KR102050866B1 - Apparatus and Method for Manufacturing Micro LED Package - Google Patents

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Abstract

미세 LED 패키지 생산 장치 및 방법을 개시한다.
본 실시예의 일 측면에 의하면, 미세 크기 LED와 함께 각 LED를 제어하는 드라이버를 포함하여 칩 사이즈의 패키지로 생산하는 장치 및 방법을 제공한다.
Disclosed are an apparatus and method for producing a fine LED package.
According to an aspect of the present embodiment, there is provided an apparatus and method for producing a chip-size package including a driver for controlling each LED together with a fine size LED.

Description

미세 LED 패키지 생산 장치 및 방법{Apparatus and Method for Manufacturing Micro LED Package}Apparatus and Method for Manufacturing Micro LED Package

본 발명은 마이크로 LED 등 미세 크기의 LED 패키지를 생산하는 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and a method for producing a micro-sized LED package, such as micro LEDs.

이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.The contents described in this section merely provide background information on the present embodiment and do not constitute a prior art.

최근 부각되는 디스플레이 기술로서, 마이크로 LED가 있다. 미세 크기의 RGB LED를 이용하여 제작되는 디스플레이 패널로서, 작으면서도 반응속도와 밝기가 높고 저전력을 소모하기 때문에 많은 각광을 받고 있다.One of the emerging display technologies is micro LEDs. As a display panel manufactured by using a small size RGB LED, it has received much attention because of its small size, high response speed, high brightness, and low power consumption.

이러한 마이크로 LED를 생산하는 방법에 있어서 종래에는 COB(Chip on Board) 방식이 이용되었다. COB 방식은 각각의 RGB LED를 PCB 등의 기판에 직접 배치하고 와이어 본딩을 수행하는 방식이다. 상대적으로 간편한 생산방식으로 인해 시간과 비용적인 측면에 있어 우수한 특성이 있어 많이 사용되고 있다.In the method of producing such a micro LED, a conventional COB (Chip on Board) method has been used. In the COB method, each RGB LED is directly disposed on a substrate such as a PCB and wire bonding is performed. Due to its relatively simple production method, it is widely used because of its excellent characteristics in terms of time and cost.

그러나 전술한 바와 같이, 미세 크기의 LED를 이용하는 마이크로 LED 기술이 부각되며, COB 방식에 있어 문제점이 드러나고 있다. 먼저 RGB LED 각각을 선택적으로 전사하여야 하는 데, 사이즈가 점점 작아지기 때문에 각 LED를 원하는 위치에 정확히 전사하는 것이 곤란하다. 또한, 기판에 배치된 수많은 LED 소자 중 임의의 소자에 고장이 발생하는 경우, 고장이 발생한 소자를 제거한 후 새로운 소자로 교체하는 과정이 이루어져야 한다. 그러나 RGB LED 각 소자는 기판에 직접 배치되기 때문에, 해당 소자만을 제거하는 데 어려움이 존재하게 된다. 각 소자의 크기도 작을뿐더러 촘촘하게 배치되기 때문에, 특정 소자만을 선택적으로 제거하는 데 어려움이 존재한다.However, as described above, the micro LED technology using the micro-sized LED is emerging, a problem in the COB method is revealed. Firstly, each of the RGB LEDs must be selectively transferred, but as the size becomes smaller, it is difficult to accurately transfer each LED to a desired position. In addition, when a failure occurs in any of a large number of LED devices disposed on the substrate, a process of removing the failed device and replacing it with a new device should be made. However, since each RGB LED device is disposed directly on the substrate, it is difficult to remove only the device. Since the size of each device is small and closely arranged, there is a difficulty in selectively removing only a specific device.

또한, 종래의 마이크로 LED는 각 RGB LED 소자를 제어하기 위한 TFT층 위에 각 RGB LED 소자를 배치해야 하였다. 그러나 TFT 층과 미세 크기의 각 RGB LED 소자는 열적, 기계적 측면에 있어서 결합이 곤란하여 마이크로 LED의 생산에 어려움이 존재하였다.In addition, the conventional micro LED had to arrange each RGB LED element on the TFT layer for controlling each RGB LED element. However, the TFT layer and each RGB LED element having a small size are difficult to combine in terms of thermal and mechanical aspects, and thus there is a difficulty in producing a micro LED.

본 발명의 일 실시예는, 미세 크기 LED를 칩 사이즈의 패키지로 생산하는 장치 및 방법을 제공하는 데 일 목적이 있다.One embodiment of the present invention is to provide an apparatus and method for producing a fine size LED in a chip size package.

또한, 본 발명의 일 실시예는, 미세 크기 LED와 함께 각 LED를 제어하는 드라이버를 포함하여 칩 사이즈의 패키지로 생산하는 장치 및 방법을 제공하는 데 일 목적이 있다.In addition, an embodiment of the present invention is to provide an apparatus and method for producing a chip-size package including a driver for controlling each LED with a fine size LED.

본 발명의 일 측면에 의하면, 미세 LED 패키지 생산 장치에 있어서, 외부로 레이저를 조사하는 레이저 조사부와 상기 레이저 조사부에서 조사되는 레이저가 R LED, G LED, B LED 및 드라이버(Driver) 소자가 각각 배치된 필름의 기 설정된 위치로 조사되도록 제어하는 레이저 스캐닝부와 상기 미세 LED 패키지가 전사될 상대 기판을 배치하고 이동시키는 기판 이송부와 시트(Sheet)를 이용하여 상기 미세 LED 패키지 또는 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버를 일시적으로 배치하거나 회전시키는 시트 이송부와 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버를 몰딩하는 몰딩부와 몰딩된 R LED, G LED, B LED 및 드라이버에 대해 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 각각이 상기 미세 LED 패키지 내 적어도 하나씩 포함되도록 다이싱하는 다이싱부 및 상기 미세 LED 패키지 생산 장치 내 각 구성을 제어하여, 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버가 각각 배치된 필름으로부터 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 각각이 적어도 하나씩 포함된 상기 미세 LED 패키지가 생성되어 상기 상대 기판으로 전사되도록 제어하는 제어부를 포함하는 미세 LED 패키지 생산 장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, in the fine LED package production apparatus, the laser irradiation unit for irradiating the laser to the outside and the laser irradiated from the laser irradiation unit is arranged R LED, G LED, B LED and driver elements respectively The micro LED package or the R LED, G LED by using a laser scanning unit for controlling the irradiation to a predetermined position of the film, and a substrate transfer unit and a sheet for disposing and moving a counter substrate to which the micro LED package is transferred. And the sheet conveying unit for temporarily placing or rotating the B LED and the driver, the molding unit for molding the R LED, the G LED, the B LED and the driver, and the R LED for the molded R LED, G LED, B LED and the driver. A dicing unit for dicing each of the G LED, the B LED, and the driver to be included in at least one of the micro LED package, and each configuration in the micro LED package production apparatus. For example, the micro LED package including at least one of each of the R LEDs, the G LEDs, the B LEDs, and the drivers may be generated from the film on which the R LEDs, the G LEDs, the B LEDs, and the drivers are disposed, and transferred to the counter substrate. It provides a fine LED package production apparatus including a control unit for controlling.

본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 시트 이송부는 상기 미세 LED 패키지를 제2 기판상으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the invention, the sheet transfer unit is characterized in that for moving the fine LED package on the second substrate.

본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 시트 이송부는 상기 미세 LED 패키지와 상기 제2 기판을 포함하는 제2 미세 LED 패키지를 상기 상대 기판으로 이송하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the invention, the sheet transfer unit is characterized in that for transferring the second micro LED package including the micro LED package and the second substrate to the counter substrate.

본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 상대 기판은 상기 미세 LED 패키지가 배치될 표면 상에 솔더(Solder)를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the invention, the counter substrate comprises a solder (Solder) on the surface on which the fine LED package is to be placed.

본 발명의 일 측면에 의하면, R LED, G LED, B LED 및 드라이버(Driver) 소자가 각각 배치된 필름으로부터 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 소자를 임시 시트(Sheet)에 전사하는 전사과정과 상기 임시 시트 상에 전사된 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 소자를 몰딩하는 몰딩과정과 몰딩된 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 소자에 대해 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 소자 각각이 적어도 하나씩 포함되도록 다이싱하여 미세 LED 패키지를 생성하는 생성과정 및 상기 생성과정에서 생성된 각 미세 LED 패키지를 각각 상대 기판으로 이동시키는 이동과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 LED 패키지 생산 방법을 제공한다.According to an aspect of the present invention, the transfer of the transfer of the R LED, G LED, B LED and the driver element to the temporary sheet (Sheet) from the film in which the R LED, G LED, B LED and driver elements are disposed respectively Process and molding the R LED, G LED, B LED and driver elements transferred onto the temporary sheet and the R LED, G LED, B LED for the molded R LED, G LED, B LED and driver elements And generating a micro LED package by dicing the driver elements to include at least one driver element, and moving the micro LED packages generated in the process to the counter substrate, respectively. Provide the production method.

본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 미세 LED 패키지 생산 방법은 상기 미세 LED 패키지를 제2 기판상으로 이동시키는 제2 이동과정을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the invention, the method of producing a fine LED package is characterized in that it further comprises a second moving process for moving the fine LED package on a second substrate.

본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 미세 LED 패키지 생산 방법은 상기 미세 LED 패키지와 상기 제2 기판을 포함하는 제2 미세 LED 패키지를 상기 상대 기판으로 이동시키는 제3 이동과정을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, the method of producing a fine LED package further includes a third moving process of moving a second fine LED package including the fine LED package and the second substrate to the counter substrate. do.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따르면, 미세 크기의 LED를 칩 사이즈의 패키지로 생산함으로써, 마이크로 LED의 생산, 관리 측면에서 용이한 장점이 있다.As described above, according to an aspect of the present invention, by producing a micro-sized LED in a chip size package, there is an advantage in terms of production and management of micro LED.

또한, 본 발명의 일 측면에 따르면, 미세 크기의 LED와 함께 각 LED를 제어하는 드라이버를 포함하여 칩 사이즈의 패키지로 생산함으로써, TFT를 사용하지 않고도 마이크로 LED 패널을 생산할 수 있는 장점이 있다.In addition, according to an aspect of the present invention, by producing a chip size package including a driver for controlling each LED with a micro size LED, there is an advantage that can produce a micro LED panel without using a TFT.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 LED 패키지 생산 장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 RGB LED가 각각 배치된 필름을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름에 배치된 각 RGB LED가 제1 임시 시트로 전사되는 공정을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 제2 임시 시트를 몰딩하는 공정을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 몰딩한 제2 임시 시트를 다이싱하는 공정을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 상대 기판으로 옮기는 공정을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 RGB LED 및 드라이버 소자가 각각 배치된 필름을 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름에 배치된 RGB LED 및 드라이버 소자가 제1 임시 시트로 전사되는 공정을 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 제2 임시 시트를 몰딩하고 다이싱하여 생성된 미세 LED 패키지를 상대기판으로 옮기는 각 공정을 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 RGB LED이 각각 배치된 제1 임시 시트 및 제2 임시 시트를 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 RGB LED이 각각 배치된 제2 임시 시트를 몰딩하고, 제2 임시 기판에 드라이버 소자를 전사하는 공정을 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 제2 임시 시트를 재몰딩하고, 다이싱하여 생성된 미세 LED 패키지를 상대기판으로 옮기는 각 공정을 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 RGB LED 및 센서가 각각 배치된 필름을 도시한 도면이다.
도 14는 본 발명의 제4 실시예에 따른 필름에 배치된 RGB LED 및 센서가 제1 임시 시트로 전사되는 공정을 도시한 도면이다.
도 15는 본 발명의 제4 실시예에 따른 RGB LED이 각각 배치된 제2 임시 시트를 몰딩하고, 제2 임시 시트에 드라이버 소자를 전사하는 공정을 도시한 도면이다.
도 16은 본 발명의 제5 실시예에 따른 RGB LED, 드라이버 소자 및 센서가 각각 배치된 필름을 도시한 도면이다.
도 17은 본 발명의 제5 실시예에 따른 필름에 배치된 RGB LED, 드라이버 소자 및 센서가 제1 임시 시트로 전사되는 공정을 도시한 도면이다.
도 18은 본 발명의 제5 실시예에 따른 제2 임시 시트를 몰딩하고 다이싱하여 생성된 미세 LED 패키지를 상대기판으로 옮기는 각 공정을 도시한 도면이다.
도 19는 본 발명의 제6 실시예에 따른 RGB LED 및 센서가 각각 배치된 제1 임시 시트 및 제2 임시 시트를 도시한 도면이다.
도 20은 본 발명의 제6 실시예에 따른 RGB LED 및 센서가 각각 배치된 제2 임시 시트를 몰딩하고, 제2 임시 시트에 드라이버 소자를 전사하는 공정을 도시한 도면이다.
도 21은 본 발명의 제6 실시예에 따른 제2 임시 시트를 재몰딩하고, 다이싱하여 생성된 미세 LED 패키지를 상대기판으로 옮기는 각 공정을 도시한 도면이다.
도 22는 본 발명의 제7 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 상대기판으로 옮기는 공정을 도시한 도면이다.
도 23는 본 발명의 제1 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 생산하는 방법을 도시한 도면이다.
도 24는 본 발명의 제2 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 생산하는 방법을 도시한 도면이다.
도 25는 본 발명의 제3 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 생산하는 방법을 도시한 도면이다
1 is a block diagram of a micro LED package production apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing films in which RGB LEDs according to a first embodiment of the present invention are disposed.
3 is a diagram illustrating a process of transferring each RGB LED disposed on a film according to the first embodiment of the present invention to a first temporary sheet.
4 is a diagram illustrating a process of molding a second temporary sheet according to a first embodiment of the present invention.
5 is a diagram illustrating a process of dicing a molded second temporary sheet according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a view showing a process of transferring a fine LED package to a counter substrate according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a diagram illustrating a film in which RGB LEDs and driver elements are respectively disposed according to a second embodiment of the present invention.
8 is a diagram illustrating a process of transferring an RGB LED and a driver element disposed in a film according to a second embodiment of the present invention to a first temporary sheet.
FIG. 9 is a diagram illustrating each process of transferring a fine LED package generated by molding and dicing a second temporary sheet according to a second embodiment of the present invention to a counter substrate.
FIG. 10 illustrates a first temporary sheet and a second temporary sheet on which RGB LEDs according to a third exemplary embodiment of the present invention are disposed.
FIG. 11 is a view illustrating a process of molding a second temporary sheet on which RGB LEDs according to a third embodiment of the present invention are disposed, and transferring the driver element to the second temporary substrate.
FIG. 12 is a diagram illustrating each process of remolding a second temporary sheet and dicing a fine LED package according to a third exemplary embodiment of the present invention to a counter substrate.
FIG. 13 is a view illustrating films in which RGB LEDs and sensors are disposed according to a fourth embodiment of the present invention.
14 is a view illustrating a process of transferring an RGB LED and a sensor disposed on a film according to a fourth embodiment of the present invention to a first temporary sheet.
FIG. 15 illustrates a process of molding a second temporary sheet on which RGB LEDs according to a fourth embodiment of the present invention are disposed, and transferring the driver element to the second temporary sheet.
FIG. 16 illustrates a film in which RGB LEDs, a driver element, and a sensor are disposed according to the fifth embodiment of the present invention.
FIG. 17 is a view illustrating a process of transferring an RGB LED, a driver element, and a sensor disposed on a film according to a fifth embodiment of the present invention to a first temporary sheet.
FIG. 18 is a diagram illustrating each process of transferring a fine LED package generated by molding and dicing a second temporary sheet according to a fifth exemplary embodiment of the present invention to a counter substrate.
FIG. 19 illustrates a first temporary sheet and a second temporary sheet on which RGB LEDs and a sensor according to a sixth embodiment of the present invention are disposed.
FIG. 20 is a view illustrating a process of molding a second temporary sheet on which RGB LEDs and a sensor are disposed, and transferring a driver element to the second temporary sheet according to the sixth embodiment of the present invention.
FIG. 21 illustrates each process of remolding a second temporary sheet according to a sixth embodiment of the present invention and transferring a fine LED package generated by dicing to a counter substrate.
FIG. 22 illustrates a process of transferring a fine LED package to a counter substrate according to a seventh embodiment of the present invention.
FIG. 23 is a diagram illustrating a method of manufacturing a fine LED package according to a first embodiment of the present invention.
24 is a diagram illustrating a method of producing a fine LED package according to a second embodiment of the present invention.
25 is a diagram illustrating a method of manufacturing a fine LED package according to a third embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the written description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements.

제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.Terms such as first, second, A, and B may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component. The term and / or includes a combination of a plurality of related items or any item of a plurality of related items.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에서, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.When a component is referred to as being "connected" or "connected" to another component, it may be directly connected to or connected to that other component, but it may be understood that other components may be present in between. Should be. On the other hand, when a component is said to be "directly connected" or "directly connected" to another component, it should be understood that there is no other component in between.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서 "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. It is to be understood that the term "comprises" or "having" in the present application does not exclude in advance the possibility of the presence or addition of features, numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof described in the specification. .

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해서 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 LED 패키지 생산 장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a micro LED package production apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 LED 패키지 생산 장치(100)는 레이저 조사부(110), 레이저 스캐닝부(120), 기판 이송부(130), 시트 이송부(140), 몰딩부(150), 다이싱부(160) 및 제어부(170)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the micro LED package production apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention may include a laser irradiator 110, a laser scanning unit 120, a substrate transfer unit 130, a sheet transfer unit 140, and a molding unit. 150, the dicing unit 160 and the control unit 170.

레이저 조사부(110)는 광원을 포함하여, 외부로 레이저를 조사한다. 레이저 조사부(110)는 각 RGB LED, 드라이버 소자 또는 센서를 필름(125)에서 제1 임시 시트(미도시) 또는 제2 임시 시트(미도시)로 전사할 수 있도록, 레이저를 조사한다. 레이저 조사부(110)는 레이저 스캐닝부(120)로 직접 레이저를 조사할 수도 있으나, 레이저 스캐닝 전사장치(100)의 전체 크기가 너무 커지는 것을 방지하기 위해, 미러부(115)를 거쳐 간접적으로 레이저를 레이저 스캐닝부(120)로 조사할 수 있다. 레이저 조사부(110)는 kHz 대역 내지 MHz 대역의 주파수를 갖는 레이저를 조사할 수 있으며, 고속으로 전사 대상물을 전사할 수 있도록 할 수 있다.The laser irradiation unit 110 includes a light source to irradiate the laser to the outside. The laser irradiation unit 110 irradiates a laser so that each RGB LED, driver element, or sensor can be transferred from the film 125 to the first temporary sheet (not shown) or the second temporary sheet (not shown). The laser irradiator 110 may irradiate the laser directly to the laser scanning unit 120, but in order to prevent the overall size of the laser scanning transfer apparatus 100 from becoming too large, the laser irradiator 110 may indirectly irradiate the laser through the mirror unit 115. Irradiation may be performed by the laser scanning unit 120. The laser irradiator 110 may irradiate a laser having a frequency of the kHz band to the MHz band, and may transfer the transfer object at high speed.

레이저 스캐닝부(120)는 전사 대상물(각 RGB LED, 드라이버 소자 또는 센서)이 배치된 필름(125)의 적절한 위치로 레이저가 적절히 조사될 수 있도록 제어한다. 레이저 스캐닝부(120)는 필름(125) 상에 배치된 모든 전사 대상물 중 실제 전사가 수행될 전사 대상물이 레이저에 의해 전사가 될 수 있도록, 레이저의 방향을 제어하여 레이저가 조사될 지점을 변화시킨다. 레이저 스캐닝부(120)는 레이저 방향을 제어함으로써, 실제 전사가 수행될 전사 대상물만이 제1 임시 시트(미도시) 또는 제2 임시 시트(미도시)로 전사되도록 한다. The laser scanning unit 120 controls the laser to be properly irradiated to an appropriate position of the film 125 on which the transfer object (each RGB LED, driver element or sensor) is disposed. The laser scanning unit 120 changes the point to which the laser is irradiated by controlling the direction of the laser so that the transfer object to be actually transferred can be transferred by the laser among all the transfer objects disposed on the film 125. . The laser scanning unit 120 controls the laser direction so that only the transfer object to be actually transferred is transferred to the first temporary sheet (not shown) or the second temporary sheet (not shown).

여기서, 필름(125)은 레이저 스캐닝부(120)의 하부에 부착됨으로써, 레이저에 의해 필름(125) 내 전사 대상물의 전사가 진행된다. 이때, 전사가 모두 완료된 필름은 미세 LED 패키지 생산 장치(100)의 사용자 또는 관리자에 의해 수동으로 교체될 수도 있고, 외부 장치에 의해 자동으로 교체될 수도 있다.Here, the film 125 is attached to the lower portion of the laser scanning unit 120, the transfer of the transfer object in the film 125 by the laser proceeds. At this time, the transfer is completed film can be manually replaced by the user or administrator of the fine LED package production apparatus 100, or may be automatically replaced by an external device.

필름(125)은 레이저가 투과될 수 있으며, 전사 대상물을 접착하고 전사할 수 있는 재질이면 어떠한 것으로 구현될 수 있다.The film 125 may be transmitted through a laser, and may be implemented as long as the material may adhere and transfer the transfer object.

기판 이송부(130)는 미세 LED 패키지가 전사될 상대 기판(135)을 적절한 위치에 배치하거나 이동시킨다. 기판 이송부(130)는 미세 LED 패키지가 전사되어야 할 위치에 적절히 전사될 수 있도록 상대 기판(135)을 적절히 이동시키며 배치한다. 기판 이송부(130)는 상대 기판(135)을 적절히 배치하고 이동시킴으로써, 미세 LED 패키지가 전사될 위치에 정확히 전사되도록 한다. The substrate transfer unit 130 arranges or moves the counter substrate 135 to which the fine LED package is to be transferred to an appropriate position. The substrate transfer unit 130 is disposed while appropriately moving the counter substrate 135 so that the micro LED package can be properly transferred to the position to be transferred. The substrate transfer unit 130 properly positions and moves the counter substrate 135 so that the micro LED package is accurately transferred to the position to be transferred.

또한, 상대 기판(135)에 전사되어야 할 미세 LED 패키지가 모두 전사된 경우, 기판 이송부(130)는 새롭게 전사가 수행될 다른 상대 기판과의 교체를 위해 전사가 모두 수행된 상대 기판(135)은 외부로 이동시키고, 다른 상대 기판을 다시 적절한 위치로 배치한다.In addition, when all of the fine LED package to be transferred to the counter substrate 135 is transferred, the substrate transfer unit 130 is the counter substrate 135, the transfer is all performed for replacement with another counter substrate to be newly transferred; Move to the outside and place the other mating substrate back to the proper position.

시트 이송부(140)는 제1 및 제2 임시 시트를 이용하여 각 RGB LED, 드라이버 소자 또는 센서가 임시로 배치되거나 회전될 수 있도록 한다. 시트 이송부(140)는 각 RGB LED, 드라이버 소자 또는 센서를 미세 LED 패키지로 생산함에 있어, 필름 상에 배치된 각 RGB LED, 드라이버 소자 또는 센서를 임시로 제1 임시 시트로 이송할 수 있다. 또한, 전극의 방향을 변환하거나, 하부에 드라이버 소자를 배치하기 위해 각 소자(각 RGB LED, 드라이버 소자 또는 센서)가 배치된 제1 임시 기판을 회전한 후 제2 임시 기판으로 이송할 수 있다. The sheet conveying unit 140 allows the respective RGB LEDs, driver elements or sensors to be temporarily disposed or rotated using the first and second temporary sheets. The sheet conveying unit 140 may temporarily transfer each RGB LED, the driver element or the sensor disposed on the film to the first temporary sheet in producing each RGB LED, the driver element or the sensor in a fine LED package. In addition, the first temporary substrate on which each device (each RGB LED, driver device or sensor) is disposed may be rotated and then transferred to the second temporary substrate in order to change the direction of the electrode or to arrange the driver device at the bottom.

한편, 시트 이송부(140)는 제2 임시 기판 상에서 다이싱 공정을 거쳐 생산된 미세 LED 패키지를 기판 이송부(130) 상의 상대 기판(135)으로 이송한다.On the other hand, the sheet transfer unit 140 transfers the micro LED package produced through the dicing process on the second temporary substrate to the counter substrate 135 on the substrate transfer unit 130.

또한, 시트 이송부(140)는 다이싱 공정을 거쳐 생산된 미세 LED 패키지를 제2 기판(미도시)으로 이송할 수 있다. 제2 기판은 미세 LED 패키지에 포함된 많은 수의 배선(RGB LED를 포함한 각 소자들의 전극, 데이터 유출입을 위한 전극) 밀도를 감소시키기 위한 기판으로서, 미세 LED 패키지 하부에 배치되어 상대 기판과 한 쌍의 전극과 데이터 유출입을 위한 전극만의 연결을 요구한다. 이에 따라, 배선밀도를 현저히 낮출 수 있어 원가를 절감할 수 있도록 한다. 시트 이송부(140)는 미세 LED 패키지와 제2 기판을 포함하는 제2 미세 LED 패키지를 상대 기판(135)으로 이송할 수 있다.In addition, the sheet transfer unit 140 may transfer the fine LED package produced through the dicing process to the second substrate (not shown). The second substrate is a substrate for reducing the density of a large number of wirings (electrodes of each element including the RGB LEDs, electrodes for data flow in and out) included in the micro LED package, and is disposed under the micro LED package and paired with a counterpart substrate. This requires only the connection of the electrodes and the electrodes for data flow in and out. Accordingly, the wiring density can be significantly lowered to reduce the cost. The sheet transfer unit 140 may transfer the second micro LED package including the micro LED package and the second substrate to the counter substrate 135.

몰딩부(150)는 제2 임시 기판 상에 배치된 각 소자를 몰딩한다. 몰딩부(150)는 몰드 레진(Mold Resin)을 이용하여 각 소자를 몰딩한다. 이때, 몰드 레진 내에는 파우더(Powder)가 포함되어 있을 수 있다. 파우더는 외부에서 몰딩 내부에 위치한 각 소자들이 보이지 않도록 방지하며, 또한 외부에서 조사되는 빛이 몰딩 내부에 위치한 각 소자에 반사되는 것을 방지하기 위한 것으로, 예를 들어, 카본 블랙 파우더(Carbon Black Powder)로 구현될 수 있다.The molding part 150 molds each device disposed on the second temporary substrate. The molding unit 150 molds each device by using a mold resin. At this time, the powder may be contained in the mold resin. The powder is to prevent the elements located inside the molding from being visible from the outside, and also to prevent the light emitted from the outside from being reflected by each element located inside the molding, for example, carbon black powder. It can be implemented as.

다이싱부(160)는 몰딩된 제2 임시 기판을 각 소자별로 다이싱하여 미세 LED 패키지를 생성한다. 예를 들어, 미세 LED 패키지 내 하나의 각 RGB LED 만이 포함되어야 하는 경우, 다이싱부(160)는 각 패키지 내 하나의 RGB LED들만이 포함되도록 몰딩된 제2 임시 기판을 다이싱하여 미세 LED 패키지를 생성한다.The dicing unit 160 generates the fine LED package by dicing the molded second temporary substrate for each device. For example, when only one RGB LED in the micro LED package is to be included, the dicing unit 160 dices the molded second temporary substrate so that only one RGB LED in each package is included in the micro LED package. Create

제어부(170)는 각 소자가 포함된 미세 LED 패키지 또는 각 소자와 제2 기판이 포함된 제2 미세 LED 패키지가 생성되어 상대 기판(135)으로 전사되도록 각 구성을 제어한다. 제어부(140)는 필름(125)으로 레이저를 조사하도록 레이저 조사부(110)를 제어하고, 레이저가 조사될 지점으로 각 소자가 배치된 필름(125)이 배치되도록 전사 대상물 이송부(120)를 제어하며, 미세 LED 패키지가 전사되어야 할 상대 기판(135) 상의 위치에 전사될 수 있도록 기판 이송부(130)를 제어한다.. 제어부(140)는 제1 및 제2 임시 시트를 이용하여 각 소자가 임시로 배치되거나 회전될 수 있도록 시트 이송부(140)를 제어하고, 임시 기판 상에 배치된 각 소자를 몰딩하도록 몰딩부(150)를 제어하며, 몰딩된 임시가판을 각 소자별로 다이싱하여 미세 LED 패키지를 생성하도록 다이싱부(160)를 제어한다.The controller 170 controls each component such that the micro LED package including each device or the second micro LED package including each device and the second substrate is generated and transferred to the counter substrate 135. The controller 140 controls the laser irradiator 110 to irradiate a laser to the film 125, and controls the transfer object transfer unit 120 to arrange the film 125 on which each element is disposed as a point to which the laser is irradiated. The substrate transfer unit 130 is controlled so that the micro LED package can be transferred to a position on the counterpart substrate 135 to be transferred. The controller 140 temporarily stores each element by using the first and second temporary sheets. The sheet conveying unit 140 is controlled to be disposed or rotated, the molding unit 150 is controlled to mold each device disposed on the temporary substrate, and the molded temporary substrate is diced for each device to produce a fine LED package. The dicing unit 160 is controlled to generate.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 RGB LED가 각각 배치된 필름을 도시한 도면이다.FIG. 2 is a view showing films in which RGB LEDs according to a first embodiment of the present invention are disposed.

미세 LED 패키지 내 포함될 각 소자(RGB LED, 210, 220, 230)가 배치된 필름(125a, 125b, 125c)이 준비된다. 제1 실시예에서는 미세 LED 패키지 내 RGB LED 각각(210, 220, 230)이 포함됨에 따라, RGB LED가 각각 배치된 필름(125a, 125b, 125c)이 준비된다. Films 125a, 125b, and 125c on which each element (RGB LED, 210, 220, 230) to be included in the fine LED package are disposed are prepared. In the first embodiment, as the RGB LEDs 210, 220, and 230 are included in the micro LED package, the films 125a, 125b, and 125c on which the RGB LEDs are disposed are prepared.

RGB LED 각각(210, 220, 230)은 LED 내 각 전극(215, 225, 235)이 필름(125a, 125b, 125c)을 향하도록 배치된다. 각 전극(215, 225, 235)이 외부로 노출되는 것을 최소화하고, 전사 과정에서도 전극(215, 225, 235)으로 발생할 수 있는 충격을 줄일 수 있다.Each of the RGB LEDs 210, 220, 230 is disposed so that each electrode 215, 225, 235 in the LED faces the film 125a, 125b, 125c. Minimizing the exposure of the electrodes 215, 225, and 235 to the outside may reduce the impact that may occur on the electrodes 215, 225, and 235 even during the transfer process.

RGB LED 각각(210, 220, 230)은 플립 칩(Flip Chip) 형태로 구현되어, 각 전극(215, 225, 235)이 패드 형태로 구현될 수 있다.Each of the RGB LEDs 210, 220, and 230 may be implemented in the form of a flip chip, and each electrode 215, 225, and 235 may be implemented in the form of a pad.

여기서, 필름(125a, 125b, 125c)은 다음과 같이 구성될 수 있다. 필름(125a, 125b, 125c)은 투과필름 및 접착층을 포함할 수 있다.Here, the films 125a, 125b, and 125c may be configured as follows. The films 125a, 125b, and 125c may include a transmissive film and an adhesive layer.

투과필름은 조사되는 레이저를 접착층으로 전달할 수 있다. 투과필름은 투명한 재질 또는 레이저를 투과시키는 재질로 구현되어, 레이저를 투과시켜 접착층으로 전달할 수 있다.The transmission film may transfer the irradiated laser to the adhesive layer. Transmissive film is implemented in a transparent material or a material that transmits the laser, it can be transmitted to the adhesive layer by transmitting the laser.

접착층은 일정한 접착력을 가져 각 소자(각 RGB LED)을 접착하며, 레이저 조사 등에 의해 열이 발생하는 경우 부피적으로 팽창할 수 있다. 접착층은 투과필름의 일면에 위치하며, 일정한 접착력을 가져 각 소자가 필름(125a, 125b, 125c) 상에 배치될 수 있도록 한다. 또한, 접착층은 접착력을 가지며, 열이 발생하는 경우 부피적으로 팽창하는 재질로 구현될 수 있다. 투과필름을 거쳐 전달되는 레이저를 조사받는 경우, 접착층은 레이저에 의해 발열하며 부피적으로 팽창하며, 레이저가 조사된 이후 팽창한 상태를 유지하거나 부피적으로 일정수준 수축될 수 있다. 레이저는 가우시안 분포를 갖기 때문에, 레이저가 조사되는 경우, 접착층도 가우시안 분포 형태로 특정 부분만이 볼록하게 팽창한다. 접착층은 레이저의 조사에 의해 부피적으로 팽창하여, 각 소자와 임시 시트와의 거리를 좁힘으로써 각 소자가 임시 시트로 전사되도록 할 수 있다. 접착층이 부피적으로 팽창하며 전사를 유도하기 때문에, 종래와 같이 각 소자의 파손 우려도 없다. 접착층은 팽창할 뿐 레이저에 의해 제거되는 것이 아니기 때문에, 잔해가 발생할 우려도 존재하지 않는다. 또한, 종래에는 레이저를 이용하여 각 소자가 접촉해 있는 필름 등을 제거하거나, 필름의 접착력을 낮추어 전사를 유도하였기 때문에, 각 소자는 상대 기판 상으로 자유낙하를 하여 전사가 진행된다. 그러나 각 소자의 크기가 작으면 작을수록, 자유낙하하며 발생하는 충격에 예민하게 되고, 이러한 충격에 의해 파손의 우려도 존재한다. 반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 접착층은 부피 팽창을 하기 때문에, 각 소자가 임시 시트와 최소한의 거리에서 전사된다. 이에 따라, 전사 과정에서 각 소자에 발생할 수 있는 충격을 최소화할 수 있는 장점이 있다.The adhesive layer adheres each element (each RGB LED) to have a constant adhesive force, and may expand in volume when heat is generated by laser irradiation or the like. The adhesive layer is positioned on one surface of the transmissive film and has a constant adhesive force so that each device can be disposed on the films 125a, 125b, and 125c. In addition, the adhesive layer has an adhesive force, and may be implemented as a material that expands in volume when heat is generated. When irradiated with a laser beam transmitted through the transmission film, the adhesive layer generates heat by the laser and expands in volume, and maintains the expanded state after the laser is irradiated or shrinks to a certain level in volume. Since the laser has a Gaussian distribution, when the laser is irradiated, only the specific portion is convexly expanded in the form of a Gaussian distribution. The adhesive layer can be expanded in volume by irradiation of a laser so that each element can be transferred to the temporary sheet by narrowing the distance between each element and the temporary sheet. Since the adhesive layer expands in volume and induces transfer, there is no fear of damage to each element as in the prior art. Since the adhesive layer only expands and is not removed by the laser, there is no fear of debris. In addition, conventionally, since a film or the like in which each element is in contact with a laser is removed by using a laser or the adhesion of the film is lowered to induce the transfer, each element is free-falled on the counter substrate so that the transfer proceeds. However, the smaller the size of each element is, the more susceptible it is to free-falling impacts, and there is a risk of damage due to such impacts. On the other hand, since the adhesive layer according to an embodiment of the present invention has a volume expansion, each device is transferred at a minimum distance from the temporary sheet. Accordingly, there is an advantage that can minimize the impact that can occur on each device during the transfer process.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름에 배치된 각 RGB LED가 제1 임시 시트로 전사되는 공정을 도시한 도면이다.3 is a diagram illustrating a process of transferring each RGB LED disposed on a film according to the first embodiment of the present invention to a first temporary sheet.

레이저 스캐닝부(120)는 필름(125a, 125b, 125c)에 배치된 각 RGB LED(210, 220, 230)가 제1 임시 시트(310)에 전사되도록 레이저의 방향을 제어한다. 전술한 바와 같이, 미세 LED 패키지 내 각 RGB LED(210, 220, 230)가 포함되어야 하기 때문에, 레이저 스캐닝부(120)는 먼저 R LED(210)를 전사함에 있어, 제1 임시 시트(310) 상에 기 설정된 간격을 두고 전사되도록 레이저의 방향을 제어한다. The laser scanning unit 120 controls the direction of the laser so that each of the RGB LEDs 210, 220, and 230 disposed on the films 125a, 125b, and 125c is transferred to the first temporary sheet 310. As described above, since the RGB LEDs 210, 220, and 230 in the micro LED package should be included, the laser scanning unit 120 first transfers the R LEDs 210 to the first temporary sheet 310. The direction of the laser is controlled to be transferred at a predetermined interval on the image.

이후, 레이저 스캐닝부(120)는 G LED(220)가 R LED(210)의 측면의 제1 임시 시트(310) 상에 전사되도록 레이저의 방향을 제어하며, B LED(230)가 G LED(220)의 측면의 제1 임시 시트(310) 상에 전사되도록 레이저의 방향을 제어한다. 여기서, 전술한 RGB LED 각각이 전사가 되는 순서 및 배치되는 순서는 일 예일 뿐이며, 전술한 것에 한정되는 것은 아니다, Thereafter, the laser scanning unit 120 controls the direction of the laser so that the G LED 220 is transferred onto the first temporary sheet 310 of the side of the R LED 210, and the B LED 230 is a G LED ( The direction of the laser is controlled to be transferred onto the first temporary sheet 310 on the side of 220. Here, the order in which each of the above-described RGB LEDs are transferred and the order in which they are arranged are merely examples, and the present invention is not limited thereto.

미세 LED 패키지 내에 RGB 각 소자가 하나씩만 포함되는 경우로 가정을 하면, 레이저 스캐닝부(120)는 B LED(230)에 인접한 R LED가 일정 거리를 갖게 배치되도록 레이저의 방향을 제어한다. 즉, 레이저 스캐닝부(120)는 하나의 미세 LED 패키지를 구성하는 RGB 소자들 간에 서로 일정한 간격을 가지며 전사되도록 레이저의 방향을 제어한다. 이에 따라, 추후, 미세 LED 패키지를 몰딩하고 다이싱함으로써 생산함에 있어, 각 미세 LED 패키지를 보다 용이하게 다이싱하고 이동시킬 수 있도록 한다.Assuming that only one RGB element is included in the micro LED package, the laser scanning unit 120 controls the direction of the laser so that the R LED adjacent to the B LED 230 is disposed to have a predetermined distance. That is, the laser scanning unit 120 controls the direction of the laser to be transferred at regular intervals between the RGB elements constituting one fine LED package. Accordingly, in later production, by molding and dicing the fine LED package, it is possible to more easily dice and move each fine LED package.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 제2 임시 시트를 몰딩하는 공정을 도시한 도면이다.4 is a diagram illustrating a process of molding a second temporary sheet according to a first embodiment of the present invention.

몰딩하는 공정 이전에, 시트 이송부(140)는 제1 임시 시트(310) 상에 배치된 각 소자(210, 220, 230)의 전극(215, 225, 235) 방향을 전환하기 위해, 제1 임시 시트(310)의 상하 방향을 전환한다. 이후, 제1 임시 시트(310) 상의 각 소자(210, 220, 230)가 제2 임시 시트(410) 상으로 이동하도록 제1 임시 시트(310) 및 제2 임시 시트(410)를 이동시킨다. 시트 이송부(140)는 제1 임시 시트(310)와 제2 임시 시트(410)의 위치를 조정하여, 레이저 조사부(110)에서 조사되는 레이저에 의해 각 소자(210, 220, 230)가 제2 임시 시트(410)로 이동하도록 한다. 이처럼, 전극(215, 225, 235) 방향을 전환함으로써, 미세 LED 패키지 내 각 소자(210, 220, 230)의 전극(215, 225, 235)이 상대 기판(135)과 연결될 수 있도록 한다.Prior to the molding process, the sheet conveying unit 140 may be configured to change the direction of the electrodes 215, 225, and 235 of the elements 210, 220, and 230 disposed on the first temporary sheet 310. The vertical direction of the sheet 310 is switched. Thereafter, the first temporary sheet 310 and the second temporary sheet 410 are moved so that each element 210, 220, 230 on the first temporary sheet 310 moves on the second temporary sheet 410. The sheet conveying unit 140 adjusts the positions of the first temporary sheet 310 and the second temporary sheet 410 so that the elements 210, 220, and 230 are each seconded by the laser irradiated from the laser irradiation unit 110. Move to the temporary sheet 410. As such, by changing the directions of the electrodes 215, 225, and 235, the electrodes 215, 225, and 235 of the elements 210, 220, and 230 in the micro LED package may be connected to the counter substrate 135.

이후, 몰딩부(150)는 제2 임시 시트(410) 상에 배치된 각 소자(210, 220, 230)를 몰딩한다. 몰딩부(150)는 몰드 레진(Mold Resin)을 이용하여 각 소자(210, 220, 230)를 몰딩할 수 있다. Thereafter, the molding part 150 molds each of the elements 210, 220, and 230 disposed on the second temporary sheet 410. The molding unit 150 may mold each of the elements 210, 220, and 230 by using a mold resin.

몰드 레진(430) 내에는 파우더(Powder, 420)가 포함되어 있을 수 있다. 파우더(420)는 외부에서 몰딩(430) 내부에 위치한 각 소자들이 보이지 않도록 방지하며, 또한 외부에서 조사되는 빛이 몰딩(430) 내부에 위치한 각 소자에 반사되는 것을 방지하기 위한 것으로, 예를 들어, 카본 블랙 파우더(Carbon Black Powder)로 구현될 수 있다.The powder 420 may be included in the mold resin 430. The powder 420 is to prevent the elements located inside the molding 430 from being visible from the outside, and also to prevent the light emitted from the outside from being reflected by each element located inside the molding 430. It may be implemented as carbon black powder.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 몰딩한 제2 임시 시트를 다이싱하는 공정을 도시한 도면이다.5 is a diagram illustrating a process of dicing a molded second temporary sheet according to a first embodiment of the present invention.

다이싱부(160)는 몰딩된 각 소자(210, 220, 230)들에 대해 각 소자들이 각 미세 LED 패키지(510, 514, 518) 내에 하나씩 포함되도록 다이싱한다. 레이저 스캐닝부(120)에 의해 하나의 미세 LED 패키지를 구성하는 RGB 소자들은 상호 간에 서로 일정한 간격을 가진다. 다이싱부(160)는 각 미세 LED 패키지(510, 514, 518)를 구성하는 RGB 소자들 사이를 다이싱 함으로써, 각 미세 LED 패키지(510, 514, 518)를 생성한다. The dicing unit 160 dicing each of the elements 210, 220, and 230 to be molded into each of the micro LED packages 510, 514, and 518. The RGB devices constituting the one minute LED package by the laser scanning unit 120 have a constant distance from each other. The dicing unit 160 generates each fine LED package 510, 514, 518 by dicing between the RGB elements constituting each of the fine LED packages 510, 514, and 518.

본 발명의 일 실시예에 따른 미세 LED 패키지는 별도의 하우징을 포함하지 않고, 각 소자를 몰딩함으로써, 하우징으로 사용될 별도의 부수 부재나 하우징을 배치하는 부수 공정을 요하지 않는다. 이에 따라, 간편하게 미세 LED 패키지를 생산할 수 있는 장점이 있다. 또한, 하나의 LED 소자가 고장나더라도, 미세 LED 패키지 전체를 교체하면 되기 때문에, 교체 및 관리도 용이한 장점이 있다.The micro LED package according to an embodiment of the present invention does not include a separate housing, and by molding each device, it does not require a separate accessory member or a secondary process of disposing a housing to be used as the housing. Accordingly, there is an advantage that can easily produce a fine LED package. In addition, even if one LED element fails, since the entire micro LED package needs to be replaced, there is an advantage of easy replacement and management.

도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 상대 기판으로 옮기는 공정을 도시한 도면이다.FIG. 6 is a view showing a process of transferring a fine LED package to a counter substrate according to the first embodiment of the present invention.

시트 이송부(140)는 다이싱 공정을 거쳐 생산된 미세 LED 패키지(510)를 상대 기판(135a)으로 이동시킨다. The sheet transfer unit 140 moves the micro LED package 510 produced through the dicing process to the counter substrate 135a.

상대기판(135a)은 표면에 솔더(Solder, 610)를 포함한다.The counter substrate 135a includes solder 610 on the surface thereof.

솔더(610)는 납땜 등을 하는 데 사용되는 합금으로서, 미세 LED 패키지(510)의 전극과 연결되어 전원을 공급할 수 있도록 하는 전극의 역할을 한다. 이와 동시에, 솔더(610)는 필름 또는 임시 시트의 접착력보다 높은 접착력을 가질 수 있다. 미세 LED 패키지(510)가 솔더(610)로 접근하거나 접촉하는 경우, 필름 또는 임시 시트로부터 분리되어 솔더(610)로 전사될 수 있도록 한다. The solder 610 is an alloy used for soldering, etc., and serves as an electrode that is connected to the electrodes of the micro LED package 510 to supply power. At the same time, the solder 610 may have a higher adhesive force than that of the film or the temporary sheet. When the micro LED package 510 approaches or contacts the solder 610, the micro LED package 510 may be separated from the film or the temporary sheet to be transferred to the solder 610.

솔더(610)는 상대기판(135) 상에 미세 LED 패키지(510)가 전사될 위치마다 배치된다. 통상적으로 복수 개의 미세 LED 패키지(510)가 일정 간격마다 상대 기판(135)에 전사되므로, 이에 대응되는 솔더(610) 역시 일정 간격마다 상대 기판(135) 상에 배치된다. 또한, 솔더(610)는 미세 LED 패키지(510) 내에 포함된 각 RGB LED의 전극과 연결될 개수만큼 배치된다.The solder 610 is disposed on the counter substrate 135 at each position where the micro LED package 510 is to be transferred. Typically, since the plurality of fine LED packages 510 are transferred to the counter substrate 135 at regular intervals, the corresponding solder 610 is also disposed on the counter substrate 135 at regular intervals. In addition, the solder 610 is disposed as many as to be connected to the electrodes of each RGB LED included in the fine LED package 510.

상대 기판(135a)은 솔더(610)를 거쳐 연결된 미세 LED 패키지(510)를 제어할 수 있도록, TFT 등의 제어 기판으로 구현된다. The counter substrate 135a is implemented as a control substrate such as a TFT so as to control the micro LED package 510 connected through the solder 610.

이와 같이, 각 RGB LED 소자들이 상대 기판(135a) 상에 전사되는 것이 아니라, 미세 LED 패키지(510)를 구성하여 미세 LED 패키지(510)가 전사되기 때문에, 선택적으로 전사를 하며 갖는 불편을 해소할 수 있다. 또한, LED 소자에 장애가 발생한 경우, 해당 소자를 선택적으로 제거하고 다시 전사할 필요없이, 해당 소자가 포함된 미세 LED 패키지 전체를 제거하고 다시 전사하면 되기 때문에, 관리의 용이성이 증가하는 장점이 있다.As described above, since each of the RGB LED elements is not transferred onto the counter substrate 135a, the fine LED package 510 is configured to transfer the fine LED package 510, thereby eliminating the inconvenience of selectively transferring. Can be. In addition, when a failure occurs in the LED device, it is necessary to remove and transfer the entire fine LED package including the device, without having to selectively remove the device and transfer again, there is an advantage that the ease of management increases.

도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 RGB LED 및 드라이버 소자가 각각 배치된 필름을 도시한 도면이다.FIG. 7 is a diagram illustrating a film in which RGB LEDs and driver elements are respectively disposed according to a second embodiment of the present invention.

미세 LED 패키지 내 포함될 RGB LED(210, 220, 230) 및 드라이버 소자(710)가 배치된 필름(125a, 125b, 125c, 125d)이 준비된다. 제2 실시예에서는 미세 LED 패키지 내 RGB LED 각각(210, 220, 230)과 함께 드라이버 소자(710)도 포함됨에 따라, RGB LED 및 드라이버 소자(710)가 각각 배치된 필름(125a, 125b, 125c, 125d)이 준비된다. Films 125a, 125b, 125c, and 125d on which RGB LEDs 210, 220, 230 and driver elements 710 to be included in the fine LED package are disposed are prepared. In the second embodiment, as the driver elements 710 are included together with the RGB LEDs 210, 220, and 230 in the micro LED package, the films 125a, 125b, and 125c on which the RGB LEDs and the driver elements 710 are disposed, respectively. 125d) is prepared.

제1 실시예와 마찬가지로, 각 RGB LED(210, 220, 230) 및 드라이버 소자(710)는 각 전극(215, 225, 235, 715)이 필름(125a, 125b, 125c, 125d)을 향하도록 배치된다.As in the first embodiment, each RGB LED 210, 220, 230 and driver element 710 are arranged such that the electrodes 215, 225, 235, 715 face the films 125a, 125b, 125c, 125d. do.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름에 배치된 RGB LED 및 드라이버 소자가 제1 임시 시트로 전사되는 공정을 도시한 도면이다.8 is a diagram illustrating a process of transferring an RGB LED and a driver element disposed in a film according to a second embodiment of the present invention to a first temporary sheet.

레이저 스캐닝부(120)는 필름(125a, 125b, 125c, 125d)에 배치된 RGB LED(210, 220, 230) 및 드라이버 소자(710)가 제1 임시 시트(310)에 전사되도록 각 필름으로 조사될 레이저의 방향을 제어한다. 전술한 바와 같이, 미세 LED 패키지 내 각 RGB LED(210, 220, 230) 및 드라이버 소자(710)가 포함되어야 하기 때문에, 레이저 스캐닝부(120)는 먼저 R LED(210)를 전사함에 있어, 제1 임시 시트(310) 상에 기 설정된 간격을 두고 전사되도록 레이저의 방향을 제어한다.The laser scanning unit 120 irradiates each film such that the RGB LEDs 210, 220, 230 and the driver elements 710 disposed on the films 125a, 125b, 125c, and 125d are transferred to the first temporary sheet 310. Control the direction of the laser to be. As described above, since each of the RGB LEDs 210, 220, 230 and the driver device 710 in the fine LED package should be included, the laser scanning unit 120 first transfers the R LEDs 210. 1 The direction of the laser is controlled to be transferred at a predetermined interval on the temporary sheet 310.

이후, 레이저 스캐닝부(120)는 G LED(220)가 R LED(210)의 측면의 제1 임시 시트(310) 상에 전사되도록 레이저의 방향을 제어하며, B LED(230)가 G LED(220)의 측면의 제1 임시 시트(310) 상에 전사되도록 레이저의 방향을 제어한다. 또한, 플림 이송부(120)는 드라이버 소자(710)가 B LED(230)의 측면의 제1 임시 시트(310) 상에 전사되도록 레이저의 방향을 제어한다. 이에 따라, RGB LED(210, 220, 230) 및 드라이버 소자(710)가 레이저에 의해 제1 임시 시트(310) 상으로 전사된다. 여기서, 전술한 RGB LED 각각이 전사가 되는 순서 및 배치되는 순서는 일 예일 뿐이며, 전술한 것에 한정되는 것은 아니다, Thereafter, the laser scanning unit 120 controls the direction of the laser so that the G LED 220 is transferred onto the first temporary sheet 310 of the side of the R LED 210, and the B LED 230 is a G LED ( The direction of the laser is controlled to be transferred onto the first temporary sheet 310 on the side of 220. In addition, the flim transport unit 120 controls the direction of the laser so that the driver element 710 is transferred onto the first temporary sheet 310 of the side surface of the B LED 230. Accordingly, the RGB LEDs 210, 220, 230 and the driver element 710 are transferred onto the first temporary sheet 310 by a laser. Here, the order in which each of the above-described RGB LEDs are transferred and the order in which they are arranged are merely examples, and the present invention is not limited thereto.

도 8에는 드라이버 소자(710)가 제1 임시 시트(310) 상에서 RGB LED(210, 220, 230)의 측면(X축 내 -x 또는 +x 방향)에 전사되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고, RGB LED(210, 220, 230)의 정면(+y 방향) 또는 RGB LED(210, 220, 230)의 후면(-y 방향)으로 전사될 수 있다.8 illustrates that the driver device 710 is transferred onto the side surfaces of the RGB LEDs 210, 220, and 230 on the first temporary sheet 310 (in the -x or + x direction in the X axis), but is not limited thereto. The present invention is not limited thereto and may be transferred to the front side (+ y direction) of the RGB LEDs 210, 220 and 230 or the rear side (-y direction) of the RGB LEDs 210, 220 and 230.

도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 제2 임시 시트를 몰딩하고 다이싱하여 생성된 미세 LED 패키지를 상대기판으로 옮기는 각 공정을 도시한 도면이다.FIG. 9 is a diagram illustrating each process of transferring a fine LED package generated by molding and dicing a second temporary sheet according to a second embodiment of the present invention to a counter substrate.

도 4를 참조하며 전술한 바와 같이, 각 소자(210, 220, 230, 710)의 전극(215, 225, 235, 715) 방향을 전환하기 위해, 시트 이송부(140)는 제1 임시 시트(310) 상의 각 소자(210, 220, 230, 710)가 제2 임시 시트(410) 상으로 이동하도록, 제1 임시 시트(310)과 제2 임시 시트(410)를 이동시킨다.Referring to FIG. 4 and as described above, in order to change the direction of the electrodes 215, 225, 235, and 715 of the elements 210, 220, 230, and 710, the sheet conveying unit 140 may include the first temporary sheet 310. The first temporary sheet 310 and the second temporary sheet 410 are moved so that each element 210, 220, 230, and 710 on the Ny moves on the second temporary sheet 410.

몰딩부(150)는 제2 임시 시트(410) 상에 배치된 각 소자(210, 220, 230, 710)를 몰딩한다. 제2 실시예에 따른 미세 LED 패키지 내에는 RGB LED 외에 드라이버 소자도 포함되기 때문에, 제2 임시 시트(410) 상에 배치된 모든 소자를 몰딩한다.The molding part 150 molds each of the elements 210, 220, 230, and 710 disposed on the second temporary sheet 410. Since the micro LED package according to the second embodiment includes driver elements in addition to the RGB LEDs, all the elements disposed on the second temporary sheet 410 are molded.

다이싱부(160)는 몰딩된 각 소자(210, 220, 230, 710)들에 대해 각 소자들이 각 미세 LED 패키지(910, 914, 918) 내에 하나씩 포함되도록 다이싱한다. 레이저 스캐닝부(120)에 의해 하나의 미세 LED 패키지를 구성하는 각 소자들은 상호 간에 서로 일정한 간격을 가진다. 다이싱부(160)는 각 미세 LED 패키지(910, 914, 918)를 구성하는 RGB 소자들 사이를 다이싱 함으로써, 각 미세 LED 패키지(910, 914, 918)를 생성한다.The dicing unit 160 dicing each of the devices 210, 220, 230, and 710 to be molded so that each device is included in each of the fine LED packages 910, 914, and 918. Each element constituting one fine LED package by the laser scanning unit 120 has a constant distance from each other. The dicing unit 160 generates each fine LED package 910, 914, 918 by dicing between the RGB elements constituting each of the fine LED packages 910, 914, and 918.

시트 이송부(140)는 다이싱 공정을 거쳐 생산된 각 미세 LED 패키지(910)를 상대 기판(135b)으로 이동시킨다. 상대 기판(135b)은 솔더(610)를 포함할 수 있으며, 솔더(610)는 상대 기판(135b) 상에 미세 LED 패키지(910)가 전사될 위치마다 배치된다. 미세 LED 패키지(910)는 RGB LED(210, 220, 230)와 함께 드라이버 소자(710)도 포함하므로, 솔더(610)는 미세 LED 패키지(910) 내에 포함된 각 RGB LED의 전극 및 드라이버 소자의 전극과 연결될 개수 만큼 배치된다.The sheet conveying unit 140 moves each of the fine LED packages 910 produced through the dicing process to the counter substrate 135b. The counter substrate 135b may include a solder 610, and the solder 610 is disposed at each position where the micro LED package 910 is to be transferred onto the counter substrate 135b. Since the fine LED package 910 also includes a driver element 710 in addition to the RGB LEDs 210, 220, and 230, the solder 610 is formed by the electrode and driver elements of each RGB LED included in the fine LED package 910. It is arranged as many as connected to the electrode.

한편, 미세 LED 패키지(910)가 전사될 상대 기판(135b)는 도 6에 도시된 상대 기판(135a)와는 상이하다. 미세 LED 패키지(910)는 미세 LED 패키지(510)와 달리 패키지(910) 내 드라이버 소자(710)도 함께 포함하고 있다. 이에 따라, 미세 LED 패키지(910)는 별도로 RGB LED 소자를 제어해야 할 TFT 등의 제어기판 상에 전사될 필요가 없다. Meanwhile, the counter substrate 135b to which the fine LED package 910 is to be transferred is different from the counter substrate 135a illustrated in FIG. 6. Unlike the fine LED package 510, the fine LED package 910 also includes a driver device 710 in the package 910. Accordingly, the fine LED package 910 does not need to be transferred onto a control board such as a TFT to separately control the RGB LED elements.

전술한 바와 같이, 마이크로 LED는 TFT와 열적, 기계적으로 결합이 어려운 문제가 존재하였다. 미세 LED 패키지(910)는 패키지 내에 드라이버 소자(710)를 포함하고 있어 TFT와 같은 제어 기판으로 전사될 필요가 없기 때문에, Non-TFT 기판이 상대 기판(135b)로 사용되어도 무방하다. 미세 LED 패키지(910)는 TFT와 마이크로 LED와의 결합 곤란 문제를 간편하게 해결할 수 있는 장점이 존재한다. 또한, 종래의 마이크로 LED는 TFT 상에 전사되어야 했기 때문에, TFT 생산기법에 상당한 의존도를 보유하고 있었으며, TFT에 장애가 발생할 경우, 전사된 마이크로 LED에 의해 장애가 TFT만을 수리하기 곤란한 문제가 존재했었다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 LED 패키지(910)는 TFT 기판과 같은 제어 기판 상에 전사될 필요가 없기 때문에, 전술한 문제를 해소할 수 있는 장점을 보유한다.As described above, the micro LED has a problem that it is difficult to thermally and mechanically combine with the TFT. Since the fine LED package 910 includes a driver element 710 in the package and does not need to be transferred to a control substrate such as a TFT, a non-TFT substrate may be used as the counter substrate 135b. The fine LED package 910 has an advantage that can easily solve the problem of coupling between the TFT and the micro LED. In addition, since the conventional micro LED had to be transferred onto the TFT, it had a considerable dependence on the TFT production technique, and when a failure occurred in the TFT, there was a problem that it was difficult to repair only the failed TFT by the transferred micro LED. However, since the fine LED package 910 according to an embodiment of the present invention does not need to be transferred onto a control substrate such as a TFT substrate, it has an advantage of solving the above-described problem.

도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 RGB LED이 각각 배치된 제1 임시 시트 및 제2 임시 시트를 도시한 도면이다.FIG. 10 illustrates a first temporary sheet and a second temporary sheet on which RGB LEDs according to a third exemplary embodiment of the present invention are disposed.

제3 실시예에서는 미세 LED 패키지 내 RGB LED 각각(210, 220, 230)과 함께 드라이버 소자(710)도 포함된다. 다만 제3 실시예에서는 제1 임시 시트(310) 상에는 RGB LED(210, 220, 230) 만이 전사된다.In the third embodiment, a driver element 710 is also included along with each of the RGB LEDs 210, 220, and 230 in the micro LED package. However, in the third embodiment, only the RGB LEDs 210, 220, and 230 are transferred onto the first temporary sheet 310.

이후, 시트 이송부(140)에 의해 RGB LED(210, 220, 230)는 방향이 전환되며 제1 임시 시트(310) 상에서 제2 임시 시트(1010)로 이동된다.Thereafter, the RGB LEDs 210, 220, and 230 are switched by the sheet conveying unit 140 and are moved from the first temporary sheet 310 to the second temporary sheet 1010.

이때, 제2 임시 시트(1010)는 RGB LED(210, 220, 230)가 배치된 표면의 반대 표면 상에 돌출부(1020)를 구비한다. 돌출부(1020)는 미세 LED 패키지 내 포함될 각 구성이 배치된 간격과 대응되는 반대 표면 상의 위치에서 돌출되어 있으며, 이에 따라, 제2 임시 시트(1010)는 미세 LED 패키지 내 포함될 각 구성과 대응되는 반대 표면 상에 홈(1015)을 구비하게 된다. 돌출부(1020)는 표면에 비아(Via, 1025)를 포함한다. In this case, the second temporary sheet 1010 includes a protrusion 1020 on a surface opposite to the surface where the RGB LEDs 210, 220, and 230 are disposed. The protrusion 1020 protrudes from a position on the opposite surface corresponding to the spacing between which each component to be included in the micro LED package is disposed, whereby the second temporary sheet 1010 corresponds to the opposite of each component to be included in the micro LED package. A groove 1015 is provided on the surface. The protrusion 1020 includes vias 1025 on the surface.

도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 RGB LED이 각각 배치된 제2 임시 시트를 몰딩하고, 제2 임시 기판에 드라이버 소자를 전사하는 공정을 도시한 도면이다.FIG. 11 is a view illustrating a process of molding a second temporary sheet on which RGB LEDs according to a third embodiment of the present invention are disposed, and transferring the driver element to the second temporary substrate.

몰딩부(150)는 제2 임시 시트(1010)의 일 표면 상에 배치된 RGB LED(210, 220, 230)를 몰딩한다. The molding part 150 molds the RGB LEDs 210, 220, and 230 disposed on one surface of the second temporary sheet 1010.

몰딩공정이 수행된 후, 시트 이송부(140)는 제2 임시 시트(1010)를 상하 반전이 되도록 회전시킨다. 시트 이송부(140)는 제2 임시 시트(1010)를 회전시킴으로써, 제2 임시 시트(1010) 내 구비된 홈(1015)으로 드라이버 소자(710)가 전사될 수 있도록 한다. 레이저 스캐닝부(120)는 레이저에 의해 제2 임시 시트(1010)의 홈(1015)으로 드라이버 소자(710)가 전사될 수 있도록 레이저의 방향을 제어한다. 이에 따라, 제2 임시 시트(1010)의 일면에는 몰딩된 RGB LED(210, 220, 230)가 존재하고, 다른 일면에는 홈(1015)으로 전사된 드라이버 소자(710)가 존재하게 된다. 드라이버 소자(710)는 제2 임시 시트(1010)에 의해 RGB LED(210, 220, 230)와 연결된다. After the molding process is performed, the sheet conveying unit 140 rotates the second temporary sheet 1010 to be upside down. The sheet conveying unit 140 may rotate the second temporary sheet 1010 to transfer the driver element 710 to the groove 1015 provided in the second temporary sheet 1010. The laser scanning unit 120 controls the direction of the laser so that the driver element 710 can be transferred to the groove 1015 of the second temporary sheet 1010 by the laser. Accordingly, molded RGB LEDs 210, 220, and 230 exist on one surface of the second temporary sheet 1010, and a driver device 710 transferred to the groove 1015 exists on the other surface. The driver element 710 is connected to the RGB LEDs 210, 220, and 230 by the second temporary sheet 1010.

도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 제2 임시 시트를 재몰딩하고, 다이싱하여 생성된 미세 LED 패키지를 상대기판으로 옮기는 각 공정을 도시한 도면이다.FIG. 12 is a diagram illustrating each process of remolding a second temporary sheet and dicing a fine LED package according to a third exemplary embodiment of the present invention to a counter substrate.

몰딩부(150)는 제2 임시 시트(1010)의 다른 일면 상으로 전사된 드라이버 소자(710)를 몰딩한다. The molding part 150 molds the driver element 710 transferred onto the other surface of the second temporary sheet 1010.

시트 이송부(140)는 제2 임시 시트(1010)를 회전시키고, 다이싱부(160)는 몰딩된 각 소자(210, 220, 230, 710)들에 대해 각 소자들이 각 미세 LED 패키지(1210, 1214, 1218) 내에 하나씩 포함되도록 다이싱한다.The sheet conveying unit 140 rotates the second temporary sheet 1010, and the dicing unit 160 includes the respective micro LED packages 1210 and 1214 for each of the molded elements 210, 220, 230, and 710. 1218) to be included one by one.

시트 이송부(140)는 다이싱 공정을 거쳐 생산된 각 미세 LED 패키지(1210, 1214, 1218)를 상대 기판(135b)으로 이동시킨다. 상대 기판(135b)은 솔더(610)를 포함할 수 있으며, 솔더(610)는 상대 기판(135b) 상에 미세 LED 패키지(1210)가 전사될 위치마다 배치된다. The sheet conveying unit 140 moves each of the fine LED packages 1210, 1214, 1218 produced through the dicing process to the counter substrate 135b. The counter substrate 135b may include a solder 610, and the solder 610 is disposed on the counter substrate 135b at each position where the micro LED package 1210 is to be transferred.

이때, 상대 기판(135b)은 비아(1025)를 이용해 미세 LED 패키지 내 포함된 드라이버 소자(710)와 연결된다. 미세 LED 패키지 내 RGB LED(210, 220, 230)는 제2 임시 시트(1010) 내에서 드라이버 소자(710)와 연결되고 있기 때문에, RGB LED(210, 220, 230)가 별도로 상대 기판(135b)과 연결될 필요는 없다. 따라서 미세 LED 패키지(1210)는 비아(1025)를 거쳐 드라이버 소자(710) 만이 상대 기판(135b)과 연결된다.In this case, the counter substrate 135b is connected to the driver device 710 included in the micro LED package using the via 1025. Since the RGB LEDs 210, 220, 230 in the fine LED package are connected to the driver element 710 in the second temporary sheet 1010, the RGB LEDs 210, 220, 230 are separately connected to the counter substrate 135b. It does not have to be connected with. Therefore, only the driver device 710 is connected to the counter substrate 135b through the via 1025 of the micro LED package 1210.

도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 RGB LED 및 센서가 각각 배치된 필름을 도시한 도면이다.FIG. 13 is a view illustrating films in which RGB LEDs and sensors are disposed according to a fourth embodiment of the present invention.

미세 LED 패키지 내 포함될 RGB LED(210, 220, 230) 및 센서(1310)가 배치된 필름(125a, 125b, 125c, 125d)이 준비된다. 제4 실시예에서는 미세 LED 패키지 내 RGB LED 각각(210, 220, 230)과 함께 센서(1310)도 포함됨에 따라, RGB LED 및 드라이버 소자(710)가 각각 배치된 필름(125a, 125b, 125c, 125d)이 준비된다.Films 125a, 125b, 125c, and 125d on which RGB LEDs 210, 220, and 230 and sensors 1310 to be included in the fine LED package are disposed are prepared. In the fourth embodiment, as the sensors 1310 are included together with the RGB LEDs 210, 220, and 230 in the micro LED package, the films 125a, 125b, 125c, respectively, in which the RGB LEDs and the driver elements 710 are disposed, respectively. 125d) is ready.

제1 실시예와 마찬가지로, 각 RGB LED(210, 220, 230) 및 센서(1310)는 각 전극(215, 225, 235, 715)이 필름(125a, 125b, 125c, 125d)을 향하도록 배치된다.As in the first embodiment, each of the RGB LEDs 210, 220, 230 and the sensor 1310 are arranged so that the electrodes 215, 225, 235, 715 face the films 125a, 125b, 125c, 125d. .

여기서, 센서(1310)는 손가락 등 LED 패키지로의 접촉을 감지하여 접촉된 부위의 좌표를 감지할 수 있는 센서로서, 광 센서, 터치 센서 등을 포함한다. 일 예로, 센서(1310)는 광 센서 중 PD 센서(Photo Diode Sensor)로 구현될 수 있으며, 조사하는 빛이 손가락 등 접촉되는 부위에 의해 차단되는 지를 감지하고, 차단에 따른 출력 저하를 감지하여 해당 부분의 좌표를 얻을 수 있다. 이처럼, 센서(1310)는 접촉을 감지하여 접촉된 부위의 좌표를 감지할 수 있다.Here, the sensor 1310 is a sensor that can sense the contact with the LED package such as a finger to detect the coordinates of the contacted area, and includes an optical sensor, a touch sensor, and the like. For example, the sensor 1310 may be implemented as a PD sensor (Photo Diode Sensor) of the optical sensor, and detects whether the light to be irradiated is blocked by the contact area such as a finger, and detects the output degradation due to blocking Get the coordinates of the part. As such, the sensor 1310 may detect the contact to detect the coordinate of the contacted part.

도 14는 본 발명의 제4 실시예에 따른 필름에 배치된 RGB LED 및 센서가 제1 임시 시트로 전사되는 공정을 도시한 도면이다.14 is a view illustrating a process of transferring an RGB LED and a sensor disposed on a film according to a fourth embodiment of the present invention to a first temporary sheet.

레이저 스캐닝부(120)는 필름(125a, 125b, 125c, 125e)에 배치된 RGB LED(210, 220, 230) 및 센서(1310)가 제1 임시 시트(310)에 전사되도록 레이저의 방향을 제어한다. 이에 따라, RGB LED(210, 220, 230) 및 센서(1310)가 제1 임시 시트(310)로 전사된다.The laser scanning unit 120 controls the direction of the laser so that the RGB LEDs 210, 220, 230 and the sensors 1310 disposed on the films 125a, 125b, 125c, and 125e are transferred to the first temporary sheet 310. do. Accordingly, the RGB LEDs 210, 220, 230 and the sensor 1310 are transferred to the first temporary sheet 310.

도 15는 본 발명의 제4 실시예에 따른 RGB LED이 각각 배치된 제2 임시 시트를 몰딩하고, 제2 임시 시트에 드라이버 소자를 전사하는 공정을 도시한 도면이다.FIG. 15 illustrates a process of molding a second temporary sheet on which RGB LEDs according to a fourth embodiment of the present invention are disposed, and transferring the driver element to the second temporary sheet.

시트 이송부(140)에 의해 RGB LED(210, 220, 230) 및 센서(1310)는 방향이 전환되며 제1 임시 시트(310) 상에서 제2 임시 시트(410)로 이동된다. By the sheet conveying unit 140, the RGB LEDs 210, 220, 230 and the sensor 1310 are changed in direction and are moved from the first temporary sheet 310 to the second temporary sheet 410.

몰딩부(150)는 제2 임시 시트(410) 상에 배치된 각 소자(210, 220, 230, 1310)를 몰딩한다. The molding part 150 molds each of the elements 210, 220, 230, and 1310 disposed on the second temporary sheet 410.

다이싱부(160)는 몰딩된 각 소자(210, 220, 230, 1310)들에 대해 각 소자들이 각 미세 LED 패키지(1510, 1514, 1518) 내에 하나씩 포함되도록 다이싱한다.The dicing unit 160 dicing each of the devices 210, 220, 230, and 1310 to be molded so that each device is included in each of the fine LED packages 1510, 1514, and 1518.

시트 이송부(140)는 다이싱 공정을 거쳐 생산된 각 미세 LED 패키지(1510)를 상대 기판(135a)으로 이동시킨다. 미세 LED 패키지(1510)에는 드라이버 소자가 포함되어 있지 않기 때문에, 상대 기판(135a)는 TFT 기판과 같은 제어 기판으로 구현된다.The sheet conveying unit 140 moves each of the fine LED packages 1510 produced through the dicing process to the counter substrate 135a. Since the driver device is not included in the fine LED package 1510, the counter substrate 135a is implemented as a control substrate such as a TFT substrate.

이처럼, 미세 LED 패키지 내 RGB LED와 함께 접촉과 접촉된 부분의 좌표를 감지하는 센서가 포함됨으로써, 미세 LED를 이용하며 터치 스크린과 같이 접촉을 감지하기 위한 디스플레이를 구현함에 있어, 별도로 접촉을 감지할 센서를 배치하거나 배치하는 공정을 거쳐야 하는 공간적, 시간적 불편을 해소할 수 있다.As such, the sensor includes a sensor for detecting coordinates of a contact and a contact with the RGB LEDs in the micro LED package, and thus, in implementing a display for detecting a touch such as a touch screen using a micro LED, It can solve the spatial and temporal inconvenience of having to go through the process of arranging or arranging sensors.

도 16은 본 발명의 제5 실시예에 따른 RGB LED, 드라이버 소자 및 센서가 각각 배치된 필름을 도시한 도면이다.FIG. 16 illustrates a film in which RGB LEDs, a driver element, and a sensor are disposed according to the fifth embodiment of the present invention.

미세 LED 패키지 내 포함될 RGB LED(210, 220, 230), 드라이버 소자(710) 및 센서(1310)가 배치된 필름(125a, 125b, 125c, 125d, 125e)이 준비된다. 제5 실시예에서는 미세 LED 패키지 내 각 RGB LED(210, 220, 230), 드라이버 소자(710) 및 센서(1310) 모두가 포함됨에 따라, 각 소자(210, 220, 230, 710, 1310)가 배치된 각 필름(125a, 125b, 125c, 125d, 125e)이 준비된다. Films 125a, 125b, 125c, 125d, and 125e on which the RGB LEDs 210, 220, 230, the driver element 710, and the sensor 1310 to be included in the fine LED package are disposed are prepared. In the fifth embodiment, as each of the RGB LEDs 210, 220, 230, the driver element 710, and the sensor 1310 are included in the micro LED package, each element 210, 220, 230, 710, 1310 is included. Each of the placed films 125a, 125b, 125c, 125d, and 125e is prepared.

앞서 언급된 실시예들과 마찬가지로, 각 소자(210, 220, 230, 710, 1310)는 각 전극(215, 225, 235, 715, 1315)이 필름(125a, 125b, 125c, 125d, 125e)을 향하도록 배치된다.As in the aforementioned embodiments, each element 210, 220, 230, 710, 1310 is characterized in that each electrode 215, 225, 235, 715, 1315 has a film 125a, 125b, 125c, 125d, 125e. To face.

도 17은 본 발명의 제5 실시예에 따른 필름에 배치된 RGB LED, 드라이버 소자 및 센서가 제1 임시 시트로 전사되는 공정을 도시한 도면이다.FIG. 17 is a view illustrating a process of transferring an RGB LED, a driver element, and a sensor disposed on a film according to a fifth embodiment of the present invention to a first temporary sheet.

레이저 스캐닝부(120)는 필름(125a, 125b, 125c, 125d, 125e)에 배치된 RGB LED(210, 220, 230), 드라이버 소자(710) 및 센서(1310) 모두가 제1 임시 시트(310)에 전사되도록 레이저의 방향을 제어한다. The laser scanning unit 120 includes all of the RGB LEDs 210, 220, and 230, the driver device 710, and the sensor 1310 disposed on the films 125a, 125b, 125c, 125d, and 125e. The direction of the laser is controlled so as to be transferred.

전술한 바와 같이, 드라이버 소자(710)는 반드시 RGB LED(210, 2220, 230)의 측면에 배치되지 않을 수 있다.As described above, the driver element 710 may not necessarily be disposed on the side of the RGB LEDs 210, 2220, and 230.

도 18은 본 발명의 제5 실시예에 따른 제2 임시 시트를 몰딩하고 다이싱하여 생성된 미세 LED 패키지를 상대기판으로 옮기는 각 공정을 도시한 도면이다.FIG. 18 is a diagram illustrating each process of transferring a fine LED package generated by molding and dicing a second temporary sheet according to a fifth exemplary embodiment of the present invention to a counter substrate.

시트 이송부(140)에 의해 RGB LED(210, 220, 230), 드라이버 소자(710) 및 센서(1310)는 방향이 전환되며 제1 임시 시트(310) 상에서 제2 임시 시트(410)로 이동된다. By the sheet conveying unit 140, the RGB LEDs 210, 220, 230, the driver element 710, and the sensor 1310 are redirected and are moved from the first temporary sheet 310 to the second temporary sheet 410. .

몰딩부(150)는 제2 임시 시트(410) 상에 배치된 각 소자(210, 220, 230, 710, 1310)를 몰딩한다. The molding part 150 molds each of the elements 210, 220, 230, 710, and 1310 disposed on the second temporary sheet 410.

다이싱부(160)는 몰딩된 각 소자(210, 220, 230, 710, 1310)들에 대해 각 소자들이 각 미세 LED 패키지(1810, 1815) 내에 하나씩 포함되도록 다이싱한다.The dicing unit 160 dicing each of the devices 210, 220, 230, 710, and 1310 to be molded into each of the micro LED packages 1810 and 1815.

시트 이송부(140)는 다이싱 공정을 거쳐 생산된 각 미세 LED 패키지(1810)를 상대 기판(135b)으로 이동시킨다. 미세 LED 패키지(1510)에는 드라이버 소자(710)가 포함되어 있기 때문에, 상대 기판(135b)는 non-TFT 기판으로 구현될 수 있다.The sheet transfer unit 140 moves each of the fine LED packages 1810 produced through the dicing process to the counter substrate 135b. Since the micro LED package 1510 includes the driver device 710, the counter substrate 135b may be implemented as a non-TFT substrate.

도 19는 본 발명의 제6 실시예에 따른 RGB LED 및 센서가 각각 배치된 제1 임시 시트 및 제2 임시 시트를 도시한 도면이다.FIG. 19 illustrates a first temporary sheet and a second temporary sheet on which RGB LEDs and a sensor according to a sixth embodiment of the present invention are disposed.

제6 실시예에서는 미세 LED 패키지 내 각 RGB LED(210, 220, 230), 드라이버 소자(710) 및 센서(1310) 모두가 포함된다. 다만 제6 실시예에서 제1 임시 시트(310) 상에는 RGB LED(210, 220, 230) 및 센서(1310) 만이 전사된다.In the sixth embodiment, each of the RGB LEDs 210, 220, 230, the driver element 710, and the sensor 1310 in the fine LED package is included. However, in the sixth embodiment, only the RGB LEDs 210, 220, and 230 and the sensor 1310 are transferred onto the first temporary sheet 310.

이후, 시트 이송부(140)에 의해 RGB LED(210, 220, 230) 및 센서(1310)는 방향이 전환되며 제1 임시 시트(310) 상에서 제2 임시 시트(1010)로 이동된다.Thereafter, the RGB LEDs 210, 220, 230 and the sensor 1310 are switched by the sheet conveying unit 140 and are moved from the first temporary sheet 310 to the second temporary sheet 1010.

제2 임시 시트(1010)는 돌출부(1020), 돌출부(1020) 표면 상에 비아(1025) 및 각 돌출부 사이에 홈(1015)을 구비한다.The second temporary sheet 1010 has protrusions 1020, vias 1025 on the surface of the protrusions 1020 and grooves 1015 between each protrusion.

도 20은 본 발명의 제6 실시예에 따른 RGB LED 및 센서가 각각 배치된 제2 임시 시트를 몰딩하고, 제2 임시 시트에 드라이버 소자를 전사하는 공정을 도시한 도면이다.FIG. 20 is a view illustrating a process of molding a second temporary sheet on which RGB LEDs and a sensor are disposed, and transferring a driver element to the second temporary sheet according to the sixth embodiment of the present invention.

몰딩부(150)는 제2 임시 시트(1010)의 일 표면 상에 배치된 RGB LED(210, 220, 230) 및 센서(1310)를 몰딩한다. The molding part 150 molds the RGB LEDs 210, 220, and 230 and the sensor 1310 disposed on one surface of the second temporary sheet 1010.

몰딩공정이 수행된 후, 시트 이송부(140)는 제2 임시 시트(1010)를 상하 반전이 되도록 회전시킨다. 시트 이송부(140)는 제2 임시 시트(1010)를 회전시킴으로써, 제2 임시 시트(1010) 내 구비된 홈(1015)으로 드라이버 소자(710)가 전사될 수 있도록 한다. 레이저 스캐닝부(120)는 레이저에 의해 제2 임시 시트(1010)의 홈(1015)으로 드라이버 소자(710)가 전사될 수 있도록 레이저의 방향을 제어한다. 이에 따라, 제2 임시 시트(1010)의 일면에는 몰딩된 RGB LED(210, 220, 230)와 센서(1310)가 존재하고, 다른 일면에는 홈(1015)으로 전사된 드라이버 소자(710)가 존재하게 된다. 드라이버 소자(710)는 제2 임시 시트(1010)에 의해 RGB LED(210, 220, 230) 및 센서(1310)와 연결된다. After the molding process is performed, the sheet conveying unit 140 rotates the second temporary sheet 1010 to be upside down. The sheet conveying unit 140 may rotate the second temporary sheet 1010 to transfer the driver element 710 to the groove 1015 provided in the second temporary sheet 1010. The laser scanning unit 120 controls the direction of the laser so that the driver element 710 can be transferred to the groove 1015 of the second temporary sheet 1010 by the laser. Accordingly, molded RGB LEDs 210, 220, and 230 and a sensor 1310 exist on one surface of the second temporary sheet 1010, and a driver element 710 transferred to the groove 1015 exists on the other surface. Done. The driver element 710 is connected to the RGB LEDs 210, 220, 230 and the sensor 1310 by the second temporary sheet 1010.

도 21은 본 발명의 제6 실시예에 따른 제2 임시 시트를 재몰딩하고, 다이싱하여 생성된 미세 LED 패키지를 상대기판으로 옮기는 각 공정을 도시한 도면이다.FIG. 21 illustrates each process of remolding a second temporary sheet according to a sixth embodiment of the present invention and transferring a fine LED package generated by dicing to a counter substrate.

몰딩부(150)는 제2 임시 시트(1010)의 다른 일면 상으로 전사된 드라이버 소자(710)를 몰딩한다. The molding part 150 molds the driver element 710 transferred onto the other surface of the second temporary sheet 1010.

시트 이송부(140)는 제2 임시 시트(1010)를 회전시키고, 다이싱부(160)는 몰딩된 각 소자(210, 220, 230, 710, 1310)들에 대해 각 소자들이 각 미세 LED 패키지(2110, 2114, 2118) 내에 하나씩 포함되도록 다이싱한다.The sheet conveying unit 140 rotates the second temporary sheet 1010, and the dicing unit 160 includes the respective micro LED packages 2110 for each of the molded elements 210, 220, 230, 710, and 1310. 2114 and 2118 to be included one by one.

시트 이송부(140)는 다이싱 공정을 거쳐 생산된 각 미세 LED 패키지(2110, 2114, 2118)를 상대 기판(135b)으로 이동시킨다. 이때, 상대 기판(135b)은 비아(1025)를 이용해 미세 LED 패키지 내 포함된 드라이버 소자(710)와 연결된다. The sheet conveying unit 140 moves each of the fine LED packages 2110, 2114, and 2118 produced through the dicing process to the counter substrate 135b. In this case, the counter substrate 135b is connected to the driver device 710 included in the micro LED package using the via 1025.

도 22는 본 발명의 제7 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 상대기판으로 옮기는 공정을 도시한 도면이다.FIG. 22 illustrates a process of transferring a fine LED package to a counter substrate according to a seventh embodiment of the present invention.

시트 이송부(140)는 미세 LED 패키지를 바로 상대 기판(135a 또는 135b)으로 이동시킬 수 있다. 그러나 시트 이송부(140)는 미세 LED 패키지를 본 발명의 제7 실시예에 따른 제2 기판(2210)으로 이동시킨 후, 상대 기판(135a 또는 135b)으로 이동시킬 수 있다.The sheet transfer unit 140 may move the fine LED package directly to the counter substrate 135a or 135b. However, the sheet conveying unit 140 may move the fine LED package to the second substrate 2210 according to the seventh embodiment of the present invention and then move to the counter substrate 135a or 135b.

시트 이송부(140)는 다이싱 공정이 완료된 제1 실시예에 따른 미세 LED 패키지(510), 제2 실시예에 따른 미세 LED 패키지(910), 제4 실시예에 따른 미세 LED 패키지(1510) 또는 제5 실시예에 따른 미세 LED 패키지(1810)를 제2 기판(2210)으로 이동시킨다. 미세 LED 패키지 내에는 많은 전극이 존재하게 된다. 각 소자로 전원을 공급할 전극 및 드라이버 소자가 존재하지 않는 경우, 각 소자의 동작을 제어할 데이터 신호의 유출입 전극이 존재한다. 이에 따라, 상대 기판은 수 많은 솔더 등의 배선을 갖춰야 하기 때문에, 배선 밀도가 높아진다.The sheet conveying unit 140 may include the fine LED package 510 according to the first embodiment, the fine LED package 910 according to the second embodiment, the fine LED package 1510 according to the fourth embodiment, or the dicing process is completed. The fine LED package 1810 according to the fifth embodiment is moved to the second substrate 2210. There are many electrodes in the micro LED package. When there is no electrode and a driver element for supplying power to each element, there is an outflow electrode of a data signal to control the operation of each element. As a result, the partner substrate must have a large number of wirings such as solder, so that the wiring density becomes high.

이러한 문제를 해소하고자, 시트 이송부(140)는 각 미세 LED 패키지(510, 910, 1510, 1810)를 제2 기판(2210)으로 이동시킨다. 제2 기판(2210)은 전술한 배선 밀도를 낮추기 위한 기판으로서, 미세 LED 패키지 내 포함된 각 소자는 제2 기판(2210) 내부로 연결되어, 제2 기판(2210)이 포함된 미세 LED 패키지는 상대 기판(135a 또는 135b)과 한 쌍의 전원 전극과 데이터 유출입 전극으로만 연결된다. 이에 따라, 제2 기판(2210)을 포함하는 미세 LED 패키지가 전사될 상대 기판(135a 또는 135b)은 상대적으로 현저히 낮은 배선 밀도를 갖출 수 있다. 도 22를 참조하면, 상대 기판(135a 또는 135b) 상에 솔더(610)가 4개 만이 구비되어 있는 것을 볼 수 있다. To solve this problem, the sheet transfer unit 140 moves each of the fine LED packages 510, 910, 1510, and 1810 to the second substrate 2210. The second substrate 2210 is a substrate for lowering the above-described wiring density, and each element included in the fine LED package is connected to the second substrate 2210, so that the fine LED package including the second substrate 2210 is formed. It is connected only to the counter substrate 135a or 135b, a pair of power supply electrodes, and a data flow-in / out electrode. Accordingly, the counter substrate 135a or 135b to which the fine LED package including the second substrate 2210 is transferred may have a relatively low wiring density. Referring to FIG. 22, it can be seen that only four solders 610 are provided on the counter substrate 135a or 135b.

다이싱부(1610)는 각 미세 LED 패키지(510, 910, 1510, 1810) 내에 제2 기판(2210)이 각각 포함되도록 다이싱한다.The dicing unit 1610 dicing the second substrate 2210 in each of the fine LED packages 510, 910, 1510, and 1810.

시트 이송부(1410)는 다이싱 공정을 거친 미세 LED 패키지를 상대 기판(135a 또는 135b)으로 전사한다.The sheet transfer unit 1410 transfers the fine LED package that has undergone the dicing process to the counter substrate 135a or 135b.

도 23는 본 발명의 제1 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 생산하는 방법을 도시한 도면이다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 생산하는 방법은 도 2 내지 도 6을 참조하여 상세히 설명하였기 때문에, 자세한 설명은 생략하기로 한다.FIG. 23 is a diagram illustrating a method of manufacturing a fine LED package according to a first embodiment of the present invention. Since the method of producing the fine LED package according to the first embodiment of the present invention has been described in detail with reference to FIGS. 2 to 6, detailed description thereof will be omitted.

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 R LED, G LED 및 B LED가 각각 배치된 필름으로부터 R LED, G LED 및 B LED를 임시 시트(Sheet)에 전사한다(S2310)The fine LED package production apparatus 100 transfers the R LEDs, the G LEDs, and the B LEDs to a temporary sheet from the film in which the R LEDs, the G LEDs, and the B LEDs are disposed, respectively (S2310).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 임시 시트 상에 전사된 R LED, G LED 및 B LED를 몰딩한다(S2320).The fine LED package production apparatus 100 molds the R LED, the G LED, and the B LED transferred on the temporary sheet (S2320).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 몰딩된 R LED, G LED 및 B LED에 대해 R LED, G LED 및 B LED 각각이 적어도 하나씩 포함되도록 다이싱한다(S2330).The fine LED package production apparatus 100 dices so that each of the R LED, the G LED, and the B LED is included in the molded R LED, the G LED, and the B LED (S2330).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 다이싱된 각 미세 LED 패키지를 각각 상대 기판으로 이동시킨다(S2340).The fine LED package production apparatus 100 moves each diced fine LED package to the counter substrate (S2340).

도 24는 본 발명의 제2 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 생산하는 방법을 도시한 도면이다. 본 발명의 제2 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 생산하는 방법은 도 7 내지 도 9를 참조하여 상세히 설명하였기 때문에, 자세한 설명은 생략하기로 한다.24 is a diagram illustrating a method of producing a fine LED package according to a second embodiment of the present invention. Since the method for producing the fine LED package according to the second embodiment of the present invention has been described in detail with reference to FIGS. 7 to 9, a detailed description thereof will be omitted.

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 R LED, G LED, B LED 및 드라이버가 각각 배치된 필름으로부터 R LED, G LED, B LED 및 드라이버를 임시 시트에 전사한다(S2410).The fine LED package production apparatus 100 transfers the R LEDs, the G LEDs, the B LEDs, and the drivers to the temporary sheet from the films in which the R LEDs, the G LEDs, the B LEDs, and the drivers are respectively disposed (S2410).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 임시 시트 상에 전사된 R LED, G LED, B LED 및 드라이버를 몰딩한다(2420).The fine LED package production apparatus 100 molds 2 LEDs, R LEDs, G LEDs, B LEDs, and drivers transferred on the temporary sheet (2420).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 몰딩된 R LED, G LED, B LED 및 드라이버에 대해 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 각각이 적어도 하나씩 포함되도록 다이싱한다(S2430)The fine LED package production apparatus 100 dices the molded R LED, the G LED, the B LED, and the driver so that at least one of each of the R LED, the G LED, the B LED, and the driver is included (S2430).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 다이싱된 각 미세 LED 패키지를 각각 상대 기판으로 이동시킨다(S2440).The fine LED package producing apparatus 100 moves each diced fine LED package to the counter substrate (S2440).

도 25는 본 발명의 제3 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 생산하는 방법을 도시한 도면이다. 본 발명의 제3 실시예에 따른 미세 LED 패키지를 생산하는 방법은 도 10 내지 도 12를 참조하여 상세히 설명하였기 때문에, 자세한 설명은 생략하기로 한다.25 is a diagram illustrating a method of manufacturing a fine LED package according to a third embodiment of the present invention. Since the method for producing the fine LED package according to the third embodiment of the present invention has been described in detail with reference to FIGS. 10 to 12, a detailed description thereof will be omitted.

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 R LED, G LED 및 B LED가 각각 배치된 필름으로부터 R LED, G LED 및 B LED를 임시 시트의 일면에 전사한다(S25210).The fine LED package production apparatus 100 transfers the R LEDs, the G LEDs, and the B LEDs to one surface of the temporary sheet from the films in which the R LEDs, the G LEDs, and the B LEDs are disposed, respectively (S25210).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 임시 시트의 일면에 전사된 R LED, G LED 및 B LED를 몰딩한다(S2520).The fine LED package production apparatus 100 molds the R LED, the G LED, and the B LED transferred to one surface of the temporary sheet (S2520).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 임시 시트가 상하 반전이 되도록 임시 시트를 회전한다(S2530).Fine LED package production apparatus 100 rotates the temporary sheet so that the temporary sheet is upside down (S2530).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 임시 시트의 다른 일면에 드라이버를 전사한다(S2540).The fine LED package production apparatus 100 transfers the driver to the other side of the temporary sheet (S2540).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 임시 시트의 다른 일면에 전사된 드라이버를 몰딩한다(S2550).The fine LED package production apparatus 100 molds the driver transferred to the other surface of the temporary sheet (S2550).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 몰딩된 R LED, G LED, B LED 및 드라이버에 대해 R LED, G LED, B LED 및 드라이버각각이 적어도 하나씩 포함되도록 다이싱한다(S2560).The fine LED package production apparatus 100 dices the molded R LED, the G LED, the B LED, and the driver so that each of the R LED, the G LED, the B LED, and the driver is included at least one (S2560).

미세 LED 패키지 생산장치(100)는 다이싱된 각 미세 LED 패키지를 각각 상대 기판으로 이동시킨다(S2570).The fine LED package production apparatus 100 moves each diced fine LED package to the counter substrate (S2570).

도 23 내지 25에서는 각각의 과정을 순차적으로 실행하는 것으로 기재하고 있으나, 이는 본 발명의 일 실시예의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것이다. 다시 말해, 본 발명의 일 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 일 실시예의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 각각의 도면에 기재된 과정의 순서를 변경하여 실행하거나 과정 중 하나 이상의 과정을 병렬적으로 실행하는 것으로 다양하게 수정 및 변형하여 적용 가능할 것이므로, 도 23 내지 25는 시계열적인 순서로 한정되는 것은 아니다.23 to 25 are described as sequentially executing each process, but this is merely illustrative of the technical idea of an embodiment of the present invention. In other words, a person of ordinary skill in the art to which an embodiment of the present invention belongs may execute the process described in each drawing by changing the order of one or more of the processes without departing from the essential characteristics of the embodiment of the present invention. 23 and 25 are not limited to the time series since the processes may be variously modified and modified to be executed in parallel.

한편, 도 23 내지 25에 도시된 과정들은 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 즉, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 마그네틱 저장매체(예를 들면, 롬, 플로피 디스크, 하드디스크 등), 광학적 판독 매체(예를 들면, 시디롬, 디브이디 등) 및 캐리어 웨이브(예를 들면, 인터넷을 통한 전송)와 같은 저장매체를 포함한다. 또한 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어 분산방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다.Meanwhile, the processes illustrated in FIGS. 23 to 25 may be embodied as computer readable codes on a computer readable recording medium. The computer-readable recording medium includes all kinds of recording devices in which data that can be read by a computer system is stored. That is, the computer-readable recording medium may be a magnetic storage medium (for example, ROM, floppy disk, hard disk, etc.), an optical reading medium (for example, CD-ROM, DVD, etc.) and a carrier wave (for example, the Internet Storage medium). The computer readable recording medium can also be distributed over network coupled computer systems so that the computer readable code is stored and executed in a distributed fashion.

이상의 설명은 본 실시예의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 실시예들은 본 실시예의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 실시예의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 실시예의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 실시예의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present embodiment, and those skilled in the art to which the present embodiment belongs may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present embodiment. Therefore, the present embodiments are not intended to limit the technical idea of the present embodiment but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present embodiment is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present embodiment should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present embodiment.

100: 미세 LED 패키지 생산장치
110: 레이저 조사부
115: 미러부
120: 필름 이송부
125: 필름
130: 기판 이송부
135: 상대 기판
140: 시트 이송부
150: 몰딩부
160: 다이싱부
170: 제어부
210: R LED
215, 225, 235, 715, 1315: 전극
220: G LED
230: B LED
310: 제1 임시 시트
410, 1010: 제2 임시 시트
420: 파우더
430: 몰딩
510, 514, 518, 910, 914, 918, 1210, 1214, 1218, 1510, 1514, 1518, 1810, 1815, 2110, 2114, 2118: 미세 LED 패키지
610: 솔더
710: 드라이버 소자
1015: 홈
1020: 돌출부
1025: 비아
1310: 센서
2210: 제2 기판
100: fine LED package production equipment
110: laser irradiation unit
115: mirror portion
120: film transfer unit
125: film
130: substrate transfer unit
135: counter substrate
140: sheet conveying part
150: molding part
160: dicing part
170: control unit
210: R LED
215, 225, 235, 715, 1315: electrode
220: G LED
230: B LED
310: first temporary sheet
410, 1010: second temporary sheet
420: powder
430: molding
510, 514, 518, 910, 914, 918, 1210, 1214, 1218, 1510, 1514, 1518, 1810, 1815, 2110, 2114, 2118: fine LED package
610: solder
710: driver element
1015: home
1020: protrusion
1025: Via
1310: sensor
2210: second substrate

Claims (7)

미세 LED 패키지 생산 장치에 있어서,
외부로 레이저를 조사하는 레이저 조사부;
상기 레이저 조사부에서 조사되는 레이저가 R LED, G LED, B LED 및 드라이버(Driver) 소자가 각각 배치된 각 필름의 기 설정된 위치로 조사되도록 제어하는 레이저 스캐닝부;
시트(Sheet)를 이용하여 상기 미세 LED 패키지 또는 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버를 일시적으로 배치하거나 회전시키는 시트 이송부;
상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버를 몰딩하는 몰딩부;
몰딩된 R LED, G LED, B LED 및 드라이버에 대해 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 각각이 상기 미세 LED 패키지 내 적어도 하나씩 포함되도록 다이싱하는 다이싱부;
상기 미세 LED 패키지가 전사될 상대 기판을 배치하고 이동시키는 기판 이송부; 및
상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 각각이 필름으로부터 상기 시트로 전사되도록 하고, 상기 시트 상에서 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 각각이 적어도 하나씩 포함된 상기 미세 LED 패키지가 생산되어, 상기 미세 LED 패키지가 상기 시트에서 상기 상대 기판으로 전사되도록 상기 미세 LED 패키지 생산 장치 내 각 구성을 제어하는 제어부를 포함하며,
상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 소자가 각각 배치된 각 필름은 열이 발생하는 경우 부피적으로 팽창하는 것을 특징으로 하는 미세 LED 패키지 생산 장치.
In the micro LED package production apparatus,
A laser irradiation unit for irradiating a laser to the outside;
A laser scanning unit for controlling the laser irradiated from the laser irradiation unit to be irradiated to a predetermined position of each film in which the R LED, the G LED, the B LED, and the driver elements are respectively disposed;
A sheet conveying unit for temporarily placing or rotating the fine LED package or the R LED, G LED, B LED and a driver by using a sheet;
A molding part molding the R LED, the G LED, the B LED, and a driver;
A dicing unit for dicing a molded R LED, a G LED, a B LED, and a driver so that each of the R LED, G LED, B LED, and the driver is included in at least one of the micro LED package;
A substrate transfer unit for placing and moving a counter substrate to which the fine LED package is to be transferred; And
The micro LED package is produced such that each of the R LEDs, G LEDs, B LEDs, and drivers is transferred from the film to the sheet, and each of the R LEDs, G LEDs, B LEDs, and drivers is included on the sheet. A control unit for controlling each component in the micro LED package production apparatus so that the micro LED package is transferred from the sheet to the counter substrate;
Each of the R LED, G LED, B LED and the driver element is disposed, each film is fine LED package production apparatus, characterized in that the volume expands when heat is generated.
제1항에 있어서,
상기 레이저 조사부는,
상기 미세 LED 패키지가 제2 기판상으로 전사되도록 제어시키는 것을 특징으로 하는 미세 LED 패키지 생산 장치.
The method of claim 1,
The laser irradiation unit,
Fine LED package production apparatus, characterized in that for controlling the transfer to the fine LED package on the second substrate.
제2항에 있어서,
상기 레이저 조사부는,
상기 미세 LED 패키지와 상기 제2 기판을 포함하는 제2 미세 LED 패키지가 상기 상대 기판으로 전사되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 미세 LED 패키지 생산 장치.
The method of claim 2,
The laser irradiation unit,
And controlling a second fine LED package including the fine LED package and the second substrate to be transferred to the counter substrate.
제1항에 있어서,
상기 상대 기판은,
상기 미세 LED 패키지가 배치될 표면 상에 솔더(Solder)를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 LED 패키지 생산 장치.
The method of claim 1,
The counter substrate,
Micro LED package production apparatus characterized in that it comprises a solder (Solder) on the surface on which the micro LED package is to be placed.
R LED, G LED, B LED 및 드라이버(Driver) 소자가 각각 배치된 각 필름으로부터 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 소자를 임시 시트(Sheet)에 전사하는 전사과정;
상기 임시 시트 상에 전사된 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 소자를 몰딩하는 몰딩과정;
몰딩된 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 소자에 대해 상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 소자 각각이 적어도 하나씩 포함되도록 다이싱하여 미세 LED 패키지를 생성하는 생성과정; 및
상기 생성과정에서 생성된 각 미세 LED 패키지를 각각 상대 기판으로 이동시키는 이동과정을 포함하며,
상기 R LED, G LED, B LED 및 드라이버 소자가 각각 배치된 각 필름은 열이 발생하는 경우 부피적으로 팽창하는 것을 특징으로 하는 미세 LED 패키지 생산 방법.
A transfer process of transferring the R LED, the G LED, the B LED, and the driver device to a temporary sheet from each film in which the R LED, the G LED, the B LED, and the driver device are disposed;
A molding process of molding the R LED, the G LED, the B LED, and the driver elements transferred onto the temporary sheet;
Generating a fine LED package by dicing a molded R LED, a G LED, a B LED, and a driver device to each include at least one of the R LED, G LED, B LED, and a driver device; And
And moving each of the minute LED packages generated in the generation process to the counter substrate, respectively.
The method of producing a fine LED package, characterized in that each of the films, each of which is disposed R, G, B LED and driver elements are expanded in volume when heat is generated.
제5항에 있어서,
상기 미세 LED 패키지를 제2 기판상으로 전사시키는 전사과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 LED 패키지 생산 방법.
The method of claim 5,
The method of producing a fine LED package, characterized in that it further comprises a transfer process for transferring the fine LED package on a second substrate.
제6항에 있어서,
상기 미세 LED 패키지와 상기 제2 기판을 포함하는 제2 미세 LED 패키지를 상기 상대 기판으로 전사시키는 제2 전사과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 LED 패키지 생산 방법.
The method of claim 6,
And a second transfer process of transferring a second fine LED package including the fine LED package and the second substrate to the counter substrate.
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