KR102132432B1 - Purge gas particle test zig for semiconductor workpiece - Google Patents

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KR102132432B1 KR1020190043819A KR20190043819A KR102132432B1 KR 102132432 B1 KR102132432 B1 KR 102132432B1 KR 1020190043819 A KR1020190043819 A KR 1020190043819A KR 20190043819 A KR20190043819 A KR 20190043819A KR 102132432 B1 KR102132432 B1 KR 102132432B1
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Abstract

The present invention relates to a purge gas particle test jig for a semiconductor target which can reduce unnecessary personnel and time consumption and maximize work efficiency by performing a particle test of purge gas leaked from a plurality of nozzles by a single test job by connecting a plurality of auxiliary connection pipes to the other surface of a jig body, conveniently couple and release connection pipes in accordance with a work environment by installing a main fitting unit and an auxiliary fitting unit on one surface and the other surface of the jig body, increase the accuracy and reliability of a test by preventing an auxiliary connection pipe from being released from a nozzle even if an external impact and vibration are generated by inserting a connection protrusion unit of the nozzle into an opening part by tight fitting when performing test work by installing a coupling plate of a binding body to be moved along the auxiliary connection pipe and forming the coupling plate to correspond to the size and shape of the connection protrusion unit, and increase the accuracy and reliability of the test by thoroughly preventing leakage of purge gas and particle entry from the outside by installing an airtight ring on the lower surface of the coupling plate to insert the airtight ring into an insertion groove of the connection protrusion unit of the nozzle when performing the test work.

Description

반도체 대상물의 퍼지가스 파티클 검사 지그{Purge gas particle test zig for semiconductor workpiece}Purge gas particle test zig for semiconductor workpiece

본 발명은 반도체 대상물의 퍼지가스 파티클 검사 지그에 관한 것으로서, 상세하게로는 풉(Foup)의 내부로 공급되는 퍼지가스의 파티클 검사를 정확하고 신속하게 이루어지도록 함과 동시에 불필요한 인력 및 시간소모를 절감시킬 수 있는 반도체 대상물의 퍼지가스 파티클 검사 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a purge gas particle inspection jig of a semiconductor object, specifically, to accurately and quickly perform the particle inspection of the purge gas supplied to the inside of the fool (Foup) while reducing unnecessary manpower and time consumption. It relates to a purge gas particle inspection jig of a semiconductor object that can be made.

웨이퍼(Wafer)는 IC나 트랜지스터를 제조하기 위해 사용되는 실리콘 등의 단결정 기판으로서, 반도체 제조 공정의 다양한 공정 장비들에 의한 다양한 방법으로 가공되어 제조된다.A wafer is a single crystal substrate such as silicon used for manufacturing ICs or transistors, and is manufactured and processed in various ways by various process equipments in a semiconductor manufacturing process.

이때 웨이퍼는 고정밀성이 요구되어 외부 충격 및 오염에 매우 민감하기 때문에 보관 및 운반 시, 외부 충격으로부터 보호되어야 할 뿐만 아니라 웨이퍼의 표면이 먼지, 수분, 각종 유기물 등과 같은 불순물에 의해 오염되지 않아야 한다.At this time, since the wafer is highly sensitive and is very sensitive to external impact and contamination, it must be protected from external impact during storage and transportation, and the surface of the wafer must not be contaminated by impurities such as dust, moisture, and various organic materials.

이에 따라 통상적으로, 웨이퍼는 외부 오염물질 및 충격으로부터 오염 및 손상되지 않도록 개구통합형 포드인 풉(Foup, Front Opening Unified POD)에 적재되어 보관 및 운송되고 있다.Accordingly, typically, wafers are loaded and stored and transported in an open-integrated pod (Foup, Front Opening Unified POD) to prevent contamination and damage from external contaminants and impacts.

특히 웨이퍼는 가공 공정 시, 사용되는 공정가스가 웨이퍼의 표면에 잔류된 상태로 풉 내부에 적재되면 정밀가공이 어려워질 뿐만 아니라 웨이퍼 간의 2차 오염을 초래하여 본연의 성능을 발휘하지 못하는 문제점이 발생한다.In particular, during the processing process, if the process gas used is loaded on the inside of the pool while remaining on the surface of the wafer, precision processing becomes difficult, as well as secondary contamination between wafers, resulting in problems that cannot be achieved. do.

이와 같이 구성되는 풉(Foup)은 웨이퍼 이송장치를 통해 기 설정된 공정순서에 따라, 반도체 공정라인들 사이를 이동하게 되고, 각 반도체 공정라인에 의해 가공되기 이전에, 가스공급장치를 통해 풉(Foup)의 내부로 N2 또는 청정 건고공기 등의 퍼지가스를 유입시켜 풉(Foup)의 내부에서 순환되어 공정가스 또는 공정가스의 흄(Fume)을 제거하는 공정이 필수적으로 수행되고 있다.The configured constitution (Foup) is moved between the semiconductor processing lines according to a predetermined process sequence through a wafer transfer device, and before being processed by each semiconductor processing line, the processing is performed through a gas supply device (Foup) ), the process of removing the process gas or the fume of the process gas is circulated in the interior of the pool by introducing a purge gas such as N2 or clean dry air into the interior.

그러나 만약 풉의 내부로 유입되는 퍼지가스에 파티클이 존재하면, 풉의 내부로 유입되는 퍼지가스의 파티클에 의해 웨이퍼의 표면의 손상 및 오염이 오히려 더 심해지는 문제점이 발생한다.However, if particles are present in the purge gas flowing into the inside of the pool, there is a problem that damage to the surface of the wafer and contamination are more severe by particles of the purge gas flowing into the interior of the pool.

이에 따라 종래에는 작업자가 주기적으로 가스공급장치로부터 유출되는 퍼지가스의 파티클을 검사하는 작업을 필수적으로 수행하고 있다.Accordingly, in the related art, an operation of periodically inspecting particles of purge gas discharged from a gas supply device is essential.

도 1은 종래의 가스공급장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 노즐을 나타내는 확대도이다.1 is a perspective view showing a conventional gas supply device, and FIG. 2 is an enlarged view showing the nozzle of FIG. 1.

가스공급장치(200)는 도 1에 도시된 바와 같이, 길이를 갖는 판재로 형성되어 풉(Foup)들이 안착되는 안착플레이트(210)와, 안착플레이트(210)의 상면에 돌출 형성되어 외부로부터 공급받는 퍼지가스를 안착된 풉(Foup)으로 유입시키는 노즐(220)들로 이루어진다.As shown in FIG. 1, the gas supply device 200 is formed of a plate material having a length and is formed protrudingly on the upper surface of the seating plate 210 to which the fobs are seated and supplied from the outside. It consists of nozzles 220 for introducing the received purge gas into a seated foup.

이때 도 1에서는 설명의 편의를 위해 가스공급장치(200)의 구성이 안착플레이트(210) 및 노즐(220)인 것으로 예를 들어 설명하였으나, 가스공급장치(200)는 풉(Foup)을 인입 및 인출시키기 위한 이송수단과, 안착플레이트(210)에 돌출 형성되어 풉(Foup)의 안착위치를 가이드 하는 가이드 핀들이 구성될 수 있음은 당연하다.At this time, in FIG. 1, for convenience of description, the configuration of the gas supply device 200 is described as the seating plate 210 and the nozzle 220, for example, but the gas supply device 200 pulls in and out It is natural that the conveying means for drawing out and the guide pins protruding from the seating plate 210 to guide the seating position of the foop can be configured.

안착플레이트(210)는 길이방향으로 복수개의 풉(Foup)들이 안착되는 판재로 형성된다. 이때 한 개의 풉(Foup)이 안착되는 공간 및 해당 공간에 설치되는 노즐들을 한 개의 세트(S)라고 명명하기로 한다.The seating plate 210 is formed of a plate material in which a plurality of pulls are seated in the longitudinal direction. At this time, the space in which one foup is seated and the nozzles installed in the space will be referred to as one set S.

즉 가스공급장치(200)는 복수개의 세트(S)들로 이루어진다.That is, the gas supply device 200 is composed of a plurality of sets (S).

노즐(220)은 각 세트(S)의 안착플레이트(210)에 적어도 하나 이상 설치된다.At least one nozzle 220 is installed on the seating plate 210 of each set (S).

또한 노즐(220)은 도 2에 도시된 바와 같이, 판재로 형성되어 양측이 안착플레이트(210)에 볼트 체결되는 지지판(221)과, 원판으로 형성되어 지지판(221)의 상면에 연결되며 중앙에 노즐공(2221)이 형성되는 접속 돌출부(222)로 이루어진다.In addition, the nozzle 220 is formed of a plate material, as shown in Figure 2, both sides are bolted to the seating plate 210 and the support plate 221, formed of a disc connected to the upper surface of the support plate 221, and in the center It consists of a connection protrusion 222 in which a nozzle hole 2221 is formed.

또한 접속 돌출부(222)는 상면이 평평한 평탄면으로 형성되고, 노즐공(2221)으로는 외부로부터 공급받은 퍼지가스가 유출된다.In addition, the connection protrusion 222 is formed of a flat flat surface, the purge gas supplied from the outside is discharged to the nozzle hole 2221.

이때 풉(Foup)은 하부면에는 노즐(220)의 노즐공(2221)에 연설되어 노즐공(2221)을 통해 유출되는 퍼지가스를 내부로 이동시키기 위한 유입부가 형성될 수 있다.At this time, the pull (Foup) may be formed in the inlet for moving the purge gas flowing out through the nozzle hole 2221, which is addressed to the nozzle hole 2221 of the nozzle 220 on the lower surface.

이와 같이 구성되는 가스공급장치(200)는 안착플레이트(210)로 풉(Foup)이 안착되면, 노즐(220)의 노즐공(2221) -> 풉의 유입부(미도시)를 통해 퍼지가스를 풉(Foup)의 내부로 유입시킬 수 있게 된다. 이때 퍼지가스 유입공정은 포트별로 개별적으로 이루어지거나 또는 전체 포트가 통합되어 이루어질 수 있다.The gas supply device 200 configured as described above, when the foup is seated on the seating plate 210, purge gas through the nozzle hole 2221 of the nozzle 220 -> inlet (not shown) of the pool. It can be introduced into the interior of the Foup. At this time, the purge gas inflow process may be performed individually for each port, or the entire ports may be integrated.

도 3은 종래의 인력에 의한 퍼지가스 파티클 검사방법을 설명하기 위한 실사진이다.3 is a real picture for explaining a method for inspecting a purge gas particle by a conventional manpower.

전술하였던 도 1과 2의 가스공급장치(200)의 노즐(220)로부터 유출되는 퍼지가스의 파티클을 검사하기 위하여, 종래에는 도 3에 도시된 바와 같이, 작업자가 파티클 검사장비와 연결되는 튜브(230)의 단부를, 가스공급장치(200)의 노즐(220)의 노즐공(2221)으로 삽입시키는 방식으로 검사를 수행하고 있으나, 이러한 방식은 작업자가 튜브(230)를 노즐(220)의 노즐공(2221)의 내부로 일일이 삽입시켜야하기 때문에 작업시간이 지체될 뿐만 아니라 불필요한 인력소모가 발생하며, 작업자의 피로도가 누적되며, 튜브(230) 및 노즐공(2221)의 연결이 인력에 의해 이루어지기 때문에 퍼지가스가 외부로 누설되어 측정의 정확성 및 신뢰도가 떨어지는 문제점이 발생한다.In order to inspect the particles of the purge gas flowing out from the nozzle 220 of the gas supply device 200 of FIGS. 1 and 2 described above, as shown in FIG. 3, a tube connected to the particle inspection equipment by an operator The end of the 230, the inspection is performed by inserting into the nozzle hole 2221 of the nozzle 220 of the gas supply device 200, this method is the operator of the tube 230, the nozzle of the nozzle 220 Since it has to be inserted into the inside of the ball 2221 one by one, the work time is not only delayed, but unnecessary manpower consumption occurs, fatigue of workers is accumulated, and the connection between the tube 230 and the nozzle hole 2221 is made by manpower. Because of the loss, the purge gas leaks to the outside, resulting in a problem that the accuracy and reliability of the measurement decrease.

또한 종래의 인력에 의한 퍼지가스 파티클 검사방법은 튜브(230) 및 노즐(220)과의 결합이 튜브(230)를 단순히 노즐공(2221)으로 삽입시키는 것만으로 이루어지기 때문에 외부 충격 및 진동이 발생하는 경우, 튜브(230)가 노즐공(2221)으로부터 쉽게 이탈하여 검사가 중단되는 현상이 비일비재하게 발생하고, 이에 따라 작업자가 검사 시 튜브(230)가 이탈하지 않도록 튜브(230)를 파지하여 고정시켜야 하기 때문에 작업이 번거롭고 복잡한 문제점이 발생한다.In addition, the conventional method for inspecting the purge gas particles by manpower causes external shock and vibration because the combination of the tube 230 and the nozzle 220 is made simply by inserting the tube 230 into the nozzle hole 2221. When the tube 230 is easily detached from the nozzle hole 2221, the phenomenon that the inspection is stopped occurs unprecedented, and accordingly, the operator holds the tube 230 so that the tube 230 does not deviate during inspection. Because it has to be done, the work is cumbersome and complicated.

또한 종래의 인력에 의한 퍼지가스 파티클 검사방법은 가스공급장치(200)의 각 포트별로 검사작업을 수행할 수 있기 때문에 검사시간이 지체되어 작업 효율성 및 편의성이 떨어지는 단점을 갖는다.In addition, the conventional method for inspecting the purge gas particles by manpower has the disadvantage that the inspection time is delayed and the work efficiency and convenience are deteriorated because the inspection operation can be performed for each port of the gas supply device 200.

또한 종래의 인력에 의한 퍼지가스 파티클 검사방법은 튜브(230)가 노즐공(2221)으로 삽입될 때, 노즐공(2221)의 내주면 및 튜브(230)의 외주면 사이의 틈으로 외부 오염물이 유입되거나 또는 퍼지가스가 유출되는 현상이 발생하기 때문에 파티클 검사의 정확성이 떨어지게 된다.In addition, in the conventional method for inspecting the purge gas particles by manpower, when the tube 230 is inserted into the nozzle hole 2221, external contaminants are introduced into the gap between the inner circumferential surface of the nozzle hole 2221 and the outer circumferential surface of the tube 230. Or, since the phenomenon of purge gas leakage occurs, the accuracy of particle inspection is deteriorated.

국내등록특허 제10-1680165호(발명의 명칭 : 측정 유닛 및 퍼지 가스의 유량 측정 방법)에는 기판과, 기판의 저면에 배치되어 선반 받침의 노즐과 접촉하면 기판으로부터의 하중에 노즐과의 사이를 기밀하게 유지하면서 퍼지 가스를 도입하는 가스 도입부와, 퍼지 가스의 유량을 측정하는 유량계로 이루어짐으로써 퍼지 가스의 유량을 편리하게 측정할 수 있다.In Korean Patent Registration No. 10-1680165 (Invention name: measuring unit and method for measuring the flow rate of purge gas), the substrate is disposed on the bottom surface of the substrate, and when it comes into contact with the nozzle of the shelf base, the load between the substrate and the nozzle The flow rate of the purge gas can be conveniently measured by comprising a gas introduction part for introducing the purge gas while maintaining airtightness, and a flow meter for measuring the flow rate of the purge gas.

그러나 상기 측정 유닛은 검사를 수행하기 위해서는 가스 도입부를 선반 받침의 노즐과 정확한 위치에 배치시킨 후, 이들을 결합시키는 작업이 우선적으로 이루어져야 할 뿐만 아니라 검사가 각 포트별로 이루어지기 때문에 작업시간이 지체되는 도 1의 문제점을 해결하지 못하는 구조적 한계를 갖는다.However, in order to perform the inspection, the gas introduction part is disposed at the correct position with the nozzle of the shelf base, and the operation of combining them must be performed first, and inspection is performed for each port, so the working time is delayed. It has a structural limitation that cannot solve the problem of 1.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결과제는 지그 몸체의 타면에 복수개의 보조 연결관들이 연결되어 한 번의 검사 작업으로 복수개의 노즐들로부터 유출되는 퍼지가스의 파티클 검사를 수행함으로써 불필요한 인력 및 시간 소모를 절감시킴과 동시에 작업효율성을 극대화시킬 수 있는 반도체 대상물의 퍼지가스 파티클 검사 시스템을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to solve this problem, the problem of the present invention is a plurality of auxiliary connectors are connected to the other surface of the jig body by performing a particle inspection of the purge gas discharged from the plurality of nozzles in one inspection operation It is to provide a purge gas particle inspection system for semiconductor objects that can reduce unnecessary manpower and time and maximize work efficiency.

또한 본 발명의 다른 해결과제는 지그 몸체의 일면 및 타면에 메인 피팅부 및 보조 피팅부들이 설치됨으로써 작업 환경에 따라 연결관들을 편리하게 결합 및 해제시킬 수 있는 반도체 대상물의 퍼지가스 파티클 검사 시스템을 제공하기 위한 것이다.In addition, another problem of the present invention is to provide a purge gas particle inspection system of a semiconductor object that can be easily coupled and released connectors according to the working environment by installing the main fittings and auxiliary fittings on one side and the other side of the jig body. It is to do.

또한 본 발명의 또 다른 해결과제는 결속체의 결합판이 보조 연결관을 따라 이동 가능하도록 설치됨과 동시에 노즐의 접속 돌출부의 크기 및 형상에 대응되게 형성됨으로써 검사 작업 시, 개구부로 접속 돌출부가 억지끼움 방식으로 삽입됨에 따라 외부 충격 및 진동이 발생하더라도 보조 연결관이 노즐로부터 해제되는 현상을 방지하여 검사의 정확성 및 신뢰도를 높일 수 있는 반도체 대상물의 퍼지가스 파티클 검사 시스템을 제공하기 위한 것이다.In addition, another problem of the present invention is that the coupling plate of the binding body is installed so as to be movable along the auxiliary connection pipe and is formed to correspond to the size and shape of the connection protrusion of the nozzle, so that the connection protrusion is forced into the opening during inspection. It is to provide a purge gas particle inspection system of a semiconductor object that can increase the accuracy and reliability of the inspection by preventing the phenomenon that the auxiliary connector is released from the nozzle even if external shock and vibration occur as it is inserted into.

또한 본 발명의 또 다른 해결과제는 결합판의 하면에 기밀링이 설치되어 검사 작업 시, 기밀링이 노즐의 접속 돌출부의 삽입홈으로 삽입되도록 구성됨으로써 퍼지가스의 유출 및 외부로부터의 파티클 유입을 철저히 방지하여 검사의 정확성 및 신뢰도를 더욱 높일 수 있는 반도체 대상물의 퍼지가스 파티클 검사 시스템을 제공하기 위한 것이다.In addition, another problem of the present invention is that the airtight ring is installed on the lower surface of the coupling plate, and when the inspection is performed, the airtight ring is configured to be inserted into the insertion groove of the connection protrusion of the nozzle, thereby thoroughly purging out the purge gas and introducing particles from the outside. It is to provide a purge gas particle inspection system for semiconductor objects that can be prevented to further increase the accuracy and reliability of inspection.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 해결수단은 풉(Foup)의 내부로 퍼지가스를 공급하는 복수개의 노즐들을 포함하는 가스공급장치의 상기 노즐들로부터 유출되는 퍼지가스의 파티클을 검사하기 위한 파티클 검사 지그에 있어서: 함체로 형성되는 지그 몸체; 상기 지그 몸체의 일면에 연결되어 단부가 측정기와 연결되는 메인 연결관; 상기 지그 몸체의 타면에 연결되는 보조 연결관들; 상기 지그 몸체 및 상기 메인 연결관을 결합시키는 메인 피팅부; 상기 지그 몸체 및 상기 보조 연결관들을 각각 결합시키는 보조 피팅부들을 포함하고, 상기 보조 연결관들은 상기 노즐들의 노즐공들로 각각 삽입되고, 상기 가스공급장치는 상면에 적어도 한 개 이상의 풉(Foup)이 안착되는 상부 플레이트를 더 포함하고, 상기 노즐은 판재로 형성되어 상기 상부 플레이트의 상면에 결합되는 지지판과, 중앙에 노즐공이 형성되는 판재로 형성되어 상기 지지판의 상면에 연결되는 접속돌출부를 포함하고, 상기 파티클 검사 지그는 상기 보조 연결관들 각각에 설치되는 결속체들을 더 포함하고, 상기 결속체는 일측이 개구된 판재로 형성되며, 중앙에 상기 보조 연결관이 관통되는 관통공이 형성되는 결합판을 포함하고, 상기 결합판의 관통공은 상기 보조 연결관의 외경보다 큰 내경으로 형성되어 상기 보조 연결관을 따라 이동가능하고, 상기 결합판의 개구부는 상기 노즐의 상기 접속 돌출부와 동일한 형상으로 형성되되, 내경이 상기 접속 돌출부의 외경과 동일한 크기로 형성됨으로써 상기 결합판은 조립 시, 대응되는 노즐의 상기 접속 돌출부로 억지끼움 방식으로 결합되는 것이다.The solution of the present invention for solving the above problems is a particle inspection for inspecting the particles of the purge gas flowing out from the nozzles of the gas supply device including a plurality of nozzles for supplying the purge gas into the interior of the foop (Foup) In the jig: a jig body formed of a housing; A main connector connected to one surface of the jig body and having an end connected to a measuring device; Auxiliary connectors connected to the other surface of the jig body; A main fitting part coupling the jig body and the main connector; The jig body and the auxiliary fittings respectively include auxiliary fittings, the auxiliary connectors are respectively inserted into the nozzle holes of the nozzles, the gas supply device is at least one pull (Foup) on the upper surface The upper plate further comprises a seating plate, the nozzle comprising a support plate formed of a plate material and coupled to an upper surface of the upper plate, and a connection protrusion formed of a plate material having a nozzle hole formed in the center and connected to an upper surface of the support plate. , The particle inspection jig further includes a binding body installed on each of the auxiliary connecting pipes, the binding body is formed of a plate material with one side open, and a coupling plate through which the auxiliary connecting pipe penetrates in the center is formed. Including, the through-hole of the coupling plate is formed with an inner diameter larger than the outer diameter of the auxiliary connection pipe and movable along the auxiliary connection pipe, the opening of the coupling plate is formed in the same shape as the connection protrusion of the nozzle That is, the inner diameter is formed to be the same size as the outer diameter of the connection protrusion, so that the coupling plate is assembled in an interference-fitting manner to the connection protrusion of the corresponding nozzle during assembly.

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또한 본 발명에서 상기 결합판은 조립 시 상기 노즐을 향하는 하면에 고리 형상의 기밀링이 결합되고, 상기 노즐의 상기 접속 돌출부의 상면에는 노즐공의 외측에 형성되어 상기 기밀링이 삽입되는 삽입홈이 형성되는 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, the coupling plate has an annular airtight ring coupled to a lower surface facing the nozzle during assembly, and an insertion groove into which the airtight ring is inserted is formed on the upper surface of the connection protrusion of the nozzle. It is preferably formed.

또한 본 발명에서 상기 결속체는 고정판을 더 포함하고, 상기 고정판은 상기 보조 연결관의 단부와 인접한 지점에 상기 보조 연결관에 결합되는 판재로 형성되고, 상기 고정판은 상기 결합판의 관통공 보다 큰 외경으로 형성되되, 상기 기밀링 보다 작은 외경으로 형성되고, 상기 노즐의 상기 접속 돌출부는 상면에 상기 고정판이 안착되는 안착홈이 형성되는 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, the binding body further includes a fixing plate, and the fixing plate is formed of a plate material coupled to the auxiliary connection pipe at a point adjacent to an end of the auxiliary connection pipe, and the fixing plate is larger than a through hole of the coupling plate. It is formed with an outer diameter, it is formed with an outer diameter smaller than the hermetic ring, it is preferable that the connection protrusion of the nozzle is formed with a seating groove on which the fixing plate is mounted.

상기 과제와 해결수단을 갖는 본 발명에 따르면 지그 몸체의 타면에 복수개의 보조 연결관들이 연결되어 한 번의 검사 작업으로 복수개의 노즐들로부터 유출되는 퍼지가스의 파티클 검사를 수행함으로써 불필요한 인력 및 시간 소모를 절감시킴과 동시에 작업효율성을 극대화시킬 수 있다.According to the present invention having the above problems and a solution, a plurality of auxiliary connectors are connected to the other surface of the jig body to perform unnecessary particle and time consumption by performing particle inspection of the purge gas flowing out of the plurality of nozzles in one inspection operation. At the same time as saving, it can maximize work efficiency.

또한 본 발명에 의하면 지그 몸체의 일면 및 타면에 메인 피팅부 및 보조 피팅부들이 설치됨으로써 작업 환경에 따라 연결관들을 편리하게 결합 및 해제시킬 수 있게 된다.In addition, according to the present invention, the main fitting part and the auxiliary fitting parts are installed on one surface and the other surface of the jig body, so that the connecting pipes can be conveniently combined and released according to the working environment.

또한 본 발명에 의하면 결속체의 결합판이 보조 연결관을 따라 이동 가능하도록 설치됨과 동시에 노즐의 접속 돌출부의 크기 및 형상에 대응되게 형성됨으로써 검사 작업 시, 개구부로 접속 돌출부가 억지끼움 방식으로 삽입됨에 따라 외부 충격 및 진동이 발생하더라도 보조 연결관이 노즐로부터 해제되는 현상을 방지하여 검사의 정확성 및 신뢰도를 높일 수 있다.In addition, according to the present invention, the coupling plate of the binding body is installed so as to be movable along the auxiliary connection pipe and is formed to correspond to the size and shape of the connection protrusion of the nozzle. Even if an external shock or vibration occurs, it is possible to increase the accuracy and reliability of the inspection by preventing the secondary connector from being released from the nozzle.

또한 본 발명에 의하면 결합판의 하면에 기밀링이 설치되어 검사 작업 시, 기밀링이 노즐의 접속 돌출부의 삽입홈으로 삽입되도록 구성됨으로써 퍼지가스의 유출 및 외부로부터의 파티클 유입을 철저히 방지하여 검사의 정확성 및 신뢰도를 더욱 높일 수 있게 된다.In addition, according to the present invention, an airtight ring is installed on the lower surface of the coupling plate, and during the inspection operation, the airtight ring is configured to be inserted into the insertion groove of the connection protrusion of the nozzle, thereby thoroughly preventing the outflow of the purge gas and the inflow of particles from the outside. The accuracy and reliability can be further increased.

도 1은 종래의 가스공급장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 노즐을 나타내는 확대도이다.
도 3은 종래의 인력에 의한 퍼지가스 파티클 검사방법을 설명하기 위한 실사진이다.
도 4는 본 발명의 일실시예인 퍼지가스 파티클 검사 시스템을 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 4의 퍼지가스 파티클 검사 시스템이 가스공급장치에 결합된 모습을 나타내는 예시도이다.
도 6은 도 4의 파티클 검사지그를 나타내는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 파티클 검사지그의 제2 실시예를 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 7의 결속체 및 보조 연결관을 나타내는 사시도이다.
도 9는 도 8의 결합판 및 기밀링을 나타내는 측단면도이다.
도 10은 도 7의 파티클 검사지그에 적용되는 노즐을 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 8의 결속체가 도 10의 노즐에 접속된 모습을 나타내는 측단면도이다.1 is a perspective view showing a conventional gas supply device.
FIG. 2 is an enlarged view showing the nozzle of FIG. 1.
3 is a real picture for explaining a method for inspecting a purge gas particle by a conventional manpower.
4 is a perspective view showing a purge gas particle inspection system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is an exemplary view showing a state in which the purge gas particle inspection system of FIG. 4 is coupled to a gas supply device.
6 is a perspective view illustrating the particle inspection jig of FIG. 4.
7 is a perspective view showing a second embodiment of the particle inspection jig of the present invention.
8 is a perspective view showing the binding body and the auxiliary connector of FIG. 7.
9 is a side cross-sectional view showing the coupling plate and the hermetic ring of FIG. 8;
10 is a perspective view illustrating a nozzle applied to the particle inspection jig of FIG. 7.
11 is a side cross-sectional view showing a state in which the binding body of FIG. 8 is connected to the nozzle of FIG. 10.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 일실시예인 퍼지가스 파티클 검사 시스템을 나타내는 사시도이고, 도 5는 도 4의 퍼지가스 파티클 검사 시스템이 가스공급장치에 결합된 모습을 나타내는 예시도이다.4 is a perspective view showing a purge gas particle inspection system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an exemplary view showing a state in which the purge gas particle inspection system of FIG. 4 is coupled to a gas supply device.

본 발명의 일실시예인 퍼지가스 파티클 검사 시스템(1)은 전술하였던 도 1과 2의 가스공급장치(200)의 노즐(220)로부터 유출되는 퍼지가스의 파티클을 검사하기 위한 장치로서, 한 번의 검사작업으로 복수개의 노즐들의 파티클 검사를 동시에 수행 가능하도록 구성됨으로써 작업시간 및 불필요한 인력소모를 현저히 절감시킬 수 있을 뿐만 아니라 검사의 정확성 및 신뢰도를 높이기 위한 것이다.The purge gas particle inspection system 1, which is an embodiment of the present invention, is a device for inspecting the particles of the purge gas flowing out from the nozzle 220 of the gas supply apparatus 200 of FIGS. 1 and 2 described above. It is configured to simultaneously perform particle inspection of a plurality of nozzles as a work, which can significantly reduce work time and unnecessary manpower consumption, as well as increase the accuracy and reliability of inspection.

또한 퍼지가스 파티클 검사 시스템(1)은 도 4와 5에 도시된 바와 같이, 가스공급장치(200)의 노즐(220)들로부터 유출되는 퍼지가스를 가스공급장치(200)로 이동시키는 파티클 검사지그(3)와, 파티클 검사지그(3)로부터 유입되는 퍼지가스의 파티클을 기 설정된 분석 알고리즘을 이용하여 검사하는 측정기(5)로 이루어진다.In addition, the purge gas particle inspection system 1, as shown in Figures 4 and 5, the particle inspection jig for moving the purge gas flowing out from the nozzles 220 of the gas supply device 200 to the gas supply device 200 It consists of (3) and a measuring device (5) for inspecting the particles of the purge gas flowing from the particle inspection jig (3) using a predetermined analysis algorithm.

즉 본 발명의 퍼지가스 파티클 검사시스템(1)은 검사지그(3)가 한 개의 단일 노즐(220)에만 연결되는 것이 아니라, 가스공급장치(200)의 복수개의 노즐(220)들에 동시에 연결될 수 있기 때문에 한 번의 검사작업으로 복수개의 노즐(220)들에 대한 파티클 검사를 수행할 수 있게 되고, 이에 따라 불필요한 인력 및 시간소모를 절감시켜 생산성을 높일 수 있게 된다.That is, the purge gas particle inspection system 1 of the present invention, the inspection jig 3 is not connected to only one single nozzle 220, but can be simultaneously connected to a plurality of nozzles 220 of the gas supply device 200 Therefore, it is possible to perform particle inspection on the plurality of nozzles 220 in one inspection operation, thereby reducing unnecessary manpower and time consumption, thereby increasing productivity.

도 6은 도 4의 파티클 검사지그를 나타내는 사시도이다.6 is a perspective view illustrating the particle inspection jig of FIG. 4.

파티클 검사지그(3)는 도 6에 도시된 바와 같이, 지그몸체(31)와, 메인 피팅부(32), 보조 피팅부(33)들, 메인 연결튜브(35), 보조 연결튜브(37)들로 이루어진다.Particle inspection jig (3), as shown in Figure 6, the jig body 31, the main fitting part 32, auxiliary fitting parts 33, the main connecting tube 35, auxiliary connecting tube 37 It consists of.

지그몸체(31)는 소정 두께 및 길이를 갖는 막대 형상으로 형성된다.The jig body 31 is formed in a rod shape having a predetermined thickness and length.

또한 지그몸체(31)의 일면에는 메인 피팅부(32)가 설치된다.In addition, the main fitting part 32 is installed on one surface of the jig body 31.

또한 지그몸체(31)의 타면(310)에는 보조 피팅부(33)들이 간격을 두고 설치된다.In addition, the auxiliary fitting parts 33 are installed at intervals on the other surface 310 of the jig body 31.

이때 도면에는 도시되지 않았으나, 지그몸체(31)의 내부에는 메인 피팅부(32) 및 각 보조 피팅부(33) 사이를 연결하는 연결공(미도시)들이 형성된다.At this time, although not shown in the drawing, connecting holes (not shown) connecting the main fitting part 32 and each auxiliary fitting part 33 are formed inside the jig body 31.

메인 피팅부(32)는 지그몸체(31)의 일면에 설치되며, 일측에 메인 연결관(35)이 결합된다.The main fitting part 32 is installed on one surface of the jig body 31, and the main connector 35 is coupled to one side.

이때 메인 연결관(35)은 단부가 측정기(5)에 연결된다.At this time, the main connector 35 has an end connected to the meter 5.

보조 피팅부(33)들은 지그몸체(31)의 일면(31)에 간격을 두고 설치되며, 보조 연결관(37)들이 각각 결합된다.The auxiliary fitting parts 33 are installed at intervals on one surface 31 of the jig body 31, and the auxiliary connecting pipes 37 are respectively coupled.

보조 연결관(37)들은 검사 시, 전술하였던 도 2의 노즐(200)의 노즐공(2221)으로 각각 삽입되어 노즐공(2221)을 통해 유입되는 퍼지가스를 지그몸체(31)의 내부로 이동시킨다.The auxiliary connecting pipes 37 are respectively inserted into the nozzle hole 2221 of the nozzle 200 of FIG. 2, which was previously described, to move the purge gas flowing through the nozzle hole 2221 to the inside of the jig body 31 Order.

이와 같이 구성되는 파티클 검사지그(3)는 지그몸체(31)에 복수개의 보조 피팅부(33)들이 설치되고, 보조 피팅부(33)들에 각각 연결되는 보조 연결관(37)들은 노즐(220)들의 노즐공(2221)들 각각으로 삽입됨으로써 한 번에 복수개의 노즐(220)들에 대한 파티클 검사를 수행할 수 있게 된다.The particle inspection jig 3 configured as described above is provided with a plurality of auxiliary fitting parts 33 on the jig body 31, and the auxiliary connecting pipes 37 respectively connected to the auxiliary fitting parts 33 are nozzles 220 ) By being inserted into each of the nozzle holes 2221, it is possible to perform particle inspection on the plurality of nozzles 220 at a time.

이때 노즐(220)의 노즐공(2221)을 통해 유출되는 퍼지가스는 보조 연결관(37) -> 지그몸체(31) -> 메인 연결관(35)을 통해 측정기(5)로 유입되어 측정기(5)에 의해 파티클 검사를 수행 받을 수 있게 된다.At this time, the purge gas flowing out through the nozzle hole 2221 of the nozzle 220 flows into the measuring instrument 5 through the auxiliary connecting pipe 37 -> jig body 31 -> the main connecting pipe 35, and the measuring instrument ( By 5), particle inspection can be performed.

도 7은 본 발명의 파티클 검사지그의 제2 실시예를 나타내는 사시도이다.7 is a perspective view showing a second embodiment of the particle inspection jig of the present invention.

도 7은 본 발명의 파티클 검사지그의 제2 실시예이고, 파티클 검사지그(800)는 전술하였던 도 6의 파티클 검사지그(3)와 동일한 형상 및 구성의 지그몸체(31)와, 메인 피팅부(32), 보조 피팅부(33)들, 메인 연결튜브(35), 보조 연결튜브(37)들을 포함한다.7 is a second embodiment of the particle inspection jig of the present invention, the particle inspection jig 800, the jig body 31 and the main fitting part of the same shape and configuration as the particle inspection jig 3 of FIG. 6 described above 32, auxiliary fitting parts 33, the main connecting tube 35, auxiliary connecting tubes 37.

또한 파티클 검사지그(800)는 보조 연결관(37)들 각각의 단부와 인접한 지점에 설치되는 결속체(39)들을 더 포함한다.In addition, the particle inspection jig 800 further includes a binding body 39 installed at a point adjacent to each end of the auxiliary connecting pipes 37.

도 8은 도 7의 결속체 및 보조 연결관을 나타내는 사시도이고, 도 9는 도 8의 결합판 및 기밀링을 나타내는 측단면도이다.FIG. 8 is a perspective view showing the binding body and the auxiliary connector of FIG. 7, and FIG. 9 is a side cross-sectional view showing the coupling plate and the airtight ring of FIG. 8.

결속체(39)는 보조 연결관(37)의 단부와 인접한 지점에 설치된다.The bundling body 39 is installed at a point adjacent to the end of the auxiliary connecting pipe 37.

또한 결속체(39)는 도 8과 9에 도시된 바와 같이, 보조 연결관(37)의 단부로부터 소정 이격된 외주면에 장착되는 중공 원판 형상의 고정판(395)과, 일측이 개구된 원판으로 형성되며 중앙에 관통공(3911)이 형성되는 결합판(391)과, 중공 원통 형상으로 형성되어 결합판(391)의 개구부의 바닥면(3910)에 결합되는 기밀링(393)으로 이루어진다.8 and 9, the binding body 39 is formed of a hollow disk-shaped fixed plate 395 mounted on an outer circumferential surface spaced a predetermined distance from the end of the auxiliary connecting pipe 37, and a disk with one side open It is made of a coupling plate 391 in which a through hole 3911 is formed in the center, and an airtight ring 393 formed in a hollow cylindrical shape and coupled to the bottom surface 3910 of the opening of the coupling plate 391.

고정판(395)은 보조 연결관(37)의 단부로부터 소정 이격된 지점의 외주면에 장착 및 결합된다.The fixing plate 395 is mounted and coupled to the outer circumferential surface at a predetermined distance from the end of the auxiliary connecting pipe 37.

또한 고정판(395)은 후술되는 도 10의 노즐(400)과 조립 시, 노즐(400)의 접속 돌출부(420)의 안착홈(422)에 안착되고, 즉 작업자는 보조 연결관(37)을 노즐(400)의 노즐공(421)으로 삽입할 때, 고정판(395)이 노즐(400)의 접속 돌출부(420)의 안착홈(422)에 안착될 때까지 보조 연결관(37)을 삽입한다.In addition, the fixing plate 395 is seated in the seating groove 422 of the connection protrusion 420 of the nozzle 400 when assembled with the nozzle 400 of FIG. 10 to be described later, that is, the operator nozzles the auxiliary connector 37 When inserting into the nozzle hole 421 of 400, the auxiliary connector 37 is inserted until the fixing plate 395 is seated in the seating groove 422 of the connection protrusion 420 of the nozzle 400.

결합판(391)은 일측이 개구된 원판 형상으로 형성되며, 중앙에 보조 연결관(37)이 관통되는 관통공(3911)이 형성된다.The coupling plate 391 is formed in a disc shape with one side open, and a through hole 3911 through which the auxiliary connector 37 is penetrated is formed in the center.

이때 결합판(391)의 관통공(3911)의 내경은 보조 연결관(37)의 외경보다 크게 형성됨에 따라 결합판(391)은 보조 연결관(37)을 따라 이동 가능하게 된다. 이때 결합판(391)은 개구부가 보조 연결관(37)의 단부를 향하는 방향으로 보조 연결관(37)에 이동 가능하게 설치된다.In this case, as the inner diameter of the through hole 3911 of the coupling plate 391 is formed larger than the outer diameter of the auxiliary connection pipe 37, the coupling plate 391 is movable along the auxiliary connection pipe 37. At this time, the coupling plate 391 is movably installed in the auxiliary connector 37 in the direction in which the opening is directed toward the end of the auxiliary connector 37.

또한 결합판(391)의 관통공(3911)의 내경은 고정판(395)의 외경보다 작은 크기로 형성됨에 따라 결합판(391)의 이동범위가 고정판(395)에 의해 제한되게 된다.In addition, as the inner diameter of the through hole 3911 of the coupling plate 391 is formed to have a smaller size than the outer diameter of the fixing plate 395, the moving range of the coupling plate 391 is limited by the fixing plate 395.

또한 결합판(391)은 보조 연결관(37)의 단부를 향하는 면인 바닥면(3910)에 링 형상의 기밀링(393)이 결합된다.In addition, the coupling plate 391 has a ring-shaped airtight ring 393 coupled to the bottom surface 3910, which is a surface facing the end of the auxiliary connecting pipe 37.

또한 결합판(391)의 개구부는 후술되는 도 10의 노즐(400)의 접속 돌출부(420)의 외경과 동일한 크기로 형성됨으로써 노즐(400)과 조립 시, 개구부가 노즐(400)의 접속 돌출부(420)에 억지끼움 방식으로 결합된다.In addition, the opening of the coupling plate 391 is formed in the same size as the outer diameter of the connecting protrusion 420 of the nozzle 400 of FIG. 10 to be described later, and when assembling with the nozzle 400, the opening is connected to the connecting protrusion of the nozzle 400 ( 420).

기밀링(393)은 중공 원통형상으로 형성되어 결합판(391)의 바닥면(3910)에 결합된다.The hermetic ring 393 is formed in a hollow cylindrical shape and is coupled to the bottom surface 3910 of the coupling plate 391.

또한 기밀링(393)의 외경 및 내경은 고정판(395)의 외경보다 크게 형성된다.In addition, the outer diameter and the inner diameter of the hermetic ring 393 are formed larger than the outer diameter of the fixed plate 395.

또한 기밀링(393)은 후술되는 도 10의 노즐(400)과 조립 시, 노즐(400)의 접속 돌출부(420)의 삽입홈(423)으로 삽입됨으로써 노즐(400)의 노즐공(421)으로부터 유출되는 퍼지가스의 유출을 방지함과 동시에 외부로부터 파티클 유입을 효과적으로 방지할 수 있게 된다.In addition, the airtight ring 393 is inserted from the nozzle hole 421 of the nozzle 400 by being inserted into the insertion groove 423 of the connection protrusion 420 of the nozzle 400 when assembled with the nozzle 400 of FIG. 10 to be described later. It is possible to prevent the outflow of the purge gas flowing out and at the same time to effectively prevent the inflow of particles from the outside.

도 10은 도 7의 파티클 검사지그에 적용되는 노즐을 나타내는 사시도이다.10 is a perspective view illustrating a nozzle applied to the particle inspection jig of FIG. 7.

도 10의 노즐(400)은 전술하였던 도 1과 2의 가스공급장치(200)의 안착플레이트(210)에 설치되어 퍼지가스를 유출시키는 장치이며, 전술하였던 도 7 내지 9의 파티클 검사지그(800)에 적용된다.The nozzle 400 of FIG. 10 is installed on the seating plate 210 of the gas supply device 200 of FIGS. 1 and 2 described above to discharge purge gas, and the particle inspection jig 800 of FIGS. 7 to 9 described above ).

또한 노즐(400)은 판재로 형성되어 양측이 가스공급장치(200)의 안착플레이트(210)에 볼트 체결되는 지지판(410)과, 원판으로 형성되어 지지판(410)의 상면에 연결되며 중앙에 노즐공(421)이 형성되는 접속 돌출부(420)로 이루어진다.In addition, the nozzle 400 is formed of a plate material, and both sides are bolted to the seating plate 210 of the gas supply device 200, and the nozzle 400 is formed of a disk and connected to the upper surface of the support plate 410, and the nozzle in the center The ball 421 is formed of a connection protrusion 420 on which it is formed.

또한 접속 돌출부(420)는 상면이 평평한 평탄면으로 형성되고, 노즐공(421)으로부터 퍼지가스가 유출된다.In addition, the connection protrusion 420 has a flat top surface and a purge gas is discharged from the nozzle hole 421.

또한 접속 돌출부(420)의 상면의 중앙에는 내측으로 형성되어 전술하였던 도 7 내지 9의 파티클 검사지그(800)의 결속체(39)의 고정판(395)이 안착되는 원 형상의 안착홈(422)이 형성된다.In addition, the center of the upper surface of the connection protrusion 420 is formed inward, the seating groove 422 in a circular shape in which the fixing plate 395 of the binding member 39 of the particle inspection jig 800 of FIGS. 7 to 9 described above is seated It is formed.

또한 접속 돌출부(420)의 상면의 안착홈(422)의 외측에는 상면으로부터 내측으로 형성되어 원호를 따라 연결되어 파티클 검사지그(800)의 결속체(39)의 기밀링(393)이 삽입되는 삽입홈(423)이 형성된다.In addition, the outside of the seating groove 422 of the upper surface of the connection protrusion 420 is formed inward from the upper surface and is connected along an arc to insert the airtight ring 393 of the binding body 39 of the particle inspection jig 800. The groove 423 is formed.

도 11은 도 8의 결속체가 도 10의 노즐에 접속된 모습을 나타내는 측단면도이다.11 is a side cross-sectional view showing a state in which the binding body of FIG. 8 is connected to the nozzle of FIG. 10.

결속체(39)는 도 11에 도시된 바와 같이, 우선 작업자에 의해 보조 연결관(37)이 노즐(400)의 노즐공(421)으로 삽입된다. 이때 작업자는 결속체(39)의 고정판(395)이 노즐(400)의 안착홈(422)으로 안착될 때까지 보조 연결관(37)의 단부를 노즐공(421)으로 삽입시킨다.11, the auxiliary connector 37 is first inserted into the nozzle hole 421 of the nozzle 400 by the operator. At this time, the operator inserts the end of the auxiliary connector 37 into the nozzle hole 421 until the fixing plate 395 of the binding body 39 is seated into the seating groove 422 of the nozzle 400.

이러한 상태에서, 결합판(391)이 보조 연결관(37)을 따라 단부로 이동한 후, 개구부를 노즐(400)의 접속 돌출부(420)에 억지끼움 방식으로 삽입시킴으로써 결합판(391)이 노즐(400)에 결합되고, 이때 결합판(391)의 바닥면에 설치되는 기밀링(393)은 노즐(400)의 접속 돌출부(420)의 삽입홈(423)으로 삽입됨으로써 보조 연결관(37) 및 노즐(400)의 결합작업이 간단하면서도 견고하게 이루어질 수 있을 뿐만 아니라 기밀링(393)에 의해 결합판(391) 및 접속 돌출부(420)의 상면 사이의 공간이 밀폐되어 외부 충격 및 진동이 발생하더라도 기밀성이 유지될 수 있게 된다.In this state, after the engaging plate 391 is moved to the end along the auxiliary connecting pipe 37, the engaging plate 391 is inserted into the connection protrusion 420 of the nozzle 400 in a forced fit manner, thereby causing the engaging plate 391 to be a nozzle. The airtight ring 393 coupled to the 400 and installed on the bottom surface of the coupling plate 391 is inserted into the insertion groove 423 of the connection protrusion 420 of the nozzle 400 to thereby supplement the auxiliary pipe 37 And the coupling operation of the nozzle 400 can be made simple and robust as well as the space between the upper surface of the coupling plate 391 and the connection protrusion 420 is sealed by an airtight ring 393 to generate external shock and vibration. Even if confidentiality can be maintained.

이와 같이 본 발명의 일실시예인 파티클 검사 시스템(1)은 지그 몸체의 타면에 복수개의 보조 연결관들이 연결되어 한 번의 검사 작업으로 복수개의 노즐들로부터 유출되는 퍼지가스의 파티클 검사를 수행함으로써 불필요한 인력 및 시간 소모를 절감시킴과 동시에 작업효율성을 극대화시킬 수 있다.As described above, the particle inspection system 1, which is an embodiment of the present invention, has a plurality of auxiliary connectors connected to the other surface of the jig body, thereby performing particle inspection of purge gas discharged from a plurality of nozzles in one inspection operation. And it is possible to reduce time consumption and maximize work efficiency.

또한 본 발명의 파티클 검사 시스템(1)은 지그 몸체의 일면 및 타면에 메인 피팅부 및 보조 피팅부들이 설치됨으로써 작업 환경에 따라 연결관들을 편리하게 결합 및 해제시킬 수 있게 된다.In addition, the particle inspection system 1 of the present invention is installed on the one side and the other side of the jig body, the main fitting portion and the auxiliary fitting portion can be conveniently coupled and released according to the working environment.

또한 본 발명의 파티클 검사 시스템(1)은 결속체의 결합판이 보조 연결관을 따라 이동 가능하도록 설치됨과 동시에 노즐의 접속 돌출부의 크기 및 형상에 대응되게 형성됨으로써 검사 작업 시, 개구부로 접속 돌출부가 억지끼움 방식으로 삽입됨에 따라 외부 충격 및 진동이 발생하더라도 보조 연결관이 노즐로부터 해제되는 현상을 방지하여 검사의 정확성 및 신뢰도를 높일 수 있다.In addition, the particle inspection system (1) of the present invention is installed so that the binding plate of the binding body is movable along the auxiliary connection pipe, and is formed to correspond to the size and shape of the connection protrusion of the nozzle. Even if an external shock or vibration occurs due to the insertion by the fitting method, it is possible to increase the accuracy and reliability of the inspection by preventing the secondary connector from being released from the nozzle.

또한 본 발명의 파티클 검사 시스템(1)은 결합판의 하면에 기밀링이 설치되어 검사 작업 시, 기밀링이 노즐의 접속 돌출부의 삽입홈으로 삽입되도록 구성됨으로써 퍼지가스의 유출 및 외부로부터의 파티클 유입을 철저히 방지하여 검사의 정확성 및 신뢰도를 더욱 높일 수 있게 된다.In addition, the particle inspection system (1) of the present invention is provided with an airtight ring installed on the lower surface of the bonding plate so that, during the inspection operation, the airtight ring is configured to be inserted into the insertion groove of the connection protrusion of the nozzle so that purge gas flows out and particles flow in from outside By thoroughly preventing, it is possible to further increase the accuracy and reliability of the inspection.

1:파티클 검사 시스템 3:파티클 검사 지그 5:측정기
31:지그 몸체 32:메인 피팅부 33:보조 피팅부
35:메인 연결관 37:보조 연결관 39:결속체
391:결합판 393:기밀링 395:고정판1: Particle inspection system 3: Particle inspection jig 5: Meter
31: jig body 32: main fitting part 33: auxiliary fitting part
35: Main connector 37: Secondary connector 39: Binder
391: bonding plate 393: sealing 395: fixed plate

Claims (5)

풉(Foup)의 내부로 퍼지가스를 공급하는 복수개의 노즐들을 포함하는 가스공급장치의 상기 노즐들로부터 유출되는 퍼지가스의 파티클을 검사하기 위한 파티클 검사 지그에 있어서:
함체로 형성되는 지그 몸체;
상기 지그 몸체의 일면에 연결되어 단부가 측정기와 연결되는 메인 연결관;
상기 지그 몸체의 타면에 연결되는 보조 연결관들;
상기 지그 몸체 및 상기 메인 연결관을 결합시키는 메인 피팅부;
상기 지그 몸체 및 상기 보조 연결관들을 각각 결합시키는 보조 피팅부들을 포함하고,
상기 보조 연결관들은 상기 노즐들의 노즐공들로 각각 삽입되고,
상기 가스공급장치는 상면에 적어도 한 개 이상의 풉(Foup)이 안착되는 상부 플레이트를 더 포함하고,
상기 노즐은
판재로 형성되어 상기 상부 플레이트의 상면에 결합되는 지지판과, 중앙에 노즐공이 형성되는 판재로 형성되어 상기 지지판의 상면에 연결되는 접속돌출부를 포함하고,
상기 파티클 검사 지그는 상기 보조 연결관들 각각에 설치되는 결속체들을 더 포함하고,
상기 결속체는
일측이 개구된 판재로 형성되며, 중앙에 상기 보조 연결관이 관통되는 관통공이 형성되는 결합판을 포함하고,
상기 결합판의 관통공은 상기 보조 연결관의 외경보다 큰 내경으로 형성되어 상기 보조 연결관을 따라 이동가능하고,
상기 결합판의 개구부는 상기 노즐의 상기 접속 돌출부와 동일한 형상으로 형성되되, 내경이 상기 접속 돌출부의 외경과 동일한 크기로 형성됨으로써 상기 결합판은 조립 시, 대응되는 노즐의 상기 접속 돌출부로 억지끼움 방식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 파티클 검사 지그.In the particle inspection jig for inspecting the particles of the purge gas flowing out of the nozzles of the gas supply device comprising a plurality of nozzles for supplying the purge gas into the interior of the pull (Foup):
A jig body formed of an enclosure;
A main connector connected to one surface of the jig body and having an end connected to a measuring device;
Auxiliary connectors connected to the other surface of the jig body;
A main fitting part coupling the jig body and the main connector;
The jig body and the auxiliary fittings including auxiliary fittings for connecting the respective pipes,
The auxiliary connecting pipes are respectively inserted into the nozzle holes of the nozzles,
The gas supply device further includes an upper plate on which at least one Foup is seated on an upper surface,
The nozzle
It comprises a support plate formed of a plate material and coupled to the upper surface of the upper plate, and a connection protrusion formed of a plate material having a nozzle hole in the center and connected to the upper surface of the support plate,
The particle inspection jig further includes a binding body installed on each of the auxiliary connectors,
The binding body
One side is formed of an open plate material, and includes a coupling plate in which a through hole through which the auxiliary connection pipe is formed is centrally formed.
The through hole of the coupling plate is formed with an inner diameter larger than the outer diameter of the auxiliary connector, and is movable along the auxiliary connector,
The opening of the coupling plate is formed in the same shape as the connection protrusion of the nozzle, and the inner diameter is formed to be the same size as the outer diameter of the connection protrusion, so that the coupling plate is forced into the connection protrusion of the corresponding nozzle during assembly. Particle inspection jig, characterized in that combined. 삭제delete 삭제delete 청구항 제1항에 있어서, 상기 결합판은 조립 시 상기 노즐을 향하는 하면에 고리 형상의 기밀링이 결합되고,
상기 노즐의 상기 접속 돌출부의 상면에는 노즐공의 외측에 형성되어 상기 기밀링이 삽입되는 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 파티클 검사 지그.The method according to claim 1, wherein the coupling plate has a ring-shaped airtight ring coupled to the lower surface facing the nozzle during assembly,
Particle inspection jig, characterized in that the upper surface of the connection protrusion of the nozzle is formed on the outside of the nozzle hole, the insertion groove into which the hermetic ring is inserted. 청구항 제4항에 있어서, 상기 결속체는 고정판을 더 포함하고,
상기 고정판은 상기 보조 연결관의 단부와 인접한 지점에 상기 보조 연결관에 결합되는 판재로 형성되고,
상기 고정판은 상기 결합판의 관통공 보다 큰 외경으로 형성되되, 상기 기밀링 보다 작은 외경으로 형성되고,
상기 노즐의 상기 접속 돌출부는 상면에 상기 고정판이 안착되는 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 파티클 검사 지그.The method according to claim 4, wherein the binding body further comprises a fixing plate,
The fixing plate is formed of a plate material coupled to the auxiliary connector at a point adjacent to the end of the auxiliary connector,
The fixing plate is formed with an outer diameter larger than the through hole of the coupling plate, and is formed with an outer diameter smaller than the hermetic ring,
Particle inspection jig, characterized in that the connection protrusion of the nozzle is formed with a seating groove on which the fixing plate is seated.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102318029B1 (en) * 2020-06-29 2021-10-27 주식회사 아셀 Gas supply apparatus including flow test means

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KR19980076731A (en) * 1997-04-14 1998-11-16 윤종용 Air particle monitoring system
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