KR102068661B1 - Pick-up device - Google Patents

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KR102068661B1
KR102068661B1 KR1020190075017A KR20190075017A KR102068661B1 KR 102068661 B1 KR102068661 B1 KR 102068661B1 KR 1020190075017 A KR1020190075017 A KR 1020190075017A KR 20190075017 A KR20190075017 A KR 20190075017A KR 102068661 B1 KR102068661 B1 KR 102068661B1
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이재웅
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주식회사 에이트론
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Abstract

The present invention relates to a pickup device, capable of enabling an element pickup unit to ascend, descend, and rotate and accurately controlling the element pickup unit. The pickup device includes: a casing having a container-shaped body and a cover; the element pickup unit having a suction hollow shaft spatially connected to a pickup head installed on the outside of the container-shaped body; a moving module installed in the container-shaped body to rotate, ascend, or descend the pickup head and the suction hollow shaft; a picker reciprocating unit installed by being connected to the moving module based on the inside of the container-shaped body to provide an ascending force or a descending force to the moving module; a suction block installed in the upper part of the casing to provide air pressure to the suction hollow shaft (herein, the air pressure includes positive pressure or negative pressure of gas); and an encoder supported on the moving module and sensing the rotation of the suction hollow shaft by being connected to the suction hollow shaft.

Description

픽업 장치{PICK-UP DEVICE}Pickup Device {PICK-UP DEVICE}

본 발명은 소자를 픽업하기 위한 픽업 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pickup apparatus for picking up an element.

일반적으로 반도체 칩과 같은 소자(이하, "소자"라고 칭함)의 제조 및 조립 공정을 수행하기 위해서는, 공급되는 소자를 픽업(Pick-up)하여 원하는 위치로 이동시켜 위치시키는 픽앤플레이스(Pick and place) 공정이 필수적이다.In general, in order to perform a manufacturing and assembly process of a device such as a semiconductor chip (hereinafter, referred to as “device”), a pick and place that picks up a supplied device and moves it to a desired position is pick and place. Process is essential.

이러한 픽앤플레이스 공정을 수행하기 위해서는 소자를 파지하여 픽업하는 픽업 툴과, 픽업 툴을 상하 방향으로 왕복 구동시키는 구동부를 포함하는 픽업 장치를 사용한다.In order to perform the pick-and-place process, a pickup device including a pickup tool for holding and picking up an element and a driving unit for reciprocatingly driving the pickup tool in the vertical direction is used.

일반적으로, 픽업 장치는 소자를 픽업한 후 이송하여 소정의 안착위치에 안착시키는 픽앤플레이스장치에 설치되어 소자를 흡착하는 기구로서, 소자를 파지하여 픽업하는 픽업 툴은 크게 진공압에 의해 소자의 표면을 픽업하는 진공 흡착 방식과, 한쌍의 그리퍼(Gripper)에 의해 소자의 양측면을 파지하여 픽업하는 그리퍼 방식으로 구분되나, 최근 기술의 발전에 따라 소자가 집적화되어 소형화되므로, 소자에 대한 손상을 최소화하기 위해 진공압에 의한 진공 흡착 방식이 주로 사용되고 있다.In general, the pick-up device is a pick-and-place device which is installed in a pick-and-place device that picks up an element and then transports it to a predetermined seating position, so as to adsorb the element. It is divided into vacuum adsorption method for picking up and gripper method for holding and picking up both sides of the device by a pair of grippers, but according to the development of recent technology, the devices are integrated and miniaturized, thus minimizing damage to the devices. Hazardous vacuum adsorption is mainly used.

또한, 진공 흡착 방식 또는 그리퍼 방식의 픽업 툴을 상하로 왕복 구동시키는 구동부는 서로 다른 경로로 유입되는 진공압에 의해 픽업 툴이 설치된 픽업 샤프트를 구동시키는 공압 실린더(Pneumatic cylinder)와, 전기에 의해 픽업 샤프트를 구동시키는 전기 액츄에이터(Electric actuator)로 구분된다.In addition, the drive unit for reciprocating the vacuum suction type or gripper type pickup tool up and down is driven by a vacuum pressure flowing in different paths, and a pneumatic cylinder for driving the pickup shaft in which the pickup tool is installed, and picked up by electricity. It is divided into an electric actuator that drives the shaft.

최근, 반도체 소자의 고집적화 및 생산성 향상을 위해 정밀하고, 내구성이 강한 픽업 장치의 개발이 절실히 요구되고 있다.In recent years, the development of a precise and durable pick-up device is urgently required for high integration and productivity improvement of semiconductor devices.

대한민국 등록특허 제10-0976505호(2010.08.11. 등록)Republic of Korea Patent No. 10-0976505 (registered on August 11, 2010)

본 발명은 소자 픽업부를 회전하면서 수직 이동이 가능한 픽업 장치를 제공한다.The present invention provides a pickup device capable of vertical movement while rotating the element pickup portion.

또한, 본 발명은 소자 픽업부의 회전 및 수직 이동에 대한 신뢰성을 확보할 수 있는 픽업 장치를 제공한다.In addition, the present invention provides a pickup device that can ensure the reliability of the rotation and vertical movement of the element pickup portion.

또한, 본 발명은 밀폐형 구조이면서 내부의 열을 효율적으로 방출할 수 있는 픽업 장치를 제공한다.In addition, the present invention provides a pickup device capable of efficiently dissipating internal heat while being hermetically sealed.

상술한 해결하고자 하는 과제를 해결하기 위해서 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치는 용기형 몸체와 커버를 갖는 케이싱과, 상기 용기형 몸체의 외부에 배치된 픽업헤드에 공간상 연결된 석션중공샤프트를 갖는 소자 픽업부와, 상기 석션중공샤프트 및 상기 픽업헤드의 회전, 상승 또는 하강을 위해서 상기 용기형 몸체의 내부에 배치된 이동모듈과, 상기 이동모듈에 상승력 또는 하강력을 제공하도록 상기 용기형 몸체의 내부를 기준으로 상기 이동모듈과 연결되어 배치된 피커 왕복 구동부와, 상기 석션중공샤프트에 공압(여기서, 공압은 기체의 양압 또는 음압을 포함함)을 제공하도록 상기 케이싱의 상부에 설치된 석션블럭과, 상기 이동모듈을 기반으로 지지되고 상기 석션중공샤프트에 연결되어 상기 석션중공샤프트의 회전을 센싱하는 엔코더를 포함할 수 있다.In order to solve the above-mentioned problem, a pickup device according to an embodiment of the present invention has a casing having a container-type body and a cover, and a suction hollow shaft spatially connected to a pickup head disposed outside the container-type body. An element pick-up unit, a movable module disposed inside the vessel-shaped body for rotation, ascending or descending the suction hollow shaft and the pickup head, and the vessel-type body to provide a lifting force or a lowering force to the movement module. A picker reciprocating drive unit disposed in connection with the moving module based on the inside, a suction block installed at the upper portion of the casing to provide pneumatic pressure (here, pneumatic pressure includes a positive pressure or negative pressure of the gas) to the suction hollow shaft, An encoder supported based on the moving module and connected to the suction hollow shaft to sense rotation of the suction hollow shaft. It can be included.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 커버에는 상기 선형모터의 정면을 향하는 정면 단차홀이 형성되어 있고, 상기 용기형 몸체에는 상기 선형모터의 배면을 향하여 배면 단차홀이 형성되어 있고, 상기 정면 단차홀과 상기 배면 단차홀에는 상기 선형모터로부터 발생되는 자기장을 차폐하여 복수개의 픽업모듈간 전자기 결합 현상을 방지하는 차폐판이 각각 설치될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the cover is formed with a front stepped hole facing the front of the linear motor, the container-shaped body is formed with a back stepped hole toward the rear of the linear motor, the front stepped hole And a shielding plate for shielding a magnetic field generated from the linear motor to prevent electromagnetic coupling between the plurality of pickup modules may be installed in the rear stepped hole.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 이동모듈은 상기 이동모듈의 일측에 형성되어 상기 피커 왕복 구동부의 기판에 결합되는 기판 연결부와, 상기 이동모듈의 타측에 형성되어 상기 엔코더의 설치기반이 되는 연장 프레임과, 상기 연장 프레임과 상기 기판 연결부의 사이 위치를 기준으로 상기 이동모듈의 배면과 상기 용기형 몸체의 사이에 설치된 복수개의 선형가이드를 포함하고, 상기 선형가이드는 상기 석션중공샤프트의 이동 방향을 따라 각각 배치되고 서로 평행을 유지하도록 서로 이격 배치될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the moving module is formed on one side of the moving module is coupled to the substrate connecting portion of the picker reciprocating drive unit, and the extension frame is formed on the other side of the moving module is the installation base of the encoder And a plurality of linear guides disposed between the rear surface of the moving module and the container body based on a position between the extension frame and the substrate connection portion, wherein the linear guides are arranged along a moving direction of the suction hollow shaft. It may be disposed separately and spaced apart from each other to keep parallel to each other.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 선형가이드는 상기 용기형 몸체의 내표면에 각각 설치되며, 서로 다른 길이를 갖는 가이드레일과, 상기 가이드레일 각각을 따라 미끄럼 이동 가능하게 결합된 상태로서 상기 이동모듈에 각각 연결된 대차블럭과, 상기 가이드레일 중 길이가 짧은 가이드레일의 상부를 기준으로 상기 용기형 몸체에 설치된 리니어 스케일 센서를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the linear guides are respectively installed on the inner surface of the container-type body, the guide rails having different lengths, and the movable module in a state coupled to be slidably moved along each of the guide rails. And a linear scale sensor connected to each of the bogie blocks and the linear scale sensor installed on the container body based on an upper portion of the shorter guide rail among the guide rails.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 이동모듈은 상기 석션중공샤프트를 회전 가능하게 지지하는 베어링블럭과, 상기 베어링블럭의 주변 위치를 기준으로 상기 이동모듈의 저면에 형성된 스프링 접촉부와, 상기 스프링 접촉부에 접촉된 스프링과, 상기 스프링의 압축 또는 인장을 가이드하도록 상기 용기형 몸체의 저부에 설치된 스프링 가이드를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the moving module includes a bearing block rotatably supporting the suction hollow shaft, a spring contact portion formed on a bottom surface of the moving module based on a peripheral position of the bearing block, and the spring contact portion. And a spring guide installed at the bottom of the vessel-shaped body to guide the contacted spring and the compression or tension of the spring.

전술한 본 발명의 과제 해결 수단에 따르면, 알루미늄 재질을 이용하여 몸체를 형성하고, 몸체 내부에 픽업 장치의 동작에 필요한 부품을 실장함과 더불어 브라켓, 차폐 부재 등을 이용하여 내부로의 이물질의 유입 및 자성 발생을 차폐시킴으로써, 내부에서 발생되는 열을 효율적으로 처리할 수 있을 뿐만 이물질의 유입에 따라 제품의 수명이 단축되는 것을 방지할 수 있다.According to the above-described problem solving means of the present invention, the body is formed by using an aluminum material, mounting the components necessary for the operation of the pickup device inside the body and the inflow of foreign matter into the interior using a bracket, a shield member, etc. And by shielding the magnetic generation, it is possible not only to efficiently process the heat generated inside, it is possible to prevent the life of the product is shortened due to the inflow of foreign matter.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업 장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 선 A-A를 따라 절단한 단면도.
도 3은 도 1에 도시된 픽업 장치의 분해 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 엔코더의 결합 관계를 설명하기 위한 분리 사시도.
도 5는 도 4에 도시된 선 B-B를 따라 절단한 단면도.
도 6은 도 1에 도시된 픽업 장치의 작동 관계를 설명하기 위한 내부 정면도.
1 is a perspective view of a pickup device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG. 1. FIG.
3 is an exploded perspective view of the pickup device shown in FIG.
4 is an exploded perspective view illustrating a coupling relationship of the encoder illustrated in FIG. 3.
5 is a cross-sectional view taken along the line BB shown in FIG. 4.
6 is an internal front view for explaining the operation relationship of the pickup apparatus shown in FIG.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 기재에 의해 정의된다.Advantages and features of the present invention, and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms, and only the present embodiments make the disclosure of the present invention complete, and those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is defined by the description of the claims.

한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 또한, 실시예는 응용예들을 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성소자, 단계, 동작 및/또는 소자에 하나 이상의 다른 구성소자, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가함을 배제하지 않는다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 또는 응용예들을 상세히 설명하기로 한다.Meanwhile, the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In addition, the embodiment may include applications. In addition, in this specification, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, “comprises” and / or “comprising” refers to the presence of one or more other components, steps, operations and / or elements in the components, steps, operations and / or elements mentioned. Or does not exclude the addition. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described embodiments or applications of the present invention;

이하 첨부된 도면을 참조하여 픽업 장치에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a pickup device will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업 장치의 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 선 A-A를 따라 절단한 단면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 픽업 장치의 분해 사시도이며, 도 4는 도 3에 도시된 엔코더의 결합 관계를 설명하기 위한 분리 사시도이며, 도 5는 도 4에 도시된 선 B-B를 따라 절단한 단면도이며, 도 6은 도 1에 도시된 픽업 장치의 작동 관계를 설명하기 위한 내부 정면도이다.1 is a perspective view of a pickup device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view taken along the line AA shown in Figure 1, Figure 3 is an exploded perspective view of the pickup device shown in FIG. 4 is an exploded perspective view illustrating the coupling relationship between the encoders shown in FIG. 3, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line BB shown in FIG. 4, and FIG. 6 is an operation relationship of the pickup device illustrated in FIG. 1. It is an internal front view for demonstrating.

도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치는 크게 밀폐형 케이싱(100), 피커 왕복 구동부(200), 이동모듈(300), 소자 픽업부(400), 선셕블럭(500) 및 회로부(600) 등으로 구성될 수 있다.1 and 5, the pickup device according to the embodiment of the present invention is largely sealed casing 100, the picker reciprocating drive unit 200, the moving module 300, the element pickup unit 400, the sun block 500 and the circuit unit 600 and the like.

구체적으로, 본 발명의 실시예에서 픽업 장치는 용기형 몸체(110)와 커버(120)를 갖는 밀폐형 케이싱(100), 용기형 몸체(100)의 외부에 배치, 즉 외부로 돌출되어 소자(반도체 소자)를 픽업하기 위한 픽업헤드(420)에 공간상 연결된 석션중공샤프트(410)를 갖는 소자 픽업부(400), 석션중공샤프트(410) 및 픽업헤드(420)의 회전, 상승 또는 하강을 위해서 상기 용기형 몸체(110)의 내부에 배치된 이동모듈(300), 이동모듈(300)에 상승력 또는 하강력을 제공하도록 용기형 몸체(110)의 내부를 기준으로 이동모듈(300)과 연결되어 배치된 피커 왕복 구동부(200), 석션중공샤프트(410)에 공압(여기서, 공압은 기체의 양압 또는 음압을 포함함)을 제공하도록 밀폐형 케이싱(100)의 상부에 설치된 석션블럭(500) 및 이동모듈(300)을 기반으로 지지되고 석션중공샤프트(410)에 연결되어 석션중공샤프트(410)의 회전을 센싱하는 엔코더(430) 등을 포함할 수 있다. Specifically, in the embodiment of the present invention, the pick-up device is disposed in the sealed casing 100 having the container-type body 110 and the cover 120, the outside of the container-type body 100, that is to protrude to the outside of the element (semiconductor To rotate, ascend, or descend the element pick-up unit 400, the suction hollow shaft 410, and the pickup head 420 having the suction hollow shaft 410 spatially connected to the pickup head 420 for picking up the element. The mobile module 300, which is disposed inside the container body 110, is connected to the moving module 300 based on the inside of the container body 110 to provide a lifting force or a lowering force to the moving module 300. Suction block 500 installed on top of hermetic casing 100 to provide pneumatic pressure (where pneumatic pressure includes positive or negative pressure of gas) to the picker reciprocating drive 200 and suction hollow shaft 410 disposed Suction is supported based on the module 300 and connected to the suction hollow shaft 410 An encoder for sensing rotation of the ball shaft (410) (430), and the like.

또한, 픽업 장치는 밀폐형 케이싱(100)의 상부에 결합되어 용기형 몸체(110) 내부에 실장된 회로부(600)와 외부기기(미도시됨)를 연결시키는 커넥터(610)를 구비할 수 있다.In addition, the pickup device may include a connector 610 coupled to the upper portion of the hermetic casing 100 to connect the circuit unit 600 mounted inside the container body 110 and an external device (not shown).

본 발명의 실시예에서 픽업 장치의 밀폐형 케이싱(100)은 전체적으로 얇은 직육면체 형상을 가지고 열 전도성이 높은 알루미늄 재질로 이루어질 수 있으며, 용기형 몸체(110)와 커버(120)가 결합되고 석션중공샤프트(410)의 양단에 인접하도록 용기형 몸체(110)에 설치된 방진부재(10, 20)에 의해 밀폐형 구조를 가질 수 있다. 여기에서, 방진부재(10, 20)는 석션중공샤프트(410)의 양단에 해당하는 위치에 형성된 용기형 몸체(110)의 결합 홈(12, 22)에 한 쌍이 설치될 수 있으며, 석션중공샤프트(410)에 삽입되어 결합될 수 있다.In the exemplary embodiment of the present invention, the hermetic casing 100 of the pickup device may be made of an aluminum material having a thin rectangular parallelepiped shape as a whole and having high thermal conductivity. The container body 110 and the cover 120 may be coupled to the suction hollow shaft ( It may have a hermetic structure by the dustproof members 10 and 20 installed in the container-shaped body 110 so as to be adjacent to both ends of the 410. Here, the anti-vibration member (10, 20) may be installed in a pair of coupling grooves (12, 22) of the container-shaped body 110 formed at positions corresponding to both ends of the suction hollow shaft 410, suction hollow shaft It can be inserted into and coupled to 410.

용기형 몸체(110) 및 커버(120)의 일부 영역, 즉 피커 왕복 구동부(200)가 실장된 공간에 대응되는 영역이 오픈된 정면 및 배면 단차홀(121, 125)을 구비할 수 있다. 이러한 정면 및 배면 단차홀(121, 125)에는 정면 및 배면 차폐판(130, 140)이 삽입되어 결합될 수 있다. 여기에서, 본 발명의 실시예에서 단차홀(121)의 깊이는 정면 및 배면 차폐판(130, 140)의 두께에 대응될 수 있다.Some areas of the container body 110 and the cover 120, that is, areas corresponding to the space in which the picker reciprocating drive unit 200 is mounted may be provided with front and rear stepped holes 121 and 125. The front and rear shield plates 130 and 140 may be inserted into and coupled to the front and rear stepped holes 121 and 125. Here, in the embodiment of the present invention, the depth of the stepped hole 121 may correspond to the thicknesses of the front and rear shield plates 130 and 140.

정면 차폐판(130)은 피커 왕복 구동부(200)의 정면을 향하는 커버(120)의 정면 단차홀(121)에 배치될 수 있다.The front shielding plate 130 may be disposed in the front stepped hole 121 of the cover 120 facing the front of the picker reciprocating driving unit 200.

배면 차폐판(140)은 피커 왕복 구동부(200)의 배면을 향하는 몸체(110)의 배면 단차홀(125)에 배치될 수 있다.The rear shield plate 140 may be disposed in the rear stepped hole 125 of the body 110 facing the rear surface of the picker reciprocating drive unit 200.

본 발명의 실시예에서 정면 차폐판(130) 및 배면 차폐판(140)은 피커 왕복 구동부(200)로부터 발생되는 자기장을 차폐하여 복수개의 픽업 장치간 전자기 결합 현상을 방지할 수 있다.In the embodiment of the present invention, the front shielding plate 130 and the rear shielding plate 140 may shield the magnetic field generated from the picker reciprocating drive unit 200 to prevent electromagnetic coupling between the plurality of pickup devices.

한편, 본 발명의 실시예에서 배면 차폐판(140) 및 정면 차폐판(130)에는 복수개의 홈부(131, 141)를 포함할 수 있다.On the other hand, in the embodiment of the present invention, the rear shield plate 140 and the front shield plate 130 may include a plurality of grooves (131, 141).

이러한 홈부(131, 141)는 정면 차폐판(130) 및 배면 차폐판(140)의 표면적을 증대시켜 냉각 효율을 높이고, 정면 차폐판(130) 및 배면 차폐판(140)의 중량을 상대적으로 감소시키는 효과를 가진다.The grooves 131 and 141 increase the surface area of the front shielding plate 130 and the rear shielding plate 140 to increase cooling efficiency, and relatively reduce the weight of the front shielding plate 130 and the rear shielding plate 140. It has an effect.

피커 왕복 구동부(200)는 복수개의 자석판으로 이루어진 한 쌍의 고정자(210, 220)의 사이 배치된 전자석 코일과 같은 이동자(230)를 포함할 수 있다. 여기에서, 한 쌍의 고정자(210, 220) 중 일측 고정자(210)는 용기형 몸체(110)의 배면 단차홀(125)의 테두리부(118)에 설치되며, 타측 고정자(220)는 용기형 몸체(110)의 탑재단부(119)에 설치될 수 있다.The picker reciprocating drive unit 200 may include a mover 230 such as an electromagnet coil disposed between a pair of stators 210 and 220 formed of a plurality of magnetic plates. Here, one stator 210 of the pair of stators 210 and 220 is installed in the edge portion 118 of the back step hole 125 of the container body 110, the other stator 220 is a container type It may be installed on the mounting end 119 of the body (110).

본 발명의 실시예에서 피커 왕복 구동부(200)는 회로부(600)로부터 인가되는 신호에 따라 한 쌍의 고정자(210, 220)와 이동자(230)에 의해 직선 방향으로 추력을 발생시키는 자기 부상식 리니어 모터일 수 있다.In the exemplary embodiment of the present invention, the picker reciprocating driving unit 200 generates a magnetic levitation linear by generating a thrust in a linear direction by a pair of stators 210 and 220 and the mover 230 according to a signal applied from the circuit unit 600. It may be a motor.

또한, 이동자(230)는 기판(231)에 탑재될 수 있으며, 이동모듈(300)의 일측에 형성된 기판 연결부(301)에 결합될 수 있다. In addition, the mover 230 may be mounted on the substrate 231 and may be coupled to the substrate connection part 301 formed at one side of the moving module 300.

한편, 피커 왕복 구동부(200)는 회로부(600)와 연결되어 회로부(610)로부터 인가되는 신호에 따라 이동력을 발생시켜 이동자(230)와 연결된 이동모듈(300)을 수직 방향(Z축 방향)으로 상승 또는 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 이동모듈(300)에 연결된 구동 모터(350), 모터 브래킷(340), 구동 기어(360), 피동기어(370), 베어링(371) 및 소자 픽업부(400)를 상승 또는 하강시킬 수 있다. Meanwhile, the picker reciprocating drive unit 200 is connected to the circuit unit 600 to generate a moving force according to a signal applied from the circuit unit 610 to move the moving module 300 connected to the mover 230 in the vertical direction (Z-axis direction). Can be raised or lowered. Accordingly, the driving motor 350, the motor bracket 340, the driving gear 360, the driven gear 370, the bearing 371, and the element pick-up unit 400 connected to the moving module 300 may be raised or lowered. Can be.

피커 왕복 구동부(200)의 구동에 따라 이동모듈(300) 및 소자 픽업부(400)를 상승 또는 하강시키기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 이동모듈(300)은 그 일측에 피커 왕복 구동부(200)의 기판(231)에 연결되는 기판 연결부(301)를 형성하고 있으며, 타측에 연장 프레임(304)을 형성하고 있다.In order to raise or lower the moving module 300 and the element pick-up unit 400 according to the driving of the picker reciprocating driving unit 200, the moving module 300 according to the embodiment of the present invention has a picker reciprocating driving unit 200 at one side thereof. The board connection part 301 connected to the board | substrate 231 of the () is formed, and the extension frame 304 is formed in the other side.

또한, 이동모듈(300)은 기판 연결부(301)와 연장 프레임(304) 사이 위치를 기준으로 몸체(110)에 설치된 복수개의 선형 가이드(310, 320)를 포함할 수 있다.In addition, the moving module 300 may include a plurality of linear guides 310 and 320 installed on the body 110 based on a position between the substrate connection part 301 and the extension frame 304.

이러한 선형 가이드(310, 320)는 수직 방향을 따라 각각 배치되고 서로 평행을 유지하도록 서로 이격 배치될 수 있다.The linear guides 310 and 320 may be disposed along the vertical direction and spaced apart from each other to be parallel to each other.

각 선형 가이드(310, 320)는 용기형 몸체(110)의 내표면에 설치되는 가이드레일(311, 321)과, 가이드레일(311, 321) 각각을 따라 미끄럼 이동(수직방향의 이동) 가능하게 결합된 상태로서, 이동모듈(300)에 각각 연결된 대차블럭(312, 322)을 구비할 수 있다.Each of the linear guides 310 and 320 is capable of sliding along the guide rails 311 and 321 installed on the inner surface of the container body 110 and along the guide rails 311 and 321 respectively. As a combined state, it may be provided with a balance block (312, 322) connected to the moving module 300, respectively.

상술한 바와 같은 선형 가이드(310, 320)는 이동모듈(300)의 수직 방향 이동뿐만 아니라 이동모듈(300)의 하중 및 이동모듈(300)을 기반으로 탑재될 각종 부품, 예컨대 이동자, 기판, 구동 모터, 엔코더, 베어링, 소자 픽업부 등의 하중을 분산 지지함으로써, 승강 또는 하강에 따른 소자 픽업부(400)의 이동을 신뢰성 있게 가이드할 수 있다.The linear guides 310 and 320 as described above are not only vertical movements of the moving module 300 but also various components to be mounted based on the load and the moving module 300 of the moving module 300, for example, a mover, a substrate, and a driving. By distributing and supporting the load of the motor, the encoder, the bearing, the element pick-up unit, and the like, the movement of the element pick-up unit 400 according to the lifting or lowering can be reliably guided.

한편, 이동모듈(300)은 브래킷 설치부(306)와 모터 공간부(307)를 포함할 수 있다.On the other hand, the moving module 300 may include a bracket installation portion 306 and the motor space 307.

이러한 이동모듈(300)의 구조를 통해 구동 모터(350) 및 구동 모터(350)의 회전축에 축 결합된 구동 기어(360)는 모터 공간부(307)에 배치되며, 구동 모터(350)의 모터 하우징은 모터 브래킷(340)의 일측부에 결합될 수 있다.Through the structure of the moving module 300, the driving gear 360 and the driving gear 360 coupled to the rotation shaft of the driving motor 350 are disposed in the motor space 307, and the motor of the driving motor 350 is disposed. The housing may be coupled to one side of the motor bracket 340.

모터 브래킷(340)의 타측부는 이동모듈(300)의 브래킷 설치부(306)에 결합될 수 있다. The other side of the motor bracket 340 may be coupled to the bracket installation part 306 of the moving module 300.

상술한 바와 같이, 구동 모터(350) 및 구동 기어(360)는 이동모듈(300)의 모터 공간부(307)에 배치하고 이동모듈(300)의 브래킷 설치부(306)와 모터 브래킷(340)의 타측부를 결합시킴으로써, 피커 왕복 구동부(200)에 의해 상승 또는 하강하는 이동모듈(300)과 함께 구동 모터(350) 및 구동 기어(360)가 상승 또는 하강할 수 있다.As described above, the drive motor 350 and the drive gear 360 are disposed in the motor space 307 of the moving module 300 and the bracket mounting portion 306 and the motor bracket 340 of the moving module 300. By coupling the other side of the, the drive motor 350 and the drive gear 360 together with the moving module 300 that is raised or lowered by the picker reciprocating drive 200 can be raised or lowered.

구동 모터(350)의 회전축은 구동 기어(360)에 축 결합되고, 구동 기어(360)는 피동기어(370)에 치합될 수 있다.The rotation shaft of the drive motor 350 is axially coupled to the drive gear 360, and the drive gear 360 may be engaged with the driven gear 370.

또한, 구동 기어(360)에 따라 동작하는 피동기어(370)는 소자 픽업부(400)의 석션중공샤프트(410)에 축 결합될 수 있다.In addition, the driven gear 370 operating according to the driving gear 360 may be axially coupled to the suction hollow shaft 410 of the element pickup unit 400.

셕션중공샤프트(410)에는 피동기어(370)의 아래쪽 위치를 기준으로 복수개의 베어링(371)이 설치될 수 있다.A plurality of bearings 371 may be installed on the cushion hollow shaft 410 based on the lower position of the driven gear 370.

복수개의 베어링(371)의 외륜은 이동모듈(300)의 베어링블럭(302)에 결합되며, 각 베어링(371)의 내륜은 석션중공샤프트(410)의 외주면에 결합되어 석션중공샤프트(410)의 회전을 지지할 수 있다.Outer ring of the plurality of bearings 371 is coupled to the bearing block 302 of the moving module 300, the inner ring of each bearing 371 is coupled to the outer peripheral surface of the suction hollow shaft 410 of the suction hollow shaft 410 It can support rotation.

따라서, 석션중공샤프트(410)와 피동기어(370)가 이동모듈(300)의 베어링블럭(302)의 베어링(371)에 의해 회전 가능한 상태로 이동모듈(300)에 탑재되어 있으므로, 석션중공샤프트(410), 픽업헤드(420), 엔코더(430)를 포함한 픽업모듈(400) 및 피동기어(370)도 이동모듈(300)과 함께 상승 또는 하강 가능한 상태가 될 수 있다.Accordingly, since the suction hollow shaft 410 and the driven gear 370 are mounted to the moving module 300 in a rotatable state by the bearing 371 of the bearing block 302 of the moving module 300, the suction hollow shaft 410, the pickup head 420, the pickup module 400 including the encoder 430, and the driven gear 370 may also be raised or lowered together with the moving module 300.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예에서 석션중공샤프트(410)는 전체적으로 길게 형성된 원통 형상을 가지고, 용기형 몸체(110)의 내부에 왕복 이동 가능하 도록 배치될 수 있다. 또한, 석션중공샤프트(410)는 소자를 픽업할 수 있도록 일단이 용기형 몸체(1100)로부터 노출되며, 외부로 노출된 일단에 소자에 직접 접촉하여 소자를 픽업하는 픽업헤드(420)가 배치될 수 있다.In the embodiment of the present invention as described above, the suction hollow shaft 410 has a cylindrical shape formed as a whole, and may be disposed to reciprocate in the container-shaped body 110. In addition, the suction hollow shaft 410 has one end exposed from the container body 1100 to pick up the element, and a pickup head 420 for picking up the element by directly contacting the element is disposed at one end exposed to the outside. Can be.

설명의 편의상, 본 발명의 실시예에서는 진공압에 의해 소자를 흡착하는 진공 흡착 방식의 픽업 장치를 예로 들어 설명하면, 석션중공샤프트(410)의 내부에 길이 방향을 따라 흡입 통로(미도시됨)가 형성되고, 석션중공샤프트(410)의 타단에 결합된 피팅(미도시됨)과 흡입 통로를 통해 제공되는 진공압에 의해 석션중공샤프트(410)의 일단에 결합된 픽업헤드(420)의 흡착 패드(미도시됨)가 소자를 흡착할 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 석션중공샤프트(410)의 일단에 그리퍼(Gripper) 방식의 픽업 툴이 결합될 수도 있다.For convenience of description, in the embodiment of the present invention will be described as a pickup device of the vacuum adsorption method for adsorbing the element by the vacuum pressure as an example, the suction passage (not shown) in the longitudinal direction inside the suction hollow shaft 410 Is formed, and the suction of the pickup head 420 coupled to one end of the suction hollow shaft 410 by a vacuum pressure provided through a fitting (not shown) coupled to the other end of the suction hollow shaft 410 and the suction passage. A pad (not shown) may adsorb the device, but is not limited thereto, and a gripper pickup tool may be coupled to one end of the suction hollow shaft 410.

리니어 스케일 센서(800)는 이동모듈(300)의 승강 또는 하강에 따른 이동량을 계측할 수 있도록, 밀폐형 케이싱(100)의 용기형 몸체(110)에 설치되어 있다.The linear scale sensor 800 is installed in the container body 110 of the hermetic casing 100 so as to measure the movement amount according to the lifting or lowering of the moving module 300.

예컨대, 리니어 스케일 센서(800)는 가이드레일(311, 321) 중 길이가 짧은 가이드레일(322)의 상부를 기준으로 용기형 몸체(110)에 설치되어 이동모듈(300)의 이동 거리를 측정하고, 측정한 이동 거리값을 회로부(600)에 제공할 수 있다.For example, the linear scale sensor 800 is installed on the container body 110 based on the upper part of the short guide rail 322 of the guide rails 311 and 321 to measure the moving distance of the moving module 300. The measured moving distance value may be provided to the circuit unit 600.

이동모듈(300)은 베어링블럭(302)의 좌측의 위치, 즉 베어링블럭(302)의 주변 위치를 기준으로 이동모듈(300)의 저면에 형성된 스프링 접촉부(303)와, 베어링블럭(302)의 우측의 위치를 기준으로 이동모듈(300)의 길이 방향을 따라 돌출되게 연장된 자유단부 구조의 연장 프레임(304)을 포함한다.The moving module 300 includes a spring contact portion 303 formed on the bottom surface of the moving module 300 based on the position on the left side of the bearing block 302, that is, the peripheral position of the bearing block 302, and the bearing block 302. It includes an extension frame 304 of the free end structure extending to protrude along the longitudinal direction of the moving module 300 based on the position of the right side.

이동모듈(300)의 스프링 접촉부(303)에는 스프링(700)이 접촉될 수 있다.The spring 700 may contact the spring contact portion 303 of the moving module 300.

스프링(700)은 밀폐형 케이싱(100)의 용기형 몸체(110)의 저부와 연결된 스프링 가이드(710)에 끼워져서, 스프링 접촉부(303)를 통해 이동모듈(300)을 탄성 지지할 수 있다.The spring 700 may be inserted into a spring guide 710 connected to the bottom of the container-shaped body 110 of the hermetic casing 100 to elastically support the moving module 300 through the spring contact 303.

또한, 스프링(700)은 스프링 가이드(710)를 통해 용기형 몸체(110)의 저부에 연결되어 석션중공샤프트(410)의 수직 방향의 상하 운동 시 석션중공샤프트(410)에 의해 발생되는 정전기를 용기형 몸체(110)에 전달하여 외부로 방출시킬 수 있다. In addition, the spring 700 is connected to the bottom of the container-shaped body 110 through the spring guide 710 to the static electricity generated by the suction hollow shaft 410 during the vertical movement of the suction hollow shaft 410 It can be delivered to the container body 110 to be discharged to the outside.

본 발명의 실시예에서 스프링 가이드(710)는 스프링(700)의 압축 또는 인장을 가이드하도록 몸체(110)의 저부에 설치될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the spring guide 710 may be installed at the bottom of the body 110 to guide the compression or tension of the spring 700.

엔코더(430)는 이동모듈(300)의 연장 프레임(304)을 기반으로 연결된 엔코더 장착대(433)와, 엔코더 장착대(433)를 기반으로 설치된 엔코더 센서(436)와, 엔코더 센서(436)에 의해 센싱될 수 있는 위치를 기준으로 석션중공샤프트(410)에 결합된 엔코더 휠(437)을 포함한다.The encoder 430 includes an encoder mount 433 connected based on the extension frame 304 of the moving module 300, an encoder sensor 436 installed based on the encoder mount 433, and an encoder sensor 436. The encoder wheel 437 coupled to the suction hollow shaft 410 based on the position that can be sensed by the.

엔코더 장착대(432)의 일측에는 연결단부(433)가 형성되고, 타측에는 수직 간격유지부(435)가 형성되고, 저면에는 베어링홀(434)이 형성되어 있다.A connection end 433 is formed at one side of the encoder mounting stand 432, a vertical gap maintaining part 435 is formed at the other side, and a bearing hole 434 is formed at the bottom thereof.

여기서, 엔코더 베어링(431)은 석션중공샤프트(410)를 회전 가능하게 지지하도록, 엔코더 장착대(432)의 베어링홀(434)에 결합된다.Here, the encoder bearing 431 is coupled to the bearing hole 434 of the encoder mounting table 432 to rotatably support the suction hollow shaft 410.

따라서, 엔코더 장착대(432)의 엔코더 센서(436)가 정밀하게 엔코더 휠(437)을 센싱함으로써, 결과적으로 석션중공샤프트(410) 및 픽업헤드(420)의 회전각을 정확하게 측정할 수 있다. Accordingly, the encoder sensor 436 of the encoder mount 432 accurately senses the encoder wheel 437, and as a result, the rotation angles of the suction hollow shaft 410 and the pickup head 420 can be accurately measured.

상술한 바와 같은 구성을 갖는 픽업 장치가 동작하는 과정에 대해 도 6을 참조하여 설명한다.The operation of the pick-up device having the above-described configuration will be described with reference to FIG.

도 6에 도시된 바와 같이, 외부기기로부터 인가되는 신호에 따라 회로부(600)로부터 발생되는 신호가 피커 왕복 구동부(200)에 인가되면, 피커 왕복 구동부(200)에 연결된 이동모듈(300)은 대차블럭(311, 321)에 결합된 가이드레일(312, 322)을 따라 상승 또는 하강할 수 있다.As illustrated in FIG. 6, when a signal generated from the circuit unit 600 is applied to the picker reciprocating drive unit 200 according to a signal applied from an external device, the moving module 300 connected to the picker reciprocating drive unit 200 may be used. It may be raised or lowered along the guide rails 312 and 322 coupled to the blocks 311 and 321.

이러한 이동모듈(300)의 상승 또는 하강 이동 시, 이동모듈(300)에 연결된 구동 모터(350), 구동 기어(360), 피동 기어(370) 및 이동모듈(300)의 연장프레임(304) 상에 연결된 엔코더(430)가 함께 상승 또는 하강 이동할 수 있다.When the moving module 300 moves up or down, the driving motor 350, the driving gear 360, the driven gear 370, and the extension frame 304 of the moving module 300 are connected to the moving module 300. Encoder 430 connected to the may move up or down together.

또한, 회로부(600)로부터 인가받은 신호에 따라 구동되는 구동 모터(350)에 의해 구동 기어(360)의 회전하게 되고, 구동 기어(360)에 치합된 피동 기어(370)가 회전할 수 있다. 이때, 피어 기어(370)는 소자 픽업부(400)의 석션중공샤프트(410)를 회전시킬 수 있다. In addition, the driving gear 360 is rotated by the driving motor 350 driven according to the signal applied from the circuit unit 600, and the driven gear 370 engaged with the driving gear 360 may rotate. In this case, the peer gear 370 may rotate the suction hollow shaft 410 of the element pickup unit 400.

상술한 바와 같이, 피커 왕복 구동부(200)에 의해 발생되는 직선 구동력에 의해 이동모듈(300)을 상승 및 하강 이동과 더불어 구동 모터(350), 구동 기어(360) 및 피동 기어(370)를 제공되는 회전 구동력에 따라 소자 픽업부(400)의 석션중공샤프트(410)를 축 중심으로 회전 구동시킬 수 있다.As described above, the drive module 350, the drive gear 360, and the driven gear 370 are provided along with the movement of the moving module 300 up and down by the linear driving force generated by the picker reciprocating drive unit 200. The suction hollow shaft 410 of the element pickup unit 400 may be rotated about an axis according to the rotation driving force.

이러한 이동모듈(300)의 이동 거리는 리니어 스케일 센서(800)에 의해 측정되어 회로부(600)에 인가될 수 있으며, 석션중공샤프트(410)의 회전 값은 엔코더(430)에 의해 센싱되어 회로부(600)에 인가될 수 있다.The movement distance of the moving module 300 may be measured by the linear scale sensor 800 and applied to the circuit unit 600, and the rotation value of the suction hollow shaft 410 is sensed by the encoder 430 so as to sense the circuit unit 600. ) May be applied.

또한, 회로부(600)는 커넥터(610)를 통해 연결된 외부기기(미도시됨)에 이동 거리 및 회전 값을 제공하여 외부기기로부터 소정의 제어 신호를 인가받아 소자 픽업부(400)의 석션중공샤프트(410)의 상하 이동 및 석션중공샤프트(410)의 회전을 정밀하게 제어할 수 있다.In addition, the circuit unit 600 provides a moving distance and a rotation value to an external device (not shown) connected through the connector 610 to receive a predetermined control signal from the external device so that the suction hollow shaft of the element pickup unit 400 is provided. It is possible to precisely control the vertical movement of the 410 and the rotation of the suction hollow shaft 410.

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above description of the present application is intended for illustration, and it will be understood by those skilled in the art that the present invention may be easily modified in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present application. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present application. .

100 : 케이싱
200 : 피커 왕복 구동부
300 : 이동모듈
400 : 소자 픽업부
500 : 석션블럭
600 : 회로부
100 casing
200: picker reciprocating drive
300: moving module
400 element pickup portion
500: suction block
600: circuit part

Claims (5)

용기형 몸체와 커버를 갖되, 상기 용기형 몸체는 배면에 형성된 단자홀의 테두리부와 탑재단부를 구비하는 케이싱과,
상기 용기형 몸체의 외부로 돌출된 픽업헤드에 연결되고, 상기 용기형 몸체 내부에 형성된 석션중공샤프트를 갖는 소자 픽업부와,
상기 석션중공샤프트 및 상기 픽업헤드의 회전, 상승 또는 하강을 위해서 상기 용기형 몸체의 내부에 배치된 이동모듈과,
상기 이동모듈에 상승력 또는 하강력을 제공하도록 상기 용기형 몸체의 내부에 상기 이동모듈과 연결되어 배치된 피커 왕복 구동부와,
상기 석션중공샤프트에 공압(여기서, 공압은 기체의 양압 또는 음압을 포함함)을 제공하도록 상기 케이싱의 상부에 설치된 석션블럭과,
상기 용기형 몸체의 내부에 형성되어 상기 이동모듈을 기반으로 지지되고 상기 석션중공샤프트에 연결되어 상기 석션중공샤프트의 회전을 센싱하는 엔코더를 포함하며,
상기 피커 왕복 구동부는,
한쌍의 고정자 및 상기 한쌍의 고정자 사이에 배치된 이동자를 구비하며, 상기 이동자가 탑재된 기판을 통해 회로부와 연결되어 상기 회로부로부터 인가되는 신호에 따라 상기 이동모듈에 상승력 또는 하강력을 제공하되, 상기 이동자를 이동모듈과 연결시킴과 더불어 상기 한쌍의 고정자 중 일측 고정자를 상기 용기형 몸체의 배면 단차홀의 테두리부에 설치하고 타측 고정자를 상기 용기형 몸체의 탑재단부에 설치하여 상기 용기형 몸체에 설치되며,
상기 이동모듈은,
일측에 형성되어 상기 이동자가 탑재된 기판에 연결되는 기판 연결부와, 타측에 형성되고 베어링블럭이 형성된 연장 프레임과, 상기 기판 연결부와 연장 프레임 사이 위치를 기준으로 상기 용기형 몸체에 설치되고 서로 평행을 유지하도록 서로 이격 배치된 복수개의 선형 가이드와, 모터 브래킷이 설치되는 브래킷 설치부 및 모터 공간부를 포함하되,
상기 선형가이드 각각은 상기 용기형 몸체의 내표면에 설치된 가이드레일과, 상기 가이드레일 각각을 따라 수직방향의 이동이 가능하게 결합된 대차블럭을 구비하며,
상기 모터 공간부에는 구동 모터 및 구동 모터의 회전축에 결합된 구동기어가 배치되며,
상기 구동 모터의 모터 하우징은 상기 모터 브래킷의 일측부에 결합되고, 상기 이동모듈의 브래킷 설치부는 상기 모터 브래킷의 타측부에 결합되며,
상기 구동 모터의 회전축은 상기 구동 기어에 축 결합되고, 상기 구동기어는 피동기어에 치합되며,
상기 구동 기어에 따라 동작하는 피동기어는 상기 소자픽업부의 석션중공샤프트에 축 결합되며,
상기 석션중공샤프트에는 상기 피동 기어의 아래쪽 위치를 기준으로 복수개의 베어링이 설치되며,
상기 복수개의 베어링의 외륜은 상기 이동 모듈의 베어링블럭에 결합되며, 상기 복수개의 베어링 각각의 내륜은 상기 석션중공샤프트의 외주면에 결합되어 상기 석션중공샤프트의 회전을 지지하며,
상기 엔코더는,
일측에 형성되어 상기 이동모듈의 연장 프레임과 연결되는 연결단부, 타측에 형성된 수직 간격유지부 및 저면에 형성되고 상기 석션중공샤프트를 회전 가능하도록 지지하는 엔코더 베어링이 결합되는 베어링홀을 구비한 엔코더 장착대와, 상기 엔코더 장착대의 수직 간격유지부에 설치되는 엔코더 센서와, 상기 석션중공샤프트에 결합되는 엔코더 휠을 포함하는 픽업 장치.

Has a container-type body and a cover, The container-type body has a casing having an edge and a mounting end of the terminal hole formed on the back;
An element pickup part connected to the pickup head protruding to the outside of the container body and having a suction hollow shaft formed inside the container body;
A moving module disposed inside the container-type body for rotating, raising or lowering the suction hollow shaft and the pickup head;
A picker reciprocating drive unit disposed in connection with the moving module in the container-type body to provide a lifting force or a lowering force to the moving module;
A suction block installed at the top of the casing to provide pneumatic pressure (where pneumatic pressure includes positive or negative pressure of gas) to the suction hollow shaft,
It is formed inside the container-type body is supported based on the moving module and connected to the suction hollow shaft includes an encoder for sensing the rotation of the suction hollow shaft,
The picker reciprocating drive unit,
A pair of stators and a mover disposed between the pair of stators, the lifter being connected to a circuit part through a board on which the mover is mounted to provide a lifting force or a lowering force to the moving module according to a signal applied from the circuit part, In addition to connecting the mover to the moving module, one of the pair of stators is installed on the container type body by installing one of the stator to the edge of the stepped hole of the rear of the container body and the other stator to the mounting end of the container body. ,
The moving module,
A substrate connection portion formed at one side and connected to the substrate on which the mover is mounted, an extension frame formed at the other side, and a bearing block formed at the other side, and installed on the container-type body based on a position between the substrate connection portion and the extension frame and being parallel to each other. A plurality of linear guides spaced apart from each other to maintain, and the bracket mounting portion and the motor space in which the motor bracket is installed,
Each of the linear guides has a guide rail installed on an inner surface of the container body, and a bogie block coupled to each other in a vertical direction along each of the guide rails.
In the motor space portion is disposed a drive gear coupled to the drive motor and the rotating shaft of the drive motor,
The motor housing of the drive motor is coupled to one side of the motor bracket, the bracket installation portion of the moving module is coupled to the other side of the motor bracket,
The rotating shaft of the drive motor is shaft coupled to the drive gear, the drive gear is meshed with the driven gear,
The driven gear operating according to the drive gear is axially coupled to the suction hollow shaft of the element pick-up part,
The suction hollow shaft is provided with a plurality of bearings based on the lower position of the driven gear,
The outer ring of the plurality of bearings is coupled to the bearing block of the mobile module, the inner ring of each of the plurality of bearings is coupled to the outer peripheral surface of the suction hollow shaft to support the rotation of the suction hollow shaft,
The encoder,
Encoder mounting having a connection end formed on one side and connected to the extension frame of the mobile module, the vertical gap maintaining portion formed on the other side and the bearing hole is formed on the bottom and the encoder bearing for rotatably supporting the suction hollow shaft Pick-up device comprising a stand, an encoder sensor installed in the vertical space maintaining portion of the encoder mounting, and the encoder wheel coupled to the suction hollow shaft.

제 1 항에 있어서,
상기 커버에는 상기 피커 왕복 구동부의 정면을 향하는 정면 단차홀이 형성되어 있고, 상기 용기형 몸체에는 상기 피커 왕복 구동부의 배면을 향하여 배면 단차홀이 형성되어 있고,
상기 정면 단차홀과 상기 배면 단차홀에는 상기 피커 왕복 구동부로부터 발생되는 자기장을 차폐하여 복수개의 픽업모듈간 전자기 결합 현상을 방지하는 차폐판이 각각 설치되어 있는 픽업 장치.
The method of claim 1,
The cover has a front stepped hole formed toward the front of the picker reciprocating drive, the container-shaped body is formed with a back stepped hole toward the back of the picker reciprocating drive,
And a shielding plate provided at each of the front stepped hole and the rear stepped hole to shield a magnetic field generated from the picker reciprocating drive unit to prevent electromagnetic coupling between a plurality of pickup modules.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 선형가이드 각각에 설치된 가이드레일은 서로 다른 길이를 가지며,
상기 픽업 장치는,
상기 가이드레일 중 길이가 짧은 가이드레일의 상부와 인접한 상기 용기형 몸체에 설치된 리니어 스케일 센서를 더 포함하는 픽업 장치.
The method of claim 1,
Guide rails installed on each of the linear guides have different lengths,
The pickup device,
Pick-up device further comprises a linear scale sensor installed in the container body adjacent to the upper portion of the short guide rail of the guide rail.
제 1 항에 있어서,
상기 이동모듈은
상기 이동모듈의 베어링블럭 저면에 형성된 스프링 접촉부를 포함하며,
상기 픽업장치는,
상기 스프링 접촉부에 접촉된 스프링과,
상기 스프링의 압축 또는 인장을 가이드하도록 상기 용기형 몸체의 저부에 설치된 스프링 가이드를 더 포함하는 픽업 장치.
The method of claim 1,
The moving module
It includes a spring contact formed on the bearing block bottom surface of the moving module,
The pickup device,
A spring in contact with the spring contact;
And a spring guide installed at the bottom of the container body to guide compression or tension of the spring.
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