KR102058875B1 - Process for Forming High Density SiC Coating on Graphite Foam And Coating Agent For The Same - Google Patents

Process for Forming High Density SiC Coating on Graphite Foam And Coating Agent For The Same Download PDF

Info

Publication number
KR102058875B1
KR102058875B1 KR1020170155486A KR20170155486A KR102058875B1 KR 102058875 B1 KR102058875 B1 KR 102058875B1 KR 1020170155486 A KR1020170155486 A KR 1020170155486A KR 20170155486 A KR20170155486 A KR 20170155486A KR 102058875 B1 KR102058875 B1 KR 102058875B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
coating
graphite foam
silicon carbide
graphite
silica sol
Prior art date
Application number
KR1020170155486A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20190057958A (en
Inventor
권우택
김영희
이윤주
방정원
안수빈
김창곤
정상훈
Original Assignee
한국세라믹기술원
주식회사코카브
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국세라믹기술원, 주식회사코카브 filed Critical 한국세라믹기술원
Priority to KR1020170155486A priority Critical patent/KR102058875B1/en
Publication of KR20190057958A publication Critical patent/KR20190057958A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102058875B1 publication Critical patent/KR102058875B1/en

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81Coating or impregnation
    • C04B41/85Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87Ceramics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/0072Heat treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/4535Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application applied as a solution, emulsion, dispersion or suspension
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/455Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application the coating or impregnating process including a chemical conversion or reaction
    • C04B41/4554Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application the coating or impregnating process including a chemical conversion or reaction the coating or impregnating material being an organic or organo-metallic precursor of an inorganic material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5053Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
    • C04B41/5057Carbides
    • C04B41/5059Silicon carbide

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)

Abstract

실리카졸 및 유기 실란을 이용하여 그라파이트 폼 표면에 실리콘카바이드를 코팅하는 방법이 개시된다. 본 발명은 실리카 졸 및 유기 실란을 포함하는 코팅제를 그라파이트 폼 상에 코팅하는 단계; 상기 코팅된 그라파이트 폼을 건조하는 단계; 및 상기 건조된 그라파이트 폼을 열처리하여 실리콘카바이드 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법을 제공한다.Disclosed is a method of coating silicon carbide on a graphite foam surface using silica sol and organosilane. The present invention comprises the steps of coating a coating agent comprising a silica sol and an organic silane on the graphite foam; Drying the coated graphite foam; And it provides a method for producing a coating layer of silicon carbide on the graphite foam comprising the step of heat-treating the dried graphite foam to form a silicon carbide coating layer.

Description

그라파이트 폼 상에 치밀한 실리콘카바이드의 코팅형성 방법 및 그에 사용되는 코팅제{Process for Forming High Density SiC Coating on Graphite Foam And Coating Agent For The Same}Process for Forming Dense Silicon Carbide on Graphite Foams and Coatings Used Therein {Process for Forming High Density SiC Coating on Graphite Foam And Coating Agent For The Same}

본 발명은 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅을 형성하는 방법에 관한 것으로, 상세하게는 실리카졸 및 유기 실란을 이용하여 그라파이트 폼 표면에 실리콘카바이드를 코팅하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of forming a coating of silicon carbide on graphite foam, and more particularly, to a method of coating silicon carbide on the surface of graphite foam using silica sol and organic silane.

그라파이트 재료는 비강도가 높고, 열 충격과 부식에 대단히 강하며 높은 열전도율과 전기전도율을 갖춘 소재로 가공이 용이하여 반도체, 태양전지 산업에 열처리 지그(JIG), 발열체, 단열재 등 부품으로 사용량이 증가하고 있는 추세이다.Graphite material has high specific strength, is extremely resistant to thermal shock and corrosion, and has high thermal conductivity and electrical conductivity, making it easy to process, increasing the use of components such as heat treatment jig, heating element, and heat insulating material in the semiconductor and solar cell industries. The trend is.

그러나, 그라파이트 재료는 400℃ 이상의 온도에서 산화가 진행되어 물리적 특성이 급격히 감소하는 단점을 가지고 있다. 이러한 단점을 보완하기 위하여 그라파이트의 산화방지 처리방법이 여러 가지로 검토되고 있다.However, the graphite material has a disadvantage in that the oxidation proceeds at a temperature of 400 ° C. or higher, thereby rapidly decreasing physical properties. In order to make up for these drawbacks, various methods for preventing oxidation of graphite have been studied.

그라파이트의 산화방지를 위한 코팅방법으로는 화학기상증착공정(CVD)을 이용한 실리콘카바이드(SiC), 질화규소(Si3N4), 뮬라이트(Mullite) 등의 코팅 및 플라즈마 용사를 통한 마그네시아(MgO), 알루미나(Al2O3) 및 산화크롬(Cr2O3) 등의 코팅이 활발히 진행되고 있다.Coating methods for preventing oxidation of graphite include coating of silicon carbide (SiC), silicon nitride (Si 3 N 4 ) and mullite (CVD) using chemical vapor deposition (CVD), and magnesia (MgO) through plasma spraying, Coatings such as alumina (Al 2 O 3 ) and chromium oxide (Cr 2 O 3 ) are actively underway.

상기 플라즈마 용사(Plasma spraying)에 의한 코팅 방법은 재료와의 접착이 불량하여 박리가 일어나기 쉬우므로 코팅층을 두껍게 하지 않으면 안되는 단점이 있다.The coating method by plasma spraying has a disadvantage in that the coating layer has to be thickened because it is easy to peel off due to poor adhesion with the material.

한편, 실리콘카바이드(SiC)가 피복된 그라파이트 표면은 실리콘과 카바이드로 강한 공유 결합을 하고 있으므로 2000℃ 이상의 온도에서도 물리적 성질이나 화학적 성분상의 변화가 없는 성분으로 기존 그라파이트에 비하여 강도, 경도, 내마모성, 내산화성이 우수하여 주된 코팅재료로 사용되고 있다.On the other hand, since the surface of graphite coated with silicon carbide (SiC) has strong covalent bonds with silicon and carbide, it does not change physical properties or chemical composition even at temperatures above 2000 ℃, and it has strength, hardness, abrasion resistance, and resistance. It is used as the main coating material because of its excellent oxidation resistance.

일반적으로 실리콘카바이드를 그라파이트 표면에 코팅하는 방법으로는 유기 규소 화합물을 이용한 화학증착법 또는 용융 규소나 규소 가스의 침투를 이용한 방법 및 일산화규소(SiO) 가스에 의한 기체-고체 반응 방법 등이 있다.In general, a method of coating silicon carbide on the graphite surface includes a chemical vapor deposition method using an organosilicon compound, a method using penetration of molten silicon or silicon gas, and a gas-solid reaction method using silicon monoxide (SiO) gas.

화학증착법으로 실리콘카바이드를 코팅하는 경우 메틸트리클로로실란(Methyltrichrolosilane: MTS)이 주로 전구체로 사용되고 있는데, 이 때 메틸트리클로로실란 전구체에서 염소성분을 제거하기 위하여 수소가스를 함께 흘려보내는 공정으로 인하여 고온에서 수소가스 사용시 화재 발생 등의 위험요소를 가지고 있으며 또한 부산물로 나오는 염산(HCl)가스의 부식성 때문에 장비의 부식 및 최종제품에 염소오염문제 등의 이유로 취급의 어려움이 많이 따른다.In the case of coating silicon carbide by chemical vapor deposition, methyltrichlorosilane (MTS) is mainly used as a precursor. At this time, the methyl trichlorosilane precursor is flowed at a high temperature due to the flow of hydrogen gas to remove chlorine from the methyltrichlorosilane precursor. The use of hydrogen gas has risk factors such as fire occurrence, and due to the corrosion of hydrochloric acid (HCl) gas as a by-product, it is difficult to handle due to corrosion of equipment and chlorine pollution problem in the final product.

한국 등록특허공보 제10-0951633호는 폴리페닐카보실란 용액을 이용하여 그라파이트 표면에 코팅 후 열처리하여 그라파이트 내산화성을 증진시키는 내용이 기술되어 있다.Korean Patent Publication No. 10-0951633 discloses a method of improving graphite oxidation resistance by coating and heat treating a graphite surface using a polyphenylcarbosilane solution.

그러나, 폴리페닐카보실란은 유무기 전환과정을 거쳐 세라믹으로 전환되는 과정에서 수율이 60% 정도 이하이므로 1200℃ 이상에서 열처리하는 경우 부피감소에 따른 균열을 피할 수 없게 된다. 코팅층에 균열이 있는 경우 내산화성이 장시간 유지되기 어려운 문제점이 있다.However, since polyphenylcarbosilane has a yield of about 60% or less in the process of converting into a ceramic through an organic-inorganic conversion process, cracks due to volume reduction cannot be avoided when heat treatment is performed at 1200 ° C. or more. If there is a crack in the coating layer, there is a problem in that oxidation resistance is difficult to be maintained for a long time.

한국 등록특허공보 제10-0951633호(2010.04.09. 공고.)Korea Patent Publication No. 10-0951633 (2010.04.09. Notification)

상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 발명자들은 특허출원 제2017-138128호에서 저농도의 실라카졸을 이용하여 표면 특성이 우수할 뿐만 아니라 내산화성이 우수한 실리콘카바이드 코팅된 그라파이트 폼을 제공하는 방법을 제시한 바 있다. 본 발명의 연구자들은 SiC 전구체로 실리카졸을 이용하는 경우 치밀하고 두꺼운 SiC 코팅층을 얻기 위해 고농도의 실라카졸을 사용하게 되면 그라파이트 폼의 산화가 발생하여 강도가 저하되는 문제점을 발견하였다. In order to solve the above problems, the inventors of the present invention using a low concentration of the silica gel sol in the patent application No. 2017-138128 to provide a silicon carbide coated graphite foam having excellent surface properties as well as excellent oxidation resistance I have suggested how. The researchers of the present invention have found that when silica silica sol is used as the SiC precursor, the use of high concentrations of silacasol to obtain a dense and thick SiC coating layer causes oxidation of graphite foam, resulting in a decrease in strength.

따라서, 본 발명은 치밀한 실리콘카바이드 코팅층을 형성하는 동시에 표면 특성이 우수할 뿐만 아니라 내산화성이 우수한 실리콘카바이드 코팅된 그라파이트 폼의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for producing a silicon carbide coated graphite foam which is not only excellent in surface properties but also excellent in oxidation resistance while forming a dense silicon carbide coating layer.

또한 본 발명은 전술한 제조 방법에 적합한 코팅제를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a coating agent suitable for the above-mentioned manufacturing method.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 소수성으로 표면처리된 실리카 졸 및 유기 실란을 포함하는 코팅제를 그라파이트 폼 상에 코팅하는 단계; 상기 코팅된 그라파이트 폼을 건조하는 단계; 및 상기 건조된 그라파이트 폼을 열처리하여 실리콘카바이드 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법을 제공한다. In order to achieve the above technical problem, the present invention comprises the steps of: coating a coating agent comprising a hydrophobic surface-treated silica sol and an organic silane on the graphite foam; Drying the coated graphite foam; And it provides a method for producing a coating layer of silicon carbide on the graphite foam comprising the step of heat-treating the dried graphite foam to form a silicon carbide coating layer.

본 발명에서 상기 코팅제는 실리카 졸 20 내지 40 중량%; 유기 실란 20 내지 40 중량%; 및 유기용제 20 내지 40 중량% 포함하는 것이 바람직하다. The coating agent in the present invention 20 to 40% by weight silica sol; 20 to 40% by weight of organic silanes; And it is preferable to include 20 to 40% by weight of the organic solvent.

또한, 본 발명에서 상기 코팅제 내의 실리카 졸 내의 실리카 함량과 유기 실란 함량은 중량비로 1:0.5 ~ 1:1.5인 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, the silica content and the organic silane content in the silica sol in the coating agent are preferably 1: 0.5 to 1: 1.5 by weight.

본 발명에서 상기 건조 단계 다음에, 그라파이트 폼 내 실리카를 원심분리 방법으로 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법을 제공한다. After the drying step in the present invention, there is provided a method for producing a coating layer of silicon carbide on the graphite foam, further comprising the step of removing the silica in the graphite foam by a centrifugation method.

본 발명은 함침법, 스프레이 코팅법, 및 스핀 코팅법 중에서 선택된 어느 하나의 코팅법을 이용할 수 있다. The present invention can use any one coating method selected from the impregnation method, spray coating method, and spin coating method.

본 발명에서 상기 건조는 100℃ 이하에서 12-24시간 동안 수행되는 것이 바람직하다. In the present invention, the drying is preferably performed for 12-24 hours at 100 ℃ or less.

본 발명에서 상기 열처리는 비활성 기체 또는 진공 분위기에서 1400-1800℃에서 수행되는 것이 바람직하다. In the present invention, the heat treatment is preferably carried out at 1400-1800 ℃ in an inert gas or vacuum atmosphere.

본 발명에서 상기 열처리는 1,400℃에서 2시간 유지한 후 1,600℃에서 1시간 동안 수행되는 것이 바람직하다. .In the present invention, the heat treatment is preferably carried out for 1 hour at 1,600 ℃ after maintaining for 2 hours at 1,400 ℃. .

본 발명에서 상기 유기 실란은 DMDMS, MTMS, TEOS 및 GPTMS로 이루어진 그룹 중에서 선택된 최소한 1종 또는 선택된 최소한 2종의 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법.In the present invention, the organosilane comprises at least one compound selected from the group consisting of DMDMS, MTMS, TEOS, and GPTMS or at least two compounds selected from the group consisting of silicon carbide on the graphite foam.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 실리카 졸 20 내지 40 중량%; 유기 실란 20 내지 40 중량%; 및 유기용제 20 내지 40 중량% 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드의 코팅층 제조용 코팅제를 제공한다. The present invention, 20 to 40% by weight silica sol in order to achieve the above another technical problem; 20 to 40% by weight of organic silanes; And it provides a coating agent for producing a coating layer of silicon carbide comprising 20 to 40% by weight of an organic solvent.

본 발명에서 상기 코팅제 내의 실리카 졸 내의 실리카 함량과 유기 실란 함량은 중량비로 1:0.5 ~ 1:1.5인 것이 바람직하다.In the present invention, the silica content and the organic silane content in the silica sol in the coating agent are preferably 1: 0.5 to 1: 1.5 by weight.

본 발명에 따르면, 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅형성방법은 실리카졸 및 유기 실란을 이용하여 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드 코팅을 형성함으로써, 표면 특성 및 내산화성이 우수한 그라파이트 폼을 제공할 수 있게 된다.According to the present invention, the method for forming a silicon carbide coating on the graphite foam is to form a silicon carbide coating on the graphite foam using silica sol and organic silane, it is possible to provide a graphite foam having excellent surface properties and oxidation resistance .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅형성 방법의 플로우 차트이다.
도 2는 본 발명의 그라파이프 폼에 대한 외형 이미지(도 2a)와 그라파이프 폼의 표면을 전계 방출형 주사 전자 현미경(FE-SEM)으로 촬영한 이미지(도 2b)이다.
1 is a flow chart of a method for forming a coating of silicon carbide on a graphite foam according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an external image (FIG. 2A) of the graphiform foam of the present invention and an image taken with a field emission scanning electron microscope (FE-SEM) of the graphiform foam (FIG. 2B).

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.As the invention allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the written description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

본 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. Throughout this specification, when a part is said to "include" a certain component, it means that it can further include other components, without excluding other components unless otherwise stated.

이하, 본 발명의 일 측면에 따른 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅형성방법은 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a method for forming a coating of silicon carbide on the graphite foam according to an aspect of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅을 형성하는 방법의 플로우 차트이다. 본 발명은 실리콘과 탄소와의 직접반응을 유도하여 그라파이트 폼 표면을 실리콘카바이드로 코팅함에 있어서, 실리카졸 및 유기 실란을 이용하여 결정성이 우수한 실리콘카바이드 코팅을 형성하는 것을 특징으로 한다. 이로써 그라파이트 폼은 균열없이 코팅되어 내산화성이 증진되어 1,200℃ 이상의 고온에서 공기 등 산화 분위기에 노출되는 소재로 사용이 가능하다. 1 is a flow chart of a method of forming a coating of silicon carbide on a graphite foam in accordance with an aspect of the present invention. The present invention is characterized by forming a silicon carbide coating having excellent crystallinity using silica sol and organic silane in coating the graphite foam surface with silicon carbide by inducing a direct reaction between silicon and carbon. As a result, the graphite foam is coated without cracking to improve oxidation resistance, so that it can be used as a material exposed to an oxidizing atmosphere such as air at a high temperature of 1,200 ° C. or higher.

본 발명의 일 측면에 따른 실리콘을 포함하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅형성방법은 실리카졸 및 유기 실란을 포함하는 코팅제를 그라파이트 폼 상에 코팅하는 단계(S10) 상기 코팅된 그라파이트 폼을 건조하는 단계(S20) 및 상기 건조된 그라파이트 폼을 열처리하는 단계(S30)를 포함한다.Coating formation method of silicon carbide on the graphite foam containing silicon according to an aspect of the present invention is a step of coating a coating agent comprising a silica sol and an organic silane on the graphite foam (S10) to dry the coated graphite foam Step S20 and heat-treating the dried graphite foam (S30).

본 발명의 제조방법을 각 단계별로 나누어서 설명하면 다음과 같다.The manufacturing method of the present invention will be described by dividing each step as follows.

우선, 그라파이트 폼 상에 실리카졸 및 유기 실란을 포함하는 코팅제를 코팅하는 단계(S10)를 수행한다. 본 발명에서 상기 코팅제는 소수성으로 표면처리된 실리카 졸 20 내지 40 중량%, 유기 실란 20 내지 40 중량%, 유기용제 20 내지 40 중량% 포함할 수 있다. First, a step (S10) of coating a coating agent including a silica sol and an organic silane on the graphite foam is performed. In the present invention, the coating agent may include 20 to 40% by weight of the hydrophobic silica sol, 20 to 40% by weight of the organic silane, and 20 to 40% by weight of the organic solvent.

본 발명의 실리카졸은 유기 실리카졸인 것이 바람직하다. 이로써, 실리카와 탄소섬유 표면의 젖음성(wettability)을 높일 수 있다. 본 발명의 실리카졸은 실리카졸 전체 함량 100 중량부를 기준으로 실리카를 20~100 중량부 포함할 수 있다. It is preferable that the silica sol of this invention is an organic silica sol. Thereby, the wettability of the surface of silica and carbon fiber can be improved. The silica sol of the present invention may include 20 to 100 parts by weight of silica based on 100 parts by weight of the total silica sol.

또한, 상기 실리카졸의 점도는 이에 제한되지 않으나 50cps 이하, 예를 들어 5 내지 10 cps 일 수 있다. 점도가 50cps 초과인 경우 과량이 실리카 입자가 표면에 흡착되고, 여기에 포함된 산소가 안 좋은 영향을 줄 수 있다.In addition, the viscosity of the silica sol is not limited thereto, but may be 50 cps or less, for example, 5 to 10 cps. If the viscosity is greater than 50 cps, the excess silica particles are adsorbed on the surface, the oxygen contained therein may adversely affect.

또한, 실리카졸의 평균입경은 탄소 섬유의 직경(수마이크로미터)과 비슷하거나 크게 될 경우 흡착이 잘 되지 않을 수 있으므로 탄소섬유의 직경보다 작은 수나노에서 수백 나노일 수 있다. 바람직하게는 평균입경이 10-20nm이다. In addition, the average particle diameter of the silica sol may be hundreds of nanometers at several nanometers smaller than the diameter of the carbon fiber because the adsorption may not be good when the diameter (similar to several micrometers) of the carbon fiber becomes larger. Preferably the average particle diameter is 10-20 nm.

일 예로서, 본 발명의 실리카졸로서 디오페인트 사의 SNS-40 제품을 사용할 수 있으며, 메탄올, 이소 프로판올, 프로필렌 글리콜 등으로 희석시켜 코팅되는 실리카 함량을 상기 범위로 조절하여 사용할 수도 있다. As an example, the silica sol of the present invention can be used SNS-40 product of Diopaint, and may be used by adjusting the silica content coated by dilution with methanol, isopropanol, propylene glycol, and the like in the above range.

본 발명에서 상기 실란으로는 다양한 실란이 사용될 수 있다. 디메틸디메톡시실란(DMDMS), 메틸트리메톡시실란(MTMS), 테트라에톡시실란(TEOS) 및 3-글리시돌옥시프로필-트리메톡시실란(GPTMS)으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 최소한 1종의 실란 또는 그 화합물일 수 있다. Various silanes may be used as the silane in the present invention. At least one silane selected from the group consisting of dimethyldimethoxysilane (DMDMS), methyltrimethoxysilane (MTMS), tetraethoxysilane (TEOS) and 3-glycidoloxypropyl-trimethoxysilane (GPTMS) Or a compound thereof.

본 발명에서는 물에 의해 가수분해가 가능하고 알킬기 그룹이 3개 이상인 실란 중 메틸트리메톡시실란(MTMS), 테트라에톡시실란(TEOS) 및 3-글리시돌옥시프로필-트리메톡시실란(GPTMS) 중 어느 하나 또는 최소한 2종을 병용하여 사용하는 것이 바람직하다. 예컨대, 상기 MTMS와 TEOS를 병용할 수 있다. In the present invention, methyltrimethoxysilane (MTMS), tetraethoxysilane (TEOS) and 3-glycidoloxypropyl-trimethoxysilane (GPTMS) among silanes which are hydrolyzable by water and have three or more alkyl group groups. It is preferable to use either or at least 2 types in combination. For example, the MTMS and TEOS can be used in combination.

또한 본 발명에서 유기 실란은 MTMS 및 TEOS와 같은 실란을 물에 의해 가수분해 및 축중합하여 제조된 유기 실란 화합물일 수 있다. In the present invention, the organic silane may be an organic silane compound prepared by hydrolyzing and condensing silanes such as MTMS and TEOS with water.

유기 실란 또는 유기 실란 화합물의 제조를 위한 원료로서의 실란은 코팅제 내에 20 내지 40 중량% 포함되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 실란의 가수분해를 위한 증류수는 15 내지 20 중량% 포함되는 것이 바람직하다. 바람직하게는 실란과 증류수의 중량비는 바람직하게는 1:0.8~1:1.5 의 범위에서 유지되는 것이 좋다.Silane as a raw material for the production of the organic silane or the organic silane compound is preferably contained in the coating agent 20 to 40% by weight. In addition, the distilled water for hydrolysis of the silane is preferably included 15 to 20% by weight. Preferably, the weight ratio of silane and distilled water is preferably maintained in the range of 1: 0.8 to 1: 1.5.

본 발명에서 상기 유기용제는 20 내지 40 중량% 범위에 포함되는 것이 바람직하다. 유기용제가 20 중량% 미만일 경우에는 코팅제의 점도가 높아져 코팅막을 형성하기 어렵고, 40 중량%를 초과하는 경우에는 코팅막을 형성한 후 건조하는 과정에서 코팅막의 수축이 크게 발생하는 문제가 있다.In the present invention, the organic solvent is preferably included in the range 20 to 40% by weight. If the organic solvent is less than 20% by weight, it is difficult to form a coating film because the viscosity of the coating agent is increased, and when the organic solvent is more than 40% by weight, there is a problem that the shrinkage of the coating film greatly occurs during the drying after forming the coating film.

또한, 본 발명에서 상기 코팅제는 첨가제를 더 포함할 수 있다. 예컨대 본 발명에서 상기 첨가제로는 계면활성제가 사용될 수 있다. 계면활성제는 소수성으로 표면처리된 액상의 나노 콜로이드졸과 실란 가수분해물을 서로 연결시켜주며, 그 밖에 코팅표면의 레벨링성 향상, 코팅 후 도막에서 나타날 수 있는 결함 예를 들면, 핀홀, 분화구 현상 등의 생성을 방지할 수 있다. 본 발명의 코팅제에서 상기 계면활성제는 0.01 내지 1.0 중량%를 포함되는 것이 바람직하다.In addition, the coating agent in the present invention may further include an additive. For example, a surfactant may be used as the additive in the present invention. The surfactant connects the hydrophobic surface-treated liquid nanocolloid sol and silane hydrolyzate to each other, and also improves the leveling property of the coating surface and defects that may appear in the coating film after coating, such as pinholes and craters. You can prevent creation. In the coating agent of the present invention, the surfactant is preferably included 0.01 to 1.0% by weight.

본 발명에서 상기 실리카 졸과 상기 유기 실란의 함량은 유기 실란이 SiC의 형성을 위한 카본 소스를 공급하도록 적절한 비율로 설정된다. 일례로, 본 발명에서 상기 실리카 졸 내의 실리카 고형분 함량과 유기 실란의 함량은 중량비로 1:0.5 내지 1:2 일 수 있다. 더 바람직하게는 상기 실리카 졸 내의 실리카 고형분 함량과 유기 실란의 함량은 중량비로 1:0.5 내지 1:1.5 일 수 있다.In the present invention, the content of the silica sol and the organosilane is set at an appropriate ratio such that the organosilane supplies a carbon source for the formation of SiC. For example, in the present invention, the silica solid content and the content of the organic silane in the silica sol may be 1: 0.5 to 1: 2 by weight. More preferably, the silica solid content and the content of the organic silane in the silica sol may be 1: 0.5 to 1: 1.5 by weight.

도 2에서 보는 바와 같이, 상기 그라파이트 폼은 0.5 ~ 수 ㎛의 미세한 탄소 단섬유로 구성된다. As shown in Figure 2, the graphite foam is composed of fine carbon short fibers of 0.5 ~ several ㎛.

본 발명에서는 코팅법으로 함침법, 스프레이 코팅법, 및 스핀 코팅법 중에서 선택된 어느 하나의 코팅법을 이용하여 상기 코팅제를 그라파이트 폼 상에 코팅할 수 있다. 이때 상기 코팅제 내의 실리카졸은 대략 수십나노에서 수백나노 범위로 그라파이트 폼 상에 함침될 수 있다. In the present invention, the coating agent may be coated on the graphite foam using any one coating method selected from impregnation method, spray coating method, and spin coating method. At this time, the silica sol in the coating agent may be impregnated on the graphite foam in the range of about tens of nanometers to several hundred nanometers.

그 다음, 상기 코팅된 그라파이트 폼을 건조하는 단계(S20)를 수행한다.Then, the step of drying the coated graphite foam (S20) is performed.

상기 건조는 그라파이트 폼에 스며있는 코팅제의 분산매 또는 유기용매를 제거하기 위한 것으로, 100℃ 이하에서 12-24시간 동안 수행할 수 있다. 바람직하게는 30 ~ 80℃에서 수행한다.The drying is to remove the dispersion medium or the organic solvent of the coating agent in the graphite foam, it can be carried out at 100 ℃ or less for 12-24 hours. Preferably it is carried out at 30 ~ 80 ℃.

본 발명의 방법은, 선택적으로, 상기 S20 단계 다음에 원심분리방법으로 그라파이트 폼 내부에 고여있는 코팅제를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이로써, 그라파이트 폼 표면 코팅시 내부로 침강된 실리카를 제거한다. 이와 같은 원심분리는 함침 후 바로 또는 건조 전에 수행하는 것이 바람직하다.The method of the present invention may optionally further include removing the coating accumulated in the graphite foam by the centrifugation method after the step S20. This removes the precipitated silica inside the graphite foam surface coating. Such centrifugation is preferably performed immediately after impregnation or before drying.

마지막으로, 상기 건조된 그라파이트 폼을 열처리하는 단계(S30)를 수행한다. 이 단계에서 실리카졸 및 유기 실란을 SiC로의 반응을 위한 Si 소스로 작용한다. 또한, 유기 실란의 카본은 SiC 반응의 카본 소스로 작용한다. 이에 의하여 그라파이트 폼에 실리콘 산화물 생성을 억제하고, 결정질의 실리콘카바이드로 전환되어 코팅된다. 또한, 본 발명에서는 실라카졸 단독으로 사용하는 경우에 비해 유기 실란을 SiC 반응의 소스로 제공함으로써 코팅층이 높은 밀도로 형성될 수 있게 된다. Finally, performing the heat treatment of the dried graphite foam (S30). In this step, the silica sol and the organic silane serve as the Si source for the reaction with SiC. In addition, the carbon of the organosilane serves as a carbon source of the SiC reaction. This suppresses the production of silicon oxide in the graphite foam, converts it into crystalline silicon carbide, and coats it. In addition, in the present invention, the coating layer can be formed at a high density by providing the organic silane as a source of the SiC reaction as compared with the case of using the silacasol alone.

상기 열처리는 비활성 기체 또는 진공 분위기에서 1400-1800℃에서 수행할 수 있으며, 바람직하게는 1400-1600℃에서 수행한다. 열처리 과정은 산소가 제거된 비활성 기체 또는 진공 분위기에서 실리카 분말이 반응하여 SiC로 전환될 수 있는 최소 온도인 1400℃ 이상에서 수행되어야 한다. 또한, 1800℃ 초과시 발명의 목적인 산화 특성이 좋지 않을 수 있다.The heat treatment may be performed at 1400-1800 ° C. in an inert gas or vacuum atmosphere, preferably at 1400-1600 ° C. The heat treatment process should be carried out at 1400 ° C. or higher, which is the minimum temperature at which the silica powder can react and convert to SiC in an inert gas or oxygen atmosphere that has been deoxygenated. In addition, the oxidizing properties of the object of the invention above 1800 ℃ may not be good.

상기 열처리는 비활성 기체 또는 진공 분위기에서 수행하며, 상기 비활성 기체는 아르곤, 헬륨, 및 질소로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나일 수 있다.The heat treatment is performed in an inert gas or vacuum atmosphere, the inert gas may be any one selected from the group consisting of argon, helium, and nitrogen.

이에 따라 코팅된 실리콘카바이드의 두께는 수십나노에서 수백나노 범위일 수 있으며, 공정조건에 따라 원하는 범위로 두께를 조절할 수 있다.Accordingly, the thickness of the coated silicon carbide may range from tens of nanometers to several hundred nanometers, and the thickness may be adjusted to a desired range according to process conditions.

<실시예 1><Example 1>

실리카졸로서 디오페인트 사의 SNS-40 제품 (SiO2 35 ~ 45%, 점도 10 cps 이하, 평균입경 10-20nm)을 사용하였다. 코팅되는 실리카의 양을 조절하기 위해 25wt% 및 50wt%의 농도로 희석시켜 각각의 코팅제에 대하여 코팅 샘플을 제조하였다. 한편, 비교를 위하여 희석되지 않은 코팅(100wt%) 샘플을 제조하였따. As a silica sol, SNS-40 manufactured by Diopaint (SiO 2 35-45%, viscosity 10 cps or less, average particle diameter 10-20 nm) was used. Coating samples were prepared for each coating by diluting to concentrations of 25 wt% and 50 wt% to control the amount of silica coated. On the other hand, undiluted coating (100 wt%) samples were prepared for comparison.

함침할 30㎜ x 30㎜ x 10㎜ 크기의 그라파이트 폼을 에탄올로 세척한 후 80에서 30분간 건조하였다. 딥코터를 이용하여 상기 실리카졸에 5분간 함침시켜 코팅하였다. 이어서, 코팅된 그라파이트 폼을 70℃에서 6 시간 동안 건조하였다. 건조된 그라파이트 폼을 1,400℃로 2시간 유지한 후, 1600℃에서 1시간 동안 열처리하여 결정성이 우수한 실리콘카바이드가 코팅된 그라파이트 폼을 얻었다.The 30 mm x 30 mm x 10 mm graphite foam to be impregnated was washed with ethanol and dried at 80 to 30 minutes. It was coated by impregnating the silica sol for 5 minutes using a dip coater. The coated graphite foam was then dried at 70 ° C. for 6 hours. The dried graphite foam was maintained at 1,400 ° C. for 2 hours, and then heat treated at 1600 ° C. for 1 hour to obtain a silicon carbide coated graphite foam having excellent crystallinity.

코팅된 폼의 육안 관찰 결과, 25wt% 농도의 실라카졸을 사용한 경우 그라파이트 상에 실리콘카바이드의 코팅이 잘 이루어졌으며, 열처리 후 폼의 붕괴가 일어나지 않았다. 하지만, 50wt% 실리카졸을 사용한 경우 폼이 무너져 내리진 않았지만 실리카 졸의 분해에 의해 생성된 산소와 그라파이트의 반응에 의해 폼의 강도가 약해서 약간의 충격에도 폼이 부서져 내렸다. 또한, 100wt% 실리카졸의 경우 코팅층이 표면을 완전히 커버하지 못함을 확인할 수 있었다.As a result of visual observation of the coated foam, the silicon carbide coating on the graphite was well formed when the silica powder of 25wt% concentration was used, and the foam was not collapsed after the heat treatment. However, when 50 wt% silica sol was used, the foam did not collapse, but the foam was weak due to the reaction of oxygen and graphite produced by decomposition of the silica sol. In addition, in the case of 100wt% silica sol, the coating layer did not completely cover the surface.

<실시예 2><Example 2>

실시예 1과 같이 디오페인트 사의 SNS-40 제품을 25wt%의 농도로 희석하였다. 이어서, 상기 실리카졸의 고형분(실리카) 함량과 동일한 중량의 유기 실란(TEOS)을 첨가하여 혼합 용액을 제조하였다. 희석된 실리카졸과 유기실란을 혼합하여 코팅제를 제조하였다. Diospaint's SNS-40 product was diluted to 25 wt% as in Example 1. Subsequently, an organic silane (TEOS) having the same weight as the solid content (silica) content of the silica sol was added to prepare a mixed solution. Diluted silica sol and organosilane were mixed to prepare a coating agent.

제조된 코팅제를 실시예 1과 마찬가지 방식으로 함침 코팅하고, 건조 및 열처리를 거쳐 실리콘 카바이드가 코팅된 그라파이트 코팅 폼을 제조하였다. The prepared coating was impregnated and coated in the same manner as in Example 1, and dried and heat-treated to prepare a graphite coated foam coated with silicon carbide.

육안 관찰 결과, 그라파이트 상에 실리콘카바이드의 코팅이 잘 이루어졌으며, 폼의 산화가 거의 관찰되지 않았고 열처리 후 폼의 붕괴 또한 발생하지 않았다. As a result of visual observation, the coating of silicon carbide on the graphite was well performed, little oxidation of the foam was observed, and no foam collapse after heat treatment.

이상 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.The present invention has been described above with reference to the preferred embodiments. Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be implemented in a modified form without departing from the essential features of the present invention. Therefore, the disclosed embodiments should be considered in descriptive sense only and not for purposes of limitation. The scope of the present invention is shown in the claims rather than the foregoing description, and all differences within the scope will be construed as being included in the present invention.

Claims (11)

실리카 졸 및 유기 실란을 포함하는 코팅제를 그라파이트 폼 상에 코팅하는 단계;
상기 코팅된 그라파이트 폼을 건조하는 단계; 및
상기 건조된 그라파이트 폼을 열처리하여 실리콘카바이드 코팅층을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 코팅제 내의 실리카 졸 내의 실리카 함량과 유기 실란 함량은 중량비로 1:0.5 ~ 1:1.5인 것을 특징으로 하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법.
Coating a coating comprising a silica sol and an organosilane onto the graphite foam;
Drying the coated graphite foam; And
Heat treating the dried graphite foam to form a silicon carbide coating layer;
The silica content and the organic silane content in the silica sol in the coating agent is 1: 0.5 to 1: 1.5 in the weight ratio of the method for producing a coating layer of silicon carbide on the graphite foam.
제 1 항에 있어서,
상기 코팅제는 실리카 졸 20 내지 40 중량%; 유기 실란 20 내지 40 중량%; 및 유기용제 20 내지 40 중량% 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법.
The method of claim 1,
The coating agent is 20 to 40% by weight silica sol; 20 to 40% by weight of organic silanes; And 20 to 40% by weight of an organic solvent.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 건조 단계 다음에, 그라파이트 폼 내 실리카를 원심분리 방법으로 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법.
The method of claim 1,
After the drying step, the method of producing a coating layer of silicon carbide on the graphite foam characterized in that it further comprises the step of removing the silica in the graphite foam by a centrifugal separation method.
제 1 항에 있어서,
상기 코팅은 함침법, 스프레이 코팅법, 및 스핀 코팅법 중에서 선택된 어느 하나의 코팅법을 이용하는 것을 특징으로 하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법.
The method of claim 1,
The coating is a method for producing a coating layer of silicon carbide on the graphite foam, characterized in that using any one coating method selected from impregnation method, spray coating method, and spin coating method.
제 1 항에 있어서,
상기 건조는 100℃ 이하에서 12-24시간 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법.
The method of claim 1,
The drying method for producing a coating layer of silicon carbide on the graphite foam, characterized in that carried out for 12-24 hours at 100 ℃ or less.
제 1 항에 있어서,
상기 열처리는 비활성 기체 또는 진공 분위기에서 1400-1800℃에서 수행하는 것을 특징으로 하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법.
The method of claim 1,
The heat treatment is a method for producing a coating layer of silicon carbide on the graphite foam, characterized in that carried out at 1400-1800 ℃ in an inert gas or vacuum atmosphere.
제 1 항에 있어서,
상기 열처리는 1,400℃에서 2시간 유지한 후 1,600℃에서 1시간 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법.
The method of claim 1,
The heat treatment is a method for producing a coating layer of silicon carbide on the graphite foam, characterized in that for 1 hour at 1,600 ℃ after maintaining for 2 hours at 1,400 ℃.
제1항에 있어서,
상기 유기 실란은 DMDMS, MTMS, TEOS 및 GPTMS로 이루어진 그룹 중에서 선택된 최소한 1종 또는 선택된 최소한 2종의 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드의 코팅층 제조 방법.

The method of claim 1,
The organic silane is at least one selected from the group consisting of DMDMS, MTMS, TEOS and GPTMS or at least two compounds selected from the group consisting of silicon carbide on the graphite foam.

삭제delete 삭제delete
KR1020170155486A 2017-11-21 2017-11-21 Process for Forming High Density SiC Coating on Graphite Foam And Coating Agent For The Same KR102058875B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170155486A KR102058875B1 (en) 2017-11-21 2017-11-21 Process for Forming High Density SiC Coating on Graphite Foam And Coating Agent For The Same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170155486A KR102058875B1 (en) 2017-11-21 2017-11-21 Process for Forming High Density SiC Coating on Graphite Foam And Coating Agent For The Same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190057958A KR20190057958A (en) 2019-05-29
KR102058875B1 true KR102058875B1 (en) 2019-12-26

Family

ID=66672325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170155486A KR102058875B1 (en) 2017-11-21 2017-11-21 Process for Forming High Density SiC Coating on Graphite Foam And Coating Agent For The Same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102058875B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110950681B (en) * 2019-12-24 2022-06-10 苏州纳迪微电子有限公司 Preparation method of graphite oxidation-resistant coating
KR102466005B1 (en) * 2020-11-27 2022-11-09 한국세라믹기술원 Carbon fiber coated with SiC, method of fabricating of the same, and method of recycling for carbon fiber

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100951633B1 (en) 2007-10-09 2010-04-09 한국세라믹기술원 Process for SiC coating on graphite foam

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190057958A (en) 2019-05-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3701700B2 (en) Method for forming Si-O containing film
JP2500149B2 (en) Water- and oil-repellent coating and method for producing the same
KR100454618B1 (en) Hardening Method of Hydrogen Silsesquioxane Resin by Electron Beam
JP7160837B2 (en) Core hydrophobic insulation board with hardened surface
Chou et al. Adhesion of sol-gel-derived organic-inorganic hybrid coatings on polyester
JP2020125237A (en) Silicon carbide/graphite composite and articles and assemblies comprising the same
JP6011774B2 (en) Coating composition and method for producing alumina thin film
KR102403765B1 (en) Method of manufacturing superhydrophobic coating film coated with aerogel nanocomposite
US5753374A (en) Protective electronic coating
KR102058875B1 (en) Process for Forming High Density SiC Coating on Graphite Foam And Coating Agent For The Same
JP4408994B2 (en) Low dielectric constant porous siliceous film, semiconductor device and coating composition
JPS589791B2 (en) Method for reducing porosity and surface roughness of ceramic substrates
Wongcharee et al. Sol-gel processing by aging and pore creator addition for porous silica antireflective coatings
KR20160144372A (en) Hydrophobic article
KR100951633B1 (en) Process for SiC coating on graphite foam
US5863595A (en) Thick ceramic coatings for electronic devices
KR101448141B1 (en) Energy-saving particle-free heat insulating material and manufacturing method thereof
JP2500150B2 (en) Water / oil repellent coating film and method for producing the same
CN112210294B (en) Silicon carbide mildew-proof termite-proof coating, termite-proof wood and preparation method thereof
KR101985704B1 (en) Process for Forming SiC Coating on Graphite Foam
KR101331403B1 (en) Process for silicon carbide coating on graphite
KR102215074B1 (en) Carbon material coated by a layer having improved oxidation stability, and a method therefor
KR20210157187A (en) Hydrophobic coation agent and fabrication method thereof
RU2374358C1 (en) Method of carbon-bearing coating receiving
KR101856145B1 (en) Process for SiC coating on graphite foam containing silicon

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant