KR102119831B1 - The cover pannel for an embedded differential pressure gauge - Google Patents
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Abstract
본 발명은 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 관한 것으로서, 주로 클린시설의 서로 다른 공간의 압력차를 측정하여 압력을 조절하는 시설에서 사용되는 차압계가 차압센서의 오차가 증가하면 커버판넬을 열지 않고 압력계 교정기를 이용하여 교정할 수 있도록 하기 위하여 개발된 것으로;
다른 두 곳의 압력 차이를 측정하는 차압계가 매립되어 있는 벽체의 정면을 덮는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 있어서;
정면의 내부 차압계를 볼 수 있도록 하는 투명판넬과; 정면 상부 양측에 관통 형성되는 장착홀과; 상기 장착홀에 각각 장착되고 정면은 마개에 의하여 개폐되며, 배면에는 차압계와 연결되는 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제1 튜브장착부가 형성되고, 외경면에 돌출되어 압력을 측정하기 위한 구획의 제1 또는 제2 차압감지포트로부터 연장된 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제2 튜브장착부를 구비하여 마개를 장착하였을 때 제1 튜브장착부와 연통하도록 하며, 내측에는 상기 제1 튜브장착부와 일체로 정면으로 돌출되어 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제3 튜브장착부를 구비하여 마개를 분리하여 튜브를 장착하였을 때 제1 튜브장착부와 연통하도록 하는 두 개의 조절포트단자를 구비함을 특징으로 하는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 관한 것이다.The present invention relates to a cover panel used in a buried differential pressure gauge, the pressure gauge without increasing the error of the differential pressure sensor increases the error of the differential pressure sensor when the differential pressure gauge used in a facility for measuring pressure difference in different spaces of a clean facility increases. It was developed to enable calibration using a calibrator;
A cover panel used for a buried differential pressure gauge that covers a front surface of a wall in which a differential pressure gauge for measuring a pressure difference between two different places is buried;
A transparent panel to view the internal differential pressure gauge on the front; Mounting holes penetrating both sides of the front upper part; Each of the mounting holes is installed and the front is opened and closed by a stopper, and a first tube mounting portion is formed on the rear surface to be inserted and connected to one end of the tube connected to the differential pressure gauge, and protrudes on the outer diameter surface to measure the pressure. It is provided with a second tube mounting portion for inserting and connecting to one end of the tube extending from the first or second differential pressure detection port so as to communicate with the first tube mounting portion when the stopper is mounted, and integrally with the first tube mounting portion inside. It is characterized in that it has a third tube mounting portion that protrudes to the front of the tube and inserts and connects to one end of the tube, and includes two adjustment port terminals to communicate with the first tube mounting portion when the tube is separated and the tube is mounted. It relates to a cover panel used in a buried differential pressure gauge.
Description
본 발명은 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 관한 것으로서, 좀더 상세하게 설명하면 주로 클린시설의 서로 다른 공간의 압력차를 측정하여 압력을 조절하는 시설에서 사용되는 차압계가 차압센서의 오차가 증가하면 커버판넬을 열지 않고 압력계 교정기를 이용하여 교정할 수 있도록 하기 위하여 개발된 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 관한 것이다.The present invention relates to a cover panel used in a buried differential pressure gauge, and in more detail, a differential pressure gauge used in a facility for measuring pressure by measuring pressure differences in different spaces of a clean facility increases when the error of the differential pressure sensor increases. It relates to a cover panel used in a buried differential pressure gauge developed to enable calibration using a pressure gauge calibrator without opening the panel.
다양한 산업시설 중에는 생산과정 또는 연구과정에서 내부의 공기가 오염물질을 최소화하도록 청정한 공기만 공급되는 클린시설이 필수적으로 요구되는 분야가 있으며 대표적인 것이 반도체 분야와 바이오 분야라고 할 수 있다.Among various industrial facilities, there is a field in which a clean facility in which only clean air is supplied is essential in order to minimize pollutants in the production process or research process, and the representative ones are the semiconductor field and the bio field.
여기에는 구획되어 이루어진 둘 이상의 공간은 자체적으로 공기를 순환하는 시스템을 가지고 있고 외기의 유입은 원천적으로 차단하고 있으며 이곳에 진입하기 위해서는 크린룸(clean room)을 통하여 세균 및 먼지를 제거한 후에 진입하도록 하고 있다.Here, two or more spaces, which are divided, have a system that circulates air on their own, and the inflow of outside air is blocked fundamentally. To enter this area, bacteria and dust are removed through a clean room before entering. .
이때 자체적인 공기순환 시스템을 구비하고 있기에 클린룸에서 클린시설로 또 클린시설 내부에서 구획된 부분을 이동할 때 공기압의 차이로 인하여 문을 개방하면 어느 한 쪽에서 다른 쪽으로 공기가 급속히 유입되며 이 과정에서 오염물질이 유입되는 경우가 발생하게 되는 것이다.At this time, because it has its own air circulation system, when the compartment is moved from the clean room to the clean facility or inside the clean facility, when the door is opened due to the difference in air pressure, air is rapidly introduced from one side to the other and contaminated during this process. It is the case that a substance is introduced.
이에 통상 반도체 제조설비의 크린룸 등에서 미세한 압력차를 모니터링하여 이를 조절하도록 하는 장치를 필요로 하게 되었으며 서로 다른 두 곳의 압력의 차이를 측정하는 차압센서(differential pressure sensor) 또는 차압계를 필요로 하게 되었다.Accordingly, there is a need for a device that monitors and controls a minute pressure difference in a clean room of a semiconductor manufacturing facility, and a differential pressure sensor or a differential pressure gauge that measures the difference in pressure between two different places.
하지만 차압계는 압력의 차이뿐만 아니라 공기의 온도 변화에도 영향을 주어 오차가 발생하게 되어 차압계에는 온도보상 기능이 꼭 필요하며, 온도의 영향을 무시하더라도 예민한 압력작용판은 차압이 영(zero)이 되더라도 물질적인 특성상 완벽하게 중앙의 위치로 복원되지 못하므로 차압 영(zero)에 해당하는 신호를 출력하지 못하게 되는 문제점이 있다.However, the differential pressure gauge affects not only the pressure difference, but also the temperature change of the air, so an error occurs, and the differential pressure gauge is essential for the differential pressure gauge. Even if the influence of temperature is neglected, even if the differential pressure plate becomes zero, There is a problem in that the signal corresponding to the differential pressure zero cannot be output because it cannot be completely restored to the central position due to material properties.
또한 차압계의 압력작용판은 차압 형성시 항상 일정한 방향으로 변위되어 있는 상태이므로 일정 기간이 경과하면 탄성이 감소되어 민감도가 저하되어 시간이 경과할수록 민감도가 떨어져 정확한 측정이 이루어지지 않는 문제도 발생한다.In addition, since the pressure-acting plate of the differential pressure gauge is always displaced in a certain direction when the differential pressure is formed, elasticity decreases and sensitivity decreases over a period of time.
이에 별도의 압력계 교정기를 이용하여 주기적으로 차압계의 압력의 영점을 교정(calibration)하는 작업을 필요로 하고 있으나 보통 벽체의 함몰된 공간에 장착되고 정면은 커버판넬로 덮인 형태의 경우 커버판넬을 열 경우 내부의 보온제를 포함하는 오염물질이 클린룸을 포함하는 클린시설에 유입되는 문제점이 발생하게 되었다.Accordingly, it is necessary to periodically calibrate the zero point of the pressure of the differential pressure gauge using a separate pressure gauge calibrator, but it is usually mounted in the recessed space of the wall and the front is covered with a cover panel. A problem has arisen that contaminants containing an internal warming agent flow into a clean facility including a clean room.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 개발된 것으로서, 그 목적은 서로 다른 두 곳의 압력 차이를 측정하는 차압계가 매립되어 있는 벽체의 정면을 덮는 커버판넬을 분리하지 않고도 차압계와 영점을 교정할 수 있도록 하는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬을 개발하는 것에 있다.The present invention was developed to solve the above-mentioned problems, the purpose of which is to calibrate the differential pressure gauge and zero point without removing the cover panel covering the front surface of the wall in which the differential pressure gauge measuring the pressure difference between two different locations is buried. It is to develop a cover panel used for a buried differential pressure gauge.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 다른 두 곳의 압력 차이를 측정하는 차압계가 매립되어 있는 벽체의 정면을 덮는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 있어서;In order to achieve the above object, the present invention relates to a cover panel used in a buried differential pressure gauge covering a front surface of a wall in which a differential pressure gauge for measuring a pressure difference between two different places is buried;
정면의 내부 차압계를 볼 수 있도록 하는 투명판넬과;A transparent panel to view the internal differential pressure gauge on the front;
정면 상부 양측에 관통 형성되는 장착홀과;Mounting holes penetrating both sides of the front upper part;
상기 장착홀에 각각 장착되고 정면은 마개에 의하여 개폐되며, 배면에는 차압계와 연결되는 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제1 튜브장착부가 형성되고, 외경면에 돌출되어 압력을 측정하기 위한 구획의 제1 또는 제2 차압감지포트로부터 연장된 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제2 튜브장착부를 구비하여 마개를 장착하였을 때 제1 튜브장착부와 연통하도록 하며, 내측에는 상기 제1 튜브장착부와 일체로 정면으로 돌출되어 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제3 튜브장착부를 구비하여 마개를 분리하여 튜브를 장착하였을 때 제1 튜브장착부와 연통하도록 하는 두 개의 조절포트단자를 구비함을 특징으로 한다.Each of the mounting holes is installed and the front is opened and closed by a stopper, and a first tube mounting portion is formed on the rear surface to be inserted and connected to one end of the tube connected to the differential pressure gauge, and protrudes on the outer diameter surface to measure the pressure. It is provided with a second tube mounting portion for inserting and connecting to one end of the tube extending from the first or second differential pressure detection port so as to communicate with the first tube mounting portion when the stopper is mounted, and integrally with the first tube mounting portion inside. It is characterized in that it has a third tube mounting portion that protrudes to the front of the tube and inserts and connects to one end of the tube, and has two adjusting port terminals to communicate with the first tube mounting portion when the tube is mounted by separating the stopper. .
아울러, 상기 커버판넬의 정면 상기 양측 장착홀 사이에는 제1 차압감지포트가 장착됨을 특징으로 한다.In addition, a first differential pressure detection port is mounted between the mounting holes on both sides of the front of the cover panel.
또한, 상기 조절포트단자는 후방으로 관통된 제1 나사홀과, 외경면에 관통된 제2 나사홀을 구비하고;In addition, the adjustment port terminal has a first screw hole through the rear and a second screw hole through the outer diameter surface;
상기 제1 나사홀은 전후방으로 관통된 홀이 형성되며 후방에 제1 튜브장착부가 형성되고 전방에 제3 튜브장착부가 형성되며 중간 외경면 형성된 나사산과 결합하고, 상기 제2 나사홀은 제2 튜브장착부의 일단 외경에 형성된 나사산과 결합하도록 구성됨을 특징으로 한다.The first screw hole is formed with a hole penetrated in the front and rear direction, a first tube mounting part is formed at the rear, a third tube mounting part is formed at the front, and a thread is formed with an intermediate outer diameter surface, and the second screw hole is a second tube It is characterized in that it is configured to engage with a thread formed at one end of the mounting portion.
상술한 바와 같이 본 발명은 평상시에는 커버판넬 정면의 제1 차압감지포트와 다른 구획된 공간의 제2 차압감지포트가 각각 커버판넬의 정면 상부 양측에 장착되어 있는 서로 다른 조절포트단자의 내측에 결합되어 차압계와 연결되어 압력차를 표시하고, 상기 조절포트단자의 정면 마개를 분리하고 압력계 교정기의 튜브를 연결하면 차압계와 바로 연결되도록 하여 커버판넬을 분리하지 않고 차압계의 교정이 가능하여 클린룸의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the first differential pressure detection port in the front of the cover panel and the second differential pressure detection port in a different partition are normally coupled to the insides of the different control port terminals mounted on both sides of the upper front of the cover panel. It is connected to the differential pressure gauge to display the pressure difference, remove the front plug of the control port terminal, and connect the tube of the pressure gauge calibrator so that it is directly connected to the differential pressure gauge so that the differential pressure gauge can be calibrated without removing the cover panel. There is an effect that can be prevented.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 사시도
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 평면도
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 조절포트단자를 나타낸 단면도
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 장착 상태를 나타낸 개념도
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 실간압력 측정 상태를 나타낸 개념도
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 차압계 교정상태를 나타낸 개념도1 is a perspective view according to an embodiment of the present invention
2 is a plan view according to an embodiment of the present invention
Figure 3 is a cross-sectional view showing an adjustment port terminal according to an embodiment of the present invention
4 is a conceptual diagram showing a mounting state according to an embodiment of the present invention
5 is a conceptual diagram showing a state of actual pressure measurement according to an embodiment of the present invention
6 is a conceptual diagram showing a calibration state of a differential pressure gauge according to an embodiment of the present invention
이에 본 발명의 구성을 첨부된 도면에 의하여 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세하게 설명하면 다음과 같다.Accordingly, the configuration of the present invention will be described in detail in order to be easily understood and reproduced by those skilled in the art by the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 평면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 조절포트단자를 나타낸 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 장착 상태를 나타낸 개념도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 실간압력 측정 상태를 나타낸 개념도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 차압계 교정상태를 나타낸 개념도로서, 다른 두 곳의 압력 차이를 측정하는 차압계(2)가 매립되어 있는 벽체의 정면을 덮는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬(1)에 있어서;1 is a perspective view according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view showing an adjustment port terminal according to an embodiment of the present invention, Figure 4 A conceptual diagram showing a mounting state according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a conceptual diagram showing a real state pressure measurement state according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a differential pressure gauge calibration state according to an embodiment of the present invention As a conceptual diagram shown, in the
정면의 내부 차압계(2)를 볼 수 있도록 하는 투명판넬(11)과;A
정면 상부 양측에 관통 형성되는 장착홀(12)과;A
상기 장착홀(12)에 각각 장착되고 정면은 마개(131)에 의하여 개폐되며, 배면에는 차압계(2)와 연결되는 튜브(3a)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제1 튜브장착부(132)가 형성되고, 외경면에 돌출되어 압력을 측정하기 위한 구획의 제1 또는 제2 차압감지포트(21, 22)로부터 연장된 튜브(3b, 3c)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제2 튜브장착부(133)를 구비하여 마개(131)를 장착하였을 때 제1 튜브장착부(132)와 연통하도록 하며, 내측에는 상기 제1 튜브장착부(132)와 일체로 정면으로 돌출되어 튜브(3)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제3 튜브장착부(134)를 구비하여 마개(131)를 분리하여 튜브(3)를 장착하였을 때 제1 튜브장착부(132)와 연통하도록 하는 두 개의 조절포트단자(13)를 구비함을 특징으로 하는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬을 나타내었다.Each of the
본원은 클린룸 및 클린시설에서 사용되는 차압계(2)가 주기적으로 영점을 교정해야하며 이 과정에서 커버판넬(1)을 열고 압력계 교정기(4)를 차압계(2)에 연결하는 과정에서 차압계(2)가 장착된 공간에서의 오염물질이 클린룸으로 빠져나가는 것을 방지하기 위한 것이다.In the present application, the differential pressure gauge (2) used in a clean room and a clean facility must periodically correct the zero point, and in this process, the pressure gauge (2) is opened in the process of opening the cover panel (1) and connecting the pressure gauge corrector (4) to the differential pressure gauge (2). ) Is to prevent the contaminants in the space equipped with escape to the clean room.
즉 평상시에서 서로 다른 공간에 설치되는 제1 및 제2 차압감지포트(21, 22)가 튜브(3b, 3c)를 거쳐 각각 서로 다른 조절포트단자(13)와 연결되고, 이러한 조절포트단자(13)는 차압계(2)와 튜브(3a)로 연결되어 차압을 측정하게 되며 외부에서는 투명판넬(11)을 통하여 이를 확인하게 되는 것이다.That is, the first and second differential
또한 차압계(2)를 교정할 경우에는 양측 조절포트단자(13)의 마개(131)를 분리하고 압력계 교정기(4)와 연결된 튜브(3)를 제3 튜브장착부(134)에 연결하여 교정작업을 진행할 수 있도록 하여 결과적으로 커버판넬(1)을 분리할 필요가 없어 커버판넬(1)을 열었을 때 클린룸이 오염되는 것을 방지하는 효과가 있는 것이다.In addition, when calibrating the differential pressure gauge (2), remove the stopper (131) of the two-sided adjustment port terminal (13) and connect the tube (3) connected to the pressure gauge calibrator (4) to the third tube mounting part (134) for calibration work. As it is possible to proceed, as a result, there is no need to separate the
이때 상기 커버판넬(1)의 정면 상기 양측 장착홀(12) 사이에는 제1 차압감지포트(21)가 장착됨을 특징으로 하는 실시 예를 제시하였다.At this time, the present invention has been characterized in that a first differential
즉 커버판넬(1)이 장착된 정면 공간이 압력을 측정하기 위한 공간이며, 또 다른 공간에서는 제2 차압감지포트(22)가 연결되는 것이다.That is, the front space where the
또한 본원에서의 상기 조절포트단자(13)는 후방으로 관통된 제1 나사홀(135)과, 외경면에 관통된 제2 나사홀(136)을 구비하고;In addition, the
상기 제1 나사홀(135)은 전후방으로 관통된 홀이 형성되며 후방에 제1 튜브장착부(132)가 형성되고 전방에 제3 튜브장착부(134)가 형성되며 중간 외경면 형성된 나사산과 결합하고, 상기 제2 나사홀(136)은 제2 튜브장착부(133)의 일단 외경에 형성된 나사산과 결합하도록 구성된다.The
이때 마개(131)의 경우 나사결합으로 결합되는 것이 바람직하며 마개(131)를 닫았을 때 제2 튜브장착부(133)를 통하여 유입된 압력이 제3 튜브장착부(134)와 제1 튜브장착부(132)로 유입되도록 내부에 충분한 공간이 형성되어야함이 바람직하다.At this time, in the case of the
1 : 커버판넬
11 : 투명판넬
12 : 장착홀
13 : 조절포트단자
131 : 마개 132 : 제1 튜브장착부
133 : 제2 튜브장착부 134 : 제3 튜브장착부
135 : 제1 나사홀 136 : 제2 나사홀
2 : 차압계
21 : 제1 차압감지포트
22 : 제2 차압감지포트
3, 3a, 3b, 3c : 튜브
4 : 압력계 교정기1: Cover panel
11: Transparent panel
12: mounting hole
13: Adjustment port terminal
131: stopper 132: the first tube mounting portion
133: second tube mounting portion 134: third tube mounting portion
135: first screw hole 136: second screw hole
2: Differential pressure gauge
21: 1st differential pressure detection port
22: second differential pressure detection port
3, 3a, 3b, 3c: tube
4: Pressure gauge corrector
Claims (3)
정면의 내부 차압계(2)를 볼 수 있도록 하는 투명판넬(11)과;
정면 상부 양측에 관통 형성되는 장착홀(12)과;
상기 커버판넬(1)의 정면 상기 양측 장착홀(12) 사이에 장착되는 제1 차압감지포트(21)와;
상기 장착홀(12)에 각각 장착되고 정면은 마개(131)에 의하여 개폐되며, 배면에는 차압계(2)와 연결되는 튜브(3a)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제1 튜브장착부(132)가 형성되고, 외경면에 돌출되어 압력을 측정하기 위한 구획의 제1 또는 제2 차압감지포트(21, 22)로부터 연장된 튜브(3b, 3c)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제2 튜브장착부(133)를 구비하여 마개(131)를 장착하였을 때 제1 튜브장착부(132)와 연통하도록 하며, 내측에는 상기 제1 튜브장착부(132)와 일체로 정면으로 돌출되어 튜브(3)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제3 튜브장착부(134)를 구비하여 마개(131)를 분리하여 튜브(3)를 장착하였을 때 제1 튜브장착부(132)와 연통하도록 하는 두 개의 조절포트단자(13)를 구비함을 특징으로 하는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬.
In the cover panel (1) used for a buried differential pressure gauge that covers the front surface of a wall in which a differential pressure gauge (2) for measuring the pressure difference between two different places is buried;
A transparent panel 11 through which the internal differential pressure gauge 2 on the front is visible;
A mounting hole 12 formed through both sides of the front upper part;
A first differential pressure detection port (21) mounted between the front and both mounting holes (12) of the cover panel (1);
The first tube mounting portion 132, which is mounted to the mounting hole 12 and is opened and closed by a stopper 131, is inserted into and connected to one end of the tube 3a connected to the differential pressure gauge 2 on the rear surface. The second tube mounting portion (2) to be inserted into and connected to one end of the tube (3b, 3c) extending from the first or second differential pressure detection ports (21, 22) of the compartment for measuring pressure by protruding from the outer diameter surface 133) when the stopper 131 is mounted so as to communicate with the first tube mounting portion 132, inside the first tube mounting portion 132 integrally protrudes in front and at one end of the tube 3 When the tube 3 is mounted by separating the stopper 131 by providing a third tube mounting part 134 for inserting connection, two control port terminals 13 are provided to communicate with the first tube mounting part 132. A cover panel used for a buried differential pressure gauge characterized by a box.
상기 조절포트단자(13)는 후방으로 관통된 제1 나사홀(135)과, 외경면에 관통된 제2 나사홀(136)을 구비하고;
상기 제1 나사홀(135)은 전후방으로 관통된 홀이 형성되며 후방에 제1 튜브장착부(132)가 형성되고 전방에 제3 튜브장착부(134)가 형성되며 중간 외경면 형성된 나사산과 결합하고, 상기 제2 나사홀(136)은 제2 튜브장착부(133)의 일단 외경에 형성된 나사산과 결합하도록 구성됨을 특징으로 하는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬.According to claim 1,
The adjustment port terminal 13 is provided with a first screw hole 135 through the rear and a second screw hole 136 through the outer diameter surface;
The first screw hole 135 is formed with a hole penetrated in the front and rear direction, a first tube mounting portion 132 is formed at the rear, a third tube mounting portion 134 is formed at the front side, and a screw thread formed at an intermediate outer diameter surface is engaged. The second screw hole 136 is a cover panel used in a buried differential pressure gauge, characterized in that it is configured to engage with a thread formed at one end of the second tube mounting portion (133).
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2018
- 2018-11-09 KR KR1020180137130A patent/KR102119831B1/en active IP Right Grant
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