KR102552763B1 - Sensor device for detecting at least one flow property of a flowing fluid medium - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유체 매체의 적어도 하나의 유동 특성을 검출하기 위한 센서 장치(10)에 관한 것이다. 상기 센서 장치(10)는 적어도 하나의 센서 하우징(14)을 포함하고, 상기 센서 하우징(14) 내에는 상기 유동 특성을 검출하기 위한 적어도 하나의 유동 센서(40)를 구비한 적어도 하나의 전자 장치 모듈(30)이 수용되고, 상기 전자 장치 모듈(30)은 적어도 부분적으로 전자 장치 챔버(20) 내에 수용되며, 또한 상기 센서 하우징(14)의 내부에는 적어도 하나의 습기 센서(42)가 수용되고, 상기 센서 하우징(14)은 상기 유체 매체의 습기를 상기 습기 센서(42)에 제공하기 위한 적어도 하나의 유입구(46)를 포함한다. 상기 센서 하우징(14)은 상기 전자 장치 챔버(20)로부터 상기 유체 매체를 배출하기 위한 적어도 하나의 배출구(48)를 포함하고, 상기 전자 장치 챔버(20) 내에는 겔(58)이 제공되며, 상기 겔(58)은 상기 전자 장치 모듈(30)을 적어도 부분적으로 커버하고, 상기 센서 하우징(14)은 상기 전자 장치 챔버(20)를 향한 방향으로 돌출하는 적어도 하나의 돌출부(60)를 포함하며, 상기 돌출부(60)는 상기 겔(58) 내로 돌출하고, 상기 돌출부(60)는 적어도 하나의 채널(62)을 한정하고, 상기 채널(62)은 상기 유입구(46) 및 상기 배출구(48)를 연결한다.The present invention relates to a sensor device (10) for detecting at least one flow characteristic of a fluid medium. The sensor device 10 includes at least one sensor housing 14, and at least one electronic device having at least one flow sensor 40 for detecting the flow characteristics in the sensor housing 14. module 30 is accommodated, the electronics module 30 is at least partially housed within the electronics chamber 20, and at least one moisture sensor 42 is housed inside the sensor housing 14; , the sensor housing 14 includes at least one inlet 46 for providing moisture in the fluid medium to the moisture sensor 42 . the sensor housing (14) includes at least one outlet (48) for discharging the fluid medium from the electronics chamber (20), and a gel (58) is provided in the electronics chamber (20); the gel (58) at least partially covers the electronics module (30) and the sensor housing (14) comprises at least one protrusion (60) projecting in a direction towards the electronics chamber (20); , the protrusion 60 protrudes into the gel 58, the protrusion 60 defining at least one channel 62, the channel 62 having the inlet 46 and the outlet 48 connect

Description

유동하는 유체 매체의 적어도 하나의 유동 특성을 검출하기 위한 센서 장치{SENSOR DEVICE FOR DETECTING AT LEAST ONE FLOW PROPERTY OF A FLOWING FLUID MEDIUM}Sensor device for detecting at least one flow property of a flowing fluid medium

본 발명은 유동하는 유체 매체의 적어도 하나의 유동 특성을 검출하기 위한 센서 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a sensor device for detecting at least one flow characteristic of a flowing fluid medium.

선행 기술에는 유체 매체, 즉 액체 및/또는 가스의 유동 특성을 측정하기 위한 많은 방법 및 장치가 개시되어 있다. 유동 특성은 기본적으로 유체 매체의 유동을 정성화 또는 정량화하는 임의의 물리적 및/또는 화학적으로 측정 가능한 특성일 수 있다. 특히 유동 속도 및/또는 질량 유량 및/또는 체적 유량일 수 있다.The prior art discloses many methods and devices for measuring the flow properties of fluid media, ie liquids and/or gases. A flow property can be essentially any physically and/or chemically measurable property that qualifies or quantifies the flow of a fluid medium. It may in particular be a flow rate and/or a mass flow rate and/or a volume flow rate.

본 발명은 이하에서 예컨대 Konrad Reif(발행), Sensoren im Kraftfahrzeug, 제 1권 2010, 페이지 146-148에 설명된 소위 열막식 공기 질량 계량기와 관련해서 설명된다. 이러한 열막식 공기 질량 계량기는 일반적으로 유동하는 유체 매체가 흐를 수 있는 측정 표면을 구비한 센서 칩, 특히 실리콘 센서 칩에 기초한다. 센서 칩은 일반적으로 적어도 하나의 가열 소자 및 적어도 2개의 온도 센서를 포함하고, 상기 온도 센서들은 예컨대 센서 칩의 측정 표면상에 배치된다. 온도 센서에 의해 검출되며 유체 매체의 유동에 의해 영향을 받는 온도 프로파일의 비대칭으로부터, 유체 매체의 질량 유량 및/또는 체적 유량이 추론될 수 있다. 열막식 공기 질량 계량기는 통상 삽입식 센서로서 형성되고, 상기 삽입식 센서는 유동관 내에 고정적으로 또는 교환 가능하게 삽입될 수 있다.The present invention is hereinafter described in relation to a so-called hot-film air mass meter described eg in Konrad Reif (published), Sensoren im Kraftfahrzeug, Vol. 1 2010, pages 146-148. These hot-film air mass meters are generally based on sensor chips, in particular silicon sensor chips, with a measuring surface through which a flowing fluid medium can flow. The sensor chip generally includes at least one heating element and at least two temperature sensors, which are arranged, for example, on a measuring surface of the sensor chip. From the asymmetry of the temperature profile detected by the temperature sensor and influenced by the flow of the fluid medium, the mass flow rate and/or volume flow rate of the fluid medium can be inferred. Hot-film air mass meters are usually designed as implantable sensors, which can be fixedly or exchangeably inserted into the flow pipe.

예컨대, 상기 유동관은 내연기관의 흡입관일 수 있다.For example, the flow pipe may be a suction pipe of an internal combustion engine.

열막식 공기 질량 계량기의 센서 신호로부터 정확하게 유체 매체의 특정 유동 특성을 추론할 수 있기 위해, 많은 경우 유체 매체에 대한 추가 정보들이 제공될 수 있는 것이 바람직하다. 예컨대 DE 10 2010 043 083 A1에는 유체 매체의 유동 특성을 검출하기 위한 센서 장치가 개시되어 있으며, 상기 센서 장치는 공기 질량 유량을 검출하기 위한 센서 소자를 구비한 공기 질량 계량기를 포함한다. 또한, 습기 센서도 제공된다.In order to be able to infer the specific flow characteristics of the fluid medium accurately from the sensor signals of the hot film air mass meter, in many cases it is desirable that additional information about the fluid medium be provided. DE 10 2010 043 083 A1, for example, discloses a sensor device for detecting the flow characteristics of a fluid medium, said sensor device comprising an air mass meter with a sensor element for detecting an air mass flow rate. A moisture sensor is also provided.

상기 센서 장치에 의해 달성되는 장점들에도 여전히 상기 센서 장치는 개선의 여지가 있다. 별도의 인쇄 회로 기판상의 습기 센서는 압력 보상 소자로서 작용하는 통합된 막을 구비한 플라스틱 프레임에 의해 매체 및 기계적 영향으로부터 보호된다. 습기 센서에 측정 매체에 대한 접근을 보장하기 위해, 그 위에 놓인 전자 장치 챔버 커버가 유입구를 포함한다. 습기 센서는 습기 프레임, 및 습기에 대해 반투과성인 막을 전자 장치 챔버 커버와 동일한 높이에 포함한다. 유체 매체는 전자 장치 챔버 커버와 습기 센서 사이의 갭을 통해 또는 전자 장치 챔버 커버 내의 배출 홀을 통해 전자 장치 챔버 내로 이르고, 상기 전자 장치 챔버로부터 나온다. 특히 물 유입은 전자 장치 챔버 내의 전자 부품들을 예컨대 결빙에 의해 손상시킬 수 있다.Despite the advantages achieved by the sensor device, the sensor device still leaves room for improvement. The moisture sensor on a separate printed circuit board is protected from media and mechanical influences by a plastic frame with an integrated film acting as a pressure compensating element. To ensure access to the measuring medium to the moisture sensor, an electronics chamber cover placed thereon includes an inlet. The moisture sensor includes a moisture frame and a membrane semi-permeable to moisture flush with the electronics chamber cover. The fluid medium enters and exits the electronics chamber through a gap between the electronics chamber cover and the moisture sensor or through an exhaust hole in the electronics chamber cover. Water ingress in particular can damage electronic components within the electronics chamber, for example by freezing.

본 발명의 과제는, 공지된 센서 장치의 전술한 단점들을 적어도 거의 피하고 특히 유체 매체의 개선된 배출 및 그에 따라 습기 센서의 환기를 제공하도록 형성된, 유동하는 유체 매체의 적어도 하나의 유동 특성을 검출하기 위한 센서 장치를 제공하는 것이다. The object of the present invention is to detect at least one flow characteristic of a flowing fluid medium, which avoids at least substantially the above-mentioned disadvantages of the known sensor device and is designed in particular to provide an improved evacuation of the fluid medium and thus ventilation of the moisture sensor. To provide a sensor device for

상기 과제는 청구항 제 1 항의 특징들을 포함하는 센서 장치에 의해 해결된다.The problem is solved by a sensor device comprising the features of claim 1 .

질적으로 및/또는 양적으로 검출될 수 있는 적어도 하나의 유동 특성과 관련해서는 예컨대 선행 기술의 상기 설명이 참고될 수 있다. 특히, 상기 유동 특성은 유체 매체의 유동 속도 및/또는 질량 유량 및/또는 체적 유량일 수 있다. 유체 매체는 특히 가스, 바람직하게는 공기일 수 있다. 센서 장치는 특히 자동차 기술에, 예컨대 내연기관의 흡입관에 사용될 수 있다. 물론, 다른 사용 분야도 기본적으로 가능하다.Regarding at least one flow property that can be qualitatively and/or quantitatively determined, reference may be made to the above description of the prior art, for example. In particular, the flow characteristic may be the flow rate and/or mass flow rate and/or volume flow rate of the fluid medium. The fluid medium may in particular be a gas, preferably air. The sensor device can be used in particular in automotive technology, for example in the intake manifold of an internal combustion engine. Of course, other fields of use are basically possible.

유체 매체의 적어도 하나의 유동 특성을 검출하기 위한 본 발명에 따른 센서 장치는 적어도 하나의 센서 하우징을 포함한다. 센서 하우징은 본 발명의 범위에서 센서 장치를 외부에 대해 적어도 거의 폐쇄하고 기계적 영향 및 바람직하게는 다른 종류의 영향, 예컨대 화학적 영향 및/또는 습기 영향에 대해 적어도 거의 보호하는 일체형 또는 다체형 장치를 의미한다. 특히 센서 하우징은 적어도 하나의 삽입식 센서를 포함할 수 있거나 또는 삽입식 센서로서 형성될 수 있고, 삽입식 센서는 유동하는 유체 매체 내로 삽입될 수 있고, 교환 가능한 또는 영구적인 삽입도 가능하다. 삽입식 센서는 예컨대 유동하는 유체 매체의 유동관 내로 돌출할 수 있고, 유동관 자체는 센서 장치의 구성 부분일 수 있거나 또는 삽입식 센서가 삽입될 수 있는 개구를 구비한 별도의 부품으로서 제공될 수도 있다. 삽입식 센서 및 센서 하우징은 특히 적어도 부분적으로 플라스틱 재료로, 예컨대 사출 성형 방법에 의해 제조될 수 있다.A sensor device according to the invention for detecting at least one flow characteristic of a fluid medium comprises at least one sensor housing. Sensor housing means within the scope of the present invention a one-piece or multi-piece device that at least substantially closes the sensor device to the outside and at least substantially protects it against mechanical influences and preferably against other kinds of influences, such as chemical influences and/or moisture influences. do. In particular, the sensor housing can contain at least one implantable sensor or can be designed as an implantable sensor, which implantable sensor can be inserted into the flowing fluid medium, and can also be inserted interchangeably or permanently. The implantable sensor can for example protrude into the flow tube of the flowing fluid medium, and the flow tube itself can be a component part of the sensor device or can be provided as a separate part with an opening through which the implantable sensor can be inserted. The implantable sensor and sensor housing can in particular be manufactured at least partly from a plastic material, for example by means of an injection molding method.

센서 하우징 내에는 유동 특성을 검출하기 위한 적어도 하나의 유동 센서를 구비한 적어도 하나의 전자 장치 모듈이 수용된다. 센서 하우징 내에 수용이란 표현은 전자 장치 모듈이 적어도 부분적으로, 바람직하게는 완전히 센서 하우징에 의해 둘러싸이는 것을 의미한다. 전자 장치 모듈은 적어도 부분적으로 센서 하우징의 적어도 하나의 전자 장치 챔버 내에 배치된다. 전자 장치 챔버는 본 발명의 범위에서 센서 하우징의 내부에서 부분적으로 또는 완전히 폐쇄된 챔버를 의미하고, 상기 챔버는 적어도 하나의 방향에서 센서 하우징에 의해 폐쇄된다. 바람직하게는 전자 장치 챔버는 센서 하우징 내에서 센서 하우징의 표면으로부터 접근 가능한 적어도 하나의 리세스, 예컨대 블록형 리세스를 포함한다. 전자 장치 챔버는 하기에서 더 상세히 설명되는 바와 같이, 예컨대 장착을 위해 예컨대 표면으로부터 접근 가능하고, 적어도 하나의 폐쇄 부재, 예컨대 적어도 하나의 전자 장치 챔버 커버에 의해 영구적으로 또는 가역적으로 폐쇄될 수 있다.At least one electronics module with at least one flow sensor for detecting a flow characteristic is housed in the sensor housing. The expression housed in the sensor housing means that the electronics module is at least partially, preferably completely enclosed by the sensor housing. The electronics module is disposed at least partially within the at least one electronics chamber of the sensor housing. An electronics chamber means within the scope of the present invention a chamber that is partially or completely closed inside the sensor housing, said chamber being closed by the sensor housing in at least one direction. Preferably the electronics chamber includes at least one recess within the sensor housing, eg a block-shaped recess, accessible from a surface of the sensor housing. The electronics chamber is accessible, eg from a surface, eg for mounting, and can be permanently or reversibly closed by at least one closure member, eg at least one electronics chamber cover, as described in more detail below.

유동 센서는 기본적으로 적어도 하나의 유동 특성을 검출하도록 형성된 임의의 센서 소자를 의미한다. 특히, 유동 센서는 예컨대 전술한 방식의 적어도 하나의 열막식 공기 질량 계량기 칩일 수 있다. 특히 상기 열막식 공기 질량 계량기 칩은 유동하는 유체 매체가 흐를 수 있는 측정 표면을 구비한 적어도 하나의 실리콘 칩을 포함할 수 있다. 상기 센서 표면상에 예컨대 적어도 하나의 가열 소자 및 적어도 2개의 온도 센서가 배치될 수 있다. 전술한 바와 같이, 온도 센서에 의해 측정된 온도 프로파일의 비대칭으로부터 적어도 하나의 유동 특성이 추론될 수 있다. 적어도 하나의 유동 센서는 예컨대 전자 장치 모듈의 센서 캐리어 상에 배치될 수 있고, 상기 센서 캐리어는 유동하는 유체 매체 내로 돌출한다. 전자 장치 모듈은 특히 일체형으로 형성될 수 있고 특히 제어 및/또는 평가 회로를 지지할 수 있다. 상기 제어 및/또는 지지 회로는 유동 센서를 제어하도록 및/또는 유동 센서의 신호들을 수신하도록 설계된다. 이에 따라서 전자 장치 모듈은 예컨대 적어도 하나의 회로 캐리어를 포함할 수 있다. 또한, 전자 장치 모듈은 특히 적어도 하나의 센서 캐리어를 포함할 수 있고, 상기 센서 캐리어는 회로 캐리어에 바람직하게는 기계적으로 연결된다. 예컨대, 회로 캐리어는 센서 하우징의 전자 장치 챔버 내에 배치될 수 있고, 센서 캐리어는 상기 전자 장치 챔버로부터 유체 매체 내로 돌출할 수 있다. 센서 하우징이 유체 매체에 의해 관류될 수 있는 적어도 하나의 유동 채널을 포함하는 것이 특히 바람직하고, 이 경우 유동 센서를 지지하는 전자 장치 모듈의 센서 캐리어는 전자 장치 챔버로부터 센서 하우징 내에서 유체 매체에 의해 관류 가능한 적어도 하나의 유동 채널 내로 돌출한다. 상기 적어도 하나의 유동 채널은 특히 일체형으로 형성될 수 있지만, 적어도 하나의 메인 채널, 및 상기 메인 채널로부터 분기하는 적어도 하나의 바이패스 채널을 포함할 수 있고, 이 경우 상기 센서 캐리어는 바람직하게는 선행 기술에 공지된 바와 같이 바이패스 채널 내로 돌출한다.A flow sensor basically means any sensor element configured to detect at least one flow characteristic. In particular, the flow sensor can be, for example, at least one hot film air mass meter chip in the manner described above. In particular, the hot-film air mass meter chip may comprise at least one silicon chip with a measuring surface through which a flowing fluid medium can flow. On the sensor surface, for example, at least one heating element and at least two temperature sensors can be arranged. As mentioned above, at least one flow property can be inferred from the asymmetry of the temperature profile measured by the temperature sensor. The at least one flow sensor can be arranged for example on a sensor carrier of the electronics module, which sensor carrier protrudes into the flowing fluid medium. The electronic device module can in particular be integrally formed and in particular can support a control and/or evaluation circuit. The control and/or support circuitry is designed to control the flow sensor and/or to receive signals from the flow sensor. Accordingly, the electronic device module can include, for example, at least one circuit carrier. Furthermore, the electronic device module can in particular comprise at least one sensor carrier, which sensor carrier is preferably mechanically connected to the circuit carrier. For example, the circuit carrier can be disposed within the electronics chamber of the sensor housing, and the sensor carrier can protrude from the electronics chamber into the fluid medium. It is particularly preferred that the sensor housing comprises at least one flow channel through which a fluid medium can flow through, in which case the sensor carrier of the electronics module carrying the flow sensor is moved by a fluid medium from the electronics chamber into the sensor housing. It protrudes into at least one perfusable flow channel. The at least one flow channel may in particular be formed in one piece, but may also include at least one main channel and at least one bypass channel branching off from the main channel, in which case the sensor carrier preferably precedes Projects into the bypass channel as is known in the art.

전자 장치 모듈의 회로 캐리어는 특히 인쇄 회로 기판을 포함할 수 있고, 상기 인쇄 회로 기판은 단독 위치에 사용되거나 또는 예컨대 기계적 캐리어 상에, 예를 들면 금속 재료로 제조될 수 있는 스탬핑-벤딩된(stamped-bended) 부품의 형태인 바닥 판 상에 장착된다. 센서 캐리어는 회로 캐리어에 직접 연결될 수 있거나 또는 캐리어 부분에, 예컨대 센서 캐리어가 바닥판 상으로 사출됨으로써 바닥판에 연결될 수 있다. 다른 실시예도 기본적으로 가능하다. 예컨대, 전자 장치 모듈을 인쇄 회로 기판 재료로 제조하는 것이 가능하며, 이 경우 회로 캐리어 및 센서 캐리어는 인쇄 회로 기판 재료로, 바람직하게는 인쇄 회로 기판 재료의 일부로 제조된다. 대안으로서 또는 추가로, 선행 기술에 공지된, 사출 성형된 인쇄 회로 기판을, 예컨대 하나 또는 다수의 소위 MID-기술(MID = molded interconnect device)의 사출 성형된 인쇄 회로 기판을 전자 장치 모듈로서 사용하는 것도 가능하다. 따라서, 다양한 실시예들이 가능하다.The circuit carrier of the electronic device module can in particular comprise a printed circuit board, said printed circuit board being used in situ or stamped, for example on a mechanical carrier, which can be made of metal material, for example. -bended) mounted on the bottom plate in the form of a part. The sensor carrier can be connected directly to the circuit carrier or to the base plate by means of a part of the carrier, for example by ejecting the sensor carrier onto the base plate. Other embodiments are essentially possible. For example, it is possible to manufacture the electronic device module from a printed circuit board material, in which case the circuit carrier and the sensor carrier are made from the printed circuit board material, preferably from a part of the printed circuit board material. Alternatively or additionally, injection-molded printed circuit boards known from the prior art, for example one or several injection-molded printed circuit boards of the so-called MID-technology (MID = molded interconnect device) are used as electronic device modules. It is also possible. Accordingly, various embodiments are possible.

센서 장치는 또한 적어도 하나의 습기 센서를 포함한다. 습기 센서는 센서 하우징의 내부에 수용된다. 센서 하우징 내부에 배치라는 표현은 습기 센서가 적어도 부분적으로, 바람직하게는 완전히 센서 하우징에 의해 둘러싸이는 배치를 의미한다. 습기 센서는 기본적으로 유체 매체의 습기를 검출하도록 설계된 임의의 센서 소자를 의미한다. 예컨대, 이 경우 선행 기술에 공지된 바와 같은 저항성 및/또는 용량성 센서 소자들이 고려된다. 이러한 습기 센서들의 예들은 Konrad Reif(발행), 제 1권 2010, 페이지 98-101에 개시되어 있다. 그러나 대안으로서 또는 추가로 다른 방식의 습기 센서들도 본 발명의 범위에서 사용될 수 있다.The sensor device also includes at least one moisture sensor. A moisture sensor is housed inside the sensor housing. The expression arrangement inside the sensor housing means an arrangement in which the moisture sensor is at least partially, preferably completely enclosed by the sensor housing. A moisture sensor basically means any sensor element designed to detect moisture in a fluid medium. For example, resistive and/or capacitive sensor elements as known from the prior art are considered in this case. Examples of such moisture sensors are disclosed in Konrad Reif (published), Volume 1 2010, pages 98-101. However, alternatively or in addition, other types of moisture sensors may also be used within the scope of the present invention.

센서 하우징은 유체 매체의 습기를 습기 센서에 제공하기 위한 적어도 하나의 유입구를 포함한다. 또한, 센서 하우징은 전자 장치 챔버로부터 유체 매체를 배출하기 위한 적어도 하나의 배출구를 포함한다. 전자 장치 챔버 내에는 겔이 제공된다. 겔은 전자 장치 모듈을 적어도 부분적으로 커버한다. 바람직하게는 겔이 경화됨으로써 더 이상 유동성을 갖지 않는다. 센서 하우징은 또한 전자 장치 챔버를 향한 방향으로 돌출하는 적어도 돌출부를 포함한다. 돌출부는 겔 내로 돌출한다. 이 경우 돌출부는 채널을 한정한다. 채널은 유입구와 배출구를 연결한다. 따라서, 전자 장치 챔버 내로 유입되는 유체 매체는 상기 채널을 통해 배출구로 안내된다.The sensor housing includes at least one inlet for providing moisture in the fluid medium to the moisture sensor. The sensor housing also includes at least one outlet for discharging the fluid medium from the electronics chamber. A gel is provided within the electronics chamber. The gel at least partially covers the electronic device module. Preferably, the gel is cured so that it no longer has fluidity. The sensor housing also includes at least a protrusion projecting in a direction towards the electronics chamber. The protrusions protrude into the gel. In this case the protrusion defines a channel. A channel connects the inlet and outlet. Accordingly, the fluid medium entering the electronic device chamber is directed through the channel to the outlet.

전술한 바와 같이, 센서 하우징이 적어도 하나의 전자 장치 챔버 커버를 포함하는 것이 바람직하다. 전자 장치 챔버 커버는 전자 장치 챔버를 폐쇄하도록 형성된다. 전자 장치 챔버 커버는 돌출부를 포함한다. 이로 인해, 채널은 전자 장치 챔버의 폐쇄시 전자 장치 챔버 커버에 의해 형성될 수 있다. 이 경우, 채널은 전자 장치 챔버 커버, 돌출부 및 겔에 의해 측면으로 한정된다.As noted above, the sensor housing preferably includes at least one electronics chamber cover. An electronics chamber cover is formed to close the electronics chamber. The electronics chamber cover includes a protrusion. Due to this, the channel can be formed by the electronics chamber cover upon closing of the electronics chamber. In this case, the channel is laterally defined by the electronics chamber cover, protrusion and gel.

유입구들 및/또는 배출구들은 전자 장치 챔버 커버 내에 형성되는 것이 바람직하다. 대안으로서 또는 추가로 유입구 및/또는 배출구가 센서 하우징 자체 내에 형성될 수 있다. 돌출부는 유입구 및 배출구를 한정할 수 있다.The inlets and/or outlets are preferably formed in the electronics chamber cover. Alternatively or additionally, the inlet and/or outlet may be formed in the sensor housing itself. The protrusions may define inlets and outlets.

전자 장치 모듈은 습기 센서를 포함할 수 있다. 전자 장치 모듈은 예컨대 회로 캐리어를 포함할 수 있고, 이 경우 습기 센서는 회로 캐리어 상에 배치된다. 전자 장치 모듈은 전술한 바와 같이 센서 캐리어를 포함할 수 있다. 센서 캐리어는 유동 센서를 지지할 수 있고, 전자 장치 챔버로부터 센서 하우징 내에서 유체 매체에 의해 관류 가능한 적어도 하나의 유동 채널 내로 돌출할 수 있으며, 이 경우 유동 센서와 습기 센서는 전자 장치 모듈의 동일한 면 상에 배치된다. 예컨대, 전자 장치 모듈은 제어 및/또는 평가 회로를 포함하고, 상기 제어 및/또는 평가 회로는 회로 캐리어 상에 배치되고, 상기 제어 및/또는 평가 회로 및 상기 습기 센서는 함께 회로 캐리어의 하나의 면 상에 배치된다.The electronic device module may include a moisture sensor. The electronic device module can, for example, comprise a circuit carrier, in which case the moisture sensor is arranged on the circuit carrier. As described above, the electronic device module may include a sensor carrier. The sensor carrier can support the flow sensor and protrude from the electronics chamber into at least one flow channel permeable by a fluid medium within the sensor housing, in which case the flow sensor and the moisture sensor are on the same side of the electronics module. placed on top For example, the electronic device module comprises a control and/or evaluation circuit, said control and/or evaluation circuit being arranged on a circuit carrier, said control and/or evaluation circuit and said moisture sensor together on one side of the circuit carrier. placed on top

채널은 습기 센서를 환기시키도록 형성될 수 있다. 환기는 유입구로부터 배출구로 채널 내부에서 유체 매체의 유동 형성의 달성을 의미한다. 이는 특히, 유체 매체가 센서 하우징의 주위로 흐를 때 유입구의 영역에서는 배출구의 영역에서보다 더 높은 정압이 존재하도록 센서 하우징이 형성됨으로써 달성될 수 있다. 유입구 및 배출구의 영역에서 정압이란, 유체 매체에 의해 외부로부터 유입구와 배출구의 각각의 횡단면에 작용하는 정압을 의미한다. 즉, 센서 하우징의 주변으로부터 센서 하우징 또는 채널의 내부를 향해 작용하는 정압을 의미한다.A channel may be formed to ventilate the moisture sensor. Ventilation means the achievement of the formation of a flow of a fluid medium inside a channel from the inlet to the outlet. This can in particular be achieved by the sensor housing being formed such that, when the fluid medium flows around the sensor housing, there is a higher static pressure in the region of the inlet than in the region of the outlet. Static pressure in the region of the inlet and outlet means the static pressure acting on the respective cross-sections of the inlet and outlet from the outside by the fluid medium. That is, it means the static pressure acting from the periphery of the sensor housing towards the inside of the sensor housing or channel.

본 발명의 범위에서 정압은 유체와 연결된 각각의 면에 가해지는 힘의 비율을 의미하고, 상기 힘은 면의 크기에 비례해서 작용한다. 정압은 예컨대 등식 Pstat.= p x g x h에 의해 구해질 수 있고, 상기 식에서 p는 유체의 밀도, g는 중력 가속도 그리고 h는 면 위로 유체 기둥의 높이다.Static pressure in the scope of the present invention means the ratio of the force applied to each surface connected to the fluid, and the force acts in proportion to the size of the surface. The static pressure can be found, for example, by the equation Pstat.= p x g x h, where p is the density of the fluid, g is the gravitational acceleration and h is the height of the fluid column above the surface.

본 발명의 범위에서, 센서 하우징의 구조적 조치에 의해 유입구와 배출구 사이의 압력 차가 구현된다. 예컨대, 유입구와 배출구의 횡단면, 위치 및 형상의 적절한 설계에 의해 압력차가 구현될 수 있다. 다른 구조적 조치, 예컨대 와류 발생기 또는 전자 장치 챔버 커버의 형상도 채널 내에서 유입구로부터 배출구로 유체의 유동을 일으킬 수 있다.Within the scope of the present invention, the pressure difference between the inlet and outlet is realized by structural measures of the sensor housing. For example, the pressure difference can be realized by appropriate design of the cross section, location and shape of the inlet and outlet. Other structural measures, such as vortex generators or the shape of the electronics chamber cover, can also cause fluid flow within the channel from the inlet to the outlet.

습기 센서는 적어도 하나의 측정 챔버를 포함할 수 있고, 상기 측정 챔버는 습기에 대해 적어도 부분적으로 투과성인 적어도 하나의 막 및 프레임에 의해 한정된다.The moisture sensor may include at least one measuring chamber, the measuring chamber being bounded by at least one membrane and frame at least partially permeable to moisture.

유입구는 기본적으로 임의의 횡단면, 예컨대 직사각형 및/또는 원형 및/또는 다각형 횡단면을 가질 수 있다. 다른 실시예들도 가능하다.The inlet can have essentially any cross-section, for example a rectangular and/or circular and/or polygonal cross-section. Other embodiments are also possible.

돌출부는 채널을 형성할 수 있다. 예컨대 전자 장치 챔버 커버가 2중 벽으로 형성됨으로써, 돌출부가 채널을 형성한다. 이 실시예는 겔이 경화 시에 평평한 표면을 형성하지 않는 것이 전제되는 경우들에 적용될 수 있다. 채널 형상의 돌출부에 의해, 채널에 대한 규정된 횡단면 비율이 구현될 수 있다.The protrusions may form channels. For example, the electronic device chamber cover is formed as a double wall, so that the protrusion forms a channel. This embodiment can be applied to cases where it is premised that the gel does not form a flat surface upon curing. By means of the channel-shaped protrusions, a defined cross-section ratio for the channel can be realized.

센서 장치는 또한 유체 매체의 적어도 하나의 다른 물리적 및/또는 화학적 특성을 검출하기 위한 하나 또는 다수의 다른 센서 소자들을 포함할 수 있다. 특히 센서 장치는 또한 적어도 하나의 온도 센서, 특히 센서 하우징의 외부면 상에 배치된 적어도 하나의 온도 센서를 포함할 수 있다. 예컨대 온도 센서는 습기 센서에 마주 놓인 면 상에 배치되도록 센서 하우징의 외부면 상에 배치될 수 있다. 물론 다른 실시예들도 기본적으로 가능하다. 특히 온도 센서는 센서 하우징의 측벽 상의 적어도 하나의 리세스 내에 배치될 수 있다. 온도 센서는 특히 적어도 하나의 온도 의존 저항을 포함할 수 있다. 대안으로서 또는 추가로, 다른 방식의 온도 센서들도 사용될 수 있다. 온도 센서 주위로 유체 매체가 자유로이 흐를 수 있다. 즉, 온도 센서가 센서 소자의 센서 하우징에 의해 둘러싸이지 않을 수 있다. 온도 센서는 특히 압력 끼워맞춤 및/또는 형상 끼워맞춤에 의해 센서 하우징에 연결 수 있으며, 예컨대 온도 센서의 공급 라인들이 센서 하우징의 외벽에 코킹되거나 또는 다른 방식으로 연결됨으로써 연결될 수 있다. 온도 센서의 공급 라인들은 특히 센서 하우징의 내부 내로 안내될 수 있고 거기서 예컨대 전자 장치 모듈에 연결될 수 있고 및/또는 센서 장치의 플러그 커넥터에 연결될 수 있다. 다양한 다른 실시예들이 기본적으로 가능하다.The sensor device may also include one or more other sensor elements for detecting at least one other physical and/or chemical property of the fluid medium. In particular, the sensor device may also comprise at least one temperature sensor, in particular at least one temperature sensor arranged on the outer surface of the sensor housing. For example, a temperature sensor may be disposed on the outer surface of the sensor housing such that it is disposed on the surface facing the moisture sensor. Of course, other embodiments are basically possible. In particular the temperature sensor can be arranged in at least one recess on the side wall of the sensor housing. The temperature sensor may in particular include at least one temperature dependent resistor. Alternatively or additionally, other types of temperature sensors may also be used. A fluid medium can flow freely around the temperature sensor. That is, the temperature sensor may not be enclosed by the sensor housing of the sensor element. The temperature sensor can in particular be connected to the sensor housing by means of a press-fit and/or form-fit, for example by having the supply lines of the temperature sensor crimped or otherwise connected to the outer wall of the sensor housing. The supply lines of the temperature sensor can in particular be led into the interior of the sensor housing and can be connected there, for example, to an electronics module and/or to a plug connector of the sensor device. Various other embodiments are essentially possible.

센서 장치는 또한 예컨대 압력 센서를 포함할 수 있다. 압력 센서는 기본적으로, 유체 매체의 압력을 검출하도록 설계된 임의의 센서 소자를 의미한다. 특히, 예컨대 Konrad Reif(발행), Sensoren im Kraftfahrzeug, 제 1권 2010, 페이지 80-82 및 134-136에 개시된 바와 같은 압력 센서일 수 있다. 대안으로서 또는 추가로, 다른 방식의 압력 센서, 예컨대 하나 또는 다수의 스트레인 게이지 또는 유사한 압력 센서 소자의 사용에 직접 기초한 압력 센서들이 사용될 수 있다.The sensor device may also include, for example, a pressure sensor. A pressure sensor basically means any sensor element designed to detect the pressure of a fluid medium. In particular, it may be a pressure sensor as described, for example, in Konrad Reif (published), Sensoren im Kraftfahrzeug, Volume 1 2010, pages 80-82 and 134-136. Alternatively or additionally, other types of pressure sensors may be used, for example pressure sensors based directly on the use of one or several strain gauges or similar pressure sensor elements.

본 발명의 다른 선택적 세부 사항들 및 특징들은 도면에 개략적으로 도시된 바람직한 실시예의 하기 설명에 제시된다.Other optional details and features of the invention are presented in the following description of a preferred embodiment shown schematically in the drawings.

도 1은 유체 매체의 적어도 하나의 유동 특성을 검출하기 위한 본 발명에 따른 센서 장치의 분해도.
도 2는 센서 장치의 횡단면도.
도 3은 센서 장치의 평면도.
1 is an exploded view of a sensor device according to the invention for detecting at least one flow characteristic of a fluid medium;
2 is a cross-sectional view of the sensor device;
3 is a plan view of the sensor device;

도 1에는 유체 매체의 적어도 하나의 유동 특성을 검출하기 위한 본 발명에 따른 센서 장치(10)의 분해도가 도시되어 있다. 센서 장치(10)는 이 실시예에서 열막식 공기 질량 계량기로서 형성되고, 삽입식 센서(12)를 포함한다. 삽입식 센서(12)는 유체 매체, 예컨대 흡입 공기의 유동 내로 삽입될 수 있고, 예컨대 흡입관 내로 가역적으로 삽입될 수 있거나 또는 영구 설치된다. 삽입식 센서(12)는 센서 하우징(14)을 포함한다. 센서 하우징(14) 내에 채널 영역(16) 및 전자 장치 영역(18)이 수용되고, 상기 전자 장치 영역은 센서 하우징(14) 내로 삽입되는 전자 장치 챔버(20)를 포함한다. 채널 영역(16)은 바이패스 채널 커버(22)에 의해 폐쇄될 수 있다. 바이패스 채널 커버(22) 내에는 유체 매체에 의해 관류 가능한 유동 채널(24)이 형성된다. 유동 채널(24)은 메인 채널(26) 및 상기 메인 채널로부터 분기하는 바이패스 채널(28)을 포함한다.1 shows an exploded view of a sensor device 10 according to the invention for detecting at least one flow characteristic of a fluid medium. The sensor device 10 is formed in this embodiment as a hot-film air mass meter and includes an implantable sensor 12 . The implantable sensor 12 can be inserted into a flow of a fluid medium, eg intake air, reversibly inserted eg into an intake tube or permanently installed. Implantable sensor 12 includes a sensor housing 14 . A channel region 16 and an electronics region 18 are housed within the sensor housing 14 and the electronics region includes an electronics chamber 20 inserted into the sensor housing 14 . Channel region 16 may be closed by bypass channel cover 22 . In the bypass channel cover 22, a flow channel 24 through which a fluid medium can flow is formed. The flow channel 24 includes a main channel 26 and a bypass channel 28 branching off from the main channel.

전자 장치 챔버(20) 내에는 전자 장치 모듈(30)이 수용된다. 전자 장치 모듈(30)은 제어 및/또는 평가 회로(34)를 구비한 회로 캐리어(32)를 포함하고, 상기 회로 캐리어(32)는 예컨대 바닥판(36) 상에 수용될 수 있다. 전자 장치 모듈(30)은 또한 바닥판(36)에 사출된 윙 형태의 센서 캐리어(38)를 포함한다. 센서 캐리어(38)는 바이패스 채널(28) 내로 돌출한다. 센서 캐리어(38) 내로, 열막식 공기 질량 계량기 칩의 형태인 유동 센서(40)가 삽입된다.The electronic device module 30 is accommodated in the electronic device chamber 20 . The electronic device module 30 comprises a circuit carrier 32 with control and/or evaluation circuits 34 , which circuit carrier 32 can be accommodated on a base plate 36 , for example. The electronic device module 30 also includes a wing-shaped sensor carrier 38 extruded on the bottom plate 36 . The sensor carrier 38 protrudes into the bypass channel 28 . Into the sensor carrier 38, a flow sensor 40 in the form of a hot-film air mass meter chip is inserted.

센서 장치(10)는 또한 습기 센서(42)를 포함한다. 습기 센서(42)는 센서 하우징(14)의 내부에 수용된다. 따라서, 습기 센서(42)는 전자 장치 모듈(30)의 회로 캐리어(32) 상에 배치된다. 센서 캐리어(38), 바닥판(36) 및 회로 캐리어(32)는 전자 장치 모듈(30)을 형성하고, 상기 전자 장치 모듈(30)은 추가로 제어 및/또는 평가 회로(34)를 포함할 수 있다. 센서 캐리어(38)에 추가해서, 회로 캐리어(320) 및 제어 및/또는 평가 회로(34)의 전자 장치가 바닥판(36) 상에 접착된다. 유동 센서(40), 습기 센서(42) 및 제어 및/또는 평가 회로(34)는 일반적으로 본딩 결합에 의해 서로 연결된다. 이렇게 형성된 전자 장치 모듈(30)은 예컨대 전자 장치 챔버(20) 내에 접착된다.The sensor device 10 also includes a moisture sensor 42 . Moisture sensor 42 is accommodated inside sensor housing 14 . Accordingly, the moisture sensor 42 is disposed on the circuit carrier 32 of the electronics module 30 . The sensor carrier 38, the base plate 36 and the circuit carrier 32 form an electronics module 30, which may additionally include a control and/or evaluation circuit 34. can In addition to the sensor carrier 38 , the circuit carrier 320 and the electronics of the control and/or evaluation circuit 34 are glued onto the base plate 36 . The flow sensor 40, the moisture sensor 42 and the control and/or evaluation circuit 34 are typically connected to each other by bonding bonds. The electronic device module 30 thus formed is bonded within the electronic device chamber 20 , for example.

센서 장치(10)는 또한 전자 장치 챔버 커버(44)를 포함한다. 전자 장치 챔버 커버(44)는 전자 장치 챔버(20)를 폐쇄하도록 형성된다. 상기 폐쇄는 영구적이거나 또는 가역적으로 이루어질 수 있다. 센서 장치(10)는 또한 유체 매체의 습기를 습기 센서(42)에 제공하기 위한 적어도 하나의 유입구(46)를 포함한다. 유입구(46)는 전자 장치 챔버 커버(44) 내에 형성된다. 센서 장치(10)는 또한 전자 장치 챔버(20)로부터 유체 매체를 배출하기 위한 적어도 하나의 배출구(48)를 포함한다. 배출구(48)도 전자 장치 챔버 커버(44) 내에 형성된다. 유입구(46) 및 배출구(48)는 서로 이격되어 배치된다. 예컨대, 유입구(46) 및 배출구(48)는 전자 장치 챔버 커버(44)의 마주놓인 길이방향 면들에 배치된다.The sensor device 10 also includes an electronics chamber cover 44 . The electronic device chamber cover 44 is formed to close the electronic device chamber 20 . The closure can be permanent or reversible. The sensor device 10 also includes at least one inlet 46 for providing moisture in the fluid medium to the moisture sensor 42 . An inlet 46 is formed in the electronics chamber cover 44 . Sensor device 10 also includes at least one outlet 48 for discharging fluid medium from electronics chamber 20 . An outlet 48 is also formed in the electronics chamber cover 44 . The inlet 46 and the outlet 48 are spaced apart from each other. For example, the inlet 46 and outlet 48 are disposed on opposite longitudinal sides of the electronics chamber cover 44 .

도 2에는 센서 장치(10)의 횡단면도가 도시되어 있다. 도 2에 나타나는 바와 같이, 습기 센서(42)는 적어도 하나의 측정 챔버(50)를 포함한다. 측정 챔버(50)는 습기에 대해 적어도 부분적으로 투과성인 적어도 하나의 막(52) 및 프레임(54)에 의해 한정된다. 습기 센서(42)는 습기 모듈(56)로서 형성될 수 있거나 또는 습기 모듈(56) 내에 포함될 수 있다. 전자 장치 챔버(20) 내에 겔(58)이 제공된다. 겔(58)은 전자 장치 모듈(30) 및 특히 회로 캐리어(32)를 적어도 부분적으로 커버한다. 겔(58)은 예컨대 열처리에 의해 또는 UV-광에 의해 경화되므로 더 이상 유동성을 갖지 않는다. 센서 장치(10)는 전자 장치 챔버(20)를 향한 방향으로 돌출한 돌출부(60)를 포함한다. 특히 전자 장치 챔버 커버(44)가 돌출부(60)를 포함한다. 돌출부(60)는 예컨대 밀봉 스트럿으로서 형성된다. 이 경우 돌출부(60)는 겔(58) 내로 돌출한다. 달리 표현하면, 돌출부(60)는 겔(58) 내로 삽입된다.2 shows a cross-sectional view of the sensor device 10 . As shown in FIG. 2 , moisture sensor 42 includes at least one measurement chamber 50 . The measurement chamber 50 is bounded by a frame 54 and at least one membrane 52 that is at least partially permeable to moisture. Moisture sensor 42 may be formed as moisture module 56 or may be included within moisture module 56 . A gel 58 is provided within the electronics chamber 20 . The gel 58 at least partially covers the electronic device module 30 and in particular the circuit carrier 32 . The gel 58 is cured, for example by heat treatment or by means of UV-light, so that it no longer has fluidity. The sensor device 10 includes a protrusion 60 protruding in a direction toward the electronic device chamber 20 . In particular, the electronics chamber cover 44 includes the protrusion 60 . The protrusion 60 is designed as a sealing strut, for example. In this case, the protrusion 60 protrudes into the gel 58 . In other words, protrusion 60 is inserted into gel 58 .

겔(58)은 센서 장치(10)의 전자 장치를 보호한다. 기계적 보호를 위해 전자 장치 챔버 커버(44)가 제공된다.Gel 58 protects the electronics of sensor device 10 . An electronics chamber cover 44 is provided for mechanical protection.

도 3에는 센서 장치(10)의 평면도가 도시되어 있다. 전자 장치 챔버 커버(44)는 도시를 위해 투명하게 표시되며, 돌출부(60)만이 윤곽으로 표시되어 있다. 돌출부(60)는 채널(62)을 한정한다. 채널(62)은 유입구(46)와 배출구(48)를 연결한다. 따라서, 전자 장치 챔버(20) 내로 유입된 유체 매체는 배출구(48)의 영역에서 채널(62) 내부의 전자 장치 챔버(20)를 다시 벗어날 수 있다. 이로 인해, 습기 센서(42)가 환기될 수 있다. 도 3에 나타나는 바와 같이, 돌출부(60)는 유입구(46)와 배출구(48)를 한정한다.3 shows a plan view of the sensor device 10 . The electronics chamber cover 44 is shown transparent for illustration purposes, and only the protrusion 60 is outlined. Protrusion 60 defines a channel 62 . Channel 62 connects inlet 46 and outlet 48 . Thus, the fluid medium introduced into the electronics chamber 20 can leave the electronics chamber 20 again inside the channel 62 in the region of the outlet 48 . Due to this, the moisture sensor 42 can be ventilated. As shown in FIG. 3 , protrusion 60 defines an inlet 46 and an outlet 48 .

도 1에 나타나는 바와 같이, 유동 센서(40) 및 습기 센서(42)는 전자 장치 모듈(30)의 동일한 면(64)에 배치된다. 달리 표현하면, 유동 센서(40) 및 습기 센서(42)는 함께 전자 장치 모듈(30)의 하나의 동일한 면(64)에 배치된다. 특히, 습기 센서(42) 그리고 제어 및/또는 평가 회로(34)는 함께 회로 캐리어(32)의 하나의 면(66) 상에 배치된다.As shown in FIG. 1 , the flow sensor 40 and moisture sensor 42 are disposed on the same side 64 of the electronics module 30 . In other words, the flow sensor 40 and moisture sensor 42 are together disposed on one and the same side 64 of the electronics module 30 . In particular, the moisture sensor 42 and the control and/or evaluation circuit 34 are together arranged on one side 66 of the circuit carrier 32 .

센서 장치(10)는 유체 매체의 다른 유동 특성을 검출하도록 형성될 수 있다. 도 1에 나타나는 바와 같이, 센서 장치(10)는 또한 유체 매체의 온도를 검출하도록 형성된 적어도 하나의 온도 센서(68)를 포함한다. 온도 센서(68)는 센서 하우징(14)의 외부면 상에 배치될 수 있다. 예컨대 온도 센서(68)는 습기 센서(42)에 마주 놓인 센서 하우징(14)의 외부면 상에 배치될 수 있다. 특히 온도 센서(68)는 센서 하우징(14)의 측벽 또는 후면 상의 적어도 하나의 리세스 내에 배치될 수 있다. 도 1에 나타나는 바와 같이, 센서 장치는 또한 유동관에 대해 센서 하우징(14)을 밀봉하도록 형성된 하우징 시일(70)을 포함할 수 있다.Sensor device 10 may be configured to detect other flow characteristics of a fluid medium. As shown in FIG. 1 , sensor arrangement 10 also includes at least one temperature sensor 68 configured to detect the temperature of the fluid medium. A temperature sensor 68 may be disposed on an exterior surface of the sensor housing 14 . For example, the temperature sensor 68 may be disposed on an outer surface of the sensor housing 14 opposite the moisture sensor 42 . In particular, the temperature sensor 68 may be disposed in at least one recess on the sidewall or rear surface of the sensor housing 14 . As shown in FIG. 1 , the sensor device may also include a housing seal 70 configured to seal the sensor housing 14 against the flow tube.

10 센서 장치
14 센서 하우징
20 전자 장치 챔버
30 전자 장치 모듈
32 회로 캐리어
34 제어 및/또는 평가 회로
38 센서 캐리어
40 유동 센서
42 습기 센서
44 전자 장치 챔버 커버
46 유입구
48 배출구
50 측정 챔버
52 막
54 프레임
58 겔
60 돌출부
62 채널
10 sensor device
14 sensor housing
20 electronics chamber
30 electronics module
32 circuit carrier
34 control and/or evaluation circuit
38 sensor carrier
40 flow sensor
42 moisture sensor
44 electronics chamber cover
46 inlet
48 outlet
50 measuring chambers
Act 52
54 frames
58 gel
60 protrusion
62 channels

Claims (10)

유체 매체의 적어도 하나의 유동 특성을 검출하기 위한 센서 장치(10)로서, 적어도 하나의 센서 하우징(14)을 포함하고, 상기 센서 하우징(14) 내에는 상기 유동 특성을 검출하기 위한 적어도 하나의 유동 센서(40)를 구비한 적어도 하나의 전자 장치 모듈(30)이 수용되고, 상기 전자 장치 모듈(30)은 적어도 부분적으로 전자 장치 챔버(20) 내에 수용되며, 또한 상기 센서 하우징(14)의 내부에는 적어도 하나의 습기 센서(42)가 수용되고, 상기 센서 하우징(14)은 상기 유체 매체의 습기를 상기 습기 센서(42)에 제공하기 위한 적어도 하나의 유입구(46)를 포함하는, 센서 장치(10)에 있어서,
상기 센서 하우징(14)은 상기 전자 장치 챔버(20)로부터 상기 유체 매체를 배출하기 위한 적어도 하나의 배출구(48)를 포함하고, 상기 전자 장치 챔버(20) 내에는 겔(58)이 제공되며, 상기 겔(58)은 상기 전자 장치 모듈(30)을 적어도 부분적으로 커버하고, 상기 센서 하우징(14)은 상기 전자 장치 챔버(20)를 향한 방향으로 돌출하는 적어도 하나의 돌출부(60)를 포함하며, 상기 돌출부(60)는 상기 겔(58) 내로 돌출하고, 상기 돌출부(60)는 적어도 하나의 채널(62)을 한정하고, 상기 채널(62)은 상기 유입구(46) 및 상기 배출구(48)를 연결하고,
상기 센서 하우징(14)은 전자 장치 챔버 커버(44)를 포함하고, 상기 전자 장치 챔버 커버(44)는 상기 전자 장치 챔버(20)를 폐쇄하도록 형성되고, 상기 전자 장치 챔버 커버(44)는 상기 돌출부(60)를 포함하고,
상기 유입구(46) 및 상기 적어도 하나의 배출구(48)는 상기 전자 장치 챔버 커버(44) 내에 형성되고,
상기 돌출부(60)는 상기 유입구(46) 및 상기 배출구(48)를 한정하는 것을 특징으로 하는 센서 장치(10).
A sensor device (10) for detecting at least one flow property of a fluid medium, comprising at least one sensor housing (14), in which at least one flow property for detecting said flow property At least one electronic device module 30 having a sensor 40 is accommodated, the electronic device module 30 is at least partially accommodated in the electronics chamber 20, and also inside the sensor housing 14 at least one moisture sensor (42) is housed therein, the sensor housing (14) comprising at least one inlet (46) for providing moisture in the fluid medium to the moisture sensor (42); In 10),
the sensor housing (14) includes at least one outlet (48) for discharging the fluid medium from the electronics chamber (20), and a gel (58) is provided in the electronics chamber (20); the gel (58) at least partially covers the electronics module (30) and the sensor housing (14) comprises at least one protrusion (60) projecting in a direction towards the electronics chamber (20); , the protrusion 60 protrudes into the gel 58, the protrusion 60 defining at least one channel 62, the channel 62 having the inlet 46 and the outlet 48 connect,
The sensor housing 14 includes an electronic device chamber cover 44, the electronic device chamber cover 44 is formed to close the electronic device chamber 20, and the electronic device chamber cover 44 is Including the protrusion 60,
the inlet (46) and the at least one outlet (48) are formed in the electronic device chamber cover (44);
The sensor device (10), characterized in that the projection (60) defines the inlet (46) and the outlet (48).
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 전자 장치 모듈(30)은 상기 습기 센서(42)를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 장치(10).2. Sensor device (10) according to claim 1, characterized in that the electronic device module (30) comprises the moisture sensor (42). 제 1 항에 있어서, 상기 전자 장치 모듈(30)은 회로 캐리어(32)를 포함하고, 상기 습기 센서(42)는 상기 회로 캐리어(32) 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 센서 장치(10).Sensor device (10) according to claim 1, characterized in that the electronic device module (30) comprises a circuit carrier (32) and the moisture sensor (42) is disposed on the circuit carrier (32). 제 1 항에 있어서, 상기 전자 장치 모듈(30)은 센서 캐리어(38)를 포함하고, 상기 센서 캐리어(38)는 상기 유동 센서(40)를 지지하며 상기 전자 장치 챔버(20)로부터 상기 센서 하우징(14) 내에서 상기 유체 매체에 의해 관류 가능한 적어도 하나의 유동 채널 내로 돌출하고, 상기 유동 센서(40) 및 상기 습기 센서(42)는 상기 전자 장치 모듈(30)의 동일한 면(64) 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 센서 장치(10).2. The method of claim 1, wherein the electronics module (30) comprises a sensor carrier (38), the sensor carrier (38) supports the flow sensor (40) and removes the sensor housing from the electronics chamber (20). (14) into at least one flow channel permeable by the fluid medium, wherein the flow sensor (40) and the moisture sensor (42) are on the same side (64) of the electronic device module (30). A sensor device (10) characterized in that it is arranged. 제 7 항에 있어서, 상기 전자 장치 모듈(30)은 제어 및 평가 중 하나 이상을 수행하는 회로(34)를 포함하고, 상기 제어 및 평가 중 하나 이상을 수행하는 회로(34)는 회로 캐리어(32) 상에 배치되며, 상기 제어 및 평가 중 하나 이상을 수행하는 회로(34) 그리고 상기 습기 센서(42)는 함께 상기 회로 캐리어(32)의 하나의 면(66) 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 센서 장치(10).8. The electronic device module (30) of claim 7, comprising circuitry (34) for performing one or more of control and evaluation, wherein the circuitry (34) for performing one or more of control and evaluation is a circuit carrier (32). ), wherein the circuit 34 for performing at least one of the control and evaluation and the moisture sensor 42 are disposed together on one side 66 of the circuit carrier 32. Sensor device (10). 제 1 항에 있어서, 상기 채널(62)은 상기 습기 센서(42)를 환기시키도록 형성되는 것을 특징으로 하는 센서 장치(10).2. Sensor device (10) according to claim 1, characterized in that the channel (62) is formed to ventilate the moisture sensor (42). 제 1 항에 있어서, 상기 습기 센서(42)는 적어도 하나의 측정 챔버(50)를 포함하고, 상기 측정 챔버(50)는 습기에 대해 적어도 부분적으로 투과성인 적어도 하나의 막(52) 및 프레임(54)에 의해 한정되는 것을 특징으로 하는 센서 장치(10).2. The method according to claim 1, wherein the moisture sensor (42) comprises at least one measuring chamber (50) comprising at least one membrane (52) at least partially permeable to moisture and a frame ( 54).
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