KR102120167B1 - Apparatus for cleaning substrate and method of installing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일실시예는 내구성을 높이고, 운용 시 과부하를 줄이며, 교체 및 유지보수가 편리한 기판세정장치 및 이의 설치방법을 제공한다. 여기서, 기판세정장치는 롤러브러시 조립체, 제1지지부, 제2지지부, 제1회전부, 제2회전부 그리고 가압부를 포함한다. 롤러브러시 조립체는 양단부가 개방되도록 중심축 방향으로 관통공이 형성되는 베이스 파이프와, 베이스 파이프의 외주면에 구비되는 브러시와, 베이스 파이프의 양단부에 각각 결합되어 관통공을 밀폐하는 인입플러그를 가진다. 제1지지부는 롤러브러시 조립체의 일단부에 이격되어 구비된다. 제2지지부는 롤러브러시 조립체의 타단부에 이격되어 구비된다. 제1회전부는 제1지지부에 결합되고, 롤러브러시 조립체 일단부의 인입플러그에 결합되어 롤러브러시 조립체와 일체로 회전한다. 제2회전부는 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그에 결합되어 롤러브러시 조립체와 일체로 회전한다. 가압부는 일단부는 제2지지부에 결합되고 타단부는 제2회전부와 결합되며, 제2회전부를 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그 방향으로 가압하여 제2회전부가 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그에 결합되도록 한다.One embodiment of the present invention provides a substrate cleaning device and an installation method thereof, which increases durability, reduces overload during operation, and is convenient for replacement and maintenance. Here, the substrate cleaning apparatus includes a roller brush assembly, a first support portion, a second support portion, a first rotation portion, a second rotation portion, and a pressing portion. The roller brush assembly has a base pipe through which a through hole is formed in a central axis direction to open both ends, a brush provided on an outer circumferential surface of the base pipe, and an inlet plug coupled to both ends of the base pipe to seal the through hole. The first support is spaced apart from one end of the roller brush assembly. The second support portion is provided spaced apart from the other end of the roller brush assembly. The first rotating portion is coupled to the first support portion, and is coupled to the inlet plug of one end of the roller brush assembly to rotate integrally with the roller brush assembly. The second rotating portion is coupled to the inlet plug of the other end of the roller brush assembly and rotates integrally with the roller brush assembly. The pressing part is coupled to the second support part, the other end is coupled to the second rotating part, and the second rotating part is pressed into the inlet plug direction of the other end of the roller brush assembly, so that the second rotating part is coupled to the inlet plug of the other end of the roller brush assembly. As much as possible.

Description

기판세정장치 및 이의 설치방법{APPARATUS FOR CLEANING SUBSTRATE AND METHOD OF INSTALLING THE SAME}Substrate cleaning device and its installation method{APPARATUS FOR CLEANING SUBSTRATE AND METHOD OF INSTALLING THE SAME}

본 발명은 기판세정장치 및 이의 설치방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 내구성을 높이고, 운용 시 과부하를 줄이며, 교체 및 유지보수가 편리한 기판세정장치 및 이의 설치방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate cleaning apparatus and a method for installing the same, more particularly, to increase durability, reduce overload during operation, and to a substrate cleaning apparatus and a method for installing the substrate, which are convenient for replacement and maintenance.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 부응하여 근래에는 LCD, PDP, ELD, VFD 등 여러 가지 평판표시장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is also increasing in various forms. In response to this, various flat panel display devices such as LCD, PDP, ELD, and VFD have been studied in recent years, and some have already been used as display devices in various equipment.

일반적으로, 표시장치용 유리 기판들은 주처리 공정에서 포토레지스트 도포액이나 감광성 폴리마이드 수지, 컬러 필터용 염색체 등으로 이루어지는 박막층이 기판의 주면에 형성되고, 이 기판들은 기판 반송장치에 로딩되어 일방향으로 이동되면서 후처리 공정 예를 들면, 약액 도포 공정, 세정 공정 및 건조 공정 등을 거치게 된다.In general, glass substrates for display devices are formed on a main surface of a substrate by a thin film layer made of a photoresist coating solution, a photosensitive polyimide resin, a color filter chromosome, etc., in a main treatment process, and these substrates are loaded in a substrate conveying device in one direction As it moves, it undergoes a post-treatment process, for example, a chemical liquid application process, a cleaning process, and a drying process.

이러한 평판표시장치의 제조 공정에 있어서, 상기 세정 공정은 기판 상의 이물질 및 입자들을 제거하기 위한 공정이며, 특히 유리 기판 상에 부착된 오염 입자는 주요 세정 대상이 된다. 이런 오염 입자를 제거하기 위한 세정 방법으로는 브러시를 이용한 세정 방법이 널리 사용되고 있다. 브러시를 이용한 세정 공정은 세정액을 기판 상에 분사하면서 브러시를 회전시켜 기판 위의 이물질을 제거하게 된다.In the manufacturing process of such a flat panel display device, the cleaning process is a process for removing foreign substances and particles on a substrate, and particularly, contaminant particles attached on a glass substrate are the main cleaning objects. As a cleaning method for removing such contaminants, a cleaning method using a brush is widely used. In the cleaning process using a brush, a foreign material on the substrate is removed by rotating the brush while spraying the cleaning liquid onto the substrate.

도 1은 종래의 기판세정장치의 브러시 조립체를 나타낸 예시도이다.1 is an exemplary view showing a brush assembly of a conventional substrate cleaning apparatus.

도 1에서 보는 바와 같이, 종래 종래의 기판세정장치의 브러시 조립체는 축(10), 브러시(20) 및 지지대(30)로 이루어진다. As shown in Figure 1, the brush assembly of the conventional conventional substrate cleaning device is composed of a shaft 10, brush 20 and the support (30).

통상적으로 브러시(20)는 축(10)에 채널 형태로 감겨서 고정되거나, 벨트형태로 감겨서 축(10)과 일체화될 수 있으며, 패널 기판의 세정용으로 사용된다.Typically, the brush 20 is fixed to the shaft 10 by being wound in the form of a channel, or wound in a belt shape to be integrated with the shaft 10, and is used for cleaning the panel substrate.

축(10)은 속이 찬 형태로 이루어지고, 축(10)의 양단부는 지지대(30)에 직접 결합된다. 한편, 패널 기판이 대형화되면서 축(10)의 지름이 커지고 길이도 길어지면서 축(10)의 중량 또한 많이 늘어나고 있다. 그런데, 종래의 축(10)은 속이 찬 형태로 이루어지기 때문에, 지름이 커지고 길이가 늘어남에 따라 중량이 커지게 된다. 따라서, 설비 운용 시에 큰 부하가 걸리게 되는 문제점이 있다.Shaft 10 is made of a solid form, both ends of the shaft 10 is directly coupled to the support (30). On the other hand, as the size of the panel substrate increases, the diameter of the shaft 10 increases and the length increases, and the weight of the shaft 10 also increases. However, since the conventional shaft 10 is formed in a solid shape, the diameter increases and the weight increases as the length increases. Therefore, there is a problem that a large load is applied when operating the equipment.

그리고, 브러시(20)를 교체할 경우에는 브러시(20)와 축(10)을 함께 모두 교체해야 한다. 따라서, 분리한 고중량의 축과 브러시를 운반해 가고, 새로운 고중량의 축과 브러시를 운반해 오기 위한 물류비용이 높아질 수 있는 문제점이 있다.And, when replacing the brush 20, both the brush 20 and the shaft 10 must be replaced together. Therefore, there is a problem in that the logistics cost for carrying the separated heavy weight shaft and brush and the new heavy weight shaft and brush can be increased.

또한, 고중량의 축과 브러시를 운반하는 과정이 필요하기 때문에 교체 작업에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.In addition, there is a problem in that it takes a lot of time for the replacement operation because the process of carrying a heavy shaft and a brush is required.

대한민국 공개특허공보 제2010-0059415호(2010.06.04. 공개)Republic of Korea Patent Publication No. 2010-0059415 (2010.06.04. public)

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 내구성을 높이고, 운용 시 과부하를 줄이며, 교체 및 유지보수가 편리한 기판세정장치 및 이의 설치방법을 제공하는 것이다.In order to solve the above problems, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a substrate cleaning apparatus and an installation method thereof, which increases durability, reduces overload during operation, and is convenient for replacement and maintenance.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description. There will be.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 양단부가 개방되도록 중심축 방향으로 관통공이 형성되는 베이스 파이프와, 상기 베이스 파이프의 외주면에 구비되는 브러시와, 상기 베이스 파이프의 양단부에 각각 결합되어 상기 관통공을 밀폐하는 인입플러그를 가지는 롤러브러시 조립체; 상기 롤러브러시 조립체의 일단부에 이격되어 구비되는 제1지지부; 상기 롤러브러시 조립체의 타단부에 이격되어 구비되는 제2지지부; 상기 제1지지부에 결합되고, 상기 롤러브러시 조립체 일단부의 인입플러그에 결합되어 상기 롤러브러시 조립체와 일체로 회전하는 제1회전부; 상기 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그에 결합되어 상기 롤러브러시 조립체와 일체로 회전하는 제2회전부; 그리고 일단부는 상기 제2지지부에 결합되고 타단부는 상기 제2회전부와 결합되며, 상기 제2회전부를 상기 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그 방향으로 가압하여 상기 제2회전부가 상기 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그에 결합되도록 하는 가압부를 포함하는 기판세정장치를 제공한다.In order to achieve the above technical problem, one embodiment of the present invention is a base pipe having a through hole formed in a central axis direction to open both ends, a brush provided on an outer circumferential surface of the base pipe, and coupled to both ends of the base pipe, respectively A roller brush assembly having an inlet plug to seal the through hole; A first support part spaced apart from one end of the roller brush assembly; A second support part spaced apart from the other end of the roller brush assembly; A first rotating part coupled to the first support part and coupled to an inlet plug of one end of the roller brush assembly to rotate integrally with the roller brush assembly; A second rotating part coupled to the inlet plug of the other end of the roller brush assembly and rotating integrally with the roller brush assembly; And one end is coupled to the second support portion and the other end is coupled to the second rotating portion, the second rotating portion by pressing the second rotating portion in the direction of the inlet plug of the other end of the roller brush assembly, the second rotating portion is the other end of the roller brush assembly It provides a substrate cleaning apparatus including a pressing portion to be coupled to the inlet plug.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 인입플러그는 상기 베이스 파이프의 일단부에 결합되고 중심에 형성되는 다각형상의 제1키홈과 상기 제1키홈의 중심에 형성되는 콘 형상의 제1얼라인홈을 가지는 제1인입플러그와, 상기 베이스 파이프의 타단부에 결합되고 중심에 형성되는 다각형상의 제2키홈과 상기 제2키홈의 중심에 형성되는 콘 형상의 제2얼라인홈을 가지는 제2인입플러그를 가질 수 있다.In an embodiment of the present invention, the lead-in plug is coupled to one end of the base pipe and has a polygonal first key groove formed in the center and a cone-shaped first alignment groove formed in the center of the first key groove. It has a first lead-in plug and a second lead-in plug having a second polygonal key groove formed at the center and formed in a center of the second key groove and a cone-shaped second alignment groove formed at the center of the other end of the base pipe. Can be.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1회전부는 상기 제1지지부에 회전 가능하게 결합되는 제1축과, 상기 제1축의 일단부에 상기 제1키홈에 대응되도록 형성되고 상기 제1키홈에 결합되어 상기 롤러브러시 조립체와 회전력을 전달하는 제1키와, 상기 제1키에 상기 제1얼라인홈에 대응되도록 돌출 형성되고 상기 제1얼라인홈에 결합되어 상기 제1회전부와 상기 롤러브러시 조립체의 회전중심축을 일치시키는 제1얼라인돌기를 가질 수 있다.In an embodiment of the present invention, the first rotating part is formed to correspond to the first key groove at one end of the first shaft and the first shaft rotatably coupled to the first support portion, and coupled to the first key groove The first key transmitting the roller brush assembly and the rotational force, and protrudingly formed to correspond to the first alignment groove in the first key and coupled to the first alignment groove, the first rotating part and the roller brush assembly It may have a first alignment projection to match the center of rotation of the.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제2회전부는 일단부에 축방향으로 형성되며 내주면에는 제1나사산이 형성되는 삽입홈을 가지는 제2축과, 상기 제2축의 타단부에 상기 제2키홈에 대응되도록 형성되고 상기 제2키홈에 결합되어 상기 롤러브러시 조립체와 회전력을 전달하는 제2키와, 상기 제2키에 상기 제2얼라인홈에 대응되도록 돌출 형성되고 상기 제2얼라인홈에 결합되어 상기 제2회전부와 상기 롤러브러시 조립체의 회전중심축을 일치시키는 제2얼라인돌기를 가질 수 있다.In an embodiment of the present invention, the second rotary part is formed in one end in an axial direction and an inner circumferential surface has a second shaft having an insertion groove in which a first thread is formed, and the second key groove in the other end of the second shaft. It is formed so as to correspond and is coupled to the second key groove, the second key transmitting the roller brush assembly and the rotational force, and the second key protrudingly formed to correspond to the second alignment groove and coupled to the second alignment groove It can have a second alignment projection to match the rotation center axis of the second rotating portion and the roller brush assembly.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 가압부는 일단부가 상기 제2지지부에 회전 가능하게 결합되는 가압로드와, 상기 가압로드의 타단부에 상기 제1나사산과 나사 결합되도록 형성되는 제2나사산을 가지고, 상기 제2나사산은 상기 가압부가 회전하면 상기 제2회전부의 제2키 및 상기 제2얼라인돌기가 각각 상기 제2키홈 및 제2얼라인홈에 결합된 상태가 유지되도록, 상기 가압부의 회전방향의 반대방향으로 형성될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the pressing portion has a pressing rod rotatably coupled to one end of the second support portion, and a second screw thread formed to be screwed with the first screw thread to the other end of the pressing rod, In the second screw thread, when the pressing portion rotates, the rotational direction of the pressing portion is maintained such that the second key and the second alignment protrusion of the second rotating portion are coupled to the second key groove and the second alignment groove, respectively. It can be formed in the opposite direction.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 가압로드의 외주면을 감싸도록 구비되고 일단부는 상기 가압로드에 상기 가압로드의 지름보다 큰 지름을 가지도록 형성되는 걸림턱에 밀착되고 타단부는 상기 제2축에 밀착되어 상기 제2회전부가 상기 제2지지부 방향으로 이동되지 않도록 구속하는 클램프부를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, it is provided to surround the outer circumferential surface of the pressure rod, one end is in close contact with the locking jaw formed to have a diameter larger than the diameter of the pressure rod to the pressure rod, the other end is on the second axis It may further include a clamp portion that is in close contact with the second rotating portion so as not to move in the direction of the second support portion.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 클램프부는 상기 가압로드의 외주면 일부를 감싸도록 형성되고, 양단부에 제1결합홀이 관통 형성되는 제1클램프링과, 상기 가압로드의 외주면 나머지를 감싸도록 형성되고, 양단부에 상기 제1결합홀에 대응되는 제2결합홀이 관통 형성되는 제2클램프링과, 상기 제1결합홀 및 상기 제2결합홀에 결합되어 상기 제1클램프링 및 상기 제2클램프링을 결합시키는 결합부재를 가질 수 있다.In an embodiment of the present invention, the clamp portion is formed to surround a portion of the outer circumferential surface of the pressing rod, and a first clamping ring having first coupling holes formed at both ends and a rest of the outer circumferential surface of the pressing rod. , A second clamping ring through which a second coupling hole corresponding to the first coupling hole is formed at both ends, and the first clamping ring and the second clamping ring coupled to the first coupling hole and the second coupling hole It may have a coupling member for coupling.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 롤러브러시 조립체의 회전 시에 상기 제1회전부에 의해 가해지는 제1수직하중과, 상기 제2회전부, 상기 가압부 및 상기 클램프부에 의해 가해지는 제2수직하중이 같아지도록, 상기 제1회전부에 구비되는 밸런스 웨이트를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, when the roller brush assembly is rotated, a first vertical load applied by the first rotating unit, and a second vertical load applied by the second rotating unit, the pressing unit, and the clamp unit. To be the same, it may further include a balance weight provided on the first rotating portion.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 양단부가 개방되도록 중심축 방향으로 관통공이 형성되는 베이스 파이프와, 상기 베이스 파이프의 외주면에 구비되는 브러시와, 상기 베이스 프레임의 양단부에 각각 결합되어 상기 관통공을 밀폐하는 인입플러그를 가지는 롤러브러시 조립체를 마련하는 롤러브러시 조립체 마련단계; 상기 롤러브러시 조립체의 일단부에 이격되어 구비되는 제1지지부에 제1회전부를 결합하는 제1결합단계; 상기 롤러브러시 조립체와 일체로 회전하도록 상기 제1회전부에 상기 롤러브러시 조립체 일단부의 인입플러그를 결합하는 제2결합단계; 상기 롤러브러시 조립체의 타단부에 이격되어 구비되는 제2지지부에 가압부의 일단부를 결합하고, 상기 가압부의 타단부에는 제2회전부를 결합하는 제3결합단계; 그리고 상기 제2회전부가 상기 가압부에 결합된 상태에서 상기 제2회전부를 상기 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그 방향으로 이동시켜 상기 제2회전부가 상기 롤러브러시 조립체와 일체로 회전하도록 상기 제2회전부를 상기 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그에 결합하는 제4결합단계를 포함하는 기판세정장치의 설치방법을 제공한다.In order to achieve the above technical problem, one embodiment of the present invention is a base pipe having a through hole formed in a central axis direction to open both ends, a brush provided on an outer circumferential surface of the base pipe, and coupled to both ends of the base frame, respectively A roller brush assembly preparing step of providing a roller brush assembly having an inlet plug to seal the through hole; A first coupling step of coupling a first rotation part to a first support part spaced apart from one end of the roller brush assembly; A second coupling step of coupling the inlet plug of one end of the roller brush assembly to the first rotating portion to rotate integrally with the roller brush assembly; A third coupling step of coupling one end of the pressing portion to the second support portion spaced apart from the other end of the roller brush assembly, and coupling the second rotating portion to the other end of the roller brush assembly; And in the state where the second rotating portion is coupled to the pressing portion, the second rotating portion so as to rotate the second rotating portion integrally with the roller brush assembly by moving the second rotating portion in the direction of the inlet plug of the other end of the roller brush assembly. It provides a method of installing a substrate cleaning apparatus comprising a fourth coupling step of coupling to the inlet plug of the other end of the roller brush assembly.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제4결합단계 이후에, 일단부는 상기 가압부에 형성되는 걸림턱에 밀착되고, 타단부는 상기 제2회전부의 제2축에 밀착되도록 상기 가압부의 외주면에 클램프부를 결합하여 상기 제2회전부가 상기 제2지지부 방향으로 이동되지 않도록 구속하는 구속결합단계를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, after the fourth coupling step, one end portion is in close contact with the locking jaw formed in the pressing portion, and the other end is clamped to the outer circumferential surface of the pressing portion to be in close contact with the second axis of the second rotating portion It may further include a constraining coupling step of combining the portions so that the second rotating portion is not moved in the direction of the second support portion.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 롤러브러시 조립체 마련단계는 세정액으로부터 상기 베이스 파이프를 보호하도록 상기 베이스 파이프의 외주면을 덮는 보호층을 마련하는 단계를 가질 수 있다.In an embodiment of the present invention, the step of preparing the roller brush assembly may have a step of providing a protective layer covering the outer peripheral surface of the base pipe to protect the base pipe from cleaning liquid.

본 발명의 실시예에 따르면, 베이스 파이프의 내측에 관통공이 형성됨에 따라, 베이스 파이프의 중량은 크게 절감될 수 있기 때문에, 롤러브러시 조립체의 중량을 줄여 운용 시에 걸리는 부하를 줄일 수 있다. 또한, 롤러브러시 조립체가 저중량으로 형성되기 때문에, 이송과정에서의 물류비용도 절감될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, as the through hole is formed inside the base pipe, the weight of the base pipe can be greatly reduced, thereby reducing the weight of the roller brush assembly to reduce the load on operation. In addition, since the roller brush assembly is formed with a low weight, logistics costs in the transportation process can also be reduced.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 브러시를 교체할 경우, 클램프부를 제거하고, 제2회전부를 회전시켜 제2인입플러그에서 분리되도록 하는 간단한 조작을 통해 저중량의 롤러브러시 조립체를 용이하게 탈거하여 교체할 수 있기 때문에, 교체 작업 시간이 단축될 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, when replacing the brush, by removing the clamp, and rotating the second rotating portion to be separated from the second draw plug easily remove and replace the roller brush assembly of low weight Because it can, the replacement work time can be shortened.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 베이스 파이프의 외주면을 덮도록 보호층이 마련되어 세정액으로부터 베이스 파이프를 보호하여 롤러브러시 조립체의 내구성이 확보될 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, a protective layer is provided to cover the outer circumferential surface of the base pipe to protect the base pipe from the cleaning liquid, thereby ensuring durability of the roller brush assembly.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and include all effects that can be deduced from the configuration of the invention described in the detailed description or claims of the invention.

도 1은 종래의 기판세정장치의 브러시 조립체를 나타낸 예시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치를 나타낸 사시도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치를 나타낸 분해사시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치를 나타낸 조립단면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치를 나타낸 분해단면도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치의 클램프부를 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치의 제2회전부 및 클램프부의 사용예를 나타낸 단면예시도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치의 설치방법을 나타낸 흐름도이다.1 is an exemplary view showing a brush assembly of a conventional substrate cleaning apparatus.
2 is a perspective view showing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 and 4 is an exploded perspective view showing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is an assembly cross-sectional view showing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 is an exploded cross-sectional view showing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view showing a clamp portion of a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is an exemplary cross-sectional view showing an example of use of the second rotating part and the clamp part of the substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
9 is a flowchart illustrating a method of installing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be implemented in various different forms, and thus is not limited to the embodiments described herein. In addition, in order to clearly describe the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and like reference numerals are assigned to similar parts throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결(접속, 접촉, 결합)”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 “간접적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is “connected (connected, contacted, coupled)” with another part, it is not only “directly connected”, but also “indirectly connected” with another member in between. It also includes the case where it is. Also, when a part “includes” a certain component, this means that other components may be further provided, not excluding other components, unless otherwise stated.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used herein are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this specification, the terms “include” or “have” are intended to indicate the presence of a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, one or more other features. It should be understood that the existence or addition possibilities of fields or numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치를 나타낸 사시도이고, 도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치를 나타낸 분해사시도인데, 도 3은 제1회전부를 중심으로 나타낸 것이고, 도 4는 제2회전부 및 가압부를 중심으로 나타낸 것이다. 그리고 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치를 나타낸 조립단면도이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치를 나타낸 분해단면도이다.Figure 2 is a perspective view showing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, Figures 3 and 4 is an exploded perspective view showing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a first rotation center 4, and the second rotation part and the pressing part are mainly shown. And Figure 5 is an assembly cross-sectional view showing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is an exploded cross-sectional view showing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 6에서 보는 바와 같이, 기판세정장치는 롤러브러시 조립체(100), 제1지지부(200), 제2지지부(300), 제1회전부(400), 제2회전부(500) 그리고 가압부(600)를 포함할 수 있다.2 to 6, the substrate cleaning apparatus includes a roller brush assembly 100, a first support part 200, a second support part 300, a first rotation part 400, a second rotation part 500 and pressing It may include a portion 600.

롤러브러시 조립체(100)는 베이스 파이프(110), 브러시(120) 및 인입플러그를 가질 수 있다.The roller brush assembly 100 may have a base pipe 110, a brush 120, and an inlet plug.

베이스 파이프(110)에는 양단부가 개방되도록 중심축 방향으로 관통공(111)이 형성될 수 있다. 베이스 파이프(110)는 스테인리스 등의 금속소재, 플라스틱 소재, CFRP 소재 등 중 적어도 어느 하나의 소재로 이루어질 수 있다. 베이스 파이프(110)의 내측에 관통공(111)이 형성됨에 따라, 베이스 파이프(110)의 중량은 크게 절감될 수 있다.Through-holes 111 may be formed in the base pipe 110 in the central axis direction so that both ends are opened. The base pipe 110 may be made of at least one of a metal material such as stainless steel, a plastic material, and a CFRP material. As the through hole 111 is formed inside the base pipe 110, the weight of the base pipe 110 can be greatly reduced.

브러시(120)는 베이스 파이프(110)의 외주면에 구비될 수 있다. 브러시(120)는 베이스 파이프(110)에 채널 형태로 감겨서 고정되거나, 벨트형태 등의 다양한 방법으로 감겨서 고정될 수 있다.The brush 120 may be provided on the outer peripheral surface of the base pipe 110. The brush 120 may be fixed to the base pipe 110 by winding it in a channel form, or may be fixed by being wound in various ways such as a belt form.

인입플러그는 제1인입플러그(130) 및 제2인입플러그(140)를 가질 수 있다. 인입플러그는 금속소재, 플라스틱 소재, CFRP 소재 등 중 적어도 어느 하나의 소재로 이루어질 수 있다.The lead-in plug may have a first lead-in plug 130 and a second lead-in plug 140. The lead-in plug may be made of at least one of metal materials, plastic materials, CFRP materials, and the like.

제1인입플러그(130)는 베이스 파이프(110)의 일단부에 결합될 수 있다.The first inlet plug 130 may be coupled to one end of the base pipe 110.

그리고, 제1인입플러그(130)는 제1삽입부(131) 및 제1마개부(132), 제1키홈(133) 및 제1얼라인홈(134)을 가질 수 있다.In addition, the first insertion plug 130 may have a first insertion portion 131 and a first stopper portion 132, a first key groove 133 and a first alignment groove 134.

제1삽입부(131)는 외주면이 베이스 파이프(110)의 내주면에 대응되는 지름으로 형성될 수 있으며, 제1마개부(132)는 외주면이 베이스 파이프(110)의 외주면에 대응되는 지름으로 형성될 수 있다.The first insertion portion 131 may have an outer circumferential surface with a diameter corresponding to the inner circumferential surface of the base pipe 110, and the first stopper 132 may have an outer circumferential surface with a diameter corresponding to the outer circumferential surface of the base pipe 110. Can be.

베이스 파이프(110)의 일단부에는 원주방향을 따라 일정한 간격으로 제1체결홀(112)이 형성될 수 있으며, 제1마개부(132)에는 원주방향을 따라 제1체결홀(112)에 대응되도록 제3체결홀(135)이 형성될 수 있다.The first fastening hole 112 may be formed at a regular interval along the circumferential direction at one end of the base pipe 110, and the first stopper 132 may correspond to the first fastening hole 112 along the circumferential direction. The third fastening hole 135 may be formed as much as possible.

그리고, 제1체결부재(137)가 제3체결홀(135)을 통해 제1체결홀(112)에 결합될 수 있으며, 이를 통해, 제1인입플러그(130)는 베이스 파이프(110)의 일단부에 견고하게 결합되어 베이스 파이프(110)의 일단부를 밀폐할 수 있다. And, the first fastening member 137 may be coupled to the first fastening hole 112 through the third fastening hole 135, through which, the first lead-in plug 130 is one end of the base pipe 110 It can be tightly coupled to the part to seal one end of the base pipe 110.

한편, 제1인입플러그(130)가 베이스 파이프(110)의 일단부에 결합되는 방법은 전술한 방법으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 다른 방법으로 제1삽입부(131)의 외주면 및 베이스 파이프(110)의 내주면 사이에는 접착제가 개재될 수 있으며, 이를 통해, 제1인입플러그(130)가 베이스 파이프(110)의 일단부에 견고하게 결합될 수도 있다.Meanwhile, a method in which the first lead-in plug 130 is coupled to one end of the base pipe 110 is not limited to the aforementioned method. For example, an adhesive may be interposed between the outer circumferential surface of the first insertion portion 131 and the inner circumferential surface of the base pipe 110, and through this, the first inlet plug 130 is one end of the base pipe 110. It can also be firmly bound to wealth.

제1키홈(133)은 제1마개부(132)의 중심과 동일한 중심을 가지도록 형성될 수 있으며, 다각형상으로 형성될 수 있다.The first key groove 133 may be formed to have the same center as the center of the first stopper 132, and may be formed in a polygonal shape.

그리고, 제1얼라인홈(134)은 제1키홈(133)의 중심과 동일한 중심을 가지도록 형성될 수 있으며, 콘 형상으로 형성될 수 있다. 제1얼라인홈(134)은 제1키홈(133)의 바닥면에서 더 함몰되도록 형성될 수 있다.In addition, the first alignment groove 134 may be formed to have the same center as the center of the first key groove 133, and may be formed in a cone shape. The first alignment groove 134 may be formed to be further recessed at the bottom surface of the first key groove 133.

제2인입플러그(140)는 베이스 파이프(110)의 타단부에 결합될 수 있다.The second inlet plug 140 may be coupled to the other end of the base pipe 110.

그리고, 제2인입플러그(140)는 제2삽입부(141) 및 제2마개부(142), 제2키홈(143) 및 제2얼라인홈(144)을 가질 수 있다.In addition, the second insertion plug 140 may have a second insertion portion 141, a second stopper portion 142, a second key groove 143, and a second alignment groove 144.

제2삽입부(141)는 외주면이 베이스 파이프(110)의 내주면에 대응되는 지름으로 형성될 수 있으며, 제2마개부(142)는 외주면이 베이스 파이프(110)의 외주면에 대응되는 지름으로 형성될 수 있다.The second insertion portion 141 may have an outer circumferential surface with a diameter corresponding to the inner circumferential surface of the base pipe 110, and the second stopper 142 may have an outer circumferential surface with a diameter corresponding to the outer circumferential surface of the base pipe 110. Can be.

베이스 파이프(110)의 타단부에는 원주방향을 따라 일정한 간격으로 제2체결홀(113)이 형성될 수 있으며, 제2마개부(142)에는 원주방향을 따라 제2체결홀(113)에 대응되도록 제4체결홀(145)이 형성될 수 있다.The second fastening hole 113 may be formed at regular intervals along the circumferential direction at the other end of the base pipe 110, and the second stopper 142 may correspond to the second fastening hole 113 along the circumferential direction. The fourth fastening hole 145 may be formed as much as possible.

그리고, 제2체결부재(147)가 제4체결홀(145)을 통해 제2체결홀(113)에 결합될 수 있으며, 이를 통해, 제2인입플러그(140)는 베이스 파이프(110)의 타단부에 견고하게 결합되어 베이스 파이프(110)의 타단부를 밀폐할 수 있다. And, the second fastening member 147 may be coupled to the second fastening hole 113 through the fourth fastening hole 145, through which, the second lead-in plug 140 is the other of the base pipe 110 It can be tightly coupled to the end to seal the other end of the base pipe 110.

한편, 제2인입플러그(140)가 베이스 파이프(110)의 타단부에 결합되는 방법은 전술한 방법으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 다른 방법으로 제2삽입부(141)의 외주면 및 베이스 파이프(110)의 내주면 사이에는 접착제가 개재될 수 있으며, 이를 통해, 제2인입플러그(140)가 베이스 파이프(110)의 타단부에 견고하게 결합될 수도 있다.Meanwhile, the method in which the second lead-in plug 140 is coupled to the other end of the base pipe 110 is not limited to the above-described method. For example, an adhesive may be interposed between the outer circumferential surface of the second inserting portion 141 and the inner circumferential surface of the base pipe 110, and through this, the second lead-in plug 140 may be struck out of the base pipe 110. It may be firmly coupled to the end.

제2키홈(143)은 제2마개부(142)의 중심과 동일한 중심을 가지도록 형성될 수 있으며, 다각형상으로 형성될 수 있다.The second key groove 143 may be formed to have the same center as the center of the second stopper 142, and may be formed in a polygonal shape.

그리고, 제2얼라인홈(144)은 제2키홈(143)의 중심과 동일한 중심을 가지도록 형성될 수 있으며, 콘 형상으로 형성될 수 있다. 제2얼라인홈(144)은 제2키홈(143)의 바닥면에서 더 함몰되도록 형성될 수 있다.In addition, the second alignment groove 144 may be formed to have the same center as the center of the second key groove 143, and may be formed in a cone shape. The second alignment groove 144 may be formed to be further recessed at the bottom surface of the second key groove 143.

전체적으로 제2인입플러그(140)는 제1인입플러그(130)에 대응되도록 형성될 수 있다.In general, the second insertion plug 140 may be formed to correspond to the first insertion plug 130.

더하여, 롤러브러시 조립체(100)는 보호층(150)을 더 가질 수 있다.In addition, the roller brush assembly 100 may further have a protective layer 150.

보호층(150)은 베이스 파이프(110)의 외주면을 덮도록 마련될 수 있으며, 세정액으로부터 베이스 파이프(110)를 보호할 수 있다. 보호층(150)이 더 마련되는 경우, 브러시(120)는 보호층(150)의 외주면에 마련될 수 있다.The protective layer 150 may be provided to cover the outer peripheral surface of the base pipe 110 and may protect the base pipe 110 from cleaning liquid. When the protective layer 150 is further provided, the brush 120 may be provided on the outer circumferential surface of the protective layer 150.

통상적으로 세정액은 세정 화학액일 수 있는데, 보호층(150)은 내화학성이 강한 폴리올레핀 계열의 소재로 이루어질 수 있다. 이를 통해, 롤러브러시 조립체(100)의 내구성이 증대될 수 있다.Typically, the cleaning solution may be a cleaning chemical, and the protective layer 150 may be made of a polyolefin-based material having strong chemical resistance. Through this, durability of the roller brush assembly 100 may be increased.

또한, 보호층(150)은 수축튜브 형태로 이루어질 수 있다. 수축 전의 보호층(150)은 베이스 파이프(110)의 외측지름보다 큰 내측지름을 가지도록 형성될 수 있으며, 따라서 보호층(150)의 내측에는 베이스 파이프(110)가 용이하게 삽입될 수 있다. 그리고, 내측에 베이스 파이프(110)가 위치된 상태에서 보호층(150)이 수축함으로써, 보호층(150)은 베이스 파이프(110)의 외주면을 덮도록 마련될 수 있다. 보호층(150)은 예를 들면 열수축 튜브일 수 있다.In addition, the protective layer 150 may be formed in the form of a shrinking tube. The protective layer 150 before shrinking may be formed to have an inner diameter larger than the outer diameter of the base pipe 110, so that the base pipe 110 can be easily inserted inside the protective layer 150. Then, the protective layer 150 contracts while the base pipe 110 is positioned inside, so that the protective layer 150 may be provided to cover the outer circumferential surface of the base pipe 110. The protective layer 150 may be, for example, a heat shrink tube.

제1지지부(200)는 롤러브러시 조립체(100)의 일단부에 이격되어 구비될 수 있다. 제1지지부(200)는 제1베어링을 가질 수 있다. The first support part 200 may be provided spaced apart from one end of the roller brush assembly 100. The first support part 200 may have a first bearing.

제2지지부(300)는 롤러브러시 조립체(100)의 타단부에 이격되어 구비될 수 있다. 제2지지부(300)는 제2베어링을 가질 수 있다. The second support part 300 may be provided spaced apart from the other end of the roller brush assembly 100. The second support part 300 may have a second bearing.

제1회전부(400)는 제1축(410), 제1키(420) 및 제1얼라인돌기(430)를 가질 수 있다.The first rotation unit 400 may have a first axis 410, a first key 420 and a first alignment protrusion 430.

제1축(410)은 제1베어링(210)에 결합될 수 있으며, 이에 따라 제1축(410)은 제1지지부(200)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.The first shaft 410 may be coupled to the first bearing 210, and accordingly, the first shaft 410 may be rotatably coupled to the first support 200.

제1키(420)는 제1축(410)의 일단부에 형성될 수 있으며, 제1키홈(133)에 대응되도록 다각형상으로 형성될 수 있다. 따라서, 제1키(420)가 제1키홈(133)에 삽입되면, 제1회전부(400) 및 롤러브러시 조립체(100)는 서로 회전력을 전달할 수 있으며, 제1회전부(400) 및 롤러브러시 조립체(100)는 일체로 회전될 수 있다.The first key 420 may be formed at one end of the first shaft 410, and may be formed in a polygonal shape to correspond to the first key groove 133. Therefore, when the first key 420 is inserted into the first key groove 133, the first rotating part 400 and the roller brush assembly 100 can transmit rotational force to each other, and the first rotating part 400 and the roller brush assembly 100 may be rotated integrally.

제1얼라인돌기(430)는 제1키(420)에 돌출 형성될 수 있으며, 제1얼라인홈(134)에 대응되도록 형성될 수 있다. 제1키(420)가 제1키홈(133)에 삽입될 때, 제1얼라인돌기(430)는 제1얼라인홈(134)에 삽입 결합될 수 있다. 제1얼라인돌기(430)가 제1얼라인홈(134)에 삽입 결합되면, 제1회전부(400) 및 롤러브러시 조립체(100)의 회전중심축은 서로 일치될 수 있다.The first alignment protrusion 430 may be formed to protrude on the first key 420 and may be formed to correspond to the first alignment groove 134. When the first key 420 is inserted into the first key groove 133, the first alignment protrusion 430 may be inserted and coupled to the first alignment groove 134. When the first alignment protrusion 430 is inserted and coupled to the first alignment groove 134, the rotation center axes of the first rotation unit 400 and the roller brush assembly 100 may coincide with each other.

제2회전부(500)는 제2축(510), 제2키(520) 및 제2얼라인돌기(530)를 가질 수 있다.The second rotating part 500 may have a second shaft 510, a second key 520 and a second alignment protrusion 530.

제2축(510)은 일단부에 축방향으로 형성되는 삽입홈(511)을 가질 수 있으며, 삽입홈(511)의 내주면에는 제1나사산(512)이 형성될 수 있다.The second shaft 510 may have an insertion groove 511 formed at one end in an axial direction, and a first screw thread 512 may be formed on the inner circumferential surface of the insertion groove 511.

제2키(520)는 제2축(510)의 타단부에 형성될 수 있으며, 제2키홈(143)에 대응되도록 다각형상으로 형성될 수 있다. 따라서, 제2키(520)가 제2키홈(143)에 삽입되면, 제2회전부(500) 및 롤러브러시 조립체(100)는 서로 회전력을 전달할 수 있으며, 제2회전부(500) 및 롤러브러시 조립체(100)는 일체로 회전될 수 있다.The second key 520 may be formed at the other end of the second shaft 510, and may be formed in a polygonal shape to correspond to the second key groove 143. Therefore, when the second key 520 is inserted into the second key groove 143, the second rotating part 500 and the roller brush assembly 100 may transmit rotational force to each other, and the second rotating part 500 and the roller brush assembly 100 may be rotated integrally.

제2얼라인돌기(530)는 제2키(520)에 돌출 형성될 수 있으며, 제2얼라인홈(144)에 대응되도록 형성될 수 있다. 제2키(520)가 제2키홈(143)에 삽입될 때, 제2얼라인돌기(530)는 제2얼라인홈(144)에 삽입 결합될 수 있다. 제2얼라인돌기(530)가 제2얼라인홈(144)에 삽입 결합되면, 제2회전부(500) 및 롤러브러시 조립체(100)의 회전중심축은 서로 일치될 수 있다.The second alignment protrusion 530 may be protruded from the second key 520 and may be formed to correspond to the second alignment groove 144. When the second key 520 is inserted into the second key groove 143, the second alignment protrusion 530 may be inserted and coupled to the second alignment groove 144. When the second alignment protrusion 530 is inserted and coupled to the second alignment groove 144, the rotation center axis of the second rotation unit 500 and the roller brush assembly 100 may coincide with each other.

가압부(600)는 일단부는 제2지지부(300)에 결합되고 타단부는 제2회전부(500)와 결합되며, 제2회전부(500)를 롤러브러시 조립체(100) 타단부의 제2인입플러그(140) 방향으로 가압하여 제2회전부(500)가 롤러브러시 조립체(100) 타단부의 제2인입플러그(140)에 결합되도록 할 수 있다. The pressing part 600 has one end coupled to the second support 300 and the other end coupled to the second rotating part 500, and the second rotating part 500 is the second inlet plug of the other end of the roller brush assembly 100. By pressing in the direction of (140), the second rotating part 500 may be coupled to the second draw plug 140 of the other end of the roller brush assembly 100.

구체적으로, 가압부(600)는 가압로드(610), 걸림턱(611) 및 제2나사산(612)을 가질 수 있다.Specifically, the pressing part 600 may have a pressing rod 610, a locking jaw 611, and a second screw thread 612.

가압로드(610)는 일단부가 제2베어링(310)에 결합될 수 있으며, 이를 통해, 가압로드(610)는 제2지지부(300)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.The pressure rod 610 may have one end coupled to the second bearing 310, and through this, the pressure rod 610 may be rotatably coupled to the second support 300.

걸림턱(611)은 가압로드(610)의 일단부에 가압로드(610)의 지름보다 큰 지름을 가지도록 형성될 수 있다. The locking jaw 611 may be formed to have a larger diameter than the diameter of the pressing rod 610 at one end of the pressing rod 610.

제2나사산(612)은 가압로드(610)의 타단부에 형성될 수 있으며, 제1나사산(512)과 나사 결합되도록 형성될 수 있다. The second screw thread 612 may be formed at the other end of the pressing rod 610, and may be formed to be screwed with the first screw thread 512.

제2회전부(500)가 가압부(600)에 결합된 상태에서 제2회전부(500)가 회전되어 제2인입플러그(140) 방향으로 이동되면, 제2키(520) 및 제2얼라인돌기(530)가 각각 제2키홈(143) 및 제2얼라인홈(144)에 삽입 결합될 수 있다.When the second rotating part 500 is rotated while the second rotating part 500 is coupled to the pressing part 600 and is moved in the direction of the second insertion plug 140, the second key 520 and the second alignment protrusion 530 may be inserted and coupled to the second key groove 143 and the second alignment groove 144, respectively.

기판세정장치는 동력제공부(800)를 포함할 수 있다.The substrate cleaning apparatus may include a power supply unit 800.

도 5에서 보는 바와 같이, 동력제공부(800)가 가압부(600)에 회전동력을 제공하는 경우, 가압부(600)가 회전함에 따라 제2회전부(500)도 회전될 수 있다. 가압부(600) 및 제2회전부(500)는 나사 결합된 상태이기 때문에, 가압부(600) 및 제2회전부(500)가 동일한 방향으로 회전되더라도, 제2회전부(500)가 제2지지부(300) 방향으로 이동되지 않도록, 즉, 제2회전부(500)의 제2키(520) 및 제2얼라인돌기(530)가 각각 제2키홈(143) 및 제2얼라인홈(144)에 결합된 상태가 유지되도록 하는 것이 중요하다. As shown in FIG. 5, when the power providing unit 800 provides rotational power to the pressing unit 600, the second rotating unit 500 may also be rotated as the pressing unit 600 rotates. Since the pressing portion 600 and the second rotating portion 500 are in a screwed state, even if the pressing portion 600 and the second rotating portion 500 are rotated in the same direction, the second rotating portion 500 is the second supporting portion ( 300), the second key 520 and the second alignment protrusion 530 of the second rotation unit 500 are in the second key groove 143 and the second alignment groove 144, respectively. It is important to ensure that the combined state is maintained.

이를 위해, 제2나사산(612)은 가압부(600)의 회전방향의 반대방향으로 형성되는 것이 바람직하다. 이렇게 되면, 가압부(600)가 회전할 때, 제2회전부(500)에 축방향 힘이 적용되더라도, 이러한 축방향 힘은 제2회전부(500)가 제2인입플러그(140) 방향으로 이동되도록 하는 힘이 되기 때문에, 회전 중에도 제2회전부(500)와 제2인입플러그(140)는 결합된 상태가 안정적으로 유지될 수 있다.To this end, the second screw thread 612 is preferably formed in a direction opposite to the rotational direction of the pressing part 600. In this case, when the pressing part 600 rotates, even if an axial force is applied to the second rotating part 500, the axial force is such that the second rotating part 500 moves in the direction of the second insertion plug 140. Because of the force, the second rotating part 500 and the second lead-in plug 140 can be stably maintained even during rotation.

앞에서는 동력제공부(800)가 가압부(600)에 회전동력을 제공하는 경우로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 동력제공부(800)는 제1회전부(400) 및 가압부(600) 중 적어도 어느 하나에 회전동력을 제공할 수 있다.In the foregoing, it has been described that the power supply unit 800 provides rotational power to the pressing unit 600, but is not limited thereto. That is, the power providing unit 800 may provide rotational power to at least one of the first rotating unit 400 and the pressing unit 600.

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치의 클램프부를 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치의 제2회전부 및 클램프부의 사용예를 나타낸 단면예시도인데, 도 8의 (a)는 제2회전부(500)가 제2인입플러그(140)에 결합되기 전의 상태를 나타낸 것이고, 도 8의 (b)는 제2회전부(500)가 제2인입플러그(140)에 결합된 상태를 나타낸 것이다.Figure 7 is a perspective view showing a clamp portion of the substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 8 is a cross-sectional view showing an example of the use of the second rotating portion and the clamp portion of the substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention , FIG. 8(a) shows the state before the second rotation unit 500 is coupled to the second insertion plug 140, and FIG. 8(b) shows the second rotation unit 500 as the second insertion plug ( 140).

도 7 및 도 8에서 보는 바와 같이, 기판세정장치는 클램프부(700)를 더 포함할 수 있다. 7 and 8, the substrate cleaning apparatus may further include a clamp portion 700.

클램프부(700)는 제1클램프링(710), 제2클램프링(720) 및 결합부재(730)를 가질 수 있다.The clamp 700 may have a first clamping ring 710, a second clamping ring 720 and a coupling member 730.

제1클램프링(710)은 가압로드(610)의 외주면 일부를 감싸도록 형성될 수 있으며, 양단부에는 제1결합홀(711)이 관통 형성될 수 있다.The first clamping ring 710 may be formed to surround a part of the outer circumferential surface of the pressure rod 610, and the first coupling hole 711 may be formed through both ends.

제2클램프링(720)은 가압로드(610)의 외주면 나머지를 감싸도록 형성될 수 있으며, 양단부에는 제1결합홀(711)에 대응되는 제2결합홀(721)이 관통 형성될 수 있다.The second clamping ring 720 may be formed to surround the rest of the outer circumferential surface of the pressure rod 610, and a second coupling hole 721 corresponding to the first coupling hole 711 may be formed through both ends.

결합부재(730)는 제2결합홀(721) 및 제2결합홀(721)에 결합되어 제1클램프링(710) 및 제2클램프링(720)을 결합시킬 수 있다.The coupling member 730 may be coupled to the second coupling hole 721 and the second coupling hole 721 to couple the first clamping ring 710 and the second clamping ring 720.

도 8의 (b)를 참조하면, 제2회전부(500)가 가압부(600)에 결합된 상태에서 제2인입플러그(140) 방향으로 이동되어 제2키(520) 및 제2얼라인돌기(530)가 각각 제2키홈(143) 및 제2얼라인홈(144)에 삽입 결합되면, 클램프부(700)는 제2회전부(500) 및 가압부(600)의 사이에 구비될 수 있다. 이때, 클램프부(700)는 가압로드(610)의 외주면을 감싸도록 결합될 수 있으며, 일단부는 가압로드(610)의 걸림턱(611)에 밀착되고, 타단부는 제2축(510)에 밀착되도록 결합될 수 있다. 이를 통해, 제2회전부(500)는 제2지지부 방향으로 이동되지 않도록 구속될 수 있다.Referring to (b) of FIG. 8, the second rotating part 500 is moved in the direction of the second insertion plug 140 in a state where it is coupled to the pressing part 600, and the second key 520 and the second alignment protrusion When the 530 is inserted and coupled to the second key groove 143 and the second alignment groove 144, the clamp portion 700 may be provided between the second rotating portion 500 and the pressing portion 600. . At this time, the clamp portion 700 may be coupled to surround the outer circumferential surface of the pressure rod 610, one end is in close contact with the locking jaw 611 of the pressure rod 610, the other end is to the second shaft 510 It can be combined to be in close contact. Through this, the second rotation part 500 may be restrained from being moved in the direction of the second support part.

한편, 도 5 및 도 6에서 보는 바와 같이, 기판세정장치는 밸런스 웨이트(900)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 5 and 6, the substrate cleaning apparatus may further include a balance weight 900.

밸런스 웨이트(900)는 제1회전부(400)에 구비될 수 있다. 도 5를 참고했을 때, 롤러브러시 조립체(100)를 기준으로 오른쪽에 클램프부(700)가 설치되면 롤러브러시 조립체(100) 양측의 축을 구성하는 부분에 가해지는 수직하중이 다를 우려가 있다. The balance weight 900 may be provided on the first rotating part 400. Referring to Figure 5, when the clamp portion 700 is installed on the right side with respect to the roller brush assembly 100, there is a fear that the vertical load applied to the parts constituting the shafts on both sides of the roller brush assembly 100 may be different.

물론, 설계 시에 제1회전부(400)에 의해 가해지는 제1수직하중과, 제2회전부(500), 가압부(600) 및 클램프부(700)에 의해 가해지는 제2수직하중이 동일하도록 될 수도 있으나, 제조 공차 등의 이유로 제2회전부(500), 가압부(600) 및 클램프부(700)의 중량을 모두 합한 총중량이 제1회전부(400)의 중량을 초과함에 기인하여 롤러브러시 조립체(100)의 양측의 수직하중이 다르게 되는 경우, 밸런스 웨이트(900)가 제1회전부(400)에 구비되어 밸런스 웨이트(900) 및 제1회전부(400)에 의한 제1수직하중과, 2회전부(500), 가압부(600) 및 클램프부(700)에 의한 제2수직하중이 서로 같아지도록 할 수 있다. 그리고, 이를 통해, 롤러브러시 조립체(100)는 편심 회전되지 않고 안정적으로 회전될 수 있다.Of course, when designing, the first vertical load applied by the first rotating part 400 and the second vertical load applied by the second rotating part 500, the pressing part 600, and the clamp part 700 are the same. It may be, but due to manufacturing tolerances and the like, due to the total weight of the total weight of the second rotating part 500, the pressing part 600, and the clamp part 700 exceeds the weight of the first rotating part 400, the roller brush assembly When the vertical loads on both sides of the (100) are different, the balance weight 900 is provided on the first rotating part 400, the first vertical load by the balance weight 900 and the first rotating part 400, and the second rotating part (500), the second vertical load by the pressing portion 600 and the clamp portion 700 can be made to be the same. And, through this, the roller brush assembly 100 can be stably rotated without eccentric rotation.

밸런스 웨이트(900)는 서로 결합되는 제1웨이트(910) 및 제2웨이트(920)를 가질 수 있으며, 클램프부(700)에 대응되는 형상으로 형성될 수 있다.The balance weight 900 may have a first weight 910 and a second weight 920 coupled to each other, and may be formed in a shape corresponding to the clamp portion 700.

이하에서는 기판세정장치의 설치방법에 대해서 설명한다.Hereinafter, a method of installing the substrate cleaning apparatus will be described.

도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 기판세정장치의 설치방법을 나타낸 흐름도이다.9 is a flowchart illustrating a method of installing a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 9를 더 포함하여 설명하면, 기판세정장치의 설치방법은 롤러브러시 조립체 마련단계(S1110), 제1결합단계(S1120), 제2결합단계(S1130), 제3결합단계(S1140) 및 제4결합단계(S1150)를 포함할 수 있다. Referring to further including FIG. 9, the installation method of the substrate cleaning apparatus includes a roller brush assembly preparation step (S1110), a first coupling step (S1120), a second coupling step (S1130), a third coupling step (S1140), and 4 may include a combining step (S1150).

롤러브러시 조립체 마련단계(S1110)는 양단부가 개방되도록 중심축 방향으로 관통공(111)이 형성되는 베이스 파이프(110)와, 베이스 파이프(110)의 외주면에 구비되는 브러시(120)와, 베이스 파이프(110)의 양단부에 각각 결합되어 관통공(111)을 밀폐하는 인입플러그, 즉, 제1인입플러그(130)와 제2인입플러그(140)를 가지는 롤러브러시 조립체(100)를 마련하는 단계일 수 있다.The roller brush assembly preparation step (S1110) includes a base pipe 110 in which a through hole 111 is formed in a central axis direction to open both ends, a brush 120 provided on an outer circumferential surface of the base pipe 110, and a base pipe It is a step of providing a roller brush assembly 100 coupled to both ends of the (110) to seal the through-hole 111, that is, a roller brush assembly having a first lead plug 130 and a second lead plug 140. Can be.

롤러브러시 조립체 마련단계(S1110)는 세정액으로부터 베이스 파이프(110)를 보호하도록 베이스 파이프(110)의 외주면을 덮는 보호층(150)을 마련하는 단계를 가질 수 있다. 보호층(150)은 수축튜브 형태로 이루어질 수 있으며, 보호층(150)은 내측에 베이스 파이프(110)가 위치된 상태에서 수축함으로써, 베이스 파이프(110)의 외주면을 덮도록 마련될 수 있다.The roller brush assembly preparation step (S1110) may have a step of providing a protective layer 150 covering the outer circumferential surface of the base pipe 110 to protect the base pipe 110 from cleaning liquid. The protective layer 150 may be formed in the form of a shrinking tube, and the protective layer 150 may be provided to cover the outer circumferential surface of the base pipe 110 by contracting the base pipe 110 inside.

제1결합단계(S1120)는 롤러브러시 조립체(100)의 일단부에 이격되어 구비되는 제1지지부(200)에 제1회전부(400)를 결합하는 단계일 수 있다. The first coupling step (S1120) may be a step of coupling the first rotating part 400 to the first support part 200 provided at a distance from one end of the roller brush assembly 100.

그리고 제2결합단계(S1130)는 롤러브러시 조립체(100)와 일체로 회전하도록 제1회전부(400)에 롤러브러시 조립체(100) 일단부의 인입플러그, 즉, 제1인입플러그(130)를 결합하는 단계일 수 있다.And the second coupling step (S1130) is a roller brush assembly 100 so as to rotate integrally with the roller brush assembly 100, the roller brush assembly 100, one end of the inlet plug, that is, the first inlet plug 130 is coupled It can be a step.

제3결합단계(S1140)는 롤러브러시 조립체(100)의 타단부에 이격되어 구비되는 제2지지부(300)에 가압부(600)의 일단부를 결합하고, 가압부(600)의 타단부에는 제2회전부(500)를 결합하는 단계일 수 있다. 여기서, 제2회전부(500) 및 가압부(600)는 나사 결합될 수 있다.The third coupling step (S1140) combines one end of the pressing part 600 to the second support part 300 provided at a distance from the other end of the roller brush assembly 100, and the other end of the pressing part 600 It may be a step of combining the two rotating parts 500. Here, the second rotating part 500 and the pressing part 600 may be screwed.

제4결합단계(S1150)는 제2회전부(500)가 가압부(600)에 결합된 상태에서 제2회전부(500)를 롤러브러시 조립체(100) 타단부의 인입플러그, 즉, 제2인입플러그(140) 방향으로 이동시켜 제2회전부(500)가 롤러브러시 조립체(100)와 일체로 회전하도록 제2회전부(500)를 롤러브러시 조립체(100) 타단부의 인입플러그, 제2인입플러그(140)에 결합하는 단계일 수 있다.In the fourth coupling step (S1150), the second rotating part 500 is coupled to the pressing part 600, and the second rotating part 500 is inserted into the other end of the roller brush assembly 100, that is, the second drawn plug. The second rotating part 500 is moved in the direction of 140 so that the second rotating part 500 rotates integrally with the roller brush assembly 100, the inlet plug, the second inlet plug 140 of the other end of the roller brush assembly 100 ).

한편, 기판세정장치의 설치방법은 구속결합단계(S1160)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the installation method of the substrate cleaning apparatus may further include a restraining and coupling step (S1160).

구속결합단계(S1160)는 제4결합단계(S1150) 이후에 진행될 수 있으며, 구속결합단계(S1160)는 일단부는 가압부(600)에 형성되는 걸림턱(611)에 밀착되고, 타단부는 제2회전부(500)의 제2축(510)에 밀착되도록 가압부(600)의 외주면에 클램프부(700)를 결합하여 제2회전부(500)가 제2지지부(300) 방향으로 이동되지 않도록 구속하는 단계일 수 있다. Constrained coupling step (S1160) may proceed after the fourth coupling step (S1150), the constrained coupling step (S1160) is one end is in close contact with the locking jaw 611 formed in the pressing part 600, the other end is The clamping part 700 is coupled to the outer circumferential surface of the pressing part 600 so as to be in close contact with the second shaft 510 of the second rotating part 500 so that the second rotating part 500 is not moved in the direction of the second supporting part 300. It may be a step.

본 발명에 따르면, 베이스 파이프(110)의 내측에 관통공(111)이 형성됨에 따라, 베이스 파이프(110)의 중량은 크게 절감될 수 있기 때문에, 롤러브러시 조립체(100)의 중량을 줄여 운용 시에 걸리는 부하를 줄일 수 있다. 또한, 롤러브러시 조립체(100)가 저중량으로 형성되기 때문에, 이송과정에서의 물류비용도 절감될 수 있다.According to the present invention, as the through-hole 111 is formed inside the base pipe 110, the weight of the base pipe 110 can be greatly reduced, thereby reducing the weight of the roller brush assembly 100 during operation. The load on the load can be reduced. In addition, since the roller brush assembly 100 is formed with a low weight, logistics costs in the transportation process can also be reduced.

그리고, 브러시(120)를 교체할 경우, 클램프부(700)를 제거하고, 제2회전부(500)를 회전시켜 제2인입플러그(140)에서 분리되도록 함으로써 저중량의 롤러브러시 조립체(100)를 용이하게 탈거하여 교체할 수 있기 때문에, 교체 작업 시간이 단축될 수 있다.And, when replacing the brush 120, the clamp portion 700 is removed, and the second rotating portion 500 is rotated to be separated from the second inlet plug 140 to facilitate the low weight roller brush assembly 100. Since it can be removed and replaced, the replacement work time can be shortened.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above description of the present invention is for illustration only, and a person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention pertains can understand that it can be easily modified to other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims, and all modifications or variations derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts should be interpreted to be included in the scope of the present invention.

100: 롤러브러시 조립체 110: 베이스 파이프
120: 브러시 130: 제1인입플러그
133: 제1키홈 134: 제1얼라인홈
140: 제2인입플러그 143: 제2키홈
144: 제2얼라인홈 150: 보호층
200: 제1지지부 300: 제2지지부
400: 제1회전부 410: 제1축
420: 제1키 430: 제1얼라인돌기
500: 제2회전부 510: 제2축
511: 삽입홈 520: 제2키
530: 제2얼라인돌기 600: 가압부
610: 가압로드 611: 걸림턱
700: 클램프부 800: 동력제공부
900: 밸런스 웨이트100: roller brush assembly 110: base pipe
120: brush 130: first insertion plug
133: first key groove 134: first alignment groove
140: second insertion plug 143: second key groove
144: second alignment groove 150: protective layer
200: first support 300: second support
400: first rotation part 410: first axis
420: first key 430: first alignment projection
500: second rotation part 510: second axis
511: insertion groove 520: second key
530: second alignment protrusion 600: pressing portion
610: pressurized rod 611: locking jaw
700: clamp part 800: power supply part
900: balance weight

Claims (12)

양단부가 개방되도록 중심축 방향으로 관통공이 형성되는 베이스 파이프와, 상기 베이스 파이프의 외주면에 구비되는 브러시와, 상기 베이스 파이프의 양단부에 각각 결합되어 상기 관통공을 밀폐하는 인입플러그를 가지는 롤러브러시 조립체;
상기 롤러브러시 조립체의 일단부에 이격되어 구비되는 제1지지부;
상기 롤러브러시 조립체의 타단부에 이격되어 구비되는 제2지지부;
상기 제1지지부에 결합되고, 상기 롤러브러시 조립체 일단부의 인입플러그에 결합되어 상기 롤러브러시 조립체와 일체로 회전하는 제1회전부;
상기 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그에 결합되어 상기 롤러브러시 조립체와 일체로 회전하는 제2회전부; 그리고
일단부는 상기 제2지지부에 결합되고 타단부는 상기 제2회전부와 결합되며, 상기 제2회전부를 상기 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그 방향으로 가압하여 상기 제2회전부가 상기 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그에 결합되도록 하는 가압부를 포함하고,
상기 인입플러그는
상기 베이스 파이프의 일단부에 결합되고 중심에 형성되는 다각형상의 제2키홈과 상기 제2키홈의 중심에 형성되는 콘 형상의 제2얼라인홈을 가지는 제2인입플러그를 가지고,
상기 제2회전부는
일단부에 축방향으로 형성되며 내주면에는 제1나사산이 형성되는 삽입홈을 가지는 제2축과,
상기 제2축의 타단부에 상기 제2키홈에 대응되도록 형성되고 상기 제2키홈에 결합되어 상기 롤러브러시 조립체와 회전력을 전달하는 제2키와,
상기 제2키에 상기 제2얼라인홈에 대응되도록 돌출 형성되고 상기 제2얼라인홈에 결합되어 상기 제2회전부와 상기 롤러브러시 조립체의 회전중심축을 일치시키는 제2얼라인돌기를 가지고,
상기 가압부는
일단부가 상기 제2지지부에 회전 가능하게 결합되는 가압로드와,
상기 가압로드의 타단부에 상기 제1나사산과 나사 결합되도록 형성되는 제2나사산을 가지고,
상기 제2나사산은 상기 가압부의 회전방향의 반대방향으로 형성되어 상기 가압부가 회전하면 상기 제2회전부가 상기 제2인입플러그 방향으로 이동되도록 상기 제2회전부에 축방향 힘이 적용되게 하여, 상기 제2키 및 상기 제2얼라인돌기가 각각 상기 제2키홈 및 제2얼라인홈에 결합된 상태가 유지되도록 하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.A roller brush assembly having a base pipe through which a through hole is formed in a central axis direction to open both ends, a brush provided on an outer circumferential surface of the base pipe, and an inlet plug coupled to both ends of the base pipe to seal the through hole;
A first support part spaced apart from one end of the roller brush assembly;
A second support part spaced apart from the other end of the roller brush assembly;
A first rotating part coupled to the first support part and coupled to an inlet plug of one end of the roller brush assembly to rotate integrally with the roller brush assembly;
A second rotating part coupled to the inlet plug of the other end of the roller brush assembly and rotating integrally with the roller brush assembly; And
One end portion is coupled to the second support portion and the other end is coupled to the second rotation portion, the second rotation portion is pressed to the inlet plug direction of the other end of the roller brush assembly, and the second rotation portion of the other end of the roller brush assembly It includes a pressing portion to be coupled to the inlet plug,
The inlet plug
Has a second lead-in plug having a polygonal second key groove formed at the center of one end of the base pipe and a cone-shaped second alignment groove formed at the center of the second key groove,
The second rotating part
A second shaft having an insertion groove formed in an axial direction at one end and having a first screw thread formed therein,
A second key formed to correspond to the second key groove at the other end of the second shaft and coupled to the second key groove to transmit the roller brush assembly and rotational force;
The second key is formed to protrude to correspond to the second alignment groove and has a second alignment protrusion coupled to the second alignment groove to match the rotation center axis of the second rotating part and the roller brush assembly,
The pressing portion
A pressure rod having one end rotatably coupled to the second support,
The second end of the pressing rod has a second screw thread formed to be screwed with the first screw thread,
The second screw thread is formed in a direction opposite to the rotational direction of the pressing portion so that when the pressing portion rotates, an axial force is applied to the second rotating portion so that the second rotating portion moves in the direction of the second pull-in plug. A substrate cleaning apparatus characterized in that the two keys and the second alignment protrusions are maintained in a state coupled to the second key groove and the second alignment groove, respectively. 제1항에 있어서,
상기 인입플러그는
상기 베이스 파이프의 일단부에 결합되고 중심에 형성되는 다각형상의 제1키홈과 상기 제1키홈의 중심에 형성되는 콘 형상의 제1얼라인홈을 가지는 제1인입플러그를 가지는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.According to claim 1,
The inlet plug
Substrate cleaning characterized in that it has a first lead-in plug having a polygonal first key groove formed at the center of one end of the base pipe and a cone-shaped first alignment groove formed at the center of the first key groove. Device. 제2항에 있어서,
상기 제1회전부는
상기 제1지지부에 회전 가능하게 결합되는 제1축과,
상기 제1축의 일단부에 상기 제1키홈에 대응되도록 형성되고 상기 제1키홈에 결합되어 상기 롤러브러시 조립체와 회전력을 전달하는 제1키와,
상기 제1키에 상기 제1얼라인홈에 대응되도록 돌출 형성되고 상기 제1얼라인홈에 결합되어 상기 제1회전부와 상기 롤러브러시 조립체의 회전중심축을 일치시키는 제1얼라인돌기를 가지는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.According to claim 2,
The first rotating part
A first axis rotatably coupled to the first support,
A first key formed to correspond to the first key groove at one end of the first shaft and coupled to the first key groove to transmit the roller brush assembly and rotational force,
The first key is formed to protrude to correspond to the first alignment groove, and is coupled to the first alignment groove, and has a first alignment protrusion to match the rotation center axis of the first rotation part and the roller brush assembly. Substrate cleaning device. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 가압로드의 외주면을 감싸도록 구비되고 일단부는 상기 가압로드에 상기 가압로드의 지름보다 큰 지름을 가지도록 형성되는 걸림턱에 밀착되고 타단부는 상기 제2축에 밀착되어 상기 제2회전부가 상기 제2지지부 방향으로 이동되지 않도록 구속하는 클램프부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.According to claim 1,
It is provided so as to surround the outer circumferential surface of the pressing rod, one end is in close contact with the locking jaw formed to have a diameter larger than the diameter of the pressing rod, the other end is in close contact with the second shaft, the second rotating portion is the A substrate cleaning apparatus further comprising a clamp portion that is restrained from being moved in the direction of the second support portion. 제6항에 있어서,
상기 클램프부는
상기 가압로드의 외주면 일부를 감싸도록 형성되고, 양단부에 제1결합홀이 관통 형성되는 제1클램프링과,
상기 가압로드의 외주면 나머지를 감싸도록 형성되고, 양단부에 상기 제1결합홀에 대응되는 제2결합홀이 관통 형성되는 제2클램프링과,
상기 제1결합홀 및 상기 제2결합홀에 결합되어 상기 제1클램프링 및 상기 제2클램프링을 결합시키는 결합부재를 가지는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.The method of claim 6,
The clamp portion
The first clamping ring is formed to surround a part of the outer circumferential surface of the pressing rod, and through which first coupling holes are formed at both ends.
A second clamping ring formed to surround the rest of the outer circumferential surface of the pressing rod, and having a second coupling hole corresponding to the first coupling hole penetrated at both ends;
And a coupling member coupled to the first coupling hole and the second coupling hole to couple the first clamping ring and the second clamping ring. 제6항에 있어서,
상기 롤러브러시 조립체의 회전 시에 상기 제1회전부에 의해 가해지는 제1수직하중과, 상기 제2회전부, 상기 가압부 및 상기 클램프부에 의해 가해지는 제2수직하중이 같아지도록, 상기 제1회전부에 구비되는 밸런스 웨이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.The method of claim 6,
When rotating the roller brush assembly, the first rotational portion is such that the first vertical load applied by the first rotating portion and the second vertical load applied by the second rotating portion, the pressing portion, and the clamp portion are the same. A substrate cleaning apparatus further comprising a balance weight provided in the. 제1항에 있어서,
상기 롤러브러시 조립체는
상기 베이스 파이프의 외주면을 덮도록 마련되어 세정액으로부터 상기 베이스 파이프를 보호하는 보호층을 더 가지는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.According to claim 1,
The roller brush assembly
A substrate cleaning device provided to cover the outer circumferential surface of the base pipe, and further comprising a protective layer protecting the base pipe from cleaning liquid. 양단부가 개방되도록 중심축 방향으로 관통공이 형성되는 베이스 파이프와, 상기 베이스 파이프의 외주면에 구비되는 브러시와, 상기 베이스 파이프의 양단부에 각각 결합되어 상기 관통공을 밀폐하는 인입플러그를 가지는 롤러브러시 조립체를 마련하는 롤러브러시 조립체 마련단계;
상기 롤러브러시 조립체의 일단부에 이격되어 구비되는 제1지지부에 제1회전부를 결합하는 제1결합단계;
상기 롤러브러시 조립체와 일체로 회전하도록 상기 제1회전부에 상기 롤러브러시 조립체 일단부의 인입플러그를 결합하는 제2결합단계;
상기 롤러브러시 조립체의 타단부에 이격되어 구비되는 제2지지부에 가압부의 일단부를 결합하고, 상기 가압부의 타단부에는 제2회전부를 결합하는 제3결합단계; 그리고
상기 제2회전부가 상기 가압부에 결합된 상태에서 상기 제2회전부를 상기 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그 방향으로 이동시켜 상기 제2회전부가 상기 롤러브러시 조립체와 일체로 회전하도록 상기 제2회전부를 상기 롤러브러시 조립체 타단부의 인입플러그에 결합하는 제4결합단계를 포함하고,
상기 인입플러그는 상기 롤러브러시 조립체의 타단부에서 상기 베이스 파이프에 결합되고 중심에 형성되는 다각형상의 제2키홈과 상기 제2키홈의 중심에 형성되는 콘 형상의 제2얼라인홈을 가지는 제2인입플러그를 가지고,
상기 제2회전부는
일단부에 축방향으로 형성되며 내주면에는 제1나사산이 형성되는 삽입홈을 가지는 제2축과,
상기 제2축의 타단부에 상기 제2키홈에 대응되도록 형성되고 상기 제2키홈에 결합되어 상기 롤러브러시 조립체와 회전력을 전달하는 제2키와,
상기 제2키에 상기 제2얼라인홈에 대응되도록 돌출 형성되고 상기 제2얼라인홈에 결합되어 상기 제2회전부와 상기 롤러브러시 조립체의 회전중심축을 일치시키는 제2얼라인돌기를 가지고,
상기 가압부는
일단부가 상기 제2지지부에 회전 가능하게 결합되는 가압로드와,
상기 가압로드의 타단부에 상기 제1나사산과 나사 결합되도록 형성되는 제2나사산을 가지고,
상기 제2나사산은 상기 가압부의 회전방향의 반대방향으로 형성되어 상기 가압부가 회전하면 상기 제2회전부가 상기 제2인입플러그 방향으로 이동되도록 상기 제2회전부에 축방향 힘이 적용되게 하여, 상기 제2키 및 상기 제2얼라인돌기가 각각 상기 제2키홈 및 제2얼라인홈에 결합된 상태가 유지되도록 하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치의 설치방법.A roller brush assembly having a base pipe having a through hole formed in a central axis direction to open both ends, a brush provided on an outer circumferential surface of the base pipe, and an inlet plug coupled to both ends of the base pipe to seal the through hole. Preparing a roller brush assembly;
A first coupling step of coupling a first rotation part to a first support part spaced apart from one end of the roller brush assembly;
A second coupling step of coupling the inlet plug of one end of the roller brush assembly to the first rotating portion to rotate integrally with the roller brush assembly;
A third coupling step of coupling one end of the pressing portion to the second support portion spaced apart from the other end of the roller brush assembly, and coupling the second rotating portion to the other end of the roller brush assembly; And
In the state in which the second rotating portion is coupled to the pressing portion, the second rotating portion is moved such that the second rotating portion rotates integrally with the roller brush assembly by moving the second rotating portion in the direction of the inlet plug of the other end of the roller brush assembly. And a fourth coupling step of engaging the inlet plug of the other end of the roller brush assembly,
The inlet plug is coupled to the base pipe at the other end of the roller brush assembly and a second inlet having a polygonal second key groove formed in the center and a cone-shaped second alignment groove formed in the center of the second key groove. Take the plug,
The second rotating part
A second shaft having an insertion groove formed in an axial direction at one end and having a first screw thread formed therein,
A second key formed to correspond to the second key groove at the other end of the second shaft and coupled to the second key groove to transmit the roller brush assembly and rotational force;
The second key is formed to protrude to correspond to the second alignment groove and has a second alignment protrusion coupled to the second alignment groove to match the rotation center axis of the second rotating part and the roller brush assembly,
The pressing portion
A pressure rod having one end rotatably coupled to the second support,
The second end of the pressing rod has a second screw thread formed to be screwed with the first screw thread,
The second screw thread is formed in a direction opposite to the rotational direction of the pressing portion so that when the pressing portion rotates, an axial force is applied to the second rotating portion so that the second rotating portion moves in the direction of the second pull-in plug. A method of installing a substrate cleaning apparatus, characterized in that the two keys and the second alignment protrusions are maintained in a state coupled to the second key groove and the second alignment groove, respectively. 제10항에 있어서,
상기 제4결합단계 이후에,
일단부는 상기 가압부에 형성되는 걸림턱에 밀착되고, 타단부는 상기 제2회전부의 제2축에 밀착되도록 상기 가압부의 외주면에 클램프부를 결합하여 상기 제2회전부가 상기 제2지지부 방향으로 이동되지 않도록 구속하는 구속결합단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치의 설치방법.The method of claim 10,
After the fourth coupling step,
One end portion is in close contact with the locking jaw formed in the pressing portion, and the other end is coupled to a clamp portion on the outer circumferential surface of the pressing portion so as to be in close contact with the second axis of the second rotating portion, and the second rotating portion is not moved in the direction of the second support portion. The installation method of the substrate cleaning apparatus further comprising a restraining and coupling step of restraining. 제10항에 있어서,
상기 롤러브러시 조립체 마련단계는
세정액으로부터 상기 베이스 파이프를 보호하도록 상기 베이스 파이프의 외주면을 덮는 보호층을 마련하는 단계를 가지는 것을 특징으로 하는 기판세정장치의 설치방법.The method of claim 10,
The step of preparing the roller brush assembly is
And providing a protective layer covering the outer peripheral surface of the base pipe to protect the base pipe from the cleaning liquid.
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