmic, a separate ohmic layer (not shown) may not be formed.

서브 마운트(140) 위에 제1 및 제2 금속 패드(152, 154)는 전기적으로 이격되어 배치된다. 서브 마운트(140)는 AlN, BN, 탄화규소(SiC), GaN, GaAs, Si 등의 반도체 기판으로 이루어질 수 있으며, 이에 국한되지 않고 열전도도가 우수한 반도체 물질로 이루어질 수도 있다. 또한, 서브 마운트(140) 내에 제너 다이오드 형태의 정전기(ESD:Electro Static Discharge) 방지를 위한 소자가 포함될 수도 있다.The first and second metal pads 152 and 154 are disposed on the submount 140 to be electrically spaced apart. The sub-mount 140 may be made of a semiconductor substrate such as AlN, BN, silicon carbide (SiC), GaN, GaAs, Si, but is not limited thereto, and may be made of a semiconductor material having excellent thermal conductivity. In addition, a device for preventing electrostatic discharge (ESD) in the form of a zener diode may be included in the sub-mount 140.

만일, 서브 마운트(140)가 Si과 같이 전기적 전도성을 갖는 물질로 구현된 경우, 비록 도시되지는 않았지만, 제1 및 제2 금속 패드(152, 154)와 서브 마운트(140) 사이에 보호층이 더 배치될 수도 있다. 여기서, 보호층은 절연 물질로 이루어질 수 있다.If the sub-mount 140 is made of an electrically conductive material such as Si, a protective layer between the first and second metal pads 152 and 154 and the sub-mount 140, although not shown. It may be further deployed. Here, the protective layer may be made of an insulating material.

제1 범프(162)는 제1 금속 패드(152)와 제1 도전형 반도체층(132) 사이에 배치된다. 제2 범프(164)는 제2 금속 패드(154)와 제2 도전형 반도체층(136) 사이에 배치된다. 이때, 제1 범프(162)는 연결 금속층(170)과 제1 전극(192-2)을 통해 제1 도전형 반도체층(132)과 연결되고, 제2 범프(164)는 제2 전극(194)를 통해 제2 도전형 반도체층(136)과 연결된다.The first bump 162 is disposed between the first metal pad 152 and the first conductive semiconductor layer 132. The second bump 164 is disposed between the second metal pad 154 and the second conductivity-type semiconductor layer 136. At this time, the first bump 162 is connected to the first conductive type semiconductor layer 132 through the connecting metal layer 170 and the first electrode 192-2, and the second bump 164 is the second electrode 194 ) Is connected to the second conductivity type semiconductor layer 136.

실시 예에 의하면, 도 2에 예시된 바와 같이 제2 범프(164)는 평면에서 대칭 형상을 가질 수도 있고, 도시된 바와 달리 비대칭 형상을 가질 수도 있다.According to an embodiment, as illustrated in FIG. 2, the second bump 164 may have a symmetrical shape in a plane, or may have an asymmetrical shape as illustrated.

전술한 도 2에 예시된 발광 소자(100A)에서 제2 범프(164)의 개수는 12개인 것으로 도시되고, 도 3 및 도 4에 도시된 발광 소자(100A)에서 제1 범프(162)의 개수는 3개인 것으로 도시되며, 발광 소자(100A)의 평면 형상을 사각형인 것으로 도시되어 있지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 발광 소자(100A)는 사각형 이외에도 다양한 다각형 평면 형상을 가질 수 있고, 제1 및 제2 범프(162, 164) 각각의 개수는 다양할 수 있다.The number of second bumps 164 in the light emitting device 100A illustrated in FIG. 2 described above is shown to be 12, and the number of first bumps 162 in the light emitting device 100A shown in FIGS. 3 and 4 Is shown as three, and the planar shape of the light emitting device 100A is shown as a rectangle, but the embodiment is not limited thereto. That is, the light emitting device 100A may have various polygonal planar shapes in addition to the rectangle, and the number of each of the first and second bumps 162 and 164 may be varied.

제1 전극(192-2)은 제1 범프(162)를 통해 서브 마운트(140) 위의 제1 금속 패드(152)에 전기적으로 연결되며, 제2 전극(194)은 제2 범프(164)를 통해 서브 마운트(140) 위의 제2 금속 패드(154)에 전기적으로 연결된다.The first electrode 192-2 is electrically connected to the first metal pad 152 on the submount 140 through the first bump 162, and the second electrode 194 is the second bump 164 Through is electrically connected to the second metal pad 154 on the sub-mount 140.

비록 도시되지는 않았지만, 제1 전극(192-2)과 제1 범프(162) 사이에 제1 상부 범프 금속층(미도시)이 더 배치되고, 제1 금속 패드(152)와 제1 범프(162) 사이에 제1 하부 범프 금속층(미도시)이 더 배치될 수도 있다. 여기서, 제1 상부 범프 금속층과 제1 하부 범프 금속층은 제1 범프(162)가 위치할 자리를 표시하는 역할을 수행한다. 이와 비슷하게, 제2 전극(194)과 제2 범프(164) 사이에 제2 상부 범프 금속층(미도시)이 더 배치되고, 제2 금속 패드(154)와 제2 범프(164) 사이에 제2 하부 범프 금속층(미도시)이 더 배치될 수도 있다. 여기서, 제2 상부 범프 금속층과 제2 하부 범프 금속층은 제2 범프(164)가 위치할 자리를 표시하는 역할을 수행한다.Although not illustrated, a first upper bump metal layer (not shown) is further disposed between the first electrode 192-2 and the first bump 162, and the first metal pad 152 and the first bump 162 are disposed. ), a first lower bump metal layer (not shown) may be further disposed. Here, the first upper bump metal layer and the first lower bump metal layer serve to indicate where the first bump 162 will be located. Similarly, a second upper bump metal layer (not shown) is further disposed between the second electrode 194 and the second bump 164, and the second between the second metal pad 154 and the second bump 164 is further disposed. A lower bump metal layer (not shown) may be further disposed. Here, the second upper bump metal layer and the second lower bump metal layer serve to indicate a position where the second bump 164 is to be located.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 활성 영역(AA:Active Area)(또는, 발광 영역)은 제2 도전형 반도체층(136)이 배치된 영역에 해당한다. 활성 영역(AA)에는 제2 전극(194) 및 활성층(134)이 배치된다. 실시 예에 의하면, 도 5에 예시된 바와 같이, 활성 영역(AA)은 평면에서 대칭 형상을 가질 수 있다.2 to 5, an active area (AA) (or a light emitting area) corresponds to an area in which the second conductive type semiconductor layer 136 is disposed. The second electrode 194 and the active layer 134 are disposed in the active area AA. According to an embodiment, as illustrated in FIG. 5, the active area AA may have a symmetrical shape in a plane.

또한, 실시 예에 의하면, 제1 도전형 반도체층(132)은 제1 및 제2 영역(A1, A2)을 포함할 수 있다. 도 5를 참조하면, 제1 영역(A1)은 평면에서 활성 영역(AA)의 사방을 둘러싸는 형상을 갖는 영역이고, 제2 영역(A2)은 평면에서 활성 영역(AA)에 의해 사방이 둘러싸여진 형상을 갖는 영역이다.In addition, according to an embodiment, the first conductivity type semiconductor layer 132 may include first and second regions A1 and A2. Referring to FIG. 5, the first area A1 is an area having a shape surrounding all directions of the active area AA in a plane, and the second area A2 is surrounded by all directions by the active area AA in the plane It is an area with a jean shape.

후술되는 바와 같이 활성 영역(AA)이 발광 소자(100A)의 에지(E)에 가깝게 배치될수록 발광 소자(100A)의 발광 효율은 증가한다. 따라서, 실시 예에 의하면, 활성 영역(AA)이 평면에서 제1 도전형 반도체층(132)의 제2 영역(A2)의 사방을 포위하는(또는, 둘러싸는) 형상을 가지므로, 활성 영역(AA)이 발광 소자(100A)의 에지(E)에 가깝게 배치될 수 있다. 또한, 이와 같이, 활성 영역(AA)이 발광 소자(100A)의 에지(E)에 가깝게 배치될 경우 10 ㎃ 이상의 큰 순방향 전류 특성을 가질 수 있다.As will be described later, as the active area AA is disposed closer to the edge E of the light emitting device 100A, the light emitting efficiency of the light emitting device 100A increases. Therefore, according to the embodiment, since the active region AA has a shape surrounding (or surrounding) all directions of the second region A2 of the first conductive semiconductor layer 132 in a plane, the active region ( AA) may be disposed close to the edge E of the light emitting device 100A. In addition, as described above, when the active region AA is disposed close to the edge E of the light-emitting element 100A, it may have a large forward current characteristic of 10 µs or more.

만일, 발광 소자(100A)의 에지(E)와 활성 영역(AA) 사이의 평면 거리(d1)가 너무 작을 경우, 제1 영역(A1)에 배치되는 제1 전극(192-1)의 폭이 작아져서 순방향 턴 온 전압이 상승할 수 있다. 이를 방지하기 위해, 예를 들어 평면 거리(d1)는 19 ㎛ 이상일 수 있다. 또한, 평면 거리(d1)가 너무 클 경우, 활성 영역(AA)과 에지(E) 사이의 간격이 너무 벌어져서 발광 효율의 개선이 미미할 수 있다. 예를 들어 평면 거리(d1)는 70 ㎛ 이하일 수 있다.If the plane distance d1 between the edge E of the light-emitting element 100A and the active area AA is too small, the width of the first electrode 192-1 disposed in the first area A1 is reduced. As it becomes smaller, the forward turn-on voltage can rise. To prevent this, for example, the flat distance d1 may be 19 μm or more. In addition, when the plane distance d1 is too large, the distance between the active area AA and the edge E is too wide, so that the improvement in luminous efficiency may be insignificant. For example, the flat distance d1 may be 70 μm or less.

전술한 바와 같이 활성 영역(AA)을 에지(E)가 가깝게 배치하기 위해, 평면 거리(d1)가 작기 때문에, 제1 도전형 반도체층(132)의 제1 영역(A1)에는 제1 범프(162)가 배치되지 않고 제2 영역(A2)에만 제1 범프(162)가 배치될 수 있다.As described above, since the plane distance d1 is small in order to place the active region AA close to the edge E, the first bump A is formed in the first region A1 of the first conductive semiconductor layer 132. 162) may not be disposed, and the first bump 162 may be disposed only in the second area A2.

이 경우, 도 4에 예시된 바와 같이, 연결 금속층(170)은 제1 도전형 반도체층(132)의 제1 영역(A1)과 제2 영역(A2)을 서로 전기적으로 연결하는 역할을 한다. 이를 위해 연결 금속층(170)은 전기적 전도성을 갖는 물질로 이루어질 수 있다.In this case, as illustrated in FIG. 4, the connecting metal layer 170 serves to electrically connect the first region A1 and the second region A2 of the first conductive semiconductor layer 132 to each other. To this end, the connecting metal layer 170 may be made of a material having electrical conductivity.

또한, 도 4를 참조하면, 절연층(180, 182)은 제2 도전형 반도체층(136)과 연결 금속층(170)의 사이에 배치되어, 이들(136, 170)을 서로 전기적으로 분리하는 역할을 한다. 또한, 절연층(180, 182)은 활성층(134)과 연결 금속층(170) 사이에 배치되어, 이들(134, 170)을 서로 전기적으로 분리하는 역할을 한다. 또한, 절연층(180)은 제2 전극(194)과 연결 금속층(170) 사이에 배치되어, 이들(194, 170)을 서로 전기적으로 분리하는 역할을 한다.In addition, referring to FIG. 4, the insulating layers 180 and 182 are disposed between the second conductivity type semiconductor layer 136 and the connecting metal layer 170 to electrically separate them 136 and 170 from each other. Do it. In addition, the insulating layers 180 and 182 are disposed between the active layer 134 and the connecting metal layer 170, and serve to electrically separate these 134 and 170 from each other. In addition, the insulating layer 180 is disposed between the second electrode 194 and the connecting metal layer 170, and serves to electrically separate them 194 and 170 from each other.

이를 위해, 절연층(180, 182)은 전기적인 절연 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 절연층(180, 182)은 투광성 절연 물질, 예컨대, SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, 또는 Al2O3 로 형성될 수 있으며, 절연성을 갖는 분산 브래그 반사층(DBR:Distributed Bragg Reflector) 등으로 구현될 수도 있으며, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.To this end, the insulating layers 180 and 182 may be made of an electrically insulating material. For example, the insulating layers 180 and 182 are light-transmitting insulating materials, such as SiO 2 , SiO x , SiO x N y , Si 3 N 4 , or Al 2 O 3 May be implemented as a distributed Bragg Reflector (DBR) having insulating properties, and the embodiment is not limited thereto.

전술한 바와 같이, 연결 금속층(170)이 배치될 경우, 제2 영역(A2)에서 제1 범프(162)는 연결 금속층(170)과 제1 금속 패드(152) 사이에 배치되고, 제2 영역(A2)의 제1 도전형 반도체층(132)에 배치된 제1 전극(192-2)은 제1 도전형 반도체층(132)과 연결 금속층(170) 사이에 배치된다.As described above, when the connecting metal layer 170 is disposed, the first bump 162 in the second area A2 is disposed between the connecting metal layer 170 and the first metal pad 152, and the second area The first electrode 192-2 disposed on the first conductivity type semiconductor layer 132 of (A2) is disposed between the first conductivity type semiconductor layer 132 and the connecting metal layer 170.

도 3 및 도 4에 도시된 발광 소자(100A)에서, 제1 전극(192-1, 192-2)은 제1 도전형 반도체층(132)의 제1 영역(A1)과 제2 영역(A2)에 모두 배치된 것으로 도시되어 있지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 다른 실시 예에 의하면, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 달리 제1 전극은 제1 영역(A1) 또는 제2 영역(A2) 중 적어도 하나의 영역에 배치될 수 있다. 그러나, 전술한 바와 같이, 발광 소자(100A)의 순방향 턴온 전압을 낮추기 위해서, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 영역(A1, A2) 모두에 제1 전극(192-1, 192-2)이 배치됨이 바람직할 수 있다.In the light emitting device 100A illustrated in FIGS. 3 and 4, the first electrodes 192-1 and 192-2 are the first region A1 and the second region A2 of the first conductivity-type semiconductor layer 132. ), but the embodiment is not limited thereto. That is, according to another embodiment, as illustrated in FIGS. 3 and 4, the first electrode may be disposed in at least one of the first region A1 or the second region A2. However, as described above, in order to lower the forward turn-on voltage of the light-emitting element 100A, as illustrated in FIGS. 3 and 4, the first electrodes 192-are formed in both the first and second regions A1 and A2. 1, 192-2) may be preferred.

또한, 도 2 및 도 5를 참조하면, 활성 영역(AA)은 길이 방향을 따라 가변된 폭을 가질 수 있다. 예를 들어, 활성 영역(AA)은 도 5에 예시된 바와 같이, 제3 및 제4 영역(A3, A4)을 포함할 수 있다. 제3 영역(A3)은 제2 범프(164)와 연결되는 영역으로 정의되고, 제4 영역(A4)은 제3 영역(A3) 사이의 영역으로 정의되며 제2 범프(164)와 연결되지 않은 영역이다.In addition, referring to FIGS. 2 and 5, the active area AA may have a variable width along the length direction. For example, the active region AA may include third and fourth regions A3 and A4, as illustrated in FIG. 5. The third area A3 is defined as an area connected to the second bump 164, and the fourth area A4 is defined as an area between the third area A3 and not connected to the second bump 164 Area.

제3 영역(A3)은 제2 범프(164)가 연결되기 때문에, 제2 범프(164)를 통해 서브 마운트(140)로의 열의 배출이 양호할 수 있다. 그러나, 제4 영역(A4)의 경우 제2 범프(164)가 연결되지 않으므로 방열 특성이 열악할 수 있다. 이를 개선하기 위해, 제4 영역(A4)의 평면 폭(L2)은 제3 영역(A3)의 평면 폭(L1)보다 작을 수 있다.Since the second bump 164 is connected to the third area A3, heat discharge to the sub-mount 140 through the second bump 164 may be good. However, in the case of the fourth region A4, since the second bump 164 is not connected, heat dissipation characteristics may be poor. To improve this, the plane width L2 of the fourth region A4 may be smaller than the plane width L1 of the third region A3.

이하, 전술한 도 2 내지 도 5에 도시된 발광 소자(100A)의 제조 방법을 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the light emitting device 100A illustrated in FIGS. 2 to 5 will be described as follows with reference to the accompanying drawings.

도 6 내지 도 12는 도 2 내지 도 4에 도시된 발광 소자(100A)의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들을 나타낸다. 여기서, 제조 방법을 설명하기 위한 도 6, 도 7, 도 8a, 도 9a, 도 10a, 도 11 및 도 12는 공정 단면도를 나타내고, 도 5, 도 8b, 도 9b 및 도 10b는 공정 평면도를 나타낸다.6 to 12 are views for explaining a method of manufacturing the light emitting device 100A shown in FIGS. 2 to 4. Here, FIGS. 6, 7, 8A, 9A, 10A, 11, and 12 for describing a manufacturing method show process cross-sectional views, and FIGS. 5, 8B, 9B, and 10B show process plan views. .

도 6을 참조하면, 기판(110) 위에 버퍼층(112)을 형성한다.Referring to FIG. 6, a buffer layer 112 is formed on the substrate 110.

투광성 물질로 기판(110)을 준비할 수 있으며, 예를 들어, 사파이어(Al203), GaN, SiC, ZnO, GaP, InP, Ga203, GaAs 또는 Si 중 적어도 하나로 기판(110)을 준비할 수 있다.The substrate 110 may be prepared from a light-transmitting material, for example, at least one of sapphire (Al 2 0 3 ), GaN, SiC, ZnO, GaP, InP, Ga 2 0 3 , GaAs, or Si Can prepare.

투광성 물질에 의해 버퍼층(112)을 형성할 수 있다. 버퍼층(112)은 예를 들어 Al, In, N 및 Ga로 구성되는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 물질에 의해 형성할 수 있으나, 이에 국한되지 않는다. 또한, 버퍼층(112)은 단층 또는 다층 구조의 형태로 형성될 수도 있으며, 경우에 따라서, 버퍼층(112)의 형성은 생략될 수도 있다.The buffer layer 112 may be formed of a translucent material. The buffer layer 112 may be formed of at least one material selected from the group consisting of Al, In, N, and Ga, but is not limited thereto. Further, the buffer layer 112 may be formed in the form of a single layer or a multi-layer structure, and in some cases, the formation of the buffer layer 112 may be omitted.

버퍼층(112) 위에 발광 구조물(130)을 형성한다.The light emitting structure 130 is formed on the buffer layer 112.

발광 구조물(130)은 버퍼층(112) 위에 제1 도전형 반도체층(132), 활성층(134) 및 제2 도전형 반도체층(136)을 순차적으로 적층하여 형성될 수 있다.The light emitting structure 130 may be formed by sequentially stacking the first conductive semiconductor layer 132, the active layer 134, and the second conductive semiconductor layer 136 on the buffer layer 112.

제1 도전형 반도체층(132)은 버퍼층(112)과 활성층(134) 사이에 배치되며, 제1 도전형 도펀트가 도핑된 Ⅲ-Ⅴ 족 또는 Ⅱ-Ⅵ 족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(132)이 n형 반도체층인 경우, 제1 도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductivity-type semiconductor layer 132 is disposed between the buffer layer 112 and the active layer 134, and may be formed of a compound semiconductor such as a III-V group or a II-VI group doped with a first conductivity-type dopant. . When the first conductivity-type semiconductor layer 132 is an n-type semiconductor layer, the first conductivity-type dopant is an n-type dopant, and may include, but is not limited to, Si, Ge, Sn, Se, Te.

제1 도전형 반도체층(132)은 투광성 물질을 포함할 수 있으며 예를 들어 AlxInyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(132)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.The first conductive semiconductor layer 132 may include a light-transmitting material, for example, Al x In y Ga (1-xy) N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤ It may include a semiconductor material having a composition formula of 1). The first conductivity-type semiconductor layer 132 may include any one or more of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP.

활성층(134)은 제1 도전형 반도체층(132)과 제2 도전형 반도체층(136) 사이에 배치되며, 제1 도전형 반도체층(132)을 통해서 주입되는 전자(또는, 정공)와 제2 도전형 반도체층(136)을 통해서 주입되는 정공(또는, 전자)가 서로 만나서, 활성층(134)을 이루는 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다. 활성층(134)은 단일 우물 구조, 다중 우물 구조, 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW:Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The active layer 134 is disposed between the first conductivity-type semiconductor layer 132 and the second conductivity-type semiconductor layer 136, and electrons (or holes) injected through the first conductivity-type semiconductor layer 132 are formed. A hole (or electrons) injected through the two-conductivity-type semiconductor layer 136 meets each other, and is a layer that emits light having energy determined by an energy band unique to the material constituting the active layer 134. The active layer 134 may have at least one of a single well structure, a multi well structure, a single quantum well structure, a multi quantum well structure (MQW), a quantum-wire structure, or a quantum dot structure. It can be formed as one.

활성층(134)의 우물층/장벽층은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 우물층은 장벽층의 밴드갭 에너지보다 낮은 밴드갭 에너지를 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer/barrier layer of the active layer 134 may be formed of any one or more pair structures of InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP. However, it is not limited thereto. The well layer may be formed of a material having a band gap energy lower than that of the barrier layer.

활성층(134)의 위 또는/및 아래에는 도전형 클래드층(미도시)이 형성될 수 있다. 도전형 클래드층은 활성층(134)의 장벽층의 밴드갭 에너지보다 더 높은 밴드갭 에너지를 갖는 반도체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도전형 클래드층은 GaN, AlGaN, InAlGaN 또는 초격자 구조 등을 포함할 수 있다. 또한, 도전형 클래드층은 n형 또는 p형으로 도핑될 수 있다. 예를 들어, 활성층(134)은 100 ㎚ 내지 400 ㎚ 예를 들어, 100 ㎚ 내지 280 ㎚ 자외선 파장 대역의 광을 방출할 수 있다.A conductive clad layer (not shown) may be formed above or/or below the active layer 134. The conductive clad layer may be formed of a semiconductor having a band gap energy higher than that of the barrier layer of the active layer 134. For example, the conductive clad layer may include GaN, AlGaN, InAlGaN, or superlattice structures. In addition, the conductive clad layer may be doped with n-type or p-type. For example, the active layer 134 may emit light in an ultraviolet wavelength band of 100 nm to 400 nm, for example, 100 nm to 280 nm.

제2 도전형 반도체층(136)은 활성층(134) 위에 배치되며, 반도체 화합물로 형성될 수 있다. Ⅲ-Ⅴ 족 또는 Ⅱ-Ⅵ 족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 예컨대, 제2 도전형 반도체층(136)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 제2 도전형 반도체층(136)에는 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(136)이 p형 반도체층인 경우, 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.The second conductivity-type semiconductor layer 136 is disposed on the active layer 134 and may be formed of a semiconductor compound. It may be implemented with a compound semiconductor such as group III-V or group II-VI. For example, the second conductive semiconductor layer 136 is a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) It may include. A second conductivity type dopant may be doped into the second conductivity type semiconductor layer 136. When the second conductivity-type semiconductor layer 136 is a p-type semiconductor layer, the second conductivity-type dopant is a p-type dopant, and may include Mg, Zn, Ca, Sr, and Ba.

이후, 도 5 및 도 7을 참조하면, 발광 구조물(130)의 제2 도전형 반도체층(136)과, 활성층(134)과, 제1 도전형 반도체층(132)의 일부를 메사 식각(Mesa etching)하여 제1 도전형 반도체층(132)의 일부를 노출시킨다. 이와 같은 메사 식각에 의해, 활성 영역(AA)과 제1 도전형 반도체층(132)의 제1 및 제2 영역(A1, A2)이 정의된다.Thereafter, referring to FIGS. 5 and 7, the second conductive semiconductor layer 136 of the light emitting structure 130, the active layer 134, and a portion of the first conductive semiconductor layer 132 are mesa etched (Mesa) etching) to expose a portion of the first conductivity type semiconductor layer 132. The active region AA and the first and second regions A1 and A2 of the first conductivity-type semiconductor layer 132 are defined by the mesa etching.

이후, 도 8a 및 도 8b를 참조하면, 제1 도전형 반도체층(132)의 제1 영역(A1)의 상부에 제1 전극(192-1)을 형성함과 동시에 제2 영역(A2)의 상부에 제1 전극(192-2)을 형성한다. 이때, 제1 영역(A1)에서, 제1 전극(192-1)은 활성 영역(AA)에 있는 제2 도전형 반도체층(136)의 측벽으로부터 제1 폭(W1)만큼 이격되고 에지(E)로부터 제2 폭(W2)만큼 이격되어 형성될 수 있다. 또한, 제2 영역(A2)에서, 제1 전극(192-2)은 활성 영역(AA)에 있는 제2 도전형 반도체층(136)의 측벽으로부터 제3 폭(W3)만큼 이격되어 형성될 수 있다.Thereafter, referring to FIGS. 8A and 8B, the first electrode 192-1 is formed on the first region A1 of the first conductivity type semiconductor layer 132 and the second region A2 is formed. The first electrode 192-2 is formed on the upper portion. At this time, in the first region A1, the first electrode 192-1 is spaced apart by the first width W1 from the sidewall of the second conductivity type semiconductor layer 136 in the active region AA and the edge E ) May be formed to be spaced apart by a second width W2. Also, in the second region A2, the first electrode 192-2 may be formed by being spaced apart by a third width W3 from the sidewall of the second conductivity type semiconductor layer 136 in the active region AA. have.

제1 전극(192-1, 192-2)은 활성층(134)에서 방출된 광을 흡수하지 않고 반사시키거나 투과시킬 수 있고, 제1 도전형 반도체층(132) 위에 양질로 성장될 수 있는 어느 물질로 형성될 수 있다. 또한, 제1 전극(192-1, 192-2)은 단일층 또는 다층 구조로 형성될 수도 있다.The first electrodes 192-1 and 192-2 can reflect or transmit light emitted from the active layer 134 without absorbing it, and can be grown with good quality on the first conductive semiconductor layer 132. It can be formed of materials. Further, the first electrodes 192-1 and 192-2 may be formed in a single layer or multi-layer structure.

제1 전극(192-1, 192-2)은 예를 들어, 금속으로 형성될 수 있으며, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 및 이들의 선택적인 조합에 의해 형성될 수 있다. 제1 전극(192-1, 192-2)이 제1 도전형 반도체층(132)과 오믹 접촉하는 물질로 형성될 경우 별도의 오믹층(미도시)이 배치될 필요가 없을 수도 있지만, 별도의 오믹층이 제1 전극(192-1, 192-2)과 제1 도전형 반도체층(132) 사이에 배치될 수도 있다.The first electrodes 192-1 and 192-2 may be formed of, for example, metal, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf and their It can be formed by an optional combination. When the first electrodes 192-1 and 192-2 are formed of a material that is in ohmic contact with the first conductivity type semiconductor layer 132, a separate ohmic layer (not shown) may not need to be disposed, but separate The ohmic layer may be disposed between the first electrodes 192-1 and 192-2 and the first conductivity-type semiconductor layer 132.

이후, 도 9a 및 도 9b를 참조하면, 제2 도전형 반도체층(136)의 상부에 제2 전극(194)을 형성한다. 이때, 제2 전극(194)은 제1 영역(A1)과 활성 영역(AA)의 경계로부터 제4 폭(W4)만큼 이격되어 형성되고, 제2 영역(A1)과 활성 영역(AA)의 경계로부터 제5 폭(W5)만큼 이격되어 형성될 수 있다.Subsequently, referring to FIGS. 9A and 9B, the second electrode 194 is formed on the second conductive semiconductor layer 136. At this time, the second electrode 194 is formed spaced apart by a fourth width W4 from the boundary between the first area A1 and the active area AA, and the boundary between the second area A1 and the active area AA It may be formed spaced apart from the fifth width (W5).

제2 전극(194)은 활성층(134)에서 방출된 광을 흡수하지 않고 반사시키거나 투과시킬 수 있고, 제2 도전형 반도체층(136) 위에 양질로 성장될 수 있는 어느 물질로 형성될 수 있다. 또한, 제2 전극(194)은 단일층 또는 다층 구조로 형성될 수도 있다.The second electrode 194 may reflect or transmit light emitted from the active layer 134 without absorbing it, and may be formed of any material that can be grown with good quality on the second conductive semiconductor layer 136. . Also, the second electrode 194 may be formed in a single layer or multilayer structure.

제2 전극(194)은 예를 들어, 금속으로 형성될 수 있으며, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 및 이들의 선택적인 조합에 의해 형성될 수도 있다. 특히, 제2 전극(194)은 투명 전도성 산화막(TCO)일 수도 있다. 예를 들어, 제2 전극(194)은 전술한 금속 물질과 ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO, GZO, IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 적어도 하나에 의해 형성될 수 있으며, 실시 예는 이러한 재료로 한정되지 않는다.The second electrode 194 may be formed of a metal, for example, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf, and optional combinations thereof It may be. In particular, the second electrode 194 may be a transparent conductive oxide film (TCO). For example, the second electrode 194 includes the aforementioned metal material and ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO, GZO, IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, and Ni /IrOx/Au/ITO, and embodiments are not limited to these materials.

또한, 제2 전극(194)은 오믹 특성을 갖는 반사 전극 재료로 형성될 수 있다.Further, the second electrode 194 may be formed of a reflective electrode material having ohmic characteristics.

이후, 도 10a 및 도 10b를 참조하면, 절연층(180, 182)을 형성한다. 여기서, 도 10a 및 도 10b는 도 3에 도시된 반도체 소자(100A)의 공정 단면도에 해당한다. 도 3, 도 10a 및 도 10b를 참조하면, 절연층(180, 182)은 제1 전극(192-1)의 상부 일부면과, 제1 전극(192-1)에 의해 덮이지 않고 노출된 제1 도전형 반도체층(132)의 상부(132-1) 및 측부(132-2)와, 활성층(134)의 측부(134-1)와, 제2 도전형 반도체층(136)의 측부(136-1), 제2 전극(194)에 의해 덮이지 않고 노출된 제2 도전형 반도체층(136)의 상부(136-2) 및 제2 전극(194)의 상부 일부면에 형성된다.Thereafter, referring to FIGS. 10A and 10B, insulating layers 180 and 182 are formed. Here, FIGS. 10A and 10B correspond to process sectional views of the semiconductor device 100A illustrated in FIG. 3. 3, 10A and 10B, the insulating layers 180 and 182 are exposed without being covered by the first partial surface of the first electrode 192-1 and the first electrode 192-1. The upper part 132-1 and the side part 132-2 of the 1 conductivity type semiconductor layer 132, the side part 134-1 of the active layer 134, and the side part 136 of the second conductivity type semiconductor layer 136 -1), formed on the upper portion 136-2 of the second conductivity-type semiconductor layer 136 exposed without being covered by the second electrode 194 and the upper portion of the second electrode 194.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 절연층(180, 182)은 연결 금속층(170)이 제1 전극(192-1)으로부터 다른 제1 전극(192-2)으로 가로 지르는 활성 영역(AA)의 전체를 덮도록 형성될 수도 있다.In addition, as illustrated in FIG. 4, the insulating layers 180 and 182 are active regions AA in which the connecting metal layer 170 crosses from the first electrode 192-1 to the other first electrode 192-2. It may be formed to cover the entire.

절연층(180, 182)은 전기적인 절연 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 절연층(180, 182)은 투광성 절연 물질, 예컨대, SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, 또는 Al2O3 로 형성될 수 있으며, 전기적인 절연성을 갖는 분산 브래그 반사층(DBR:Distributed Bragg Reflector) 등으로 구현될 수도 있으며, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.The insulating layers 180 and 182 may be formed of an electric insulating material. For example, the insulating layers 180 and 182 are light-transmitting insulating materials, such as SiO 2 , SiO x , SiO x N y , Si 3 N 4 , or Al 2 O 3 To be formed into May be implemented as a distributed Bragg Reflector (DBR) having electrical insulation, and the embodiment is not limited thereto.

이후, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 영역(A1)에서 제1 전극(192-1)의 상부 및 측부와, 제2 영역(A2)에서 제1 전극(192-2)의 상부에 연결 금속층(170)을 형성한다. 이때, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 영역(A1, A2)의 제1 전극(192-1, 192-2)을 서로 전기적으로 연결하도록 연결 금속층(170)을 형성한다. 이와 같이, 연결 금속층(170)이 형성될 경우, 발광 소자(100A)는 도 2에 도시된 바와 같은 평면 형상을 갖는다. 연결 금속층(170)은 전기적 전도성을 갖는 물질로 이루어질 수 있다.Thereafter, as illustrated in FIG. 3, the upper and side portions of the first electrode 192-1 in the first region A1 and the upper portion of the first electrode 192-2 in the second region A2 are connected. The metal layer 170 is formed. At this time, as illustrated in FIG. 4, the connection metal layer 170 is formed to electrically connect the first electrodes 192-1 and 192-2 of the first and second regions A1 and A2 to each other. As described above, when the connecting metal layer 170 is formed, the light emitting device 100A has a planar shape as illustrated in FIG. 2. The connecting metal layer 170 may be made of a material having electrical conductivity.

한편, 도 11을 참조하면, 도 6, 도 5, 도 7 내지 도 10b에 도시된 공정이 진행되는 동안 별개의 공정으로 서브 마운트(140) 상에 제1 및 제2 금속 패드(152, 154)를 형성할 수 있다. 서브 마운트(140)는 AlN, BN, 탄화규소(SiC), GaN, GaAs, Si 등의 반도체 기판으로 이루어질 수 있으며, 이에 국한되지 않고 열전도도가 우수한 반도체 물질로 이루어질 수도 있다.On the other hand, referring to Figure 11, the first and second metal pads 152 and 154 on the sub-mount 140 in a separate process while the process shown in Figures 6, 5, 7 to 10B is in progress Can form. The sub-mount 140 may be made of a semiconductor substrate such as AlN, BN, silicon carbide (SiC), GaN, GaAs, Si, but is not limited thereto, and may be made of a semiconductor material having excellent thermal conductivity.

만일, 서브 마운트(140)가 Si로 이루어질 경우, 제1 및 제2 금속 패드(152, 154)를 형성하기 이전에 서브 마운트(140)의 상부에 보호층(미도시)을 형성할 수 있다. 왜냐하면, 전도성을 갖는 실리콘 서브 마운트(140) 상에서 제1 및 제2 금속 패드(152, 154)를 전기적으로 절연시켜야 하기 때문이다. 보호층은 절연 물질에 의해 형성될 수 있다.If the sub-mount 140 is made of Si, a protective layer (not shown) may be formed on the top of the sub-mount 140 before forming the first and second metal pads 152 and 154. This is because the first and second metal pads 152 and 154 are electrically insulated on the conductive silicon sub-mount 140. The protective layer can be formed of an insulating material.

이후, 도 12를 참조하면, 제1 및 제2 금속 패드(152, 154)의 상부에 제1 범프(162) 및 제2 범프(164)를 각각 형성한다. 제1 및 제2 범프(162, 164) 각각은 스터드(stud) 범프일 수 있지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.Thereafter, referring to FIG. 12, first and second bumps 162 and 164 are formed on the first and second metal pads 152 and 154, respectively. Each of the first and second bumps 162 and 164 may be a stud bump, but embodiments are not limited thereto.

이후, 기판(110)이 탑 측으로 배치되도록 회전시킨 후 도 12에 도시된 결과물과 결합시킨다. 이때, 제1 범프(162)에 의해 제1 전극(192-2)과 제1 금속 패드(152)가 결합되고, 제2 범프(164)에 의해 제2 전극(194)과 제2 금속 패드(154)가 결합된다. 제1 영역(A1)의 제1 전극(192-1)은 연결 금속층(170)을 통해 연결된 제2 영역(A2)의 제1 전극(192-2)을 경유하여 제1 범프(162)와 연결된다.Thereafter, the substrate 110 is rotated to be disposed toward the top side, and then combined with the result shown in FIG. 12. At this time, the first electrode 192-2 and the first metal pad 152 are coupled by the first bump 162, and the second electrode 194 and the second metal pad by the second bump 164 ( 154) are combined. The first electrode 192-1 of the first region A1 is connected to the first bump 162 via the first electrode 192-2 of the second region A2 connected through the connecting metal layer 170. do.

이하, 다른 실시 예에 의한 발광 소자(100B)를 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, a light emitting device 100B according to another embodiment will be described with reference to the accompanying drawings.

도 13은 다른 실시 예에 의한 발광 소자(100B)의 평면도를 나타내고, 도 14는 도 13에 도시된 발광 소자(100B)에서 제1 및 제2 도전형 반도체층(132, 136)만의 평면도를 나타낸다.13 is a plan view of a light emitting device 100B according to another embodiment, and FIG. 14 is a plan view of only the first and second conductivity type semiconductor layers 132 and 136 in the light emitting device 100B illustrated in FIG. 13. .

도 5에 예시된 발광 소자(100A)의 경우 활성 영역(AA)의 평면 형상은 길이 방향을 따라 가변된 폭을 갖는 반면, 도 14에 도시된 발광 소자(100B)의 경우 활성 영역(AA)의 평면 형상은 활성 영역(AA)의 길이 방향을 따라 일정한 폭을 갖는다.In the case of the light emitting device 100A illustrated in FIG. 5, the planar shape of the active area AA has a variable width along the longitudinal direction, whereas in the case of the light emitting device 100B illustrated in FIG. 14, the active area AA The planar shape has a constant width along the length direction of the active area AA.

도 13의 I-I'선 및 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절취한 단면도의 경우, 제1 도전형 반도체층(132)에서 제1 영역(A1)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같다. 그러나, 도 3 및 도 4에 예시된 발광 소자(100A)에서 제2 영역(A2)은 한 개인 반면, 도 13 및 도 14에 도시된 발광 소자(100B)는 2 개의 제2 영역(A21, A22)을 갖는다. 즉, 2개의 제2 영역(A21, A22)은 평면에서 활성 영역(AA)에 의해 사방이 포위된(또는, 둘러싸여진) 형상을 가지며, 제1 범프(162)가 배치되는 영역이다. 따라서, 도 3 및 도 4에 도시된 하나의 제2 영역(A2) 대신에 2개의 제2 영역(A21, A22)이 배치되고, 2개의 제2 영역들(A21, A22) 사이에 활성 영역(AA)이 배치될 경우, 도 3 및 도 4에 도시된 단면도는 도 11 및 도 12에 도시된 발광 소자(100B)의 단면도에 해당한다. 따라서 이러한 차이점을 갖고, 도 3 및 도 4에 도시된 단면도를 도 13 및 도 14에 도시된 발광 소자(100B)의 설명에 준용한다.In the case of a cross-sectional view taken along the line I-I' and II-II' of FIG. 13, the first region A1 in the first conductivity type semiconductor layer 132 is as illustrated in FIGS. 3 and 4. However, in the light emitting device 100A illustrated in FIGS. 3 and 4, the second area A2 is one, while the light emitting device 100B shown in FIGS. 13 and 14 has two second areas A21 and A22. ). That is, the two second regions A21 and A22 have a shape surrounded (or surrounded) in all directions by the active region AA in a plane, and are the regions in which the first bumps 162 are disposed. Accordingly, instead of one second region A2 shown in FIGS. 3 and 4, two second regions A21 and A22 are disposed, and an active region (between the two second regions A21 and A22) When AA) is disposed, the cross-sectional views shown in FIGS. 3 and 4 correspond to the cross-sectional views of the light emitting device 100B shown in FIGS. 11 and 12. Therefore, with these differences, the cross-sectional views shown in FIGS. 3 and 4 are applied to the description of the light emitting device 100B shown in FIGS. 13 and 14.

또한, 전술한 차이점을 제외하면, 도 13 및 도 14에 도시된 발광 소자(100B)는 도 2 및 도 5에 도시된 발광 소자(100A)와 동일하므로, 중복되는 부분에 대한 설명을 생략한다.In addition, except for the above-described difference, since the light emitting device 100B illustrated in FIGS. 13 and 14 is the same as the light emitting device 100A illustrated in FIGS. 2 and 5, descriptions of overlapping parts are omitted.

이하, 전술한 도 13에 도시된 발광 소자(100B)의 제조 방법을 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 개략적으로 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the light emitting device 100B illustrated in FIG. 13 will be described in the following with reference to the accompanying drawings.

도 15a 내지 도 15c는 도 13에 도시된 발광 소자(100B)의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 평면도를 나타낸다.15A to 15C are process plan views for explaining a method of manufacturing the light emitting device 100B shown in FIG. 13.

도 6에 도시된 바와 같이, 기판(110) 위에 버퍼층(112) 및 발광 구조물(130)을 형성한다.6, the buffer layer 112 and the light emitting structure 130 are formed on the substrate 110.

이후, 도 14에 도시된 바와 같이, 발광 구조물(130)에서 제2 도전형 반도체층(136), 활성층(134) 및 제1 도전형 반도체층(132)을 메사 식각하여 제1 도전형 반도체층(132)을 노출시킨다. 메사 식각에 의해 제1 도전형 반도체층(132)의 제1 영역(A1)과 제2 영역(A21, A22)이 정의된다.Thereafter, as shown in FIG. 14, the first conductivity type semiconductor layer is mesa etched by the second conductivity type semiconductor layer 136, the active layer 134, and the first conductivity type semiconductor layer 132 in the light emitting structure 130. (132) is exposed. The first region A1 and the second regions A21 and A22 of the first conductivity-type semiconductor layer 132 are defined by the mesa etching.

이후, 도 15a를 참조하면, 메사 식각에 의해 노출된 제1 도전형 반도체층(132)의 제1 영역(A1)에 제1 전극(192-1)을 형성하고, 제2 영역(A21, A22)에 제1 전극(192-21, 192-22)을 각각 형성한다.Thereafter, referring to FIG. 15A, the first electrode 192-1 is formed in the first region A1 of the first conductivity type semiconductor layer 132 exposed by the mesa etching, and the second regions A21 and A22 are formed. ) To form the first electrodes 192-21 and 192-22, respectively.

이후, 도 15b를 참조하면, 제2 도전형 반도체층(136)의 상부에 제2 전극(194)을 형성한다.Thereafter, referring to FIG. 15B, a second electrode 194 is formed on the second conductive semiconductor layer 136.

이후, 도 15c를 참조하면, 제1 전극(192-1)의 상부 일부면과, 제1 전극(192-1)에 의해 덮이지 않고 노출된 제1 도전형 반도체층(132)의 상부 및 측부와, 활성층(134)의 측부와, 제2 도전형 반도체층(136)의 측부, 제2 전극(194)에 의해 덮이지 않고 노출된 제2 도전형 반도체층(136)의 상부 및 제2 전극(194)의 상부 일부면에 절연층(180)을 형성된다. 또한, 연결 금속층(170)이 제1 전극(192-1)으로부터 다른 2개의 제1 전극(192-21, 192-22)으로 가로 지르는 활성 영역(AA)의 전체를 덮도록 절연층(180, 182)이 형성될 수도 있다.Subsequently, referring to FIG. 15C, an upper partial surface of the first electrode 192-1 and upper and side portions of the first conductive semiconductor layer 132 exposed without being covered by the first electrode 192-1 Wow, the side of the active layer 134, the side of the second conductivity type semiconductor layer 136, the top and second electrodes of the second conductivity type semiconductor layer 136 exposed without being covered by the second electrode 194 An insulating layer 180 is formed on a portion of the upper portion of 194. In addition, the insulating layer 180, so that the connecting metal layer 170 covers the entire active area AA transverse from the first electrode 192-1 to the other two first electrodes 192-21, 192-22. 182) may be formed.

전술한 실시 예의 발광 소자(100A, 100B)는 플립칩형 구조를 갖지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 다른 실시 예에 의하면 전술한 발광 소자(100A, 100B)에 대한 설명은 수평형 발광 소자에도 적용될 수 있음은 물론이다.The light emitting devices 100A and 100B of the above-described embodiment have a flip-chip type structure, but the embodiment is not limited thereto. According to another embodiment, the description of the light emitting devices 100A and 100B described above may be applied to the horizontal light emitting device.

도 16 (a) 내지 (d)는 도 1에 도시된 기존의 발광 소자의 발광 이미지를 나타낸다.16A to 16D show light emission images of the conventional light emitting device shown in FIG. 1.

도 16 (a)로부터 도 16 (d)로 갈수록 기존의 발광 소자는 고 전류로 구동한다.As shown in Fig. 16(a) to Fig. 16(d), the existing light emitting device is driven with a high current.

도 17a 및 도 17b는 활성 영역(20)과 발광 소자의 에지(E) 간의 거리가 서로 다른 도 1에 도시된 기존의 발광 소자를 나타낸다.17A and 17B show the conventional light emitting device shown in FIG. 1 having different distances between the active area 20 and the edge E of the light emitting device.

도 17a에 도시된 기존의 발광 소자에서 활성 영역(20)과 에지(E)간의 거리는 도 17b에 도시된 기존의 발광 소자에서 활성 영역(20)과 에지(E) 간의 거리보다 짧다. 도 17a 및 도 17b에 도시된 기존의 발광 소자의 광속은 다음 표 1과 같다.The distance between the active area 20 and the edge E in the conventional light emitting device shown in FIG. 17A is shorter than the distance between the active area 20 and the edge E in the conventional light emitting device shown in FIG. 17B. Luminous fluxes of the conventional light emitting devices shown in FIGS. 17A and 17B are shown in Table 1 below.

광속Luminous flux 도 17a의 발광 소자Light-Emitting Element of Fig. 17A 도 17b의 발광 소자Light-emitting element of Figure 17b Po1Po1 1.461.46 1.291.29 Po2Po2 4.164.16 3.723.72 Po3Po3 6.496.49 5.915.91

표 1에서, Po1, Po2, Po3는 전류가 20 ㎃, 60 ㎃, 100 ㎃에서의 광속을 각각 나타낸다. 표 1을 참조하면, 도 17a에 도시된 발광 소자의 광속이 도 17b에 도시된 발광 소자의 광속보다 큼을 알 수 있다.In Table 1, Po1, Po2, and Po3 indicate luminous flux at currents of 20 ㎃, 60 ㎃, and 100 각각, respectively. Referring to Table 1, it can be seen that the light flux of the light emitting device shown in FIG. 17A is greater than the light flux of the light emitting device shown in FIG. 17B.

또한, 표 1 및 도 16 (a)로부터 도 16 (d)을 참조하면, 전술한 광속의 차이는 높은 전류로 갈수록 더 커짐을 알 수 있다.Also, referring to Table 1 and FIG. 16(a) to FIG. 16(d), it can be seen that the difference in the above-described light flux becomes larger as the current increases.

결국, 전술한 바와 같이, 활성 영역(AA)이 발광 소자의 에지에 가깝게 배치될수록 발광 소자의 발광 효율이 증가함을 알 수 있다.As a result, as described above, it can be seen that the light emitting efficiency of the light emitting device increases as the active area AA is disposed closer to the edge of the light emitting device.

도 1에 예시된 발광 소자의 경우 n형 범프(40)의 존재로 인해, 활성 영역(AA)(20)이 에지(E)에 가깝게 배치됨에 한계가 있다. 그러나, 실시 예에 의하면, 활성 영역(AA)이 평면에서 제1 도전형 반도체층(132)의 제2 영역(A2)의 사방을 포위하는 형상을 가지므로, 활성 영역(AA)이 발광 소자(100A)의 에지(E)에 가깝게 배치될 수 있다. 따라서, 도 1에 예시된 기존의 발광 소자 대비 전술한 실시 예에 의한 발광 소자(100A, 100B)는 우수한 발광 효율을 가질 수 있다.In the case of the light emitting device illustrated in FIG. 1, due to the presence of the n-type bump 40, there is a limitation in that the active area AA and the 20 are disposed close to the edge E. However, according to the embodiment, since the active area AA has a shape that surrounds all directions of the second area A2 of the first conductive semiconductor layer 132 in a plane, the active area AA has a light emitting element ( It may be disposed close to the edge (E) of 100A). Accordingly, the light emitting devices 100A and 100B according to the above-described embodiment may have excellent light emission efficiency compared to the conventional light emitting devices illustrated in FIG. 1.

또한, 이와 같이, 활성 영역(AA)이 발광 소자(100A, 100B)의 에지(E)에 가깝게 배치될 경우 10 ㎃ 이상의 큰 순방향 전류 특성을 가질 수도 있다.In addition, as described above, when the active area AA is disposed close to the edges E of the light emitting elements 100A and 100B, it may have a large forward current characteristic of 10 µs or more.

도 18은 실시 예에 따른 발광 소자 패키지(200)의 단면도이다.18 is a cross-sectional view of a light emitting device package 200 according to an embodiment.

실시 예에 따른 발광 소자 패키지(200)는 발광 소자(100), 헤더(210), 접착부(220), 제1 및 제2 리드(lead)선(232, 234), 제1 및 제2 와이어(242, 244), 측벽부(250) 및 몰딩 부재(260)를 포함한다. 발광 소자(100)는 도 2 및 도 3에 예시된 발광 소자(100A)로서, 동일한 참조부호를 사용하여 이에 대한 상세한 설명을 생략한다. 도 3에 예시된 발광 소자(100A) 이외에 다른 발광 소자(100B)가 도 18에 예시된 바와 같이 발광 소자 패키지(200)로 구현될 수 있음은 물론이다.The light emitting device package 200 according to the embodiment includes a light emitting device 100, a header 210, an adhesive portion 220, first and second lead wires 232 and 234, and first and second wires ( 242, 244, a side wall portion 250 and a molding member 260. The light emitting device 100 is a light emitting device 100A illustrated in FIGS. 2 and 3, and a detailed description thereof is omitted using the same reference numerals. Of course, other light emitting devices 100B may be implemented as the light emitting device package 200 as illustrated in FIG. 18, in addition to the light emitting device 100A illustrated in FIG. 3.

서브 마운트(140)는 헤더(210) 위에 배치된다. 예를 들어, 서브 마운트(140)는 접착부(220)에 의해 헤더(210)에 연결될 수 있다. 접착부(220)는 솔더 또는 페이스트 형태일 수 있다.The sub mount 140 is disposed on the header 210. For example, the sub-mount 140 may be connected to the header 210 by the adhesive portion 220. The adhesive portion 220 may be in the form of solder or paste.

측벽부(250)는 헤더(210) 위에 배치되어 캐비티를 형성한다. 발광 소자(100)는 헤더(210) 위에서 캐비티 내에 배치되도록 형성될 수 있다.The side wall part 250 is disposed on the header 210 to form a cavity. The light emitting device 100 may be formed to be disposed in the cavity above the header 210.

발광 소자(100)의 제1 및 제2 금속 패드(152, 154)는 제1 및 제2 와이어(242, 244)에 각각 전기적으로 연결된다. 제1 및 제2 리드선(232, 234)은 제1 및 제2 와이어(242, 244)를 통해 제1 및 제2 금속 패드(152, 154)와 전기적으로 각각 연결된다. 따라서, 서로 전기적으로 분리되는 한 쌍의 리드선(232, 234)을 통해 발광 소자(100)에 전원이 제공된다.The first and second metal pads 152 and 154 of the light emitting device 100 are electrically connected to the first and second wires 242 and 244, respectively. The first and second lead wires 232 and 234 are electrically connected to the first and second metal pads 152 and 154 through the first and second wires 242 and 244, respectively. Accordingly, power is provided to the light emitting device 100 through a pair of lead wires 232 and 234 that are electrically separated from each other.

몰딩 부재(260)는 측벽부(250)에 의해 형성된 패키지(200)의 캐비티에 채워져 발광 소자(100)를 포위하여 보호할 수 있다. 또한, 몰딩 부재(260)는 형광체를 포함하여, 발광 소자(100)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The molding member 260 may be filled in the cavity of the package 200 formed by the side wall portion 250 to surround and protect the light emitting device 100. In addition, the molding member 260 may include a phosphor to change the wavelength of light emitted from the light emitting device 100.

다른 실시 예에 따른 발광 소자 패키지는 복수 개가 기판 상에 어레이되며, 발광 소자 패키지에서 방출되는 광의 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트, 형광 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광 소자 패키지, 기판, 광학 부재는 백라이트 유닛으로 기능하거나 조명 유닛으로 기능할 수 있으며, 예를 들어, 조명 시스템은 백라이트 유닛, 조명 유닛, 지시 장치, 램프, 가로등을 포함할 수 있다.In the light emitting device package according to another embodiment, a plurality of light emitting device packages are arranged on a substrate, and a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, a fluorescent sheet, etc., which are optical members may be disposed on a path of light emitted from the light emitting device package. The light emitting device package, the substrate, and the optical member may function as a backlight unit or may function as a lighting unit, for example, the lighting system may include a backlight unit, a lighting unit, an indicator device, a lamp, and a street light.

도 19는 실시 예에 따른 발광 소자 패키지를 포함하는 표시 장치(800)를 나타낸다.19 illustrates a display device 800 including a light emitting device package according to an embodiment.

도 19를 참조하면, 표시 장치(800)는 바텀 커버(810)와, 바텀 커버(810) 상에 배치되는 반사판(820)과, 광을 방출하는 발광 모듈(830, 835)과, 반사판(820)의 전방에 배치되며 발광 모듈(830, 835)에서 발산되는 빛을 표시 장치 전방으로 안내하는 도광판(840)과, 도광판(840)의 전방에 배치되는 프리즘 시트들(850, 860)을 포함하는 광학 시트와, 광학 시트 전방에 배치되는 디스플레이 패널(870)과, 디스플레이 패널(870)과 연결되고 디스플레이 패널(870)에 화상 신호를 공급하는 화상 신호 출력 회로(872)와, 디스플레이 패널(870)의 전방에 배치되는 컬러 필터(880)를 포함할 수 있다. 여기서, 바텀 커버(810), 반사판(820), 발광 모듈(830,835), 도광판(840) 및 광학 시트는 백라이트 유닛(Backlight Unit)을 이룰 수 있다.Referring to FIG. 19, the display device 800 includes a bottom cover 810, a reflector 820 disposed on the bottom cover 810, light emitting modules 830 and 835 that emit light, and a reflector 820. ) And a light guide plate 840 that guides light emitted from the light emitting modules 830 and 835 toward the front of the display device and prism sheets 850 and 860 disposed in front of the light guide plate 840. An optical sheet, a display panel 870 disposed in front of the optical sheet, an image signal output circuit 872 connected to the display panel 870 and supplying an image signal to the display panel 870, and a display panel 870 It may include a color filter 880 disposed in front of. Here, the bottom cover 810, the reflector 820, the light emitting modules 830 and 835, the light guide plate 840 and the optical sheet may form a backlight unit.

발광 모듈은 기판(830) 상에 실장되는 발광 소자 패키지들(835)을 포함할 수 있다. 여기서, 기판(830)은 PCB 등이 사용될 수 있다. 발광 소자 패키지(835)는 도 18에 도시된 실시 예(200)일 수 있다.The light emitting module may include light emitting device packages 835 mounted on the substrate 830. Here, the substrate 830 may be a PCB or the like. The light emitting device package 835 may be the embodiment 200 illustrated in FIG. 18.

바텀 커버(810)는 표시 장치(800) 내의 구성 요소들을 수납할 수 있다. 그리고, 반사판(820)은 본 도면처럼 별도의 구성요소로 마련될 수도 있으며, 도광판(840)의 후면이나, 바텀 커버(810)의 전면에 반사도가 높은 물질로 코팅되는 형태로 마련되는 것도 가능하다.The bottom cover 810 may accommodate components in the display device 800. In addition, the reflective plate 820 may be provided as a separate component, as shown in the figure, or may be provided in a form coated with a highly reflective material on the back of the light guide plate 840 or the front of the bottom cover 810. .

여기서, 반사판(820)은 반사율이 높고 초박형으로 사용 가능한 소재를 사용할 수 있고, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET:PolyEthylene Terephtalate)를 사용할 수 있다.Here, the reflector 820 may use a material having a high reflectance and an ultra-thin type, and polyethylene terephthalate (PET) may be used.

그리고, 도광판(840)은 폴리메틸메타릴레이트 (PMMA:PolyMethylMethAcrylate), 폴리카보네이트(PC:PolyCarbonate), 또는 폴리에틸렌(PE:PolyEthylene) 등으로 형성될 수 있다.In addition, the light guide plate 840 may be formed of polymethyl methacrylate (PMMA: PolyMethylMethAcrylate), polycarbonate (PC: PolyCarbonate), or polyethylene (PE: PolyEthylene).

그리고, 제1 프리즘 시트(850)는 지지 필름의 일면에, 투광성이면서 탄성을 갖는 중합체 재료로 형성될 수 있으며, 중합체는 복수 개의 입체구조가 반복적으로 형성된 프리즘층을 가질 수 있다. 여기서, 복수 개의 패턴은 도시된 바와 같이 마루와 골이 반복적으로 스트라이프 타입으로 구비될 수 있다.In addition, the first prism sheet 850 may be formed of a polymer material having light transmission and elasticity on one surface of the support film, and the polymer may have a prism layer in which a plurality of three-dimensional structures are repeatedly formed. Here, as shown in the figure, the floor and the valley may be repeatedly provided in a stripe type.

그리고, 제2 프리즘 시트(860)에서 지지 필름 일면의 마루와 골의 방향은, 제1 프리즘 시트(850) 내의 지지필름 일면의 마루와 골의 방향과 수직할 수 있다. 이는 발광 모듈과 반사 시트로부터 전달된 빛을 디스플레이 패널(870)의 전면으로 고르게 분산하기 위함이다.In addition, in the second prism sheet 860, the direction of the floors and valleys on one side of the support film may be perpendicular to the direction of the floors and valleys on one side of the support film in the first prism sheet 850. This is to evenly distribute light transmitted from the light emitting module and the reflective sheet to the front surface of the display panel 870.

그리고, 도시되지는 않았으나, 도광판(840)과 제1 프리즘 시트(850) 사이에 확산 시트가 배치될 수 있다. 확산 시트는 폴리에스터와 폴리카보네이트 계열의 재료로 이루어질 수 있으며, 백라이트 유닛으로부터 입사된 빛을 굴절과 산란을 통하여 광 투사각을 최대로 넓힐 수 있다. 그리고, 확산 시트는 광확산제를 포함하는 지지층과, 광출사면(제1 프리즘 시트 방향)과 광입사면(반사시트 방향)에 형성되며 광확산제를 포함하지 않는 제1 레이어와 제2 레이어를 포함할 수 있다.In addition, although not illustrated, a diffusion sheet may be disposed between the light guide plate 840 and the first prism sheet 850. The diffusion sheet may be made of a polyester and polycarbonate-based material, and may maximize the light projection angle through refraction and scattering of light incident from the backlight unit. In addition, the diffusion sheet is formed on a support layer including a light diffusion agent, and a first layer and a second layer that are formed on a light exit surface (first prism sheet direction) and a light incident surface (reflection sheet direction) and do not contain a light diffusion agent. It may include.

실시 예에서 확산 시트, 제1 프리즘시트(850), 및 제2 프리즘시트(860)가 광학 시트를 이루는데, 광학 시트는 다른 조합 예를 들어, 마이크로 렌즈 어레이로 이루어지거나 확산 시트와 마이크로 렌즈 어레이의 조합 또는 하나의 프리즘 시트와 마이크로 렌즈 어레이의 조합 등으로 이루어질 수 있다.In an embodiment, the diffusion sheet, the first prism sheet 850, and the second prism sheet 860 form an optical sheet, the optical sheet is made of a different combination, for example, a micro lens array or a diffusion sheet and a micro lens array Or a combination of one prism sheet and a micro lens array.

디스플레이 패널(870)에 액정 표시 패널(Liquid crystal display)이 배치될 수 있는데, 액정 표시 패널 외에 광원을 필요로 하는 다른 종류의 표시 장치가 구비될 수 있다.A liquid crystal display may be disposed on the display panel 870, and other types of display devices requiring a light source may be provided in addition to the liquid crystal display panel.

도 20은 실시 예에 따른 발광 소자 패키지를 포함하는 헤드 램프(head lamp, 900)를 나타낸다.20 illustrates a head lamp 900 including a light emitting device package according to an embodiment.

도 20을 참조하면, 헤드 램프(900)는 발광 모듈(901), 리플렉터(reflector, 902), 쉐이드(903) 및 렌즈(904)를 포함한다.Referring to FIG. 20, the head lamp 900 includes a light emitting module 901, a reflector 902, a shade 903, and a lens 904.

발광 모듈(901)은 기판(미도시) 상에 배치되는 복수의 발광 소자 패키지들(미도시)을 포함할 수 있다. 이때 발광 소자 패키지는 도 18에 도시된 실시 예(200)일 수 있다.The light emitting module 901 may include a plurality of light emitting device packages (not shown) disposed on a substrate (not shown). In this case, the light emitting device package may be the embodiment 200 illustrated in FIG. 18.

리플렉터(902)는 발광 모듈(901)로부터 조사되는 빛(911)을 일정 방향, 예컨대, 전방(912)으로 반사시킨다.The reflector 902 reflects the light 911 emitted from the light emitting module 901 in a predetermined direction, for example, the front 912.

쉐이드(903)는 리플렉터(902)와 렌즈(904) 사이에 배치되며, 리플렉터(902)에 의하여 반사되어 렌즈(904)로 향하는 빛의 일부분을 차단 또는 반사하여 설계자가 원하는 배광 패턴을 이루도록 하는 부재로서, 쉐이드(903)의 일측부(903-1)와 타측부(903-2)는 서로 높이가 다를 수 있다.The shade 903 is disposed between the reflector 902 and the lens 904, and is a member that blocks or reflects a portion of light reflected by the reflector 902 to the lens 904 to form a light distribution pattern desired by the designer As, the height of one side portion 903-1 and the other side portion 903-2 of the shade 903 may be different from each other.

발광 모듈(901)로부터 조사되는 빛은 리플렉터(902) 및 쉐이드(903)에서 반사된 후 렌즈(904)를 투과하여 차체 전방을 향할 수 있다. 렌즈(904)는 리플렉터(902)에 의하여 반사된 빛을 전방으로 굴절시킬 수 있다.The light emitted from the light emitting module 901 may be reflected by the reflector 902 and the shade 903 and then pass through the lens 904 to face the vehicle body front. The lens 904 may refract light reflected by the reflector 902 in the forward direction.

도 21은 실시 예에 따른 발광 소자 또는 발광 소자 패키지를 포함하는 조명 장치(1000)를 나타낸다.21 illustrates a lighting device 1000 including a light emitting device or a light emitting device package according to an embodiment.

도 21을 참조하면, 조명 장치(1000)는 커버(1100), 광원 모듈(1200), 방열체(1400), 전원 제공부(1600), 내부 케이스(1700) 및 소켓(1800)을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 조명 장치(1000)는 부재(1300)와 홀더(1500) 중 어느 하나 이상을 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 21, the lighting device 1000 may include a cover 1100, a light source module 1200, a heat radiator 1400, a power supply unit 1600, an inner case 1700 and a socket 1800. have. In addition, the lighting device 1000 according to the embodiment may further include any one or more of the member 1300 and the holder 1500.

광원 모듈(1200)은 도 2 내지 도 5에 예시된 발광 소자(100A), 도 13 및 도 14에 도시된 발광 소자(100B), 또는 도 18에 도시된 발광 소자 패키지(200)를 포함할 수 있다.The light source module 1200 may include the light emitting device 100A illustrated in FIGS. 2 to 5, the light emitting device 100B illustrated in FIGS. 13 and 14, or the light emitting device package 200 illustrated in FIG. 18. have.

커버(1100)는 벌브(bulb) 또는 반구의 형상일 수 있으며, 속이 비어 있고, 일 부분이 개구된 형상일 수 있다. 커버(1100)는 광원 모듈(1200)과 광학적으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 커버(1100)는 광원 모듈(1200)로부터 제공되는 빛을 확산, 산란 또는 여기시킬 수 있다. 커버(1100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 커버(1100)는 방열체(1400)와 결합될 수 있다. 커버(1100)는 방열체(1400)와 결합하는 결합부를 가질 수 있다.The cover 1100 may be in the shape of a bulb or a hemisphere, the hollow may be hollow, and a portion may be opened. The cover 1100 may be optically coupled to the light source module 1200. For example, the cover 1100 may diffuse, scatter, or excite light provided from the light source module 1200. The cover 1100 may be a kind of optical member. The cover 1100 may be combined with the radiator 1400. The cover 1100 may have a coupling portion that engages the heat radiator 1400.

커버(1100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 유백색의 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 커버(1100)의 내면의 표면 거칠기는 커버(1100)의 외면의 표면 거칠기보다 크게 형성될 수 있다. 이는 광원 모듈(1200)로부터의 빛이 충분히 산란 및 확산되어 외부로 방출시키기 위함이다.A milky white coating may be coated on the inner surface of the cover 1100. The milky white paint may include a diffusion material that diffuses light. The surface roughness of the inner surface of the cover 1100 may be greater than the surface roughness of the outer surface of the cover 1100. This is for light from the light source module 1200 to be sufficiently scattered and diffused to be emitted to the outside.

커버(1100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는 내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 커버(1100)는 외부에서 광원 모듈(1200)이 보이도록 투명할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니고 불투명할 수 있다. 커버(1100)는 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The material of the cover 1100 may be glass, plastic, polypropylene (PP), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), or the like. Here, polycarbonate has excellent light resistance, heat resistance, and strength. The cover 1100 may be transparent so that the light source module 1200 is visible from the outside, but is not limited thereto and may be opaque. The cover 1100 may be formed through blow molding.

광원 모듈(1200)은 방열체(1400)의 일 면에 배치될 수 있으며, 광원 모듈(1200)로부터 발생한 열은 방열체(1400)로 전도될 수 있다. 광원 모듈(1200)은 광원부(1210), 연결 플레이트(1230) 및 커넥터(1250)를 포함할 수 있다.The light source module 1200 may be disposed on one surface of the heat radiator 1400, and heat generated from the light source module 1200 may be conducted to the heat radiator 1400. The light source module 1200 may include a light source unit 1210, a connection plate 1230, and a connector 1250.

부재(1300)는 방열체(1400)의 상면 위에 배치될 수 있고, 복수의 광원부(1210)와 커넥터(1250)가 삽입되는 가이드홈(1310)을 갖는다. 가이드홈(1310)은 광원부(1210)의 기판 및 커넥터(1250)와 대응 또는 정렬될 수 있다.The member 1300 may be disposed on the upper surface of the radiator 1400, and has a plurality of light source units 1210 and a guide groove 1310 into which the connector 1250 is inserted. The guide groove 1310 may correspond to or be aligned with the substrate and connector 1250 of the light source unit 1210.

부재(1300)의 표면은 광 반사 물질로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다.The surface of the member 1300 may be coated or coated with a light reflective material.

예를 들면, 부재(1300)의 표면은 백색의 도료로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 이러한 부재(1300)는 커버(1100)의 내면에 반사되어 광원 모듈(1200)을 향하여 되돌아오는 빛을 다시 커버(1100) 방향으로 반사할 수 있다. 따라서, 실시 예에 따른 조명 장치의 광 효율을 향상시킬 수 있다.For example, the surface of the member 1300 may be coated or coated with a white paint. The member 1300 may reflect light reflected on the inner surface of the cover 1100 and return toward the light source module 1200 again in the direction of the cover 1100. Therefore, it is possible to improve the light efficiency of the lighting device according to the embodiment.

부재(1300)는 예로서 절연 물질로 이루어질 수 있다. 광원 모듈(1200)의 연결 플레이트(1230)는 전기 전도성의 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 방열체(1400)와 연결 플레이트(1230) 사이에 전기적인 접촉이 이루어질 수 있다. 부재(1300)는 절연 물질로 구성되어 연결 플레이트(1230)와 방열체(1400)의 전기적 단락을 차단할 수 있다. 방열체(1400)는 광원 모듈(1200)로부터의 열과 전원 제공부(1600)로부터의 열을 전달받아 방열할 수 있다.The member 1300 may be made of an insulating material, for example. The connection plate 1230 of the light source module 1200 may include an electrically conductive material. Accordingly, electrical contact may be made between the radiator 1400 and the connection plate 1230. The member 1300 may be formed of an insulating material to block electrical shorts between the connection plate 1230 and the radiator 1400. The heat radiator 1400 may radiate heat by receiving heat from the light source module 1200 and heat from the power supply unit 1600.

홀더(1500)는 내부 케이스(1700)의 절연부(1710)의 수납홈(1719)을 막는다. 따라서, 내부 케이스(1700)의 절연부(1710)에 수납되는 전원 제공부(1600)는 밀폐될 수 있다. 홀더(1500)는 가이드 돌출부(1510)를 가질 수 있으며, 가이드 돌출부(1510)는 전원 제공부(1600)의 돌출부(1610)가 관통하는 홀을 가질 수 있다.The holder 1500 closes the storage groove 1719 of the insulating portion 1710 of the inner case 1700. Therefore, the power supply unit 1600 accommodated in the insulating portion 1710 of the inner case 1700 may be sealed. The holder 1500 may have a guide protrusion 1510, and the guide protrusion 1510 may have a hole through which the protrusion 1610 of the power supply unit 1600 passes.

전원 제공부(1600)는 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 광원 모듈(1200)로 제공한다. 전원 제공부(1600)는 내부 케이스(1700)의 수납홈(1719)에 수납될 수 있고, 홀더(1500)에 의해 내부 케이스(1700)의 내부에 밀폐될 수 있다. 전원 제공부(1600)는 돌출부(1610), 가이드부(1630), 베이스(1650) 및 연장부(1670)를 포함할 수 있다.The power supply unit 1600 processes or converts an electrical signal provided from the outside and provides it to the light source module 1200. The power supply unit 1600 may be accommodated in the receiving groove 1719 of the inner case 1700, and may be sealed inside the inner case 1700 by the holder 1500. The power supply unit 1600 may include a protrusion 1610, a guide unit 1630, a base 1650 and an extension unit 1670.

가이드부(1630)는 베이스(1650)의 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 가질 수 있다. 가이드부(1630)는 홀더(1500)에 삽입될 수 있다. 베이스(1650)의 일 면 위에는 다수의 부품이 배치될 수 있다. 다수의 부품은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 광원 모듈(1200)의 구동을 제어하는 구동칩, 광원 모듈(1200)을 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다.The guide portion 1630 may have a shape protruding from the side of the base 1650 to the outside. The guide portion 1630 may be inserted into the holder 1500. A plurality of parts may be disposed on one surface of the base 1650. For example, a plurality of components include, for example, a DC converter that converts AC power provided from an external power source into DC power, a driving chip that controls the driving of the light source module 1200, and ESD (ElectroStatic) to protect the light source module 1200. discharge) protection element and the like, but is not limited thereto.

연장부(1670)는 베이스(1650)의 다른 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 가질 수 있다. 연장부(1670)는 내부 케이스(1700)의 연결부(1750) 내부에 삽입될 수 있고, 외부로부터의 전기적 신호를 제공받을 수 있다. 예컨대, 연장부(1670)는 내부 케이스(1700)의 연결부(1750)와 폭이 같거나 작을 수 있다. 연장부(1670)에는 "+ 전선"과 "- 전선"의 각 일 단이 전기적으로 연결될 수 있고, "+ 전선"과 "- 전선"의 다른 일 단은 소켓(1800)에 전기적으로 연결될 수 있다.The extension 1670 may have a shape protruding from the other side of the base 1650 to the outside. The extension part 1670 may be inserted inside the connection part 1750 of the inner case 1700, and may receive an electrical signal from the outside. For example, the extension 1670 may be the same or smaller in width than the connection 1750 of the inner case 1700. Each end of the "+ wire" and "- wire" may be electrically connected to the extension 1670, and the other end of the "+ wire" and "- wire" may be electrically connected to the socket 1800. .

내부 케이스(1700)는 내부에 전원 제공부(1600)와 함께 몰딩부를 포함할 수 있다. 몰딩부는 몰딩 액체가 굳어진 부분으로서, 전원 제공부(1600)가 내부 케이스(1700) 내부에 고정될 수 있도록 한다.The inner case 1700 may include a molding unit together with a power supply unit 1600 therein. The molding part is a part in which the molding liquid is hardened, so that the power supply unit 1600 can be fixed inside the inner case 1700.

이상에서 실시 예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments have been mainly described above, but this is merely an example and does not limit the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains have not been exemplified above in a range that does not depart from the essential characteristics of the present embodiment. It will be appreciated that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be implemented by modification. And differences related to these modifications and applications should be construed as being included in the scope of the invention defined in the appended claims.

100, 100A, 100B: 발광 소자 110: 기판, 투광성 기판
112: 버퍼층 130: 발광 구조물
131: 발광 부재
132: 제1 도전형 반도체층 134: 활성층
136: 제2 도전형 반도체층 140: 서브 마운트
152: 제1 금속 패드 154: 제2 금속 패드
162: 제1 범프 164: 제2 범프
170: 연결 금속층 180, 182: 절연층
192-1, 192-2, 192-21, 192-22: 제1 전극
194: 제2 전극 E: 발광 소자의 에지
A1: 제1 도전형 반도체층의 제1 영역
A2, A21, A22: 제1 도전형 반도체층의 제2 영역
AA: 활성 영역 192-21: 제1 전극의 제1 부
192-22: 제1 전극의 제2 부 192-1: 제1 전극의 제3 부
OP1, OP2, OP3: 복수의 개구 PRO1 내지 PRO4: 복수의 돌출부
SIDE1: 제1 측면 SIDE2: 제2 측면
100, 100A, 100B: light-emitting element 110: substrate, light-transmitting substrate
112: buffer layer 130: light emitting structure
131: light emitting member
132: first conductive semiconductor layer 134: active layer
136: second conductive semiconductor layer 140: sub-mount
152: first metal pad 154: second metal pad
162: first bump 164: second bump
170: connecting metal layer 180, 182: insulating layer
192-1, 192-2, 192-21, 192-22: first electrode
194: second electrode E: edge of the light emitting element
A1: first region of the first conductivity type semiconductor layer
A2, A21, A22: second region of the first conductivity type semiconductor layer
AA: active region 192-21: first part of the first electrode
192-22: Part 2 of the first electrode 192-1: Part 3 of the first electrode
OP1, OP2, OP3: a plurality of openings PRO1 to PRO4: a plurality of protrusions
SIDE1: First side SIDE2: Second side

Claims (13)

투광성 기판;
상기 투광성 기판 상에 배치되고, 제1 도전형 반도체층, 및 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되는 발광 부재를 포함하는 발광 구조물;
상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되고, 상기 제1 도전형 반도체층과 접촉하는 제1 전극;
상기 발광 부재 상에 배치되고, 상기 발광 부재와 접촉하는 제2 전극을 포함하고,
상기 발광 부재는 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층, 및 상기 활성층 상에 배치되는 제2 도전형 반도체층을 포함하고,
상기 제1 전극은 서로 이격된 제1 부, 및 제2 부, 및 제3 부를 포함하고,
상기 발광 부재는 상기 제1 부, 및 상기 제2 부 주변을 따라 폐루프로 배치되고,
상기 제3 부는 상기 발광 부재의 최외곽 주변을 따라 폐루프로 배치되는 평면 형상을 갖는 발광 소자.
A light-transmissive substrate;
A light emitting structure disposed on the light-transmitting substrate and including a first conductive type semiconductor layer and a light emitting member disposed on the first conductive type semiconductor layer;
A first electrode disposed on the first conductivity type semiconductor layer and contacting the first conductivity type semiconductor layer;
A second electrode disposed on the light emitting member and in contact with the light emitting member,
The light emitting member includes an active layer disposed on the first conductive type semiconductor layer, and a second conductive type semiconductor layer disposed on the active layer,
The first electrode includes a first part, a second part, and a third part spaced apart from each other,
The light emitting member is disposed in a closed loop along the periphery of the first part and the second part,
The third part is a light emitting device having a planar shape disposed in a closed loop along the outermost periphery of the light emitting member.
제1 항에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체층, 상기 활성층, 및 상기 제2 도전형 반도체층은 각각 알루미늄을 포함하고,
상기 활성층이 발광하는 광의 파장 중 상대적인 세기가 가장 큰 광은 100 nm 내지 400 nm 사이의 파장을 갖는 발광 소자.
According to claim 1,
The first conductivity type semiconductor layer, the active layer, and the second conductivity type semiconductor layer each include aluminum,
Among the wavelengths of light emitted by the active layer, the light having the largest relative intensity has a wavelength between 100 nm and 400 nm.
제1 항에 있어서,
상기 제1 전극의 상면으로부터 상기 발광 부재의 상면에 배치된 상기 제2 전극의 상면까지 연장되어 배치되는 절연층을 포함하는 발광 소자.
According to claim 1,
A light emitting device including an insulating layer extending from an upper surface of the first electrode to an upper surface of the second electrode disposed on the upper surface of the light emitting member.
제3 항에 있어서,
상기 제1 전극과 전기적으로 연결되는 제1 범프;
상기 제2 전극과 전기적으로 연결되는 제2 범프를 포함하는 발광 소자.
According to claim 3,
A first bump electrically connected to the first electrode;
A light emitting device including a second bump electrically connected to the second electrode.
제4 항에 있어서,
상기 절연층은 복수의 개구를 포함하고,
상기 제1 전극의 일부 및 상기 제2 전극의 일부는 각각 상기 복수의 개구에 각각 배치되고,
상기 제1 범프 및 상기 제2 범프는 상기 복수의 개구에 각각 배치된 상기 제1 전극의 일부 및 상기 제2 전극의 일부와 전기적으로 연결되는 발광 소자.
According to claim 4,
The insulating layer includes a plurality of openings,
A portion of the first electrode and a portion of the second electrode are respectively disposed in the plurality of openings,
The first bump and the second bump are light emitting devices that are electrically connected to a portion of the first electrode and a portion of the second electrode, respectively, disposed in the plurality of openings.
제1 항에 있어서,
상기 투광성 기판은 제1 방향으로 서로 마주보는 제1 측면, 및 제2 측면을 포함하고,
상기 발광 부재는 상기 제1 방향으로 상기 제1 측면을 향하여 돌출된 복수의 돌출부를 포함하는 발광 소자.
According to claim 1,
The translucent substrate includes a first side and a second side facing each other in a first direction,
The light emitting member includes a plurality of protrusions protruding toward the first side in the first direction.
제1 항 또는 제4 항에 기재된 발광 소자를 포함하는 발광 소자 패키지.A light-emitting device package comprising the light-emitting device according to claim 1 or 4. 제7 항에 있어서, 상기 발광 소자는 상기 투광성 기판의 바닥면인 제1 면, 상기 투광성 기판의 두께 방향으로 상기 제1 면의 반대측에 위치한 제2 면을 포함하고,
상기 발광 소자의 상기 제2 면과 연결되며 솔더 형태를 갖는 접착부를 포함하는 발광 소자 패키지.
The light emitting device of claim 7, wherein the light emitting device includes a first surface that is a bottom surface of the translucent substrate, and a second surface that is opposite to the first surface in a thickness direction of the translucent substrate,
A light emitting device package including an adhesive portion having a solder form and connected to the second surface of the light emitting device.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020140002218A 2014-01-08 2014-01-08 Light emitting device and light emitting device package including the same KR102140273B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140002218A KR102140273B1 (en) 2014-01-08 2014-01-08 Light emitting device and light emitting device package including the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140002218A KR102140273B1 (en) 2014-01-08 2014-01-08 Light emitting device and light emitting device package including the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150082806A KR20150082806A (en) 2015-07-16
KR102140273B1 true KR102140273B1 (en) 2020-07-31

Family

ID=53884722

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140002218A KR102140273B1 (en) 2014-01-08 2014-01-08 Light emitting device and light emitting device package including the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102140273B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102624111B1 (en) * 2016-01-13 2024-01-12 서울바이오시스 주식회사 UV Light Emitting Device
KR102410809B1 (en) * 2017-08-25 2022-06-20 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 Semiconductor device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003031858A (en) * 2001-05-15 2003-01-31 Lumileds Lighting Us Llc Semiconductor led flip chip with filler having low refractive index
KR100512361B1 (en) * 2002-12-09 2005-09-02 엘지이노텍 주식회사 Large-size flip chip led having ring-type mesa geometry
KR100714638B1 (en) * 2006-02-16 2007-05-07 삼성전기주식회사 Facet extraction type led and method for manufacturing the same
KR100838197B1 (en) 2007-08-10 2008-06-16 서울옵토디바이스주식회사 Light emitting diode with improved current spreading performance
JP2011124484A (en) 2009-12-14 2011-06-23 Stanley Electric Co Ltd Mounting method of semiconductor element

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100586948B1 (en) * 2004-01-19 2006-06-07 삼성전기주식회사 Nitride semiconductor light emitting device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003031858A (en) * 2001-05-15 2003-01-31 Lumileds Lighting Us Llc Semiconductor led flip chip with filler having low refractive index
KR100512361B1 (en) * 2002-12-09 2005-09-02 엘지이노텍 주식회사 Large-size flip chip led having ring-type mesa geometry
KR100714638B1 (en) * 2006-02-16 2007-05-07 삼성전기주식회사 Facet extraction type led and method for manufacturing the same
KR100838197B1 (en) 2007-08-10 2008-06-16 서울옵토디바이스주식회사 Light emitting diode with improved current spreading performance
JP2011124484A (en) 2009-12-14 2011-06-23 Stanley Electric Co Ltd Mounting method of semiconductor element

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150082806A (en) 2015-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102197082B1 (en) Light emitting device and light emitting device package including the same
KR102099439B1 (en) Light emitting Device, and package including the deivce
KR102087935B1 (en) Light emitting device
KR101992366B1 (en) Light emitting device
KR102080778B1 (en) Light emitting device package
KR102087939B1 (en) Light Emitting Device Package
KR102066620B1 (en) A light emitting device
KR102182024B1 (en) A light emitting device
KR102408617B1 (en) Light emitting device package, and light emitting apparatus including the package
KR102464028B1 (en) Light emitting device package, and light emitting apparatus including the package
KR102050056B1 (en) Light Emitting Device
KR102140273B1 (en) Light emitting device and light emitting device package including the same
KR102080779B1 (en) A light emitting device
KR102220501B1 (en) Light Emitting Device Package
KR102194804B1 (en) Light emitting device
KR20150040630A (en) Light Emitting Device
KR20160047766A (en) Light emitting device and light emitting device package including the device
KR102209037B1 (en) A light emitting device
KR20140078250A (en) Light emitting device, method for fabricating the same, and lighting system
KR102140277B1 (en) Light Emitting Device
KR102127444B1 (en) A light emitting device
KR102156375B1 (en) A light emitting device
KR20150092478A (en) Light Emitting Device
KR102156376B1 (en) A light emitting device
KR102087937B1 (en) Light emitting device

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant