KR102131052B1 - 센서 조립체 - Google Patents

센서 조립체 Download PDF

Info

Publication number
KR102131052B1
KR102131052B1 KR1020150055180A KR20150055180A KR102131052B1 KR 102131052 B1 KR102131052 B1 KR 102131052B1 KR 1020150055180 A KR1020150055180 A KR 1020150055180A KR 20150055180 A KR20150055180 A KR 20150055180A KR 102131052 B1 KR102131052 B1 KR 102131052B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
axis
sensor
target
along
targets
Prior art date
Application number
KR1020150055180A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20150122590A (ko
Inventor
커트 디. 길모어
Original Assignee
아메리칸 액슬 앤드 매뉴팩쳐링, 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 아메리칸 액슬 앤드 매뉴팩쳐링, 인코포레이티드 filed Critical 아메리칸 액슬 앤드 매뉴팩쳐링, 인코포레이티드
Publication of KR20150122590A publication Critical patent/KR20150122590A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102131052B1 publication Critical patent/KR102131052B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H3/00—Toothed gearings for conveying rotary motion with variable gear ratio or for reversing rotary motion
    • F16H3/02—Toothed gearings for conveying rotary motion with variable gear ratio or for reversing rotary motion without gears having orbital motion
    • F16H3/08—Toothed gearings for conveying rotary motion with variable gear ratio or for reversing rotary motion without gears having orbital motion exclusively or essentially with continuously meshing gears, that can be disengaged from their shafts
    • F16H3/083—Toothed gearings for conveying rotary motion with variable gear ratio or for reversing rotary motion without gears having orbital motion exclusively or essentially with continuously meshing gears, that can be disengaged from their shafts with radially acting and axially controlled clutching members, e.g. sliding keys
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H57/00—General details of gearing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/14—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
    • G01D5/2053—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by a movable non-ferromagnetic conductive element

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)

Abstract

센서 조립체가 센서의 쌍 및 센서 표적의 쌍을 가진다. 센서의 각각은, 구조물이 따라서 이동하는 운동 축에 대해서 X-축이 정렬되도록 서로에 대해서 직교적인 X, Y 및 Z 축을 규정하는 와전류 센서이다. 센서 표적은 공통 운동을 위해서 서로에 대해서 커플링되고, 운동 축에 평행한 표적의 운동에 따라서 구분된 방식으로 각각 변화하는 센서 신호를 센서가 생성하도록 유도하기 위해서 와전류 센서의 각각의 하나와 상호작용하도록 구성된다. 표적이 운동 축을 따라서 이동될 때 Z-축에 평행한 방향을 따른 표적의 조화된 운동이 구조물의 결정된 위치에 영향을 미치지 않도록, 표적이 구성된다. 방법이 또한 제공된다.

Description

센서 조립체{SENSOR ASSEMBLY}
본 개시 내용은 센서 조립체에 관한 것이다.
본 항목은, 반드시 종래 기술은 아닌 본 개시 내용에 관한 배경 정보를 제공한다.
당업계에서, 특히 구동라인 구성요소를 위한 액추에이터(actuator)의 분야에서, 운동 축을 따라서 병진운동되는(translated) 구성요소의 위치를 모니터링하기 위한 저렴하고, 신뢰가능하며, 정확한 센서가 요구되고 있다. 이와 관련하여, 구동라인 구성요소를 위한 액추에이터는, 전형적으로, 큰 열적 극한 상황(large thermal extreme), 윤활제의 존재, 및 윤활제 내에서 현탁되는(suspended) 금속 입자의 존재 가능성으로 인해서, 통상적인 센서에 우호적이지 않은 분위기를 제공한다. 이러한 센서가 오랜 기간 동안 신뢰가능하게 동작하여야 하기 때문에, 센서(예를 들어, 홀(Hall)-효과 센서) 내에서의 자석의 이용을 피할 것이 요구되는데, 이는 금속 입자가 센서의 자석에 부착될 수 있는 가능성이 있기 때문이다.
본 항목은 개시 내용의 전반적인 요약을 제공하고, 개시 내용의 전체 범위 또는 개시 내용의 모든 특징의 포괄적인 개시는 아니다.
하나의 형태에서, 본 개시 내용은 운동 축을 따라서 병진운동되는 구조물의 위치를 결정하기 위한 센서 조립체를 제공한다. 센서 조립체는 센서 장착부, 제1 및 제2 센서, 그리고 제1 및 제 2 표적을 포함한다. 제1 센서가 센서 장착부에 커플링되고, 서로 직교적인 제1 X-축, 제1 Y-축 및 제1 Z-축을 가지는 와전류 센서이다. 제1 X-축은 운동 축에 평행하게 배치된다. 제1 센서가 제1 Z-축 주위로 나선형으로 권선된(wound) 제1 코일을 포함한다. 제2 센서가 센서 장착부에 커플링되고, 서로 직교적인 제2 X-축, 제2 Y-축 및 제2 Z-축을 가지는 와전류 센서이다. 제2 X-축은 제1 X-축에 평행하다. 제2 Z-축은 제1 Z-축에 평행하다. 제2 센서가 제2 Z-축 주위로 나선형으로 권선된 제2 코일을 포함한다. 제1 표적은 구조물에 커플링되어 함께 운동하도록 구성된다. 제1 표적은 전기 전도성 재료로 형성되고, 제1 센서와 상호작용하여, 제1 X-축을 따른 제1 표적의 운동에 비례하여 변화되는 제1 크기를 가지는 제1 센서 신호를 생성하도록 구성된다. 제2 표적은 구조물에 커플링되어 함께 운동하도록 구성된다. 제2 표적은 전기 전도성 재료로 형성되고, 제2 센서와 상호작용하여, 제2 X-축을 따른 제2 표적의 운동에 비례하여 변화되는 제2 크기를 가지는 제2 센서 신호를 생성하도록 구성된다. 구조물이 운동 축을 따라서 이동될 때 제1 및 제2 Z-축에 평행한 방향으로 미리 규정된 한계 내에서 제1 및 제2 표적의 조화된(coordinated) 운동이 제1 및 제2 센서 신호로부터 검출가능하도록, 제1 및 제2 표적이 구성된다.
다른 형태에서, 본 개시 내용은 운동 축을 따라서 병진운동되는 구조물의 위치를 결정하기 위한 센서 조립체를 제공한다. 센서 조립체는 센서 장착부, 제1 및 제2 센서, 제1 및 제2 표적, 그리고 제어기를 포함한다. 제1 센서가 센서 장착부에 커플링되고, 서로 직교적인 제1 X-축, 제1 Y-축 및 제1 Z-축을 가지는 와전류 센서이다. 제1 X-축은 운동 축에 평행하게 배치된다. 제1 센서가 제1 Z-축 주위로 나선형으로 권선된 제1 코일을 포함한다. 제2 센서가 센서 장착부에 커플링되고, 서로 직교적인 제2 X-축, 제2 Y-축 및 제2 Z-축을 가지는 와전류 센서이다. 제2 X-축은 제1 X-축에 평행하다. 제2 Z-축이 제1 Z-축에 평행하다. 제2 센서가 제2 Z-축 주위로 나선형으로 권선된 제2 코일을 포함한다. 제1 표적은 구조물에 커플링되어 함께 운동하도록 구성된다. 제1 표적은 전기 전도성 재료로 형성되고, 제1 센서와 상호작용하여, 제1 X-축을 따른 제1 표적의 운동에 따라 제1의 미리 결정된 방식으로 변화되는 제1 크기를 가지는 제1 센서 신호를 생성하도록 구성된다. 제2 표적은 구조물에 커플링되어 함께 운동하도록 구성된다. 제2 표적은 전기 전도성 재료로 형성되고, 제2 센서와 상호작용하여, 제2 X-축을 따른 제2 표적의 운동에 따라 제2의 미리 결정된 방식으로 변화되는 제2 크기를 가지는 제2 센서 신호를 생성하도록 구성된다. 제어기는 제1 및 제2 센서 신호를 수신하고 운동 축을 따른 구조물의 위치를 그에 반응하여 결정한다. 구조물이 운동 축을 따라서 이동될 때 미리 규정된 한계 내에서 제1 및 제2 Z-축에 평행한 방향으로 제1 및 제2 표적의 조화된 운동이 제어기에 의해서 결정되는 구조물의 위치에 영향을 미치지 않도록, 제1 및 제2 표적이 구성된다.
추가적인 형태에서, 본 교시 내용은 방법을 제공하고, 그러한 방법은: 운동 축을 따라서 이동가능한 구조물을 제공하는 단계; 센서 조립체를 구조물에 커플링시키는 단계로서, 센서 조립체가 제1 및 제2 와전류 센서 및 운동 축을 따른 운동을 위해서 구조물에 장착되는 제1 및 제2 표적을 포함하는, 센서 조립체를 구조물에 커플링시키는 단계; 제1 와전류 센서로 제1 표적을 감지하고 그에 반응하여 제1 센서 신호를 생성하는 단계; 제2 와전류 센서로 제2 표적을 감지하고 그에 반응하여 제2 센서 신호를 생성하는 단계; 및 운동 축에 수직인 제1 방향으로 제1 및 제2 표적의 조화된 운동을 감지하지 않는 방식으로 이동가능한 축을 따른 구조물의 위치를 결정하기 위해서 제1 및 제2 센서 신호를 이용하는 단계를 포함한다.
추가적인 적용가능 분야가 본원에서 제공되는 설명으로부터 자명해질 것이다. 이러한 요약 내의 설명 및 구체적인 예는 단지 예시적인 목적을 위한 것이고 본 개시 내용의 범위를 제한하기 위한 것은 아니다.
본원에서 개시된 도면은, 모든 가능한 구현예가 아닌, 단지 선택된 실시예를 설명하기 위한 목적이고, 본 개시 내용의 범위를 제한하기 위한 것은 아니다.
도 1은 본 개시 내용의 교시 내용에 따라 구축된 센서 조립체의 개략적인 상단 평면도이다.
도 2는 도 1의 센서 조립체의 개략적인 우측 측면도이다.
도 2a는 주파수 출력을 생성하는 RLC 게이트-발진기 회로를 포함하는 것으로서 와전류 센서의 각각을 도시하는 센서 조립체의 개략적인 도면이다.
도 3은 클러치를 가지는 차량 구동라인 구성요소 내로 통합된 도 1의 센서 조립체의 단면적인, 부분적 개략도이다.
도 4 내지 도 7은 도 1의 센서 조립체의 교번적으로(alternately) 구축된 부분을 도시한 도면으로서, 교번적으로 구축된 부분이 제1 및 제2 센서 표적인, 도면이다.
도 8은 도 3의 도면과 유사하나, 도 6에 도시된 방식으로 구성되고 동기화 장치(synchronizer)에 장착된 제1 및 제2 센서 표적을 채택한 것으로서, 본 개시 내용의 교시 내용에 따라서 구축된 센서 조립체를 도시한 도면이다.
도면 중 몇몇 도면 전체를 통해서, 상응하는 참조 번호가 상응하는 부분을 나타낸다.
이제, 첨부 도면을 참조하여 예시적 실시예를 보다 전체적으로 설명할 것이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 개시 내용의 교시 내용에 따라서 구축된 센서 조립체가 전체적으로 참조 번호 '10'으로 표시되어 있다. 센서 조립체(10)는 센서 장착부(12), 제1 센서 부분(14), 제2 센서 부분(16) 및 제어기(18)를 포함할 수 있다. 센서 장착부(12)는, 제1 및 제2 센서 센서 부분(14 및 16)이 장착될 수 있는, 회로 기판과 같은, 임의 유형의 구조물일 수 있다.
제1 센서 부분(14)이 제1 센서(22) 및 제1 표적(24)을 포함할 수 있는 한편, 제2 센서 부분(16)은 제2 센서(26) 및 제2 표적(28)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 센서(22 및 26)의 각각이, 센서 장착부(12)에 장착되고, 활성화될 때(즉, 교류를 수신할 때), 자기장(36)을 생성하도록 구성되는 코일(32)을 포함할 수 있다. 코일(32)이 장착되는 센서 장착부(12)의 표면(42)으로부터 수직으로 연장하는 연관된 Z-축(40)을 따라서 배치되도록, 각각의 코일(32)이 배향될 수 있다. 코일(32)이 전체적으로 환형 형상을 가지도록, 각각의 코일(32)의 와이어가 코일의 연관된 Z-축(40) 주위로 나선형으로 권선될 수 있다. 교번적으로, 코일(32)의 각각이, 연관된 Z-축(40)에 평행한 그리고 연관된 Z-축(40)에 수직인 축에 평행한 나선형 방식으로 권선된다. 제공된 특별한 예에서, 코일(32)의 각각이 그 Y-축(44) 주위로 세장형인(elongated) 방식으로 그 Z-축(40) 주위로 나선형으로 권선되고, 그에 따라, 그 X-축(46) 및 Y-축(44)을 포함하는 평면으로부터 관찰할 때, 코일(32)이 전체적으로 타원형 형상이 된다.
제1 표적(24)은, Z-축(40)에 수직으로 배향된 대향 표면(50 및 52)을 가지는 전기 전도성 재료의 판-유사 피스(plate-like piece)로 형성될 수 있다. 제1 표적(24)은 제1 센서(22)의 코일(32)에 의해서 생성되는 자기장(36)과 상호작용하도록 구성된다. 보다 구체적으로, 제1 센서(22)의 코일(32)에 의해서 생성된 자기장(36) 내로 제1 표적(24)을 배치하는 것이 제1 표적(24) 내에 와전류(54)를 유도할 수 있다. 제1 표적(24) 내에서 유도된 와전류(54)는 제1 센서(22)의 코일(32)에 의해서 생성된 자기장(36)과 상호작용할 수 있는 반대 자기장(56)을 생성할 수 있으며; 제1 센서(22)는 반대 자기장(56)의 크기에 응답하는 제1 센서 신호를 출력할 수 있다. 자기장(36)과 반대 자기장(56) 사이의 상호작용의 크기가 Z-축(40)을 따른 제1 표적(24)과 제1 센서(22)의 코일(32) 사이의 거리에 의존하도록, 제1 센서(22)가 구성된다. 그러나, 제1 표적(24)은, 제1 센서(22)가 X-축(46)을 따른 제1 표적(24)의 배치에 감응할 수 있게 하도록, 또한 구성된다. 이와 관련하여, 제1 표적(24)은, 반대 자기장(56)이 X-축(46)을 따른 제1 표적(24)의 배치의 함수로서 내부에서 생성되는 전기 전도성 재료의 양을 변화시키는 방식으로 성형될 수 있다. 예를 들어, 제1 표적(24)이 X-축(46)을 따라서만 이동할 때 제1 센서(22)의 출력이 비율척도형(ratiometric)이 되도록, 제1 표적(24)이 성형될 수 있다. 제공된 특별한 예에서, 제1 표적(24)은, 제1 표적(24)을 형성하는 재료를 통해서 형성되고 Z-축(40) 및 X-축(46)을 포함하는 평면 내에 V-형상의 노치(notch)(60)의 축(62)이 배치되도록 정렬되는 대체로 V-형상의 노치 또는 개구(60)를 형성한다.
제2 표적(28)은 Z-축(40)에 수직으로 배향된 대향 표면(64 및 66)을 가지는 전기 전도성 재료의 판-유사 피스로 형성될 수 있다. 제2 표적(28)은 제2 센서(26)의 코일(32)에 의해서 생성되는 자기장(36)과 상호작용하도록 구성된다. 보다 구체적으로, 제2 센서(26)의 코일(32)에 의해서 생성된 자기장(36) 내로 제2 표적(28)을 배치하는 것이 제2 표적(28) 내에 와전류(70)를 유도할 수 있다. 제2 표적(28) 내에서 유도된 와전류(70)는 제2 센서(26)의 코일(32)에 의해서 생성된 자기장(36)과 상호작용할 수 있는 반대 자기장(72)을 생성할 수 있으며; 제2 센서(26)는 반대 자기장(72)의 크기에 응답하는 제2 센서 신호를 출력할 수 있다. 자기장(36)과 반대 자기장(72) 사이의 상호작용의 크기가 Z-축(40)을 따른 제2 표적(28)과 제2 센서(26)의 코일(32) 사이의 거리에 의존하도록, 제2 센서(26)가 구성된다. 그러나, 제2 표적(28)은, 제2 센서(26)가 X-축(46)을 따른 제2 표적(28)의 배치에 감응할 수 있게 하도록, 또한 구성된다. 이와 관련하여, 제2 표적(28)은, 반대 자기장(72)이 X-축(46)을 따른 제2 표적(28)의 배치의 함수로서 내부에서 생성되는 전기 전도성 재료의 양을 변화시키는 방식으로 성형될 수 있다. 예를 들어, 제2 표적(28)이 X-축(46)을 따라서만 이동할 때 제2 센서(26)의 출력이 비율척도형이 되도록, 제2 표적(28)이 성형될 수 있다. 제공된 특별한 예에서, 제2 표적(28)은, 제2 표적(28)을 형성하는 재료를 통해서 형성되고 Z-축(40) 및 X-축(46)을 포함하는 평면 내에 V-형상의 노치(78)의 축(80)이 배치되도록 정렬되는 대체로 V-형상의 노치 또는 개구(78)를 형성한다.
제1 및 제2 표적(24 및 28)이 공통 운동을 위해서 서로에 고정적으로 커플링될 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 표적(24 및 28)이, 적어도, X-축(46)에 평행한 운동 축(86)을 따라서 이동가능한 구조물(84)에 고정적으로 장착될 수 있다. Z-축들(40)이 서로 팽행하도록, X-축들(46)이 서로에 대해서 그리고 운동 축(86)에 대해서 평행하도록, Y-축들(44)이 서로에 대해서 평행하도록, 그리고 V-형상의 노치(60, 78)의 축들(62, 80)이 서로 평행하고 X-축들(46)을 따라서 정렬되도록, 제1 및 제2 표적(24 및 28)이 각각 제1 및 제2 센서(22 및 26)에 대해서 조화된 방식으로 정렬될 수 있다. 특별하게 제공된 예에서, 제1 및 제2 표적(24 및 28)이 커플링되는 구조물(84)은, 제1 및 제2 표적(24 및 28)이 내부로 형성되는 알루미늄 판의 피스이다. 제1 및 제2 표적(24 및 28)이, 희망에 따라서 비용 및/또는 중량을 감소시키기 위해서 다른 구조물에 장착되는 구분된(discrete) 구성요소로서 형성될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 또한, 제1 및 제2 표적(24 및 28)이 제1 센서(22)의 Z-축(40)을 따라서 서로로부터 오프셋될 수 있고, 및/또는 제1 및 제2 센서(22 및 26)가 제1 센서(22)의 Z-축(40)을 따라서 서로로부터 유사하게 오프셋될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
제어기(18)가 센서 장착부(12)와 같은 임의의 희망하는 구조물에 커플링될 수 있고, 제1 및 제2 센서 신호를 수신하도록 그리고 운동 축(86)을 따라서 구조물(84)의 위치를 반응적으로 결정하도록 구성될 수 있다.
제2 표적(28)은, 제2 센서 신호가 운동 축(86)을 따른 구조물(84)의 운동에 반응하여 변화되는 방식이 제1 센서 신호가 운동 축(86)을 따른 구조물(84)의 운동에 응답하여 변화되는 방식과 상이하도록, 제1 표적(24)이 제1 센서(22)와 상호작용하도록 구성되는 방식과 상이한 방식으로 제2 센서(26)와 상호작용하도록 구성될 수 있다. 제공된 특별한 예에서, 제1 방향으로 운동 축(86)을 따른 구조물(84)의 운동이 제1 센서(22)의 Y-축(44)을 따른 제1 표적(24)의 V-형상의 노치(60)의 폭의 확대, 및 제2 센서(26)의 Y-축(44)을 따른 제2 표적(28)의 V-형상의 노치(78)의 폭의 감소와 연관되도록, 제2 표적(28)의 V-형상의 노치(78)가 제1 표적(24)의 V-형상의 노치(60)에 반대로 배향된다.
제1 표적(24) 내의 V-형상의 노치(60)는 미리 결정된 범위 내의 X-축(46)을 따른 위치에 대한 절대 위치 센서를 제1 센서 부분(14)으로 제공한다. 유사하게, 제2 표적(28) 내의 V-형상의 노치(78)는 미리 결정된 범위 내의 X-축(46)을 따른 위치에 대한 절대 위치 센서를 제2 센서 부분(16)으로 제공한다. 또한, 만약 코일(32)에 대한 Z-축(40)을 따른 제1 및 제2 표적(24 및 28)의 운동이 존재하지 않는다면, 제1 및 제2 센서(22 및 26) 중 하나의 출력의 값이 제1 및 제2 센서(22 및 26) 중 다른 하나의 출력의 값을 기초로 결정될 수 있다(즉, 제2 센서 신호의 값이 제1 센서 신호의 값을 기초로 결정될 수 있고, 반대의 경우도 마찬가지이다).
제1 및 제2 표적(24 및 28)이 Z-축(40)을 따라서 조화된 방식으로 이동하는 상황에서, 제1 및 제2 센서 신호의 값은, 제1 및 제2 표적(24 및 28)이 코일(32)을 향해서 또는 코일(32)로부터 멀리 이동하였는지의 여부에 의존하여, (Z-축(40)을 따른 운동이 없을 때의 센서 신호의 값에 비해서) 커지거나 작아질 것이다. 그에 따라, 제1 및 제2 센서 신호의 값은 예상되는 방식(즉, Z-축(40)을 따른 운동이 없는 것처럼)으로 서로 관련되지 않을 것이고, 오히려 공통 오프셋을 포함할 것이다. 제어기(18)는, 공통 오프셋의 존재를 식별하도록 그리고 제1 및 제2 센서 신호의 값으로부터 공통 오프셋을 효과적으로 제거하여 운동 축(86)을 따른 구조물(84)의 절대 위치에 관련되는 제1 및 제2 센서 신호의 부분을 Z-축(40)을 따른 구조물의 운동과 관련되는 신호 잡음으로부터 격리시키도록, 구성될 수 있다.
예로서, 제1 및 제2 센서 신호의 값(y1, y2)이 이하의 식에 따라서 선형 방식으로 (미리 규정된 한계 이내의) 운동 축(86)을 따른 구조물(84)의 위치(x)와 관련된다고 가정하고:
y1 = m(x) - b; 및
y2 = b - m(x);
여기에서 (m)은 미리 규정된 기울기이고 (b)는 미리 규정된 상수이다. 구조물(84)이 운동 축(86)을 따라서만 이동하고 Z-축(40)을 따라서 이동하지 않는 상황에서, y1 및 y2의 값이 합계되어 영이 될 것이다(즉, y2의 값이 y1의 덧셈의 역원(additive inverse)이다). 따라서, 제어기(18)는 y1 및 y2의 값을 평균화하여 Z-축(40)을 따른 구조물(84)의 위치와 관련한 정보를 결정할 수 있다. 예를 들어, 만약 평균이 영이 아니라면, 구조물(84)이 미리 규정된 위치로부터 벗어나는 Z-축(40)을 따른 위치에 배치된 것이다. 부가적으로, 평균의 절대 값은, 구조물(84)의 위치가 미리 규정된 위치로부터 Z-축(40)을 따라서 벗어나는 크기를 나타내고, 평균의 부호(양 또는 음)는, 구조물(84)이 미리 규정된 위치에 대해서 위치되는 Z-축(40)을 따른 방향을 나타낸다.
대안적으로, 운동 축(86)을 따른 구조물(84)의 위치는, 제1 및 제2 센서 신호 중 하나의 값을 제1 및 제2 센서 신호의 값의 합계로 나누는 것(예를 들어, 제1 및 제2 센서 신호의 값의 합계로 나눈 제1 센서 신호의 값)에 의해서 결정될 수 있다. 제1 및 제2 센서 부분(14 및 16)이 상보적(complementing) 출력을 가지는 이중 센서 구성을 채용하기 때문에, 제어기(18)는: a) 제1 및 제2 센서 신호의 각각의 값을 결정할 수 있고, b) 값들의 합계를 결정할 수 있고, c) 제1 센서 신호의 값 대 값들의 합계와 동일한 제1 비율을 결정할 수 있고, d) 제2 센서 신호의 값 대 값들의 합계와 동일한 제2 비율을 결정할 수 있고, 그리고 e) 제1 및 제2 비율을 기초로 운동 축(86)을 따른 구조물(84)의 위치를 결정할 수 있다.
이러한 방식의 센서 조립체(10)의 구축은 비교적 저렴할 수 있고, 센서 조립체(10)의 영점교정(calibration) 필요성을 배제할 수 있고, 센서 조립체(10)의 포장(packaging)을 위한 비교적 적은 공간을 필요로 할 수 있으며, 전압, 온도의 변화 또는 진동의 존재와 관계없이 0.5% 보다 우수할 수 있는 정확도로 운동 축(86)을 따른 구조물(84)의 축방향 위치를 결정하게 할 수 있다.
도 2a를 참조하면, 제1 및 제2 센서(22 및 26)의 각각은, 제1 및 제2 표적(24 및 28) 각각의 코일(32)에 의해서 생성된 자기장 및 반대 자기장(56 및 72)(도 2)에 의존하는 주파수 출력을 생성하기 위해서 와전류 센서와 협력하는 RLC 게이트-발진기 회로를 포함할 수 있다.
도 3에서, 센서 조립체(10)는, 운동 축(86)을 따라서 선형 액추에이터(102)에 의해서 이동되는 클러치 포크(100)의 위치를 감지하기 위해서 채용될 수 있다. 클러치 포크(100)는 통상적인 방식으로 동기화 장치(104)에 결합되고, 공통 회전을 위해서 피동 기어(110)에 커플링되는 복수의 제1 커플링 치형부(108)와 맞물림 결합되도록 그리고 맞물림 결합을 벗어나도록 동기화 장치(104)를 병진운동시키기 위해서 채용된다. 당업자는, 구조물(84)이 클러치 포크(100)라는 것 그리고 제1 및 제2 표적(24 및 28)(도 1)이 클러치 포크(100)에 직접적으로 장착된다는 것(또는 대안적으로 내부에 형성된다는 것)을 이해할 수 있을 것이다. 선형 액추에이터(102)는, 운동 축(86)을 따라 클러치 포크(100)를 병진운동시키도록 구성된 임의 유형의 장치일 수 있다. 제공된 특별한 예에서, 선형 액추에이터(102)는 전자기적으로 작동되는 솔레노이드이나, 당업자는, 유체-동력형 실린더를 포함하는, 다른 유형의 선형 모터가 대안으로서 채용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
V-형상의 노치(60, 78)(도 1)를 포함하는 것으로 제1 및 제2 표적(24 및 28)(도 1)을 설명하였지만, 당업자는, 이러한 개시 내용으로부터, 제1 및 제2 표적(24 및 28)(도 1)이 그와 달리 성형될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 제1 및 제2 표적이 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이 테이퍼형(tapered) 표면으로서 성형될 수 있다. 도 4에서, 제1 및 제2 표적(24a 및 28a)은, 비율척도형 방식으로 Z-축(40)을 따라 테이퍼링되는, 감지 표면(120 및 122)을 각각 포함한다. 도 5 내지 도 7에서, 제1 및 제2 표적(24b 및 28b)은, 방사상 방향으로 테이퍼링되는 절두-원추형 감지 표면(120b 및 122b)을 각각 포함한다. 이러한 후자 방식의 구성은, 구조물(84)이 또한 운동 축(86) 주위로 회전할 수 있고 제1 및 제2 표적(24b 및 28b)이 함께 회전 및 축방향 운동하도록 구조물(84)에 커플링되는 상황에서 특히 적합할 수 있을 것이다.
도 8에서, 센서 조립체(10b)는, 클러치 포크(100) 및 선형 액추에이터(102)에 의해서 이동되는 회전 동기화 장치(104)의 위치를 감지하기 위해서 채용될 수 있다. 클러치 포크(100)는 통상적인 방식으로 동기화 장치(104)에 결합되고, 공통 회전을 위해서 피동 기어(110)에 커플링되는 복수의 제1 커플링 치형부(108)와 결합되도록 그리고 결합을 벗어나도록 동기화 장치(104)를 병진운동시키기 위해서 채용된다. 당업자는, 구조물(84)이 동기화 장치(104)라는 것 그리고 제1 및 제2 표적(24b 및 28b)이 제1 커플링 치형부(108)에 대향하는 측부(side) 상에 배치되는 동기화 장치(104)의 일부 상에 형성된다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
실시예에 관한 전술한 설명은 예시 및 설명의 목적으로 제공된 것이다. 그러한 설명은 포괄적이거나 개시 내용을 제한하는 것으로 의도된 것이 아니다. 특별한 실시예의 개별적인 요소 또는 특징은 일반적으로 특별한 실시예로 제한되지 않으나, 적용 가능한 경우에, 상호 교환 가능하고, 그리고 구체적으로 도시되거나 설명되지 않았더라도, 선택된 실시예 내에서 이용될 수 있다. 그러한 것이 다양한 방식으로 변경될 수 있을 것이다. 그러한 변경은 개시 내용으로부터 벗어나는 것으로 간주되지 않으며, 그러한 수정 모두는 개시 내용의 범위 내에 포함되는 것으로 의도된 것이다.

Claims (31)

  1. 운동 축을 따라서 병진운동되는 구조물의 위치를 결정하기 위한 센서 조립체이며:
    센서 장착부;
    센서 장착부에 커플링되는 제1 센서로서, 제1 센서는 서로 직교적인 제1 X-축, 제1 Y-축 및 제1 Z-축을 가지는 와전류 센서이고, 제1 X-축은 운동 축에 평행하게 배치되고, 제1 센서는 제1 Y-축을 따라서 제1 코일을 가로지르는 제1 치수가 제1 X-축을 따라서 제1 코일을 가로지르는 제2 치수보다 크도록 제1 Z-축 주위로 나선형으로 권선된 제1 코일을 포함하는, 제1 센서;
    센서 장착부에 커플링되는 제2 센서로서, 제2 센서는 서로 직교적인 제2 X-축, 제2 Y-축 및 제2 Z-축을 가지는 와전류 센서이고, 제2 X-축은 제1 X-축에 평행하고, 제2 Z-축은 제1 Z-축에 평행하며, 제2 센서는 제2 Y-축을 따라서 제2 코일을 가로지르는 제3 치수가 제2 X-축을 따라서 제2 코일을 가로지르는 제4 치수보다 크도록 제2 Z-축 주위로 나선형으로 권선된 제2 코일을 포함하는, 제2 센서;
    구조물에 커플링되어 구조물과 함께 운동하는 제1 표적으로서, 제1 표적은 전기 전도성 재료로 형성되고, 제1 센서와 상호작용하여, 제1 X-축을 따른 제1 표적의 운동에 비례하여 변화되는 제1 크기를 가지는 제1 센서 신호를 생성하도록 구성되는, 제1 표적; 및
    구조물에 커플링되어 구조물과 함께 운동하는 제2 표적으로서, 제2 표적은 전기 전도성 재료로 형성되고, 제2 센서와 상호작용하여, 제2 X-축을 따른 제2 표적의 운동에 비례하여 변화되는 제2 크기를 가지는 제2 센서 신호를 생성하도록 구성되는, 제2 표적을 포함하고;
    구조물이 운동 축을 따라서 이동될 때 제1 및 제2 Z-축에 평행한 방향으로 미리 규정된 한계 내에서 제1 및 제2 표적의 조화된 운동이 제1 및 제2 센서 신호로부터 검출가능하도록, 제1 및 제2 표적이 구성되고,
    구조물이 운동 축을 따라서 이동될 때 제1 및 제2 Y-축에 평행한 제2 방향으로 제2 미리 규정된 한계 내에서 제1 및 제2 표적의 조화된 운동이 제1 및 제2 센서 신호로부터 검출가능하도록, 제1 및 제2 표적이 또한 구성되고,
    센서 조립체는 Y-축에 평행한 방향으로 제1 및 제2 센서 표적이 장착되는 구조물과 제1 및 제2 센서와의 사이에 미리 규정된 한계 내에서 상대적인 이동을 감지하지 않는, 센서 조립체.
  2. 제1항에 있어서,
    제어기를 더 포함하는, 센서 조립체.
  3. 제2항에 있어서,
    제1 코일은 제1 X-축 및 제1 Y-축을 포함하는 평면에서 보아 타원 단면 형상을 갖는, 센서 조립체.
  4. 제3항에 있어서,
    제2 코일은 제2 X-축 및 제2 Y-축을 포함하는 평면에서 보아 타원 단면 형상을 갖는, 센서 조립체.
  5. 제1항에 있어서,
    제1 표적이 개구를 형성하는, 센서 조립체.
  6. 제5항에 있어서,
    개구가 대체로 V-형상인, 센서 조립체.
  7. 제1항에 있어서,
    제1 표적이, 제1 Z-축을 따라서 기울어진 램프(ramp)를 형성하는, 센서 조립체.
  8. 제1항에 있어서,
    제1 표적이, 제1 X-축 주위로 동심적으로 배치된 절두-원추형 표면을 형성하는, 센서 조립체.
  9. 제1항에 있어서,
    제1 표적이 제1 X-축 주위로 회전할 수 있는, 센서 조립체.
  10. 운동 축을 따라서 병진운동되는 구조물의 위치를 결정하기 위한 센서 조립체이며:
    센서 장착부;
    센서 장착부에 커플링되는 제1 센서로서, 제1 센서는 서로 직교적인 제1 X-축, 제1 Y-축 및 제1 Z-축을 가지는 와전류 센서이고, 제1 X-축은 운동 축에 평행하게 배치되고, 제1 센서는 제1 Y-축을 따라서 제1 코일을 가로지르는 제1 치수가 제1 X-축을 따라서 제1 코일을 가로지르는 제2 치수보다 크도록 제1 Z-축 주위로 나선형으로 권선된 제1 코일을 포함하는, 제1 센서;
    센서 장착부에 커플링되는 제2 센서로서, 제2 센서는 서로 직교적인 제2 X-축, 제2 Y-축 및 제2 Z-축을 가지는 와전류 센서이고, 제2 X-축은 제1 X-축에 평행하고, 제2 Z-축이 제1 Z-축에 평행하며, 제2 센서는 제2 Y-축을 따라서 제2 코일을 가로지르는 제3 치수가 제2 X-축을 따라서 제2 코일을 가로지르는 제4 치수보다 크도록 제2 Z-축 주위로 나선형으로 권선된 제2 코일을 포함하는, 제2 센서;
    구조물에 커플링되어 구조물과 함께 운동하는 제1 표적으로서, 제1 표적은 전기 전도성 재료로 형성되고, 제1 센서와 상호작용하여, 제1 X-축을 따른 제1 표적의 운동에 따라 제1의 미리 결정된 방식으로 변화되는 제1 크기를 가지는 제1 센서 신호를 생성하도록 구성되는, 제1 표적;
    구조물에 커플링되어 구조물과 함께 운동하는 제2 표적으로서, 제2 표적은 전기 전도성 재료로 형성되고, 제2 센서와 상호작용하여, 제2 X-축을 따른 제2 표적의 운동에 따라 제2의 미리 결정된 방식으로 변화되는 제2 크기를 가지는 제2 센서 신호를 생성하도록 구성되는, 제2 표적; 및
    제1 및 제2 센서 신호를 수신하고 그에 반응하여 운동 축을 따른 구조물의 위치를 결정하는 제어기를 포함하고;
    구조물이 운동 축을 따라서 이동될 때 제1 미리 규정된 한계 내에서 제1 및 제2 Z-축에 평행한 제1 방향으로 제1 및 제2 표적의 조화된 운동이 제어기에 의해서 결정되는 구조물의 위치에 영향을 미치지 않도록, 제1 및 제2 표적이 구성되고,
    구조물이 운동 축을 따라서 이동될 때 제1 및 제2 Y-축에 평행한 제2 방향으로 제2 미리 규정된 한계 내에서 제1 및 제2 표적의 조화된 운동이 제어기에 의해서 결정되는 구조물의 위치에 영향을 미치지 않음으로써, 센서 조립체가 구조물과 제1 및 제2 센서 표적과의 사이에 Y-축에 평행한 방향으로 제2 미리 규정된 한계 내에서 상대적인 이동을 감지하지 않도록, 제1 및 제2 표적이 구성되는, 센서 조립체.
  11. 제10항에 있어서,
    제1 코일은 제1 X-축 및 제1 Y-축을 포함하는 평면에서 보아 타원 단면 형상을 갖는, 센서 조립체.
  12. 제11항에 있어서,
    제2 코일은 제2 X-축 및 제2 Y-축을 포함하는 평면에서 보아 타원 단면 형상을 갖는, 센서 조립체.
  13. 제10항에 있어서,
    제1 표적이 개구를 형성하는, 센서 조립체.
  14. 제13항에 있어서,
    개구가 대체로 V-형상인, 센서 조립체.
  15. 제10항에 있어서,
    제1 표적이, 제1 Z-축을 따라서 기울어진 램프를 형성하는, 센서 조립체.
  16. 제10항에 있어서,
    제1 표적이, 제1 X-축 주위로 동심적으로 배치된 절두-원추형 표면을 형성하는, 센서 조립체.
  17. 제10항에 있어서,
    제1 표적이 제1 X-축 주위로 회전할 수 있는, 센서 조립체.
  18. 제1 축을 따라서 이동가능한 구조물을 제공하는 단계;
    구조물에 인접한 센서 조립체를 지지하는 단계로서, 센서 조립체는 제1 및 제2 와전류 센서와, 제1 및 제2 표적을 포함하고, 제1 및 제2 표적은 제1 축을 따라서 구조물과 함께 이동하도록 구조물에 장착되고, 제1 및 제2 와전류 센서는 제1 및 제2 표적에 인접하지만 이격되게 위치되는, 구조물에 인접한 센서 조립체를 지지하는 단계;
    제1 와전류 센서로 제1 표적을 감지하고 그에 반응하여 제1 센서 신호를 생성하는 단계;
    제2 와전류 센서로 제2 표적을 감지하고 그에 반응하여 제2 센서 신호를 생성하는 단계;
    제1 및 제2 센서 신호에 기초하여 제1 축을 따른 구조물의 위치를 결정하는 단계로서, 상기 결정된 위치에서는 제1 축에 수직인 제2 축과, 제1 및 제2 축 모두에 수직인 제3 축을 따른 제1 및 제2 표적의 조화된 운동을 감지하지 않는, 제1 및 제2 센서 신호에 기초하여 제1 축을 따른 구조물의 위치를 결정하는 단계를 포함하는, 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    제1 및 제2 와전류 센서는 와이어의 코일을 각각 포함하고, 각각의 코일은 제1 및 제2 축에 평행한 평면에서 보아 타원 단면 형상을 갖는, 방법.
  20. 제18항에 있어서,
    제1 및 제2 표적 중 적어도 하나가 개구를 형성하는, 방법.
  21. 제20항에 있어서,
    개구가 V-형상인, 방법.
  22. 제18항에 있어서,
    제1 및 제2 표적 중 적어도 하나가 제3 축에 평행한 제4 축을 따라서 기울어진 램프를 형성하는, 방법.
  23. 제18항에 있어서,
    제1 및 제2 표적 중 적어도 하나가 절두-원추형 표면을 형성하는, 방법.
  24. 제18항에 있어서,
    제1 및 제2 표적 중 적어도 하나가 제1 축에 평행한 제4 축 주위로 회전할 수 있는, 방법.
  25. 제1 축을 따라서 이동가능한 구조물을 제공하는 단계;
    구조물에 인접한 센서 조립체를 지지하는 단계로서, 센서 조립체는 제1 및 제2 와전류 센서와, 제1 및 제2 표적을 포함하고, 제1 및 제2 표적은 제1 축을 따라서 이동하도록 구조물에 장착되고, 제1 및 제2 와전류 센서는 제1 및 제2 표적에 인접하지만 이격되게 위치되는, 구조물에 인접한 센서 조립체를 지지하는 단계;
    제1 와전류 센서로 제1 표적을 감지하고 그에 반응하여 제1 센서 신호를 생성하는 단계;
    제2 와전류 센서로 제2 표적을 감지하고 그에 반응하여 제2 센서 신호를 생성하는 단계;
    제1 및 제2 센서 신호를 이용하여, 제1 축에 수직인 제2 축과, 제1 및 제2 축 모두에 수직인 제3 축을 따른 제1 및 제2 표적의 조화된 운동을 감지하지 않는 방식으로 제1 축을 따른 구조물의 위치를 결정하는 단계를 포함하는, 방법.
  26. 제25항에 있어서,
    제1 및 제2 와전류 센서는 와이어의 코일을 각각 포함하고, 각각의 코일은 제1 및 제2 축에 평행한 평면에서 보아 타원 단면 형상을 갖는, 방법.
  27. 제25항에 있어서,
    제1 및 제2 표적 중 적어도 하나가 개구를 형성하는, 방법.
  28. 제27항에 있어서,
    개구가 V-형상인, 방법.
  29. 제25항에 있어서,
    제1 및 제2 표적 중 적어도 하나가 제3 축에 평행한 제4 축을 따라서 기울어진 램프를 형성하는, 방법.
  30. 제25항에 있어서,
    제1 및 제2 표적 중 적어도 하나가 절두-원추형 표면을 형성하는, 방법.
  31. 제25항에 있어서,
    제1 및 제2 표적 중 적어도 하나가 제1 축에 평행한 제4 축 주위로 회전할 수 있는, 방법.


KR1020150055180A 2014-04-23 2015-04-20 센서 조립체 KR102131052B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/259,640 2014-04-23
US14/259,640 US9347764B2 (en) 2014-04-23 2014-04-23 Sensor assembly configured to sense target movement in first direction and insensitive to target movement in second and third directions orthogonal to first direction

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150122590A KR20150122590A (ko) 2015-11-02
KR102131052B1 true KR102131052B1 (ko) 2020-07-07

Family

ID=54261888

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150055180A KR102131052B1 (ko) 2014-04-23 2015-04-20 센서 조립체

Country Status (5)

Country Link
US (2) US9347764B2 (ko)
KR (1) KR102131052B1 (ko)
CN (2) CN105004356B (ko)
BR (1) BR102015008966B1 (ko)
DE (1) DE102015105930A1 (ko)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9663343B2 (en) * 2014-05-19 2017-05-30 Haier Us Appliance Solutions, Inc. Systems and methods for receptacle auto fill using inductive sensing
US11226211B2 (en) * 2014-09-08 2022-01-18 Texas Instruments Incorporated Inductive position detection
EP3262380B1 (en) 2015-02-27 2019-04-10 Azoteq (Pty) Limited Inductance sensing
CN109952449A (zh) * 2016-10-17 2019-06-28 Trw汽车美国有限责任公司 制动器闸片磨损传感器
US10330742B2 (en) * 2016-12-23 2019-06-25 Biosense Webster (Israel) Ltd. Triple axis sensor on a single layer printed circuit
US20180238644A1 (en) 2017-02-13 2018-08-23 Evapco, Inc. Multi-cross sectional fluid path condenser
CN107228617B (zh) * 2017-04-25 2018-04-10 清华大学 钛/铝合金t型接头背面筋板位置的检测方法和检测装置
DE112018003575T5 (de) * 2017-07-13 2020-10-29 Azoteq (Pty) Ltd. Benutzeroberflächengeräte mit induktiver Abtastung
DE102018217934A1 (de) * 2018-10-19 2020-04-23 Dr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschränkter Haftung Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Positionsmesseinrichtung
CN110375630B (zh) * 2019-07-23 2021-02-09 杭州申昊科技股份有限公司 电涡流传感器的调节结构
CN111141207B (zh) * 2019-11-12 2021-06-22 西安邮电大学 一种三维电涡流传感器测头
CN113137150A (zh) * 2021-04-27 2021-07-20 上海创米科技有限公司 推拉结构及其开合程度的检测方法
DE102022101622A1 (de) 2022-01-25 2023-07-27 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Wirbelstrom-Positionssensoranordnung und Fahrzeuglenkung
DE102022110510B4 (de) 2022-04-29 2024-03-14 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Linearwegsensor, Hinterachslenkung und Verfahren zur absoluten Wegmessung

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070229064A1 (en) * 2006-04-03 2007-10-04 Scientific Drilling International Motion transducer for motion related to the direction of the axis of an eddy-current displacement sensor
US20080054887A1 (en) * 2004-04-09 2008-03-06 Lee Joong K Inductive position sensor
JP2009539075A (ja) * 2006-05-29 2009-11-12 エヌシーティーエンジニアリング ゲーエムベーハー 対象物の位置を測定するセンサ装置、および方法
US20100164666A1 (en) * 2008-12-29 2010-07-01 Shih-Jung Yang Structure and manufacturing process of a coil

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IE55855B1 (en) * 1984-10-19 1991-01-30 Kollmorgen Ireland Ltd Position and speed sensors
US4810964A (en) * 1986-01-22 1989-03-07 Kamyr Ab Method and apparatus for measuring the distance between a measuring transducer and an opposing surface, particularly with paper pulp equipment
US5315244A (en) * 1989-11-17 1994-05-24 Visi-Trak Corporation Magnetic sensor with laminated field concentrating flux bar
AU9107391A (en) * 1990-12-28 1992-08-17 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Magnetic sensor and structure of its mounting
US5291782A (en) 1993-02-16 1994-03-08 Taylor Howard E Eddy current position sensor
US5608317A (en) * 1994-06-21 1997-03-04 Hughes Electronics Complementary linear magnetic position sensor
EP1141654B1 (de) * 1998-12-18 2005-03-02 Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG Betreiben eines wirbelstromsensors
DE20011223U1 (de) 2000-06-26 2000-10-05 Kindler Ulrich Vorrichtung zur berührungslosen Wegmessung, insbesondere zur Stellungs- und Bewegungserfassung
TW541425B (en) 2000-10-20 2003-07-11 Ebara Corp Frequency measuring device, polishing device using the same and eddy current sensor
US7205166B2 (en) 2002-06-28 2007-04-17 Lam Research Corporation Method and apparatus of arrayed, clustered or coupled eddy current sensor configuration for measuring conductive film properties
US7173417B1 (en) 2003-03-28 2007-02-06 Nanometrics Incorporated Eddy current sensor with concentric confocal distance sensor
DE102005051536A1 (de) 2005-04-27 2006-11-09 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg Berührungslos arbeitender Wirbelstromsensor und Verfahren zur Detektion von Messobjekten
US7449878B2 (en) * 2005-06-27 2008-11-11 Ksr Technologies Co. Linear and rotational inductive position sensor
US7295004B2 (en) * 2006-03-03 2007-11-13 Gary Kroner Eddy current probe and method of manufacture thereof
CN100437034C (zh) * 2006-07-06 2008-11-26 西安工业大学 差动电感式二维位移测量传感器
US7719263B2 (en) * 2006-11-22 2010-05-18 Zf Friedrichshafen Ag Inductive position measuring device or goniometer
US7906960B2 (en) * 2007-09-21 2011-03-15 Ksr Technologies Co. Inductive position sensor
FR2937126B1 (fr) * 2008-10-10 2010-12-31 Continental Automotive France Dispositif de mesure par effet hall
WO2010056769A2 (en) 2008-11-14 2010-05-20 Applied Materials, Inc. Eddy current sensor with enhanced edge resolution
DE102010034482A1 (de) * 2010-08-10 2012-04-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Sensoranordnung und Verfahren zum Bestimmen einer räumlichen Position eines ersten Teils relativ zu einem zweiten Teil
EP2729763A1 (de) * 2011-07-08 2014-05-14 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH Korrektur und/oder vermeidung von fehlern bei der messung von koordinaten eines werkstücks
EP2549237B1 (en) * 2011-07-17 2019-06-26 Bourns, Inc. High-resolution non-contacting multi-turn sensing systems and methods

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080054887A1 (en) * 2004-04-09 2008-03-06 Lee Joong K Inductive position sensor
US20070229064A1 (en) * 2006-04-03 2007-10-04 Scientific Drilling International Motion transducer for motion related to the direction of the axis of an eddy-current displacement sensor
US7576532B2 (en) * 2006-04-03 2009-08-18 Scientific Drilling International Motion transducer for motion related to the direction of the axis of an eddy-current displacement sensor
JP2009539075A (ja) * 2006-05-29 2009-11-12 エヌシーティーエンジニアリング ゲーエムベーハー 対象物の位置を測定するセンサ装置、および方法
US20100164666A1 (en) * 2008-12-29 2010-07-01 Shih-Jung Yang Structure and manufacturing process of a coil

Also Published As

Publication number Publication date
BR102015008966A2 (pt) 2015-12-08
KR20150122590A (ko) 2015-11-02
CN105004356A (zh) 2015-10-28
CN108413993A (zh) 2018-08-17
US9733059B2 (en) 2017-08-15
US9347764B2 (en) 2016-05-24
BR102015008966B1 (pt) 2022-11-29
US20150308810A1 (en) 2015-10-29
DE102015105930A1 (de) 2015-10-29
CN105004356B (zh) 2018-03-16
US20160252339A1 (en) 2016-09-01
CN108413993B (zh) 2021-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102131052B1 (ko) 센서 조립체
US9853525B2 (en) Magnetic bearing assembly and arrangement of position sensors for a magnetic bearing assembly
JP6301970B2 (ja) 磁気リニアまたはロータリエンコーダ
CN103673855B (zh) 鲁棒位置测量方法
US20180274591A1 (en) Bearing comprising an angular movement sensor
JP2012137487A (ja) 長手方向に可動であり、且つ回転可能である軸の軸方向位置及び回転位置を検出するセンサ装置
CN106796120A (zh) 用于无接触地检测旋转构件的转动角度的传感器组件
CN106796117B (zh) 用于确定转动元件的至少一个转动特性的传感器
EP3273095B1 (en) Displacement detection device
JP6534682B2 (ja) 運動する構成部材のストロークを検出するためのセンサ装置
KR102557609B1 (ko) 센싱 장치 및 로터 및 센서의 이상 여부 판단 방법
US20090121708A1 (en) Sensor Assembly For Detecting Positioning Of A Moveable Component
US10389195B2 (en) Annular magnets for rotor position estimation
US20110121823A1 (en) Meshing encoder gear and sensor assembly
JP6559629B2 (ja) 外部浮遊磁場を補償する装置または磁場勾配が磁場センサに及ぼす影響を補償する装置
US20120262160A1 (en) Asymmetric variable reluctance (vr) target for multi-dimensional monitoring
CN108351194B (zh) 位移检测装置以及无级变速装置
US20150241249A1 (en) Sensor system for detecting position of target member
EP3096150B1 (en) Speed sensing system
US20040085061A1 (en) Geartooth sensor with angled faced magnet
JP4692723B2 (ja) 非接触型変位センサ装置
EP3469316B1 (en) Position sensor

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant