KR102084107B1 - 덕트 무게 실시간 모니터링 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 덕트 모니터링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정에서 발생되는 분진을 배기하는 통로가 되는 덕트 중 배기되어야 할 분진이 누적되는 부분의 분진을 정량적으로 감지하고, 감지결과를 원격 및 즉시 모니터링이 가능하도록 한 덕트 모니터링 시스템에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 전술된 덕트 모니터링 시스템에 있어서 측정값을 생성하여 전달하는 센서부와, 센서부로부터 측정값을 데이터로 수신하는 중계기와, 중계기로부터 데이터를 수신하는 서버와, 수신된 데이터에 기반하여 정보 출력 기능을 하는 모니터(단말) 간에 데이터를 송수신하는 방식을 TCP/IP 통신, 시리얼 통신, 센서 케이블 통신 등으로 다양하게 조합하여 사용하도록 구성한, 덕트 모니터링 시스템에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 전술된 덕트 모니터링 시스템에 있어서 측정값을 생성하여 전달하는 센서부와, 센서부로부터 측정값을 데이터로 수신하는 중계기와, 중계기로부터 데이터를 수신하는 서버와, 수신된 데이터에 기반하여 정보 출력 기능을 하는 모니터(단말) 간에 데이터를 송수신하는 방식을 TCP/IP 통신, 시리얼 통신, 센서 케이블 통신 등으로 다양하게 조합하여 사용하도록 구성한, 덕트 모니터링 시스템에 관한 것이다.
Description
본 발명은 덕트 모니터링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정에서 발생되는 분진을 배기하는 통로가 되는 덕트 중 배기되어야 할 분진이 누적되는 부분의 분진을 정량적으로 감지하고, 감지결과를 원격 및 즉시 모니터링이 가능하도록 한 덕트 모니터링 시스템에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 전술된 덕트 모니터링 시스템에 있어서 측정값을 생성하여 전달하는 센서부와, 센서부로부터 측정값을 데이터로 수신하는 중계기와, 중계기로부터 데이터를 수신하는 서버와, 수신된 데이터에 기반하여 정보 출력 기능을 하는 모니터(단말) 간에 데이터를 송수신하는 방식을 TCP/IP 통신, 시리얼 통신, 센서 케이블 통신 등으로 다양하게 조합하여 사용하도록 구성한, 덕트 모니터링 시스템에 관한 것이다.
반도체 소자는 산화, 식각, 증착 및 포토 공정 등 여러 제조공정을 반복적으로 거쳐 제조되며 이들 공정에는 다양한 종류의 화학약품과 가스가 사용된다.
최근에는 기가(Giga)급 반도체 소자가 제조되고 있고, 이러한 고집적화에 다른 화학약품(Chemical)과 가스(Gas)의 종류와 사용량이 증대되고 있다.
공정에서 사용된 화학약품(Chemical)과 가스(Gas)는 적절한 처리장치를 거쳐 대기로 배출된다. 배기가스 중에는 화합물형태의 분진이 발생하며 그 중PFC/Toxic 배기 덕트에는 분진이 침적되어 덕트 내에 누적된다. 누적된 분진량이 증가하게 되면 정상적 배기를 방해하여 배기시스템이 정지하게된다. 이는 생산공정의 정지로 연결되어 막대한 손실을 초래할 수 있다. 본 기술은 누적되는 분진의 양을 실시간으로 모니터링하여 생산 공정에 미치는 영향을 최소화하기 위한 기술이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트를 설명하기로 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트를 설명하기 위한 도면이다.
종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트는 도 1에 나타낸 바와 같이, 반도체 공정 장비 중 하나인 챔버(10)에서 예를 들면 증착공정 후 챔버(10)내의 분진을 제거하기 위하여 진공펌프(20)에서 해당 분진을 펌핑하여 제1스크러버(30)로 펌핑한다.
제1스크러버(30)는 해당 분진에 대한 스크러빙을 수행하는데, 스크러버는 일반적으로 세정 집진기라고도 한다.
이러한 제1스크러버(30)로부터의 1차 필터링 후에도 집진되지 않은 분진들은 반도체 생산라인 곳곳에 설치된 서브덕트(40)와 연결된 메인덕트인 입상덕트(50)를 통해 제2스크러버(60)로 이동되어 2차 필터링된다. 이때, 종래의 경우 서브덕트(40)에는 차압계(70)가 설치되어 이동 중인 분진들이 서브덕트(40)나 입상덕트(50)에 쌓이는 경우 적절한 시기에 분진에 대한 클리닝을 수행한다.
그러나 종래의 차압계의 경우에는 차압계의 정확도에 따라 정확도가 낮은 차압계의 경우 덕트내 분진이 적재되고, 그에 따라 덕트내의 압력이 감소하여 덕트 정압 헌팅(Hunting)이 발생한다. 그와 같은 경우에는 우선적으로는 배기효율이 감소된다. 심한 경우에는 배기문제로 인해 배기 공정이 갑자기 다운(Shut-down)되는 문제가 발생된다. 이와 같은 문제는 반도체 제조공정에 있어서 수율문제와도 관련이 되어 있으므로 배기공정의 갑작스런 다운 전에 분진에 대한 적절한 클리닝이 필요하다.
본 발명의 목적은, 덕트 모니터링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정에서 발생되는 분진을 배기하는 통로가 되는 덕트 중 배기되어야 할 분진이 누적되는 부분의 분진을 정량적으로 감지하고, 감지결과를 원격 및 즉시 모니터링이 가능하도록 한 덕트 모니터링 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 전술된 덕트 모니터링 시스템에 있어서 측정값을 생성하여 전달하는 센서부와, 센서부로부터 측정값을 데이터로 수신하는 중계기와, 중계기로부터 데이터를 수신하는 서버와, 수신된 데이터에 기반하여 정보 출력 기능을 하는 모니터(단말) 간에 데이터를 송수신하는 방식을 TCP/IP 통신, 시리얼 통신, 센서 케이블 통신 등으로 다양하게 조합하여 사용하도록 구성한, 덕트 모니터링 시스템을 제공하는데 있다.
상술된 목적을 달성하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템은,
제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100); 중계기(200); 및 서버(300);를 포함하여, 센서부에서 측정된 데이터를 기반하여 관리자 휴대 단말(400)에서 덕트의 무게를 모니터링하는 시스템에 있어서,
상기 중계기(200)와 서버(300)의 통신 또는 상기 서버(300)와 관리자 휴대 단말(400)의 통신 중 어느 하나의 통신은 TCP/IP 통신 방식을 사용하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 중계기(200)와 서버(300)의 통신을 TCP/IP 통신 방식으로 사용하는 경우, 상기 서버(300)와 관리자 휴대 단말(400)은 무선 IoT 통신 또는 시리얼 통신 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 중계기(200)가 Optical Hub로 구성되는 경우, 상기 관리자 휴대 단말(400)은 상기 중계기(200)와 광 통신 방식으로 통신하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 서버(300)와 관리자 휴대 단말(400)의 통신이 TCP/IP 통신 방식을 사용하는 경우, IoT 통신용 모듈을 센서부(100)와 서버(300)에 더 포함하여 상기 센서부(100)와 서버(300)가 IoT 통신 방식으로 통신하는 것을 특징으로 한다.
이러한 덕트 모니터링 시스템은,
반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동되는 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100);
상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)에서 송신된 데이터를 분진을 관리하는 서버로 중계하는 중계기(200); 및
상기 중계기(200)에서 중계된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터의 분진 무게 데이터에 따라 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하고, 관리자 휴대 단말(400)로 전송하는 덕트 모니터링 서버(300);를 포함하여 구성되되,
- 상기 각각의 무게측정센서부(100)는,
제1무게측정 무게를 측정하는 무게측정센서(111)와, 상기 무게측정센서(111)의 식별정보를 저장하는 식별정보 저장부(112)와, 상기 무게측정센서(111)에서 측정된 분진 무게 데이터를 상기 중계기(200)로 전송하는 무선통신부(113)와, 상기 무게측정 센서부(100)의 전원을 공급하는 전원부(114)로 구성되되,
상기 각각의 무게측정센서부(100)는 서브 덕트나 입상 덕트에 설치되고, 상기 서브 덕트나 입상 덕트의 외주면을 둘러싼 볼트 타입 로드 셀로 형성되며,
- 상기 덕트 모니터링 서버(300)는,
상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 저장하는 무게측정센싱부 DB(310)와,
상기 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400) 식별정보를 저장하는 관리자 정보 저장부(320)와,
상기 중계기(200)와 통신하여 상기 중계기(200)로부터 전송된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 수신하고, 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 전송하는 통신부(330)와,
상기 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 기 저장된 분진 제거를 위한 무게 정보와 비교하는 비교부(340)와,
상기 덕트 모니터링 서버(300) 외부의 모니터(510), 입력장치(520) 및 알람부(530)로 구성되는 입출력장치(500)와 연결되어 모니터링에 필요한 데이터를 상기 모니터(510)에 표시하거나, 상기 입력장치(520)에서 입력되는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 입력받고, 상기 알람부(530)를 통해 분진 제거가 필요한 덕트에 대한 정보를 경보하는 접속부(350) 및
상기 덕트 모니터링 서버(300)를 제어하며, 상기 비교부(340)를 통해 분진 무게 데이터를 비교하도록 하고, 상기 통신부(330)를 통해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 덕트별 분진 무게 데이터 정보와 분진 제거 요청 정보를 전송하도록 제어하며, 상기 접속부(350)를 통해 상기 입출력장치(500)의 알람부로 경보를 출력하도록 제어하는 제어부(360)를 포함하여 구성되되,
상기 제어부(360)는 상기 비교부(340)에서의 비교결과에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 근접할수록 상기 분진 제거에 여유가 있는 경우에 비해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 비교결과를 전송하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 분진의 무게 측정을 무게측정 센서를 이용하여 측정함으로써 정확한 측정이 가능하고, 이를 원격지에서 실시간으로 모니터링 할 수 있으므로 선제적인 분진 제거가 가능하여 반도체 제조 공정의 갑자스러운 정지를 방지하여 생산안정성과 수율을 향상시킬 수 있다.
둘째, 무선통신을 통한 실시간 모니터링 및 경보 시스템을 구축할 수 있으므로 분진관리 인력을 최소화할 수 있다.
도 1 종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 2에 나타낸 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 블록 구성도이다.
도 4는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5 내지 도 8은 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템의 통신 방법을 설명하는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 2에 나타낸 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 블록 구성도이다.
도 4는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5 내지 도 8은 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템의 통신 방법을 설명하는 도면이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 도면을 참조하여 설명하기에 앞서, 본 발명의 요지를 드러내기 위해서 필요하지 않은 사항 즉 통상의 지식을 가진 당업자가 자명하게 부가할 수 있는 공지 구성에 대해서는 도시하지 않거나, 구체적으로 기술하지 않았음을 밝혀둔다.
본 발명은 덕트 모니터링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정에서 발생되는 분진을 배기하는 통로가 되는 덕트 중 배기되어야 할 분진이 누적되는 부분의 분진을 정량적으로 감지하고, 감지결과를 원격 및 즉시 모니터링이 가능하도록 한 덕트 모니터링 시스템에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 전술된 덕트 모니터링 시스템에 있어서 측정값을 생성하여 전달하는 센서부와, 센서부로부터 측정값을 데이터로 수신하는 중계기와, 중계기로부터 데이터를 수신하는 서버와, 수신된 데이터에 기반하여 정보 출력 기능을 하는 모니터(단말) 간에 데이터를 송수신하는 방식을 TCP/IP 통신, 시리얼 통신, 센서 케이블 통신 등으로 다양하게 조합하여 사용하도록 구성한, 덕트 모니터링 시스템에 관한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 2에 나타낸 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 블록 구성도이다.
본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템은 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 반도체 생산라인에서 반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동 중 누적될만한 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 분진의 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100)와, 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)에서 송신된 데이터를 중계하는 중계기(200)와, 중계기(200)에서 중계된 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터의 분진 무게 데이터에 따라 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하고, 필요한 경우 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400)로 전송하는 덕트 모니터링 서버(300)로 구성된다.
여기서 무게측정센서부(100)는 제1무게측정 센서부(110)를 예로 하여 상세히 설명하면 무게를 측정하는 무게측정센서(111)와 무게측정 센서의 식별정보를 저장하는 식별정보 저장부(112)와, 무게측정센서(111)에서 측정된 분진 무게 데이터를 중계기(200)로 전송하는 무선통신부(113)와, 무게측정 센서부(100)의 전원을 공급하는 전원부(114)로 구성된다. 이러한 무게측정센서부(100)는 특별히 한정할 필요는 없지만 서브 덕트나 입상 덕트에 설치될 수 있고, 덕트의 외주면을 둘러싸는 형태의 볼트 타입 로드 셀을 이용하여 설치할 수 있다.
그리고 덕트 모니터링 서버(300)는 무게측정센싱부 DB(310)와, 관리자 정보 저장부(320)와, 통신부(330)와, 비교부(340)와, 접속부(350) 및 제어부(360)로 구성된다.
무게측정센싱부 DB(310)는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 저장한다.
관리자 정보 저장부(320)는 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400)패드, 스마트 폰 등)의 식별정보를 저장한다.
통신부(330)는 중계기(200)와 통신하여 중계기(200)로부터 전송된 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 수신하고, 관리자 휴대 단말(400)로 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 전송한다. 이때, 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 덕트 위치 정보 역시 함께 전송될 수 있다.
비교부(340)는 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 무게측정센싱부 DB(310)의 분진 제거 정보의 데이터와 비교한다.
접속부(350)는 덕트 모니터링 서버(300) 외부의 모니터(510), 입력장치(520) 및 알람부(530)로 구성되는 입출력장치(500)와 연결되어 모니터링에 필요한 데이터를 모니터(510)에 표시하거나, 입력장치(520)에서 입력되는 정보(제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보)를 입력받거나, 알람부(530)를 통해 분진 제거가 필요한 덕트에 대한 정보를 경보한다.
제어부(360)는 덕트 모니터링 서버(300)를 제어하여 분진 무게 데이터를 비교하도록 하고, 통신부(330)를 통해 관리자 휴대 단말(400)로 덕트별 분진 무게 데이터 정보와 분진 제거 요청 정보 등을 전송하도록 제어하며, 접속부(350)를 통해 입출력장치(500)의 알람부로 경보를 출력하도록 한다. 이때, 제어부(360)는 비교부(340)에서의 비교결과에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 근접할수록 분진 제거에 여유가 있는 경우에 비해 관리자 휴대 단말(400)로 비교결과를 상대적으로 자주 전송하도록 설정할 수 있다. 그와 같은 경우 관리자는 다른 업무에 집중하다가 필요한 경우에는 자주 데이터를 받아 볼 수 있다.
이러한 구성에 따라 분진의 무게 측정을 무게측정 센서를 이용하여 측정함으로써 정확한 측정이 가능하고, 이를 원격지에서 서버 관리자가 실시간으로 모니터링 하거나, 알람부(530)를 통해 알 수 있고, 관리자 휴대 단말(400)로 분진 제거를 요청하므로 선제적인 분진 제거가 가능하여 반도체 제조 공정의 갑자스러운 정지를 방지하여 생산안정성과 수율을 향상시킬 수 있다.
또한, 무선통신을 통한 실시간 모니터링 및 경보 시스템을 구축할 수 있으므로 분진관리 인력을 최소화할 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법은 도 4에 나타낸 바와 같이, 덕트에 무게측정 센서부를 설치한다(S100).
이어 입력장치(520)를 통해 무게측정센서부(100)의 설치정보를 덕트모니터링 서버(300)에 저장한다. 이러한 설치정보로는 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 포함한다.
그 다음 무게측정 센서부(100)에서 덕트에 존재하는 분진의 무게를 측정하여 중계기(200)로 송신한다(S120)
그러면 중계기(200)는 덕트에 존재하는 분진의 무게 데이터를 덕트 모니터링 서버(300)로 전송한다(S130).
덕트 모니터링 서버(300)의 비교부(340)는 통신부(330)를 통해 전송된 분진의 무게 데이터를 무게측정 센싱부 DB(310)에 기 저장된 분진 제거를 위한 무게 데이터와 비교한다(S140).
덕트 모니터링 서버(300)의 제어부(360)는 비교데이터를 모니터(510)에 출력하고, 관리자 휴대단말(400)로 전송한다(S150). 이때, 모니터(510)에는 실시간 정보를 표시하고, 관리자 휴대단말(400)로는 설정된 주기에 따라 전송할 수 있다. 여기서 설정된 주기는 비교 데이터에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 가까워질 수도록 분진 제거에 여유가 있는 무게보다 상대적으로 자주 전송하도록 설정할 수 있다.
그리고 제어부(360)는 분진제거가 필요한 덕트가 있는가를 판단한다(S160).
판단결과(S160) 있다면 분진 제거가 필요한 덕트 정보를 관리자 휴대 단말(400)로 전송하고, 모니터(510)에 표시하며, 알람부(530)를 통해 경보를 출력한다.
한편, 상술된 센서부(100)에서 중계기(200) 및 덕트 모니터링 서버(300)로 통신하기 위한 통신의 구축은 다양하게 할 수 있는데, 예를 들면 다음과 같다.
도 5 내지 도 8은 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템의 통신 방법을 설명하는 도면이다.
첨부된 도면의 도 5에 따른 본 발명의 덕트 모니터링 시스템의 통신 구축은 TCP/IP 통신을 이용하여 무선으로 데이터 통신하는 방법이다.
즉, 전술된 설명을 비롯하여 도 5에 따르면, 센서부(100)의 데이터를 데이터 수집(DAQ, Data acquisition)하여 중계기(200, HUB)에서 서버(300)로 TPC/IP 통신을 이용하여 데이터를 통신하고, 구성된 모니터링 랙(Monitoring Rack)에 무선 IoT 통신을 이용하여 통신하도록 할 수 있다.
다른 일예로, 도 6을 참조하면 중계기(200)를 Opital Switch HUB를 사용함으로써, 관통신을 통해 기 구축된 모니터링 랙(Monitoring Rack)에 통신하도록 할 수도 있다.
또 다른 일예로, 도 7을 참조하면 중계기(200)는 일반 통신용 중계기를 사용하되, 중계기로부터 TPC/IP 통신을 이용하여 데이터를 통신하는 서버(300)가 시리얼통신 방식(RS485/RS232/RS422/CAN)으로 기 구축된 모니터링 랙(Monitoring Rack)에 통신하도록 할 수도 있다.
또 다른 일예로, 도 8을 참조하면 전술된 센서부(100)의 무선통신부(113)를 도 8과 같이 IoT 통신을 위한 클라이언트 박스 형태로 제공하고, 서버(300)에 IoT 통신을 위한 서버용 박스를 더 구성하여, 데이터를 서버에 무선 IoT 통신 방식으로 수행할 수도 있다. 이때, 기 구축된 모니터링 랙(Monitoring Rack)으로는 도 8과 같은 TPC/IP 통신 방식 또는 상술된 무선통신 방식들을 적절히 조합하여 사용할 수 있을 것이다.
다른 한편, 전술된 센서부는 도 2와 같이 덕트의 외관에 설치되어 무게를 측정하도록 할 수 있는데, 일예로서 1개의 특정지점에서 설치처인 덕트의 무게를 측정할 수도 있고, 다른 일예로서 복수 개의 센서부를 구성하거나 1개의 센서부에 복수 개의 무게측정센서(111)를 센서노드로 구성하여 복수의 지점에서 무게를 측정하도록 할 수도 있다.
이때, 복수 개의 센서를 구성하는 경우에는 센서의 감지범위가 중첩되지 않도록 한다. 또한, 복수 개의 센서는 센서부(110)인 경우 전술된 바와 같이 식별정보를 가질 수 있고, 복수의 센서가 노드로 구성되는 경우 센서자체에 식별정보를 지정하도록 할 수도 있다.
이 경우, 제어부는 센서가 1개인 경우, 무게 측정에 대한 데이터가 수신되면, 이 데이터에 대하여 소정의 시간동안 수신되는 데이터들을 대상으로 증감소를 분석하도록 할 수 있다. 이때, 제어부는 데이터 증감소(무게 증감소)가 소정의 범위만큼 발생되는 경우,
또는, 제어부는 센서가 복수 개인 경우, 각각의 센서에서 발생되는 무게 측정에 대한 복수의 데이터에 대하여 측정 및 미측정에 대한 변동이 소정의 시간동안 발생되는 경우, 해당 데이터들을 삭제처리하도록 할 수 있다.
예를 들어, 복수의 측정 데이터가 A, B, C라고 가정하였을 때, B, C에서는 무게가 측정되지 않고 A에서만 측정되었지만, 소정의 시간 동안 B에서도 측정되었다가 C에서도 측정되면서 그외 데이터에서 측정되지 않는다면(A에서 미측정), 해당 데이터들을 삭제처리하는 것이다.
이러한 기술적 사항의 의의는, 위 센서가 분진의 누적을 측정할 정도로 미세한 범위의 무게값을 측정해내기 때문에, 만약 덕트 내에 분진이 누적되어 무게가 발생되는 것이 아니라, 외부 다른 요인 등이 덕트 내면 또는 외면을 이동하면서 발생되는 무게의 변화라도 센서에서 감지해낼 수 있고, 이에 따른 불필요한 측정 데이터가 발생될 수 있기 때문이다.
이때, 1개의 센서를 가지고 무게의 증감소가 발생되는 것은, 위와 같은 일예로서 덕트 외면을 따라 이동하는 물체(벌레 등)가 존재하는 경우, 센서의 측정지점을 대상으로 가까워질수록 무게가 증가할 것이고, 멀어질수록 무게가 감소할 것이므로, 이를 기반으로 소정의 시간동안 일정 범위 내의 증감소가 측정됨에 따라 데이터 삭제여부를 결정하는 것이다.
또한, 다른 실시형태로서, 상기와 같이 복수의 측정부위를 가짐에 따라, 덕트 내부에 분진의 누적이 집중적인 형태인지 혹은 분포된 형태인지 판단하도록 할 수 있다. 이는 상술된 비교부에서 기능할 수 있다.
또한, 제어부는, 상기 비교부의 기능에 따라, 만약 2개의 덕트에서 1개는 집중적으로 분진이 누적되었고, 다른 1개는 분포되어 분진이 누적되었다고 판단되면, 집중적으로 분진이 누적된 덕트에 대하여 더 급하게 처리가 필요함을 판단하고, 사용자에게 알리도록 할 수도 있다.
이러한 급한 처리가 요구되는 덕트의 판단은, 분진의 누적이 집중된 영역의 개수가 적은 순으로 이루어질 수 있고, 또 다른 만약, 측정 대상인 덕트들에 있어서, 1개의 영역에서 누적된 것으로 판단된 덕트가 복수 개 라면, 이들 중 가장 무게가 많이 측정된 순서로 급한 것으로 처리할 수 있을 것이다.
상기에서 첨부된 도면을 이용하여 서술한 것은, 본 발명의 주요 사항만을 서술한 것으로, 그 기술적 범위 내에서 다양한 설계가 가능한 만큼, 본 발명의 첨부된 도면의 구성에 한정되는 것이 아님은 자명하다.
100, 110, 120, 130 : 제1 내지 제N 무게측정 센서부
200 : 중계기 300 : 덕트 모니터링 서버
310 : 무게측정 센싱부 DB 320 : 관리자 정보 저장부
330 : 통신부 340 : 비교부
350 : 접속부 360 : 제어부
400 : 관리자 휴대 단말 500 : 입출력장치
510 : 모니터 520 : 입력장치
530 : 알람부
200 : 중계기 300 : 덕트 모니터링 서버
310 : 무게측정 센싱부 DB 320 : 관리자 정보 저장부
330 : 통신부 340 : 비교부
350 : 접속부 360 : 제어부
400 : 관리자 휴대 단말 500 : 입출력장치
510 : 모니터 520 : 입력장치
530 : 알람부
Claims (6)
- 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100); 중계기(200); 및 서버(300);를 포함하여, 센서부에서 측정된 데이터를 기반하여 관리자 휴대 단말(400)에서 덕트의 무게를 모니터링하는 시스템에 있어서,
상기 중계기(200)와 서버(300)의 통신 또는 상기 서버(300)와 관리자 휴대 단말(400)의 통신 중 어느 하나의 통신은 TCP/IP 통신 방식을 사용하고,
상기 중계기(200)와 서버(300)의 통신을 TCP/IP 통신 방식으로 사용하는 경우, 상기 서버(300)와 관리자 휴대 단말(400)은 무선 IoT 통신 또는 시리얼 통신 중 어느 하나를 사용하며,
상기 중계기(200)가 Optical Hub로 구성되는 경우, 상기 관리자 휴대 단말(400)은 상기 중계기(200)와 광 통신 방식으로 통신하고,
상기 서버(300)와 관리자 휴대 단말(400)의 통신이 TCP/IP 통신 방식을 사용하는 경우, IoT 통신용 모듈을 센서부(100)와 서버(300)에 더 포함하여 상기 센서부(100)와 서버(300)가 IoT 통신 방식으로 통신하며,
상기 덕트 모니터링 시스템은,
반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동되는 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100);
상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)에서 송신된 데이터를 분진을 관리하는 서버로 중계하는 중계기(200); 및
상기 중계기(200)에서 중계된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터의 분진 무게 데이터에 따라 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하고, 관리자 휴대 단말(400)로 전송하는 덕트 모니터링 서버(300);를 포함하여 구성되되,
- 상기 각각의 무게측정센서부(100)는,
제1무게측정 무게를 측정하는 무게측정센서(111)와, 상기 무게측정센서(111)의 식별정보를 저장하는 식별정보 저장부(112)와, 상기 무게측정센서(111)에서 측정된 분진 무게 데이터를 상기 중계기(200)로 전송하는 무선통신부(113)와, 상기 무게측정 센서부(100)의 전원을 공급하는 전원부(114)로 구성되되,
상기 각각의 무게측정센서부(100)는 서브 덕트나 입상 덕트에 설치되고, 상기 서브 덕트나 입상 덕트의 외주면을 둘러싼 볼트 타입 로드 셀로 형성되며,
- 상기 덕트 모니터링 서버(300)는,
상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 저장하는 무게측정센싱부 DB(310)와,
상기 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400) 식별정보를 저장하는 관리자 정보 저장부(320)와,
상기 중계기(200)와 통신하여 상기 중계기(200)로부터 전송된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 수신하고, 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 전송하는 통신부(330)와,
상기 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 기 저장된 분진 제거를 위한 무게 정보와 비교하는 비교부(340)와,
상기 덕트 모니터링 서버(300) 외부의 모니터(510), 입력장치(520) 및 알람부(530)로 구성되는 입출력장치(500)와 연결되어 모니터링에 필요한 데이터를 상기 모니터(510)에 표시하거나, 상기 입력장치(520)에서 입력되는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 입력받고, 상기 알람부(530)를 통해 분진 제거가 필요한 덕트에 대한 정보를 경보하는 접속부(350) 및
상기 덕트 모니터링 서버(300)를 제어하며, 상기 비교부(340)를 통해 분진 무게 데이터를 비교하도록 하고, 상기 통신부(330)를 통해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 덕트별 분진 무게 데이터 정보와 분진 제거 요청 정보를 전송하도록 제어하며, 상기 접속부(350)를 통해 상기 입출력장치(500)의 알람부로 경보를 출력하도록 제어하는 제어부(360)를 포함하여 구성되되,
상기 제어부(360)는,
상기 비교부(340)에서의 비교결과에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 근접할수록 상기 분진 제거에 여유가 있는 경우에 비해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 비교결과를 전송하고,
상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터 발생된 복수의 데이터에 대하여 측정과 미측정에 대한 변동이 소정의 시간동안 발생되는 경우, 해당 데이터를 삭제처리하도록 함으로써, 덕트 내에 분진이 누적됨에 따른 무게 발생이 아닌 분진 외의 외부의 다른 요인에 따른 무게 발생을 인지하여 불필요한 데이터를 삭제하는 것을 특징으로 하는, 덕트 모니터링 시스템. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112450120A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-03-09 | 小佩网络科技（上海）有限公司 | 宠物体重记录方法、装置、宠物厕所及介质 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050077995A (ko) | 2004-01-30 | 2005-08-04 | 코텍엔지니어링주식회사 | 가스 히트 펌프를 이용하는 자동 공기 조화기 시스템 및그의 제어 방법 |
| KR100711941B1 (ko) | 2005-10-27 | 2007-05-02 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 폐가스 정화처리 장치 |
| KR100785883B1 (ko) | 2005-05-07 | 2007-12-17 | 이진민 | 반도체 생산라인의 덕트 내부 모니터링 장치 |
| KR100921673B1 (ko) * | 2008-12-26 | 2009-10-15 | 주식회사 부시파워 | 부스 덕트시스템의 온도 검출장치 |
| KR101144147B1 (ko) | 2011-11-23 | 2012-05-09 | 권오민 | 자동압력대응방식의 전기전자식 디퓨져 |
| KR101486015B1 (ko) * | 2014-11-24 | 2015-01-27 | 삼성물산 주식회사 | 덕트 무게 실시간 모니터링 시스템 |
| KR20180005943A (ko) * | 2016-07-07 | 2018-01-17 | 주식회사 포스코 | 배관 연결장치 및 이물질 제거방법 |
| KR20190093728A (ko) * | 2018-01-09 | 2019-08-12 | 건양대학교산학협력단 | IoT를 활용한 차량 내 환경정보 기반 차량 개선 및 안전관리 서비스 방법 및 시스템 |
-
2019
- 2019-12-20 KR KR1020190171433A patent/KR102084107B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050077995A (ko) | 2004-01-30 | 2005-08-04 | 코텍엔지니어링주식회사 | 가스 히트 펌프를 이용하는 자동 공기 조화기 시스템 및그의 제어 방법 |
| KR100785883B1 (ko) | 2005-05-07 | 2007-12-17 | 이진민 | 반도체 생산라인의 덕트 내부 모니터링 장치 |
| KR100711941B1 (ko) | 2005-10-27 | 2007-05-02 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 폐가스 정화처리 장치 |
| KR100921673B1 (ko) * | 2008-12-26 | 2009-10-15 | 주식회사 부시파워 | 부스 덕트시스템의 온도 검출장치 |
| KR101144147B1 (ko) | 2011-11-23 | 2012-05-09 | 권오민 | 자동압력대응방식의 전기전자식 디퓨져 |
| KR101486015B1 (ko) * | 2014-11-24 | 2015-01-27 | 삼성물산 주식회사 | 덕트 무게 실시간 모니터링 시스템 |
| KR20180005943A (ko) * | 2016-07-07 | 2018-01-17 | 주식회사 포스코 | 배관 연결장치 및 이물질 제거방법 |
| KR20190093728A (ko) * | 2018-01-09 | 2019-08-12 | 건양대학교산학협력단 | IoT를 활용한 차량 내 환경정보 기반 차량 개선 및 안전관리 서비스 방법 및 시스템 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112450120A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-03-09 | 小佩网络科技（上海）有限公司 | 宠物体重记录方法、装置、宠物厕所及介质 |
| CN112450120B (zh) * | 2020-11-26 | 2022-08-05 | 小佩网络科技（上海）有限公司 | 宠物体重记录方法、装置、宠物厕所及介质 |
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