KR102045365B1 - 마스크 클램핑장치 - Google Patents

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Abstract

마스크 클램핑장치가 개시된다. 본 발명의 마스크 클램핑장치는, 기판에 소정의 패턴 또는 모양을 형성하기 위해 사용되는 마스크가 캐리어상에 놓인 상태에서 마스크를 고정하는데 사용되는 마스크 클램핑장치이고, 캐리어의 일측에 고정되는 고정바디; 마스크의 하부면과 평행한 방향의 제1 회전축을 기준으로 고정바디에 왕복회전가능하게 결합되는 가이드바; 제1 회전축과 평행한 제2 회전축을 기준으로 고정바디에 왕복회전가능하게 결합되되, 가이드바와 반대방향으로 연동회전하고, 일측 단부에 마스크를 누르도록 이루어지는 누름부가 구비되는 클램프; 및 가이드바가 회전하도록, 가이드바를 하측에서 가압하는 가압핀을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 리프팅장치와 함께 가압핀이 상승할 수 있고, 이에 따라 클램프의 회전 및 마스크의 고정(clamping)이 이루어질 수 있으며, 의도하지 않은 고정해제(unclamping)를 효과적으로 방지할 수 있는 마스크 클램핑장치를 제공할 수 있게 된다.

Description

마스크 클램핑장치{Mask Clamping Device}
본 발명은 마스크 클램핑장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 기판에 소정의 패턴 또는 모양을 형성하기 위해 사용되는 마스크가 캐리어상에 놓인 상태에서 상기 마스크를 안정적으로 고정하는데 사용되는 마스크 클램핑장치에 관한 것이다.
기판처리장치는, 반도체 제조용 웨이퍼, LCD 제조용 기판, OLED 제조용 기판 등을 제조하기 위하여 증착공정, 식각공정 등을 수행하는 장치로서 기판처리의 종류, 조건 등에 따라서 다양하게 구성될 수 있다.
기판처리장치 중 증착기는, 기판의 표면에 CVD, PVD, 증발증착 등을 이용하여 박막을 형성하는 장치를 말하고, 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이제 제조용 기판의 경우 증착물질을 증착함에 있어서, 유기물, 무기물, 금속 등을 증발시켜 기판 표면에 박막을 형성하는 공정이 이루어지고 있다.
증착물질을 증발시켜 박막을 형성하는 증착기는 증착용 기판이 로딩되는 증착챔버와, 증착챔버 내부에 설치되어 기판에 대하여 증착물질을 증발하도록 증착물질을 가열하여 증발시키는 소스를 포함하여, 이에 따라 증착물질이 증발되어 기판표면에 박막을 형성하는 기판처리가 이루어진다.
한편, 이러한 기판처리에서는, 증착 영역만 노출되도록 이루어지는 마스크를 기판 상측에 위치시킨 상태에서 이루어지며, 이에 따라 소정의 패턴을 가지는 양극, 음극, 유기막 등이 기판상에 형성될 수 있게 된다.
마스크는 OLED 증착공정의 준비과정에서 캐리어나 기타 이송장치의 소정의 원점에 놓여지게 되고, 캐리어에 놓여진 마스크가 증착공정의 처리영역으로 이송되게 되는데, 이러한 이송과정 또는 증착과정에서 마스크의 틀어짐이 발생하게 되면, 증착공정에서의 불량발생은 불가피하므로, 이를 방지하기 위한 수단 및 방법이 사용되고 있다.
이와 관련하여, 한국등록특허 제1737327호(등록일: 2017.05.12)는 기판 및 마스크의 정렬에 관한 것으로서 '기판처리장치'를 개시하며, 한국공개특허 제2014-0017088호(공개일: 2014.02.11)는 마스크의 클램핑에 관한 것으로서 '셔틀 및 그를 가지는 기판처리장치'를 개시하고 있다.
(0001) 대한민국등록특허 제1737327호(등록일: 2017.05.12) (0002) 대한민국공개특허 제2014-0017088호(공개일: 2014.02.11)
본 발명의 목적은, 의도하지 않은 마스크의 고정해제(unclamping)를 효과적으로 방지할 수 있고, 클램프의 회전 및 마스크의 고정(clamping)이 안정적으로 이루어질 수 있으며, 마스크를 캐리어 상에 안착시키는 리프트핀의 상승시 마스크가 안착 가능한 상태가 되고 리프트핀의 하강시 마스크의 하강 및 클램핑이 이루어질 수 있는 마스크 클램핑장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 기판에 소정의 패턴을 형성하기 위해 사용되는 마스크가 캐리어상에 놓인 상태에서 상기 마스크를 고정하는데 사용되는 마스크 클램핑장치이고, 캐리어의 일측에 고정되는 고정바디; 상기 마스크의 하부면과 평행한 방향의 제1 회전축을 기준으로 상기 고정바디에 왕복회전가능하게 결합되는 가이드바; 상기 제1 회전축과 평행한 제2 회전축을 기준으로 상기 고정바디에 왕복회전가능하게 결합되되, 상기 가이드바와 반대방향으로 연동회전하고, 일측 단부에 상기 마스크를 누르도록 이루어지는 누름부가 구비되는 클램프; 및 상기 가이드바가 회전하도록, 상기 가이드바를 하측에서 가압하는 가압핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 클램핑장치에 의해 달성된다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 클램핑장치는, 상기 가이드바에서 상기 캐리어의 중앙과 먼 쪽이 하측을 향하도록 상기 가이드바를 회전시키고 탄력지지하는 제1 탄성체; 상기 클램프에서 상기 캐리어의 중앙과 가까운 쪽이 상측을 향하도록 상기 클램프를 회전시키고 탄력지지하는 제2 탄성체; 및 상기 제1 탄성체에 의한 상기 가이드바의 회전이 소정 범위를 넘어 이루어지는 것을 저지하는 제1 스토퍼를 포함하여 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 클램핑장치에서, 상기 가이드바는, 상기 제1 회전축을 기준으로 상기 캐리어의 중앙과 먼 쪽에서 상기 가압핀과 접촉하는 가이드바디; 상기 가이드바디에서 상기 캐리어쪽으로 연장되는 가이드아암; 및 상기 가이드아암의 단부에서 상기 제1 회전축과 평행한 방향으로 연장되는 가이드롤러를 포함하고, 상기 클램프는, 상기 제1 스토퍼에 의해 상기 가이드바의 회전이 저지된 상태에서, 상기 캐리어의 중앙쪽을 바라보며 상기 가이드롤러에 접촉하는 정지면; 및 상기 제1 스토퍼에 의해 상기 가이드바의 회전이 저지된 상태에서, 상기 정지면에서 하측으로 연장되되 상기 가이드롤러에서 멀어지도록 경사지는 경사면을 포함하여 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 클램핑장치에서, 상기 제1 스토퍼에 의해 상기 가이드바의 회전이 저지된 상태에서, 상기 가이드롤러의 회전축은 상기 제1 회전축보다 높게 위치하도록 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 클램핑장치에서, 상기 제2 탄성체에 의해 상기 클램프가 회전할 때, 상기 가이드롤러는 상기 정지면을 거쳐 상기 경사면과 연속해서 접촉하고, 상기 가이드롤러의 회전축과 상기 제2 회전축간의 거리는 점차 증가하도록 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 클램핑장치에서, 상기 가이드롤러가 상기 경사면에 접촉한 상태에서, 상기 가이드바를 회전시키는 상기 제1 탄성체에 의한 제1 토크는, 상기 클램프를 회전시키는 상기 제2 탄성체에 의한 제2토크보다 크게 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 클램핑장치는, 상기 가압핀과 함께 상승 및 하강하고, 상기 캐리어와 이격되어 상측에 위치하는 상기 마스크의 하단을 지지한 후 하강하도록 이루어지는 리프트핀을 포함하여 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 클램핑장치에서, 상기 가압핀은, 상기 가이드바와 접촉하여 가압하는 상부핀; 상기 상부핀의 하측에 결합되되, 상기 상부핀과 함께 전체길이가 신축가능하게 결합되는 하부핀; 및 가압핀의 전체길이가 신장되도록 상기 상부핀을 탄력지지하는 제3 탄성체를 포함하여 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 클램핑장치는, 상기 가압핀에 의하여 가압되어 상기 가이드바가 회전된 후, 상기 가이드바의 소정범위 이상의 회전이 저지되도록 이루어지는 제2 스토퍼를 포함하여 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 클램핑장치에서, 상기 제3 탄성체는 압축력에 의해 탄성변형되고, 상기 가압핀이 상기 가이드바에 접촉한 시점부터 상기 제2 스토퍼에 의해 상기 가이드바의 회전이 저지되기 시작한 시점까지, 상기 제3 탄성체의 탄성변형량은 최대탄성변형량 대비 30% 이하로 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 클램핑장치에서, 상기 제3 탄성체가 최대탄성변형되는 시점 또는 그 전에, 상기 캐리어와 이격되어 상측에 위치하는 상기 마스크의 하단에 상기 리프트핀이 접촉하도록 이루어질 수 있다.
본 발명에 의하면, 리프팅장치와 함께 가압핀이 상승할 수 있고, 이에 따라 클램프의 회전 및 마스크의 고정(clamping)이 이루어질 수 있으며, 의도하지 않은 고정해제(unclamping)를 효과적으로 방지할 수 있는 마스크 클램핑장치를 제공할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 클램핑장치를 개략적으로 도시한 사시도 및 분해사시도,
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 클램핑장치가 캐리어 상에 설치된 상태를 도시한 도면,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 클램핑장치의 작동을 설명하는 도면,
도 4 내지 도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 클램핑장치의 작동을 설명하는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
제1 실시예
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 클램핑장치(1)를 개략적으로 도시한 사시도(a) 및 분해사시도(b)이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 클램핑장치(1)가 캐리어(300) 상에 설치된 상태를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 클램핑장치(1)의 작동을 설명하는 도면이다.
본 발명에 따른 마스크 클램핑장치(이하, '클램핑장치(1)'라고 함)는, 피처리물인 기판에 대하여, 에칭, CVD, 스퍼터링, 이온 주입, 에싱 및/또는 증발증착 등의 가공과정인 기판처리공정 또는 그러한 공정의 준비과정에서 마스크(200)를 고정하기 위하여 사용되는 것이다.
여기서 기판은 디스플레이패널 등의 제조를 위한 기판일 수 있고, 특히 대면적의 기판일 수 있으며, 특히, 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED) 디스플레이패널을 이루는 대면적 기판일 수 있다.
한편, 기판처리공정에서 기판의 고정을 위하여 정전척이 사용될 수 있고, 정전척(Electrostatic Chuck, ESC)은 전기적으로 다른 전위를 갖는 두 물체간의 정전기력(Electrostatic Force)를 이용한 것으로서, 금속 플레이트, 금속 플레이트 상측에 적층되는 유전체층, 유전체층 내부에 형성되는 전극을 포함하여 이루어질 수 있다.
최근의 웨이퍼 또는 유리기판이 대형화됨에 따라 정전척 또한 대면적화되고 있으며, 이러한 정전척의 제조시 유전체 및 전극을 플라즈마 용사를 이용하여 형성하도록 하는 방법이 사용될 수 있다.
마스크(200)는 기판에 소정의 패턴 또는 모양을 형성하기 위해 사용되는 것으로서, 개구가 구비되고 금속으로 이루어질 수 있다.
따라서, 기판처리공정에서, 증착 영역만 노출되도록 이루어지는 마스크(200)를 기판 상측에 위치시키게 되고, 이러한 상태에서 증착물질을 증발시키며, 이에 따라 소정의 패턴을 가지는 양극, 음극, 유기막 등이 기판상에 형성되게 된다.
기판처리공정에서 하나 또는 다수의 마스크(200)가 사용될 수 있고, 각 마스크(200)는 각각의 공정챔버로 이동하고 또한 공정챔버로부터 제거될 수 있다.
이러한 마스크(200)의 이송과정 및 공정챔버 내에서 마스크(200)는 틀어짐이 없이 소정의 위치에 고정되는 것이 필요하고, 이를 위하여 본 발명에 따른 클램핑장치(1)는 마스크(200)의 고정을 수행한다.
본 발명의 클램핑장치(1)는, 마스크(200)가 캐리어(300)에 놓인 상태에서 마스크(200)를 고정하도록 이루어지고, 특히 마스크(200)의 모서리 부분을 고정하도록 이루어지며, 이를 위하여 고정바디(10), 가이드바(20), 클램프(30) 및 가압핀(40)을 포함하여 이루어질 수 있다. 또한, 클램핑장치(1)는 제1 탄성체(50), 제2 탄성체(60) 및 제1 스토퍼(70)를 포함하여 이루어진다. 또한, 클램핑장치(1)는 제2 스토퍼(80)를 포함하여 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 클램핑장치(1)의 설명에 있어서, 마스크(200)는 전체적으로 수평방향(X)으로 편평하게 이루어져 캐리어(300)의 상측에 놓이고, 상하방향(Y)으로 관통된 개구가 구비되는 것을 기준으로 설명하도록 한다.
그리고 캐리어(300)는, 그 위에 마스크(200)가 안착된 후 이송될 수 있도록 이루어지며, 전체적으로 수평방향(X)으로 편평한 형태를 이룬다.
캐리어(300)에는 기판(100)이 고정될 수 있고, 기판(100)의 고정을 위하여 정전척(110)이 구비될 수 있다.
하나의 마스크(200)를 고정함에 있어서 클램핑장치(1)는 다수 개로 구비될 수 있고, 다수 개의 클램핑장치(1)는 캐리어(300)에서 전후방향(X 및 Y와 직교하는 방향)을 따라 서로 이격되어 배치될 수 있으며, 도 2에 도시된 바와 같이, 캐리어(300)의 좌우 양쪽에 각각 구비될 수 있고 이때 캐리어(300)를 중심으로 좌우 대칭된 행태로 구비될 수 있다.
이하에서는, 도 3에서와 같이, 마스크(200)의 오른쪽을 고정할 수 있도록 캐리어(300)의 중심에서 오른쪽에 클램핑장치(1)가 설치된 경우를 기준으로 설명하도록 한다.
고정바디(10)는 클램핑장치(1)의 중심을 이루고 캐리어(300)의 어느 한쪽에 고정결합된다.
가이드바(20)는 고정바디(10)에 회전가능하게 결합되고, 특히 마스크(200)의 하부면과 평행한 방향의 제1 회전축(S1)을 기준으로 고정바디(10)에 왕복회전가능하게 결합된다. 본 발명의 구체적인 실시예에서 제1 회전축(S1)은 전후방향(X 및 Y와 직교하는 방향)과 평행하게 이루어지고, 가이드바(20)는 고정바디(10)를 기준으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하게 된다.
이러한 가이드바(20)는 가이드바디(21), 가이드아암(22) 및 가이드롤러(23)를 포함하여 이루어질 수 있다.
가이드바디(21) 상에 제1 회전축(S1)이 구비되며, 가이드바디(21)는 제1 회전축(S1)을 기준으로 캐리어(300)와 먼 쪽으로 소정의 길이를 갖도록 이루어지고, 가이드바디(21)의 저면은 노출된 형태로 이루어진다. 가이드바디(21)가 가압핀(40)과 접촉하지 않은 상태에서 가이드바디(21)의 저면은 대체로 수평방향(X)으로 편평한 형태로 이루어질 수 있다.
가이드아암(22)은 가이드바디(21)에서 캐리어(300)쪽을 향하여 연장된다. 가이드아암(22)의 단부는 캐리어(300) 및 고정바디(10)와 이격되는 것이 바람직하고, 특히, 고정바디(10)를 상대로 한 가이드바(20)의 회전시 고정바디(10) 및 캐리어(300)와 접촉 또는 간섭되지 않도록 이루어진다.
가이드롤러(23)는 가이드아암(22)의 단부에서 제1 회전축(S1)과 평행한 방향으로 연장되고, 전후방향을 따라 단면이 일정한 롤러 형태로 이루어진다.
가이드롤러(23)는 가이드아암(22)에서 회전가능하게 결합되는 것이 바람직하다.
가이드바디(21)가 가압핀(40)과 접촉하지 않은 상태 또는 제1 스토퍼(70)에 의해 가이드바(20)의 회전이 저지된 상태에서, 가이드롤러(23)의 회전축(S3)은 상기 제1 회전축(S1)보다 높게 위치하는 것이 바람직하다.
제1 탄성체(50)는 통상의 탄성체로 이루어질 수 있고, 고정바디(10)를 상대로 가이드바(20)를 탄성지지한다. 나아가, 제1 탄성체(50)는 고정바디(10)를 상대로 가이드바(20)가 회전되도록 가이드바(20)를 탄성지지하고, 특히 가이드바(20)에서 캐리어(300)의 중앙(도 2에서 수평방향(X)에서의 중앙)과 먼 쪽(도 3에서 오른쪽)이 하측을 향하면서 회전되도록 가이드바(20)에 외력을 가한다.
이에 따라 도 3을 기준으로, 제1 탄성체(50)는 가이드바(20)가 시계방향으로 회전되도록 가이드바(20)에 외력(탄성력)을 가하게 된다.
제1 탄성체(50)는 가이드바(20)에 탄성력(시계방향으로 회전시키는 탄성력)을 작용할 수 있는 다양한 형태로 이루어질 수 있고, 다양한 위치에 형성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시에에서 제1 탄성체(50)는 통상의 코일스프링 형태로 이루어질 수 있다.
제1 탄성체(50)가 코일스프링 형태로 이루어지는 경우, 제1 회전축(S1) 상에서 고정바디(10)에는 제1 고정홈(15)이 형성되고 가이드바(20)(가이드바디(21))에는 제1 회전홈(25)이 형성되며, 제1 탄성체(50)는 제1 고정홈(15) 및 제1 회전홈(25)에 삽입된 상태에서 일측 단부가 고정바디(10)에 고정결합되고 타측 단부가 가이드바(20)(가이드바디(21))에 고정결합될 수 있다. 그리고 이때, 제1 탄성체(50)는 탄성력을 저장한 상태에서 고정바디(10) 및 가이드바(20)에 결합된다.
제1 스토퍼(70)는 제1 탄성체(50)에 의한 가이드바(20)의 회전(시계방향 회전)이 소정 범위를 넘어 이루어지는 것을 저지하도록 이루어지며, 구체적으로 고정바디(10)에 고정되어 가이드바(20)의 회전을 저지하도록 이루어질 수 있다.
이에 따라 도 3을 기준으로, 제1 스토퍼(70)는 가이드바(20)가 소정의 범위를 넘어 시계방향으로 회전되는 것을 저지하게 된다.
제2 스토퍼(80)는, 가압핀(40)에 의해 가압되어 가이드바(20)가 회전(반시계방향 회전)될 때, 가이드바(20)의 소정범위 이상의 회전이 저지되도록 이루어지며, 구체적으로 고정바디(10)에 고정되어 가이드바(20)의 회전을 저지하도록 이루어질 수 있다.
이에 따라 도 3을 기준으로, 제2 스토퍼(80)는 가이드바(20)가 소정의 범위를 넘어 반시계 방향으로 회전되는 것을 저지하게 된다.
제1 스토퍼(70)가 제1 탄성체(50)의 탄성력이 감소하는 방향으로 가이드바(20)가 회전되는 것을 저지하는 수단이라면, 제2 스토퍼(80)는 제1 탄성체(50)의 탄성력이 증가하는 방향으로 가이드바(20)가 회전되는 것을 저지하는 수단이다.
도 3(a)에서와 같이, 가압핀(40)이 가이드바(20)에 접촉하지 않은 상태에서 제1 탄성체(50)는 탄성력을 저장하고 있으며, 도 3(b)에서와 같이 가이드바(20)가 반시계방향으로 회전한 상태에서 제1 탄성체(50)의 탄성력을 더욱 증가하게 된다.
클램프(30)는 제1 회전축(S1)과 평행한 제2 회전축(S2)을 기준으로 고정바디(10)에 왕복회전 가능하게 결합된다. 본 발명의 구체적인 실시예에서 제2 회전축(S2)은 전후방향과 평행하게 이루어지고, 클램프(30)는 고정바디(10)를 기준으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하게 된다.
특히 클램프(30)는 가이드바(20)와 연동하여 회전하며, 다만 가이드바(20)와 서로 반대방향으로 연동회전한다. 즉, 고정바디(10)를 상대로 가이드바(20)가 시계방향으로 회전하는 경우 클램프(30)는 반시계방향으로 회전하고, 가이드바(20)가 반시계방향으로 회전하는 경우 클램프(30)는 시계방향으로 회전한다.
클램프(30)는 클램프바디(31), 누름부(32), 정지면(33) 및 경사면(34)을 포함하여 이루어진다.
클램핑장치(1)가, 피고정물인 마스크(200)의 오른쪽에 구비되는 경우 정면에서 바라보았을 때 클램프(30)는 대체로 ┓모양으로 이루어진다.
클램프바디(31) 상에 제2 회전축(S2)이 구비되며, 클램프바디(31)는 제2 회전축(S2)을 중심으로 상하방향(Y)으로 소정의 길이를 갖도록 이루어지고, 특히 제2 회전축(S2)을 기준으로 하측방향으로 소정의 길이를 갖도록 이루어진다.
제2 회전축(S2)은 가이드롤러(23)의 회전축(S3)보다 위쪽에 구비된다.
본 발명에 따른 클램핑장치(1)에서, 클램프바디(31)는 대체로 제1 회전축(S1)과 가이드롤러(23) 사이에 위치하게 된다.
누름부(32)는 클램프바디(31)에서 캐리어(300) 쪽을 향하여 연장된다. 누름부(32)는 마스크(200)를 눌러 고정하거나 고정해제하는 직접적인 부분에 해당한다.
도 3(a)에서와 같이, 가압핀(40)이 가이드바(20)에 접촉하지 않은 상태에서 누름부(32)는 전체적으로 수평방향(X)을 따라 놓이고, 도 3(b)에서와 같이 가이드바(20)가 반시계방향으로 회전한 상태에서 시계방향을 회전하게 된다.
정지면(33)은 클램프바디(31)의 일측 표면을 이루고, 도 3에서 클램프바디(31)의 왼쪽 표면을 이룬다.
도 3(a)에서와 같이, 가압핀(40)이 가이드바(20)에 접촉하지 않은 상태 또는 제1 스토퍼(70)에 의해 가이드바(20)의 회전이 저지된 상태에서, 정지면(33)은 캐리어(300) 중심쪽을 바라보며 가이드롤러(23)에 접촉하게 되고, 이때 정지면(33)은 수직방향을 이룰 수 있다.
경사면(34)은 클램프바디(31)의 일측 표면을 이루고 정지면(33)에서 연장된 면을 이룬다. 경사면(34)은 정지면(33)에서 하측으로 연장되고 제1 회전축(S1) 쪽을 향하여 경사진 형태로 이루어진다.
따라서, 도 3(a)에서와 같이 제1 스토퍼(70)에 의해 가이드바(20)의 회전이 저지된 상태에서, 경사면(34)은 정지면(33)에서 하측으로 연장되되 캐리어(300)의 중앙 쪽에서 멀어지도록 경사지게 된다.
또한 경사면(34)은, 정지면(33)에서 멀어질수록, 제2 회전축(S2) 까지의 거리가 증가하도록 이루어지는 것이 바람직하다. 따라서, 도 3(a)에 표시된 L2는 L1보다 길게 이루어진다.
제2 탄성체(60)에 의한 클램프(30)의 회전시 가이드롤러(23)는 경사면(34)에 접촉하게 된다.
그리고 제2 탄성체(60)에 의해 클램프(30)가 회전할 때, 가이드롤러(23)는 정지면(33)을 거쳐 경사면(34)과 연속해서 접촉하고, 이러한 과정에서 가이드롤러(23)의 회전축(S3)과 제2 회전축(S2)간의 거리는 점차 증가한다.
가이드롤러(23)가 정지면(33)에서 경사면(34)으로 자연스럽게 이동할 수 있도록, 정지면(33)과 경사면(34)의 연결지점(면)은 라운드가공되는 것을 바람직하다.
제2 탄성체(60)는 통상의 탄성체로 이루어질 수 있고, 고정바디(10)를 상대로 클램프(30)를 탄성지지한다. 나아가, 제2 탄성체(60)는 고정바디(10)를 상대로 클램프(30)가 회전되도록 클램프(30)를 탄성지지하고, 특히 클램프(30)에서 캐리어(300)의 중앙과 가까운 쪽이 상측을 향하면서 회전되도록 클램프(30)에 외력을 가한다.
이에 따라 도 3을 기준으로, 제2 탄성체(60)는 클램프(30)가 시계방향으로 회전되도록 클램프(30)에 외력(탄성력)을 가하게 된다.
제2 탄성체(60)는 클램프(30)에 탄성력(시계방향으로 회전시키는 탄성력)을 작용할 수 있는 다양한 형태로 이루어질 수 있고, 다양한 위치에 형성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 일 실시예에서 제2 탄성체(60)는 통상의 코일스프링 형태로 이루어질 수 있다.
제2 탄성체(60)가 코일스프링 형태로 이루어지는 경우, 제2 회전축(S2) 상에서 고정바디(10)에는 제2 고정홈(16)이 형성되고 클램프(30)(클램프바디(31))에는 제2 회전홈(36)이 형성되며, 제2 탄성체(60)는 제2 고정홈(16) 및 제2 회전홈(36)에 삽입된 상태에서 일측 단부가 고정바디(10)에 고정결합되고 타측 단부가 클램프(30)(클램프바디(31))에 고정결합될 수 있다. 그리고 이때, 제2 탄성체(60)는 탄성력을 저장한 상태에서 고정바디(10) 및 클램프(30)에 결합된다.
제2 탄성체(60)는 클램프(30)가 시계방향으로 회전되도록 외력을 작용하고 있으나, 본 발명에 따른 클램핑장치(1)에서 클램프(30)는 가이드바(20), 특히 가이드바(20)와 가이드롤러(23)에 의해 회전이 저지되거나 회전범위가 제한되게 된다.
본 발명에 따른 클램핑장치(1)에서, 가이드바(20)를 회전시키는 제1 탄성체(50)에 의한 제1 토크(회전력)는, 클램프(30)를 회전시키는 제2 탄성체(60)에 의한 제2 토크보다 크게 이루어질 수 있다. 특히, 가이드롤러(23)가 경사면(34)에 접촉한 상태에서, 가이드바(20)를 회전시키는 제1 탄성체(50)에 의한 제1 토크는, 클램프(30)를 회전시키는 제2 탄성체(60)에 의한 제2 토크 보다 크게 이루어지는 것이 바람직하다.
가이드롤러(23)가 경사면(34)에 접촉한 상태에서, 가이드바(20)를 시계방향으로 회전시키는 제1 탄성체(50)에 의한 힘은, 클램프(30)를 시계방향으로 회전시키는 제2 탄성체(60)에 의한 힘보다 크며, 별도의 외력이 작용하지 않은 경우 가이드바(20)는 시계방향으로 회전하고 클램프(30)는 반시계방향으로 회전하게 된다.
가압핀(40)은 상하방향(Y)으로 길게 이루어지고, 특히 상하방향(Y)으로 긴 봉 형태로 이루어질 수 있다. 가압핀(40)은 가이드바(20) 하측에 위치하여 상하방향(Y)으로 왕복이동하면서 가이드바(20)를 가압할 수 있다.
특히 가압핀(40)은 제1 회전축(S1)을 기준으로 캐리어(300)의 중앙에서 먼 쪽에서 가이드바디(21)의 하측을 가압하며, 도 3을 기준으로 가이드바디(21)가 반시계방향으로 회전하도록 한다.
이하, 도 3을 기준으로 본 발명의 제1 실시예에 따른 클램핑장치(1)의 작동을 설명한다. 도 3(a)와 같이 가압핀(40)과 가이드바(20)가 접촉하지 않은 상태를 제1 상태, 도 3(b)와 같이 제1 상태로부터 가이드바(20) 및 클램프(30)가 최대한 회전된 상태를 제2 상태로 정하여 설명하도록 한다.
제1 상태에서 가압핀(40)이 상승하여 가이드바디(21)의 오른쪽을 가압하면, 도 3(b)에 도시된 바와 같이, 가이드바(20)는 반시계방향으로 회전하게 된다. 이때, 제1 탄성체(50)는 탄성변형되면서 제1 탄성체(50)에 저장된 탄성에너지는 증가하게 된다.
가이드바(20)의 가이드롤러(23) 또한 반시계방향으로 회전하면서 하측으로 이동하게 되고, 이에 따라 가이드롤러(23)는 클램프(30)의 정지면(33)을 벗어나게 된다.
이에 따라, 클램프(30)는 제2 탄성체(60)에 의해 시계방향으로 회전하게 되며, 가이드롤러(23)는 정지면(33)을 지나 경사면(34)과 접촉된 상태를 유지하게 된다. 이러한 과정에서 제2 탄성체(60)에 저장된 탄성에너지는 감소하게 된다.
클램프(30)의 시계방향 회전에 의해 누름부(32)가 캐리어(300)로부터 충분히 벌어져, 캐리어(300) 상측에 마스크(200)의 안착이 가능하게 되면서 제2 상태가 이루어진다.
제2 상태에서 마스크(200)는 캐리어(300) 상측에 놓여지게 된다.
이후 가압핀(40)이 하강하면서 제1 탄성체(50)에 의해 가이드바(20)는 시계방향으로 회전하게 된다. 가이드바(20)는 가이드바디(21)가 제1 스토퍼(70)에 밀착되어 회전이 저지되기 전까지 회전한다.(도 3(c) 참조)
가이드바(20)의 가이드롤러(23) 또한 시계방향으로 회전하면서 상측으로 이동하게 되고, 가이드롤러(23)는 클램프(30)의 경사면(34)을 가압하면서 클램프(30)를 반시계방향으로 회전시키고 경사면(34)을 벗어나면서 정지면(33)과 접촉하게 된다.
클램핑장치(1)는 제1 상태로 복귀하면서 마스크(200)의 고정이 이루어지게 된다. 그리고 본 발명에 따른 클램핑장치(1)에서는 클램프(30)의 회전(시계방향 회전)에 대하여 가이드바(20)의 가이드롤러(23)가 스토퍼 역할을 하게 되며, 의도하지 않은 마스크(200)의 고정해제(unclamping)를 효과적으로 방지할 수 있는 마스크(200) 클램핑장치(1)를 제공할 수 있게 된다.
제2 실시예
도 4 내지 도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 클램핑장치(1)의 작동을 설명하는 도면이다. 도 4 내지 도 7에서 캐리어(300) 및 가압핀(40)의 일부는 단면형태로 도시되어 있다.
본 발명에 따른 클램핑장치(1)는 상술한 구성 이외에 리프트핀(90)을 더 포함하여 이루어질 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 클램핑장치(1)는 상술한 바와 같이 제2 스토퍼(80)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
리프트핀(90)은 가압핀(40)과 함께 상승 및 하강하도록 이루어지고, 가압핀(40)과 함께 리프팅장치(400)를 구성할 수 있다. 그리고 리프트핀(90)은, 캐리어(300)의 상측에 위치하는 마스크(200)의 하단을 지지한 후 하강하도록 이루어질 수 있으며, 리프트핀(90)이 하강하면서 마스크(200)가 캐리어(300) 상측에 안착될 수 있다.
리프트핀(90)은 캐리어(300)의 일 부분(310)을 관통하는 형태로 상승 및 하강할 수 있다.
그리고 이때, 본 발명에 따른 가압핀(40)은, 상부핀(41), 하부핀(42) 및 제3 탄성체(43)를 포함하여 이루어질 수 있다.
상부핀(41)은 가압핀(40)의 상측 부분으로서 가이드바(20)와 접촉하여 가압하는 부분이다.
하부핀(42)은 가압핀(40)의 하측 부분으로서 상부핀(41)의 하측에 결합된다.
상부핀(41)과 하부핀(42)은 서로 고정된 형태로 결합되는 것은 아니고, 가압핀(40)의 전체 길이(상부핀(41)과 하부핀(42)이 결합된 전체길이, L3)가 가변될 수 있도록 신축가능하게 결합된다. 예컨대, 하부핀(42)의 상단 부분은 파이프 형태로 이루어지고, 상부핀(41)의 하단 부분이 하부핀(42)의 상단 내부에 삽입된 후 상하방향(Y)으로 슬라이드 이동가능하게 결합될 수 있다.
제3 탄성체(43)는 가압핀(40)의 전체길이가 신장되는 방향으로 상부핀(41)을 탄력지지하도록 이루어진다. 즉, 제3 탄성체(43)는, 하부핀(42)을 상대로 상부핀(41)이 하측으로 이동될 때 상부핀(41)이 다시 상측으로 이동할 수 있도록 상부핀(41)을 탄력지지하며, 이러한 작용이 이루어질 수 있는 다양한 탄성체로 이루어질 수 있다.
제3 탄성체(43)는 압축력에 의해 탄성변형되도록 이루어질 수 있고, 코일스프링 형태로 이루어질 수 있으며, 하부핀(42) 내부에 삽입되어 하부핀(42)을 상대로 상부핀(41)을 상측으로 가압할 수 있다.
그리고 제3 탄성체(43)는 가압핀(40)을 이루도록 조립된 상태에서 어느 정도 압축된 상태로 조립되며, 이에 따라 별도의 외력이 작용하지 않은 상태에서 가압핀(40)의 전체 길이(상부핀(41)과 하부핀(42)의 전체 길이)가 안정적으로 유지될 수 있도록 이루어진다.
본 발명에 따른 클램핑장치(1)에서, 가압핀(40)이 가이드바(20)에 접촉했을 때 제3 탄성체(43)의 탄성력은 제1 탄성체(50)의 탄성력보다 크거나 작게, 또는 동일하게 이루어질 수 있고, 제3 탄성체(43)의 탄성 계수(modulus of elasticity)는 제1 탄성체(50)의 탄성 계수보다 크거나 작게, 또는 동일하게 이루어질 수 있다. 제1 탄성체(50) 및 제3 탄성체(43)가 스프링으로 이루어지는 경우 어느 하나의 스프링 상수(spring constant)는 다른 하나의 스프링 상수보다 크거나 작게, 또는 동일하게 이루어질 수 있다.
제1 탄성체(50)가 저장된 탄성에너지가 증가하는 쪽으로 탄성변형될 때, 제1 탄성체(50)의 변형량은 제3 탄성체(43)의 변형량보다 크거나 작게, 또는 동일하게 이루어지게 된다.
제1 탄성체(50)와 제3 탄성체(43)의 탄성력, 가이드바(20)가 회전할 때 제1 탄성체(50)와 제3 탄성체(43)의 변형량 등은, 탄성체(43, 50)의 종류 및 형태, 리프트핀(90)의 길이 및 위치, 가압핀(40) 및 그 구성의 길이, 가이드바(20)의 회전정도 등을 고려하여 정하여질 수 있다.
다만, 본 발명에 따른 클램프장치(1)의 전체 작동구간에서의 제1 탄성체(50)의 전체변형량을 A, 제3 탄성체(43)의 전체변형량을 B라 하고, 제1 탄성체(50)의 단위시간당 변형량을 Δa, 제3 탄성체(43)의 단위시간당 변형량을 Δb라 할 때, 가이드바(20)가 반시계방향으로 회전하는 구간에서, 제1 탄성체(50)의 상대적인 변형값 Δa/A은 제3 탄성체(43)의 상대적인 변형값 Δb/B보다 크고, 바람직하게는 3배 이상, 더욱 바람직하게는 5배 이상으로 이루어진다.
본 발명에 따른 클램핑장치(1)에서, 가압핀(40)이 가이드바(20)에 접촉하지 않은 상태에서 제3 탄성체(43)의 전체길이(상하방향(Y)의 길이)를 E1이라고 할 때, 가압핀(40)이 가이드바(20)에 접촉한 시점부터 제2 스토퍼(80)에 의해 가이드바(20)의 회전이 저지되기 시작한 시점(가이드바(20)가 제2 스토퍼(80)에 접촉한 시점)까지, 제3 탄성체(43)는 탄성변형되면서 그 길이가 E2로 변형될 수 있고, 이때 제3 탄성체(43)의 변형량은 E1-E2이다.
그리고 가이드바(20)가 제2 스토퍼(80)에 접촉한 시점부터 가압핀(40)(하부핀(42))이 더욱 상승하면 제3 탄성체(43)는 압축되면서 그 길이가 E3로 감소할 수 있고 더욱 탄성변형되게 된다.
본 발명에 따른 클램핑장치(1)에서 하부핀(42)이 최대한 상승한 상태에서의 제3 탄성체(43)의 탄성변형량(E1-E3)을 최대탄성변형량이라고 할 때, 가압핀(40)이 가이드바(20)에 접촉한 시점부터 가이드바(20)가 제2 스토퍼(80)에 접촉한 시점까지 제3 탄성체(43)의 탄성변형량(E1-E2)은 최대탄성변형량 대비 30% 이하로 이루어질 수 있고, 바람직하게는 10% 이하로 이루어질 수 있다.
그리고 본 발명에 따른 클램핑장치(1)에서, 제3 탄성체(43)가 최대탄성변형되는 시점 또는 그 전에, 캐리어(300)와 이격되어 상측에 위치하는 마스크(200)의 하단에 리프트핀(90)이 접촉하게 된다.
이하 도 4 내지 도 7을 기준으로 본 발명의 제2 실시예에 따른 클램핑장치(1)의 작동을 설명한다. 도 4와 같이 가압핀(40)과 가이드바(20)가 접촉하지 않은 상태를 제3 상태, 도 5와 같이 제3 상태로부터 가이드바(20) 및 클램프(30)가 최대한 회전된 시점의 상태를 제4 상태, 도 6과 같이 리프트핀(90)이 최대한 상승하고 제3 탄성체(43)가 최대탄성변형된 상태를 제5 상태, 도 7과 같이 리피트핀이 마스크(200)와 함께 하강하는 상태를 제 6상태로 정하여 설명하도록 한다.
제3 상태에서 마스크(200)는 캐리어(300)와 이격되어 캐리어(300) 상측에 위치하며, 이를 위하여 마스크(200) 이송용 로봇아암(robot arms)이 구비될 수 있다.
제3 상태에서 리프트핀(90) 및 가압핀(40)이 상승하여 가압핀(40)이 가이드바디(21)의 오른쪽을 가압하면, 가이드바(20)는 반시계방향으로 회전하게 된다. 이때, 제1 탄성체(50)는 탄성변형되면서 제1 탄성체(50)에 저장된 탄성에너지는 증가하게 되고, 제3 탄성체(43) 또한 압축변형되면서 탄성변형될 수 있다.
가이드바(20)의 가이드롤러(23) 또한 반시계방향으로 회전하면서 하측으로 이동하게 되고, 이에 따라 가이드롤러(23)는 클램프(30)의 정지면(33)을 벗어나게 된다.
이에 따라, 클램프(30)는 제2 탄성체(60)에 의해 시계방향으로 회전하게 되며, 가이드롤러(23)는 정지면(33)을 지나 경사면(34)과 접촉된 상태를 유지하게 된다. 이러한 과정에서 제2 탄성체(60)에 저장된 탄성에너지는 감소하게 된다.
가이드바(20)가 반시계방향으로 회전하면서 제2 스토퍼(80)에 접촉하여 더 이상 회전이 저지되는 시점이 제4 상태이다. 그리고 이때 클램프(30)의 시계방향 회전에 의해 누름부(32)가 캐리어(300)로부터 충분히 벌어져, 캐리어(300) 상측에 마스크(200)의 안착이 가능한 상태가 된다.
그리고 이때, 리프트핀(90)의 상단은 누름부(32)의 단부보다 낮게 위치한다.(도 5 참조)
이후 리프트핀(90) 및 가압핀(40)은 더욱 상승할 수 있으며, 다만, 가압핀(40)의 상부핀(41)은 가이드바(20)에 의해 상승이 저지되고 하부핀(42)이 상승하며 제3 탄성체(43)는 압축변형되게 된다.
리프트핀(90)이 최대로 상승한 상태에서 리프트핀(90)의 상단은 마스크(200)의 하단에 접촉할 수 있고, 이때 제3 탄성체(43)는 제4 상태보다 더욱 압축되면서 탄성변형될 수 있다.
제4 상태에서 제5 상태로 전환되는 과정에서 가이드바(20) 및 클램프(30)는 시계방향 또는 반시계방향으로 회전됨이 없이 유지된다.
리프트핀(90) 상단에 마스크(200)가 안착된 상태에서 마스크(200)를 지지하는 로봇아암은 제거되고 리프트핀(90)은 하강하며, 가압핀(40) 또한 하강하게 되나, 다만, 제3 탄성체(43)의 탄성력에 의하여 가압핀(40)의 상부핀(41)은 그 위치가 유지되고 하부핀(42)이 하강하게 되며, 제3 탄성체(43)의 길이는 증가한다.
제5 상태에서 제6 상태로 전환되는 과정에서 가이드바(20) 및 클램프(30)는 시계방향 또는 반시계방향으로 회전됨이 없이 유지된다. 그리고 제6 상태에서 리프트핀(90)의 상단은 누름부(32)의 단부보다 낮게 위치한다.(도 7 참조)
제6 상태 이후 리프트핀(90) 및 가압핀(40)이 하강하면서 마스크(200)는 하측으로 이동하고 제1 탄성체(50)에 의해 가이드바(20)는 시계방향으로 회전하게 된다. 가이드바(20)는 가이드바디(21)가 제1 스토퍼(70)에 밀착되어 회전이 저지되기 전까지 회전한다.
가이드바(20)의 가이드롤러(23) 또한 시계방향으로 회전하면서 상측으로 이동하게 되고, 가이드롤러(23)는 클램프(30)의 경사면(34)을 가압하면서 클램프(30)를 반시계방향으로 회전시키고 경사면(34)을 벗어나면서 정지면(33)과 접촉하게 된다.
그리고 클램핑장치(1)는 제3 상태로 복귀하면서 마스크(200)의 고정이 이루어지게 된다.(도 3(c) 및 도 4 참조)
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 클램핑장치(1)에서는 리프팅장치(400)와 함께 가압핀(40)이 상승할 수 있고, 이에 따라 클램프(30)의 회전 및 마스크(200)의 고정(clamping)이 이루어질 수 있으며, 클램프(30)의 회전(시계방향 회전)에 대하여 가이드바(20)의 가이드롤러(23)가 스토퍼 역할을 하게 되며, 의도하지 않은 마스크(200)의 고정해제(unclamping)를 효과적으로 방지할 수 있는 마스크(200) 클램핑장치(1)를 제공할 수 있게 된다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
1 : 클램핑장치 10 : 고정바디
20 : 가이드바 21 : 가이드바디
22 : 가이드아암 23 : 가이드롤러
30 : 클램프 31 : 클램프바디
32 : 누름부 33 : 정지면
34 : 경사면 40 : 가압핀
41 : 상부핀 42 : 하부핀
43 : 제3 탄성체 50 : 제1 탄성체
60 : 제2 탄성체 70 : 제1 스토퍼
80 : 제2 스토퍼 90 : 리프트핀
200 : 마스크 300 : 캐리어
400 : 리프팅장치

Claims (11)

  1. 기판에 소정의 패턴 또는 모양을 형성하기 위해 사용되는 마스크가 캐리어상에 놓인 상태에서 상기 마스크를 고정하는데 사용되는 마스크 클램핑장치이고,
    캐리어의 일측에 고정되는 고정바디;
    상기 마스크의 하부면과 평행한 방향의 제1 회전축을 기준으로 상기 고정바디에 왕복회전가능하게 결합되는 가이드바;
    상기 제1 회전축과 평행한 제2 회전축을 기준으로 상기 고정바디에 왕복회전가능하게 결합되되, 상기 가이드바와 반대방향으로 연동회전하고, 일측 단부에 상기 마스크를 누르도록 이루어지는 누름부가 구비되는 클램프;
    상기 가이드바가 회전하도록, 상기 가이드바를 하측에서 가압하는 가압핀;
    상기 가이드바에서 상기 캐리어의 중앙과 먼 쪽이 하측을 향하도록 상기 가이드바를 회전시키고 탄력지지하는 제1 탄성체;
    상기 클램프에서 상기 캐리어의 중앙과 가까운 쪽이 상측을 향하도록 상기 클램프를 회전시키고 탄력지지하는 제2 탄성체; 및
    상기 제1 탄성체에 의한 상기 가이드바의 회전이 소정 범위를 넘어 이루어지는 것을 저지하는 제1 스토퍼를 포함하고,
    상기 가이드바는,
    상기 제1 회전축을 기준으로 상기 캐리어의 중앙과 먼 쪽에서 상기 가압핀과 접촉하는 가이드바디;
    상기 가이드바디에서 상기 캐리어쪽으로 연장되는 가이드아암; 및
    상기 가이드아암의 단부에서 상기 제1 회전축과 평행한 방향으로 연장되는 가이드롤러를 포함하고,
    상기 클램프는,
    상기 제1 스토퍼에 의해 상기 가이드바의 회전이 저지된 상태에서, 상기 캐리어의 중앙쪽을 바라보며 상기 가이드롤러에 접촉하는 정지면; 및
    상기 제1 스토퍼에 의해 상기 가이드바의 회전이 저지된 상태에서, 상기 정지면에서 하측으로 연장되되 상기 가이드롤러에서 멀어지도록 경사지는 경사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 클램핑장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 스토퍼에 의해 상기 가이드바의 회전이 저지된 상태에서, 상기 가이드롤러의 회전축은 상기 제1 회전축보다 높게 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 클램핑장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 탄성체에 의해 상기 클램프가 회전할 때, 상기 가이드롤러는 상기 정지면을 거쳐 상기 경사면과 연속해서 접촉하고, 상기 가이드롤러의 회전축과 상기 제2 회전축간의 거리는 점차 증가하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 클램핑장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가이드롤러가 상기 경사면에 접촉한 상태에서, 상기 가이드바를 회전시키는 상기 제1 탄성체에 의한 제1 토크는, 상기 클램프를 회전시키는 상기 제2 탄성체에 의한 제2토크보다 크게 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 클램핑장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가압핀과 함께 상승 및 하강하고, 상기 캐리어와 이격되어 상측에 위치하는 상기 마스크의 하단을 지지한 후 하강하도록 이루어지는 리프트핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 클램핑장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 가압핀은,
    상기 가이드바와 접촉하여 가압하는 상부핀;
    상기 상부핀의 하측에 결합되되, 상기 상부핀과 함께 전체길이가 신축가능하게 결합되는 하부핀; 및
    가압핀의 전체길이가 신장되도록 상기 상부핀을 탄력지지하는 제3 탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 클램핑장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 가압핀에 의하여 가압되어 상기 가이드바가 회전된 후, 상기 가이드바의 소정범위 이상의 회전이 저지되도록 이루어지는 제2 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 클램핑장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제3 탄성체는 압축력에 의해 탄성변형되고,
    상기 가압핀이 상기 가이드바에 접촉한 시점부터 상기 제2 스토퍼에 의해 상기 가이드바의 회전이 저지되기 시작한 시점까지, 상기 제3 탄성체의 탄성변형량은 최대탄성변형량 대비 30% 이하인 것을 특징으로 하는 마스크 클램핑장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제3 탄성체가 최대탄성변형되는 시점 또는 그 전에, 상기 캐리어와 이격되어 상측에 위치하는 상기 마스크의 하단에 상기 리프트핀이 접촉하는 것을 특징으로 하는 마스크 클램핑장치.
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