KR102071367B1 - Coating apparatus - Google Patents

Coating apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR102071367B1
KR102071367B1 KR1020190055338A KR20190055338A KR102071367B1 KR 102071367 B1 KR102071367 B1 KR 102071367B1 KR 1020190055338 A KR1020190055338 A KR 1020190055338A KR 20190055338 A KR20190055338 A KR 20190055338A KR 102071367 B1 KR102071367 B1 KR 102071367B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
composite dielectric
liquid composition
liquid
space
pressure
Prior art date
Application number
KR1020190055338A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이성신
Original Assignee
주식회사 랩텍코리아
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 랩텍코리아 filed Critical 주식회사 랩텍코리아
Priority to KR1020190055338A priority Critical patent/KR102071367B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102071367B1 publication Critical patent/KR102071367B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0208Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/02Processes for applying liquids or other fluent materials performed by spraying
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/16Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
    • H05K1/162Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor incorporating printed capacitors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D2506/00Halogenated polymers
    • B05D2506/10Fluorinated polymers
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0137Materials
    • H05K2201/015Fluoropolymer, e.g. polytetrafluoroethylene [PTFE]
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/02Fillers; Particles; Fibers; Reinforcement materials
    • H05K2201/0203Fillers and particles
    • H05K2201/0206Materials
    • H05K2201/0209Inorganic, non-metallic particles
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/07Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
    • H05K2203/0756Uses of liquids, e.g. rinsing, coating, dissolving
    • H05K2203/0759Forming a polymer layer by liquid coating, e.g. a non-metallic protective coating or an organic bonding layer

Abstract

The present invention relates to a liquid composition coating apparatus for composite dielectric for an embedded electronic element of a circuit board. In order to apply a liquid composition for composite dielectric on a ground electrode in a circuit board including a ground electrode formed on an insulation substrate, a thin film which is a composite dielectric formed by applying a liquid composition for composite dielectric on the ground electrode, and a wiring layer formed on a surface or the inside of the thin film, the liquid composition coating apparatus comprises: a lower support having an insulation substrate seated therein; an upper support disposed at an upper side of the lower support to be descended; an injection unit installed on the upper support, having a structure in which a liquid composition for composite dielectric pushed by pressure due to expansion of liquid for generating pressure is sprayed onto the ground electrode from the insulation substrate in a state that an upper side is filled with the liquid for generating pressure and a lower side is filled with the liquid composition for composite dielectric; and a cover unit descended with the injection unit when the upper support is descended, and blocking the insulation substrate from the outside when the liquid composition for composite dielectric is sprayed by the injection unit. Therefore, the predetermined amount of the liquid composition for composite dielectric can be sprayed and applied, and an application process is peformed in a clean state by blocking the insulation substrate from the outside, thereby manufacturing a circuit board of excellent quality.

Description

회로기판의 임베디드 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치{COATING APPARATUS}Liquid composition coating device for composite dielectrics for embedded electronic devices on circuit boards {COATING APPARATUS}

본 발명은 회로기판의 임베디드(Embedded) 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물을 절연기판의 접지전극 상에 도포할 수 있도록 하기 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치에 관한 기술이다.The present invention relates to a liquid composition coating apparatus for a composite dielectric for enabling the application of a liquid composition for a composite dielectric for an embedded electronic device of a circuit board onto a ground electrode of an insulating substrate.

정보화 사회의 진행과 함께 정보 전달의 고속화 및 이에 따른 정보신호의 고주파화 요구가 점점 더 높아지고 있다. 이것에 대응하기 위하여 일렉트로닉스 제품에 사용되는 회로기판의 고기능화 및 고밀도 실장이 요망되어 이 과제를 해결하기 위하여 저항 커패시터 인덕터, 안테나와 같은 전자소자를 회로기판 속에 만들어 넣는 기술인 EPD(Embedded Passive Device Technology)가 주목을 받고 있다.With the progress of the information society, there is an increasing demand for high speed information transmission and high frequency information signals. In order to cope with this problem, high-performance and high-density mounting of circuit boards used in electronics products is desired. To solve this problem, EPD (Embedded Passive Device Technology), a technology for making electronic devices such as resistor capacitor inductors and antennas into circuit boards, I'm getting attention.

이러한 기술로는, 대한민국 특허등록 제10-0923542호 (2009.10.19.등록, 이하에서는 '문헌 1'이라고 함) 『이형재를 이용한 임베디드 반도체 패키지 장치 및 그 제조 방법』이 제시되어 있는바, 문헌 1은 미리 설정된 패턴의 배선 회로를 구비하는 절연체 기판, 그 외면 중 적어도 일부가 이형재 커버로 둘러싸인 상태로 상기 절연체 기판에 내장되는 반도체 칩, 그리고 상기 반도체 칩과 상기 배선 회로를 전기적으로 연결하는 범프를 포함함으로써, 반도체 칩이 이형재 커버로 둘러싸인 상태로 절연체 기판에 내장되기에 재활용이 용이한 임베디드 반도체 패키지 장치를 제공할 수 있는 이형재를 이용한 임베디드 반도체 패키지 장치 및 그 제조 방법에 관한 기술이다.As such technology, Korean Patent Registration No. 10-0923542 (registered on October 19, 2009, hereinafter referred to as 'Document 1') `` Embedded semiconductor package device using a release material and a method of manufacturing the same '' has been proposed. Includes an insulator substrate having a wiring circuit having a predetermined pattern, a semiconductor chip embedded in the insulator substrate with at least a part of an outer surface thereof surrounded by a release material cover, and a bump electrically connecting the semiconductor chip and the wiring circuit. Accordingly, the present invention relates to an embedded semiconductor package device using a release material and a method of manufacturing the same, which can provide an embedded semiconductor package device that is easily recycled since the semiconductor chip is embedded in an insulator substrate in a state surrounded by a release material cover.

다른 기술로는, 대한민국 특허등록 제10-1075645호 (2011.10.14.등록, 이하에서는 '문헌 2'라고 함) 『임베디드 회로기판의 제조 방법』이 제시되어 있는바, 문헌 2는 외부 전극 단자를 갖는 전기 소자를 준비하는 단계, 외부 전극 단자가 비노출되도록 외부 전극 단자를 덮는 보호막을 형성하는 단계, 전면 및 전면의 반대편인 배면을 갖고 상하부가 개방된 칩 실장 캐비티를 갖는 회로 기판을 준비하는 단계, 칩 실장 캐비티의 개방된 상부가 밀폐되도록 회로 기판의 전면에 이형 필름을 부착시키는 단계, 보호막이 이형 필름에 밀착되도록 전기 소자를 칩 실장 캐비티 내에 위치시키는 단계, 칩 실장 캐비티의 개방된 하부를 통해 칩 실장 캐비티의 여유 공간을 채우면서 회로 기판의 배면을 덮는 절연막을 형성하는 단계, 회로 기판으로부터 이형 필름을 분리시키는 단계, 외부 전극 단자가 노출되도록 보호막을 제거하는 단계, 그리고 회로기판에 외부 전극 단자와 전기적으로 연결되는 금속 회로 구조물을 형성하는 단계를 포함함으로써, 기판의 제조 과정에서 전기 소자와 회로 패턴의 전기적인 접속 불량을 방지할 수 있는 임베디드 회로기판의 제조방법에 관한 기술이다.As another technique, Korean Patent Registration No. 10-1075645 (registered on October 14, 2011, hereinafter referred to as 'Document 2') `` Method of manufacturing an embedded circuit board '' is proposed, and Document 2 discloses an external electrode terminal. Preparing a circuit board having a chip mounting cavity having a front surface and a back surface opposite to the front surface and having an open top and bottom portions, the method comprising the steps of: preparing an electrical element having a; Attaching a release film to the front of the circuit board so that the open top of the chip mounting cavity is sealed, placing the electrical element within the chip mounting cavity so that the protective film adheres to the release film, and the chip through the open bottom of the chip mounting cavity Forming an insulating film covering the back surface of the circuit board while filling the free space of the mounting cavity, when separating the release film from the circuit board. Removing the protective film so that the external electrode terminals are exposed; and forming a metal circuit structure electrically connected to the external electrode terminals on the circuit board. The present invention relates to a method for manufacturing an embedded circuit board which can prevent a bad connection.

또 다른 기술로는, 대한민국 특허등록 제10-1602318호 (2016.03.04.등록, 이하에서는 '문헌 3'이라고 함) 『에이씨에프를 이용한 임베디드 연성회로기판의 제조방법』이 제시되어 있는바, 문헌 3은 플립 칩을 실장하기 전에 플립칩 단자패드와 전기적 연결할 회로패턴에 미리 쓰루홀을 천공형성 후, 플립 칩을 기판에 ACF로 가접하여 고정한 후 캐리어필름과 같은 보호층 또는 타 기판의 멀티 적층으로 기판 상부 전체면을 외부 절연하여 보호한 후 핫프레스하여 상기 ACF로 플립 칩의 단자패드와 회로패턴간에 ACF의 열경화 진접 및 전기적 접속을 시킨 후, 상기 쓰루홀을 통해 상기 플립칩의 단자패드와 전기적으로 연결하는 방법으로서 화학동도금으로 동피막하여 상기 열경화된 ACF와 내측벽이 연결되는 비아홀을 형성하고 전기도금으로 상기 비아홀의 필링 및 기판 하부면 도금을 행하여 플립칩의 회로기판 실장을 완성시키고, 그 이후에 기판 하부면의 회로패턴을 형성하는 공정으로서 임베디드 연성회로기판 제품의 제조를 완성하는 순차적 단계 공정으로 구성됨으로써, FPCB의 비아홀과 ACF를 복합적으로 이용하여 플립칩 부착과 함께 전기적 연결을 행할 수 있도록 하여 임베디드 FPCB의 공정 간소화와 신뢰성 향상을 함께 이룰 수 있는 ACF를 이용한 임베디드 연성회로기판의 제조방법에 관한 기술이다.As another technology, Korean Patent Registration No. 10-1602318 (registered on March 4, 2016, hereinafter referred to as 'Document 3') `` Method of manufacturing an embedded flexible circuit board using AFC '' is proposed. Figure 3 shows through-holes in the circuit pattern to be electrically connected to the flip chip terminal pad before mounting the flip chip, and then secures the flip chip by welding the ACF to the substrate, then multi-layering a protective layer such as a carrier film or another substrate. After the entire upper surface of the substrate is protected by external insulation, hot pressing is performed to make the ACF thermal curing contact and electrical connection between the flip chip terminal pad and the circuit pattern, and then through the through hole and the terminal pad of the flip chip. As a method of electrical connection, copper film is formed by chemical copper plating to form a via hole connecting the thermally cured ACF and an inner wall, and filling the via hole with electroplating. The bottom plate is plated to complete the circuit board mounting of the flip chip, and then the circuit pattern of the bottom surface of the substrate is formed, and the sequential step process of completing the manufacture of the embedded flexible circuit board product is performed. And a method for manufacturing an embedded flexible circuit board using an ACF which can achieve the process simplification and reliability improvement of the embedded FPCB by enabling the electrical connection with the flip chip attachment using a combination of the and the ACF.

문헌 1. 대한민국 특허등록 제10-0923542호 (2009.10.19.등록)Document 1. Republic of Korea Patent Registration No. 10-0923542 (October 19, 2009) 문헌 2. 대한민국 특허등록 제10-1075645호 (2011.10.14.등록)Document 2. Republic of Korea Patent Registration No. 10-1075645 (October 14, 2011) 문헌 3. 대한민국 특허등록 제10-1602318호 (2016.03.04.등록)Document 3. Republic of Korea Patent Registration No. 10-1602318 (2016.03.04.Registration)

본 발명은 절연기판 상에 형성되는 접지전극과, 복합유전체용 액상 조성물이 상기 접지전극 상에 도포되어 형성되는 복합유전체인 박막과, 상기 박막의 표면 또는 내부에 형성되는 배선층으로 이루어진 회로기판에서 상기 접지전극 상에 복합유전체용 액상 조성물을 도포시킬 때에 절연기판을 외부로부터 차단하여 청정한 상태에서 조성물 도포가 이루어짐은 물론, 일정량의 조성물을 분사시켜 도포시킬 수 있도록 한 회로기판의 임베디드 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention provides a circuit board comprising a ground electrode formed on an insulating substrate, a thin film of a composite dielectric formed by applying a liquid composition for a composite dielectric on the ground electrode, and a wiring layer formed on or in the thin film. When applying the liquid dielectric composition for the composite dielectric on the ground electrode, the insulating substrate is cut off from the outside, and the composition is applied in a clean state, and the composite for the embedded electronic device of the circuit board to spray and apply a predetermined amount of the composition. It is an object to provide a liquid composition coating apparatus for dielectrics.

나아가 본 발명은 일정량의 조성물 분사 이후에 분사된 양만큼 조성물이 자동으로 재충전될 수 있도록 한 회로기판의 임베디드 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Furthermore, an object of the present invention is to provide a liquid composition coating apparatus for a composite dielectric for an embedded electronic device of a circuit board so that the composition can be automatically refilled by the amount injected after a certain amount of composition injection.

상기와 같은 해결 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 회로기판의 임베디드 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치는, 절연기판 상에 형성되는 접지전극과, 복합유전체용 액상 조성물이 상기 접지전극 상에 도포되어 형성되는 복합유전체인 박막과, 상기 박막의 표면 또는 내부에 형성되는 배선층으로 이루어진 회로기판에서 상기 접지전극 상에 복합유전체용 액상 조성물을 도포시키기 위해, 상기 절연기판이 안착되는 하부지지체; 상기 하부지지체 상부 측에 배치되어 하강하는 상부지지체; 상기 상부지지체에 설치되고, 상측에 압력 발생용 액체가 채워지며 하측에 복합유전체용 액상 조성물이 채워진 상태에서 압력 발생용 액체의 팽창에 의한 압력에 의해 밀린 복합유전체용 액상 조성물이 상기 절연기판에서 접지전극 상에 분사되는 구조로 이루어진 인젝션유닛; 및 상기 상부지지체 하강 시 상기 인젝션유닛과 함께 하강하고 상기 인젝션유닛에 의해 복합유전체용 액상 조성물이 분사될 때에 절연기판을 외부로부터 차단하게 되는 커버유닛;으로 이루어진 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the liquid composition coating apparatus for a composite dielectric for an embedded electronic device of a circuit board according to the present invention, the ground electrode is formed on an insulating substrate, the liquid composition for a composite dielectric on the ground electrode A lower support body on which the insulating substrate is seated, in order to apply the liquid composition for the composite dielectric on the ground electrode in a circuit board formed of a thin film which is a composite dielectric formed on the surface and a wiring layer formed on or in the thin film; An upper support disposed on the upper side of the lower support and descending; The liquid composition for the composite dielectric, which is installed on the upper support, is filled by the pressure generating liquid at the upper side and the liquid composition for the composite dielectric at the lower side, is pushed by the pressure due to the expansion of the pressure generating liquid, and is grounded on the insulating substrate. An injection unit having a structure sprayed on the electrode; And a cover unit which descends together with the injection unit when the upper support descends and blocks the insulating substrate from the outside when the liquid composition for composite dielectric is injected by the injection unit.

본 발명에 따른 회로기판의 임베디드 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치는, 일정량의 복합유전체용 액상 조성물의 분사 도포가 가능하고, 분사된 이후에 복합유전체용 액상 조성물이 자동으로 재충전될 수 있도록 하며, 도포 공정 시 절연기판을 외부로부터 차단하여 청정한 상태에서 공정이 이루어짐에 따라 우수한 품질의 회로기판을 제조할 수 있는 가장 큰 효과가 있다.The liquid composition coating apparatus for a composite dielectric for an embedded electronic device of a circuit board according to the present invention may be spray-coated with a predetermined amount of the liquid composition for a composite dielectric, and the liquid composition for the composite dielectric may be automatically refilled after being sprayed. As the process is performed in a clean state by blocking the insulating substrate from the outside during the coating process, there is the greatest effect that can produce a circuit board of excellent quality.

도 1은 본 발명에 따른 회로기판의 임베디드 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치를 나타낸 정면 구성도,
도 2는 인젝션유닛 및 커버유닛을 보여주기 위한 단면 구성도,
도 3은 역류방지밸브의 평면 구성도,
도 4는 하강하는 인젝션유닛 및 커버유닛을 보여주기 위한 단면 구성도,
도 5는 압력 전달 흐름에 따라 복합유전체용 액상 조성물이 분사되고 로드 및 이에 연결된 커버부재의 이동을 보여주기 위한 사용 상태 일부 단면 구성도,
도 6은 커버유닛의 가이드를 보여주기 위한 일부 단면 구성도,
도 7 및 도 8은 커버유닛의 가이드가 변위수단에 의해 동작되는 것을 보여주기 위한 사용 상태 일부 단면 구성도.
1 is a front configuration diagram showing a liquid composition coating apparatus for a composite dielectric for an embedded electronic device of a circuit board according to the present invention;
Figure 2 is a cross-sectional configuration diagram showing the injection unit and the cover unit,
3 is a plan view of the non-return valve,
Figure 4 is a cross-sectional configuration for showing the injection unit and the cover unit descending,
5 is a partial cross-sectional view of a state of use for showing the movement of the rod and the cover member connected to the liquid composition for the composite dielectric is injected in accordance with the pressure transmission flow,
6 is a partial cross-sectional view for showing a guide of the cover unit,
7 and 8 are partial cross-sectional view of a state of use for showing that the guide of the cover unit is operated by the displacement means.

이하 첨부된 도면들을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Prior to this, terms or words used in the present specification and claims should not be construed as having a conventional or dictionary meaning, and the inventors should properly explain the concept of terms in order to best explain their own invention. It should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined. Therefore, the embodiments described in the specification and the configuration shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various equivalents that may be substituted for them at the time of the present application It should be understood that there may be water and variations.

도 1을 기준으로 하부지지체 측을 하부 또는 하방, 상부지지체 측을 상부 또는 상방이라고 방향을 특정하기로 한다.The direction of the lower support side will be specified as the lower or lower side and the upper support side as the upper or upper side based on FIG. 1.

본 발명에서 유기 폴리머에 대한 무기 유전체의 분산성이 우수하고, 유기-무기 복합유전체로 한 경우에 높은 유전율을 나타내는 유기-무기 복합유전체용 액상 조성물은, 무기 유전체와 불소화 방향족 폴리머를 함유한다.In the present invention, the liquid composition for an organic-inorganic composite dielectric having excellent dispersibility of an inorganic dielectric with respect to an organic polymer and exhibiting a high dielectric constant in the case of an organic-inorganic composite dielectric contains an inorganic dielectric and a fluorinated aromatic polymer.

유기 폴리머로서 불소화 방향족 폴리머를 사용하면, 불소화 방향족 폴리머는 무기 유전체의 분산성이 우수하기 때문에 조성물 속에 무기 유전체를 고배합 할 수 있어 복합유전체로서 높은 유전율을 얻을 수 있다.When the fluorinated aromatic polymer is used as the organic polymer, since the fluorinated aromatic polymer is excellent in dispersibility of the inorganic dielectric material, the inorganic dielectric material can be highly blended in the composition, and a high dielectric constant can be obtained as the composite dielectric.

복합유전체용 액상 조성물에 의해 형성되는 복합유전체는 복합유전체가 사용되는 용도 중에서도 전기회로기판을 구성하는 콘덴서 등의 전자소자로서의 사용에 바람직한 것이 된다.The composite dielectric formed by the liquid composition for the composite dielectric is suitable for use as an electronic device such as a capacitor constituting an electric circuit board, among applications where the composite dielectric is used.

또 높은 유전율의 복합유전체를 얻기 위하여 상기 조성물은 무기 유전체가 불소화 방향족 폴리머 100 질량부에 대하여 100~2,000 질량부의 범위에 있는 것이 바람직하다.In order to obtain a high dielectric constant composite dielectric, the composition preferably has an inorganic dielectric in the range of 100 to 2,000 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the fluorinated aromatic polymer.

본 발명은 복합유전체용 액상 조성물을 사용하여 이루어지는 복합유전체나 그 복합유전체를 구성부위로서 포함하는 전기회로기판도 포함한다.The present invention also includes an electric circuit board comprising a composite dielectric or a composite dielectric formed by using a liquid composition for a composite dielectric as a constituent portion.

이때 상기 복합유전체는 무기 유전체를 분산시킨 액상 조성물을 소정 형상으로 성형한 것을 의미하며, 유기 폴리머 중에 무기 유전체가 고분산 된 성형체 및 성형막 등을 나타낸다.In this case, the composite dielectric means that the liquid composition in which the inorganic dielectric is dispersed is molded into a predetermined shape, and refers to a molded body and a molded film in which the inorganic dielectric is highly dispersed in the organic polymer.

유기 폴리머에 무기 유전체를 분산시키는 유기-무기 복합유전체용 액상 조성물에 대하여 유리 폴리머로서 불소화 방향족 폴리머를 함유시킴으로써 조성물 중의 무기 유전체의 배합량을 높일 수 있고, 복합유전체에서 고주파 영역에서의 유전율이 대폭 향상시킬 수 있다.By containing a fluorinated aromatic polymer as a glass polymer in the liquid composition for the organic-inorganic composite dielectric in which the inorganic dielectric is dispersed in the organic polymer, the compounding amount of the inorganic dielectric in the composition can be increased, and the dielectric constant in the high frequency region of the composite dielectric can be greatly improved. Can be.

본 발명의 복합유전체용 액상 조성물에서 무기 유전체와 불소화 방향족 폴리머의 함유량은, 불소화 방향족 폴리머 100 질량부에 대하여 무기 유전체가 100~2,000 질량부의 범위 내인 것이 바람직하다.In the liquid composition for composite dielectrics of the present invention, the content of the inorganic dielectric material and the fluorinated aromatic polymer is preferably in the range of 100 to 2,000 parts by weight of the inorganic dielectric with respect to 100 parts by weight of the fluorinated aromatic polymer.

무기 유전체의 함유량이 100 질량부 미만이면 액상 조성물로 이루어지는 복합유전체의 유전율이 낮아질 우려가 있고, 무기 유전체의 함유량이 2,000 질량부를 초과하면 그 조성물의 점도가 높아지고 취급성이 저하될 우려가 있다.If the content of the inorganic dielectric material is less than 100 parts by mass, the dielectric constant of the composite dielectric made of the liquid composition may be lowered. If the content of the inorganic dielectric material is more than 2,000 parts by mass, the viscosity of the composition may be high and the handleability may be deteriorated.

결국 무기 유전체 함유량의 보다 바람직한 하한은 불소화 방향족 폴리머 100 질량부에 대하여 무기 유전체가 500 질량부 또는 700 질량부 이상인 것이 가장 바람직하다. 또한 무기 유전체 함유량의 보다 바람직한 상항은 불소화 방향족 폴리머의 100 질량부에 대하여 1,500 질량부 또는 1,000 질량부 이하인 것이 가장 바람직하다.After all, the lower limit of the inorganic dielectric content is more preferably 500 parts by mass or 700 parts by mass or more based on 100 parts by mass of the fluorinated aromatic polymer. In addition, the more preferable condition of the inorganic dielectric content is most preferably 1,500 parts by mass or 1,000 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the fluorinated aromatic polymer.

본 발명의 불소화 방향족 폴리머는 적어도 1개 이상의 불소기를 갖는 방향족 고리와, 에테르 결합, 케톤 결합, 술폰 결합, 아미드 결합, 이미드 결합, 에스테르 결합의 군에서 선택된 적어도 1개의 결합을 포함하는 반복 단위에 의해 구성된 중합체이고, 일예로 불소원자를 갖는 폴리이미드, 폴리에테르, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리에테르술폰, 폴리아미드에테르, 폴리아미드, 폴리에테르니트릴, 폴리에스테르 등을 들 수 있다.The fluorinated aromatic polymer of the present invention has a repeating unit comprising an aromatic ring having at least one fluorine group and at least one bond selected from the group consisting of an ether bond, a ketone bond, a sulfone bond, an amide bond, an imide bond, and an ester bond. And a polyimide having a fluorine atom, polyether, polyetherimide, polyether ketone, polyether sulfone, polyamide ether, polyamide, polyether nitrile, polyester and the like.

본 발명의 불소화 방향족 폴리머는 불소원자를 갖는 폴리에스테르인 것이 바람직하다. 이는 무기 유전체와의 상호 작용이 적절히 억제되며, 복합유전체용 액상 조성물 제작에 지장을 초래하는 현상, 즉 대폭적인 증점, 겔화, 유동성의 손실, 응집 등이 저감된다. 결국 보다 많은 무기 유전체를 배합한 복합유전체용 액상 조성물을 제작할 수 있어 복합유전체로서 보다 높은 유전율을 나타낼 수 있을 뿐만 아니라 점도를 저하시킬 수 있기에 복합유전체를 박막 형상으로 성형하는 데에 용이하다.It is preferable that the fluorinated aromatic polymer of this invention is polyester which has a fluorine atom. The interaction with the inorganic dielectric material is appropriately suppressed, and the phenomenon causing trouble in the preparation of the liquid composition for the composite dielectric, that is, significant thickening, gelation, loss of fluidity, and aggregation are reduced. As a result, it is possible to produce a liquid composition for a composite dielectric containing more inorganic dielectrics, which can exhibit a higher dielectric constant as a composite dielectric and can lower the viscosity, thereby making it easier to form a composite dielectric into a thin film.

본 발명의 불소화 방향족 폴리머의 합성방법으로는 축합중합, 부가중합, 용액중합, 현탁중합, 유화중합 등의 일반적인 중합반응을 사용한다.As a method for synthesizing the fluorinated aromatic polymer of the present invention, general polymerization reactions such as condensation polymerization, addition polymerization, solution polymerization, suspension polymerization and emulsion polymerization are used.

그리고 합성방법에서 사용되는 유기용매로는 N-메틸-2-피롤리돈(NMP), N,N-디메틸아세트아미드나 메탄올 등의 극성용매나 톨루엔 등의 방향족계 용매가 선택되고, 또 합성방법에서 사용되는 염기성 화합물로는 탄산칼륨, 탄산리튬, 수산화칼륨 등이 선택된다.As the organic solvent used in the synthesis method, a polar solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), N, N-dimethylacetamide or methanol, or an aromatic solvent such as toluene is selected. Examples of the basic compound to be used are potassium carbonate, lithium carbonate, potassium hydroxide and the like.

아울러 합성방법에서는 반응 종료 후에 반응용액으로부터 용매를 제거하고 필요에 따라 증류제거물을 세정함으로써 불소화 방향족 폴리머가 얻어진다. 또한, 반응용액을 불소화 방향족 폴리머의 용해도가 낮은 용매 중에 첨가하여 그 폴리머를 침전시켜 침전물을 여과에 의해 분리함으로써 얻을 수도 있다.In addition, in the synthesis method, a fluorinated aromatic polymer is obtained by removing a solvent from a reaction solution after completion | finish of reaction and washing a distillate as needed. The reaction solution may also be obtained by adding a reaction solution in a solvent having low solubility of the fluorinated aromatic polymer to precipitate the polymer and separating the precipitate by filtration.

본 발명의 무기 유전체는 입자상, 섬유상, 인편상, 원추상 등의 형상으로 이루어질 수 있다.The inorganic dielectric of the present invention may be formed in the shape of particulate, fibrous, flaky, conical or the like.

무기 유전체의 평균입자직경으로는 액상 조성물을 사용하여 이루어지는 복합유전체의 두께를 고려하여 적절히 선택되지만 박막으로서 사용하는 경우에는 0.01∼10㎛ 의 범위 내인 것이 바람직하되, 0.5∼3㎛ 의 범위 내가 가장 바람직하다.The average particle diameter of the inorganic dielectric material is appropriately selected in consideration of the thickness of the composite dielectric formed by using the liquid composition. However, when used as a thin film, the average particle diameter is preferably in the range of 0.01 to 10 μm, but preferably in the range of 0.5 to 3 μm. Do.

또한 무기 유전체의 체적당 비표면적은 1㎡/g∼10㎡/g 의 범위 내가 바람직하되, 2㎡/g∼5㎡/g 의 범위 내가 가장 바람직하다.The specific surface area per volume of the inorganic dielectric material is preferably in the range of 1 m 2 / g to 10 m 2 / g, but most preferably in the range of 2 m 2 / g to 5 m 2 / g.

본 발명의 복합유전체용 액상 조성물에는 성형성이나 성막성(成膜性)을 향상시키고 점도조절을 목적으로 용제를 배합할 수 있는데, 상기 용제로는 톨루엔, 자일렌, 니트로벤젠, 벤조니트릴 등의 방향족계 용매, 아세톤, 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 시클로펜탄온, 이소부틸케톤 등의 케톤계 용매, 메탄올, 에탄올, N-메틸-2-피롤리돈(NMP), N,N-디메틸아세트아미드, 아세토니트릴 등이 선택될 수 있다.A liquid composition for a composite dielectric of the present invention may be blended with a solvent for the purpose of improving moldability and film formation properties and adjusting viscosity. Examples of the solvent include toluene, xylene, nitrobenzene, and benzonitrile. Ketone solvents such as aromatic solvents, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, cyclopentanone, and isobutyl ketone, methanol, ethanol, N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), N, N-dimethylacet Amides, acetonitrile and the like can be selected.

본 발명의 복합유전체용 액상 조성물에는 필요에 따라 기타 화합물이나 부자재를 함유할 수 있는데, 기타 화합물이나 부자재로는 폴리아미드 수지, 폴리아미드이미드 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 불소 수지 등의 수지, 실리카, 알루미나, 수산화알루미늄, 유리, 흑연 등의 무기충전재, 실란커플링제, 티탄커플링제, 난연제, 산화방지제, 가소제, 레벨링제, 튐방지제, 분산제 등이 선택될 수 있다.The liquid composition for a composite dielectric of the present invention may contain other compounds or subsidiary materials as necessary. Other compounds or subsidiary materials may include polyamide resins, polyamideimide resins, epoxy resins, phenol resins, resins such as fluorine resins, and silica. Inorganic fillers such as alumina, aluminum hydroxide, glass, graphite, silane coupling agents, titanium coupling agents, flame retardants, antioxidants, plasticizers, leveling agents, antistatic agents, dispersants, and the like may be selected.

본 발명의 복합유전체용 액상 조성물을 사용하여 이루어지는 복합유전체의 성형방법은 요망되는 복합유전체의 형상에 따라 적절히 선택된다.The shaping | molding method of the composite dielectric which uses the liquid composition for composite dielectrics of this invention is suitably selected according to the shape of the composite dielectric desired.

일예로, 복합유전체를 박층(박막)으로서 사용하는 경우에는 필름이나 기판, 금속박 상에 액상 조성물을 캐스팅, 디핑 코트, 스핀 코트, 롤 코트, 스프레이 코트, 바 코트, 스크린 인쇄, 플렉소 인쇄 등의 방법에 의해 도포하여 도막을 형성한 후, 용제를 건조시켜 박층을 형성한다.For example, when using a composite dielectric as a thin layer (thin film), casting a liquid composition on a film, a board | substrate, or a metal foil, dipping coat, spin coat, roll coat, spray coat, bar coat, screen printing, flexographic printing, etc. After apply | coating by a method and forming a coating film, a solvent is dried and a thin layer is formed.

이러한 복합유전체 용도 및 기능으로는 바이패스 콘덴서, 충전소자, 미분소자, 종단부하소자, 필터, 안테나, 노이즈커트 등을 들 수 있다.Such composite dielectric applications and functions include bypass capacitors, charging devices, differential devices, termination load devices, filters, antennas, noise cuts, and the like.

본 발명의 복합유전체를 구성부위로서 포함하는 전기 회로기판(1)은 절연기판 상에 접지전극을 형성하고 상기 접지전극 상에 복합유전체인 박막을 형성한 후, 다시 이 박막의 표면 또는 내부에 배선층을 배치함으로써 제조할 수 있다.In the electric circuit board 1 including the composite dielectric of the present invention as a constituent part, a ground electrode is formed on an insulating substrate, and a thin film of composite dielectric is formed on the ground electrode, and then a wiring layer is formed on the surface or inside of the thin film. It can manufacture by arrange | positioning.

또 본 발명의 복합유전체를 금속박 등의 도전성 재료에 도포하거나 도전성 재료와 밀착시키거나, 도전성 재료로 끼우거나 하여 제조할 수 있다.In addition, the composite dielectric of the present invention can be applied to a conductive material such as metal foil, in close contact with the conductive material, or sandwiched with a conductive material for production.

이때 절연기판 상에 형성되는 접지전극과, 복합유전체용 액상 조성물이 상기 접지전극 상에 도포되어 형성되는 복합유전체인 박막과, 상기 박막의 표면 또는 내부에 형성되는 배선층으로 이루어진 회로기판(1)에서 상기 접지전극 상에 복합유전체용 액상 조성물을 도포시키기 위해, 본 발명에 따른 회로기판의 임베디드 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치는,In this case, the circuit board 1 includes a ground electrode formed on an insulating substrate, a thin film of a composite dielectric formed by coating a liquid composition for a composite dielectric on the ground electrode, and a wiring layer formed on or in the thin film. In order to apply the liquid composition for a composite dielectric on the ground electrode, the liquid composition coating apparatus for a composite dielectric for an embedded electronic device of a circuit board according to the present invention,

크게 하부지지체(10), 상부지지체(20), 인젝션유닛(30) 및 커버유닛(40)으로 이루어진다.It is composed of the lower support 10, the upper support 20, the injection unit 30 and the cover unit 40.

각 구성에 대해 살펴보면, 하부지지체(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 베이스(11), 상기 베이스(11)의 상부 중앙 영역에 배치되고 절연기판이 안착 지지되는 지그(12), 상기 베이스(11)의 상부 측 양단에 세워지는 둘 이상의 포스트(13), 그리고 상기 각 포스트(13)의 상단을 상호 연결하는 고정플레이트(14)를 포함하여 이루어진다.Looking at each configuration, as shown in Figure 1, the lower support 10, the base 11, the jig 12, which is disposed in the upper central region of the base 11 and the insulating substrate is seated and supported, the base And two or more posts 13 which are erected at both ends of the upper side of the upper side, and a fixing plate 14 interconnecting the upper ends of the respective posts 13.

상부지지체(20)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 하부지지체(10)에서 상기 지그(12) 상부 측에 이격되게 배치되고 내부에 하방 개구형 수용공간부(211)를 갖는 상부브래킷(21), 그리고 상기 상부브래킷(21)의 수용공간부(211)에 수용되어 상기 수용공간부(211)의 양단에 지지되는 서포트플레이트(22)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 1, the upper support 20 is disposed at an upper side of the jig 12 in the lower support 10 and has an upper bracket 21 having a lower opening-type accommodation space 211 therein. And a support plate 22 accommodated in the accommodation space 211 of the upper bracket 21 and supported at both ends of the accommodation space 211.

이때 상기 서포트플레이트(22)는 볼트 등에 의해 상기 수용공간부(211)의 양단에 고정 결합될 수 있다.In this case, the support plate 22 may be fixedly coupled to both ends of the accommodation space 211 by a bolt or the like.

상기 상부지지체(20)는 승강수단(23)에 의해 상하로의 승강 동작이 가능하게 되는데, 상기 승강수단(23)은 상기 고정플레이트(14)를 지나는 단부가 상기 상부브래킷(21)의 상부면에 연결되는 승강피스톤(231)을 갖고 공압 또는 유압에 의해 선택적으로 상기 승강피스톤(231)을 동작케 하며 상기 하부지지체(10)의 고정플레이트(14) 상부에 장착되는 실린더본체(232)와, 상기 상부브래킷(21)의 상부면 양단에 하단이 세워지게 연결되고 상단이 상기 하부지지체(10)의 고정플레이트(14)를 상하로 드나들도록 삽입 지지되는 승강가이드(233)로 이루어진다. 이러한 승강수단(23)은 일예이고 상기 상부지지체(20)를 상하로 승강케 하기 위한 조건을 만족하는 범위 내에서 다양하게 변형 및 변경 가능할 것이다.The upper support 20 can be moved up and down by the lifting means 23, the lifting means 23 is the end portion passing through the fixing plate 14, the upper surface of the upper bracket 21 A cylinder body 232 having a lifting piston 231 connected to the cylinder body 232 to be selectively operated by pneumatic or hydraulic pressure and mounted on an upper side of the fixing plate 14 of the lower support 10; The lower end is connected to both ends of the upper surface of the upper bracket 21, the upper end is made of a lifting guide 233 is inserted and supported so as to enter and exit the fixing plate 14 of the lower support (10) up and down. The lifting means 23 is an example and may be variously modified and changed within a range that satisfies the conditions for raising and lowering the upper support 20.

인젝션유닛(30)은 도 2 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 상부지지체(20)의 서포트플레이트(22)에 설치되고, 상측에 압력 발생용 액체가 채워지며 하측에 복합유전체용 액상 조성물이 채워진 상태에서 압력 발생용 액체의 팽창에 의한 압력에 의해 밀린 복합유전체용 액상 조성물이 상기 절연기판에서 접지전극 상에 분사되는 구조로 이루어지는데, 좀 더 상세하게는, 측면을 감싸는 압력격벽(311)에 의해 원통 형상을 이루고 상부 측 밀폐 영역에 투광렌즈(312)를 갖는 상부하우징(31)과, 측면을 감싸는 액상격벽(321) 및 상기 압력격벽(311)으로부터 연장 형성되어 복합유전체용 액상 조성물의 분사통로(322)가 하부 측에 배치되는 분사노즐(323)을 포함하고, 상기 상부하우징(31)과 서로 연결 또는 연장 형성되는 하부하우징(32)과, 상기 상부하우징(31)과 하부하우징(32) 사이에 구비되어 상기 상부하우징(31) 측 압력 발생용 액체가 채워지는 공간과, 상기 하부하우징(32) 측 복합유전체용 액상 조성물이 채워지는 공간을 구획하되, 압력 발생용 액체가 채워지는 공간에 작용하는 압력을 복합유전체용 액상 조성물이 채워지는 공간에 전달하는 구획부(33)를 포함하여 이루어진다.2 to 8, the injection unit 30 is installed on the support plate 22 of the upper support 20, the pressure generating liquid is filled on the upper side and the liquid composition for the composite dielectric on the lower side The liquid composition for the composite dielectric, which is pushed by the pressure due to the expansion of the pressure-generating liquid in the filled state, is composed of a structure in which the insulating substrate is sprayed onto the ground electrode. More specifically, the pressure partition 311 surrounding the side surface The upper housing 31 having a cylindrical shape and having a transmissive lens 312 in the upper side sealing area, the liquid partition wall 321 surrounding the side and the pressure partition 311 is formed extending from the liquid composition for the composite dielectric An injection passage 322 includes an injection nozzle 323 disposed on the lower side, the lower housing 32 connected to or extended with the upper housing 31, and the upper housing 31 and the lower housing. The space is provided between the (32) and the space for filling the liquid for pressure generation on the upper housing 31 side, and the space for filling the liquid composition for the composite dielectric on the lower housing 32 side, the pressure generating liquid is filled The compartment comprises a compartment 33 for transmitting the pressure acting on the space to the space filled with the liquid composition for the composite dielectric.

그리고 상기 인젝션유닛(30)은 탄성 재질로 형성되고 상측이 상기 하부하우징(32)에 밀착되도록 상기 하부하우징(32) 내부 하측에 구비되되, 상측에 개구된 원형 입구(341)가 형성되고, 하측으로 갈수록 단면이 원형에서 선형으로 점차 좁아지며, 하측 끝단에는 복합유전체용 액상 조성물이 통과하는 슬릿(slit)(342)이 형성되어 복합유전체용 액상 조성물이 상기 분사노즐(323) 측으로만 이동 가능하도록 안내하는 역류방지밸브(34)를 더 포함한다.And the injection unit 30 is formed of an elastic material and provided on the lower side inside the lower housing 32 so that the upper side is in close contact with the lower housing 32, the circular inlet 341 is formed in the upper side, the lower side As the cross section is gradually narrowed from circular to linear, a slit 342 through which the liquid composition for the composite dielectric passes is formed at the lower end thereof so that the liquid composition for the composite dielectric can move only toward the injection nozzle 323. It further comprises a guide check valve (34).

여기서 상기 역류방지밸브(34)의 슬릿(342)은 복합유전체용 액상 조성물이 상기 하부하우징(31) 내부에 채워지는 동안 닫혀있는 상태를 유지하고, 압력 발생용 액체의 팽창에 의해 상기 구획부(33)가 복합유전체용 액상 조성물이 채워진 측으로 압력을 전달하면 그 압력에 의해 상기 슬릿(342)이 개방되면서 상기 분사통로(322)를 통해 분사되며, 압력 전달 해제 시 복원력에 의해 상기 슬릿(342)이 닫히게 된다.Here, the slit 342 of the non-return valve 34 maintains a closed state while the liquid composition for the composite dielectric is filled in the lower housing 31, and the compartment part is expanded by the expansion of the pressure generating liquid. When 33) transmits the pressure to the side filled with the liquid composition for the composite dielectric, the slit 342 is opened by the pressure and is injected through the injection passage 322, the slit 342 by the restoring force upon release of the pressure transmission Is closed.

한편, 상기 상부하우징(31)의 투광렌즈(312)는 볼록형 렌즈이고, 상기 투광렌즈(312)가 상기 압력격벽(311)의 상측 일부를 막고 있는 예를 도시하였으나, 본 발명이 이에 한정된 것은 아니며, 상기 투광렌즈(312)를 평면형, 오목형 등 투광이 가능하다면 다양한 형태의 적용이 가능하고, 상기 투광렌즈(312) 만으로 압력격벽(311)의 상측 전체를 막는 것도 가능함은 물론이다.Meanwhile, although the light transmitting lens 312 of the upper housing 31 is a convex lens, an example in which the light transmitting lens 312 blocks an upper portion of the pressure barrier 311 is illustrated, but the present invention is not limited thereto. If the light-transmitting lens 312 is planar, concave-type, and the like, it is possible to apply various types, and of course, it is also possible to block the entire image side of the pressure barrier 311 with only the light-transmitting lens 312.

압력 발생용 액체로는 일반적인 물이 사용될 수 있으며, 알코올이나 폴리에틸렌글리콜과 같은 고분자 졸(sol) 및 젤(gel) 등 다양한 액상 물질이 사용될 수 있다. 또한, 압력발생용 액체로는 버블의 생성 시 잔여 버블의 최소화를 위해 가스 제거된 (degassed) 액체를 사용함이 바람직하다. 또한, 압력발생용 액체로 순수(純水)에 전해질(소금 등)을 첨가하게 되면 분자들이 이온화되어 액체의 분자 구조 붕괴에 필요한 에너지가 작아지므로 더 좋은 효율로 버블을 형성할 수 있어서, 더욱 바람직하다.As the pressure generating liquid, general water may be used, and various liquid materials such as polymer sol and gel such as alcohol or polyethylene glycol may be used. In addition, it is preferable to use a degassed liquid as the pressure generating liquid in order to minimize residual bubbles in the generation of bubbles. In addition, when an electrolyte (salt, etc.) is added to the pure water as the pressure generating liquid, the molecules are ionized to reduce the energy required to break down the molecular structure of the liquid, thereby forming bubbles with better efficiency. Do.

상기 상부하우징(31)과 하부하우징(32)은 일체로 형성되는 것도 가능하고, 분리 결합이 가능도록 형성되는 것도 가능하다.The upper housing 31 and the lower housing 32 may be formed integrally, or may be formed to be separated and coupled.

또한, 상기 분사노즐(323)은 상기 하부하우징(32)에 탈착이 가능하도록 구비될 수 있다. 상기 분사노즐(323)이 상기 하부하우징(32)에 탈착이 가능하도록 구비된 경우, 상기 분사노즐(323)이 파손 또는 오염되거나 막혔을 때, 상기 하부하우징(32) 전체를 교체하지 않고 상기 분사노즐(323)의 교체를 통해 간단히 해결할 수 있어 비용적인 측면에서도 유리하다.In addition, the injection nozzle 323 may be provided to be detachable to the lower housing (32). When the injection nozzle 323 is provided to be detachable from the lower housing 32, when the injection nozzle 323 is damaged, contaminated or blocked, the injection nozzle without replacing the entire lower housing 32 The replacement of the 323 can be easily solved, which is advantageous in terms of cost.

상기 분사노즐(323)을 포함하는 상기 하부하우징(32)의 하부와 하부하우징(32)의 측부는 스텔라이트, 알루미늄 합금, 및 지르코늄 계열의 세라믹 등 본 발명의 기능을 달성함에 지장이 없는 한에서 다양한 재질을 선택할 수 있으며, 상기 분사통로(322)가 형성된 상기 하부하우징(32)의 하부 일부분만 인서트 사출을 통해 지르코늄 계열의 세라믹 소재로 제작될 수 있다.The lower part of the lower housing 32 including the injection nozzle 323 and the side of the lower housing 32 are provided as long as there is no problem in achieving the functions of the present invention, such as stellite, aluminum alloy, and zirconium-based ceramics. Various materials may be selected, and only a lower portion of the lower housing 32 in which the injection passage 322 is formed may be manufactured of a zirconium-based ceramic material through insert injection.

지르코늄 계열의 세라믹 소재 중 산화지르코늄(지르코니아)은 낮은 열전도율을 가지므로 레이저 조사 시 열전달에 의한 복합유전체용 액상 조성물의 변질을 방지할 수 있으며, 높은 파열 인성을 가지고, 균열 전파에 매우 높은 저항성을 가지기 때문에, 복합유전체용 액상 조성물 분사 시 분사통로(322) 등의 끝단이 파손되거나 변형되는 현상을 방지할 수 있으므로 상기 하부하우징(32), 분사노즐(323) 또는 분사통로(322) 등을 지르코늄 계열의 세라믹 소재 중 산화지르코늄(지르코니아)으로 형성하는 것이 바람직하다.Among the zirconium-based ceramic materials, zirconium oxide (zirconia) has a low thermal conductivity to prevent deterioration of the liquid composition for the composite dielectric due to heat transfer during laser irradiation, and has high burst toughness and very high resistance to crack propagation. Therefore, the lower housing 32, the injection nozzle 323 or the injection passage 322 and the like may be prevented from being damaged or deformed when the end of the injection passage 322 or the like is injected during the injection of the liquid composition for the composite dielectric. It is preferable to form with zirconium oxide (zirconia) among the ceramic materials.

아울러, 상기 하부하우징(32) 또는 분사노즐(323)의 내부는 일부 또는 전체구간에서 상측으로 갈수록 수평 단면적이 커지며, 미리 정해진 구간마다 내벽의 기울기가 일정하되, 상측 방향으로 갈수록 내벽의 기울기가 작아지는 다수의 구간을 포함할 수 있다.In addition, the inside of the lower housing 32 or the injection nozzle 323 has a larger horizontal cross-sectional area toward the upper side in a part or the entire section, the inclination of the inner wall is constant for each predetermined section, but the inclination of the inner wall toward the upper direction is small Losing may include multiple sections.

또한, 상기 하부하우징(32) 또는 분사노즐(323)의 내부는 일부 또는 전체구간에서 상기 분사통로(322) 측에서 상기 구획부(33) 측으로 갈수록 곡선형으로 확관되는 나팔 형상으로 구비될 수 있다.In addition, the inside of the lower housing 32 or the injection nozzle 323 may be provided in a trumpet shape that extends in a curved shape toward the partition portion 33 from the injection passage 322 side in part or the entire section. .

이러한 상기 하부하우징(32) 또는 분사노즐(323) 내부의 형상은 상기 구획부(33)로부터 전달된 압력에 의해 복합유전체용 액상 조성물을 상기 분사통로(322)로 밀어내는 데에 더욱 집중시킬 수 있고, 이에 따라 분사통로(322)로 분사되는 복합유전체용 액상 조성물은 더 큰 분사속도를 얻을 수 있다.The shape of the lower housing 32 or the injection nozzle 323 may be more concentrated in pushing the liquid composition for the composite dielectric into the injection passage 322 by the pressure transmitted from the partition 33. As a result, the liquid composition for the composite dielectric injected into the injection passage 322 may obtain a larger injection speed.

상기 구획부(33)는 상기 상부하우징(31)과 하부하우징(32) 사이에 구비되어, 상기 상부하우징(31)과 하부하우징(32)을 구획하는 탄성 재질로 형성될 수 있다.The partition 33 is provided between the upper housing 31 and the lower housing 32, it may be formed of an elastic material for partitioning the upper housing 31 and the lower housing (32).

이때, 상기 구획부(33)는 실리콘고무(silicone rubber) 등으로 제작할 수 있다.In this case, the partition 33 may be made of silicone rubber or the like.

상기 구획부(33)는 급격한 팽창으로 인해 가장자리와 중심 부근이 먼저 손상될 우려가 있기 때문에 상기 구획부(33)는 급격한 팽창으로 인해 가장자리와 중심 부근을 보강하는 것이 바람직하다.Since the partition 33 may be damaged first due to rapid expansion, the edge 33 and the vicinity of the center 33 may be reinforced by the rapid expansion.

상기에서 상기 구획부(33)가 탄성 재질로 형성된 막의 예를 들었으나, 본 발명이 이에 한정된 것은 아니며, 판형상의 디스크가 상하 왕복운동 하는 형태로 구성되는 등 압력 발생용 액체가 채워지는 공간에 작용하는 압력을 복합유전체용 액상 조성물이 채워지는 공간에 전달할 수 있다면 다양한 실시가 가능함은 물론이다.Although the partition 33 is an example of a membrane formed of an elastic material, the present invention is not limited thereto, and the plate-shaped disk is configured to reciprocate up and down. If the pressure can be transferred to the space filled with the liquid composition for the composite dielectric is, of course, various implementations are possible.

도 3에서와 같이, 상기 역류방지밸브(34)는 유체(액체, 기체 등)의 흐름이 일방향으로만 흐르도록 하는 것으로, 일부 또는 전체의 형상이 오리의 부리 형상 또는 피리 주둥이처럼 출입구가 닫힌 형상으로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 3, the non-return valve 34 allows the flow of fluid (liquid, gas, etc.) to flow in only one direction, and the shape of the part or the whole is closed like a duck's beak or a flute spout. It can be formed as.

또한, 상기 역류방지밸브(34)는 상기 하부하우징(32)에 채워진 복합유전체용 액상 조성물이 분사통로(322)를 통해 외부로 분사되는 것은 가능하나, 외부의 공기 등이 분사통로(322)를 통해 유입되는 것을 방지하여, 외부의 공기 등이 상기 하부하우징(32)에 채워진 복합유전체용 액상 조성물와 혼합되는 것을 방지함으로써, 복합유전체용 액상 조성물이 오염되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the non-return valve 34 may be sprayed to the outside through the injection passage 322, the liquid composition for the composite dielectric filled in the lower housing 32, the outside air to the injection passage 322 By preventing the inflow through, by preventing the outside air and the like mixed with the liquid composition for the composite dielectric filled in the lower housing 32, it is possible to prevent contamination of the liquid composition for the composite dielectric.

이때 상기 역류방지밸브(34)의 상기 슬릿(342)이 닫힌 선형의 형상으로 직선 또는 곡선 또는 교차선 등의 다양한 형태가 적용될 수 있다.At this time, the slit 342 of the non-return valve 34 has a closed linear shape and may be applied in various forms such as a straight line or a curved line or an intersection line.

상기 하부하우징(32)의 분사통로(322)는 여러 개의 분사 구멍으로 이루어질 수 있고, 또 각 분사 구멍은 상측에서 하측으로 갈수록 수평 단면적이 점차 좁아지는 테이퍼(taper) 형상으로 형성될 수 있다.The injection passage 322 of the lower housing 32 may be formed of a plurality of injection holes, and each injection hole may be formed in a taper shape in which the horizontal cross-sectional area gradually decreases from the upper side to the lower side.

또한 상기 분사통로(322)의 내벽은 (지르코늄 계열의) 세라믹(지르코니아) 소재로 형성될 수 있으며, 산화지르코늄(지르코니아)으로 형성되는 것이 바람직하다. 이는 앞서 언급한 바와 같이 산화지르코늄은 높은 파열 인성을 가지고, 균열 전파에 매우 높은 저항성을 가지기 때문에 복합유전체용 액상 조성물 분사 시 상기 분사통로(322) 끝단이 파손되거나 변형되는 현상을 방지할 수 있다.In addition, the inner wall of the injection passage 322 may be formed of a (zirconium-based) ceramic (zirconia) material, it is preferably formed of zirconium oxide (zirconia). As described above, since zirconium oxide has high burst toughness and very high resistance to crack propagation, it is possible to prevent the end of the injection passage 322 from being broken or deformed when the liquid composition for composite dielectric is injected.

또한 복합유전체용 액상 조성물의 분사통로(322)는 지름 250μm 이하로 형성될 경우, 복합유전체용 액상 조성물이 채워지는 공간에 복합유전체용 액상 조성물이 채워지더라도 일정 압력 이상의 압력이 작용하지 않으면 복합유전체용 액상 조성물이 상기 분사통로(322)로 빠져나오지 못한다.In addition, when the injection passage 322 of the liquid composition for a composite dielectric is formed with a diameter of 250 μm or less, even if the liquid composition for the composite dielectric is filled in a space where the liquid composition for the composite dielectric is filled, the pressure for the composite dielectric does not work. The liquid composition does not escape into the injection passage 322.

한편, 상기 인젝션유닛(30)은 압력 발생용 액체가 채워져 밀폐된 공간의 특정 지점을 향하여 에너지를 집중시키는 에너지집중장치(35)를 더 포함하는데,On the other hand, the injection unit 30 further includes an energy concentrator 35 for concentrating energy toward a specific point of the sealed space filled with the pressure generating liquid,

상기 에너지집중장치(35)는 마이크로웨이브, 레이저 등을 이용하여 에너지를 집중시킬 수 있는 장치로 이루어진다.The energy intensive device 35 is made of a device that can concentrate energy using a microwave, a laser or the like.

즉, 상기 에너지집중장치(35)는 압력 발생용 액체(에 레이저 등의 에너지를 집중시켜, 압력 발생용 액체의 증발로 인한 순간적인 부피팽창(압력 증가)과 충격파들의 전달로 복합유전체용 액상 조성물을 상기 분사통로(322)로 밀어낸다.That is, the energy concentrator 35 concentrates energy such as a laser in the pressure generating liquid (the liquid composition for the composite dielectric by instantaneous volume expansion (increase in pressure) and shock waves due to evaporation of the pressure generating liquid). It is pushed to the injection passage (322).

한편, 상기 하부하우징(32)에는 상기 액상격벽(321)에 관통되어 복합유전체용 액상 조성물의 공급 통로가 형성된 보충구(325)와, 이에 연결되어 상기 보충구(325)를 통해 상기 하부하우징(32) 측 공간에 복합유전체용 액상 조성물을 공급하는 공급부(326)가 더 구비될 수 있다.Meanwhile, the lower housing 32 penetrates through the liquid partition wall 321 to form a supplementary port 325 in which a supply passage of a liquid composition for a composite dielectric is formed, and is connected to the lower housing through the supplementary port 325. 32) The supply unit 326 for supplying a liquid composition for the composite dielectric in the side space may be further provided.

결국 상기 공급부(326)는 복합유전체용 액상 조성물이 상기 분사통로(322)를 빠져나가지 못하는 수준의 일정 압력으로 복합유전체용 액상 조성물을 보충할 수 있다. 이는 별도의 제어 없이도 상기 복합유전체용 액상 조성물이 채워지도록 하기 위함이다.As a result, the supply unit 326 may replenish the liquid composition for the composite dielectric at a predetermined pressure at which the liquid composition for the composite dielectric does not escape the injection passage 322. This is to fill the liquid composition for the composite dielectric without additional control.

즉, 복합유전체용 액상 조성물을 채우기 위한 공간에 복합유전체용 액상 조성물이 없다면 복합유전체용 액상 조성물을 채우게 되나, 복합유전체용 액상 조성물을 채우기 위한 공간에 복합유전체용 액상 조성물이 있다면 복합유전체용 액상 조성물을 상기 분사통로(322)로 밀어내지 못하는 수준에서 복합유전체용 액상 조성물을 채울 수 있다.That is, if there is no liquid composition for the composite dielectric in the space to fill the liquid composition for the composite dielectric, the liquid composition for the composite dielectric is filled, but if the liquid composition for the composite dielectric in the space for filling the liquid composition for the composite dielectric liquid composition for the composite dielectric It may fill the liquid composition for the composite dielectric at a level that can not be pushed to the injection passage (322).

커버유닛(40)은 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 상부지지체(20) 하강 시 상기 인젝션유닛(30)과 함께 하강하고 상기 인젝션유닛(30)에 의해 복합유전체용 액상 조성물이 분사될 때에 절연기판을 외부로부터 차단하기 위한 것으로, 상기 하부하우징(32)의 액상격벽(321) 양측에 연결되는 챔버(41), 상기 챔버(41)의 내부에 형성되어 복합유전체용 액상 조성물이 채워지는 공간과 상호 연통되면서 하방 개구(開口)된 내부공간부(42), 상기 내부공간부(42)에 상하 슬라이딩 되게 배치되는 로드(43), 상기 로드(43)의 단부에 결합되며 상부 및 측부가 막혀 있으면서 하방 개구된 원통 형상의 커버부재(44), 복합유전체용 액상 조성물이 채워지는 공간과 상기 내부공간부(42) 간의 상호 연결 영역에 배치되어 이들을 구획하며 압력 발생용 액체가 채워지는 공간에 작용하는 압력이 복합유전체용 액상 조성물을 거쳐 상기 내부공간부(42)로 전달되도록 하는 서브구획부(45), 그리고 상기 서브구획부(45)로 전달된 압력이 해제될 때에 상기 로드(43)를 원위치로 복귀시키는 리턴수단(46)을 포함하여 이루어진다.As shown in FIGS. 2 to 6, the cover unit 40 descends together with the injection unit 30 when the upper support 20 descends, and the liquid composition for the composite dielectric is injected by the injection unit 30. When the insulating substrate is to be cut off from the outside, the chamber 41 is connected to both sides of the liquid partition wall 321 of the lower housing 32, is formed in the chamber 41 is filled with the liquid composition for the composite dielectric Is in communication with the space and the lower opening (開口) the inner space 42, the rod 43 is arranged to slide up and down in the inner space 42, coupled to the end of the rod 43, the upper and side Spaced in the interconnection area between the cylindrical cover member 44, the lower opening and the liquid composition for the composite dielectric, and the inner space portion 42, which are blocked and partitioned and filled with the pressure generating liquid. Action When the pressure is delivered to the sub-compartment portion 45, and the pressure transmitted to the sub-compartment portion 45 through the liquid composition for the composite dielectric to be released to the rod 43 And return means 46 for returning to the original position.

여기서 도 2에서와 같이, 상기 챔버(41)는 상기 하부하우징(32)에 일체로 연결되거나 별도로 제작한 후 결합 및 분리되게 장착될 수 있으며, 상기 액상격벽(321)에서 서로 마주하는 반대편 측부에 연결되게 한 쌍이 구비된다.Here, as shown in FIG. 2, the chamber 41 may be integrally connected to the lower housing 32 or manufactured separately and then coupled and separated, and on opposite sides of the liquid partition wall 321 facing each other. A pair is provided to be connected.

그리고 상기 내부공간부(42)에서 상기 로드(43)가 배치되는 공간 영역은 원통의 공간 구조인 것이 바람직하고, 이로 인해 상기 로드(43) 또한 원통의 입체 구조인 것이 바람직하다.In addition, the space area in which the rod 43 is disposed in the inner space portion 42 is preferably a cylindrical space structure, and thus, the rod 43 is also preferably a cylindrical three-dimensional structure.

그리고 상기 서브구획부(45)는 전술한 구획부(33)와 마찬가지로, 탄성 재질로 형성될 수 있고, 특히 실리콘고무(silicone rubber) 등으로 제작할 수 있다. 또한 급격한 팽창으로 인해 가장자리와 중심 부근이 먼저 손상될 우려가 있기 때문에 상기 서브구획부(45)는 급격한 팽창으로 인해 가장자리와 중심 부근을 보강하는 것이 바람직하다.In addition, the sub-compartment part 45 may be formed of an elastic material similarly to the above-described partition part 33, and may be made of, for example, silicone rubber. In addition, since the edge and the vicinity of the center may be damaged first due to rapid expansion, the sub-compartment 45 may preferably reinforce the edge and the vicinity of the center due to the rapid expansion.

그리고 도 5에서와 같이, 상기 리턴수단(46)은 상기 로드(43)의 중단부에 외주연을 따라 요입되게 형성되는 단턱공간부(461)와, 상기 내부공간부(42)의 내주연에서 상기 단턱공간부(461)와 대응되는 영역에 상하 폭이 좁으면서 돌출되어 상기 단턱공간부(461) 내에 배치되는 스토퍼(462)와, 상기 단턱공간부(461)의 상부면과 상기 스토퍼(462)의 상단 사이에 개재(介在)되는 리턴스프링(463)으로 이루어진다. 결국 상기 로드(43) 하강 시 상기 리턴스프링(463)이 압축되고 상기 내부공간부(42)로의 압력 전달이 해제되면 상기 리턴스프링(463)의 복원력에 의해 상기 로드(43)가 원위치로 복귀된다.And, as shown in Figure 5, the return means 46 is a stepped space portion 461 formed in the recessed portion along the outer periphery of the rod 43, and in the inner periphery of the inner space portion 42 A stopper 462 protruding with a narrow upper and lower width in an area corresponding to the stepped space part 461 and disposed in the stepped space part 461, an upper surface of the stepped space part 461, and the stopper 462. It consists of a return spring 463 interposed between the upper end of (). As a result, when the return spring 463 is compressed and the pressure transmission to the inner space 42 is released when the rod 43 descends, the rod 43 returns to its original position by the restoring force of the return spring 463. .

따라서 도 6에서와 같이, 상기 커버유닛(40)은 상기 상부지지체(20) 하강 시 상기 인젝션유닛(30)과 함께 하강하고, 압력 발생용 액체의 팽창에 의해 상기 구획부(33)가 변형되며, 이때 압력을 받은 복합유전체용 액상 조성물에 의해 상기 서브구획부(45) 또한 변형되고, 상기 내부공간부(42)에 채워진 공기로 전달되는 압력에 의해 상기 로드(43)가 하강하게 됨으로써, 상기 로드(43)에 연결된 상기 커버부재(44)가 절연기판을 덮어 밀폐시키게 된 이후에 상기 인젝션유닛(30)에 의해 복합유전체용 액상 조성물이 절연기판의 접지전극 측으로 분사된다.Therefore, as shown in FIG. 6, the cover unit 40 descends together with the injection unit 30 when the upper support 20 descends, and the partition 33 is deformed by the expansion of the pressure generating liquid. In this case, the sub-compartment part 45 is also deformed by the liquid composition for the composite dielectric under pressure, and the rod 43 is lowered by the pressure transmitted to the air filled in the inner space part 42. After the cover member 44 connected to the rod 43 covers and seals the insulating substrate, the liquid composition for the composite dielectric is injected by the injection unit 30 to the ground electrode side of the insulating substrate.

도 6에서와 같이, 상기 커버유닛(40)은 상기 내부공간부(42)에 배치되어 상기 서브구획부(45)로 전달된 압력이 상기 로드(43)의 상단에 집중되도록 안내하는 가이드(47)를 더 포함하는데,As shown in FIG. 6, the cover unit 40 is disposed in the inner space 42 and guides 47 to guide the pressure transmitted to the sub-compartment 45 to be concentrated on the top of the rod 43. ),

상기 가이드(47)는 상기 내부공간부(42)에 채워진 밀폐된 공기 등이 상기 서브구획부(45)에서 전달된 압력에 의해 상기 로드(43)의 단부 측으로 집중되도록 상기 내부공간부(42)에서 방향 전환이 이루어지는 모서리 영역에 배치되고, 특히 안쪽으로 움푹 들어간 호형(弧形)의 표면 구조를 갖는다.The guide 47 has the inner space 42 so that the sealed air filled in the inner space 42 is concentrated toward the end of the rod 43 by the pressure transmitted from the sub-compartment 45. It is arranged in the corner region where the redirection is made, and has an arcuate surface structure which is recessed inward.

도 7 및 도 8에서와 같이, 상기 커버유닛(40)은 상기 내부공간부(42)에서 상기 가이드(47)를 상기 서브구획부(45) 측으로 진퇴(進退)시켜 상기 내부공간부(42)에 압력을 전달하여 상기 로드(43)의 위치를 상하로 조절하기 위한 변위(變位)수단(48)을 더 포함하는데,As shown in FIGS. 7 and 8, the cover unit 40 advances and retracts the guide 47 from the inner space 42 to the sub-compartment 45 to the inner space 42. Displacement means 48 for transmitting the pressure to the rod 43 to adjust the position of the up and down further,

상기 변위수단(48)은 상기 챔버(41)에서 관통되어 상기 가이드(47)에 단부가 연결되는 진퇴피스톤(481)과, 상기 진퇴피스톤(481)의 일부가 내장되어 공압 또는 유압에 의해 선택적으로 상기 진퇴피스톤(481)을 동작케 하는 공압 또는 유압의 실린더본체(482)로 이루어진다.The displacement means 48 penetrates through the chamber 41 and has an end portion connected to the guide 47, and a part of the advancing piston 481 is selectively embedded by pneumatic or hydraulic pressure. It consists of a cylinder body 482 of pneumatic or hydraulic pressure to operate the forward and backward piston 481.

결국 도 8에서와 같이 상기 변위수단(48)의 실린더본체(482)에 의해 동작되는 진퇴피스톤(481)이 전진하게 되면 상기 가이드(47) 또한 전진하게 되면서 상기 내부공간부(42)에 압력이 전달되고, 이로 인해 상기 로드(43)의 위치가 하부 측으로 좀 더 이동되어 최초 위치로부터 변위된 상태에서 상기 서브구획부(45)로 전달된 압력에 의해 상기 로드(43)가 하강하게 됨으로써, 상기 로드(43) 및 이에 연결된 상기 커버부재(44)에 대한 하강 위치를 조절할 수 있는 것이다.As a result, as shown in FIG. 8, when the retreating piston 481 operated by the cylinder body 482 of the displacement means 48 moves forward, the guide 47 also moves forward while pressure is applied to the inner space 42. And the rod 43 is lowered by the pressure transmitted to the sub-compartment 45 in a state where the position of the rod 43 is moved to the lower side and displaced from the initial position. The lowering position of the rod 43 and the cover member 44 connected thereto may be adjusted.

이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 "회로기판의 임베디드 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치"를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.In the above description of the present invention, the liquid crystal coating apparatus for a composite dielectric for an embedded electronic device having a specific shape and structure has been described with reference to the accompanying drawings, but the present invention has been modified and modified by those skilled in the art. Modifications are possible and such modifications and variations should be construed as falling within the protection scope of the present invention.

1 : 회로기판
10 : 하부지지체
11 : 베이스
12 : 지그
13 : 포스트
14 : 고정플레이트
20 : 상부지지체
21 : 상부브래킷
211 : 수용공간부
22 : 서포트플레이트
23 : 승강수단
231 : 승강피스톤
232 : 실린더본체
233 : 승강가이드
30 : 인젝션유닛
31 : 상부하우징
311 : 압력격벽
312 : 투광렌즈
32 : 하부하우징
321 : 액상격벽
322 : 분사통로
323 : 분사노즐
325 : 보충구
326 : 공급부
33 : 구획부
34 : 역류방지밸브
341 : 입구
342 : 슬릿
35 : 에너지집중장치
40 : 커버유닛
41 : 챔버
42 : 내부공간부
43 : 로드
44 : 커버부재
45 : 서브구획부
46 : 리턴수단
461 : 단턱공간부
462 : 스토퍼
463 : 리턴스프링
47 : 가이드
48 : 변위수단
481 : 진퇴피스톤
482 : 실린더본체
1: circuit board
10: lower support
11: base
12: jig
13: post
14: fixed plate
20: upper support
21: upper bracket
211: accommodation space
22: Support Plate
23: lifting means
231: lifting piston
232: cylinder body
233: lifting guide
30: injection unit
31: upper housing
311: pressure partition
312 floodlight lens
32: lower housing
321: liquid bulkhead
322: injection passage
323: injection nozzle
325: supplement
326: supply unit
33: compartment
34: check valve
341: entrance
342 slit
35: energy intensive device
40: cover unit
41: chamber
42: interior space
43: loading
44: cover member
45: sub compartment
46: return means
461: step space
462: Stopper
463: return spring
47: Guide
48: displacement means
481: Jindo Piston
482: cylinder body

Claims (4)

절연기판 상에 형성되는 접지전극과, 복합유전체용 액상 조성물이 상기 접지전극 상에 도포되어 형성되는 복합유전체인 박막과, 상기 박막의 표면 또는 내부에 형성되는 배선층으로 이루어진 회로기판(1)에서 상기 접지전극 상에 복합유전체용 액상 조성물을 도포시키기 위해,
상기 절연기판이 안착되는 하부지지체(10);
상기 하부지지체(10) 상부 측에 배치되어 하강하는 상부지지체(20);
상기 상부지지체(20)에 설치되고, 상측에 압력 발생용 액체가 채워지며 하측에 복합유전체용 액상 조성물이 채워진 상태에서 압력 발생용 액체의 팽창에 의한 압력에 의해 밀린 복합유전체용 액상 조성물이 상기 절연기판에서 접지전극 상에 분사되는 구조로 이루어진 인젝션유닛(30); 및
상기 상부지지체(20) 하강 시 상기 인젝션유닛(30)과 함께 하강하고 상기 인젝션유닛(30)에 의해 복합유전체용 액상 조성물이 분사될 때에 절연기판을 외부로부터 차단하게 되는 커버유닛(40);으로 이루어지고,
상기 인젝션유닛(30)은,
측면을 감싸는 압력격벽(311)에 의해 원통 형상을 이루고 상부 측 밀폐 영역에 투광렌즈(312)를 갖는 상부하우징(31)과,
측면을 감싸는 액상격벽(321) 및 상기 압력격벽(311)으로부터 연장 형성되어 복합유전체용 액상 조성물의 분사통로(322)가 하부 측에 배치되는 분사노즐(323)을 포함하고, 상기 상부하우징(31)과 서로 연결 또는 연장 형성되는 하부하우징(32)과,
상기 상부하우징(31)과 하부하우징(32) 사이에 구비되어 상기 상부하우징(31) 측 압력 발생용 액체가 채워지는 공간과, 상기 하부하우징(32) 측 복합유전체용 액상 조성물이 채워지는 공간을 구획하되, 압력 발생용 액체가 채워지는 공간에 작용하는 압력을 복합유전체용 액상 조성물이 채워지는 공간에 전달하는 구획부(33)로 이루어진 것을 특징으로 하는 회로기판의 임베디드 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치.
In the circuit board (1) consisting of a ground electrode formed on an insulating substrate, a thin film of a composite dielectric formed by applying a liquid composition for a composite dielectric on the ground electrode, and a wiring layer formed on or in the thin film; In order to apply the liquid composition for the composite dielectric on the ground electrode,
A lower support 10 on which the insulating substrate is seated;
An upper support 20 which is disposed on an upper side of the lower support 10 and descends;
The insulating composition is installed on the upper support 20, the liquid composition for the composite dielectric is pushed by the pressure due to the expansion of the pressure-generating liquid in the state that the pressure generating liquid is filled on the upper side and the liquid composition for the composite dielectric on the lower side is the insulation An injection unit 30 having a structure sprayed on the ground electrode from the substrate; And
A cover unit 40 which lowers together with the injection unit 30 when the upper support 20 descends and blocks the insulating substrate from the outside when the liquid composition for composite dielectric is injected by the injection unit 30; Done,
The injection unit 30,
An upper housing 31 having a cylindrical shape by a pressure partition 311 surrounding the side and having a light transmitting lens 312 in the upper side sealing region;
A liquid crystal partition 321 surrounding the side and the pressure partition 311 is formed extending from the injection passage 322 of the liquid composition for the composite dielectric is disposed on the lower side, the upper housing 31 A lower housing 32 connected to or extending from each other)
The space between the upper housing 31 and the lower housing 32 is filled with the liquid for pressure generation on the upper housing 31 side, and the space where the liquid composition for the composite dielectric on the lower housing 32 side is filled. Compartment, but for the composite dielectric for the embedded electronic device of the circuit board, characterized in that consisting of a partition portion 33 for transmitting the pressure acting on the space filled with the liquid for pressure generation to the space filled with the liquid composition for the composite dielectric Liquid composition coating device.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 커버유닛(40)은
상기 하부하우징(32)의 액상격벽(321) 양측에 연결되는 챔버(41)와,
상기 챔버(41)의 내부에 형성되어 복합유전체용 액상 조성물이 채워지는 공간과 상호 연통되면서 하방 개구(開口)된 내부공간부(42)와,
상기 내부공간부(42)에 상하 슬라이딩 되게 배치되는 로드(43)와,
상기 로드(43)의 단부에 결합되며 상부 및 측부가 막혀 있으면서 하방 개구된 원통 형상의 커버부재(44)와,
복합유전체용 액상 조성물이 채워지는 공간과 상기 내부공간부(42) 간의 상호 연결 영역에 배치되어 이들을 구획하며 압력 발생용 액체가 채워지는 공간에 작용하는 압력이 복합유전체용 액상 조성물을 거쳐 상기 내부공간부(42)로 전달되도록 하는 서브구획부(45)와,
상기 서브구획부(45)로 전달된 압력이 해제될 때에 상기 로드(43)를 원위치로 복귀시키는 리턴수단(46)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 회로기판의 임베디드 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치.
The method of claim 1,
The cover unit 40 is
A chamber 41 connected to both sides of the liquid partition wall 321 of the lower housing 32;
An internal space portion 42 formed in the chamber 41 and communicating downwardly with the space in which the liquid composition for the composite dielectric is filled, and having a lower opening;
A rod 43 disposed to be slid up and down in the internal space 42;
A cylindrical cover member 44 which is coupled to an end of the rod 43 and has a top and a side blocked and opened downward;
The internal space is placed in the interconnection area between the space where the liquid composition for the composite dielectric is filled and the space between the inner space part 42 and acts on the space where the liquid for pressure generation is filled. A sub compartment 45 to be delivered to the unit 42,
Liquid composition coating for a composite dielectric for an embedded electronic device of a circuit board, characterized in that consisting of a return means 46 for returning the rod 43 to its original position when the pressure transmitted to the sub-compartment 45 is released. Device.
제 1 항 또는 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복합유전체는 무기 유전체와 불소화 방향족 폴리머를 함유하고,
상기 불소화 방향족 폴리머로는 폴리이미드, 폴리에테르, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리에테르술폰, 폴리아미드에테르, 폴리아미드, 폴리에테르니트릴, 폴리에스테르 중 선택된 1종의 중합체인 것을 특징으로 하는 회로기판의 임베디드 전자소자를 위한 복합유전체용 액상 조성물 코팅 장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The composite dielectric contains an inorganic dielectric and a fluorinated aromatic polymer,
The fluorinated aromatic polymer is a circuit board comprising at least one polymer selected from polyimide, polyether, polyetherimide, polyether ketone, polyether sulfone, polyamide ether, polyamide, polyethernitrile and polyester. Liquid composition coating apparatus for a composite dielectric for an embedded electronic device.
KR1020190055338A 2019-05-11 2019-05-11 Coating apparatus KR102071367B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190055338A KR102071367B1 (en) 2019-05-11 2019-05-11 Coating apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190055338A KR102071367B1 (en) 2019-05-11 2019-05-11 Coating apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102071367B1 true KR102071367B1 (en) 2020-01-30

Family

ID=69321325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190055338A KR102071367B1 (en) 2019-05-11 2019-05-11 Coating apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102071367B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114160366A (en) * 2021-10-13 2022-03-11 惠州市盈旺精密技术有限公司 Pressure maintaining jig dismounting and clamping equipment and mobile phone glue dispensing automatic production line

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06198231A (en) * 1993-01-06 1994-07-19 Fujitsu Ltd Adhesive coating mechanism
JP2007005531A (en) * 2005-06-23 2007-01-11 Murata Mfg Co Ltd Composite molding, its manufacturing method, and film capacitor
KR100923542B1 (en) 2007-11-14 2009-10-27 한국생산기술연구원 Package apparatus including embedded chip using releasing member and method of fabricating the same
JP2010110737A (en) * 2008-11-10 2010-05-20 Toshiba Corp Application device
KR101075645B1 (en) 2010-08-18 2011-10-21 삼성전기주식회사 Method for manufacturing embedded circuit board
KR101602318B1 (en) 2015-09-24 2016-03-10 주식회사 플렉스컴 Method for manufacturing the Embedded FPCB
JP2016155251A (en) * 2015-02-23 2016-09-01 セイコーエプソン株式会社 Liquid jet device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06198231A (en) * 1993-01-06 1994-07-19 Fujitsu Ltd Adhesive coating mechanism
JP2007005531A (en) * 2005-06-23 2007-01-11 Murata Mfg Co Ltd Composite molding, its manufacturing method, and film capacitor
KR100923542B1 (en) 2007-11-14 2009-10-27 한국생산기술연구원 Package apparatus including embedded chip using releasing member and method of fabricating the same
JP2010110737A (en) * 2008-11-10 2010-05-20 Toshiba Corp Application device
KR101075645B1 (en) 2010-08-18 2011-10-21 삼성전기주식회사 Method for manufacturing embedded circuit board
JP2016155251A (en) * 2015-02-23 2016-09-01 セイコーエプソン株式会社 Liquid jet device
KR101602318B1 (en) 2015-09-24 2016-03-10 주식회사 플렉스컴 Method for manufacturing the Embedded FPCB

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114160366A (en) * 2021-10-13 2022-03-11 惠州市盈旺精密技术有限公司 Pressure maintaining jig dismounting and clamping equipment and mobile phone glue dispensing automatic production line

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102129364B1 (en) Coating apparatus
US6931725B2 (en) Circuit component built-in module, radio device having the same, and method for producing the same
EP1233663B1 (en) Via fill compositions for direct attach of devices and methods for applying same
CN101621011B (en) Method for mutually connecting substrates, flip chip mounting body, and mutual connection structure between substrates
EP1267597B1 (en) Printed wiring board with embedded electric device and method for manufacturing printed wiring board with embedded electric device
RU2464635C2 (en) Method of producing contactless microelectronic device, particularly for electronic passport
US7180169B2 (en) Circuit component built-in module and method for manufacturing the same
EP1304742B1 (en) Method for producing a component built-in module
KR101194713B1 (en) Module, wiring board and module manufacturing method
US6780493B2 (en) Wiring board and a process of producing a wiring board
CN101542705A (en) Electronic component mounting structure and method for manufacturing the same
US20090028491A1 (en) Interconnect structure
CN102405692A (en) Manufacturing method for circuit board, and circuit board
KR20090130727A (en) Printed circuit board with electronic components embedded therein and method for fabricating the same
KR102071367B1 (en) Coating apparatus
US20200066544A1 (en) Electronics package with integrated interconnect structure and method of manufacturing thereof
CN110634805B (en) Component carrier and method for manufacturing the same
US20180063965A1 (en) Matching Inclination of Cavity Sidewall and Medium Supply Device for Manufacturing Component Carrier
US20190281705A1 (en) Circuit board, electronic circuit device, and production method of circuit board
JP2003188340A (en) Part incorporating module and its manufacturing method
KR20120067312A (en) Wiring board and method of manufacturing the same
US20220190464A1 (en) Component Carrier Having at Least a Part Formed as a Three-Dimensionally Printed Structure Forming an Antenna
JP2005039227A (en) Module with built-in semiconductor, and its manufacturing method
KR102129365B1 (en) Coating apparatus
US6720500B1 (en) Plug-in type electronic control unit, structure of connection of wiring board with plug member, unit of connection of electronic part with wiring board, and process for mounting electronic part

Legal Events

Date Code Title Description
GRNT Written decision to grant