KR102070644B1 - Mixed metalizing structure for skutterudite thermoelectric materials, metalizing method for skutterudite thermoelectric materials, skutterudite thermoelectric materials with mixed metalizing structure and manufacturing method for the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스커테루다이트 열전소재용 혼합 메탈라이징 구조에 관한 것으로, 스커테루다이트 열전소재의 표면에 형성되는 메탈라이징 구조로서, CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co가 혼합된 재질인 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 스커테루다이트 열전소재의 확산을 방지할 수 있는 CoSi2를 사용하되 낮은 접촉 저항 문제를 해결하기 위하여 Co를 혼합하여 사용함으로써, 스커테루다이트 열전소재를 중고온에서 장시간 사용하여도 확산에 의한 성능 저하 없이 안정적으로 운영할 수 있을 뿐만 아니라 낮은 접촉저항으로 인하여 열전 모듈의 효율이 향상되는 뛰어난 효과가 있다.
최종적으로, 스커테루다이트 열전소재를 사용한 열전발전모듈의 수명과 안정성 및 효율이 모두 향상되어, 장기적으로 열전발전모듈의 발전효율이 크게 향상되는 뛰어난 효과가 있다.
The present invention relates to a mixed metallizing structure for the skutterrudite thermoelectric material, which is a metallizing structure formed on the surface of the skutterrudite thermoelectric material, characterized in that the CoSi 2 compound and the pure metal Co is mixed. do.
The present invention, by using CoSi2 which can prevent the diffusion of the skutterrudite thermoelectric material, by using Co mixed to solve the problem of low contact resistance, even if used for a long time at high temperatures Not only can it be operated stably without degrading performance due to diffusion, it has an excellent effect of improving the efficiency of the thermoelectric module due to low contact resistance.
Finally, the lifespan, stability and efficiency of the thermoelectric power module using the scrutherite thermoelectric material are all improved, so that the power generation efficiency of the thermoelectric power module is greatly improved in the long term.

Figure 112018006709926-pat00001
Figure 112018006709926-pat00001

Description

스커테루다이트 열전소재용 혼합 메탈라이징 구조, 스커테루다이트 열전소재의 혼합 메탈라이징 형성 방법, 혼합 메탈라이징 처리된 스커테루다이트 열전소재 및 이의 제조방법{MIXED METALIZING STRUCTURE FOR SKUTTERUDITE THERMOELECTRIC MATERIALS, METALIZING METHOD FOR SKUTTERUDITE THERMOELECTRIC MATERIALS, SKUTTERUDITE THERMOELECTRIC MATERIALS WITH MIXED METALIZING STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME}MIXED METALIZING STRUCTURE FOR SKUTTERUDITE THERMOELECTRIC MATERIALS, METALIZING METHOD FOR SKUTTERUDITE THERMOELECTRIC MATERIALS, SKUTTERUDITE THERMOELECTRIC MATERIALS WITH MIXED METALIZING STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME}

본 발명은 열전발전모듈을 구성하는 열전소재에 대한 메탈라이징 방법에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 스커테루다이트 열전소재의 메탈라이징 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a metallizing method for a thermoelectric material constituting a thermoelectric generator module, and more particularly, to a metallizing method for a scrutherite thermoelectric material.

일반적으로 열전소재는 열에너지를 전기에너지로 변환할 수 있는 재료로서 열전발전모듈을 구성하여 열전발전에 사용된다. 열전발전 기술은 에너지 하베스트 (Energy harvest) 기술의 하나로 열에너지를 전기에너지로 변환 시키는 기술을 말한다. 또한 산업체 및 다양한 폐열이 발생하는 곳에서 사용할 수 있다는 점 때문에 신재생 에너지 기술 분야에서 주목을 받고 있다.In general, a thermoelectric material is a material capable of converting thermal energy into electrical energy, and is used for thermoelectric power by constructing a thermoelectric power module. Thermoelectric power generation technology is an energy harvesting technology that converts thermal energy into electrical energy. It is also attracting attention in the field of renewable energy technology because it can be used in industrial and various waste heat generation.

수십 년간 저효율 에너지 변환 기술로 알려진 열전발전기술은 중온(300~700℃) 영역에서 10%이상의 효율이 가능한 것으로 보고되고 있으며 신규 에너지 재생기술로 크게 주목받으며 국내외에서 활발히 연구가 진행되고 있다. 특히, 중온 영역에서 열전 소재는 자동차에서 버려지고 있는 배기열(400 ~ 600℃) 등을 변환시키는데 적합하며, 상용화시 에너지 절감에 크게 기여할 것으로 기대된다. Thermoelectric power generation technology, known as low-efficiency energy conversion technology for decades, is reported to be capable of more than 10% efficiency in the mid-temperature (300 ~ 700 ℃) area. In particular, the thermoelectric material in the mid-temperature region is suitable for converting the exhaust heat (400 ~ 600 ℃), etc. discarded in automobiles, it is expected to contribute significantly to energy saving when commercialized.

여러 열전 소재 중 스커테루다이트(SKD) 열전소재는 중온 영역에서 좋은 열전 특성 및 기계적 특성을 보이는 촉망받는 소재이기 때문에 세계 여러 기관에서 스커테루다이트를 활용한 중온 열전발전 모듈을 개발하고 있다. 중온 열전발전모듈의 핵심 기술 중 하나인 메탈라이징(금속화)은 열전소재를 전극에 접합시킬 때 열전소재와 전극 간의 열팽창 계수 차이에 의한 기계적 균열을 막고 중온 영역에서 접합 계면의 지속적인 확산을 막아주는 금속 층을 열전소재 표면에 형성하는 기술이다.Among the thermoelectric materials, SKD (SKD) thermoelectric material is a promising material showing good thermoelectric and mechanical properties in the mid-temperature range, so many institutions around the world are developing mid-temperature thermoelectric power modules using scutterteite. Metallizing (metallization), one of the core technologies of the medium temperature thermoelectric power module, prevents mechanical cracking due to the difference in thermal expansion coefficient between the thermoelectric material and the electrode when joining the thermoelectric material to the electrode and prevents continuous diffusion of the bonding interface in the medium temperature region. It is a technique of forming a metal layer on the surface of a thermoelectric material.

열팽창 계수의 문제를 해결하면서 낮은 접촉저항을 나타낼 수 있는 Ti가 대표적인 메탈라이징 물질이다. Ti는 상온에서 973K까지 n형 스커테루다이트 열전소재와 비슷한 거동으로 열팽창하기 때문에 메탈라이징 이후 메탈라이징층과 열전소재 사이에 균열이 발생하지 않으며, 도 3에 도시된 것과 같이 낮은 접촉저항을 보여주었다. 하지만 도 4에 도시된 EDS 분석 결과에 나타난 것과 같이, Ti와 n형 스커테루다이트 열전 소재 원소들 간의 상호 확산이 이루어지면서 제3의 층인 금속간 화합물을 형성한 모습을 확인할 수 있다. 이러한 금속간 화합물의 형성은 결과적으로 스커테루다이트 열전 소재의 조성을 바꾸게 되면서 열전모듈의 효율을 급격히 저하시키는 요인이 된다.Ti, which can exhibit low contact resistance while solving the problem of thermal expansion coefficient, is a representative metallizing material. Ti is thermally expanded in a similar behavior to n-type scutterite thermoelectric materials from room temperature to 973K, so that no cracking occurs between the metallizing layer and the thermoelectric material after metallization, and shows low contact resistance as shown in FIG. 3. gave. However, as shown in the EDS analysis result shown in FIG. 4, it can be seen that the inter-diffusion between Ti and n-type scudrudite thermoelectric material elements is formed to form the third intermetallic compound. Formation of such an intermetallic compound results in a drastic deterioration in the efficiency of the thermoelectric module while changing the composition of the scuderiteite thermoelectric material.

미국등록특허 4855810United States Patent 4855810

본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서 스커테루다이트 열전소재의 확산을 방지하는 동시에 접촉 저항이 낮아서 열전모듈의 효율을 향상시킬 수 있는 메탈라이징 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a metallizing structure capable of improving the efficiency of a thermoelectric module because the contact resistance is low while preventing the diffusion of the scuderiteite thermoelectric material.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 스커테루다이트 열전소재용 혼합 메탈라이징 구조는, 스커테루다이트 열전소재의 표면에 형성되는 메탈라이징 구조로서, CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co가 혼합된 재질인 것을 특징으로 한다.The mixed metallizing structure for the scutterrudite thermoelectric material according to the present invention for achieving the above object is a metallizing structure formed on the surface of the scuderudite thermoelectric material, the CoSi 2 compound and the pure metal Co is mixed Characterized in that the material.

종래에 사용된 Ti 재질 메탈라이징층 등에서 발생한 확산문제를 해결하기 위하여, CoSi2 등의 Si 화합물을 확산방지를 위하여 사용하려는 연구가 진행되었다. 금속과 Si 화합물은 스커테루다이트 열전 재료에 포함된 원소의 확산을 방지하는 기능을 수행하지만, Si는 반도체 물질로 도체보다 높은 비저항을 가지고 있고, 금속과 Si 화합물인 CoSi2의 몰비가 Co보다 Si가 2배 많아서 기존 Ti 재질 메탈라이징층에서 측정되었던 10-6 μΩ·cm2 수준의 접촉저항이 10-4 μΩ·cm2 수준으로 높아져서 결과적으로 열전소재의 효율이 낮아지는 단점이 있다. 종래의 기술에서는 Si 화합물에 의한 접촉저항 상승에 따른 효율 저하 문제를 해결하지 못하였기 때문에, Si 화합물을 메탈라이징층으로서 사용하는 기술이 실용화에 이르지 못하였다.In order to solve the diffusion problem caused in the conventional metal material such as Ti metalizing layer, a study has been conducted to use a Si compound such as CoSi 2 to prevent the diffusion. Metals and Si compounds function to prevent the diffusion of elements contained in the scuderiteite thermoelectric material, but Si is a semiconductor material having a higher resistivity than a conductor, and the molar ratio of the metal and Si compound CoSi 2 is higher than that of Co. 10 -6 μΩcm 2 measured in Ti metallization layer due to 2 times more Si Level contact resistance of 10 -4 μΩcm 2 As a result, the efficiency of the thermoelectric material is lowered as a result. Since the conventional technology has not solved the problem of efficiency reduction due to the increase in contact resistance caused by the Si compound, the technique using the Si compound as the metallizing layer has not been put to practical use.

이에 본 발명의 발명자들은 Co와 Si의 화합물인 CoSi2를 사용하는 한편, 높은 접촉 저항 문제를 해결하기 위하여, CoSi2와 순수한 Co를 혼합하여 사용하는 본 발명을 개발하였다.The inventors of the present invention have developed the present invention using a mixture of, CoSi 2 and pure Co to solve the other hand, the high contact resistance problem using the CoSi 2, a compound of Co and Si.

본 발명은 CoSi2와 순수한 Co를 혼합한 재질을 메탈라이징 구조에 적용함으로써, 스커테루다이트 열전 소재의 원소들과 메탈라이징층의 원소들 사이의 확산을 방지하는 동시에 CoSi2 메탈라이징층으로 인하여 접촉저항이 높아지는 문제까지 해결하여, 실사용에 적합한 메탈라이징 구조를 제시한다.The present invention is applied to a metallizing structure by mixing a material of CoSi 2 and pure Co to the metallizing structure, thereby preventing the diffusion between the elements of the scutterrudite thermoelectric material and the elements of the metallizing layer and at the same time due to the CoSi 2 metallizing layer To solve the problem of increasing the contact resistance, to propose a metalizing structure suitable for practical use.

한편, 본 명세서에서 "스커테루다이트 열전소재"로 기재한 것은 CoSb3 또는 FeSb3 조성의 스커테루다이트 열전소재만을 지칭하는 것은 아니며, 스커테루다이트계로 표현되는 다양한 기본 조성들에 다양한 물질을 첨가 또는 도핑한 경우를 모두 포함하여 사용한 것이다.On the other hand, what is described herein as a "skutterrudite thermoelectric material" does not refer only to the scutterrudite thermoelectric material of the CoSb 3 or FeSb 3 composition, but a variety of materials in various basic compositions represented by the scutterrudite system It is used including both the case of addition or doping.

이때, CoSi2 화합물과 Co의 혼합 비율이 몰 비율로 0.9 ~ 1.1 : 0.9 ~ 1.1 범위인 것이 바람직하다.At this time, the mixing ratio of CoSi 2 compound and Co is preferably in the range of 0.9 to 1.1: 0.9 to 1.1 in molar ratio.

또한, CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 형성된 포일을 메탈라이징 구조에 적용하는 것이 좋고, 포일은 CoSi2 화합물과 Co 각각이 분말 상태로 혼합된 것이 좋으며, CoSi2 분말과 Co 분말의 평균 입경이 포일 두께의 1/10 이하인 것이 바람직하다.Further, good to apply the foil is formed by applying pressure to the CoSi 2 compound and a mixture of Co of the pure metal state mixed ingredients in metallizing structure, the foil is recommended mixed with CoSi 2 compound and the powdery Co respectively, CoSi 2 It is preferable that the average particle diameter of powder and Co powder is 1/10 or less of foil thickness.

본 발명의 다른 형태에 의한 메탈라이징 처리된 스커테루다이트 열전소재는, 표면에 메탈라이징층이 형성된 스커테루다이트 열전소재로서, 상기 메탈라이징층이 CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co가 혼합된 재질인 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, a metallized scutterrudite thermoelectric material is a scutterrudite thermoelectric material having a metallization layer formed on a surface thereof, in which the metallization layer is a CoSi 2 compound and a pure metal Co. Characterized in that the material.

이때, CoSi2 화합물과 Co의 혼합 비율이 몰 비율로 0.9 ~ 1.1 : 0.9 ~ 1.1 범위인 것이 바람직하다.At this time, the mixing ratio of CoSi 2 compound and Co is preferably in the range of 0.9 to 1.1: 0.9 to 1.1 in molar ratio.

또한, 메탈라이징층이 CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 형성된 포일인 것이 좋고, 포일은 CoSi2 화합물과 Co 각각이 분말 상태로 혼합된 것이 좋으며, CoSi2 분말과 Co 분말의 평균 입경이 포일 두께의 1/10 이하인 것이 바람직하다.In addition, the metallizing layer is preferably a foil formed by applying pressure to a mixed material of CoSi 2 compound and Co in a pure metal state, and the foil is preferably a mixture of CoSi 2 compound and Co in powder form, and CoSi 2 powder and It is preferable that the average particle diameter of Co powder is 1/10 or less of foil thickness.

그리고 메탈라이징층의 두께가 400㎛ ~ 600㎛ 범위인 것이 바람직하다.And it is preferable that the thickness of a metallizing layer is 400 micrometers-600 micrometers.

본 발명의 또 다른 형태에 의한 스커테루다이트 열전소재의 메탈라이징 방법은, 스커테루다이트 열전소재의 표면에 메탈라이징을 수행하는 방법으로서, 스커테루다이트 열전소재의 표면에 CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co가 혼합된 재질의 메탈라이징층을 형성하는 것을 특징으로 한다.According to still another aspect of the present invention, a metallizing method of a scutterrudite thermoelectric material is a method of performing metallization on the surface of a scutterrudite thermoelectric material, wherein the CoSi 2 compound and It is characterized in that to form a metallizing layer of a material in which Co in a pure metal state is mixed.

이때, CoSi2 화합물과 Co의 혼합 비율이 몰 비율로 0.9 ~ 1.1 : 0.9 ~ 1.1 범위인 것이 바람직하다.At this time, the mixing ratio of CoSi 2 compound and Co is preferably in the range of 0.9 to 1.1: 0.9 to 1.1 in molar ratio.

또한, CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 포일을 형성한 뒤에, 이 포일을 스커테루다이트 열전소재의 표면에 부착하여 수행되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the foil is formed by applying pressure to a mixed material in which a CoSi 2 compound and Co in a pure metal state are mixed, and then attaching the foil to the surface of the scuderudite thermoelectric material.

CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 포일을 형성하는 공정은, 900 ~ 1000 ℃의 온도 범위와 40 ~ 60 MPa의 압력 범위에서 수행되는 것이 바람직하다.The process of forming the foil by applying pressure to the mixed material in which the CoSi 2 compound is mixed with Co in the pure metal state is preferably performed at a temperature range of 900 to 1000 ° C. and a pressure range of 40 to 60 MPa.

CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 포일을 형성하는 공정에서, CoSi2 화합물과 Co 각각이 분말 상태로 혼합되는 것이 좋으며, CoSi2 분말과 Co 분말의 평균 입경이 포일 두께의 1/10 이하인 것이 바람직하다.In the process of forming a foil by applying pressure to a mixed material of CoSi 2 compound and pure metal Co, the CoSi 2 compound and Co are preferably mixed in a powder state, and the average particle diameter of CoSi 2 powder and Co powder is foil. It is preferable that it is 1/10 or less of thickness.

형성된 포일의 두께는 400㎛ ~ 600㎛ 범위인 것이 바람직하다.The thickness of the formed foil is preferably in the range of 400 μm to 600 μm.

본 발명의 마지막 형태에 의한 메탈라이징 처리된 스커테루다이트 열전소재의 제조방법은, 스커테루다이트 분말을 소결하여 스커테루다이트 열전소재를 제조하는 방법에 있어서, CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 포일을 형성하는 포일 형성 단계; 및 소결을 위해 장입된 스커테루다이트 분말 상에 상기 포일을 올린 상태에서 가압 소결하는 소결 단계를 포함하며, 스커테루다이트 분말이 소결되는 동시에 스커테루다이트 열전소재의 표면에 CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co가 혼합된 재질의 메탈라이징층이 형성되는 것을 특징으로 한다.In the method for producing a metallized scrutherite thermoelectric material according to the last aspect of the present invention, in the method for producing a scrutherite thermoelectric material by sintering scrutherite powder, a CoSi 2 compound and a pure metal state A foil forming step of forming a foil by applying pressure to a mixed material in which Co is mixed; And a sintering step of pressurizing and sintering the foil on the casterutite powder charged for sintering, wherein the casterutite powder is sintered and at the same time a CoSi 2 compound is formed on the surface of the casterutite thermoelectric material. It is characterized in that the metallization layer of a material in which Co in a pure metal state is mixed.

이때, CoSi2 화합물과 Co의 혼합 비율이 몰 비율로 0.9 ~ 1.1 : 0.9 ~ 1.1 범위인 것이 바람직하다.At this time, the mixing ratio of CoSi 2 compound and Co is preferably in the range of 0.9 to 1.1: 0.9 to 1.1 in molar ratio.

포일 형성 단계는, 900 ~ 1000 ℃의 온도 범위와 40 ~ 60 MPa의 압력 범위에서 수행되는 것이 바람직하다.The foil forming step is preferably performed at a temperature range of 900 to 1000 ° C and a pressure range of 40 to 60 MPa.

포일 형성 단계에서, CoSi2 화합물과 Co 각각이 분말 상태로 혼합되는 것이 좋으며, CoSi2 분말과 Co 분말의 평균 입경이 포일 두께의 1/10 이하인 것이 바람직하다.In the foil forming step, it is preferable that the CoSi 2 compound and Co are each mixed in a powder state, and the average particle diameter of the CoSi 2 powder and the Co powder is preferably 1/10 or less of the foil thickness.

포일 형성 단계에서 형성된 포일의 두께가 400㎛ ~ 600㎛ 범위인 것이 바람직하다.It is preferable that the thickness of the foil formed in the foil forming step is in the range of 400 μm to 600 μm.

상술한 바와 같이 구성된 본 발명은, 스커테루다이트 열전소재의 확산을 방지할 수 있는 CoSi2를 사용하되 낮은 접촉 저항 문제를 해결하기 위하여 Co를 혼합하여 사용함으로써, 스커테루다이트 열전소재를 중고온에서 장시간 사용하여도 확산에 의한 성능 저하 없이 안정적으로 운영할 수 있을 뿐만 아니라 낮은 접촉저항으로 인하여 열전 모듈의 효율이 향상되는 뛰어난 효과가 있다.According to the present invention configured as described above, by using CoSi2 which can prevent the diffusion of the scutterrudite thermoelectric material, but using a mixture of Co to solve the problem of low contact resistance, by using a high temperature scutterrudite thermoelectric material Even if it is used for a long time, it can be operated stably without degrading performance due to diffusion, and there is an excellent effect of improving the efficiency of the thermoelectric module due to the low contact resistance.

최종적으로, 스커테루다이트 열전소재를 사용한 열전발전모듈의 수명과 안정성 및 효율이 모두 향상되어, 장기적으로 열전발전모듈의 발전효율이 크게 향상되는 뛰어난 효과가 있다.Finally, the lifespan, stability and efficiency of the thermoelectric power module using the scrutherite thermoelectric material are all improved, so that the power generation efficiency of the thermoelectric power module is greatly improved in the long term.

도 1은 본 실시예에 따라 혼합 메탈라이징 구조를 n형 스커테루다이트 열전소재의 표면에 형성한 모습을 촬영한 전자현미경 사진이다.
도 2는 본 실시예에 따른 혼합 메탈라이징 구조와 n형 스커테루다이트 열전소재 사이의 접촉저항을 측정한 결과이다.
도 3은 종래의 Ti 재질 메탈라이징 구조를 n형 스커테루다이트 열전소재의 표면에 형성한 모습을 촬영한 전자현미경 사진이다.
도 4는 종래의 Ti 재질 메탈라이징 구조와 n형 스커테루다이트 열전소재 사이의 접촉저항을 측정한 결과이다.
FIG. 1 is an electron micrograph of the mixed metalizing structure formed on the surface of an n-type scrutherite thermoelectric material according to the present embodiment.
2 is a result of measuring the contact resistance between the mixed metallizing structure and the n-type scrutherite thermoelectric material according to the present embodiment.
FIG. 3 is an electron microscope photograph of a conventional Ti-based metallizing structure formed on the surface of an n-type scrutherite thermoelectric material.
4 is a result of measuring the contact resistance between the conventional Ti metallizing structure and the n-type skaterudite thermoelectric material.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. With reference to the accompanying drawings will be described embodiments of the present invention;

열전소재를 이용한 열전발전모듈은 열이 발생하는 곳에 설치되며, 열이 발생하는 부분에 접하는 고온부와 그 반대편에 냉각설비를 통해 냉각을 수행되는 저온부로 구분된다. 고온부는 열전발전을 위하여 높은 온도에 장시간 노출되며, 고온에 의해서 열전소재와 전극 간에 원소들이 상호 확산하여 열전소재의 열전 특성이 저하된다. 이 때문에 중 고온에서의 장기적 안정성 확보를 위해서는 전극 또는 메탈라이징층과 열전소재 간 상호 확산을 충분히 억제할 수 있는 물질을 메탈라이징 하여 확산방지층으로 적용하는 것이 좋다.Thermoelectric power generation module using a thermoelectric material is installed in a place where heat is generated, it is divided into a high temperature part in contact with the heat generating portion and a low temperature part that performs cooling through the cooling facility on the other side. The high temperature part is exposed to a high temperature for a long time for thermoelectric power generation, and elements are mutually diffused between the thermoelectric material and the electrode due to the high temperature, thereby deteriorating the thermoelectric properties of the thermoelectric material. For this reason, in order to ensure long-term stability at high temperature, it is preferable to metalize a material capable of sufficiently inhibiting interdiffusion between the electrode or the metallizing layer and the thermoelectric material and to apply it as a diffusion barrier layer.

본 발명은 메탈라이징 물질로서 CoSi2와 Co를 혼합한 혼합 재질을 사용하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 실시예로서 CoSi2와 Co를 혼합한 메탈라이징층을 형성하는 방법에 대해서 설명한다.The present invention is characterized by using a mixed material in which CoSi 2 and Co are mixed as a metallizing material. As an embodiment of the present invention, a method of forming a metalizing layer in which CoSi 2 and Co are mixed is described.

먼저, 본 실시예에서는 CoSi2와 Co를 마노 유발에서 1시간동안 혼합하여 혼합 원료를 준비한다.First, in the present embodiment, CoSi 2 and Co are mixed for 1 hour in an agate mortar to prepare a mixed raw material.

CoSi2 (Alfa, 99% metal basis)와 Co (Alfa, 99.8% metal basis) 각각을 분말상태로 준비하였으며, CoSi2 분말은 평균 입경이 50㎛ 이고, Co 분말의 입경은 평균 -100±325mesh 범위이다. 분말의 크기가 너무 큰 경우에는 포일 또는 박판 제조 시에 CoSi2와 Co가 고르게 분산되지 못하여 충분한 성능을 얻지 못하고, 분말의 크기가 작을수록 고르게 혼합되는 장점이 있지만, 제조비용이 높아지는 단점이 있다. 또한, 분말의 크기는 형성하고자 하는 메탈라이징층의 두께와도 연관되며, 메탈라이징층의 두께 내에서 고르게 분산될 수 있는 크기의 분말을 사용하여야 한다. 이를 감안하면 CoSi2 분말의 입경과 Co 분말의 입경이 메탈라이징층의 두께 대비 1/10 이하인 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 500㎛ 두께의 메탈라이징층을 형성하기 위하여 상기한 것과 같은 크기의 분말을 사용하였다.CoSi 2 (Alfa, 99% metal basis) and Co (Alfa, 99.8% metal basis), respectively, were prepared in powder form. CoSi 2 powder had an average particle diameter of 50㎛, and the average particle size of Co powder was -100 ± 325mesh. to be. When the size of the powder is too large, CoSi 2 and Co may not be uniformly dispersed during foil or sheet production, and thus, sufficient performance may not be obtained, and the powder may be mixed evenly as the size of the powder is reduced. However, the manufacturing cost increases. In addition, the size of the powder is also related to the thickness of the metallizing layer to be formed, and a powder having a size that can be uniformly dispersed within the thickness of the metallizing layer should be used. In view of this, it is preferable that the particle size of the CoSi 2 powder and the particle size of the Co powder are 1/10 or less than the thickness of the metallizing layer. In the present embodiment, a powder having the same size as described above was used to form a metallizing layer having a thickness of 500 μm.

한편, CoSi2 분말과 Co 분말의 입경에 차이가 크면, 메탈라이징층에 고르게 분산되지 못하고, 입경 분포가 높아져 스커테루다이트 열전소재의 표면에 금속화할 때에 기계적인 균열이 발생하는 문제가 있으므로, CoSi2 분말의 평균 입경과 Co 분말의 평균 입경의 차이가 ㅁ20% 이내가 되도록 구성하는 것이 좋다.On the other hand, if the difference in the particle size of the CoSi 2 powder and Co powder is large, it is not evenly dispersed in the metallizing layer, the particle size distribution is high, there is a problem that mechanical cracking occurs when metallized on the surface of the skutterrudite thermoelectric material, The difference between the average particle diameter of the CoSi 2 powder and the average particle diameter of the Co powder is preferably within 20%.

그리고 본 실시예에서는 CoSi2와 Co 를 1 : 1의 비율로 혼합하였다. 본 발명에서 CoSi2와 Co의 혼합 비율은 몰 비율(질량)로서 0.9 ~ 1.1 : 0.9 ~ 1.1 범위인 것이 바람직하다. CoSi2의 비율이 너무 높은 경우에는 접촉저항이 높아지는 단점이 있고, Co의 비율이 너무 높은 경우에는 확산방지 효율이 낮아지는 문제가 있다.In this example, CoSi 2 and Co were mixed at a ratio of 1: 1. In the present invention, the mixing ratio of CoSi 2 and Co is preferably in the range of 0.9 to 1.1: 0.9 to 1.1 as the molar ratio (mass). If the ratio of CoSi 2 is too high, there is a disadvantage that the contact resistance is high, and if the ratio of Co is too high, there is a problem that the diffusion prevention efficiency is low.

그리고 본 실시예에서는 CoSi2와 Co 가 혼합된 혼합 원료를 먼저 압축하여 혼합 재질의 포일을 만든다.In this embodiment, the mixed raw material mixed with CoSi 2 and Co is first compressed to make a foil of the mixed material.

일반적으로 스커테루다이트 열전소재를 제조하는 방법으로 소재 분말을 소결하는 방법을 많이 사용하기 때문에, 열전소재의 소결과정에서 메탈라이징층을 구성하는 물질을 분말을 함께 소결하는 방법이 적용될 수도 있다. 본 발명에서 사용되는 CoSi2와 Co는 녹는점이 높기 때문에 열전소재와 함께 소결하기 어려우므로, 본 실시예에서는 CoSi2와 Co 혼합 원료를 사용하여 혼합 포일을 만들었다.In general, since a method of manufacturing a scutterite thermoelectric material is often used to sinter the material powder, a method of sintering the powder together with the material constituting the metallization layer may be applied during the sintering process of the thermoelectric material. Since CoSi 2 and Co used in the present invention have a high melting point, it is difficult to sinter together with a thermoelectric material. In this embodiment, a mixed foil is made using CoSi 2 and Co mixed raw materials.

CoSi2와 Co의 분말이 혼합된 혼합 원료를 950 ℃의 온도에서 50 MPa의 압력으로 압축하여 500㎛ 두께의 포일을 제작하였다. 포일 제작을 위한 압축 공정은 900 ~ 1000 ℃의 온도 범위와 40 ~ 60 MPa의 압력 범위에서 수행되는 것이 바람직하다. 500 μm thick foil was prepared by compressing a mixed raw material mixed with CoSi 2 and Co powder at a pressure of 50 MPa at a temperature of 950 ° C. The compression process for fabricating the foil is preferably carried out at a temperature range of 900 ~ 1000 ℃ and a pressure range of 40 ~ 60 MPa.

한편, CoSi2와 Co의 분말이 혼합된 본 발명의 메탈라이징층은, 두께가 너무 얇은 경우에 스커테루다이트 열전소재의 표면에 금속화할 때에 기계적인 균열이 발생하는 단점이 있기 때문에 적어도 400㎛ 이상의 두께가 필요하고, 두께가 너무 두꺼운 경우에는 스커테루다이트 열전소재의 표면에 금속화할 때에 열충격에 의한 균열이 발생하는 문제가 있기 때문에 600㎛ 이하의 두께로 형성하는 것이 좋다. 따라서 이러한 메탈라이징층의 두께를 고려하여 포일의 두께를 선정하여야 하며, 본 실시예의 방법에서는 포일의 부착과정에서 포일의 두께가 거의 감소하지 않기 때문에 메탈라이징층의 두께와 동일하게 400㎛ ~ 600㎛ 두께로 포일을 제작한다.On the other hand, the metallizing layer of the present invention, in which CoSi 2 and Co powder are mixed, has a disadvantage in that mechanical cracking occurs when metallization on the surface of the scuderudite thermoelectric material when the thickness is too thin. When the above thickness is required and the thickness is too thick, it is preferable to form it with a thickness of 600 µm or less because there is a problem that cracks due to thermal shock occur when metallization on the surface of the scuderiteite thermoelectric material. Therefore, the thickness of the foil should be selected in consideration of the thickness of the metallizing layer. In the method of the present embodiment, since the thickness of the foil hardly decreases in the process of attaching the foil, the thickness of the metallizing layer is 400 μm to 600 μm. Fabricate the foil to thickness.

이상의 방법으로 제조된 CoSi2와 Co가 혼합된 재질의 포일을 미리 제조된 스커테루다이트 열전소재 잉곳(덩어리)의 표면에 다양한 방법으로 부착하여 메탈라이징층을 형성할 수 있다. 또한, 분말상태의 스커테루다이트 열전소재를 소결하여 잉곳으로 제조하는 과정에서 스커테루다이트 열전소재 분말의 일 측에 CoSi2와 Co가 혼합된 재질의 포일을 위치시켜서, 열전소재 분말의 소결과 동시에 메탈라이징층을 핫프레싱하여 형성하는 것도 가능하다.The metallized layer may be formed by attaching the foil of CoSi 2 and Co mixed by the above method to the surface of the previously prepared scutterrudite thermoelectric material ingot (lump) in various ways. In addition, in the process of sintering the powdered scutterrudite thermoelectric material to produce an ingot, the foil of the mixed material of CoSi 2 and Co is placed on one side of the scutterrudite thermoelectric material powder to sinter the thermoelectric material powder. At the same time, the metallizing layer may be formed by hot pressing.

본 실시예에서는 스커테루다이트 열전소재 분말을 소결하기 위해 장입하는 과정에서, 제조된 포일을 적층하여 함께 위치시키고, 스파크 플라즈마 신터링(SPS, Spark Plasma Sintering) 공정을 적용하여 950 ℃의 온도와 50MPa 의 압력으로 10분 동안 가압 소결함으로써, CoSi2와 Co가 혼합된 메탈라이징층이 형성된 스커테루다이트 열전소재를 제조하였다.In the present embodiment, in the process of charging the sinter tertite thermoelectric material powder, the prepared foils are laminated and placed together, and a spark plasma sintering (SPS) process is applied to a temperature of 950 ° C. By pressure sintering at a pressure of 50 MPa for 10 minutes, Scutterrudite thermoelectric material having a metallization layer in which CoSi 2 and Co were mixed was prepared.

도 1은 본 실시예에 따라 혼합 메탈라이징 구조를 n형 스커테루다이트 열전소재의 표면에 형성한 모습을 촬영한 전자현미경 사진이며, EDS 분석 결과를 함께 표시하였다.FIG. 1 is an electron micrograph of a mixed metalizing structure formed on the surface of an n-type scrutherite thermoelectric material according to the present embodiment, and the EDS analysis results are also displayed.

왼쪽의 CoSi2와 Co가 혼합된 메탈라이징층에는 짙은 색의 와 밝은 색의 Co가 혼합된 구조인 것을 확인할 수 있다. 또한, EDS 분석에서 확인할 수 있듯이, Ti 재질의 메탈라이징층과 달리, 스커테루다이트 열전소재와 메탈라이징층 사이에서 확산이 거의 진행되지 않았고 금속간 화합물도 형성되지 않은 것을 확인할 수 있다.It can be seen that the metallization layer in which CoSi 2 and Co are mixed on the left has a structure in which dark and light Co are mixed. In addition, as can be seen in the EDS analysis, unlike the metallization layer made of Ti, it can be seen that diffusion did not substantially progress between the scudrudite thermoelectric material and the metallization layer, and no intermetallic compound was formed.

도 2는 본 실시예에 따른 혼합 메탈라이징 구조와 n형 스커테루다이트 열전소재 사이의 접촉저항을 측정한 결과이다.2 is a result of measuring the contact resistance between the mixed metallizing structure and the n-type scrutherite thermoelectric material according to the present embodiment.

CoSi2와 Co가 혼합된 메탈라이징층과 n형 스커테루다이트가 접촉하는 계면에서의 접촉저항을 측정한 결과, Ti 재질의 메탈라이징층을 적용한 경우보다도 낮은 접촉저항을 나타내는 것으로 측정되었다.As a result of measuring the contact resistance at the interface where the metallized layer mixed with CoSi 2 and Co and the n-type scriberite contacted, the contact resistance was lower than that when the metallized layer made of Ti was applied.

앞서 살펴본 도 1에 나타난 것과 같이 메탈라이징층과 스커테루다이트 열전소재 사이에 원소 확산에 따른 문제가 발생하지 않으면서도, 메탈라이징층과 스커테루다이트 열전소재 사이의 접촉저항이 매우 작은 것으로 확인됨으로써, 본 실시예의 메탈라이징층을 적용하는 경우에 낮은 접촉저항으로 인한 효율 향상과 함께 장기적인 사용에서도 안정성을 나타낼 것임을 알 수 있다.As shown in FIG. 1, the contact resistance between the metallizing layer and the scrutherite thermoelectric material is very small, without causing an element diffusion problem between the metallizing layer and the scrutherite thermoelectric material. By doing so, it can be seen that in the case of applying the metallizing layer of the present embodiment, stability will be exhibited even in long-term use with efficiency improvement due to low contact resistance.

이상 본 발명을 바람직한 실시예를 통하여 설명하였는데, 상술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화가 가능함은 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 보호범위는 특정 실시예가 아니라 특허청구범위에 기재된 사항에 의해 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상도 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been described through the preferred embodiments, the above-described embodiments are merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes are possible within the scope without departing from the technical idea of the present invention. Those of ordinary skill will understand. Therefore, the protection scope of the present invention should be interpreted not by the specific embodiments, but by the matters described in the claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

Claims (26)

스커테루다이트 열전소재의 표면에 형성되는 메탈라이징 구조로서,
CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co가 0.9~1.1 : 0.9~1.1 범위의 몰비율로 단순 혼합된 재질인 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재용 혼합 메탈라이징 구조.
As a metallizing structure formed on the surface of a scarteriteite thermoelectric material,
A mixed metallizing structure for a scutterrudite thermoelectric material, characterized in that the CoSi 2 compound and pure metal Co are simply mixed in a molar ratio of 0.9 to 1.1: 0.9 to 1.1.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 메탈라이징 구조가 CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 형성된 포일인 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재용 혼합 메탈라이징 구조.
The method according to claim 1,
Said metallizing structure is a mixed metallizing structure for scutterrudite thermoelectric material, characterized in that the foil formed by applying pressure to a mixed material of CoSi 2 compound and Co in the pure metal state.
청구항 3에 있어서,
CoSi2 화합물과 Co 각각이 분말 상태로 혼합된 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재용 혼합 메탈라이징 구조.
The method according to claim 3,
A mixed metallizing structure for a scarterudite thermoelectric material, characterized in that the CoSi 2 compound and Co are each mixed in a powder state.
청구항 4에 있어서,
CoSi2 분말과 Co 분말의 평균 입경이 포일 두께의 1/10 이하인 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재용 혼합 메탈라이징 구조.
The method according to claim 4,
A mixed metallizing structure for a scarterudite thermoelectric material, wherein an average particle diameter of the CoSi 2 powder and the Co powder is 1/10 or less of the foil thickness.
표면에 메탈라이징층이 형성된 스커테루다이트 열전소재로서,
상기 메탈라이징층이 CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co가 0.9~1.1 : 0.9~1.1 범위의 몰비율로 단순 혼합된 재질인 것을 특징으로 하는 메탈라이징 처리된 스커테루다이트 열전소재.
As a sciderrudite thermoelectric material having a metallization layer formed on its surface,
The metallizing scutterrudite thermoelectric material, characterized in that the metallizing layer is a material in which the CoSi 2 compound and the pure metal Co are simply mixed at a molar ratio in the range of 0.9 to 1.1: 0.9 to 1.1.
삭제delete 청구항 6에 있어서,
상기 메탈라이징층이 CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 형성된 포일인 것을 특징으로 하는 메탈라이징 처리된 스커테루다이트 열전소재.
The method according to claim 6,
And the metallizing layer is a foil formed by applying pressure to a mixed material in which CoSi 2 compound and Co in a pure metal state are mixed.
청구항 8에 있어서,
CoSi2 화합물과 Co 각각이 분말 상태로 혼합된 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재.
The method according to claim 8,
Scutterrudite thermoelectric material, characterized in that the CoSi 2 compound and Co each mixed in a powder state.
청구항 9에 있어서,
CoSi2 분말과 Co 분말의 평균 입경이 포일 두께의 1/10 이하인 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재.
The method according to claim 9,
Scutterrudite thermoelectric material, characterized in that the average particle diameter of CoSi 2 powder and Co powder is 1/10 or less of the foil thickness.
청구항 6에 있어서,
상기 메탈라이징층의 두께가 400㎛ ~ 600㎛ 범위인 것을 특징으로 하는 메탈라이징 처리된 스커테루다이트 열전소재.
The method according to claim 6,
The metallized scutterrudite thermoelectric material, characterized in that the thickness of the metallizing layer is in the range of 400㎛ ~ 600㎛.
스커테루다이트 열전소재의 표면에 메탈라이징층을 형성하는 메탈라이징 방법으로서,
스커테루다이트 열전소재의 표면에 CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co가 0.9~1.1 : 0.9~1.1 범위의 몰비율로 단순 혼합된 재질의 메탈라이징층을 형성하는 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재의 메탈라이징 방법.
As a metallizing method of forming a metallizing layer on the surface of a scarrudite thermoelectric material,
Scutterrudite thermoelectric, characterized in that to form a metallization layer of a simple mixed material CoSi 2 compound and pure metal Co in the molar ratio of 0.9 to 1.1: 0.9 to 1.1 on the surface of the scutterrudite thermoelectric material Metallizing method of the material.
삭제delete ◈청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈Claim 14 has been abandoned upon payment of a set-up fee. 청구항 12에 있어서,
CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 포일을 형성한 뒤에, 이 포일을 스커테루다이트 열전소재의 표면에 부착하여 수행되는 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재의 메탈라이징 방법.
The method according to claim 12,
After forming a foil by applying pressure to a mixed material in which a CoSi 2 compound and Co in a pure metal state are mixed, the foil is adhered to the surface of the scarterudite thermoelectric material. Metallizing method.
◈청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈Claim 15 was abandoned upon payment of a set-up fee. 청구항 14에 있어서,
CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 포일을 형성하는 공정이 900 ~ 1000 ℃의 온도 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재의 메탈라이징 방법.
The method according to claim 14,
A method of metallizing a scutterite thermoelectric material, characterized in that the step of forming a foil by applying pressure to a mixed material of CoSi 2 compound and Co in the pure metal state is carried out in the temperature range of 900 ~ 1000 ℃.
◈청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈Claim 16 was abandoned upon payment of a set-up fee. 청구항 14에 있어서,
CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 포일을 형성하는 공정이 40 ~ 60 MPa의 압력 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재의 메탈라이징 방법.
The method according to claim 14,
The method of forming a foil by applying pressure to a mixed material in which a CoSi 2 compound and Co in a pure metal state is mixed is carried out in a pressure range of 40 to 60 MPa.
◈청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈Claim 17 was abandoned upon payment of a set-up fee. 청구항 14에 있어서,
CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 포일을 형성하는 공정에서 CoSi2 화합물과 Co 각각이 분말 상태로 혼합되는 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재의 메탈라이징 방법.
The method according to claim 14,
CoSi 2 compound and hibiscus Teruel metallizing method of die bit thermoelectric material that in a process for the Co in the pure metal state by applying pressure on a mixed material mixture to form a foil, characterized in that the mixture to CoSi 2 compound and a Co powder state, respectively.
◈청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈Claim 18 has been abandoned upon payment of a set-up fee. 청구항 17에 있어서,
CoSi2 분말과 Co 분말의 평균 입경이 형성되는 포일 두께의 1/10 이하인 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재의 메탈라이징 방법.
The method according to claim 17,
A metallizing method for a scutterrudite thermoelectric material, characterized in that the average particle diameter of CoSi 2 powder and Co powder is 1/10 or less of the thickness of the foil.
◈청구항 19은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈Claim 19 was abandoned upon payment of a set-up fee. 청구항 14에 있어서,
상기 포일의 두께가 400㎛ ~ 600㎛ 범위인 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재의 메탈라이징 방법.
The method according to claim 14,
The thickness of the foil is 400㎛ ~ 600㎛ metallizing method of thermoelectric material, characterized in that the thermoelectric material.
스커테루다이트 분말을 소결하여 스커테루다이트 열전소재를 제조하는 방법에 있어서,
CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co를 0.9~1.1 : 0.9~1.1 범위의 몰비율로 단순 혼합한 혼합 재료에 압력을 가하여 포일을 형성하는 포일 형성 단계; 및
소결을 위해 장입된 스커테루다이트 분말 상에 상기 포일을 올린 상태에서 가압 소결하는 소결 단계를 포함하며,
스커테루다이트 분말이 소결되는 동시에 스커테루다이트 열전소재의 표면에 CoSi2 화합물과 순금속 상태의 Co가 혼합된 재질의 메탈라이징층이 형성되는 것을 특징으로 하는 메탈라이징 처리된 스커테루다이트 열전소재의 제조방법.
In the method of sintering the scrutherite powder to produce a scrutherite thermoelectric material,
A foil forming step of applying a pressure to a mixed material in which the CoSi 2 compound and the pure metal Co are simply mixed at a molar ratio in a range of 0.9 to 1.1: 0.9 to 1.1 to form a foil; And
A sintering step of pressure sintering in a state in which the foil is placed on the charged scudrudite powder for sintering,
The metallizing scutterrudite thermoelectric, characterized in that the metallization layer of the CoSi 2 compound and the pure metal Co is formed on the surface of the scrudderite powder at the same time as the sinter territe powder is sintered. Method of manufacturing the material.
삭제delete ◈청구항 22은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈Claim 22 was abandoned upon payment of a set-up fee. 청구항 20에 있어서,
상기 포일 형성 단계가 900 ~ 1000 ℃의 온도 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 메탈라이징 처리된 스커테루다이트 열전소재의 제조방법.
The method of claim 20,
The foil forming step is a method of manufacturing a metallized scutterrudite thermoelectric material, characterized in that carried out at a temperature range of 900 ~ 1000 ℃.
◈청구항 23은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈Claim 23 was abandoned upon payment of a set-up fee. 청구항 20에 있어서,
상기 포일 형성 단계가 40 ~ 60 MPa의 압력 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 메탈라이징 처리된 스커테루다이트 열전소재의 제조방법.
The method of claim 20,
The foil forming step is a method of manufacturing a metallized scutterrudite thermoelectric material, characterized in that carried out in a pressure range of 40 ~ 60 MPa.
◈청구항 24은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈Claim 24 was abandoned when the set registration fee was paid. 청구항 20에 있어서,
상기 포일 형성 단계에서 CoSi2 화합물과 Co 각각이 분말 상태로 혼합되는 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재의 제조방법.
The method of claim 20,
In the foil forming step, the CoSi 2 compound and Co is a method for producing a scutterrudite thermoelectric material, characterized in that each of the powder is mixed.
◈청구항 25은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈Claim 25 was abandoned upon payment of a set-up fee. 청구항 24에 있어서,
CoSi2 분말과 Co 분말의 평균 입경이 형성되는 포일 두께의 1/10 이하인 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재의 제조방법.
The method of claim 24,
A method for producing a scutterrudite thermoelectric material, characterized in that the average particle diameter of CoSi 2 powder and Co powder is 1/10 or less of the thickness of the foil.
◈청구항 26은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈Claim 26 was abandoned upon payment of a set-up fee. 청구항 20에 있어서,
상기 포일 형성 단계에서 형성된 포일의 두께가 400㎛ ~ 600㎛ 범위인 것을 특징으로 하는 메탈라이징 처리된 스커테루다이트 열전소재의 제조방법.
The method of claim 20,
The thickness of the foil formed in the foil forming step is 400㎛ ~ 600㎛ manufacturing method of the metallized scutterrudite thermoelectric material characterized in that the range.
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