KR102048658B1 - Ozone system - Google Patents

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KR102048658B1
KR102048658B1 KR1020190069767A KR20190069767A KR102048658B1 KR 102048658 B1 KR102048658 B1 KR 102048658B1 KR 1020190069767 A KR1020190069767 A KR 1020190069767A KR 20190069767 A KR20190069767 A KR 20190069767A KR 102048658 B1 KR102048658 B1 KR 102048658B1
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ozone generating
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KR1020190069767A
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임상준
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임상준
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    • C01B2201/60—Feed streams for electrical dischargers
    • C01B2201/64—Oxygen

Abstract

Provided is an ozone generation system, which comprises: a plurality of ozone generation modules (10) arranged in parallel; a power supply module for supplying power to the ozone generation modules (10); an oxygen branch pipe (40) separately connected to each of the ozone generation modules (10) through an oxygen supply pipe (30); a cooling module (50) coupled to each of the ozone generation modules (10); an ozone branch pipe (60) separately connected to each of the ozone generation modules (10); and an ozone discharge pipe (70) combined with the ozone branch pipe (60). A lance filter (41) is coupled to an end of the oxygen branch pipe (40) positioned inside the ozone generation modules (10).

Description

오존발생시스템{Ozone system} Ozone generation system

본 발명은 오존발생시스템에 관한 것이다. The present invention relates to an ozone generating system.

등록번호 제20-0278111호의 '오존발생기의 냉각장치'는 오존발생기의 작동중 오존발생기를 냉각하는 것과 관련된 종래기술 중의 하나이다.'Ozone generator cooling apparatus' of the registered patent No. 20-0278111 is one of the related art related to cooling the ozone generator during operation of the ozone generator.

상기 종래기술에 의한 오존발생기의 냉각장치는, 외주면 양단부 영역에 각각 산소유입구와 오존배출구가 형성되어 있으며 고압전원이 인가되는 방열관과 상기 방열관의 내주면과의 사이에 오존발생공간을 형성하도록 상기 방열관 내에 수용되는 유리관과 상기 유기관의 내주면에 형성되며 고압전원이 인가되는 용사전극층을 갖는 오존발생기로 구성된 오존발생기에 있어서, 상기 오존발생기를 기밀하게 수용하는 냉각케이스와, 상기 냉각케이스의 일영역에 설치되어 상기 오존발생기를 냉각시키는 냉매냉각기를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the conventional ozone generator cooling apparatus, an oxygen inlet and an ozone outlet are formed at both end regions of the outer circumferential surface, and the ozone generating space is formed between the heat dissipation tube to which a high-voltage power is applied and the inner circumferential surface of the heat dissipation tube. An ozone generator comprising a glass tube accommodated in a heat dissipation tube and an ozone generator having a spray electrode layer formed on an inner circumferential surface of the organic tube and to which a high voltage power is applied, a cooling case for hermetically receiving the ozone generator, and one of the cooling cases It is characterized in that it comprises a refrigerant cooler installed in the area to cool the ozone generator.

즉, 상기 종래기술에 의한 오존발생기의 냉각장치에서는 오존발생기를 기밀한 냉각케이스에 수용하고 상기 냉각케이스에 냉매냉각기를 두는 방법으로 오존발생기를 냉각한다.That is, in the conventional ozone generator cooling apparatus, the ozone generator is cooled by receiving the ozone generator in an airtight cooling case and placing a refrigerant cooler in the cooling case.

그러나 상기 냉매냉각기를 이용하여 오존발생기를 냉각시키는 데에는 많은 에너지가 소요되며, 특히 반도체 제조공정과 같이 전기소모량이 제한되는 환경에서는 상기 종래기술에 의한 오존발생기의 냉각장치를 사용하는 것이 적합하지 못하다.However, a large amount of energy is required to cool the ozone generator using the refrigerant cooler, and in particular, in an environment where electric consumption is limited, such as a semiconductor manufacturing process, it is not suitable to use the ozone generator cooling apparatus according to the prior art.

한국공개번호 제10-2018-0125653호(고효율 오존발생시스템)Korean Publication No. 10-2018-0125653 (High Efficiency Ozone Generation System)

본 발명은 복수의 오존생성모듈을 병렬연결하더라도 고농도의 산소를 각각의 오존생성모듈에 동일 수준으로 공급할 수 있는 오존발생시스템을 제공하고자 한다.    The present invention is to provide an ozone generating system that can supply a high concentration of oxygen to each ozone generating module at the same level even if a plurality of ozone generating modules are connected in parallel.

본 발명의 일측면에 따르면, According to one aspect of the invention,

병렬로 배치된 복수의 오존생성모듈(10)과;A plurality of ozone generating modules 10 arranged in parallel;

상기 오존생성모듈(10)에 전력을 공급하는 전력공급모듈과;A power supply module for supplying power to the ozone generating module 10;

산소공급관(30)에서 상기 복수의 오존생성모듈(10)에 각각 연결된 산소분기관(40)과;An oxygen branch pipe 40 connected to the plurality of ozone generating modules 10 in an oxygen supply pipe 30;

상기 복수의 오존생성모듈(10)에 각각 결합된 냉각모듈(50)과;A cooling module 50 respectively coupled to the plurality of ozone generating modules 10;

상기 복수의 오존생성모듈(10)에 각각 연결된 오존분기관(60)과;An ozone branch pipe (60) connected to the plurality of ozone generating modules (10), respectively;

상기 오존분기관(60)이 합쳐지는 오존배출관(70)을 포함하되,Including the ozone discharge pipe 70 is combined with the ozone branch pipe 60,

상기 오존생성모듈(10)의 내부에 위치하는 상기 산소분기관(40)의 말단에는 랜스필터(41)가 결합되는 것을 특징으로 하는 오존발생시스템이 제공된다. An ozone generating system is provided, characterized in that the lance filter 41 is coupled to the end of the oxygen branch pipe 40 located inside the ozone generating module 10.

또한,In addition,

상기 산소분기관(40)의 내부에는 압력조절모듈(90)이 결합되며,The pressure control module 90 is coupled to the inside of the oxygen branch pipe 40,

상기 압력조절모듈(90)은,The pressure control module 90,

상기 산소공급관(30) 방향에 위치하며 상기 산소분기관(40)의 내부에서 가이드 결합되어 이동가능한 제1 차단판(91)과;A first blocking plate (91) positioned in the direction of the oxygen supply pipe (30) and movable by guide coupling within the oxygen branch pipe (40);

상기 오존생성모듈(10) 방향으로 상기 제1 차단판(91)과 이격되어 위치하며, 복수의 제2 홀(921)이 형성되어 있으며, 상기 산소분기관(40)의 내부에 고정된 제2 차단판(92)과;A second hole positioned apart from the first blocking plate 91 in the direction of the ozone generating module 10 and having a plurality of second holes 921 formed therein and fixed inside the oxygen branch pipe 40; Blocking plate 92;

상기 제1 차단판(91)과 상기 제2 차단판(92) 사이에 결합된 코일 스프링(93)과;A coil spring (93) coupled between the first blocking plate (91) and the second blocking plate (92);

상기 제1 차단판(91)에 상기 제2 차단판(92) 방향으로 상기 복수의 제2 홀(921)과 대응되는 위치에 돌출된 복수의 돌기(941~944)를 포함하되,The first blocking plate 91 includes a plurality of projections (941 ~ 944) protruding at a position corresponding to the plurality of second holes 921 in the direction of the second blocking plate 92,

상기 복수의 돌기(941~944)의 길이는 각각 다르며,The lengths of the plurality of protrusions 941 to 944 are different from each other,

상기 산소분기관(40)을 통하여 고압의 산소가 공급될 경우 상기 산소의 압력에 따라 상기 제1 차단판(91)이 상기 제2 차단판(92) 방향으로 이동하고, 길이가 다른 상기 복수의 돌기(941~944)가 연속적으로 상기 제2 홀(921)을 막음으로써 상기 오존생성모듈(10)로 공급되는 산소의 양을 조절하는 것을 특징으로 하는 오존발생시스템을 제공한다.When high-pressure oxygen is supplied through the oxygen branch pipe 40, the first blocking plate 91 moves in the direction of the second blocking plate 92 in accordance with the pressure of the oxygen, and the plurality of different lengths are provided. The projections 941 to 944 continuously block the second hole 921 to provide an ozone generating system, characterized in that to control the amount of oxygen supplied to the ozone generating module 10.

본 발명은 복수의 오존생성모듈을 병렬연결하더라도 고농도의 산소를 각각의 오존생성모듈에 동일 수준으로 공급할 수 있는 오존발생시스템을 제공한다. The present invention provides an ozone generating system capable of supplying high concentrations of oxygen to each ozone generating module at the same level even when a plurality of ozone generating modules are connected in parallel.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존발생시스템의 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오존발생시스템의 압력조절모듈의 사시도.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 오존발생시스템의 압력조절모듈의 작동 예시도.1 is a block diagram of an ozone generating system according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view of the pressure control module of the ozone generating system according to an embodiment of the present invention.
3 and 4 are diagrams illustrating the operation of the pressure regulating module of the ozone generating system according to an embodiment of the present invention.

이하에는, 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부도면을 참조로 상세하게 설명하되, 이는 본 발명에 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이지, 이로써 본 발명의 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be described in detail so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. It does not mean that the spirit and scope of the present invention are limited.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존발생시스템의 구성도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오존발생시스템의 압력조절모듈의 사시도이며, 도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 오존발생시스템의 압력조절모듈의 작동 예시도이다. 1 is a configuration diagram of an ozone generating system according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view of the pressure control module of the ozone generating system according to an embodiment of the present invention, Figures 3 and 4 of the present invention Figure 1 is an exemplary operation of the pressure control module of the ozone generating system according to an embodiment.

본 발명의 오존발생시스템(100)은,Ozone generation system 100 of the present invention,

병렬로 배치된 복수의 오존생성모듈(10)과;A plurality of ozone generating modules 10 arranged in parallel;

상기 오존생성모듈(10)에 전력을 공급하는 전력공급모듈(미도시)과;A power supply module (not shown) for supplying power to the ozone generating module 10;

산소공급관(30)에서 상기 복수의 오존생성모듈(10)에 각각 연결된 산소분기관(40)과;An oxygen branch pipe 40 connected to the plurality of ozone generating modules 10 in an oxygen supply pipe 30;

상기 복수의 오존생성모듈(10)에 각각 결합된 냉각모듈(50)과;A cooling module 50 respectively coupled to the plurality of ozone generating modules 10;

상기 복수의 오존생성모듈(10)에 각각 연결된 오존분기관(60)과;An ozone branch pipe (60) connected to the plurality of ozone generating modules (10), respectively;

상기 오존분기관(60)이 합쳐지는 오존배출관(70)을 포함하되,Including the ozone discharge pipe 70 is combined with the ozone branch pipe 60,

상기 오존생성모듈(10)의 내부에 위치하는 상기 산소분기관(40)의 말단에는 랜스필터(lance filter,41)가 결합되는 것을 특징으로 한다.A lance filter 41 is coupled to an end of the oxygen branch pipe 40 positioned inside the ozone generating module 10.

본 실시예의 오존생성모듈(10)은 복수이며, 병렬로 배치되어 있다. 오존생성모듈(10)은 챔버(11)와, 상기 챔버(11) 내부에 위치하여 산소와 공급된 공기가 들어오면 플라즈마 상태를 발생하는 방전모듈(12)을 포함한다. The ozone generating module 10 of this embodiment is plural and arranged in parallel. The ozone generating module 10 includes a chamber 11 and a discharge module 12 positioned inside the chamber 11 and generating a plasma state when oxygen and supplied air enter.

전력공급모듈은 오존생성모듈(10)에 전력을 공급한다. The power supply module supplies power to the ozone generating module 10.

산소분기관(40)은 복수로 이루어지며, 산소공급관(30)에서 각각 연결되어 분기되어 있다. 산소분기관(40)으로 고농도의 산소가 포함된 공기가 공급된다. 각각의 산소분기관(40)을 통하여 동일한 양의 산소가 오존생성모듈(10)로 공급되는 것이 중요하다. 산소의 농도에 따라서 오존의 발생농도가 달라진다. 따라서, 복수의 오존생성모듈(10)로 기준 이상의 산소를 공급하는 것이 중요하다. Oxygen distributor 40 is made of a plurality, is branched and connected to each of the oxygen supply pipe (30). The oxygen branch pipe 40 is supplied with air containing a high concentration of oxygen. It is important that the same amount of oxygen is supplied to the ozone generating module 10 through each oxygen branch pipe 40. The concentration of ozone varies depending on the concentration of oxygen. Therefore, it is important to supply oxygen above the reference to the plurality of ozone generating modules 10.

산소분기관(40)의 말단에는 랜스필터(lance filter,41)가 결합되어 있으며, 랜스필터(41)는 오존생성모듈(10)의 내부에 위치한다. 랜스필터(41)에 의해서 고압의 산소가 오존생성모듈(10)로 진입시 저항체의 역할을 한다. 랜스필터(41)는 합성섬유나 금속섬유가 뭉쳐진 형태이다. A lance filter 41 is coupled to the end of the oxygen branch 40, and the lance filter 41 is positioned inside the ozone generating module 10. When the high pressure oxygen enters the ozone generating module 10 by the lance filter 41, it acts as a resistor. The lance filter 41 is a form in which synthetic fibers or metal fibers are agglomerated.

복수의 오존생성모듈(10)이 병렬로 연결되어 있는바, 산소공급관(30)으로부터 이격된 각각 오존생성모듈(10)의 위치에 따라서 오존생성모듈(10)에 공급되는 산소량이 달라진다. 병렬로 연결된 오존생성모듈(10)은 일정한 수준의 산소가 모든 오존생성모듈(10)에 공급되도록 제어하는 것이 핵심이다. Since the plurality of ozone generating modules 10 are connected in parallel, the amount of oxygen supplied to the ozone generating module 10 varies according to the position of each ozone generating module 10 spaced from the oxygen supply pipe 30. The ozone generating module 10 connected in parallel is the key to control a certain level of oxygen is supplied to all the ozone generating module (10).

오존생성모듈(10)에서 생성된 오존은 오존분기관(60)을 거쳐 오존배출관(70)에서 합쳐진다. 오존배출관(70)에는 압력게이지(80)가 결합된다. 압력게이지는 오존생성모듈(10)의 내부 압력을 15psi에서 48psi로 유지 시킨다. Ozone generated in the ozone generating module 10 is combined in the ozone discharge pipe 70 via the ozone branch pipe 60. The pressure gauge 80 is coupled to the ozone discharge pipe 70. Pressure gauge maintains the internal pressure of the ozone generating module 10 from 15psi to 48psi.

산소분기관(40)의 내부에는 압력조절모듈(90)이 결합된다. 압력조절모듈(90)이 산소분기관(40)의 내부에 결합될 경우, 일정한 범위의 압력의 산소가 각각의 오존생성모듈(10)에 공급된다. The pressure regulation module 90 is coupled to the inside of the oxygen branch 40. When the pressure regulating module 90 is coupled to the inside of the oxygen branch pipe 40, oxygen of a predetermined range of pressure is supplied to each ozone generating module 10.

압력조절모듈(90)은 고압의 산소가 산소분기관(40)의 내부로 유입될 경우 압력을 줄여 오존생성모듈(10)로 공급되는 산소의 양을 조절해준다. 반면, 압력조절모듈(90)은 다소 낮은 압력의 산소가 산소분기관(40)의 내부로 공급될 경우 압력조절모듈(90)은 압력을 줄이지 않고 그대로 오존생성모듈(10)로 산소로 공급된다. The pressure control module 90 adjusts the amount of oxygen supplied to the ozone generating module 10 by reducing the pressure when oxygen of high pressure is introduced into the oxygen branch pipe 40. On the other hand, the pressure control module 90 is supplied to the ozone generating module 10 as oxygen as it is without reducing the pressure when the oxygen of a somewhat low pressure is supplied to the interior of the oxygen branch pipe (40). .

압력조절모듈(90)은, 제1 홀(911)이 형성되어 있으며 상기 산소공급관(30) 방향에 위치하며 상기 산소분기관(40)의 내부에서 가이드 결합되어 이동 가능한 제1 차단판(91)과; 상기 오존생성모듈(10) 방향으로 상기 제1 차단판(91)과 이격되어 위치하며, 복수의 제2 홀(921)이 형성되어 있으며, 상기 산소분기관(40)의 내부에 고정된 제2 차단판(92)과; 상기 제1 차단판(91)과 상기 제2 차단판(92) 사이에 결합된 코일 스프링(93)과; 상기 제1 차단판(91)에 상기 제2 차단판(92) 방향으로 상기 복수의 제2 홀(921)과 대응되는 위치에 돌출된 복수의 돌기(941~944)를 포함하되, 상기 복수의 돌기(941~944)의 길이는 각각 다르며, 상기 산소분기관(40)을 통하여 고압의 산소가 공급될 경우 상기 산소의 압력에 따라 상기 제1 차단판(91)이 상기 제2 차단판(92) 방향으로 이동하고, 길이가 다른 상기 복수의 돌기(941~944)가 연속적으로 상기 제2 홀(921)을 막음으로써 상기 오존생성모듈(10)로 공급되는 산소의 양을 조절하는 것을 특징으로 한다. The pressure regulating module 90 has a first hole 911 formed thereon and is located in the direction of the oxygen supply pipe 30, and the first blocking plate 91 that is guide-coupled and movable within the oxygen branch pipe 40. and; A second hole positioned apart from the first blocking plate 91 in the direction of the ozone generating module 10 and having a plurality of second holes 921 formed therein and fixed inside the oxygen branch pipe 40; Blocking plate 92; A coil spring (93) coupled between the first blocking plate (91) and the second blocking plate (92); The first blocking plate 91 includes a plurality of protrusions 941 to 944 protruding at a position corresponding to the plurality of second holes 921 in the direction of the second blocking plate 92. The lengths of the protrusions 941 to 944 are different, and when the high pressure oxygen is supplied through the oxygen branch pipe 40, the first blocking plate 91 is the second blocking plate 92 according to the pressure of the oxygen. Direction; and the plurality of protrusions 941 to 944 having different lengths continuously control the amount of oxygen supplied to the ozone generating module 10 by blocking the second hole 921. do.

도 3 및 도 4와 같이 고압의 산소가 산소분기관(40)의 내부로 유입되면 제1 차단판(91)을 제2 차단판(92) 방향으로 밀어낸다. 일부의 산소는 제1 홀(911)을 통하여 오존생성모듈(10)로 흘러들어간다. 산소의 압력이 높으면 제1 차단판(91)이 제2 차단판(92)으로 이동하고, 제1 차단판(91)의 후면에 돌출된 돌기(941~944)가 차례로 제2 차단판(92)에 형성된 제2 홀(921)을 차단한다. 돌기(941~944)는 복수로서 서로 길이가 다른데, 제1 차단판(91)이 제2 차단판(92)으로 가까이 갈수록 많은 돌기(941~944)가 제2 홀(921)을 차단한다. 이 경우, 돌기(941~944)의 일부는 길이가 같을 수도 있다. When high pressure oxygen flows into the oxygen branch pipe 40 as shown in FIGS. 3 and 4, the first blocking plate 91 is pushed toward the second blocking plate 92. Some oxygen flows into the ozone generating module 10 through the first hole 911. When the pressure of oxygen is high, the first blocking plate 91 moves to the second blocking plate 92, and the protrusions 941 to 944 protruding from the rear surface of the first blocking plate 91 are sequentially turned on to the second blocking plate 92. Block the second hole 921 formed in the). The plurality of protrusions 941 to 944 differ in length from each other, and as the first blocking plate 91 moves closer to the second blocking plate 92, more protrusions 941 to 944 block the second hole 921. In this case, some of the protrusions 941 to 944 may have the same length.

그 결과 제2 홀(921)을 통하여 최종 오존생성모듈(10)로 공급되는 산소의 양이 조절된다. 고압의 산소가 제1 차단판(91)을 밀어낼 경우 산소의 압력에 돌기(941~944)가 제2 홀(921)의 차단되는 개수가 늘어난다. 그 결과 차단되지 않는 제2 홀(921)을 통하여 산소가 오존생성모듈(10)로 공급된다. 제2 홀(921)이 많이 차단되면 산소가 흐르는데 제2 차단판(92)이 저항이 된다. As a result, the amount of oxygen supplied to the final ozone generating module 10 through the second hole 921 is controlled. When the high-pressure oxygen pushes the first blocking plate 91, the number of protrusions 941 to 944 blocking the second hole 921 increases due to the pressure of the oxygen. As a result, oxygen is supplied to the ozone generating module 10 through the second hole 921 which is not blocked. When the second hole 921 is blocked much, oxygen flows, but the second blocking plate 92 becomes a resistance.

반면, 상대적으로 낮은 압력의 산소가 제1 차단판(91) 방향으로 공급될 경우, 돌기(941~944)가 제2 홀(921)을 차단하는 개수가 줄어든다. 따라서, 다소 느린 속도로 많은 수의 제2 홀(921)의 산소가 오존생성모듈(10)로 공급된다.On the other hand, when oxygen of a relatively low pressure is supplied toward the first blocking plate 91, the number of protrusions 941 to 944 blocking the second hole 921 is reduced. Therefore, a large number of oxygen in the second hole 921 is supplied to the ozone generating module 10 at a somewhat slow speed.

결과적으로, 고압의 산소가 제1 차단판(91)을 밀어낼 경우, 도 4와 같이 차단되는 제2 홀(921)이 많아져 제2 차단판(92)에서의 저항이 증가한다. 반면, 산소의 압력이 낮아 제1 차단판(91)을 밀어내지 못할 경우 차단되는 제2 홀(921)의 수가 작아 제2 차단판(92)에서의 저항이 감소한다. As a result, when high-pressure oxygen pushes the first blocking plate 91, the second holes 921 are blocked as shown in FIG. 4, thereby increasing the resistance of the second blocking plate 92. On the other hand, when the pressure of oxygen is low and the first blocking plate 91 cannot be pushed out, the number of the second holes 921 blocked is small and the resistance in the second blocking plate 92 decreases.

본 발명은 복수의 오존생성모듈(10)이 병렬로 위치되고, 각각의 오존생성모듈(10)에 결합된 산소분기관(40)의 위치가 다르더라도, 각각의 산소분기관(40)에 결합된 압력조절모듈(90)이 오존생성모듈(10)로 공급되는 산소의 양을 일정한 범위로 조절하여, 복수의 오존생성모듈(10)로 투입되는 산소의 양의 편차를 줄여준다. 그 결과 하나의 산소공급관(30)을 통하여 복수의 산소분기관(40)으로 고압의 산소를 공급하더라도, 산소분기관(40)의 위치와 관련 없이 좁은 범위의 편차를 보이면서 오존생성모듈(10)로 산소가 공급된다. According to the present invention, the plurality of ozone generating modules 10 are positioned in parallel, and even though the positions of the oxygen branch pipes 40 coupled to the respective ozone generating modules 10 are different, they are coupled to the respective oxygen branch pipes 40. The pressure control module 90 adjusts the amount of oxygen supplied to the ozone generating module 10 to a certain range, thereby reducing the deviation of the amount of oxygen introduced into the plurality of ozone generating modules 10. As a result, even if the high-pressure oxygen is supplied to the plurality of oxygen branch pipes 40 through one oxygen supply pipe 30, the ozone generation module 10 shows a deviation of a narrow range regardless of the position of the oxygen pipe 40. Oxygen is supplied.

이상에서 본 발명의 실시예에 대해서 상세히 설명하였으나, 이는 하나의 실시예에 불과하며, 이로써 본 발명의 특허청구범위를 한정하는 것은 아니다. 본 실시예를 바탕으로 균등한 범위까지 당업자가 변형 및 추가하는 범위도 본 발명의 권리범위에 속한다 할 것이다.Although the embodiment of the present invention has been described in detail above, this is only one embodiment, and thus does not limit the claims of the present invention. Based on the present embodiment, modifications and additions made by those skilled in the art to the equivalent range will also belong to the scope of the present invention.

오존생성모듈(10) 산소공급관(30)
산소분기관(40) 냉각모듈(50)
오존분기관(60) 오존배출관(70)
압력조절모듈(90) 제1 차단판(91)
제2 차단판(92) 코일 스프링(93)
돌기(941~944) 오존발생시스템(100)Ozone Production Module (10) Oxygen Supply Pipe (30)
Oxygen distributor 40 Cooling module 50
Ozone branch pipe (60) Ozone discharge pipe (70)
Pressure regulating module 90, first blocking plate 91
Second blocking plate 92 coil spring 93
Projection (941 ~ 944) Ozone Generation System (100)

Claims (2)

삭제delete 병렬로 배치된 복수의 오존생성모듈(10)과;
상기 오존생성모듈(10)에 전력을 공급하는 전력공급모듈과;
산소공급관(30)에서 상기 복수의 오존생성모듈(10)에 각각 연결된 산소분기관(40)과;
상기 복수의 오존생성모듈(10)에 각각 결합된 냉각모듈(50)과;
상기 복수의 오존생성모듈(10)에 각각 연결된 오존분기관(60)과;
상기 오존분기관(60)이 합쳐지는 오존배출관(70)을 포함하되,
상기 오존생성모듈(10)의 내부에 위치하는 상기 산소분기관(40)의 말단에는 랜스필터(41)가 결합되는 것을 특징으로 하는 오존발생시스템에 있어서,
상기 산소분기관(40)의 내부에는 압력조절모듈(90)이 결합되며,
상기 압력조절모듈(90)은,
상기 산소공급관(30) 방향에 위치하며 상기 산소분기관(40)의 내부에서 가이드 결합되어 이동가능한 제1 차단판(91)과;
상기 오존생성모듈(10) 방향으로 상기 제1 차단판(91)과 이격되어 위치하며, 복수의 제2 홀(921)이 형성되어 있으며, 상기 산소분기관(40)의 내부에 고정된 제2 차단판(92)과;
상기 제1 차단판(91)과 상기 제2 차단판(92) 사이에 결합된 코일 스프링(93)과;
상기 제1 차단판(91)에 상기 제2 차단판(92) 방향으로 상기 복수의 제2 홀(921)과 대응되는 위치에 돌출된 복수의 돌기(941~944)를 포함하되,
상기 복수의 돌기(941~944)의 길이는 각각 다르며,
상기 산소분기관(40)을 통하여 고압의 산소가 공급될 경우 상기 산소의 압력에 따라 상기 제1 차단판(91)이 상기 제2 차단판(92) 방향으로 이동하고, 길이가 다른 상기 복수의 돌기(941~944)가 연속적으로 상기 제2 홀(921)을 막음으로써 상기 오존생성모듈(10)로 공급되는 산소의 양을 조절하는 것을 특징으로 하는 오존발생시스템.



A plurality of ozone generating modules 10 arranged in parallel;
A power supply module for supplying power to the ozone generating module 10;
An oxygen branch pipe 40 connected to the plurality of ozone generating modules 10 in an oxygen supply pipe 30;
A cooling module 50 respectively coupled to the plurality of ozone generating modules 10;
An ozone branch pipe (60) connected to the plurality of ozone generating modules (10), respectively;
Including the ozone discharge pipe 70 is combined with the ozone branch pipe 60,
In the ozone generating system, characterized in that the lance filter 41 is coupled to the end of the oxygen distributor 40 located in the ozone generating module 10,
The pressure control module 90 is coupled to the inside of the oxygen branch pipe 40,
The pressure control module 90,
A first blocking plate (91) positioned in the direction of the oxygen supply pipe (30) and movable by guide coupling within the oxygen branch pipe (40);
A second hole positioned apart from the first blocking plate 91 in the direction of the ozone generating module 10 and having a plurality of second holes 921 formed therein and fixed inside the oxygen branch pipe 40; Blocking plate 92;
A coil spring (93) coupled between the first blocking plate (91) and the second blocking plate (92);
The first blocking plate 91 includes a plurality of protrusions 941 to 944 protruding at positions corresponding to the plurality of second holes 921 in the direction of the second blocking plate 92,
The lengths of the plurality of protrusions 941 to 944 are different from each other,
When high-pressure oxygen is supplied through the oxygen branch pipe 40, the first blocking plate 91 moves in the direction of the second blocking plate 92 in accordance with the pressure of the oxygen, and the plurality of different lengths are provided. An ozone generating system, characterized in that the projections (941 ~ 944) to continuously block the second hole (921) to control the amount of oxygen supplied to the ozone generating module (10).



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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1121111A (en) * 1997-06-27 1999-01-26 Ebara Corp Ozone generator
JP2005281095A (en) * 2004-03-30 2005-10-13 Yoshiki Tanigawa High concentration ozone generating unit and manufacturing method for ozone generating unit
KR20180125653A (en) 2017-05-15 2018-11-26 한국기계연구원 Ozone generating system with high energy efficiency

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1121111A (en) * 1997-06-27 1999-01-26 Ebara Corp Ozone generator
JP2005281095A (en) * 2004-03-30 2005-10-13 Yoshiki Tanigawa High concentration ozone generating unit and manufacturing method for ozone generating unit
KR20180125653A (en) 2017-05-15 2018-11-26 한국기계연구원 Ozone generating system with high energy efficiency

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