KR102077270B1 - Cylinder including inner fluid pathway and gate valve using the same - Google Patents

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Abstract

개폐 실린더의 압력을 조절하기 위하여 승강 실린더의 내부에 유로를 형성함에 따라, 승강 실린더의 내부에 설치되는 삽입관의 유동성을 확보하기 위한 본 발명에 따른 실린더는 일단부가 실린더 튜브의 외부로 개방되고 타단부가 실린더 튜브의 내부로 개방되는 중공이 형성되는 피스톤 로드, 일단부가 상기 중공에 삽입되고 타단부에는 외주면으로부터 돌출되는 돌출부가 형성되는 삽입관 및 상기 삽입관으로 전달되는 압력에 따라 상기 삽입관의 유동성이 확보되도록 상기 돌출부보다 큰 내경을 가지고 상기 돌출부를 지지하는 지지홈이 형성되며, 상기 삽입관에 연통되는 유로가 형성되어 상기 실린더 튜브에 체결되는 실린더 헤드커버를 포함하므로, 승강 실린더의 내부에 삽입관을 안정적인 지지상태를 유지하여 개폐 실린더의 원활한 압력조절이 가능할 뿐만 아니라, 장비의 내구성을 향상시킬 수 있는 효과를 도출할 수 있다. In order to control the pressure of the opening / closing cylinder, as the flow path is formed inside the lifting cylinder, the cylinder according to the present invention for securing the fluidity of the insertion tube installed inside the lifting cylinder has one end opened to the outside of the cylinder tube and other A piston rod having a hollow formed at the end of which is opened into the interior of the cylinder tube, an insertion tube in which one end is inserted into the hollow and a protrusion protruding from the outer circumferential surface is formed in the other end, and the pressure of the insertion tube according to pressure transmitted to the insertion tube A support groove for supporting the protrusion is formed with an inner diameter larger than the protrusion to secure fluidity, and a flow path communicating with the insertion tube is formed to include a cylinder head cover that is fastened to the cylinder tube. Smooth pressure tank of the opening / closing cylinder by keeping the insertion tube stable As well as possible, this can be obtained an effect to improve the durability of the equipment.

Description

내부 유로를 포함하는 실린더 및 이를 이용한 게이트 밸브 {CYLINDER INCLUDING INNER FLUID PATHWAY AND GATE VALVE USING THE SAME}Cylinder with internal flow path and gate valve using the same {CYLINDER INCLUDING INNER FLUID PATHWAY AND GATE VALVE USING THE SAME}

본 발명은 내부 유로를 포함하는 실린더 및 이를 이용한 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 왕복 구동되는 실린더의 피스톤로드를 관통하여 유체가 흐를 수 있는 내부 유로를 포함하는 실린더 및 이를 이용한 게이트 밸브에 관한 것이다. The present invention relates to a cylinder including an internal flow path and a gate valve using the same, and more particularly, to a cylinder including an internal flow path through which a piston rod of a reciprocating driven cylinder can flow and a gate valve using the same. will be.

반도체 공정을 비롯한 디스플레이 공정, 신물질 및 고기능재료개발, 항공부품 및 나노소자 제조공정의 많은 부분은 진공이 유지되는 환경에서 공정이 수행된다. 특히 최근 전 세계적으로 반도체 산업의 급속한 발전과 더불어 이에 상응하는 진공산업이 핵심기술로 부각되고 있으며, 진공산업의 발전이 고부가가치를 창출하는 산업으로 빠르게 발전되어 가고 있다. In the display process including semiconductor process, development of new materials and high-functional materials, and manufacturing process of aviation parts and nano devices, the process is performed in an environment in which vacuum is maintained. In particular, with the rapid development of the semiconductor industry in recent years, the corresponding vacuum industry is emerging as a core technology, and the development of the vacuum industry is rapidly developing into an industry that creates high added value.

이러한 진공산업에 필수적인 요소들 중 하나가 바로 게이트 밸브이며, 게이트 밸브는 진공분위기에서 단위 공정이 이루어지는 진공 챔버들을 압력 별로 분리시켜 줄 수 있고 외부와의 차단역할도 담당하며, 때로는 일정한 압력유지 기능을 갖기도 한다.One of the essential elements of the vacuum industry is a gate valve, which can separate the vacuum chambers in which a unit process is performed in a vacuum atmosphere by pressure, and also plays a role of blocking the outside, and sometimes has a constant pressure maintenance function. I have it.

일반적인 게이트 밸브는 개구부가 형성된 밸브 바디, 개구부를 개폐 하기 위한 게이트, 개구부를 향해 게이트를 전후진 구동시키는 개폐 실린더 및 개폐 실린더를 승강 구동시켜 개폐 실린더와 함께 게이트가 승강되도록 하는 승강 실린더로 구성될 수 있다. The general gate valve may be composed of a valve body having an opening, a gate for opening and closing the opening, an opening and closing cylinder for driving the gate forward and backward toward the opening, and a lifting cylinder for raising and lowering the gate together with the opening and closing cylinder by lifting and driving the opening and closing cylinder. have.

이러한 게이트 밸브는 개폐 실린더의 압력을 조절하기 위하여, 승강 실린더의 내부에 유체를 공급하거나 배출하는 유로를 형성하는데, 종래에는 승강 실린더의 내부에 유로를 형성하기 위하여, 피스톤 로드에 중공을 형성하고 중공의 내부에 별도의 삽입관을 설치하는 방법으로 승강 실린더의 내부에 유로를 형성한다. In order to control the pressure of the opening and closing cylinder, such a gate valve forms a flow path for supplying or discharging fluid to the interior of the lift cylinder. Conventionally, in order to form a flow path inside the lift cylinder, a hollow is formed in the piston rod and is hollow. A flow path is formed in the interior of the elevating cylinder by installing a separate insertion tube inside the interior.

이때, 승강 실린더의 내부에 설치된 삽입관을 견고하게 지지하고, 삽입관과 실린더 헤드커버의 접합 부위를 통해 실린더 내부의 압력이 새어나가는 것을 방지하기 위하여, 삽입관을 실린더 헤드커버에 용접하거나, 볼트를 체결하여 삽입관을 고정시킨다.At this time, to securely support the insertion tube installed inside the elevating cylinder, and to prevent the pressure inside the cylinder from leaking through the joint between the insertion tube and the cylinder head cover, the insertion tube is welded to the cylinder head cover or bolted. Fix the insertion tube by fastening.

하지만 피스톤 로드의 왕복 구동에 따른 진동, 피스톤 로드와 삽입관의 동심이 틀어지게 되는 이유 등으로 삽입관에는 압력이 작용하고 이러한 압력이 누적되면 삽입관과 실린더 헤드커버의 접합 부위가 파괴되는 문제점이 있다. However, due to vibration due to reciprocating driving of the piston rod, concentricity between the piston rod and the insertion pipe, pressure acts on the insertion pipe, and when this pressure accumulates, the joint between the insertion pipe and the cylinder head cover is destroyed. have.

대한민국 등록특허 제1317696호 (2013. 10. 15. 공고)Republic of Korea Registered Patent No. 1317696 (Announcement of October 15, 2013)

본 발명의 목적은 개폐 실린더의 압력을 조절하기 위하여 승강 실린더의 내부에 유로를 형성함에 따라, 승강 실린더의 내부에 설치되는 삽입관의 유동성을 확보하기 위한 실린더 및 이를 이용한 게이트 밸브를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a cylinder and a gate valve using the same for securing the fluidity of the insertion tube installed in the interior of the elevating cylinder, by forming a flow path inside the elevating cylinder to adjust the pressure of the opening and closing cylinder .

본 발명에 따른 실린더는 일단부가 실린더 튜브의 외부로 개방되고 타단부가 실린더 튜브의 내부로 개방되는 중공이 형성되는 피스톤 로드, 일단부가 상기 중공에 삽입되고 타단부에는 외주면으로부터 돌출되는 돌출부가 형성되는 삽입관 및 상기 삽입관으로 전달되는 압력에 따라 상기 삽입관의 유동성이 확보되도록 상기 돌출부보다 큰 내경을 가지고 상기 돌출부를 지지하는 지지홈이 형성되며, 상기 삽입관에 연통되는 유로가 형성되어 상기 실린더 튜브에 체결되는 실린더 헤드커버를 포함할 수 있다.The cylinder according to the present invention is a piston rod having one end open to the outside of the cylinder tube and the other end open to the inside of the cylinder tube, one end is inserted into the hollow, and the other end is formed with a protrusion projecting from the outer circumferential surface. A support groove for supporting the protrusion is formed with an inner diameter larger than the protrusion so that fluidity of the insertion tube is secured according to the pressure delivered to the insertion tube and the insertion tube, and a flow path communicating with the insertion tube is formed to form the cylinder It may include a cylinder head cover fastened to the tube.

상기 실린더 헤드커버는 상기 삽입관이 관통되는 관통공이 형성되어 상기 실린더 튜브에 체결되는 커버 본체부 및 상기 커버 본체부를 향하는 일면이 함몰되는 형태로 상기 지지홈이 형성되어 상기 커버 본체부에 체결되며, 상기 지지홈으로 개방되는 상기 유로가 형성되는 체결부를 포함할 수 있다.The cylinder head cover is formed with a through hole through which the insertion tube penetrates, and the support groove is formed in a form in which a cover body part fastened to the cylinder tube and one surface facing the cover body part are recessed and fastened to the cover body part, It may include a fastening portion in which the flow path is opened to the support groove.

상기 삽입관의 지름 방향으로 전달되는 압력에 대해 상기 삽입관의 유동성이 확보되도록 상기 관통공은 상기 삽입관의 외경보다 큰 내경을 가지며, 상기 삽입관의 길이 방향으로 전달되는 압력에 대해 상기 삽입관의 유동성이 확보되도록 상기 지지홈은 상기 돌출부의 두께보다 큰 깊이를 가질 수 있다.The through hole has an inner diameter larger than the outer diameter of the insertion tube so that the fluidity of the insertion tube is secured with respect to the pressure transmitted in the radial direction of the insertion tube, and the insertion tube with respect to the pressure transmitted in the longitudinal direction of the insertion tube The support groove may have a depth greater than the thickness of the protrusion so as to ensure the fluidity of the.

상기 실린더는 상기 커버 본체부를 향하는 상기 돌출부의 일면과 상기 커버 본체부의 사이에 배치되는 제 1실링 및 상기 체결부를 향하는 상기 돌출부의 이면과 상기 지지홈의 사이에는 제 2실링을 더 포함할 수 있다.The cylinder may further include a first seal disposed between one surface of the protrusion facing the cover body part and the cover body part, and a second sealing between the back surface of the protrusion facing the fastening part and the support groove.

상기 제 1실링 및 상기 제 2실링은 상기 삽입관의 길이 방향으로 전달되는 압력에 대해 상기 삽입관의 유동시, 신축가능하도록 탄성 재료로 이루어질 수 있다.The first sealing and the second sealing may be made of an elastic material to be stretchable when the insertion tube flows with respect to the pressure transmitted in the longitudinal direction of the insertion tube.

상기 실린더는 상기 실린더 헤드커버에 대향하여 상기 실린더 튜브에 체결되는 실린더 로드커버 및 상기 피스톤 로드에 체결되고 상기 실린더 튜브의 길이 방향으로 왕복 구동 가능하게 상기 실린더 튜브의 내부에 배치되는 피스톤을 더 포함하며, 상기 커버 본체부에는 상기 피스톤 로드의 왕복 구동을 위한 압력조절을 위한 제 1압력조절유로가 형성되고, 상기 실린더 로드커버에는 제 1압력조절유로를 통해 형성되는 압력과 반대 압력을 형성하는 제 2압력조절유로가 형성될 수 있다.The cylinder further comprises a cylinder rod cover facing the cylinder head cover and fastened to the cylinder tube and a piston disposed in the cylinder tube to be reciprocally driven in the longitudinal direction of the cylinder tube, , The cover body portion is formed with a first pressure control flow path for pressure control for reciprocating driving of the piston rod, and the cylinder rod cover is formed with a second pressure to form a pressure opposite to the pressure formed through the first pressure control flow path A pressure regulating flow passage may be formed.

상기 돌출부는 상기 삽입관의 외경보다 큰 외경을 가지고 상기 삽입관의 타단부에 나사 체결되는 체결링일 수 있다.The protrusion may be a fastening ring having an outer diameter larger than the outer diameter of the insertion tube and screwed to the other end of the insertion tube.

상기 돌출부는 상기 삽입관의 외경보다 큰 외경을 갖도록 상기 삽입관의 타단부로부터 일체형으로 돌출 성형된 돌출턱일 수 있다.The protrusion may be a protrusion protruding integrally formed from the other end of the insertion tube so as to have an outer diameter larger than the outer diameter of the insertion tube.

한편, 본 발명에 따른 게이트 밸브는 개부가 형성된 밸브 바디, 상기 개구부를 개폐하기 위해 상기 밸브 바디의 내측에 배치되는 게이트, 상기 게이트를 지지하고 상기 개구부를 향해 상기 게이트를 전/후진시키는 개폐 실린더 및 상기 개폐 실린더를 지지하고 상기 개폐 실린더를 승강시키는 승강 실린더를 포함하되, 상기 승강 실린더는 일단부가 실린더 튜브의 외부로 개방되고 타단부가 실린더 튜브의 내부로 개방되는 중공이 형성되는 피스톤 로드, 일단부가 상기 중공에 삽입되고 타단부에는 외주면으로부터 돌출되는 돌출부가 형성되는 삽입관 및 상기 삽입관으로 전달되는 압력에 따라 상기 삽입관의 유동성이 확보되도록 상기 돌출부보다 큰 내경을 가지고 상기 돌출부를 지지하는 지지홈이 형성되며, 상기 삽입관에 연통되는 유로가 형성되어 상기 실린더 튜브에 체결되는 실린더 헤드커버를 포함하여 상기 삽입관 및 상기 중공으로 연결되는 유로는 상기 개폐 실린더의 압력을 조절하기 위한 유로로 사용할 수 있다.On the other hand, the gate valve according to the present invention is a valve body formed with an opening, a gate disposed inside the valve body to open and close the opening, an opening and closing cylinder supporting the gate and forward / reverse the gate toward the opening, and It includes a lifting cylinder for supporting the opening and closing cylinder and elevating the opening and closing cylinder, wherein the lifting cylinder is a piston rod having one end open to the outside of the cylinder tube and the other end open to the inside of the cylinder tube, the piston rod having one end A support groove that is inserted into the hollow and has a larger inner diameter than the protrusion so as to secure the fluidity of the insertion tube according to the pressure through the insertion pipe and the pressure to be transmitted to the insertion pipe at which the protrusion protrudes from the outer circumferential surface is formed. This is formed, the flow path communicating with the insertion tube is formed A flow path connected to the insertion tube and the hollow, including a cylinder head cover fastened to the cylinder tube, may be used as a flow path for adjusting the pressure of the opening and closing cylinder.

상기 승강 실린더는 한 쌍으로 마련되며, 상기 한 쌍의 승강 실린더 중 어느 하나에 형성된 유로는 상기 개폐 실린더의 내부로 연통되어 상기 게이트 전진을 위한 압력공급유로로 사용하며, 상기 한 쌍의 승강 실린더 중 나머지 하나에 형성된 유로는상기 압력공급유로를 통해 상기 개폐 실린더의 내부로 압력 공급시, 상기 개폐 실린더 내부 압력의 배출을 위한 압력배출유로로 사용할 수 있다.The elevating cylinder is provided in a pair, and a flow path formed in any one of the pair of elevating cylinders communicates with the inside of the opening / closing cylinder to be used as a pressure supply channel for advancing the gate, and among the pair of elevating cylinders The flow path formed in the other one may be used as a pressure discharge flow path for discharging the pressure inside the opening and closing cylinder when pressure is supplied to the inside of the opening and closing cylinder through the pressure supply flow path.

상기 개폐 실린더를 상기 한 쌍의 상기 승강 실린더에 연결하기 위하여, 상기 한 쌍의 피스톤 로드에는 승강 블록이 각각 연결되고, 상기 압력공급유로는 상기 한 쌍의 승강 블록 중 어느 하나를 관통하고, 상기 압력배출유로는 상기 한 쌍의 승강 블록 중 나머지 하나를 관통할 수 있다.In order to connect the opening / closing cylinder to the pair of lifting cylinders, a lifting block is respectively connected to the pair of piston rods, and the pressure supply passage passes through any one of the pair of lifting blocks, and the pressure The discharge passage may penetrate the other of the pair of lifting blocks.

본 발명에 따른 실린더 및 이를 이용한 게이트 밸브는 개폐 실린더의 압력을 조절하기 위하여 승강 실린더의 내부에 유로를 형성함에 따라, 승강 실린더의 내부에 설치되는 삽입관의 유동성을 확보할 수 있으므로, 승강 실린더의 내부에 삽입관을 안정적인 지지상태를 유지하여 개폐 실린더의 원활한 압력조절이 가능할 뿐만 아니라, 장비의 내구성을 향상시킬 수 있는 효과를 도출할 수 있다. The cylinder according to the present invention and the gate valve using the same can form a flow path inside the elevating cylinder to control the pressure of the opening / closing cylinder. By maintaining a stable support state of the insertion tube inside, it is possible not only to smoothly regulate the pressure of the opening and closing cylinder, but also to derive the effect of improving the durability of the equipment.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 승강 실린더를 절단한 단면 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 압력 흐름을 간략하게 나타낸 단면도이다.
1 is a perspective view showing a gate valve according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view showing a gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a cross-sectional perspective view of the lifting cylinder of the gate valve according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view schematically showing a pressure flow of a gate valve according to an embodiment of the present invention.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.The terms or words used in the specification and claims should not be interpreted as being limited to ordinary or dictionary meanings, and the inventor can appropriately define the concept of terms in order to best describe his or her invention. Based on the principle that it should be interpreted as meanings and concepts consistent with the technical spirit of the present invention. Therefore, the configuration shown in the embodiments and drawings described in this specification is only an embodiment of the present invention and does not represent all of the technical spirit of the present invention, and there may be various equivalents and modifications that can replace them. It should be understood that there is.

이하, 본 발명에 따른 게이트 밸브에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a gate valve according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 분해 사시도이다.1 is a perspective view showing a gate valve according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view showing a gate valve according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브(100)는 밸브 바디(200), 게이트(300) 및 개폐 실린더(400)를 포함할 수 있다.1 and 2, the gate valve 100 according to an embodiment of the present invention may include a valve body 200, a gate 300 and an opening / closing cylinder 400.

밸브 바디(200)는 상판(210)과 하판(220)에 의해 상/하부가 개폐되는 함체 형상으로 마련될 수 있다. 밸브 바디(200)에는 전/후방으로 연통되는 한 쌍의 개구부(230)가 형성될 수 있다. 물론, 상판(210)과 밸브 바디(200)의 상단면의 사이 및 하판(220)과 밸브 바디(200)의 하단면의 사이에는 밸브 바디(200) 내부의 기밀을 유지하기 위한 제 1실링(211)과 제 2실링(221)이 설치될 수 있다. 또한 밸브 바디(200)가 진공 챔버들(미도시) 사이에 배치됨에 따라, 밸브 바디(200)와 진공 챔버들(미도시) 사이의 기밀을 유지하기 위하여, 밸브 바디(200)의 전면과 후면에는 개구부(230)의 테두리부를 감싸는 형태의 제 3실링(231)이 각각 설치될 수 있다.The valve body 200 may be provided in an enclosure shape in which the upper / lower portions are opened and closed by the upper plate 210 and the lower plate 220. A pair of openings 230 communicating in the front / rear direction may be formed in the valve body 200. Of course, between the upper plate 210 and the upper surface of the valve body 200 and between the lower plate 220 and the lower surface of the valve body 200, the first sealing for maintaining airtightness inside the valve body 200 ( 211) and the second sealing 221 may be installed. Also, as the valve body 200 is disposed between the vacuum chambers (not shown), in order to maintain airtightness between the valve body 200 and the vacuum chambers (not shown), the front and rear surfaces of the valve body 200 are maintained. The third sealing 231 in a form surrounding the edge of the opening 230 may be respectively installed.

게이트(300)는 밸브 바디(200)에 형성된 개구부(230)에 대응하여 개구부(230)보다 큰 면적을 가질 수 있다. 게이트(300)는 밸브 바디(200)의 내측에 배치될 수 있다. 물론, 밸브 바디(200)를 향하는 게이트(300)의 일측면에는 게이트(300)와 밸브 바디(200) 사이의 기밀을 유지하기 위한 제 4실링(310)이 설치될 수 있다. The gate 300 may have a larger area than the opening 230 corresponding to the opening 230 formed in the valve body 200. The gate 300 may be disposed inside the valve body 200. Of course, a fourth sealing 310 for maintaining airtightness between the gate 300 and the valve body 200 may be installed on one side of the gate 300 facing the valve body 200.

개폐 실린더(400)는 밸브 바디(200)의 내측에 배치되고 게이트(300)의 후방에 배치된다. 개폐 실린더(400)는 개구부(230)를 향해 게이트(300)를 전/후진 구동시킨다. 개폐 실린더(400)의 내부 구성에 대해서는 이미 본 기술 분야에서는 널리 알려진 공지의 기술이므로 상세한 구성에 대한 설명은 생략하도록 한다. The opening / closing cylinder 400 is disposed inside the valve body 200 and behind the gate 300. The opening / closing cylinder 400 drives the gate 300 forward / backward toward the opening 230. The internal configuration of the opening / closing cylinder 400 is already well-known and well-known in the art, so a detailed description of the configuration will be omitted.

이와 같이 게이트(300)는 개폐 실린더(400)에 지지되고, 개폐 실린더(400)의 왕복 구동에 따라 밸브 바디(200)에 형성된 개구부(230)를 개폐할 수 있다. 이러한 개폐 실린더(400)는 게이트(300)의 크기, 개폐 실린더(400)의 개별 출력 등을 고려하여 그 개수를 증감할 수 있다.As such, the gate 300 is supported by the opening / closing cylinder 400, and may open or close the opening 230 formed in the valve body 200 according to the reciprocating driving of the opening / closing cylinder 400. The opening and closing cylinder 400 may increase or decrease the number of the gate 300 in consideration of the size of the gate 300 and the individual output of the opening and closing cylinder 400.

한편, 게이트 밸브(100)는 개폐 실린더(400)에 의한 게이트(300)의 왕복 구동과 함께, 서로 연통된 개구부(230)의 통로에서 게이트(300)가 완전히 이탈해야 진공 챔버들(미도시) 사이에서 기판의 교환 또는 출입이 가능하다. 따라서 게이트 밸브(100)는 게이트(300)를 지지하는 개폐 실린더(400)를 승강시킬 수 있도록 구성되어야 한다.On the other hand, the gate valve 100, with the reciprocating driving of the gate 300 by the opening and closing cylinder 400, the gate 300 in the passage of the opening 230 in communication with each other must be completely separated vacuum chambers (not shown) The board can be exchanged or entered. Therefore, the gate valve 100 should be configured to elevate the opening / closing cylinder 400 supporting the gate 300.

이를 위해, 게이트 밸브(100)는 제 1승강 실린더(500) 및 제 2승강 실린더(600)를 포함할 수 있다. To this end, the gate valve 100 may include a first lifting cylinder 500 and a second lifting cylinder 600.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 승강 실린더를 절단한 단면 사시도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 압력 흐름을 간략하게 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional perspective view of a lifting cylinder of a gate valve according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view briefly showing a pressure flow of a gate valve according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4를 참조하면, 제 1승강 실린더(500)와 제 2승강 실린더(600)는 지지 프레임(700)을 함께 지지한다. 3 and 4, the first lifting cylinder 500 and the second lifting cylinder 600 support the support frame 700 together.

제 1승강 실린더(500)는 제 1승강 실린더 헤드커버(510), 제 1승강 실린더 튜브(520), 제 1승강 실린더 로드커버(530), 제 1승강 피스톤(540) 및 제 1승강 피스톤 로드(550)를 포함할 수 있다. The first lifting cylinder 500 includes a first lifting cylinder head cover 510, a first lifting cylinder tube 520, a first lifting cylinder rod cover 530, a first lifting piston 540, and a first lifting piston rod. It may include (550).

제 1승강 실린더 헤드커버(510)는 밸브 바디(200)의 하측에 배치된다. 제 1승강 실린더 튜브(520)는 제 1승강 실린더 헤드커버(510)의 테두리부로부터 밸브 바디(200)를 향해 연장된다. 제 1승강 실린더 로드커버(530)는 제 1승강 실린더 튜브(520)의 개방 단면에 체결되어 제 1승강 실린더(500) 내부를 폐쇄한다. 제 1승강 피스톤(540)은 제 1승강 실린더 튜브(520)의 내부에 배치된다. 제 1승강 피스톤 로드(550)는 제 1승강 피스톤(540)에 연결되고 제 1승강 실린더 로드커버(530)를 관통하여 밸브 바디(200)를 향해 노출된다. 제 1승강 피스톤(540)은 제 1승강 실린더(500) 내부의 압력에 따라 승강 구동되며, 제 1승강 피스톤 로드(550)는 제 1승강 피스톤(540)의 승강 구동에 따라 승강 구동된다.The first lifting cylinder head cover 510 is disposed under the valve body 200. The first elevating cylinder tube 520 extends from the rim of the first elevating cylinder head cover 510 toward the valve body 200. The first lifting cylinder rod cover 530 is fastened to the open section of the first lifting cylinder tube 520 to close the inside of the first lifting cylinder 500. The first lifting piston 540 is disposed inside the first lifting cylinder tube 520. The first elevating piston rod 550 is connected to the first elevating piston 540 and penetrates the first elevating cylinder rod cover 530 and is exposed toward the valve body 200. The first lifting piston 540 is driven up and down according to the pressure inside the first lifting cylinder 500, and the first lifting piston rod 550 is driven up and down according to the lifting driving of the first lifting piston 540.

외부로 노출된 제 1승강 피스톤 로드(550)의 상부에는 제 1승강 블럭(560)이 체결된다. 제 1승강 블럭(560)은 제 1승강 피스톤 로드(550)와 함께 승강될 수 있다. 제 1승강 블록(560)은 개폐 실린더(400)에 연결된다. The first lifting block 560 is fastened to the upper portion of the first lifting piston rod 550 exposed to the outside. The first lifting block 560 may be elevated together with the first lifting piston rod 550. The first lifting block 560 is connected to the opening / closing cylinder 400.

여기서, 제 2승강 실린더(600)의 세부 구성은 제 1승강 실린더(500)의 세부 구성과 좌우 대칭되므로, 제 2승강 실린더(600)의 세부 구성에 대한 상세한 설명은 생략하도록 한다. 다만, 후술될 압력압력배출유로와 압력배출유로의 구분을 위하여 제 2승강 실린더(600)의 세부 구성에 대해서는 제 1승강 실린더(500)의 세부 구성과는 별도의 참조부호를 부여하기로 한다. Here, since the detailed configuration of the second lifting cylinder 600 is symmetrical to the detailed configuration of the first lifting cylinder 500, a detailed description of the detailed configuration of the second lifting cylinder 600 will be omitted. However, for the detailed configuration of the second elevating cylinder 600, a separate reference numeral from the detailed constitution of the first elevating cylinder 500 will be assigned to distinguish the pressure pressure discharge passage and the pressure discharge passage, which will be described later.

계속해서, 제 2승강 실린더(600)는 제 2승강 실린더 헤드커버(610), 제 2승강 실린더 튜브(620), 제 2승강 실린더 로드커버(630), 제 2승강 피스톤(640) 및 제 2승강 피스톤 로드(650)를 포함할 수 있다. 그리고 제 2승강 피스톤 로드(650)의 상부에는 제 2승강 블럭(660)이 체결된다. 제 2승강 블럭(660)은 제 2승강 피스톤 로드(650)와 함께 승강될 수 있다. 제 1승강 블록(560)은 개폐 실린더(400)에 연결된다. Subsequently, the second lifting cylinder 600 includes a second lifting cylinder head cover 610, a second lifting cylinder tube 620, a second lifting cylinder rod cover 630, a second lifting piston 640, and a second lifting cylinder. It may include a lifting piston rod (650). In addition, the second lifting block 660 is fastened to the upper portion of the second lifting piston rod 650. The second lifting block 660 may be elevated together with the second lifting piston rod 650. The first lifting block 560 is connected to the opening / closing cylinder 400.

여기서, 제 1승강 실린더 헤드커버(510)와 제 1승강 피스톤(540)의 사이 및 제 2승강 실린더 헤드커버(610)와 제 2승강 피스톤(640)의 사이에는 제 1압력조절유로(501)가 형성되고, 제 1승강 실린더 로드커버(530)와 제 1승강 피스톤(540)의 사이 및 제 2승강 실린더 로드커버(630)와 제 2승강 피스톤(640)의 사이에는 제 2압력조절유로(502)가 각각 형성된다. 제 1압력조절유로(501)에는 제 1압력조절관(501a)이 체결되고, 제 2압력조절유로(502)에는 제 2압력조절관(502a)이 체결된다. Here, the first pressure control flow path 501 between the first lifting cylinder head cover 510 and the first lifting piston 540 and between the second lifting cylinder head cover 610 and the second lifting piston 640 Is formed, between the first lifting cylinder rod cover 530 and the first lifting piston 540 and between the second lifting cylinder rod cover 630 and the second lifting piston 640, the second pressure regulating flow path ( 502) are formed respectively. A first pressure regulating pipe 501a is fastened to the first pressure regulating flow passage 501, and a second pressure regulating pipe 502a is fastened to the second pressure regulating flow passage 502.

제 1압력조절관(501a) 및 제 1압력조절유로(501)를 통해 압력이 공급되면, 제 1승강 실린더(500)와 제 2승강 실린더(600)는 개폐 실린더(400)를 상승시킬 수 있다. 반대로, 제 1압력조절관(501a) 및 제 1압력조절유로(501)의 압력이 해제되고 제 2압력조절관(502a) 및 제 2압력조절유로(502)를 통해 압력이 공급되면, 제 1승강 실린더(500)와 제 2승강 실린더(600)는 개폐 실린더(400)를 하강시킬 수 있다. When pressure is supplied through the first pressure regulating tube 501a and the first pressure regulating flow passage 501, the first elevating cylinder 500 and the second elevating cylinder 600 may raise and close the opening and closing cylinder 400. . Conversely, when the pressure of the first pressure regulating pipe 501a and the first pressure regulating flow passage 501 is released and the pressure is supplied through the second pressure regulating pipe 502a and the second pressure regulating flow passage 502, the first The lifting cylinder 500 and the second lifting cylinder 600 may lower the opening / closing cylinder 400.

이와 같이 개폐 실린더(400) 및 게이트(300)는 제 1승강 실린더(500)와 제 2승강 실린더(600)에 의해 함께 승강될 수 있다. As such, the opening / closing cylinder 400 and the gate 300 may be elevated together by the first lifting cylinder 500 and the second lifting cylinder 600.

여기서, 개폐 실린더(400)의 왕복 구동을 위해 개폐 실린더(400)의 내부로 압력을 공급하고, 개폐 실린더(400)의 내부 압력을 배출하기 위한 유로는 제 1승강 실린더(500)와 제 2승강 실린더(600)의 내부에 형성할 수 있다. Here, the flow path for supplying pressure to the inside of the opening and closing cylinder 400 for reciprocating driving of the opening and closing cylinder 400, and for discharging the internal pressure of the opening and closing cylinder 400, the first lifting cylinder 500 and the second lifting It can be formed in the interior of the cylinder 600.

즉, 제 1승강 피스톤 로드(550)에는 제 1중공(551)이 형성되고, 제 1중공(551)에는 제 1삽입관(552)이 삽입될 수 있다. 제 1삽입관(552)은 제 1승강 실린더 헤드커버(510)에 지지되며, 제 1승강 실린더 헤드커버(510)에는 제 1삽입관(552)과 연통되는 제 1압력압력배출유로(510a)가 형성된다. 제 1압력압력배출유로(510a)에는 압력공급관(510b)이 체결될 수 있다. That is, a first hollow 551 may be formed in the first lifting piston rod 550, and a first insertion tube 552 may be inserted into the first hollow 551. The first insertion pipe 552 is supported by the first lifting cylinder head cover 510, and the first lifting cylinder head cover 510 has a first pressure pressure discharge passage 510a communicating with the first insertion pipe 552. Is formed. A pressure supply pipe 510b may be fastened to the first pressure pressure discharge channel 510a.

또한 제 1승강 블럭(560)에는 제 1중공(551)과 연통되는 제 2압력공급유로(561)가 형성된다. 제 2압력공급유로(561)는 개폐 실린더(400)의 내부로 개방된다. In addition, a second pressure supply passage 561 communicating with the first hollow 551 is formed in the first lifting block 560. The second pressure supply flow path 561 is opened into the opening and closing cylinder 400.

따라서 압력공급관(510b)을 통해 공급되는 압력은, 제 1압력공급유로(510a), 제 1삽입관(552), 제 1중공(551) 및 제 2압력공급유로(561)를 통해 개폐 실린더(400)의 내부로 공급되며, 이에 따라 개폐 실린더(400)는 게이트(300)를 전진 시킬 수 있다.Therefore, the pressure supplied through the pressure supply pipe (510b), the opening and closing cylinder through the first pressure supply flow path (510a), the first insertion pipe 552, the first hollow 551 and the second pressure supply flow path (561) ( 400), and accordingly, the opening / closing cylinder 400 may advance the gate 300.

한편, 개폐 실린더(400)의 전진 구동시, 개폐 피스톤(400) 내부의 압력은 외부로 배출되어야 한다. Meanwhile, when the opening / closing cylinder 400 is driven forward, the pressure inside the opening / closing piston 400 should be discharged to the outside.

이를 위하여 제 2승강 블럭(660)의 내부에는 개폐 실린더(400)의 내부와 연통되는 제 1압력배출유로(661)가 형성된다. 제 1압력배출유로(661)는 제 2승강 피스톤 로드(650)에 형성된 제 2중공(651)과 연통된다. 제 2중공(651)에는 제 2삽입관(652)이 삽입되며, 제 2삽입관(652)은 제 2승강 실린더 헤드커버(610)에 지지된다. 제 2승강 실린더 헤드커버(610)에는 제 2삽입관(652)과 연통되는 제 2압력배출유로(610a)가 형성된다. 제 2압력배출유로(610a)에는 압력배출관(610b)이 체결될 수 있다. To this end, a first pressure discharge flow path 661 communicating with the inside of the opening / closing cylinder 400 is formed inside the second lifting block 660. The first pressure discharge flow path 661 communicates with the second hollow 651 formed in the second lifting piston rod 650. A second insertion pipe 652 is inserted into the second hollow 651, and the second insertion pipe 652 is supported by the second lifting cylinder head cover 610. The second lifting cylinder head cover 610 is formed with a second pressure discharge passage 610a communicating with the second insertion pipe 652. A pressure discharge pipe 610b may be fastened to the second pressure discharge flow path 610a.

따라서 개폐 실린더(400)의 전진 구동시, 개폐 실린더(400) 내부의 압력은, 제 1압력조절유로(502), 제 2중공(651), 제 2삽입관(652), 제 2압력배출유로(610a) 및 압력배출관(610b)을 통해 개폐 개폐 실린더(400)의 외부로 배출될 수 있다. Accordingly, when the opening / closing cylinder 400 is driven forward, the pressure inside the opening / closing cylinder 400 is the first pressure regulating flow path 502, the second hollow 651, the second insertion pipe 652, and the second pressure discharge flow path. It may be discharged to the outside of the opening and closing cylinder 400 through the (610a) and the pressure discharge pipe (610b).

상술한 바와 같이, 개폐 실린더(400)의 왕복 구동을 위해 개폐 실린더(400)의 내부로 압력을 공급하는 유로 중에는 제 1승강 실린더(500)의 내부에 삽입된 제 1삽입관(552)이 포함되며, 개폐 실린더(400)의 내부 압력을 배출하기 위한 유로는 제 2승강 실린더(600)의 내부에 형성된 제 2삽입관(652)이 포함된다. As described above, a first insertion pipe 552 inserted into the first elevating cylinder 500 is included in a flow path for supplying pressure into the opening and closing cylinder 400 for reciprocating driving of the opening and closing cylinder 400. The flow path for discharging the internal pressure of the opening / closing cylinder 400 includes a second insertion pipe 652 formed inside the second lifting cylinder 600.

이때, 제 1중공(551)에 삽입되는 제 1삽입관(552)은 제 1승강 피스톤 로드(550)의 왕복 구동에 영향을 받으며, 제 2중공(651)에 삽입되는 제 2삽입관(652)은 제 2승강 피스톤 로드(650)의 왕복 구동에 영향을 받을 수 있다. At this time, the first insertion pipe 552 inserted into the first hollow 551 is affected by the reciprocating driving of the first lifting piston rod 550, and the second insertion pipe 652 inserted into the second hollow 651 ) May be affected by reciprocating driving of the second lifting piston rod 650.

이에 따라, 게이트 밸브(100)는 제 1삽입관(552)의 하단부와 제 2삽입관(652)의 하단부에는 각각 제 1돌출부(553)와 제 2돌출부(653)가 형성되며, 이에 대응하여 제 1승강 실린더 헤드커버(510)와 제 2승강 실린더 헤드커버(610)의 구조가 개선된다.Accordingly, the gate valve 100 has a first protruding portion 553 and a second protruding portion 653 formed at the lower end portion of the first insertion pipe 552 and the lower end portion of the second insertion pipe 652, respectively. The structures of the first lifting cylinder head cover 510 and the second lifting cylinder head cover 610 are improved.

즉, 제 1승강 실린더 헤드커버(510)는 제 1커버 본체부(511) 및 제 1체결부(512)를 포함할 수 있다. 제 1커버 본체부(511)는 제 1승강 실린더 튜브(520)의 하단부에 체결될 수 있다. 제 1체결부(512)는 제 1커버 본체부(511)에 체결될 수 있다. 제 1커버 본체부(511)에는 제 1삽입관(552)이 관통하는 제 1관통공(511a)이 형성될 수 있다. 제 1삽입관(552)의 지름 방향으로 전달되는 압력에도 제 1삽입관(552)의 유동성이 확보될 수 있도록, 제 1관통공(511a)은 제 1삽입관(552)의 외경보다 큰 내경을 가지는 것이 바람직하다. That is, the first lifting cylinder head cover 510 may include a first cover body portion 511 and a first fastening portion 512. The first cover body part 511 may be fastened to the lower end of the first lifting cylinder tube 520. The first fastening part 512 may be fastened to the first cover body part 511. A first through hole 511a through which the first insertion tube 552 penetrates may be formed in the first cover body part 511. The first through hole 511a has an inner diameter larger than the outer diameter of the first insertion tube 552 so that the fluidity of the first insertion tube 552 can be secured even in the pressure transmitted in the radial direction of the first insertion tube 552. It is desirable to have.

그리고 제 1커버 본체부(511)를 향하는 제 1체결부(512)의 일면에는 제 1지지홈(512a)이 형성될 수 있다. 마찬가지로, 제 1삽입관(552)의 지름 방향으로 전달되는 압력에도 제 1삽입관(552)의 유동성이 확보될 수 있도록, 제 1지지홈(512a)은 제 1돌출부(553)의 외경보다 큰 내경을 가질 수 있다. 또한 제 1삽입관(552)의 길이 방향으로 전달되는 압력에도 제 1삽입관(552)의 유동성이 확보될 수 있도록, 제 1지지홈(512a)의 깊이는 제 1돌출부(553)의 두께보다 큰 것이 바람직하다. 이때, 제 1커버 본체부(511)를 향하는 제 1돌출부(553)의 일면과 제 1커버 본체부(511)의 사이에는 제 1완충 실링이 배치될 수 있으며, 제 1체결부(512)를 향하는 제 1돌출부(553)의 이면과 제 1지지홈(512a)의 사이에는 제 2완충 실링(555)이 배치될 수 있다. 제 1완충 실링(554)과 제 2완충 실링(555)은 제 1삽입관(552)이 길이 방향으로 유동시 신축가능하도록 탄성 재료로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, a first support groove 512a may be formed on one surface of the first fastening portion 512 facing the first cover body portion 511. Likewise, the first support groove 512a is larger than the outer diameter of the first protrusion 553 so that fluidity of the first insertion tube 552 can be secured even in the pressure transmitted in the radial direction of the first insertion tube 552. It can have an inner diameter. In addition, the depth of the first support groove 512a is greater than the thickness of the first protrusion 553 so that the fluidity of the first insertion tube 552 can be secured even in the pressure transmitted in the longitudinal direction of the first insertion tube 552. Large is preferred. At this time, a first buffering seal may be disposed between one surface of the first protrusion 553 facing the first cover body part 511 and the first cover body part 511, and the first fastening part 512 may be disposed. A second buffer seal 555 may be disposed between the back surface of the first protruding portion 553 and the first support groove 512a. It is preferable that the first buffer seal 554 and the second buffer seal 555 are made of an elastic material so that the first insertion pipe 552 is stretchable when flowing in the longitudinal direction.

마찬가지로, 제 2승강 실린더 헤드커버(610)의 세부 구성은 제 1승강 실린더 헤드커버(510)의 세부 구성과 좌우 대칭되므로, 제 2승강 실린더 헤드커버(610)의 세부 구성에 대한 상세한 설명은 생략하도록 하며, 상술된 압력공급유로와 압력배출유로의 구분을 위하여 제 2승강 실린더 헤드커버(610)의 세부 구성에 대해서는 제 1승강 실린더 헤드커버(510)의 세부 구성과는 별도의 참조부호를 부여하기로 한다.Similarly, since the detailed configuration of the second lifting cylinder head cover 610 is symmetrical to the detailed configuration of the first lifting cylinder head cover 510, detailed description of the detailed configuration of the second lifting cylinder head cover 610 is omitted. For the detailed configuration of the second elevating cylinder head cover 610 in order to distinguish the above-described pressure supply flow path from the pressure discharge flow path, a separate reference numeral from the detailed configuration of the first elevating cylinder head cover 510 is given. I will do it.

제 2승강 실린더 헤드커버(610)는 제 2커버 본체부(611) 및 제 2체결부(612)를 포함한다. 제 2커버 본체부(611)에는 제 2관통공(611a)이 형성된다. 제 2체결부(612)에는 제 2지지홈(612a)이 형성된다. 제 2돌출부(653)에는 제 3완충 실링(654)와 제 4완충 실링(655)가 설치된다.The second lifting cylinder head cover 610 includes a second cover body portion 611 and a second fastening portion 612. A second through hole 611a is formed in the second cover body portion 611. A second support groove 612a is formed in the second fastening portion 612. A third buffer seal 654 and a fourth buffer seal 655 are installed in the second protrusion 653.

이와 같이 게이트 밸브(100)는 제 1삽입관(552)의 하단부에 제 1돌출부(553)를 마련하고 제 2삽입관(652)의 하단부에 제 2돌출부(653)를 마련하며, 제 1승강 실린더 헤드커버(510)와 제 2승강 실린더 헤드커버(610)의 구조를 개선하여, 제 1삽입관(552)과 제 2삽입관(652)을 통한 원활한 압력의 전달하도록 할 수 있으며, 제 1삽입관(552)과 제 2삽입관(652)을 안정적으로 지지할 뿐만 아니라, 제 1삽입관(552)과 제 2삽입관(652)의 내구성을 향상 시킬 수 있다. Thus, the gate valve 100 is provided with a first protrusion 553 at the lower end of the first insertion tube 552 and a second protrusion 653 at the lower end of the second insertion tube 652, and the first lifting By improving the structure of the cylinder head cover 510 and the second lifting cylinder head cover 610, it is possible to transmit smooth pressure through the first insertion pipe 552 and the second insertion pipe 652, and the first In addition to stably supporting the insertion tube 552 and the second insertion tube 652, it is possible to improve the durability of the first insertion tube 552 and the second insertion tube 652.

한편, 상술된 설명에서, 압력공급유로들은 제 1승강 실린더(500)의 내부 유로를 사용하고 제 2승강 실린더(600)의 내부 유로를 사용하는 실시예에 대하여 설명하고 있으나, 압력공급유로들은 제 2승강 실린더(600)의 내부 유로를 사용하고 압력배출유로들은 제 1승강 실린더(500)의 내부 유로를 하도록 변형 실시될 수 있다. On the other hand, in the above description, the pressure supply flow paths have been described with respect to an embodiment using the internal flow path of the first elevating cylinder 500 and the internal flow path of the second elevating cylinder 600. The internal flow path of the two elevating cylinder 600 is used, and the pressure discharge flow paths may be modified to make the internal flow path of the first elevating cylinder 500.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.The embodiments of the present invention described above and illustrated in the drawings should not be interpreted as limiting the technical spirit of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and a person having ordinary knowledge in the technical field of the present invention can improve and modify the technical spirit of the present invention in various forms. Therefore, such improvements and modifications will fall within the protection scope of the present invention as long as it is apparent to those skilled in the art.

100 : 게이트 밸브 200 : 밸브 바디
300 : 게이트 400 : 개폐 실린더
500 : 제 1승강 실린더 501 : 제 1압력조절유로
501a : 제 1압력조절관 502 : 제 2압력조절유로
502a : 제 2압력조절관 510 : 제 1승강 실린더 헤드커버
510a : 제 1압력공급유로 510b : 압력공급관
511 : 제 1커버 본체부 511a : 제 1관통공
512 : 제 1체결부 512a : 제 1지지홈
520 : 제 1승강 실린더 튜브 530 : 제 1승강 실린더 로드커버
540 : 제 1승강 피스톤 550 : 제 1승강 피스톤 로드
551 : 제 1중공 552 : 제 1삽입관
553 : 제 1돌출부 554 : 제 1완충 실링
555 : 제 2완충 실링 560 : 제 1승강 블록
561 : 제 2압력공급유로
600 : 제 2승강 실린더 610 : 제 2승강 실린더 헤드커버
610a : 제 2압력배출유로 610b : 압력배출관
611 : 제 2커버 본체부 611a : 제 2관통공
612 : 제 2체결부 612a : 제 2지지홈
620 : 제 2승강 실린더 튜브 630 : 제 2승강 실린더 로드커버
640 : 제 2승강 피스톤 650 : 제 2승강 피스톤 로드
651 : 제 2중공 652 : 제 2삽입관
653 : 제 2돌출부 654 : 제 3완충 실링
655 : 제 4완충 실링 660 : 제 2승강 블록
661 : 제 1압력배출유로
100: gate valve 200: valve body
300: gate 400: opening and closing cylinder
500: first elevating cylinder 501: first pressure regulating flow path
501a: first pressure regulating tube 502: second pressure regulating flow passage
502a: 2nd pressure regulating tube 510: 1st lifting cylinder head cover
510a: 1st pressure supply flow path 510b: Pressure supply pipe
511: first cover body portion 511a: first through hole
512: first fastening section 512a: first support groove
520: first lifting cylinder tube 530: first lifting cylinder rod cover
540: first lifting piston 550: first lifting piston rod
551: 1st hollow 552: 1st insertion tube
553: 1st protrusion 554: 1st buffer sealing
555: 2nd buffer sealing 560: 1st lifting block
561: 2nd pressure supply flow path
600: second lifting cylinder 610: second lifting cylinder head cover
610a: Second pressure discharge flow path 610b: Pressure discharge pipe
611: second cover body portion 611a: the second through hole
612: 2nd fastening part 612a: 2nd support groove
620: 2nd lifting cylinder tube 630: 2nd lifting cylinder rod cover
640: 2nd lifting piston 650: 2nd lifting piston rod
651: 2nd hollow 652: 2nd insertion tube
653: 2nd protrusion 654: 3rd buffer sealing
655: 4th buffer sealing 660: 2nd lifting block
661: 1st pressure discharge flow path

Claims (11)

일단부가 실린더 튜브의 외부로 개방되고 타단부가 실린더 튜브의 내부로 개방되는 중공이 형성되는 피스톤 로드;
일단부가 상기 중공에 삽입되어 상기 피스톤 로드에 구속되고 타단부에는 외주면으로부터 돌출되는 돌출부가 형성되는 삽입관;및
상기 피스톤 로드로부터 상기 삽입관으로 전달되는 압력에도 상기 삽입관의 유동성이 확보되도록 상기 돌출부보다 큰 내경을 가지고 상기 돌출부를 지지하는 지지홈이 형성되며, 상기 삽입관에 연통되는 유로가 형성되어 상기 실린더 튜브에 체결되는 실린더 헤드커버;를 포함하되,
상기 실린더 헤드커버는
상기 삽입관의 지름 방향으로 전달되는 압력에 대해 상기 삽입관의 유동성이 확보되도록 상기 삽입관의 외경보다 큰 내경을 가지고 상기 삽입관이 관통되는 관통공이 형성되어 상기 실린더 튜브에 체결되는 커버 본체부;및
상기 삽입관의 길이 방향으로 전달되는 압력에 대해 상기 삽입관의 유동성이 확보되도록 상기 돌출부의 두께보다 큰 깊이로 함몰되는 상기 지지홈이 형성되어 상기 커버 본체부에 체결되며, 상기 지지홈으로 개방되는 상기 유로가 형성되는 체결부;를 포함하며,
상기 커버 본체부를 향하는 상기 돌출부의 일면과 상기 커버 본체부의 사이에 배치되며, 상기 돌출부의 평면 이동 시 상기 커버 본체부와 상기 돌출부 사이의 완충 기능 및 실링 기능을 수행하는 제 1완충 실링;및
상기 체결부를 향하는 상기 돌출부의 이면과 상기 지지홈의 사이에 배치되며, 상기 돌출부의 평면 이동 시 상기 체결부와 상기 돌출부 사이의 완충 기능 및 실링 기능을 수행하는 제 2완충 실링;을 포함하는 것을 특징으로 하는 내부 유로를 포함하는 실린더.
A piston rod having one end open to the outside of the cylinder tube and another end open to the inside of the cylinder tube;
One end is inserted into the hollow is constrained to the piston rod and the other end is formed with a protruding portion protruding from the outer peripheral surface; And
A support groove is formed having a larger inner diameter than the protrusion and supports the protrusion so that the fluidity of the insertion tube is secured even at the pressure transmitted from the piston rod to the insertion tube, and a flow path communicating with the insertion tube is formed so that the cylinder It includes a cylinder head cover fastened to the tube;
The cylinder head cover
A cover main body having an inner diameter larger than the outer diameter of the insertion tube and having a through hole through which the insertion tube penetrates to be secured to the cylinder tube so that fluidity of the insertion tube is secured against pressure transmitted in the radial direction of the insertion tube; And
The support groove, which is recessed to a depth greater than the thickness of the protrusion, is formed so as to secure the fluidity of the insertion tube with respect to the pressure transmitted in the longitudinal direction of the insertion tube, and is fastened to the cover body, and is opened to the support groove. It includes; a fastening portion in which the flow path is formed,
A first buffering seal disposed between one surface of the protruding portion facing the cover body portion and the cover body portion, and performing a cushioning function and a sealing function between the cover body portion and the protruding portion when the projecting portion moves in a plane; and
And a second buffering seal disposed between the rear surface of the protrusion toward the fastening part and the support groove, and performing a cushioning function and a sealing function between the fastening part and the protrusion when the protrusion moves in a plane. Cylinder comprising an inner flow path.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 제 1완충 실링 및 상기 제 2완충 실링은
상기 삽입관의 길이 방향으로 전달되는 압력에 대해 상기 삽입관의 유동시, 신축가능하도록 탄성 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 내부 유로를 포함하는 실린더.
According to claim 1,
The first buffer seal and the second buffer seal
Cylinder comprising an inner flow path, characterized in that it is made of an elastic material so as to be stretchable when the flow of the insertion tube against the pressure transmitted in the longitudinal direction of the insertion tube.
제 1항에 있어서,
상기 실린더 헤드커버에 대향하여 상기 실린더 튜브에 체결되는 실린더 로드커버; 및
상기 피스톤 로드에 체결되고 상기 실린더 튜브의 길이 방향으로 왕복 구동 가능하게 상기 실린더 튜브의 내부에 배치되는 피스톤;을 더 포함하며,
상기 커버 본체부에는 상기 피스톤 로드의 왕복 구동을 위한 압력조절을 위한 제 1압력조절유로가 형성되고,
상기 실린더 로드커버에는 제 1압력조절유로를 통해 형성되는 압력과 반대 압력을 형성하는 제 2압력조절유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 내부 유로를 포함하는 실린더.
According to claim 1,
A cylinder rod cover facing the cylinder head cover and fastened to the cylinder tube; And
The piston is fastened to the piston rod and is disposed inside the cylinder tube so as to be reciprocally driven in the longitudinal direction of the cylinder tube.
A first pressure regulating flow path for regulating pressure for reciprocating driving of the piston rod is formed in the cover body part,
A cylinder including an inner flow path, characterized in that a second pressure regulating flow path forming a pressure opposite to the pressure formed through the first pressure regulating flow path is formed in the cylinder rod cover.
제 1항에 있어서,
상기 돌출부는
상기 삽입관의 외경보다 큰 외경을 가지고 상기 삽입관의 타단부에 나사 체결되는 체결링인 것을 특징으로 하는 내부 유로를 포함하는 실린더.
According to claim 1,
The protrusion is
Cylinder having an outer diameter larger than the outer diameter of the insertion tube, characterized in that the fastening ring is screwed to the other end of the insertion tube.
제 1항에 있어서,
상기 돌출부는
상기 삽입관의 외경보다 큰 외경을 갖도록 상기 삽입관의 타단부로부터 일체형으로 돌출 성형된 돌출턱인 것을 특징으로 하는 내부 유로를 포함하는 실린더.
According to claim 1,
The protrusion is
A cylinder including an inner flow path, characterized in that it is a protruding jaw integrally formed from the other end of the insertion tube so as to have an outer diameter larger than the outer diameter of the insertion tube.
개구부가 형성된 밸브 바디;
상기 개구부를 개폐하기 위해 상기 밸브 바디의 내측에 배치되는 게이트;
상기 게이트를 지지하고 상기 개구부를 향해 상기 게이트를 전/후진시키는 개폐 실린더;및
상기 개폐 실린더를 지지하고 상기 개폐 실린더를 승강시키는 승강 실린더;를 포함하되,
상기 승강 실린더는
일단부가 실린더 튜브의 외부로 개방되고 타단부가 실린더 튜브의 내부로 개방되는 중공이 형성되는 피스톤 로드;
일단부가 상기 중공에 삽입되어 상기 피스톤 로드에 구속되고 타단부에는 외주면으로부터 돌출되는 돌출부가 형성되는 삽입관;및
상기 피스톤 로드로부터 상기 삽입관으로 전달되는 압력에도 상기 삽입관의 유동성이 확보되도록 상기 돌출부보다 큰 내경을 가지고 상기 돌출부를 지지하는 지지홈이 형성되며, 상기 삽입관에 연통되는 유로가 형성되어 상기 실린더 튜브에 체결되는 실린더 헤드커버;를 포함하되,
상기 실린더 헤드커버는
상기 삽입관의 지름 방향으로 전달되는 압력에 대해 상기 삽입관의 유동성이 확보되도록 상기 삽입관의 외경보다 큰 내경을 가지고 상기 삽입관이 관통되는 관통공이 형성되어 상기 실린더 튜브에 체결되는 커버 본체부;및
상기 삽입관의 길이 방향으로 전달되는 압력에 대해 상기 삽입관의 유동성이 확보되도록 상기 돌출부의 두께보다 큰 깊이로 함몰되는 상기 지지홈이 형성되어 상기 커버 본체부에 체결되며, 상기 지지홈으로 개방되는 상기 유로가 형성되는 체결부;를 포함하며,
상기 커버 본체부를 향하는 상기 돌출부의 일면과 상기 커버 본체부의 사이에 배치되며, 상기 돌출부의 평면 이동 시 상기 커버 본체부와 상기 돌출부 사이의 완충 기능 및 실링 기능을 수행하는 제 1완충 실링;및
상기 체결부를 향하는 상기 돌출부의 이면과 상기 지지홈의 사이에 배치되며, 상기 돌출부의 평면 이동 시 상기 체결부와 상기 돌출부 사이의 완충 기능 및 실링 기능을 수행하는 제 2완충 실링;을 포함하여
상기 삽입관 및 상기 중공으로 연결되는 상기 유로는 상기 개폐 실린더의 압력을 조절하기 위한 유로로 사용하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
A valve body having an opening;
A gate disposed inside the valve body to open and close the opening;
An opening / closing cylinder supporting the gate and moving the gate forward / backward toward the opening; and
It includes; lifting cylinder for supporting the opening and closing cylinder and elevating the opening and closing cylinder;
The lifting cylinder
A piston rod having one end open to the outside of the cylinder tube and another end open to the inside of the cylinder tube;
One end is inserted into the hollow is constrained to the piston rod and the other end is formed with a protruding portion protruding from the outer peripheral surface; And
A support groove is formed having a larger inner diameter than the protrusion and supports the protrusion so that the fluidity of the insertion tube is secured even at the pressure transmitted from the piston rod to the insertion tube, and a flow path communicating with the insertion tube is formed so that the cylinder It includes a cylinder head cover fastened to the tube;
The cylinder head cover
A cover main body having an inner diameter larger than the outer diameter of the insertion tube and having a through hole through which the insertion tube penetrates to be secured to the cylinder tube so that fluidity of the insertion tube is secured against pressure transmitted in the radial direction of the insertion tube; And
The support groove is recessed to a depth greater than the thickness of the protrusion so that the fluidity of the insertion tube is secured against the pressure transmitted in the longitudinal direction of the insertion tube is fastened to the cover body, and is opened to the support groove It includes; a fastening portion in which the flow path is formed,
A first buffering seal disposed between one surface of the protruding portion facing the cover body portion and the cover body portion, and performing a cushioning function and a sealing function between the cover body portion and the protruding portion when the protruding portion is moved in a plane; and
Including a second buffering seal disposed between the back surface of the projection toward the fastening portion and the support groove, and performs a buffer function and a sealing function between the fastening portion and the projection when the projection moves in a plane.
A gate valve, characterized in that the insertion pipe and the flow path connected to the hollow are used as a flow path for adjusting the pressure of the opening and closing cylinder.
제 9항에 있어서,
상기 승강 실린더는 한 쌍으로 마련되며,
상기 한 쌍의 승강 실린더 중 어느 하나에 형성된 유로는 상기 개폐 실린더의 내부로 연통되어 상기 게이트 전진을 위한 압력공급유로로 사용하며,
상기 한 쌍의 승강 실린더 중 나머지 하나에 형성된 유로는상기 압력공급유로를 통해 상기 개폐 실린더의 내부로 압력 공급시, 상기 개폐 실린더 내부 압력의 배출을 위한 압력배출유로로 사용하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
The method of claim 9,
The lifting cylinder is provided in a pair,
The flow path formed in any one of the pair of lifting cylinders communicates with the inside of the opening / closing cylinder and is used as a pressure supply flow path for advancing the gate.
A flow path formed in the other of the pair of lifting cylinders is a gate valve, characterized in that when the pressure is supplied to the inside of the opening and closing cylinder through the pressure supply passage, as a pressure discharge passage for discharging the pressure inside the opening and closing cylinder .
제 10항에 있어서,
상기 개폐 실린더를 상기 한 쌍의 상기 승강 실린더에 연결하기 위하여, 상기 한 쌍의 피스톤 로드에는 승강 블록이 각각 연결되고,
상기 압력공급유로는 상기 한 쌍의 승강 블록 중 어느 하나를 관통하고,
상기 압력배출유로는 상기 한 쌍의 승강 블록 중 나머지 하나를 관통하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
The method of claim 10,
In order to connect the opening and closing cylinders to the pair of lifting cylinders, lifting blocks are respectively connected to the pair of piston rods,
The pressure supply passage passes through any one of the pair of lifting blocks,
The pressure discharge passage gate valve, characterized in that through the other of the pair of lifting blocks.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100994104B1 (en) * 2010-08-02 2010-11-12 주식회사 유니크 Parking lock apparatus for automatic transmission
KR101031343B1 (en) * 2009-02-26 2011-04-29 (주)엘티엘 The cylinder

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101317696B1 (en) 2011-12-13 2013-10-15 (주)시스콤 Bellows protect structure for gate valve
KR20130123023A (en) * 2012-05-02 2013-11-12 주식회사 에이티에스엔지니어링 Gate valve

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101031343B1 (en) * 2009-02-26 2011-04-29 (주)엘티엘 The cylinder
KR100994104B1 (en) * 2010-08-02 2010-11-12 주식회사 유니크 Parking lock apparatus for automatic transmission

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