KR102017351B1 - Painting plant - Google Patents

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KR102017351B1
KR102017351B1 KR1020147000306A KR20147000306A KR102017351B1 KR 102017351 B1 KR102017351 B1 KR 102017351B1 KR 1020147000306 A KR1020147000306 A KR 1020147000306A KR 20147000306 A KR20147000306 A KR 20147000306A KR 102017351 B1 KR102017351 B1 KR 102017351B1
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카를로스 리베이로
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오를리콘 서피스 솔루션스 아크티엔게젤샤프트, 페피콘
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Abstract

본 발명은 도장 플랜트(painting plant), 도장 플랜트의 상이한 공정 단계들에 필요한 개별 기구들에 관한 것으로, 상기 개별 기구들은 각각 분리가능한 모듈로 수용되므로, 이에 따라 도장 플랜트의 설치뿐만 아니라 유지보수 및 서비스를 크게 간소화한다.The present invention relates to a painting plant, individual instruments required for different process steps of the painting plant, each of which is housed in a separable module, thus maintaining and servicing not only the installation of the painting plant. Greatly simplifies.

Description

도장 플랜트 {PAINTING PLANT}Painting Plant {PAINTING PLANT}

본 발명은 기판을 적어도 하나의 유기 코팅막(organic coating layer)으로 코팅하기 위한 설비에 관한 것이다. 본 발명에 따른 설비는 특히, 용사(spraying, 熔射)에 의한 코팅막 적용을 가능하게 한다.
The present invention relates to a facility for coating a substrate with at least one organic coating layer. The installation according to the invention makes it possible, in particular, to apply coatings by spraying.

이러한 코팅 막을 기판에 적용하기 위해서는, 일반적으로 많은 공정 단계들이 필요하다. In order to apply such a coating film to a substrate, many process steps are generally required.

첫번째 단계에서, 기판 표면은 통상적으로 세정된다. 이 단계는 예컨대, 에어 프레셔(air pressure)에 의해 및/또는 표면을 이온화하기 위한 수단에 의해 달성되거나, 물 또는 수성 또는 알콜 또는 용매계(solvent-based) 용액과 같은 액체 매질로 표면을 조사하거나 또는 블라스팅이나 C02와 같은 고체로 표면을 조사함으로써(irradiating), 또는 가능한 한 초음파 또는 마이크로파 등의 전파의 영향하에, 기판을 수성 또는 알콜 또는 용매계 용액에 디핑(dipping)함으로써 달성가능하다. In the first step, the substrate surface is typically cleaned. This step is achieved, for example, by air pressure and / or by means for ionizing the surface, or by irradiating the surface with a liquid medium such as water or an aqueous or alcohol or solvent-based solution or Or by dipping the substrate into an aqueous or alcoholic or solvent-based solution, either by irradiating the surface with a solid such as blasting or C02, or possibly under the influence of propagation such as ultrasonic waves or microwaves.

두번째 단계에서, 예컨대 코팅 분산액(coating dispersion)을 용사하여 실 코팅막을 증착한다. 그런 다음 이미 코팅된 기판을 소성하는(baked) 단계를 거친다. 이 단계는 공기순환에 의한 가열에 의해 및/또는 예컨대, 50℃ 내지 80℃에서 적외선에 노출시킴으로써 달성 가능하다. 이와 관련하여, 코탕 분산액에 통상 존재하는 용매는 반드시 증발된다. 오늘날 매우 광범위하게 퍼져있는 UV 경화 코팅재료의 경우, 즉 자외선에 의해 경화되는 코팅에서, 경화는 용매 증발 다음 단계 중 하나에서 일어난다. In the second step, the coating coating is deposited by, for example, spraying a coating dispersion. Thereafter, the already coated substrate is baked. This step can be achieved by heating by air circulation and / or by exposure to infrared radiation, for example at 50 ° C to 80 ° C. In this regard, the solvents normally present in the nose bath dispersion necessarily evaporate. In today's very widespread UV curable coatings, i.e. in coatings cured by ultraviolet light, curing occurs in one of the following steps of solvent evaporation.

사용되는 대부분의 코팅은 용매에 분산된 유기 물질을 기반으로 한다. 용매로는 수용액, 유기 용매 또는 무기 용매가 고려될 수 있다. 상기 코팅은 또한 물을 기반으로 할 수도 있다. 경화는 열에 의해 또는 방사선 경화에 의해 달성 가능하다. Most coatings used are based on organic materials dispersed in a solvent. As the solvent, an aqueous solution, an organic solvent or an inorganic solvent may be considered. The coating may also be based on water. Curing can be achieved by heat or by radiation curing.

상기 모든 단계들은, 실질적으로 고정된 기판을 갖는 단일 챔버 내에서 완성 가능하다. 그러나 이러한 다기능 챔버에서는, 세정 및 코팅 경화에 사용되는 장비의 배치 조작시에(batch operation), 코팅 분산액으로 오염되거나 또는 증발된 용매에 의해 침범당하는 위험이 발생하는 문제가 있다. All of these steps can be accomplished in a single chamber with a substantially fixed substrate. However, in such multifunctional chambers, there is a problem that, in a batch operation of equipment used for cleaning and coating curing, there is a risk of being contaminated with the coating dispersion or being invaded by evaporated solvent.

이러한 이유로, 상이한 장소에서 및 인라인(inline) 동작 중에 있는 별도의 분리된 섹션에서 상기 단계들을 수행하는 것이 오늘날 일반적이다. 도 1은 코팅될 기판들(31, 33, 35, 37, 39, 41)을 가진 해당 설비를 도시한다. 이 경우, 길쭉한 챔버(1)는 도어들(3, 5, 7, 9)에 의해 분리된 다수의 섹션들(11, 13, 15, 17, 19)로 분할되며, 상기 각 섹션에서 해당 단계를 수행하는 데 필요한 기구가 제공된다. 챔버의 시작부분에 입구(21)가 있고, 챔버의 끝부분에는 출구(23)가 있다. 이송장치(25)는 코팅될 기판들을 챔버 내로 및 다양한 스테이션으로 이송할 뿐만 아니라 챔버 밖으로도 이송한다. 이송장치(25)는 일반적으로 연속적으로 작동되거나 또는 간헐적으로 작동되며, 기판들(31, 33, 35, 37, 39, 41)은 모두 동시에 움직인다. 일부 기판들이 분할 섹션(11, 13, 15, 17, 19) 중 하나에서 이동 없이 처리되는 반면, 다른 기판들은 계속 이송되는 경우에, 상기 이동 없이 남아 있는 기판들은 이송장치(25)로부터 적절한 메카니즘에 의해 분리되는데, 이에 따라 이송장치(25)는 대체적으로 상당히 복잡하고 많은 비용이 들게 된다. 이 이송장치(25)는 전체 도장 설비에 걸쳐 통합 유닛(integral unit)을 구성하는데, 분할된 섹션들(11, 13, 15, 17, 19)이 서로 불충분하게 분리되는 추가의 단점을 가지므로 따라서 상기 개별 섹션들(11, 13, 15, 17, 19)이 증가하여, 전체 시스템을 훨씬 크게 해야 하는 단점이 있다. For this reason, it is common today to carry out the steps in different places and in separate separate sections during inline operation. 1 shows a corresponding installation with substrates 31, 33, 35, 37, 39, 41 to be coated. In this case, the elongated chamber 1 is divided into a plurality of sections 11, 13, 15, 17, 19 separated by doors 3, 5, 7 and 9, in which said step is taken. The instrument necessary to perform is provided. There is an inlet 21 at the beginning of the chamber and an outlet 23 at the end of the chamber. The transfer device 25 transfers the substrates to be coated into the chamber and to various stations as well as out of the chamber. The transfer device 25 is generally operated continuously or intermittently, and the substrates 31, 33, 35, 37, 39, 41 all move simultaneously. If some substrates are processed without movement in one of the split sections 11, 13, 15, 17, 19, while other substrates continue to be transferred, the substrates remaining without movement are transferred from the transfer device 25 to the appropriate mechanism. By means of which the conveying device 25 is generally quite complex and expensive. This conveying device 25 constitutes an integral unit over the entire painting installation, which has the further disadvantage that the divided sections 11, 13, 15, 17, 19 are insufficiently separated from each other. The individual sections 11, 13, 15, 17, 19 have the disadvantage that the entire system must be made much larger.

일반적으로, 각 섹션(11, 13, 15, 17, 19)의 상단부에는 신선한 공기공급장치가 제공되며, 하단부에는 챔버 영역으로부터 공기 및 가스를 제거하고 이들을 세정시스템(도시되지 않음)으로 공급하는 추출장치가 제공된다. 종래기술에 따른 상이한 공정단계들에 대한 섹션들을 분리함으로써, 서로 다른 공정이 역으로 서로 영향을 미치지 않도록 하는 것이 실제로 구현 가능하다. 그러나 이러한 코팅설비는 그 크기로 인해 이송이 어렵다는 단점이 있다. 따라서 또한 이 시스템의 조립 및 설치에 큰 노력을 들여야 하며, 이러한 이유로 이러한 시스템들이 장비 제작업체에서 완전히 제작되지 못하고, 모든 시스템의 기능 및 관련 공정단계들에 대한 완성, 그리고 최종적인 미세조정이 고객의 사이트에서만 행해질 수 있다는 단점을 가진다는 점을 특히 주목할 필요가 있다. Generally, a fresh air supply is provided at the top of each section 11, 13, 15, 17, 19, and at the bottom an extraction that removes air and gas from the chamber area and supplies them to a cleaning system (not shown). An apparatus is provided. By separating the sections for different process steps according to the prior art, it is practically possible to ensure that different processes do not adversely affect each other. However, such coating equipment has a disadvantage that it is difficult to transfer due to its size. It is therefore also a great effort to assemble and install this system, which is why these systems are not fully manufactured by the equipment manufacturer, and the completion of all system functions and related process steps, and final fine-tuning It is particularly noteworthy that it has the disadvantage that it can only be done on the site.

도 3과 같이, 종래기술에 따른 상기 언급된 일부 단점들을 극복 시도하려는 코팅설비(301)에 대한 추가의 실시예를 다음과 같이 설명한다: As shown in Fig. 3, a further embodiment of the coating installation 301 which attempts to overcome some of the above mentioned disadvantages according to the prior art is described as follows:

본질적으로 분리할 수 없는 부분인 세정 작업, 도장 작업 및 경화 작업은 인라인으로 배치되지 않으나, 이송장치(303)에 바로 인접하며, 예컨대 작업스테이션을 가진 분할 공정 챔버들(305, 307, 309, 311)과 같다. 이를 위해, 적절한 처리장치(313, 315, 317, 319)가 요구되며, 이들은 기판 및 기판이 로딩된 캐리어를 이송장치(303)에서 제거하고, 각 분할된 작업 챔버 내의 각 작업 스테이션에 그들을 위치시킨다. 이송장치(303)는 이 경우에 간헐적으로 작동되는데, 즉, 기판 및 캐리어의 이송은 연속적이지 않다. Intrinsically inseparable parts cleaning, painting and hardening operations are not arranged inline but are directly adjacent to the feeder 303, eg, split process chambers 305, 307, 309, 311 with a work station. ) To this end, suitable processing devices 313, 315, 317, 319 are required, which remove the substrate and the carrier loaded with the substrate from the transfer device 303 and place them in each work station in each divided work chamber. . The conveying device 303 is intermittently operated in this case, ie the conveying of the substrate and the carrier is not continuous.

이 경우, 개별 공정 챔버들(305, 307, 309, 311)은 서로 매우 잘 분리될 수 있기는 하나, 전체 코팅설비의 크기라든가, 이송장치가 분리 불가능한 유닛을 지속 형성한다든가 하는 심각한 단점들이 남는다. 여기에는 처리장치들에 요구되는 추가의 부담, 이러한 처리장치들의 배치를 위한 증가된 설비 크기에 요구되는 추가의 부담 및 특히, 먼지 및 공기의 순도 측면에서 특별한 공간 품질을 가진 완전한 이송장치로 구성된 보다 큰 룸(321)을 구축할 필요성 등과 같은 추가의 단점들이 있다. 해당 공기의 처리에는, 장비의 구입을 위한 투자비뿐만 아니라 증가된 유지비용, 주로 에너지 및 필터 기술분야의 측면에서 매우 고비용이 들어간다.
In this case, the individual process chambers 305, 307, 309 and 311 can be very well separated from each other, but serious disadvantages remain, such as the size of the entire coating plant or the transfer device continuously forming a non-separable unit. . This consists of an additional burden on the treatment units, an additional burden on the increased plant size for the placement of such treatment units, and in particular a complete conveyer with special space quality in terms of dust and air purity. There are additional disadvantages such as the need to build large room 321 and the like. The treatment of the air is very expensive in terms of increased maintenance costs, mainly energy and filter technology, as well as investment costs for the purchase of equipment.

따라서, 상기 언급된 종래기술의 단점들을 극복하는 코팅 설비에 대한 필요성이 존재한다. 본 발명은 상기 단점들이 극복된 코팅 설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.
Thus, there is a need for a coating installation that overcomes the above mentioned disadvantages of the prior art. The present invention aims to provide a coating installation in which the above disadvantages are overcome.

이러한 목적은 본 발명의 청구항 1에 따른 모듈형(modular) 코팅설비에 의해 구현된다. 길쭉한 개별 공정 챔버들 및 종래기술에서 알려진 병렬 공정 챔버들의 배열과는 대조적으로, 본 발명에 따른 챔버는, 공정 단계의 수에 따라, 개별의 완전히 분리된 작업 모듈들로 분할된다. 이러한 각각의 모듈들은 바람직하게는, 상단에 신선한 공기 공급장치를 포함하고, 바닥에 공기 및 가스 추출장치를 포함하며, 또한 하단에는 이송장치를 포함한다. 이러한 각각의 모듈들은 입구 도어뿐 아니라 출구 도어를 포함한다. 본 설명의 맥락에서, 용어 "도어"는, 기판이 안으로 또는 각 모듈 밖으로 이송될 수 있는 개구에 대한 개폐 메카니즘 또는 임의의 형태의 셔터를 의미한다. This object is achieved by a modular coating installation according to claim 1 of the present invention. In contrast to the elongated individual process chambers and the arrangement of parallel process chambers known in the art, the chamber according to the invention is divided into individual completely separate work modules, depending on the number of process steps. Each of these modules preferably includes a fresh air supply at the top, an air and gas extractor at the bottom, and a transport at the bottom. Each of these modules includes an entrance door as well as an exit door. In the context of the present description, the term “door” means an opening mechanism or any type of shutter for the opening through which the substrate can be conveyed in or out of each module.

개별 모듈들은, 한 모듈의 출구 도어가 후속 모듈의 입구 도어와 연결되도록 하는 방식으로 서로 관계를 가지고 배치된다. 여기서 연결은, 기판이 로딩된 캐리어가 한 모듈의 출구 도어에서 후속 모듈의 입구 도어로 이송될 수 있음을 의미한다. 바람직하게는, 한 모듈의 출구 도어는 후속 모듈의 입구 도어의 바로 근처에 배치되며, 상기 출구 도어와 입구 도어는 공통의 구동 메카니즘을 가진 하나의 유닛을 형성한다. 시스템의 첫 모듈의 입구 도어와 시스템의 마지막 모듈의 출구 도어만은 격리되어 있으며, 즉, 다른 모듈의 도어와 연관되어 있지 않다. 본 발명에서는, 각각의 공정 단계가 허용하고 및/또는 공기 흐름 조건이 선택되는 경우, 개별 모듈들에서 입구 및/또는 출구 도어들을 생략하는 것이 가능하여, 교차 오염, 개별 오염 또는 개별 모듈들 간 오염균의 전파를 회피할 수 있다. The individual modules are arranged in relation to each other in such a way that the outlet door of one module is connected with the inlet door of a subsequent module. Connection here means that the carrier loaded with the substrate can be transferred from the exit door of one module to the entrance door of the subsequent module. Preferably, the exit door of one module is disposed immediately near the entrance door of the subsequent module, the exit door and the entrance door forming one unit with a common drive mechanism. Only the entrance door of the first module of the system and the exit door of the last module of the system are isolated, ie not associated with the doors of other modules. In the present invention, it is possible to omit the inlet and / or outlet doors in the individual modules if each process step allows and / or air flow conditions are chosen, such that cross contamination, individual contamination or contamination between individual modules is possible. The spread of bacteria can be avoided.

상기 모듈들은 중앙 제어장치에 의해 각각 개별적으로 제어된다. 바람직하게는, 각 모듈은 자신의 제어 구성요소를 수신하고, 제어될 모든 시스템 구성요소들이 접속되면, 이후 분산 방식으로 배치된 상기 제어 구성요소들은 간단한 케이블을 통해 또는 무선통신을 통해 중앙 제어기에 접속되거나 또는 마스터-슬레이브 구성으로 관리될 수 있다.
The modules are each individually controlled by a central controller. Preferably, each module receives its own control component, and once all system components to be controlled are connected, then the control components arranged in a distributed manner are connected to the central controller via a simple cable or via wireless communication. Or managed in a master-slave configuration.

본 발명의 디자인은 각 모듈에 속하는 구성요소들만이 서로 전기적으로 연결되어 있어 따라서 훨씬 적은 케이블 재료 및 설치비용이 드는 중요한 장점을 가지며, 또 다른 장점은 중앙 제어 캐비넷의 제공이 필요 없다는 것이다. The design of the present invention has the important advantage that only the components belonging to each module are electrically connected to each other, thus requiring much less cable material and installation costs, and yet another advantage is that no provision of a central control cabinet is required.

완전히 독립된 모듈들을 가진 코팅 설비 디자인에 의거하여, 한 모듈에서 최종 목적지까지 매우 적은 노력으로 이송 가능하다. 또한 이로 인해 조립, 설치 및 시운전이 상당히 단순화된다. 본 발명은, 코팅 시스템을 제조업체의 사이트에서 기 조립 및 테스트를 거치기 때문에 고객의 사이트에서 최단시간에 셋업 가능하므로, 비용 및 시간이 절감될 뿐만 아니라, 작업 신뢰도가 향상되는 장점이 있다.
Based on the design of the coating facility with completely independent modules, transfer from one module to the final destination with very little effort is possible. This also greatly simplifies assembly, installation and commissioning. The present invention can be set up at the customer's site in the shortest time since the coating system is assembled and tested at the manufacturer's site, thereby reducing costs and time, and improving work reliability.

본 발명은 다음의 도면과 함께 실시예로써 설명된다.
도 1은 종래기술에 따른 인라인(in-line) 디자인으로 구성된 코팅 설비를 보여준다.
도 2는 모듈형(modular) 디자인으로 구성된 본 발명의 코팅 설비를 보여준다.
도 3은 불연속 조작을 갖는 모듈형 디자인으로 구성된 코팅 설비를 보여준다.
The invention is illustrated by way of example in conjunction with the following figures.
1 shows a coating installation constructed in an in-line design according to the prior art.
2 shows a coating installation of the present invention constructed in a modular design.
3 shows a coating installation constructed of a modular design with discontinuous operation.

종래기술(도 1 및 도 3)에 따른 코팅설비는 이미 상기에 설명되었다. 도 2는 본 발명에 따른 모듈형 디자인으로 구성된 코팅설비(201)를 도시한다. 도 2는 그중에서도 이온화 방사선(ionizing radiation)(211)에 의한 입구 세정 모듈(203), 로봇암(213)의 스프레이 노즐에 의한 코팅 모듈(205), IR 이미터(IR emitter)(215)에 의한 가열을 거치는 용매제거 모듈(207)(베이킹, baking) 및 UV 램프(217)에 의한 코팅재 경화 모듈(209)을 도시한다. 이러한 각 모듈들은 자체 제어기(221, 223, 225, 227)를 각각 포함하며, 이들은 최종적으로 중앙 제어기(229)에 의해 제어된다. 상기 모듈 제어기들은 이송장치들(231, 233, 235, 237) 뿐만 아니라 입구도어들(241, 243, 245, 247) 및 출구도어들(251, 253, 255, 257)까지 제어 가능하다. 두개의 인접한 모듈들의 공정 단계가 서로 부정적인 영향을 주지 않는 경우, 대응하는 도어들을 생략할 수 있다. 한 모듈이 다른 모듈을 따르는 경우, 한 모듈의 출구도어들뿐만 아니라 다른 모듈의 입구도어들까지 두 군데 모두 구현하는 것은 절대적으로 필요하지 않다. 게다가, 상기 모듈 제어기들은 각 모듈별로 제공되는 스프레이 노즐 및 로봇암(213), IR 이미터(215), UV 램프(217) 및 배출장치(261, 263, 265, 267)와 같은 기능 유닛들을 또한 제어한다. 따라서, 각 모듈은 기본적으로 개별 제어 가능한 모듈이며, 상기 모듈들의 상호작용은 중앙제어기(229)에 의해 제어된다. 코팅될 기판들은 도 1과 같이 참조번호로 표기되지 않았지만 빗살 사선으로 표현되었다. 207 모듈과 209 모듈 사이에 놓인 기판을 보면, 한 모듈에서 다음 모듈로 어떻게 이송이 구현되는 가를 알 수 있다: 즉, 이송수단(235)의 드라이빙 메카니즘에 의거, 기판은 207 모듈에서 슬라이드 되어 빠져나가는 동시에, 209 모듈의 이송수단(237) 위에 걸치게 된다. 이로써 255 도어에서 247 도어로 자연스럽게 개방이 이루어진다. Coating equipment according to the prior art (Figs. 1 and 3) has already been described above. 2 shows a coating installation 201 constructed in a modular design according to the invention. 2 shows an inlet cleaning module 203 with ionizing radiation 211, a coating module 205 with a spray nozzle of a robot arm 213, and an IR emitter 215. The coating material curing module 209 by the solvent removal module 207 (baking) and the UV lamp 217 through heating is shown. Each of these modules includes its own controllers 221, 223, 225, and 227, respectively, which are finally controlled by the central controller 229. The module controllers can control not only the transfer devices 231, 233, 235, 237, but also the inlet doors 241, 243, 245, 247 and the exit doors 251, 253, 255, 257. If the processing steps of two adjacent modules do not adversely affect each other, the corresponding doors can be omitted. If one module follows another module, it is absolutely not necessary to implement both the exit doors of one module as well as the entrance doors of the other module. In addition, the module controllers also have functional units such as spray nozzles and robot arms 213, IR emitters 215, UV lamps 217 and dischargers 261, 263, 265 and 267 provided for each module. To control. Thus, each module is basically an individually controllable module, the interaction of which modules being controlled by the central controller 229. Substrates to be coated are not indicated by reference numerals as shown in FIG. The board placed between the 207 and 209 modules shows how the transfer is implemented from one module to the next: the substrate is slid out of the 207 module by the driving mechanism of the transfer means 235. At the same time, it extends over the transfer means 237 of the 209 module. This naturally opens from 255 to 247 doors.

첫번째 모듈로의 삽입을 위해, 도시된 이송장치가 또한 사용될 수 있으며, 코팅설비 밖으로의 배출에 대해서도 같은 이송장치의 적용이 가능하다. 구체적으로, 삽입 및 배출기구를 포함한 전체 시스템은 하나의 사이클 공정으로 설계되어, 코팅될 기판의 장착 및 코팅된 기판의 제거를, 가능한 경우 로봇 및/또는 자동장치에 의해 한 장소에서 할 수 있도록 되어 있다. 이러한 순수한 이송 섹션(section)은 크린룸 환경에서 구현될 필요가 없다. For the insertion into the first module, the conveying device shown can also be used and the same conveying device is also possible for discharge out of the coating installation. Specifically, the entire system, including the insertion and discharge mechanisms, is designed in one cycle process so that the mounting of the substrate to be coated and the removal of the coated substrate can be carried out in one place by robots and / or automatic devices, if possible. have. This pure transfer section does not need to be implemented in a cleanroom environment.

상기 코팅설비는 모듈형 디자인에 의거, 조립 및 해체가 매우 간단하다. 만약 코팅 시스템의 한 모듈에 결함이 생긴 경우, 전체 코팅설비를 해체하지 않고 다른 동등 모듈로 쉽게 교체 가능하다. 또한, 예컨대 PVD 코팅과 같은 추가의 모듈 및 추가의 공정 단계를 첨가하여 용이하게 코팅설비를 완성할 수 있다. 한편, 고객에 의한 대응 공정이 요구되지 않으며, 모듈들은 생략 가능하다. 따라서 코팅설비의 제조자는 코팅설비에 대한 표준화된 모듈, 고객 만족의 전체 개념에 기초하여 다자인할 수 있는 선택권을 갖는다.
The coating equipment is very simple to assemble and dismantle based on the modular design. If one module of the coating system fails, it can be easily replaced with another equivalent module without dismantling the entire coating system. In addition, additional modules such as, for example, PVD coatings and additional processing steps can be added to easily complete the coating installation. On the other hand, the corresponding process by the customer is not required, and the modules can be omitted. Thus, manufacturers of coating equipment have the option of designing on the basis of standardized modules for the coating equipment, the whole concept of customer satisfaction.

Claims (7)

a) 코팅될 기판의 세정 처리 수단,
b) 기판의 코팅 처리 수단,
c) 코팅된 기판의 경화 처리 수단을 적어도 포함하는 코팅설비에 있어서,
상기 코팅설비는 모듈형(modular) 구조로 설계되고, 상기 a) 내지 c)의 각각의 처리 수단은 자체 모듈을 각각 포함하고, 각각의 모듈은 자체 이송 장치를 각각 포함하여, 상기 모듈들이 협업할 때, 상기 모듈들을 통해 이동 방향으로 연속적인 인라인 이송이 구현되고, 상기 모듈들의 각각은 입구 도어 및 출구 도어를 구비한 하우징을 포함하고,
각각의 모듈은, 코팅 설비의 제1 모듈의 입구 도어와 코팅 설비의 최종 모듈의 출구 도어만이 다른 모듈의 도어에 연결되지 않은 상태로, 하나의 모듈의 출구 도어가 각각의 경우 후속하는 모듈의 입구 도어와 연결되는 방식으로 서로에 대하여 배열되고,
상기 모듈들의 이송 장치들은 기판이 하나의 모듈의 이송 장치로부터 후속하는 모듈의 이송 장치 상으로 이송되도록 배열되고, 각각의 기판은 이송 장치의 구동 메커니즘으로 인해 하나의 모듈로부터 슬라이드 아웃(slides out) 되어 후속하는 모듈의 이송 장치 상에 옮겨지고(displace),
코팅 설비를 로딩 및 언로딩하기 위한 자동 장치가 제공되고, 자동 장치로부터 기판을 제1 모듈의 입구 도어로 이송하기 위한 제1 이송 장치가 제공되고, 최종 모듈의 출구 도어로부터 기판을 자동 장치로 이송하기 위한 제2 이송 장치가 제공되고,
적어도 하나의 모듈의 출구 도어와 후속하는 모듈의 입구 도어는 공동 구동 메커니즘을 갖는 하나의 유닛을 형성하고, 모듈들 중 하나는 물리적 기상 증착(physical vapor deposition) 코팅을 위한 모듈인 것을 특징으로 하는
코팅설비.
a) means for cleaning the substrate to be coated,
b) means for coating the substrate,
c) a coating installation comprising at least a curing treatment means of a coated substrate,
The coating equipment is designed in a modular structure, and each processing means of a) to c) each includes its own module, and each module includes its own transport device so that the modules can cooperate. When continuous in-line conveying in the direction of travel through the modules is implemented, each of the modules comprising a housing having an inlet door and an outlet door,
Each module is configured such that the outlet door of one module is in each case the subsequent module, with only the entrance door of the first module of the coating installation and the exit door of the final module of the coating installation not connected to the door of the other module. Arranged relative to each other in a manner that is connected to the entrance door,
The conveying devices of the modules are arranged such that the substrate is conveyed from the conveying device of one module onto the conveying device of the subsequent module, and each substrate is slid out from one module due to the driving mechanism of the conveying device. Displaced on the conveying device of the subsequent module,
An automatic device for loading and unloading coating equipment is provided, and a first transport device for transporting the substrate from the automatic device to the entrance door of the first module is provided, and the substrate is transferred from the exit door of the final module to the automatic device. A second transfer device for providing is provided,
The outlet door of the at least one module and the inlet door of the subsequent module form a unit with a common drive mechanism, wherein one of the modules is a module for physical vapor deposition coating
Coating equipment.
제 1항에 있어서,
모듈 내부 공간을 모듈의 외부 환경에 대해 밀봉을 위해 상기 모듈 중 적어도 하나에 도어들이 제공되는 것을 특징으로 하는 코팅설비.
The method of claim 1,
Coating equipment, characterized in that doors are provided in at least one of the modules to seal the module interior space against the module's external environment.
삭제delete 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
각 모듈은 하나의 제어 유닛과 제어 유닛과 관련된 전기장치를 포함하고, 상기 모듈의 배기 시스템 및 처리 수단 및 이송 장치가 제어 유닛에 의해 제어될 수 있으며,
상기 모듈들의 제어 유닛들을 조정하기 위해 중앙 제어기가 제공되는 것을 특징으로 하는 코팅설비.
The method according to claim 1 or 2,
Each module includes one control unit and an electrical device associated with the control unit, wherein the exhaust system and the processing means and the conveying device of the module can be controlled by the control unit,
Coating equipment, characterized in that a central controller is provided for adjusting the control units of the modules.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 이송 장치들은 컨베이어 벨트로 디자인되고, 상기 기판들을 상기 이송장치의 가장자리에 걸치도록 밀어서 상기 기판들의 이송이 구현되는 것을 특징으로 하는 코팅설비.
The method according to claim 1 or 2,
The conveying devices are designed as a conveyor belt, coating equipment characterized in that the conveying of the substrates is implemented by pushing the substrates over the edge of the conveying device.
삭제delete 삭제delete
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