KR102034637B1 - 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법 - Google Patents

비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법 Download PDF

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(주)케이엔씨
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Abstract

본 발명은 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명은 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 방법은 디바이스 테스트 조건을 셋업(setup)하는 단계; 디바이스 테스트 조건이 셋업되면 셔틀을 로딩부로 이동시키는 단계; 셔틀이 로딩부로 이동되면 테스트될 디바이스를 포켓에 수납하는 단계; 포켓에 디바이스가 수납되면 셔틀을 로딩부에서 테스트 사이트로 이동시키면서 거리측정센서를 이용해 셔틀의 위치별 높이 정보를 측정하는 단계; 위치별 높이 정보가 측정되면 위치별 높이 정보를 포켓 정보로 변환시키는 단계; 위치별 높이 정보가 포켓 정보로 변환되면 포켓 정보를 이용해 포켓별로 디바이스의 수납 상태를 판정하는 단계; 및 포켓별로 디바이스의 수납 상태가 판정되면 포켓에 수납된 테스트될 디바이스를 테스트 사이트로 이송시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법{Apparatus for sensing arrangement of device for non-memory test handler and sensing method using the same}
본 발명은 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 셔틀이 이동되는 동안 거리측정센서를 이용해 셔틀의 상부 표면까지의 거리를 연속적으로 스캐닝하여 측정함으로써 셔틀에 형성된 포켓에 수납된 디바이스의 비수납(empty), 오수납(miss place)이나 이중(double) 수납 여부 등의 정렬상태를 감지할 수 있는 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법에 관한 것이다.
비메모리 테스트 핸들러(non-memory test handler)는 제조가 완료된 비메모리 소자 즉, 디바이스(Device)의 전기적인 특성이 양품인지 불량품인지 여부를 테스트(test)하기 위해 사용되는 장치이며, 관련 기술이 한국등록특허공보 제10-0423945호(특허문헌 1)에 공개되어 있다.
한국등록특허공보 제10-0423945호는 반도체 소자 테스트용 핸들러에 관한 것으로, 로딩부, 언로딩부, 테스트사이트, 로딩버퍼, 소팅버퍼, 제 1셔틀, 제 2셔틀, 로딩픽커, 언로딩픽커, 제 1단축픽커, 제 2단축픽커, 제 1인덱스헤드 및 제 2인덱스 헤드를 포함하여 구성된다.
한국등록특허공보 제10-0423945호에 공개된 반도체 소자 테스트용 핸들러의 로딩부는 핸들러 본체의 전방측에 설치되어 테스트할 반도체 소자들이 수납된 트레이들이 적재되고, 언로딩부는 로딩부의 일측에 설치되어 테스트완료된 반도체 소자들이 테스트결과에 따라 분류되어 재수납되는 트레이들이 적재되며, 테스트사이트는 핸들러 본체 후방에 위치되고 외부의 테스트장비와 전기적으로 연결되도록 설치되어 반도체 소자의 테스트가 실시되는 테스트소켓을 구비한다. 로딩버퍼는 로딩부의 후방측에 본체의 전후방향으로 이동가능하게 설치되어 테스트할 반도체 소자들이 일시적으로 장착되고, 소팅버퍼는 언로딩부 후방측에 본체의 전후방향으로 이동가능하게 설치되어 테스트 완료된 반도체 소자를 공급받으며, 제 1셔틀은 로딩부 후방측에 테스트소켓 일측 위치까지 전후진가능하게 설치되어 반도체 소자를 이송시킨다. 제 2셔틀은 언로딩부 후방측에 테스트소켓 타측 위치까지 전후진가능하게 설치되어 반도체 소자를 이송하고, 로딩픽커는 로딩부가 설치된 핸들러 본체 부분의 상측에 좌우 및 전후로 수평이동 가능하게 설치되어 로딩버퍼나 제 1셔틀에 테스트할 반도체 소자를 공급하며, 언로딩픽커는 언로딩부가 설치된 핸들러 본체 부분의 상측에 좌우 및 전후로 수평이동 가능하게 설치되어 소팅버퍼의 테스트 완료된 반도체 소자를 언로딩부로 분류 이송한다. 제 1단축픽커는 테스트사이트 바로 전방부 상측에 좌우로 수평 이동가능하게 설치되어 로딩버퍼나 제 1셔틀의 미테스트 반도체 소자를 제 1셔틀 및 제 2셔틀로 선택적으로 이송하고, 제 2단축픽커는 테스트사이트 바로 전방부 상측에 제 1단축픽커와는 독립적으로 좌우로 수평 이동가능하게 설치되어 제 1셔틀 및 제 2셔틀의 테스트 완료된 반도체 소자를 상기 소팅버퍼로 이송하며, 제 1인덱스헤드와 제 2인덱스 헤드는 각각 테스트사이트 상측에 좌우로 독립적으로 수평이동가능하게 설치되어 테스트사이트로 공급된 제 1,2셔틀과 테스트소켓 간에 반도체 소자를 교대로 이송시킨다.
한국등록특허공보 제10-0423945호에 공개된 반도체 소자 테스트용 핸들러와 같이 로딩부 후방측에 테스트소켓 일측 위치까지 전후진가능하게 설치되는 셔틀은 로딩픽커에 의해 테스트할 비메모리 소자 즉, 디바이스(device)를 공급받는다. 셔틀은 로딩부와 테스트사이트 사이에 배치되어 로딩부에 위치한 테스트할 디바이스가 로딩픽커에 의해 공급되면 테스트사이트로 이동하여 셔틀에 공급된 디바이스가 테스트사이트로 공급되도록 한다. 디바이스는 셔틀에서 테스트사이트에 구비되는 테스트 소켓으로 이송 전에 로딩픽커에 의해 셔틀로 정확하게 공급되었는지 여부를 확인해야 한다.
셔틀로 디바이스가 정확하게 공급되었는지 여부를 확인하기 위해 종래의 방법은 포토 센서를 이용하였다. 포토 센서는 셔틀에 배치되어 로딩픽커에 의해 디바이스가 공급되면 이를 감지하여 셔틀로 디바이스가 공급되었는지 여부를 확인한다. 종래와 같이 포토센서를 이용해 셔틀로 디바이스가 공급되었는지 여부를 확인하는 방법은 셔틀로 디바이스가 공급되었는지 여부는 확인할 수 있으나 셔틀로 공급된 디바이스가 잘못 수납(miss place)된 경우에 이를 확인할 수 없는 문제점이 있다.
: 한국등록특허공보 제10-0423945호
본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 셔틀이 이동되는 동안 거리측정센서를 이용해 셔틀의 상부 표면까지의 거리를 연속적으로 스캐닝하여 측정함으로써 셔틀에 형성된 포켓에 수납된 디바이스의 비수납(empty), 오수납(miss place)이나 이중(double) 수납 여부 등의 정렬상태를 감지할 수 있는 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 셔틀이 이동되는 동안 거리측정센서를 이용해 셔틀의 상부 표면까지의 거리를 연속적으로 스캐닝하여 측정함으로써 셔틀에 수납되는 디바이스의 두께와 관계없이 디바이스의 정렬상태를 감지할 수 있으며, 셔틀에 형성된 포켓이나 디바이스의 패키지 형상이 변경되는 경우에도 용이하게 감지할 수 있는 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 거리측정센서를 이용해 측정함으로써 셔틀이나 디바이스의 패키지 형상의 변경에 따른 높이 조절이 불필요함에 따라 정렬 감지 작업의 생산성을 개선시킬 수 있는 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치는 테스트(test)될 디바이스(device)를 수납하는 로딩부와 디바이스를 테스트하는 테스트 사이트(test site) 사이에 배치되는 직선이송기구; 상기 직선이송기구에 연결되고 상부에 디바이스가 수납되는 다수개의 포켓이 배열되도록 형성되며 로딩부에 의해 디바이스가 다수개의 포켓으로 로딩되어 수납되면 직선이송기구에 의해 테스트 사이트로 이동되는 셔틀; 상기 직선이송기구의 상부에 로딩부와 테스트 사이트(test site) 사이에 위치되도록 배치되는 지지틀부재; 및 상기 지지틀부재의 일측에 각각 일정한 간격을 두고 배열되게 연결되어 상기 직선이송기구에 의해 테스트 사이트로 이동되는 셔틀의 상부 표면까지의 거리를 측정하여 포켓에 디바이스가 정상적으로 수납되어 정렬되었는지 여부를 감지하는 둘 이상의 거리측정센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 방법은 디바이스 테스트 조건을 셋업(setup)하는 단계; 상기 디바이스 테스트 조건이 셋업되면 셔틀을 로딩부로 이동시키는 단계; 상기 셔틀이 로딩부로 이동되면 테스트될 디바이스를 포켓에 수납하는 단계; 상기 포켓에 디바이스가 수납되면 셔틀을 로딩부에서 테스트 사이트로 이동시키면서 거리측정센서를 이용해 셔틀의 위치별 높이 정보를 측정하는 단계; 상기 위치별 높이 정보가 측정되면 위치별 높이 정보를 포켓 정보로 변환시키는 단계; 상기 위치별 높이 정보가 포켓 정보로 변환되면 상기 포켓 정보를 이용해 포켓별로 디바이스의 수납 상태를 판정하는 단계; 및 상기 포켓별로 디바이스의 수납 상태가 판정되면 포켓에 수납된 테스트될 디바이스를 테스트 사이트로 이송시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법은 셔틀이 이동되는 동안 거리측정센서를 이용해 셔틀의 상부 표면까지의 거리를 연속적으로 스캐닝하여 측정함으로써 셔틀에 형성된 포켓에 수납된 디바이스의 비수납(empty), 오수납(miss place)이나 이중(double) 수납 여부 등의 정렬상태를 감지할 수 있는 이점이 있고, 셔틀에 수납되는 디바이스의 두께와 관계없이 디바이스의 정렬상태를 감지할 수 있으며, 셔틀에 형성된 포켓이나 디바이스의 패키지 형상이 변경되는 경우에도 용이하게 감지할 수 있는 이점이 있으며, 셔틀이나 디바이스의 패키지 형상의 변경에 따른 높이 조절이 불필요함에 따라 정렬 감지 작업의 생산성을 개선시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 디바이스 정렬 감지 장치가 적용된 비메모리 테스트 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도,
도 2는 도 1에 도시된 비메모리 테스트 핸들러의 측면도,
도 3은 도 2에 도시된 비메모리 테스트 핸들러의 부분 확대 측단면도,
도 4는 도 3에 도시된 디바이스가 수납된 상태의 셔틀의 부분 확대 측단면도,
도 5는 도 4에 도시된 디바이스가 수납되지 않은 상태의 셔틀의 사시도,
도 6은 본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 방법을 나타낸 흐름도,
도 7은 도 6에 도시된 디바이스 테스트 조건을 셋업하는 방법을 상세히 나타낸 흐름도,
도 8은 도 6에 도시된 디바이스 정렬 감지 방법을 이용해 감지된 셔틀의 위치별 높이 정보 상태를 나타낸 그래프.
이하, 본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2에서와 같이 본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치는 직선이송기구(110), 셔틀(120), 지지틀부재(130), 둘 이상의 거리측정센서(140), 로딩(loading)부(150), 테스트 사이트(test site)(160) 및 제어기(170)를 포함하여 구성된다.
직선이송기구(110)는 테스트(test)될 디바이스(device)(10)를 수납하는 로딩(loading)부(150)와 디바이스(10)를 테스트하는 테스트 사이트(test site)(160) 사이에 배치되며, 셔틀(120)은 직선이송기구(110)에 연결되고 상부에 디바이스(10)가 수납되는 다수개의 포켓이 배열되도록 형성되며 로딩부(150)에 의해 디바이스(10)가 다수개의 포켓으로 로딩되어 수납되면 직선이송기구(110)에 의해 테스트 사이트(160)로 이동된다. 지지틀부재(130)는 직선이송기구(110)의 상부에 로딩부(150)와 테스트 사이트(160)(test site) 사이에 위치되도록 배치되며, 둘 이상의 거리측정센서(140)는 지지틀부재(130)의 일측에 각각 일정한 간격을 두고 배열되게 연결되어 직선이송기구(110)에 의해 테스트 사이트(160)로 이동되는 셔틀(120)의 상부 표면까지의 거리를 측정하여 포켓에 디바이스(10)가 정상적으로 수납되어 정렬되었는지 여부를 감지한다.
본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치의 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
직선이송기구(110)는 도 1 및 도 2에서와 같이 볼스크류 이송기구나 리니어 모터 이송기구가 사용되어 셔틀(120)을 로딩부(150)에서 테스트 사이트(160)로 이동시키거나 테스트 사이트(160)에서 로딩부(150)로 이동시킨다. 이러한 직선이송기구(110)는 베이스 플레이트(100)의 상부에 배치되며, 베이스 플레이트(100)는 본 발명의 디바이스 정렬 감지 장치가 적용된 비메모리 테스트 핸들러를 전반적으로 지지한다. 베이스 플레이트(100)는 상부의 일측에 로딩부(150)가 배치되며, 타측에 테스트 사이트(160)가 배치된다. 직선이송기구(110)는 로딩부(150)와 테스트 사이트(160) 사이에 위치되도록 베이스 플레이트(100)의 상부에 배치되어 셔틀(120)을 로딩부(150)에서 테스트 사이트(160)로 이동시키거나 테스트 사이트(160)에서 로딩부(150)로 이동시킨다.
셔틀(120)은 도 1, 도 3 및 도 4에서와 같이 직선이송기구(110)에 의해 연결되어 직선이송기구(110)에 의해 로딩부(150)와 테스트 사이트(160) 사이를 직선 이동하고, 상부에 다수개의 포켓(121)이 각각 m×n으로 배열되어 형성되며, m과 n은 각각 2보다 큰 자연수가 사용된다. 예를 들어, 다수개의 포켓(121)은 도 1 내지 도 3에서와 같이 X방향으로 4개가 형성되고, X방향과 직교되는 Y방향으로 2개가 배열되도록 셔틀(120)에 형성된다. 즉, 도 1 및 도 2에 도시된 셔틀(120)은 상부에 4×2개로 포켓(121)에 배열되어 형성된다.
셔틀(120)의 상부에 m×n으로 배열되어 형성되는 다수개의 포켓(121)은 각각 도 4 및 도 5에서와 같이 수납공간부(121a)와 경사공간부(121b)를 포함하여 구성된다. 수납공간부(121a)는 셔틀(120)의 내측에 형성되어 디바이스(10)가 수납되며, 사각형 지지면(11)과 4개의 수직면(12)을 포함하여 구성된다. 사각형 지지면(11)은 포켓(121)의 하부면을 구성하며 포켓(121)에 수납되는 디바이스(10)의 저면을 지지한다. 4개의 수직면(12)은 각각 사각형 지지면(11)의 가장자리의 끝단에 각각 연장되어 수직방향과 평행이 되게 형성되어 포켓(121)에 수납되는 디바이스(10)의 4개 측면을 지지하여 셔틀(120)의 이동시 포켓(121)에 디바이스(10)가 안정적으로 수납되도록 한다. 이러한 4개의 수직면의 각각의 높이(H1)는 각각 디바이스(10)의 높이(H2)와 동일하거나 크도록 형성되어 포켓(121)에 디바이스(10)가 안정적으로 수납되어 지지되도록 한다.
경사공간부(121b)는 수납공간부(121a)의 끝단에서 수직방향에 대해 포켓(121)의 외측방향으로 경사지게 연장되도록 형성되어 디바이스(10)의 수납 시 가이드 하며, 4개의 경사면(13)을 포함하여 구성된다. 4개의 경사면(13)은 각각 수직면(12)의 끝단에 각각 연장되어 수직방향에 대해 포켓(121)의 외측방향으로 경사지게 형성되어 디바이스(10)를 가이드한다. 즉, 4개의 경사면(13)은 각각 수직면(12)의 끝단에 각각 연장되어 수직방향에 대해 포켓(121)의 외측방향으로 경사지게 형성됨으로 인해 셔틀(120)의 상부 즉, 포켓(121)의 상부의 개방된 부분의 면적이 수납공간부(121a)과 접하는 하측부분의 면적보다 넓게 형성되어 디바이스(10)를 용이하게 수납하고, 수납된 디바이스(10)를 가이드할 수 있게 한다.
지지틀부재(130)는 도 1 및 도 3에서와 같이 한 쌍의 수직 지지부재(131)와 수평 지지부재(132)를 포함하여 구성된다. 한 쌍의 수직 지지부재(131)는 각각 직선이송기구(110)의 일측과 타측에 로딩부(150)와 테스트 사이트(160) 사이에 위치되도록 각각 배치된다. 즉, 한 쌍의 수직 지지부재(131) 중 하나의 수직 지지부재(131)가 로딩부(150)와 테스트 사이트(160) 사이에 위치되도록 직선이송기구(110)의 일측에 배치되면 다른 하나의 수직 지지부재(131)는 로딩부(150)와 테스트 사이트(160) 사이에 위치되도록 직선이송기구(110)의 타측에 배치된다. 즉, 한 쌍의 수직 지지부재(131)는 각각 로딩부(150)와 테스트 사이트(160) 사이에 위치되도며 직선이송기구(110)의 일측과 타측에 위치되도록 베이스 플레이트(100)에 상부에 연결된다. 수평 지지부재(132)는 하나가 구비되며, 하나의 수평 지지부재(132)는 직선이송기구(110)의 상부에 위치되도록 한 쌍의 수직 지지부재(132)의 상부와 연결되며 둘 이상의 거리측정센서(140)가 일정한 간격을 두고 배열되게 연결된다.
둘 이상의 거리측정센서(140)는 각각 도 1 및 도 3에서와 같이 하나의 포켓에 대해 하나 이상이 대응되도록 셔틀(120)의 이송방향에 대해 직교하는 방향으로 일정한 간격을 두고 배열되도록 지지틀부재(130)에 연결되며, 각각은 거리 측정센서가 사용된다. 이러한 둘 이상의 거리측정센서(140)는 각각 도 1에서와 같이 포켓(121)이 셔틀(120)에 Y방향으로 2개가 배열되도록 형성되는 경우에 둘 이상의 거리측정센서(140)가 Y방향으로 배열되도록 형성되는 2개의 포켓(121)을 측정할 수 있도록 지지틀부재(130)에 Y방향으로 간격을 두고 배열되어 연결된다. 즉, 둘 이상의 거리측정센서(140)가 Y방향으로 배열되도록 형성되는 경우에 각각은 n개의 포켓(121)을 측정할 수 있도록 지지틀부재(130)의 수평 지지부재(132)에 간격을 두고 배열되어 연결되어 셔틀(120)의 이송에 따라 포켓(121)을 측정하며, 각각은 레이저(141)와 CCD(charge coupled device)(142)를 포함하여 구성된다. 레이저(141)는 셔틀(120)로 레이저를 조사하며, CCD(142)는 셔틀(120)로 조사된 레이저가 반사되면 이를 수신받아 셔틀(120)의 표면까지의 거리를 측정하며 공지된 기술이 적용됨에 의해 상세한 설명은 생략한다. 이와 같이 둘 이상의 거리측정센서(140)를 지지틀부재(130)에 연결하여 셔틀(120)의 상부에서 셔틀(120), 셔틀(120)에 형성된 포켓(121) 및 포켓(121)에 수납된 디바이스(10)를 측정함으로써 셔틀(120)이나 디바이스(10)의 패키지 형상의 변경에 따른 높이 조절이 불필요함에 따라 정렬 감지 작업의 생산성을 개선시킬 수 있게 된다.
로딩부(150)는 도 1 및 도 2에서와 같이 로딩 스택커(151), 트레이(152) 및 로딩픽커(153)를 포함하여 구성된다. 로딩 스택커(151)는 베이스 플레이트(100)의 상부 일측에 배치되어 다수개의 테스트(test)될 디바이스(device)(10)가 수납된 트레이(152)가 적재되며, 트레이(152)는 로딩 스택커(151)에 적재되어 테스트될 디바이스(10)가 수납된다. 로딩픽커(153)는 로딩 스택커(151)의 일측에 배치되어 로딩 스택커(151)에 적재된 트레이(152)에 수납된 디바이스(10)를 셔틀(120)로 이송시켜 포켓(121)에 수납하며, 듀얼 갠트리(153a)와 디바이스 픽커(153a)를 포함하여 구성된다. 듀얼 갠트리(153a)는 로딩스택커(151)의 상부에 위치되도록 베이스 플레이트(100)의 상부에 배치되며, 디바이스 픽커(153a)는 듀얼 갠트리(153a)에 의해 X나 Y방향으로 이동하여 트레이(152)에 수납된 테스트될 디바이스(10)를 셔틀(120)의 포켓(121)으로 이송시킨다.
테스트 사이트(160)는 베이스 플레이트(100)의 타측에 배치되어 직선이송기구(110)에 의해 테스트될 디바이스(10)가 이송되면 공지된 디바이스 이송장치를 이용해 테스트될 디바이스(10)를 이송받아 수납한다. 테스트 사이트(160)는 셔틀(120)로부터 테스트될 디바이스(10)가 이송되어 수납되면 전기적인 테스트를 수행하여 디바이스(10)가 양품인지 여부를 판별하고, 판별된 결과에 따라 테스트된 디바이스(10)는 공지된 디바이스 이송장치를 이용해 언로딩부(도시 않음)로 이송하게 된다.
제어기(170)는 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치에 포함되어 비메모리 테스트 핸들러를 전반적으로 제어하며, 셔틀(120)에 테스트될 디바이스(10)가 수납되면 직선이송기구(110)를 제어하여 직선이송기구(110)에 의해 셔틀(120)이 로딩부(150)에서 테스트 사이트(160)로 이동되도록 한다. 제어기(170)는 또한 셔틀(120)이 로딩부(150)에서 테스트 사이트(160)로 이동되는 동안 둘 이상의 거리측정센서(140)를 제어하여 둘 이상의 거리측정센서(140)가 셔틀(120)의 상부 표면까지의 거리를 측정하여 포켓에 디바이스(10)가 정상적으로 수납되어 정렬되었는지 여부를 감지하면 이를 수신받아 포켓에 디바이스(10)가 정상적으로 수납되어 정렬되었는지 여부를 판별하며, 디바이스(10)는 비메모리가 사용된다.
본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치를 이용한 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 6에서와 같이 본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 방법은 먼저, 디바이스 테스트 조건을 셋업(setup)한다(S110). 디바이스 테스트 조건이 셋업되면 셔틀(120)을 로딩부(150)로 이동시킨다(S120). 셔틀(120)이 로딩부(150)로 이동되면 테스트될 디바이스(10)를 포켓(121)에 수납한다(S130). 포켓(121)에 디바이스(10)가 수납되면 셔틀(120)을 로딩부(150)에서 테스트 사이트(160)로 이동시키면서 거리측정센서(140)를 이용해 셔틀(120)의 위치별 높이 정보를 측정한다(S140). 위치별 높이 정보가 측정되면 위치별 높이 정보를 포켓 정보로 변환시킨다(S150). 위치별 높이 정보가 포켓 정보로 변환되면 포켓 정보를 이용해 포켓(121)별로 디바이스(10)의 수납 상태를 판정한다(S160). 포켓(121)별로 디바이스(10)의 수납 상태가 판정되면 포켓(121)에 수납된 테스트될 디바이스(10)를 테스트 사이트(160)로 이송시킨다(S170).
본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치를 이용한 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
디바이스 테스트 조건을 셋업하는 단계(S110)는 도 1 및 도 7에서와 같이 먼저, 디바이스(10)의 패키지 정보를 입력한다(S111). 디바이스(10)의 패키지 정보를 입력은 제어기(170)로 입력되며, 제어기(170)로 입력되는 디바이스(10)의 패키지 정보는 디바이스(10)의 두께, 가로 및 세로 길이를 나타낸다. 여기서, 디바이스 테스트 조건을 셋업은 디바이스(10)의 패키지 정보 이외에 비메모리인 디바이스(10)를 테스트하기 위한 온도와 같은 환경조건이나 테스트한 후 분류하기 위한 조건 등을 제어기(170)에 입력하여 설정하며, 제어기(170)로 입력하는 방법은 공지된 기술이 적용됨으로 설명을 생략한다.
디바이스(10)의 외형 치수나 패키지 종류와 같은 디바이스 패키지 정보가 입력되면 제어기(170)는 직선이송기구(110)를 제어하여 포켓(121)에 디바이스(10)가 수납된 셔틀(120)을 로딩부(150)에서 테스트 사이트(160)로 이동시킨다(S112). 포켓(121)에 디바이스(10)가 수납된 셔틀(120)을 로딩부(150)에서 테스트 사이트(160)로 이동시키는 단계(S112)는 초기에 디바이스 테스트 조건을 셋업하거나 디바이스의 종류가 변경되어 셔틀에 형성된 포켓(121)의 형상이 변경되어 교체되어 포켓(121)별 지연 거리를 산출하기 위한 경우에 포켓(121)에 디바이스(10)는 정상적으로 수납한 후 수행함으로써 포켓(121)별 지연 거리를 정확하고 신뢰성이 있게 산출할 수 있도록 한다.
셔틀(120)이 이동되면 셔틀(120)의 위치별 높이 정보를 측정하여 포켓(121)에 수납된 디바이스(10)의 레벨을 산출한다(S113). 셔틀(120)의 위치별 높이 정보는 도 7에서와 같이 이동하는 셔틀(120)을 거리측정센서(140)를 이용해 측정한 후 측정된 위치별 높이 정보를 제어기(170)에서 수신받아 포켓(121)에 수납된 디바이스(10)의 레벨을 산출한다. 셔틀(120)의 위치별 높이 정보는 셔틀(120)의 길이('X'방향 길이)를 355㎜라 하면, 제어기(170)에서 트리거 발생 주기를 셔틀(120)의 이동 거리마다 발생시키고, 이동 거리는 0.2㎜로 설정하여 이동 거리마다 거리측정센서(140)가 측정하여 발생된다.
제어기(170)는 셔틀(120)의 길이('X'방향 길이)가 355㎜이고 트리거신호 발생주기를 셔틀(120)이 이동한 거리 즉, 0.2㎜로 설정한 경우에 셔틀(120)의 이동 거리 즉, 0.2㎜마다 트리거신호를 발생시켜 거리측정센서(140)가 위치별 높이 정보를 1750개를 발생시키도록 한다. 즉, 제어기(170)는 0.2㎜마다 트리거신호를 발생시켜 거리측정센서(140)가 셔틀(120)을 측정하여 1750개의 아나로그 측정값을 발생하도록 하며, 1750개의 아나로그 측정값이 발생되면 이를 수신받아 디지털 신호인 1750개의 위치별 높이 정보를 발생하며, 거리측정센서(140)의 측정값을 위치별 높이 정보로 변환하는 방법은 공지된 기술이 적용됨으로 설명을 생략한다.
제어기(170)는 위치별 높이 정보를 발생하기 위해 셔틀(120)의 저면을 기준으로 셔틀(120)의 저면 중 어느 위치에서 거리측정센서(140)로 4.0390V(Voltage)로 측정된 경우에 이 위치에서 높이 정보로 변환시 0.0㎜로 변환시켜 기준으로 설정하며, 이 기준으로 이용해 포켓(121)에 정상적으로 수납된 디바이스(10)의 상부 표면중 어느 위치에서 높이가 1.9753V로 측정되는 경우에 이 위치에서 높이 정보를 9.07㎜로 변환시켜 디바이스(10)의 레벨을 산출한다. 즉, 제어기(170)는 거리측정센서(140)를 제어하여 셔틀(120)의 위치별 높이 정보를 측정하고 포켓(121)에 미리 정상적으로 수납되며 입력된 패키지 정보를 이용해 디바이스(10)의 레벨을 산출한다. 이러한 제어기(170)는 4.0390V(Voltage)를 0.0㎜로 변환시키거나 1.9753V로 측정되는 경우에 이를 위치별 높이 정보를 9.07㎜로 변환하는 방법은 공지된 직선 수식 계산방법을 이용함으로 설명을 생략한다.
포켓(121)에 수납된 디바이스(10)의 레벨이 산출되면 제어기(170)는 디바이스(10)의 레벨이 산출된 포켓(121)이 마지막 번째 포켓(121)인지를 확인한다(S114). 마지막 번째 포켓(121)은 도 1에서와 같이 거리측정센서(140)를 기준으로 셔틀(120)에 형성된 다수개의 포켓(121) 중 'X'방향으로 가장 먼 위치에 형성된 포켓(121)을 나타내며, 마지막 번째 포켓(121)인지 여부의 확인 방법은 거리측정센서(140)와 제어기(170)를 이용해 셔틀(120)의 상부면과 저면을 구분하여 확인할 수 있다. 마지막 번째 포켓(121)이면 제어기(170)는 셔틀(120)의 위치별 높이 정보를 이용해 각 포켓(121)별 지연(delay) 거리를 산출한다(S115). 마지막 번째 포켓(121)이 아니면 셔틀(120)을 로딩부(150)에서 테스트 사이트(160)로 이동시키는 단계(S112)로 리턴(return)한다.
포켓(121)별 지연 거리가 산출되면 제어기(170)는 직선이송기구(110)를 제어하여 셔틀(120)을 테스트 사이트(160)에서 로딩부(150)로 이송시킨다(S116). 셔틀(120)이 테스트 사이트(160)에서 로딩부(150)로 이송되면 포켓(121)별 지연 거리의 산출 횟수를 확인한다(S117). 여기서, 포켓(121)별 지연 거리의 산출 횟수는 제어기(170)를 이용해 설정하며, 산출 횟수를 10회 이상 설정함으로써 평균 포켓(121)별 지연 거리의 산출 시 정밀하고 신뢰성이 있도록 산출할 수 있다.
포켓(121)별 지연 거리의 산출 횟수가 미리 설정된 횟수와 동일하면 미리 설정된 횟수와 각 횟수마다 산출된 포켓(121)별 지연 거리를 이용해 평균 포켓(121)별 지연 거리를 산출한다(S118). 평균 포켓(121)별 지연 거리가 산출되면 포켓(121)에 수납된 디바이스(10)를 테스트 사이트(160)로 이송되며, 평균 포켓(121)별 지연 거리는 포켓(121)의 위치 확인을 위해 사용된다. 예를 들어, 제어기(170)는 도 1에서와 같이 셔틀(120)의 상부에 다수개의 포켓(121)이 각각 X방향으로 4개가 형성되고, X방향과 직교되는 Y방향으로 2개가 배열되도록 형성되는 경우에 각각의 위치를 전술한 과정을 통해 자동으로 이를 인식할 수 있도록 하고 있어 직선이송기구(110)에 의해 이송되는 셔틀(120)의 이송 속도의 미세한 변화로 인한 디바이스(10)의 수납 상태 감지 오류 발생 등을 방지할 수 있음으로써 보다 정밀하고 신뢰성 있도록 디바이스(10)의 수납 상태 감지할 수 있게 된다.
평균 포켓(121)별 지연 거리 등이 산출되고 디바이스 테스트 조건이 셋업되면 도 1 및 도 6에서와 같이 제어기(140)는 직선이송기구(110)를 제어해 셔틀(120)을 로딩부(150)로 이동시킨다(S120). 직선이송기구(110)에 의해 셔틀(120)이 로딩부(150)로 이동되면 제어기(140)는 로딩부(150)의 로딩픽커(153)를 제어하여 로딩 스택커(151)에 위치한 트레이(152)에 수납된 테스트될 디바이스(10)를 포켓(121)에 수납한다(S130).
포켓(121)에 디바이스(10)가 수납되면 도 1 및 도 6에서와 같이 제어기(140)는 직선이송기구(110)를 제어해 셔틀(120)을 로딩부(150)에서 테스트 사이트(160)로 이동시키면서 거리측정센서(140)를 이용해 셔틀(120)의 위치별 높이 정보를 측정한다(S140). 거리측정센서(140)를 이용해 셔틀(120)의 위치별 높이 정보를 측정하기 위해서는 먼저, 제어기(170)는 셔틀(120)의 이동속도를 이용해 트리거 발생 주기를 산출한다(S141). 트리거 발생 주기는 제어기(170)에 의해 셔틀(120)의 이동 속도를 이용해 설정한다. 예를 들어, 제어기(170)는 셔틀(120)의 길이('X'방향 길이)가 355㎜이고 1750개의 위치를 측정 시 셔틀(120)의 이동 속도에 따라 이동 거리 즉, 0.2㎜마다 설정하여 트리거 발생 주기를 설정한다.
셔틀(120)의 이동속도를 이용해 트리거 발생 주기를 산출하는 방법은 로딩부(150)와 테스트 사이트(160) 사이를 이동하는 셔틀(120)의 이동속도를 직선이송기구(110)에 의해 감지하고 감지된 이동속도를 제어기(170)에서 수신받아 셔틀(120)의 이동속도에 따른 트리거 발생 주기를 산출한다. 예를 들어 직선이송기구(110)는 모터(111) 및 엔코더(112)를 포함하며, 모터(111)와 연결되는 엔코더(112)에서 셔틀(120)의 이동속도가 감지되면 이를 제어기(170)에서 수신받아 셔틀(120)의 이동속도에 따라 트리거 발생 주기를 산출한다. 여기서, 모터(111)는 직선이송기구(110)를 구동하기 위한 회전력을 발생시키며, 모터(111)에 엔코더(112)가 연결되어 엔코더(112)에 의해 모터(111)의 회전속도를 감지한다. 엔코더(111)에서 감지된 회전속도는 제어기(170)에서 수신받아 모터(111)의 회전속도를 이용해 셔틀(120)의 이동속도를 산출한다.
제어기(170)는 셔틀(120)의 이동 속도, 측정 위치 개수 및 셔틀(120)의 길이에 따라 트리거 발생 주기를 셔틀(120)의 이동 거리로 설정되며, 이동 거리는 0.1 내지 0.5㎜로 설정된다. 트리거 발생 주기가 산출되면 제어기(170)는 트리거 발생 주기에 따라 트리거신호를 발생한다(S142). 트리거신호가 발생되면 제어기(170)는 트리거신호를 거리측정센서(140)로 출력하며, 트리거신호가 수신되면 수신된 트리거신호에 따라 거리측정센서(140)를 통해서 거리를 측정하여 셔틀(120)의 위치별 높이 정보를 측정한다(S143).
위치별 높이 정보가 측정되면 도 1 및 도 6에서와 같이 제어기(170)는 위치별 높이 정보를 포켓 정보로 변환시킨다(S150). 위치별 높이 정보가 포켓 정보로 변환되면 도 1 및 도 6에서와 같이 제어기(170)는 포켓 정보를 이용해 포켓(121)별로 디바이스(10)의 수납 상태를 판정한다(S160).
디바이스(10)의 수납 상태의 확인은 셔틀(120)의 위치별 높이 정보를 측정하여 포켓(121)에 수납된 디바이스(10)의 레벨을 산출하는 단계(S113)에서 산출된 디바이스(10)의 레벨을 기준으로 판정한다. 즉, 제어기(170)는 포켓(121)에 수납된 디바이스(10)의 레벨을 산출하는 단계(S113)에서 포켓(121)에 정상 수납(normal)된 디바이스(10)의 레벨을 기준으로 포켓(121)에 수납된 디바이스(10)의 상태에 따라 정상 수납(normal), 비수납(empty), 오수납(miss place) 및 이중 수납(double) 중 하나로 판정한다. 여기서, 제어기(170)는 디바이스(10)의 패키지의 두께보다 ±20% 정도 크거나 작게 수납된 상태를 정상 수납으로 판정하고, 비수납(empty)은 디바이스(10)의 패키지의 두께를 100%로 할 때 61.9%보다 작은 것을 판정하는 것이며, 이중 수납(double)은 디바이스(10)의 패키지의 두께를 100%로 할 때 148.3%보다 큰 것으로 판정하는 것이며, 오수납(miss place)은 디바이스(10)의 일측의 두께와 타측의 두께의 편차가 30%보다 큰 것으로 판정한다.
포켓(121)별로 디바이스(10)의 수납 상태가 판정되면 제어기(170)의 제어에 의해 포켓(121)에 수납된 테스트될 디바이스(10)를 테스트 사이트(160)로 이송시킨다(S170). 포켓(121)에 수납된 테스트될 디바이스(10)를 테스트 사이트(160)로 이송시키는 방법은 공지된 기술이 사용됨으로 설명을 생략한다.
포켓(121)에 수납된 테스트될 디바이스(10)를 테스트 사이트(160)로 이송시 제어기(170)는 거리측정센서(140)를 이용해 도 4에서와 같이 포켓(121)의 수납공간부(121a)가 채워지도록 수납된 디바이스(10)와 포켓(121)의 수납공간부(121a)에 경사지게 수납되어 경사공간부(121b)까지 위치되는 디바이스(10)를 각각 위치별 높이 정보를 측정하면 도 8과 같은 상태로 감지되며, 이를 다시 포켓 정보로 변환시키면 도 8에 도시된 그래프와 같은 곡선을 산출할 수 있다.
제어기(170)는 도 8에 도시된 그래프와 같은 곡선이 산출되면 높이(L1)만으로 측정되어 디바이스(10)의 패키지의 두께보다 ±20% 정도 크거나 작게 수납된 디바이스(10)는 포켓(121)에 정상 수납(normal)되었다고 판단하며, 높이(L1)과 높이(L2)로 측정된 디바이스(10)는 그 편차가 30%보다 크면 오수납(miss place)되었다고 판단한다. 도 8에서 미설명된 높이(L0)는 포켓(121)의 바닥면에 설정되며, 설정방법은 포켓(121)의 깊이에 디바이스(10)의 두께를 더해 설정하고, 길이(P2,P4)는 포켓(121)의 길이를 나타내며, 길이(P1,P3,P5)는 각각 포켓(121)이 형성되지 않은 셔틀(120)의 상부면에 대한 길이를 나타낸다.
이와 같이 본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법은 셔틀(120)이 이동되는 동안 거리측정센서(140)를 이용해 셔틀(120)를 연속적으로 스캐닝하여 위치별로 높이를 측정함으로써 셔틀(120)에 수납되는 디바이스(10)의 두께와 관계없이 디바이스(10)의 정렬상태를 감지할 수 있으며, 셔틀(120)에 형성된 포켓(121)이나 디바이스(10)의 패키지 형상이 변경되는 경우에도 용이하게 감지할 수 있게 된다.
본 발명의 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치 및 방법은 비메모리 소자를 테스트하기 위해 사용되는 비메모리 테스트 핸들러의 제조 산업 분야에 적용할 수 있다.
10: 디바이스 110: 직선이송기구
120: 셔틀 130: 지지틀부재
140: 거리측정센서 150: 로딩부
160: 테스트 사이트 170: 제어기

Claims (9)

  1. 테스트(test)될 디바이스(device)를 수납하는 로딩부와 디바이스를 테스트하는 테스트 사이트(test site) 사이에 배치되는 직선이송기구;
    상기 직선이송기구에 연결되고 상부에 디바이스가 수납되는 다수개의 포켓이 배열되도록 형성되며 로딩부에 의해 디바이스가 다수개의 포켓으로 로딩되어 수납되면 직선이송기구에 의해 테스트 사이트로 이동되는 셔틀;
    상기 직선이송기구의 상부에 로딩부와 테스트 사이트(test site) 사이에 위치되도록 배치되는 지지틀부재;
    상기 지지틀부재의 일측에 각각 일정한 간격을 두고 배열되게 연결되어 상기 직선이송기구에 의해 테스트 사이트로 이동되는 셔틀의 상부 표면까지의 거리를 측정하여 포켓에 디바이스가 정상적으로 수납되어 정렬되었는지 여부를 감지하는 둘 이상의 거리측정센서; 및
    제어기:를 포함하며,
    상기 제어기는 셔틀에 테스트될 디바이스가 수납되면 상기 직선이송기구를 제어하여 직선이송기구에 의해 셔틀이 로딩부에서 테스트 사이트로 이동되도록 하며, 셔틀이 로딩부에서 테스트 사이트로 이동되는 동안 둘 이상의 거리측정센서를 제어하여 둘 이상의 거리측정센서가 셔틀의 상부 표면까지의 거리를 측정하여 포켓에 디바이스가 정상적으로 수납되어 정렬되었는지 여부를 감지하면 이를 수신받아 포켓에 디바이스가 정상적으로 수납되어 정렬되었는지 여부를 판별하며, 상기 포켓에 디바이스가 정상적으로 수납되어 정렬되었는지 여부를 판별하는 제어기는 포켓에 수납된 디바이스의 상태에 따라 정상 수납(normal), 비수납(empty), 오수납(miss place) 및 이중 수납(double) 중 하나로 판정하며, 상기 정상 수납은 디바이스의 패키지의 두께보다 ±20% 정도 크거나 작게 수납된 상태를 판정하는 것이고, 상기 비수납(empty)은 디바이스(10)의 패키지의 두께를 100%로 할 때 61.9%보다 작은 것을 판정하는 것이며, 상기 이중 수납(double)은 디바이스(10)의 패키지의 두께를 100%로 할 때 148.3%보다 큰 것으로 판정하는 것이며, 상기 오수납(miss place)은 디바이스(10)의 일측의 두께와 타측의 두께의 편차가 30%보다 큰 것으로 판정하며, 상기 디바이스는 비메모리가 사용되는 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 직선이송기구와 상기 지지틀부재 중 상기 직선이송기구는 볼스크류 이송기구나 리니어 모터 이송기구가 사용되고, 일측에 로딩부가 배치되며 타측에 테스트 사이트 배치되며, 상기 로딩부는 다수개의 테스트(test)될 디바이스(device)가 수납된 트레이가 적재되는 로딩스택커; 및 상기 로딩 스택커의 일측에 배치되어 로딩 스택커에 적재된 트레이에 수납된 디바이스를 셔틀로 이송시켜 포켓에 수납하는 로딩픽커를 포함하며, 상기 지지틀부재는 상기 직선이송기구의 일측과 타측에 로딩부와 테스트 사이트 사이에 위치되도록 각각 배치되는 한 쌍의 수직 지지부재; 및 상기 직선이송기구의 상부에 위치되도록 상기 한 쌍의 수직 지지부재의 상부와 연결되며 둘 이상의 거리측정센서가 일정한 간격을 두고 배열되게 연결되는 수평 지지부재를 포함하는 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 셔틀은 상기 직선이송기구에 의해 연결되어 직선이송기구에 의해 로딩부와 테스트 사이트 사이를 직선 이동하고, 상부에 다수개의 포켓이 각각 m×n으로 배열되어 형성되며, 상기 m과 상기 n은 각각 2보다 큰 자연수이며, 상기 다수개의 포켓은 각각 디바이스가 수납되는 수납공간부와, 상기 수납공간부의 끝단에서 수직방향에 대해 포켓의 외측방향으로 경사지게 연장되도록 형성되어 디바이스의 수납 시 가이드 하는 경사공간부를 포함하며,
    상기 수납공간부는 사각형 지지면과, 상기 사각형 지지면의 가장자리의 끝단에 각각 연장되어 수직방향과 평행이 되게 형성되어 디바이스의 측면을 지지하는 4개의 수직면을 포함하며, 상기 경사공간부는 상기 수직면의 끝단에 각각 연장되어 수직방향에 대해 포켓의 외측방향으로 경사지게 형성되어 디바이스를 가이드하는 4개의 경사면을 포함하며, 상기 4개의 수직면의 높이는 각각 디바이스의 높이와 동일하거나 크도록 형성되는 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 둘 이상의 거리측정센서는 각각 하나의 포켓에 대해 하나 이상이 대응되도록 셔틀의 이송방향에 대해 직교하는 방향으로 일정한 간격을 두고 배열되도록 상기 지지틀부재에 연결되며, 각각은 레이저 거리 측정센서가 사용되는 비메모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 장치.
  5. 삭제
  6. 디바이스 테스트 조건을 셋업(setup)하는 단계;
    상기 디바이스 테스트 조건이 셋업되면 셔틀을 로딩부로 이동시키는 단계;
    상기 셔틀이 로딩부로 이동되면 테스트될 디바이스를 포켓에 수납하는 단계;
    상기 포켓에 디바이스가 수납되면 셔틀을 로딩부에서 테스트 사이트로 이동시키면서 거리측정센서를 이용해 셔틀의 위치별 높이 정보를 측정하는 단계;
    상기 위치별 높이 정보가 측정되면 위치별 높이 정보를 포켓 정보로 변환시키는 단계;
    상기 위치별 높이 정보가 포켓 정보로 변환되면 상기 포켓 정보를 이용해 포켓별로 디바이스의 수납 상태를 판정하는 단계; 및
    상기 포켓별로 디바이스의 수납 상태가 판정되면 포켓에 수납된 테스트될 디바이스를 테스트 사이트로 이송시키는 단계를 포함하며,
    상기 포켓 정보를 이용해 포켓별로 디바이스의 수납 상태를 판정하는 단계는 포켓에 수납된 디바이스의 상태에 따라 정상 수납(normal), 비수납(empty), 오수납(miss place) 및 이중 수납(double) 중 하나로 판정되며, 상기 정상 수납은 디바이스의 패키지의 두께보다 ±20% 정도 크거나 작게 수납된 상태를 판정하는 것이고, 상기 비수납(empty)은 디바이스(10)의 패키지의 두께를 100%로 할 때 61.9%보다 작은 것을 판정하는 것이며, 상기 이중 수납(double)은 디바이스(10)의 패키지의 두께를 100%로 할 때 148.3%보다 큰 것으로 판정하는 것이며, 상기 오수납(miss place)은 디바이스(10)의 일측의 두께와 타측의 두께의 편차가 30%보다 큰 것으로 판정하는 비모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 디바이스 테스트 조건을 셋업(setup)하는 단계는 디바이스의 패키지 정보를 입력하는 단계;
    상기 디바이스 패키지 정보가 입력되면 포켓에 디바이스가 수납된 셔틀을 로딩부에서 테스트 사이트로 이동시키는 단계;
    상기 셔틀이 이동되면 셔틀의 위치별 높이 정보를 측정하여 포켓에 수납된 디바이스의 레벨을 산출하는 단계;
    상기 포켓에 수납된 디바이스의 레벨이 산출되면 디바이스의 레벨이 산출된 포켓이 마지막 번째 포켓인지를 확인하는 단계;
    상기 마지막 번째 포켓이면 각 포켓별 지연(delay) 거리를 산출하는 단계;
    상기 포켓별 지연 거리가 산출되면 상기 셔틀을 테스트 사이트에서 로딩부로 이송시키는 단계;
    상기 셔틀이 테스트 사이트에서 로딩부로 이송되면 포켓별 지연 거리의 산출 횟수를 확인하는 단계; 및
    상기 포켓별 지연 거리의 산출 횟수가 미리 설정된 횟수와 동일하면 미리 설정된 횟수와 각 횟수마다 산출된 포켓별 지연 거리를 이용해 평균 포켓별 지연 거리를 산출하는 단계를 포함하며,
    상기 포켓에 디바이스가 수납된 셔틀을 로딩부에서 테스트 사이트로 이동시키는 단계에서 상기 디바이스는 포켓에 정상적으로 수납되며, 상기 설정된 횟수와 각 횟수마다 산출된 포켓별 지연 거리를 이용해 평균 포켓별 지연 거리를 산출하는 단계에서 상기 평균 포켓별 지연 거리가 산출되면 포켓에 수납된 디바이스를 테스트 사이트로 이송되는 비모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 포켓에 디바이스가 수납되면 셔틀을 로딩부에서 테스트 사이트로 이동시키면서 거리측정센서를 이용해 셔틀의 위치별 높이 정보를 측정하는 단계는 셔틀의 이동속도를 이용해 트리거 발생 주기를 산출하는 단계;
    상기 트리거 발생 주기가 산출되면 트리거 발생 주기에 따라 트리거신호를 발생하는 단계; 및
    상기 트리거신호가 발생되면 트리거신호에 따라 거리측정센서를 통해서 거리를 측정하여 셔틀의 위치별 높이 정보를 측정하는 단계를 포함하며,
    상기 트리거 발생 주기를 산출하는 단계에서 상기 트리거 발생 주기는 셔틀의 이동 거리마다 발생되며, 상기 이동 거리는 0.1 내지 0.5㎜인 비모리 테스트 핸들러의 디바이스 정렬 감지 방법.
  9. 삭제
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