KR102065643B1 - Flexible Copper Clad Layer and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 연성 동박 적층필름 및 이의 제조방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 얇은 두께를 가지면서도 우수한 박리강도, 인장강도, 탄성율, 연신율, 흡습율 및 내열성을 가지는 연성 동박 적층필름 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible copper foil laminated film and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a flexible copper foil laminated film having a thin thickness and excellent peel strength, tensile strength, elastic modulus, elongation, moisture absorption and heat resistance, and a method of manufacturing the same. It is about.

Description

연성 동박 적층필름 및 이의 제조방법{Flexible Copper Clad Layer and manufacturing method thereof}Flexible Copper Clad Lamination Film and Manufacturing Method Thereof {Flexible Copper Clad Layer and manufacturing method}

본 발명은 연성 동박 적층필름 및 이의 제조방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 얇은 두께를 가지면서도 우수한 박리강도, 인장강도, 탄성율, 연신율, 흡습율 및 내열성을 가지는 연성 동박 적층필름 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible copper foil laminated film and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a flexible copper foil laminated film having a thin thickness and excellent peel strength, tensile strength, elastic modulus, elongation, moisture absorption and heat resistance, and a method of manufacturing the same. It is about.

인쇄 회로기판(PCB; Printed circuit board)은 각종 부품을 접속할 전기 배선을 회로 설계에 따라 배선 도형으로 표현한 것으로 각종 부품을 연결하거나 지지해주는 역할을 한다. 특히, 노트북 컴퓨터, 휴대폰, PDA, 소형 비디오 카메라 및 전자수첩 등의 전자기기의 발달에 따라 인쇄 회로기판의 수요가 증대되었다. 나아가 상기의 전자기기들은 휴대성이 강조되면서 점점 소형화 및 경량화 되어가는 추세이다. 따라서 인쇄 회로기판은 더욱 집적화, 소형화, 경량화 되고 있다.Printed circuit board (PCB) is a representation of the electrical wiring to connect the various parts according to the circuit design according to the circuit design and serves to connect or support the various components. In particular, with the development of electronic devices such as notebook computers, mobile phones, PDAs, small video cameras and electronic organizers, the demand for printed circuit boards has increased. Furthermore, the electronic devices are becoming smaller and lighter, with the emphasis on portability. Therefore, printed circuit boards are becoming more integrated, smaller, and lighter.

상기 인쇄 회로기판은 그 물리적 특성에 따라 리지드(rigid) 인쇄 회로기판, 연성(flexible) 인쇄 회로기판, 이 두 가지가 결합된 리지드-플렉서블 인쇄 회로기판 및 리지드-플렉서블 인쇄 회로기판과 유사한 멀티-플렉서블 인쇄 회로기판으로 나뉜다. 특히, 연성 인쇄 회로기판의 원자재인 연성 동박 적층필름(FCCL; flexible circuit clad layer)은 휴대폰, 디지털캠코더, 노트북, LCD 모니터 등 디지털 가전제품에 사용되는 것으로서 굴곡성이 크고 경박단소화에 유리한 특성 때문에 최근 수요가 급속히 증가하고 있다.The printed circuit board may be a multi-flexible substrate similar to a rigid printed circuit board, a flexible printed circuit board, a rigid-flexible printed circuit board, a rigid-flexible printed circuit board, and a rigid-flexible printed circuit board. It is divided into a printed circuit board. In particular, flexible copper clad layer (FCCL), a raw material for flexible printed circuit boards, is used in digital home appliances such as mobile phones, digital camcorders, laptops, and LCD monitors. Demand is growing rapidly.

연성 동박 적층필름은 폴리머 필름층과 금속 전도층을 적층한 것으로 가요성을 갖는 것이 특징이다. 연성 동박 적층필름은 특히 유연성이나 굴곡성이 요구되는 전자기기 또는 전자기기의 소재 부분에 이용되며, 전자기기의 소형화, 경량화에 공헌하고 있다.Flexible copper foil laminated | multilayer film laminated | stacked the polymer film layer and the metal conductive layer, and is characterized by having flexibility. Flexible copper foil laminated films are particularly used for electronic devices or material parts of electronic devices that require flexibility and flexibility, and contribute to miniaturization and light weight of electronic devices.

이와 같은 기술과 관련된 종래의 연성 동박 적층필름은 크게 동박에 폴리이미드계 수지를 도포하는 방식과 폴리머 필름 위에 구리를 증착하는 방식으로 나뉘어진다. 특히 구리 증착 방식은 매우 얇은 두께의 구리막 형성이 가능하다.Conventional flexible copper foil laminated films associated with this technology are largely divided into a method of applying a polyimide resin to the copper foil and a method of depositing copper on the polymer film. In particular, the copper deposition method can form a very thin copper film.

증착 방식의 연성 동박 적층필름은 폴리머 필름 위에 스퍼터링(sputtering) 방식으로 타이코트(tie-coat)층을 형성한 후, 이를 구리 전해 도금조를 통해 연속적으로 통과시키면서 구리를 전해 도금하여 제조한다.A flexible copper foil laminated film of a deposition method is prepared by forming a tie-coat layer on a polymer film by sputtering, and then electroplating copper while continuously passing it through a copper electrolytic plating bath.

상기 제작된 연성 동박 적층필름은 회로 형성 후 회로상에 반도체 칩이나 전기 소자 등이 실장되어 사용되며, 드라이버 IC(Driver IC)의 소형화, 다핀화, 협 피치(pitch)화가 급속히 진행되고 있는 상황이다. 따라서, 얇은 두께를 가지면서도 우수한 박리강도, 인장강도, 탄성율, 연신율, 흡습율 등의 물성이 우수한 연성 동박 적층필름이 요구되는 실정이다.The fabricated flexible copper foil laminated film is a semiconductor chip or an electric element mounted on the circuit after circuit formation, and is used in a miniaturized, multi-pinned, narrow pitch of a driver IC. . Accordingly, there is a need for a flexible copper foil laminated film having a thin thickness and excellent physical properties such as excellent peel strength, tensile strength, elastic modulus, elongation, and moisture absorption rate.

하지만, 현재 제작되는 연성 동박 적층필름은 이와 같이 요구되는 물성을 충족시키지 못하는 문제점이 있다.However, currently produced flexible copper foil laminated film has a problem that does not meet the required physical properties.

한국 등록특허번호 제10-1421701호(공개일 : 2014.04.04)Korea Patent Registration No. 10-1421701 (Publish Date: 2014.04.04)

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 얇은 두께를 가지면서도 우수한 박리강도, 인장강도, 탄성율, 연신율, 흡습율 및 내열성을 가지는 연성 동박 적층필름 및 이의 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to provide a flexible copper foil laminated film having a thin thickness and excellent peel strength, tensile strength, elastic modulus, elongation, hygroscopicity and heat resistance, and a method of manufacturing the same. .

상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 연성 동박 적층필름은 폴리이미드 기재층, 상기 폴리이미드 기재층 일면 또는 양면에 형성된 금속도금층 및 상기 금속도금층 일면에 형성된 동박층을 포함하고, 상기 폴리이미드 기재층은 제1폴리이미드 기재층 및 상기 제1폴리이미드 기재층 일면 또는 양면에 형성된 제2폴리이미드 기재층을 포함하며, 상기 제1폴리이미드 기재층은 평균입경 1 ~ 7㎛의 무정형 인산칼슘을 포함하고, 상기 제2폴리이미드 기재층은 평균입경 50 ~ 250nm의 구상 실리카(silica)를 포함할 수 있다.In order to solve the above problems, the flexible copper foil laminated film of the present invention includes a polyimide substrate layer, a metal plating layer formed on one surface or both sides of the polyimide substrate layer and a copper foil layer formed on one surface of the metal plating layer, the polyimide substrate The layer includes a first polyimide substrate layer and a second polyimide substrate layer formed on one or both surfaces of the first polyimide substrate layer, wherein the first polyimide substrate layer contains amorphous calcium phosphate having an average particle diameter of 1 to 7 μm. The second polyimide base layer may include spherical silica having an average particle diameter of 50 to 250 nm.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 제1폴리이미드 기재층은 전체 중량 중, 인산칼슘을 1 중량% 이하로 포함하고, 상기 제2폴리이미드 기재층은 전체 중량 중, 실리카를 0.5 ~ 5 중량%로 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the first polyimide base layer contains 1% by weight or less of calcium phosphate in the total weight, and the second polyimide base layer has 0.5 to 5 weight parts of silica in the total weight. May contain%.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 제2폴리이미드 기재층의 실리카는 하기 조건 (1) 및 조건 (2)를 모두 만족할 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the silica of the second polyimide base layer may satisfy both the following conditions (1) and (2).

(1) 2.88 ≤

Figure 112018023430320-pat00001
≤ 4.34(1) 2.88 ≤
Figure 112018023430320-pat00001
≤ 4.34

(2) 19.4nm ≤ D10 ≤ 29.3 nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm(2) 19.4 nm ≤ D10 ≤ 29.3 nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm

상기 조건 (1) 및 (2)에서 D10, D50 및 D90은 각각 실리카 입도의 누적분포에서 최대 값에 대하여 10%, 50%, 90%에 해당하는 입도를 말함.In the above conditions (1) and (2), D10, D50 and D90 refer to particle sizes corresponding to 10%, 50% and 90% with respect to the maximum value in the cumulative distribution of the silica particle sizes, respectively.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 제2폴리이미드 기재층은 하기 화학식 1로 표시되는 화합물, 하기 화학식 2로 표시되는 화합물, 하기 화학식 3로 표시되는 화합물, 하기 화학식 4로 표시되는 화합물, 하기 화학식 5로 표시되는 화합물, 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 7로 표시되는 화합물을 중합시킨 폴리아믹산의 이미드화 반응물을 더 포함할 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the second polyimide substrate layer is a compound represented by the following formula (1), a compound represented by the formula (2), a compound represented by the formula (3), a compound represented by the formula (4), The compound represented by the formula (5), the compound represented by the formula (6) and the compound represented by the formula (7) may further include an imidization reaction of the polyamic acid polymerized.

[화학식 1][Formula 1]

Figure 112018023430320-pat00002
Figure 112018023430320-pat00002

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112018023430320-pat00003
Figure 112018023430320-pat00003

[화학식 3][Formula 3]

Figure 112018023430320-pat00004
Figure 112018023430320-pat00004

[화학식 4][Formula 4]

Figure 112018023430320-pat00005
Figure 112018023430320-pat00005

[화학식 5][Formula 5]

Figure 112018023430320-pat00006
Figure 112018023430320-pat00006

상기 화학식 5에 있어서, R1 및 R2는 각각 독립적으로, -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이고,In Formula 5, R 1 and R 2 are each independently -H or an alkyl group of C1 to C5,

[화학식 6][Formula 6]

Figure 112018023430320-pat00007
Figure 112018023430320-pat00007

상기 화학식 6에 있어서, R3 및 R4는 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기이고, R5, R6, R7 및 R8는 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이며,In Formula 6, R 3 and R 4 are each independently, an alkylene group of C1 ~ C7, R 5 , R 6 , R 7 and R 8 are each independently -H or an alkyl group of C1 ~ C5,

[화학식 7][Formula 7]

Figure 112018023430320-pat00008
Figure 112018023430320-pat00008

상기 화학식 7에 있어서, R9 및 R10은 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기이고, R11, R12, R13, R14, R15 및 R16은 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이며, n는 1 ~ 20인 유리수이다.In Formula 7, R 9 and R 10 are each independently, an alkylene group of C1 ~ C7, R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 and R 16 are each independently -H or C1 ~ It is an alkyl group of C5, n is a free number which is 1-20.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 폴리아믹산은 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 화학식 2로 표시되는 화합물 94.9 ~ 142.5 중량부, 화학식 3로 표시되는 화합물 30.0 ~ 38.0 중량부, 화학식 4로 표시되는 화합물 6.8 ~ 10.3 중량부, 화학식 5로 표시되는 화합물 17.2 ~ 26.0 중량부, 화학식 6으로 표시되는 화합물 8.3 ~ 12.6 중량부 및 화학식 7로 표시되는 화합물 7.1 ~ 10.8 중량부를 중합시킨 중합체일 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the polyamic acid is 94.9 to 142.5 parts by weight of the compound represented by Formula 2, 30.0 to 38.0 parts by weight of the compound represented by Formula 3, based on 100 parts by weight of the compound represented by Formula 1 6.8 to 10.3 parts by weight of the compound represented by 4, 17.2 to 26.0 parts by weight of the compound represented by Formula 5, 8.3 to 12.6 parts by weight of the compound represented by Formula 6, and 7.1 to 10.8 parts by weight of the compound represented by Formula 7 Can be.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 화학식 6으로 표시되는 화합물 및 상기 화학식 7로 표시되는 화합물을 1 : 0.68 ~ 1.03 중량비로 포함할 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the compound represented by Chemical Formula 6 and the compound represented by Chemical Formula 7 may include 1: 0.68 to 1.03 by weight.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 폴리이미드 기재층은 제1폴리이미드 기재층 및 제2폴리이미드 기재층이 1 : 0.12 ~ 0.19 두께비를 가질 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the polyimide substrate layer may have a thickness ratio of 1: 0.12 to 0.19 for the first polyimide substrate layer and the second polyimide substrate layer.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 제1폴리이미드 기재층은 상기 화학식 4로 표시되는 화합물, 하기 화학식 8로 표시되는 화합물, 하기 화학식 9로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 10으로 표시되는 화합물을 중합시킨 폴리아믹산의 이미드화 반응물을 포함할 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the first polyimide substrate layer is a compound represented by the formula (4), a compound represented by the formula (8), a compound represented by the formula (9) and a compound represented by the formula (10) It may comprise an imidization reaction of the polyamic acid.

[화학식 8][Formula 8]

Figure 112018023430320-pat00009
Figure 112018023430320-pat00009

[화학식 9][Formula 9]

Figure 112018023430320-pat00010
Figure 112018023430320-pat00010

[화학식 10][Formula 10]

Figure 112018023430320-pat00011
Figure 112018023430320-pat00011

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 금속도금층은 상기 제2폴리이미드 기재층 일면에 형성된 제1금속도금층 및 상기 제1금속도금층 일면에 형성된 제2금속도금층을 포함하고, 상기 제1금속도금층은 니켈 또는 니켈-구리 합금을 포함하고, 상기 제2금속도금층은 구리를 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the metal plating layer includes a first metal plating layer formed on one surface of the second polyimide substrate layer and a second metal plating layer formed on one surface of the first metal plating layer, wherein the first metal plating layer is Nickel or a nickel-copper alloy may be included, and the second metal plating layer may include copper.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 금속도금층은 제1금속도금층 및 제2금속도금층이 1 : 4.8 ~ 7.2 두께비를 가질 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the metal plating layer may have a thickness ratio of 1: 4.8 to 7.2 of the first metal plating layer and the second metal plating layer.

한편, 본 발명의 연성 동박 적층필름의 제조방법은 무기필러를 포함하는 폴리아믹산 용액을 제조하는 제1단계, 폴리이미드 기재 일면 또는 양면에 폴리아믹산 용액을 도포하여 폴리이미드 기재층을 제조하는 제2단계, 상기 폴리이미드 기재층 일면 또는 양면에 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 금속도금층을 형성하는 제3단계 및 상기 금속도금층 일면에 전해 도금(electro plating) 공정으로 동박층을 형성하는 제4단계를 포함하고, 상기 무기필러는 평균입경이 50 ~ 250nm의 구상 실리카(silica)를 포함할 수 있다.On the other hand, the method for producing a flexible copper foil laminated film of the present invention is a first step of preparing a polyamic acid solution containing an inorganic filler, a second step of applying a polyamic acid solution to one or both sides of the polyimide substrate to produce a polyimide substrate A third step of forming a metal plating layer by sputtering process on one or both sides of the polyimide substrate layer and a fourth step of forming a copper foil layer by electroplating process on one surface of the metal plating layer; The inorganic filler may include spherical silica having an average particle diameter of 50 to 250 nm.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 연성 동박 적층필름의 제조방법의 상기 무기필러는 하기 조건 (1) 및 조건 (2)를 모두 만족할 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the inorganic filler of the method for producing a flexible copper foil laminated film of the present invention may satisfy all of the following conditions (1) and (2).

(1) 2.88 ≤

Figure 112018023430320-pat00012
≤ 4.34(1) 2.88 ≤
Figure 112018023430320-pat00012
≤ 4.34

(2) 19.4nm ≤ D10 ≤ 29.3 nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm(2) 19.4 nm ≤ D10 ≤ 29.3 nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm

상기 조건 (1) 및 (2)에서 D10, D50 및 D90은 각각 실리카 입도의 누적분포에서 최대 값에 대하여 10%, 50%, 90%에 해당하는 입도를 말함.In the above conditions (1) and (2), D10, D50 and D90 refer to particle sizes corresponding to 10%, 50% and 90% with respect to the maximum value in the cumulative distribution of the silica particle sizes, respectively.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 연성 동박 적층필름의 제조방법의 상기 제1단계는 하기 화학식 1로 표시되는 화합물, 하기 화학식 2로 표시되는 화합물, 하기 화학식 4로 표시되는 화합물, 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물, 하기 화학식 7로 표시되는 화합물 및 용매를 혼합 및 중합시켜 제1중합체를 제조하는 제1-1단계, 상기 제1중합체에 하기 화학식 1로 표시되는 화합물, 하기 화학식 5로 표시되는 화합물, 하기 화학식 3로 표시되는 화합물 및 용매를 혼합 및 중합시켜 제2중합체를 제조하는 제1-2단계 및 상기 제2중합체에 무기필러, 촉매 및 용매를 혼합하여 폴리아믹산 용액을 제조하는 제1-3단계를 포함할 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the first step of the method for producing a flexible copper foil laminated film of the present invention is a compound represented by the following formula (1), a compound represented by the formula (2), a compound represented by the following formula (4), Step 1-1 to prepare a first polymer by mixing and polymerizing the compound represented by the formula (6), the compound represented by the formula (7) and the solvent, the compound represented by the formula (1) to the first polymer, to the formula (5) Step 1-2 to prepare a second polymer by mixing and polymerizing the compound, the compound represented by the following formula and a solvent and the inorganic filler, a catalyst and a solvent to the second polymer to prepare a polyamic acid solution It may include steps 1-3.

[화학식 1][Formula 1]

Figure 112018023430320-pat00013
Figure 112018023430320-pat00013

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112018023430320-pat00014
Figure 112018023430320-pat00014

[화학식 3][Formula 3]

Figure 112018023430320-pat00015
Figure 112018023430320-pat00015

[화학식 4][Formula 4]

Figure 112018023430320-pat00016
Figure 112018023430320-pat00016

[화학식 5][Formula 5]

Figure 112018023430320-pat00017
Figure 112018023430320-pat00017

상기 화학식 5에 있어서, R1 및 R2는 각각 독립적으로, -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이고,In Formula 5, R 1 and R 2 are each independently -H or an alkyl group of C1 to C5,

[화학식 6][Formula 6]

Figure 112018023430320-pat00018
Figure 112018023430320-pat00018

상기 화학식 6에 있어서, R3 및 R4는 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기이고, R5, R6, R7 및 R8는 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이며,In Formula 6, R 3 and R 4 are each independently, an alkylene group of C1 ~ C7, R 5 , R 6 , R 7 and R 8 are each independently -H or an alkyl group of C1 ~ C5,

[화학식 7][Formula 7]

Figure 112018023430320-pat00019
Figure 112018023430320-pat00019

상기 화학식 7에 있어서, R9 및 R10은 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기이고, R11, R12, R13, R14, R15 및 R16은 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이며, n는 1 ~ 20인 유리수이다.In Formula 7, R 9 and R 10 are each independently, an alkylene group of C1 ~ C7, R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 and R 16 are each independently -H or C1 ~ It is an alkyl group of C5, n is a free number which is 1-20.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 연성 동박 적층필름의 제조방법의 상기 폴리아믹산 용액은 제2중합체 100 중량부에 대하여 무기필러 0.67 ~ 1.02 중량부 및 촉매 0.27 ~ 0.41 중량부를 포함할 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the polyamic acid solution of the method for producing a flexible copper foil laminated film of the present invention may include 0.67 to 1.02 parts by weight of inorganic filler and 0.27 to 0.41 parts by weight of catalyst based on 100 parts by weight of the second polymer. have.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 연성 동박 적층필름의 제조방법의 상기 제2단계는 폴리이미드 기재 일면 또는 양면에 폴리아믹산 용액을 도포한 후, 120 ~ 220℃에서 1 ~ 5분간 건조시킨 후, 280 ~ 320℃에서 1 ~ 5분간 열처리하여 폴리이미드 기재층을 제조할 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the second step of the method for producing a flexible copper foil laminated film of the present invention after applying a polyamic acid solution on one side or both sides of a polyimide substrate, and then dried for 1 to 5 minutes at 120 ~ 220 ℃ After the heat treatment, the polyimide substrate layer may be prepared by heat treatment at 280 to 320 ° C. for 1 to 5 minutes.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 연성 동박 적층필름의 제조방법의 상기 제3단계는 폴리이미드 기재층 일면 또는 양면에 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 니켈 또는 니켈-구리 합금을 포함하는 제1금속도금층을 형성하는 제3-1단계, 상기 제1금속도금층 일면에 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 구리를 포함하는 제2금속도금층을 형성하는 제3-2단계를 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the third step of the method for producing a flexible copper foil laminated film of the present invention is a first comprising a nickel or nickel-copper alloy in the sputtering process on one or both sides of the polyimide substrate layer Step 3-1 to form a metal plating layer, it may include a step 3-2 to form a second metal plating layer containing copper in the sputtering process on one surface of the first metal plating layer.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 연성 동박 적층필름의 제조방법의 상기 제3-1단계의 스퍼터링 공정은 니켈 또는 니켈-구리 합금이 배치된 진공 챔버(champer) 내에 비활성 기체를 20 ~ 80cc/min 주입하여, 1 x 10-2 ~ 1 x 10-5 Torr 압력하에서 20 ~ 40 nm/min 성막속도로 진행될 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the sputtering process of step 3-1 of the method for manufacturing a flexible copper foil laminated film of the present invention is 20 ~ 20 inert gas in a vacuum chamber (champer) is placed nickel or nickel-copper alloy By injection at 80 cc / min, it can proceed at a film formation rate of 20 to 40 nm / min under 1 x 10 -2 to 1 x 10 -5 Torr pressure.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 연성 동박 적층필름의 제조방법의 상기 제3-2단계의 스퍼터링 공정은 구리가 배치된 진공 챔버(champer) 내에 비활성 기체를 80 ~ 120cc/min 주입하여, 1 x 10-2 ~ 1 x 10-5 Torr 압력하에서 50 ~ 400 nm/min 성막속도로 진행될 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the sputtering process of step 3-2 of the method for manufacturing a flexible copper foil laminated film of the present invention by injecting an inert gas into the vacuum chamber (champer) is placed 80 ~ 120cc / min At 1 x 10 -2 to 1 x 10 -5 Torr pressure, it can proceed at 50 to 400 nm / min deposition rate.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 연성 동박 적층필름의 제조방법의 상기 제4단계의 전해 도금 공정은 1 ~ 3A/d㎡의 음극 전류 밀도, 25 ~ 40℃의 온도 조건 하에서, 구리 전구체를 포함하는 혼합용액에서 진행될 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the electrolytic plating process of the fourth step of the method for producing a flexible copper foil laminated film of the present invention is a copper current density of 1 ~ 3A / dm 2, under a temperature condition of 25 ~ 40 ℃, copper It may proceed in a mixed solution containing a precursor.

나아가, 본 발명의 연성인쇄회로기판은 앞서 언급한 연성 동박 적층필름을 포함한다.Furthermore, the flexible printed circuit board of the present invention includes the aforementioned flexible copper foil laminated film.

본 발명의 연성 동박 적층필름 및 이의 제조방법은 얇은 두께를 가질 뿐만 아니라, 박리강도, 인장강도, 탄성율, 연신율, 흡습율 및 내열성이 현저히 우수하다.The flexible copper foil laminated film of the present invention and its manufacturing method not only have a thin thickness, but also have remarkably excellent peel strength, tensile strength, elastic modulus, elongation, moisture absorption rate and heat resistance.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른, 연성 동박 적층필름의 단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 다른 일실시예에 따른, 연성 동박 적층필름의 단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
1 is a view schematically showing a cross-section of a flexible copper foil laminated film according to an embodiment of the present invention.
2 is a view schematically showing a cross section of a flexible copper foil laminated film according to another preferred embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 부가한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. The drawings and description are to be regarded as illustrative in nature and not restrictive. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.

도 1 및 도 2를 참조하여 설명하면, 본 발명의 연성 동박 적층필름(Flexible Copper Clad Layer)은 폴리이미드 기재층(10), 금속도금층(20) 및 동박층(30)이 순차적으로 적층되어 있다.1 and 2, in the flexible copper clad layer of the present invention, a polyimide base layer 10, a metal plating layer 20, and a copper foil layer 30 are sequentially stacked. .

먼저, 폴리이미드 기재층(10)은 전기 절연층으로서 폴리이미드 수지를 포함할 수 있으며, 이와 같은 폴리이미드 수지는 불용, 불융의 초고내열성 수지로서 내열산화성, 내열특성, 내방사선성, 저온특성, 내약품성 등에 우수한 특성을 가질 수 있다.First, the polyimide base layer 10 may include a polyimide resin as an electrical insulation layer, and such a polyimide resin is an insoluble, insoluble, ultra high temperature resistant resin that is thermally oxidized, heat resistant, radiation resistant, low temperature, It may have excellent properties such as chemical resistance.

구체적으로, 폴리이미드 기재층(10)은 제1폴리이미드 기재층(11) 및 제1폴리이미드 기재층(11) 일면 또는 양면에 형성된 제2폴리이미드 기재층(12)을 포함할 수 있다. 달리 말하면, 도 1에 도시된 것처럼 제2폴리이미드 기재층(12)은 제1폴리이미드 기재층(11) 일면에만 형성될 수 있고, 도 2에 도시된 것처럼 제2폴리이미드 기재층(12', 12")은 제1폴리이미드 기재층(11) 양면에 형성될 수 있다.Specifically, the polyimide base layer 10 may include a first polyimide base layer 11 and a second polyimide base layer 12 formed on one side or both sides of the first polyimide base layer 11. In other words, as shown in FIG. 1, the second polyimide base layer 12 may be formed only on one surface of the first polyimide base layer 11, and as shown in FIG. 2, the second polyimide base layer 12 ′. , 12 ") may be formed on both surfaces of the first polyimide substrate layer 11.

본 발명의 제1폴리이미드 기재층(11)은 방향족 디안하이드라이드와 방향족 디아민 또는 방향족 디이소시아네이트를 용액중합하여 폴리아믹산 유도체를 제조한 후, 고온에서 폐환탈수시켜 이미드화하여 제조되는 고내열성 수지를 포함할 수 있으며, 바람직하게는 하기 화학식 4로 표시되는 화합물, 하기 화학식 8로 표시되는 화합물, 하기 화학식 9로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 10으로 표시되는 화합물을 중합시킨 폴리아믹산의 이미드화 반응물을 포함할 수 있다.The first polyimide base layer 11 of the present invention is a solution of an aromatic dianhydride and an aromatic diamine or an aromatic diisocyanate to prepare a polyamic acid derivative. It may include, and preferably comprises an imidization reaction of a compound represented by the following formula (4), a compound represented by the formula (8), a compound represented by the formula (9) and a polyamic acid polymerized by the compound represented by the formula (10) can do.

[화학식 4][Formula 4]

Figure 112018023430320-pat00020
Figure 112018023430320-pat00020

[화학식 8][Formula 8]

Figure 112018023430320-pat00021
Figure 112018023430320-pat00021

[화학식 9][Formula 9]

Figure 112018023430320-pat00022
Figure 112018023430320-pat00022

[화학식 10][Formula 10]

Figure 112018023430320-pat00023
Figure 112018023430320-pat00023

제1폴리이미드 기재층(11)의 두께는 특별한 제한이 없으나, 제조하고자 하는 연성 동박 적층필름의 두께를 고려하여 5㎛ ~ 25㎛, 바람직하게는 12.5㎛ ~ 25㎛일 수 있다.The thickness of the first polyimide base layer 11 is not particularly limited, but may be 5 μm to 25 μm, preferably 12.5 μm to 25 μm in consideration of the thickness of the flexible copper foil laminated film to be manufactured.

본 발명의 제2폴리이미드 기재층(12, 12', 12")은 하기 화학식 1로 표시되는 화합물, 하기 화학식 2로 표시되는 화합물, 하기 화학식 3로 표시되는 화합물, 상기 화학식 4로 표시되는 화합물, 하기 화학식 5로 표시되는 화합물, 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 7로 표시되는 화합물을 중합시킨 폴리아믹산의 이미드화 반응물을 포함할 수 있다.The second polyimide substrate layer 12, 12 ', 12 "of the present invention is a compound represented by the following formula (1), a compound represented by the formula (2), a compound represented by the formula (3), a compound represented by the formula (4) , A compound represented by the following Chemical Formula 5, a compound represented by the following Chemical Formula 6, and an imidation reaction product of a polyamic acid polymerized with the compound represented by the following Chemical Formula 7.

[화학식 1][Formula 1]

Figure 112018023430320-pat00024
Figure 112018023430320-pat00024

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112018023430320-pat00025
Figure 112018023430320-pat00025

[화학식 3][Formula 3]

Figure 112018023430320-pat00026
Figure 112018023430320-pat00026

[화학식 5][Formula 5]

Figure 112018023430320-pat00027
Figure 112018023430320-pat00027

상기 화학식 5에 있어서, R1 및 R2는 각각 독립적으로, -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기일 수 있고, 바람직하게는 C1 ~ C3의 알킬기일 수 있다.In Formula 5, R 1 and R 2 may be each independently a -H or an alkyl group of C1 ~ C5, preferably a C1 ~ C3 alkyl group.

[화학식 6][Formula 6]

Figure 112018023430320-pat00028
Figure 112018023430320-pat00028

상기 화학식 6에 있어서, R3 및 R4는 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기일 수 있고, 바람직하게는 각각 독립적으로, C2 ~ C5의 알킬렌기일 수 있다.In Formula 6, R 3 and R 4 may each independently be an alkylene group of C1 to C7, preferably each independently may be an alkylene group of C2 to C5.

또한, 상기 화학식 6에 있어서, R5, R6, R7 및 R8는 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기일 수 있고, 바람직하게는 각각 독립적으로 C1 ~ C3의 알킬기일 수 있다.In addition, in Chemical Formula 6, R 5 , R 6 , R 7 and R 8 may be each independently -H or an alkyl group of C1 ~ C5, preferably each independently may be an alkyl group of C1 ~ C3.

[화학식 7][Formula 7]

Figure 112018023430320-pat00029
Figure 112018023430320-pat00029

상기 화학식 7에 있어서, R9 및 R10은 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기이고, 바람직하게는 각각 독립적으로, C2 ~ C5의 알킬렌기일 수 있다.In Formula 7, R 9 and R 10 are each independently, an alkylene group of C1 ~ C7, preferably, each independently, may be an alkylene group of C2 ~ C5.

또한, 상기 화학식 7에 있어서, R11, R12, R13, R14, R15 및 R16은 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기일 수 있고, 바람직하게는 각각 독립적으로 C1 ~ C3의 알킬기일 수 있다.In addition, in Chemical Formula 7, R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15, and R 16 may be each independently -H or an alkyl group of C1 to C5, preferably each independently C1 to C3 It may be an alkyl group of.

또한, 상기 화학식 7에 있어서, n는 1 ~ 20인 유리수일 수 있고, 바람직하게는 4 ~ 16인 유리수일 수 있으며, 더욱 바람직하게는 6 ~ 10인 유리수일 수 있다.In addition, in Chemical Formula 7, n may be a rational number of 1 to 20, preferably 4 to 16 rational number, and more preferably 6 to 10 rational number.

한편, 본 발명의 폴리아믹산은 화학식 1로 표시되는 화합물, 화학식 2로 표시되는 화합물, 화학식 3로 표시되는 화합물, 화학식 4로 표시되는 화합물, 화학식 5로 표시되는 화합물, 화학식 6으로 표시되는 화합물 및 화학식 7로 표시되는 화합물을 중합시킨 중합체일 수 있다.On the other hand, the polyamic acid of the present invention is a compound represented by formula 1, a compound represented by formula 2, a compound represented by formula 3, a compound represented by formula 4, a compound represented by formula 5, a compound represented by formula 6 and It may be a polymer obtained by polymerizing a compound represented by Formula 7.

이 때, 본 발명의 폴리아믹산은 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 화학식 2로 표시되는 화합물 94.9 ~ 142.5 중량부, 바람직하게는 106.8 ~ 130.6 중량부, 더욱 바람직하게는 112.7 ~ 124.7 중량부를 포함하여 중합될 수 있으며, 만일 화학식 2로 표시되는 화합물이 94.9 중량부 미만이면 접착성 및 가공성 저하의 문제가 있을 수 있고, 142.5 중량부를 초과하면 치수안정성 및 내열성의 문제가 있을 수 있다.At this time, the polyamic acid of the present invention is 94.9 to 142.5 parts by weight, preferably 106.8 to 130.6 parts by weight, more preferably 112.7 to 124.7 parts by weight, based on 100 parts by weight of the compound represented by Formula 1 It may be polymerized to include a part, if the compound represented by the formula (2) is less than 94.9 parts by weight may have a problem of adhesion and processability deterioration, if it exceeds 142.5 parts by weight may have a problem of dimensional stability and heat resistance.

또한, 본 발명의 폴리아믹산은 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 화학식 3로 표시되는 화합물 30.0 ~ 38.0 중량부, 바람직하게는 31.0 ~ 37.5 중량부, 더욱 바람직하게는 32.0 ~ 36.8 중량부를 포함하여 중합될 수 있으며, 만일 화학식 3로 표시되는 화합물이 27.5 중량부 미만이면 치수안정성 및 내열성의 문제가 있을 수 있고, 41.3 중량부를 초과하면 접착성과 가공성 저하의 문제가 있을 수 있다.In addition, the polyamic acid of the present invention is 30.0 to 38.0 parts by weight, preferably 31.0 to 37.5 parts by weight, more preferably 32.0 to 36.8 parts by weight, based on 100 parts by weight of the compound represented by Formula 1 If the compound represented by Formula 3 is less than 27.5 parts by weight, there may be problems of dimensional stability and heat resistance, and if it exceeds 41.3 parts by weight, there may be a problem of deterioration in adhesion and processability.

또한, 본 발명의 폴리아믹산은 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 화학식 4로 표시되는 화합물 6.8 ~ 10.3 중량부, 바람직하게는 7.6 ~ 9.4 중량부, 더욱 바람직하게는 8.1 ~ 9.0 중량부를 포함하여 중합될 수 있으며, 만일 화학식 4로 표시되는 화합물이 6.8 중량부 미만이면 치수안정성 및 내열성의 문제가 있을 수 있고, 10.3 중량부를 초과하면 접착성과 가공성 저하의 문제가 있을 수 있다.In addition, the polyamic acid of the present invention is 6.8 to 10.3 parts by weight, preferably 7.6 to 9.4 parts by weight, more preferably 8.1 to 9.0 parts by weight, based on 100 parts by weight of the compound represented by Formula 1 If the compound represented by Formula 4 is less than 6.8 parts by weight, there may be problems of dimensional stability and heat resistance, and if it exceeds 10.3 parts by weight, there may be a problem of deterioration of adhesion and processability.

또한, 본 발명의 폴리아믹산은 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 화학식 5로 표시되는 화합물 17.2 ~ 26.0 중량부, 바람직하게는 19.4 ~ 23.8 중량부, 더욱 바람직하게는 20.5 ~ 22.7 중량부를 포함하여 중합될 수 있으며, 만일 화학식 5로 표시되는 화합물이 17.2 중량부 미만이면 내열성 저하의 문제가 있을 수 있고, 26.0 중량부를 초과하면 접착력 저하의 문제가 있을 수 있다.In addition, the polyamic acid of the present invention is 17.2 to 26.0 parts by weight, preferably 19.4 to 23.8 parts by weight, more preferably 20.5 to 22.7 parts by weight, based on 100 parts by weight of the compound represented by Formula 1 It may be polymerized to include, if the compound represented by the formula (5) is less than 17.2 parts by weight may have a problem of lowering the heat resistance, if it exceeds 26.0 parts by weight may have a problem of lowering the adhesion.

또한, 본 발명의 폴리아믹산은 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 화학식 6으로 표시되는 화합물 8.3 ~ 12.6 중량부, 바람직하게는 9.4 ~ 11.5 중량부, 더욱 바람직하게는 9.9 ~ 11.0 중량부를 포함하여 중합될 수 있으며, 만일 화학식 6으로 표시되는 화합물이 8.3 중량부 미만이면 접착성의 문제가 있을 수 있고, 12.6 중량부를 초과하면 내열성의 문제가 있을 수 있다.In addition, the polyamic acid of the present invention is 8.3 to 12.6 parts by weight, preferably 9.4 to 11.5 parts by weight, more preferably 9.9 to 11.0 parts by weight, based on 100 parts by weight of the compound represented by Formula 1 It may be polymerized to include, if the compound represented by the formula (6) is less than 8.3 parts by weight may have a problem of adhesion, if it exceeds 12.6 parts by weight may have a problem of heat resistance.

또한, 본 발명의 폴리아믹산은 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 화학식 7로 표시되는 화합물 7.1 ~ 10.8 중량부, 바람직하게는 8.0 ~ 9.9 중량부, 더욱 바람직하게는 8.4 ~ 9.4 중량부를 포함하여 중합될 수 있으며, 만일 화학식 7로 표시되는 화합물이 7.1 중량부 미만이면 코팅성 및 접착성 저하의 문제가 있을 수 있고, 10.8 중량부를 초과하면 내열성의 문제가 있을 수 있다.In addition, the polyamic acid of the present invention is 7.1 to 10.8 parts by weight of the compound represented by the formula (7), preferably 8.0 to 9.9 parts by weight, more preferably 8.4 to 9.4 parts by weight based on 100 parts by weight of the compound represented by the formula (1) It may be polymerized, including, if the compound represented by the formula (7) is less than 7.1 parts by weight may have a problem of coating properties and adhesion deterioration, if it exceeds 10.8 parts by weight may be a problem of heat resistance.

한편, 상기 화학식 6으로 표시되는 화합물 및 상기 화학식 7로 표시되는 화합물을 1 : 0.68 ~ 1.03 중량비, 바람직하게는 1 : 0.76 ~ 0.95 중량비, 더욱 바람직하게는 1 : 0.81 ~ 0.90 중량비로 포함할 수 있으며, 만일 화학식 6으로 표시되는 화합물 1 중량비에 대하여 화학식 7로 표시되는 화합물을 0.68 중량비 미만으로 포함한다면 접착성 저하의 문제가 있을 수 있고, 1.03 중량비를 초과하여 포함한다면 내열성 저하의 문제가 있을 수 있다.Meanwhile, the compound represented by Chemical Formula 6 and the compound represented by Chemical Formula 7 may be included in a weight ratio of 1: 0.68 to 1.03, preferably 1: 0.76 to 0.95, and more preferably 1: 0.81 to 0.90 by weight. , If the compound represented by the formula (7) to less than 0.68 weight ratio with respect to the compound 1 weight ratio represented by the formula (6) may have a problem of lowering the adhesion, if it contains more than 1.03 weight ratio may have a problem of lowering the heat resistance .

제2폴리이미드 기재층(12, 12', 12")의 두께는 특별한 제한이 없으나, 제조하고자 하는 연성 동박 적층필름의 두께를 고려하여 0.5㎛ ~ 5㎛, 바람직하게는 1㎛ ~ 3㎛일 수 있다. 만일, 제2폴리이미드 기재층(12, 12', 12")의 두께가 5㎛를 초과하면, 두께 증가에 의한 접착강도가 비례하여 증가되지 않기 때문에 원가가 상승되는 문제가 발생할 뿐만 아니라, 제2폴리이미드 기재층(12, 12', 12")과 제1폴리이미드 기재층(11)의 선팽창 계수 차이로 인하여 주름 및 컬(Curl) 등이 발생하여 외관상 좋지 않은 상태가 발생할 수 있다. 또한, 제2폴리이미드 기재층(12, 12', 12")의 두께가 0.5㎛ 미만이면 제2폴리이미드 기재층(12, 12', 12")과 제1폴리이미드 기재층(11) 간의 접착력이 저하될 수 있다.The thickness of the second polyimide base layer 12, 12 ', 12 "is not particularly limited, but considering the thickness of the flexible copper foil laminated film to be manufactured 0.5㎛ ~ 5㎛, preferably 1㎛ ~ 3㎛ If the thickness of the second polyimide base layer 12, 12 ', 12 "exceeds 5 [mu] m, the cost increases due to the fact that the adhesive strength due to the thickness increase does not increase proportionally. However, due to the difference in the coefficient of linear expansion between the second polyimide base layer 12, 12 ', 12 "and the first polyimide base layer 11, wrinkles, curls, etc. may occur, which may result in an appearance that is not good. In addition, when the thickness of the second polyimide base layer 12, 12 ', 12 "is less than 0.5 mu m, the second polyimide base layer 12, 12', 12" and the first polyimide base layer 11 Adhesion between the two may be reduced.

나아가, 본 발명의 폴리이미드 기재층(10)은 제1폴리이미드 기재층(11) 및 제2폴리이미드 기재층(12)이 1 : 0.12 ~ 0.19 두께비, 바람직하게는 1 : 0.14 ~ 0.18 두께비, 더욱 바람직하게는 1 : 0.15 ~ 0.17 두께비를 가질 수 있다.Furthermore, the polyimide substrate layer 10 of the present invention is the first polyimide substrate layer 11 and the second polyimide substrate layer 12 is 1: 0.12 ~ 0.19 thickness ratio, preferably 1: 0.14 ~ 0.18 thickness ratio, More preferably, it may have a thickness ratio of 1: 0.15 to 0.17.

한편, 본 발명의 폴리이미드 기재층(10)은 무기 필러(Inorganic filler)를 포함할 수 있으며, 구체적으로 무기 필러(Inorganic filler)는 폴리이미드 기재층(10)을 구성하는 제1폴리이미드 기재층(11) 및 제2폴리이미드 기재층(12)에 모두 포함할 수 있다.Meanwhile, the polyimide base layer 10 of the present invention may include an inorganic filler, and specifically, the inorganic filler may include a first polyimide base layer constituting the polyimide base layer 10. It can contain in both (11) and the 2nd polyimide base material layer 12.

다만, 제1폴리이미드 기재층(11)은 무기 필러로서 무정형 인산칼슘(Ca3(PO4)2)을 포함할 수 있으며, 무정형 인산칼슘의 평균입경은 1 ~ 7㎛, 바람직하게는 1 ~ 5㎛, 더욱 바람직하게는 1 ~ 3㎛일 수 있으며, 만일 무정형 인산칼슘의 평균입경이 1㎛ 미만이면 필름 제조 공정에 있어서, 권취 시나 반송 시에 주름이 생기는 문제가 있을 수 있고, 7㎛를 초과하면 필름에 물리적인 손상을 주어 필름의 기계적 특성이 저하시키는 문제가 있을 수 있다.However, the first polyimide base layer 11 may include amorphous calcium phosphate (Ca 3 (PO 4 ) 2 ) as the inorganic filler, and the average particle diameter of the amorphous calcium phosphate is 1 to 7 μm, preferably 1 to 5 μm, more preferably 1 to 3 μm, and if the average particle diameter of amorphous calcium phosphate is less than 1 μm, there may be a problem that wrinkles occur during winding or conveyance in the film manufacturing process, and 7 μm If exceeded, there may be a problem in that the mechanical properties of the film are degraded due to physical damage to the film.

또한, 제1폴리이미드 기재층(11)은 전체 중량 중, 인산칼슘을 1 중량% 이하, 바람직하게는 0.1 ~ 0.8 중량%를 포함할 수 있으며, 만일 인산칼슘을 1 중량%를 초과하여 포함한다면 빛 투과성 감소 및 필름의 기계적 특성이 크게 손상되는 문제가 있을 수 있다.In addition, the first polyimide base layer 11 may contain 1% by weight or less of calcium phosphate, preferably 0.1 to 0.8% by weight, and if it contains more than 1% by weight of calcium phosphate, There may be a problem that the light transmittance is reduced and the mechanical properties of the film are greatly impaired.

또한, 제2폴리이미드 기재층(12)은 무기 필러로서 구상 실리카(SiO2)을 포함할 수 있으며, 구상 실리카의 평균입경은 50 ~ 250nm, 바람직하게는 70 ~ 230nm, 더욱 바람직하게는 100 ~ 200nm일 수 있으며, 만일 실리카의 평균입경이 50nm 미만이면 필름의 적절한 주행성 부여를 하지 못하거나 불필요한 첨가량을 증대시키는 문제가 있을 수 있고, 250nm를 초과하면 연성회로기판 제작 후, 외관상 돌기로 인하여 Fine pattern 형성에 어려움이 생기는 문제가 있을 수 있다.In addition, the second polyimide base layer 12 may include spherical silica (SiO 2 ) as an inorganic filler, and the average particle diameter of the spherical silica is 50 to 250 nm, preferably 70 to 230 nm, more preferably 100 to If the average particle diameter of the silica is less than 50nm, there may be a problem that does not provide the proper running performance of the film or increase the unnecessary amount, if it exceeds 250nm, after fabricating the flexible circuit board, fine pattern due to the appearance protrusion There may be a problem of difficulty in formation.

또한, 제2폴리이미드 기재층(12)은 전체 중량 중, 실리카를 0.5 ~ 5 중량%, 바람직하게는 1 ~ 3 중량%를 포함할 수 있으며, 만일 실리카를 0.5 중량% 미만으로 포함한다면 필름의 적절한 주행성 부여를 하지 못하는 문제가 있을 수 있고, 5 중량%를 초과하여 포함한다면 빛 투과성 감소 및 필름의 기계적 특성이 크게 손상되는 문제 뿐만 아니라 접착성 저하의 문제가 있을 수 있다.In addition, the second polyimide substrate layer 12 may include 0.5 to 5% by weight of silica, preferably 1 to 3% by weight of the total weight, and if the silica is included in less than 0.5% by weight of the film There may be a problem that does not provide the proper runability, if included in excess of 5% by weight may have a problem of reduced adhesion, as well as a decrease in light transmittance and a significant damage to the mechanical properties of the film.

또한, 제2폴리이미드 기재층(12)의 실리카는 하기 조건 (1) 및 조건 (2)를 모두 만족할 수 있다.In addition, the silica of the second polyimide base layer 12 may satisfy both of the following conditions (1) and (2).

(1) 2.88 ≤

Figure 112018023430320-pat00030
≤ 4.34, 바람직하게는 3.25 ≤
Figure 112018023430320-pat00031
≤ 3.98, 더욱 바람직하게는 3.43 ≤
Figure 112018023430320-pat00032
≤ 3.79(1) 2.88 ≤
Figure 112018023430320-pat00030
≤ 4.34, preferably 3.25 ≤
Figure 112018023430320-pat00031
≤ 3.98, more preferably 3.43 ≤
Figure 112018023430320-pat00032
≤ 3.79

만일, 조건 (1)에서

Figure 112018023430320-pat00033
가 2.88 미만이면 필름의 주행성 저하 및 주름 불량 발생의 문제가 있을 수 있고, 4.34를 초과하면 입자의 크기가 크고 입자들의 뭉침으로 인하여 돌기형성으로 인한 외관불량의 문제가 있을 수 있다.If, under condition (1)
Figure 112018023430320-pat00033
If less than 2.88 there may be a problem of deterioration of the runability of the film and the occurrence of wrinkle defects, if it exceeds 4.34 there may be a problem of appearance defects due to protrusions due to the large size of the particles and agglomeration of the particles.

(2) 19.4nm ≤ D10 ≤ 29.3nm, 바람직하게는 21.9nm ≤ D10 ≤ 26.8nm, 더욱 바람직하게는 23.1nm ≤ D10 ≤ 25.6nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, 바람직하게는 132.4nm ≤ D50 ≤ 162.0nm, 더욱 바람직하게는 139.8 nm ≤ D50 ≤ 154.6nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm, 바람직하게는 500.4 nm ≤ D90 ≤ 611.6nm, 더욱 바람직하게는 528.2nm ≤ D90 ≤ 583.8nm(2) 19.4 nm ≤ D10 ≤ 29.3 nm, preferably 21.9 nm ≤ D10 ≤ 26.8 nm, more preferably 23.1 nm ≤ D10 ≤ 25.6 nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, preferably 132.4 nm ≤ D50 ≤ 162.0 nm, more preferably 139.8 nm ≤ D50 ≤ 154.6 nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm, preferably 500.4 nm ≤ D90 ≤ 611.6 nm, more preferably 528.2 nm ≤ D90 ≤ 583.8 nm

만일, 조건 (2)에서 D10이 23.1nm 미만이면 필름의 주행성 저하 및 주름불량발생의 문제가 있을 수 있고, 25.6nm를 초과하면 입자의 크기가 크고 입자들의 뭉침으로 인하여 돌기형성으로 인한 외관불량의 문제가 있을 수 있다. 또한, D50이 117.7nm 미만이면 필름의 주행성 저하 및 주름 불량 발생의 문제가 있을 수 있고, 176,7nm를 초과하면 입자의 크기가 크고 입자들의 뭉침으로 인하여 돌기형성으로 인한 외관불량의 문제가 있을 수 있다. 또한, D90이 444.8nm 미만이면 필름의 주행성 저하 및 주름 불량 발생의 문제가 있을 수 있고, 667.2nm를 초과하면 입자의 크기가 크고 입자들의 뭉침으로 인하여 돌기형성으로 인한 외관불량의 문제가 있을 수 있다.If, in condition (2), D10 is less than 23.1 nm, there may be a problem of deterioration of runability of the film and occurrence of wrinkles. If it exceeds 25.6 nm, the particle size is large and the appearance defects due to protrusion formation due to aggregation of the particles may occur. There may be a problem. In addition, if the D50 is less than 117.7nm, there may be a problem of deterioration of the runability of the film and the occurrence of wrinkle defects, and if the D50 exceeds 176,7nm may have a problem of appearance defects due to protrusions due to the large size of the particles and agglomeration of the particles. have. In addition, if D90 is less than 444.8nm, there may be a problem of deterioration of the runability of the film and the occurrence of wrinkle defects, and if it exceeds 667.2nm, there may be a problem of appearance defects due to protrusions due to the large size of the particles and agglomeration of the particles. .

상기 조건 (1) 및 (2)에서 D10, D50 및 D90은 각각 실리카 입도의 누적분포에서 최대 값에 대하여 10%, 50%, 90%에 해당하는 입도를 말한다.In the above conditions (1) and (2), D10, D50 and D90 refer to particle sizes corresponding to 10%, 50% and 90% with respect to the maximum value in the cumulative distribution of the silica particle sizes, respectively.

다음으로, 본 발명의 금속도금층(20)은 폴리이미드 기재층(10) 일면 또는 양면에 형성될 수 있다. 이 때, 금속도금층(20)은 스퍼터링(Sputtering) 공정을 통해 형성될 수 있다.Next, the metal plating layer 20 of the present invention may be formed on one surface or both surfaces of the polyimide substrate layer 10. In this case, the metal plating layer 20 may be formed through a sputtering process.

또한, 본 발명의 금속도금층(20)은 제2폴리이미드 기재층(12) 일면에 형성된 제1금속도금층(21) 및 제1금속도금층(21) 일면에 형성된 제2금속도금층(22)을 포함할 수 있다.In addition, the metal plating layer 20 of the present invention includes a first metal plating layer 21 formed on one surface of the second polyimide base layer 12 and a second metal plating layer 22 formed on one surface of the first metal plating layer 21. can do.

달리 말하면, 도 1에 도시된 것처럼 제2폴리이미드 기재층(12)이 제1폴리이미드 기재층(11) 일면에만 형성되거나, 도 2에 도시된 것처럼 제2폴리이미드 기재층(12', 12")이 제1폴리이미드 기재층(11) 양면에 형성될 때, 제1금속도금층(21, 21', 21")은 제2폴리이미드 기재(12, 12', 12") 일면에 형성되고, 제2금속도금층(22, 22',22")은 제1금속도금층(21, 21', 21") 일면에 형성될 수 있다. 이 때, 제1금속도금층(21) 및 제2금속도금층(22)은 스퍼터링(Sputtering) 공정을 통해 형성될 수 있다.In other words, as shown in FIG. 1, the second polyimide base layer 12 is formed on only one surface of the first polyimide base layer 11, or as shown in FIG. 2, the second polyimide base layer 12 ′ and 12. When ") is formed on both sides of the first polyimide substrate layer 11, the first metal plating layers 21, 21 ', 21 " are formed on one surface of the second polyimide substrate 12, 12', 12 " The second metal plating layers 22, 22 ', and 22 "may be formed on one surface of the first metal plating layers 21, 21' and 21". In this case, the first metal plating layer 21 and the second metal plating layer may be formed. Reference numeral 22 may be formed through a sputtering process.

본 발명의 제1금속도금층(21, 21', 21")은 니켈 또는 니켈-구리 합금을 포함할 수 있고, 제1금속도금층(21, 21', 21")의 두께는 특별한 제한이 없으나, 제조하고자 하는 연성 동박 적층필름의 두께를 고려하여 10 ~ 40nm, 바람직하게는 15 ~ 35nm, 더욱 바람직하게는 20 ~ 30nm일 수 있다.The first metal plating layers 21, 21 ', 21 "of the present invention may include nickel or a nickel-copper alloy, and the thickness of the first metal plating layers 21, 21', 21" is not particularly limited. Considering the thickness of the flexible copper foil laminated film to be produced may be 10 to 40nm, preferably 15 to 35nm, more preferably 20 to 30nm.

본 발명의 제2금속도금층(22, 22', 22")은 구리를 포함할 수 있고, 제2금속도금층(22, 22',22")의 두께는 특별한 제한이 없으나, 제조하고자 하는 연성 동박 적층필름의 두께를 고려하여 50 ~ 300nm, 바람직하게는 100 ~ 150nm일 수 있다.The second metal plating layers 22, 22 'and 22 "of the present invention may include copper, and the thickness of the second metal plating layers 22, 22' and 22" is not particularly limited, but the flexible copper foil to be manufactured Considering the thickness of the laminated film may be 50 ~ 300nm, preferably 100 ~ 150nm.

한편, 본 발명의 금속도금층(20)은 제1금속도금층(21) 및 제2금속도금층(22)이 1 : 4.8 ~ 7.2 두께비, 바람직하게는 1 : 5.4 ~ 6.6 두께비, 더욱 바람직하게는 1 : 5.7 ~ 6.3 두께비를 가질 수 있으며, 만일 제1금속도금층(21) 1 두께비에 대하여 제2금속도금층(22)이 4.8 두께비 미만이면 저항이 높아져 전기 도금이 불가한 문제가 있을 수 있고, 7.2 두께비를 초과하면 폴리이미드 기재층(10) 표면에 열충격이 가해져 핀홀 증가의 문제가 있을 수 있다. Meanwhile, in the metal plating layer 20 of the present invention, the first metal plating layer 21 and the second metal plating layer 22 have a thickness ratio of 1: 4.8 to 7.2, preferably 1: 5.4 to 6.6 thickness ratio, and more preferably 1: 1. It may have a thickness ratio of 5.7 to 6.3, and if the second metal plating layer 22 is less than the thickness ratio of 4.8 with respect to the thickness ratio of the first metal plating layer 21, the resistance may be increased, so that electroplating may be impossible. If exceeded, thermal shock may be applied to the surface of the polyimide substrate layer 10, thereby increasing the pinholes.

마지막으로, 본 발명의 동박층(30)은 금속도금층(20) 일면에 형성될 수 있다.Finally, the copper foil layer 30 of the present invention may be formed on one surface of the metal plating layer 20.

달리 말하면, 도 1에 도시된 것처럼 제2폴리이미드 기재층(12)이 제1폴리이미드 기재층(11) 일면에만 형성되거나, 도 2에 도시된 것처럼 제2폴리이미드 기재층(12', 12")이 제1폴리이미드 기재층(11) 양면에 형성될 때, 제1금속도금층(21, 21', 21")은 제2폴리이미드 기재(12, 12', 12") 일면에 형성되고, 제2금속도금층(22, 22', 22")은 제1금속도금층(21, 21', 21") 일면에 형성되며, 동박층(30, 30', 30")은 제2금속도금층(22, 22',22") 일면에 형성될 수 있다.In other words, as shown in FIG. 1, the second polyimide base layer 12 is formed on only one surface of the first polyimide base layer 11, or as shown in FIG. 2, the second polyimide base layer 12 ′ and 12. When ") is formed on both sides of the first polyimide substrate layer 11, the first metal plating layers 21, 21 ', 21 " are formed on one surface of the second polyimide substrate 12, 12', 12 " , The second metal plating layers 22, 22 ′ and 22 ″ are formed on one surface of the first metal plating layers 21, 21 ′ and 21 ″, and the copper foil layers 30, 30 ′ and 30 ″ are formed on the second metal plating layer ( 22, 22 ', 22 ") may be formed on one surface.

또한, 본 발명의 동박층(30)은 도전성 및 연성을 띄며, 회로패턴이 구비되어 있을 수 있으며, 이러한 회로패턴은 설계 목적에 맞게 원하는 형태로 패터닝(patterning)하는 것에 의하여 형성될 수 있다. In addition, the copper foil layer 30 of the present invention exhibits conductivity and ductility, and may be provided with a circuit pattern, and the circuit pattern may be formed by patterning the desired shape according to a design purpose.

또한, 본 발명의 동박층(30)은 전해 도금(electro plating) 공정을 통해 형성될 수 있다.In addition, the copper foil layer 30 of the present invention may be formed through an electroplating process.

동박층(30)의 두께는 특별한 제한이 없으나, 제조하고자 하는 연성 동박 적층필름의 두께를 고려하여 1 ~ 20㎛, 바람직하게는 2 ~ 15㎛, 더욱 바람직하게는 5 ~ 13㎛일 수 있다.The thickness of the copper foil layer 30 is not particularly limited, but may be 1 to 20 μm, preferably 2 to 15 μm, and more preferably 5 to 13 μm in consideration of the thickness of the flexible copper foil laminated film to be manufactured.

나아가, 본 발명의 연성 동박 적층필름은 PC-TM-650 2.4.9 규격에 의거하여 측정시, 1,000 ~ 1,400gf/cm의 박리강도, 바람직하게는 1,100 ~ 1,300 gf/cm의 박리강도를 가질 수 있다.Furthermore, the flexible copper foil laminated film of the present invention may have a peel strength of 1,000 to 1,400 gf / cm, preferably 1,100 to 1,300 gf / cm, when measured according to the PC-TM-650 2.4.9 standard. have.

또한, 본 발명의 연성 동박 적층필름은 JIS C6471 규격에 의거하여 측정시, 300 ~ 340℃의 내열성, 바람직하게는 305 ~ 320℃의 내열성을 가질 수 있다.In addition, the flexible copper foil laminated film of the present invention may have heat resistance of 300 to 340 ° C., preferably 305 to 320 ° C., as measured according to JIS C6471 standard.

또한, 본 발명의 연성 동박 적층필름은 IPC-TM-650 2.4.19 규격에 의거하여 측정시, 176 ~ 264 MPa의 인장강도, 바람직하게는 198 ~ 242 MPa의 인장강도, 더욱 바람직하게는 210 ~ 230 MPa의 인장강도를 가질 수 있다.In addition, the flexible copper foil laminated film of the present invention, when measured according to the IPC-TM-650 2.4.19 standard, tensile strength of 176 ~ 264 MPa, preferably 198 ~ 242 MPa, more preferably 210 ~ It can have a tensile strength of 230 MPa.

또한, 본 발명의 연성 동박 적층필름은 IPC-TM-650 2.4.18.3 규격에 의거하여 측정시, 4.64 ~ 6.95 GPa의 탄성율, 바람직하게는 5.22 ~ 6.38 GPa의 탄성율, 더욱 바람직하게는 5.5 ~ 6.1 GPa의 탄성율을 가질 수 있다.In addition, the flexible copper foil laminated film of the present invention, when measured according to the IPC-TM-650 2.4.18.3 standard, the elastic modulus of 4.64 ~ 6.95 GPa, preferably the elastic modulus of 5.22 ~ 6.38 GPa, more preferably 5.5 ~ 6.1 GPa It can have an elastic modulus of.

또한, 본 발명의 연성 동박 적층필름은 IPC-TM-650 2.4.19 규격에 의거하여 측정시, 28 ~ 42%의 연신율, 바람직하게는 31.5 ~ 38.5%의 연신율, 더욱 바람직하게는 33.5 ~ 36.5 %의 연신율을 가질 수 있다.In addition, the flexible copper foil laminated film of the present invention, when measured according to the IPC-TM-650 2.4.19 standard, elongation of 28 to 42%, preferably elongation of 31.5 to 38.5%, more preferably 33.5 to 36.5% It may have an elongation of.

또한, 본 발명의 연성 동박 적층필름은 IPC-TM-650 2.6.2 규격에 의거하여 측정시, 1.52 ~ 2.28%의 흡습율, 바람직하게는 1.71 ~ 2.09%의 흡습율, 더욱 바람직하게는 1.8 ~ 2.0%의 흡습율을 가질 수 있다.In addition, the flexible copper foil laminated film of the present invention, when measured according to the IPC-TM-650 2.6.2 standard, the moisture absorption of 1.52 ~ 2.28%, preferably the moisture absorption of 1.71 ~ 2.09%, more preferably 1.8 ~ It may have a moisture absorption rate of 2.0%.

한편, 본 발명은 앞서 언급한 연성 동박 적층필름을 포함하는 연성인쇄회로기판을 제공한다.On the other hand, the present invention provides a flexible printed circuit board comprising the aforementioned flexible copper foil laminated film.

연성인쇄회로기판(flexible printed circuits board, FPCB)은 전자제품이 소형화 및 경량화가 되면서 개발된 전자부품으로서, 본 발명의 연성 동박 적층필름을 포함하는 연성인쇄회로기판은 물성이 우수하다.Flexible printed circuit boards (FPCB) is an electronic component developed as the electronic products become smaller and lighter, the flexible printed circuit board including the flexible copper foil laminated film of the present invention has excellent physical properties.

본 발명의 연성인쇄회로기판은 전자제품의 핵심 부품으로서 휴대전화, 카메라, 노트북, 웨어러블 기기, 컴퓨터 및 주변기기, 이동통신단말, 비디오 및 오디오 기기, 캠코더, 프린터, DVD 플레이어, TFT LCD 디스플레이 장지, 위성 장비, 군사장비, 의료장비 중 적어도 하나에 사용될 수 있고, 바람직하게는 휴대전화, 카메라, 노트북 및 웨어러블 기기 중 적어도 하나에 사용될 수 있다.The flexible printed circuit board of the present invention is a core component of electronic products such as mobile phones, cameras, laptops, wearable devices, computers and peripherals, mobile communication terminals, video and audio devices, camcorders, printers, DVD players, TFT LCD displays, satellites It may be used in at least one of the equipment, military equipment, medical equipment, preferably in at least one of a mobile phone, a camera, a notebook and a wearable device.

한편, 본 발명의 연성 동박 적층필름의 제조방법은 제1단계 내지 제4단계를 포함한다.On the other hand, the method for producing a flexible copper foil laminated film of the present invention includes the first step to the fourth step.

먼저, 연성 동박 적층필름의 제조방법의 제1단계는 폴리아믹산 용액을 제조할 수 있다.First, the first step of the method for producing a flexible copper foil laminated film may be a polyamic acid solution.

폴리아믹산 용액은 하기 제1-1단계 내지 제1-3단계를 통해 제조될 수 있다.The polyamic acid solution may be prepared through the following first-first to third steps.

제1-1단계는 하기 화학식 1로 표시되는 화합물, 하기 화학식 2로 표시되는 화합물, 하기 화학식 4로 표시되는 화합물, 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물, 하기 화학식 7로 표시되는 화합물 및 용매를 혼합 및 중합시켜 제1중합체를 제조할 수 있다.Step 1-1 is a mixture of a compound represented by the following formula (1), a compound represented by the formula (2), a compound represented by the formula (4), a compound represented by the formula (6), a compound represented by the formula (7) and a solvent and The first polymer may be prepared by polymerization.

[화학식 1][Formula 1]

Figure 112018023430320-pat00034
Figure 112018023430320-pat00034

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112018023430320-pat00035
Figure 112018023430320-pat00035

[화학식 4][Formula 4]

Figure 112018023430320-pat00036
Figure 112018023430320-pat00036

[화학식 6][Formula 6]

Figure 112018023430320-pat00037
Figure 112018023430320-pat00037

상기 화학식 6에 있어서, R3 및 R4는 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기일 수 있고, 바람직하게는 각각 독립적으로, C2 ~ C5의 알킬렌기일 수 있다.In Formula 6, R 3 and R 4 may each independently be an alkylene group of C1 to C7, preferably each independently may be an alkylene group of C2 to C5.

또한, 상기 화학식 6에 있어서, R5, R6, R7 및 R8는 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기일 수 있고, 바람직하게는 각각 독립적으로 C1 ~ C3의 알킬기일 수 있다.In addition, in Chemical Formula 6, R 5 , R 6 , R 7 and R 8 may be each independently -H or an alkyl group of C1 ~ C5, preferably each independently may be an alkyl group of C1 ~ C3.

[화학식 7][Formula 7]

Figure 112018023430320-pat00038
Figure 112018023430320-pat00038

상기 화학식 7에 있어서, R9 및 R10은 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기이고, 바람직하게는 각각 독립적으로, C2 ~ C5의 알킬렌기일 수 있다.In Formula 7, R 9 and R 10 are each independently, an alkylene group of C1 ~ C7, preferably, each independently, may be an alkylene group of C2 ~ C5.

또한, 상기 화학식 7에 있어서, R11, R12, R13, R14, R15 및 R16은 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기일 수 있고, 바람직하게는 각각 독립적으로 C1 ~ C3의 알킬기일 수 있다.In addition, in Chemical Formula 7, R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15, and R 16 may be each independently -H or an alkyl group of C1 to C5, preferably each independently C1 to C3 It may be an alkyl group of.

또한, 상기 화학식 7에 있어서, n는 1 ~ 20인 유리수일 수 있고, 바람직하게는 4 ~ 16인 유리수일 수 있으며, 더욱 바람직하게는 6 ~ 10인 유리수일 수 있다.In addition, in Chemical Formula 7, n may be a rational number of 1 to 20, preferably 4 to 16 rational number, and more preferably 6 to 10 rational number.

제1-1단계의 용매는 NMP(N-Methyl Pyrrolidone), DMF(Dimethylformamide), DMAc(N,N-Dimethylacetamide), NMP(N-Methyl Pyrrolidone), GBL(γ- Butyrolactone) 중 1종 이상을 포함 중 1종 이상을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 NMP(N-Methyl Pyrrolidone) 및 DMF(Dimethylformamide) 중 1종 이상을 포함할 수 있다.The solvent of step 1-1 includes at least one of N-Methyl Pyrrolidone (NMP), Dimethylformamide (DMF), N, N-Dimethylacetamide (DMAc), N-Methyl Pyrrolidone (NMP), and γ-Butyrolactone (GBL). It may include one or more of, and may preferably include one or more of N-Methyl Pyrrolidone (NMP) and dimethylformamide (DMF).

제1-1단계를 구체적으로 설명하면, 먼저 화학식 1로 표시되는 화합물, 화학식 4로 표시되는 화합물, 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 7로 표시되는 화합물 및 용매를 5 ~ 30℃, 바람직하게는 10 ~ 20℃, 15 ~ 60분, 바람직하게는 20 ~ 45분 동안 먼저 혼합하고, 화학식 2로 표시되는 화합물(BTDA)을 1 ~ 5회, 바람직하게는 2 ~ 4회로 나누어 투입하고, 10 ~ 20℃, 바람직하게는 12 ~ 18℃, 30 ~ 90분, 바람직하게는 45 ~ 75분 동안 혼합 및 중합시켜 제1중합체를 제조할 수 있다.Specifically describing step 1-1, first, the compound represented by the formula (1), the compound represented by the formula (4), the compound represented by the formula (6) and the compound and the solvent represented by the formula (7) are 5 ~ 30 ℃, preferably Preferably 10 to 20 ℃, 15 to 60 minutes, preferably 20 to 45 minutes to mix first, the compound represented by the formula (BTDA) 1 to 5 times, preferably divided into 2 to 4 times, The first polymer may be prepared by mixing and polymerizing for 10 to 20 ° C., preferably for 12 to 18 ° C., for 30 to 90 minutes, preferably for 45 to 75 minutes.

또한, 제1중합체는 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 화학식 4로 표시되는 화합물 10.3 ~ 15.5 중량부, 바람직하게는 11.6 ~ 14.2 중량부, 화학식 6으로 표시되는 화합물 12.6 ~ 19.0 중량부, 바람직하게는 14.2 ~ 17.4 중량부 및 화학식 7로 표시되는 화합물 10.8 ~ 16.3 중량부, 바람직하게는 12.1 ~ 14.9 중량부를 중합시킨 중합체일 수 있다. In addition, the first polymer is 10.3 to 15.5 parts by weight of the compound represented by Formula 4, preferably 11.6 to 14.2 parts by weight, and 12.6 to 19.0 parts by weight of the compound represented by Formula 6, based on 100 parts by weight of the compound represented by Formula 1 , Preferably 14.2 to 17.4 parts by weight and 10.8 to 16.3 parts by weight of the compound represented by the formula (7), preferably 12.1 to 14.9 parts by weight of the polymer.

또한, 제1중합체를 제조하는데 사용되는 용매는 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 용매 1264 ~ 1897 중량부, 바람직하게는 1422 ~ 1739 중량부를 포함할 수 있다.In addition, the solvent used to prepare the first polymer may include 1264 to 1897 parts by weight of solvent, preferably 1422 to 1739 parts by weight, based on 100 parts by weight of the compound represented by Formula 1.

제1-2단계는 제1-1단계에서 제조된 제1중합체에 상기 화학식 1로 표시되는 화합물, 하기 화학식 5로 표시되는 화합물, 하기 화학식 3로 표시되는 화합물 및 용매를 혼합 및 중합시켜 제2중합체를 제조할 수 있다.Step 1-2 is a second polymer by mixing and polymerizing a compound represented by Chemical Formula 1, a compound represented by Chemical Formula 5, a compound represented by Chemical Formula 3, and a solvent with the first polymer prepared in Step 1-1 Polymers can be prepared.

[화학식 3][Formula 3]

Figure 112018023430320-pat00039
Figure 112018023430320-pat00039

[화학식 5][Formula 5]

Figure 112018023430320-pat00040
Figure 112018023430320-pat00040

상기 화학식 5에 있어서, R1 및 R2는 각각 독립적으로, -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기일 수 있고, 바람직하게는 C1 ~ C3의 알킬기일 수 있다.In Formula 5, R 1 and R 2 may be each independently a -H or an alkyl group of C1 ~ C5, preferably a C1 ~ C3 alkyl group.

제1-2단계의 용매는 DMSO(Dimethyl Sulfoxide), DMF(N,N-Dimethylformamide), DMAc(N,N-Dimethylacetamide), NMP(N-Methyl Pyrrolidone), GBL(γ- Butyrolactone) 중 1종 이상을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 NMP(N-Methyl Pyrrolidone) 및 DMF(Dimethylformamide) 중 1종 이상을 포함할 수 있다.The solvent of step 1-2 is at least one of DMSO (Dimethyl Sulfoxide), DMF (N, N-Dimethylformamide), DMAc (N, N-Dimethylacetamide), NMP (N-Methyl Pyrrolidone) and GBL (γ-Butyrolactone) It may include, and may preferably include one or more of N-Methyl Pyrrolidone (NMP) and dimethylformamide (DMF).

제1-2단계를 구체적으로 설명하면, 제1-1단계에서 제조된 제1중합체에 화학식 1로 표시되는 화합물, 화학식 5로 표시되는 화합물 및 용매를 0 ~ 30℃ 바람직하게는 10 ~ 20℃에서, 10 ~ 60분, 바람직하게는 20 ~ 40분 동안 먼저 혼합하고, 화학식 3로 표시되는 화합물을 투입하고, 10 ~ 20℃, 바람직하게는 12 ~ 18℃, 30 ~ 180분, 바람직하게는 40 ~ 120분 동안 혼합 및 중합시켜 제2중합체를 제조할 수 있다.Specifically, steps 1-2 will be described in detail. In the first polymer prepared in Step 1-1, the compound represented by Formula 1, the compound represented by Formula 5, and the solvent are 0 to 30 ° C., preferably 10 to 20 ° C. At 10 to 60 minutes, preferably 20 to 40 minutes, and then the compound represented by the formula (3) is added, 10 to 20 ℃, preferably 12 to 18 ℃, 30 to 180 minutes, preferably The second polymer can be prepared by mixing and polymerizing for 40-120 minutes.

또한, 제2중합체는 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 화학식 3으로 표시되는 화합물 81.3 ~ 122.0 중량부, 바람직하게는 91.4 ~ 111.8 중량부, 화학식 5로 표시되는 화합물 51.0 ~ 76.6 중량부, 바람직하게는 57.4 ~ 70.3 중량부를 중합시킨 중합체일 수 있다.Further, the second polymer is 81.3 to 122.0 parts by weight of the compound represented by Formula 3, preferably 91.4 to 111.8 parts by weight, and 51.0 to 76.6 parts by weight of the compound represented by Formula 5, based on 100 parts by weight of the compound represented by Formula 1 Preferably, the polymer may be polymerized from 57.4 to 70.3 parts by weight.

또한, 제2중합체를 제조하는데 사용되는 용매는 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 용매 1040 ~ 1561 중량부, 바람직하게는 1170 ~ 1431 중량부를 포함할 수 있다.In addition, the solvent used to prepare the second polymer may include 1040 to 1561 parts by weight of solvent, preferably 1170 to 1431 parts by weight, based on 100 parts by weight of the compound represented by Formula 1.

제1-3단계는 제1-2단계에서 제조된 제2중합체에 무기 필러, 촉매 및 용매를 혼합하여 폴리아믹산 용액을 제조할 수 있다.In the step 1-3, a polyamic acid solution may be prepared by mixing an inorganic filler, a catalyst, and a solvent with the second polymer prepared in the step 1-2.

제1-3단계의 무기 필러는 실리카(silica), 수산화 알루미늄, 수산화 마그네슘 중 탄산칼슘 중 1종 이상을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 실리카(silica)를 포함할 수 있으며, 더욱 바람직하게는 구상 실리카(SiO2)을 포함할 수 있으며, 구상 실리카의 평균입경은 50 ~ 250nm, 바람직하게는 70 ~ 230nm, 더욱 바람직하게는 100 ~ 200nm일 수 있고, 만일 실리카의 평균입경이 50nm 미만이면 필름의 적절한 주행성 부여를 하지 못하거나 불필요한 첨가량을 증대시키는 문제가 있을 수 있고, 250nm를 초과하면 연성회로기판 제작 후, 외관상 돌기로 인하여 Fine pattern 형성에 어려움이 생기는 문제가 있을 수 있다.The inorganic filler of the first to third stages may include at least one of silica, aluminum hydroxide and calcium carbonate in magnesium hydroxide, preferably silica, and more preferably spherical Silica (SiO 2 ) may be included, and the average particle diameter of the spherical silica may be 50 to 250 nm, preferably 70 to 230 nm, more preferably 100 to 200 nm, and if the average particle diameter of the silica is less than 50 nm, There may be a problem of failing to impart proper runability or increase an unnecessary amount, and if it exceeds 250 nm, there may be a problem of difficulty in forming a fine pattern due to appearance protrusions after fabricating the flexible circuit board.

또한, 실리카는 하기 조건 (1) 및 조건 (2)를 모두 만족할 수 있다. In addition, silica can satisfy | fill both the following conditions (1) and conditions (2).

(1) 2.88 ≤

Figure 112018023430320-pat00041
≤ 4.34, 바람직하게는 3.25 ≤
Figure 112018023430320-pat00042
≤ 3.98, 더욱 바람직하게는 3.43 ≤
Figure 112018023430320-pat00043
≤ 3.79(1) 2.88 ≤
Figure 112018023430320-pat00041
≤ 4.34, preferably 3.25 ≤
Figure 112018023430320-pat00042
≤ 3.98, more preferably 3.43 ≤
Figure 112018023430320-pat00043
≤ 3.79

만일, 조건 (1)에서

Figure 112018023430320-pat00044
가 2.88 미만이면 필름의 주행성 저하 및 주름 불량 발생의 문제가 있을 수 있고, 4.34를 초과하면 입자의 크기가 크고 입자들의 뭉침으로 인하여 돌기형성으로 인한 외관불량의 문제가 있을 수 있다. If, under condition (1)
Figure 112018023430320-pat00044
If less than 2.88 there may be a problem of deterioration of the runability of the film and the occurrence of wrinkle defects, if it exceeds 4.34 there may be a problem of appearance defects due to protrusions due to the large size of the particles and agglomeration of the particles.

(2) 19.4nm ≤ D10 ≤ 29.3nm, 바람직하게는 21.9nm ≤ D10 ≤ 26.8nm, 더욱 바람직하게는 23.1nm ≤ D10 ≤ 25.6nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, 바람직하게는 132.4nm ≤ D50 ≤ 162.0nm, 더욱 바람직하게는 139.8 nm ≤ D50 ≤ 154.6nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm, 바람직하게는 500.4 nm ≤ D90 ≤ 611.6nm, 더욱 바람직하게는 528.2nm ≤ D90 ≤ 583.8nm(2) 19.4 nm ≤ D10 ≤ 29.3 nm, preferably 21.9 nm ≤ D10 ≤ 26.8 nm, more preferably 23.1 nm ≤ D10 ≤ 25.6 nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, preferably 132.4 nm ≤ D50 ≤ 162.0 nm, more preferably 139.8 nm ≤ D50 ≤ 154.6 nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm, preferably 500.4 nm ≤ D90 ≤ 611.6 nm, more preferably 528.2 nm ≤ D90 ≤ 583.8 nm

만일, 조건 (2)에서 D10이 23.1nm 미만이면 미만이면 필름의 주행성 저하 및 주름불량발생의 문제가 있을 수 있고, 25.6nm를 초과하면 입자의 크기가 크고 입자들의 뭉침으로 인하여 돌기형성으로 인한 외관불량의 문제가 있을 수 있다. 또한, D50이 117.7nm 미만이면 필름의 주행성 저하 및 주름 불량 발생의 문제가 있을 수 있고, 176,7nm를 초과하면 입자의 크기가 크고 입자들의 뭉침으로 인하여 돌기형성으로 인한 외관불량의 문제가 있을 수 있다. 또한, D90이 444.8nm 미만이면 필름의 주행성 저하 및 주름 불량 발생의 문제가 있을 수 있고, 667.2nm를 초과하면 입자의 크기가 크고 입자들의 뭉침으로 인하여 돌기형성으로 인한 외관불량의 문제가 있을 수 있다.If the D10 is less than 23.1 nm under the condition (2), there may be a problem of deterioration of the running property of the film and occurrence of wrinkles. If the thickness exceeds 25.6 nm, the size of the particles is large and the appearance due to the formation of protrusions due to the aggregation of the particles. There may be a problem of badness. In addition, if the D50 is less than 117.7nm, there may be a problem of deterioration of the runability of the film and the occurrence of wrinkle defects, and if the D50 exceeds 176,7nm may have a problem of appearance defects due to protrusions due to the large size of the particles and agglomeration of the particles. have. In addition, if D90 is less than 444.8nm, there may be a problem of deterioration of the runability of the film and the occurrence of wrinkle defects, and if it exceeds 667.2nm, there may be a problem of appearance defects due to protrusions due to the large size of the particles and agglomeration of the particles. .

상기 조건 (1) 및 (2)에서 D10, D50 및 D90은 각각 실리카 입도의 누적분포에서 최대 값에 대하여 10%, 50%, 90%에 해당하는 입도를 말한다.In the above conditions (1) and (2), D10, D50 and D90 refer to particle sizes corresponding to 10%, 50% and 90% with respect to the maximum value in the cumulative distribution of the silica particle sizes, respectively.

또한, 제1-3단계의 촉매는 이소퀴놀린(Isoquinoline), β-피콜린(β- picoline), 피리딘(Pyridine), 디메틸아닐린(Dimethylaniline) 및 트리에틸아민(trimethylamine) 중 1종 이상을 포함할 수 있고, 바람직하게는 이소퀴놀린(Isoquinoline)을 포함할 수 있다.In addition, the catalyst of steps 1-3 may include at least one of isoquinoline, β-picoline, pyridine, dimethylaniline, and trimethylamine. It may preferably include isoquinoline (Isoquinoline).

또한, 제1-3단계의 용매는 DMSO(Dimethyl Sulfoxide), DMF(N,N-Dimethylformamide), DMAc(N,N-Dimethylacetamide), NMP(N-Methyl Pyrrolidone), GBL(γ- Butyrolactone) 중 1종 이상을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 NMP(N-Methyl Pyrrolidone) 및 DMF(Dimethylformamide) 중 1종 이상을 포함할 수 있다.In addition, the solvent of steps 1-3 is one of DMSO (Dimethyl Sulfoxide), DMF (N, N-Dimethylformamide), DMAc (N, N-Dimethylacetamide), NMP (N-Methyl Pyrrolidone) and GBL (γ-Butyrolactone) It may include more than one species, preferably may include one or more of NMP (N-Methyl Pyrrolidone) and DMF (Dimethylformamide).

한편, 제3-1단계의 폴리아믹산 용액은 제2중합체 100 중량부에 대하여 무기필러 0.67 ~ 1.02 중량부, 바람직하게는 0.76 ~ 0.94 중량부를 포함할 수 있다. 만일, 무기 필러가 0.67 중량부 미만으로 포함한다면 필름에 적절한 주행성 부여를 하지 못하는 문제가 있을 수 있고, 1.02 중량부를 초과하여 포함한다면 빛 투과성 감소와 필름의 기계적 특성이 손상 및 접착성 저하의 문제가 있을 수 있다.Meanwhile, the polyamic acid solution of step 3-1 may include 0.67 to 1.02 parts by weight of inorganic filler, preferably 0.76 to 0.94 parts by weight, based on 100 parts by weight of the second polymer. If the inorganic filler contains less than 0.67 parts by weight, there may be a problem in that it does not provide proper runability to the film. If it contains more than 1.02 parts by weight, the light transmittance and the mechanical properties of the film may be deteriorated. There may be.

또한, 제3-1단계의 폴리아믹산 용액은 제2중합체 100 중량부에 대하여 촉매 0.27 ~ 0.41 중량부, 바람직하게는 0.3 ~ 0.38 중량부를 포함할 수 있다.In addition, the polyamic acid solution of step 3-1 may include 0.27 to 0.41 parts by weight, preferably 0.3 to 0.38 parts by weight, based on 100 parts by weight of the second polymer.

또한, 제3-1단계의 폴리아믹산 용액은 제2중합체 100 중량부에 대하여 용매 55.3 ~ 83.1 중량부, 바람직하게는 62.3 ~ 76.2 중량부를 포함할 수 있다.In addition, the polyamic acid solution of step 3-1 may include 55.3 ~ 83.1 parts by weight of solvent, preferably 62.3 ~ 76.2 parts by weight based on 100 parts by weight of the second polymer.

다음으로, 연성 동박 적층필름의 제조방법의 제2단계는 제1단계에서 제조된 폴리아믹산 용액을 폴리이미드 기재 일면 또는 양면에 도포하여 폴리이미드 기재층을 제조할 수 있다.Next, in the second step of the method for producing a flexible copper foil laminated film, a polyimide base layer may be prepared by applying the polyamic acid solution prepared in the first step to one or both sides of the polyimide base.

구체적으로, 제2단계는 폴리이미드 기재 일면 또는 양면에 폴리아믹산 용액을 도포한 후, 120 ~ 220℃, 바람직하게는 150 ~ 190℃에서 1 ~ 5분, 바람직하게는 2 ~ 4분간 건조시킨 후, 280 ~ 320℃, 바람직하게는 290 ~ 310℃에서 1 ~ 5분, 바람직하게는 2 ~ 4분간 열처리하여 폴리이미드 기재층을 제조할 수 있다. 더욱 구체적으로, 제2단계에서 진행되는 280 ~ 320℃, 바람직하게는 290 ~ 310℃에서 1 ~ 5분, 바람직하게는 2 ~ 4분간 열처리를 통해 폴리아믹산 용액은 이미드화가 진행되어 이미드화 반응물이 될 수 있고, 폴리이미드 기재 일면 또는 양면에 폴리아믹산의 이미드화 반응물이 형성되어 폴리이미드 기재층이 제조되는 것일 수 있다.Specifically, the second step is after applying the polyamic acid solution to one or both sides of the polyimide substrate, and then dried for 1 to 5 minutes, preferably 2 to 4 minutes at 120 ~ 220 ℃, preferably 150 ~ 190 ℃ , 280 ~ 320 ℃, preferably 290 ~ 310 ℃ heat treatment for 1 to 5 minutes, preferably 2 to 4 minutes to prepare a polyimide substrate layer. More specifically, the polyamic acid solution is imidized by imidization through heat treatment at 280 to 320 ° C., preferably at 290 to 310 ° C., for 1 to 5 minutes, and preferably for 2 to 4 minutes. The polyimide substrate may be prepared by forming an imidization reaction product of polyamic acid on one or both sides of the polyimide substrate.

다음으로, 연성 동박 적층필름의 제조방법의 제3단계는 제2단계에서 제조된 폴리이미드 기재층 일면 또는 양면에 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 금속도금층을 형성할 수 있다.Next, the third step of the method for producing a flexible copper foil laminated film may form a metal plating layer by sputtering on one or both sides of the polyimide substrate layer prepared in the second step.

금속도금층은 제3-1단계 및 제3-2단계를 통해 형성할 수 있다.The metal plating layer may be formed through steps 3-1 and 3-2.

먼저, 제3-1단계는 폴리이미드 기재층 일면 또는 양면에 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 니켈 또는 니켈-구리 합금을 포함하는 제1금속도금층을 형성할 수 있다. 이 때, 제3-1단계의 스퍼터링 공정은 니켈 또는 니켈-구리 합금이 배치된 진공 챔버(champer) 내에 비활성 기체를 20 ~ 80cc/min, 바람직하게는 40 ~ 60cc/min로 주입하여, 1 x 10-2 ~ 1 x 10-5 Torr, 바람직하게는 1 x 10-3 ~ 1 x 10-4 Torr 압력하에서 20 ~ 40 nm/min, 바람직하게는 25 ~ 35 nm/min의 성막속도로 진행될 수 있다. 또한, 제3-1단계의 비활성 기체로는 아르곤(Ar) 및 질소(N₂) 중 1종 이상이 사용될 수 있고, 바람직하게는 아르곤(Ar)이 사용될 수 있다.First, step 3-1 may form a first metal plating layer including nickel or a nickel-copper alloy by sputtering on one or both sides of the polyimide substrate layer. At this time, in the sputtering process of the step 3-1, an inert gas is injected at 20 to 80 cc / min, preferably 40 to 60 cc / min into a vacuum chamber in which nickel or a nickel-copper alloy is disposed, and thus 1 x It can proceed at a deposition rate of 20 to 40 nm / min, preferably 25 to 35 nm / min under a pressure of 10 -2 to 1 x 10 -5 Torr, preferably 1 x 10 -3 to 1 x 10 -4 Torr. have. In addition, at least one of argon (Ar) and nitrogen (N 2) may be used as the inert gas of step 3-1, and argon (Ar) may be preferably used.

다음으로, 제3-2단계는 상기 제1금속도금층 일면에 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 구리를 포함하는 제2금속도금층을 형성할 수 있다. 이 때, 제3-2단계의 스퍼터링 공정은 구리가 배치된 진공 챔버(champer) 내에 비활성 기체를 50 ~ 150cc/min, 바람직하게는 70 ~ 120 cc/min로 주입하여, 1 x 10-2 ~ 1 x 10-5 Torr, 바람직하게는 1 x 10-3 ~ 1 x 10-4 Torr 압력하에서 50 ~ 400 nm/min, 바람직하게는 80 ~ 150 nm/min의 주행속도로 진행될 수 있다. 또한, 제3-1단계 및 제3-2단계의 비활성 기체로는 아르곤(Ar) 및 질소(N₂) 중 1종 이상이 사용될 수 있고, 바람직하게는 아르곤(Ar)이 사용될 수 있다.Next, in step 3-2, a second metal plating layer including copper may be formed on one surface of the first metal plating layer by a sputtering process. At this time, the sputtering process of the step 3-2 is injected inert gas at 50 ~ 150cc / min, preferably 70 ~ 120 cc / min in a vacuum chamber (cuper) is placed copper, 1 x 10 -2 ~ It can proceed at a traveling speed of 50 to 400 nm / min, preferably 80 to 150 nm / min under 1 x 10 -5 Torr, preferably 1 x 10 -3 to 1 x 10 -4 Torr. In addition, at least one of argon (Ar) and nitrogen (N 2) may be used as the inert gas of steps 3-1 and 3-2, and argon (Ar) may be preferably used.

마지막으로, 연성 동박 적층필름의 제조방법의 제4단계는 제3단계에서 형성된 금속도금층 일면에 전해 도금(electro plating) 공정으로 동박층을 형성할 수 있다. 달리 말하면, 제3-2단계에서 형성된 제2금속도금층 일면에 전해 도금(electro plating) 공정으로 동박층을 형성할 수 있는 것이다.Finally, in the fourth step of the method for manufacturing a flexible copper foil laminated film, the copper foil layer may be formed by electroplating on one surface of the metal plating layer formed in the third step. In other words, the copper foil layer may be formed on one surface of the second metal plating layer formed in step 3-2 by an electroplating process.

구체적으로, 제4단계의 전해 도금 공정은 1 ~ 3A/d㎡의 음극 전류 밀도, 바람직하게는 1.5 ~ 2.5A/d㎡의 음극 전류 밀도, 25 ~ 40℃의 온도 조건, 바람직하게는 28 ~ 36℃의 온도 조건 하에서, 구리 전구체를 포함하는 혼합용액에서 진행되어, 동박층을 형성할 수 있다.Specifically, the electrolytic plating process of the fourth step is a cathode current density of 1 ~ 3A / dm 2, preferably a cathode current density of 1.5 ~ 2.5A / dm 2, temperature conditions of 25 ~ 40 ℃, preferably 28 ~ Under the temperature condition of 36 degreeC, it can advance in the mixed solution containing a copper precursor, and can form a copper foil layer.

또한, 혼합용액에는 구리 전구체로서 특별히 한정하지 않지만, 황산구리 수화물(CuSOH20) 등이 사용될 수 있다. 또한, 혼합용액은 구리 전구체 외에 황산, 염소, 티오우레아(thiourea) 및 덱스트린을 포함할 수 있다.The mixed solution is not particularly limited as a copper precursor, but copper sulfate hydrate (CuSO 4 H20) or the like may be used. In addition, the mixed solution may include sulfuric acid, chlorine, thiourea and dextrin in addition to the copper precursor.

이상에서 본 발명에 대하여 구현예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명의 구현예를 한정하는 것이 아니며, 본 발명의 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 구현예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The present invention has been described above with reference to the embodiment, which is merely an example and is not intended to limit the embodiment of the present invention. Those skilled in the art to which the embodiments of the present invention belong will have the essential characteristics of the present invention. It will be appreciated that various modifications and applications not illustrated above are possible without departing from the scope of the invention. For example, each component specifically shown in the embodiment of the present invention may be modified. And differences relating to such modifications and applications will be construed as being included in the scope of the invention defined in the appended claims.

실시예 1 : 연성 동박 적층필름의 제조 Example 1 Preparation of Flexible Copper Foil Laminated Film

(1) 하기 화학식 1-1로 표시되는 화합물 4.81g, 하기 화학식 6-1으로 표시되는 화합물 0.76g, 하기 화학식 7-1로 표시되는 화합물 0.65g, 하기 화학식 4로 표시되는 화합물 0.62g, NMP(N-Methyl Pyrrolidone) 53g, DMF(Dimethylformamide) 23g을 15℃에서 30분간 먼저 혼합하고, 하기 화학식 2로 표시되는 화합물 8.63g을 3회 나누어 투입하고, 15℃에서 1시간동안 혼합 및 중합시켜 제1중합체를 제조하였다.(1) 4.81 g of the compound represented by the following Chemical Formula 1-1, 0.76 g of the compound represented by the following Chemical Formula 6-1, 0.65 g of the compound represented by the following Chemical Formula 7-1, 0.62 g of the compound represented by the following Chemical Formula 4, NMP 53 g of (N-Methyl Pyrrolidone) and 23 g of DMF (dimethylformamide) were first mixed at 15 ° C. for 30 minutes, and 8.63 g of the compound represented by the following Formula 2 was added three times, and mixed and polymerized at 15 ° C. for 1 hour to prepare a mixture. One polymer was prepared.

(2) 제1중합체에 하기 화학식 1-1로 표시되는 화합물 2.46g, 하기 화학식 5-1로 표시되는 화합물 1.57g, NMP(N-Methyl Pyrrolidone) 22g, DMF(Dimethylformamide) 10g을 15℃에서 30분간 먼저 혼합하고, 하기 화학식 3로 표시되는 화합물 8.63g을 투입하고, 15℃에서 60분 동안 혼합 및 중합시켜 제2중합체를 제조하였다.(2) 2.46 g of the compound represented by the following Chemical Formula 1-1, 1.57 g of the compound represented by the following Chemical Formula 5-1, 22 g of N-Methyl Pyrrolidone (NMP), and 10 g of DMF (Dimethylformamide) were added to the first polymer at 15 ° C. First, the mixture was mixed for 1 minute, and 8.63 g of the compound represented by the following Chemical Formula 3 was added thereto, followed by mixing and polymerizing at 15 ° C. for 60 minutes to prepare a second polymer.

(3) 제2중합체 130g에 무기 필러로서 평균입경이 100㎚인 구형실리카 40중량% 용액(석경에이티) 1.10g, 촉매로서 이소퀴놀린(Isoquinoline) 0.44g, NMP(N-Methyl Pyrrolidone) 63g, DMF(Dimethylformamide) 27g를 혼합하여 폴리아믹산 용액을 제조하였다.(3) 1.10 g of a 40% by weight solution of spherical silica (average diameter) having an average particle diameter of 100 nm as an inorganic filler in 130 g of a second polymer, 0.44 g of isoquinoline as a catalyst, 63 g of N-Methyl Pyrrolidone (NMP), A polyamic acid solution was prepared by mixing 27 g of dimethylformamide (DMF).

(4) 하기 화학식 4로 표시되는 화합물, 하기 화학식 8로 표시되는 화합물, 하기 화학식 9로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 10-1으로 표시되는 화합물을 중합시킨 폴리아믹산의 이미드화 반응물과 무기 필러로서 무정형 인산칼슘을 포함하는 폴리이미드 기재(두께 : 19㎛)(SKC KOLON PI, GTO75) 양면에 제조된 폴리아믹산 용액을 균일하게 도포하고, 170℃에서 3분 동안 인라인 드라잉 오븐(in-line drying oven)을 통해서 건조시킨 후, 다시 300℃에서 3분 동안 인라인 드라잉 오븐(in-line drying oven)을 통해서 열처리하여 폴리이미드 기재층을 제조하였다. 이 때, 폴리아믹산 용액은 이미드화 되어 폴리이미드 기재 양면에 3㎛로 층을 형성하였다.(4) Amorphous as an imide reactant and inorganic filler of a polyamic acid polymerized by a compound represented by the following formula (4), a compound represented by the following formula (8), a compound represented by the following formula (9), and a compound represented by the following formula (10-1) Evenly apply the polyamic acid solution prepared on both sides of the polyimide substrate (thickness: 19 ㎛) (SKC KOLON PI, GTO75) containing calcium phosphate, and in-line drying oven for 3 minutes at 170 ℃ ), And then heat-treated in an in-line drying oven at 300 ° C. for 3 minutes to prepare a polyimide substrate layer. At this time, the polyamic acid solution was imidized to form a layer having a thickness of 3 μm on both sides of the polyimide substrate.

또한, 폴리아믹산 용액에 의해 형성된 층에는 전체 중량 중 구형 실리카를 2 중량%로 포함하였다.In addition, the layer formed by the polyamic acid solution contained 2% by weight of spherical silica in the total weight.

(5) 폴리이미드 기재층 양면에 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 두께 25nm의 제1금속도금층(= 니켈-구리 합금층)을 형성하였다. 이 때, 스퍼터링 공정은 30 중량%의 니켈-구리 합금이 배치된 진공 챔버(champer) 내에 아르곤(Ar) 기체를 50cc/min 주입하여, 1 x 10-3 Torr 압력하에서 30 nm/min 성막속도로 진행하였다.(5) A first metal plating layer (= nickel-copper alloy layer) having a thickness of 25 nm was formed on both sides of the polyimide substrate layer by a sputtering process. At this time, the sputtering process injects 50 cc / min of argon (Ar) gas into a vacuum chamber in which 30 wt% of nickel-copper alloy is placed, and at a film formation rate of 30 nm / min under 1 x 10 -3 Torr pressure. Proceeded.

(6) 제1금속도금층 일면에 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 두께 150nm의 제2금속도금층(=구리층)을 형성하였다. 이 때, 스퍼터링 공정은 구리가 배치된 진공 챔버(champer) 내에 아르곤(Ar) 기체를 100cc/min 주입하여, 1 x 10-3 Torr 압력 하에서 100 nm/min 성막속도로 진행하였다.(6) A second metal plating layer (= copper layer) having a thickness of 150 nm was formed on one surface of the first metal plating layer by a sputtering process. At this time, in the sputtering process, 100 cc / min of argon (Ar) gas was injected into a vacuum chamber in which copper was disposed, and then progressed at a film formation rate of 100 nm / min under 1 x 10 -3 Torr pressure.

(7) 제2금속도금층 일면에 전해 도금(electro plating) 공정으로 두께 10㎛의 동박층을 형성하여 연성 동박 적층필름을 제조하였다. 이 때, 전해 도금 공정은 2A/d㎡ 의 음극 전류 밀도, 32℃ 의 온도 조건 하에서, 황산구리 수화물(CuSOH20), 황산, 염소, 티오우레아(thiourea) 및 덱스트린을 포함하는 혼합용액에서 진행되었다.(7) A flexible copper foil laminated film was prepared by forming a copper foil layer having a thickness of 10 μm on one surface of the second metal plating layer by an electroplating process. At this time, the electrolytic plating process was carried out in a mixed solution containing copper sulfate hydrate (CuSO 4 H20), sulfuric acid, chlorine, thiourea and dextrin under a cathode current density of 2 A / dm 2, and a temperature of 32 ° C. It became.

[화학식 1-1][Formula 1-1]

Figure 112018023430320-pat00045
Figure 112018023430320-pat00045

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112018023430320-pat00046
Figure 112018023430320-pat00046

[화학식 3][Formula 3]

Figure 112018023430320-pat00047
Figure 112018023430320-pat00047

[화학식 4][Formula 4]

Figure 112018023430320-pat00048
Figure 112018023430320-pat00048

[화학식 5-1][Formula 5-1]

Figure 112018023430320-pat00049
Figure 112018023430320-pat00049

상기 화학식 5-1에 있어서, R1 및 R2는 메틸기이다.In Formula 5-1, R 1 and R 2 are methyl groups.

[화학식 6-1][Formula 6-1]

Figure 112018023430320-pat00050
Figure 112018023430320-pat00050

상기 화학식 6-1에 있어서, R3 및 R4는 -CH2CH2CH2-이고, R5, R6, R7 및 R8는 메틸기이다.In Formula 6-1, R 3 and R 4 are —CH 2 CH 2 CH 2 —, and R 5 , R 6 , R 7 and R 8 are methyl groups.

[화학식 7-1][Formula 7-1]

Figure 112018023430320-pat00051
Figure 112018023430320-pat00051

상기 화학식 7-1에 있어서, R9 및 R10은 -CH2CH2CH2-이고, R11, R12, R13, R14, R15 및 R16은 메틸기이며, n는 8인 유리수이다.In Formula 7-1, R 9 and R 10 are —CH 2 CH 2 CH 2 —, R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15, and R 16 are methyl groups, and n is a rational number 8. to be.

[화학식 8][Formula 8]

Figure 112018023430320-pat00052
Figure 112018023430320-pat00052

[화학식 9][Formula 9]

Figure 112018023430320-pat00053
Figure 112018023430320-pat00053

[화학식 10-1][Formula 10-1]

Figure 112018023430320-pat00054
Figure 112018023430320-pat00054

실시예 2 Example 2

실시예 1과 동일한 방법으로 연성 동박 적층필름을 제조하였다. 다만, 폴리아믹산 용액을 제조하는데 평균입경이 100nm인 실리카를 사용하지 않고, 평균입경이 200nm인 실리카를 사용하였다.A flexible copper foil laminated film was prepared in the same manner as in Example 1. However, to prepare a polyamic acid solution, silica having an average particle diameter of 200 nm was used instead of silica having an average particle diameter of 100 nm.

실시예 3 Example 3

실시예 1과 동일한 방법으로 연성 동박 적층필름을 제조하였다. 다만, 폴리아믹산 용액을 제조하는데 구형 실리카 40중량% 용액을 0.55g사용하였고,A flexible copper foil laminated film was prepared in the same manner as in Example 1. However, 0.55 g of a 40 wt% spherical silica solution was used to prepare a polyamic acid solution.

폴리아믹산 용액에 의해 형성된 층에는 전체 중량 중 구형 실리카를 1 중량%로 포함하였다.The layer formed by the polyamic acid solution contained 1% by weight of spherical silica in the total weight.

실시예 4 Example 4

실시예 1과 동일한 방법으로 연성 동박 적층필름을 제조하였다. 다만, 폴리아믹산 용액을 제조하는데 구형 실리카 40중량% 용액을 1.65g사용하였고, A flexible copper foil laminated film was prepared in the same manner as in Example 1. However, 1.65 g of a 40 wt% spherical silica solution was used to prepare a polyamic acid solution.

폴리아믹산 용액에 의해 형성된 층에는 전체 중량 중 구형 실리카를 3 중량%로 포함하였다.The layer formed by the polyamic acid solution contained 3% by weight of spherical silica in the total weight.

실시예 5 Example 5

실시예 1과 동일한 방법으로 연성 동박 적층필름을 제조하였다. 다만, 폴리아믹산 용액을 제조하는데 구형 실리카 40중량% 용액을 0.06g사용하였고, A flexible copper foil laminated film was prepared in the same manner as in Example 1. However, 0.06 g of a 40 wt% spherical silica solution was used to prepare a polyamic acid solution.

폴리아믹산 용액에 의해 형성된 층에는 전체 중량 중 구형 실리카를 0.1 중량%로 포함하였다.The layer formed by the polyamic acid solution contained 0.1% by weight of spherical silica in the total weight.

실시예 6 Example 6

실시예 1과 동일한 방법으로 연성 동박 적층필름을 제조하였다. 다만, 폴리아믹산 용액을 제조하는데 구형 실리카 40중량% 용액을 3.85g사용하였고, A flexible copper foil laminated film was prepared in the same manner as in Example 1. However, 3.85 g of a 40 wt% spherical silica solution was used to prepare a polyamic acid solution.

폴리아믹산 용액에 의해 형성된 층에는 전체 중량 중 구형 실리카를 7 중량%로 포함하였다.The layer formed by the polyamic acid solution contained 7% by weight of spherical silica in the total weight.

비교예 1 Comparative Example 1

실시예 1과 동일한 방법으로 연성 동박 적층필름을 제조하였다. 다만, 폴리아믹산 용액을 제조하는데 평균입경이 100nm인 실리카를 사용하지 않고, 평균입경이 30nm인 실리카를 사용하였다.A flexible copper foil laminated film was prepared in the same manner as in Example 1. However, to prepare a polyamic acid solution, silica having an average particle size of 30 nm was used instead of silica having an average particle size of 100 nm.

비교예 2 Comparative Example 2

실시예 1과 동일한 방법으로 연성 동박 적층필름을 제조하였다. 다만, 폴리아믹산 용액을 제조하는데 평균입경이 100nm인 실리카를 사용하지 않고, 평균입경이 300nm인 실리카를 사용하였다.A flexible copper foil laminated film was prepared in the same manner as in Example 1. However, in order to prepare a polyamic acid solution, silica having an average particle diameter of 300 nm was used instead of silica having an average particle diameter of 100 nm.

비교예 3Comparative Example 3

실시예 1과 동일한 방법으로 연성 동박 적층필름을 제조하였다. 다만, 폴리아믹산 용액을 제조하는데 구성 실리카를 사용하지 않고, 무정형 인산칼슘을 사용하였다.A flexible copper foil laminated film was prepared in the same manner as in Example 1. However, amorphous calcium phosphate was used instead of the constituent silica to prepare a polyamic acid solution.

비교예 4Comparative Example 4

실시예 1과 동일한 방법으로 연성 동박 적층필름을 제조하였다. 다만, 폴리아믹산 용액을 제조하는데 구성 실리카를 사용하지 않고, 연성 동박 적층필름을 제조하였다.A flexible copper foil laminated film was prepared in the same manner as in Example 1. However, a flexible copper foil laminated film was manufactured without using the component silica to prepare a polyamic acid solution.

실험예 1Experimental Example 1

상기 실시예 1 ~ 6 및 비교예 1 ~ 4에서 제조된 연성 동박 적층필름을 다음과 같은 물성평가법에 기준하여 평가를 실시하고, 그 결과를 표 1에 나타내었다.The flexible copper foil laminated films prepared in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 4 were evaluated based on the following physical property evaluation method, and the results are shown in Table 1 below.

(1) 박리강도(1) Peel strength

IPC-TM-650 규격(IPC-TM-650-method.2.4.9)에 의거하여 실시예 1 ~ 7 및 비교예 1 ~ 4에서 제조된 연성 동박 적층필름의 박리강도를 각각 측정하였다.(패턴폭 10 mm, 박리 각도 90 도, 박리 속도 50 mm/분)Peel strength of the flexible copper foil laminated films prepared in Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 4 were measured according to the IPC-TM-650 standard (IPC-TM-650-method.2.4.9). 10mm in width, peeling angle 90 degrees, peeling speed 50mm / min)

(2) 인장강도 / 신율(2) Tensile strength / elongation

IPC-TM-650 규격(IPC-TM-650-method.2.4.19)에 의거하여 실시예 1 ~ 7 및 비교예 1 ~ 4에서 제조된 연성 동박 적층필름의 인장강도 및 신율을 각각 측정하였다. 또한, 측정은 코어 필름의 MD 방향에 대하여 행하였다. (고정구 사이 거리 100mm, 폭 10 mm, 인장 속도 100 mm/분)In accordance with the IPC-TM-650 standard (IPC-TM-650-method.2.4.19), the tensile strength and elongation of the flexible copper foil laminated films prepared in Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 4 were measured, respectively. In addition, the measurement was performed about the MD direction of a core film. (Distance between fixtures 100 mm, width 10 mm, tensile speed 100 mm / min)

(3) 권취특성 (3) winding characteristics

실시예 1 ~ 7 및 비교예 1 ~ 4에서 제조된 폴리아믹산 용액을 폴리이미드 기재에 도포하고, 건조 및 열처리한 후, 폴리아믹산 용액이 이미드화 되어 폴리이미드 기재 양면에 층을 형성할 때, Winder에 권취 시 상태 및 주름 발생 유무를 확인하였다. 주름이 발생하지 않고 권취가 잘 되면 X, 주름이 일부 발생하며 권취가 일부 잘 안되었으면 △, 주름이 많고 권취가 되지 않으면 발생하였으면 ○로 표시하였다.When the polyamic acid solution prepared in Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 4 was applied to the polyimide substrate, dried and heat treated, the polyamic acid solution was imidized to form a layer on both sides of the polyimide substrate. The state and the presence of wrinkles were confirmed at the time of winding. If wrinkles do not occur and the winding is good, X, some wrinkles are generated, and if the winding is not well done, △, a lot of wrinkles and if not occurred, it is marked as ○.

(4) 코팅 공정성(4) coating processability

실시예 1 ~ 9 및 비교예 1 ~ 3에 기재된 바와 같이 폴리아믹산 용액을 폴리이미드 기재에 도포하고, 건조 및 열처리한 후, 폴리아믹산 용액이 이미드화 되어 폴리이미드 기재 양면에 층을 형성할 때, 외관 상태를 확인하였다. 이 때, 주름 및 돌기가 발생하지 않으면 X, 주름 및 돌기가 일부 발생하였으면 △, 주름 및 돌기가 많이 발생하였으면 ○로 표시하였다.When the polyamic acid solution is applied to the polyimide substrate, dried and heat treated as described in Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 3, the polyamic acid solution is imidized to form a layer on both sides of the polyimide substrate, The appearance state was confirmed. In this case, if wrinkles and protrusions do not occur, X, wrinkles and protrusions are partially generated, and if a lot of wrinkles and protrusions are indicated as ○.

Figure 112018023430320-pat00055
Figure 112018023430320-pat00055

상기 표 1에서 확인할 수 있듯이, 비교예 1에서 제조된 연성 동박 적층필름은 실시예 1 ~ 2에서 제조된 연성 동박 적층필름과 비교하여 권취가 불량할 뿐만 아니라, 기포가 발생하여 코팅 공정성이 떨어짐을 확인할 수 있었다.As can be seen in Table 1, the flexible copper foil laminated film prepared in Comparative Example 1 is not only poor winding, compared to the flexible copper foil laminated film prepared in Examples 1 to 2, bubbles are generated, the coating processability is inferior I could confirm it.

또한, 비교예 2에서 제조된 연성 동박 적층필름은 실시예 1 ~ 2에서 제조된 연성 동박 적층필름과 비교하여 박리강도, 인장강도 및 신율이 떨어질 뿐만 아니라, 주름이 발생하여 코팅 공정성이 떨어짐을 확인할 수 있었다.In addition, compared to the flexible copper foil laminated film prepared in Examples 1 to 2, the flexible copper foil laminated film prepared in Comparative Example 2 was not only inferior in peel strength, tensile strength and elongation, but also in wrinkles, resulting in poor coating processability. Could.

또한, 실시예 5에서 제조된 연성 동박 적층필름은 물성을 우수할 수 있지만, 권취시 주름이 많이 발생하고 권취가 불가능하여 제조된 연성 독박 적층필름으로서 사용이 불가능함을 확인할 수 있었다.In addition, although the flexible copper foil laminated film prepared in Example 5 may have excellent physical properties, it could be confirmed that it is impossible to use it as a manufactured flexible foil laminated film because wrinkles were generated a lot and winding was impossible.

또한, 실시예 6에서 제조된 연성 동박 적층필름은 실시예 1, 3 ~ 4와 비교하여 박리강도, 인장강도 및 신율이 떨어질 뿐만 아니라, 돌기가 많이 발생하여 코팅 공정성이 현저히 떨어짐을 확인할 수 있었다.In addition, compared with Examples 1, 3 to 4, the flexible copper foil laminated film prepared in Example 6 was not only inferior in peel strength, tensile strength and elongation, but also in the presence of a large number of protrusions.

또한, 비교예 3에서 제조된 연성 동박 적층필름은 실시예 1과 비교하여 박리강도, 인장강도 및 신율이 떨어질 뿐만 아니라, 돌기가 많이 발생하여 코팅 공정성이 현저히 떨어짐을 확인할 수 있었다.In addition, compared to Example 1, the flexible copper foil laminated film manufactured in Comparative Example 3 was not only inferior in peel strength, tensile strength and elongation, but also in a large amount of protrusions, so that the coating processability was remarkably decreased.

또한, 비교예 4에서 제조된 연성 동박 적층필름은 물성을 우수할 수 있지만, 권취시 주름이 많이 발생하고 권취가 불가능할 뿐만 아니라, 주름이 발생하여 코팅 공정성이 떨어짐을 확인할 수 있었다.In addition, the flexible copper foil laminated film prepared in Comparative Example 4 may be excellent in physical properties, not only wrinkles are generated a lot of winding and winding is impossible, it can be confirmed that the coating processability is poor due to wrinkles are generated.

본 발명의 단순한 변형이나 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해서 용이하게 실시될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications or changes of the present invention can be easily carried out by those skilled in the art, and all such modifications or changes can be seen to be included in the scope of the present invention.

Claims (20)

폴리이미드 기재층;
상기 폴리이미드 기재층 일면 또는 양면에 형성된 금속도금층; 및
상기 금속도금층 일면에 형성된 동박층; 을 포함하고,
상기 폴리이미드 기재층은 제1폴리이미드 기재층; 및 상기 제1폴리이미드 기재층 일면 또는 양면에 형성된 제2폴리이미드 기재층; 을 포함하며,
상기 제1폴리이미드 기재층은 평균입경 1 ~ 7㎛의 무정형 인산칼슘을 1 중량% 이하로 포함하고,
상기 제2폴리이미드 기재층은 평균입경 50 ~ 250nm의 구상 실리카(silica)를 1 ~ 3 중량%로 포함하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름.
Polyimide base layer;
A metal plating layer formed on one or both surfaces of the polyimide base layer; And
A copper foil layer formed on one surface of the metal plating layer; Including,
The polyimide base layer is a first polyimide base layer; And a second polyimide base layer formed on one or both surfaces of the first polyimide base layer. Including;
The first polyimide base layer contains an amorphous calcium phosphate having an average particle diameter of 1 ~ 7㎛ 1 wt% or less,
The second polyimide substrate layer is a flexible copper foil laminated film, characterized in that it comprises 1 to 3% by weight of spherical silica (silica) having an average particle diameter of 50 to 250nm.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제2폴리이미드 기재층의 실리카는 하기 조건 (1) 및 조건 (2)를 모두 만족하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름.
(1) 2.88 ≤
Figure 112018023430320-pat00056
≤ 4.34
(2) 19.4nm ≤ D10 ≤ 29.3 nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm
상기 조건 (1) 및 (2)에서 D10, D50 및 D90은 각각 실리카 입도의 누적분포에서 최대 값에 대하여 10%, 50%, 90%에 해당하는 입도를 말함.
The method of claim 1,
The silica of the second polyimide substrate layer satisfies both the following conditions (1) and (2).
(1) 2.88 ≤
Figure 112018023430320-pat00056
≤ 4.34
(2) 19.4 nm ≤ D10 ≤ 29.3 nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm
In the above conditions (1) and (2), D10, D50 and D90 refer to particle sizes corresponding to 10%, 50% and 90% with respect to the maximum value in the cumulative distribution of the silica particle sizes, respectively.
제1항에 있어서,
상기 제2폴리이미드 기재층은 하기 화학식 1로 표시되는 화합물, 하기 화학식 2로 표시되는 화합물, 하기 화학식 3로 표시되는 화합물, 하기 화학식 4로 표시되는 화합물, 하기 화학식 5로 표시되는 화합물, 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 7로 표시되는 화합물을 중합시킨 폴리아믹산의 이미드화 반응물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름;
[화학식 1]
Figure 112018023430320-pat00057

[화학식 2]
Figure 112018023430320-pat00058

[화학식 3]
Figure 112018023430320-pat00059

[화학식 4]
Figure 112018023430320-pat00060

[화학식 5]
Figure 112018023430320-pat00061

상기 화학식 5에 있어서, R1 및 R2는 각각 독립적으로, -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이고,
[화학식 6]
Figure 112018023430320-pat00062

상기 화학식 6에 있어서, R3 및 R4는 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기이고, R5, R6, R7 및 R8는 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이며,
[화학식 7]
Figure 112018023430320-pat00063

상기 화학식 7에 있어서, R9 및 R10은 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기이고, R11, R12, R13, R14, R15 및 R16은 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이며, n는 1 ~ 20인 유리수이다.
The method of claim 1,
The second polyimide substrate layer is a compound represented by Formula 1, a compound represented by Formula 2, a compound represented by Formula 3, a compound represented by Formula 4, a compound represented by Formula 5, A flexible copper foil laminated film further comprising an imidization reaction product of a polyamic acid polymerized with a compound represented by 6 and a compound represented by Formula 7;
[Formula 1]
Figure 112018023430320-pat00057

[Formula 2]
Figure 112018023430320-pat00058

[Formula 3]
Figure 112018023430320-pat00059

[Formula 4]
Figure 112018023430320-pat00060

[Formula 5]
Figure 112018023430320-pat00061

In Formula 5, R 1 and R 2 are each independently -H or an alkyl group of C1 to C5,
[Formula 6]
Figure 112018023430320-pat00062

In Formula 6, R 3 and R 4 are each independently, an alkylene group of C1 ~ C7, R 5 , R 6 , R 7 and R 8 are each independently -H or an alkyl group of C1 ~ C5,
[Formula 7]
Figure 112018023430320-pat00063

In Formula 7, R 9 and R 10 are each independently, an alkylene group of C1 ~ C7, R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 and R 16 are each independently -H or C1 ~ It is an alkyl group of C5, n is a free number which is 1-20.
제4항에 있어서,
상기 폴리아믹산은 화학식 1로 표시되는 화합물 100 중량부에 대하여, 화학식 2로 표시되는 화합물 94.9 ~ 142.5 중량부, 화학식 3로 표시되는 화합물 30.0 ~ 38.0 중량부, 화학식 4로 표시되는 화합물 6.8 ~ 10.3 중량부, 화학식 5로 표시되는 화합물 17.2 ~ 26.0 중량부, 화학식 6으로 표시되는 화합물 8.3 ~ 12.6 중량부 및 화학식 7로 표시되는 화합물 7.1 ~ 10.8 중량부를 중합시킨 중합체인 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름.
The method of claim 4, wherein
The polyamic acid is based on 100 parts by weight of the compound represented by Formula 1, 94.9 to 142.5 parts by weight of the compound represented by Formula 2, 30.0 to 38.0 parts by weight of the compound represented by Formula 3, 6.8 to 10.3 weight by weight of the compound represented by Formula 4 Part, 17.2 to 26.0 parts by weight of the compound represented by the formula (5), 8.3 to 12.6 parts by weight of the compound represented by the formula (6) and 7.1 to 10.8 parts by weight of the compound represented by the formula (7) is a flexible copper foil laminated film characterized in that a polymer.
제5항에 있어서,
상기 화학식 6으로 표시되는 화합물 및 상기 화학식 7로 표시되는 화합물을 1 : 0.68 ~ 1.03 중량비로 포함하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름.
The method of claim 5,
A flexible copper foil laminated film comprising the compound represented by Formula 6 and the compound represented by Formula 7 in a weight ratio of 1: 0.68 to 1.03.
제1항에 있어서,
상기 폴리이미드 기재층은 제1폴리이미드 기재층 및 제2폴리이미드 기재층이 1 : 0.12 ~ 0.19 두께비를 가지는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름.
The method of claim 1,
The polyimide substrate layer is a flexible copper foil laminated film, characterized in that the first polyimide substrate layer and the second polyimide substrate layer has a thickness ratio of 1: 0.12 to 0.19.
제1항에 있어서,
상기 제1폴리이미드 기재층은 하기 화학식 4로 표시되는 화합물, 하기 화학식 8로 표시되는 화합물, 하기 화학식 9로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 10으로 표시되는 화합물을 중합시킨 폴리아믹산의 이미드화 반응물을 포함하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름;
[화학식 4]
Figure 112019091148456-pat00077

[화학식 8]
Figure 112019091148456-pat00064

[화학식 9]
Figure 112019091148456-pat00065

[화학식 10]
Figure 112019091148456-pat00066

The method of claim 1,
The first polyimide substrate layer includes an imidization reaction product of a polyamic acid polymerized with a compound represented by Formula 4, a compound represented by Formula 8, a compound represented by Formula 9, and a compound represented by Formula 10: Flexible copper foil laminated film, characterized in that;
[Formula 4]
Figure 112019091148456-pat00077

[Formula 8]
Figure 112019091148456-pat00064

[Formula 9]
Figure 112019091148456-pat00065

[Formula 10]
Figure 112019091148456-pat00066

제1항에 있어서,
상기 금속도금층은 상기 제2폴리이미드 기재층 일면에 형성된 제1금속도금층; 및 상기 제1금속도금층 일면에 형성된 제2금속도금층; 을 포함하고,
상기 제1금속도금층은 니켈 또는 니켈-구리 합금을 포함하고,
상기 제2금속도금층은 구리를 포함하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름.
The method of claim 1,
The metal plating layer may include a first metal plating layer formed on one surface of the second polyimide base layer; And a second metal plating layer formed on one surface of the first metal plating layer. Including,
The first metal plating layer includes nickel or a nickel-copper alloy,
The second metal plating layer is a flexible copper foil laminated film, characterized in that containing copper.
제9항에 있어서,
상기 금속도금층은 제1금속도금층 및 제2금속도금층이 1 : 4.8 ~ 7.2 두께비를 가지는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름.
The method of claim 9,
The metal plating layer is a flexible copper foil laminated film, characterized in that the first metal plating layer and the second metal plating layer has a thickness ratio of 1: 4.8 to 7.2.
무기필러를 포함하는 폴리아믹산 용액을 제조하는 제1단계;
전체 중량 중, 평균입경 1 ~ 7㎛의 무정형 인산칼슘을 1 중량% 이하로 포함하는 폴리이미드 기재 일면 또는 양면에 폴리아믹산 용액을 도포하여 폴리이미드 기재층을 제조하는 제2단계;
상기 폴리이미드 기재층 일면 또는 양면에 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 금속도금층을 형성하는 제3단계; 및
상기 금속도금층 일면에 전해 도금(electro plating) 공정으로 동박층을 형성하는 제4단계; 를 포함하고,
상기 무기필러는 평균입경 50 ~ 250nm의 구상 실리카(silica)를 포함하며,
상기 폴리아믹산 용액에 의해 형성된 층에는 전체 중량 중, 평균입경 50 ~ 250nm의 구상 실리카(silica)가 1 ~ 3 중량%로 포함하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름의 제조방법.
A first step of producing a polyamic acid solution containing an inorganic filler;
A second step of preparing a polyimide substrate layer by applying a polyamic acid solution to one or both sides of the polyimide substrate including 1 wt% or less of amorphous calcium phosphate having an average particle diameter of 1 to 7 μm in total weight;
A third step of forming a metal plating layer on one surface or both surfaces of the polyimide substrate layer by a sputtering process; And
A fourth step of forming a copper foil layer on one surface of the metal plating layer by an electroplating process; Including,
The inorganic filler includes spherical silica (silica) having an average particle diameter of 50 ~ 250nm,
The method of manufacturing a flexible copper foil laminate film, characterized in that the layer formed by the polyamic acid solution comprises 1 to 3% by weight of spherical silica (silica) having an average particle diameter of 50 to 250nm in the total weight.
제11항에 있어서,
상기 무기필러는 하기 조건 (1) 및 조건 (2)를 모두 만족하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름의 제조방법.
(1) 2.88 ≤
Figure 112018023430320-pat00067
≤ 4.34
(2) 19.4nm ≤ D10 ≤ 29.3 nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm
상기 조건 (1) 및 (2)에서 D10, D50 및 D90은 각각 실리카 입도의 누적분포에서 최대 값에 대하여 10%, 50%, 90%에 해당하는 입도를 말함.
The method of claim 11,
The inorganic filler is a method for producing a flexible copper foil laminated film, characterized in that all of the following conditions (1) and conditions (2) are satisfied.
(1) 2.88 ≤
Figure 112018023430320-pat00067
≤ 4.34
(2) 19.4 nm ≤ D10 ≤ 29.3 nm, 117.7 nm ≤ D50 ≤ 176.7 nm, 444.8 nm ≤ D90 ≤ 667.2 nm
In the above conditions (1) and (2), D10, D50 and D90 refer to particle sizes corresponding to 10%, 50% and 90% with respect to the maximum value in the cumulative distribution of the silica particle sizes, respectively.
제11항에 있어서,
상기 제1단계는
하기 화학식 1로 표시되는 화합물, 하기 화학식 2로 표시되는 화합물, 하기 화학식 4로 표시되는 화합물, 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물, 하기 화학식 7로 표시되는 화합물 및 용매를 혼합 및 중합시켜 제1중합체를 제조하는 제1-1단계;
상기 제1중합체에 하기 화학식 1로 표시되는 화합물, 하기 화학식 5로 표시되는 화합물, 하기 화학식 3로 표시되는 화합물 및 용매를 혼합 및 중합시켜 제2중합체를 제조하는 제1-2단계; 및
상기 제2중합체에 무기필러, 촉매 및 용매를 혼합하여 폴리아믹산 용액을 제조하는 제1-3단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름의 제조방법.
[화학식 1]
Figure 112018023430320-pat00068

[화학식 2]
Figure 112018023430320-pat00069

[화학식 3]
Figure 112018023430320-pat00070

[화학식 4]
Figure 112018023430320-pat00071

[화학식 5]
Figure 112018023430320-pat00072

상기 화학식 5에 있어서, R1 및 R2는 각각 독립적으로, -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이고,
[화학식 6]
Figure 112018023430320-pat00073

상기 화학식 6에 있어서, R3 및 R4는 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기이고, R5, R6, R7 및 R8는 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이며,
[화학식 7]
Figure 112018023430320-pat00074

상기 화학식 7에 있어서, R9 및 R10은 각각 독립적으로, C1 ~ C7의 알킬렌기이고, R11, R12, R13, R14, R15 및 R16은 각각 독립적으로 -H 또는 C1 ~ C5의 알킬기이며, n는 1 ~ 20인 유리수이다.
The method of claim 11,
The first step is
To the first polymer by mixing and polymerizing a compound represented by the formula (1), a compound represented by the formula (2), a compound represented by the formula (4), a compound represented by the formula (6), a compound represented by the formula (7) and a solvent Manufacturing step 1-1;
Step 1-2 to prepare a second polymer by mixing and polymerizing the compound represented by the following formula (1), the compound represented by the following formula (5), the compound represented by the formula (3) and a solvent to the first polymer; And
Preparing a polyamic acid solution by mixing an inorganic filler, a catalyst, and a solvent with the second polymer;
Method for producing a flexible copper foil laminated film comprising a.
[Formula 1]
Figure 112018023430320-pat00068

[Formula 2]
Figure 112018023430320-pat00069

[Formula 3]
Figure 112018023430320-pat00070

[Formula 4]
Figure 112018023430320-pat00071

[Formula 5]
Figure 112018023430320-pat00072

In Formula 5, R 1 and R 2 are each independently -H or an alkyl group of C1 to C5,
[Formula 6]
Figure 112018023430320-pat00073

In Formula 6, R 3 and R 4 are each independently, an alkylene group of C1 ~ C7, R 5 , R 6 , R 7 and R 8 are each independently -H or an alkyl group of C1 ~ C5,
[Formula 7]
Figure 112018023430320-pat00074

In Formula 7, R 9 and R 10 are each independently, an alkylene group of C1 ~ C7, R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 and R 16 are each independently -H or C1 ~ It is an alkyl group of C5, n is a free number which is 1-20.
제13항에 있어서,
상기 폴리아믹산 용액은 제2중합체 100 중량부에 대하여 무기필러 0.67 ~ 1.02 중량부 및 촉매 0.27 ~ 0.41 중량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름의 제조방법.
The method of claim 13,
The polyamic acid solution is a method for producing a flexible copper foil laminated film, characterized in that it comprises 0.67 ~ 1.02 parts by weight of inorganic filler and 0.27 ~ 0.41 parts by weight of catalyst based on 100 parts by weight of the second polymer.
제11항에 있어서,
상기 제2단계는 폴리이미드 기재 일면 또는 양면에 폴리아믹산 용액을 도포한 후, 120 ~ 220℃에서 1 ~ 5분간 건조시킨 후, 280 ~ 320℃에서 1 ~ 5분간 열처리하여 폴리이미드 기재층을 제조하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름의 제조방법.
The method of claim 11,
The second step is to apply a polyamic acid solution to one or both sides of the polyimide substrate, and then dried for 1 to 5 minutes at 120 ~ 220 ℃, heat-treated for 1 to 5 minutes at 280 ~ 320 ℃ to prepare a polyimide substrate layer Method for producing a flexible copper foil laminated film, characterized in that.
제11항에 있어서,
상기 제3단계는
폴리이미드 기재층 일면 또는 양면에 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 니켈 또는 니켈-구리 합금을 포함하는 제1금속도금층을 형성하는 제3-1단계; 및
상기 제1금속도금층 일면에 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 구리를 포함하는 제2금속도금층을 형성하는 제3-2단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름의 제조방법.
The method of claim 11,
The third step is
Forming a first metal plating layer including nickel or a nickel-copper alloy on one or both sides of the polyimide substrate layer by a sputtering process; And
Step 3-2 of forming a second metal plating layer including copper on one surface of the first metal plating layer by a sputtering process;
Method for producing a flexible copper foil laminated film comprising a.
제16항에 있어서,
상기 제3-1단계의 스퍼터링 공정은 니켈 또는 니켈-구리 합금이 배치된 진공 챔버(champer) 내에 비활성 기체를 20 ~ 80cc/min 주입하여, 1 x 10-2 ~ 1 x 10-5 Torr 압력하에서 20 ~ 40 nm/min 성막속도로 진행되는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름의 제조방법.
The method of claim 16,
In the sputtering process of step 3-1, 20 to 80 cc / min of inert gas is injected into a vacuum chamber in which nickel or a nickel-copper alloy is disposed, under a pressure of 1 x 10 -2 to 1 x 10 -5 Torr. Method for producing a flexible copper foil laminated film, characterized in that proceeding at 20 ~ 40 nm / min film forming speed.
제16항에 있어서,
상기 제3-2단계의 스퍼터링 공정은 구리가 배치된 진공 챔버(champer) 내에 비활성 기체를 80 ~ 120cc/min 주입하여, 1 x 10-2 ~ 1 x 10-5 Torr 압력하에서 50 ~ 400 nm/min 성막속도로 진행되는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름의 제조방법.
The method of claim 16,
In the sputtering process of step 3-2, an inert gas is injected into a vacuum chamber in which copper is disposed, 80 to 120 cc / min, and 50 to 400 nm / under 1 x 10 -2 to 1 x 10 -5 Torr pressure. min method for producing a flexible copper foil laminated film, characterized in that proceeding at a film forming speed.
제11항에 있어서,
상기 제4단계의 전해 도금 공정은 1 ~ 3A/d㎡의 음극 전류 밀도, 25 ~ 40℃의 온도 조건 하에서, 구리 전구체를 포함하는 혼합용액에서 진행되는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층필름의 제조방법.
The method of claim 11,
The electrolytic plating process of the fourth step is a method for producing a flexible copper foil laminated film, characterized in that the proceeding in a mixed solution containing a copper precursor under a cathode current density of 1 ~ 3A / ㎡, temperature conditions of 25 ~ 40 ℃. .
제1항, 제3항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 연성 동박 적층필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 연성인쇄회로기판.
A flexible printed circuit board comprising the flexible copper foil laminated film according to any one of claims 1 to 10.
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