KR102049252B1 - 케미컬 처리장치용 하우징 필터 및 이를 포함하는 케미컬 처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 케미컬 처리장치용 하우징 필터 및 이를 포함하는 케미컬 처리장치에 관한 것으로서, 하단부에 유출구가 형성되고 상부에 유입구가 형성되는 원통형의 하우징과; 상기 하우징의 하단부에서 상기 유출구의 상측 내주면을 따라 일체로 용접되는 링 형상의 테두리 지지대와; 상기 하우징에 수용되어 상기 테두리 지지대 상에 체결됨으로써 상기 하우징의 내부공간을 상기 유입구와 연통되는 상부의 유입측 공간과 상기 유출구와 연통되는 하부의 유출측 공간으로 구획하는 베이스 플레이트와; 상기 유입측 공간에서 상기 베이스 플레이트 상에 기립하도록 설치되고, 각기 하단부가 상기 베이스 플레이트를 관통하여 상기 유출측 공간과 연통되며 원통 형상의 표면에 다수의 타공홀이 형성되는 다수의 가이드 코어와; 상기 다수의 가이드 코어의 각 외주면에 끼워지는 파이프 형상의 다수의 카트리지 필터; 및 상기 하우징의 유출측 공간에 수용되어 테두리의 상단부가 상기 베이스 플레이트의 저면에 탈착 가능하게 체결되고, 망사체 구조를 경계로 하여 상기 유출측 공간을 상기 다수의 가이드 코어의 각 하단부와 연통되는 내측 공간과 상기 유출구와 연통되는 외측 공간으로 구획하는 메쉬 필터를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 카트리지 필터의 교체 과정에서 유입되는 이물 덩어리로 인한 노즐의 막힘 현상을 차단할 수 있다.

Description

케미컬 처리장치용 하우징 필터 및 이를 포함하는 케미컬 처리장치{HOUSING FILTER FOR CHEMICAL PROCESSING APPARATUS AND CHEMICAL PROCESSING APPARATUS COMPRISING THE SAME}

본 발명은 PCB, 반도체, LCD, 리드프레임, ITO 등의 제조공정에 적용되는 케미컬 처리장치(일명: WET 설비)의 일 구성요소로서, 구체적으로는 화학물질이나 세정액을 필터링해주는 하우징 필터에 관한 것이다.

일반적으로, PCB, 반도체, LCD, 리드프레임, ITO 등의 제조공정에 적용되는 케미컬 처리장치로서, 예를 들어 PCB용 세정장비(1)에서는 도 1에 도시된 바와 같이 탱크(2)에 저장된 세정액이 펌프(3)에 의해 공급되어 하우징 필터(4)를 통과하는 과정에서 소정의 허용범위를 벗어난 크기의 굵은 입자가 걸러진 후에 노즐(5)을 통해 PCB(도면 미도시)의 양측면에 분사됨으로써 상기 PCB에 대한 세정작업이 이루어지게 된다.

상기 하우징 필터(4)의 세부구성을 살펴보면, 도 2에 도시된 바와 같이, 하우징(41)의 내주면에 용접된 베이스 플레이트(42) 상에 다수의 가이드 코어(43)의 하단부가 관통하도록 기립하여 설치되고, 각 가이드 코어(43)의 외주면으로는 소정 두께를 갖는 파이프 형상의 카트리지 필터(44)가 끼워진 상태로 누름판(45)에 눌러져 칼라(collar, 46) 및 누름나사(47)에 의해 고정된다.

이러한 구성에 의해, 유입구(48)를 통해 하우징(41)의 내측으로 유입되는 세정액은 다수의 카트리지 필터(44)를 통과하는 과정에서 필터링되어 가이드 코어(43)의 타공홀(43a)을 통해 코어(43)의 내측으로 유입되고, 가이드 코어(43)의 하단부의 개구(43b)를 통해 베이스 플레이트(42)의 하측으로 통과하여 유출구(49)를 통해 노즐(도 1의 5) 측으로 공급된다.

그러나, 이러한 종래의 하우징 필터(4)의 구조에 의하면, 카트리지 필터(44)를 새것으로 교체하기 위해 도 3에 도시된 바와 같이 상기 카트리지 필터(44)를 가이드 코어(43)로부터 상부로 뽑아내어 분리시키는 과정에서 카트리지 필터(44)에 붙어있던 이물 덩어리(6)가 상기 카트리지 필터(44)로부터 떨어져 나와 가이드 코어(43) 속으로 유입되는 현상이 발생함으로 인해, 새로운 카트리지 필터(44)로 교체하더라도 상기 이물 덩어리(6)가 노즐(5) 측으로 흘러들어가게 되어 노즐구멍을 막는 문제를 일으켰다.

따라서, 본 발명의 목적은 카트리지 필터의 교체 과정에 의해서 발생하게 되는 이물 덩어리를 걸러주는 수단을 구비함으로써 상기 이물 덩어리의 유입으로 인한 노즐의 막힘 현상을 차단시켜 줄 수 있는 케미컬 처리장치용 하우징 필터 및 이를 포함하는 케미컬 처리장치를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 케미컬 처리장치용 하우징 필터에 있어서, 하단부에 유출구가 형성되고 상대적으로 상부에 유입구가 형성되는 원통형의 하우징과; 상기 하우징의 하단부에서 상기 유출구의 상측 내주면을 따라 일체로 용접되는 링 형상의 테두리 지지대와; 상기 하우징에 수용되어 테두리가 상기 테두리 지지대 상에 안착 및 탈착 가능하게 체결됨으로써 상기 하우징의 내부공간을 상기 유입구와 연통되는 상부의 유입측 공간과 상기 유출구와 연통되는 하부의 유출측 공간으로 구획하는 원반 형상의 베이스 플레이트와; 상기 유입측 공간에서 상기 베이스 플레이트 상에 기립하도록 설치되며 원주방향으로 일정간격으로 이격 배치되고, 각기 하단부가 상기 베이스 플레이트를 관통하여 상기 유출측 공간과 연통되며 원통 형상의 표면에 다수의 타공홀이 형성되는 다수의 가이드 코어와; 상기 다수의 가이드 코어의 각 외주면에 끼워지는 소정 두께를 갖는 파이프 형상의 다수의 카트리지 필터; 및 상기 하우징의 유출측 공간에 수용되어 테두리의 상단부가 상기 베이스 플레이트의 저면에 탈착 가능하게 체결되고, 망사체 구조를 경계로 하여 상기 유출측 공간을 상기 다수의 가이드 코어의 각 하단부와 연통되는 내측 공간과 상기 유출구와 연통되는 외측 공간으로 구획하는 메쉬 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 처리장치용 하우징 필터를 제공한다.

여기서, 상기 테두리 지지대는 상면에 원주방향으로 수용홈부가 형성되고, 상기 베이스 플레이트의 테두리는 상기 수용홈부에 수용되는 패킹 링(packing ring)을 매개로 하여 상기 테두리 지지대 상에 안착 및 체결되는 구성을 취할 수도 있다.

이때, 상기 베이스 플레이트의 테두리는 상기 패킹 링 상에 안착되는 저면에 원주방향으로 돌기선이 돌출 형성됨으로써 상기 돌기선이 상기 패킹 링의 상면을 가압한 상태로 상기 테두리 지지대 상에 안착 및 체결되는 구성을 취할 수도 있다.

한편, 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 상기 케미컬 처리장치용 하우징 필터를 포함하는 케미컬 처리장치를 제공한다.

이상과 같이 본 발명에 따른 케미컬 처리장치용 하우징 필터 및 이를 포함하는 케미컬 처리장치에 의하면, 카트리지 필터를 통과한 세정액에 대하여 메쉬 필터에서 추가 필터링을 해줌으로써 카트리지 필터를 교체하는 과정에서 유입될 수 있는 이물 덩어리가 노즐 측으로 흘러들어가는 현상을 차단시켜 줄 수 있다.

도 1은 종래기술에 따른 케미컬 처리장치로서 PCB 세정장비의 개략도,
도 2는 도 1의 PCB 세정장비에 적용된 하우징 필터의 세부 단면도,
도 3은 도 2의 하우징 필터에서 카트리지 필터를 교체하는 모습을 설명한 분해도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 처리장치용 하우징 필터의 단면도,
도 5는 도 4의 하우징 필터에서 카트리지 필터를 교체하는 모습을 설명한 분해도,
도 6은 도 4의 하우징 필터에서 메쉬 필터를 교체하는 모습을 설명한 분해도이다.

본 발명의 실시예에 따른 PCB 세정장비용 하우징 필터(100)는 도 4에 도시된 바와 같이 원통형의 하우징(110), 하우징(110)의 내주면에 용접되는 테두리 지지대(120), 테두리 지지대(120) 상에 안착되는 원반 형상의 베이스 플레이트(130), 베이스 플레이트(130) 상에 기립 설치되는 다수의 가이드 코어(140), 각 가이드 코어(140)마다 외주면에 끼워지는 다수의 카트리지 필터(150), 베이스 플레이트(130)의 저면에 설치되는 메쉬 필터(160)를 포함한다.

하우징(110)은 하단부 일측에 유출구(111)가 형성되고 중간 부위에 유입구(112)가 형성된다. 세정액은 유입구(112)를 통해 유입되고 유출구(111)를 통해 노즐측으로 유출된다.

링 형상의 테두리 지지대(120)는 하우징(110)의 하단부에 삽입되어 그 외주면이 하우징(110)의 내주면에 면접촉한 상태에서 일체로 용접된다. 테두리 지지대(120)는 유출구(111)의 바로 위에 배치되며, 유입구(112)보다는 아래 쪽에 배치된다.

베이스 플레이트(130)는 하우징(110)에 수용되어 그 테두리가 테두리 지지대(120) 상에 안착되어 볼트 체결됨으로써 탈착 가능하게 결합한다. 이러한 베이스 플레이트(130)에 의해 하우징(110)의 내부공간은 유입구(112)와 연통되는 상부의 유입측 공간(S1)과 유출구(111)와 연통되는 하부의 유출측 공간(S2)으로 구획된다.

다수의 가이드 코어(140)는 유입측 공간(S1)에서 베이스 플레이트(130) 상에 기립하도록 설치되며, 서로 원주방향으로 일정 간격으로 이격 배치된다. 각 가이드 코어(140)의 하단부는 베이스 플레이트(130)를 관통하여 유출측 공간(S2)과 연통된다. 원통 형상의 가이드 코어(140)는 표면에 다수의 타공홀(141)이 관통 형성된다.

소정 두께를 갖는 파이프 형상의 카트리지 필터(150)는 각각의 가이드 코어(140)의 외주면에 끼워진다. 카트리지 필터(150)에 의해 5~10㎛ 이상의 이물질 입자를 필터링할 수 있다.

베이스 플레이트(130)의 하부, 즉 하우징(110)의 유출측 공간(S2)에는 메쉬 필터(mesh filter, 160)가 수용되며, 메쉬 필터(160)의 테두리 상단부가 베이스 플레이트(130)의 저면에 볼트 체결됨으로써 탈착 가능하게 결합한다. 망사체 구조를 갖는 메쉬 필터(160)는 하우징(110)의 유출측 공간(S2)을 베이스 플레이트(130)의 저면과 함께 이루는 내측 공간(Si)과 상기 망사체 구조를 경계로 하여 외측 공간(So)으로 구획한다. 내측 공간(Si)으로는 가이드 코어(140)의 하단부와 연통되고, 외측 공간(So)으로는 유출구(111)와 연통된다.

메쉬 필터(160)가 갖는 망사체 구조는 40메쉬, 60메쉬 또는 80메쉬로 구비될 수 있다.

이상과 같이 구성되는 하우징 필터(100)에 의하면, 유입구(112)를 통해 하우징(110)의 유입측 공간(S1)으로 유입된 세정액은 카트리지 필터(150)를 통과하여 필터링된 다음, 내측의 가이드 코어(140)로 유입되어 하단부로 이동하여 베이스 플레이트(130)를 통과함으로써 하부의 유출측 공간(S2)으로 유입된다.

유출측 공간(S2)으로 유입된 세정액은 먼저 메쉬 필터(160)의 내측 공간(Si)으로 유입된 다음 메쉬 필터(160)의 망사체 구조를 통과하면서 외측 공간(So)으로 이동하여 마지막으로 유출구(111)를 통해 외부의 노즐측으로 공급된다.

카트리지 필터(150)를 교체하고자 하는 경우에는, 도 5에 도시된 바와 같이 상단의 뚜껑(113)을 열어 누름나사(171)를 풀어 누름판(172), 스프링(173) 및 플러그(174)를 해제한 다음, 가이드 코어(140)로부터 카트리지 필터(150)를 뽑아내어 새것으로 교체하여 다시 끼워줌으로써 달성된다.

이 과정에서, 카트리지 필터(150)의 표면에 붙어있던 이물 덩어리(6)는 가이드 코어(140)로 유입될 수 있는데, 이들 이물 덩어리(6)는 가이드 코어(140)의 하단부를 통과하여 메쉬 필터(160)에 의해 걸러져 필터링됨으로써 유출구(111)를 통해 노즐측으로 유출되는 것을 차단할 수 있게 된다.

메쉬 필터(160)의 청소 주기는 카트리지 필터(150)의 교체주기보다 훨씬 길게 설정할 수 있다. 예를 들어, 카트리지 필터(150)의 교체주기가 1일이라면 메쉬 필터(160)의 청소 주기는 6개월이 될 수 있다.

메쉬 필터(160)의 청소를 위해서는 도 6에 도시된 바와 같이 카트리지 필터(150)뿐 아니라 베이스 플레이트(130)의 테두리 지지대(120)에 대한 볼트체결을 해제함으로써 상기 테두리 지지대(120)를 제외한 하우징(110) 내에 설치된 모든 구성요소를 들어낸 다음, 마지막으로 베이스 플레이트(130)에 대한 메쉬 필터(160)의 볼트체결을 해제하여 상기 메쉬 필터(160)만을 분리해내어 세척한다.

상기 분해의 역순으로 상기 구성들을 재조립하여 하우징(110) 내에 다시 설치할 수 있다.

도 4의 확대도를 참조하면, 테두리 지지대(120)의 내측 상면에는 수용홈부(121)를 원주방향으로 형성하고 여기에 패킹 링(packing ring, 180)을 수용함으로써 베이스 플레이트(130)의 테두리 저면이 패킹 링(180) 상면에 밀착되도록 하여 이들 사이의 틈새를 통해 세정액이 상측의 유입측 공간(S1)으로부터 하측의 유출측 공간(S2)으로 유입되지 않도록 한다.

특히, 베이스 플레이트(130)의 테두리 저면으로는 원주방향으로 돌기선(131)을 돌출 형성함으로써 이를 통해 패킹 링(180)의 상면을 가압한 상태로 볼트 체결이 이루어지도록 하여 밀폐력을 높일 수 있다.

한편, 이상에서 설명된 PCB 세정장비용 하우징 필터(100) 및 이를 포함하는 PCB 세정장비(도 1의 1 참조)는 본 발명의 이해를 돕기 위한 일 실시예에 불과하므로 본 발명의 권리범위 내지 기술적 범위가 상기에서 설명된 바에 한정되는 것으로 이해되어서는 곤란하다.

본 발명의 권리범위 내지 기술적 범위는 후술하는 특허청구범위 및 그 균등범위에 의해 정하여진다.

1: PCB 세정장비 2: 탱크
3: 펌프 4: 하우징 필터
5: 노즐 6: 이물 덩어리
100: PCB 세정장비용 하우징 필터 110: 하우징
111: 유출구 112: 유입구
120: 테두리 지지대 121: 수용홈부
130: 베이스 플레이트 131: 돌기선
140: 가이드 코어 141: 타공홀
150: 카트리지 필터 160: 메쉬 필터
180: 패킹 링(packing ring)

Claims (4)

1. 케미컬 처리장치용 하우징 필터에 있어서,
   하단부에 유출구가 형성되고 상대적으로 상부에 유입구가 형성되는 원통형의 하우징과; 상기 하우징의 하단부에서 상기 유출구의 상측 내주면을 따라 일체로 용접되는 링 형상의 테두리 지지대와; 상기 하우징에 수용되어 테두리가 상기 테두리 지지대 상에 안착 및 탈착 가능하게 체결됨으로써 상기 하우징의 내부공간을 상기 유입구와 연통되는 상부의 유입측 공간과 상기 유출구와 연통되는 하부의 유출측 공간으로 구획하는 원반 형상의 베이스 플레이트와; 상기 유입측 공간에서 상기 베이스 플레이트 상에 기립하도록 설치되며 원주방향으로 일정간격으로 이격 배치되고, 각기 하단부가 상기 베이스 플레이트를 관통하여 상기 유출측 공간과 연통되며 원통 형상의 표면에 다수의 타공홀이 형성되는 다수의 가이드 코어와; 상기 다수의 가이드 코어의 각 외주면에 끼워지는 소정 두께를 갖는 파이프 형상의 다수의 카트리지 필터; 및 상기 하우징의 유출측 공간에 수용되어 테두리의 상단부가 상기 베이스 플레이트의 저면에 탈착 가능하게 체결되고, 망사체 구조를 경계로 하여 상기 유출측 공간을 상기 다수의 가이드 코어의 각 하단부와 연통되는 내측 공간과 상기 유출구와 연통되는 외측 공간으로 구획하는 메쉬 필터를 포함하며,
   상기 테두리 지지대는 상면에 원주방향으로 수용홈부가 형성되고, 상기 베이스 플레이트의 테두리는 상기 수용홈부에 수용되는 패킹 링(packing ring)을 매개로 하여 상기 테두리 지지대 상에 안착 및 체결되며,
   상기 베이스 플레이트의 테두리는 상기 패킹 링 상에 안착되는 저면에 원주방향으로 돌기선이 돌출 형성됨으로써 상기 돌기선이 상기 패킹 링의 상면을 가압한 상태로 상기 테두리 지지대 상에 안착 및 체결되며,
   상기 메쉬 필터의 테두리 상단부는 상기 테두리 지지대의 내측에 이격된 위치에서 상기 베이스 플레이트의 저면에 탈착 가능하게 체결됨으로써, 상기 테두리 지지대에 대한 상기 베이스 플레이트의 분리 시 상기 메쉬 필터는 상기 베이스 플레이트에 체결된 상태에서 일체로 분리되는 것을 특징으로 하는 케미컬 처리장치용 하우징 필터.
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3. 삭제
4. 제1항에 따른 케미컬 처리장치용 하우징 필터를 포함하는 케미컬 처리장치.

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