KR102062727B1 - Polishing device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 접촉 압력을 균일하게 유지하도록 하여 대상체의 연마 품질을 향상시킬 수 있도록 한 연마장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 연마장치는 프레임; 상기 프레임의 제1면에 회전 가능하게 고정되고, 필름 공급 롤러와 필름 회수 롤러를 구비하는 롤러부; 상기 필름회수 롤러를 회전시켜 상기 필름 공급 롤러에 권취된 연마필름을 상기 필름 회수 롤러에 권취시키는 제1모터; 상기 제1면에 고정되고 제2모터를 구비하는 고정부와, 상기 연마필름을 지지하는 롤러를 구비하고 상기 고정부에 유동 가능하게 결합되어 상기 고정부에 의해 요동하는 헤드부를 구비하는 요동부; 및 상기 제1면에 회전 가능하게 고정되고, 상기 필름 공급롤러로부터 인출되어 상기 필름 회수 롤러에 권취는 필름의 이송 경로 상에 설치되는 장력조절롤러;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
The present invention relates to an apparatus for polishing to maintain a uniform contact pressure to improve the polishing quality of an object.
Polishing apparatus according to the present invention frame; A roller unit rotatably fixed to the first surface of the frame and having a film supply roller and a film recovery roller; A first motor rotating the film recovery roller to wind the abrasive film wound on the film supply roller to the film recovery roller; A swinging part having a head fixed to the first surface and having a second motor, and a head part having a roller supporting the abrasive film and coupled to the fixed part so as to be fluidly movable; And a tension control roller rotatably fixed to the first surface and drawn out from the film supply roller and wound around the film recovery roller to be installed on a transport path of the film.

Description

연마장치{Polishing device}Polishing device

본 발명은 연마장치에 관한 것으로 특히, 접촉 압력을 균일하게 유지하도록 하여 대상체의 연마 품질을 향상시킬 수 있도록 한 연마장치에 관한 것이다.The present invention relates to a polishing apparatus, and more particularly, to a polishing apparatus to improve the polishing quality of the object by maintaining a uniform contact pressure.

연마(polishing)은 입상 또는 고체로 형성되는 연마수단을 이용하여 대상물의 표면을 가공하는 처리방법이다. 일반적으로 연마를 위해서는 연마석을 원반 형태로 형성하거나, 연마지를 원형으로 형성하고 이를 모터에 의해 회전시켜 대상체의 표면을 가공하는 방법이 일반적으로 이용된다.Polishing is a treatment method for processing the surface of an object using polishing means formed in granular or solid form. In general, for polishing, a method of processing a surface of an object by forming abrasive grains in a disk shape or forming abrasive paper in a circle and rotating the same by a motor is generally used.

이러한, 연마 방법을 개선하여 선반과 같은 제조장치와 함께 사용하거나, 제조 공정에서 다량의 대상물을 가공하기 위해 최근에는 필름 형태의 연마수단을 사용하는 경우가 증가하고 있다.In order to improve the polishing method and use it with a manufacturing apparatus such as a lathe, or to process a large amount of objects in the manufacturing process, in recent years, the use of a film-type polishing means is increasing.

이러한 필름형 연마수단을 사용하는 장치는 롤 형태로 제공되는 연마용 필름을 공급롤에서 회수롤로 권취하는 경로 상에 대상체와 접촉시켜 연마가 이루어지도록 하는 방법이다. 이 필름형 연마 수단을 이용하는 장치는 넓은 면적을 연마할 수 있으며, 넓은 면적에 대해 비교적 균일한 압력을 제공하여, 연마석이나 연마지를 이용하는 경우에 비해 높은 품질의 표면처리 품질을 얻을 수 있다는 장점을 가진다.The apparatus using such a film-type polishing means is a method in which the polishing film provided in the form of a roll is brought into contact with an object on a path wound from a supply roll to a recovery roll so that polishing is performed. The apparatus using this film type polishing means has the advantage of being able to polish a large area and providing a relatively uniform pressure over a large area, thereby obtaining a high quality surface treatment quality compared with the case of using abrasive stone or abrasive paper. .

그러나, 이러한 필름형 연마수단을 이용하는 경우 필름의 장력 조절, 필름과 대상체의 접촉 압력 조절이 원활하게 이루어지지 않아 대상체의 표면이 깔끔하게 연마되지 않는 문제점이 있다.However, when using such a film-type polishing means there is a problem that the surface tension of the object is not neatly polished because the tension control of the film, the contact pressure of the film and the object is not made smoothly.

한국공개특허 10-2001-0100420(공개일 2001년 11월 14일) "필름 형태의 연마재를 갖는 초정밀 연마기에서 순차제어를 이용한 자동화 방법 및 장치"Korean Laid-open Patent No. 10-2001-0100420 (published November 14, 2001) "Automated method and apparatus using sequential control in ultra-precision polishing machine having a film-type abrasive"

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 접촉 압력을 균일하게 유지하도록 하여 대상체의 연마 품질을 향상시킬 수 있도록 한 연마장치를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, to provide a polishing apparatus to improve the polishing quality of the object by maintaining a uniform contact pressure.

또한, 본 발명의 다른 목적은 접촉 압력의 조절이 가능하도록하여 연마의 정밀도를 향상시킬 수 있도록 한 연마장치를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a polishing apparatus capable of adjusting the contact pressure to improve the precision of polishing.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 연마장치는 프레임; 상기 프레임의 제1면에 회전 가능하게 고정되고, 필름 공급 롤러와 필름 회수 롤러를 구비하는 롤러부; 상기 필름회수 롤러를 회전시켜 상기 필름 공급 롤러에 권취된 연마필름을 상기 필름 회수 롤러에 권취시키는 제2모터; 상기 연마필름을 지지하는 롤러를 가지는 헤드부와, 상기 제1면에 고정되어 상기 헤드부가 유동가능하게 결합되어 상기 헤드부를 요동시키는 제1모터를 구비하는 요동부; 및 상기 제1면에 회전 가능하게 고정되고, 상기 필름 공급롤러로부터 인출되어 상기 필름 회수 롤러에 권취는 필름의 이송 경로 상에 설치되는 장력조절롤러;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Polishing apparatus according to the present invention to achieve the above object is a frame; A roller unit rotatably fixed to the first surface of the frame and having a film supply roller and a film recovery roller; A second motor rotating the film recovery roller to wind the abrasive film wound on the film supply roller to the film recovery roller; A swinging part including a head part having a roller supporting the abrasive film, and a first motor fixed to the first surface to be movable to the head part to move the head part; And a tension control roller rotatably fixed to the first surface and drawn out from the film supply roller and wound around the film recovery roller to be installed on a transport path of the film.

본 발명에 따른 연마장치는 대상체와 연마필름의 접촉 압력을 균일하게 유지할 수 있도록 하여 연마 품질을 일정한 수준 이상으로 유지시킬 수 있도록 하는 것이 가능하다.The polishing apparatus according to the present invention can maintain the contact quality of the object and the polishing film uniformly to maintain the polishing quality to a certain level or more.

또한, 본 발명에 다른 연마장치는 대상체의 표면상태, 대상체에 따라 접촉 압력을 조절하도록 하여, 적절한 압력이 적용되도록 함으로써 연마의 정밀도를 향상시킬 수 있다.In addition, the polishing apparatus according to the present invention can improve the precision of polishing by adjusting the contact pressure according to the surface state of the object, the object, so that an appropriate pressure is applied.

도 1은 본 발명에 따른 연마장치를 측면에서 바라본 형태를 도시한 측면 예시도.
도 2는 하부에서 바라본 형태를 도시한 예시도.
도 3은 정면에서 바라본 형태를 간략하게 도시한 예시도.
1 is an exemplary view showing a side view of the polishing apparatus according to the present invention.
Figure 2 is an exemplary view showing a form seen from the bottom.
Figure 3 is an exemplary view briefly showing the form seen from the front.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 설명하기로 한다. 첨부된 도면들에서 구성에 표기된 도면번호는 다른 도면에서도 동일한 구성을 표기할 때에 가능한 한 동일한 도면번호를 사용하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지의 기능 또는 공지의 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고 도면에 제시된 어떤 특징들은 설명의 용이함을 위해 확대 또는 축소 또는 단순화된 것이고, 도면 및 그 구성요소들이 반드시 적절한 비율로 도시되어 있지는 않다. 그러나 당업자라면 이러한 상세 사항들을 쉽게 이해할 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. In the accompanying drawings, it should be noted that the same reference numerals are used in the drawings to designate the same configuration in other drawings as much as possible. In addition, in describing the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known function or known configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. And certain features shown in the drawings are enlarged or reduced or simplified for ease of description, the drawings and their components are not necessarily drawn to scale. However, those skilled in the art will readily understand these details.

도 1은 본 발명에 따른 연마장치를 측면에서 바라본 형태를 도시한 측면 예시도이고, 도 2는 하부에서 바라본 형태를 도시한 저면예시도이며, 도 3은 구성 일부를 생략하고 정면에서 바라본 형태를 간략하게 도시한 예시도이다.1 is a side view illustrating a form of the polishing apparatus according to the present invention as viewed from the side, FIG. 2 is a bottom view illustrating the form seen from the bottom, and FIG. It is an exemplary view briefly shown.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 연마장치는 프레임(10), 롤러부(30), 제1모터(51), 제2모터(53), 요동부(60) 및 장력조절롤러(95)를 포함하여 구성된다.1 to 3, the polishing apparatus according to the present invention includes a frame 10, a roller part 30, a first motor 51, a second motor 53, a swinging part 60, and a tension adjusting roller. 95, including.

프레임(10)은 연마장치의 각 구성과 결합되어 이들을 고정 및 지지하고, 연마장치가 다른 장치에 결합될 수 있게 하는 역할을 한다. 이를 위해, 프레임(10)은 가공이 용이하고 강도 및 가공성이 좋은 금속, 경질 합성수지 또는 이들을 혼합한 재료에 의해 형성될 수 있다. 이러한 프레임(10)은 도시된 바와 같이 하부프레임(12)과 측면프레임(11)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 설명의 편의를 위해 하부프레임(12)과 측면프레임(11)으로 구성된 예를 설명하고 있으나, 이로써 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 즉, 하부 및 측면프레임(11, 12) 이외의 프레임이 구비될 수 있으며, 형태도 달라질 수 있다.The frame 10 is coupled to each component of the polishing apparatus to fix and support them, and serves to allow the polishing apparatus to be coupled to another apparatus. To this end, the frame 10 may be formed of a metal, a hard synthetic resin or a mixture of these, which is easy to process and has good strength and workability. The frame 10 may be configured to include a lower frame 12 and the side frame 11 as shown. Here, for the convenience of description, an example consisting of the lower frame 12 and the side frame 11 is described, but this does not limit the present invention. That is, frames other than the lower and side frames 11 and 12 may be provided, and shapes may also vary.

하부프레임(12)은 연마장치의 각 구성과 결합된다. 이를 위해 하부프레임(12)은 도시된 바와 같이 평판형태로 형성될 수 있다. 이 하부프레임(12)은 가장자리에 측면프레임(11)이 결합되고, 측면프레임(11)과 공간을 형성한다. 하부프레임(12)과 측면프레임(11)에 의해 형성되는 공간(이하 '내부'라 함)에는 제2모터(53)가 수납될 수 있다. 그리고, 하부프레임(12)의 외부에는 롤러부(30), 제1모터(51), 요동부(60), 보조롤러(39), 장력조절롤러(95)가 결합될 수 있다. The lower frame 12 is combined with each component of the polishing apparatus. To this end, the lower frame 12 may be formed in a flat shape as shown. The lower frame 12 is coupled to the side frame 11 at the edge, and forms a space with the side frame 11. The second motor 53 may be accommodated in the space formed by the lower frame 12 and the side frame 11 (hereinafter, referred to as “inside”). In addition, the outer portion of the lower frame 12, the roller portion 30, the first motor 51, the swinging portion 60, the auxiliary roller 39, the tension control roller 95 may be coupled.

아울러, 롤러부(30), 보조롤러(39), 장력조절롤러(95)의 축은 하부프레임(12)을 관통하여 내부에 축의 일측 종단이 노출되도록 하부프레임(12)에 결합될 수 있다. 그리고, 보조롤러(39)는 프레임(10) 내부로 노출된 축의 종단에 기어(38)가 구성되고, 기어(38)에 의해 제2모터(53)와 결합될 수 있다. In addition, the shaft of the roller unit 30, the auxiliary roller 39, the tension control roller 95 may be coupled to the lower frame 12 so that one end of the shaft is exposed through the lower frame 12. In addition, the auxiliary roller 39 may be configured with a gear 38 at the end of the shaft exposed in the frame 10, and may be coupled to the second motor 53 by the gear 38.

롤러부(30)는 연마필름(1)이 권취되고, 요동부(60)에 연마필름을 공급함과 아울러 회수한다. 이를 위해 롤러부(30)는 공급롤러(31), 회수롤러(35) 및 보조롤러(39)를 포함하여 구성될 수 있다. 이 롤러부(30)는 전술한 하부프레임(12)에 결합된다. 좀 더 구체적으로 롤러부(30)는 축의 일측 종단이 하부프레임(12)에 관통 결합되며, 하부프레임(12)과의 결합부위에 베어링과 같이 회전을 위한 구성이 마련된다. The roller portion 30 is wound around the abrasive film 1, supplies the abrasive film to the swinging portion 60, and recovers it. To this end, the roller unit 30 may include a supply roller 31, a recovery roller 35 and the auxiliary roller 39. The roller portion 30 is coupled to the lower frame 12 described above. More specifically, the roller portion 30 is coupled to one end of the shaft through the lower frame 12, the coupling portion with the lower frame 12 is provided with a configuration for rotation, such as a bearing.

공급롤러(31)에는 사용전의 연마필름(1)이 권취된다. 그리고, 회수롤러(35)에는 공급롤러(31)로부터 인출되어 요동부(60)를 거친 연마필름(1)이 회수되어 권취된다. 이 공급롤러(31)는 제2모터(53)의 동력을 보조롤러(39)를 통해 전달받아 연마필름(1)을 이송하게 된다.The abrasive film 1 before use is wound up in the feed roller 31. Then, the recovery roller 35 is withdrawn from the supply roller 31 and the abrasive film 1 having passed through the swinging portion 60 is recovered and wound up. The feed roller 31 receives the power of the second motor 53 through the auxiliary roller 39 to transfer the polishing film 1.

구체적으로 공급롤러(31)에 권취된 연마필름(1)은 회수롤러(35)의 회전에 의해 회수롤러(35)에 권취된다. 이를 위해, 회수롤러(35)는 보조롤러(39)와 연결되어 보조롤러(39)의 회전에 의해 회전하게 된다. 회수롤러(35)와 보조롤러(39)에는 풀리(41)가 마련되고 벨트(37)에 의해 풀리(41)를 연결함으로써 회수롤러(35)와 보조롤러(39)가 연결될 수 있다. 여기서, 풀리(41)와 벨트(37)에 의해 연결되지 않고 기어에 의해 연결될 수도 있으며, 풀리(41)와 벨트(37)는 일례로 제시된 것일뿐, 이로써 본 발명을 한정하는 것은 아니다.Specifically, the abrasive film 1 wound on the supply roller 31 is wound on the recovery roller 35 by the rotation of the recovery roller 35. To this end, the recovery roller 35 is connected to the auxiliary roller 39 is rotated by the rotation of the auxiliary roller 39. A pulley 41 is provided at the recovery roller 35 and the auxiliary roller 39, and the recovery roller 35 and the auxiliary roller 39 may be connected to each other by connecting the pulley 41 by the belt 37. Here, the pulley 41 and the belt 37 may be connected by a gear instead of connected, and the pulley 41 and the belt 37 are provided as an example only, and thus are not intended to limit the present invention.

보조롤러(39)는 전술한 바와 같이 제2모터(53)와 연결되어, 제2모터(53)에 의해 회전을 회수롤러(35)에 전달하게 된다. 이를 위해 보조롤러(39)는 회수롤러(35)와 풀리(41)와 벨트(37) 또는 기어에 의해 연결된다.The auxiliary roller 39 is connected to the second motor 53 as described above, thereby transmitting the rotation to the recovery roller 35 by the second motor 53. To this end, the auxiliary roller 39 is connected by the recovery roller 35 and the pulley 41 and the belt 37 or gear.

이러한, 보조롤러(39)는 회전축(34)의 일측 종단이 프레임(10)의 내부로 노출되고, 노출된 종단에 기어(38)가 마련된다. 보조롤러(39)는 기어(38)에 의해 제2모터(53)에 마련되는 기어(54)와 연결된다. 이를 통해, 보조롤러(39)는 제2모터(53)의 회전에 따라 회전하게 되어 회수롤러(35)를 회전시키게 된다.The auxiliary roller 39 has one end of the rotating shaft 34 exposed to the inside of the frame 10, and the gear 38 is provided at the exposed end. The auxiliary roller 39 is connected to the gear 54 provided in the second motor 53 by the gear 38. Through this, the auxiliary roller 39 is rotated in accordance with the rotation of the second motor 53 to rotate the recovery roller 35.

아울러, 보조롤러(39)외 회수롤러(35)가 벨트(37)와 풀리(41)에 의해 연결되는 경우 벨트(37)의 장력을 일정하게 유지하기 위한 벨트장력 조절수단(36)이 마련될 수 있다. 이 벨트장력 조절수단(36)은 하부프레임(12)에 고정되고, 벨트(37)에 접촉하여 회전하는 휠(36a)과 휠(36a)를 가압하여 휠(36a)이 벨트(37)를 가압하도록 하는 가압수단(36b)를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, when the auxiliary roller 39 and the recovery roller 35 are connected by the belt 37 and the pulley 41, a belt tension adjusting means 36 for maintaining a constant tension of the belt 37 may be provided. Can be. The belt tension adjusting means 36 is fixed to the lower frame 12 and presses the wheel 36a and the wheel 36a which rotate in contact with the belt 37 so that the wheel 36a presses the belt 37. It may be configured to include a pressing means (36b) to be.

제2모터(53)는 프레임(10)의 내부에 고정되고, 기어(54)에 의회 보조롤러(39)의 기어(38)에 연결된다. 이 제2모터(53)는 제어부(99)에 연결되어 제어부(99)로부터 구동을 위한 제어신호와 전원을 공급받아 동작하게 된다. 이 제2모터(53)는 제어부(99)의 제어에 따라 회전속도가 조절되며, 동작시 보조롤러(39)를 회전시켜 회수롤러(35)를 회전시키게 된다.The second motor 53 is fixed to the inside of the frame 10 and is connected to the gear 38 of the subsidiary roller 39 to the gear 54. The second motor 53 is connected to the control unit 99 to operate by receiving a control signal and power for driving from the control unit 99. The second motor 53 is rotated according to the control of the control unit 99, the rotation of the auxiliary roller 39 in operation to rotate the recovery roller 35.

요동부(60)는 연마필름(1)을 지지하고, 연마필름(1)의 연마면을 대상체에 접촉시키는 역할을 한다. 특히, 요동부(60)는 연마필름(1)과 대상체의 접촉시 진동하여 연마필름(1)에 의한 연마효율이 상승되도록 하게 된다. 이를 위해 요동부(60)는 제1모터(51), 헤드부(80) 및 요동부프레임(70)을 포함하여 구성된다.The swinging part 60 supports the polishing film 1 and serves to contact the polishing surface of the polishing film 1 with the object. In particular, the swinging part 60 vibrates when the abrasive film 1 contacts the object to increase the polishing efficiency by the abrasive film 1. To this end, the swinging unit 60 includes a first motor 51, a head unit 80, and a rocking unit frame 70.

제1모터(51)는 요동부(60)에 마련되어 요동부(60)의 진동을 위한 동력을 제공한다. 이를 위해 제1모터(51)는 요동부프레임(70)에 결합되어 고정된다. 이 제1모터(51)의 회전축(55)은 편심연결부(62)에 의해 헤드축(63)과 연결된다. 편심연결부(62)는 제1모터(51)의 회전축(55)과 헤드축(63)의 종심이 어긋나게 연결하여, 제1모터(51)가 회전하는 경우 헤드축(63)이 진동할 수 있게 한다. 이러한 편심연결부(62)는 다양한 예가 공지되어 있으므로, 이에 대한 상세한 설명, 도면의 구체적인 표현은 생략하기로 한다. The first motor 51 is provided in the swinging unit 60 to provide power for the vibration of the swinging unit 60. To this end, the first motor 51 is coupled to the swinging frame 70 and fixed. The rotation shaft 55 of the first motor 51 is connected to the head shaft 63 by the eccentric connecting portion 62. The eccentric connecting portion 62 connects the rotational shaft 55 of the first motor 51 and the longitudinal center of the head shaft 63 so that the head shaft 63 can vibrate when the first motor 51 rotates. do. Since the eccentric connection portion 62 is known in various ways, a detailed description thereof and a detailed representation of the drawings will be omitted.

요동부프레임(70)은 요동부(60)의 헤드부(80)와 제1모터(51)를 고정함과 아울러, 요동부(60)의 구성들을 프레임(10)에 결합시킨다. 이를 위해 요동부프레임(70)은 프레임(10)과 유사한 재질로 제조되며, 볼트, 리벳과 같은 결합수단에 의해 프레임(10)에 결합된다. 이 요동부프레임(70)의 제1면에는 제1모터(51)가 결합된다. 이때, 제1모터(51)의 회전축(55)은 요동부프레임(70)을 관통하여 제2면 상에 노출된다. 그리고, 제2면에는 가압실린더(64 : 64a, 64b, 64c, 64d)가 고정된다. The swinging frame 70 fixes the head 80 and the first motor 51 of the swinging portion 60 and couples the components of the swinging portion 60 to the frame 10. To this end, the swinging frame 70 is made of a material similar to that of the frame 10 and is coupled to the frame 10 by coupling means such as bolts and rivets. The first motor 51 is coupled to the first surface of the swing part frame 70. At this time, the rotation shaft 55 of the first motor 51 passes through the swinging frame 70 and is exposed on the second surface. Then, pressure cylinders 64: 64a, 64b, 64c, 64d are fixed to the second surface.

가압실린더(64)는 편심연결부(62)를 사이에 두고 대칭이 되게 배치되는 복수의 실린더로 구성된다. 도 1 및 도 2에서는 4개의 가압실린더가 구성된 예가 도시되어 있다. 여기서, 가압실린더는 경우 편심연결부(62)를 중심으로 대를 이루어 배치되도록 하여 헤드부(80)를 안정적으로 지지할 수 있는 경우 가압실린더의 수는 변경이 가능하다.The pressure cylinder 64 is composed of a plurality of cylinders arranged symmetrically with the eccentric connecting portion 62 therebetween. 1 and 2 illustrate an example in which four pressure cylinders are configured. In this case, the number of pressurized cylinders may be changed when the pressurized cylinders may be arranged in a circumference with respect to the eccentric connecting portion 62 to stably support the head portion 80.

가압실린더(64)는 진동하는 헤드부(80)를 안정적으로 지지 및 가압하여, 헤드부(80)에 의해 지지되는 연마필름(1)이 대상체와 안정적으로 접촉하게 하는 역할을 한다. 이를 위해 가압실린더(64)는 일측 종단이 유격조절수단(65)에 의해 요동부프레임(70)에 결합되고, 타측 종단은 헤드부(80)의 부싱(bushing, 66)에 접촉하여 헤드부(80)를 지지하게 된다. The pressure cylinder 64 serves to stably support and press the vibrating head portion 80 so that the abrasive film 1 supported by the head portion 80 stably contacts the object. To this end, the pressure cylinder 64 has one end coupled to the swinging frame 70 by the play control means 65, and the other end contacts the bushing 66 of the head 80 to the head portion ( 80).

유격조절수단(65)은 가압실린더(64)를 요동부프레임(70)에 결합시켜 고정하는 한편, 가압실린더(64)의 지지압력을 조절하기 위해 마련된다. 이 유격조절수단(65)은 회전에 의해 가압실린더(64)의 작동거리를 조절하여 가압실린더(64)가 헤드부(80)를 가압하는 압력을 조절하게 된다. 이 유격조절수단(65)은 회전에 의해 가압실린더(64)의 일단과 요동부프레임(70)의 간격을 조절하여 가압력을 조절하는 것일 수 있다. 이를 위해 유격조절수단(65)과 가압실린더(64)는 나사결합에 의해 결합될 수 있다. The clearance adjusting means 65 is fixed to the pressure cylinder 64 by being coupled to the swinging frame 70, and is provided to adjust the support pressure of the pressure cylinder 64. The clearance adjusting means 65 adjusts the operating distance of the pressure cylinder 64 by the rotation to adjust the pressure of the pressure cylinder 64 to press the head 80. The clearance adjustment means 65 may be to adjust the pressing force by adjusting the distance between the end of the pressure cylinder 64 and the swing frame 70 by the rotation. To this end, the clearance control means 65 and the pressure cylinder 64 may be coupled by screwing.

헤드부(80)는 연마필름(1)의 이동 경로상에 배치되어, 연마필름(1)이 대상체와 접촉할 때 연마필름(1)을 지지한다. 이를 위해 헤드부(80)는 헤드축(63)에 편심연결부(62)에 결합되어, 제1모터(51)에 결합되고, 제1모터(51)의 회전에 의해 진동하게 된다.The head portion 80 is disposed on the movement path of the abrasive film 1 to support the abrasive film 1 when the abrasive film 1 contacts the object. To this end, the head portion 80 is coupled to the head shaft 63 to the eccentric connecting portion 62, coupled to the first motor 51, and vibrated by the rotation of the first motor 51.

이러한 헤드부(80)는 헤드프레임(81)을 구비하고 헤드축(63)은 헤드프레임(81)의 일면에 결합된다. 또한, 가압실린더(64)와 접촉하는 부싱(66)이 헤드프레임(81)의 일면에 배치된다. 가압실린더(64)는 부싱(66)의 표면에 접촉하여, 부싱(66)을 지지함으로써 부싱(66)이 결합된 헤드부(80)를 지지하게 된다.The head portion 80 has a head frame 81 and the head shaft 63 is coupled to one surface of the head frame 81. In addition, a bushing 66 in contact with the pressure cylinder 64 is disposed on one surface of the head frame 81. The pressure cylinder 64 contacts the surface of the bushing 66 to support the head portion 80 to which the bushing 66 is coupled by supporting the bushing 66.

헤드프레임(81)의 타면에는 메인롤러부(83)와 지지롤러부(90 : 90a, 90b)가 마련된다. The other surface of the head frame 81 is provided with a main roller portion 83 and a support roller portion 90 (90a, 90b).

메인롤러부(83)는 연마필름(1)을 지지하여 대상체와 접촉시키고, 연마에 필요한 압력으로 연마필름(1)을 가압하는 역할을 한다. 이를 위해 메인롤러부(83)는 메인롤러(84)와, 메인롤러(84)는 회전 가능하게 지지하는 제1암(85), 제1암(85)과 헤드프레임(81)에 결합되는 제2암(87) 및 제1암(85)과 제2암(87)을 결합시키는 연결부재(86)를 포함하여 구성된다. 여기서, 연결부재(86)는 스프링 또는 탄성력이 좋은 합성수지 블럭으로 형성되는 완충부재를 포함하여 구성된다. 이러한 완충분재는 제1암(85)과 연결부재(86)가 접촉하는 부분, 제2암(87)과 연결부재(86)가 접촉하는 부분에 삽입되어 체결되거나, 연결부재(86)의 일면에 결합되어 마련될 수 있다. 이러한 완충부재(86)는 실린더(64)에 의해 흡수되지 않는 진동을 흡수하여, 메인롤러부(83)가 연마필름(1)을 대상체에 균일한 압력으로 접촉시킬 수 있게 하는 역할을 한다.The main roller portion 83 supports the abrasive film 1 to contact the object and pressurizes the abrasive film 1 to a pressure necessary for polishing. To this end, the main roller portion 83 is the main roller 84, the main roller 84 is the first arm 85, rotatably supported by the first arm 85 and the head frame 81 It comprises a two arms 87 and a connecting member 86 for coupling the first arm 85 and the second arm 87. Here, the connecting member 86 is configured to include a buffer member formed of a spring or a synthetic resin block having a good elastic force. The buffer bonsai is inserted into and fastened to a portion where the first arm 85 and the connection member 86 contact each other, and a portion where the second arm 87 and the connection member 86 contact each other, or one surface of the connection member 86. It can be provided coupled to. The buffer member 86 absorbs vibration that is not absorbed by the cylinder 64, and serves to allow the main roller portion 83 to contact the abrasive film 1 at a uniform pressure.

지지롤러부(90)는 메인롤러부(83)를 사이에 두고 대를 이루어 배치된다. 이 지지롤러부(90)는 메인롤러(84)로 공급되거나, 메인롤러(84)로부터 이탈되는 연마필름(1)을 지지하는 역할을 한다. 이를 통해, 지지롤러부(90)는 연마필름(1)이 메인롤러(84)로 공급되는 각, 인출되는 각을 일정하게 유지함으로써, 연마필름(1)과 메인롤러(84)간의 마찰력을 일정하게 유지함가 아울러, 연마필름(1)에 가해지는 장력이 일정하게 유지되도록 하는 역할을 한다. The support rollers 90 are arranged in pairs with the main rollers 83 therebetween. The support roller portion 90 serves to support the abrasive film 1 supplied to the main roller 84 or separated from the main roller 84. As a result, the support roller unit 90 maintains the angle at which the abrasive film 1 is supplied to the main roller 84 and the angle at which the abrasive film is drawn, thereby maintaining a constant friction force between the abrasive film 1 and the main roller 84. In addition to maintaining it, the tension applied to the abrasive film (1) serves to maintain a constant.

이러한 지지롤러부(90)는 지지롤러(90a, 90b)와 지지롤러(90a, 90b)를 회전 가능하게 지지하는 지지암(92a, 92b)을 포함하여 구성된다. 지지암(92a, 92b)의 일단에는 도시된 바와 같이 지지롤러(90a, 90b)가 결합되며, 타단은 헤드프레임(81)에 결합된다. 이 지지암(92a, 92b)의 타단은 헤드프레임(81)에 회동 가능하게 결합될 수 있다. 즉, 헤드프레임(81)에 축(83)이 마련되고, 지지암(92a, 92b)의 타단이 축(83)에 결합되어 일정한 각도 범위 내에서 움직일 수 있게 결합될 수 있다. 좀더 구체적으로 지지암(92a, 92b)은 연마필름(1)의 이동경로를 따라 전진 또는 후퇴가 가능하게 헤드프레임(81)에 결합된다. 이를 통해 지지암(92a, 92b)은 연마필름(1)에 가해지는 장력이 감소하는 경우 메인롤러(84)와 멀어지는 방향 즉, 벌어지게 되어 감소된 장력을 보충하고, 연마필름(1)에 가해지는 장력이 증가하는 경우 메인롤러(84)와 가까워지는 방향으로 오므라지게 되어 증가된 장력을 감소시키는 역할을 하게 된다. 이를 위해, 지지암(92a, 92b)와 축(83)의 결합부위에는 지지암(92a, 92b)의 가동을 위한 탄성부재, 예를 들어 스프링 결합되어 지지암(92a, 92b)이 연마필름(1)의 장력변화에 따라 전진 또는 후진하도록 할 수 있다. 이때 마련되는 탄성부재는 비틀림 스프링(또는 토션 스프링) 또는 링 스프링일 수 있으나, 이로써 본 발명을 한정하는 것은 아니다.The support roller unit 90 includes support rollers 90a and 90b and support arms 92a and 92b rotatably supporting the support rollers 90a and 90b. Support rollers 90a and 90b are coupled to one end of the support arms 92a and 92b and the other end is coupled to the head frame 81. The other ends of the support arms 92a and 92b may be rotatably coupled to the head frame 81. That is, the shaft 83 is provided on the head frame 81, and the other ends of the support arms 92a and 92b may be coupled to the shaft 83 so as to be movable within a predetermined angle range. More specifically, the support arms 92a and 92b are coupled to the head frame 81 to enable forward or retreat along the movement path of the abrasive film 1. As a result, when the tension applied to the abrasive film 1 decreases, the support arms 92a and 92b are separated from the main roller 84, that is, opened to compensate for the reduced tension, and applied to the abrasive film 1. If the losing tension is increased in the direction close to the main roller 84 serves to reduce the increased tension. To this end, an elastic member for moving the support arms 92a and 92b to the coupling portion of the support arms 92a and 92b and the shaft 83, for example, is spring-coupled, so that the support arms 92a and 92b are polished. It can be moved forward or backward depending on the tension change in 1). In this case, the elastic member may be a torsion spring (or a torsion spring) or a ring spring, but the present invention is not limited thereto.

장력조절롤러(95 : 95a 내지 95d)는 공급롤러(31)외 회수롤러(35) 사이의 연마필름(1) 이동 경로에 설치된다. 이 장력조절롤러(95)는 연마필름(1)의 이동경로를 결정함과 아울러, 연마필름(1)의 장력을 일정하게 유지하는 역할을 한다. 이를 위해 장력조절롤러(95)는 복수로 마련된다. 이 장력조절롤러(95)는 메인롤러(84)에 비해 작은 직경의 롤러로 구성되고, 회전 가능하게 프레임(10)에 결합된다.Tension adjusting rollers 95: 95a to 95d are provided in the movement path of the polishing film 1 between the supply roller 31 and the recovery roller 35. The tension adjusting roller 95 determines the movement path of the polishing film 1 and also serves to keep the tension of the polishing film 1 constant. To this end, the tension adjusting roller 95 is provided in plurality. This tension adjusting roller 95 is composed of a roller of a smaller diameter than the main roller 84, it is rotatably coupled to the frame 10.

제어부(99)는 연마장치의 제1모터(51) 및 제2모터(53)의 구동을 위한 제어신호와 전원을 공급한다. 이 제어부(99)는 사용자의 입력에 따라 제1모터(51)를 구동하여 요동부(60)가 진동하게 하며, 제2모터(53)를 구동하여 연마필름(1)이 공급되게 한다. 제어부(99)는 사용자의 입력 또는 미리 저장된 구동정보에 따라 제1 및 제2모터(51, 53)를 구동시키거나, 구동을 중지시키고, 속도를 변화시킨다. 이를 위해 제어부(99)는 사용자의 명령이 입력되는 입력인터페이스 또는 외부단말과의 연결을 위한 연결인터페이스가 마련될 수 있다. 또한, 제어부(99)에는 구동정보의 저장을 위한 메모리가 마련될 수 있다.The controller 99 supplies a control signal and power for driving the first motor 51 and the second motor 53 of the polishing apparatus. The controller 99 drives the first motor 51 to vibrate the oscillating part 60 according to the user's input, and drives the second motor 53 to supply the abrasive film 1. The controller 99 drives the first and second motors 51 and 53 or stops the drive and changes the speed according to a user input or previously stored driving information. To this end, the controller 99 may be provided with a connection interface for connecting to an input interface or an external terminal to which a user's command is input. In addition, the controller 99 may be provided with a memory for storing driving information.

이와 같이 본 발명에 따른 연마장치는 연마필름(1)과 대상체의 접촉압력, 연마필름(1)에 가해지는 장력을 일정하게 유지하기 위한 수단들을 구비한다. 이를 통해 본 발명의 연마장치는 헤드부의 요동과 대상체 면의 불균일함에 의해 접촉압력의 변화, 연마필름의 장력 변화가 발생하는 경우에도 접촉압력과 장력을 최대한 일정하게 유지하여 연마공정이 원활하게 진행될 수 있게 한다. 이를 통해, 대상체의 연마 품질을 높게 유지하는 것이 가능해진다.As described above, the polishing apparatus according to the present invention includes means for maintaining a constant contact pressure between the abrasive film 1 and the object and the tension applied to the abrasive film 1. Through this, the polishing apparatus of the present invention can smoothly proceed the polishing process by maintaining the contact pressure and tension as constant as possible even when the change in contact pressure and the change in tension of the polishing film due to the fluctuation of the head portion and the unevenness of the object surface. To be. This makes it possible to maintain a high polishing quality of the object.

이상에서 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위해 구체적인 예로 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기와 같이 구체적인 실시 예와 동일한 구성 및 작용에만 국한되지 않고, 여려가지 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 실시될 수 있다. 따라서, 그와 같은 변형도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주해야 하며, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의해 결정되어야 한다.Although illustrated and described as a specific example in order to illustrate the technical idea of the present invention, the present invention is not limited to the same configuration and operation as the specific embodiment as described above, within the limits that various modifications do not depart from the scope of the invention It can be carried out in. Accordingly, such modifications should also be considered to be within the scope of the present invention, the scope of the invention should be determined by the claims that follow.

10: 프레임 11: 측면프레임
12: 하부프레임 30: 롤러부
31: 공급롤러 35: 회수롤러
36a: 휠 36b: 가압수단
37: 벨트 38: 기어
39: 보조롤러 41: 풀리
51: 제1모터 53: 제2모터
60: 요동부 70: 요동부프레임
80: 헤드부 95: 장력조절롤러
99: 제어부
10: Frame 11: Side Frame
12: lower frame 30: roller portion
31: supply roller 35: recovery roller
36a: wheel 36b: pressurizing means
37: belt 38: gear
39: auxiliary roller 41: pulley
51: first motor 53: second motor
60: rocking section 70: rocking section frame
80: head portion 95: tensioning roller
99: control unit

Claims (5)

프레임;
상기 프레임의 제1면에 회전 가능하게 고정되고, 필름 공급 롤러와 필름 회수 롤러를 구비하는 롤러부;
상기 필름회수 롤러를 회전시켜 상기 필름 공급 롤러에 권취된 연마필름을 상기 필름 회수 롤러에 권취시키는 제2모터;
상기 연마필름을 지지하는 롤러를 가지는 헤드부와, 상기 제1면에 고정되어 상기 헤드부가 유동가능하게 결합되어 상기 헤드부를 요동시키는 제1모터를 구비하는 요동부; 및
상기 제1면에 회전 가능하게 고정되고, 상기 필름 공급롤러로부터 인출되어 상기 필름 회수 롤러에 권취는 필름의 이송 경로 상에 설치되는 장력조절롤러;를 포함하여 구성되고,
상기 요동부는
편심연결부를 사이에 두고 대칭으로 배치되어 상기 헤드부를 가압하기 위해 일단이 상기 헤드부에 접촉되는 복수의 가압실린더를 구비하는 실린더부;를 더 포함하여 구성되며
상기 헤드부는
헤드프레임; 상기 헤드프레임의 일측에 결합되고 상기 연마필름을 지지하는 메인롤러; 상기 메인롤러를 사이에 두고 대칭으로 배치되어 상기 연마필름을 지지하는 보조롤러; 및 상기 헤드프레임의 타측에 결합되고 상기 가압실린더와 접촉하는 부싱;을 포함하여 구성되고,
상기 메인롤러는
상기 메인롤러를 회전 가능하게 지지하는 제1암,
상기 헤드프레임에 결합되는 제2암 및
상기 제1암과 제2암을 연결하는 연결부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
frame;
A roller unit rotatably fixed to the first surface of the frame and having a film supply roller and a film recovery roller;
A second motor which rotates the film recovery roller to wind the abrasive film wound on the film supply roller to the film recovery roller;
A swinging part including a head part having a roller supporting the abrasive film, and a first motor fixed to the first surface to be movable to the head part to move the head part; And
And a tension control roller rotatably fixed to the first surface and drawn out from the film supply roller and wound around the film recovery roller and installed on a transport path of the film.
The rocking portion
And a cylinder portion having a plurality of pressurized cylinders whose one end contacts the head portion so as to be symmetrically disposed between the eccentric connecting portions and pressurizes the head portion.
The head part
Headframe; A main roller coupled to one side of the head frame and supporting the abrasive film; An auxiliary roller disposed symmetrically with the main roller therebetween to support the abrasive film; And a bushing coupled to the other side of the head frame and in contact with the pressure cylinder.
The main roller is
A first arm rotatably supporting the main roller;
A second arm coupled to the headframe and
Polishing apparatus comprising a connecting member for connecting the first arm and the second arm.
제 1 항에 있어서,
상기 제1모터와 상기 헤드부는 편심연결부에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
The method of claim 1,
And the first motor and the head portion are coupled by an eccentric coupling portion.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 필름회수롤러와 이웃하여 상기 제1면에 배치되되, 일단이 상기 프레임의 제2면에 노출되도록 상기 프레임을 관통하고, 상기 필름회수롤러와 벨트에 의해 결합되는 보조롤러;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
The method of claim 1,
And an auxiliary roller disposed adjacent to the film recovery roller and disposed on the first surface, the auxiliary roller passing through the frame so that one end thereof is exposed to the second surface of the frame and coupled by the film recovery roller and the belt. Polishing apparatus characterized in that the.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200377879Y1 (en) * 2004-12-22 2005-03-14 주식회사 솔로몬메카닉스 Superfinisher
KR200424875Y1 (en) 2006-06-14 2006-08-28 주식회사 솔로몬메카닉스 A plane polishing device using polishing film

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010100420A (en) 2000-05-02 2001-11-14 이홍섭 Automation method using sequential control in the superfinisher with film type grinding material and system of the same
KR20120002240U (en) * 2010-09-17 2012-03-27 주식회사 솔로몬메카닉스 Polishing device
KR101279900B1 (en) * 2011-05-23 2013-06-28 주식회사 솔로몬메카닉스 A tension maintenance instrument and polishing device having the same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200377879Y1 (en) * 2004-12-22 2005-03-14 주식회사 솔로몬메카닉스 Superfinisher
KR200424875Y1 (en) 2006-06-14 2006-08-28 주식회사 솔로몬메카닉스 A plane polishing device using polishing film

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