KR102049742B1 - Liquid crystal display device and Method of fabricating the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 광 투과율 및 콘트라스트비를 향상하면서 전압 오프 시의 응답성을 개선할 수 있는 액정 표시 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명에 따른 액정 표시 장치는, 제 1 기판과, 제 1 기판에 대향되는 제 2 기판과, 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 개재된 액정층과, 제 1 기판의 액정층 측의 면 상에 형성되고, 제 1 기판 및 제 2 기판의 기판면과 수평 방향인 전계를 형성 가능하게 구성된 복수의 전극과, 복수의 전극 중 일부의 위에 형성된 제 1 배향막과, 복수의 전극 사이의 제 1 기판 상 및 복수의 전극 중 나머지 부분의 위에 형성된 제 2 배향막과, 제 2 기판의 액정층 측에 형성된 제 3 배향막을 가지고, 제 1 배향막의 앵커링 에너지가, 제 2 및 제 3 배향막의 앵커링 에너지보다 작다.
An object of this invention is to provide the liquid crystal display device which can improve the responsiveness at the time of voltage OFF, improving light transmittance and contrast ratio.
A liquid crystal display device according to the present invention includes a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate, and a surface on the liquid crystal layer side of the first substrate. A plurality of electrodes formed on the substrate and configured to form an electric field horizontal to the substrate surfaces of the first substrate and the second substrate, a first alignment film formed on a part of the plurality of electrodes, and a first substrate between the plurality of electrodes It has a 2nd alignment film formed on the remaining part of an image and several electrodes, and the 3rd alignment film formed in the liquid crystal layer side of a 2nd board | substrate, and the anchoring energy of a 1st alignment film is smaller than the anchoring energy of a 2nd and 3rd alignment film. .

Figure R1020180006548
Figure R1020180006548

Description

액정 표시 장치 및 액정 표시 장치의 제조 방법{Liquid crystal display device and Method of fabricating the same}Liquid crystal display device and method of fabricating the same

본 발명은, 액정 표시 장치 및 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다. This invention relates to a liquid crystal display device and a manufacturing method of a liquid crystal display device.

액정 패널의 표시 방식으로서, 유리 기판에 형성된 전극에 전압을 인가하여 기판면과 수평 방향인 전계를 형성함으로써 표시를 제어하는 IPS(In-Plane Switching) 방식이 알려져 있다. IPS 방식에서는, 액정 패널의 시야각 방향에 관계없이 액정 분자의 외관 길이(굴절률 타원체)가 거의 일정해지므로 시야각 특성이 뛰어나다. As a display method of a liquid crystal panel, an In-Plane Switching (IPS) method is known in which a display is controlled by applying a voltage to an electrode formed on a glass substrate to form an electric field horizontal to the substrate surface. In the IPS method, since the appearance length (refractive index ellipsoid) of the liquid crystal molecules becomes substantially constant regardless of the viewing angle direction of the liquid crystal panel, the viewing angle characteristic is excellent.

액정 패널에서는, 전계가 인가되지 않은 상태에서 액정 분자가 소정의 방향을 따라서 배향되도록 액정 분자의 배향 방향이 규제되고 있다. IPS 방식의 액정 패널에 있어서 액정 분자의 배향 방향을 규제하기 위한 방법으로서는 러빙법, 광배향법 등이 알려져 있다. 러빙법은, 기판 상에 폴리이미드 등으로 이루어지는 배향막을 형성하고, 그 배향막의 표면을 천으로 문지르는 것이다. 광배향법은, 폴리이미드막 등으로 이루어지는 배향막의 표면에 대해서 직선 편광인 자외선을 조사함으로써, 배향막의 표면에 이방성을 가지게 하는 것이다. 종래의 IPS 방식의 액정 패널에 있어서는, 액정 조성물을 협지하는 한 쌍의 기판의 내측 각각에 배향막이 형성된다(특허문헌 1).In the liquid crystal panel, the alignment direction of the liquid crystal molecules is regulated so that the liquid crystal molecules are aligned along a predetermined direction in the state where no electric field is applied. As a method for regulating the orientation direction of liquid crystal molecules in a liquid crystal panel of the IPS system, a rubbing method, a photoalignment method and the like are known. In the rubbing method, an alignment film made of polyimide or the like is formed on a substrate, and the surface of the alignment film is rubbed with a cloth. The photo-alignment method is to give anisotropy to the surface of an oriented film by irradiating the ultraviolet-ray which is linearly polarized light with respect to the surface of the oriented film which consists of polyimide films etc. In the liquid crystal panel of the conventional IPS system, an alignment film is formed in each of the inside of a pair of board | substrates which sandwich a liquid crystal composition (patent document 1).

그러나 특허문헌 1에 기재된 것과 같은 종래의 IPS 방식의 액정 패널에서는, 액정층을 협지하는 한 쌍의 기판에 각각 형성된 배향막의 배향 방향에 미묘한 어긋남이 발생하는 일이 있다. 배향막의 배향 방향의 어긋남은, 예를 들면 러빙 처리 시의 어긋남과 양 기판 합착 시의 어긋남에 기인한다. 이러한 배향 방향의 어긋남이 존재하면 전압 오프(off) 시에도 액정층의 액정 분자에 미소한 트위스트가 발생한다. 전원 오프 시의 액정 분자의 미소한 트위스트는, 블랙 표시에서의 빛 샘의 원인이 되어 콘트라스트비의 저하를 초래한다. 또한 종래의 IPS 방식의 액정 패널에서, 기판면과 수평 방향인 횡전계를 형성하기 위한 빗살 전극 상에는, 전압 온(on) 시 기판면에 수직 방향인 종전계가 형성된다. 따라서 액정 분자가 횡방향으로 충분이 트위스트 되지 않고, 그 결과 빗살 전극 상에서의 빛의 투과가 곤란해져서 액정 패널의 광 투과율이 저하되게 된다. 즉 액정 패널의 개구율이 저하되게 된다. However, in the liquid crystal panel of the conventional IPS system as described in Patent Literature 1, a slight deviation may occur in the alignment direction of the alignment film formed on the pair of substrates sandwiching the liquid crystal layer, respectively. The shift | offset | difference of the orientation direction of an orientation film is caused, for example by the shift | offset at the time of a rubbing process, and the shift | offset at the time of bonding of both board | substrates. If such an alignment misalignment exists, a slight twist occurs in the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer even when the voltage is off. A slight twist of the liquid crystal molecules at the time of power supply off causes a light leakage in the black display and causes a decrease in the contrast ratio. In addition, in the conventional IPS type liquid crystal panel, a vertical electric field is formed on the comb electrode for forming a transverse electric field horizontal to the substrate surface and perpendicular to the substrate surface when voltage is turned on. Accordingly, the liquid crystal molecules are not twisted sufficiently in the lateral direction, and as a result, light transmission on the comb electrode becomes difficult, resulting in a decrease in the light transmittance of the liquid crystal panel. That is, the opening ratio of the liquid crystal panel is lowered.

그래서 특허문헌 2에는, 대향 배치된 일방 기판에 약앵커링 배향막이 형성되고, 타방 기판에 강앵커링 배향막이 형성된 액정 패널이 제안되어 있다. 특허문헌 2에 기재된 액정 패널에 있어서, 약앵커링 배향막은, 전계를 인가했을 때 액정 분자의 배향 방향을 구속하는 구속력이, 강앵커링 배향막보다 작아졌다. 이와 같은 구성에 의해 특허문헌 2에 기재된 액정 패널에서는, 광 투과율이 높은 표시가 실현되고 있다. Then, the patent document 2 has proposed the liquid crystal panel in which the weakly anchoring alignment film is formed in the opposing one board | substrate, and the strong anchoring alignment film was formed in the other board | substrate. In the liquid crystal panel described in Patent Literature 2, the weakly anchoring alignment film has a smaller constraint force that restricts the alignment direction of the liquid crystal molecules when an electric field is applied, than the strong anchoring alignment film. By such a structure, in the liquid crystal panel of patent document 2, the display with high light transmittance is implement | achieved.

특허문헌 1: 일본특허공보 제2940354호Patent Document 1: Japanese Patent Publication No. 2940354 특허문헌 2: 일본특허공개공보 2016-170389호Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2016-170389

그러나 특허문헌 2에 기재된 액정 패널에서는, 대향 배치된 일방 기판에 형성된 약앵커링 배향막의 전역에서 앵커링 에너지가 작아졌기 때문에 전압 오프 시의 복원력이 약해졌다. 따라서 전압 오프 시의 응답성이 저하되고, 전압 오프 시의 응답 시간(턴 오프 시간) τoff가 길어진다. However, in the liquid crystal panel of patent document 2, since the anchoring energy became small in the whole area | region of the weak-anchoring alignment film formed in the opposing one board | substrate, the restoring force at the time of voltage off became weak. Therefore, the responsiveness at the time of voltage off falls, and the response time (turn off time) (tau) off at the time of voltage off becomes long.

본 발명은 광 투과율 및 콘트라트스비를 향상하면서 전압 오프 시의 응답성을 개선할 수 있는 액정 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한 본 발명은, 이러한 액정 표시 장치를, 공정의 복잡화를 수반하지 않고 용이하게 제조할 수 있는 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것도 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device capable of improving the response at the time of voltage-off while improving the light transmittance and contrast ratio. Moreover, an object of this invention is to provide the manufacturing method of the liquid crystal display device which can manufacture such a liquid crystal display device easily, without accompanying process complexity.

본 발명의 하나의 관점에 따르면, 제 1 기판과, 상기 제 1 기판에 대향되는 제 2 기판과, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 개재된 액정층과, 상기 제 1 기판의 상기 액정층 측의 면 상에 형성되고, 상기 제 1 기판과 수평인 면 내에 전계를 형성 가능하게 구성된 복수의 전극과, 상기 복수의 전극 중 일부의 위에 형성된 제 1 배향막과, 상기 복수의 전극 사이의 상기 제 1 기판 상 및 상기 복수의 전극 중 나머지 부분의 위에 형성된 제 2 배향막과, 상기 제 2 기판의 상기 액정층 측에 형성된 제 3 배향막을 가지고, 상기 제 1 배향막의 앵커링 에너지가, 상기 제 2 및 제 3 배향막의 앵커링 에너지보다 작은 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치가 제공된다. According to one aspect of the present invention, a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate, and the liquid crystal of the first substrate A plurality of electrodes formed on the surface on the layer side and configured to form an electric field in a plane parallel to the first substrate, a first alignment film formed on a part of the plurality of electrodes, and the plurality of electrodes And a second alignment film formed on the first substrate and on the remaining portion of the plurality of electrodes, and a third alignment film formed on the liquid crystal layer side of the second substrate, wherein the anchoring energy of the first alignment film is determined by the second and A liquid crystal display device is provided which is smaller than the anchoring energy of the third alignment layer.

본 발명의 다른 관점에 따르면, 제 1 기판과, 상기 제 1 기판에 대향되는 제 2 기판과, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 개재된 액정층과, 상기 제 1 기판의 상기 액정층 측의 면 상에 형성되고, 상기 제 1 기판과 수평인 면 내에 전계를 형성 가능하게 구성된 복수의 전극과, 상기 복수의 전극 중 일부의 위에 형성된 제 1 배향막과, 상기 복수의 전극 사이의 상기 제 1 기판 상 및 상기 복수의 전극 중 나머지 부분 위에 형성된 제 2 배향막과, 상기 제 2 기판의 상기 액정층 측에 형성된 제 3 배향막을 가지고, 상기 제 1 배향막의 앵커링 에너지가, 상기 제 2 및 제 3 배향막의 앵커링 에너지보다 작은 액정 표시 장치의 제조 방법으로서, 상기 제 1 기판의 상기 액정층 측이 되는 면 상에 도전막을 형성하는 공정과, 상기 도전막 상에 포토 레지스트막을 형성하는 공정과, 상호 노광광의 투과율이 다른 제 1 패턴 및 제 2 패턴을 포함하는 상기 복수의 전극의 패턴을 가지는 마스크를 이용하여, 상기 제 1 패턴 및 상기 제 2 패턴을 상기 포토 레지스트막에 노광하는 공정과, 상기 포토 레지스트막을 현상함으로써, 상기 도전막 상에, 상기 제 1 패턴을 가지는 제 1 포토 레지스트막 및 상기 제 2 패턴을 가지는 제 2 포토 레지스트막을 형성하는 공정과, 상기 제 1 포토 레지스트막 및 상기 제 2 포토 레지스트막을 마스크로서 상기 도전막을 에칭함으로써, 상기 도전막으로 이루어지는 상기 복수의 전극을 형성하는 공정과, 상기 제 1 포토 레지스트막을 잔존시키며, 상기 제 2 포토 레지스트막을 제거함으로써, 상기 복수의 전극 중 일부의 위에, 상기 제 1 포토 레지스트막으로 이루어지는 상기 제 1 배향막을 형성하는 공정과, 상기 복수의 전극 사이의 상기 제 1 기판 상 및 상기 복수의 전극 중 나머지 부분 위에 상기 제 2 배향막을 형성하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. According to another aspect of the invention, a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate, and the liquid crystal layer of the first substrate A plurality of electrodes formed on the side surface and configured to form an electric field in a plane parallel to the first substrate, a first alignment film formed on a part of the plurality of electrodes, and the first electrode between the plurality of electrodes. The second alignment film formed on the 1st board | substrate and on the remaining part of the said some electrode, and the 3rd alignment film formed in the said liquid crystal layer side of the said 2nd board | substrate, The anchoring energy of the said 1st alignment film is the said 2nd and 3rd A method of manufacturing a liquid crystal display device smaller than the anchoring energy of an alignment layer, comprising: forming a conductive film on a surface of the first substrate on the side of the liquid crystal layer, and forming a photoresist film on the conductive film. Exposing the first pattern and the second pattern to the photoresist film using a mask having a process and a pattern having the plurality of electrodes including first and second patterns having different transmittances of mutual exposure light. And developing the photoresist film to form a first photoresist film having the first pattern and a second photoresist film having the second pattern on the conductive film, and the first photoresist film. And etching the conductive film using the second photoresist film as a mask to form the plurality of electrodes made of the conductive film, and leaving the first photoresist film and removing the second photoresist film. On the part of the electrodes of the hole for forming the first alignment film made of the first photoresist film And, a method for manufacturing a liquid crystal display device characterized by having the step of forming the second alignment layer is provided on the other of the first substrate and the plurality of electrode portions between the electrodes.

본 발명에 의하면, 액정 표시 장치에 있어서, 광 투과율 및 콘트라스트비를 향상하면서 전압 오프 시의 응답성을 개선할 수 있다. 또한 본 발명에 의하면, 광 투과율 및 콘트라스트비를 향상하면서 전압 오프 시의 응답성을 개선할 수 있는 액정 표시 장치를 공정의 복잡화를 수반하지 않고 용이하게 제조할 수 있다. According to the present invention, in the liquid crystal display device, the response at the time of voltage-off can be improved while improving the light transmittance and contrast ratio. According to the present invention, a liquid crystal display device capable of improving the response at the time of voltage-off while improving the light transmittance and contrast ratio can be easily manufactured without the complexity of the process.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 유전율 이방성이 양(正, 포지티브형)인 액정을 이용한 경우의 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 유전율 이방성이 양(正, 포지티브형)인 액정을 이용한 경우의 액정 표시 장치의 제조 방법을 도시한 공정 단면도(1)이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 도시한 공정 단면도(2)이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 도시한 공정 단면도(3)이다.
도 5는 본 발명의 일 실시형태에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 도시한 공정 단면도(4)이다.
도 6은 본 발명의 일 실시형태의 변형예에 따른 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이다.
도 7은 실시예 및 비교예에 따른 유전율 이방성이 양(正, 포지티브형)인 액정을 이용한 경우의 액정 표시 장치의 셀 구성을 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예 및 비교예에 따른 액정 표시 장치에 대하여 구동 전압과 액정 패널의 광 투과율의 관계를 나타내는 구동 전압-광 투과율 곡선을 측정한 결과를 도시한 그래프이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing which shows the structure of the liquid crystal display device when the liquid crystal of dielectric constant anisotropy which concerns on one Embodiment of this invention was used.
2 is a cross-sectional view (1) illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device in the case where a liquid crystal having a positive dielectric anisotropy according to one embodiment of the present invention is used.
3 is a cross-sectional view (2) illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view 3 showing the method for manufacturing the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view 4 illustrating the method of manufacturing the liquid crystal display device according to the exemplary embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view showing the structure of a liquid crystal display device according to a modification of one embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view showing a cell configuration of a liquid crystal display device in the case of using a liquid crystal having a positive (positive) dielectric constant anisotropy according to the Examples and Comparative Examples.
8 is a graph illustrating a result of measuring a driving voltage-light transmittance curve indicating a relationship between a driving voltage and a light transmittance of a liquid crystal panel for a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment and a comparative example.

<일 실시형태><One Embodiment>

본 발명의 일 실시형태에 따른 액정 표시 장치 및 액정 표시 장치의 제조 방법에 대하여 도 1 내지 도 5를 가지고 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION The liquid crystal display device and the manufacturing method of a liquid crystal display device which concern on one Embodiment of this invention are demonstrated with FIGS.

우선 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치의 구조에 대하여 도 1을 가지고 설명한다. 도 1은, 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이다. 또한 도 1은 포지티브형 액정 재료를 사용하여 액정층을 구성한 경우를 예시하고 있다. First, the structure of the liquid crystal display device which concerns on this embodiment is demonstrated with FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of a liquid crystal display device according to the present embodiment. 1 illustrates the case where a liquid crystal layer is formed using a positive liquid crystal material.

본 실시형태에 따른 액정 표시 장치는, IPS 방식의 액정 패널을 가지고, 기판면과 수평 방향인 전계를 형성함으로써 표시를 제어하는 것이다. 도 1에 도시한 것과 같이 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치(10)는, IPS 방식 액정 패널(12)과 백라이트 유닛(14)을 가지고 있다. 액정 패널(12)은 화소를 포함하는 표시 영역(16)과, 패드 영역(18)을 포함하고 있다. The liquid crystal display device according to the present embodiment has a liquid crystal panel of an IPS system and controls display by forming an electric field in a horizontal direction with the substrate surface. As shown in FIG. 1, the liquid crystal display device 10 according to the present embodiment includes an IPS system liquid crystal panel 12 and a backlight unit 14. The liquid crystal panel 12 includes a display area 16 including pixels and a pad area 18.

액정 패널(12)은, 대향되도록 배치된 한 쌍의 기판(20, 22)을 가지고 있다. 기판(20, 22)은, 표시 영역(16)에 있어서 액정층(24)을 개재하도록 대향되어 배치되어 있다. 기판(20, 22)은, 표시 영역(16)의 주변 둘레부에 배치된 실링재(26)에 의해 소정의 간격을 두고 서로 합착되어 있다. 기판(20, 22) 사이에 액정층(24)을 구성하는 액정이 실링재(26)에 의해 봉지되어 있다. 기판(20, 22)은, 각각 투광성을 가지는 기판이면 특별히 그 재료가 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 유리 기판이다. 또한 액정층(24)을 구성하는 액정 재료로서는, 예를 들면 유전율 이방성이 양(正)인 네마틱 액정 재료를 사용할 수 있고, 또한 유전율 이방성이 음(負)인 네마틱 액정 재료를 사용할 수도 있다. 또한 도 1에서는, 후술하는 선(線) 형상 전극(28)에 대한 전압 오프 시 액정층(24)의 액정 분자(242)를 모식적으로 도시하고 있다. The liquid crystal panel 12 has a pair of substrates 20 and 22 disposed to face each other. The substrates 20 and 22 are disposed to face each other in the display area 16 via the liquid crystal layer 24. The substrates 20 and 22 are bonded to each other at predetermined intervals by the sealing material 26 disposed in the peripheral portion of the display region 16. The liquid crystal which comprises the liquid crystal layer 24 between the board | substrates 20 and 22 is sealed by the sealing material 26. As shown in FIG. Although the material will not be specifically limited if the board | substrate 20 and 22 is a board | substrate which has translucentness, respectively, For example, it is a glass substrate. As the liquid crystal material constituting the liquid crystal layer 24, for example, a nematic liquid crystal material having a positive dielectric anisotropy can be used, and a nematic liquid crystal material having a negative dielectric anisotropy can also be used. . In addition, in FIG. 1, the liquid crystal molecule 242 of the liquid crystal layer 24 at the time of the voltage off with respect to the linear electrode 28 mentioned later is shown typically.

예를 들면 기판(20)은, 화소를 스위칭하기 위한 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT), 게이트 라인, 소스 라인 등이 형성된 TFT 기판으로 되어 있다. 기판(22)은, 컬러 필터(Color Filter, CF)가 형성된 CF 기판으로 되어 있다. For example, the substrate 20 is a TFT substrate on which thin film transistors (TFTs), gate lines, source lines, etc., for switching pixels are formed. The substrate 22 is a CF substrate on which color filters (CF) are formed.

표시 영역(16)에 있어서, 기판(20, 22) 중 백라이트 유닛(14) 측 기판(20)의 액정층(24) 측의 면 상에는, 복수의 선 형상 전극(28)이 형성되어 있다. 복수의 선 형상 전극(28)은, 서로 소정의 간격을 두고 평행하게 배치되어 있고, 빗살 전극을 구성하고 있다. 더욱 구체적으로는, 복수의 선 형상 전극(28)은, 빗살 형상의 화소 전극 및 빗살 형상의 공통 전극을 구성하고 있다. 도 1은, 선 형상 전극(28)의 길이 방향에 직교하는 단면을 도시하고 있다. 복수의 선 형상 전극(28)은, 기판(20)의 기판 면과 수평 방향인 전계를 형성 가능, 즉 기판(20)과 수평인 면 내에 전계를 형성 가능하게 구성되어 있다. In the display area 16, a plurality of linear electrodes 28 are formed on the surface of the substrate 20, 22 on the liquid crystal layer 24 side of the substrate 20 on the backlight unit 14 side. The plurality of linear electrodes 28 are arranged in parallel with a predetermined distance from each other, and constitute a comb tooth electrode. More specifically, the plurality of linear electrodes 28 constitute a comb teeth pixel electrode and a comb teeth common electrode. 1 shows a cross section orthogonal to the longitudinal direction of the linear electrode 28. The plurality of linear electrodes 28 are configured to be able to form an electric field in the horizontal direction with the substrate surface of the substrate 20, that is, to form an electric field in the surface parallel to the substrate 20.

선 형상 전극(28)은, 예를 들면 88 %의 높은 광 투과율(T)을 가지는 ITO(Indium Tin Oxide)로 이루어지는 투명 전극이다. 또한 선 형상 전극(28)의 주재료는, ITO에 한정되는 것은 아니다. 선 형상 전극(28)은, 투명 도전막 또는 높은 광 투과율을 가지는 도전막인 것이 바람직하다. 선 형상 전극(28)의 주재료로서는 ITO 대신에, 예를 들면 IZO(Indium Zinc Oxide, T=85 %), AZO(Aluminum doped Zinc Oxide, T=92 %)를 이용할 수 있다. 또한 GZO(Gallium doped Zinc Oxide, T=92 %), ATO(Antimony Tin Oxide, T=87 %) 등을 이용할 수도 있다. The linear electrode 28 is, for example, a transparent electrode made of indium tin oxide (ITO) having a high light transmittance T of 88%. In addition, the main material of the linear electrode 28 is not limited to ITO. The linear electrode 28 is preferably a transparent conductive film or a conductive film having a high light transmittance. As the main material of the linear electrode 28, for example, IZO (Indium Zinc Oxide, T = 85%) and AZO (Aluminum doped Zinc Oxide, T = 92%) can be used instead of ITO. In addition, GZO (Gallium doped Zinc Oxide, T = 92%), ATO (Antimony Tin Oxide, T = 87%) may be used.

액정 표시 장치(10)의 제어부(도시하지 않음)는, 기판(20)의 선 형상 전극(28)에 전압을 인가하여 기판(20)의 기판면과 수평 방향인 전계를 형성하고 액정층(24)의 액정 분자를 회전시킴으로써 액정 패널(12)의 표시를 제어한다. The control unit (not shown) of the liquid crystal display device 10 applies a voltage to the linear electrode 28 of the substrate 20 to form an electric field in a horizontal direction with the substrate surface of the substrate 20, thereby forming a liquid crystal layer 24. The display of the liquid crystal panel 12 is controlled by rotating the liquid crystal molecules.

한편 패드 영역(18)에 있어서, 기판(20) 상에는, 복수의 선 형상 전극(28)과 동일한 층에 복수의 전극 패드(30)가 형성되어 있다. 복수의 전극 패드(30)는, 표시 영역(16)에 있어서의 선 형상 전극(28)과 동일한 재료로 형성되어 있다. 복수의 전극 패드(30)는, 표시 영역(16)에 있어서의 기판(20)에 형성된 도시하지 않은 게이트 라인, 소스 라인 등에 접속되어 있다. 복수의 전극 패드(30)에는 COF(Chip On Film), TAB(Tape Automated Bonding), COG(Chip On Glass) 등의 실장 기술에 의해, 도시하지 않은 드라이버 IC(Integrated Circuit)가 접속된다. In the pad region 18, on the substrate 20, a plurality of electrode pads 30 are formed on the same layer as the plurality of linear electrodes 28. The plurality of electrode pads 30 are formed of the same material as the linear electrodes 28 in the display region 16. The plurality of electrode pads 30 are connected to a gate line, a source line, and the like, which are not illustrated in the substrate 20 in the display region 16. A driver integrated circuit (IC) (not shown) is connected to the plurality of electrode pads 30 by mounting techniques such as chip on film (COF), tape automated bonding (TAB), chip on glass (COG), and the like.

액정 패널(12)에는, 기판(20, 22)을 개재하듯이 편광판(32, 34)이 외측 각각의 면에 설치되어 있다. 편광판(32, 34)의 편광축 방향은, 선 형상 전극(28)에 전압이 인가되었을 때에 백라이트 유닛(14)으로부터 조명되는 빛이 통과하도록 설정되어 있다. 예를 들면 편광판(32, 34)의 편광축 방향은 서로 직교하고 있다. 또한 편광판(32, 34)의 편광축 방향은, 선 형상 전극(28)에 전압이 인가되었을 때 백라이트 유닛(14)으로부터 조명되는 빛이 차단되도록 설정되어 있어도 된다. In the liquid crystal panel 12, the polarizing plates 32 and 34 are provided in each outer surface like the board | substrates 20 and 22 through. The polarization axis directions of the polarizing plates 32 and 34 are set so that the light illuminated from the backlight unit 14 passes when a voltage is applied to the linear electrode 28. For example, the polarization axis directions of the polarizing plates 32 and 34 are perpendicular to each other. In addition, the polarization axis direction of the polarizing plates 32 and 34 may be set so that the light illuminated from the backlight unit 14 may be cut off when a voltage is applied to the linear electrode 28.

기판(22)의 액정층(24) 측의 면에는, 액정층(24)의 전면에 걸쳐서 배향막으로서 강앵커링막(36)이 형성되어 있다. 강앵커링막(36)은, 예를 들면 러빙법에 의한 배향 처리가 수행된 폴리이미드막으로 이루어지는 것이다. 강앵커링막(36)은, 후술하는 기판(20) 측 강앵커링막(40)과 함께, 전압 오프 시의 선 형상 전극(28)에 대한 액정층(24)의 액정 분자 배향을 일치시킨다. 전압 오프 시 액정층(24)의 액정 분자의 배향 방향은, 예를 들면 선 형상 전극(28)의 길이 방향을 따른 방향 또는 선 형상 전극(28)의 길이 방향에 대해서 소정의 각도를 이루는 방향이다. On the surface of the liquid crystal layer 24 side of the substrate 22, a strong anchoring film 36 is formed as an alignment film over the entire surface of the liquid crystal layer 24. The strong anchoring film 36 is made of, for example, a polyimide film subjected to an alignment treatment by a rubbing method. The strong anchoring film 36 matches the liquid crystal molecule orientation of the liquid crystal layer 24 with respect to the linear electrode 28 at the time of voltage OFF with the board | substrate 20 side strong anchoring film 40 mentioned later. The orientation direction of the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 24 at the time of voltage off is a direction along the longitudinal direction of the linear electrode 28 or the direction which forms a predetermined angle with respect to the longitudinal direction of the linear electrode 28, for example. .

한편 기판(20)과 액정층(24) 사이에 있어서, 기판(20) 상에 형성된 복수의 선 형상 전극(28) 중 일부의 위에는, 배향막으로서 약앵커링막(38)이 형성되어 있다. 약앵커링막(38)은, 복수의 선 형상 전극(28) 중 일부의 바로 위에 형성되어 있다. 약앵커링막(38)은, 기판(22) 측 강앵커링막(36) 및 이하에 서술하는 강앵커링막(40)보다 앵커링 에너지가 작은 배향막이다. 또한 강앵커링막(36, 40), 약앵커링막(38)에서 말하는 앵커링은 방위각 방향의 앵커링에 관한 것으로, 앵커링 에너지의 대소 관계는 방위각 방향의 앵커링 에너지에 관한 대소 관계이다. 약앵커링막(38)은, 서로 평행하게 배치된 복수의 선 형상 전극(28) 중, 예를 들면 1개씩 걸러서 선 형상 전극(28)의 바로 위에 형성되어 있다. 약앵커링막(38)은 수지막으로 이루어지는 것으로, 더욱 구체적으로는 후술하는 것과 같이 선 형상 전극(28)을 패터닝하는 에칭 시 마스크로서 이용된 포토 레지스트막(52a)으로 이루어지는 것이다. On the other hand, between the substrate 20 and the liquid crystal layer 24, a weak anchoring film 38 is formed on the part of the plurality of linear electrodes 28 formed on the substrate 20 as an alignment film. The weak anchoring film 38 is formed directly on a part of the plurality of linear electrodes 28. The weak anchoring film 38 is an alignment film having a smaller anchoring energy than the strong anchoring film 36 on the substrate 22 side and the strong anchoring film 40 described below. The anchoring in the strong anchoring films 36 and 40 and the weak anchoring film 38 relates to anchoring in the azimuth direction, and the magnitude of the anchoring energy is related to the anchoring energy in the azimuth direction. The weak anchoring film 38 is formed directly on the linear electrode 28 by filtering each of the plurality of linear electrodes 28 arranged in parallel with each other. The weak anchoring film 38 is made of a resin film, and more specifically, a photoresist film 52a used as a mask during etching for patterning the linear electrode 28 as described later.

또한 선 형상 전극(28)과 동일한 층에 형성된 패드 영역(18)에 있어서의 복수의 전극 패드(30) 중 어느 위에도 약앵커링막(38)은 형성되지 않는다. 복수의 전극 패드(30) 각각의 표면은 노출되어 있다. Further, the weak anchoring film 38 is not formed on any of the plurality of electrode pads 30 in the pad region 18 formed on the same layer as the linear electrode 28. The surface of each of the plurality of electrode pads 30 is exposed.

약앵커링막(38)이 위에 형성된 선 형상 전극(28) 사이의 기판(20) 상에는, 배향막으로서 강앵커링막(40)이 형성되어 있다. 또한 약앵커링막(38)이 위에 형성된 선 형상 전극(28) 이외의 선 형상 전극(28) 상, 즉 복수의 선 형상 전극(28) 중 나머지 부분 위에도 강앵커링막(40)이 형성되어 있다. 강앵커링막(40)의 앵커링 에너지는, 예를 들면 강앵커링막(36)의 앵커링 에너지와 동일한 정도로 되어 있다. 강앵커링막(40)은, 예를 들면 광배향법에 의한 배향 처리가 수행된 폴리이미드막이다. On the substrate 20 between the linear electrodes 28 on which the weak anchoring film 38 is formed, a strong anchoring film 40 is formed as an alignment film. The strong anchoring film 40 is also formed on the linear electrodes 28 other than the linear electrodes 28 on which the weak anchoring film 38 is formed, that is, on the remaining portions of the plurality of linear electrodes 28. The anchoring energy of the strong anchoring film 40 is, for example, about the same as the anchoring energy of the strong anchoring film 36. The strong anchoring film 40 is, for example, a polyimide film subjected to an alignment treatment by a photoalignment method.

상술한 것과 같이 기판(22) 측에서는, 배향막으로서 강앵커링막(36)이 형성되어 있다. 한편 기판(20) 측에서는, 복수의 선 형상 전극(28) 중 일부의 바로 위에 배향막으로서 약앵커링막(38)이 형성되어 있다. 또한 기판(20) 측에서는, 복수의 선 형상 전극(28) 중 나머지 부분 위, 즉 약앵커링막(38)이 바로 위에 형성된 선 형상 전극(28) 이외의 선 형상 전극(28) 상 및 기판(20) 상에 배향막으로서 강앵커링막(40)이 형성되어 있다. As described above, the strong anchoring film 36 is formed on the substrate 22 side as the alignment film. On the other hand, on the substrate 20 side, the weak anchoring film 38 is formed as an alignment film directly on a part of the plurality of linear electrodes 28. Moreover, on the board | substrate 20 side, the board | substrate 20 and the board | substrate 20 on the linear electrodes 28 other than the linear electrode 28 in which the weakly anchoring film 38 was formed directly on the remainder part of the some linear electrode 28, ie, on the above, ), An strong anchoring film 40 is formed as an alignment film.

약앵커링막(38)의 앵커링 에너지는, 강앵커링막(36, 40)의 앵커링 에너지보다 작고, 바람직하게는 10-6J/m2 이하이다. 강앵커링막(36, 40)의 앵커링 에너지는, 약앵커링막(38)의 앵커링 에너지보다 크고, 바람직하게는 10-4J/m2 이상이다. The anchoring energy of the weak anchoring film 38 is smaller than the anchoring energy of the strong anchoring films 36 and 40, and is preferably 10 -6 J / m 2 or less. The anchoring energy of the strong anchoring films 36 and 40 is larger than the anchoring energy of the weak anchoring film 38, and preferably 10 −4 J / m 2 or more.

기판(22)과 강앵커링막(36) 사이에는 컬러 필터(42)가 설치되어 있다. 컬러 필터(42)는 컬러 레지스트인 R(적)/G(녹)/B(청)의 3원색 패턴, 블랙매트릭스, 보호막 등에 의해 구성되고, 백라이트 유닛(14)으로부터 조명되는 빛 중에서 R/G/B 3원색의 파장역의 빛을 통과시킨다. A color filter 42 is provided between the substrate 22 and the strong anchoring film 36. The color filter 42 is constituted by three primary color patterns of R (red) / G (green) / B (blue), which are color resists, a black matrix, a protective film, and the like, and R / G among lights illuminated from the backlight unit 14. / B Passes light in the wavelength range of three primary colors.

백라이트 유닛(14)은, 액정 패널(12)을 조명하는 빛을 발하는 조명 장치이다. 백라이트 유닛(14)은 엣지 라이트 방식이어도 되고, 직하형 방식이어도 된다. 또한 백라이트 유닛(14)과 액정 패널(12) 사이에는, 광확산 시트와 프리즘 시트가 배치되어 있어도 된다. The backlight unit 14 is an illuminating device that emits light for illuminating the liquid crystal panel 12. The backlight unit 14 may be an edge light method or a direct type method. In addition, a light diffusion sheet and a prism sheet may be disposed between the backlight unit 14 and the liquid crystal panel 12.

본 실시형태에 따른 액정 표시 장치(10)는, 기판(20)의 기판면과 수평 방향인 횡전계를 형성하고, 액정 분자를 액정층(24)의 면 내에서 회전시켜서 표시를 제어하는 IPS 방식인 것이다. 그러나 만일 상기 구성에 있어서, 전술한 특허문헌 1에 기재된 종래의 구성과 같이 선 형상 전극(28)의 바로 위를 포함하는 기판(20) 측의 전면에 강앵커링막을 형성한 경우, 선 형상 전극(28)의 바로 위의 액정 분자를 충분히 회전시킬 수 없다. 이는, 전계를 형성하기 위한 선 형상 전극(28)의 바로 위에 있어서의 전계의 기판면에 수평 방향인 성분이, 강앵커링막의 속박을 극복하고 액정 분자를 회전시킬 수 있을 정도로 크지 않기 때문이다. 따라서 이 경우 화이트 표시에 있어서의 광 투과율이 저하된다. The liquid crystal display device 10 according to the present embodiment forms an lateral electric field in a horizontal direction with the substrate surface of the substrate 20, and rotates the liquid crystal molecules in the surface of the liquid crystal layer 24 to control the display. It is However, in the above structure, in the case where the strong anchoring film is formed on the entire surface of the substrate 20 side including immediately above the linear electrode 28 as in the conventional configuration described in Patent Document 1 described above, the linear electrode ( The liquid crystal molecules directly above 28 cannot be rotated sufficiently. This is because the component horizontal to the substrate surface of the electric field immediately above the linear electrode 28 for forming the electric field is not large enough to overcome the confinement of the strong anchoring film and rotate the liquid crystal molecules. Therefore, in this case, the light transmittance in white display falls.

한편 만일 상기 구성에 있어서, 전술한 특허문헌 2에 기재된 종래의 구성과 같이 기판(20) 측의 전면에 약앵커링막을 형성한 경우, 기판(20) 측의 배향 규제력을 약하게 함으로써 높은 광 투과율을 실현하여 화이트 표시에 있어서의 충분한 광 투과율을 확보할 수 있다. 그러나 이 경우 전압 오프 시의 선 형상 전극(28)에 대한 액정 분자의 복원력이 저하되기 때문에 전압 오프 시의 응답성이 저하되고, 전압 오프 시의 응답 시간 τoff가 길어진다. On the other hand, if the weak anchoring film is formed on the entire surface of the substrate 20 side as in the conventional configuration described in Patent Document 2 described above, on the other hand, high light transmittance is realized by weakening the orientation control force on the substrate 20 side. Thus, sufficient light transmittance in white display can be ensured. However, in this case, since the restoring force of the liquid crystal molecules with respect to the linear electrode 28 at the time of voltage off falls, the response at the time of voltage off falls, and the response time (tau) off at the time of voltage off becomes long.

상기 종래의 구성에 비해서 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치(10)에서는, 복수의 선 형상 전극(28) 중 일부의 바로 위에, 앵커링 에너지가 비교적 작은 약앵커링막(38)이 형성되어 있다. 약앵커링막(38)이 형성된 선 형상 전극(28) 상에서는, 강앵커링막(40)이 형성된 영역과 비교해서 배향 규제력이 약해졌다. 따라서 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치(10)에서는, 전계의 횡방향 성분이 작은 경우라도 약앵커링막(38)이 형성된 선 형상 전극(28)의 바로 위의 액정 분자가 회전하므로, 선 형상 전극(28)의 바로 위에서도 충분한 광 투과율을 확보할 수 있다. 이로써 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치(10)는 광 투과율을 향상할 수 있다. In the liquid crystal display device 10 according to the present embodiment, a weak anchoring film 38 having a relatively small anchoring energy is formed in the liquid crystal display device 10 according to the present embodiment, as compared with the above conventional configuration. On the linear electrode 28 in which the weak anchoring film 38 was formed, the orientation control force was weak compared with the area | region in which the strong anchoring film 40 was formed. Therefore, in the liquid crystal display device 10 according to the present embodiment, even when the transverse component of the electric field is small, the liquid crystal molecules directly above the linear electrode 28 on which the weak anchoring film 38 is formed rotate, so that the linear electrode Sufficient light transmittance can be ensured also directly above (28). Thereby, the liquid crystal display device 10 which concerns on this embodiment can improve light transmittance.

또한 약앵커링막(38)이 형성되어 있음으로써, 약앵커링막(38)이 형성되어 있는 선 형상 전극(28)의 바로 위에서는, 기판(20) 측에서의 액정 분자의 배향 방향과 기판(22) 측에서의 액정 분자의 배향 방향의 어긋남에 의한 전압 오프 시 액정 분자의 미소한 트위스트를 억제할 수 있다. 이로써 블랙 휘도를 저감할 수 있고, 광 투과율의 향상과 더불어 콘트라스트비를 향상할 수 있다. In addition, since the weak anchoring film 38 is formed, immediately above the linear electrode 28 on which the weak anchoring film 38 is formed, the alignment direction of the liquid crystal molecules on the substrate 20 side and the side of the substrate 22 on the substrate 22 side are formed. A slight twist of the liquid crystal molecules at the time of voltage off due to the shift in the alignment direction of the liquid crystal molecules can be suppressed. As a result, the black luminance can be reduced, and the contrast ratio can be improved while improving the light transmittance.

게다가 약앵커링막(38)은, 후술하는 것과 같이 포토 레지스트막의 노광 공정에 있어서 하프톤 마스크를 이용하여 포토 레지스트막의 노광량을 영역마다 제어함으로써 형성한다. 따라서 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치(10)는, 공정 수가 증가하지 않고 공정의 복잡화를 수반하는 일 없이 용이하게 제조할 수 있다. In addition, the weak anchoring film 38 is formed by controlling the exposure amount of the photoresist film for each region using a halftone mask in the exposure step of the photoresist film as described later. Therefore, the liquid crystal display device 10 which concerns on this embodiment can be manufactured easily, without increasing the number of processes and accompanying complexity of a process.

더욱이 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치(10)에서는, 약앵커링막(38)이 바로 위에 형성된 선 형상 전극(28) 사이의 기판(20) 상 및 약앵커링막(38)이 바로 위에 형성된 선 형상 전극(28) 이외의 선 형상 전극(28) 상에, 강앵커링막(40)이 형성되어 있다. 이와 같이 복수의 선 형상 전극(28) 중 일부의 바로 위 이외의 영역에 앵커링 에너지가 비교적 큰 강앵커링막(40)이 형성되어 있음으로써, 전압 오프 시에 있어서의 선 형상 전극(28)에 대한 액정 분자의 복원력은 거의 저하되지 않는다. 따라서 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치(10)는, 특허문헌 2에 기재된 것과 같이 기판(20) 측의 전면에 약앵커링막이 형성된 종래의 구성과 비교해서, 전압 오프 시의 액정 표시의 응답성을 개선할 수 있어, 전압 오프 시의 응답 시간 τoff를 단축할 수 있다.Furthermore, in the liquid crystal display device 10 according to the present embodiment, a linear shape in which the weak anchoring film 38 is formed on the substrate 20 and the linear anchoring film 38 directly between the linear electrodes 28 having the weak anchoring film 38 formed thereon. The strong anchoring film 40 is formed on the linear electrodes 28 other than the electrodes 28. As described above, the strong anchoring film 40 having a relatively high anchoring energy is formed in a region other than just above a part of the plurality of linear electrodes 28, thereby providing a linear electrode 28 with the voltage off. The restoring force of the liquid crystal molecules hardly decreases. Therefore, the liquid crystal display device 10 which concerns on this embodiment has the responsiveness of the liquid crystal display at the time of voltage OFF compared with the conventional structure in which the weak anchoring film was formed in the whole surface of the board | substrate 20 side as described in patent document 2 It is possible to improve the response time τ off at the time of voltage off.

이렇게 해서 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치(10)는, 광 투과율 및 콘트라스트비를 향상하면서 전압 오프 시의 응답성을 개선할 수 있어, 액정 표시의 밝기와 응답성을 양립할 수 있다. Thus, the liquid crystal display device 10 which concerns on this embodiment can improve the responsiveness at the time of voltage OFF, improving light transmittance and contrast ratio, and can achieve the brightness and responsiveness of a liquid crystal display.

다음으로 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법에 대하여 도 2 내지 도 5를 가지고 설명한다. 도 2 내지 도 5는, 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 도시한 공정 단면도이다. Next, the manufacturing method of the liquid crystal display device which concerns on this embodiment is demonstrated with FIGS. 2-5 is sectional drawing which shows the manufacturing method of the liquid crystal display device which concerns on this embodiment.

우선 표시 영역(16) 및 패드 영역(18)에 있어서의 기판(20)의 액정층(24) 측이 되는 면 상에, 기판(20)의 기판면과 수평인 방향으로 전계(횡전계)를 형성하기 위한 빗살 전극으로서, 예를 들면 ITO로 이루어지는 투명 도전막(50)을 형성한다(도 2(a)). 또한 기판(20)에는, 화소를 스위칭하기 위한 TFT, 게이트 라인, 소스 라인 등이 형성되어 있다. First, an electric field (lateral electric field) is placed in a direction parallel to the substrate surface of the substrate 20 on the surface that becomes the liquid crystal layer 24 side of the substrate 20 in the display region 16 and the pad region 18. As a comb tooth electrode for formation, the transparent conductive film 50 which consists of ITO, for example is formed (FIG. 2 (a)). In the substrate 20, TFTs, gate lines, source lines and the like for switching pixels are formed.

이어서 표시 영역(16) 및 패드 영역(18)에 있어서의 투명 도전막(50) 상에, 예를 들면 스핀코팅법에 의해 네거티브형 포토 레지스트 재료를 도포하고 전 열처리(pre-bake)를 수행하여 포토 레지스트막(52)을 형성한다(도 2(b)). 포토 레지스트막(52)은, 약앵커링막(38)으로서 기능할 수 있는 재료로 구성되어 있다. Subsequently, a negative photoresist material is applied on the transparent conductive film 50 in the display region 16 and the pad region 18 by, for example, spin coating and pre-baked. The photoresist film 52 is formed (FIG. 2B). The photoresist film 52 is made of a material capable of functioning as the weak anchoring film 38.

이어서 하프톤 마스크(54)를 이용하여, 포토 레지스트막(52)에 하프톤 마스크(54)의 마스크 패턴을 노광한다(도 3(a)). 하프톤 마스크(54)는, 마스크 패턴으로서 복수의 선 형상 전극(28)의 패턴(542a, 542b)과, 복수의 전극 패드(30)의 패턴(544)을 가지고 있다. 복수의 선 형상 전극(28)의 패턴(542a, 542b) 중 패턴(542a)은, 약앵커링막(38)이 바로 위에 형성되는 선 형상 전극(28)의 패턴이다. 패턴(542b)은, 약앵커링막(38)이 바로 위에 형성되는 선 형상 전극(28) 이외의 선 형상 전극(28)의 패턴이다. 패턴(542a, 542b, 544)의 노광광의 투과율은 서로 다르다. 즉 패턴(542a)의 노광광의 투과율은, 패턴(542b)의 노광광의 투과율 및 패턴(544)의 노광광의 투과율보다 높다. 또한 패턴(542b)의 노광광의 투과율은, 패턴(544)의 노광광의 투과율과 동일할 수 있다. 또한 노광광으로서는 포토 레지스트막(52)의 종류에 따라서 자외광 등을 선택할 수 있다. Subsequently, the mask pattern of the halftone mask 54 is exposed to the photoresist film 52 using the halftone mask 54 (FIG. 3A). The halftone mask 54 has patterns 542a and 542b of the plurality of linear electrodes 28 and patterns 544 of the plurality of electrode pads 30 as mask patterns. Among the patterns 542a and 542b of the plurality of linear electrodes 28, the pattern 542a is a pattern of the linear electrodes 28 on which the weak anchoring film 38 is formed. The pattern 542b is a pattern of the linear electrodes 28 other than the linear electrodes 28 on which the weak anchoring film 38 is formed. The transmittances of the exposure light of the patterns 542a, 542b, and 544 are different from each other. That is, the transmittance of the exposure light of the pattern 542a is higher than the transmittance of the exposure light of the pattern 542b and the transmittance of the exposure light of the pattern 544. In addition, the transmittance of the exposure light of the pattern 542b may be the same as the transmittance of the exposure light of the pattern 544. As the exposure light, ultraviolet light or the like can be selected according to the type of the photoresist film 52.

이와 같이 노광광의 투과율이 다른 하프톤 마스크(54)를 이용한 노광에 의해 포토 레지스트막(52) 중에서 패턴(542a, 542b, 544)이 노광되는 포토 레지스트막(52a, 52b, 52c)의 노광량이 다르다. 즉 패턴(542a)이 노광되는 포토 레지스트막(52a)의 노광량이, 패턴(542b)이 노광되는 포토 레지스트막(52b)의 노광량 및 패턴(544)이 노광되는 포토 레지스트막(52c)의 노광량보다 크다. 이처럼 하프톤 마스크(54)를 이용한 노광에 의해 포토 레지스트막(52a, 52b, 52c)의 노광량을 제어함으로써, 포토 레지스트막(52a, 52b, 52c)의 경화도를 조정한다. In this manner, the exposure amounts of the photoresist films 52a, 52b, and 52c to which the patterns 542a, 542b, and 544 are exposed in the photoresist film 52 are different by exposure using the halftone mask 54 having different transmittances of exposure light. . That is, the exposure amount of the photoresist film 52a to which the pattern 542a is exposed is greater than the exposure amount of the photoresist film 52b to which the pattern 542b is exposed and the exposure amount of the photoresist film 52c to which the pattern 544 is exposed. Big. In this way, the degree of curing of the photoresist films 52a, 52b, 52c is adjusted by controlling the exposure amounts of the photoresist films 52a, 52b, 52c by exposure using the halftone mask 54.

이어서 포토 레지스트막(52)을 현상하여 노광되지 않은 포토 레지스트막(52)을 제거한 후 후 열처리(post-bake)를 수행한다. 이로써 투명 도전막(50) 상에 포토 레지스트막(52a, 52b, 52c)이 형성된다(도 3(b)). 상술한 것과 같이 포토 레지스트막(52a)의 노광량은 포토 레지스트막(52b, 52c)의 노광량보다 많기 때문에 포토 레지스트막(52a)의 경화도는 포토 레지스트막(52b, 52c)의 경화도보다 높다. 따라서 현상 후에 있어서 포토 레지스트막(52a)의 막 두께는 포토 레지스트막(52b, 52c)의 막 두께보다 크다. Subsequently, the photoresist film 52 is developed to remove the unexposed photoresist film 52, and then post-bake. As a result, photoresist films 52a, 52b, and 52c are formed on the transparent conductive film 50 (FIG. 3B). As described above, since the exposure amount of the photoresist film 52a is higher than the exposure amounts of the photoresist films 52b and 52c, the degree of curing of the photoresist film 52a is higher than that of the photoresist films 52b and 52c. Therefore, after development, the film thickness of the photoresist film 52a is larger than the film thickness of the photoresist films 52b and 52c.

이어서 포토 레지스트막(52a, 52b, 52c)을 마스크로서, 예를 들면 습식 식각에 의해 투명 도전막(50)을 에칭하여 패터닝한다. 이로써 표시 영역(16)에 있어서, 투명 도전막(50)으로 이루어지는 복수의 선 형상 전극(28)을 형성하는 한편 패드 영역(18)에 있어서, 투명 도전막(50)으로 이루어지는 복수의 전극 패드(30)를 형성한다(도 4(a)).Subsequently, the transparent conductive film 50 is etched and patterned using the photoresist films 52a, 52b, and 52c as a mask, for example, by wet etching. As a result, a plurality of linear electrodes 28 made of the transparent conductive film 50 are formed in the display region 16, while a plurality of electrode pads made of the transparent conductive film 50 are formed in the pad region 18. 30) (FIG. 4 (a)).

이어서 예를 들면 박리액 중에 침지시키거나 함으로써 포토 레지스트막(52a)을 선 형상 전극(28) 바로 위에 잔존시키면서 선 형상 전극(28) 상의 포토 레지스트막(52b) 및 전극 패드(30) 상의 포토 레지스트막(52c)을 제거한다. 포토 레지스트막(52a)은, 포토 레지스트막(52b, 52c)보다 막 두께가 두껍기 때문에 선 형상 전극(28)의 바로 위에 선택적으로 잔존시킬 수 있다. 이렇게 해서 복수의 선 형상 전극(28) 중 일부의 바로 위에, 포토 레지스트막(52a)으로 이루어지는 약앵커링막(38)을 형성한다(도 4(b)). 또한 상기 박리 공정에 의해 포토 레지스트막(52b, 53c)을 완전히 제거할 수 없는 경우에는 플라즈마 애싱 등에 의해 제거한다. Subsequently, for example, the photoresist film 52a on the linear electrode 28 and the photoresist on the electrode pad 30 while the photoresist film 52a remains directly on the linear electrode 28 by being immersed in a stripping solution, for example. The film 52c is removed. Since the photoresist film 52a is thicker than the photoresist films 52b and 52c, the photoresist film 52a can be selectively left on the linear electrode 28. In this way, a weak anchoring film 38 made of the photoresist film 52a is formed directly on a part of the plurality of linear electrodes 28 (Fig. 4 (b)). In addition, when the photoresist films 52b and 53c cannot be removed completely by the peeling process, plasma ashing or the like is performed.

또한 상기 도 4(a)에 도시한 에칭 프로세스에 있어서 포토 레지스트막(52a, 52b, 52c) 중에서 포토 레지스트막(52b, 52c)이 선택적으로 소실되도록 포토 레지스트막(52a, 52b, 52c)의 막 두께를 설정할 수 있다. 이 경우 상기 도 4(b)에 도시한 박리 프로세스 및 애싱 프로세스를 생략할 수 있다. In the etching process shown in Fig. 4A, the photoresist films 52a, 52b, and 52c are selectively removed from the photoresist films 52a, 52b, and 52c. You can set the thickness. In this case, the peeling process and the ashing process shown in FIG. 4 (b) can be omitted.

이어서 표시 영역(16)에 있어서의 기판(20) 상에, 예를 들면 인쇄법에 의해 폴리이미드막을 형성한다. 여기서 약앵커링막(38)을 구성하는 포토 레지스트막(52a)은, 폴리이미드막에 대해서 친화성을 가지지 않는다. 따라서 폴리이미드막은, 포토 레지스트막(52a)으로 이루어지는 약앵커링막(38) 상에는 형성되지 않고, 선 형상 전극(28) 사이의 기판(20) 상 및 약앵커링막(38)이 바로 위에 형성되지 않은 선 형상 전극(28) 상에 형성된다. 계속해서 이 폴리이미드막에 대해서, 예를 들면 광배향법에 의한 배향 처리를 수행한다. 이렇게 해서 선 형상 전극(28) 사이의 기판(20) 상 및 약앵커링막(38)이 바로 위에 형성되지 않은 선 형상 전극(28) 상에, 폴리이미드막으로 이루어지는 강앵커링막(40)이 형성된다(도 5(a)).Next, the polyimide film is formed on the board | substrate 20 in the display area 16 by the printing method, for example. Here, the photoresist film 52a constituting the weak anchoring film 38 has no affinity for the polyimide film. Therefore, the polyimide film is not formed on the weak anchoring film 38 made of the photoresist film 52a, and on the substrate 20 between the linear electrodes 28, and the weak anchoring film 38 is not formed immediately above. It is formed on the linear electrode 28. Subsequently, the polyimide film is subjected to an alignment treatment by, for example, a photoalignment method. In this way, the strong anchoring film 40 which consists of a polyimide film is formed on the board | substrate 20 between the linear electrodes 28, and on the linear electrode 28 in which the weak anchoring film 38 is not formed directly above. (FIG. 5 (a)).

한편 표시 영역(16)에 있어서의 기판(22) 상에는 컬러 필터(42)를 형성한다. 계속해서 컬러 필터(42) 상에 폴리이미드막을 형성한다. 계속해서 폴리이미드막에 대해서, 예를 들면 러빙법, 광배향법 등에 의한 배향 처리를 수행한다. 이렇게 해서 컬러 필터(42) 상에, 폴리이미드막으로 이루어지는 강앵커링막(36)을 형성한다. On the other hand, the color filter 42 is formed on the board | substrate 22 in the display area 16. FIG. Subsequently, a polyimide film is formed on the color filter 42. Subsequently, the polyimide film is subjected to an alignment treatment by, for example, a rubbing method, a photoalignment method, or the like. In this way, the strong anchoring film 36 which consists of a polyimide film is formed on the color filter 42. FIG.

이어서 ODF(One Drop Fill)법에 의해 기판(20, 22) 사이에 액정층(24)을 봉지한다. 우선 표시 영역(16)의 주변 둘레부에 있어서의 기판(20, 22) 중 일방 상에, 자외선 경화성 수지로 이루어지는 실링재(26)를 도포한다. 계속해서 실링재(26)를 도포한 기판(20, 22) 중 일방 상에 액정 재료를 적하한다. 계속해서 액정 재료가 적하된 기판(20, 22) 중 일방과, 기판(20, 22) 중 타방을 실링재(26)에 의해 합착시킨다. 기판(20, 22) 사이에는, 적하된 액정 재료로 이루어지는 액정층(24)이 형성된다. 계속해서 자외광을 조사함으로써 실링재(26)를 경화시킨다. 이렇게 해서 ODF법에 의해, 액정 재료로 이루어지는 액정층(24)을 개재하듯이 기판(20)과 기판(22)을 합착시키고, 기판(20, 22) 사이에 액정층(24)을 봉지한다(도 5(b)). Subsequently, the liquid crystal layer 24 is sealed between the substrates 20 and 22 by ODF (One Drop Fill) method. First, the sealing material 26 which consists of ultraviolet curable resin is apply | coated on one of the board | substrates 20 and 22 in the peripheral part of the display area 16. FIG. Subsequently, a liquid crystal material is dripped on one of the board | substrates 20 and 22 which apply | coated the sealing material 26. Then, one of the board | substrates 20 and 22 in which the liquid crystal material was dripped, and the other of the board | substrates 20 and 22 are bonded by the sealing material 26. Between the board | substrates 20 and 22, the liquid crystal layer 24 which consists of a liquid crystal material dripped is formed. Subsequently, the sealing material 26 is hardened by irradiating an ultraviolet light. Thus, by the ODF method, the board | substrate 20 and the board | substrate 22 are bonded together like the liquid crystal layer 24 which consists of liquid crystal materials, and the liquid crystal layer 24 is sealed between board | substrates 20 and 22 ( 5 (b)).

이후 통상적인 프로세스에 따라 기판(20, 22)에 대한 편광판(32, 34) 합착, 드라이버 IC 실장, 백라이트 유닛(14)의 배치 등을 수행한다. 이렇게 해서 도 1에 도시한 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치(10)가 제조된다. Thereafter, the polarizing plates 32 and 34 are bonded to the substrates 20 and 22, the driver IC is mounted, and the backlight unit 14 is disposed according to a conventional process. In this way, the liquid crystal display device 10 according to the present embodiment shown in FIG. 1 is manufactured.

이와 같이 본 실시형태에서는, 하프톤 마스크(54)를 마스크로서 이용한 노광에 의해, 선 형상 전극(28)을 구성하는 투명 도전막(50)을 에칭할 때 마스크로서 이용하는 포토 레지스트막(52a, 52b, 52c)의 노광량을 제어한다. 이로써 포토 레지스트막(52a)으로 이루어지는 약앵커링막(38)을 복수의 선 형상 전극(28) 중 일부의 바로 위에 형성한다. 따라서 본 실시형태에서는, 약앵커링막(38)을 형성하기 위해서 별도의 포토 레지스트막을 패터닝하는 공정 등 추가 공정을 필요로 하지 않고, 공정 수가 증가하는 일도 없다. 따라서 본 실시형태에 따르면 공정의 복잡화를 수반하지 않고, 도 1에 도시한 액정 표시 장치(10)를 용이하게 제조할 수 있다. As described above, in the present embodiment, the photoresist films 52a and 52b used as masks when etching the transparent conductive film 50 constituting the linear electrode 28 by exposure using the halftone mask 54 as a mask. , The exposure amount of 52c) is controlled. Thereby, the weak anchoring film 38 made of the photoresist film 52a is formed directly on a part of the plurality of linear electrodes 28. Therefore, in this embodiment, in order to form the weak anchoring film 38, an additional process, such as a process of patterning a separate photoresist film, is not required, and the number of processes does not increase. Therefore, according to this embodiment, the liquid crystal display device 10 shown in FIG. 1 can be manufactured easily, without accompanying process complexity.

이와 같이 본 실시형태에 따르면 액정 표시 장치(10)에 있어서, 광 투과율 및 콘트라스트비를 향상하면서 전압 오프 시의 응답성을 개선할 수 있다. 또한 본 실시형태에 따르면 광 투과율 및 콘트라스트비를 향상하면서 전압 오프 시의 응답성을 개선할 수 있는 액정 표시 장치(10)를, 공정의 복잡화를 수반하지 않고 용이하게 제조할 수 있다. Thus, according to this embodiment, in the liquid crystal display device 10, the response at the time of voltage off can be improved, improving the light transmittance and contrast ratio. In addition, according to the present embodiment, the liquid crystal display device 10 capable of improving the response at the time of voltage-off while improving the light transmittance and contrast ratio can be easily manufactured without the complexity of the process.

<변형예><Variation example>

다음으로 본 실시형태의 변형예에 따른 액정 표시 장치에 대하여 도 6을 가지고 설명한다. 도 6은, 본 실시형태의 변형예에 따른 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이다. Next, the liquid crystal display device which concerns on the modification of this embodiment is demonstrated with FIG. 6 is a cross-sectional view showing the structure of a liquid crystal display device according to a modification of the present embodiment.

상기 도 1에 도시한 액정 표시 장치(10)에서는, 약앵커링막(38)이, 서로 평행하게 배치된 복수의 선 형상 전극(28) 중에서 1개씩 걸러서 선 형상 전극(28)의 바로 위에 형성되어 있었지만 여기에 한정되는 것은 아니다. 약앵커링막(38)은, 서로 평행하게 배치된 복수의 선 형상 전극(28) 중에서 복수 개 간격으로 선 형상 전극(28)의 바로 위에 형성되어 있어도 된다. In the liquid crystal display device 10 shown in FIG. 1, the weak anchoring film 38 is formed directly on the linear electrode 28 by filtering every one of the plurality of linear electrodes 28 arranged in parallel with each other. It was, but it is not limited to this. The weak anchoring film 38 may be formed directly on the linear electrode 28 at a plurality of intervals among the plurality of linear electrodes 28 arranged in parallel with each other.

예를 들면 약앵커링막(38)은, 복수의 선 형상 전극(28) 중에서 2개 간격으로 선 형상 전극(28)의 바로 위에 형성할 수 있다. 도 6에 도시한 변형예에 따른 액정 표시 장치(100)에서는, 약앵커링막(38)이, 서로 평행하게 배치된 복수의 선 형상 전극(28) 중에서 2개 간격으로 선 형상 전극(28)의 바로 위에 형성되어 있다. For example, the weak anchoring film 38 can be formed directly on the linear electrode 28 at two intervals from among the plurality of linear electrodes 28. In the liquid crystal display device 100 according to the modification shown in FIG. 6, the weak anchoring film 38 is formed of the linear electrodes 28 at two intervals from among the plurality of linear electrodes 28 arranged in parallel with each other. It is formed just above it.

이렇게 해서 복수의 선 형상 전극(28) 중 바로 위에 약앵커링막(38)이 형성되어 있는 선 형상 전극(28)의 비율을 변경할 수 있다. 이로써 액정 표시의 밝기 및 응답성을 조정할 수 있다. In this way, the ratio of the linear electrode 28 in which the weak-anchoring film 38 is formed directly in the some linear electrode 28 can be changed. Thereby, the brightness and responsiveness of the liquid crystal display can be adjusted.

또한 상기에서는 하프톤 마스크(54)를 이용한 노광에 의해 포토 레지스트막(52a, 52b, 52c)의 노광량을 제어함으로써, 복수의 선 형상 전극(28) 중에서 일부의 바로 위에 약앵커링막(38)을 선택적으로 형성했지만 여기에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 잉크젯법 등의 인쇄법 등에 의해 약앵커링막(38)의 재료를 나누어 코팅함으로써 복수의 선 형상 전극(28) 중 일부의 바로 위에 약앵커링막(38)을 선택적으로 형성할 수도 있다. In addition, in the above description, by controlling the exposure amounts of the photoresist films 52a, 52b, and 52c by exposure using the halftone mask 54, the weakly anchoring film 38 is placed directly above a part of the plurality of linear electrodes 28. FIG. Although selectively formed, it is not limited to this. For example, the weak anchoring film 38 may be selectively formed directly on a part of the plurality of linear electrodes 28 by coating the material of the weak anchoring film 38 separately by a printing method such as an inkjet method.

<평가 결과><Evaluation result>

다음으로 본 실시형태에 따른 액정 표시 장치의 평가 결과에 대하여 설명한다. Next, the evaluation result of the liquid crystal display device which concerns on this embodiment is demonstrated.

우선 실시예 1, 2 및 비교예 1, 2, 3에 따른 액정 표시 장치 각각에 대하여, 전압 오프 시의 응답 시간 τoff를 측정하고 응답 속도를 평가했다. 각 실시예 및 비교예에 따른 액정 표시 장치의 셀 구성은 이하와 같다. 또한 도 7(a)는, 실시예 1의 셀 구성을 도시한 단면도이다. 도 7(b)는, 비교예 1의 셀 구성을 도시한 단면도이다. First, for each of the liquid crystal display devices according to Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1, 2 and 3, the response time tau off at the time of voltage off was measured and the response speed was evaluated. The cell structure of the liquid crystal display device which concerns on each Example and the comparative example is as follows. 7A is a cross-sectional view showing the cell configuration of the first embodiment. 7B is a cross-sectional view showing the cell configuration of Comparative Example 1. FIG.

실시예 1의 셀 구성은 다음과 같다. 기판(20, 22)으로서 각각 유리 기판을 사용했다. 빗살 전극을 구성하는 선 형상 전극(28)의 재료로서는 ITO를 사용했다. 또한 선 형상 전극(28)이 형성된 기판(20) 상에, 강앵커링막(40)을 형성했다. 강앵커링막(40)의 재료로서는 폴리이미드를 사용하고, 러빙법에 의한 배향 처리를 수행했다. 강앵커링막(40) 상에는, 잉크젯법에 의해 약앵커링막(38)을 형성했다. 약앵커링막(38)은, 복수의 선 형상 전극(28) 중에서 1개 간격으로 선 형상 전극(28)의 바로 위에 형성했다. 기판(20, 22) 사이의 갭, 즉 액정층(24)의 두께는 3.0 μm로 했다. 기판(22) 측 강앵커링막(36)의 재료로서는, 강앵커링막(40)과 동일하게 폴리이미드를 사용하고, 러빙법에 의한 배향 처리를 수행했다. 기판(20)의 외측 면에는, ITO막(60)을 형성했다. The cell configuration of Example 1 is as follows. Glass substrates were used as the substrates 20 and 22, respectively. ITO was used as a material of the linear electrode 28 which comprises a comb electrode. Furthermore, the strong anchoring film 40 was formed on the board | substrate 20 in which the linear electrode 28 was formed. As a material of the strong anchoring film 40, the polyimide was used and the orientation process by the rubbing method was performed. On the strong anchoring film 40, the weak anchoring film 38 was formed by the inkjet method. The weak anchoring film 38 was formed directly on the linear electrode 28 at one interval from among the plurality of linear electrodes 28. The gap between the substrates 20 and 22, that is, the thickness of the liquid crystal layer 24 was set to 3.0 μm. As the material of the strong anchoring film 36 on the substrate 22 side, polyimide was used in the same manner as the strong anchoring film 40, and alignment treatment was performed by a rubbing method. An ITO film 60 was formed on the outer surface of the substrate 20.

실시예 2의 셀 구성은, 약앵커링막(38)을, 복수의 선 형상 전극(28) 중 2개 간격으로 선 형상 전극(28)의 바로 위에 형성한 점을 제외하고, 실시예 1의 셀 구성과 동일하다. The cell structure of the second embodiment is the cell of the first embodiment except that the weak anchoring film 38 is formed directly on the linear electrode 28 at two intervals among the plurality of linear electrodes 28. Same as the configuration.

비교예 1의 셀 구성은, 강앵커링막(40)을 형성하지 않고 약앵커링막(38)을 전면에 형성한 점을 제외하고, 실시예 1의 셀 구성과 동일하다. The cell configuration of Comparative Example 1 is the same as that of the first embodiment except that the weak anchoring film 38 is formed on the entire surface without forming the strong anchoring film 40.

비교예 2의 셀 구성은, 약앵커링막(38)을, 복수의 선 형상 전극(28) 각각의 바로 위에 형성한 점을 제외하고, 실시예 1의 셀 구성과 동일하다. The cell configuration of Comparative Example 2 is the same as that of the first embodiment except that the weak anchoring film 38 is formed directly on each of the plurality of linear electrodes 28.

비교예 3의 셀 구성은, 약앵커링막(38)을 형성하지 않은 점, 즉 강앵커링막(40)을 전면에 형성한 점을 제외하고, 실시예 1의 셀 구성과 동일하다. The cell structure of the comparative example 3 is the same as the cell structure of Example 1 except not having formed the weak anchoring film 38, ie, the strong anchoring film 40 formed in the whole surface.

상기의 실시예 1, 2 및 비교예 1, 2, 3의 셀 구성 그리고 각각에 대하여, 전압 오프 시의 응답 시간 τoff를 측정한 결과를 표 1에 도시한다. Table 1 shows the results of measuring the response time tau off at the time of voltage-off for the cell configurations of the above-described Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1, 2 and 3, respectively.

<표 1>TABLE 1

Figure 112018006161748-pat00001
Figure 112018006161748-pat00001

표 1에 도시된 것과 같이 약앵커링막(38)을 전면에 형성한 비교예 1과 비교해서, 실시예 1, 2에서는 전압 오프 시의 응답 시간 τoff가 단축되었고, 전압 오프 시의 응답성이 개선된 것을 알 수 있다. Compared with Comparative Example 1 in which the weak anchoring film 38 was formed on the entire surface as shown in Table 1, in Examples 1 and 2, the response time τ off at the voltage off was shortened, and the response at the voltage off was reduced. It can be seen that the improvement.

또한 실시예 1, 2 및 비교예 1, 2, 3에 따른 액정 표시 장치 각각에 대해서, 구동 전압과 액정 패널의 광 투과율의 관계를 도시한 구동 전압-광 투과율 곡선(V-T 곡선)을 측정했다. 도 8은, V-T 곡선을 측정한 결과를 도시한 그래프이다. Moreover, about each liquid crystal display device which concerns on Example 1, 2 and Comparative Examples 1, 2, 3, the drive voltage-light transmittance curve (V-T curve) which shows the relationship of the drive voltage and the light transmittance of a liquid crystal panel was measured. 8 is a graph showing the results of measuring the V-T curve.

도 8로부터 명백하듯이, 실시예 1, 2 모두, 강앵커링막(40)을 전면에 형성한 비교예 3보다 높은 광 투과율이며, 약앵커링막(38)을 전면에 형성한 비교예 1과 동일한 정도의 광 투과율이 얻어지고 있다. As is apparent from FIG. 8, Examples 1 and 2 have a higher light transmittance than Comparative Example 3 in which the strong anchoring film 40 is formed on the entire surface, and is the same as Comparative Example 1 in which the weak anchoring film 38 is formed on the entire surface. A degree of light transmittance is obtained.

상기 평가 결과로부터, 실시예 1, 2에서는 광 투과율을 향상하는 한편 전압 오프 시의 응답성을 개선할 수 있었던 것을 알 수 있다. From the above evaluation results, it can be seen that in Examples 1 and 2, the light transmittance was improved while the response at the time of voltage off was improved.

<변형 실시형태>Modified Embodiment

본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고 여러 가지 변형이 가능하다. This invention is not limited to the said embodiment, A various deformation | transformation is possible.

예를 들면 상기 실시형태에서는, 복수의 선 형상 전극(28)을 형성하는 경우를 예로 설명했지만 여기에 한정되는 것은 아니다. 복수의 선 형상 전극(28) 대신 여러 가지 형상을 가지는 전극을 형성할 수 있다. For example, in the said embodiment, although the case where the some linear electrode 28 was formed was demonstrated to the example, it is not limited to this. Instead of the plurality of linear electrodes 28, electrodes having various shapes may be formed.

또한 상기 실시형태에서는, 강앵커링막(36, 40)으로서 폴리이미드막으로 이루어지는 배향막을 형성하는 경우를 예로 설명했지만, 여기에 한정되는 것은 아니다. 강앵커링막(36, 40)으로서 여러 가지 재료로 이루어지는 배향막을 형성할 수 있다. Moreover, in the said embodiment, although the case where the orientation film which consists of a polyimide film is formed as the strong anchoring films 36 and 40 was demonstrated to the example, it is not limited to this. As the strong anchoring films 36 and 40, an alignment film made of various materials can be formed.

10: 액정 표시 장치 12: 액정 패널
16: 표시 영역 18: 패드 영역
20: 기판 22: 기판
24: 액정층 28: 선 형상 전극
30: 전극 패드 36: 강앵커링막
38: 약앵커링막 40: 강앵커링막
10: liquid crystal display device 12: liquid crystal panel
16: display area 18: pad area
20: substrate 22: substrate
24: liquid crystal layer 28: linear electrode
30: electrode pad 36: strong anchoring film
38: weak anchoring film 40: strong anchoring film

Claims (18)

제 1 기판과,
상기 제 1 기판에 대향되는 제 2 기판과,
상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 개재된 액정층과,
상기 제 1 기판의 상기 액정층 측의 면 상에 형성되고, 상기 제 1 기판과 수평인 면 내에 전계를 형성 가능하게 구성된 복수의 전극과,
상기 복수의 전극 중 일부의 위에 형성된 제 1 배향막과,
상기 복수의 전극 사이의 상기 제 1 기판 상 및 상기 복수의 전극 중 나머지 부분의 위에 형성된 제 2 배향막과,
상기 제 2 기판의 상기 액정층 측에 형성된 제 3 배향막을 가지고,
상기 제 1 배향막의 앵커링 에너지가, 상기 제 2 및 제 3 배향막의 앵커링 에너지보다 작으며,
상기 제 1 기판의 상기 액정층 측의 면 상에 형성되고 서로 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트 라인 및 소스 라인을 더 포함하고,
상기 복수의 전극은 상기 화소영역 내에 위치하는 액정 표시 장치.
A first substrate,
A second substrate opposed to the first substrate,
A liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate;
A plurality of electrodes formed on a surface of the first substrate on the liquid crystal layer side and configured to form an electric field in a surface parallel to the first substrate,
A first alignment layer formed on a part of the plurality of electrodes,
A second alignment layer formed on the first substrate between the plurality of electrodes and on the remaining portion of the plurality of electrodes,
It has a 3rd alignment film formed in the said liquid crystal layer side of a said 2nd board | substrate,
The anchoring energy of the first alignment layer is smaller than the anchoring energy of the second and third alignment layers,
A gate line and a source line formed on a surface of the liquid crystal layer side of the first substrate and crossing each other to define a pixel region;
The plurality of electrodes is located in the pixel area.
제 1 기판과,
상기 제 1 기판에 대향되는 제 2 기판과,
상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 개재된 액정층과,
상기 제 1 기판의 상기 액정층 측의 면 상에 형성되고, 상기 제 1 기판과 수평인 면 내에 전계를 형성 가능하게 구성된 복수의 전극과,
상기 복수의 전극 중 일부의 위에 형성된 제 1 배향막과,
상기 복수의 전극 사이의 상기 제 1 기판 상 및 상기 복수의 전극 중 나머지 부분의 위에 형성된 제 2 배향막과,
상기 제 2 기판의 상기 액정층 측에 형성된 제 3 배향막을 가지고,
상기 제 1 배향막의 앵커링 에너지가, 상기 제 2 및 제 3 배향막의 앵커링 에너지보다 작으며,
상기 복수의 전극이 각각 선 형상 전극이고, 빗살 전극을 구성하는 액정 표시 장치.
A first substrate,
A second substrate opposed to the first substrate,
A liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate;
A plurality of electrodes formed on a surface of the first substrate on the liquid crystal layer side and configured to form an electric field in a surface parallel to the first substrate,
A first alignment layer formed on a part of the plurality of electrodes,
A second alignment layer formed on the first substrate between the plurality of electrodes and on the remaining portion of the plurality of electrodes,
It has a 3rd alignment film formed in the said liquid crystal layer side of a said 2nd board | substrate,
The anchoring energy of the first alignment layer is smaller than the anchoring energy of the second and third alignment layers,
The plurality of electrodes are each a linear electrode, and constitute a comb tooth electrode.
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 배향막이, 1개 간격 또는 복수 개 간격으로 상기 선 형상 전극의 바로 위에 형성되어 있는 액정 표시 장치.
The method of claim 2,
And the first alignment layer is formed directly on the linear electrode at one or a plurality of intervals.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 기판 상에 형성된 전극 패드를 가지고,
상기 전극 패드 상에는, 상기 제 1 배향막이 형성되지 않은 액정 표시 장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
Having an electrode pad formed on the first substrate,
The liquid crystal display device wherein the first alignment layer is not formed on the electrode pad.
제 4 항에 있어서,
상기 전극 패드가, 상기 복수의 전극과 동일한 층에 형성되어 있는 액정 표시 장치.
The method of claim 4, wherein
The liquid crystal display device in which the said electrode pad is formed in the same layer as the said some electrode.
제 4 항에 있어서,
상기 전극 패드가, 상기 복수의 전극과 동일한 재료로 형성되어 있는 액정 표시 장치.
The method of claim 4, wherein
The liquid crystal display device in which the said electrode pad is formed from the same material as the said some electrode.
제 1 기판과,
상기 제 1 기판에 대향되는 제 2 기판과,
상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 개재된 액정층과,
상기 제 1 기판의 상기 액정층 측의 면 상에 형성되고, 상기 제 1 기판과 수평인 면 내에 전계를 형성 가능하게 구성된 복수의 전극과,
상기 복수의 전극 중 일부의 위에 형성된 제 1 배향막과,
상기 복수의 전극 사이의 상기 제 1 기판 상 및 상기 복수의 전극 중 나머지 부분의 위에 형성된 제 2 배향막과,
상기 제 2 기판의 상기 액정층 측에 형성된 제 3 배향막을 가지고,
상기 제 1 배향막의 앵커링 에너지가, 상기 제 2 및 제 3 배향막의 앵커링 에너지보다 작으며,
상기 제 1 배향막이, 포토 레지스트막으로 이루어지는 액정 표시 장치.
A first substrate,
A second substrate facing the first substrate,
A liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate;
A plurality of electrodes formed on the surface of the liquid crystal layer side of the first substrate and configured to form an electric field in a surface parallel to the first substrate;
A first alignment layer formed on a part of the plurality of electrodes,
A second alignment layer formed on the first substrate between the plurality of electrodes and on the remaining portion of the plurality of electrodes;
It has a 3rd alignment film formed in the said liquid crystal layer side of a said 2nd board | substrate,
The anchoring energy of the first alignment layer is smaller than the anchoring energy of the second and third alignment layers,
A liquid crystal display device wherein the first alignment layer is a photoresist film.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 배향막의 앵커링 에너지가 10-6J/m2 이하인 액정 표시 장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The anchoring energy of the first alignment layer is 10 −6 J / m 2 or less.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 2 배향막의 앵커링 에너지가, 상기 제 3 배향막의 앵커링 에너지와 동등한 액정 표시 장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
A liquid crystal display device wherein the anchoring energy of the second alignment layer is equal to the anchoring energy of the third alignment layer.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 전극의 주재료가 ITO, IZO, AZO, GZO 및 ATO 중 어느 것인 액정 표시 장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The main material of the plurality of electrodes is any one of ITO, IZO, AZO, GZO and ATO.
제 1 기판과, 상기 제 1 기판에 대향되는 제 2 기판과, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 개재된 액정층과, 상기 제 1 기판의 상기 액정층 측의 면 상에 형성되고, 상기 제 1 기판과 수평인 면 내에 전계를 형성 가능하게 구성된 복수의 전극과, 상기 복수의 전극 중 일부의 위에 형성된 제 1 배향막과, 상기 복수의 전극 사이의 상기 제 1 기판 상 및 상기 복수의 전극 중 나머지 부분 위에 형성된 제 2 배향막과, 상기 제 2 기판의 상기 액정층 측에 형성된 제 3 배향막을 가지고, 상기 제 1 배향막의 앵커링 에너지가, 상기 제 2 및 제 3 배향막의 앵커링 에너지보다 작은 액정 표시 장치의 제조 방법으로서,
상기 제 1 기판의 상기 액정층 측이 되는 면 상에, 도전막을 형성하는 공정과,
상기 도전막 상에 포토 레지스트막을 형성하는 공정과,
서로 노광광의 투과율이 다른 제 1 패턴 및 제 2 패턴을 포함하는 상기 복수의 전극의 패턴을 가지는 마스크를 이용하여, 상기 제 1 패턴 및 상기 제 2 패턴을 상기 포토 레지스트막에 노광하는 공정과,
상기 포토 레지스트막을 현상함으로써, 상기 도전막 상에, 상기 제 1 패턴을 가지는 제 1 포토 레지스트막 및 상기 제 2 패턴을 가지는 제 2 포토 레지스트막을 형성하는 공정과,
상기 제 1 포토 레지스트막 및 상기 제 2 포토 레지스트막을 마스크로서 상기 도전막을 에칭함으로써, 상기 도전막으로 이루어지는 상기 복수의 전극을 형성하는 공정과,
상기 제 1 포토 레지스트막을 잔존시키며, 상기 제 2 포토 레지스트막을 제거함으로써, 상기 복수의 전극 중 일부의 위에, 상기 제 1 포토 레지스트막으로 이루어지는 상기 제 1 배향막을 형성하는 공정과,
상기 복수의 전극 사이의 상기 제 1 기판 상 및 상기 복수의 전극 중 나머지 부분 위에 상기 제 2 배향막을 형성하는 공정을 가지는 액정 표시 장치의 제조 방법.
A first substrate, a second substrate facing the first substrate, a liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate, and a surface on the side of the liquid crystal layer of the first substrate, A plurality of electrodes configured to form an electric field in a plane parallel to the first substrate, a first alignment layer formed on a part of the plurality of electrodes, and a plurality of electrodes on the first substrate between the plurality of electrodes A liquid crystal display having a second alignment film formed on the remaining portion of the second portion and a third alignment film formed on the side of the liquid crystal layer of the second substrate, wherein the anchoring energy of the first alignment film is smaller than the anchoring energy of the second and third alignment films. As a manufacturing method of the device,
Forming a conductive film on a surface of the first substrate on the side of the liquid crystal layer;
Forming a photoresist film on the conductive film;
Exposing the first pattern and the second pattern to the photoresist film using a mask having a pattern of the plurality of electrodes including a first pattern and a second pattern having different transmittances of exposure light;
Developing the photoresist film to form a first photoresist film having the first pattern and a second photoresist film having the second pattern on the conductive film;
Forming the plurality of electrodes made of the conductive film by etching the conductive film using the first photoresist film and the second photoresist film as a mask;
Forming the first alignment film made of the first photoresist film on a part of the plurality of electrodes by remaining the first photoresist film and removing the second photoresist film;
And forming the second alignment film on the first substrate between the plurality of electrodes and on the remaining portion of the plurality of electrodes.
제 11 항에 있어서,
상기 포토 레지스트막을 노광하는 공정에서는, 상기 제 1 패턴과는 상기 노광광의 투과율이 다른 제 3 패턴을 더욱 가지는 상기 마스크를 이용하여, 상기 제 3 패턴을 더욱 노광하고,
상기 포토 레지스트막을 현상하는 공정에서는, 상기 도전막 상에, 상기 제 3 패턴을 가지는 제 3 포토 레지스트막을 더욱 형성하고,
상기 복수의 전극을 형성하는 공정에서는, 상기 제 3 포토 레지스트막을 마스크로서 상기 도전막을 에칭함으로써, 상기 도전막으로 이루어지는 전극 패드를 더욱 형성하고,
상기 제 1 배향막을 형성하는 공정에서는, 상기 제 3 포토 레지스트막을 더욱 제거하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
The method of claim 11,
In the step of exposing the photoresist film, the third pattern is further exposed using the mask further having a third pattern having a transmittance of the exposure light different from the first pattern,
In the step of developing the photoresist film, a third photoresist film having the third pattern is further formed on the conductive film,
In the step of forming the plurality of electrodes, an electrode pad made of the conductive film is further formed by etching the conductive film using the third photoresist film as a mask,
The manufacturing method of the liquid crystal display device which removes the said 3rd photoresist film further at the process of forming a said 1st orientation film.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
상기 제 1 배향막을 형성하는 공정에서는, 애싱에 의해 상기 제 2 포토 레지스트막을 제거하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
The method according to claim 11 or 12,
The manufacturing method of the liquid crystal display device which removes the said 2nd photoresist film by ashing at the process of forming a said 1st orientation film.
제 11 항에 있어서,
상기 제 2 배향막을 형성하는 공정에서는, 상기 복수의 전극 사이의 상기 제 1 기판 상 및 상기 복수의 전극 중에서 나머지 부분의 위에 폴리이미드막을 형성하고, 상기 폴리이미드막에 대해서 광배향법에 의한 배향 처리를 수행하여, 상기 폴리이미드막으로 이루어지는 제 2 배향막을 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
The method of claim 11,
In the step of forming the second alignment film, a polyimide film is formed on the first substrate between the plurality of electrodes and on the remaining portion of the plurality of electrodes, and the alignment treatment is performed by a photoalignment method with respect to the polyimide film. The manufacturing method of the liquid crystal display device which forms the 2nd aligning film which consists of said polyimide film | membrane.
삭제delete 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,
상기 복수의 전극이 각각 선 형상 전극이고, 빗살 전극을 구성하는 액정 표시 장치.
The method according to claim 1 or 7,
The plurality of electrodes are each a linear electrode, and constitute a comb tooth electrode.
제 16 항에 있어서,
상기 제 1 배향막이, 1개 간격 또는 복수 개 간격으로 상기 선 형상 전극의 바로 위에 형성되어 있는 액정 표시 장치.
The method of claim 16,
And the first alignment layer is formed directly on the linear electrode at one or a plurality of intervals.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 배향막이, 포토 레지스트막으로 이루어지는 액정 표시 장치.
The method of claim 1,
A liquid crystal display device wherein the first alignment layer is a photoresist film.
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