KR102014933B1 - 세정광 리플렉터 - Google Patents

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KR102014933B1
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김동훈
박영일
정은결
정미숙
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주식회사 다원시스
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Abstract

본 발명은 유기 발광 장치용 금속 마스크 및 마스크 프레임의 표면에 잔류하는 유기물을 세정할 수 있는 세정광을 균일하게 형성할 수 있게 하는 세정광 리플렉터에 관한 것으로서, 봉상의 램프에서 발생되는 세정광을 세정 대상물 방향으로 균일하게 반사시킬 수 있도록 상기 램프와 대응되는 형상으로 일단부에서 타단부까지 가로 방향으로 길게 반사 오목부가 형성되는 몸체; 상기 세정광의 일단부 균일도를 향상시킬 수 있도록 상기 몸체의 상기 일단부에 세로 방향으로 길게 설치되는 제 1 반사 날개부; 및 상기 세정광의 타단부 균일도를 향상시킬 수 있도록 상기 몸체의 상기 타단부에 세로 방향으로 길게 설치되는 제 2 반사 날개부;를 포함할 수 있다.

Description

세정광 리플렉터{ Reflector for cleaning light}
본 발명은 세정광 리플렉터에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 유기 발광 장치용 금속 마스크 및 마스크 프레임의 표면에 잔류하는 유기물을 세정할 수 있는 세정광을 균일하게 형성할 수 있게 하는 세정광 리플렉터에 관한 것이다.
평판 표시 장치 중 유기 전계 발광 표시 장치는 고속의 응답 속도를 가지며, 소비 전력이 낮고, 자체 발광이므로, 시야각에 문제가 없어서, 장치의 크기에 상관없이 동화상 표시 매체로서 장점이 있다. 또한, 저온 제작이 가능하고, 기존의 반도체 공정 기술을 바탕으로 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다. 또한 유기 전계 발광 표시 장치에 사용되는 유기막은 자체 발광을 하기 때문에 다층의 유기막을 전면 증착 후 상하단에 전계를 인가하면 OLED 조명 장치에 사용될 수 있다. OLED 조명은 기존의 LED 조명이 점광원인데 반하여 면광원이기 때문에 차세대 조명으로 지대한 관심을 받고 있다.
이러한 유기 전계 발광 표시 장치 및 OLED 조명 제조 공정 시 유기박막의 형성은 사용하는 재료와 공정에 따라 습식 공정을 사용하는 고분자형 소자와, 증착 공정을 사용하는 저분자형 소자로 크게 나눌 수 있다. 예를 들어, 고분자 또는 저분자 발광층의 형성 방법 중 잉크젯 프린팅 방법의 경우, 발광층 이외의 유기층들의 재료가 제한적이고, 기판 상에 잉크젯 프린팅을 위한 구조를 형성해야 하는 번거로움이 있다. 또한 증착 공정에 의해 발광층을 형성하는 경우, 별도의 금속 마스크를 사용할 수 있다.
이러한, 종래의 유기 발광 장치용 금속 마스크 및 마스크를 지지하는 프레임은 표면이 유기물 또는 이물질에 의해 쉽게 오염될 수 있다.
종래에는 이러한 금속 마스크를 재활용하기 위하여 표면에 잔류하는 유기물 또는 이물질을 각종 산성 용액이나 알카리성 용액 등의 세정액을 이용하여 녹여서 제거하는 습식 세정 방법이 사용되었다.
그러나, 이러한 종래의 습식 세정 방법은 폐기되는 세정액을 통한 환경 오염을 유발할 수 있는 것은 물론이고, 금속 마스크의 표면이 세정액에 녹아서 마스크의 수명을 단축시키고, 세정 후 건조시키는 등 세정 작업시 소요되는 시간과 비용이 크게 증대되어 생산성이 떨어지는 등 많은 문제점들이 있었다.
한편, 초박화 추세에 의해 얇은 두께의 마스크는 특정 부위에 불균일적으로 에너지가 집중되면 쉽게 연소되거나 산화되거나 손상되거나 변질되는 등의 문제점들이 있었다. 따라서, 광에너지를 이용하여 마스크를 세정하는 경우, 세정광이 조사되는 부분의 광량 또는 가열 온도가 일정하게 유지해야 하는 것이 매우 중요한 이슈가 되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 세정광이 조사되는 조사 영역의 광균일도를 향상시켜서 마스크의 국부적인 가열이나 연소나 변질 현상 등을 방지하여 넓은 부분을 안정적으로 세정할 수 있게 하고, 이를 통해서 고품질의 마스크 세정 작업을 가능하게 하는 세정광 리플렉터를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 세정광 리플렉터는, 봉상의 램프에서 발생되는 세정광을 세정 대상물 방향으로 균일하게 반사시킬 수 있도록 상기 램프와 대응되는 형상으로 일단부에서 타단부까지 가로 방향으로 길게 반사 오목부가 형성되는 몸체; 상기 세정광의 일단부 균일도를 향상시킬 수 있도록 상기 몸체의 상기 일단부에 세로 방향으로 길게 설치되는 제 1 반사 날개부; 및 상기 세정광의 타단부 균일도를 향상시킬 수 있도록 상기 몸체의 상기 타단부에 세로 방향으로 길게 설치되는 제 2 반사 날개부;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 램프는 상기 몸체의 내부에 설치되고, 상기 반사 오목부는 그 단면의 형상이 상기 램프를 기준으로 오목한 포물선 형상이며, 상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 상기 램프의 전방에 설치되고, 상기 몸체의 내부에 설치되며, 상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 좁아지는 방향으로 상기 몸체의 길이 방향을 기준으로 제 1 경사각로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 램프는 상기 몸체의 내부에 설치되고, 상기 반사 오목부는, 단면의 형상이 상기 램프를 기준으로 오목한 포물선 형상이며, 상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 상기 램프의 전방에 설치되고, 상기 몸체로부터 제 2 간격으로 이격된 상기 몸체의 외부에 설치되며, 상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 좁아지는 방향으로 상기 몸체의 길이 방향을 기준으로 제 2 경사각로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 램프는 상기 몸체의 외부에 설치되고, 상기 반사 오목부는, 단면의 형상이 상기 램프를 기준으로 오목한 포물선 형상이며, 상기 포물선 형상의 내부에 상기 램프와 대응되도록 그 단면이 부분 원호 형상으로 돌출된 중심 돌기부가 형성되고, 상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 상기 램프의 후방에 설치되며, 상기 몸체의 내부에 설치되고, 상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 멀어지는 방향으로 상기 몸체의 길이 방향을 기준으로 제 3 경사각로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 몸체는 상기 반사 오목부의 상부와 하부에 각각 수평 방향으로 길게 연장되는 연장부가 형성되고, 상기 램프는 상기 몸체의 내부에 설치되고, 상기 반사 오목부는, 단면의 형상이 상기 램프를 기준으로 오목한 포물선 형상이며, 상기 포물선 형상의 내부에 상기 램프와 대응되도록 그 단면이 부분 원호 형상으로 돌출된 중심 돌기부가 형성되고, 상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 상기 램프의 후방에 설치되며, 상기 몸체의 내부에 설치되고, 상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 멀어지는 방향으로 상기 몸체의 길이 방향을 기준으로 제 4 경사각로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 몸체는 상기 반사 오목부의 상부와 하부에 각각 수평 방향을 기준으로 제 5 틸트각으로 경사지게 연장되는 경사 연장부가 형성되고, 상기 램프는 상기 몸체의 내부에 설치되고, 상기 반사 오목부는, 단면의 형상이 상기 램프를 기준으로 오목한 포물선 형상이며, 상기 포물선 형상의 내부에 상기 램프와 대응되도록 그 단면이 부분 원호 형상으로 돌출된 중심 돌기부가 형성되고, 상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 상기 램프의 후방에 설치되며, 상기 몸체의 내부에 설치되고, 상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 멀어지는 방향으로 상기 몸체의 길이 방향을 기준으로 제 5 경사각로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 램프는 유기발광소자용 유기물을 제거할 수 있는 IPL(Intense Pulse Light) 세정광을 조사할 수 있는 제논 램프일 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 세정광이 조사되는 조사 영역의 광균일도를 향상시켜서 마스크의 국부적인 가열이나 연소나 변질 현상 등을 방지하여 넓은 부분을 안정적으로 세정할 수 있게 하고, 이를 통해서 고품질의 마스크 세정 작업을 가능하게 하는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 세정광 리플렉터를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 세정광 리플렉터를 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 1의 세정광 리플렉터를 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 세정광 리플렉터를 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 4의 세정광 리플렉터를 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 4의 세정광 리플렉터를 나타내는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 세정광 리플렉터를 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 7의 세정광 리플렉터를 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 7의 세정광 리플렉터를 나타내는 평면도이다.
도 10은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 세정광 리플렉터를 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 10의 세정광 리플렉터를 나타내는 단면도이다.
도 12는 도 10의 세정광 리플렉터를 나타내는 평면도이다.
도 13은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 세정광 리플렉터를 나타내는 사시도이다.
도 14는 도 13의 세정광 리플렉터를 나타내는 단면도이다.
도 15는 도 13의 세정광 리플렉터를 나타내는 평면도이다.
도 16은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 세정광 리플렉터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 17은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 세정광 리플렉터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 18은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 세정광 리플렉터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 19는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 세정광 리플렉터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 20은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 세정광 리플렉터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 21은 본 발명의 여러 실시예들의 목표 조사 영역의 조도 및 광균일도(광효율)들을 비교한 도면이다.
도 22는 도 21의 근거 자료를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 세정광 리플렉터(100)를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 세정광 리플렉터(100)를 나타내는 단면도이고, 도 3은 도 1의 세정광 리플렉터(100)를 나타내는 평면도이다.
먼저, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 세정광 리플렉터(100)는, 크게 몸체(110)와, 제 1 반사 날개부(120) 및 제 2 반사 날개부(130)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 몸체(110)는, 봉상의 램프(1)에서 발생되는 세정광(L)을 세정 대상물 방향으로 균일하게 반사시킬 수 있도록 상기 램프(1)와 대응되는 형상으로 일단부에서 타단부까지 가로 방향으로 길게 반사 오목부(C)가 형성되는 일종의 하프 파이프 형태의 구조체일 수 있다.
여기서, 상기 램프(1)는 FMM이나 마스크나 쉐도우마스크 같은 마스크 상에 잔류하는 유기발광소자용 유기물을 제거할 수 있도록 펄스파 전원을 인가받아서 IPL(Intense Pulse Light) 세정광을 조사할 수 있는 제논 램프 등의 플래쉬 램프일 수 있다.
또한, 여기서, 이러한 상기 몸체(110)는, 상기 램프(1)에서 발생된 상기 세정광(L)에 대한 반사율이 높은 고반사율의 금속 재질이나, 표면에 고반사율의 금속층이 형성된 수지 재질이나, 유리나 쿼츠나 세라믹이나 브래그 반사층 등의 다층 반사 구조 등의 재질은 물론이고, 기타 방열성이 우수한 다양한 방열 재질 등이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 반사 날개부(120)는, 상기 세정광(L)의 일단부 균일도를 향상시킬 수 있도록 상기 몸체(110)의 상기 일단부에 세로 방향으로 길게 설치되는 일종의 블레이드 구조체일 수 있다.
여기서, 이러한 상기 제 1 반사 날개부(120)는 상기 몸체(110)의 재질과 동일한 재질을 사용할 수 있다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않고 반사율이 다른 재질을 사용하는 것도 가능하다.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 반사 날개부(130)는, 상기 세정광(L)의 타단부 균일도를 향상시킬 수 있도록 상기 몸체(110)의 상기 타단부에 세로 방향으로 길게 설치되는 일종의 블레이드 구조체일 수 있다.
따라서, 상기 제 1 반사 날개부(120) 및 상기 제 2 반사 날개부(130)를 이용하여 전체적으로 사각형인 세정광 조사 영역의 양단부 광균일도를 향상시켜서 광효율을 높이고, 그만큼 에러율을 줄일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 램프(1)는 상기 몸체(110)의 내부에 설치되고, 상기 반사 오목부(C)는 그 단면의 형상이 상기 램프(1)를 기준으로 오목한 포물선 형상이며, 상기 제 1 반사 날개부(120)와 상기 제 2 반사 날개부(130)는 상기 램프(1)의 전방에 설치되고, 상기 몸체(110)의 내부에 설치되며, 상기 제 1 반사 날개부(120)와 상기 제 2 반사 날개부(130)는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 좁아지는 방향으로 상기 몸체(110)의 길이 방향을 기준으로 제 1 경사각(K1)로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치될 수 있다.
이러한 본 발명의 제 1 실시예는 반복적인 시뮬레이션을 통해서 가상 및 실질적으로 측정해 보았을 때, 광균일도를 향상시킬 수 있는 결과물들을 분석하여 최종 Concept 1으로 확정된 것으로서, 후술될 도 16에서 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 세정광 리플렉터(200)를 나타내는 사시도이고, 도 5는 도 4의 세정광 리플렉터(200)를 나타내는 단면도이고, 도 6은 도 4의 세정광 리플렉터(200)를 나타내는 평면도이다.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 세정광 리플렉터(200)의 상기 램프(1)는 상기 몸체(210)의 내부에 설치되고, 상기 반사 오목부(C)는, 단면의 형상이 상기 램프(1)를 기준으로 오목한 포물선 형상이며, 상기 제 1 반사 날개부(220)와 상기 제 2 반사 날개부(230)는 상기 램프(1)의 전방에 설치되고, 상기 몸체(210)로부터 제 2 간격(S2)으로 이격된 상기 몸체(210)의 외부에 설치되며, 상기 제 1 반사 날개부(220)와 상기 제 2 반사 날개부(230)는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 좁아지는 방향으로 상기 몸체(210)의 길이 방향을 기준으로 제 2 경사각(K2)로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치될 수 있다.
따라서, 상기 제 1 반사 날개부(220) 및 상기 제 2 반사 날개부(230)를 이용하여 전체적으로 사각형인 세정광 조사 영역의 양단부 광균일도를 향상시켜서 광효율을 높이고, 그만큼 에러율을 줄일 수 있다.
이러한 본 발명의 제 2 실시예는 반복적인 시뮬레이션을 통해서 가상 및 실질적으로 측정해 보았을 때, 광균일도를 향상시킬 수 있는 결과물들을 분석하여 최종 Concept 2로 확정된 것으로서, 후술될 도 17에서 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 세정광 리플렉터(300)를 나타내는 사시도이고, 도 8은 도 7의 세정광 리플렉터(300)를 나타내는 단면도이고, 도 9는 도 7의 세정광 리플렉터(300)를 나타내는 평면도이다.
도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 세정광 리플렉터(300)의 램프(1)는 제 3 간격(S3)으로 상기 몸체(310)의 외부에 설치되고, 상기 반사 오목부(C)는, 단면의 형상이 상기 램프(1)를 기준으로 오목한 포물선 형상이며, 상기 포물선 형상의 내부에 상기 램프(1)와 대응되도록 그 단면이 부분 원호 형상으로 돌출된 중심 돌기부(T)가 형성되고, 상기 제 1 반사 날개부(320)와 상기 제 2 반사 날개부(330)는 상기 램프(1)의 후방에 설치되며, 상기 몸체(310)의 내부에 설치되고, 상기 제 1 반사 날개부(320)와 상기 제 2 반사 날개부(330)는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 멀어지는 방향으로 상기 몸체(310)의 길이 방향을 기준으로 제 3 경사각(K3)로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치될 수 있다.
따라서, 상기 제 1 반사 날개부(320) 및 상기 제 2 반사 날개부(330)를 이용하여 전체적으로 사각형인 세정광 조사 영역의 양단부 광균일도를 향상시켜서 광효율을 높이고, 그만큼 에러율을 줄일 수 있다.
이러한 본 발명의 제 3 실시예는 반복적인 시뮬레이션을 통해서 가상 및 실질적으로 측정해 보았을 때, 광균일도를 향상시킬 수 있는 결과물들을 분석하여 최종 Concept 3로 확정된 것으로서, 후술될 도 18에서 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 10은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 세정광 리플렉터(400)를 나타내는 사시도이고, 도 11은 도 10의 세정광 리플렉터(400)를 나타내는 단면도이고, 도 12는 도 10의 세정광 리플렉터(400)를 나타내는 평면도이다.
도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 세정광 리플렉터(400)의 몸체(410)는 상기 반사 오목부(C)의 상부와 하부에 각각 수평 방향으로 길게 연장되는 연장부(440)가 형성되고, 상기 램프(1)는 상기 몸체(410)의 내부에 설치되고, 상기 반사 오목부(C)는, 단면의 형상이 상기 램프(1)를 기준으로 오목한 포물선 형상이며, 상기 포물선 형상의 내부에 상기 램프(1)와 대응되도록 그 단면이 부분 원호 형상으로 돌출된 중심 돌기부(T)가 형성되고, 상기 제 1 반사 날개부(420)와 상기 제 2 반사 날개부(430)는 상기 램프(1)의 후방에 설치되며, 상기 몸체(410)의 내부에 설치되고, 상기 제 1 반사 날개부(420)와 상기 제 2 반사 날개부(430)는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 멀어지는 방향으로 상기 몸체(410)의 길이 방향을 기준으로 제 4 경사각(K4)로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치될 수 있다.
따라서, 상기 제 1 반사 날개부(420) 및 상기 제 2 반사 날개부(430)를 이용하여 전체적으로 사각형인 세정광 조사 영역의 양단부 광균일도를 향상시켜서 광효율을 높이고, 그만큼 에러율을 줄일 수 있다.
이러한 본 발명의 제 4 실시예는 반복적인 시뮬레이션을 통해서 가상 및 실질적으로 측정해 보았을 때, 광균일도를 향상시킬 수 있는 결과물들을 분석하여 최종 Concept 4로 확정된 것으로서, 후술될 도 19에서 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 13은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 세정광 리플렉터(500)를 나타내는 사시도이고, 도 14는 도 13의 세정광 리플렉터(500)를 나타내는 단면도이고, 도 15는 도 13의 세정광 리플렉터(500)를 나타내는 평면도이다.
도 13 내지 도 15에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 5 실시예에 따른 세정광 리플렉터(500)의 몸체(510)는 상기 반사 오목부(C)의 상부와 하부에 각각 수평 방향을 기준으로 제 5 틸트각(Q5)으로 경사지게 연장되는 경사 연장부(540)가 형성되고, 상기 램프(1)는 상기 몸체(510)의 내부에 설치되고, 상기 반사 오목부(C)는, 단면의 형상이 상기 램프(1)를 기준으로 오목한 포물선 형상이며, 상기 포물선 형상의 내부에 상기 램프(1)와 대응되도록 그 단면이 부분 원호 형상으로 돌출된 중심 돌기부(T)가 형성되고, 상기 제 1 반사 날개부(520)와 상기 제 2 반사 날개부(530)는 상기 램프(1)의 후방에 설치되며, 상기 몸체(510)의 내부에 설치되고, 상기 제 1 반사 날개부(520)와 상기 제 2 반사 날개부(530)는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 멀어지는 방향으로 상기 몸체(510)의 길이 방향을 기준으로 제 5 경사각(K5)로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치될 수 있다.
따라서, 상기 제 1 반사 날개부(520) 및 상기 제 2 반사 날개부(530)를 이용하여 전체적으로 사각형인 세정광 조사 영역의 양단부 광균일도를 향상시켜서 광효율을 높이고, 그만큼 에러율을 줄일 수 있다.
이러한 본 발명의 제 5 실시예는 반복적인 시뮬레이션을 통해서 가상 및 실질적으로 측정해 보았을 때, 광균일도를 향상시킬 수 있는 결과물들을 분석하여 최종 Concept 5로 확정된 것으로서, 후술될 도 20에서 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 16은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 세정광 리플렉터(100)의 일례를 나타내는 도면이고, 도 17은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 세정광 리플렉터(200)의 일례를 나타내는 도면이고, 도 18은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 세정광 리플렉터(300)의 일례를 나타내는 도면이고, 도 19는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 세정광 리플렉터(400)의 일례를 나타내는 도면이고, 도 20은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 세정광 리플렉터(500)의 일례를 나타내는 도면이다.
도 16 내지 도 20에 도시된 바와 같이, Concept 1 내지 Concept 5는 일반적인 제논 램프의 길이에 맞추어서 설계되고, 각각의 각도와 길이 역시 최적화된 것으로서, 이러한 설계를 반영하여 각각의 도면들은 그 시뮬레이션된 광경로들이 표시될 수 있다.
도 21은 본 발명의 여러 실시예들에 따른 세정광 리플렉터(100)(200)(300)(400)(500)의 목표 조사 영역의 조도 및 광균일도(광효율)들을 비교한 도면이다.
도 16 내지 도 20에서 제시된 설계 조건들에 따라 도 21에 도시된 바와 같이 시뮬레이션된 결과를 요약해 보면, 다음과 같다.
즉, 도 21에 도시된 바와 같이, Concept 1 내지 Concept 5를 각각 시뮬레이션해서 목표 조사 영역(가로 길이는 450mm, 세로 길이는 100 mm인 직사각형 영역)에 대한 조도값을 전체적으로 확인해 보면, 상술된 제 1 반사 날개부 및 제 2 반사 날개부가 있는 경우("좌우Mirror ON")가 제 1 반사 날개부 및 제 2 반사 날개부가 없는 경우("좌우Mirror OFF") 보다 에러율은 낮으면서 광효율이 높은 것을 확인할 수 있다.
예컨대, Concept 1은 "좌우Mirror ON"인 경우, "좌우Mirror OFF" 인 경우 보다, 에러율은 10.75%에서 8.45%로 줄어들고, 반면에 광효율은 44.2%에서 44.9%로 향상되었음을 확인할 수 있다.
이러한 에러율 감소와 광효율 증대 현상은 조도에 따라 조도가 높을수록 따뜻한 계열인 붉은 색깔로 나타내는 화상 사진으로도 표현될 수 있는 것으로서, 나머지 모든 Concept들에서 나타나는 형상으로 본 발명의 효과가 수치적으로나 화상 사진으로도 입증됨을 알 수 있다.
여기서, 도 22는 도 21의 근거 자료를 나타내는 도면으로서, Concept 1의 에러율과 광효율을 산출하는 데에 적용된 수식과 수치의 일례를 근거로 제시한다. 나머지 Concept들도 이러한 원리와 동일한 수식과 수치를 이용하여 반복 산출된 것으로서, 상세 자료는 생략하기로 한다.
그러므로, 세정광이 조사되는 조사 영역의 광균일도를 향상시켜서 마스크의 국부적인 가열이나 연소나 변질 현상 등을 방지하여 넓은 부분을 안정적으로 세정할 수 있게 하고, 이를 통해서 고품질의 마스크 세정 작업을 가능하게 할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 램프
L: 세정광
C: 반사 오목부
110: 몸체
120: 제 1 반사 날개부
130: 제 2 반사 날개부
K1: 제 1 경사각
210: 몸체
220: 제 1 반사 날개부
230: 제 2 반사 날개부
S2: 제 2 간격
K2: 제 2 경사각
310: 몸체
320: 제 1 반사 날개부
330: 제 2 반사 날개부
S3: 제 2 간격
K3: 제 2 경사각
T: 중앙 돌기부
410: 몸체
420: 제 1 반사 날개부
430: 제 2 반사 날개부
440: 연장부
K4: 제 4 경사각
510: 몸체
520: 제 1 반사 날개부
530: 제 2 반사 날개부
540: 경사 연장부
100, 200, 300, 400, 500: 세정광 리플렉터

Claims (7)

  1. 봉상의 램프에서 발생되는 세정광을 세정 대상물 방향으로 균일하게 반사시킬 수 있도록 상기 램프와 이격되어 상기 램프와 대응되는 형상으로 일단부에서 타단부까지 가로 방향으로 길게 반사 오목부가 형성되는 몸체;
    상기 세정광의 일단부 균일도를 향상시킬 수 있도록 상기 몸체의 상기 일단부에 세로 방향으로 길게 설치되는 제 1 반사 날개부; 및
    상기 세정광의 타단부 균일도를 향상시킬 수 있도록 상기 몸체의 상기 타단부에 세로 방향으로 길게 설치되는 제 2 반사 날개부;를 포함하고,
    상기 제 1 반사 날개부 및 상기 제 2 반사 날개부는, 전체적으로 사각형인 상기 세정광의 조사 영역 양단부의 광균일도를 향상시키는, 세정광 리플렉터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 램프는 상기 몸체의 내부에 설치되고,
    상기 반사 오목부는 그 단면의 형상이 상기 램프를 기준으로 오목한 포물선 형상이며,
    상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 상기 램프의 전방에 설치되고, 상기 몸체의 내부에 설치되며,
    상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 좁아지는 방향으로 상기 몸체의 길이 방향을 기준으로 제 1 경사각으로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치되는, 세정광 리플렉터.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 램프는 상기 몸체의 내부에 설치되고,
    상기 반사 오목부는, 단면의 형상이 상기 램프를 기준으로 오목한 포물선 형상이며,
    상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 상기 램프의 전방에 설치되고, 상기 몸체로부터 제 2 간격으로 이격된 상기 몸체의 외부에 설치되며,
    상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 좁아지는 방향으로 상기 몸체의 길이 방향을 기준으로 제 2 경사각으로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치되는, 세정광 리플렉터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 램프는 상기 몸체의 외부에 설치되고,
    상기 반사 오목부는, 단면의 형상이 상기 램프를 기준으로 오목한 포물선 형상이며,
    상기 포물선 형상의 내부에 상기 램프와 대응되도록 그 단면이 부분 원호 형상으로 돌출된 중심 돌기부가 형성되고,
    상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 상기 램프의 후방에 설치되며, 상기 몸체의 내부에 설치되고,
    상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 멀어지는 방향으로 상기 몸체의 길이 방향을 기준으로 제 3 경사각으로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치되는, 세정광 리플렉터.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 몸체는 상기 반사 오목부의 상부와 하부에 각각 수평 방향으로 길게 연장되는 연장부가 형성되고,
    상기 램프는 상기 몸체의 내부에 설치되고,
    상기 반사 오목부는, 단면의 형상이 상기 램프를 기준으로 오목한 포물선 형상이며,
    상기 포물선 형상의 내부에 상기 램프와 대응되도록 그 단면이 부분 원호 형상으로 돌출된 중심 돌기부가 형성되고,
    상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 상기 램프의 후방에 설치되며, 상기 몸체의 내부에 설치되고,
    상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 멀어지는 방향으로 상기 몸체의 길이 방향을 기준으로 제 4 경사각으로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치되는, 세정광 리플렉터.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 몸체는 상기 반사 오목부의 상부와 하부에 각각 수평 방향을 기준으로 제 5 틸트각으로 경사지게 연장되는 경사 연장부가 형성되고,
    상기 램프는 상기 몸체의 내부에 설치되고,
    상기 반사 오목부는, 단면의 형상이 상기 램프를 기준으로 오목한 포물선 형상이며,
    상기 포물선 형상의 내부에 상기 램프와 대응되도록 그 단면이 부분 원호 형상으로 돌출된 중심 돌기부가 형성되고,
    상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 상기 램프의 후방에 설치되며, 상기 몸체의 내부에 설치되고,
    상기 제 1 반사 날개부와 상기 제 2 반사 날개부는 그 폭 방향이 상기 세정 대상물에 가까워질수록 서로 멀어지는 방향으로 상기 몸체의 길이 방향을 기준으로 제 5 경사각으로 각각 기울어지게 서로 대칭적으로 설치되는, 세정광 리플렉터.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 램프는 유기발광소자용 유기물을 제거할 수 있는 IPL(Intense Pulse Light) 세정광을 조사할 수 있는 제논 램프인, 세정광 리플렉터.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101715619B1 (ko) * 2016-07-25 2017-03-15 (주)휴메릭 조명 장치

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