KR102038775B1 - Automatic coupling and separating device for heater jacket - Google Patents

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KR102038775B1
KR102038775B1 KR1020180101543A KR20180101543A KR102038775B1 KR 102038775 B1 KR102038775 B1 KR 102038775B1 KR 1020180101543 A KR1020180101543 A KR 1020180101543A KR 20180101543 A KR20180101543 A KR 20180101543A KR 102038775 B1 KR102038775 B1 KR 102038775B1
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heater jacket
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heater
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gas cylinder
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정근준
이상욱
김용철
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주식회사 케이씨
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Abstract

The present invention provides an automatic attaching and detaching apparatus for a heater jacket, which is possible to simply automatically couple a heater jacket to an outer side surface of a gas cylinder and detach the same therefrom. To this end, the automatic attaching and detaching apparatus for a heater jacket of the present invention includes: a heater jacket attached to and detached from an outer side surface of a gas cylinder; a heater jacket bracket on which the heater jacket is mounted; a main body in which the heater jacket bracket is rotationally received; and a driving unit rotating the heater jacket bracket forward or backward and providing driving force so that the heater jacket can be attached to and detached from the gas cylinder.

Description

히터자켓 자동 착탈장치{Automatic coupling and separating device for heater jacket}Automatic coupling and separating device for heater jacket

본 발명은 히터자켓 자동 착탈장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 생산을 위해 사용되는 가스가 저장되는 가스 실린더의 온도를 일정하게 유지하기 위해 가스 실린더를 감싸는 히터자켓을 가스 실린더의 외측면에 자동으로 결합 및 분리할 수 있도록 하는 히터자켓 자동 착탈장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heater jacket automatic detachment apparatus, and more particularly, a heater jacket surrounding the gas cylinder to automatically maintain the temperature of the gas cylinder in which the gas used for semiconductor production is stored to the outer side of the gas cylinder automatically It relates to a heater jacket automatic detachment device to be coupled and separated by.

반도체 생산을 위해 사용되는 특정 가스(액화 가스)를 반도체 생산 설비 측으로 원활하게 공급하기 위해서는 가스를 일정온도 이상으로 가열하고, 가열된 온도를 일정하게 유지할 필요가 있다.In order to smoothly supply a specific gas (liquefied gas) used for semiconductor production to the semiconductor production equipment side, it is necessary to heat the gas above a certain temperature and keep the heated temperature constant.

이를 위한 구성으로, 가스가 저장되는 가스 실린더의 외측면을 히터자켓(heater jacket)으로 감싸고, 히터자켓의 발열에 의해 가스를 일정 온도를 유지하도록 가열하게 된다. 가스 실린더에 저장된 가스가 소진되면, 가스 실린더를 새 것으로 교체하게 된다. 종래에는 가스 실린더의 교체 시, 사용된 가스 실린더로부터 히터자켓을 수동으로 분리한 후에, 교체된 가스 실린더의 외측면에 히터자켓을 수동으로 다시 결합하는 방식을 적용하였다. In this configuration, the outer surface of the gas cylinder in which the gas is stored is wrapped in a heater jacket, and the gas is heated to maintain a constant temperature by the heat of the heater jacket. When the gas stored in the gas cylinder is exhausted, the gas cylinder is replaced with a new one. Conventionally, when the gas cylinder is replaced, a method of manually detaching the heater jacket from the used gas cylinder and then manually reconnecting the heater jacket to the outer surface of the replaced gas cylinder is applied.

그러나, 이와 같이 히터자켓을 수작업에 의해 분리 및 결합하는 경우, 히터자켓의 착탈 작업에 많은 시간과 노동력이 소요되며, 이에 따라 공정 중단 시간 또한 증가하게 되어 반도체 제품의 생산성이 저하되는 문제점이 있었다. However, in the case of separating and combining the heater jacket in this manner, a large amount of time and labor is required for the detachment and detachment of the heater jacket, thereby increasing the process interruption time and thus lowering the productivity of the semiconductor product.

또한, 히터자켓의 착탈 작업을 수작업에 의할 경우에는, 히터자켓이 실린더의 외측면에 밀착된 정위치 상태로 결합되었는지 여부를 확인하기가 어려운 문제점도 있었다.In addition, when the detachable work of the heater jacket is performed by hand, it is difficult to check whether the heater jacket is coupled in a fixed position in close contact with the outer surface of the cylinder.

대한민국 등록특허 제10-1879984호Republic of Korea Patent Registration No. 10-1879984 대한민국 등록특허 제10-1575181호Republic of Korea Patent No. 10-1575181

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 히터자켓을 가스 실린더의 외측면에 자동으로 간편하게 결합 및 분리 가능한 히터자켓 자동 착탈장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a heater jacket automatic detachable device that can be easily coupled and detached to the outer surface of the gas cylinder automatically.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 히터자켓 자동 착탈장치는, 가스 실린더의 외측면에 착탈되는 히터자켓; 상기 히터자켓이 장착되는 히터자켓 브라켓; 상기 히터자켓 브라켓이 회전 가능하도록 수용되는 본체; 및 상기 히터자켓 브라켓을 전방 또는 후방으로 회전시켜 상기 히터자켓이 상기 가스 실린더에 착탈되도록 구동력을 제공하는 구동부를 포함한다.Heater jacket automatic detachment device of the present invention for realizing the object as described above, the heater jacket detachable on the outer surface of the gas cylinder; A heater jacket bracket on which the heater jacket is mounted; A main body in which the heater jacket bracket is rotatably received; And a driving unit rotating the heater jacket bracket forwards or backwards to provide a driving force to attach or detach the heater jacket to the gas cylinder.

상기 히터자켓 브라켓은, 상기 히터자켓의 일측부가 장착되는 제1히터자켓 브라켓과, 상기 히터자켓의 타측부가 장착되는 제2히터자켓 브라켓으로 이루어질 수 있다. The heater jacket bracket may include a first heater jacket bracket on which one side of the heater jacket is mounted, and a second heater jacket bracket on which the other side of the heater jacket is mounted.

상기 히터자켓은 원통형으로 말려져 상기 가스 실린더의 외측면을 감싸도록 구비되고, 상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓은 곡면형으로 구비될 수 있다.The heater jacket may be rolled in a cylindrical shape to surround the outer surface of the gas cylinder, and the first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket may be provided in a curved shape.

상기 히터자켓은, 원통형의 몸체부와, 상기 몸체부의 대향된 전방 측단에 각각 구비된 플랜지 형상의 결합부를 포함하고, 상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓의 전방 측단에는, 상기 히터자켓의 결합부와 결합되는 플랜지부가 각각 구비될 수 있다.The heater jacket includes a cylindrical body portion and a flange-shaped coupling portion provided at opposite front side ends of the body portion, respectively, and at the front side ends of the first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket, the heater Flange portions coupled with the coupling portion of the jacket may be provided respectively.

상기 제1히터자켓 브라켓의 외측면과 상기 제2히터자켓 브라켓의 외측면에는 돌출부가 각각 형성되고, 상기 본체의 양측면에는 상기 돌출부가 관통되어 전후방으로 회전 가능하도록 가로방향으로 소정 길이 절개된 가이드홀이 각각 형성되며, 상기 구동부는 상기 가이드홀을 관통한 상기 돌출부에 연결되도록 구성될 수 있다.Protruding portions are formed on the outer surface of the first heater jacket bracket and the outer surface of the second heater jacket bracket, respectively, and the guide holes have a predetermined length cut in a horizontal direction so that the protrusions penetrate through both sides of the main body so as to be rotated forward and backward. Each of which is formed, the driving unit may be configured to be connected to the protrusion portion penetrating the guide hole.

상기 구동부는, 상기 제1히터자켓 브라켓이 전후방으로 회전되도록 구동력을 제공하는 제1구동부와, 상기 제2히터자켓 브라켓이 전후방으로 회전되도록 구동력을 제공하는 제2구동부를 포함하여 구성될 수 있다.The driving unit may include a first driving unit providing a driving force so that the first heater jacket bracket is rotated forward and backward, and a second driving unit providing a driving force so that the second heater jacket bracket is rotated forward and backward.

상기 제1구동부와 제2구동부는, 상기 본체의 양측부에 대칭된 구조로 구비되어 동시에 구동되고, 상기 제1구동부와 제2구동부의 구동 시, 상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓은, 동시에 전방으로 회전되거나, 동시에 후방으로 회전되는 것으로 구성될 수 있다.The first driving unit and the second driving unit are provided at both sides of the main body in a symmetrical structure and are driven at the same time. When the first driving unit and the second driving unit are driven, the first heater jacket bracket and the second heater jacket The bracket may be configured to rotate forward at the same time or rotate backward at the same time.

상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓이 전방으로 회전되면, 상기 히터자켓이 상기 가스 실린더의 외측면을 감싸며 결합되는 결합 상태가 되고, 상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓이 후방으로 회전되면, 상기 히터자켓이 상기 가스 실린더의 외측면에서 분리되는 분리 상태가 될 수 있다.When the first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket are rotated forward, the heater jacket is coupled to surround the outer surface of the gas cylinder, the first heater jacket bracket and the second heater jacket When the bracket is rotated to the rear, the heater jacket may be in a separated state separated from the outer surface of the gas cylinder.

상기 제1구동부와 제2구동부는, 실린더와, 상기 실린더의 로드에 일단이 고정되고, 상기 히터자켓 브라켓의 돌출부에 타단이 고정된 와이어와, 상기 와이어가 회전되도록 지지하는 복수의 롤러를 포함하여 구성될 수 있다.The first driving unit and the second driving unit includes a cylinder, a wire having one end fixed to the rod of the cylinder, the other end fixed to the protrusion of the heater jacket bracket, and a plurality of rollers supporting the wire to rotate. Can be configured.

상기 복수의 롤러는, 상기 실린더의 로드의 이동 방향과, 상기 돌출부의 이동 방향을 따라 구비될 수 있다.The plurality of rollers may be provided along a moving direction of the rod of the cylinder and a moving direction of the protrusion.

상기 실린더의 로드와 상기 와이어의 일단을 고정하기 위한 제1고정구와, 상기 돌출부와 상기 와이어의 타단을 고정하기 위한 제2고정구를 더 포함할 수 있다.A first fixing tool for fixing the rod of the cylinder and one end of the wire, and a second fixing tool for fixing the other end of the protrusion and the wire.

상기 실린더의 구동 방향에 따라 상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓은 전방 또는 후방으로 회전되어 상기 히터자켓이 상기 가스 실린더의 외측면에 결합 또는 분리될 수 있다.According to the driving direction of the cylinder, the first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket may be rotated forward or backward so that the heater jacket may be coupled to or separated from an outer surface of the gas cylinder.

상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓의 결합 상태를 감지하기 위한 근접센서를 더 포함하여 구성될 수 있다.The apparatus may further include a proximity sensor for detecting a coupling state of the first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket.

본 발명에 따른 히터자켓 자동 착탈장치에 의하면, 구동부의 구동에 의해 히터자켓을 가스 실린더의 외측면에 자동으로 간편하게 결합 및 분리할 수 있다. 이에 따라, 히터자켓을 가스 실린더에 신속하게 착탈시킬 수 있어 가스 실린더의 교체 작업에 소요되는 시간 및 공정 중단 시간을 단축시켜 반도체 제품의 생산성 향상에 기여할 수 있다.According to the heater jacket automatic detachment apparatus according to the present invention, the heater jacket can be easily coupled and separated automatically to the outer surface of the gas cylinder by the drive of the drive unit. Accordingly, the heater jacket can be quickly attached to or detached from the gas cylinder, thereby reducing the time required for the gas cylinder replacement process and the process interruption time, thereby contributing to the improvement of the productivity of the semiconductor product.

또한, 구동부를 실린더와 복수의 롤러 및 와이어로 구성함으로써, 구동부의 구조를 간소화 할 수 있다.Moreover, the structure of a drive part can be simplified by comprised a drive part with a cylinder, a some roller, and a wire.

또한, 제1히터자켓 브라켓과 제2히터자켓 브라켓의 결합 상태를 감지하기 위한 근접센서를 구비함으로써, 히터자켓이 가스 실린더의 외측면에 정위치 상태로 결합되었는지 여부를 정확하고 간편하게 확인할 수 있다.In addition, by providing a proximity sensor for detecting the coupling state of the first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket, it is possible to accurately and simply determine whether the heater jacket is coupled to the outer surface of the gas cylinder in the correct position.

도 1은 본 발명에 따른 히터자켓 자동 착탈장치에 의해 히터자켓이 실린더를 감싼 모습을 보여주는 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 히터자켓 자동 착탈장치의 분해 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 히터자켓 자동 착탈장치의 분리 상태를 보여주는 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 히터자켓 자동 착탈장치가 분리 상태일 때의 구동부의 동작 상태도,
도 5는 도 3의 평면도,
도 6은 도 3의 정면도,
도 7은 도 3의 우측면도,
도 8은 본 발명에 따른 히터자켓 자동 착탈장치의 결합 상태를 보여주는 사시도,
도 9는 본 발명에 따른 히터자켓 자동 착탈장치가 결합 상태일 때의 구동부의 동작 상태도,
도 10은 도 8의 평면도,
도 11은 도 8의 정면도,
도 12는 도 8의 우측면도.1 is a perspective view showing a state in which a heater jacket is wrapped in a cylinder by a heater jacket automatic detachable device according to the present invention;
2 is an exploded perspective view of a heater jacket automatic detachment apparatus according to the present invention;
3 is a perspective view showing a detached state of a heater jacket automatic detachable device according to the present invention;
Figure 4 is an operating state of the drive unit when the heater jacket automatic detachable device according to the present invention in a detached state,
5 is a plan view of FIG.
6 is a front view of FIG. 3;
7 is a right side view of FIG. 3;
8 is a perspective view showing a coupling state of the heater jacket automatic detachable device according to the present invention;
9 is an operation state diagram of the drive unit when the heater jacket automatic detachable device according to the present invention in a coupled state,
10 is a plan view of FIG. 8;
11 is a front view of FIG. 8,
12 is a right side view of FIG. 8;

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 히터자켓 자동 착탈장치(1)는, 가스 실린더(C)의 외측면에 착탈되는 히터자켓(100)과, 상기 히터자켓(100)이 장착되는 히터자켓 브라켓(200;200-1,200-2)과, 상기 히터자켓 브라켓(200;200-1,200-2)이 회전 가능하도록 수용되는 본체(300), 및 상기 히터자켓 브라켓(200;200-1,200-2)을 전방 또는 후방으로 회전시켜 상기 히터자켓(100)이 상기 가스 실린더(C)에 착탈되도록 구동력을 제공하는 구동부(400;400-1,400-2)를 포함하여 구성된다.1 and 2, the heater jacket automatic detachment device 1 of the present invention, the heater jacket 100 is detached to the outer surface of the gas cylinder (C), and the heater jacket 100 is mounted Jacket bracket (200; 200-1,200-2), the body 300 is accommodated so that the heater jacket bracket (200; 200-1,200-2) is rotatable, and the heater jacket bracket (200; 200-1,200-2) ) Is configured to include a driving unit (400; 400-1, 400-2) for providing a driving force to the front or rear by rotating the heater jacket 100 to the gas cylinder (C).

일실시예로, 상기 가스 실린더(C)의 내부에는 반도체 생산을 위해 사용되는 가스가 저장되고, 상기 히터자켓(100)은 상기 가스 실린더(C)에 저정된 가스를 일정 온도로 가열시키고 가열된 일정 온도 상태를 유지하도록 하는 기능을 한다.In one embodiment, a gas used for semiconductor production is stored in the gas cylinder (C), and the heater jacket (100) heats the gas stored in the gas cylinder (C) to a predetermined temperature and is heated. It functions to maintain a constant temperature.

상기 히터자켓(100)은, 상기 가스 실린더(C)의 외측면을 감싸도록 원통형으로 말려진 몸체부(110)와, 상기 몸체부(110)의 대향된 전방 측단에 각각 구비된 플랜지 형상의 결합부(120)를 포함한다. 상기 몸체부(110)에는 열선, 균일한 열전달을 위한 열전도층, 단열을 위한 피복층 및 전원연결 케이블 등이 내장될 수 있다.The heater jacket 100, the body portion 110 is rolled in a cylindrical shape so as to surround the outer surface of the gas cylinder (C), the coupling of the flange shape provided on the opposite front side end of the body portion 110, respectively The unit 120 includes. The body portion 110 may include a heat wire, a heat conductive layer for uniform heat transfer, a coating layer for insulation, and a power connection cable.

상기 히터자켓(100)이 가스 실린더(C)의 외측면을 감싸는 경우, 도 2에 도시된 바와 같이 히터자켓(110)의 몸체부(110)는 원통형으로 말려지고, 몸체부(110)의 대향된 전방 측단에 구비된 결합부(120)에 맞닿게 된다(도 8 참조). When the heater jacket 100 surrounds the outer surface of the gas cylinder (C), as shown in FIG. 2, the body portion 110 of the heater jacket 110 is rolled into a cylindrical shape and faces the body portion 110. Abuts the engaging portion 120 provided at the front side end (see FIG. 8).

이와 반대로, 상기 히터자켓(100)이 가스 실린더(C)의 외측면에서 분리하는 경우, 히터자켓(110)의 몸체부(110)는 양측으로 펼쳐지게 되고, 상기 전방 측단에 구비된 결합부(120)는 서로 이격되어 위치하게 된다.On the contrary, when the heater jacket 100 is separated from the outer surface of the gas cylinder (C), the body portion 110 of the heater jacket 110 is extended to both sides, the coupling portion 120 provided at the front side end ) Are spaced apart from each other.

상기 히터자켓 브라켓(200;200-1,200-2)은, 히터자켓(100)의 일측부가 장착되는 제1히터자켓 브라켓(200-1)과, 히터자켓(100)의 타측부가 장착되는 제2히터자켓 브라켓(200-2)으로 구성된다. The heater jacket brackets 200; 200-1 and 200-2 may include a first heater jacket bracket 200-1 on which one side of the heater jacket 100 is mounted and a second side on which the other side of the heater jacket 100 is mounted. Heater jacket bracket 200-2.

상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 상기 제2히터자켓 브라켓(200-2)은, 곡면형으로 이루어진 곡면부(210)와, 상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 상기 제2히터자켓 브라켓(200-2)의 전방 측단에 구비되어 상기 히터자켓(100)의 결합부(120)와 결합되는 플랜지부(220)를 포함한다. 일실시예로, 상기 플랜지부(220)에는 상하 일정 간격으로 복수의 체결공(221)이 형성되고, 상기 체결공(221)을 관통하여 상기 결합부(120)에 체결되는 체결수단(미도시됨)에 의해 상기 결합부(120)와 플랜지부(220)가 결합되는 것으로 구성될 수 있다(도 8 참조).The first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2 are curved portions 210 having a curved shape, the first heater jacket bracket 200-1, and the first heater jacket bracket 200-1. 2 includes a flange portion 220 provided at the front side end of the heater jacket bracket 200-2 and coupled to the coupling portion 120 of the heater jacket 100. In one embodiment, the flange portion 220 is formed with a plurality of fastening holes 221 at regular intervals up and down, and fastening means for fastening to the coupling part 120 through the fastening holes 221. By the coupling part 120 and the flange part 220 (see FIG. 8).

상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)의 외측면과 상기 제2히터자켓 브라켓(200-2)의 외측면에는 돌출부(230)가 각각 형성되고, 상기 돌출부(230)에는 상하 방향으로 관통된 결합공(231)이 형성된다. 상기 돌출부(230)는 후술되는 구동부(400)에 연결되어, 상기 구동부(400)의 구동력은 상기 돌출부(230)를 통하여 히터자켓 브라켓(200;200-1,200-2)과, 이에 장착된 히터자켓(100)에 전달된다.Protrusions 230 are formed on the outer surface of the first heater jacket bracket 200-1 and the outer surface of the second heater jacket bracket 200-2, respectively, and the protrusions 230 penetrate in the vertical direction. Coupling hole 231 is formed. The protrusion 230 is connected to the driving unit 400 to be described later, the driving force of the driving unit 400 is the heater jacket bracket (200; 200-1, 200-2) and the heater jacket mounted thereto through the protrusion 230 100 is passed.

또한, 상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 상기 제2히터자켓 브라켓(200-2) 중 어느 일측에는, 상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 상기 제2히터자켓 브라켓(200-2)의 결합 상태를 감지하기 위한 근접센서(240)가 구비될 수 있다. The first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200 may be disposed at any one side of the first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2. Proximity sensor 240 for detecting the coupling state of -2) may be provided.

일실시예로, 상기 근접센서(240)는 제2히터자켓 브라켓(200-2)의 전방측 상단부에 구비된 체결구(241)에 장착될 수 있다. 상기 근접센서(240)는, 제1히터자켓 브라켓(200-1)에 구비된 플랜지부(220)와, 제2히터자켓 브라켓(200-2)에 구비된 플랜지부(220) 간의 이격된 간격에 따라 서로 다른 신호를 감지하게 된다.In one embodiment, the proximity sensor 240 may be mounted to the fastener 241 provided on the front upper end of the second heater jacket bracket 200-2. The proximity sensor 240 is spaced apart from the flange portion 220 provided in the first heater jacket bracket 200-1 and the flange portion 220 provided in the second heater jacket bracket 200-2. Different signals will be detected according to.

상기 근접센서(240)에서 감지된 신호에 의해, 히터자켓(100)이 가스 실린더(C)의 외측면에 정위치 상태로 결합되었는지 여부를 정확하고 간편하게 확인할 수 있다.By the signal detected by the proximity sensor 240, it is possible to accurately and simply determine whether the heater jacket 100 is coupled to the outer surface of the gas cylinder (C) in the correct position.

상기 본체(300)는, 전면에 개구부(S, 도 5 참조)가 형성되고, 상기 개구부(S)의 양측에 위치하는 일측면(310)과 타측면(320), 상면(330)과 저면(340) 및 배면(350)으로 구성된다. 상기 본체(300)의 양측면(310,320)은 상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 제2히터자켓 브라켓(200-2)에 대응되는 곡면 형상으로 형성된다.The main body 300 has an opening S (refer to FIG. 5) formed at a front surface thereof, and has one side 310 and the other side 320 located at both sides of the opening S, and an upper surface 330 and a bottom surface ( 340 and rear surface 350. Both side surfaces 310 and 320 of the main body 300 are formed in a curved shape corresponding to the first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2.

상기 본체(300)의 상면(330)과 저면(340)에는 가스 실린더(C)의 외주면에 대응하는 형상으로 절개된 형태로 이루어질 수 있다.The upper surface 330 and the lower surface 340 of the main body 300 may be formed in a shape cut in a shape corresponding to the outer peripheral surface of the gas cylinder (C).

상기 본체(300)의 양측면(310,320)에는 상기 돌출부(230)가 관통되어 전후방으로 회전 가능하도록 가로방향으로 소정 길이 절개된 가이드홀(311,321)이 각각 형성된다. 즉, 제1히터자켓 브라켓(200-1)의 외측면에 형성된 돌출부(230)는 본체(300)의 일측면(310)에 형성된 가이드홀(311)을 관통하도록 구비되고, 제2히터자켓 브라켓(200-2)의 외측면에 형성된 돌출부(230)는 본체(300)의 타측면(320)에 형성된 가이드홀(321)을 관통하도록 구비된다.Both side surfaces 310 and 320 of the main body 300 are formed with guide holes 311 and 321 cut in predetermined lengths in a horizontal direction so that the protrusions 230 penetrate and rotate back and forth. That is, the protrusion 230 formed on the outer surface of the first heater jacket bracket 200-1 is provided to pass through the guide hole 311 formed on one side 310 of the main body 300, and the second heater jacket bracket Protruding portion 230 formed on the outer surface of the (200-2) is provided to pass through the guide hole 321 formed on the other side surface 320 of the main body (300).

상기 구동부(400;400-1,400-2)는, 상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)이 전후방으로 회전되도록 구동력을 제공하는 제1구동부(400-1)와, 상기 제2히터자켓 브라켓(200-2)이 전후방으로 회전되도록 구동력을 제공하는 제2구동부(400-2)로 구성된다. 상기 제1구동부(400-1)와 제2구동부(400-2)는 동일한 구성으로 이루어지고, 본체(300)의 양측부에 대칭된 구조로 구비되어 동시에 구동될 수 있다.The driving units 400 and 400-1 and 400-2 include a first driving unit 400-1 and a second heater jacket bracket providing a driving force so that the first heater jacket bracket 200-1 rotates forward and backward. The second driving part 400-2 provides a driving force so that the 200-2 is rotated forward and backward. The first driving unit 400-1 and the second driving unit 400-2 may have the same configuration, and may be simultaneously provided with symmetrical structures on both sides of the main body 300.

상기 제1구동부(400-1)와 제2구동부(400-2)의 구동 시, 상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 상기 제2히터자켓 브라켓(200-2)은, 동시에 전방으로 회전되거나, 동시에 후방으로 회전하게 된다.When the first driving unit 400-1 and the second driving unit 400-2 are driven, the first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2 are simultaneously moved forward. Or rotate backwards at the same time.

상기 제1구동부(400-1)와 제2구동부(400-2)의 일방향 구동에 의해, 상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 상기 제2히터자켓 브라켓(200-2)이 전방으로 회전되면, 상기 히터자켓(100)이 상기 가스 실린더(C)의 외측면을 감싸며 결합되는 결합 상태가 된다. 이와 반대로, 상기 제1구동부(400-1)와 제2구동부(400-2)의 반대 방향 구동에 의해, 상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 상기 제2히터자켓 브라켓(200-2)이 후방으로 회전되면, 상기 히터자켓(100)이 상기 가스 실린더(C)의 외측면에서 분리되는 분리 상태가 된다.The first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2 are moved forward by one-way driving of the first driver 400-1 and the second driver 400-2. When rotated, the heater jacket 100 is coupled to wrap around the outer surface of the gas cylinder (C). On the contrary, the first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2 are driven by driving in the opposite directions of the first driving unit 400-1 and the second driving unit 400-2. ) Rotates backward, the heater jacket 100 is separated from the outer surface of the gas cylinder (C).

상기 제1구동부(400-1)와 제2구동부(400-2)는, 실린더(410)와 복수의 롤러(420) 및 와이어(430)를 포함하여 구성된다.The first driving unit 400-1 and the second driving unit 400-2 include a cylinder 410, a plurality of rollers 420, and a wire 430.

상기 실린더(410)는 공압 또는 유압에 의해 구동되는 것으로, 몸체(411)와, 상기 공압 또는 유압에 의해 상기 몸체(411)의 내측으로 인입되거나 상기 몸체(411)의 외측으로 인출되는 로드(412)로 구성된다. 상기 실린더(410)의 몸체(411)의 상단에는 상단 고정부(413)가 구비되고, 상기 상단 고정부(413)는 본체(300)의 양측 상단에 구비된 고정구(312,322)에 각각 장착된다(도 5 참조).The cylinder 410 is driven by pneumatic or hydraulic pressure, the body 411 and the rod 412 drawn into the inside of the body 411 or drawn out of the body 411 by the pneumatic or hydraulic pressure It is composed of An upper fixing part 413 is provided at an upper end of the body 411 of the cylinder 410, and the upper fixing part 413 is mounted to fixing fixtures 312 and 322 provided at upper ends of both sides of the main body 300 ( See FIG. 5).

상기 복수의 롤러(230)는, 상기 실린더(410)의 로드(412)의 이동 방향과, 상기 돌출부(230)의 이동 방향을 따라 구비될 수 있다. 일실시예로, 상기 실린더(410)의 로드(412)의 이동 방향을 따라 상하로 이격된 위치에는 제1롤러(421)와 제2롤러(422)가 구비되고, 상기 돌출부(230)의 이동 방향, 즉 가이드홀(311,321)의 양측부에는 제1롤러(421)와 제3롤러(423)가 구비될 수 있다.The plurality of rollers 230 may be provided along a moving direction of the rod 412 of the cylinder 410 and a moving direction of the protrusion 230. In one embodiment, the first roller 421 and the second roller 422 is provided at a position spaced up and down along the moving direction of the rod 412 of the cylinder 410, the movement of the protrusion 230 The first roller 421 and the third roller 423 may be provided in both directions of the guide holes 311 and 321.

상기 실린더(410)의 로드(412)의 하단에는 하단 고정부(414)가 구비되고, 상기 하단 고정부(414)는 제1롤러(421)와 제2롤러(422) 사이에 위치하는 와이어(430)에 고정된다. A lower end fixing part 414 is provided at a lower end of the rod 412 of the cylinder 410, and the lower end fixing part 414 is a wire located between the first roller 421 and the second roller 422. 430).

그리고, 상기 제1롤러(421)와 제3롤러(423) 사이에 위치하는 와이어(430)에는 제2고정구(450)가 고정된다. 전술한 바와 같이, 제1히터자켓 브라켓(200-1)의 외측면과 제2히터자켓 브라켓(200-2)의 외측면에 각각 형성된 돌출부(230)는, 본체(300)의 양측면(310,320)에 형성된 가이드홀(311,321)을 관통하여 본체(300)의 외측으로 돌출되고, 상기 본체(300)의 외측으로 돌출된 돌출부(230)의 결합공(231)에는 상기 제2고정구(450)가 관통되어 결합될 수 있다.In addition, a second fixing tool 450 is fixed to the wire 430 positioned between the first roller 421 and the third roller 423. As described above, the protrusions 230 formed on the outer surface of the first heater jacket bracket 200-1 and the outer surface of the second heater jacket bracket 200-2 are provided on both side surfaces 310 and 320 of the main body 300. The second fixing tool 450 penetrates through the guide holes 311 and 321 formed in the protrusion 231, and protrudes outward from the main body 300, and the coupling hole 231 of the protrusion 230 protruding to the outside of the main body 300. Can be combined.

상기 실린더(410)의 구동 방향에 따라, 상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 상기 제2히터자켓 브라켓(200-2)은, 전방 또는 후방으로 회전되어 상기 히터자켓(100)이 상기 가스 실린더(C)의 외측면에 결합 또는 분리된다. According to the driving direction of the cylinder 410, the first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2 are rotated forward or backward so that the heater jacket 100 is rotated. It is coupled or separated to the outer side of the gas cylinder (C).

이하, 도 3 내지 7을 참조하여, 히터자켓(100)의 가스 실린더(C)의 외측면에서 분리된 히터자켓 자동 착탈장치(1)의 분리 상태일 때의 동작을 설명한다.Hereinafter, with reference to FIGS. 3 to 7, the operation in the detached state of the heater jacket automatic detachment device 1 separated from the outer surface of the gas cylinder C of the heater jacket 100 will be described.

히터자켓 자동 착탈장치(1)의 분리 상태일 때의 동작을 설명하면, 구동부(400;400-1,400-2)의 일방향 구동에 의해, 실린더 로드(412)는 실린더 몸체(411)의 외측으로 인출되어 하방향으로 이동하게 된다. Referring to the operation when the heater jacket automatic detaching device 1 is in a detached state, the cylinder rod 412 is drawn out of the cylinder body 411 by one-way driving of the driving units 400; 400-1 and 400-2. It moves downward.

상기 실린더 로드(412)가 하방향으로 이동함에 따라, 실린더 로드(412)의 하단에 구비된 하단 고정부(414) 또한 하방향으로 이동하게 되고, 상기 하단 고정부(414)에 제1고정구(440)를 통해 고정된 와이어(430)는 아래 방향으로 당겨지게 되며, 상기 와이어(430)의 이동에 연동하여 제2고정구(450)에 고정된 돌출부(230)는 가이드홀(311,321)을 따라 후방측으로 회전 이동하게 된다. As the cylinder rod 412 moves downward, the lower fixing part 414 provided at the lower end of the cylinder rod 412 is also moved downward, and the first fixing tool is attached to the lower fixing part 414. The wire 430 fixed through the 440 is pulled downward, and the protrusion 230 fixed to the second fixture 450 in conjunction with the movement of the wire 430 is rearward along the guide holes 311 and 321. It rotates to the side.

이와 같이 돌출부(230)가 후방측으로 이동함에 따라, 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 제2히터자켓 브라켓(200-2)은 본체(300)의 양측면(310,320)의 내측면을 타고 후방측으로 이동하게 되며, 이로써 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 제2히터자켓 브라켓(200-2)에 장착된 히터자켓(100)은 가스 실린더(C)에서 분리된 상태가 된다.As the protrusion 230 moves to the rear side as described above, the first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2 ride on the inner surfaces of both side surfaces 310 and 320 of the main body 300. The heater jacket 100 mounted on the first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2 is separated from the gas cylinder C.

이하, 도 8 내지 도 12를 참조하여, 히터자켓(100)의 가스 실린더(C)의 외측면에서 결합된 히터자켓 자동 착탈장치(1)의 결합 상태일 때의 동작을 설명한다.Hereinafter, referring to FIGS. 8 to 12, an operation when the heater jacket automatic detachment device 1 coupled to the outer surface of the gas cylinder C of the heater jacket 100 is coupled will be described.

히터자켓 자동 착탈장치(1)의 결합 상태일 때의 동작을 설명하면, 구동부(400;400-1,400-2)의 반대방향 구동에 의해, 실린더 로드(412)는 실린더 몸체(411)의 내측으로 인입되어 상방향으로 이동하게 된다. Referring to the operation when the heater jacket automatic attachment and detachment device 1 is coupled, the cylinder rod 412 is moved to the inside of the cylinder body 411 by driving in the opposite direction of the driving unit 400 (400-1, 400-2). It is retracted and moved upward.

상기 실린더 로드(412)가 상방향으로 이동함에 따라, 실린더 로드(412)의 하단에 구비된 하단 고정부(414) 또한 상방향으로 이동하게 되고, 상기 하단 고정부(414)에 제1고정구(440)를 통해 고정된 와이어(430)는 상방향으로 당겨지게 되며, 상기 와이어(430)의 이동에 연동하여 제2고정구(450)에 고정된 돌출부(230)는 가이드홀(311,321)을 따라 전방측으로 회전 이동하게 된다. As the cylinder rod 412 moves upwards, the lower fixing part 414 provided at the lower end of the cylinder rod 412 also moves upwards, and the first fixing sphere (414) is attached to the lower fixing part 414. The wire 430 fixed through the 440 is pulled upward, and the protrusion 230 fixed to the second fixing tool 450 in front of the guide holes 311 and 321 is linked with the movement of the wire 430. It rotates to the side.

이와 같이 돌출부(230)가 전방측으로 이동함에 따라, 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 제2히터자켓 브라켓(200-2)은 본체(300)의 양측면(310,320)의 내측면을 타고 전방측으로 이동하게 되며, 이로써 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 제2히터자켓 브라켓(200-2)에 장착된 히터자켓(100)은 가스 실린더(C)의 외측면을 감싸는 결합 상태가 된다. 이 때, 상기 제1히터자켓 브라켓(200-1)과 제2히터자켓 브라켓(200-2) 및 이들에 장착된 히터자켓(100)이 가스 실린더(C)의 외측면에 정위치 상태로 결합되었는지 여부는 전술한 근접센서(240)에서 감지되는 신호에 의해 정확하고 간편하게 확인할 수 있다.As the protrusion 230 moves to the front side as described above, the first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2 ride on the inner surfaces of both side surfaces 310 and 320 of the main body 300. The heater jacket 100 mounted on the first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2 is in a coupled state surrounding the outer surface of the gas cylinder C. . At this time, the first heater jacket bracket 200-1 and the second heater jacket bracket 200-2 and the heater jacket 100 mounted thereon are coupled to the outer surface of the gas cylinder C in a fixed position. Whether or not can be accurately and simply confirmed by the signal detected by the above-described proximity sensor 240.

상기와 같이 본 발명에 따른 히터자켓 자동 착탈장치(1)의 구성에 의하면, 구동부(400;400-1;400-2)의 구동에 의해 히터자켓(100)을 가스 실린더(C)의 외측면에 자동으로 간편하게 결합 및 분리할 수 있다. 이에 따라, 히터자켓(100)을 가스 실린더(C)에 신속하고 정확하게 착탈시킬 수 있어, 종래 수작업에 의해 히터자켓을 착탈하는 방식과 비교하여, 가스 실린더(C)의 교체 작업에 소요되는 시간 및 공정 중단 시간을 대폭 단축시켜 반도체 제품의 생산성 향상에 기여할 수 있다.According to the configuration of the heater jacket automatic detachment device 1 according to the present invention as described above, the outer surface of the gas cylinder (C) to the heater jacket 100 by the drive of the driving unit (400; 400-1; 400-2) Automatically easy to combine and disconnect. Accordingly, the heater jacket 100 can be attached and detached to the gas cylinder C quickly and accurately, and compared with the conventional method of attaching and detaching the heater jacket by hand, the time required for the replacement operation of the gas cylinder C and By significantly reducing process downtime, it can contribute to the productivity of semiconductor products.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and modifications apparent by those skilled in the art to which the present invention pertains may be made without departing from the technical spirit of the present invention claimed in the claims. It is possible that such modifications are within the scope of the present invention.

1 : 히터자켓 자동 착탈장치 C : 가스 실린더
100 : 히터자켓 110 : 몸체부
120 : 결합부 200 : 히터자켓 브라켓
200-1 : 제1히터자켓 브라켓 200-2 : 제2히터자켓 브라켓
210 : 곡면부 220 : 플랜지부
221 : 체결공 230 : 돌출부
231 : 결합공 300 : 본체
310 : 본체의 일측면 311 : 가이드홀
312 : 고정구 320 : 본체의 타측면
321 : 가이드홀 322 : 고정구
240 : 근접센서 241 : 체결구
330 : 본체의 상면 340 : 본체의 저면
350 : 본체의 배면 S : 본체 정면의 개구부
400 : 구동부 400-1 : 제1구동부
400-2 : 제2구동부 410 : 실린더
411 : 실린더 몸체 412 : 실린더 로드
413 : 상단 고정부 414 : 하단 고정부
420 : 롤러 421 : 제1롤러
422 : 제2롤러 423 : 제3롤러
430 : 와이어 440 : 제1고정구
450 : 제2고정구1: Heater jacket automatic detachment device C: Gas cylinder
100: heater jacket 110: body
120: coupling part 200: heater jacket bracket
200-1: First Heater Jacket Bracket 200-2: 2nd Heater Jacket Bracket
210: curved portion 220: flange portion
221: fastening hole 230: protrusion
231: coupling hole 300: main body
310: one side of the body 311: guide hole
312: fixture 320: the other side of the body
321: guide hole 322: fixture
240: proximity sensor 241: fastener
330: top surface of the body 340: bottom surface of the body
350: back of main body S: opening in front of main body
400: driving unit 400-1: first driving unit
400-2: second drive unit 410: cylinder
411 cylinder body 412 cylinder rod
413: upper fixing portion 414: lower fixing portion
420: roller 421: first roller
422: second roller 423: third roller
430: wire 440: first fixture
450: 2nd fixed ball

Claims (13)

가스 실린더의 외측면에 착탈되는 히터자켓;
상기 히터자켓이 장착되는 히터자켓 브라켓;
상기 히터자켓 브라켓이 회전 가능하도록 수용되는 본체; 및
상기 히터자켓 브라켓을 전방 또는 후방으로 회전시켜 상기 히터자켓이 상기 가스 실린더에 착탈되도록 구동력을 제공하는 구동부;
를 포함하는 히터자켓 자동 착탈장치.A heater jacket detachable from an outer surface of the gas cylinder;
A heater jacket bracket on which the heater jacket is mounted;
A main body in which the heater jacket bracket is rotatably received; And
A driving unit which rotates the heater jacket bracket forward or backward to provide a driving force to attach and detach the heater jacket to the gas cylinder;
Heater jacket automatic detachment device comprising a. 제1항에 있어서,
상기 히터자켓 브라켓은, 상기 히터자켓의 일측부가 장착되는 제1히터자켓 브라켓과, 상기 히터자켓의 타측부가 장착되는 제2히터자켓 브라켓으로 이루어진 것을 특징으로 하는 히터자켓 자동 착탈장치.The method of claim 1,
The heater jacket bracket, the heater jacket automatic detachable device, characterized in that consisting of a first heater jacket bracket, one side portion of the heater jacket is mounted, and a second heater jacket bracket on which the other side portion of the heater jacket is mounted. 제2항에 있어서,
상기 히터자켓은 원통형으로 말려져 상기 가스 실린더의 외측면을 감싸도록 구비되고,
상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓은 곡면형으로 구비된 것을 특징으로 하는 히터자켓 자동 착탈장치.The method of claim 2,
The heater jacket is rolled in a cylindrical shape is provided to surround the outer surface of the gas cylinder,
The first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket is a heater jacket automatic detachment device, characterized in that the curved surface provided. 제3항에 있어서,
상기 히터자켓은, 원통형의 몸체부와, 상기 몸체부의 대향된 전방 측단에 각각 구비된 플랜지 형상의 결합부를 포함하고,
상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓의 전방 측단에는, 상기 히터자켓의 결합부와 결합되는 플랜지부가 각각 구비된 것을 특징으로 하는 히터자켓 자동 착탈장치.The method of claim 3,
The heater jacket includes a cylindrical body portion and a flange-shaped coupling portion respectively provided at the front side ends opposed to the body portion,
Heater jacket automatic attachment and detachment device, characterized in that the front side end of the first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket, the flange portion coupled to the coupling portion of the heater jacket is provided respectively. 제2항에 있어서,
상기 제1히터자켓 브라켓의 외측면과 상기 제2히터자켓 브라켓의 외측면에는 돌출부가 각각 형성되고,
상기 본체의 양측면에는 상기 돌출부가 관통되어 전후방으로 회전 가능하도록 가로방향으로 소정 길이 절개된 가이드홀이 각각 형성되며,
상기 구동부는 상기 가이드홀을 관통한 상기 돌출부에 연결된 것을 특징으로 하는 히터자켓 자동 착탈장치.The method of claim 2,
Protrusions are formed on the outer surface of the first heater jacket bracket and the outer surface of the second heater jacket bracket, respectively.
Guide holes cut in a predetermined length in the horizontal direction are formed on both sides of the main body so that the protrusions penetrate and rotate back and forth.
And the driving part is connected to the protrusion part penetrating the guide hole. 제5항에 있어서,
상기 구동부는, 상기 제1히터자켓 브라켓이 전후방으로 회전되도록 구동력을 제공하는 제1구동부와, 상기 제2히터자켓 브라켓이 전후방으로 회전되도록 구동력을 제공하는 제2구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 히터자켓 자동 착탈장치.The method of claim 5,
The driving unit includes a first driving unit providing a driving force so that the first heater jacket bracket is rotated forward and backward, and a second driving unit providing a driving force so that the second heater jacket bracket is rotated forward and backward. Jacket auto release. 제6항에 있어서,
상기 제1구동부와 제2구동부는, 상기 본체의 양측부에 대칭된 구조로 구비되어 동시에 구동되고,
상기 제1구동부와 제2구동부의 구동 시, 상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓은, 동시에 전방으로 회전되거나, 동시에 후방으로 회전되는 것을 특징으로 하는 히터자켓 자동 착탈장치.The method of claim 6,
The first driving part and the second driving part are provided at both sides of the main body in a symmetrical structure and are driven at the same time.
When the first driving unit and the second driving unit is driven, the first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket, the heater jacket automatic detachment device, characterized in that at the same time rotated forward or at the same time rotated to the rear. 제7항에 있어서,
상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓이 전방으로 회전되면, 상기 히터자켓이 상기 가스 실린더의 외측면을 감싸며 결합되는 결합 상태가 되고,
상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓이 후방으로 회전되면, 상기 히터자켓이 상기 가스 실린더의 외측면에서 분리되는 분리 상태가 되는 것을 특징으로 하는 히터자켓 자동 착탈장치.The method of claim 7, wherein
When the first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket is rotated forward, the heater jacket is coupled to surround the outer surface of the gas cylinder,
And the heater jacket is detached from the outer surface of the gas cylinder when the first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket are rotated to the rear. 제7항에 있어서,
상기 제1구동부와 제2구동부는, 실린더와, 상기 실린더의 로드에 일단이 고정되고, 상기 히터자켓 브라켓의 돌출부에 타단이 고정된 와이어와, 상기 와이어가 회전되도록 지지하는 복수의 롤러를 포함하는 히터자켓 자동 착탈장치.The method of claim 7, wherein
The first driving unit and the second driving unit includes a cylinder, a wire having one end fixed to the rod of the cylinder, the other end fixed to the protrusion of the heater jacket bracket, and a plurality of rollers supporting the wire to be rotated. Heater jacket automatic detachment device. 제9항에 있어서,
상기 복수의 롤러는, 상기 실린더의 로드의 이동 방향과, 상기 돌출부의 이동 방향을 따라 구비된 것을 특징으로 하는 히터자켓 자동 착탈장치.The method of claim 9,
The plurality of rollers, the heater jacket automatic attachment and detachment device, characterized in that provided along the movement direction of the rod of the cylinder and the movement direction of the projection. 제9항에 있어서,
상기 실린더의 로드와 상기 와이어의 일단을 고정하기 위한 제1고정구와, 상기 돌출부와 상기 와이어의 타단을 고정하기 위한 제2고정구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히터자켓 자동 착탈장치.The method of claim 9,
And a first fixing tool for fixing the rod of the cylinder and one end of the wire, and a second fixing tool for fixing the protrusion and the other end of the wire. 제9항에 있어서,
상기 실린더의 구동 방향에 따라 상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓은 전방 또는 후방으로 회전되어 상기 히터자켓이 상기 가스 실린더의 외측면에 결합 또는 분리되는 것을 특징으로 하는 히터자켓 자동 착탈장치.The method of claim 9,
The first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket are rotated forward or backward according to the driving direction of the cylinder, so that the heater jacket is automatically attached or detached to the outer surface of the gas cylinder. Device. 제8항에 있어서,
상기 제1히터자켓 브라켓과 상기 제2히터자켓 브라켓의 결합 상태를 감지하기 위한 근접센서를 더 포함하는 히터자켓 자동 착탈장치. The method of claim 8,
Heater jacket automatic detachment device further comprising a proximity sensor for detecting the coupling state of the first heater jacket bracket and the second heater jacket bracket.
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