KR102037974B1 - Tester manipulating apparatus - Google Patents

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KR102037974B1
KR102037974B1 KR1020180087860A KR20180087860A KR102037974B1 KR 102037974 B1 KR102037974 B1 KR 102037974B1 KR 1020180087860 A KR1020180087860 A KR 1020180087860A KR 20180087860 A KR20180087860 A KR 20180087860A KR 102037974 B1 KR102037974 B1 KR 102037974B1
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KR
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tester
support
support unit
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guide mechanism
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KR1020180087860A
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Inventor
김응수
이혁주
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세메스 주식회사
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Abstract

Disclosed is a tester handling device, which comprises: a first support unit mounted to a first side of a tester to support the tester and having a rotational drive portion for rotating the tester; and a second support unit mounted to a second side of the tester opposite to the first side of the tester, and supporting the tester to allow rotation by the first support unit.

Description

테스터 취급 장치{Tester manipulating apparatus}Tester manipulating apparatus

본 발명의 실시예들은 테스터 취급 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 패키지들의 전기적인 성능 테스트를 위한 테스트 핸들러와 테스터를 서로 연결하기 위해 사용되는 테스터 취급 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a tester handling apparatus. More particularly, the present invention relates to a tester handling apparatus used for connecting testers and testers with each other for electrical performance testing of semiconductor packages.

일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정과 본딩 공정 및 패키징 공정을 통하여 반도체 패키지들로 제조될 수 있다.In general, semiconductor devices may be formed on a silicon wafer used as a semiconductor substrate by repeatedly performing a series of manufacturing processes, and the semiconductor devices formed as described above may be formed into semiconductor packages through a dicing process, a bonding process, and a packaging process. Can be prepared.

상기와 같이 제조된 반도체 패키지들은 전기적 특성 검사를 통하여 양품 또는 불량품으로 판정될 수 있다. 상기 전기적 특성 검사에는 상기 반도체 패키지들을 핸들링하는 테스트 핸들러와 상기 반도체 패키지들을 검사하기 위한 테스터가 사용될 수 있다.The semiconductor packages manufactured as described above may be determined to be good or defective through an electrical property test. The electrical property test may include a test handler for handling the semiconductor packages and a tester for inspecting the semiconductor packages.

상기 테스터는 일반적으로 상기 테스트 핸들러와 별도로 제작되어 클린룸 내에서 상기 테스트 핸들러와 연결될 수 있다. 그러나, 상기 테스터의 무게가 상대적으로 무겁기 때문에 작업자가 쉽게 취급할 수 없으며, 이에 따라 클린룸 내부에서 상기 테스터의 이동 및 상기 테스트 핸들러와의 도킹 등을 수행하기 위해서는 크레인과 같은 별도의 장치가 요구된다.The tester is generally manufactured separately from the test handler and can be connected to the test handler in a clean room. However, since the weight of the tester is relatively heavy, the operator cannot easily handle it. Accordingly, a separate device such as a crane is required to move the tester and dock with the test handler in the clean room. .

그러나, 상기 크레인을 이용하여 상기 테스터를 이동시키거나 상기 테스트 핸들러에 연결하는 경우 작업 과정에서 다량의 파티클들이 발생될 수 있고 아울러 안전사고가 발생될 우려가 있다.However, when the tester is moved or connected to the test handler using the crane, a large amount of particles may be generated in the course of work, and a safety accident may occur.

대한민국 공개특허공보 제10-2017-0123160호 (공개일자 2017년 11월 07일)Republic of Korea Patent Application Publication No. 10-2017-0123160 (published November 7, 2017)

본 발명의 실시예들은 테스트 핸들러에 테스터를 연결하는 과정에서 파티클 발생을 감소시키고 상기 테스터를 용이하게 취급할 수 있는 테스터 취급 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Embodiments of the present invention are to provide a tester handling apparatus that can reduce the particle generation in the process of connecting the tester to the test handler and can easily handle the tester.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 테스터 취급 장치는, 테스터의 제1 측면에 장착되어 상기 테스터를 지지하며 상기 테스터를 회전시키기 위한 회전 구동부를 구비하는 제1 서포트 유닛과, 상기 테스터의 제1 측면에 대향하는 제2 측면에 장착되며 상기 제1 서포트 유닛에 의한 회전이 가능하도록 상기 테스터를 지지하는 제2 서포트 유닛을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, a tester handling apparatus includes a first support unit mounted to a first side of a tester and having a rotational drive for supporting the tester and rotating the tester, and the first tester It may include a second support unit mounted on a second side opposite to the side and supporting the tester to enable rotation by the first support unit.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 서포트 유닛은, 상기 테스터의 제1 측면을 따라 연장하는 제1 서포트 레일과, 상기 제1 서포트 레일 상에 배치되며 제1 베어링을 이용하여 상기 테스터를 회전 가능하도록 지지하는 제1 서포트 브래킷과, 상기 테스터의 제1 측면에 장착되며 상기 제1 베어링과 결합되는 보스 부재를 포함할 수 있으며, 상기 회전 구동부는 상기 제1 서포트 브래킷에 장착되며 상기 보스 부재와 결합되는 구동축을 구비할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the first support unit includes a first support rail extending along a first side of the tester, and the tester using a first bearing and disposed on the first support rail. And a boss member mounted to the first side of the tester and coupled to the first bearing, wherein the rotation driving unit is mounted to the first support bracket to support the boss. It may have a drive shaft coupled with the member.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 서포트 유닛은, 상기 제1 서포트 레일 상에서 상기 제1 서포트 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 제1 가이드 기구를 더 포함할 수 있으며, 상기 제1 서포트 브래킷은 상기 제1 가이드 기구 상에 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the first support unit may further include a first guide mechanism configured to move along the first support rail on the first support rail, wherein the first support The bracket may be mounted on the first guide mechanism.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 서포트 유닛은, 상기 테스터의 제1 측면에 장착되는 제1 보강판을 더 포함할 수 있으며, 상기 보스 부재는 상기 제1 보강판에 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the first support unit may further include a first reinforcement plate mounted to the first side of the tester, and the boss member may be mounted to the first reinforcement plate. have.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 서포트 유닛은, 상기 테스터의 제2 측면을 따라 연장하는 제2 서포트 레일과, 상기 제2 서포트 레일 상에 배치되며 제2 베어링을 이용하여 상기 테스터를 회전 가능하도록 지지하는 제2 서포트 브래킷과, 상기 테스터의 제2 측면에 장착되며 상기 제2 베어링과 결합되는 회전축을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second support unit includes a second support rail extending along a second side of the tester, and the tester using a second bearing and disposed on the second support rail. It may include a second support bracket for rotatably supporting, and a rotating shaft mounted to the second side of the tester and coupled to the second bearing.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 서포트 유닛은, 상기 제2 서포트 레일 상에서 상기 제2 서포트 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 제2 가이드 기구를 더 포함할 수 있으며, 상기 제2 서포트 브래킷은 상기 제2 가이드 기구 상에 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second support unit may further include a second guide mechanism configured to be movable along the second support rail on the second support rail, wherein the second support The bracket may be mounted on the second guide mechanism.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 서포트 유닛은, 상기 테스터의 제2 측면에 장착되는 제2 보강판을 더 포함할 수 있으며, 상기 회전축은 상기 제2 보강판에 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the second support unit may further include a second reinforcement plate mounted on the second side of the tester, and the rotation shaft may be mounted on the second reinforcement plate. .

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 테스터 취급 장치는, 상기 제1 서포트 유닛과 상기 제2 서포트 유닛을 서로 연결하는 적어도 하나의 연결 부재를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the tester handling apparatus may further include at least one connection member connecting the first support unit and the second support unit to each other.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 테스터 취급 장치는, 상기 제1 서포트 유닛과 상기 제2 서포트 유닛을 지지하며 높이 조절이 가능한 복수의 서포트 부재들과, 상기 제1 서포트 유닛과 상기 제2 서포트 유닛에 장착되는 복수의 회전 바퀴들을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the tester handling apparatus may include a plurality of support members that support the first support unit and the second support unit and are capable of height adjustment, the first support unit, and the second support member. It may further include a plurality of rotating wheels mounted to the support unit.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 테스터 취급 장치는, 테스터의 제1 측면에 장착되어 상기 테스터를 지지하며 상기 테스터를 회전시키기 위한 회전 구동부를 구비하는 제1 서포트 유닛과, 상기 테스터의 제1 측면에 대향하는 제2 측면에 장착되며 상기 제1 서포트 유닛에 의한 회전이 가능하도록 상기 테스터를 지지하는 제2 서포트 유닛을 포함할 수 있다. 특히, 상기 제1 서포트 유닛과 상기 제2 서포트 유닛은 상기 테스터를 수평 방향으로 이동시키기 위한 제1 가이드 기구와 제2 가이드 기구를 각각 구비할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the tester handling apparatus, the first support unit is mounted to the first side of the tester to support the tester and has a rotation drive for rotating the tester, and the tester It may include a second support unit mounted on a second side opposite to the first side of the supporter for supporting the tester to be rotated by the first support unit. In particular, the first support unit and the second support unit may each include a first guide mechanism and a second guide mechanism for moving the tester in a horizontal direction.

상기 테스터는 상기 제1 서포트 유닛과 상기 제2 서포트 유닛에 의해 회전될 수 있으며, 상기 회전된 테스터는 상기 테스트 핸들러와 연결되도록 상기 제1 가이드 기구와 상기 제2 가이드 기구에 의해 수평 방향으로 이동될 수 있다. 결과적으로, 크레인 등의 장치를 이용하여 테스터와 테스트 핸들러 사이를 연결하는 종래 기술과 비교하여 상기 크레인 등의 장치를 사용하지 않음으로써 파티클 발생량을 크게 감소시킬 수 있으며, 아울러 상기 테스터의 회전과 수평 이동이 상기 테스터 취급 장치에 의해 이루어질 수 있으므로 작업자의 안전사고를 충분히 방지할 수 있다.The tester may be rotated by the first support unit and the second support unit, and the rotated tester may be horizontally moved by the first guide mechanism and the second guide mechanism to be connected with the test handler. Can be. As a result, the amount of particles generated can be greatly reduced by not using a device such as a crane as compared with the prior art of connecting between a tester and a test handler using a device such as a crane, and the rotation and horizontal movement of the tester. Since it can be made by the tester handling device it is possible to sufficiently prevent the safety accident of the operator.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스터 취급 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 테스터 취급 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 테스터 취급 장치를 설명하기 위한 개략적인 배면도이다.
도 4 및 도 5는 도 1 내지 도 3에 도시된 테스터 취급 장치를 이용하여 테스터를 테스트 핸들러에 연결하는 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.1 is a schematic front view for explaining a tester handling apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic side view for explaining the tester handling apparatus shown in FIG. 1.
FIG. 3 is a schematic rear view for explaining the tester handling apparatus shown in FIG. 1.
4 and 5 are schematic diagrams for explaining a method of connecting a tester to a test handler using the tester handling apparatus shown in FIGS. 1 to 3.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Embodiments of the present invention are described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, rather than to allow the invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected on another element, the element may be disposed or connected directly on the other element, with other elements interposed therebetween. May be Alternatively, if one element is described as being directly disposed or connected on another element, there may be no other element between them. Terms such as first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or parts, but the items are not limited by these terms. Will not.

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is merely used for the purpose of describing particular embodiments and is not intended to limit the present invention. Also, unless stated otherwise, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as would be understood by one of ordinary skill in the art having ordinary skill in the art. Such terms, such as those defined in conventional dictionaries, will be construed to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and description of the invention, and ideally or excessively intuition unless otherwise specified. It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the invention. Accordingly, changes from the shapes of the illustrations, such as changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be expected sufficiently. Accordingly, embodiments of the invention are not to be described as limited to the particular shapes of the areas described as the illustrations, but include variations in the shapes, and the elements described in the figures are entirely schematic and their shapes Is not intended to describe the precise shape of the elements nor is it intended to limit the scope of the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스터 취급 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 테스터 취급 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 테스터 취급 장치를 설명하기 위한 개략적인 배면도이다.1 is a schematic front view illustrating a tester handling apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic side view illustrating the tester handling apparatus illustrated in FIG. 1, and FIG. 3 is illustrated in FIG. 1. It is a schematic back view for demonstrating the tester handling apparatus.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스터 취급 장치(100)는 반도체 패키지들의 전기적인 성능을 테스트하기 위한 테스터(10)와 테스트 핸들러(20; 도 4 참조)를 서로 연결하기 위해 사용될 수 있다. 특히, 상기 테스터(10)를 상기 테스트 핸들러(20)에 도킹시키기 위해 사용될 수 있다.1 to 3, the tester handling apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may connect the tester 10 and the test handler 20 (see FIG. 4) to test electrical performance of semiconductor packages. Can be used to connect. In particular, it may be used to dock the tester 10 to the test handler 20.

상기 테스터 취급 장치(100)는 상기 테스터(10)를 지지하고 회전시키기 위한 제1 서포트 유닛(110)과 제2 서포트 유닛(140)을 포함할 수 있다. 상기 제1 서포트 유닛(110)은 상기 테스터(10)의 제1 측면(12)에 장착될 수 있으며 상기 테스터(10)를 지지하고 상기 테스터(10)를 회전시키기 위한 회전 구동부(130)를 포함할 수 있다. 상기 제2 서포트 유닛(140)은 상기 테스터(10)의 제1 측면(12)에 대향하는 제2 측면(14)에 장착될 수 있으며 상기 제1 서포트 유닛(110)에 의한 회전이 가능하도록 상기 테스터(10)를 지지할 수 있다.The tester handling apparatus 100 may include a first support unit 110 and a second support unit 140 for supporting and rotating the tester 10. The first support unit 110 may be mounted to the first side 12 of the tester 10 and includes a rotation driver 130 for supporting the tester 10 and rotating the tester 10. can do. The second support unit 140 may be mounted on the second side surface 14 opposite to the first side surface 12 of the tester 10 and may be rotated by the first support unit 110. The tester 10 may be supported.

상기 제1 서포트 유닛(110)은, 상기 테스터(10)의 제1 측면(12)을 따라 연장하는 제1 서포트 레일(112)과, 상기 제1 서포트 레일(112) 상에 배치되며 제1 베어링(114)을 이용하여 상기 테스터(10)를 회전 가능하도록 지지하는 제1 서포트 브래킷(116)과, 상기 테스터(10)의 제1 측면(12)에 장착되며 상기 제1 베어링(114)과 결합되는 보스 부재(118)를 포함할 수 있다.The first support unit 110 includes a first support rail 112 extending along the first side surface 12 of the tester 10 and a first bearing disposed on the first support rail 112. A first support bracket 116 for rotatably supporting the tester 10 by using a 114, and mounted to the first side 12 of the tester 10 and coupled with the first bearing 114. It may include a boss member 118 to be.

상기 회전 구동부(130)는 상기 제1 서포트 브래킷(116)에 장착될 수 있으며 상기 보스 부재(118)와 결합되는 구동축(132)을 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 회전 구동부(130)는 모터와 감속기 등을 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 감속기의 구동축(132)이 상기 보스 부재(118)에 결합될 수 있다. 상기 구동축(132)은 회전력 전달을 위해 스플라인 방식으로 상기 보스 부재(118)에 결합될 수 있다. 다른 예로서, 상기 구동축(132)과 상기 보스 부재(118) 사이에는 회전력 전달을 위한 키이(key; 미도시)가 삽입될 수 있다.The rotation driving unit 130 may be mounted to the first support bracket 116 and may include a driving shaft 132 coupled to the boss member 118. For example, the rotation driver 130 may be configured using a motor and a reducer, and the drive shaft 132 of the reducer may be coupled to the boss member 118. The drive shaft 132 may be coupled to the boss member 118 in a spline manner to transmit the rotational force. As another example, a key (not shown) for transmitting rotational force may be inserted between the driving shaft 132 and the boss member 118.

또한, 상기 제1 서포트 유닛(110)은 상기 테스터(10)의 제1 측면(12)에 장착되는 제1 보강판(122)을 포함할 수 있으며, 상기 보스 부재(118)는 제1 마운트 브래킷(120)을 통해 상기 제1 보강판(122)에 장착될 수 있다.In addition, the first support unit 110 may include a first reinforcement plate 122 mounted to the first side surface 12 of the tester 10, and the boss member 118 may include a first mount bracket. It may be mounted to the first reinforcing plate 122 through the (120).

상기 제2 서포트 유닛(140)은, 상기 테스터(10)의 제2 측면(14)을 따라 연장하는 제2 서포트 레일(142)과, 상기 제2 서포트 레일(142) 상에 배치되며 제2 베어링(144)을 이용하여 상기 테스터(10)를 회전 가능하도록 지지하는 제2 서포트 브래킷(146)과, 상기 테스터(10)의 제2 측면(14)에 장착되며 상기 제2 베어링(144)과 결합되는 회전축(148)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제2 서포트 유닛(140)은 상기 테스터(10)의 제2 측면(14)에 장착되는 제2 보강판(152)을 포함할 수 있으며, 상기 회전축(148)은 제2 마운트 브래킷(150)을 통해 상기 제2 보강판(152)에 장착될 수 있다.The second support unit 140 includes a second support rail 142 extending along the second side surface 14 of the tester 10, and a second bearing disposed on the second support rail 142. A second support bracket 146 rotatably supporting the tester 10 by using a 144, and mounted to the second side 14 of the tester 10 and coupled to the second bearing 144. It may include a rotating shaft 148. In addition, the second support unit 140 may include a second reinforcement plate 152 mounted to the second side 14 of the tester 10, and the rotation shaft 148 may include a second mount bracket ( It may be mounted to the second reinforcing plate 152 through 150.

또한, 상기 제1 서포트 유닛(110)과 상기 제2 서포트 유닛(140)은 상기 테스터(10)가 상기 제1 서포트 레일(112)과 상기 제2 서포트 레일(142)을 따라 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 서포트 유닛(110)은 상기 제1 서포트 레일(112) 상에서 상기 제1 서포트 레일(112)을 따라 이동 가능하게 구성되는 제1 가이드 기구(124)를 포함할 수 있으며, 상기 제1 서포트 브래킷(116)은 상기 제1 가이드 기구(124) 상에 장착될 수 있다. 상기 제2 서포트 유닛(140)은 상기 제2 서포트 레일(142) 상에서 상기 제2 서포트 레일(142)을 따라 이동 가능하게 구성되는 제2 가이드 기구(154)를 포함할 수 있으며, 상기 제2 서포트 브래킷(146)은 상기 제2 가이드 기구(154) 상에 장착될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 가이드 기구(124)와 상기 제2 가이드 기구(154)는 각각 리니어 모션 가이드를 이용하여 구성될 수 있다.In addition, the first support unit 110 and the second support unit 140 may be configured such that the tester 10 is movable along the first support rail 112 and the second support rail 142. Can be. For example, the first support unit 110 may include a first guide mechanism 124 configured to be movable along the first support rail 112 on the first support rail 112. The first support bracket 116 may be mounted on the first guide mechanism 124. The second support unit 140 may include a second guide mechanism 154 configured to be movable along the second support rail 142 on the second support rail 142. The bracket 146 may be mounted on the second guide mechanism 154. For example, the first guide mechanism 124 and the second guide mechanism 154 may be configured using linear motion guides, respectively.

추가적으로, 상기 테스터 취급 장치(100)는 상기 제1 서포트 유닛(110)과 상기 제2 서포트 유닛(140)을 서로 연결하는 연결 부재들(160)을 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 서포트 레일(112)과 상기 제2 서포트 레일(142)을 서로 연결하는 바(bar) 형태의 연결 부재들(160)이 상기 제1 서포트 레일(112)과 상기 제2 서포트 레일(142)에 분리 가능하도록 장착될 수 있다. 상기 연결 부재들(160)은 상기 테스터 취급 장치(100)의 강성을 향상시키기 위해 사용될 수 있다.In addition, the tester handling apparatus 100 may include connection members 160 connecting the first support unit 110 and the second support unit 140 to each other. For example, bar connecting members 160 connecting the first support rail 112 and the second support rail 142 to each other may be formed of the first support rail 112 and the second support rail 112. The support rail 142 may be detachably mounted. The connecting members 160 may be used to improve the rigidity of the tester handling apparatus 100.

또한, 상기 테스터 취급 장치(100)는, 상기 제1 서포트 유닛(110)과 상기 제2 서포트 유닛(140)을 지지하며 높이 조절이 가능한 복수의 서포트 부재들(162)과, 상기 테스터(10)의 이동을 위해 상기 제1 서포트 유닛(110)과 상기 제2 서포트 유닛(140)에 장착되는 복수의 회전 바퀴들(164)을 포함할 수 있다.In addition, the tester handling apparatus 100 supports the first support unit 110 and the second support unit 140, and includes a plurality of support members 162 and height adjustable, and the tester 10. It may include a plurality of rotating wheels 164 mounted to the first support unit 110 and the second support unit 140 for the movement of.

도 4 및 도 5는 도 1 내지 도 3에 도시된 테스터 취급 장치를 이용하여 테스터를 테스트 핸들러에 연결하는 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.4 and 5 are schematic diagrams for explaining a method of connecting a tester to a test handler using the tester handling apparatus shown in FIGS. 1 to 3.

도 4 및 도 5를 참조하면, 먼저 상기 연결 부재들(160)을 상기 제1 서포트 유닛(110)과 제2 서포트 유닛(140)으로부터 분리하여, 상기 제1 서포트 유닛(110)과 상기 제2 서포트 유닛(140)을 개별적으로 핸들링할 수 있도록 한다. 이어서, 제1 서포트 유닛(110)과 상기 제2 서포트 유닛(140)을 상기 테스터(10)의 제1 측면(12)과 제2 측면(14)에 각각 장착한다. 이때, 상기 테스터(10)는 소정 높이를 갖는 받침대 상에 놓여지거나 이송 대차 상에 준비될 수 있다.4 and 5, first, the connecting members 160 are separated from the first support unit 110 and the second support unit 140, and the first support unit 110 and the second support unit 140 are separated from each other. The support unit 140 may be individually handled. Subsequently, the first support unit 110 and the second support unit 140 are mounted on the first side surface 12 and the second side surface 14 of the tester 10, respectively. In this case, the tester 10 may be placed on a pedestal having a predetermined height or prepared on a transport cart.

상기와 같이 제1 서포트 유닛(110)과 제2 서포트 유닛(140)이 상기 테스터(10)의 제1 측면(12)과 제2 측면(14) 상에 장착된 후, 상기 연결 부재들(160)을 이용하여 상기 제1 서포트 유닛(110)과 상기 제2 서포트 유닛들(140)을 서로 연결함으로써 상기 테스터 취급 장치(100)를 구조적으로 보강할 수 있다.As described above, after the first support unit 110 and the second support unit 140 are mounted on the first side surface 12 and the second side surface 14 of the tester 10, the connection members 160. The tester handling apparatus 100 may be structurally reinforced by connecting the first support unit 110 and the second support units 140 with each other.

상기 연결 부재들(160)을 설치한 후, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 회전 구동부(130)를 이용하여 상기 테스터(10)를 수직 방향으로 회전시킬 수 있으며, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1 가이드 기구(124)와 상기 제2 가이드 기구(154)를 이용하여 상기 회전된 테스터(10)를 상기 테스트 핸들러(20)를 향해 이동시킬 수 있으며, 이를 통해 상기 테스터(10)와 테스트 핸들러(20) 사이의 도킹이 성공적으로 이루어질 수 있다.After installing the connection members 160, as shown in FIG. 4, the tester 10 may be rotated in the vertical direction by using the rotation driver 130, and as shown in FIG. 5. The rotated tester 10 may be moved toward the test handler 20 by using the first guide mechanism 124 and the second guide mechanism 154, through which the tester 10 and the test handler 10 may move. Docking between 20 may be successful.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 테스터 취급 장치(100)는, 테스터(10)의 제1 측면(12)에 장착되어 상기 테스터(10)를 지지하며 상기 테스터(10)를 회전시키기 위한 회전 구동부(130)를 구비하는 제1 서포트 유닛(110)과, 상기 테스터(10)의 제1 측면(12)에 대향하는 제2 측면(14)에 장착되며 상기 제1 서포트 유닛(110)에 의한 회전이 가능하도록 상기 테스터(10)를 지지하는 제2 서포트 유닛(140)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 제1 서포트 유닛(110)과 상기 제2 서포트 유닛(140)은 상기 테스터(10)를 수평 방향으로 이동시키기 위한 제1 가이드 기구(124)와 제2 가이드 기구(154)를 각각 구비할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the tester handling apparatus 100 is mounted to the first side 12 of the tester 10 to support the tester 10 and rotate the tester 10. And a first support unit 110 having a rotation drive unit 130 to rotate the first support unit 110 and a second side surface 14 opposite to the first side surface 12 of the tester 10. It may include a second support unit 140 for supporting the tester 10 to enable rotation by. In particular, the first support unit 110 and the second support unit 140 are provided with a first guide mechanism 124 and a second guide mechanism 154 for moving the tester 10 in a horizontal direction, respectively. can do.

상기 테스터(10)는 상기 제1 서포트 유닛(110)과 상기 제2 서포트 유닛(140)에 의해 회전될 수 있으며, 상기 회전된 테스터(10)는 상기 테스트 핸들러(20)와 연결되도록 상기 제1 가이드 기구(124)와 상기 제2 가이드 기구(154)에 의해 수평 방향으로 이동될 수 있다. 결과적으로, 크레인 등의 장치를 이용하여 테스터와 테스트 핸들러 사이를 연결하는 종래 기술과 비교하여 상기 크레인 등의 장치를 사용하지 않음으로써 파티클 발생량을 크게 감소시킬 수 있으며, 아울러 상기 테스터(10)의 회전과 수평 이동이 상기 테스터 취급 장치(100)에 의해 이루어질 수 있으므로 작업자의 안전사고를 충분히 방지할 수 있다.The tester 10 may be rotated by the first support unit 110 and the second support unit 140, and the rotated tester 10 may be connected to the test handler 20. The guide mechanism 124 and the second guide mechanism 154 may be moved in the horizontal direction. As a result, the amount of particles generated can be greatly reduced by not using a device such as a crane as compared with the conventional technology of connecting between a tester and a test handler using a device such as a crane, and the rotation of the tester 10. And the horizontal movement can be made by the tester handling device 100 can prevent the safety accident of the operator sufficiently.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. I can understand that.

10 : 테스터 20 : 테스트 핸들러
100 : 테스터 취급 장치 110 : 제1 서포트 유닛
112 : 제1 서포트 레일 114 : 제1 베어링
116 : 제1 서포트 브래킷 118 : 보스 부재
120 : 제1 마운트 브래킷 122 : 제1 보강판
124 : 제1 가이드 기구 130 : 회전 구동부
132 : 구동축 140 : 제2 서포트 유닛
142 : 제2 서포트 레일 144 : 제2 베어링
146 : 제2 서포트 브래킷 148 : 회전축
150 : 제2 마운트 브래킷 152 : 제2 보강판
154 : 제2 가이드 기구 160 : 연결 부재
162 : 서포트 부재 164 : 회전 바퀴10: tester 20: test handler
100: tester handling device 110: first support unit
112: first support rail 114: first bearing
116: first support bracket 118: boss member
120: first mounting bracket 122: first reinforcing plate
124: first guide mechanism 130: rotation drive
132: drive shaft 140: second support unit
142: second support rail 144: second bearing
146: second support bracket 148: rotation axis
150: second mounting bracket 152: second reinforcing plate
154: second guide mechanism 160: connecting member
162: support member 164: rotating wheels

Claims (9)

테스터의 제1 측면에 분리 가능하도록 장착되어 상기 테스터를 지지하며 상기 테스터를 회전시키기 위한 회전 구동부를 구비하는 제1 서포트 유닛;
상기 테스터의 제1 측면에 대향하는 제2 측면에 분리 가능하도록 장착되며 상기 제1 서포트 유닛에 의한 회전이 가능하도록 상기 테스터를 지지하는 제2 서포트 유닛; 및
상기 제1 서포트 유닛과 상기 제2 서포트 유닛을 서로 연결하는 연결 부재들을 포함하되,
상기 연결 부재들 각각은 상기 제1 및 제2 서포트 유닛들로부터 분리 가능하도록 상기 제1 및 제2 서포트 유닛들 사이에 장착되는 바(bar) 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 테스터 취급 장치.A first support unit detachably mounted to a first side of the tester, the first support unit supporting the tester and having a rotational drive for rotating the tester;
A second support unit detachably mounted to a second side opposite to the first side of the tester and supporting the tester to allow rotation by the first support unit; And
Includes connecting members for connecting the first support unit and the second support unit with each other,
And each of the connecting members has a bar shape mounted between the first and second support units so as to be detachable from the first and second support units. 제1항에 있어서, 상기 제1 서포트 유닛은,
상기 테스터의 제1 측면을 따라 연장하는 제1 서포트 레일;
상기 제1 서포트 레일 상에 배치되며 제1 베어링을 이용하여 상기 테스터를 회전 가능하도록 지지하는 제1 서포트 브래킷; 및
상기 테스터의 제1 측면에 장착되며 상기 제1 베어링과 결합되는 보스 부재를 포함하며,
상기 회전 구동부는 상기 제1 서포트 브래킷에 장착되며 상기 보스 부재와 결합되는 구동축을 구비하는 것을 특징으로 하는 테스터 취급 장치.The method of claim 1, wherein the first support unit,
A first support rail extending along the first side of the tester;
A first support bracket disposed on the first support rail and rotatably supporting the tester using a first bearing; And
A boss member mounted to the first side of the tester and coupled to the first bearing,
And the rotation drive unit includes a drive shaft mounted to the first support bracket and coupled to the boss member. 제2항에 있어서, 상기 제1 서포트 유닛은,
상기 제1 서포트 레일 상에서 상기 제1 서포트 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 제1 가이드 기구를 더 포함하며,
상기 제1 서포트 브래킷은 상기 제1 가이드 기구 상에 장착되는 것을 특징으로 하는 테스터 취급 장치.The method of claim 2, wherein the first support unit,
A first guide mechanism configured to be movable along the first support rail on the first support rail;
And the first support bracket is mounted on the first guide mechanism. 제2항에 있어서, 상기 제1 서포트 유닛은,
상기 테스터의 제1 측면에 장착되는 제1 보강판을 더 포함하며,
상기 보스 부재는 상기 제1 보강판에 장착되는 것을 특징으로 하는 테스터 취급 장치.The method of claim 2, wherein the first support unit,
Further comprising a first reinforcement plate mounted to the first side of the tester,
And the boss member is mounted to the first reinforcement plate. 제1항에 있어서, 상기 제2 서포트 유닛은,
상기 테스터의 제2 측면을 따라 연장하는 제2 서포트 레일;
상기 제2 서포트 레일 상에 배치되며 제2 베어링을 이용하여 상기 테스터를 회전 가능하도록 지지하는 제2 서포트 브래킷; 및
상기 테스터의 제2 측면에 장착되며 상기 제2 베어링과 결합되는 회전축을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스터 취급 장치.The method of claim 1, wherein the second support unit,
A second support rail extending along the second side of the tester;
A second support bracket disposed on the second support rail and rotatably supporting the tester using a second bearing; And
And a rotating shaft mounted to the second side of the tester and coupled to the second bearing. 제5항에 있어서, 상기 제2 서포트 유닛은,
상기 제2 서포트 레일 상에서 상기 제2 서포트 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 제2 가이드 기구를 더 포함하며,
상기 제2 서포트 브래킷은 상기 제2 가이드 기구 상에 장착되는 것을 특징으로 하는 테스터 취급 장치.The method of claim 5, wherein the second support unit,
A second guide mechanism configured to be movable along the second support rail on the second support rail;
And the second support bracket is mounted on the second guide mechanism. 제5항에 있어서, 상기 제2 서포트 유닛은,
상기 테스터의 제2 측면에 장착되는 제2 보강판을 더 포함하며,
상기 회전축은 상기 제2 보강판에 장착되는 것을 특징으로 하는 테스터 취급 장치.The method of claim 5, wherein the second support unit,
Further comprising a second reinforcement plate mounted to the second side of the tester,
And the rotating shaft is mounted to the second reinforcement plate. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 제1 서포트 유닛과 상기 제2 서포트 유닛을 지지하며 높이 조절이 가능한 복수의 서포트 부재들; 및
상기 제1 서포트 유닛과 상기 제2 서포트 유닛에 장착되는 복수의 회전 바퀴들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스터 취급 장치.The apparatus of claim 1, further comprising: a plurality of support members supporting the first support unit and the second support unit and having height adjustments; And
And a plurality of rotary wheels mounted to the first support unit and the second support unit.
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