KR102047987B1 - 전도성 시트, 전도성 시트를 포함하는 주파수 선택 장치 및 제조 방법 - Google Patents

Abstract

전자파 흡수 필름, 전자파 흡수 필름을 포함하는 전자파 흡수체 및 제조 방법을 개시한다. 전자파 흡수 필름은 접착력이 강한 에폭시 재질로 이루어지는 유전체층과 십자 형태의 단위 셀이 수직 방향 및 수평 방향으로 반복 배열되어 형성되는 주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조를 갖는 Non-island 패턴층으로 형성될 수 있다.

Description

전도성 시트, 전도성 시트를 포함하는 주파수 선택 장치 및 제조 방법{Conductive Sheet, Frequency Selective Apparatus Comprising The Conductive Sheet, And Manufacturing Method}

아래의 설명은 전자파 흡수 필름, 전자파 흡수 필름을 포함하는 전자파 흡수체 및 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 입사각 안정성 및 주파수 선택도가 향상된 단일 시트에 구성되는 전자파 흡수체를 설계하는 것에 관한 것이다.

주파수 선택막은 유전체 기판 위에 전도성 재질의 패턴이 주기적으로 배열된 전자기 구조로서 원하는 주파수 대역을 선택적으로 투과 차단하는 공간필터 역할을 한다.

이러한 특정 대역을 투과 또는 차단시키는 구조는 실내 환경의 전파제어 반사체 스텔스 레이돔 등 다양한 분야에서 활용되고 있다. 또한, 구조의 전자기 필터 성능을 발휘하기 위해서는 높은 수준의 패턴 형상 정확도가 요구되어 주로 정확도가 높은 에칭 방법을 통해 패턴을 제작한다.

이와 같이 폐곡선으로 이루어진 패턴은 에칭으로 분리된 패턴 내부가 기판 위에 고립된 상태로 존재하게 되어 배열 주기성에 오차를 야기할 수 있다. 이러한 문제점은 폐곡선으로 이루어진 형태의 패턴이 아닌 다른 패턴을 설계함으로써 해결될 수 있다. 하지만, 이러한 설계는 단위구조의 배열 손상에 의한 패턴 주기 제작 오차가 발생한다.

따라서, 구조 제작에 의한 패턴 주기 오차를 해결하기 위한 보다 향상된 구조를 설계하는 방법이 필요하다.

본 발명은 FSS 제작 시 적층 과정 등에서 발생할 수 있는 패턴 주기 오차를 해결함과 동시에 안정적인 입사각 성능과 향상된 주파수 선택도를 가지는 Non-Island 구조를 설계하는데 목적이 있다.

일실시예에 따른 전자파 흡수 필름은 유연성 재질로 이루어지는 유전체층; 및 상기 유전체 기판의 상면에 배치되고, 십자 형태의 단위 셀이 수직 방향 및 수평 방향으로 반복 배열되어 형성되는 Non-island 패턴층을 포함할 수 있다.

일실시예에 따른 십자 형태의 단위 셀은, 일정 선폭을 가지며, 정방형의 사각형 내 십자의 끝부분이 오픈 회로로 구성될 수 있다..

일실시예에 따른 십자 형태의 단위 셀은 오픈 회로의 오픈된 슬롯이 십자 구조의 바깥쪽으로 감싸면서 배치되고, 오픈된 슬롯의 양 끝 단이 디자인 파라미터에 따라 이격 배치될 수 있다.

일실시예에 따른 십자 형태의 단위 셀은 미리 설정된 특정 주파수를 선택적으로 통과시키는 대역 필터 기능을 가질 수 있다.

일실시예에 따른 유전체층은, 접착력이 강한 에폭시 재질로 이루어지며, 패턴층은, 전도성 재질로 이루어질 수 있다.

일실시예에 따른 전자파 흡수체는 제1 접착 에폭시 필름; 제1 접착 에폭시 필름의 상면에 부착되며, 주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조를 갖는 전자파 흡수 필름; 및 전도성 시트의 상면에 부착되는 제2 접착 에폭시 필름을 포함할 수 있다.

일실시예에 따른 전자파 흡수 필름은, 십자 형태의 단위 셀이 수직 방향 및 수평 방향으로 반복 배열되어 형성되는 주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조를 가질 수 있다.

일실시예에 따른 전자파 흡수 필름은, 수직(TM)하거나, 수평(TE)인 편파의 입사각에 따른 0°~60°에서의 주파수 투과 특성을 나타낼 수 있다.

일실시예에 따른 전자파 흡수체는 두께가 0.135mm 인 것을 특징으로 할 수 있다..

일실시예에 따른 제조 방법은 유전체 기판 상에 접착 에폭시 층을 도포하는 단계; 상기 접착 에폭시 층이 도포되어 있는 평면 위에 구리 시트를 부착하는 단계; 및 상기 구리 시트 상에 접착 에폭시 층을 도포하는 단계를 포함할 수 있다.

일실시예에 따른 구리 시트는, 십자 형태의 단위 셀이 수직 방향 및 수평 방향으로 반복 배열되어 형성되는 주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조를 갖는 전자파 흡수 필름일 수 있다.

본 발명은 Non-Island 패턴을 가지는 FSS는 폐곡선으로 이루어진 패턴의 FSS에 비해 제작 과정에서 발생할 수 있는 전도성 시트 내의 유동성분(Floating element)의 적층 과정에서 발생할 수 있는 제작 오차를 예방할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 전자파 흡수체를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전자파 흡수 필름의 디자인 파라미터를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 전자파 흡수체의 두께를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 패턴층 내부의 유동 성분을 제거하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 TM 및 TE 편파의 입사각에 따른 0°~60°에서의 주파수 투과 특성을 나타낸 그래프이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 전자파 흡수체를 제조하는 제조 방법을 나타낸 흐름도이다.

이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.

실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 전자파 흡수체를 도시한 도면이다.

도 1을 참고하면, 전자파 흡수체는 제1 접착 에폭시필름, 전자파 흡수 필름 및 제1 접착 에폭시 필름을 포함할 수 있다. 여기서, 전자파 흡수 필름은 형태의 단위 셀이 수직 방향 및 수평 방향으로 반복 배열되어 형성되는 주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조를 가질 수 있다. 전자파 흡수 필름은 수직(TM: Transverse magnetic polarization)하거나, 수평(TE: Transverse electric polarization)인 편파의 입사각에 따른 0°~60°에서의 주파수 투과 특성을 나타낼 수 있다. 이러한 특징을 기반으로 전자파 흡수체는 5 * 5 배열 구조를 나타낼 수 있다. 전자파 흡수체는 미리 설정된 특정 주파수를 선택적으로 통과시키는 대역 필터 기능을 가질 수 있다.

전자파 흡수체는 독립적으로 존재하는 성분 없이 하나의 전도성 시트에 모든 단위구조가 결합됨으로써, 전도성 시트에 형성되는 유동성분이 제거될 수 있다. 그리고, 전자파 흡수체는 폐곡선으로 이루어진 패턴에서의 구조 제작에 의한 패턴 주기 오차를 해결하기 위해 Non-island 패턴을 설계함으로써, 배열 주기성을 유지하면서 보다 안정적인 입사각 성능과 주파수 선택도가 향상된 구조를 가질 수 있다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전자파 흡수 필름의 디자인 파라미터를 도시한 도면이다.

도 2를 살펴보면, 전자파 흡수 필름은 유전체층 및 Non-island 패턴층으로 구현될 수 있다. 여기서, 유전체층은 유연성 재질로 이루질 수 있다. 일례로, 유전체층은 접착력이 강한 에폭시 재질로 이루질 수 있다.

Non-island 패턴층은 전도성 재질로 이루어질 수 있다. 그리고, Non-island 패턴층은 유전체 기판의 상면에 배치되고, 십자 형태의 단위 셀이 수직 방향 및 수평 방향으로 반복 배열되어 형성될 수 있다.

여기서, 십자 형태의 단위 셀은 일정 선폭을 가지며, 정방형의 사각형 내 십자의 끝부분이 오픈 회로로 구성될 수 있다. 십자 형태의 단위 셀은 오픈 회로의 오픈된 슬롯이 십자 구조의 바깥쪽으로 감싸면서 배치되고, 오픈된 슬롯의 양 끝 단이 디자인 파라미터에 따라 이격 배치될 수 있다. 또한, 십자 형태의 단위 셀은 미리 설정된 특정 주파수를 선택적으로 통과시키는 대역 필터 기능을 가질 수 있다.

전자파 흡수 필름을 구성하는 주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조는 가로 길이 8mm, 세로 길이 8mm의 정방형의 사각형 내에 구성될 수 있다. 주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조는 정방형의 사각형 내 수직 수평으로 무한히 반복되는 구조를 가질 수 있다.

주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조를 이루는 각 디자인 파라미터는 다음의 표 1과 같이 나타낼 수 있다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 전자파 흡수체의 두께를 나타낸 도면이다.

도 3을 참고하면, 본 발명에서 제안하는 전자파 흡수체는 제1 접착 에폭시 필름, 전자파 흡수 필름, 및 제2 접착 에폭시 필름을 포함할 수 있다. 전자파 흡수체는 제1 접착 에폭시 필름과 제2 접착 에폭시 필름 사이의 이중층으로 구성된 접착 에폭시 필름 사이에 주파수 선택적 표면 패턴이 포함될 수 있다.

여기서, 이중층으로 구현되는 접착 에폭시 필름의 두께는 0.05mm, 구리 시트의 두께는 0.035mm(1/2 oz)일 수 있다. 일례로, 제1 접착 에폭시 필름의 두께는 0.05mm, 구리 시트의 두께는 0.035mm, 제2 접착 에폭시 필름의 두께는 0.05mm로 형성될 수 있다. 그리고, Non-island 패턴층이 접착 에폭시 필름에 적층된 최종 두께는 0.135mm일 수 있다.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 패턴층 내부의 유동 성분을 제거하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.

도 4를 참고하면, 전자파 흡수체는 제1 접착 에폭시 필름, 전자파 흡수 필름, 및 제2 접착 에폭시 필름을 포함할 수 있다. 전자파 흡수 필름은 유전체층 및 Non-island 패턴층을 포함할 수 있다.

전자파 흡수체는 전자파 흡수 필름을 이루는 패턴층의 내부에서 발생되는 유동 성분(Isolated element)이 제거될 수 있다. 자세하게, 유동 성분은 지지하는 구조가 없어 움직일 수 있는 패턴을 의미할 수 있다.

일반적으로, 종래의 전자파 흡수체는 유동성분을 갖는 구조로 형성할 수 있으며, 도 4의 (a)와 같이 슬롯타입의 원형 루프구조로 구현될 수 있다. 구체적으로, 슬롯타입의 원형 루프구조는 원형 루프구조가 전도성 시트에서 떨어져 나간 구조로, 이로 인해 전도성 시트와 내부의 원형 패치구조로 분리될 수 있다. 이때, 전도성 시트 내부의 원형 패치구조는 전도성 시트와 독립적으로 존재하여 유동성분으로 볼 수 있으며, 이로 인해 제작 과정에서 슬롯 간격의 오차 발생 가능성이 존재할 수 있다.

이에 따른, 본 발명에서의 패턴층 내부의 유동 성분을 제거한다는 의미는 전도성 시트에 슬롯타입의 단위구조 설계시, 전도성 시트와 내부의 패치구조로 분리되지 않고 하나의 시트로 구성되는 것을 의미할 수 있다.

그리고, 도 4의 (b)와 같이 본 발명에서 제안하는 전자파 흡수체는 전자파 흡수 필름이 형성됨에 있어, 유동 성분없이, 하나의 시트 위에 단위 구조로 설계될 수 있다.

이에, 본 발명은 전자파 흡수체가 설계되는 경우, 제작 과정에서 슬롯 간격의 오차 발생을 최소화한 제작이 가능해질 수 있다. 본 발명은 이와 같은 배열 주기 오차를 예방하는 방법으로 Non-island FSS 패턴을 제안할 수 있다.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 TM 및 TE 편파의 입사각에 따른 0°~60°에서의 주파수 투과 특성을 나타낸 그래프이다.

본 발명의 그래프는 제시한 전자파 흡수체(Non-island FSS 구조)의 TE 및 TM 편파의 입사각 0°~60°에서의 주파수 투과 특성을 나타내는 결과일 수 있다.

자세하게, 본 발명에서 제시한 전자파 흡수체는 10GHz 주파수 대역의 선택적 투과 특성을 갖는 구조로 설계하였다. 그리고, 본 발명의 그래프는 FSS 구조의 전도성 패턴을 구성하는 단위 구조의 배열 정확성을 향상하기 위한 Non-island 패턴의 설계로 종래의 Non-island 패턴과 비교할 때, 입사파의 편파 및 입사각 변화에도 안정적인 성능 유지와 좁은 대역폭으로 주파수 선택도가 높은 이점을 갖는 것을 나타내고 있다.

본 그래프를 살펴보면, 도 5에 나타낸 투과계수(Transmission coefficient)는 '0' 에 가까울수록 주파수 투과 시 손실이 최소가 되는 것을 의미하며, 즉 주파수가 잘 통과하는 것을 의미할 수 있다.

그래프에 나타낸 바와 같이 제시한 전자파 흡수체는 10GHz 대역에서 주파수 투과 특성을 가지며, 그 외 대역에서는 주파수 차단 특성을 가짐을 알 수 있다. 또한, E field가 수평, 수직으로 입사될 때에는 동일한 주파수 특성을 갖는지 확인하기 위해 TE, TM 편파에 대해 관찰하였으며, 입사각 0°에서 동일한 성능을 확인하였다.

또한, 입사각 0°는 입사파가 측정 시료에 정면으로 입사되는 경우이며, 입사파가 경사로 입사되는 경우에 대한 주파수 특성을 확인하고자 0°-60°까지 15° 간격으로 주파수 투과 특성을 확인하였으며, 이를 통해 경사 입사되는 경우에도 동일한 성능을 유지하는 것을 확인하였다.

도 5에 관한 주파수 특성을 표 1에 나타내었으며, 표 1에서 알 수 있듯이, 제안한 전자파 흡수체는 TE, TM 편파의 입사각 0°에서 동일한 성능을 가짐을 확인하였다. 그리고, TE 편파의 경우, 입사각 0°-60° 변함에 따라 최대 1.51%(150MHz) 공진 주파수의 편차를 확인하였으며, TM 편파의 경우, 입사각 0°-60° 변함에 따라 최대 0.5%(50MHz) 공진 주파수의 편차를 확인하였다.

표 2에 나타낸 바와 같이 본 발명에서 제안하는 전자파 흡수체(Non-island FSS 구조)는 선행 기술된 주파수 선택적 패턴과 비교하여 입사각의 변화에도 안정적인 성능을 확인하였다. 또한, 본 발명에서 제안하는 전자파 흡수체는 주파수 선택적 패턴과 비교하여 입사각 변화에도 안정적인 주파수 특성을 보이고 좁은 대역폭으로 주파수 선택도가 향상된 기술임을 확인할 수 있다.

본 발명에서 제안한 전자파 흡수체는 패턴층 내부의 유동 성분을 제거하여 제작 과정에서 발생할 수 있는 배열 주기 오차를 예방할 수 있다. 본 발명에서 제안한 전자파 흡수체는 제작 오차에 의한 전자기 성능 저하를 방지하고 FSS 구조 제작성을 향상시키는 효과를 나타낼 수 있다. 또한, 기존의 전자파 흡수체와 대비하여 보다 개선된 입사각 안정성과 향상된 주파수 선택도를 나타내는 등 도 5에서 보는 것과 같이 우수한 전자기 성능을 보인다.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 전자파 흡수체를 제조하는 제조 방법을 나타낸 흐름도이다.

전자파 흡수체는 이중층으로 구성된 접착 에폭시 필름 사이에, 주파수 선택적 패턴의 단위셀을 포함할 수 있다. 전자파 흡수체는 다음의 단계를 거쳐 접착 에폭시 필름 사이에 단위셀이 형성될 수 있다.

단계(601)에서 전자파 흡수체는 유전체 기판 상에 접착 에폭시 층이 도포될 수 있다. 접착 에폭시(Epoxy)는 열을 가했을 때, 빨리 굳으며 접착력이 강한 재료이다. 일례로, 접착 에폭시는 내후성, 내부식성이 풍부한 플라스틱 수지로써, 강력 접착제의 일종일 수 있다.

전자파 흡수체는 주파수 선택적 패턴의 단위셀을 포함하기 위해 유전체 기판 상에 접착 에폭시로 이루어진 층이 도포될 수 있다.

단계(602)에서 전자파 흡수체는 접착 에폭시 층이 도포되어 있는 평면 위에 구리 시트가 부착될 수 있다. 구리 시트는, 주파수 선택적 패턴으로 구성되는 것으로써, 자세하게, 십자 형태의 단위 셀이 수직 방향 및 수평 방향으로 반복 배열되어 형성되는 주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조를 가질 수 있다.

전자파 흡수체는 구리 시트의 레이저 가공으로 형성됨에 따라 주파수 선택적 패턴이 형성될 수 있다. 주파수 선택적 패턴의 단위셀은 선택적인 주파수 투과 기능을 수행할 수 있다.

단계(603)에서 전자파 흡수체는 구리 시트 상에 접착 에폭시 층이 도포될 수 있다. 즉, 전자파 흡수체는 구리 시트의 위에 접착 에폭시 층을 올려서 접착층 사이에 주파수 선택적 시트가 포함된 형태로 제작될 수 있다.

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.

Claims (11)

1. 유연성 재질로 이루어지는 유전체층;
   상기 유전체층의 상면에 배치되고, 십자 형태의 단위 셀이 수직 방향 및 수평 방향으로 반복 배열되어 형성되는 Non-island 패턴층; 및
   를 포함하고,
   상기 십자 형태의 단위 셀은,
   4개의 슬롯들이 서로 다른 방향으로 이격 배치되어 십자 형태를 형성하고,
   상기 슬롯들은,
   각각 십자 형태의 중심부에 인접한 위치가 오픈되어 있으며,
   상기 슬롯들의 오픈된 양끝 단간의 간격과 상기 슬롯들 간의 이격 거리가 동일한 전도성 시트.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 십자 형태의 단위 셀은,
   미리 설정된 특정 주파수를 선택적으로 통과시키는 대역 필터 기능을 갖는 전도성 시트.
5. 제1항에 있어서,
   상기 유전체층은,
   접착력이 강한 에폭시 재질로 이루어지며,
   상기 Non-island 패턴층은,
   전도성 재질로 이루어지는 전도성 시트.
6. 제1 접착 에폭시 필름;
   상기 제1 접착 에폭시 필름의 상면에 부착되며, 주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조를 갖는 전도성 시트; 및
   상기 전도성 시트의 상면에 부착되는 제2 접착 에폭시 필름
   를 포함하고,
   상기 전도성 시트는,
   십자 형태의 단위 셀이 수직 방향 및 수평 방향으로 반복 배열되어 형성되는 주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조를 가지며,
   상기 십자 형태의 단위 셀은,
   4개의 슬롯들이 서로 다른 방향으로 이격 배치되어 십자 형태를 형성하고,
   상기 슬롯들은,
   각각 십자 형태의 중심부에 인접한 위치가 오픈되어 있으며,
   상기 슬롯들의 오픈된 양끝 단 간의 간격과 상기 슬롯들 간의 이격 거리가 동일한 주파수 선택 장치.
7. 삭제
8. 제6항에 있어서,
   상기 전도성 시트는,
   수직(TM)하거나, 수평(TE)인 편파의 입사각에 따른 0°~60°에서의 주파수 투과 특성을 나타내는 주파수 선택 장치.
9. 제6항에 있어서,
   상기 주파수 선택 장치는,
   두께가 0.135mm 인 것을 특징으로 하는 주파수 선택 장치.
10. 유전체 기판 상에 접착 에폭시 층을 도포하는 단계;
    상기 접착 에폭시 층이 도포되어 있는 평면 위에 구리 시트를 부착하는 단계; 및
    상기 구리 시트 상에 접착 에폭시 층을 도포하는 단계;
    를 포함하고,
    상기 구리 시트는,
    십자 형태의 단위 셀이 수직 방향 및 수평 방향으로 반복 배열되어 형성되는 주파수 선택 패턴의 Non-island 단위 구조를 가지며,
    상기 십자 형태의 단위 셀은,
    상기 십자 형태의 단위 셀은,
    4개의 슬롯들이 서로 다른 방향으로 이격 배치되어 십자 형태를 형성하고,
    상기 슬롯들은,
    각각 십자 형태의 중심부에 인접한 위치가 오픈되어 있으며,
    상기 슬롯들의 오픈된 양끝 단간의 간격과 상기 슬롯들 간의 이격 거리가 동일한 제조 방법.
    
11. 삭제

Images