KR102124782B1 - A Diagnostic System for Cooling Fan Using Wind Power - Google Patents

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KR102124782B1 KR1020180123385A KR20180123385A KR102124782B1 KR 102124782 B1 KR102124782 B1 KR 102124782B1 KR 1020180123385 A KR1020180123385 A KR 1020180123385A KR 20180123385 A KR20180123385 A KR 20180123385A KR 102124782 B1 KR102124782 B1 KR 102124782B1
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 현장에 설치된 냉각팬의 풍력을 이용하여 냉각팬이 정상 동작하는지를 진단할 수 있도록 하는 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템에 관한 것으로, 본 발명은 현장에 설치된 냉각팬(102)으로부터 일정간격을 두고 설치되어 무선통신을 통해 관리서버(104)로부터 명령신호를 수신받고, 수신된 명령신호에 따라 냉각팬(102)을 진단한 후, 진단한 진단정보를 무선통신을 통해 관리서버(104)로 보내는 냉각팬진단수단(106)과; 상기 냉각팬진단수단(106)과 무선통신을 통해 연결되어 원격지에서 냉각팬진단 앱 소프트웨어를 이용해 냉각팬진단수단(106)으로 명령신호를 보내고, 진단정보를 수신받아 화면에 디스플레이시키는 관리서버(104)를 포함한다.The present invention relates to a cooling fan diagnosis system using a wind power generation unit to diagnose whether the cooling fan is operating normally by using the wind power of the cooling fan installed at the site of a semiconductor manufacturing facility. ) Is installed at regular intervals, receives a command signal from the management server 104 through wireless communication, diagnoses the cooling fan 102 according to the received command signal, and manages the diagnosed diagnostic information through wireless communication. A cooling fan diagnosis means 106 sent to the server 104; Management server 104 that is connected to the cooling fan diagnosis means 106 via wireless communication and sends a command signal to the cooling fan diagnosis means 106 using a cooling fan diagnosis app software at a remote location, receives diagnostic information, and displays it on the screen. ).

Figure R1020180123385
Figure R1020180123385

Description

풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템{A Diagnostic System for Cooling Fan Using Wind Power}A diagnostic system for cooling fan using wind power

본 발명은 반도체 제조 설비의 현장에 설치된 냉각팬 진단시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 설비의 현장에 설치된 냉각팬의 풍력을 이용하여 냉각팬이 정상 동작하는지를 진단할 수 있도록 하는 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a cooling fan diagnosis system installed at a site of a semiconductor manufacturing facility, and more specifically, a wind power generation unit for diagnosing whether a cooling fan is operating normally using wind power of a cooling fan installed at a site of a semiconductor manufacturing facility. It relates to a used cooling fan diagnostic system.

일반적으로, 반도체 제조공정에는 미디엄 클런트 설비 또는 하이 클런트 설비를 이용하여 이온빔으로 웨이퍼의 표면에 패턴을 형성하는 임플란트 공정이 포함되어 있다.In general, a semiconductor manufacturing process includes an implant process for forming a pattern on the surface of a wafer with an ion beam using a medium clan facility or a high clan facility.

상기 미디엄 클런트 설비 또는 하이 클런트 설비는 도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼를 로딩하는 로드포트(10)와, 일반 상용전원으로 작동되는 일반전압 구역(20)과, 고전압의 전원에 의해 작동되는 고전압 구역(30) 등으로 구성된다.As shown in FIG. 1, the medium clan facility or the high clan facility is operated by a load port 10 for loading a wafer, a general voltage zone 20 operated by a general commercial power source, and a high voltage power source. It consists of a high voltage zone 30, and the like.

상기 고전압 구역(30)에는 가스가 저장되는 가스박스(31)가 구비되어 고압의 전기를 이용하여 상기 가스박스(31)에 저장된 가스를 임플란트 공정에 사용되는 이온가스로 변환시키는 기능을 한다.The high voltage zone 30 is provided with a gas box 31 in which gas is stored, and functions to convert gas stored in the gas box 31 into ion gas used in an implant process by using high pressure electricity.

상기 고전압 구역(30)은 매우 높은 고압의 전기를 이용하므로, 외부와 전기적으로 연결될 경우 아크가 발생될 수 있다. 따라서, 고전압 구역(30)에는 고전압의 전기를 발생시키는 발전기(32) 및 컨트롤러(33)가 내장되어, 고전압 구역(30)이 외부와 전기적으로 완전히 차단된 상태에서 내부의 발전기(32)에서 출력된 전기만으로 작동되도록 구성된다.Since the high voltage zone 30 uses very high voltage and high voltage, an arc may be generated when electrically connected to the outside. Therefore, the generator 32 and the controller 33 for generating electricity of high voltage are built in the high voltage zone 30, and output from the internal generator 32 while the high voltage zone 30 is completely electrically and externally blocked. It is configured to operate with only electricity.

또한, 고전압 구역(30)의 각 부분에는 상기 발전기(32)에서 출력되는 전기에 의해 작동되는 냉각팬(34)이 다수개 설치되어 고전압 구역(30)을 냉각시킬 수 있도록 구성된다.In addition, a plurality of cooling fans 34 operated by electricity output from the generator 32 are installed in each part of the high voltage zone 30 to be configured to cool the high voltage zone 30.

그러나, 이러한 고전압 구역(30)은 외부와 전기적으로 완전히 차단되어 있으므로, 냉각팬(34)의 작동에 이상이 발생되거나 고전압 구역(30)의 내부 온도가 비정상적으로 상승되더라도, 이를 실시간으로 모니터링할 수 있는 방법이 없었다.However, since the high voltage zone 30 is completely blocked from the outside, it can be monitored in real time even if an abnormality occurs in the operation of the cooling fan 34 or the internal temperature of the high voltage zone 30 rises abnormally. There was no way.

따라서, 냉각팬(34)의 작동 이상 발생 시 또는 고전압 구역(30) 내부의 온도 상승 시 이를 실시간으로 감지하지 못하고, 고전압 구역(30)에 작동 이상이나 화재가 발생되어야만 후속 조치를 취하게 되는 문제점이 발생되었다.Therefore, when an abnormality in the operation of the cooling fan 34 occurs or when the temperature inside the high-voltage zone 30 does not increase in real time, an abnormality or fire in the high-voltage zone 30 causes a problem to be followed up. This was happening.

이러한 문제점은 전술한 미디엄 클런트 설비 또는 하이 클런트 설비에 국한되지 않고, 외부와의 전기적 연결이 완전히 차단된 상태로 독자적으로 작동되는 고전압 구역을 갖는 반도체 제조설비에는 모두 동일하게 발생되었다.These problems are not limited to the above-described medium clan facilities or high clan facilities, and all of the same occurs in a semiconductor manufacturing facility having a high voltage zone that is independently operated in a state where electrical connection with the outside is completely blocked.

따라서, 고전압 구역(30)이 외부와 전기적으로 완전히 차단된 상태를 유지하면서도 냉각팬(34)의 작동 상태나 고전압 구역(30)의 내부 온도를 모니터링할 수 있는 새로운 방안이 필요하게 되었다.Accordingly, there is a need for a new method to monitor the operating state of the cooling fan 34 or the internal temperature of the high voltage zone 30 while maintaining the state where the high voltage zone 30 is completely electrically blocked from the outside.

한편, 이러한 반도체 제조설비는 상기 로드포트(10)가 아이들링 상태로 전환되면, 별도의 외부 조작 없이 상기 일반전압 구역(20)과 고전압 구역(30)이 미리 정해진 시퀀스에 따라 자동적으로 아이들링 상태로 전환되도록 구성된다.Meanwhile, in the semiconductor manufacturing facility, when the load port 10 is switched to the idling state, the general voltage zone 20 and the high voltage zone 30 are automatically switched to the idling state according to a predetermined sequence without additional external manipulation. It is configured as possible.

상기한 문제점을 해결 하기 위해, 2011년 09월 30일자 출원번호 제20-2011-0008797호(고안의 명칭 : 반도체 제조설비의 모니터링 장치)로 특허청에 출원 된 바 있으며, 이의 청구범위는 " 발전기(32)와 냉각팬(34) 및 컨트롤러(33)가 구비되며 외부와 전기적으로 완전히 차단된 상태로 독자적으로 작동되는 고전압 구역(30)을 갖는 반도체 제조설비에 있어서, 상기 고전압 구역(30)에 설치되어 상기 발전기(32)에서 출력되는 전기를 전원으로 하여 작동되며 상기 냉각팬(34)의 작동 상태 또는 고전압 구역(30)의 내부 온도를 감지하는 감지센서(41,42)와, 상기 고전압 구역(30)의 외부에 설치되어 일반 상용전원에 의해 작동되며 광케이블(50)을 통해 상기 감지센서(41,42)와 데이터통신 가능하게 연결되는 디스플레이모듈(60)을 포함하며, 상기 감지센서(41,42)는, 상기 냉각팬(34)의 전방에 구비되어 냉각팬(34)의 회전 속도를 측정하는 RPM센서(41)와, 상기 고전압 구역(30)의 내부에 설치되어 고전압 구역(30) 내부의 각 부분의 온도를 측정하는 온도센서(42)를 포함하고, 상기 반도체 제조설비는 웨이퍼를 로딩하는 로드포트(10)를 포함하고, 상기 로드포트(10)에 연결되며 상기 디스플레이모듈(60)에 수신된 감지센서(41,42)의 신호를 감시하는 제어유닛(70)을 더 포함하며, 상기 제어유닛(70)은 냉각팬(34)의 RPM이 설정된 기준값 이하로 낮아지거나 고전압 구역(30)의 내부 온도가 설정된 기준값 이상으로 상승되면 상기 로드포트(10)를 아이들링 상태로 전환시키는 제어신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 모니터링 장치." 이다.In order to solve the above-mentioned problems, it has been filed with the Korean Intellectual Property Office with the application number 20-2011-0008797 filed on September 30, 2011 (the designation name: a monitoring device for semiconductor manufacturing equipment), and the claims of which are "generator ( 32) and a cooling fan (34) and a controller (33) are provided, the semiconductor manufacturing facility having a high voltage zone (30) that is independently operated in a completely blocked state from the outside, installed in the high voltage zone (30) It is operated by using the electricity output from the generator 32 as a power source and the sensing sensors 41 and 42 for detecting the operating state of the cooling fan 34 or the internal temperature of the high voltage zone 30, and the high voltage zone ( 30) is installed on the outside and operated by a general commercial power source, and includes a display module 60 that is connected to the sensing sensors 41 and 42 through a fiber optic cable to enable data communication, and the sensing sensor 41, 42) is provided in front of the cooling fan 34, the RPM sensor 41 for measuring the rotational speed of the cooling fan 34, and is installed inside the high voltage zone 30 and inside the high voltage zone 30 It includes a temperature sensor 42 for measuring the temperature of each part of the, the semiconductor manufacturing equipment includes a load port 10 for loading a wafer, connected to the load port 10 and the display module 60 Further comprising a control unit (70) for monitoring the signals of the detection sensors (41, 42) received in the control unit (70), the RPM of the cooling fan (34) is lowered below a set reference value or a high voltage zone (30) ) When the internal temperature of the temperature rises above the set reference value, the monitoring device of the semiconductor manufacturing facility is characterized in that it outputs a control signal for converting the load port 10 into an idling state." to be.

그러나, 상기 종래의 반도체 제조설비의 모니터링 장치는 냉각팬의 바람을 이용하여 냉각팬이 정상 동작하는지는 개시하지 않고 있다.However, the monitoring device of the conventional semiconductor manufacturing facility does not disclose whether the cooling fan operates normally by using the wind of the cooling fan.

본 발명은 상기한 종래 기술에 따른 제반 문제점을 해결하기 위하여 개량발명된 것으로서, 그 목적은 반도체 제조 설비의 현장에 설치된 냉각팬의 바람을 이용하여 냉각팬이 정상 동작하는지를 진단할 수 있도록 하는 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템을 제공하는 데 있다.The present invention has been improved to solve all the problems according to the prior art described above, the purpose of which is to use the wind of the cooling fan installed on the site of the semiconductor manufacturing facility to diagnose whether the cooling fan operates normally. It is to provide a cooling fan diagnostic system using a wealth.

그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the object of the present invention is not limited to the above-mentioned object, other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템은 현장에 설치된 냉각팬(102)으로부터 일정간격을 두고 설치되어 무선통신을 통해 관리서버(104)로부터 명령신호를 수신받고, 수신된 명령신호에 따라 냉각팬(102)을 진단한 후, 진단한 진단정보를 무선통신을 통해 관리서버(104)로 보내는 냉각팬진단수단(106); 및The cooling fan diagnosis system using the wind power generation unit according to the present invention for achieving the above object is installed at regular intervals from the cooling fan 102 installed in the field to receive a command signal from the management server 104 through wireless communication, A cooling fan diagnosis means 106 for diagnosing the cooling fan 102 according to the received command signal and sending the diagnostic information to the management server 104 through wireless communication; And

상기 냉각팬진단수단(106)과 무선통신을 통해 연결되어 원격지에서 냉각팬진단 앱 소프트웨어를 이용해 냉각팬진단수단(106)으로 명령신호를 보내고, 진단정보를 수신받아 화면에 디스플레이시키는 관리서버(104);를 포함한다.Management server 104 that is connected to the cooling fan diagnosis means 106 via wireless communication and sends a command signal to the cooling fan diagnosis means 106 using a cooling fan diagnosis app software at a remote location, receives diagnostic information, and displays it on the screen. );.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템은 반도체 제조 설비의 현장에 설치된 냉각팬의 바람을 이용함으로써, 냉각팬이 정상 동작하는지를 정확하게 진단할 수 있는 효과가 있다.As described above, the cooling fan diagnosis system using the wind power generation unit according to the present invention has the effect of accurately diagnosing whether the cooling fan is operating normally by using the wind of the cooling fan installed at the site of the semiconductor manufacturing facility.

도 1은 종래의 반도체 제조 설비를 도시한 구성도
도 2는 본 발명에 따른 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템의 개략적인 구성도
도 3은 도 2의 냉각팬진단수단의 개략적인 구성도
도 4는 도 3의 풍력발전부를 개략적으로 도시한 도면1 is a block diagram showing a conventional semiconductor manufacturing equipment
Figure 2 is a schematic configuration diagram of a cooling fan diagnostic system using a wind power generation unit according to the present invention
Figure 3 is a schematic configuration diagram of the cooling fan diagnostic means of Figure 2
Figure 4 is a schematic view of the wind power generation unit of Figure 3

이하, 본 발명에 따른 풍력발전수단을 이용한 냉각팬 진단시스템의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the cooling fan diagnostic system using the wind power generation means according to the present invention.

하기에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.In the following description of the present invention, when it is determined that a detailed description of related known functions or configurations may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description will be omitted.

도 2는 본 발명에 따른 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템의 개략적인 구성도이고, 도 3은 도 2의 냉각팬진단수단의 개략적인 구성도이다.2 is a schematic configuration diagram of a cooling fan diagnosis system using a wind power generation unit according to the present invention, and FIG. 3 is a schematic configuration diagram of the cooling fan diagnosis means of FIG. 2.

도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템(100)은 현장에 설치된 냉각팬(102)으로부터 일정간격을 두고 설치되어 무선통신을 통해 관리서버(104)로부터 명령신호를 수신받고, 수신된 명령신호에 따라 냉각팬(102)을 진단한 후, 진단한 진단정보를 무선통신을 통해 관리서버(104)로 보내는 냉각팬진단수단(106); 및2 to 3, the cooling fan diagnosis system 100 using the wind power generation unit according to the present invention is installed at a predetermined interval from the cooling fan 102 installed in the field, and the management server 104 through wireless communication A cooling fan diagnosis means 106 that receives a command signal from and diagnoses the cooling fan 102 according to the received command signal, and then sends the diagnostic information to the management server 104 through wireless communication; And

상기 냉각팬진단수단(106)과 무선통신을 통해 연결되어 원격지에서 냉각팬진단 앱 소프트웨어를 이용해 냉각팬진단수단(106)으로 명령신호를 보내고, 진단정보를 수신받아 화면에 디스플레이시키는 관리서버(104);를 포함한다.Management server 104 that is connected to the cooling fan diagnosis means 106 via wireless communication and sends a command signal to the cooling fan diagnosis means 106 using a cooling fan diagnosis app software at a remote location, receives diagnostic information, and displays it on the screen. );.

상기 냉각팬진단수단(106)은 냉각팬(102)으로부터 일정간격을 두고 마주보게 내벽의 일측에 설치되고 상기 냉각팬(102)으로부터 송풍되는 풍력에 의해 발전하는 블레이드와 발전기를 구비하고 있는 풍력발전부(108);The cooling fan diagnosis means 106 is installed on one side of the inner wall facing a predetermined interval from the cooling fan 102 and wind power generation provided with a blade and a generator that is generated by the wind blown from the cooling fan 102 Part 108;

상기 풍력발전부(108)의 발전기에 전기적으로 연결되어 풍력발전부(108)의 블레이드의 회전시 전기를 충전하는 충전부(110);A charging unit 110 electrically connected to the generator of the wind power generator 108 to charge electricity when the blade of the wind power generator 108 rotates;

상기 충전부(110)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 설치되고 충전부(110)에 전기적으로 연결되어 충전부(110)의 전기를 받아 기 설정된 프로그램에 따라 전기적으로 연결되는 부품을 제어하는 제어부(112);The control unit 112 is installed on one side of the inner wall at a predetermined interval from the charging unit 110 and is electrically connected to the charging unit 110 to receive electricity from the charging unit 110 and control parts that are electrically connected according to a preset program. ;

상기 제어부(112)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 설치되고 제어부(112)에 전기적으로 연결되어 제어부(112)의 제어신호에 따라 풍력발전부(108)의 블레이드의 회전수를 체크하는 회전수체크부(114);The number of revolutions installed at one side of the inner wall at a predetermined interval from the control unit 112 and electrically connected to the control unit 112 to check the number of revolutions of the blade of the wind power generator 108 according to the control signal of the control unit 112. Check section 114;

상기 회전수체크부(114)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 설치되고 제어부(112)에 전기적으로 연결되어 제어부(112)의 제어신호에 따라 현장 내부의 온도를 감지하는 온도센싱부(116);The temperature sensing unit 116 installed at one side of the inner wall at a predetermined interval from the rotation speed check unit 114 and electrically connected to the control unit 112 to sense the temperature inside the site according to the control signal from the control unit 112 ;

상기 온도센싱부(116)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 설치되고 제어부(112)에 전기적으로 연결되어 제어부(112)의 제어신호에 따라 현장 내부의 공기중 이산화탄소를 감지하는 이산화탄소센싱부(118); 및A carbon dioxide sensing unit 118 installed at one side of the inner wall at a predetermined interval from the temperature sensing unit 116 and electrically connected to the control unit 112 to detect carbon dioxide in the air in the field according to a control signal from the control unit 112 ); And

상기 이산화탄소센싱부(118)로부터 일정간격을 두고 설치되어 무선통신을 통해 관리서버(104)로부터 명령신호를 수신받고, 수신된 명령신호를 제어부(112)로 보내고 진단한 진단정보를 무선통신을 통해 관리서버(104)로 보내는 통신부(120);를 포함한다.It is installed at regular intervals from the carbon dioxide sensing unit 118, receives a command signal from the management server 104 through wireless communication, sends the received command signal to the control unit 112, and sends diagnostic information through wireless communication. It includes; a communication unit 120 for sending to the management server 104.

그리고, 상기 풍력발전부(108)는 도 4에 도시된 바와 같이 냉각팬(102)의 풍력에 의해 회전하는 블레이드(도시는 생략함)와; 상기 블레이드에 연결되어 블레이드의 회전에 따라 발전을 일으키는 발전기(도시는 생략함)를 포함한다.And, the wind power generator 108, as shown in Figure 4, the blade rotating by the wind of the cooling fan 102 (not shown); It includes a generator (not shown) that is connected to the blade and generates electricity according to the rotation of the blade.

상기와 같이 포함된 본 발명에 따른 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템(100)의 설치과정 및 동작을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the installation process and operation of the cooling fan diagnostic system 100 using the wind power generation unit according to the present invention included as described above are as follows.

여기서, 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템(100)의 설치과정은 설치자에 따라 얼마든지 변경될 수 있다.Here, the installation process of the cooling fan diagnostic system 100 using the wind power generation unit may be changed as many times as possible depending on the installer.

먼저, 현장에 설치된 냉각팬(102)으로부터 일정간격을 두고 무선통신을 통해 관리서버(104)로부터 명령신호를 수신받고, 수신된 명령신호에 따라 냉각팬(102)을 진단한 후, 진단한 진단정보를 무선통신을 통해 관리서버(104)로 보내는 냉각팬진단수단(106)을 설치한다.First, a command signal is received from the management server 104 through a wireless communication at a predetermined interval from the cooling fan 102 installed in the field, and the cooling fan 102 is diagnosed according to the received command signal, and then the diagnosis is diagnosed. A cooling fan diagnosis means 106 is installed to send information to the management server 104 through wireless communication.

그리고, 상기 냉각팬진단수단(106)으로부터 일정간격을 두고 원격지에 냉각팬진단수단(106)과 무선통신을 통해 연결되어 냉각팬진단 앱 소프트웨어를 이용해 냉각팬진단수단(106)으로 명령신호를 보내고, 진단정보를 수신받아 화면에 디스플레이시키는 관리서버(104)를 설치한다.Then, a predetermined distance from the cooling fan diagnosis means 106 is connected to the remote control via the cooling fan diagnosis means 106 and wireless communication to send a command signal to the cooling fan diagnosis means 106 using the cooling fan diagnosis app software , Install the management server 104 that receives diagnostic information and displays it on the screen.

상기 냉각팬진단수단(106)의 설치과정을 간단히 살펴보면, 현장에 설치된 냉각팬(102)으로부터 일정간격을 두고 마주보게 내벽의 일측에 블레이드와 발전기를 구비하고 있는 풍력발전부(108)를 설치한다.Looking briefly at the installation process of the cooling fan diagnosis means 106, a wind power generation unit 108 having a blade and a generator is installed on one side of the inner wall facing a predetermined distance from the cooling fan 102 installed in the field. .

그리고, 충전부(110)를 위치시킨 후, 상기 풍력발전부(108)의 발전기에 충전부(110)를 전기적으로 연결한다.Then, after positioning the charging unit 110, the charging unit 110 is electrically connected to the generator of the wind power generator 108.

그리고, 상기 충전부(110)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 기 설정된 프로그램에 따라 전기적으로 연결되는 부품을 제어하는 제어부(112)를 설치한 후, 상기 충전부(110)에 제어부(112)를 전기적으로 연결한다.And, after a predetermined interval from the charging unit 110, after installing a control unit 112 for controlling the parts that are electrically connected according to a predetermined program on one side of the inner wall, the charging unit 110, the control unit 112 to the electrical Connect with.

그리고, 상기 제어부(112)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 풍력발전부(108)의 블레이드의 회전수를 체크하는 회전수체크부(114)를 설치한 후, 상기 제어부(112)에 회전수체크부(114)를 전기적으로 연결한다.Then, after a predetermined interval from the control unit 112 is installed on the one side of the inner wall to check the number of revolutions of the blades of the wind power generation unit 108, after installing the rotation number check unit 114, the number of revolutions to the control unit 112 The check part 114 is electrically connected.

그리고, 상기 회전수체크부(114)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 온도센싱부(116)를 설치한 후, 상기 제어부(112)에 온도센싱부(116)를 전기적으로 연결한다.Then, after the temperature sensing unit 116 is installed on one side of the inner wall at regular intervals from the rotation speed checking unit 114, the temperature sensing unit 116 is electrically connected to the control unit 112.

그리고, 상기 온도센싱부(116)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 이산화탄소센싱부(118)를 설치한 후, 상기 제어부(112)에 이산화탄소센싱부(118)를 전기적으로 연결한다.In addition, the carbon dioxide sensing unit 118 is electrically connected to the control unit 112 after the carbon dioxide sensing unit 118 is installed on one side of the inner wall at a predetermined interval from the temperature sensing unit 116.

그리고, 상기 이산화탄소센싱부(118)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 통신부(120)를 설치한 후, 상기 제어부(112)에 통신부(120)를 전기적으로 연결한다.Then, after the communication unit 120 is installed on one side of the inner wall at a predetermined interval from the carbon dioxide sensing unit 118, the communication unit 120 is electrically connected to the control unit 112.

상기와 같이 본 발명에 따른 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템(100)의 설치가 완료되면, 풍력발전부(108)의 블레이드는 현장에 설치된 냉각팬(102)으로부터 송풍되는 풍력에 의해 회전을 시작한다.As described above, when the installation of the cooling fan diagnosis system 100 using the wind power generation unit according to the present invention is completed, the blades of the wind power generation unit 108 start to rotate by wind blown from the cooling fan 102 installed in the field. do.

상기 블레이드의 회전에 따라 풍력발전부(108)의 발전기가 발전을 하고, 발전기의 발전에 따라 충전부(110)는 전기를 충전한다.The generator of the wind power generation unit 108 generates power according to the rotation of the blade, and the charging unit 110 charges electricity according to the power generation of the generator.

그리고, 상기 충전부(110)는 전기적으로 연결된 제어부(112)로 전기를 보낸다.Then, the charging unit 110 sends electricity to the control unit 112 that is electrically connected.

한편, 관리서버(140)는 무선통신을 통해 냉각팬진단수단(106)의 통신부(120)로 냉각팬을 진단하라는 명령신호를 보낸다.Meanwhile, the management server 140 sends a command signal to diagnose the cooling fan to the communication unit 120 of the cooling fan diagnosis means 106 through wireless communication.

그리고, 상기 통신부(120)는 냉각팬진단수단(106)의 제어부(112)로 수신된 명령신호를 보낸다.Then, the communication unit 120 sends a command signal received to the control unit 112 of the cooling fan diagnosis means 106.

그리고, 상기 제어부(112)는 통신부(120)로부터 수신된 명령신호에 따라 회전수체크부(114), 온도센싱부(116), 이산화탄소센싱부(118)로 제어신호를 보낸다.Then, the control unit 112 sends a control signal to the rotation speed check unit 114, the temperature sensing unit 116, and the carbon dioxide sensing unit 118 according to the command signal received from the communication unit 120.

상기 회전수체크부(114)는 제어부(112)의 제어신호에 따라 풍력발전부(108)의 블레이드의 회전수를 체크하고, 체크된 회전값을 제어부(112)로 보낸다.The rotation speed check unit 114 checks the rotation speed of the blade of the wind power generation unit 108 according to the control signal from the control unit 112 and sends the checked rotation value to the control unit 112.

그리고, 상기 제어부(112)는 체크된 회전값을 통신부(120)로 보낸다.Then, the control unit 112 sends the checked rotation value to the communication unit 120.

그리고, 상기 통신부(120)는 제어부(112)의 제어신호에 따라 체크된 회전값을 무선통신을 통해 관리서버(104)로 보낸다.Then, the communication unit 120 transmits the rotation value checked according to the control signal of the control unit 112 to the management server 104 through wireless communication.

상기 온도센싱부(116)는 제어부(112)의 제어신호에 따라 내부의 온도를 감지하고, 감지된 온도값을 제어부(112)로 보낸다.The temperature sensing unit 116 detects an internal temperature according to a control signal from the control unit 112 and sends the detected temperature value to the control unit 112.

그리고, 상기 제어부(112)는 감지된 온도값을 통신부(120)로 보낸다.Then, the control unit 112 sends the detected temperature value to the communication unit 120.

그리고, 상기 통신부(120)는 제어부(112)의 제어신호에 따라 감지된 온도값을 무선통신을 통해 관리서버(104)로 보낸다.Then, the communication unit 120 sends the temperature value sensed according to the control signal of the control unit 112 to the management server 104 through wireless communication.

상기 이산화탄소센싱부(118)는 제어부(112)의 제어신호에 따라 내부의 공기중 이산화탄소를 감지하고, 감지된 이산화탄소값을 제어부(112)로 보낸다.The carbon dioxide sensing unit 118 detects carbon dioxide in the air according to a control signal from the control unit 112 and sends the detected carbon dioxide value to the control unit 112.

그리고, 상기 제어부(112)는 감지된 이산화탄소값을 통신부(120)로 보낸다.Then, the control unit 112 sends the detected carbon dioxide value to the communication unit 120.

그리고, 상기 통신부(120)는 제어부(112)의 제어신호에 따라 감지된 이산화탄소값을 무선통신을 통해 관리서버(104)로 보낸다.Then, the communication unit 120 sends the carbon dioxide value detected according to the control signal of the control unit 112 to the management server 104 through wireless communication.

그리고, 상기 관리서버(104)는 체크된 회전값, 감지된 온도값, 감지된 이산화탄소값을 바탕으로 하여 기 설정된 회전값, 온도값, 이산화탄소값을 비교한다.Then, the management server 104 compares the preset rotation value, temperature value, and carbon dioxide value based on the checked rotation value, the detected temperature value, and the detected carbon dioxide value.

그리고, 상기 관리서버(104)는 비교한 결과 체크된 회전값, 감지된 온도값, 감지된 이산화탄소값이 기 설정된 회전값, 온도값, 이산화탄소값 보다 적을 경우, 경고음을 울리거나 현장에 있는 관리자의 스마트폰(도시는 생략함)으로 고장신호를 보낸다.In addition, when the checked rotation value, the detected temperature value, and the detected carbon dioxide value are less than the preset rotation value, temperature value, and carbon dioxide value as a result of comparison, the management server 104 sounds a warning sound or the administrator of the site. A fault signal is sent to a smartphone (not shown).

상기 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.The detailed description of the invention is merely exemplary of the present invention, which is used for the purpose of describing the present invention only, and is not used to limit the scope of the present invention as defined in the claims or claims. Therefore, those of ordinary skill in the art will understand that various modifications and other equivalent embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100 : 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템
102 : 냉각팬
104 : 관리서버
106 : 냉각팬진단수단
108 : 풍력발전부
110 : 충전부
112 : 제어부
114 : 회전수체크부
116 : 온도센싱부
118 : 이산화탄소센싱부
120 : 통신부100: cooling fan diagnosis system using a wind power generation unit
102: cooling fan
104: management server
106: cooling fan diagnostic means
108: wind power generation department
110: charging unit
112: control unit
114: rotation speed check unit
116: temperature sensing unit
118: CO2 sensing unit
120: communication unit

Claims (4)

현장에 설치된 냉각팬(102)으로부터 일정간격을 두고 설치되어 무선통신을 통해 관리서버(104)로부터 명령신호를 수신받고, 수신된 명령신호에 따라 냉각팬(102)을 진단한 후, 진단한 진단정보를 무선통신을 통해 관리서버(104)로 보내는 냉각팬진단수단(106); 및
상기 냉각팬진단수단(106)과 무선통신을 통해 연결되어 원격지에서 냉각팬진단 앱 소프트웨어를 이용해 냉각팬진단수단(106)으로 명령신호를 보내고, 진단정보를 수신받아 화면에 디스플레이시키는 관리서버(104);를 포함하되,
상기 냉각팬진단수단(106)은,
냉각팬(102)으로부터 일정간격을 두고 마주보게 내벽의 일측에 설치되고 상기 냉각팬(102)으로부터 송풍되는 풍력에 의해 발전하는 블레이드와 발전기를 구비하고 있는 풍력발전부(108);
상기 풍력발전부(108)의 발전기에 전기적으로 연결되어 풍력발전부(108)의 블레이드의 회전시 전기를 충전하는 충전부(110);
상기 충전부(110)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 설치되고 충전부(110)에 전기적으로 연결되어 충전부(110)의 전기를 받아 기 설정된 프로그램에 따라 전기적으로 연결되는 부품을 제어하는 제어부(112); 및
상기 제어부(112)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 설치되고 제어부(112)에 전기적으로 연결되어 제어부(112)의 제어신호에 따라 풍력발전부(108)의 블레이드의 회전수를 체크하는 회전수체크부(114);를 포함한 것을 특징으로 하는 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템.
It is installed at regular intervals from the cooling fan 102 installed in the field, receives a command signal from the management server 104 through wireless communication, diagnoses the cooling fan 102 according to the received command signal, and then diagnoses the diagnosis. Cooling fan diagnostic means 106 for sending information to the management server 104 via wireless communication; And
Management server 104 that is connected to the cooling fan diagnosis means 106 via wireless communication and sends a command signal to the cooling fan diagnosis means 106 using a cooling fan diagnosis app software at a remote location, receives diagnostic information, and displays it on the screen. );
The cooling fan diagnostic means 106,
A wind power generation unit 108 installed at one side of the inner wall facing a predetermined interval from the cooling fan 102 and having a blade and a generator that are generated by wind blown from the cooling fan 102;
A charging unit 110 electrically connected to the generator of the wind power generator 108 to charge electricity when the blade of the wind power generator 108 rotates;
The control unit 112 is installed on one side of the inner wall at a predetermined interval from the charging unit 110 and is electrically connected to the charging unit 110 to receive electricity from the charging unit 110 and control parts that are electrically connected according to a preset program. ; And
The number of revolutions installed at one side of the inner wall at a predetermined interval from the control unit 112 and electrically connected to the control unit 112 to check the number of revolutions of the blade of the wind power generator 108 according to the control signal of the control unit 112. Cooling fan diagnostic system using a wind power generation unit characterized in that it includes;
제 1 항에 있어서, 상기 냉각팬진단수단(106)은 냉각팬(102)으로부터 일정간격을 두고 마주보게 내벽의 일측에 설치되고 상기 냉각팬(102)으로부터 송풍되는 풍력에 의해 발전하는 블레이드와 발전기를 구비하고 있는 풍력발전부(108);
상기 풍력발전부(108)의 발전기에 전기적으로 연결되어 풍력발전부(108)의 블레이드의 회전시 전기를 충전하는 충전부(110);
상기 충전부(110)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 설치되고 충전부(110)에 전기적으로 연결되어 충전부(110)의 전기를 받아 기 설정된 프로그램에 따라 전기적으로 연결되는 부품을 제어하는 제어부(112);
상기 제어부(112)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 설치되고 제어부(112)에 전기적으로 연결되어 제어부(112)의 제어신호에 따라 풍력발전부(108)의 블레이드의 회전수를 체크하는 회전수체크부(114);
상기 회전수체크부(114)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 설치되고 제어부(112)에 전기적으로 연결되어 제어부(112)의 제어신호에 따라 현장 내부의 온도를 감지하는 온도센싱부(116);
상기 온도센싱부(116)로부터 일정간격을 두고 내벽의 일측에 설치되고 제어부(112)에 전기적으로 연결되어 제어부(112)의 제어신호에 따라 현장 내부의 공기중 이산화탄소를 감지하는 이산화탄소센싱부(118); 및
상기 이산화탄소센싱부(118)로부터 일정간격을 두고 설치되어 무선통신을 통해 관리서버(104)로부터 명령신호를 수신받고, 수신된 명령신호를 제어부(112)로 보내고 진단한 진단정보를 무선통신을 통해 관리서버(104)로 보내는 통신부(120);를 포함한 것을 특징으로 하는 풍력발전부를 이용한 냉각팬 진단시스템.




The method of claim 1, wherein the cooling fan diagnosis means 106 is installed on one side of the inner wall facing a predetermined distance from the cooling fan 102 and blades and generators generated by wind blown from the cooling fan 102 A wind power generator 108 having a;
A charging unit 110 electrically connected to the generator of the wind power generator 108 to charge electricity when the blade of the wind power generator 108 rotates;
The control unit 112 is installed on one side of the inner wall at a predetermined interval from the charging unit 110 and is electrically connected to the charging unit 110 to receive electricity from the charging unit 110 and control parts that are electrically connected according to a preset program. ;
The number of revolutions installed at one side of the inner wall at a predetermined interval from the control unit 112 and electrically connected to the control unit 112 to check the number of revolutions of the blade of the wind power generator 108 according to the control signal of the control unit 112. Check section 114;
The temperature sensing unit 116 installed at one side of the inner wall at a predetermined interval from the rotation speed check unit 114 and electrically connected to the control unit 112 to sense the temperature inside the site according to the control signal from the control unit 112 ;
A carbon dioxide sensing unit 118 installed at one side of the inner wall at a predetermined interval from the temperature sensing unit 116 and electrically connected to the control unit 112 to detect carbon dioxide in the air in the field according to a control signal from the control unit 112 ); And
It is installed at regular intervals from the carbon dioxide sensing unit 118, receives a command signal from the management server 104 through wireless communication, sends the received command signal to the control unit 112, and sends diagnostic information through wireless communication. Cooling fan diagnostic system using a wind power generation unit comprising: a communication unit 120 to the management server 104.




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