KR102134775B1 - 커스터머 트레이 이송 장치 및 이송 방법 - Google Patents

커스터머 트레이 이송 장치 및 이송 방법 Download PDF

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Abstract

커스터머 트레이 이송 장치 및 방법은 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 적재부, 및 상기 적재부를 업/다운 구동시킬 수 있는 구동부를 구비하는 셋플레이트; 및 상기 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 멀티 스택커로부터 상기 적재부로 또는 상기 적재부로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이를 이송할 수 있는 트랜스퍼를 포함하고, 상기 적재부는 상기 커스터머 트레이가 적재될 때 상기 커스터머 트레이의 측면을 지지하는 지지부를 구비하되, 상기 지지부는 상기 커스터머 트레이를 다수매로 적재할 수 있도록 상기 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이의 적재 높이와 동일한 높이로 가변되는 가변 구조로 이루어질 수 있다.

Description

커스터머 트레이 이송 장치 및 이송 방법{Apparatus and Method for transferring customer tray}
본 발명은 커스터머 트레이 이송 장치 및 이송 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 멀티 스택커로부터 셋플레이트로 또는 셋플레이트로부터 멀티 스택커로 커스터머 트레이를 이송하기 위한 커스터머 트레이 이송 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 소자 등과 같은 회로 소자의 제조에서는 상기 회로 소자를 패키징한 후 상기 패키징된 회로 소자(이하, '반도체 칩'이라 함)를 대상으로 전기적 성능, 열적 스트레스 등과 같은 검사를 수행한다.
테스트 핸들러(test handler)는 상기 반도체 칩들을 검사하기 위한 것으로써, 커스터머 트레이(customer tray)에 담겨진 반도체 칩들을 자동으로 로딩(loading)하여 테스트 사이트(test site)에서 검사를 수행한 후, 검사 결과에 따라 상기 반도체 칩들을 분류하여 설정된 커스터머 트레이에 언로딩(unloading)하는 과정을 반복 수행한다.
상기 커스터머 트레이는 멀티 스택커(multi stacker)로부터 셋플레이트(setplate)로 또는 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 이송이 이루어진다. 상기 멀티 스택커는 상기 커스터머 트레이를 적재하는 부재이고, 상기 셋플레이트는 상기 커스터머 트레이를 상기 테스트 사이트의 대기 장소로 이송하는 부재이다.
상기 멀티 스택커와 상기 셋플레이트 사이에서의 상기 커스터머 트레이의 이송은 트랜스퍼(transfer)를 이용한다. 이때, 상기 셋플레이트는 상기 커스터머 트레이를 한 장만 적재할 수 있는 구조를 갖는다. 이에, 상기 셋플레이트는 상기 멀티 스택커로부터 한 장의 상기 커스터머 트레이를 적재하고, 그리고 업 구동하여 상기 테스트 사이트의 대기 장소로 위치한 다음, 상기 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이로 옮긴 후, 다운 구동하여 상기 커스터머 트레이를 상기 멀티 스택커에 반납함과 아울러 다시 상기 멀티 스택커로부터 한 장의 상기 커스터머 트레이를 적재하는 과정을 반복 수행한다. 여기서, 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트로 상기 커스터머 트레이를 이송하는 트랜스퍼와 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이를 반납하는 트랜스퍼 각각이 구비될 수 있다. 즉, 2개의 트랜스퍼가 구비될 수 있는 것이다.
이와 같이, 종래에는 상기 셋플레이트가 상기 커스터머 트레이를 한 장만 이송하는 구조를 가짐으로써 상기 커스터머 트레이의 신속한 이송을 위해서는 상기 셋플레이트를 다수개로 나열하는 구조로 구비해야 할 뿐만 아니라 트랜스퍼도 2개로 구비해야 하기 때문에 이송 장치의 구조가 복잡해지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 다수개의 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 셋플레이트를 구비할 수 있는 커스터머 트레이 이송 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 이송 장치는 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 적재부, 및 상기 적재부를 업/다운 구동시킬 수 있는 구동부를 구비하는 셋플레이트; 및 상기 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 멀티 스택커로부터 상기 적재부로 또는 상기 적재부로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이를 이송할 수 있는 트랜스퍼를 포함하고, 상기 적재부는 상기 커스터머 트레이가 적재될 때 상기 커스터머 트레이의 측면을 지지하는 지지부를 구비하되, 상기 지지부는 상기 커스터머 트레이를 다수매로 적재할 수 있도록 상기 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이의 적재 높이와 동일한 높이로 가변되는 가변 구조로 이루어질 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 이송 장치에서, 상기 셋플레이트의 업 구동에 의해 최상부에 위치할 때 상기 셋플레이트의 적재부에 상기 커스터머 트레이가 적재되어 있는 가를 확인하는 확인부를 더 구비할 수 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 이송 방법은 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 적재부, 및 상기 적재부를 업/다운 구동시킬 수 있는 구동부를 구비하는 셋플레이트; 및 상기 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 멀티 스택커로부터 상기 적재부로 또는 상기 적재부로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이를 이송할 수 있는 트랜스퍼를 포함하고, 상기 적재부는 상기 커스터머 트레이가 적재될 때 상기 커스터머 트레이의 측면을 지지하는 지지부를 구비하되, 상기 지지부는 상기 커스터머 트레이를 다수매로 적재할 수 있도록 상기 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이의 적재 높이와 동일한 높이로 가변되는 가변 구조로 이루어질 때, 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 멀티 스택커에 적재된 상기 커스터머 트레이를 상기 셋플레이트의 적재부에 다수매로 적재하는 제1 단계; 상기 커스터머 트레이를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 업 구동시켜 상기 셋플레이트의 적재부를 최상부에 위치시키는 제2 단계; 상기 커스터머 트레이를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 다운 구동시킴과 아울러 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 셋플레이트의 적재부에 적재된 상기 커스터머 트레이 중 최상부에 적재된 상기 커스터머 트레이를 상기 멀티 스택커로 적재하는 제3 단계; 및 상기 셋플레이트의 적재부에 상기 커스터머 트레이가 적재되어 있지 않을 때까지 상기 제2 단계 및 상기 제3 단계를 반복 수행하는 제4 단계를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 이송 방법에서, 상기 제1 단계 내지 상기 제4 단계를 반복 수행하는 제5 단계를 더 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 이송 방법에서, 상기 제5 단계는 상기 제1 단계 내지 상기 제4 단계를 반복 수행함에 의해 상기 커스터머 트레이가 상기 셋플레이트의 적재부에 적재되어 있지 않을 때 수행할 수 있다.
언급한 본 발명의 커스터머 트레이 이송 장치 및 방법에 따르면, 셋플레이트는 커스터머 트레이를 다수매로 적재할 수 있다. 즉, 2매 이상의 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 것이다. 이에, 다수매의 커스터머 트레이를 대상으로 작업을 수행하기 때문에 작업 시간이 단축되는 효과를 기대할 수 있고, 또한 다른 부재의 추가 구성없이도 작업 시간을 단축시킬 수 있기 때문에 이송 장치의 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
그리고 다수매의 커스터머 트레이를 적재한 다음 업/다운 구동함과 아울러 최상부에 적재된 커스터머 트레이를 멀티 스택커로 반납하는 구성을 가질 수 있기 때문에 하나의 트랜스퍼만을 사용하여도 무방하다. 이에, 이송 장치의 구조를 간소화할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이의 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이의 이송 방법을 설명하기 위한 공정도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이의 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치는 셋플레이트를 구비할 수 있다. 그리고 도시하지는 않았지만, 트랜스퍼를 함께 구비할 수 있다. 여기서, 상기 트랜스퍼는 블레이드(blade) 구조를 갖는 일반적인 이송 부재로 이해할 수 있다.
상기 셋플레이트 및 상기 트랜스퍼로 이루어지는 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치를 이용할 경우 멀티 스택커(도시되지 않음)로부터 테스트 사이트의 대기 장소로 또는 상기 테스트 사이트의 대기 장소로부터 상기 멀티 스택커로 커스터머 트레이(11)를 이송할 수 있다. 상기 멀티 스택커는 상기 커스터머 트레이(11)를 적재하는 부재이고, 상기 테스트 사이트의 대기 장소는 검사를 진행하기 위하여 상기 커스터머 트레이(11)에 수납된 반도체 칩들을 테스트 트레이(도시되지 않음)로 옮기거나 또는 검사를 종료하여 분류하기 위하여 상기 테스트 트레이에 수납된 반도체 칩들을 상기 커스터머 트레이(11)로 옮기는 위치로 이해할 수 있다.
상기 셋플레이트 및 상기 멀티 스택커 사이에서의 상기 커스터머 트레이(11)는 상기 트랜스퍼를 이용하여 이송할 수 있다. 즉, 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이(11)를 이송하거나 또는 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트로 상기 커스터머 트레이(11)를 이송하는 것이다. 이때, 상기 커스터머 트레이(11)에 수납된 반도체 칩들이 검사 이전일 경우에는 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트로 이송이 이루어지는 상기 커스터머 트레이(11)는 검사를 수행하기 위한 반도체 칩들이 수납된 상태일 수 있고, 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 이송이 이루어지는 상기 커스터머 트레이(11)는 상기 반도체 칩들이 상기 테스트 트레이로 옮겨짐에 의해 비어 있는 상태일 수 있다. 또한, 상기 커스터머 트레이(11)에 수납된 반도체 칩들이 검사 이후일 경우에는 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트로 이송이 이루어지는 상기 커스터머 트레이(11)는 상기 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이로부터 전달받기 위하여 비어 있는 상태일 수 있고, 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 이송이 이루어지는 상기 커스터머 트레이(11)는 상기 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이로 옮겨 받음에 의해 상기 반도체 칩들이 수납된 상태일 수 있다.
이와 같이, 본 발명에서는 상기 트랜스퍼 및 상기 셋플레이트를 이용하여 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로부터 상기 테스트 사이트의 대기 장소로 이송하거나 또는 상기 테스트 사이트의 대기 장소로부터 상기 멀티 스캑커로 이송할 수 있다.
특히 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치에서 상기 셋플레이트는 상기 커스터머 트레이(11)를 적재할 수 있는 적재부(13) 및 상기 적재부(13)를 업/다운 구동시킬 수 있는 구동부(15)를 구비할 수 있다. 여기서, 상기 구동부(15)는 주로 실린더 구동에 의해 업/다운 구동하는 부재, 선형 구동하는 선형 모터 등으로 이루어질 수 있다.
이에, 언급한 바와 같이 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 멀티 스택커로부터 상기 커스터머 트레이(11)를 적재한 후 업 구동함에 의해 상기 테스트 사이트의 대기 장소로 상기 커스터머 트레이(11)를 이송할 수 있고, 아울러 상기 테스트 사이트의 대기 장소로부터 다운 구동한 후 상기 트랜스퍼를 이용함에 의해 상기 셋플레이트에 적재된 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커에 이송, 즉 반납할 수 있는 것이다.
여기서, 상기 적재부(13)는 상기 커스터머 트레이(11)를 적재할 수 있는 부재로써, 본 발명에서는 상기 커스터머 트레이(11)를 다수매 적재할 수 있도록 구비될 수 있다. 이에, 본 발명에서의 상기 적재부(13)는 상기 커스터머 트레이(11)가 적재될 때 상기 커스터머 트레이(11)를 지지하는 지지부(17)를 구비하는데, 상기 지지부(17)를 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이(11)의 적재 높이와 동일한 높이를 갖도록 가변되는 가변 구조로 형성할 수 있다. 이에, 상기 지지부(17)는 상기 가변 구조에 적합한 안테나 구조 등으로 이루어질 수 있고, 나아가 실린더 구동에 의해 상기 안테나 구조가 가변되도록 이루어질 수 있다.
그러므로 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치는 상기 트랜스퍼를 이용하여 한 번에 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 적재할 수 있다. 그리고 업 구동을 수행하여 상기 테스트 사이트의 대기 장소에 위치한 후, 최상부에 적재된 상기 커스터머 트레이(11)에 수납된 반도체 칩들이 상기 테스트 트레이로 다 옮겨지면 다운 구동을 수행하고, 이어서 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 최상부에 적재된 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로 반납한다. 그리고 상기 업/다운 구동 및 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로 반납하는 동작을 반복 수행함에 의해 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이(11)를 다 소진할 수 있다.
이에, 본 발명에서와 같이 상기 커스터머 트레이(11)를 다수매로 적재하여 이송할 경우에는 하나의 트랜스퍼만으로도 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트에 적재하거나 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 반납할 수 있다. 따라서 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치의 경우에는 이송 장치 자체에 대한 구조적인 단순화를 도모할 수 있다.
또한, 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트로 이송하거나 또는 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 반납하는 동작을 일대일로 대응되는 반복 동작이 아닌 다수매를 한 장소에서 한 번에 수행할 수 있기 때문에 장치적 효율성을 극대화시킬 수 있다. 특히, 본 발명에서의 커스터머 트레이의 이송 장치는 별도 부재를 더 구비하지 않고, 상기 지지부(17)의 단순 변경만으로도 장치적 효율성을 극대화시킬 수 있기 때문에 커스터머 트레이의 이송 장치가 동일 성능을 요구할 경우에는 종래 대비 구조를 단순화시킬 수도 있다. 아울러, 장치적 효율성을 통하여 반도체 칩들에 대한 검사 시간을 단축시킬 수도 있다.
그리고 본 발명의 커스터머 트레이 이송 장치는 상기 셋플레이트의 업 구동에 의해 최상부에 위치할 때 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 상기 커스터머 트레이(11)가 적재되어 있는 가를 확인하는 확인부(19)를 더 구비할 수 있다. 이에, 상기 확인부(19)를 통하여 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 상기 커스터머 트레이(11)가 적재되어 있지 않을 경우에는 상기 셋플레이트를 다운 구동시킴과 아울러 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)를 적재할 수 있도록 상기 트랜스퍼를 준비시킬 수 있다.
이에, 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치는 상기 확인부(19)를 더 구비함에 의해 보다 정확하고, 신속하게 상기 커스터머 트레이(11)를 이송할 수 있는 것이다.
이하, 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치를 사용하여 커스터머 트레이를 이송하는 방법에 대하여 설명하기로 한다.
그리고 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 방법은 언급한 도 1에서의 커스터머 트레이의 이송 장치를 사용하는 것으로써, 동일 부재에 대해서는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다.
또한, 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 방법에서는 검사를 수행하기 위한 반도체 칩들이 수납된 커스터머 트레이를 상기 멀티 스택커로부터 상기 테스트 사이트의 대기 장소로 이송하고, 아울러 상기 테스트 트레이에 상기 반도체 칩들이 옮겨짐에 의해 비어 있는 상태의 상기 커스터머 트레이를 상기 테스트 사이트의 대기 장소로부터 상기 멀티 스택커에 반납하는 것에 한정하여 설명하기로 한다. 그러나 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 방법은 언급한 한정에 제한되지 않는다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이의 이송 방법을 설명하기 위한 공정도이다.
도 2를 참조하면, 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 멀티 스택커에 적재된 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 다수매로 적재한다.(S20 단계) 여기서, 상기 셋플레이트에 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이(11)는 3매로써 제1 내지 제3 커스터머 트레이(11a, 11b, 11c)를 포함한다.
그리고 상기 커스터머 트레이(11)를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 업 구동시켜 상기 셋플레이트의 적재부(13)를 최상부에 위치시킨다.(S22 단계) 즉, 상기 셋플레이트의 적재부(13)를 상기 테스트 사이트의 대기 장소에 위치시키는 것이다. 이에, 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 적재된 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)도 상기 테스트 사이트의 대기 장소에 위치할 수 있다.
이어서, 상기 셋플레이트의 적재부(13)의 최상부에 위치한 상기 커스터머 트레이(11)에 수납된 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이에 옮기는 공정을 수행한다. 이에, 상기 최상부에 위치한 상기 커스터머 트레이(11)는 비어 있는 상태이다. 여기서, 상기 최상부에 위치한 상기 커스터머 트레이(11)는 제1 커스터머 트레이(11a)이다.
계속해서, 상기 커스터머 트레이(11)를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 다운 구동시킴과 아울러 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 적재된 상기 커스터머 트레이(11) 중 최상부에 적재된 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로 적재, 즉 반납한다.(S24 단계) 즉, 상기 최상부에 위치하는 비어 있는 상태의 상기 커스터머 트레이(11)인 제1 커스터머 트레이(11a)를 반납하는 것이다.
그리고 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 상기 커스터머 트레이(11)가 적재되어 있지 않을 때까지 상기 S22 단계 및 상기 S24 단계를 반복 수행한다.(S26 단계) 이에, 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 적재된 상기 커스터머 트레이(11), 즉 상기 제2 커스터머 트레이(11b) 및 상기 제3 커스터머 트레이(11c)에 대해서도 상기 제2 커스터머 트레이(11b) 및 상기 제3 커스터머 트레이(11c) 각각에 수납된 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이에 옮기는 공정을 수행한 후, 상기 제2 커스터머 트레이(11b) 및 상기 제3 커스터머 트레이(11c)를 상기 멀티 스택커로 반납할 수 있다.
아울러, 상기 확인부(19)를 사용하여 상기 셋플레이트의 업 구동에 의해 최상부에 위치할 때 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 상기 커스터머 트레이(11)가 적재되어 있는 가를 확인하고, 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 상기 커스터머 트레이(11)가 적재되어 있지 않을 경우 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)를 적재시키도록 상기 트랜스퍼를 준비시킨다.
그리고 상기 커스터머 트레이(11)가 상기 셋플레이트의 적재부(19)에 적재되어 있지 않을 때까지 상기 S20 단계 내지 상기 S26 단계를 계속적으로 반복 수행한다.
일예로써 도 2에서와 같이 3매의 상기 커스터머 트레이(11)를 대상으로 공정을 수행할 경우, 상기 제3 커스터머 트레이(11c), 상기 제2 커스터머 트레이(11b) 및 상기 제1 커스터머 트레이(11a)를 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 순차적으로 적재시키고, 업 구동하여 상기 제1 커스터머 트레이(11a)에 수납되는 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이에 옮기고, 다운 구동하여 상기 제1 커스터머 트레이(11a)를 반납하고, 다시 업 구동하여 상기 제2 커스터머 트레이(11b)에 수납되는 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이에 옮기고, 다운 구동하여 상기 제2 커스터머 트레이(11b)를 반납하고, 또 다시 업 구동하여 상기 제3 커스터머 트레이(11c)에 수납되는 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이에 옮기고, 다운 구동하여 상기 제3 커스터머 트레이(11c)를 반납하는 구성을 가질 수 있는 것이다.
여기서, 상기 제3 커스터머 트레이(11c), 상기 제2 커스터머 트레이(11b) 및 상기 제1 커스터머 트레이(11a)의 적재 및 반납을 동일한 상기 트랜스퍼를 사용할 수 있다. 즉, 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)를 대상으로 공정을 수행할 경우에는 하나의 상기 트랜스퍼만을 사용하여도 되는 것이다.
이에, 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치는 상기 트랜스퍼를 하나만 구비하여도 되기 때문에 장치적 구조의 간소화를 도모할 수 있다. 아울러, 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)를 동일 공간에서 한 번에 적재하는 구성을 가지기 때문에 종래 대비 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
언급한 본 발명의 커스터머 트레이 이송 장치 및 방법에서는 작업 시간이 단축되는 효과를 기대할 수 있고, 아울러 다른 부재의 추가 구성없이도 작업 시간을 단축시킬 수 있기 때문에 이송 장치의 성능을 향상시킬 수 있기 때문에 반도체 칩의 제조에 따른 생산성의 향상을 꾀할 수 있다.
그리고 하나의 트랜스퍼만을 사용함으로써 이송 장치의 구조를 간소화시킬 수 있기 때문에 반도체 칩의 제조 장치에 대한 가격을 인하할 수 있고, 그 결과 반도체 칩이 제조에 따른 가격 경쟁력의 확보를 꾀할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 커스터머 트레이 13 : 적재부
15 : 구동부 17 : 지지부
19 : 확인부

Claims (6)

  1. 커스터머 트레이(customer tray)를 적재할 수 있는 적재부, 및 상기 적재부를 업/다운(up/down) 구동시킬 수 있는 구동부를 구비하는 셋플레이트(setplate); 및
    상기 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 멀티 스택커(multi stacker)로부터 상기 적재부로 또는 상기 적재부로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이를 이송할 수 있는 트랜스퍼(transfer)를 포함하고,
    상기 적재부는 상기 커스터머 트레이가 적재될 때 상기 커스터머 트레이의 측면을 지지하는 지지부를 구비하되, 상기 지지부는 상기 커스터머 트레이를 다수매로 적재할 수 있도록 상기 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이의 적재 높이와 동일한 높이로 가변되는 가변 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 지지부는 실린더 구동에 의해 높이가 가변되는 안테나 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 이송 장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 셋플레이트의 업 구동에 의해 최상부에 위치할 때 상기 셋플레이트의 적재부에 상기 커스터머 트레이가 적재되어 있는 가를 확인하는 확인부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 이송 장치.
  4. 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 적재부, 및 상기 적재부를 업/다운 구동시킬 수 있는 구동부를 구비하는 셋플레이트; 및 상기 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 멀티 스택커로부터 상기 적재부로 또는 상기 적재부로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이를 이송할 수 있는 트랜스퍼를 포함하고, 상기 적재부는 상기 커스터머 트레이가 적재될 때 상기 커스터머 트레이의 측면을 지지하는 지지부를 구비하되, 상기 지지부는 상기 커스터머 트레이를 다수매로 적재할 수 있도록 상기 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이의 적재 높이와 동일한 높이로 가변되는 가변 구조로 이루어질 때,
    상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 멀티 스택커에 적재된 상기 커스터머 트레이를 상기 셋플레이트의 적재부에 다수매로 적재하는 제1 단계;
    상기 커스터머 트레이를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 업 구동시켜 상기 셋플레이트의 적재부를 최상부에 위치시키는 제2 단계;
    상기 커스터머 트레이를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 다운 구동시킴과 아울러 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 셋플레이트의 적재부에 적재된 상기 커스터머 트레이 중 최상부에 적재된 상기 커스터머 트레이를 상기 멀티 스택커로 적재하는 제3 단계; 및
    상기 셋플레이트의 적재부에 상기 커스터머 트레이가 적재되어 있지 않을 때까지 상기 제2 단계 및 상기 제3 단계를 반복 수행하는 제4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 이송 방법.
  5. 제4 항에 있어서, 상기 제1 단계 내지 상기 제4 단계를 반복 수행하는 제5 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 이송 방법.
  6. 삭제
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