KR102118319B1 - Tapering jig for evenly coating on working blade of tool - Google Patents

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Abstract

본 발명의 이온 플레이팅 장치에서 사용하는 공구의 균일한 코팅을 위한 사선 지그는, 지그 전체를 회전시키는 턴테이블의 기어와 맞물려 회전하는 다수개의 회전축에 의해 회전가능하게 결합되어 있으며, 공구가 놓여질 공구 장착홀을 포함하는 원판, 상기 회전축에 고정되어 상기 회전축에 의해 회전되며, 상기 공구 장착홀까지 연장하는 링기어와, 상기 링기어와 기어 결합방식으로 결합되는 기어를 갖으며, 상기 링기어의 회전에 의해 회전되며, 공구를 삽입해서 고정하는 구멍을 갖은 어댑터를 포함한다. 원판과 공구의 2모션 회전으로 코팅 속도를 상승시킬 수 있으며, 추가로, 공구의 절삭날 부분과 날측면부 등에서는 후막 코팅을 균일한 두께로 코팅할 수 있다. The diagonal jig for uniform coating of a tool used in the ion plating apparatus of the present invention is rotatably coupled by a plurality of rotating shafts that rotate in engagement with a gear of a turntable that rotates the entire jig, and a tool is mounted on which the tool is placed A disc including a hole, fixed to the rotating shaft and rotated by the rotating shaft, has a ring gear extending to the tool mounting hole, a gear coupled with the ring gear and a gear coupling method, and the rotation of the ring gear It is rotated by and includes an adapter having a hole for inserting and fixing a tool. The coating speed can be increased by rotating two motions of the original plate and the tool. In addition, a thick film coating may be coated on the cutting edge portion and the blade side portion of the tool with a uniform thickness.

Description

공구의 균일한 코팅을 위한 사선 지그{Tapering jig for evenly coating on working blade of tool} Tapping jig for evenly coating on working blade of tool

본 발명은 공구의 균일한 코팅을 위한 사선 지그에 관한 것으로, 특히 공구의 절삭날 상면과 측면에 보다 치밀하고 균일한 두께를 신속하게 코팅할 수 있는 코팅 사선 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a diagonal jig for uniform coating of a tool, and more particularly, to a coated diagonal jig capable of quickly coating a more dense and uniform thickness on the upper and side surfaces of a cutting edge of a tool.

카본 소재의 피삭재 가공용인 절삭 공구(전장100 mm×날장30 mm×직경6 mm)에 ta-C 후막코팅 코팅 공정을 실시한 후 절삭 테스트를 한 결과 비코팅(12Hr 5min) 대비 ta-C 후막코팅 공구(23Hr 45min)가 2배 높은 수명을 가짐을 확인되었다. 후막 코팅의 두께는 바람직하게 0.3 내지 1.0 ㎛이다. As a result of the cutting test after the ta-C thick film coating process was performed on a cutting tool (100 mm long × 30 mm long × 6 mm in diameter), which is a material for machining a carbon material, the ta-C thick film coating tool compared to the uncoated (12Hr 5min) It was confirmed that (23Hr 45min) had a life twice as high. The thickness of the thick film coating is preferably 0.3 to 1.0 μm.

본원 출원인에 의해 출원된 출원번호 10-2017-0089478의 발명의 명칭이 "선형 이온 소스를 이용한 ta-C 코팅의 박리 장치 및 방법"에서 후막 코팅을 실시한 경우에 코팅 속도가 느리고, 이에 따라서 장시간 플라즈마에 노출되면 온도 상승으로 공구의 절삭날이 변형되는 문제점이 있었고, 또한 코팅막이 불균일하고 특히 공구의 절삭날의 상면과 측면 등에서는 코팅막이 더욱 불균일하다. The coating speed is slow when the thick film coating is performed in the title of the invention of the application number 10-2017-0089478 filed by the applicant of the present invention in the "Peeling apparatus and method for ta-C coating using a linear ion source", and thus plasma for a long time When exposed to, there was a problem that the cutting edge of the tool is deformed due to an increase in temperature, and the coating film is non-uniform, and particularly, the coating film is more non-uniform on the top and side surfaces of the cutting edge of the tool.

후막 코팅 방법에 대해서 특허 등록번호 10-0362529(등록일 2002년11월13일)에서는 베이스코팅막을 형성하는 1차스퍼터링코팅단계와 스퍼터링법에 비해 빠른 속도로 형성되도록 하는 진공증착단계를 포함하여, 스퍼터링법의 문제점을 진공증착법에 의해 보안해주는 기술이 공지되어 있다. For the thick film coating method, the patent registration number 10-0362529 (registration date November 13, 2002) includes sputtering, including a primary sputtering coating step to form a base coating film and a vacuum deposition step to be formed at a faster rate than the sputtering method. A technique is known to secure the problems of the law by a vacuum deposition method.

그러나, 이는 코팅 속도를 어느 정도 상승할 수 있지만, 공구의 절삭날의 상면과 측면 등에서는 코팅을 신속하고 균일하게 하지 못한다.However, this can increase the coating speed to some extent, but it does not make the coating quick and uniform on the top and side surfaces of the cutting edge of the tool.

따라서, 공구의 절삭날 부분을 신속하고 균일하게 코팅하는 수단이 필요하다. Therefore, there is a need for a means to coat the cutting edge portion of the tool quickly and uniformly.

특허 등록번호 10-0362529(등록일 2002년11월13일)Patent registration number 10-0362529 (Registration date 13 November 2002)

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 제안된 것으로, 공구 자체를 회전시킬 수 있는 어댑터를 제공하여, 원판의 회전과 동시에 공구를 회전시켜서 코팅의 속도를 상승할 수 있는 공구의 균일한 코팅을 위한 사선 지그를 제공하는 것이다.The present invention has been proposed to solve the problems as described above, by providing an adapter that can rotate the tool itself, by rotating the tool at the same time as the rotation of the original plate to uniform coating of the tool to increase the speed of the coating Is to provide a diagonal jig for.

또한, 어댑터의 경사도와 코팅되어질 공구의 나선 각도를 적절히 세팅시켜, 공구의 절삭날 부분에도 균일한 코팅 두께를 얻을 수 있게 하는 공구의 균일한 코팅을 위한 사선 지그를 제공하는 것이다. In addition, it is to provide an inclined jig for uniform coating of the tool so that the inclination of the adapter and the spiral angle of the tool to be coated are appropriately set to obtain a uniform coating thickness in the cutting edge portion of the tool.

또한, 어댑터의 경사도와 코팅되어질 공구의 생크의 직경을 적절히 세팅시켜, 공구의 절삭날 부분과 날측면에도 균일한 코팅 두께를 얻을 수 있게 하는 공구의 균일한 코팅을 위한 사선 지그를 제공하는 것이다. In addition, it is to provide an oblique jig for uniform coating of the tool by setting the inclination of the adapter and the diameter of the shank of the tool to be coated appropriately to obtain a uniform coating thickness on the cutting edge portion and the blade side of the tool.

본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시예에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.Other objects of the present invention will be easily understood through the description of the following embodiments.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 이온 플레이팅 장치에서 사용하는 공구의 균일한 코팅을 위한 사선 지그는, 지그 전체를 회전시키는 턴테이블의 기어와 맞물려 회전하는 다수개의 회전축에 의해 회전가능하게 결합되어 있으며, 공구가 놓여질 공구 장착홀을 포함하는 원판, 상기 회전축에 고정되어 상기 회전축에 의해 회전되며, 상기 공구 장착홀까지 연장하는 링기어와, 상기 링기어와 기어 결합방식으로 결합되는 기어를 갖으며, 상기 링기어의 회전에 의해 회전되며, 공구를 삽입해서 고정하는 구멍을 갖은 어댑터를 포함한다. The diagonal jig for uniform coating of the tool used in the ion plating apparatus of the present invention for achieving the above technical problem is rotatably coupled by a plurality of rotating shafts that rotate in engagement with a gear of a turntable that rotates the entire jig. And a ring gear fixed to the rotating shaft and rotated by the rotating shaft, and a ring gear extending to the tool mounting hole, and a gear coupled with the ring gear in a gear coupling manner. , It is rotated by the rotation of the ring gear, and includes an adapter having a hole for inserting and fixing a tool.

본 발명의 양호한 실시 예에 따라서, 상기 어댑터의 기어의 경사도는 약 70도 내지 40도이다.According to a preferred embodiment of the present invention, the inclination of the gear of the adapter is about 70 to 40 degrees.

본 발명의 양호한 실시 예에 따라서, 상기 어댑터는 하단에 제공된 볼베어링을 추가로 포함하며, 상기 원판은 상기 어댑터의 다양한 기울기를 수용하여 지탱하도록, 상기 볼베어링이 놓여질 반구형 오목부를 포함한다. According to a preferred embodiment of the present invention, the adapter further comprises a ball bearing provided at the bottom, and the disc includes a hemispherical concave portion on which the ball bearing will be placed to accommodate and support various tilts of the adapter.

본 발명의 양호한 실시 예에 따라서, 상기 어댑터의 기어는 40, 50, 60 및 70도 중 하나의 경사도를 포함한다. According to a preferred embodiment of the present invention, the gear of the adapter comprises an inclination of one of 40, 50, 60 and 70 degrees.

본 발명의 양호한 실시 예에 따라서, 상기 어댑터의 경사도는 코팅되어질 공구의 나선형 각도에 따라 설정가능하다.According to a preferred embodiment of the present invention, the inclination of the adapter can be set according to the helical angle of the tool to be coated.

본 발명의 양호한 실시 예에 따라서, 상기 어댑터의 경사도는 코팅되어질 공구의 생크의 직경에 따라 설정가능하다. According to a preferred embodiment of the invention, the inclination of the adapter can be set according to the diameter of the shank of the tool to be coated.

상기와 같이 구성된 본 발명의 공구의 균일한 코팅을 위한 사선 지그에 따르면, 원판과 공구의 2모션 회전으로 코팅 속도를 상승시킬 수 있으며, 추가로, 공구의 절삭날 부분과 날측면부 등에서는 후막 코팅을 균일한 두께로 코팅할 수 있다. 이를 토대로 절삭공구의 사용 부위에 따른 사선 지그에서 어댑터의 경사도를 적절히세팅하면, 용도에 맞는 절삭공구의 수명을 효과적으로 증가시킬 수 있다.According to the diagonal jig for uniform coating of the tool of the present invention configured as described above, it is possible to increase the coating speed by rotating two motions of the original plate and the tool, and additionally, a thick film coating is applied to the cutting edge portion and the blade side portion of the tool. Can be coated with a uniform thickness. Based on this, if the inclination of the adapter is properly set in the diagonal jig according to the use portion of the cutting tool, the life of the cutting tool suitable for the application can be effectively increased.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 후막 코팅을 위한 이온 플레이팅 장치에서 사용하는 지그의 사진이다.
도 2는 본 발명의 원판과 어댑터를 설명하기 위한 도면으로 좌측은 사시도이고 우측은 단면도이다.
도 3은 도 2의 A부분을 확대한 단면도로서 추가로 볼베어링을 포함하는 단면도이다.
도 4는 본원 발명의 링기어와 어댑터를 대략적으로 도시하는 사시도이다.
도 5는 다양한 경사도(a)를 갖은 어댑터의 기어의 개략적인 도시도이다.
도 6은 엔드밀의 다양한 나선각(helix angle)을 도시한다.
The following drawings attached to the present specification illustrate preferred embodiments of the present invention, and the present invention serves to further understand the technical idea of the present invention together with the detailed description of the invention described below, and thus the present invention is described in such drawings. It is not limited to interpretation.
1 is a photograph of a jig used in the ion plating apparatus for thick film coating of the present invention.
2 is a view for explaining the original plate and the adapter of the present invention, the left side is a perspective view and the right side is a sectional view.
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of part A of FIG. 2 and further includes a ball bearing.
4 is a perspective view schematically showing a ring gear and an adapter of the present invention.
5 is a schematic illustration of a gear of an adapter with various inclinations (a).
6 shows various helix angles of the end mill.

본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.Specific structural or functional descriptions of the embodiments according to the concept of the present invention disclosed in this specification are exemplified only for the purpose of explaining the embodiments according to the concept of the present invention, and the embodiments according to the concept of the present invention It can be implemented in various forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.Embodiments according to the concept of the present invention can be applied to various changes and can have various forms, so the embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail herein. However, this is not intended to limit the embodiments according to the concept of the present invention to specific disclosure forms, and includes all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in this specification are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this specification, terms such as “include” or “have” are intended to indicate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described herein exists, and that one or more other features are present. It should be understood that the existence or addition possibilities of fields or numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 나타낸다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person skilled in the art to which the present invention pertains. Terms, such as those defined in a commonly used dictionary, should be interpreted as having meanings consistent with meanings in the context of related technologies, and should not be interpreted as ideal or excessively formal meanings unless explicitly defined herein. Does not.

이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 후막 코팅을 위한 이온 플레이팅 장치에서 사용하는 지그의 사진이다. 도면에서 알 수 있듯이, 최하단에는 지그 전체를 회전시키는 턴테이블(1)이 회전하고, 이와 연통해서 기어(2)가 회전해서 회전축(6)을 회전시키고 회전축(6)과 결합되어 있는 공구(5)가 장착되어질 원판(3)이 회전한다. 1 is a photograph of a jig used in the ion plating apparatus for thick film coating of the present invention. As can be seen from the drawing, at the bottom, the turntable 1 rotating the entire jig rotates, and in connection therewith, the gear 2 rotates to rotate the rotating shaft 6 and the tool 5 coupled with the rotating shaft 6 The disk 3 to be mounted rotates.

도 2는 본 발명의 원판(3)과 어댑터(4)를 설명하기 위한 도면으로 좌측은 사시도이고 우측은 단면도이다. 원판(3)의 원주방향으로 다수개의 공구 장착홀(7)이 설치되어 있으며, 공구 장착홀(7)에는 공구가 삽입되어진 어댑터(4)가 기어 결합방식으로 연결되어 있다. 따라서 어댑터(4)가 회전함에 따라서 공구(5) 또한 회전될 것이다. 원판(3)의 내부에는 회전축(6)과 연결되며, 어댑터(4)의 기어(41)와 맞물리는 링기어(12)가 제공되어 있다. 회전축(6)이 회전하면, 이와 결합된 링기어(12)가 회전하고 이어서 링기어(12)와 결합된 기어(41)를 갖은 어댑터(4)가 회전하고, 여기에 고정된 공구(5)가 최종적으로 회전하게 된다. 어댑터는 또한 공구를 장착해서 고정하는 구멍(42)을 포함한다. 2 is a view for explaining the original plate 3 and the adapter 4 of the present invention, the left side is a perspective view and the right side is a sectional view. A plurality of tool mounting holes 7 are installed in the circumferential direction of the disc 3, and the adapter 4 into which the tool is inserted is connected to the tool mounting hole 7 by a gear coupling method. Therefore, as the adapter 4 rotates, the tool 5 will also rotate. Inside the disc 3, a ring gear 12 is provided, which is connected to the rotating shaft 6 and meshes with the gear 41 of the adapter 4. When the rotating shaft 6 rotates, the ring gear 12 coupled thereto rotates, and then the adapter 4 having the gear 41 coupled with the ring gear 12 rotates, and the tool 5 fixed thereto Finally rotates. The adapter also includes a hole 42 for mounting and fixing the tool.

이상에서 설명한 바와 같이, 원판(3)의 회전과 연동해서 공구를 회전시키는 어댑터(4)를 이용해서 2 모션(motion) 자전 지그를 제공하여, ta-C 후막 코팅 공정시 코팅 속도가 빨리하여, 장시간 플라즈마에 노출에 의한 공구의 절삭날의 변형을 방지할 수 있으며, 코팅의 생산 시간을 단축하고 코팅의 효율을 증대화할 수 있다. As described above, by using the adapter 4 that rotates the tool in conjunction with the rotation of the original plate 3 to provide a two-motion rotating jig, the coating speed is fast during the ta-C thick film coating process, Deformation of the cutting edge of the tool by exposure to plasma for a long time can be prevented, and the production time of the coating can be shortened and the efficiency of the coating can be increased.

도 3은 도 2의 A부분을 확대한 단면도로서 추가로 볼베어링(9)을 포함하고 있다. 원판(3)의 공구 장착홀(7)과 어댑터(4)의 생크사이에는 여유로운 공간이 제공되어 어댑터(4)의 다양한 기울기를 수용할 수 있다. 어댑터(4)은 원판(3)과 볼베어링(9)에 의해 지탱되어 있다. 따라서 어댑터(4)는 원판(3)에 대해서 다양한 기울기로 안착되어 지탱될 수 있으며, 원활한 회전을 할 수 있다. 어댑터(4)의 경사각(a)는 회전축(6)과 이에 직각인 수평축에 대한 각도를 의미한다. FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of part A of FIG. 2 and further includes a ball bearing 9. A space is provided between the tool mounting hole 7 of the original plate 3 and the shank of the adapter 4 to accommodate various inclinations of the adapter 4. The adapter 4 is supported by a disk 3 and a ball bearing 9. Therefore, the adapter 4 can be seated and supported at various inclinations with respect to the original plate 3, and can rotate smoothly. The inclination angle (a) of the adapter 4 means an angle with respect to the rotation axis 6 and a horizontal axis perpendicular thereto.

도 4는 본원 발명의 링기어(12)와 어댑터(4)를 대략적으로 도시하는 사시도이다. 도 4를 참조하면, 회전축(6)이 회전함에 따라서 공구(5)가 회전하는 것을 설명하고 있다. 이온 플레이팅 장치의 플라즈마 발생 소오스의 높이에 따라서 회전축에 두 개 이상의 원판(3)을 설치할 수 있음을 알 수 있다. 양호한 실시 예에서 링기어(12)와 기어(41)는 나선형 베벨기어이다.4 is a perspective view schematically showing the ring gear 12 and the adapter 4 of the present invention. Referring to FIG. 4, it is described that the tool 5 rotates as the rotation shaft 6 rotates. It can be seen that two or more discs 3 can be installed on the rotating shaft according to the height of the plasma generating source of the ion plating device. In the preferred embodiment, the ring gear 12 and the gear 41 are helical bevel gears.

도 5는 다양한 경사도(a)를 갖은 어댑터(4)의 기어(41)의 개략적인 도시도이다. 링기어(12)의 톱니의 깊이는 다소 깊게 형성되어 있어, 어댑터(4)의 기어(41)의 다양한 경사도를 수용할 수 있다. 이는 어댑터의 회전에 큰 힘이 필요없기 때문에 일부분만 기어 물림해도 어댑터는 원할하게 회전될 수 있다. 도면에서 o는 경사도(a)가 40도, p는 50도 q는 60도 r은 70도를 나타낸다. 여기서는 정확하게 도시되어 있지 않고 개략적으로 도시되어 있음을 주목해주기 바란다. 5 is a schematic illustration of the gear 41 of the adapter 4 with various inclinations (a). The depth of the teeth of the ring gear 12 is formed somewhat deeper, and thus can accommodate various inclinations of the gear 41 of the adapter 4. Since this does not require a large force to rotate the adapter, the adapter can be rotated smoothly even if only a small part is bitten. In the figure, o indicates a slope (a) of 40 degrees, p of 50 degrees, q of 60 degrees, and r of 70 degrees. It should be noted that this is not shown exactly, but schematically.

다음으로, 본원 발명의 공구중 한 종류인 엔드밀의 경우를 예를 들어서 설명하겠다. 도 6은 엔드밀의 다양한 나선각(helix angle)을 도시한다. 나선각이 0도인 경우에는 사선지그를 이용할 필요가 없지만, 30도인 경우에는, 경사도(a)을 60도로 하는 것이 바람직하고 나선각이 60도 인경우에는 경사도(a)를 40도로 하는 것이 바람직하다. 따라서 경사도(a)가 70도 인 r의 어댑터를 사용하고, 경사도(a)가 60도인 경우 q의 어댑터를 사용하고 경사도(a)가 50인 경우 p의 어댑터를 사용하고 경사도(a)가 40인 경우에 o의 어댑터를 사용해서 엔드밀의 다양한 나선각에 대응시킬 수 있다. Next, an example of the end mill, which is one of the tools of the present invention, will be described as an example. 6 shows various helix angles of the end mill. It is not necessary to use a diagonal jig when the helix angle is 0 degrees, but when it is 30 degrees, it is preferable to make the inclination (a) 60 degrees, and when the helix angle is 60 degrees, it is preferable to make the inclination (a) 40 degrees. . Therefore, an adapter of r with a slope (a) of 70 degrees is used, an adapter of q when the slope (a) is 60 degrees, and an adapter of p when the slope (a) is 50, and the slope (a) is 40 In this case, the adapter of o can be used to cope with various spiral angles of the end mill.

실험결과Experiment result

나선각이 30도인 엔드밀에 대해서 종래의 수직지그 즉 경사도(a)가 90도인 시스템을 사용하여 ta-C 코팅하는 경우, 실제 공구상의 ta-C 코팅 형상 및 두께를 확인 하기 위해 SEM 단면 분석하였으며, 그 결과 공구 위쪽 끝단은 3.83 ㎛, 절삭날 바깥쪽은 4.49 ㎛, 절삭날 안쪽 골 부위는 3.98 ㎛의 ta-C가 코팅됨을 확인하였다. 각 부위별 코팅 두께 차이가 큰 것을 확인할 수 있었다.In the case of ta-C coating using a conventional vertical jig, that is, a system having an inclination (a) of 90 degrees, for an end mill having a spiral angle of 30 degrees, SEM cross-section analysis was performed to confirm the actual shape and thickness of the ta-C coating on the tool. , As a result, it was confirmed that the upper end of the tool was coated with ta-C of 3.83 μm, the outside of the cutting edge was 4.49 μm, and the bone area inside the cutting edge was 3.98 μm. It was confirmed that the difference in coating thickness for each part was large.

이와 대조를 위해서 상술한 조건과 동일한 엔드밀을 사용하지만 본 발명의 사선지그, 예를 들어서 경사도(a)가 70도 인 r의 어댑터를 사용한 사선지그를 이용해서 ta-C 코팅하는 경우, 실제 공구상의 ta-C 코팅 형상 및 두께를 확인 하기 위해 SEM 단면 분석한 결과, 공구 위쪽 끝단의 두께 4.2 ㎛, 절삭날 바깥쪽 4.12 ㎛, 절삭날 안쪽 골부위에 4.04 ㎛의 ta-C가 코팅됨을 확인하였다. For this, the same end mill as the above-described conditions is used, but in the case of ta-C coating using a diagonal jig of the present invention, for example, using a diagonal jig using an adapter having an inclination (a) of 70 degrees, a ta-C coating As a result of SEM cross-section analysis to confirm the shape and thickness of the ta-C coating on the top, it was confirmed that the thickness of the upper end of the tool was 4.2 µm, 4.12 µm outside the cutting edge, and 4.04 µm ta-C was coated on the bone inside the cutting edge. .

상기 두 지그 시스템에 따른 코팅 결과를 보면, 사선 지그의 경우 절삭에 직접적으로 관여되는 절삭날의 상면과 측면의 전체 코팅 두께가 균일한 것으로 확인되었고, 또한 사선 지그가 수직 지그에 비해 공구 끝단(상면)과 측면 날쪽에 균일한 코팅 두께로 증착되고 있음을 볼 수 있었다. 이는 날끝과 측면을 사용하는 앤드밀 공구 특성상 사선 지그가 보다 균일한 코팅이 진행됨을 알 수 있다. 결과적으로 사선 지그를 사용 시 공구의 균일한 코팅으로 공구의 기능을 최적화할 수 있으며, 공구의 수명을 연장할 수 있다. Looking at the coating result according to the two jig systems, in the case of the diagonal jig, it was confirmed that the entire coating thickness of the upper and side surfaces of the cutting edge directly involved in cutting is uniform, and the diagonal jig has a tool tip (top surface) compared to the vertical jig. ) And the side blades were deposited with a uniform coating thickness. It can be seen that the diagonal jig is more uniformly coated due to the nature of the end mill using the blade tip and side. As a result, when using a diagonal jig, the uniform coating of the tool can optimize the function of the tool and extend the life of the tool.

다른 실시 예에서는 통상적으로 엔드밀이나 드릴의 생크의 직경이 크면 절삭날의 상면의 면적 또한 커지며, 그에 따라 상면 코팅의 두께의 편차 또한 커지게 된다. 따라서 절삭날의 상면에 전체에 균일한 코팅을 위해서는 엔드밀이나 드릴의 생크의 직경에 따라서 사선지그의 어댑터의 경사도를 선택하는 것이 바람직하다. 예를 들어서 생크의 직경이 1 내지 8mm인 경우, 사선지그의 경사도(a)는 70도, 직경이 9내지 14mm인 경우, 60도, 직경이 15 내지 20mm인 경우, 50도가 바람직하다. In another embodiment, when the shank diameter of the end mill or drill is large, the area of the upper surface of the cutting edge is also increased, and accordingly, the deviation of the thickness of the upper surface coating is also increased. Therefore, in order to uniformly coat the entire upper surface of the cutting edge, it is preferable to select the inclination of the adapter of the diagonal jig according to the diameter of the shank of the end mill or drill. For example, when the diameter of the shank is 1 to 8 mm, the inclination (a) of the diagonal jig is 70 degrees, when the diameter is 9 to 14 mm, 60 degrees, and when the diameter is 15 to 20 mm, 50 degrees is preferable.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다. 이는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible without departing from the spirit of the present invention. This will be apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be defined only by the appended claims.

Claims (6)

삭제delete 삭제delete 이온 플레이팅 장치에서 사용하는 공구의 균일한 코팅을 위한 사선 지그로서,
지그 전체를 회전시키는 턴테이블의 기어와 맞물려 회전하는 다수개의 회전축에 의해 회전가능하게 결합되어 있으며, 공구가 놓여질 공구 장착홀을 포함하는 원판,
상기 회전축에 고정되어 상기 회전축에 의해 회전되며, 상기 공구 장착홀까지 연장하는 링기어와,
상기 링기어와 기어 결합방식으로 결합되는 기어를 갖으며, 상기 링기어의 회전에 의해 회전되며, 공구를 삽입해서 고정하는 구멍을 갖은 어댑터를 포함하며,
상기 어댑터는 하단에 제공된 볼베어링을 추가로 포함하며, 상기 원판은 상기 어댑터의 다양한 기울기를 수용하여 지탱하도록, 상기 볼베어링이 놓여질 반구형 오목부를 포함하는 사선 지그.
A diagonal jig for uniform coating of tools used in ion plating devices,
A disc that is rotatably coupled by a plurality of rotating shafts that rotate in engagement with a gear of a turntable that rotates the entire jig, and includes a tool mounting hole on which the tool is placed,
A ring gear fixed to the rotating shaft and rotated by the rotating shaft, and extending to the tool mounting hole;
It has a gear coupled to the ring gear and the gear coupling method, is rotated by the rotation of the ring gear, and includes an adapter having a hole for inserting and fixing a tool,
The adapter further includes a ball bearing provided at the bottom, and the disc includes a hemispherical jig including a hemispherical recess on which the ball bearing is placed, to accommodate and support various inclinations of the adapter.
청구항 3 에 있어서,
상기 어댑터의 기어는 40, 50, 60 및 70도 중 하나의 경사도를 포함하는 사선 지그.
The method according to claim 3,
The gear of the adapter is a diagonal jig comprising one of the inclinations of 40, 50, 60 and 70 degrees.
청구항 3 에 있어서,
상기 어댑터의 경사도는 코팅되어질 공구의 나선형 각도에 따라 설정가능한 사선 지그.
The method according to claim 3,
The inclination of the adapter can be set according to the spiral angle of the tool to be coated.
청구항 3 에 있어서,
상기 어댑터의 경사도는 코팅되어질 공구의 생크의 직경에 따라 설정가능한 사선 지그.
The method according to claim 3,
The angle of inclination of the adapter can be set according to the diameter of the shank of the tool to be coated.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240081774A (en) 2022-12-01 2024-06-10 주식회사 이온플럭스 Centered Arc Ion Plating Evaporator

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112708856A (en) * 2020-11-30 2021-04-27 浙江安胜科技股份有限公司 Ion plating process for vacuum vessel
KR102671854B1 (en) * 2021-03-15 2024-06-04 주식회사 이노션테크 Plasma coating system for packaging material injection molds valve pin and Coating process technology using high-functional nanocomposite coating material
CN114790540B (en) * 2022-05-11 2024-07-02 纳峰真空镀膜(上海)有限公司 Coating film revolving rack

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100734109B1 (en) 2006-01-10 2007-06-29 성석원 Jig apparatus and the deposition system having it
JP2012067359A (en) * 2010-09-24 2012-04-05 Nissin Electric Co Ltd Support apparatus of film-deposition-objective article, and film depositing apparatus

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3689465B2 (en) * 1995-11-30 2005-08-31 日本ピストンリング株式会社 Method and apparatus for forming physical vapor deposition film of vane for rotary compressor
KR100247981B1 (en) * 1997-08-22 2000-04-01 윤종용 Jig apparatus for coating target
JPH11323550A (en) * 1998-05-08 1999-11-26 Kobe Steel Ltd Turn table for vacuum deposition apparatus
KR100362529B1 (en) 2000-09-08 2002-11-29 류영선 Coating method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100734109B1 (en) 2006-01-10 2007-06-29 성석원 Jig apparatus and the deposition system having it
JP2012067359A (en) * 2010-09-24 2012-04-05 Nissin Electric Co Ltd Support apparatus of film-deposition-objective article, and film depositing apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240081774A (en) 2022-12-01 2024-06-10 주식회사 이온플럭스 Centered Arc Ion Plating Evaporator

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