KR102061268B1 - 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치 - Google Patents

반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치 Download PDF

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Abstract

반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치가 개시된다. 개시되는 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치에 의하면, 열화상 카메라와, 출력 부재 및 제어 부재를 포함함에 따라, 간명한 구조로 구성되면서도, 복수 개의 상기 감지 대상체의 온도를 실시간으로 감지함으로써, 주야에 상관없이 상기 각 감지 대상체의 도난 여부를 정확하게 확인할 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치{Anti-theft device using monitoring thermal imaging camera applied to semiconductor manufacturing facilities}
본 발명은 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치에 관한 것이다.
전기는 송전에 의한 손실을 줄이기 이해 높은 전압으로 송전하는 것이 일반적이고, 그에 따라, 큰 빌딩이나 상업 시설, 제조 공장과 같은 많은 전력이 필요한 고전력 수요 시설에서는 6,600 내지 77,000kV 의 높은 전압의 전기를 직접 받게 된다.
이러한 높은 전압의 전기를 발전소로부터 직접 받은 후 상기 각 고전력 수요시설에서 사용할 수 있는 전압으로 변환하여 분전반으로 분배하는 것이 배전반이다.
이러한 배전반은 많은 전력이 필요한 곳에 설치되는 특성 상, 상대적으로 규모가 큰 시설에 설치되면서도, 사람의 왕래가 적은 곳에서 별도의 방에 설치될 뿐만 아니라, 상기 배전반의 내부 구성 요소들이 외부로 노출되지 아니하도록 항상 문이 닫힌 상태로 유지되는 것이 일반적이다.
배전반에는 통신, 피뢰침, 접지선 등이 있는데, 이러한 통신, 피뢰침, 접지선이 상대적으로 단가가 높은 구리로 이루어짐으로써, 도난당하는 경우가 발생하였다.
이러한 상기 배전반의 도난을 방지하기 위한 장치의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그것이다.
그러나, 아래 특허 문헌을 포함한 종래의 배전반 도난 장치에 의하면, 상기 배전반 중 도난된 도난품의 크기가 상대적으로 작거나, 일부분이 도난되었을 경우에는 도난 경보 장치가 제대로 작동되지 않는 문제가 있었다.
또한, 상기 배전반의 도난 경보가 울리게 되면, 순찰자가 도난 경보가 울린 배전반으로 가서 상기 배전반의 내부를 육안으로 직접 확인하게 되는데, 복수 개의 감지 대상체가 설치된 상기 배전반의 내부를 육안으로 확인하기에는 한계가 있었고, 육안 확인에 따른 확인 작업 시간도 길게 소요되는 문제가 있었다.
등록특허 제 10-1615127 호, 등록일자 : 2016.04.19., 발명의 명칭 : 케이블 도난 경보 장치
본 발명은 열화상 카메라를 이용하여 상기 배전반 내부에서 작동 중인 복수 개의 감지 대상체의 온도를 실시간으로 감지함으로써, 주야에 상관없이 상기 각 감지 대상체의 도난 여부를 정확하게 확인할 수 있는 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치는 반도체 제조 설비에 전력을 공급하고, 그 내부에 복수 개의 차단기와 복수 개의 부스바(bus bar)를 포함하는 배전반 중 전기적으로 연결된 상태로 작동되고, 복수 개로 이루어진 감지 대상체의 온도를 감지하여 복수 개의 상기 감지 대상체의 도난이 방지되도록 하는 것으로서, 상기 배전반의 내부에 설치되어 상기 감지 대상체의 온도를 감지하는 열화상 카메라; 상기 열화상 카메라에서 감지된 상기 감지 대상체의 온도가 출력되는 출력 부재; 상기 열화상 카메라 및 상기 출력 부재를 제어하는 제어 부재; 및 상기 열화상 카메라의 기울어짐을 감지할 수 있는 기울어짐 감지 부재;를 포함하고, 상기 감지 대상체 중 적어도 어느 하나가 상기 제어 부재에 의해 감지된 감지 온도가 미리 설정된 설정 온도에 비해 상대적으로 낮은 것으로 판단되면, 상기 제어 부재는 상기 감지 온도가 상기 설정 온도에 비해 상대적으로 낮은 것으로 판단된 상기 감지 대상체의 도난 알림을 상기 출력 부재에 출력시키고, 상기 기울어짐 감지 부재는 상기 기울어짐 감지 부재의 외곽을 형성하는 본체부와, 상기 본체부의 내부에서 중력 방향을 향하도록 배치되면서 상기 열화상 카메라의 기울어짐을 감지할 수 있는 감지부와, 상기 본체부의 내부에 배치되고, 상기 감지부와의 접촉을 감지하는 접촉 감지 센서부를 포함하고, 상기 본체부는 본체측 케이스와, 상기 본체측 케이스 중 대면되는 한 쌍의 내측면부에서 일정 깊이 함몰된 삽입홈부와, 상기 본체측 케이스의 일측부 및 타측부에서 상기 삽입홈부 쪽으로 각각 일정 길이 연장되되, 상기 삽입홈부 쪽으로 갈수록 그 단면적이 상대적으로 작아지게 형성된 경사형 연장체를 포함하고, 상기 감지부는 복수 개가 일정 각도 이격되면서 그 중심부에서 외측으로 일정 길이 돌출된 감지 몸체와, 상기 감지 몸체의 중앙부에서 한 쌍의 상기 삽입홈부 쪽으로 각가 돌출되어 상기 삽입홈부에 삽입되는 감지부측 축과, 상기 감지 몸체가 중력 방향을 향하도록 상기 감지 몸체에 무게를 부여하는 무게추를 포함하고, 상기 접촉 감지 센서부는 한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 하나의 상기 경사형 연장체의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 1 상측 접촉 센서와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 하나의 상기 경사형 연장체의 하측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 1 하측 접촉 센서와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 다른 하나의 상기 경사형 연장체의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 2 상측 접촉 센서와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 다른 하나의 상기 경사형 연장체의 하측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 2 하측 접촉 센서를 포함하고, 상기 열화상 카메라가 일 방향으로 기울어지면, 상기 감지 몸체에 상기 제 1 상측 접촉 센서 및 상기 제 2 하측 접촉 센서가 접촉됨으로써, 상기 열화상 카메라의 일 방향 기울어짐이 감지되고, 상기 열화상 카메라가 타 방향으로 기울어지면, 상기 감지 몸체에 상기 제 2 상측 접촉 센서 및 상기 제 1 하측 접촉 센서가 접촉됨으로써, 상기 열화상 카메라의 타 방향 기울어짐이 감지되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치에 의하면, 열화상 카메라와, 출력 부재 및 제어 부재를 포함함에 따라, 간명한 구조로 구성되면서도, 복수 개의 상기 감지 대상체의 온도를 실시간으로 감지함으로써, 주야에 상관없이 상기 각 감지 대상체의 도난 여부를 정확하게 확인할 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치의 모습을 보이는 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치를 구성하는 열화상 카메라의 모습을 보이는 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치를 구성하는 출력 부재 및 제어 부재의 모습을 보이는 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치를 구성하는 기울어짐 감지 부재를 정면에서 바라본 정면도.
도 5는 도 4의 기울어짐 감지 부재가 일 방향으로 기울어진 모습을 보이는 도면.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치를 구성하는 기울어짐 감지 부재에 적용된 삽입홈부에서 감지부측 축이 하강된 모습을 보이는 도면.
도 7은 본 발명의 일 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치에서 도난을 확인하는 방법의 순서도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치~에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치의 모습을 보이는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치를 구성하는 열화상 카메라의 모습을 보이는 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치를 구성하는 출력 부재 및 제어 부재의 모습을 보이는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치를 구성하는 기울어짐 감지 부재를 정면에서 바라본 정면도이고, 도 5는 도 4의 기울어짐 감지 부재가 일 방향으로 기울어진 모습을 보이는 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치를 구성하는 기울어짐 감지 부재에 적용된 삽입홈부에서 감지부측 축이 하강된 모습을 보이는 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 반도체 제조 설비에서의 열화상 카메라를 이용한 배전반 모니터링 장치에서 도난을 확인하는 방법의 순서도이다.
도 1 내지 도 7을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치(100)는 반도체 제조 설비에 전력을 공급하고, 그 내부에 복수 개의 차단기(11)와 복수 개의 부스바(bus bar)(12)를 포함하는 배전반(10) 중 전기적으로 연결된 상태로 작동되고, 복수 개로 이루어진 감지 대상체의 온도를 감지하여 복수 개의 상기 감지 대상체의 도난이 방지되도록 하는 것으로서, 열화상 카메라(110)와, 출력 부재(120) 및 제어 부재(170)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치(100)는 열화상 카메라측 전원 및 통신 케이블(171) 및 기울어짐 감지 부재(130)를 더 포함한다.
본 실시예에서, 상기 감지 대상체는 상기 배전반(10) 내부에 설치된 상기 차단기(11) 및 상기 부스바(12)를 포함하여 상기 반도체 제조 설비에 전력을 공급하기 위해 상기 배전반(10)에 적용되는 주요 구성품들로 정의된다.
상세히, 상기 열화상 카메라(110)는 상기 열화상 카메라(110)의 외곽을 이루는 하우징(111)과, 상기 하우징(111)에 결합되고, 상기 감지 대상체의 온도를 감지하는 온도 감지 수단(112)을 포함한다.
본 실시예에서 상기 열화상 카메라(110)는 자성체(113)를 더 포함한다.
본 실시예에서 상기 열화상 카메라(110), 더 정확하게는 상기 온도 감지 수단(112)은 -20℃ 내지 100℃의 범위 내에서 0.25℃의 분해능으로 일정 영역의 온도를 연속적으로 감지한다.
또한, 본 실시예에서 상기 열화상 카메라(110), 더 정확하게는 상기 온도 감지 수단(112)은 64픽셀수(Number of pixel)의 해상도를 가지는 것으로 이루어진다.
본 실시예에서 상기 온도 감지 수단(112)은 64픽셀수로 이루어지나, 본 발명이 이에 국한되는 것은 아니고, 다른 픽셀수의 해상도를 가지는 것을 적용할 수도 있음은 물론다.
상기 온도 감지 수단(112)은 온도를 가진 물체가 열을 방출하는 것을 감지하는 적외선 영상 카메라 등이 될 수 있다.
본 실시예에서 상기 온도 감지 수단(112)은 상대적으로 넓은 영역에 대한 온도 감지가 가능함은 물론, 온도 감지 가능 영역에서 특정 부분을 선택하여, 선택된 상기 특정 부분에 대한 온도만 감지하는 것도 가능하다.
이러한 상기 온도 감지 수단(112)의 감지 영역 및 감지 방법은 상기 제어 부재(170)에 의해 제어된다.
상기 자성체(113)는 상기 하우징(111)에 위치되는 것으로 상기 열화상 카메라(110)가 자성을 가진 상기 자성체(113)를 포함함에 따라, 상기 열화상 카메라(110)가 상기 배전반(10) 내부의 임의의 위치에 탈부착될 수 있다.
그러면, 상기 열화상 카메라(110)로 상기 감지 대상체의 온도를 감지하는 동안 상기 열화상 카메라(110)가 임의로 낙하되는 것을 방지할 수 있고, 상기 감지 대상체가 복수 개로 위치되면서 이격되어 있을 경우 상기 열화상 카메라(110)의 위치를 가변시키면서 상대적으로 용이하게 온도를 감지할 수 있음과 함께, 상기 감지 대상체의 온도 감지가 완료된 후 상기 배전반(10)으로부터 깨끗하게 탈착할 수 있게 된다.
상기 자성체(113)는 상기 온도 감지 수단(112)이 설치된 전면과 반대 방향인 후면에 위치됨으로써, 도 2에서는 상기 자성체(113)가 점선으로 표시되었다.
상기 출력 부재(120)는 상기 열화상 카메라(110)에서 감지된 상기 감지 대상체의 온도가 출력되는 것으로, 휴대용 디스플레이 장치 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상세히, 상기 출력 부재(120)는 그 외곽을 이루는 케이스(121)와, 상기 케이스(121)의 외측에 위치되면서 사용자에게 상기 감지 대상체의 온도를 출력시키는 출력부(122)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 출력 부재(120)는 상기 열화상 카메라측 전원 및 통신 케이블(171)이 연결되는 열화상 카메라측 연결 단자(124)와, 후술되는 외부측 전원 및 통신 케이블이 연결되는 외부측 연결 단자(125)를 더 포함한다.
상기 열화상 카메라측 전원 및 통신 케이블(171)은 상기 열화상 카메라(110) 및 상기 출력 부재(120)를 연결하여 상기 열화상 카메라(110)가 동작되도록 전원을 인가하고, 상기 열화상 카메라(110)가 상기 감지 대상체의 온도를 감지하고, 감지된 상기 감지대상체의 온도가 상기 출력 부재(120)로 전달되도록 상기 열화상 카메라(110) 및 상기 출력 부재(120) 사이에서 통신을 주고 받는 것이다.
본 실시예에서는 상기 열화상 카메라측 전원 및 통신 케이블(171)이 상기 열화상 카메라(110) 및 상기 출력 부재(120) 사이에 연결되나, 이는 단지 하나의 예시일 뿐 상기 열화상 카메라(110) 및 상기 출력 부재(120)가 무선 상태로 통신을 주고 받을 수도 있음은 물론이고, 이럴 경우, 상기 열화상 카메라(110)에는 별도의 배터리가 내장되는 것이 바람직하다.
도면 번호 172는 외부로부터 상기 출력 부재(120)에 전원을 인가함과 함께 외부에 설치된 제어부와 상기 출력 부재(120) 사이에서 통신이 이루어지도록 하는 외부측 전원 및 통신 케이블이다.
여기서, 외부에 설치되는 상기 제어부는 컴퓨터 등이 그 예로 제시될 수 있고, 외부와 상기 출력 부재(120) 사이의 통신은 RS-232(Recommended Standard 232) 통신 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 열화상 카메라측 연결 단자(124) 및 상기 외부측 연결 단자(125)는 케이블 연결 시 적용되는 동축 케이블 커넥터 또는 케이블 소켓 등이 될 수 있고, 이러한 상기 동축 케이블 커넥터 또는 케이블 소켓은 케이블을 연결할 경우 일반적으로 사용되는 것이므로, 본 실시예에서는 상세한 설명을 생략한다.
상기 제어 부재(170)는 상기 열화상 카메라(110) 및 상기 출력 부재(120)를 제어하는 것이다.
본 실시예에서 상기 제어 부재(170)는 상기 출력 부재(120)의 내부에 설치된다.
상세히, 상기 제어 부재(170)는 상기 감지 대상체에 대한 상기 열화상 카메라(110)의 감지 조건, 예를 들면 상기 열화상 카메라(110)의 화소수, 프레임 레이트(frame rate), 감지 시간 등을 제어한다.
또한, 상기 제어 부재(170)는 상기 열화상 카메라(110)가 상기 감지 대상체에 대해 연속적으로 3회 내지 7회 감지한 온도를 이용하여 평균 온도를 연산한 다음, 상기 출력 출력 부재(120)에 상기 평균 온도가 출력되게 함으로써, 상기 감지 대상체에서 감지된 온도의 오차가 상대적으로 최소화되도록 한다.
또한, 상기 출력 부재(120)에 출력된 복수 개의 상기 감지 대상체의 온도 중 특정 부분이 터치되면, 선택된 상기 특정 부분의 온도가 상기 제어 부재(170)에 의해 확대 및 음영 반전되면서 상기 출력 부재(120)에 출력된다.
즉, 복수 개의 상기 감지 대상체 중 어느 하나를 사용자가 선택한 후 상기 출력부(122)에서 터치하게 되면, 상기 출력 부재(120)에 대한 상기 제어 부재(170)의 제어에 의해 상기 특정 부분의 음영이 반전됨과 함께 확대되어 상기 출력부(122)에 표시됨으로써, 상기 특정 부분에 대한 온도 확인이 용이하게 수행될 수 있게 된다.
또한, 상기 배전반(10) 내부에 설치된 상기 감지 대상체 중 적어도 어느 하나가 상기 제어 부재(170)에 의해 감지된 감지 온도가 미리 설정된 설정 온도에 비해 상대적으로 낮은 것으로 판단되면, 상기 제어 부재(170)는 상기 감지 온도가 상기 설정 온도에 비해 상대적으로 낮은 것으로 판단된 상기 감지 대상체의 도난 알림을 상기 출력 부재(120)에 출력시키게 된다.
상기 감지 대상체가 전기적으로 연결된 상태로 작동 중일 때는 상기 감지 대상체의 작동으로 인한 열이 발생됨으로써 일정 온도를 유지하게 된다.
상기 열화상 카메라(110)에 의해 복수 개의 상기 감지 대상체의 온도가 실시간으로 감지되면서 상기 출력 부재(120)에 출력되는 도중, 적어도 어느 하나의 상기 감지 대상체의 온도가 상대적으로 낮게 감지되면, 상기 제어 부재(170)는 상기 감지 대상체의 감지 온도와 상기 감지 대상체의 미리 설정된 상기 설정 온도를 비교하게 된다.
이 때, 상기 감지 대상체의 상기 감지 온도가 상기 설정 온도에 비해 상대적으로 낮으면 상기 제어 부재(170)는 상기 출력 부재(120)에 도난 알림을 출력함으로써, 작업자 또는 순찰자 등에게 상기 감지 대상체의 도난을 알리게 된다.
여기서, 상기 설정 온도는 상기 감지 대상체가 존재하지 아니할 때 감지될 수 있는 온도로서, 예를 들어 상기 배전반(10) 내부의 실내 온도 등이 될 수 있다.
상기 설정 온도는 상기 배전반(10)의 설치 장소 및 설치 환경에 따라 상기 작업자 또는 설치자의 설정 조건을 변경함으로써 다른 온도로 설정 가능하다.
상기와 같이 형성되면, 상기 열화상 카메라(110)에 의해 실시간으로 감지되는 복수 개의 상기 감지 대상체의 상기 감지 온도와 상기 설정 온도를 상기 제어 부재(170)가 실시간으로 비교 및 판단함으로써, 상기 감지 대상체의 도난 사고가 효과적으로 방지될 수 있게 된다.
상기 출력 부재(120)에 출력되는 상기 도난 알림은 상기 출력부(122)에 팝업창 형식으로 출력될 수도 있고, 색상의 변경, 예를 들어 상기 출력부(122)의 배경이 빨간 색으로 변경되어 도난에 대한 알림을 순찰자에게 알릴 수도 있다.
또한, 상기 출력 부재(120)에 스피커 등의 소리 출력 수단(미도시)가 내장되어 도안 알림에 대한 알림 소리를 출력할 수도 있음은 물론이다.
또한, 상기 출력 부재(120)의 내부에는 저장 수단(비도시)이 함께 내장되어 상기 감지 대상체의 감지 온도가 일정 기간동안 연속적으로 저장 가능하고, 그에 따라 그 이전에 발생된 상기 감지 대상체의 상황에 대해서도 확인할 수 있게 된다.
상기 기울어짐 감지 부재(130)는 상기 열화상 카메라(110)의 기울어짐을 감지할 수 있는 것이다.
상세히, 상기 기울어짐 감지 부재(130)는 상기 열화상 카메라(110)에 장착되는 것으로, 본체부(140)와, 감지부(150)와, 접촉 감지 센서부(160)를 포함한다.
상기 본체부(140)는 상기 기울어짐 감지 부재(130)의 외곽을 형성하는 것이다.
상세히, 상기 본체부(140)는 본체측 케이스(141)와, 삽입홈부(142)와, 경사형 연장체(145)를 포함한다.
상기 본체측 케이스(141)는 육면체로 형성되면서, 그 내부가 빈 형태로 형성되는 것이다.
상기 삽입홈부(142)는 상기 본체측 케이스(141) 중 대면되는 한 쌍의 내측면부에서 일정 깊이 함몰된 것이다.
즉, 상기 삽입홈부(142)는 상기 본체측 케이스(141)의 전면 및 후면에서 한 쌍이 대면되는 형태로 형성된다.
도 4 내지 도 6에서 상기 삽입홈부(142)는 상기 본체측 케이스(141)의 후면, 즉 상기 감지부(150)에 의해 가려지는 부분에 형성되므로 점선으로 도시되었다.
상기 경사형 연장체(145)는 상기 본체측 케이스(141)의 일측부 및 타측부에서 상기 삽입홈부(142) 쪽으로 각각 일정 길이 연장되되, 상기 삽입홈부(142) 쪽으로 갈수록 그 단면적이 상대적으로 작아지게 형성된 것이다.
한 쌍의 상기 경사형 연장체(145)는 상기 삽입홈부(142)의 중심을 지나는 가상의 수직 연장선을 기준으로 서로 대칭되도록 배치되면서 삼각형 형태를 이루게 되고, 그에 따라, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(145)의 상부 및 하부가 일정 각도로 기울어지게 형성된다.
상기 감지부(150)는 상기 본체부(140)의 내부에서 중력 방향을 향하도록 배치되면서 상기 열화상 카메라(110)의 기울어짐을 감지할 수 있는 것이다.
상세히, 상기 감지부(150)는 감지 몸체(151)와, 감지부측 축(156)과, 무게추(157)를 포함한다.
상기 감지 몸체(151)는 복수 개가 일정 각도 이격되면서 그 중심부에서 외측으로 일정 길이 돌출된 것이다.
더 상세히, 상기 감지 몸체(151)는 한 쌍의 상기 경사형 연장체(145) 중 일측부에 형성된 것의 상부에 위치되는 제 1 상측 날개(152)와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(145) 중 일측부에 형성된 것의 하부에 위치되는 제 1 하측 날개(153)와, 한 쌍의 경사형 연장체(145)중 타측부에 형성된 것의 상부에 위치되는 제 2 상측 날개(154)와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(145) 중 타측부에 형성된 것의 하부에 위치되는 제 2 하측 날개(155)를 포함한다.
상기 감지 몸체(151)의 중심을 지나는 가상의 수직 연장선을 기준으로 상기 제 1 상측 날개(152)와 상기 제 2 상측 날개(154) 및 상기 제 1 하측 날개(153)와 상기 제 2 하측 날개(155)는 서로 대칭되는 형태로 형성된다.
상기 감지부측 축(156)은 상기 감지 몸체(151)의 중앙부에서 한 쌍의 상기 삽입홈부(142) 쪽으로 양측 방향으로 각각 일정 길이 돌출되어 상기 삽입홈부(142)에 삽입되는 것이다.
한 쌍의 상기 삽입홈부(142)에 상기 감지부측 축(156)이 각각 삽입됨에 따라, 상기 감지 몸체(151)는 상기 감지부측 축(156)을 중심으로 일정 각도 회전 가능하게 된다.
상기 무게추(157)는 상기 무게추(157)의 자중에 의해 상기 감지 몸체(151)가 중력 방향을 향하도록 일정 무게를 가짐으로써 상기 감지 몸체(151)에 무게를 부여하는 것으로 상기 감지 몸체(151)의 중심부에서 하부로 일정 길이 돌출되어 형성된다.
상기 접촉 감지 센서부(160)는 상기 본체부(140)의 내부에 배치되고, 상기 감지부(150)와의 접촉을 감지하는 것이다.
상세히, 상기 접촉 감지 센서부(160)는 한 쌍의 상기 경사형 연장체(145) 중 하나의 상기 경사형 연장체(145)의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 1 상측 접촉 센서(162)와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(145) 중 하나의 상기 경사형 연장체(145)의 하측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 1 하측 접촉 센서(163)와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(145) 중 다른 하나의 상기 경사형 연장체(145)의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 2 상측 접촉 센서(164)와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(145) 중 다른 하나의 상기 경사형 연장체(145)의 하측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 2 하측 접촉 센서(165)를 포함한다.
상기 기울어짐 감지 부재(130)가 상기와 같이 형성된 상태에서 상기 열화상 카메라(110)가 일 방향으로 기울어지면, 상기 감지 몸체(151)에 상기 제 1 상측 접촉 센서(162) 및 상기 제 2 하측 접촉 센서(165)가 접촉됨으로써, 상기 열화상 카메라(110)의 일 방향 기울어짐이 감지된다.
또한, 상기 열화상 카메라(110)가 타 방향으로 기울어지면, 상기 감지 몸체(151)에 상기 제 2 상측 접촉 센서(164) 및 상기 제 1 하측 접촉 센서(163)가 접촉됨으로써, 상기 열화상 카메라(110)의 타 방향 기울어짐이 감지된다.
상기 열화상 카메라(110)의 일 방향 기울어짐 및 타 방향 기울어짐에 대한 정보는 상기 제어 부재(170)를 통해 상기 출력 부재(120)에 출력될 수도 있고, 외부에 별도로 설치된 경고등의 알람 등을 통해 외부로 전달될 수도 있다.
한편, 상기 삽입홈부(142)는 상기 본체측 케이스(141)의 후면 및 전면에서 각각 일정 깊이 함몰되면서 일정 길이 길게 형성되는 장형 삽입홈과, 상기 각 장형 삽입홈의 내면에서 상기 각 장형 삽입홈의 내측으로 갈수록 뾰족해지는 형태로 일정 길이 돌출되어 상기 감지부측 축(156)의 일부가 걸리도록 하는 축 걸림 돌기를 포함한다.
상기 축 걸림 돌기는 상기 각 삽입홈부(142)에서 서로 다른 높이로 복수 개가 형성된다.
상기 삽입홈부(142)가 상기와 같이 형성됨으로써, 도 6에 도시된 바와 같이, 복수 개의 상기 축 걸림 돌기 중 최상측의 것에 상기 감지부측 축(156)이 걸린 상태로 상기 감지부(150)가 중력 방향으로 향하고 있다가, 상기 열화상 카메라(110)가 지진 등의 외부 충격에 의해 순간 낙하하게 되는 경우, 상기 열화상 카메라(110)에 장착된 상기 기울어짐 감지 부재(130) 역시 낙하하게 되면서 상기 감지부측 축(156)이 복수 개의 상기 축 걸림 돌기 중 최상측의 것에서 이탈되어 복수 개의 상기 축 걸림 돌기 중 최상측의 것 바로 아래의 것으로 하강되어 걸리게 되고, 이러한 상기 감지부측 축(156)의 하강으로 인해 상기 감지 몸체(151) 중 상기 제 1 상측 날개(152) 및 상기 제 2 상측 날개(154)가 상기 제 1 상측 접촉 센서(162) 및 상기 제 2 상측 접촉 센서(164)에 동시에 접촉됨으로써 상기 열화상 카메라(110)에 중력 방향으로 가해진 충격이 감지 가능하게 된다.
상기 감지 몸체(151)가 상기 제 1 상측 접촉 센서(162) 및 상기 제 2 상측 접촉 센서(164)에 동시에 접촉되면서 감지된 충격 정보는 상기 제어 부재(170)를 통해 상기 출력 부재(120)에 출력될 수도 있고, 외부에 별도로 설치된 경고등의 알람 등을 통해 외부로 전달될 수도 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치(100)가 도난 방지를 수행하는 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 제어 부재(170)가 상기 열화상 카메라(110)를 제어하여 상기 배전반(10) 내부의 상기 감지 대상체를 감지한다.
이 때 상기 열화상 카메라(110)에 의한 상기 감지 대상체의 감지는 상기 작업자 또는 순찰자가 설정하는 조건에 따라 실시간으로 연속적으로 수행될 수도 있고, 일정 시간의 간격을 두고 수행될 수도 있으나, 도난 방지를 위해서는 실시간으로 연속적으로 상기 감지 대상체를 감지하는 것이 바람직하다.
이 때, 저장 수단에 저장된 내용은 오래된 것부터 지워지면서 최근 내용이 저장될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
그런 다음, 상기 제어 부재(170)가 상기 출력 부재(120)를 제어하여 상기 감지 대상체의 온도를 상기 출력부(122)에 출력한다.(S110)
그런 다음, 상기 제어 부재(170)가 상기 감지 대상체의 상기 감지 온도와 상기 감지 대상체에 대해 미리 설정된 상기 설정 온도를 비교한다.(S120)
상기 제어 부재(170)가 상기 감지 온도 및 상기 설정 온도를 비교 및 판단한다(S130)
상기 제어 부재(170)에 의해 상기 감지 온도가 상기 설정 온도에 비해 높은 것으로 판단되면, 상기 제어 부재(170)는 상기 출력 부재(120)에 상기 감지 온도를 출력시킨다.
상기 제어 부재(170)에 의해 상기 감지 온도가 상기 설정 온도에 비해 낮은 것으로 판단되면, 상기 제어 부재(170)는 상기 출력 부재(120)에 도난 알림을 출력한다.(S140)
이 때, 상기 도난 알림은 상기 출력 부재(120)에 팝업창 형식으로 출력될 수도 있고, 일반 출력 때의 배경 색상과 다른 색깔의 배경이 되도록 함으로써 상기 작업자 또는 상기 순찰자에 상기 감지 대상체의 도난을 알린다.
상기와 같이, 상기 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치(100)가 상기 열화상 카메라(110)와, 상기 출력 부재(120) 및 상기 제어 부재(170)를 포함함에 따라, 간명한 구조로 구성되면서도, 복수 개의 상기 감지 대상체의 온도를 실시간으로 감지함으로써, 주야에 상관없이 상기 각 감지 대상체의 도난 여부를 정확하게 확인할 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치에 의하면, 간명한 구조로 구성되면서도, 복수 개의 감지 대상체의 온도를 실시간으로 감지함으로써, 주야에 상관없이 상기 각 감지 대상체의 도난 여부를 정확하게 확인할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치
10 : 배전반
11 : 차단기
12 : 부스바
110 : 열화상 카메라
120 : 출력 부재
130 : 기울어짐 감지 부재
170 : 제어 부재
171 : 열화상 카메라측 전원 및 통신 케이블
172 : 외부측 전원 및 통신 케이블

Claims (5)

  1. 반도체 제조 설비에 전력을 공급하고, 그 내부에 복수 개의 차단기와 복수 개의 부스바(bus bar)를 포함하는 배전반 중 전기적으로 연결된 상태로 작동되고, 복수 개로 이루어진 감지 대상체의 온도를 감지하여 복수 개의 상기 감지 대상체의 도난이 방지되도록 하는 것으로서,
    상기 배전반의 내부에 설치되어 상기 감지 대상체의 온도를 감지하는 열화상 카메라;
    상기 열화상 카메라에서 감지된 상기 감지 대상체의 온도가 출력되는 출력 부재;
    상기 열화상 카메라 및 상기 출력 부재를 제어하는 제어 부재; 및
    상기 열화상 카메라의 기울어짐을 감지할 수 있는 기울어짐 감지 부재;를 포함하고,
    상기 감지 대상체 중 적어도 어느 하나가 상기 제어 부재에 의해 감지된 감지 온도가 미리 설정된 설정 온도에 비해 상대적으로 낮은 것으로 판단되면, 상기 제어 부재는 상기 감지 온도가 상기 설정 온도에 비해 상대적으로 낮은 것으로 판단된 상기 감지 대상체의 도난 알림을 상기 출력 부재에 출력시키고,
    상기 기울어짐 감지 부재는
    상기 기울어짐 감지 부재의 외곽을 형성하는 본체부와,
    상기 본체부의 내부에서 중력 방향을 향하도록 배치되면서 상기 열화상 카메라의 기울어짐을 감지할 수 있는 감지부와,
    상기 본체부의 내부에 배치되고, 상기 감지부와의 접촉을 감지하는 접촉 감지 센서부를 포함하고,
    상기 본체부는
    본체측 케이스와,
    상기 본체측 케이스 중 대면되는 한 쌍의 내측면부에서 일정 깊이 함몰된 삽입홈부와,
    상기 본체측 케이스의 일측부 및 타측부에서 상기 삽입홈부 쪽으로 각각 일정 길이 연장되되, 상기 삽입홈부 쪽으로 갈수록 그 단면적이 상대적으로 작아지게 형성된 경사형 연장체를 포함하고,
    상기 감지부는
    복수 개가 일정 각도 이격되면서 그 중심부에서 외측으로 일정 길이 돌출된 감지 몸체와,
    상기 감지 몸체의 중앙부에서 한 쌍의 상기 삽입홈부 쪽으로 각가 돌출되어 상기 삽입홈부에 삽입되는 감지부측 축과,
    상기 감지 몸체가 중력 방향을 향하도록 상기 감지 몸체에 무게를 부여하는 무게추를 포함하고,
    상기 접촉 감지 센서부는
    한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 하나의 상기 경사형 연장체의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 1 상측 접촉 센서와,
    한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 하나의 상기 경사형 연장체의 하측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 1 하측 접촉 센서와,
    한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 다른 하나의 상기 경사형 연장체의 상측 경
    사면에서 돌출되도록 설치되는 제 2 상측 접촉 센서와,
    한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 다른 하나의 상기 경사형 연장체의 하측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 2 하측 접촉 센서를 포함하고,
    상기 열화상 카메라가 일 방향으로 기울어지면, 상기 감지 몸체에 상기 제 1 상측 접촉 센서 및 상기 제 2 하측 접촉 센서가 접촉됨으로써, 상기 열화상 카메라의 일 방향 기울어짐이 감지되고,
    상기 열화상 카메라가 타 방향으로 기울어지면, 상기 감지 몸체에 상기 제 2 상측 접촉 센서 및 상기 제 1 하측 접촉 센서가 접촉됨으로써, 상기 열화상 카메라의 타 방향 기울어짐이 감지되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 열화상 카메라는
    자성을 가진 자성체를 포함하고, 그에 따라 상기 열화상 카메라가 상기 배전반 내부의 임의의 위치에 탈부착될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 출력 부재에 출력된 복수 개의 상기 감지 대상체의 온도 중 특정 부분이 터치되면, 선택된 상기 특정 부분의 온도가 상기 제어 부재에 의해 확대 및 음영 반전되면서 상기 출력 부재에 출력되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비에 적용되는 모니터링용 열화상 카메라를 이용한 도난 방지 장치.
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