KR102097941B1 - 센서용 진동 저감 장치 - Google Patents

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전영준
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한국과학기술원
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Abstract

본 발명에 따른 센서용 진동 저감 장치는, 센서의 상부에 결합되는 센서 결합부와, 상기 센서에 수직한 방향으로 상기 센서 결합부에 고정되어 상기 센서의 하중을 지지하는 수직 스프링과, 상기 센서에 수평한 방향으로 상기 센서 결합부에 고정되어 상기 수직 스프링의 양강성을 상쇄시키는 수평 스프링을 포함한다. 본 발명에 의하면, 수직 스프링과 수평 스프링에 의해 진동 저감 장치의 고유진동수를 초저주파 대역에 설정하는 것이 가능하기 때문에 초저주파 대역 이상의 진동 저감이 가능하다.

Description

센서용 진동 저감 장치{VIBRATION REDUCTION DEVICE FOR SENSOR}
본 발명은 센서용 진동 저감 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 수직 스프링의 양강성(positive stiffness)을 수평 스프링의 음강성(negative stiffness)으로 상쇄시켜 센서의 진동을 저감시키는 장치에 관한 것이다.
현재까지 개발된 센서는 대부분 전기적 신호를 통한 측정 방식을 채택하고 있기 때문에 외부에서 가해지는 전자기장에 매우 취약하다. 특히, 정밀한 센싱을 위해 초전도 현상을 이용하는 고감도 센서는 외부로부터 전자기장이 가해지면 진동이 발생하게 되어 고감도 센서가 센싱해내는 신호의 신뢰성이 저하된다. 이에 따라, 센서가 신호를 온전히 센싱할 수 있도록 하기 위해서 센서에서 발생하는 진동을 저감시킬 것이 요구된다.
진동 저감 방식 중 전기적 또는 전자적 요소가 포함된 능동형 진동 저감 방식은 전기적 또는 전자적 요소 자체에서 전자기장을 발생시키기 때문에, 센서의 진동 저감을 위해서는 바람직하지 않은 방식이라 할 수 있다. 이에 반해, 수동형 진동 저감 방식은 전기적 또는 전자적 요소가 포함되어 있지 않기 때문에 센서의 진동 저감에 유리하다.
하지만, 수동형 진동 저감 방식은 일반적으로 저주파 대역에서 고유진동수를 갖기 때문에 초저주파 대역의 진동은 저감시키기 어려운 문제점이 있다. 게다가, 초전도 현상을 이용한 고감도 센서는 대체로 극저온 상태에 놓인 상태에서 동작을 하여야 하는데, 이 경우에도 센서의 진동을 저감할 수 있는 방안이 마련될 필요가 있다.
공개특허공보 제2012-0074503호
본 발명은 전기적 또는 전자적 요소가 포함되어 있지 않은 수동형 진동 저감 방식을 이용한 진동 저감 장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 저주파 대역은 물론 초저주파 대역의 진동을 저감시킬 수 있는 진동 저감 장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 센서가 극저온 상태에 놓이더라도 센서의 진동을 저감시킬 수 있는 진동 저감 장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 센서용 진동 저감 장치는, 센서의 상부에 결합되는 센서 결합부; 상기 센서에 수직한 방향으로 상기 센서 결합부에 고정되어 상기 센서의 하중을 지지하는 수직 스프링; 및 상기 센서에 수평한 방향으로 상기 센서 결합부에 고정되어 상기 수직 스프링의 양강성을 상쇄시키는 수평 스프링;을 포함한다.
여기서, 상기 수평 스프링은 상기 수직 스프링을 기준으로 서로 동일한 각도만큼 이격되어 있을 수 있다.
그리고 상기 수평 스프링의 일단은 상기 센서 결합부에 고정되고, 상기 수평 스프링의 타단은 이동판에 고정되며, 기계식 조절부에 의해 상기 이동판의 위치가 조절됨에 따라 상기 수평 스프링의 스프링 상수가 변할 수 있다.
여기서, 상기 이동판과 상기 기계식 조절부는 프레임을 사이에 두고 체결되며, 상기 기계식 조절부는 상기 이동판을 상기 프레임 내에서 직선운동 가능하게 조절할 수 있다.
그리고 상기 수평 스프링은 상기 프레임을 기준으로 서로 마주보는 형태로 구비될 수도 있다.
또한, 상기 센서 결합부는 상기 센서에 직접적으로 결합되는 기저부와, 상기 기저부로부터 돌출되어 있으며 요홈이 형성되어 있는 돌출부를 포함하며, 상기 수직 스프링은 상기 돌출부의 요홈에 고정되고, 상기 수평 스프링은 상기 돌출부의 외측에 고정될 수 있다.
본 발명은 전기적 또는 전자적 요소를 포함시키지 않은 채, 센서에 수직한 방향으로 센서 결합부에 고정되는 수직 스프링과, 센서에 수평한 방향으로 센서 결합부에 고정되는 수평 스프링에 의해, 수직 스프링의 양강성을 수평 스프링의 음강성으로 상쇄시켜 특정 변위 영역에서 준영강성이 구현되도록 설계되었다. 이와 같은 수동형 진동 저감 방식은 능동형 진동 저감 방식과 비교하였을 때 전자기장을 발생시키지 않기 때문에 고감도 센서의 진동 저감에 특히 유용하다. 또한, 본 발명은 동력을 사용하지 않으므로 별도의 에너지원이 필요 없으며, 전기적 또는 전자적 요소가 포함되어 있지 않으므로 센서의 센싱 오류가 일어날 가능성도 적다.
또한, 본 발명에 의하면, 수직 스프링과 수평 스프링에 의해 진동 저감 장치의 고유진동수를 초저주파 대역에 설정하는 것이 가능하기 때문에 초저주파 대역 이상의 진동 저감이 가능하다.
또한, 본 발명에 의하면, 이동판의 위치를 조절하여 수평 스프링의 스프링 상수 및 음강성을 손쉽게 변화시킬 수 있으므로, 초전도 효과를 이용하는 고감도 센서와 같이 극저온 상태에서 동작할 필요가 있는 센서의 경우에도 효과적인 진동 저감이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치의 정면도이다.
도 3은 도 1의 A-A'에 따른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치가 밀봉 상판에 연결된 모습 및 밀봉 캔에 수용된 모습을 나타낸 도면이다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치에 사용된 수직 스프링의 힘-변위 그래프이다.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치에 사용된 수평 스프링의 힘-변위 그래프이다.
도 5c는 도 5a의 힘-변위 그래프와 도 5b의 힘-변위 그래프를 합산한 그래프이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세하게 설명한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐를 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치의 정면도이며, 도 3은 도 1의 A-A'에 따른 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치(1000)는 센서 결합부(100), 수직 스프링(200) 및 수평 스프링(300)을 포함한다.
센서 결합부(100)는 센서(10)의 상부에 결합되며, 수직 스프링(200) 및 수평 스프링(300)을 고정시키는 역할을 한다.
센서 결합부(100)는 센서에 직접적으로 결합되는 기저부(110)와, 상기 기저부(110)의 중심으로부터 상방으로 돌출되어 있는 돌출부(120)로 이루어질 수 있다. 기저부(110)는 원판 형상 또는 직사각판 형상일 수 있으며, 돌출부(120)에는 수직 스프링(200)을 수용하기 위한 요홈(125)이 형성되어 있다.
수직 스프링(200)은 센서(10)에 수직한 방향으로 센서 결합부(100)에 고정되어 센서(10)의 하중을 지지하는 역할을 한다. 여기서, 센서(10)에 수직한 방향이란 센서(10)에 미치는 중력의 방향을 의미한다. 수직 스프링(200)은 하측이 돌출부(120)의 요홈(125)의 하부에 고정되고 상측이 요홈(125)의 상부로부터 돌출되는 형태로 요홈(125)에 수용될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치(1000)에 외부로부터 전자기장이 가해지면 센서(10)에서는 진동이 발생하게 되며, 센서(10)에서 발생하는 진동에 의해 센서 결합부(100) 역시 진동하게 된다. 그리고 센서 결합부(100)가 진동하면 수직방향(즉, 중력방향)에서의 수직 스프링(200)의 강성은 양의 크기(즉, 양강성)를 갖게 된다. 그리고 이와 같은 수직 스프링(200)의 양강성을 상쇄시키기 위해서는, 수직 스프링(200)에 작용하는 강성이 음의 크기(즉, 음강성)를 가지도록 하여 수직 스프링(200)의 양강성이 준영강성이 되도록 하여야 한다.
수직 스프링(200)의 양강성을 상쇄시키기 위해 수평 스프링(300)은 센서(10)에 수평한 방향으로 센서 결합부(100)에 고정된다. 여기서, 센서(10)에 수평한 방향이란 상기 언급한 센서(10)에 미치는 중력의 방향과 90도 차이가 나는 방향을 의미한다. 보다 구체적으로, 수평 스프링(300)의 일단은 돌출부(120)의 외측에 고정되고, 수평 스프링(300)의 타단은 이동판(400)에 고정된다. 이와 같이, 수직 스프링(200)이 돌출부(120)의 요홈(125)에 고정되고, 수평 스프링(300)이 돌출부(120)의 외측에 고정되도록 구성할 경우 센서용 진동 저감 장치(1000)의 부피가 작아질 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 수평 스프링(300)은 수직 스프링(200)을 기준으로 서로 동일한 각도만큼 이격되어 있는 것이 바람직하다. 수평 스프링(300)이 서로 동일한 각도만큼 이격되어 있을 경우에는, 수직 스프링(200)의 주위에서 동일한 크기의 음강성이 수직 스프링(200)에 미칠 수 있기 때문에, 수직 스프링(200)의 양강성이 보다 효율적으로 상쇄될 수 있게 된다. 도 1에서는 수평 스프링(300)이 수직 스프링(200)을 기준으로 서로 90도만큼 이격된 것으로 도시되어 있지만, 수평 스프링(300) 간의 이격 각도는 45도, 60도, 180도 등 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
이동판(400)이 이동하면 수평 스프링(300)이 돌출부(120)의 외측과의 마찰로 인해 손상될 염려가 있기 때문에, 이를 방지하기 위해 수평 스프링(300)의 일단이 맞닿는 돌출부(120)의 외측에는 베어링(510)이 구비될 수 있다.
또한, 이동판(400)이 이동하면 수평 스프링(300)이 이동판(400)과의 마찰로 인해 손상될 염려가 있기 때문에, 이를 방지하기 위해 이동판(400)에는 베어링(520)이 구비될 수 있다. 여기서, 베어링(520)은 이동판(400)에 길이방향으로 형성된 홈(450)에 수용될 수 있으며, 수평 스프링(300)의 타단은 베어링(520)을 통해 이동판(400)에 고정될 수 있다.
기계식 조절부(600)는 이동판(400)의 위치를 조절시키는 역할을 한다. 기계식 조절부(600)에 의해 이동판(400)이 이동하면 수평 스프링(300)의 스프링 상수가 변하게 되고, 수평 스프링(300)의 스프링 상수가 변하면 수평 스프링(300)의 음강성 역시 변하게 된다. 그리고 수직 스프링(200)의 양강성은 이러한 수평 스프링(300)의 음강성에 따라 상쇄될 수 있다.
프레임(700)은 정팔각형의 형상일 수 있으며, 이동판(400)은 프레임(700)의 모서리 내측에 배치되고, 기계식 조절부(600)는 프레임(700)의 모서리 외측에 배치되며, 이동판(400)과 기계식 조절부(600)는 프레임(700)을 사이에 두고 체결될 수 있다.
프레임(700)은 이동판(400)에 의해 기저부(110) 상에 지지될 수 있다. 또는, 프레임(700)은 프레임(700)과 기저부(110)를 연결하는 지지부재(미도시)에 의해 기저부(110) 상에 지지될 수 있다.
기계식 조절부(600)는 전기적 요소나 전자적 요소는 포함하지 않은 채, 이동판(400)의 위치를 기계적인 방식으로 조절할 수 있는 볼트나 나사 등과 같은 수단을 말한다. 기계식 조절부(600)가 볼트로 이루어질 경우, 볼트를 조이면 이동판(400)이 센서 결합부(100)의 돌출부(120)를 향해 이동하고, 볼트를 풀면 이동판(400)이 프레임(700)의 내측을 향해 이동한다. 이와 같이, 기계식 조절부(600)는 이동판(400)을 프레임(700) 내에서 직선운동 가능하게 조절한다. 이러한 기계식 조절부(600)는 이동판(400)의 위치를 기계적인 방식으로 조절하기 때문에 그 자체에서 전자기장을 발생시키지 않으며, 이에 따라 고감도 센서의 진동 저감에 특히 유용하고, 센서의 센싱 오류를 일어나게 할 염려도 없다.
수평 스프링(300)은 프레임(700)의 상부와 하부에 각각 배치될 수 있다. 프레임(700)의 상부에 배치되는 상부 수평 스프링(300-1)과 프레임(700)의 하부에 배치되는 하부 수평 스프링(300-2)은 각각 수직 스프링(200)을 기준으로 서로 동일한 각도만큼 이격되어 있다.
그리고 상부 수평 스프링(300-1)과 하부 수평 스프링(300-2)은 서로 마주보는 형태로 구비될 수 있다. 상부 수평 스프링(300-1)과 하부 수평 스프링(300-2)을 마주보는 형태로 구비시킬 경우에는, 공간적인 제약에도 불구하고 수직 스프링(200)의 양강성을 상쇄시키기 위한 수평 스프링(300)의 음강성을 충분히 확보할 수 있다는 이점이 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치가 밀봉 상판에 연결된 모습 및 밀봉 캔에 수용된 모습을 나타낸 도면이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 센서용 진동 저감 장치(1000)는 밀봉 캔(30)에 수용되며, 수직 스프링(200)의 상측은 밀봉 상판(20)에 연결될 수 있다.
센서용 진동 저감 장치(1000)의 외부로부터 전자기장이 가해지면 센서(10)에서는 진동이 발생한다. 그리고 센서(10)에서 발생하는 진동은 센서 결합부(100)로 전달되며, 이때 수직 방향에서의 수직 스프링(200)의 강성은 양의 크기를 갖게 된다. 수직 스프링(200)의 양강성을 상쇄시키기 위해서는 수평 스프링(300)의 강성이 음의 크기를 가져야 하며, 수직 스프링(200)의 양강성과 수평 스프링(300)의 음강성은 각각 도 5a 및 도 5b에 나타낸 힘-변위 그래프에서의 기울기(즉, 스프링 상수)와 밀접한 관련이 있다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치에 사용된 수직 스프링의 힘-변위 그래프로서, 보다 구체적으로 도 5a는 도 1에 도시된 수직 스프링(200)으로서 코일 스프링을 채택했을 때의 힘-변위 그래프이다. 도 5a에서 기울기는 코일 스프링의 스프링 상수(k1)를 나타내며, 이에 의하면 코일 스프링의 스프링 상수(k1)는 평행 위치(0mm)를 전후로 한 모든 변위에서 일정한 값을 나타낸다.
그리고 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 진동 저감 장치에 사용된 수평 스프링의 힘-변위 그래프로서, 보다 구체적으로 도 5b는 도 1에 도시된 수평 스프링(300)으로서 판 스프링을 채택했을 때의 힘-변위 그래프이다. 도 5b에서 기울기는 판 스프링의 스프링 상수(k2)를 나타내며, 이에 의하면 판 스프링의 스프링 상수(k2)는 평행 위치(0mm)를 전후로 한 모든 변위에서 상이한 값을 나타낸다.
도 5b에서 판 스프링의 힘-변위 그래프가 다수개 도시된 것은 이동판(400)에 의해 판 스프링의 위치가 조절됨에 따른 것이다. 구체적으로, 도 5b에서 ①번 그래프는 이동판(400)이 프레임(700)의 모서리 내측에 인접한 위치에 있어 판 스프링에 압축력이 가해지지 않은 상태이고, ②번 그래프는 기계식 조절부(600)에 의해 이동판(400)이 돌출부(120)를 향해 일정 거리 이동함에 따라 판 스프링에 압축력이 가해져 판 스프링이 휜 상태이며, ③번 그래프는 ②번 그래프에 비해, 그리고 ④번 그래프는 ③번 그래프에 비해 판 스프링에 더 큰 압축력이 가해진 상태이다.
도 5c는 도 5a의 힘-변위 그래프와 도 5b의 힘-변위 그래프를 합산한 그래프로서, 이는 센서용 진동 저감 장치(1000)의 힘-변위 그래프로 볼 수 있다. 도 5c에서 기울기는 센서용 진동 저감 장치(1000)의 스프링 상수(k)를 나타내며, 도 5c에 의하면 센서용 진동 저감 장치(1000)의 스프링 상수(k)는 (ⅲ)번 그래프의 특정 변위 영역(약 -3.2mm 내지 +3.2mm의 변위 영역)에서 0에 준한다는 것을 알 수 있다. 즉, 센서용 진동 저감 장치(1000)의 스프링 상수(k)는 판 스프링의 위치가 도 5b의 ③번 그래프와 같이 조절될 경우 특정 변위 영역에서 대략 0을 나타내며, 이는 특정 변위 영역에서 수직 스프링(코일 스프링)의 양강성이 수평 스프링(판 스프링)의 음강성에 의해 상쇄되어 준영강성이 구현된다는 것을 의미한다.
센서용 진동 저감 장치(1000)의 스프링 상수(k)가 특정 변위 영역에서 대략 0일 경우, 수식
Figure 112018124966999-pat00001
(f는 센서용 진동 저감 장치의 고유진동수, k는 센서용 진동 저감 장치의 스프링 상수이고, m은 수직 스프링 및 수평 스프링의 합산 질량임)에서 알 수 있듯이, 그 특정 변위 영역에서의 고유진동수는 0에 매우 근접한 값으로서 초저주파 대역에 위치한다. 그리고 센서용 진동 저감 장치(1000)의 고유진동수가 이와 같이 초저주파수 대역에 위치하게 되면, 그 고유진동수 이상의 주파수는 모두 차단될 수 있게 된다.
종래 수동형 진동 저감 방식은 고유진동수를 초저주파 대역에 설정하는 것이 어려워 초저주파 대역의 진동을 저감시키기 어려운 문제점이 있었다. 이에 반해, 본 발명에 의하면 센서(10)에 수직한 방향으로 센서 결합부(100)에 고정되는 수직 스프링(200)과 센서(10)에 수평한 방향으로 센서 결합부(100)에 고정되는 수평 스프링(300)에 의해, 센서용 진동 저감 장치(1000)의 고유진동수를 초저주파 대역에 설정하는 것이 가능하기 때문에 초저주파 대역의 진동 저감이 가능하다.
한편, 정밀한 센싱을 위해 초전도 현상을 이용하는 센서는 극저온 상태에서 동작이 이루어질 필요가 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 센서용 진동 저감 장치(1000)는 밀봉 상판(20) 및 밀봉 캔(30)에 의해 밀봉된 뒤, 극저온 상태에서 동작이 이루어지도록 하기 위해 액체질소나 액체헬륨이 존재하는 하우징(미도시) 안에 수용될 수 있다.
센서용 진동 저감 장치(1000)가 극저온 상태에 놓이게 되면 수직 스프링(200)과 수평 스프링(300)의 강성이 변하게 된다. 즉, 센서용 진동 저감 장치(1000)가 극저온 상태에 놓이게 되면 도 5a에 도시된 수직 스프링(200)의 스프링 상수(k1)와, 도 5b에 도시된 수평 스프링(300)의 스프링 상수(k2)가 변하게 된다. 이 경우에는 상술한 기계식 조절부(600)에 의해 이동판(400)의 위치를 조절할 필요가 있으며, 이동판(400)의 위치가 조절되면 수평 스프링(300)의 스프링 상수(k2)가 변하게 되므로, 수직 스프링(200)의 변화된 양강성이 수평 스프링(300)의 변화된 음강성에 의해 상쇄될 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서는 수직 스프링(200)이 코일 스프링이고 수평 스프링(300)이 판 스프링인 것으로 도시하였지만, 수직 스프링(200)을 판 스프링으로 하고 수평 스프링(300)을 코일 스프링으로 해도 되고, 수직 스프링(200)과 수평 스프링(300)을 모두 코일 스프링으로 하거나 모두 판 스프링으로 해도 된다.
또한, 수직 스프링(200) 및 수평 스프링(300)은 외부 전자기장에 의한 영향을 받지 않도록 전기적 또는 전자적 요소가 구비되지 않은 것이면 얼마든지 다른 종류의 스프링을 사용해도 된다. 일 예로, 수직 스프링(200)과 수평 스프링(300)은 금속 재질이거나 열처리된 탄소강 재질로 각각 이루어질 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다. 따라서, 본 발명의 기술적 사상은 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명의 기술적 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10: 센서 20: 밀봉 상판
30: 밀봉 캔 100: 센서 결합부
110: 기저부 120: 돌출부
125: 요홈 200: 수직 스프링
300: 수평 스프링 400: 이동판
500: 베어링 600: 기계식 조절부
700: 프레임

Claims (6)

  1. 센서용 진동 저감 장치로서,
    센서의 상부에 결합되는 센서 결합부;
    상기 센서에 수직한 방향으로 상기 센서 결합부에 고정되어 상기 센서의 하중을 지지하는 수직 스프링; 및
    상기 센서에 수평한 방향으로 상기 센서 결합부에 고정되어 상기 수직 스프링의 양강성을 상쇄시키는 수평 스프링;을 포함하며,
    상기 센서 결합부는 상기 센서에 직접적으로 결합되는 기저부와, 상기 기저부로부터 돌출되어 있으며 요홈이 형성되어 있는 돌출부를 포함하고,
    상기 수직 스프링의 하측은 상기 요홈의 하부에 고정되고, 상기 센서용 진동 저감 장치가 밀봉 캔에 수용될 경우 상기 수직 스프링의 상측이 상기 밀봉 캔의 밀봉 상판에 연결되기 위하여, 상기 수직 스프링의 상측은 상기 요홈의 상부로부터 돌출되는 형태로 상기 요홈에 수용되고, 상기 수직 스프링은 코일 스프링이며,
    상기 수평 스프링의 일단은 상기 돌출부의 외측에 고정되고, 상기 수평 스프링의 타단은 이동판에 고정되며, 기계식 조절부에 의해 상기 이동판의 위치가 조절됨에 따라 상기 수평 스프링의 스프링 상수가 변하되, 상기 이동판과 상기 기계식 조절부는 상기 이동판에 의해 상기 기저부 상에 지지되는 프레임을 사이에 두고 체결되고, 상기 기계식 조절부는 상기 이동판을 상기 프레임 내에서 직선운동 가능하게 조절하며, 상기 수평 스프링은 상기 프레임을 기준으로 서로 마주보는 형태로 상기 프레임의 상부와 하부에 각각 배치되며, 상기 수평 스프링은 판 스프링인 것을 특징으로 하는 센서용 진동 저감 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프레임의 상부에 배치되는 수평 스프링과, 상기 프레임의 하부에 배치되는 수평 스프링은 각각 상기 수직 스프링을 기준으로 서로 동일한 각도만큼 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 센서용 진동 저감 장치.
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