KR102014280B1 - Connector assembly, susbtrate supporting unit, and susbtrate processing apparatus having the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치에 관한 것이다.
본 발명은, 일단에 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와; 타단에 외부전극단자가 결합되며 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와; 제1연결부재의 타단 및 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와; 제1연결부재 및 제2연결부재의 타단에서 제1전극단자를 사이에 두고 제1연결부재 및 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체를 개시한다.The present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a connector assembly, a substrate support, and a substrate processing apparatus having the same.
According to an aspect of the present invention, there is provided a display apparatus comprising: a first connecting member having a first electrode terminal movably coupled in a longitudinal direction at one end thereof and exposing a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal; A second connection member coupled to the other end and coupled to the first connection member to cover an outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed from the first connection member; A fastening member inserted into the first coupling hole and the second coupling hole respectively formed at the other end of the first connection member and the other end of the second connection member to fasten the first connection member and the second connection member; And a separation prevention part for keeping the first connection member and the second connection member coupled to each other with the first electrode terminal at the other end of the first connection member and the second connection member. Initiate the assembly.
Description
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a connector assembly, a substrate support, and a substrate processing apparatus having the same.
기판처리장치는, 밀폐된 처리공간을 가지는 공정챔버와, 공정챔버 내에 설치된 기판지지대에 기판을 안착시킨 상태에서 증착, 에칭 등의 기판처리를 수행하는 장치이다.The substrate processing apparatus is a device that performs substrate processing such as deposition and etching in a state in which a substrate is placed on a substrate support provided in the process chamber and a substrate having a closed processing space.
한편 공정챔버 내에 설치되는 기판지지대는, 기판의 가열을 위한 히터, 온도센서, 플라즈마 형성을 위한 하부전극 등의 내부부재가 설치될 수 있으며, 이러한 내부부재는, 전원공급, 제어 등을 위하여 외부에 설치된 장치들과 연결될 필요가 있다.Meanwhile, the substrate support installed in the process chamber may include internal members such as a heater for heating the substrate, a temperature sensor, and a lower electrode for plasma formation. Such internal members may be externally provided for power supply and control. It needs to be connected with the installed devices.
따라서 기판지지대는, 하측으로 연장되는 중공형 샤프트 내부에서 하단으로 연장시켜 공정챔버의 외부로 제1전극단자를 노출시켜 커넥터 조립체에 의하여 외부전극단자와 전기적으로 연결한다.Accordingly, the substrate support extends downwardly from the inside of the hollow shaft extending downward to expose the first electrode terminal to the outside of the process chamber and is electrically connected to the external electrode terminal by the connector assembly.
한편 공정챔버 내에서 기판처리가 수행될 때 고온환경으로 인하여 제1전극단자 등이 열변형이 발생될 수 있으며 제1전극단자 및 외부전극단자의 연결시 열변형을 고려하여 연결될 필요가 있다.On the other hand, when the substrate treatment is performed in the process chamber, the first electrode terminal and the like may be thermally deformed due to the high temperature environment, and the first electrode terminal and the external electrode terminal need to be connected in consideration of the thermal deformation.
또한 제1전극단자는 중공형 샤프트 등에 브레이징을 통하여 고정되는데 외부전극단자와의 결합시 충격에 의하여 브레이징이 파손되는 문제점이 있다. In addition, the first electrode terminal is fixed through a brazing such as a hollow shaft, there is a problem that the brazing is broken by the impact when the external electrode terminal is coupled.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여, 기판처리장치의 내부에 설치된 제1전극단자와 외부장치와 연결된 외부전극단자를 연결하는 커넥터 조립체를 간소화하여 그 연결작업이 용이하며 외부충격을 최소화할 수 있는 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to simplify the connector assembly for connecting the first electrode terminal installed in the substrate processing apparatus and the external electrode terminal connected to the external device in order to solve the above problems, the connection work is easy and the external impact The present invention provides a connector assembly, a substrate support, and a substrate processing apparatus having the same, which can be minimized.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 기판처리장치의 내부에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결되는 하나 이상의 제1전극단자와, 외부전원과의 전기적으로 연결되는 상기 외부전극단자를 전기적으로 연결하는 커넥터 조립체로서, 일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와; 타단에 상기 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와; 상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와; 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체를 개시한다.The present invention was created in order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention, at least one first electrode terminal electrically connected to the internal member installed inside the substrate processing apparatus, and the electrical power source A connector assembly for electrically connecting the external electrode terminal to be connected, comprising: a first connection member coupled to a first end of the first electrode terminal in a longitudinal direction and exposing a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal; A second connection member coupled to the other end and coupled to the first connection member to cover an outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed from the first connection member; A fastening member inserted into the first coupling hole and the second coupling hole respectively formed at the other end of the first connection member and the other end of the second connection member to fasten the first connection member and the second connection member; And a separation preventing part for maintaining the first connection member and the second connection member in a coupled state with the first electrode terminal interposed therebetween at one end of the first connection member and the second connection member. A connector assembly of a substrate processing apparatus is disclosed.
상기 이격방지부는, 상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함할 수 있다.The space preventing part may include a fixing groove formed at one end of the first connecting member and a fixing step portion formed at one end of the second connecting member and inserted into the fixing groove.
상기 이격방지부는, 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 외주면에 결합되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합시키는 결합부재를 포함할 수 있다.The space preventing part is coupled to an outer circumferential surface of the first connection member and the second connection member at one end of the first connection member and the second connection member to couple the first connection member and the second connection member. It may include a member.
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성할 수 있다.The first connection member and the second connection member may form one of a cylinder, an elliptical cylinder, and a polygonal cylinder in which a portion of the side is cut in the longitudinal direction in a coupled state.
상기 커넥터 조립체는, 상기 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합면에 상기 제1전극단자가 면접촉되도록 상기 제1연결부재 및 제2연결부재 중 적어도 하나에 상기 제1전극단자가 삽입되는 홈부가 형성될 수 있다.The connector assembly may include inserting the first electrode terminal into at least one of the first connection member and the second connection member such that the first electrode terminal is in surface contact with the mating surface of the first connection member and the second connection member. Grooves may be formed.
본 발명은 또한 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판처리장치의 기판지지대로서, 기판이 안착되는 안착플레이트와; 상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와; 상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와; 상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와; 상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며; 상기 커넥터 조립체는, 일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와, 타단에 상기 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와, 상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와, 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대를 개시한다.The present invention also provides a substrate support of the substrate processing apparatus is installed in the process chamber to form a closed processing space, the substrate is mounted, the mounting plate on which the substrate is seated; At least one inner member provided in the seating plate; A hollow shaft extending below the seating plate; At least one first electrode terminal electrically connected to the inner member and exposed under the hollow shaft; At least one connector assembly electrically connected to the first electrode terminal and an external power source; The connector assembly may include a first connection member coupled to a first end of the first electrode terminal in a longitudinal direction and exposed to a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal, and coupled to the other end of the first electrode terminal. A second coupling member coupled to the first connecting member to cover the outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed from the first connecting member, and a first coupling formed at the other end of the first connecting member and the other end of the second connecting member, respectively. A fastening member inserted into a ball and a second coupling hole to fasten the first connection member and the second connection member, and between the first electrode terminal at one end of the first connection member and the second connection member; Disclosed is a substrate support of a substrate processing apparatus including a space preventing portion for maintaining the first connection member and the second connection member in a coupled state.
상기 이격방지부는, 상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.The separation preventing part may include a fixing groove formed at one end of the first connection member and a fixing step portion formed at one end of the second connection member and inserted into the fixing groove. .
상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며, 상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함할 수 있다.The connector assembly may be provided in plurality, and may further include an insulating member having a plurality of insertion holes formed therein to mutually insulate the plurality of connector assemblies.
상기 절연부재는 상기 삽입공에 삽입된 상기 체결부재에 대응되는 위치에 상기 체결부재가 외부로 노출되도록 관통부가 형성될 수 있다.The insulating member may have a through portion formed to expose the fastening member to a position at a position corresponding to the fastening member inserted into the insertion hole.
상기 커넥터 조립체가 상기 절연부재의 삽입공 내에서 회전되는 것을 방지하기 위한 회전방지수단을 추가로 포함할 수 있다.The connector assembly may further include a rotation preventing means for preventing the rotation of the connector assembly in the insertion hole of the insulating member.
상기 회전방지수단은, 상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 어느 하나가 회전방지돌기가 길이방향을 따라서 형성되고, 상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 나머지 하나가 상기 회전방지돌기가 삽입되는 돌기홈부가 형성될 수 있다.The anti-rotation means is any one of the insertion hole of the connector assembly or the insulating member is formed along the longitudinal direction of the anti-rotation projection, the other of the insertion hole of the connector assembly or the insulating member is the anti-rotation projection Protruding groove portion to be inserted may be formed.
상기 회전방지수단은 상기 절연부재의 삽입공의 상기 길이방향에 대한 수직 단면이 이루는 다각형상 또는 타원형상과, 제1연결부재와 상기 제2연결부재가 결합된 상태에서 상기 커넥터 조립체의 길이방향에 대한 수직 단면이 상기 삽입공의 수직 단면에 대응되도록 형성된 형상을 포함 수 있다.The anti-rotation means is a polygonal or elliptical shape formed by a vertical cross section with respect to the longitudinal direction of the insertion hole of the insulation member, and in the longitudinal direction of the connector assembly in a state in which the first connection member and the second connection member are coupled. The vertical cross section may include a shape formed to correspond to the vertical cross section of the insertion hole.
본 발명은 또한 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와; 상기 공정챔버에 설치되어 처리공간으로 가스를 분사하는 가스분사부와; 상기와 같은 구성을 가지는 기판지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 개시한다.The invention also provides a process chamber for forming a closed processing space; A gas injection unit installed in the process chamber to inject gas into the processing space; Disclosed is a substrate processing apparatus comprising a substrate support having the above configuration.
본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 내부에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결된 제1전극단자를 외부장치와 전기적으로 연결된 외부전극단자를 연결함에 있어서, 외부전극단자와 연결된 제1연결부재와 제2연결부재 사이에 제1전극단자를 두고 체결부재에 의하여 제1연결부재 및 제2연결부재를 결합시킴으로써 제1전극단자 및 제2자의 전기적 연결 및 분리구조가 간단하고 편리한 이점이 있다.The connector assembly, the substrate support, and the substrate processing apparatus having the same according to the present invention connect the first electrode terminal electrically connected to the internal member installed therein to the external electrode terminal electrically connected to the external device. The electrical connection and disconnection structure of the first electrode terminal and the second electrode is simple and convenient by having the first electrode terminal between the first connection member and the second connection member and joining the first connection member and the second connection member by the fastening member. There is an advantage.
특히 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재 및 제2연결부재가 제1전극단자의 길이방향을 따라서 설치됨으로써 횡방향 폭을 최소화함으로써, 다수의 커넥터 조립체들이 설치되는 등 협소한 공간 내에서도 사용이 가능한 이점이 있다.In particular, the connector assembly, the substrate support and the substrate processing apparatus having the same according to the present invention, the first connecting member and the second connecting member is installed along the longitudinal direction of the first electrode terminal, thereby minimizing the width of the plurality of connector assembly There is an advantage that can be used even in a narrow space, such as installed.
또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재에 의하여 제1전극단자의 일부가 노출되도록 하고, 제1전극단자의 노출된 부분을 제2연결부재가 커버하면서 제1연결부재와 결합됨으로써 조립 및 분리가 편리한 이점이 있다.In addition, the connector assembly, the substrate support and the substrate processing apparatus having the same according to the present invention, a portion of the first electrode terminal is exposed by the first connection member, the second connection member covers the exposed portion of the first electrode terminal While being combined with the first connection member has the advantage of convenient assembly and separation.
한편 종래에는 제1전극단자 및 외부전극단자는 굽어진 'U'자 구조의 결합부재에 의하여 전기적으로 연결되었는데 결합구조의 분리시 결합시 결합부재가 변형된 상태에서 복원되지 않아 집게 등을 사용하여 분리 작업이 번거로운 문제점이 있으나, 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 체결부재의 분리를 통하여 제1연결부재 및 제2연결부재의 분리가 가능하여 분리작업이 용이한 이점이 있다.Meanwhile, in the related art, the first electrode terminal and the external electrode terminal are electrically connected by a bent 'U'-shaped coupling member. When the coupling structure is separated, the coupling member is not restored in a deformed state, and thus it is used by forceps. Although there is a problem in that the separating operation is cumbersome, the connector assembly, the substrate support, and the substrate treating apparatus having the same according to the present invention are capable of separating the first connection member and the second connection member through the separation of the fastening member, and thus the separation operation is easy. There is an advantage.
또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재, 제2연결부재 및 체결부재로 구성되는 커넥터 조립체에 의하여 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결함으로써 제1전극단자의 열변형의 흡수가 가능하여 보다 안정적으로 제1전극단자 및 외부전극단자를 전기적으로 연결할 수 있는 이점이 있다.In addition, the connector assembly, the substrate support and the substrate processing apparatus having the same according to the present invention, by connecting the first electrode terminal and the external electrode terminal by the connector assembly consisting of the first connecting member, the second connecting member and the fastening member Since the heat deformation of the electrode terminal is possible, there is an advantage in that the first electrode terminal and the external electrode terminal can be electrically connected more stably.
또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재, 제2연결부재 및 체결부재로 구성되는 커넥터 조립체에 의하여 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결함으로써, 체결부재의 간단한 조작에 의하여 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합 및 분리시 제1전극단자 및 외부전극단자의 전기적 연결작업이 용이한 이점이 있다.In addition, the connector assembly, the substrate support and the substrate processing apparatus having the same according to the present invention, by connecting the first electrode terminal and the external electrode terminal by the connector assembly consisting of the first connection member, the second connection member and the fastening member, By the simple operation of the member there is an advantage that the electrical connection work of the first electrode terminal and the external electrode terminal when the first connection member and the second connection member is coupled and separated easily.
또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재, 제2연결부재 및 체결부재로 구성되는 커넥터 조립체에 의하여 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결하고, 제2연결부재에 제1연결부재의 타단이 길이방향으로 삽입되는 삽입부를 형성하여 볼트와 같은 체결부재에 의하여 제1연결부재 및 제2연결부재를 연결할 때 제1연결부재가 제2연결부재의 삽입부에 삽입됨으로써 체결부재의 반대쪽에서 제1결합부재 및 제2결합부재가 서로 벌어지는 것을 방지하여 제1전극단자 및 외부전극단자의 견고한 결합이 가능한 이점이 있다.In addition, the connector assembly, the substrate support and the substrate processing apparatus having the same according to the present invention, by connecting the first electrode terminal and the external electrode terminal by a connector assembly consisting of a first connection member, a second connection member and a fastening member, When the other end of the first connecting member is inserted into the connecting member in the longitudinal direction, the first connecting member is inserted into the second connecting member when the first connecting member and the second connecting member are connected by a fastening member such as a bolt. Insertion into the portion prevents the first coupling member and the second coupling member from being spaced apart from each other on the opposite side of the fastening member, so that the first electrode terminal and the external electrode terminal can be firmly coupled.
도 1은, 본 발명에 따른 기판처리장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는, 도 1의 기판처리장치 중 커넥터 조립체를 상세히 보여주는 일부단면도이다.
도 3은, 도 2의 커넥터 조립체를 보여주는 분해 사시도이다.
도 4는, 도 3의 커넥터 조립체의 변형예를 보여주는 분해 사시도이다.
도 5는, 도 1의 기판처리장치 중 기판지지대의 저면 일부를 보여주는 저면도이다.
도 6는, 도 5에서 Ⅴ-Ⅴ방향에서 본 단면도이다.
도 7은, 도 5에 도시된 커넥터 조립체를 보여주는 사시도이다.1 is a cross-sectional view showing a substrate processing apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing the connector assembly in the substrate processing apparatus of FIG. 1 in detail.
3 is an exploded perspective view showing the connector assembly of FIG. 2.
4 is an exploded perspective view showing a modification of the connector assembly of FIG. 3.
FIG. 5 is a bottom view illustrating a part of the bottom surface of the substrate support of the substrate processing apparatus of FIG. 1.
FIG. 6 is a cross-sectional view seen from the V-V direction in FIG. 5.
FIG. 7 is a perspective view showing the connector assembly shown in FIG. 5. FIG.
이하 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a connector assembly, a substrate support, and a substrate processing apparatus having the same according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 따른 기판처리장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 공정챔버(100)와, 공정챔버(100) 내에 설치되어 기판(10)이 안착되는 기판지지대(200)와, 기판지지대(200)의 상부에 설치되어 처리공간(S)으로 가스를 분사하는 가스분사부(130)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1, a substrate processing apparatus according to the present invention includes a
상기 공정챔버(100)는, 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 구성으로 다양한 구성이 가능하며, 일예로서, 상부가 개구된 챔버본체(110)와, 챔버본체(110)의 개구를 복개하는 상부리드(120)를 포함할 수 있다.The
상기 챔버본체(110)는, 기판(10)의 도입 및 배출을 위한 하나 이상의 게이트(111)가 형성될 수 있다.The
상기 가스분사부(130)는, 기판지지대(200)의 상부에 설치되어 처리공간(S)으로 가스를 분사하는 구성으로 샤워헤드 등 다양한 구성이 가능하다.The
상기 기판지지대(200)는, 공정챔버(100) 내에 설치되어 기판(10)을 지지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The
일예로서, 상기 기판지지대(200)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(10)이 안착되는 안착플레이트(210)와, 안착플레이트(210)의 하부에 연장되는 중공형 샤프트(220)를 포함할 수 있다.For example, as shown in FIG. 1, the
상기 안착플레이트(210)는, 기판(10)이 안착되는 구성으로 기판(10)의 도입 및 배출이 가능하도록 관통되어 설치되어 상하로 이동되는 리프트핀(미도시)이 설치될 수 있다.The
또한 상기 안착플레이트(210)는, 플라즈마 형성을 위하여 접지 또는 RF전원을 인가하기 위한 하부전극, 가열을 위한 히터, 온도센서 등 하나 이상의 내부부재가 설치될 수 있다.In addition, the
상기 중공형 샤프트(220)는, 안착플레이트(210)의 하부에 연장되어 공정챔버(100)에 설치되는 구성으로, 기판지지대(200)의 구성에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The
구체적으로, 상기 중공형 샤프트(220)는, 공정챔버(100)에 고정되어 설치되거나, 도 1에 도시된 바와 같이, 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 이동되도록 설치될 수 있다.Specifically, the
이때 상기 중공형 샤프트(220)는, 공정챔버(100)의 처리공간(S)의 밀폐를 위하여 벨로우즈(252) 등에 의하여 연결되어 처리공간(S)이 밀폐된 상태에서 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 이동될 수 있다.In this case, the
그리고 상기 벨로우즈(252)의 설치를 위하여, 벨로우즈(252)의 일단이 결합되는 중공형 샤프트(220)에 플렌지(253)가 결합되고, 벨로우즈(252)의 타단이 결합되는 지지부재(251) 등이 설치될 수 있다.And for the installation of the
한편 상기 중공형 샤프트(220)는, 안착플레이트(210)에 설치된 하부전극, 히터, 온도센서 등의 내부부재가 외부장치와 전기적으로 연결될 수 있도록, 내부부재와 전기적으로 연결되는 하나 이상의 제1전극단자(310)가 하부에 노출되며, 제1전극단자(310)는 커넥터 조립체(400)에 의하여 외부전극단자(320)와 연결된다.On the other hand, the
또한 상기 중공형 샤프트(220)는, 제1전극단자(310)의 안정적인 설치를 위하여 그 하단에 제1전극단자(310)가 고정되는 고정플렌지(230)가 설치될 수 있다.In addition, the
그리고 상기 고정플렌지(230)는, 제1전극단자(310)의 안정적인 설치를 위하여 중공형 샤프트(220)의 하단에 제1전극단자(310)가 고정되는 구성으로, 플렌지(253)과 결합되고, 기판지지대(200) 전체를 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 승강이 가능하도록 승강장치(미도시)와 연결될 수 있다.The fixed
상기 고정플렌지(230)는, 중공형 샤프트(220)의 하단으로 연장되어 승강장치와 연결됨으로써 중공형 샤프트(220)를 승하강시켜 기판지지대(200) 전체를 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 승강되도록 한다.The fixed
그리고 중공형 샤프트(220)는, 제1전극단자(310), 외부전극단자(320), 커넥터 조립체(400), 절연부재(540) 등의 설치가 가능하도록 실린더 형상을 가지며 커넥터 조립체(400)의 체결부재(430) 등의 설치 또는 고정을 위하여 측면의 일부가 개방되도록 브리지(231)에 의하여 복수의 개구(232)들이 형성될 수 있다.The
이하 본 발명에 따른 기판처리장치의 커넥터 조립체에 관하여 설명한다.Hereinafter, a connector assembly of a substrate processing apparatus according to the present invention will be described.
본 발명에 따른 기판처리장치의 커넥터 조립체(400)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판처리장치의 기판지지대(200)의 커넥터 조립체(400)로서, 기판처리장치 내에, 특히 기판지지대(200)에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결되는 하나 이상의 제1전극단자(310)와, 외부장치(미도시)와 전기적으로 외부전극단자(320)를 전기적으로 연결함을 특징으로 한다.The
상기 제1전극단자(310)는, 기판처리장치 내에, 특히 기판지지대(200)에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결되는 구성으로 기판지지대(200)의 중공형 샤프트(220)의 길이방향으로 돌출된 로드 형상을 가진다.The
그리고 상기 제1전극단자(310)는, 도 2 내지 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이, 원기둥, 다각기둥 등의 형상을 가질 수 있으며 후술하는 커넥터 조립체(400)에 삽입되는 부분에서 외경이 감소된 단차(315)가 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 2 to 5 and 7, the
이때 상기 단차(315)는, 제1전극단자(310)의 열변형을 고려하여 커넥터 조립체(400)에 삽입된 부분과 간격을 두고 설치됨이 바람직하다.In this case, the
상기 외부전극단자(320)는, 커넥터 조립체(400)에 의하여 외부장치와 전기적으로 연결되는 구성으로서 전기케이블 등의 끝단이 될 수 있다.The
한편 상기 제1전극단자(310)가 복수 개로 설치될 수 있으며, 복수 개의 제1전극단자(310)들에 대응되어 외부전극단자(320) 또한 복수개로 설치될 수 있다.A plurality of
이때 상기 외부전극단자(320)를 이루는 복수의 케이블들은, 결합테이프 등의 결속부재(미도시)에 의하여 하나로 묶인 상태로 설치될 수 있다.In this case, the plurality of cables forming the
상기 커넥터 조립체(400)는, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 전기적으로 연결하는 구성으로, 제1연결부재(410)와, 제2연결부재(420)와, 및 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시키는 체결부재(430)와, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)가 이격되는 것을 방지하는 이격방지부를 포함한다.As shown in FIGS. 3 to 7, the
상기 제1연결부재(410)는, 일단에 제1전극단자(310)가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 제1전극단자(310)의 외주면의 일부분이 노출되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.The
특히 상기 제1연결부재(410)는, 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제2연결부재(420)과 결합됨으로써 제1전극단자(310)의 길이방향의 이동이 가능한 상태로 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 전기적으로 연결하게 된다.In particular, the
구체적으로 상기 제1연결부재(410)는, 일단에서 제1전극단자(310)가 다양한 구조에 의하여 결합될 수 있다.In detail, the
일예로서, 상기 제1연결부재(410)는, 도 3 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1전극단자(310)와의 결합을 위하여 일단에서 제1전극단자(310)가 삽입되어 반대쪽으로 제1전극단자(310)의 외주면의 일부분이 노출되도록 길이방향으로 관통공(417)이 형성됨으로써, 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입된 상태로 제1전극단자(310)가 결합될 수 있다.For example, as shown in FIGS. 3 and 7, the
상기 관통공(417)은, 제1연결부재(410)의 일단에서 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입되어 반대쪽으로 제1전극단자(310)의 외주면의 일부분이 노출되도록 하는 구조이면 어떠한 구조도 가능하다.The through
다른 예로서, 상기 제1연결부재(410)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 일단에서 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 외주면에 결합되어 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시키는 결합부재(418)가 설치됨으로써, 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입된 상태로 제1전극단자(310)가 결합될 수 있다.As another example, the
상기 결합부재(418)는, 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시킴으로써 제1전극단자(310)의 길이방향의 이동이 가능한 상태로 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 사이에 결합되는 구성으로 클램프, 이클립(E-Clip), 서클립(Circlip) 등 다양한 부재가 사용될 수 있다.The
상기 결합부재(418)가 클램프, 이클립(E-Clip), 서클립(Circlip) 등인 경우 도 4에 도시된 바와 같이, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)는 결합부재(418)가 삽입될 수 있는 요홈(419, 429)들이 형성됨이 바람직하다.When the
또한 상기 결합부재(418)는, 후술하는 이격방지부와의 구성을 고려하여 제1연결부재(410)와 일체로 형성되고 제2연결부재(420)의 일단이 삽입되는 구조로 형성될 수도 있음은 물론이다.In addition, the
한편 상기 제1연결부재(410)는, 후술하는 체결부재(430)와의 결합을 위하여 타단에서 제1결합공(411)이 형성된다.On the other hand, the
상기 제1결합공(411)은, 내주면에 암나사부(미도시)가 형성되는 등 체결부재(430)와의 결합구조에 따라서 다양한 구조가 가능하며, 제1전극단자(310)의 길이방향과 수직을 이루는 방향으로 형성된다.The
그리고 상기 제1결합공(411)이 형성된 주변 일부는, 볼트와 같은 체결부재(430)의 원활한 결합을 위하여 평평한 면으로 형성됨이 바람직하다.In addition, a portion of the periphery in which the
상기 제2연결부재(420)는, 타단에 외부전극단자(320)가 결합되며 제1연결부재(410)에서 노출된 제1전극단자(310)의 외주면을 커버하도록 제1연결부재(410)와 결합되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The
상기 제2연결부재(420)는, 외부전극단자(320)와 타단에서 다양한 구조에 의하여 결합될 수 있다.The
일예로서, 상기 제2연결부재(420)는, 타단에서 외부전극단자(320)와의 결합을 위한 외부전극단자연결부(424)가 형성될 수 있다.As an example, the
그리고 상기 외부전극단자연결부(424)는, 외부전극단자(320)의 끝단부분이 삽입되는 단자삽입공(424a)으로 구성될 수 있다.The external
이때 상기 단자삽입공(424a)은, 외부전극단자(320)가 삽입된 후 펜치 등에 의하여 납작하게 변형되어 외부전극단자(320)와 견고하게 결합될 수 있다.In this case, the
또한 상기 외부전극단자연결부(424)는, 후술하는 절연부재(540)와의 결합구조를 고려하여 횡단면적의 크기가 제2연결부재(420)보다 작게, 즉, 제2연결부재(420)와 연결되는 부분에서 단차(425)가 형성됨이 바람직하다.In addition, the external electrode
한편 상기 제2연결부재(420)는, 후술하는 체결부재(430)와의 결합을 위하여 타단에서 제1결합공(411)에 대응되는 위치에 제2결합공(421)이 형성된다.On the other hand, the
상기 제2결합공(421)은, 내주면에 암나사부(미도시)가 형성되는 등 체결부재(430)와의 결합구조에 따라서 다양한 구조가 가능하며, 제1결합공(411)와 같이 제1전극단자(310)의 길이방향과 수직을 이루는 방향으로 형성된다.The
그리고 상기 제2결합공(421)이 형성된 주변 일부는, 볼트와 같은 체결부재(430)의 원활한 결합을 위하여 평평한 면으로 형성됨이 바람직하다.A portion of the periphery where the
한편 상기 제2연결부재(420)는, 일단부터 일정 길이까지 제1연결부재(410)와 함께 그 사이에 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입되도록 이격방지부에 의하여 제1연결부재(410)와 결합된다.On the other hand, the
여기서 상기 이격방지부는, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 일단에서 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합된 상태를 유지시키는 구성으로 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합구조에 따라서 다양한 구조가 가능하다.Here, the separation prevention part, the
일예로서, 상기 이격방지부는, 도 3 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1연결부재(410)의 일단에 형성되어 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입되는 앞서 설명한 관통공(417)과, 제2연결부재(420)의 일단에 형성되는 고정단차부(422)와, 제1연결부재(410)의 일단에 형성되어 고정단차부(422)가 길이방향으로 삽입되는 고정홈부(412)를 포함할 수 있다.As an example, as shown in FIGS. 3 and 7, the gap preventing part is formed at one end of the
상기 고정단차부(422)는, 제2연결부재(420)의 일단에 형성되어 제1연결부재(420)에 형성된 고정홈부(412)에 삽입되는 구조로 다양한 구조가 가능하다.The fixed
특히 상기 고정단차부(422)는, 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 기둥형상임을 고려하여, 외주면 일부가 절개된 형상을 이룰 수 있다.In particular, the fixed
이때 고정홈부(412)는, 고정단차부(422)의 형성을 위하여 절개된 부분에 대응되는 형상을 가지는 부분에 대응되어 형성됨으로써 고정단차부(422)가 원활하게 삽입될 수 있다.At this time, the fixing
상기 고정홈부(412)는, 고정단차부(422)에 대하여 길이방향으로 삽입될 수 있는 구성이면 어떠한 구조도 가능하다.The fixing
일예로서, 상기 고정홈부(412)는, 앞서 설명한 관통공(417)이 형성된 부분에서 고정단차부(422)가 삽입되는 구조로 형성될 수 있다.As an example, the fixing
또 다른 예로서, 도시되지는 않았지만, 상기 고정홈부(412)는, 제1결합부재(410)에서 돌출되어 고정단차부(422)가 끼워질 수 있는 구조로도 형성될 수 있다.As another example, although not shown, the fixing
다른 예로서, 상기 이격방지부는, 앞서 설명한 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합예로서 도 4에 도시된 바와 같이, 일단에서 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 외주면에 결합되어 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시키는 결합부재(418)가 설치됨으로써, 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입된 상태로 제1전극단자(310)가 결합될 수 있다.As another example, the separation prevention part, as shown in FIG. 4 as a coupling example of the
상기 결합부재(418)는, 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시킴으로써 제1전극단자(310)의 길이방향의 이동이 가능한 상태로 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 사이에 결합되는 구성으로 클램프, 이클릭(E-Clip), 서클립(Circlip) 등 다양한 부재가 사용될 수 있다.The
상기와 같은 이격방지부의 구성에 의하여, 후술하는 체결부재(430)에 의하여 타단에서 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 서로 결합될 때 체결부재(430)의 반대쪽에서 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 서로 벌어지는 것을 방지하게 된다.By the configuration of the separation prevention part as described above, when the
한편 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)는, 서로 결합된 상태에서, 원기둥, 타원기둥, 다각기둥 등의 기둥형상을 가진다.On the other hand, the
즉, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)는, 각각 기둥형상에서 길이방향으로 절개된 일부의 형상을 가진다.That is, the
이러한 구조와 관련하여, 상기 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성할 수 있다.In relation to this structure, the
그리고 상기 커넥터 조립체(400)는, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합면에 제1전극단자(310)가 면접촉되도록 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 중 적어도 어느 하나에 제1전극단자(310)가 삽입되는 홈부(413, 423)가 형성될 수 있다.The
구체적으로, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420) 중 적어도 어느 하나는, 제1전극단자(310)의 끝단부분의 일부가 삽입될 수 있도록 제1전극단자(310)의 길이방향 형상의 일부에 대응되는 제1홈부(413) 및 제2홈부(423)가 형성될 수 있다.Specifically, at least one of the
즉, 상기 제1전극단자(310)와 삽입되며 제1전극단자(310)와 면접촉하도록 제1연결부재(410)에 형성된 제1홈부(413)와, 제1전극단자(310)와 삽입되며 제1전극단자(310)와 면접촉하도록 제2연결부재(420)에 형성된 제2홈부(423) 중 적어도 어느 하나가 형성될 수 있다.That is, the
상기 제1홈부(413) 및 제2홈부(423)는, 제1전극단자(310)의 길이방향 형상의 일부에 대응되어 형성됨으로써 제1전극단자(310)가 삽입되는 공간을 형성한다.The
이때 상기 제1홈부(413) 및 제2홈부(423)에 의하여 형성되는 삽입공간은, 제1전극단자(310)가 삽입된 상태에서 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420가 서로 마주보는 면이 간격을 두고 설치될 수 있을 정도로 형성됨이 바람직하다.In this case, the insertion space formed by the
한편 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)는, 체결부재(430)에 의하여 결합될 때 제1전극단자(310)를 견고하게 고정할 수 있도록 체결부재(430)에 의하여 결합되기 전에 서로 마주보는 면들이 간격을 두고 설치되는 것이 바람직하다.Meanwhile, the
상기와 같이, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 체결부재(430)에 의하여 결합되기 전에 서로 마주보는 면들이 간격을 두고 설치되게 되면 체결부재(430)의 결합에 의하여 제2결합부(426) 및 제1결합부(426) 사이의 간격이 좁아지는 쪽으로 힘을 가하여 제1전극단자(310)를 견고하게 고정할 수 있게 된다.As described above, the surfaces facing each other before the
상기 체결부재(430)는, 제1연결부재(410)의 타단 및 제2연결부재(420)의 타단에 각각 형성된 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되어 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 체결하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The
상기 체결부재(430)는, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The
구체적으로, 상기 체결부재(430)는, 제1연결부재(410)의 제1결합부(416) 및 제2연결부재(420)의 제2결합부(426) 각각에 제1전극단자(310)의 끝단과 간격을 두고 관통형성된 형성된 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되어 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시킬 수 있다.Specifically, the
이때 상기 체결부재(430)는, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제1결합공(411) 및 제2결합공(421) 중 적어도 어느 하나에 형성된 암나사부(미도시)와 나사결합되는 볼트를 포함할 수 있다.In this case, as shown in FIGS. 3 to 7, the
또한 상기 체결부재(430)는, 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되는 핀부재(미도시) 및 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입된 상태에서 핀부재를 고정하는 핀고정부재(미도시)를 포함할 수 있다.In addition, the
또한 상기 체결부재(430)는, 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되는 볼트(미도시) 및 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입된 상태에서 볼트와 나사결합되는 너트(미도시)를 포함할 수 있다.In addition, the
한편 상기 체결부재(430)는, 볼트 또는 핀을 포함하는 경우를 들어 설명하였으나 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 외주면을 둘러싸는 클램프, 이클릭(E-Clip), 서클립(Circlip) 등 다양한 체결부재가 사용될 수 있음은 물론이다.On the other hand, the
한편 상기 제1결합부재(410), 제2결합부재(420) 및 체결부재(430)는, 그 재질이 니켈, 니켈합금 등의 도전성 재질이 사용될 수 있다.Meanwhile, the
한편 상기 기판지지대(200)에는 복수 개의 제1전극단자(310)들 및 외부전극단자(320)들 각각에 대응되는 외부전극단자(320)들이 설치될 수 있으며, 복수의 제1전극단자(310)들 및 외부전극단자들(320)들의 결합을 위한 복수의 커넥터 조립체(400)들이 설치될 수 있다.Meanwhile, a plurality of
그리고 상기 복수 개의 제1전극단자(310)들 및 외부전극단자(320)들을 각각 결합하는 복수개의 커넥터 조립체(400)들은, 상호 전기적 절연 및 외부충격으로부터의 보호를 위하여 절연부재(540)에 끼워진 상태로 기판지지대(200)의 중공 샤프트(220)에 결합될 수 있다.In addition, the plurality of
상기 절연부재(540)는, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)들의 상호 전기적 절연 을 위하여 제1전극단자(310)의 적어도 일부, 외부전극단자(320)의 적어도 일부, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The insulating
상기 절연부재(540)는, 커넥터 조립체(400)에 의하여 결합된 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)의 수 및 위치에 대응되어 제1전극단자(310)의 적어도 일부, 외부전극단자(320)의 적어도 일부, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입되는 복수의 삽입공(541)들이 내측에 형성된다.The insulating
상기 삽입공(541)은, 제1전극단자(310)의 적어도 일부, 외부전극단자(320)의 적어도 일부, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입되도록 관통형성되며, 외부전극단자(320)에 결합된 제1연결부재(410)가 외부로 이동되는 것을 방지하기 위하여 외부전극단자연결부(424)에 형성된 단차(425)에 걸림되는 걸림단차(545)가 형성됨이 바람직하다.The
상기와 같이, 상기 삽입공(541)에 외부전극단자연결부(424)에 형성된 단차(425)에 걸림되는 걸림단차(545)가 형성되면 절연부재(540)의 삽입공(541)에 커넥터 조립체(400)가 삽입된 상태에서 절연부재(540)가 중공형 샤프트(220)에 결합됨으로써 커넥터 조립체(400)는 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에 위치되게 된다.As described above, when the locking
또한 상기 절연부재(540)는, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입된 후 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)에 대하여 체결부재(430)를 결합시킬 수 있도록 측면에 체결부재(430)가 노출될 수 있도록 복수의 관통부(543)들이 형성된다.In addition, the insulating
그리고 상기 절연부재(540)는, 전기적 절연을 위하여 PTFE 등의 엔지니어링 플라스틱 재질이 사용될 수 있다.In addition, the insulating
그리고 상기 절연부재(540)가 중공형 샤프트(220)의 설치시 그를 가이드하기 위하여 하나 이상의 가이드부재(510)가 설치될 수 있다.One or
또한 상기 절연부재(540)는, 중공형 샤프트(220)의 하단부분에 볼트 등에 의하려 결합될 수 있도록 복수의 볼트결합공(542)들이 형성된다.In addition, the insulating
한편 상기 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 절연부재(540)의 삽입공(541)에 삽입된 후 중공형 샤프트(220)의 하단부분에 결합되는 과정에서 커넥터 조립체(400)에 의하여 결합된 커넥터 조립체(400)의 위치가 틀어져 중공형 샤프트(220)에 대한 제1전극단자(310)의 결합부분을 파손하거나 체결부재(430)가 삽입되는 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)의 위치가 변경되어 체결부재(430)의 체결이 어려워지는 문제점이 있다.Meanwhile, the
따라서 상기 커넥터 조립체(400)가 절연부재(540)의 삽입공(541)에 삽입될 때 삽입위치의 변경을 방지하기 위하여, 커넥터 조립체(400)는 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에서 회전되지 않도록 설치, 즉 회전방지구조가 구비됨이 바람직하다.Accordingly, in order to prevent the change of the insertion position when the
상기 회전방지구조는, 삽입공(541)의 길이방향에 대한 수직방향의 단면형상에 형성된 제1각진 부분과, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 중 적어도 하나의 외주면에 형성되며 삽입공(541)의 각진 부분에 대응되는 제2각진 부분을 포함하거나, 삽입공(541)에 대한 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 삽입구조가 키홈을 가질 수 있다.The anti-rotation structure may include a first angled portion formed in a cross-sectional shape perpendicular to the longitudinal direction of the
구체적인 예로서, 상기 회전방지구조는, 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 횡단면이 원형일 때 키 및 키홈에 의하여 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에서의 커넥터 조립체(400)의 회전을 방지할 수 있다.As a specific example, the anti-rotation structure, the
즉, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 길이방향을 따라서 키 또는 키홈이 형성되고, 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에 키 또는 키홈에 대응되는 키홈 또는 키가 형성될 수 있다.That is, a key or key groove is formed along the length direction in the state in which the
다른 예로서, 상기 회전방지구조는, 커넥터 조립체(400) 또는 절연부재(540)의 삽입공(541) 중 어느 하나가 회전방지돌기가 길이방향을 따라서 형성되고, 커넥터 조립체(400) 또는 절연부재(540)의 삽입공(541) 중 나머지 하나가 회전방지돌기가 삽입되는 돌기홈부가 형성될 수 있다.As another example, the anti-rotation structure, any one of the
또 다른 방법으로, 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 횡단면의 형상 및 이에 대응되는 절연부재(540)의 삽입공(541)의 횡단면 형상을 타원형, 다각형 등과 같이 회전될 수 없는 형상으로 형성함으로써 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에서의 커넥터 조립체(400)의 회전을 방지할 수 있다.As another method, the cross-sectional shape of the
즉, 상기 회전방지구조는, 절연부재(540)의 삽입공(541)의 길이방향에 대한 수직 단면이 이루는 다각형상 또는 타원형상과, 제1연결부재(410)와 제2연결부재(420)가 결합된 상태에서 커넥터 조립체(400)의 길이방향에 대한 수직 단면이 삽입공(541)의 수직 단면에 대응되도록 형성된 형상을 포함할 수 있다.That is, the anti-rotation structure includes a polygonal shape or an oval shape formed by a vertical cross section with respect to the longitudinal direction of the
한편 상기와 같은 커넥터 조립체는 다음과 같은 순서에 의하여 커넥터 조립체(400) 및 절연부재(540)가 설치될 수 있다.Meanwhile, in the connector assembly as described above, the
상기 외부전극단자(420)가 연결된 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 체결부재(430)에 의하여 느슨하게 결합된 상태에서 커넥터 조립체(400)는, 절연부재(540)의 삽입공(541)에 삽입된다.In the state in which the first connecting
그리고 상기 커넥터 조립체(400)가 삽입된 절연부재(540)는, 중공형 샤프트(220)에 볼트 등에 의하여 결합되며, 절연부재(540)의 결합 후에 느슨하게 결합된 체결부재(430)는 관통부(543)을 통하여 드라이버 등과 같은 도구에 의하여 회전됨으로써 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)에 대하여 견고하게 결합된다.In addition, the insulating
한편 본 발명의 실시예는, 기판지지대에 설치된 내부부재에 연결된 제1전극단자 및 외부전극단자의 연결에 관하여 설명하고 있으나, 본 발명에 따른 커넥터 조립체는, 기판처리장치 내부에 설치된 내부부재에 연결되는 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결에 모두 적용될 수 있음은 물론이다.Meanwhile, the embodiment of the present invention has been described with respect to the connection of the first electrode terminal and the external electrode terminal connected to the inner member installed on the substrate support, the connector assembly according to the present invention, connected to the inner member installed inside the substrate processing apparatus Of course, both the first electrode terminal and the external electrode terminal may be applied to the connection.
더 나아가, 본 발명에 따른 커넥터 조립체는, 길이방향으로 연결될 필요가 있는 제1전극단자 및 외부전극단자의 연결에도 적용가능함은 물론이다.
Furthermore, the connector assembly according to the present invention is also applicable to the connection of the first electrode terminal and the external electrode terminal that need to be connected in the longitudinal direction.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.Since the above has been described only with respect to some of the preferred embodiments that can be implemented by the present invention, the scope of the present invention, as is well known, should not be construed as limited to the above embodiments, the present invention described above It will be said that both the technical idea and the technical idea which together with the base are included in the scope of the present invention.
310 : 제1전극단자 320 : 외부전극단자
400 : 커넥터 조립체
410 : 제1연결부재 420 : 제2연결부재
430 : 체결부재310: first electrode terminal 320: external electrode terminal
400: connector assembly
410: first connecting member 420: second connecting member
430: fastening member
Claims (16)
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 도전성 재질의 제1연결부재와;
타단에 상기 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 도전성 재질의 제2연결부재와;
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와;
상기 체결부재에 의한 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 타단 결합 시 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단이 서로 벌어지는 것을 방지하기 위하여 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태로 유지시키는 이격방지부를 포함하며,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는 분리가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.A connector assembly electrically connecting one or more first electrode terminals electrically connected to an inner member installed in a substrate processing apparatus, and an external electrode terminal electrically connected to an external power source.
A first connection member made of a conductive material at one end of which the first electrode terminal is movably coupled in a longitudinal direction and a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal is exposed;
A second connecting member made of a conductive material coupled to the first connecting member so that the external electrode terminal is coupled to the other end and covers the outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed from the first connecting member;
A fastening member inserted into the first coupling hole and the second coupling hole respectively formed at the other end of the first connection member and the other end of the second connection member to fasten the first connection member and the second connection member;
The first connection member and the second connection to prevent one end of the first connection member and the second connection member from being separated from each other when the other end of the first connection member and the second connection member are coupled by the fastening member. A separation preventing part for maintaining the first connection member and the second connection member in a coupled state with the first electrode terminal at one end of the member;
And the first connection member and the second connection member are detachably coupled to each other.
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.The method according to claim 1,
The space preventing part,
And a fixing step portion formed at one end of the first connection member and a fixing step portion formed at one end of the second connection member and inserted into the fixing groove portion.
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 외주면에 결합되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합시키는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.The method according to claim 1,
The space preventing part,
And a coupling member coupled to an outer circumferential surface of the first connection member and the second connection member at one end of the first connection member and the second connection member to couple the first connection member and the second connection member. The connector assembly of the substrate processing apparatus characterized by the above-mentioned.
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.The method according to claim 1,
The first connection member and the second connection member, the connector of the substrate processing apparatus, characterized in that to form any one of a cylinder, an elliptic cylinder and a polygonal column in which a portion of the side is cut in the longitudinal direction in a state coupled to each other Assembly.
상기 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합면에 상기 제1전극단자가 면접촉되도록 상기 제1연결부재 및 제2연결부재 중 적어도 하나에 상기 제1전극단자가 삽입되는 홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.The method according to claim 1,
A groove portion into which the first electrode terminal is inserted is formed in at least one of the first connection member and the second connection member such that the first electrode terminal is in surface contact with the coupling surface of the first connection member and the second connection member. The connector assembly of the substrate processing apparatus.
기판이 안착되는 안착플레이트와;
상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와;
상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와;
상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와;
상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며;
상기 커넥터 조립체는,
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 도전성 재질의 제1연결부재와,
타단에 상기 외부전원과의 전기적으로 연결되는 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 도전성 재질의 제2연결부재와,
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와,
상기 체결부재에 의한 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 타단 결합 시 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단이 서로 벌어지는 것을 방지하기 위하여 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태로 유지시키는 이격방지부를 포함하며,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는 분리가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.As a substrate support of the substrate processing apparatus is installed in the process chamber to form a closed processing space, the substrate is seated,
A mounting plate on which the substrate is mounted;
At least one inner member provided in the seating plate;
A hollow shaft extending below the seating plate;
At least one first electrode terminal electrically connected to the inner member and exposed under the hollow shaft;
At least one connector assembly electrically connected to the first electrode terminal and an external power source;
The connector assembly,
A first connection member made of a conductive material having one end coupled to the first electrode terminal in a longitudinal direction and exposing a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal;
A second connection member of a conductive material coupled to the first connection member so as to be coupled to the other end of the external electrode terminal electrically connected to the external power source and to cover the outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed from the first connection member; ,
A fastening member inserted into the first coupling hole and the second coupling hole respectively formed at the other end of the first connection member and the other end of the second connection member to fasten the first connection member and the second connection member;
The first connection member and the second connection to prevent one end of the first connection member and the second connection member from being separated from each other when the other end of the first connection member and the second connection member are coupled by the fastening member. A separation preventing part for maintaining the first connection member and the second connection member in a coupled state with the first electrode terminal at one end of the member;
And the first connection member and the second connection member are detachably coupled to each other.
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.The method according to claim 6,
The space preventing part,
And a fixed step portion formed at one end of the first connection member and a fixed step portion formed at one end of the second connection member and inserted into the fixed groove portion.
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 외주면에 결합되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합시키는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.The method according to claim 6,
The space preventing part,
And a coupling member coupled to an outer circumferential surface of the first connection member and the second connection member at one end of the first connection member and the second connection member to couple the first connection member and the second connection member. A substrate support of a substrate processing apparatus, characterized in that.
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.The method according to claim 6,
The first connection member and the second connection member, the substrate of the substrate processing apparatus, characterized in that any one of the cylinder, the side portion is cut in the longitudinal direction in the state coupled to each other, the cylinder, elliptic cylinder and polygonal column support fixture.
상기 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합면에 상기 제1전극단자가 면접촉되도록 상기 제1연결부재 및 제2연결부재 중 적어도 하나에 상기 제1전극단자가 삽입되는 홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.The method according to claim 6,
A groove portion into which the first electrode terminal is inserted is formed in at least one of the first connection member and the second connection member such that the first electrode terminal is in surface contact with the coupling surface of the first connection member and the second connection member. The substrate support of the substrate processing apparatus.
상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며,
상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.The method according to claim 6,
The connector assembly is provided in plurality,
And an insulating member having a plurality of insertion holes formed therein to mutually insulate the plurality of connector assemblies.
기판이 안착되는 안착플레이트와;
상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와;
상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와;
상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와;
상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며;
상기 커넥터 조립체는,
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와,
타단에 상기 외부전원과의 전기적으로 연결되는 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와,
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태로 유지시키는 이격방지부를 포함하며,
상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며,
상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함하며,
상기 절연부재는 상기 삽입공에 삽입된 상기 체결부재에 대응되는 위치에 상기 체결부재가 외부로 노출되도록 관통부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.As a substrate support of the substrate processing apparatus is installed in the process chamber to form a closed processing space, the substrate is seated,
A mounting plate on which the substrate is mounted;
At least one inner member provided in the seating plate;
A hollow shaft extending below the seating plate;
At least one first electrode terminal electrically connected to the inner member and exposed under the hollow shaft;
At least one connector assembly electrically connected to the first electrode terminal and an external power source;
The connector assembly,
A first connection member coupled to the first electrode terminal so as to be movable in a longitudinal direction at one end thereof and exposing a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal;
A second connection member coupled to the other end coupled to the first connection member to cover an outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed from the first connection member, the external electrode terminal being electrically connected to the external power source;
A fastening member inserted into the first coupling hole and the second coupling hole respectively formed at the other end of the first connection member and the other end of the second connection member to fasten the first connection member and the second connection member;
And a separation preventing part for maintaining the first connection member and the second connection member in a coupled state with the first electrode terminal interposed therebetween at one end of the first connection member and the second connection member.
The connector assembly is provided in plurality,
Further comprising an insulating member formed with a plurality of insertion holes inside to insulate the plurality of connector assemblies,
The insulating member is a substrate support of the substrate processing apparatus, characterized in that the through portion is formed so that the fastening member is exposed to the outside at a position corresponding to the fastening member inserted into the insertion hole.
상기 커넥터 조립체가 상기 절연부재의 삽입공 내에서 회전되는 것을 방지하기 위한 회전방지수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.The method according to claim 11,
And a rotation preventing means for preventing the connector assembly from being rotated in the insertion hole of the insulating member.
기판이 안착되는 안착플레이트와;
상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와;
상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와;
상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와;
상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며;
상기 커넥터 조립체는,
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와,
타단에 상기 외부전원과의 전기적으로 연결되는 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와,
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하며,
상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며,
상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함하며,
상기 커넥터 조립체가 상기 절연부재의 삽입공 내에서 회전되는 것을 방지하기 위한 회전방지수단을 추가로 포함하며,
상기 회전방지수단은,
상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 어느 하나가 회전방지돌기가 길이방향을 따라서 형성되고,
상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 나머지 하나가 상기 회전방지돌기가 삽입되는 돌기홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.As a substrate support of the substrate processing apparatus is installed in the process chamber to form a closed processing space, the substrate is seated,
A mounting plate on which the substrate is mounted;
At least one inner member provided in the seating plate;
A hollow shaft extending below the seating plate;
At least one first electrode terminal electrically connected to the inner member and exposed under the hollow shaft;
At least one connector assembly electrically connected to the first electrode terminal and an external power source;
The connector assembly,
A first connection member coupled to the first electrode terminal so as to be movable in a longitudinal direction at one end thereof and exposing a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal;
A second connection member coupled to the other end coupled to the first connection member to cover an outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed from the first connection member, the external electrode terminal being electrically connected to the external power source;
A fastening member inserted into the first coupling hole and the second coupling hole respectively formed at the other end of the first connection member and the other end of the second connection member to fasten the first connection member and the second connection member;
And a separation preventing part for maintaining the first connection member and the second connection member in a coupled state with the first electrode terminal therebetween at one end of the first connection member and the second connection member.
The connector assembly is provided in plurality,
Further comprising an insulating member formed with a plurality of insertion holes inside to insulate the plurality of connector assemblies,
Further comprising a rotation preventing means for preventing the connector assembly is rotated in the insertion hole of the insulating member,
The rotation preventing means,
Either the insertion hole of the connector assembly or the insulating member is formed with a rotation preventing projection along the longitudinal direction,
The substrate support of the substrate processing apparatus, characterized in that the other one of the insertion hole of the connector assembly or the insulating member is formed with a projection groove portion is inserted into the rotation preventing projection.
기판이 안착되는 안착플레이트와;
상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와;
상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와;
상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와;
상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며;
상기 커넥터 조립체는,
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와,
타단에 상기 외부전원과의 전기적으로 연결되는 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와,
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하며,
상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며,
상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함하며,
상기 커넥터 조립체가 상기 절연부재의 삽입공 내에서 회전되는 것을 방지하기 위한 회전방지수단을 추가로 포함하며,
상기 회전방지수단은
상기 절연부재의 삽입공의 상기 길이방향에 대한 수직 단면이 이루는 다각형상 또는 타원형상과,
제1연결부재와 상기 제2연결부재가 결합된 상태에서 상기 커넥터 조립체의 길이방향에 대한 수직 단면이 상기 삽입공의 수직 단면에 대응되도록 형성된 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.As a substrate support of the substrate processing apparatus is installed in the process chamber to form a closed processing space, the substrate is seated,
A mounting plate on which the substrate is mounted;
At least one inner member provided in the seating plate;
A hollow shaft extending below the seating plate;
At least one first electrode terminal electrically connected to the inner member and exposed under the hollow shaft;
At least one connector assembly electrically connected to the first electrode terminal and an external power source;
The connector assembly,
A first connection member coupled to the first electrode terminal so as to be movable in a longitudinal direction at one end thereof and exposing a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal;
A second connection member coupled to the other end coupled to the first connection member to cover an outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed from the first connection member, the external electrode terminal being electrically connected to the external power source;
A fastening member inserted into the first coupling hole and the second coupling hole respectively formed at the other end of the first connection member and the other end of the second connection member to fasten the first connection member and the second connection member;
And a separation preventing part for maintaining the first connection member and the second connection member in a coupled state with the first electrode terminal therebetween at one end of the first connection member and the second connection member.
The connector assembly is provided in plurality,
Further comprising an insulating member formed with a plurality of insertion holes inside to insulate the plurality of connector assemblies,
Further comprising a rotation preventing means for preventing the connector assembly is rotated in the insertion hole of the insulating member,
The rotation preventing means
A polygonal shape or an elliptical shape formed by a vertical cross section with respect to the longitudinal direction of the insertion hole of the insulating member;
And a shape in which a vertical cross section of the connector assembly in the state in which the first connecting member and the second connecting member are coupled corresponds to a vertical cross section of the insertion hole. .
상기 공정챔버에 설치되어 처리공간으로 가스를 분사하는 가스분사부와;
청구항 6 내지 청구항 15 중 어느 하나의 항에 따른 기판지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.A process chamber forming a closed processing space;
A gas injection unit installed in the process chamber to inject gas into the processing space;
A substrate processing apparatus comprising a substrate support according to any one of claims 6 to 15.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140072869A KR102014280B1 (en) | 2014-06-16 | 2014-06-16 | Connector assembly, susbtrate supporting unit, and susbtrate processing apparatus having the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140072869A KR102014280B1 (en) | 2014-06-16 | 2014-06-16 | Connector assembly, susbtrate supporting unit, and susbtrate processing apparatus having the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20150144139A KR20150144139A (en) | 2015-12-24 |
| KR102014280B1 true KR102014280B1 (en) | 2019-08-26 |
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ID=55084195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020140072869A KR102014280B1 (en) | 2014-06-16 | 2014-06-16 | Connector assembly, susbtrate supporting unit, and susbtrate processing apparatus having the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JP2010287354A (en) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | Terminal connecting device |
| JP2011525719A (en) * | 2008-06-24 | 2011-09-22 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Pedestal heater for low temperature PECVD applications |
Family Cites Families (1)
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|---|---|---|---|---|
| US6616767B2 (en) * | 1997-02-12 | 2003-09-09 | Applied Materials, Inc. | High temperature ceramic heater assembly with RF capability |
-
2014
- 2014-06-16 KR KR1020140072869A patent/KR102014280B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20150144139A (en) | 2015-12-24 |
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